JP2005195615A - Optical waveguide substrate, optical transmitting/receiving module and optical transmitting apparatus - Google Patents

Optical waveguide substrate, optical transmitting/receiving module and optical transmitting apparatus Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical waveguide substrate on which an optical filter is arranged with satisfactory productivity and an optical transmitting/receiving module using the optical waveguide board and to provide an optical transmitting apparatus. <P>SOLUTION: In the optical waveguide substrate on which a groove part 10 is so formed on a part of the substrate to intersect with optical waveguides 1a, 1b and 3 and an optical filter 4 is inserted and arranged in the groove, at least one side face of the groove part has a tapered form or a rectangular form in the horizontal direction viewed from the bottom face 2 of the groove, and has a width larger than the width of the grove located at the part crossing with the optical waveguides; thus, an optical filter is easily arranged, the number of manufacturing processes are reduced, the yield of products is improved, and the cost is reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光通信分野における光導波路基板と、その光導波路基板を用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置に関する。   The present invention relates to an optical waveguide substrate in the field of optical communication, an optical transmission / reception module and an optical transmission device using the optical waveguide substrate.

近年、１本の光ファイバを用いて上りと下りの光双方向伝送を異なる波長λ１、λ２で実現する光通信方式の開発が進められているが、本方式の光送受信モジュールには、発光素子と受光素子と波長分離と合波機能部品などを集積化する技術が必要である。   In recent years, the development of an optical communication system that realizes upstream and downstream optical bidirectional transmission using different wavelengths λ1 and λ2 using a single optical fiber has been promoted. In addition, a technology for integrating the light receiving element, wavelength separation, and multiplexing functional parts is required.

従来の光送受信モジュールは、受信波長λ２の信号を送信波長λ１と分離するために、光導波路と波長多重（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）フィルタを組み合わせた構造が一般的である（例えば下記の特許文献１参照）。図１５（ａ）、（ｂ）は、光導波路を用いたＷＤＭ光双方向モジュールの従来の概略構造を示す図である。図１５に示すように、Ｓｉ基板３０上には光導波路１ａ、１ｂ、３が光学フィルタ４を中心としてスター状に形成され、光導波路１ａ、１ｂ、３の各一端に対してそれぞれ光ファイバ８、受光素子（ＰＤ）６、発光素子（ＬＤ）５を、入出射光を光結合できるように２次元の高精度な位置合わせ（アライメント）により実装している。
特開平１１−６８７０５号公報（要約、図１） Conventional optical transceiver modules generally have a structure in which an optical waveguide and a wavelength division multiplexing (WDM) filter are combined to separate a signal having a reception wavelength λ2 from a transmission wavelength λ1 (for example, the following patent document) 1). FIGS. 15A and 15B are diagrams showing a conventional schematic structure of a WDM optical bidirectional module using an optical waveguide. As shown in FIG. 15, optical waveguides 1 a, 1 b, 3 are formed in a star shape on the Si substrate 30 with the optical filter 4 as the center, and an optical fiber 8 is connected to each end of the optical waveguides 1 a, 1 b, 3. The light receiving element (PD) 6 and the light emitting element (LD) 5 are mounted by two-dimensional high-precision alignment (alignment) so that the incoming and outgoing light can be optically coupled.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-68705 (summary, FIG. 1)

ＬＤ５の波長λ１の出力光は、光導波路１ａを介して伝送され、Ｓｉ基板３０に対して垂直に形成された溝部１０に接着剤１１により接着固定された光学フィルタ４で反射された後、光導波路１ｂを通って光ファイバ８へと導入される。一方、光ファイバ８から伝送されてきた波長λ２の光信号は光導波路１ｂを介して伝送されて光学フィルタ４を透過し、光導波路３を介してＰＤ６で受光される。また、ＬＤ５の光導波路１ａの反対側からは波長λ１の出力光が出ており、この出力光は、ＬＤ５のパワーをモニタリングするモニター用ＰＤ（Ｍ−ＰＤ）７で受光される。なお、２は溝の底面、２２、２３は溝部１０の側面を示す。   The output light having the wavelength λ1 of the LD 5 is transmitted through the optical waveguide 1a, reflected by the optical filter 4 bonded and fixed to the groove portion 10 formed perpendicular to the Si substrate 30 by the adhesive 11, and then guided to the light. The light is introduced into the optical fiber 8 through the waveguide 1b. On the other hand, the optical signal having the wavelength λ 2 transmitted from the optical fiber 8 is transmitted through the optical waveguide 1 b, passes through the optical filter 4, and is received by the PD 6 through the optical waveguide 3. Further, output light having a wavelength λ1 is emitted from the opposite side of the optical waveguide 1a of the LD5, and this output light is received by a monitor PD (M-PD) 7 for monitoring the power of the LD5. Reference numeral 2 denotes a bottom surface of the groove, and reference numerals 22 and 23 denote side surfaces of the groove portion 10.

しかしながら、上記従来例においては、光導波路に光学フィルタを挿入することが非常に困難であるため、工数の増大と光学フィルタ及び光導波路の破損といった問題が発生する。   However, in the above conventional example, since it is very difficult to insert an optical filter into the optical waveguide, problems such as an increase in man-hours and breakage of the optical filter and the optical waveguide occur.

本発明は上記従来例の課題を解決するもので、製造性良く光学フィルタを配置することができる光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-described problems of the conventional example, and an object thereof is to provide an optical waveguide substrate in which an optical filter can be arranged with good manufacturability, an optical transmission / reception module using the optical waveguide substrate, and an optical transmission device. .

本発明に係る光導波路基板は、基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入配置する光導波路基板において、前記溝の少なくとも１つの側面が、前記溝の底面から見て水平方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、前記光導波路と交差する部分に位置する前記溝の幅よりも大きな幅を有することを特徴とする。この構造により、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。   In the optical waveguide substrate according to the present invention, a groove is formed in a part of the substrate so as to cross the optical waveguide, and an optical filter is inserted and disposed in the groove. The groove is tapered or rectangular in the horizontal direction when viewed from the bottom surface of the groove, and has a width larger than the width of the groove located at a portion intersecting with the optical waveguide. With this structure, the optical filter can be easily arranged, and the cost can be reduced by reducing the man-hours and improving the product yield.

また、基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入配置する光導波路基板において、前記溝の少なくとも１つの側面が、前記溝の底面から見て垂直方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、前記溝の底面における溝幅よりも前記溝の上部における溝幅が大きいことを特徴とする。この構造により、本発明を適用した光導波路基板において、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。   Further, in the optical waveguide substrate in which a groove is formed so as to cross the optical waveguide in a part of the substrate, and an optical filter is inserted and disposed in the groove, at least one side surface of the groove is perpendicular to the bottom surface of the groove. The groove is tapered or rectangular in the direction, and the groove width at the top of the groove is larger than the groove width at the bottom surface of the groove. With this structure, in the optical waveguide substrate to which the present invention is applied, the optical filter can be easily arranged, and the cost can be reduced by reducing the man-hours and improving the product yield.

また、前記光学フィルタが挿入配置される前記溝の側面の一部又は全面が平坦であることを特徴とする。この構造により、光学フィルタの位置決め、角度決め、固定が容易かつ正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。   In addition, a part or the entire surface of the groove in which the optical filter is inserted and disposed is flat. With this structure, positioning, angle determination, and fixing of the optical filter become easy and accurate, and stable characteristics can be obtained.

また、前記溝は、４面以上で形成されていることを特徴とする。この構造により、光学フィルタの位置決め、固定が容易かつ正確となり安定した特性を得ることが可能となる。   Further, the groove is formed of four or more surfaces. With this structure, the optical filter can be positioned and fixed easily and accurately, and stable characteristics can be obtained.

また、前記溝は、直径の異なる複数のブレードを一体化したブレードを用いて形成されることを特徴とする。この構造により、溝の幅を変化させるためにブレードを交換する手間が省けるため、工数の低減、すなわち生産性向上が図れる。   The groove is formed by using a blade obtained by integrating a plurality of blades having different diameters. With this structure, it is possible to reduce the man-hours, that is, to improve productivity, because the trouble of replacing the blade to change the width of the groove can be saved.

また、上述した特徴を有する光導波路基板を用いた光送受信モジュールを構成する。この構成により、光送受信モジュールの価格低減が可能となる。   Further, an optical transceiver module using the optical waveguide substrate having the above-described features is configured. With this configuration, the price of the optical transceiver module can be reduced.

さらに、上述した光送受信モジュールを用いた光伝送装置を構成する。この構成により、光伝送装置の価格低減が可能となる。   Furthermore, an optical transmission device using the above-described optical transceiver module is configured. With this configuration, the price of the optical transmission device can be reduced.

本発明によれば、溝に光学フィルタを配置する際、溝の少なくとも１つの側面を、溝の底面から見て水平方向又は垂直方向にテーパー状若しくは矩形状とし、光ファイバと交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅とすることにより、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となり、製造性のよい光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置を構成することができる。   According to the present invention, when the optical filter is disposed in the groove, at least one side surface of the groove is tapered or rectangular in the horizontal direction or the vertical direction when viewed from the bottom surface of the groove and is positioned at a portion intersecting with the optical fiber. By making the width larger than the width of the groove, the optical filter can be easily arranged, the cost can be reduced by reducing the man-hours and the yield of the product, and an optical waveguide substrate and an optical waveguide substrate with good manufacturability are used. An optical transceiver module and an optical transmission device can be configured.

＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る光導波路基板を説明するためのＷＤＭ機能を有する送受信モジュールの斜視図であり、図２（ａ）、（ｂ）はその補足説明用の図である。図１に示すように、光送受信モジュールは、光導波路１ａ、１ｂ、３、光学フィルタ４、発光素子（ＬＤ）５、受光素子（ＰＤ）６、発光素子のモニター用ＰＤ（Ｍ−ＰＤ）７、光ファイバ８、接着剤１１、Ｖ溝を有する光導波路基板３０から構成されている。 <First Embodiment>
FIG. 1 is a perspective view of a transmission / reception module having a WDM function for explaining an optical waveguide substrate according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 2 (a) and 2 (b) are for supplementary explanation. FIG. As shown in FIG. 1, the optical transceiver module includes optical waveguides 1 a, 1 b, 3, an optical filter 4, a light emitting element (LD) 5, a light receiving element (PD) 6, and a light emitting element monitoring PD (M-PD) 7. , Optical fiber 8, adhesive 11, and optical waveguide substrate 30 having a V-groove.

光送受信モジュールのパッケージからはＬＤ５と光学的に結合するようにアライメントされた光ファイバ８が出ている。図２に示すように、光導波路１ａ、１ｂと光導波路３の間には溝部１０が形成されており、そこに光学フィルタ４を挿入後、ＵＶ又は熱硬化型などの接着剤１１にて、光学フィルタ４と溝の底面２若しくは溝の側面部のうち光学フィルタ４が配置される側面部分１２とを接着固定する。   An optical fiber 8 aligned so as to be optically coupled to the LD 5 comes out of the package of the optical transceiver module. As shown in FIG. 2, a groove 10 is formed between the optical waveguides 1a and 1b and the optical waveguide 3, and after inserting the optical filter 4 there, an adhesive 11 such as UV or thermosetting type is used. The optical filter 4 is bonded and fixed to the bottom surface 2 of the groove or the side surface portion 12 where the optical filter 4 is disposed among the side surfaces of the groove.

光学フィルタ４の波長透過特性の例を図３に示す。この光学フィルタ４は、λ１＜λ２であるような波長λ１、λ２の光信号に関して、波長λ１付近では透過率が低く、波長λ２付近では透過率が高いという特徴を有している。そのため、ＬＤ５から出た波長λ１の光信号は、光導波路１ａを伝わった後、光学フィルタ４にて反射し、その先にある光導波路１ｂへと導かれた後に、光導波路１ｂの先に配置された光ファイバ８へと伝達される。一方、光ファイバ８から入射されたλ２の光信号は、光導波路１ｂへ導かれた後にそのほとんどすべてが光学フィルタ４を透過して、その先にある光導波路３へと導かれる。その後、光導波路３の先に配置されたＰＤ６へと導かれた後に受光され、ＯＥ変換されて電気信号として処理される。   An example of the wavelength transmission characteristic of the optical filter 4 is shown in FIG. The optical filter 4 has a feature that, for an optical signal with wavelengths λ1 and λ2 such that λ1 <λ2, the transmittance is low near the wavelength λ1, and the transmittance is high near the wavelength λ2. For this reason, the optical signal having the wavelength λ1 emitted from the LD 5 is transmitted through the optical waveguide 1a, reflected by the optical filter 4, guided to the optical waveguide 1b ahead thereof, and then disposed at the tip of the optical waveguide 1b. Is transmitted to the optical fiber 8. On the other hand, after the optical signal of λ2 incident from the optical fiber 8 is guided to the optical waveguide 1b, almost all of it passes through the optical filter 4 and is guided to the optical waveguide 3 ahead. Thereafter, the light is received after being guided to the PD 6 disposed at the tip of the optical waveguide 3, OE converted, and processed as an electric signal.

次に、図１及び図２を用いて本発明の説明を行う。図１のうち、Ｃ面とＤ面の間の部分を、Ａ方向から見た図とＢ方向から見た図がそれぞれ図２（ａ）、（ｂ）である。ダイシング装置によってＳｉ基板３０に光導波路１ａ、１ｂ、３と交差するように溝部１０を形成する。そのとき、図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、溝部１０の側面若しくは側面の一部をテーパー状（若しくは矩形状）とし、光導波路１ａ、１ｂ、３と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅とすることによって、光学フィルタ４を溝部１０内に挿入することが容易になる。光学フィルタ４を溝部１０内へ挿入し、位置調整を行った後に、ＵＶ樹脂又は熱硬化樹脂などの接着剤１１を用いてＳｉ基板３０と光学フィルタ４を固定することにより構成される。ここで、溝部１０の側面のうち光学フィルタ４と接合される部分の一部又は全部分が平坦面であることにより、光学フィルタ４の位置決め、固定が容易かつ正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。   Next, the present invention will be described with reference to FIGS. In FIGS. 1A and 1B, a view of the portion between the C plane and the D plane viewed from the A direction and a view viewed from the B direction are FIGS. 2A and 2B, respectively. The groove 10 is formed in the Si substrate 30 so as to intersect the optical waveguides 1a, 1b, and 3 by a dicing apparatus. At that time, as shown in FIGS. 1, 2A, and 2B, the side surface or a part of the side surface of the groove portion 10 is tapered (or rectangular) and intersects with the optical waveguides 1a, 1b, and 3. By making the width larger than the width of the groove located at, it becomes easy to insert the optical filter 4 into the groove portion 10. After the optical filter 4 is inserted into the groove 10 and the position is adjusted, the Si substrate 30 and the optical filter 4 are fixed using an adhesive 11 such as a UV resin or a thermosetting resin. Here, a part or all of the portion joined to the optical filter 4 in the side surface of the groove 10 is a flat surface, so that the optical filter 4 can be positioned and fixed easily and accurately, and stable characteristics can be obtained. Is possible.

以下、Ｓｉ基板３０のうちＣ面とＤ面で挟まれた部分について、Ａ方向から見た図とＢ方向から見た図で説明する。また、以下では光導波路として、図１に示すように、光導波路１ａ、１ｂ、３から構成される場合について説明したが、本発明においては、光導波路の形状を限定するものではなく、いかなる導波路のパターンにおいて適用してもよい。   Hereinafter, the part sandwiched between the C plane and the D plane in the Si substrate 30 will be described with reference to the view from the A direction and the view from the B direction. In the following, the case where the optical waveguide is composed of the optical waveguides 1a, 1b, and 3 as shown in FIG. 1 has been described. However, in the present invention, the shape of the optical waveguide is not limited, and any waveguide is used. You may apply in the pattern of a waveguide.

図４（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ａ部分がテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。また、図５（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ｂ部分がテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。さらに、図６（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ａ部分、２０ｂ部分が共にテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。上記テーパー部分は、すべて矩形状若しくはテーパー状と矩形状を組み合わせた構成も可能である。これらテーパー状又は矩形状部分は、光導波路１ａ、１ｂ、３と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅を有している。   4A and 4B show a case where the side surface 20a is tapered in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. The state seen from the A direction and the B direction is shown. 5 (a) and 5 (b), the side surface 20b is tapered in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. The state seen from the A direction and the B direction in the case of being present is shown. Further, FIGS. 6A and 6B show that the side surfaces 20a and 20b are both tapered in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. The state seen from the A direction and the B direction is shown. The tapered portion may be configured to be all rectangular or a combination of a tapered shape and a rectangular shape. These tapered or rectangular portions have a width larger than the width of the groove located in the portion intersecting with the optical waveguides 1a, 1b, and 3.

したがって、上述した第１の実施の形態によれば、溝部１０の少なくとも１つの側面が、溝の底面２から見て水平方向にテーパー状（若しくは矩形状）となっており、光導波路１ａ、１ｂ、３と交差する部分に位置する溝の幅よりも大きな幅を有することにより、光学フィルタ４の配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。   Therefore, according to the first embodiment described above, at least one side surface of the groove 10 is tapered (or rectangular) in the horizontal direction when viewed from the bottom surface 2 of the groove, and the optical waveguides 1a and 1b. 3 has a width larger than the width of the groove located at the portion intersecting 3, the optical filter 4 can be easily arranged, and the cost can be reduced by reducing the number of steps and improving the yield of the product.

また、光学フィルタ４が挿入配置される溝部１０の側面の一部又は全面が平坦面１２であることにより、光学フィルタ４の位置決め、角度決め、固定が容易かつ正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。   In addition, since a part or the whole of the side surface of the groove portion 10 in which the optical filter 4 is inserted and disposed is the flat surface 12, the optical filter 4 can be easily and accurately positioned, fixed and fixed, and stable characteristics can be obtained. Is possible.

＜第２の実施の形態＞
次に、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図８（ａ）、（ｂ）及び図９（ａ）、（ｂ）は、図４（ａ）、（ｂ）、図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）、（ｂ）の第１の実施の形態に対応して示す第２の実施の形態を説明する概略構成図である。図７（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ａ部分がテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。図７（ｂ）のような導波管部分にデーパー部２１ａが形成される構造以外に、図７（ｃ）のように導波管の上に堆積部１３が形成されており、堆積部分にデーパー部２１ａが形成される構造も可能である。 <Second Embodiment>
Next, FIGS. 7 (a), (b), (c), FIGS. 8 (a), (b) and FIGS. 9 (a), 9 (b) are the same as FIGS. It is a schematic block diagram explaining 2nd Embodiment shown corresponding to 1st Embodiment of (a), (b) and FIG. 6 (a), (b). 7A and 7B show the case where the side surface 21a is tapered in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove, as viewed from the direction A in FIG. The state seen from the A direction and the B direction is shown. In addition to the structure in which the data portion 21a is formed in the waveguide portion as shown in FIG. 7B, the deposition portion 13 is formed on the waveguide as shown in FIG. A structure in which the paper part 21a is formed is also possible.

また、図８（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ｂ部分がテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。さらに、図９（ａ）、（ｂ）は図１のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ａ部分、側面２１ｂ部分が共にテーパー状になっている場合のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た図を示す。上記テーパー部分は、すべて矩形状若しくはテーパー状と矩形状を組み合わせた構成も可能である。これらテーパー状又は矩形状部分は溝の底面２における溝幅よりも溝の上部における溝幅の方が大きい。   8A and 8B show the side surface 21b of the side surface perpendicular to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. The state seen from the A direction and the B direction in the case of being present is shown. Further, FIGS. 9A and 9B show that the side surface 21a and the side surface 21b are perpendicular to the bottom surface 2 of the groove, as viewed from the direction A in FIG. The figure seen from the A direction and B direction in the case of taper shape is shown, respectively. The tapered portion may be configured to be all rectangular or a combination of a tapered shape and a rectangular shape. In these tapered or rectangular portions, the groove width at the upper portion of the groove is larger than the groove width at the bottom surface 2 of the groove.

また、図４（ａ）、（ｂ）、図５（ａ）、（ｂ）、図６（ａ）、（ｂ）で示される第１の実施の形態と、図７（ａ）、（ｂ）、図８（ａ）、（ｂ）、図９（ａ）、（ｂ）で示される第２の実施の形態を組み合わせた構成も可能である。ここでは、溝部１０の一部が矩形状になっている場合の一例を示す。図１０（ａ）、（ｂ）は、その斜視図を示す図１０（ｃ）のＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ａ部分、２０ｂ部分が共に矩形状になっており、さらに、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ａ部分、側面２１ｂ部分が共に矩形状になっている場合についてＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。   Also, the first embodiment shown in FIGS. 4A, 4B, 5A, 5B, 6A, and 6B, and FIGS. 7A and 7B, FIG. 8), FIG. 8A, FIG. 8B, FIG. 9A, and FIG. 9B can be combined with the second embodiment shown in FIG. Here, an example in which a part of the groove 10 is rectangular is shown. 10A and 10B are perspective views of the side surface 20a in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove, of the side surfaces with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the direction A in FIG. When both the portion 20b and the portion 20b are rectangular, and the side surface 21a and the side surface 21b are both rectangular in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove, they are viewed from the A direction and the B direction, respectively. Shows how it was done.

また、この第２の実施の形態では、第１の実施の形態と同様に、溝部１０の側面のうち光学フィルタ４と接合される部分１２の全部分（又は一部分）が平坦面となっている。すなわち、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、溝部１０の側面若しくは側面の一部を矩形状（若しくはテーパー状）とすることによって光学フィルタ４を溝部１０内に挿入することが容易になるが、光学フィルタ４を固定する際に、光学フィルタ４を光導波路１ａ、１ｂ、３と所望の角度（この図では水平、垂直方向に共に９０度）に配置する必要性がある。ここで、溝部１０の側面のうち光学フィルタ４と接合される部分１２の一部又は全部分を平坦面とする。光学フィルタ４を溝部１０内へ挿入後、その平坦面に光学フィルタ４を沿わせた後に、ＵＶ樹脂又は熱硬化樹脂などの接着剤１１を用いてフェルール１と光学フィルタ４を固定することにより、容易かつ正確な光学フィルタ４の位置決め、角度決め、固定が可能となる。   In the second embodiment, as in the first embodiment, the entire portion (or a portion) of the portion 12 joined to the optical filter 4 in the side surface of the groove portion 10 is a flat surface. . That is, as shown in FIGS. 10A and 10B, it is easy to insert the optical filter 4 into the groove 10 by making the side surface or a part of the side surface of the groove portion 10 rectangular (or tapered). However, when the optical filter 4 is fixed, it is necessary to dispose the optical filter 4 at a desired angle with respect to the optical waveguides 1a, 1b, and 3 (90 degrees in the horizontal and vertical directions in this figure). Here, a part or all of the portion 12 joined to the optical filter 4 in the side surface of the groove 10 is a flat surface. After inserting the optical filter 4 into the groove portion 10, after placing the optical filter 4 along the flat surface thereof, by fixing the ferrule 1 and the optical filter 4 using an adhesive 11 such as a UV resin or a thermosetting resin, The positioning, angle determination, and fixing of the optical filter 4 can be performed easily and accurately.

したがって、上述した第２の実施の形態によれば、溝部１０の側面が溝の底面２から見て垂直方向に矩形状（若しくはテーパー状）となっており、溝の底面２における溝幅よりも溝の上部における溝幅の方が大きな幅を有することにより、光学フィルタ４の配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となる。   Therefore, according to the second embodiment described above, the side surface of the groove portion 10 has a rectangular shape (or tapered shape) in the vertical direction when viewed from the bottom surface 2 of the groove, and is larger than the groove width at the bottom surface 2 of the groove. Since the groove width at the upper part of the groove is larger, the optical filter 4 can be easily arranged, and the cost can be reduced by reducing the number of steps and improving the product yield.

また、光学フィルタ４が挿入配置される溝部１０の側面１２の一部又は全面が平坦面であることにより、光学フィルタ４の位置決め、角度決め、固定が容易かつ正確となり、安定した特性を得ることが可能となる。   Further, when a part or the whole of the side surface 12 of the groove portion 10 into which the optical filter 4 is inserted and arranged is a flat surface, positioning, angle determination, and fixing of the optical filter 4 are easy and accurate, and stable characteristics are obtained. Is possible.

＜第３の実施の形態＞
図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）と、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、第３の実施の形態の概略構成図を示している。図１１（ａ）、（ｂ）はその斜視図である図１１（ｃ）の、図１２（ａ）、（ｂ）はその斜視図である図１２（ｃ）のＡ方向、Ｂ方向からそれぞれ見た様子を示す。ただし、図１２（ｂ）は図１２（ａ）の平面Ｘ−Ｙでの断面図となる。また、図１１（ａ）、（ｂ）はＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ａ部分、２０ｂ部分が共にテーパー状になっている場合を示しており、図１２（ａ）、（ｂ）はＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ａ部分、側面２１ｂ部分が共にテーパー状になっている場合を示している。 <Third Embodiment>
FIGS. 11A, 11B, and 11C and FIGS. 12A, 12B, and 12C are schematic configuration diagrams of the third embodiment. 11 (a) and 11 (b) are perspective views of FIG. 11 (c), and FIGS. 12 (a) and 12 (b) are perspective views of FIG. Show how it looked. However, FIG. 12B is a cross-sectional view taken along the plane XY in FIG. 11 (a) and 11 (b), the side surfaces 20a and 20b are tapered in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the A direction. 12A and 12B show the side surface 21a portion and the side surface 21b in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the A direction. The case where both parts are taper-shaped is shown.

従来例の溝部１０の構成面では、溝部１０は、図１５（ｂ）において、溝の底面２と、側面２２、２３の合計３面から構成されているのに対して、図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）では、溝の底面２と、側面２２、２３、２４の合計４面から構成されており、図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）では、溝の底面２と、側面２２、２３、２４、２５の合計５面から構成されている。側面２０ａ部分、２０ｂ部分、側面２１ａ部分、側面２１ｂ部分がテーパー状ではなく、矩形状の場合は６面以上の面で溝部１０が構成されることも可能である。   In the configuration surface of the groove portion 10 of the conventional example, the groove portion 10 is composed of a total of three surfaces of the bottom surface 2 of the groove and the side surfaces 22 and 23 in FIG. 15B, whereas FIG. , (B), and (c), the bottom surface 2 of the groove is composed of a total of four surfaces, side surfaces 22, 23, and 24. In FIGS. 12 (a), (b), and (c), the bottom surface of the groove is formed. 2 and side surfaces 22, 23, 24, and 25 in total. In the case where the side surface 20a portion, the 20b portion, the side surface 21a portion, and the side surface 21b portion are not tapered but are rectangular, the groove portion 10 can be configured by six or more surfaces.

また、第３の実施の形態においても、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）又は図８（ａ）、（ｂ）又は図９（ａ）、（ｂ）で示される第２の実施の形態と図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）で示される第３の実施の形態とをそれぞれ組み合わせた構成も可能である。   Also in the third embodiment, the second shown in FIGS. 7A, 7B, 8C, 8A, 8B, 9A, and 9B is used. A configuration in which the embodiment is combined with the third embodiment shown in FIGS. 11A, 11 </ b> B, and 11 </ b> C is also possible.

したがって、第３の実施の形態によれば、溝部１０は、４面以上で形成されていることにより、光学フィルタ４の位置決め、固定が容易かつ正確となり安定した特性を得ることが可能となる。   Therefore, according to the third embodiment, since the groove portion 10 is formed with four or more surfaces, the optical filter 4 can be positioned and fixed easily and accurately, and stable characteristics can be obtained.

＜第４の実施の形態＞
図１３（ａ）、（ｂ）は、第４の実施の形態に係る光導波路基板の製造方法を説明する図である。また、図１４（ａ）、（ｂ）は第４の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図である。図１３（ａ）、（ｂ）において、溝部１０を形成するために用いるダイシング用のブレードは、大きめの直径であるブレード３１とブレード３１よりも直径の小さいブレード３２ａ、３２ｂの合計３枚が中心部３３を軸として回転するという構成である。ここで、ブレード３１とブレード３２ａ又はブレード３１とブレード３２ｂの２枚で構成されるブレードも可能である。このブレードを用いて光導波路基板３０に溝部１０を形成する過程を図１３（ｂ）に示す。また、図１４（ａ）、（ｂ）では、図１３（ａ）、（ｂ）で示されるブレードを用いて構成した溝部１０に光学フィルタ４を配置した状態を示している。図１４（ａ）、（ｂ）はそれぞれＡ方向、Ｂ方向から見た図面である。 <Fourth embodiment>
FIGS. 13A and 13B are views for explaining a method of manufacturing an optical waveguide substrate according to the fourth embodiment. FIGS. 14A and 14B are schematic configuration diagrams of an optical waveguide substrate according to the fourth embodiment. 13A and 13B, the dicing blade used to form the groove 10 is centered on a total of three blades, a blade 31 having a larger diameter and blades 32a and 32b having a smaller diameter than the blade 31. It is the structure of rotating around the part 33 as an axis. Here, a blade composed of two blades 31 and 32a or blade 31 and blade 32b is also possible. FIG. 13B shows a process of forming the groove 10 in the optical waveguide substrate 30 using this blade. FIGS. 14A and 14B show a state in which the optical filter 4 is disposed in the groove portion 10 configured using the blade shown in FIGS. 13A and 13B. 14A and 14B are views seen from the A direction and the B direction, respectively.

ここでは、図９（ａ）、（ｂ）でＡ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して垂直方向に側面２１ａ部分、側面２１ｂ部分が共に矩形状になっている場合を例として示したが、矩形部分がテーパー状である構成や、Ａ方向から見たときの溝の底面２に対する側面のうち、溝の底面２に対して水平方向に側面２０ａ部分、２０ｂ部分がテーパー状又は矩形状になっている構成も可能である。   9A and 9B, among the side surfaces with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the A direction, the side surface 21a portion and the side surface 21b portion are both rectangular in the direction perpendicular to the bottom surface 2 of the groove. As an example, the rectangular portion has a tapered shape, or the side surface 20a in the horizontal direction with respect to the bottom surface 2 of the groove among the side surfaces with respect to the bottom surface 2 of the groove when viewed from the A direction. A configuration in which the portion and the 20b portion are tapered or rectangular is also possible.

したがって、第４の実施の形態によれば、光学フィルタ４を配置する溝部１０を形成する際に、溝の幅を変化させるためにブレードを交換する手間が省けるため、工数の低減、すなわち生産性向上が図れる。   Therefore, according to the fourth embodiment, when forming the groove portion 10 in which the optical filter 4 is disposed, it is possible to save time and labor, that is, productivity, by replacing the blade in order to change the groove width. Improvement can be achieved.

上述したようにして形成された光導波路基板を用いた光送受信モジュール及び光伝送装置を構成すれば、価格低減が可能となる。   If an optical transceiver module and an optical transmission device using the optical waveguide substrate formed as described above are configured, the price can be reduced.

本発明によれば、光学フィルタの配置が容易となり、工数の低減、製品の歩留まり向上により価格低減が可能となり、製造性のよい光導波路基板及び光導波路基板を用いた光送受信モジュール並びに光伝送装置を構成することができるので、本発明は、光通信分野などにおいて広く有用である。   According to the present invention, the optical filter can be easily arranged, the cost can be reduced by reducing the number of man-hours and improving the yield of the product, and the optical waveguide substrate and the optical transmission / reception module using the optical waveguide substrate and the optical transmission device having good manufacturability Therefore, the present invention is widely useful in the field of optical communications.

本発明の第１の実施の形態に係る光導波路基板を説明するためのＷＤＭ機能を有する送受信モジュールの斜視図The perspective view of the transmission / reception module which has a WDM function for demonstrating the optical waveguide board | substrate which concerns on the 1st Embodiment of this invention 本発明を適用した光送受信モジュールの説明図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図It is explanatory drawing of the optical transmission / reception module to which this invention is applied, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 光学フィルタの波長透過特性の例を示すグラフGraph showing examples of wavelength transmission characteristics of optical filters 本発明の第１の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the optical waveguide board | substrate which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing 本発明の第１の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the optical waveguide board | substrate which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing 本発明の第１の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the optical waveguide board | substrate which concerns on the 1st Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing 本発明の第２の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図 （ｃ）は変形例による断面図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing, (c) is sectional drawing by a modification. 本発明の第２の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明の第２の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明の第２の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図 （ｃ）は斜視図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 2nd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing, (c) is a perspective view. 本発明の第３の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図 （ｃ）は斜視図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 3rd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing, (c) is a perspective view. 本発明の第３の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図 （ｃ）は斜視図It is a schematic block diagram of the optical waveguide substrate concerning the 3rd Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing, (c) is a perspective view. 本発明の第４の実施の形態に係る光導波路基板の加工方法を示す図で、 （ａ）はブレードの斜視図 （ｂ）は光導波路基板とブレードの関係を示す断面図It is a figure which shows the processing method of the optical waveguide board | substrate which concerns on the 4th Embodiment of this invention, (a) is a perspective view of a braid | blade, (b) is sectional drawing which shows the relationship between an optical waveguide board | substrate and a braid | blade. 本発明の第４の実施の形態に係る光導波路基板の概略構成図で、 （ａ）は平面図 （ｂ）は断面図It is a schematic block diagram of the optical waveguide board | substrate which concerns on the 4th Embodiment of this invention, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 光導波路を用いたＷＤＭ光双方向モジュールの従来の概略構造を示す図で、 （ａ）は斜視図 （ｂ）は断面図It is a figure which shows the conventional general | schematic structure of the WDM optical bidirectional module using an optical waveguide, (a) is a perspective view, (b) is sectional drawing.

符号の説明Explanation of symbols

１ フェルール
１ａ、１ｂ、３ 光導波路
２ 溝の底面
４ 光学フィルタ
５ 発光素子（ＬＤ）
６ 受光素子（ＰＤ）
７ モニター用ＰＤ（Ｍ−ＰＤ）
８ 光ファイバ
１０ 溝部
１１ 接着剤
１２ フィルタが配置される側面部分
１３ 堆積部
２０ａ 溝の底面に対して水平方向に形成される側面のうち光導波路１ａ、１ｂ側に形成されるテーパー部分
２０ｂ 溝の底面に対して水平方向に形成される側面のうち光導波路３側に形成されるテーパー部分
２１ａ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路１ａ、１ｂ側に形成されるテーパー部分
２１ｂ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路３側に形成されるテーパー部分
２２ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路１ａ、１ｂ側の側面
２３ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路３側の側面
２４ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路と交わらないような側面のうちの一方の側面
２５ 溝の底面に対して垂直方向に形成される側面のうち光導波路と交わらないような側面のうちのもう一方の側面
３０ 光導波路基板（Ｓｉ基板）
３１ ブレード
３２ａ、３２ｂ 溝を形成するためのブレードのうちブレード３１よりも直径の小さいブレード
３３ ブレード３１、３２ａ、３２ｂの中心部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ferrule 1a, 1b, 3 Optical waveguide 2 Bottom face of groove 4 Optical filter 5 Light emitting element (LD)
6 Light receiving element (PD)
7 Monitor PD (M-PD)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 Optical fiber 10 Groove part 11 Adhesive 12 Side part where filter is arrange | positioned 13 Deposition part 20a Tapered part 20b formed in optical waveguide 1a, 1b side among the side surfaces formed in the horizontal direction with respect to the bottom face of a groove 20b Tapered portion formed on the optical waveguide 3 side among the side surfaces formed in the horizontal direction with respect to the bottom surface 21a Taper formed on the optical waveguides 1a and 1b side among the side surfaces formed in the direction perpendicular to the bottom surface of the groove Portion 21b Tapered portion formed on the optical waveguide 3 side out of the side surfaces formed in the direction perpendicular to the bottom surface of the groove 22 Out of the side surfaces formed in the direction perpendicular to the bottom surface of the groove on the side of the optical waveguides 1a and 1b Side surface 23 Side surface on the side of the optical waveguide 3 among the side surfaces formed in the direction perpendicular to the bottom surface of the groove 24 Crosses the optical waveguide among the side surfaces formed in the direction perpendicular to the bottom surface of the groove The other side 30 an optical waveguide substrate of the odd one side 25 the groove sides that not intersect the inner waveguide side formed in a direction perpendicular to the bottom surface of the side surface (Si substrate)
31 Blade 32a, 32b Of blades for forming a groove, a blade having a diameter smaller than that of the blade 31 33 Center portions of the blades 31, 32a, 32b

Claims (7)

基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入配置する光導波路基板において、
前記溝の少なくとも１つの側面が、前記溝の底面から見て水平方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、前記光導波路と交差する部分に位置する前記溝の幅よりも大きな幅を有することを特徴とする光導波路基板。 In the optical waveguide substrate in which a groove is formed so as to cross the optical waveguide in a part of the substrate, and an optical filter is inserted and disposed in the groove,
At least one side surface of the groove is tapered or rectangular in the horizontal direction when viewed from the bottom surface of the groove, and has a width larger than the width of the groove located at a portion intersecting the optical waveguide. An optical waveguide substrate characterized by the above. 基板の一部に光導波路と交わるように溝を形成し、前記溝中に光学フィルタを挿入配置する光導波路基板において、
前記溝の少なくとも１つの側面が、前記溝の底面から見て垂直方向にテーパー状若しくは矩形状となっており、前記溝の底面における溝幅よりも前記溝の上部における溝幅の方が大きいことを特徴とする光導波路基板。 In the optical waveguide substrate in which a groove is formed so as to cross the optical waveguide in a part of the substrate, and an optical filter is inserted and disposed in the groove,
At least one side surface of the groove is tapered or rectangular in the vertical direction when viewed from the bottom surface of the groove, and the groove width at the top of the groove is larger than the groove width at the bottom surface of the groove. An optical waveguide substrate characterized by the above. 前記光学フィルタが挿入配置される前記溝の側面の一部又は全面が平坦であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光導波路基板。   3. The optical waveguide substrate according to claim 1, wherein a part or the entire surface of the groove in which the optical filter is inserted and disposed is flat. 前記溝は、４面以上で形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の光導波路基板。   The optical waveguide substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the groove is formed of four or more surfaces. 前記溝は、直径の異なる複数のブレードを一体化したブレードを用いて形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の光導波路基板。   4. The optical waveguide substrate according to claim 1, wherein the groove is formed by using a blade in which a plurality of blades having different diameters are integrated. 5. 請求項１から５のいずれか１つに記載の光導波路基板を有することを特徴とする光送受信モジュール。   An optical transceiver module comprising the optical waveguide substrate according to claim 1. 請求項６に記載の光送受信モジュールを用いることを特徴とする光伝送装置。
An optical transmission device using the optical transceiver module according to claim 6.
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JPS56121569U (en) * 1980-02-12 1981-09-16
JPH10133041A (en) * 1996-10-29 1998-05-22 Hitachi Cable Ltd Waveguide with filter
JP3708306B2 (en) * 1997-10-06 2005-10-19 富士通株式会社 Wavelength division multiplexing optical device and manufacturing method thereof
JPH11352341A (en) * 1998-06-04 1999-12-24 Nec Corp Waveguide type wavelength multiplex light transmission and reception module
JP3549404B2 (en) * 1998-07-29 2004-08-04 日本電信電話株式会社 Method of manufacturing filter-inserted waveguide device

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