JP2005195509A - Carrier wave type strain measuring method - Google Patents

Carrier wave type strain measuring method Download PDF

Info

Publication number
JP2005195509A
JP2005195509A JP2004003354A JP2004003354A JP2005195509A JP 2005195509 A JP2005195509 A JP 2005195509A JP 2004003354 A JP2004003354 A JP 2004003354A JP 2004003354 A JP2004003354 A JP 2004003354A JP 2005195509 A JP2005195509 A JP 2005195509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
signal
amplifier
component
bridge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004003354A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3792229B2 (en
Inventor
Haruki Okano
晴樹 岡野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Sokki Kenkyujo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Sokki Kenkyujo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Sokki Kenkyujo Co Ltd filed Critical Tokyo Sokki Kenkyujo Co Ltd
Priority to JP2004003354A priority Critical patent/JP3792229B2/en
Publication of JP2005195509A publication Critical patent/JP2005195509A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3792229B2 publication Critical patent/JP3792229B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely detect actual resistance components accompanying changes in resistance values corresponding to stains of a strain gage, by compensating influences of phase shifts due to stray capacitance between connection lines connecting a bridge circuit with a measuring device, while compensating initial unbalance of the bridge circuit including the strain gage which is a resistive type. <P>SOLUTION: An initial unbalance compensating signal is input to an AC amplifier 11 so that an output voltage signal from the AC amplifier 11 inputting an output voltage signal eout from the bridge circuit 5 becomes zero in a non-strain state of the strain gage 1, and then a resistor 7 is connected to the bridge circuit 5. In above state, the amount of phase sift of the output voltage signal from the AC amplifier 11 in relation to AC supply voltage ein applied on the bridge circuit 5 is determined. When carrying out a strain measurement in such a state that the resistor 7 is disconnected from the bridge circuit 5, a signal component is detected as the resistance component, which has a phase difference from the AC supply voltage ein by the amount of phase sift being determined while inputting the initial unbalance compensating signal to the AC amplifier 11. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、抵抗式ひずみゲージを含むブリッジ回路の電源として交流電源電圧を用いる搬送波型ひずみ測定方法に関する。   The present invention relates to a carrier-type strain measurement method using an AC power supply voltage as a power supply for a bridge circuit including a resistance strain gauge.

物体に生じるひずみを抵抗式ひずみゲージ(ひずみに応じて抵抗値が変化するひずみゲージ)を用いて測定する場合、物体に貼着するひずみゲージの微小な抵抗値変化を検出するために、通常、そのひずみゲージを含むブリッジ回路(詳しくはホイートストンブリッジ回路)が用いられる。そして、このブリッジ回路に電源電圧を付与しつつ、ひずみゲージの抵抗値変化に応じた電圧信号をブリッジ回路から出力させ、この電圧信号を増幅してなる電圧信号に基づいてひずみ測定を行うようにしている。   When measuring strain generated in an object using a resistance-type strain gauge (a strain gauge whose resistance value changes according to the strain), in order to detect a minute resistance value change of the strain gauge attached to the object, A bridge circuit including the strain gauge (specifically a Wheatstone bridge circuit) is used. Then, while applying a power supply voltage to the bridge circuit, a voltage signal corresponding to a change in the resistance value of the strain gauge is output from the bridge circuit, and the strain measurement is performed based on the voltage signal obtained by amplifying the voltage signal. ing.

この場合、ブリッジ回路の電源電圧として、交流電圧を使用する搬送波型のひずみ測定方法が一般に知られている。この搬送波型のひずみ測定方法では、前記ブリッジ回路から出力される電圧信号、ひいてはこの電圧信号を交流増幅器で増幅してなる電圧信号は、電源電圧と同一周波数の搬送波(キャリア)をひずみゲージの抵抗値変化に応じて振幅変調したものとなり、この電圧信号(詳しくはその電圧信号のうちの抵抗成分)から、搬送波成分を除去することで、ひずみゲージの抵抗値変化に応じた測定値信号を得るようにしている。   In this case, a carrier wave type distortion measuring method using an AC voltage as a power supply voltage of the bridge circuit is generally known. In this carrier-type strain measurement method, the voltage signal output from the bridge circuit, and thus the voltage signal obtained by amplifying the voltage signal with an AC amplifier, uses a carrier having the same frequency as the power supply voltage as a resistance of the strain gauge. The amplitude modulation is performed according to the change in value, and the carrier wave component is removed from this voltage signal (specifically, the resistance component of the voltage signal) to obtain a measurement value signal corresponding to the change in the resistance value of the strain gauge. I am doing so.

ところで、ひずみゲージは通常、ブリッジ回路にリード線などの接続線を介して組み込まれる。また、ブリッジ回路は、これに電源電圧を付与したり、該ブリッジ回路の出力電圧信号を処理する測定器にリード線などの接続線を介して接続される。そして、これらの接続線は、測定環境等の制約上、比較的長いものとならざるを得ない場合が多々ある。この場合、交流電圧を使用する搬送波型のひずみ測定方法では、接続線間に存在する浮遊容量がブリッジ回路の出力電圧信号に影響を及ぼし、ひずみ測定の誤差要因となることが一般に知られている。また、ブリッジ回路に組み込まれる接続線の抵抗値もひずみ測定の誤差要因となることが一般に知られている。例えば、ひずみゲージのひずみが生じていない状態(無ひずみ状態)でも、ブリッジ回路に組み込まれる接続線の抵抗値や、浮遊容量の影響、あるいはそれらの変化の影響によってブリッジ回路の不平衡(初期不平衡)を生じ、該ブリッジ回路の出力電圧信号から測定されるひずみ値は0にならない。   By the way, a strain gauge is usually incorporated in a bridge circuit via a connecting wire such as a lead wire. The bridge circuit is connected to a measuring instrument that applies a power supply voltage to the bridge circuit or processes an output voltage signal of the bridge circuit via a connection line such as a lead wire. In many cases, these connection lines have to be relatively long due to restrictions on the measurement environment and the like. In this case, it is generally known that in the carrier wave type distortion measurement method using the AC voltage, the stray capacitance existing between the connection lines affects the output voltage signal of the bridge circuit and becomes an error factor of the distortion measurement. . Further, it is generally known that the resistance value of the connection line incorporated in the bridge circuit also becomes an error factor in strain measurement. For example, even when the strain gauge is not distorted (unstrained), the bridge circuit is unbalanced (initially unbalanced) due to the resistance value of the connection line incorporated in the bridge circuit, the effect of stray capacitance, or the effect of such changes. The distortion value measured from the output voltage signal of the bridge circuit does not become zero.

この場合、上記浮遊容量等によるブリッジ回路の初期不平衡の影響を補償する手法として、実願昭61−169454号のマイクロフィルム(特許文献1)に見られるものが知られている。この特許文献1の技術は、ひずみゲージの無ひずみ状態において、ブリッジ回路の出力電圧信号を入力する交流増幅器の出力電圧信号から抵抗成分と容量成分とを検波し、それらの成分を0にするような調整信号(抵抗成分および容量成分を打ち消すような調整信号)を、交流増幅器に付加的に入力するようにしたものである。なお、上記抵抗成分、容量成分は、それぞれ交流電圧信号を複素数表現したときの実数成分、虚数成分に相当するものであり、容量成分は、抵抗成分から90°の位相遅れを生じる信号成分である。かかる特許文献1の技術によれば、ブリッジ回路の初期不平衡の影響を補償することが可能である。   In this case, as a technique for compensating for the influence of the initial imbalance of the bridge circuit due to the stray capacitance or the like, a technique found in the microfilm (Patent Document 1) of Japanese Utility Model Application No. 61-169454 is known. The technique of Patent Document 1 detects a resistance component and a capacitance component from an output voltage signal of an AC amplifier that inputs an output voltage signal of a bridge circuit in a non-strained state of the strain gauge, and sets these components to zero. A simple adjustment signal (an adjustment signal that cancels the resistance component and the capacitance component) is additionally input to the AC amplifier. The resistance component and the capacitance component correspond to a real number component and an imaginary number component, respectively, when the AC voltage signal is expressed in complex numbers, and the capacitance component is a signal component that causes a phase delay of 90 ° from the resistance component. . According to the technique of Patent Document 1, it is possible to compensate for the influence of the initial unbalance of the bridge circuit.

一方、特許文献1に見られる技術のようにブリッジ回路の初期不平衡の影響を補償する手法では、前記交流増幅回路の出力電圧信号から、抵抗成分と容量成分とを検波する場合、ブリッジ回路の電源である交流電源電圧と同相の成分を抵抗成分として検波し、且つ、該交流電源電圧に対して90°の位相差(位相遅れ)を有する成分を容量成分として検波することが通例である。また、実際のひずみ測定時においても、ブリッジ回路の出力電圧信号のうち、ひずみ測定信号(ひずみゲージの抵抗値変化に応じた信号)の元となる抵抗成分は、交流電源電圧と同相の成分として検波するのが通例である。   On the other hand, in the technique for compensating for the effect of the initial imbalance of the bridge circuit as in the technique disclosed in Patent Document 1, when detecting the resistance component and the capacitance component from the output voltage signal of the AC amplifier circuit, Usually, a component having the same phase as the AC power supply voltage, which is a power source, is detected as a resistance component, and a component having a phase difference (phase lag) of 90 ° with respect to the AC power supply voltage is detected as a capacitive component. Even during actual strain measurement, the resistance component that is the source of the strain measurement signal (the signal corresponding to the change in the resistance value of the strain gauge) in the output voltage signal of the bridge circuit is in-phase with the AC power supply voltage. It is usual to detect.

しかしながら、このように抵抗成分の検波を行う測定手法では、実際のひずみ測定時における前記浮遊容量の影響を十分に排除することが困難であることが本願発明者等の検討により判明した。   However, the inventors of the present application have found that it is difficult to sufficiently eliminate the influence of the stray capacitance at the time of actual strain measurement in the measurement method for detecting the resistance component in this way.

すなわち、特許文献1に見られるような技術では、ひずみゲージの無ひずみ状態におけるブリッジ回路の見かけ上の出力電圧信号(交流増幅器の出力電圧信号から把握されるブリッジ回路の出力電圧信号)は、抵抗成分、容量成分ともに0にすることはできるものの、浮遊容量自体が無くなるわけではない。このため、実際のひずみ測定時においては、ブリッジ回路と測定器との間の接続線間の浮遊容量あるいはその変化の影響によって、ブリッジ回路の出力電圧信号、ひいては、交流増幅器の出力電圧信号はブリッジ回路に付与する交流電源電圧に対して位相ずれを生じる。そして、この位相ずれのために、交流増幅器の出力電圧信号のうち、交流電源電圧と同相の成分は、真の抵抗成分に対して誤差を生じる。したがって、この交流電源電圧と同相の成分を抵抗成分として検波しても、その抵抗成分から把握されるひずみ測定値は、浮遊容量の影響で誤差を伴うものとなっていた。
実願昭61−169454号のマイクロフィルム
That is, in the technique as seen in Patent Document 1, the apparent output voltage signal of the bridge circuit when the strain gauge is in an unstrained state (the output voltage signal of the bridge circuit grasped from the output voltage signal of the AC amplifier) Although both the component and the capacitive component can be set to 0, the stray capacitance itself is not eliminated. For this reason, during actual strain measurement, the output voltage signal of the bridge circuit, and hence the output voltage signal of the AC amplifier, is bridged due to the stray capacitance between the connection lines between the bridge circuit and the measuring instrument or the effect of the change. A phase shift occurs with respect to the AC power supply voltage applied to the circuit. Due to this phase shift, the component in phase with the AC power supply voltage in the output voltage signal of the AC amplifier causes an error with respect to the true resistance component. Therefore, even if a component having the same phase as the AC power supply voltage is detected as a resistance component, the measured strain value obtained from the resistance component is accompanied by an error due to the effect of stray capacitance.
Microfilm of actual application No. 61-169454

本発明はかかる背景に鑑みてなされたものであり、抵抗式ひずみゲージを含むブリッジ回路の初期不平衡の影響を補償しつつ、ブリッジ回路と測定器との間の接続線間の浮遊容量などによる位相のずれの影響を補償し、ひずみゲージのひずみに応じた抵抗値変化に伴う実際の抵抗成分を精度よく検波することができる搬送波型ひずみ測定方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a background, and compensates for the effect of the initial unbalance of the bridge circuit including the resistance type strain gauge, and by the stray capacitance between the connection lines between the bridge circuit and the measuring instrument. It is an object of the present invention to provide a carrier-type strain measurement method that can compensate for the effect of phase shift and accurately detect an actual resistance component accompanying a change in resistance value in accordance with a strain gauge strain.

本発明の搬送波型ひずみ測定方法は、かかる目的を達成するために、抵抗式ひずみゲージを含むブリッジ回路に交流電源電圧を付与しつつ、該ブリッジ回路の出力電圧信号を交流増幅器に入力して増幅すると共に、該交流増幅器の出力電圧信号から、前記交流電源電圧に対して所定の位相関係を有する信号成分を前記ブリッジ回路の抵抗値変化に応じた抵抗成分として検波し、その検波した抵抗成分から前記ひずみゲージのひずみ値に応じたひずみ測定信号を生成するようにした搬送波型ひずみ測定方法において、前記ひずみゲージの無ひずみ状態での前記ブリッジ回路の出力電圧信号を前記交流増幅器に入力しつつ、該交流増幅器の出力電圧信号の抵抗成分と該抵抗成分に対して90°の位相差を有する容量成分とが零になるように該交流増幅器に付加的に入力する初期不平衡補償信号を決定する初期不平衡調整ステップと、この初期不平衡補償信号の決定後に、前記ブリッジ回路に固定抵抗値の抵抗体を接続して、該ブリッジ回路の出力電圧信号と前記初期不平衡補償信号とを前記交流増幅器に入力しつつ、前記交流増幅器の出力電圧信号の前記交流電源電圧に対する位相のずれ量を決定する位相ずれ決定ステップとを備え、この位相ずれの決定後に、前記固定抵抗値の抵抗体を前記ブリッジ回路から切り離してひずみ測定を行う時に、前記交流増幅器の出力電圧信号のうち、前記位相ずれ決定ステップで決定したずれ量だけ前記交流電源電圧に対して位相差を有する信号成分を前記ブリッジ回路の抵抗値変化に応じた抵抗成分として検波するようにしたことを特徴とするものである。   In order to achieve this object, the carrier-type strain measurement method of the present invention amplifies the bridge circuit including a resistance strain gauge by applying an output voltage signal to the AC amplifier while applying an AC power supply voltage to the bridge circuit. And detecting a signal component having a predetermined phase relationship with respect to the AC power supply voltage from the output voltage signal of the AC amplifier as a resistance component corresponding to a change in the resistance value of the bridge circuit, and from the detected resistance component In the carrier-type strain measurement method that generates a strain measurement signal according to the strain value of the strain gauge, while inputting the output voltage signal of the bridge circuit in the unstrained state of the strain gauge to the AC amplifier, The AC component is such that the resistance component of the output voltage signal of the AC amplifier and the capacitance component having a phase difference of 90 ° with respect to the resistance component become zero. An initial unbalance adjustment step for determining an initial unbalance compensation signal to be additionally input to the width device; and after the initial unbalance compensation signal is determined, a resistor having a fixed resistance value is connected to the bridge circuit, A phase shift determination step for determining a phase shift amount of the output voltage signal of the AC amplifier with respect to the AC power supply voltage while inputting the output voltage signal of the circuit and the initial unbalance compensation signal to the AC amplifier; After the phase shift is determined, when the distortion is measured by separating the resistor having the fixed resistance value from the bridge circuit, the AC voltage is output by the shift amount determined in the phase shift determination step in the output voltage signal of the AC amplifier. A signal component having a phase difference with respect to a power supply voltage is detected as a resistance component according to a change in the resistance value of the bridge circuit. is there.

かかる本発明によれば、ひずみゲージの無ひずみ状態において前記初期不平衡調整ステップで決定した初期不平衡補償信号をブリッジ回路の出力電圧信号と共に前記交流増幅器に入力した状態では、該交流増幅器の出力電圧信号が零になるので、ひずみゲージをブリッジ回路に組み込むためのリード線間の浮遊容量や該リード線の抵抗値の影響が補償され、ブリッジ回路の初期平衡が採れた状態となる。そして、この状態で、前記位相ずれ決定ステップで、ブリッジ回路に抵抗体を接続したとき、該ブリッジ回路の抵抗値のみが変化するので、この抵抗体の接続時における交流増幅器の出力電圧信号は、ブリッジ回路の正味の抵抗値変化に応じた信号となる。この場合、該信号は、一般に、ブリッジ回路と交流増幅器とを接続する信号線等の浮遊容量の影響でブリッジ回路の交流電源電圧に対して位相ずれを生じ、その位相のずれ量が位相ずれステップにおいて決定される。   According to the present invention, in the state where the initial unbalance compensation signal determined in the initial unbalance adjustment step is input to the AC amplifier together with the output voltage signal of the bridge circuit in an unstrained state of the strain gauge, the output of the AC amplifier is output. Since the voltage signal becomes zero, the influence of the stray capacitance between the lead wires for incorporating the strain gauge into the bridge circuit and the resistance value of the lead wire is compensated, and the initial equilibrium of the bridge circuit is achieved. In this state, when a resistor is connected to the bridge circuit in the phase shift determination step, only the resistance value of the bridge circuit changes. Therefore, the output voltage signal of the AC amplifier when the resistor is connected is The signal corresponds to the net resistance value change of the bridge circuit. In this case, the signal generally has a phase shift with respect to the AC power supply voltage of the bridge circuit due to the influence of the stray capacitance such as a signal line connecting the bridge circuit and the AC amplifier, and the phase shift amount is a phase shift step. To be determined.

そして、ひずみ測定時には、前記抵抗体を切り離したブリッジ回路の出力電圧信号が入力される交流増幅器の出力電圧信号のうち、位相ずれ決定ステップで決定したずれ量だけブリッジ回路の交流電源電圧に対して位相差を有する信号成分が検波される。この場合、その検波する信号成分は、前記位相ずれステップでの交流増幅器の出力電圧信号、すなわち、ブリッジ回路の正味の抵抗値変化に応じた信号と同相の信号成分であるので(ブリッジ回路と交流増幅器とを接続する信号線などの浮遊容量の影響が補償される)、該信号成分は、ブリッジ回路の抵抗値変化(ひずみゲージの抵抗値変化)に応じた実際の抵抗成分となる。   At the time of strain measurement, the output voltage signal of the bridge circuit from which the resistor is disconnected is input to the AC power supply voltage of the bridge circuit by the shift amount determined in the phase shift determination step. A signal component having a phase difference is detected. In this case, the signal component to be detected is the output voltage signal of the AC amplifier in the phase shift step, that is, the signal component in phase with the signal corresponding to the net resistance value change of the bridge circuit (the bridge circuit and the AC component). The influence of stray capacitance such as a signal line connecting the amplifier is compensated), and the signal component becomes an actual resistance component corresponding to the resistance value change of the bridge circuit (resistance value change of the strain gauge).

従って、本発明の搬送波型ひずみ測定方法によれば、抵抗式ひずみゲージを含むブリッジ回路の初期不平衡の影響を補償しつつ、ブリッジ回路と測定器との間の接続線間の浮遊容量などによる位相のずれの影響を補償し、ひずみゲージのひずみに応じた抵抗値変化に伴う実際の抵抗成分を精度よく検波することができる。ひいては、その検波した抵抗成分から生成されるひずみ測定信号を基に、精度のよいひずみ測定を行うことができる。   Therefore, according to the carrier-type strain measurement method of the present invention, it is possible to compensate for the effect of the initial unbalance of the bridge circuit including the resistance type strain gauge, while depending on the stray capacitance between the connection lines between the bridge circuit and the measuring instrument. The effect of the phase shift can be compensated, and the actual resistance component accompanying the change in the resistance value corresponding to the strain of the strain gauge can be detected with high accuracy. As a result, accurate strain measurement can be performed based on the strain measurement signal generated from the detected resistance component.

かかる本発明では、前記位相ずれ決定ステップにおける交流増幅器の出力電圧信号から、前記交流電源電圧に対してある位相差を有する信号成分を検波するようにしつつ、その位相差を変化させるようにしたとき、その位相差が交流電源電圧と交流増幅器の出力電圧信号との位相差にほぼ合致したとき、検波される信号成分の直流成分がほぼ最大となる。あるいは、変化させる位相差が交流電源電圧に対して90°の位相差(位相遅れ)を有する任意の信号と交流増幅器の出力電圧信号との位相差にほぼ合致したとき、検波される信号成分の直流成分がほぼ0になる。   In the present invention, when the signal component having a phase difference with respect to the AC power supply voltage is detected from the output voltage signal of the AC amplifier in the phase shift determination step, the phase difference is changed. When the phase difference substantially matches the phase difference between the AC power supply voltage and the output voltage signal of the AC amplifier, the DC component of the detected signal component is substantially maximized. Alternatively, when the phase difference to be changed substantially matches the phase difference between an arbitrary signal having a phase difference (phase lag) of 90 ° with respect to the AC power supply voltage and the output voltage signal of the AC amplifier, the detected signal component The DC component becomes almost zero.

そこで、本発明では、前記位相ずれ決定ステップは、前記交流増幅器の出力電圧信号のうち、前記交流電源電圧に対して所定の位相差を有する信号成分を検波しつつ、該所定の位相差を変化させる可変位相検波ステップを備える。そして、該可変位相検波ステップで検波される信号成分の直流成分がほぼ最大となるときの前記所定の位相差を前記位相のずれ量として決定することが好ましい。あるいは、該可変位相検波ステップで検波される信号成分の直流成分がほぼ0になるときの前記所定の位相差と90°の位相差との差分を前記位相のずれ量として決定することが好ましい。   Therefore, in the present invention, the phase shift determination step changes the predetermined phase difference while detecting a signal component having a predetermined phase difference with respect to the AC power supply voltage in the output voltage signal of the AC amplifier. And a variable phase detection step. The predetermined phase difference when the DC component of the signal component detected in the variable phase detection step is substantially maximized is preferably determined as the phase shift amount. Alternatively, it is preferable that the difference between the predetermined phase difference and the 90 ° phase difference when the DC component of the signal component detected in the variable phase detection step is substantially 0 is determined as the phase shift amount.

このように前記位相のずれ量を決定することで、その位相のずれ量を容易に決定できる。また、前記可変位相検波ステップで検波される信号成分の直流成分を基に位相のずれ量を決定することで、ブリッジ回路の出力電圧信号に含まれることがあるノイズ成分の影響を少なくして、決定する位相のずれ量の信頼性を高めることができる。   By determining the phase shift amount in this way, the phase shift amount can be easily determined. Further, by determining the amount of phase shift based on the DC component of the signal component detected in the variable phase detection step, the influence of noise components that may be included in the output voltage signal of the bridge circuit is reduced, The reliability of the phase shift amount to be determined can be improved.

また、本発明では、前記位相ずれ決定ステップにおいて、前記ブリッジ回路のうち、前記ひずみゲージを含む辺以外の辺に前記抵抗体を並列に接続するようにしたことが好ましい。これによれば、ブリッジ回路に前記抵抗体を接続したり、切り離したりする上で必要となるスイッチの抵抗値がひずみ測定時にブリッジ回路の出力電圧信号に影響を及ぼすような事態を回避することができるので、該スイッチの抵抗値を考慮したりする必要がないと共に、該スイッチとして比較的安価なものを使用することができる。   In the present invention, it is preferable that in the phase shift determination step, the resistor is connected in parallel to a side of the bridge circuit other than the side including the strain gauge. According to this, it is possible to avoid a situation in which the resistance value of the switch necessary for connecting or disconnecting the resistor to the bridge circuit affects the output voltage signal of the bridge circuit during strain measurement. Therefore, it is not necessary to consider the resistance value of the switch, and a relatively inexpensive switch can be used.

本発明の第1実施形態を図1〜図7を参照して以下に説明する。図1は本実施形態におけるひずみ測定システムの全体構成を示すブロック図であり、図中、1はひずみに応じた抵抗値変化を生じる抵抗式ひずみゲージ、2はひずみゲージ1を接続するブリッジボックス、3はブリッジボックス2内に収容された回路との間で電源電圧や電気信号の送受を行うひずみ測定器である。   A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a strain measurement system in the present embodiment, in which 1 is a resistance strain gauge that causes a change in resistance value according to strain, 2 is a bridge box that connects the strain gauge 1, Reference numeral 3 denotes a strain measuring device that transmits and receives a power supply voltage and an electric signal to and from a circuit accommodated in the bridge box 2.

ブリッジボックス2には、固定抵抗値の抵抗体4a,4b,4cを直列に接続してなる抵抗回路が収容されており、この抵抗回路にひずみゲージ1をこれにあらかじめ結線されたリード線1a,1bを介して接続することで、該ひずみゲージ1を一辺に含むブリッジ回路5を構成するようにしている。この場合、抵抗体4a,4b,4cのそれぞれの抵抗値はひずみゲージ1の公称抵抗値(ひずみを生じていない状態での抵抗値)と同一の抵抗値とされている。そして、ブリッジボックス2のケーシングには、ブリッジ回路5の電源電圧ein(交流電圧)を外部から入力するための一対の電源入力端子6a,6bと、ブリッジ回路5の出力電圧信号eoutを外部に取り出すための一対の出力端子6c,6dが設けられ、これらの端子6a〜6dが、ブリッジボックス2内でブリッジ回路5に接続されている。   The bridge box 2 contains a resistance circuit formed by connecting resistors 4a, 4b, 4c having fixed resistance values in series, and a lead wire 1a, a strain wire 1 connected beforehand to the resistance circuit. By connecting via 1b, the bridge circuit 5 which comprises this strain gauge 1 in one side is comprised. In this case, each resistance value of the resistors 4a, 4b, and 4c is set to the same resistance value as the nominal resistance value of the strain gauge 1 (resistance value in a state where no strain is generated). The casing of the bridge box 2 takes out a pair of power input terminals 6a and 6b for inputting the power supply voltage ein (alternating voltage) of the bridge circuit 5 from the outside and the output voltage signal eout of the bridge circuit 5 to the outside. A pair of output terminals 6 c and 6 d are provided, and these terminals 6 a to 6 d are connected to the bridge circuit 5 in the bridge box 2.

さらに、ブリッジボックス2の内部では、ブリッジ回路5の一辺、例えば抵抗体4bにより構成された辺に、スイッチ7を介して固定抵抗値の抵抗体8が並列接続されている。このスイッチ7は、本実施形態では、ラッチリレー(自己保持型のリレー)の接点スイッチであり、該スイッチ7をソレノイド9aを介して開閉駆動するリレー駆動回路9がブリッジボックス2に内臓されている。そして、リレー駆動回路8を外部から動作制御するための一対の制御端子6e,6fがスイッチボックス2のケーシングに設けられ、これらの制御端子6e,6fがリレー駆動回路9に導通している。なお、スイッチ7は、初期状態では開成している。   Further, inside the bridge box 2, a resistor 8 having a fixed resistance value is connected in parallel via a switch 7 to one side of the bridge circuit 5, for example, a side constituted by the resistor 4 b. In this embodiment, the switch 7 is a contact switch of a latch relay (self-holding type relay), and a relay drive circuit 9 that opens and closes the switch 7 via a solenoid 9a is built in the bridge box 2. . A pair of control terminals 6 e and 6 f for controlling the operation of the relay drive circuit 8 from the outside are provided in the casing of the switch box 2, and these control terminals 6 e and 6 f are electrically connected to the relay drive circuit 9. The switch 7 is opened in the initial state.

ひずみ測定器3は、前記端子6a〜6fに接続ケーブル10を介して接続されている。この接続ケーブル10は、ブリッジボックス2の電源入力端子6a,6bに接続された一対の信号線10a,10bと、前記出力端子6c,6dに接続された一対の電源線10c,10dと、前記制御端子6e,6fに接続された一対の制御信号線10e,10fを含んでおり、これらの導線10a〜10fを図示しないチューブやバンドにより束ねて構成されている。   The strain measuring instrument 3 is connected to the terminals 6a to 6f via a connection cable 10. The connection cable 10 includes a pair of signal lines 10a and 10b connected to the power input terminals 6a and 6b of the bridge box 2, a pair of power lines 10c and 10d connected to the output terminals 6c and 6d, and the control. A pair of control signal lines 10e and 10f connected to the terminals 6e and 6f is included, and the conducting wires 10a to 10f are bundled by a tube or a band (not shown).

前記ひずみ測定器3は、前記ブリッジ回路5の出力電圧信号eoutを入力する交流増幅器11を備えると共に、ブリッジ回路5の電源電圧ein(交流電圧)の周波数と同一周波数の正弦波信号を発生する発振回路12と、その正弦波信号を増幅してなるブリッジ回路5の電源電圧ein(以下、ブリッジ電源電圧einという)を出力するブリッジ電源出力回路13とを備えている。図2では詳細な図示を省略するが、交流増幅器11は、その入力側が前記接続ケーブル10の一対の信号線10c,10d(図1参照)を介して前記ブリッジ回路5に接続され、該信号線10c,10dを介してブリッジ回路5の出力電圧信号eoutが入力される。また、ブリッジ電源出力回路13は、その出力側が、前記接続ケーブル10の一対の電源線10a,10b(図1参照)を介してブリッジ回路5に接続され、該電源線10a,10bを介してブリッジ電源電圧einをブリッジ回路5に付与する。   The strain measuring device 3 includes an AC amplifier 11 for inputting the output voltage signal eout of the bridge circuit 5 and generates an sine wave signal having the same frequency as the frequency of the power supply voltage ein (AC voltage) of the bridge circuit 5. A circuit 12 and a bridge power supply output circuit 13 that outputs a power supply voltage ein of the bridge circuit 5 (hereinafter referred to as a bridge power supply voltage ein) obtained by amplifying the sine wave signal are provided. Although the detailed illustration is omitted in FIG. 2, the AC amplifier 11 has an input side connected to the bridge circuit 5 via a pair of signal lines 10 c and 10 d (see FIG. 1) of the connection cable 10. The output voltage signal eout of the bridge circuit 5 is input via 10c and 10d. The output side of the bridge power supply output circuit 13 is connected to the bridge circuit 5 via a pair of power supply lines 10a and 10b (see FIG. 1) of the connection cable 10, and bridged via the power supply lines 10a and 10b. A power supply voltage ein is applied to the bridge circuit 5.

また、ひずみ測定器3は、交流増幅器11の出力電圧信号から後述する0°基準位相信号と同相の信号成分を抵抗成分(0°位相成分)として検波する0°位相検波回路14と、上記0°基準位相信号に対して90°の位相差(位相遅れ)を有する90°基準位相信号と同相の信号成分を容量成分(90°位相成分)として検波する90°位相検波回路15と、これらの位相検波回路14,15で検波された信号成分からそれぞれブリッジ電源電圧と同一の周波数を含む高周波成分を除去する(直流成分を抽出する)ローパスフィルタ16,17と、0°位相検波回路14側のローパスフィルタ16の出力(直流成分)を増幅する直流増幅器18と、この直流増幅器18の出力をひずみゲージ1のひずみ値(ひずみゲージ1を貼着する測定対象物体のひずみ値)を示すひずみ測定信号として外部に出力する出力回路19と、前記ブリッジ電源出力回路13の出力(ブリッジ電源電圧ein)を基に前記0°基準位相信号を発生する位相調整回路20と、この位相調整回路20が発生する0°基準位相信号の位相を90°ずらす(90°遅らせる)ことで、前記90°基準位相信号を発生する移相回路21とを備えている。   In addition, the distortion measuring instrument 3 includes a 0 ° phase detection circuit 14 that detects a signal component in phase with a later-described 0 ° reference phase signal from the output voltage signal of the AC amplifier 11 as a resistance component (0 ° phase component), and the 0 A 90 ° phase detection circuit 15 that detects a signal component in phase with the 90 ° reference phase signal having a 90 ° phase difference (phase lag) with respect to the reference phase signal as a capacitive component (90 ° phase component), and these Low-pass filters 16 and 17 for removing high-frequency components including the same frequency as the bridge power supply voltage from the signal components detected by the phase detection circuits 14 and 15 (extracting DC components), and the 0 ° phase detection circuit 14 side A DC amplifier 18 that amplifies the output (DC component) of the low-pass filter 16, and the output of the DC amplifier 18 is the strain value of the strain gauge 1 (measurement object to which the strain gauge 1 is attached). An output circuit 19 that outputs to the outside as a strain measurement signal indicating a strain value), a phase adjustment circuit 20 that generates the 0 ° reference phase signal based on the output of the bridge power supply output circuit 13 (bridge power supply voltage ein), And a phase shift circuit 21 that generates the 90 ° reference phase signal by shifting the phase of the 0 ° reference phase signal generated by the phase adjustment circuit 20 by 90 ° (delaying by 90 °).

ここで、前記位相調整回路20が発生する0°基準位相信号および移相回路21が発生する90°基準位相信号は、それぞれ図3の2段目、3段目のグラフで示すような矩形波であり、その周波数はブリッジ電源電圧einと同一である。そして、0°位相検波回路14は、0°基準位相信号のレベルが正のレベルである期間では、交流増幅器11の出力電圧信号をそのまま出力し、0°基準位相信号のレベルが負のレベルである期間では、交流増幅器11の出力電圧信号の極性を反転させて出力するようにしている。同様に、90°位相検波回路15は、90°基準位相信号のレベルが正のレベルである期間では、交流増幅器11の出力電圧信号をそのまま出力し、0°基準位相信号のレベルが負のレベルである期間では、交流増幅器11の出力電圧信号の極性を反転させて出力するようにしている。   Here, the 0 ° reference phase signal generated by the phase adjustment circuit 20 and the 90 ° reference phase signal generated by the phase shift circuit 21 are rectangular waves as shown in the second and third graphs of FIG. 3, respectively. The frequency is the same as the bridge power supply voltage ein. The 0 ° phase detection circuit 14 outputs the output voltage signal of the AC amplifier 11 as it is while the level of the 0 ° reference phase signal is a positive level, and the level of the 0 ° reference phase signal is a negative level. In a certain period, the polarity of the output voltage signal of the AC amplifier 11 is inverted and output. Similarly, the 90 ° phase detection circuit 15 outputs the output voltage signal of the AC amplifier 11 as it is while the level of the 90 ° reference phase signal is positive, and the level of the 0 ° reference phase signal is negative. During this period, the polarity of the output voltage signal of the AC amplifier 11 is inverted and output.

例えば、図3の1段目(最上段)のグラフで例示する交流増幅器11の出力電圧信号(この例では正弦波)が0°基準位相信号および90°基準位相信号と図示のような位相関係にあるとき(図3の例では、交流増幅器11の出力電圧信号と0°基準位相信号とは同相である)、0°位相検波回路14の出力、90°位相検波回路15の出力はそれぞれ図3の4段目、5段目のグラフで示すような波形の信号となる。また、例えば図4の1段目(最上段)のグラフで例示する交流増幅器11の出力電圧信号(この例では正弦波)が0°基準位相信号および90°基準位相信号と図示のような位相関係にあるとき(図4の例では、交流増幅器11の出力電圧信号は、0°基準位相信号に対して角度α°の位相遅れを生じている)、0°位相検波回路14の出力、90°位相検波回路15の出力はそれぞれ図4の4段目、5段目のグラフで示すような波形の信号となる。   For example, the output voltage signal (in this example, a sine wave) of the AC amplifier 11 illustrated in the graph of the first stage (uppermost stage) in FIG. 3 has a phase relationship as illustrated with the 0 ° reference phase signal and the 90 ° reference phase signal. 3 (in the example of FIG. 3, the output voltage signal of the AC amplifier 11 and the 0 ° reference phase signal are in phase), the output of the 0 ° phase detection circuit 14 and the output of the 90 ° phase detection circuit 15 are respectively shown in FIG. 3 is a signal having a waveform as shown in the fourth and fifth graphs. Further, for example, the output voltage signal (sinusoidal wave in this example) of the AC amplifier 11 illustrated in the graph of the first stage (uppermost stage) in FIG. 4 has a phase as shown in FIG. When there is a relationship (in the example of FIG. 4, the output voltage signal of the AC amplifier 11 has a phase delay of an angle α ° with respect to the 0 ° reference phase signal), the output of the 0 ° phase detection circuit 14, 90 The output of the phase detection circuit 15 is a signal having a waveform as shown in the fourth and fifth graphs of FIG.

なお、一般的に周期信号の位相は、その信号の角周波数と時間(ある任意の時刻0からの経過時間)との積に、時刻0における初期位相を加算したものであるから、図3の横軸位相の値を表す軸であると共に、時間軸でもある。   In general, the phase of the periodic signal is obtained by adding the initial phase at time 0 to the product of the angular frequency of the signal and time (elapsed time from an arbitrary time 0). It is an axis representing the value of the horizontal axis phase and also a time axis.

補足すると、ひずみ測定器3からブリッジ回路5までの全回路が抵抗成分のみにより構成されており、あるいは、その全回路の容量成分が抵抗成分に比して十分に小さいと仮定した場合、交流増幅器11に入力するブリッジ回路5の出力電圧信号eout(以下、ブリッジ出力eoutということがある)、ひいては交流増幅器11の出力電圧信号は、前記ブリッジ電源出力回路13が発生するブリッジ電源電圧einとほぼ同相の信号になる。従って、位相調整回路20からブリッジ電源電圧einと同相の0°基準位相信号を発生するようにすれば、0°位相検波回路14の出力は、ブリッジ回路5の抵抗値変化に応じた抵抗成分となる。但し、特に、前記ひずみゲージ1とブリッジボックス2との間のリード線1a,1bが長い場合には、そのリード線1a,1b間の浮遊容量がブリッジ回路5に実質的に組み込まれることとなる。また、ブリッジボックス2とひずみ測定器3との間の接続ケーブル10が長い場合には、この接続ケーブル10の信号線10c,10dの間や電源線10a,10bの間にも浮遊容量が組み込まれることとなる。そして、これらの浮遊容量の影響によって、ブリッジ出力eout、ひいては交流増幅器11の出力電圧信号のうちの、ブリッジ回路5の抵抗値変化に応じた抵抗成分は、ブリッジ電源電圧einに対して位相のずれを生じる。従って、交流増幅器11の出力電圧信号から、ブリッジ回路5の抵抗値変化のみに起因する真の抵抗成分(またはそれとほぼ同等の抵抗成分)を0°位相検波回路14で抽出するためには、前記0°基準位相信号の位相をブリッジ電源電圧einの位相に対して適切にずらしてやる必要がある。このため、前記位相調整回路20は、後述する位相コントロール回路28からの指令信号を受けて、ブリッジ電源電圧einに対する0°基準位相信号の位相を調整し得るようになっている。   Supplementally, when it is assumed that the entire circuit from the strain measuring device 3 to the bridge circuit 5 is configured only by the resistance component, or the capacitance component of the entire circuit is sufficiently smaller than the resistance component, the AC amplifier 11, the output voltage signal eout of the bridge circuit 5 (hereinafter sometimes referred to as the bridge output eout) and the output voltage signal of the AC amplifier 11 are substantially in phase with the bridge power supply voltage ein generated by the bridge power supply output circuit 13. Signal. Therefore, if a 0 ° reference phase signal having the same phase as the bridge power supply voltage ein is generated from the phase adjustment circuit 20, the output of the 0 ° phase detection circuit 14 is a resistance component corresponding to the resistance value change of the bridge circuit 5. Become. However, especially when the lead wires 1a and 1b between the strain gauge 1 and the bridge box 2 are long, the stray capacitance between the lead wires 1a and 1b is substantially incorporated in the bridge circuit 5. . Further, when the connection cable 10 between the bridge box 2 and the strain measuring instrument 3 is long, stray capacitance is also incorporated between the signal lines 10c and 10d of the connection cable 10 and between the power supply lines 10a and 10b. It will be. Due to the influence of these stray capacitances, the resistance component corresponding to the change in the resistance value of the bridge circuit 5 out of the bridge output eout and the output voltage signal of the AC amplifier 11 is shifted in phase with respect to the bridge power supply voltage ein. Produce. Therefore, in order to extract from the output voltage signal of the AC amplifier 11 the true resistance component (or resistance component substantially equivalent thereto) caused by only the resistance value change of the bridge circuit 5 by the 0 ° phase detection circuit 14, It is necessary to appropriately shift the phase of the 0 ° reference phase signal with respect to the phase of the bridge power supply voltage ein. Therefore, the phase adjustment circuit 20 can adjust the phase of the 0 ° reference phase signal with respect to the bridge power supply voltage ein in response to a command signal from a phase control circuit 28 described later.

さらに、ひずみ測定器3は、0°位相検波回路14側のローパスフィルタ16の出力(直流成分)がほぼ0であるか否か(より詳しくは、ローパスフィルタ16の出力レベルが0近傍の所定の範囲内に収まっているか否か)を判断する判別回路22(以下、0°位相側判別回路22という)と、この0°位相側判別回路22の出力と位相調整回路20が発生する0°基準位相信号とを基に、交流増幅器11に付加的に入力する初期不平衡補償信号(詳細は後述する)を発生する0°位相バランス回路23を制御するバランスコントロール回路24と、90°位相検波回路15側のローパスフィルタ17の出力(直流成分)がほぼ0であるか否か(より詳しくは、ローパスフィルタ17の出力レベルが0近傍の所定の範囲内に収まっているか否か)を判断する判別回路25(以下、90°位相側判別回路25という)と、この90°位相側判別回路25の出力と移相回路21が発生する90°基準位相信号とを基に、交流増幅器11に付加的に入力する初期不平衡補償信号(詳細は後述する)を発生する90°位相バランス回路26を制御するバランスコントロール回路27と、90°位相側判別回路25の出力に応じて位相調整回路20に0°基準位相信号の位相を調整するための指令信号を出力する位相コントロール回路28とを備えている。補足すると、0°位相側判別回路22および90°位相側判別回路25がそれぞれバランスコントロール回路24,27に出力する信号には、各ローパスフィルタ16,17の出力レベルを示す信号も含まれる。   Further, the distortion measuring device 3 determines whether or not the output (DC component) of the low-pass filter 16 on the 0 ° phase detection circuit 14 side is substantially 0 (more specifically, the output level of the low-pass filter 16 is a predetermined value near 0). Discriminating circuit 22 (hereinafter referred to as “0 ° phase side discriminating circuit 22”), and the output of this 0 ° phase side discriminating circuit 22 and the 0 ° reference generated by the phase adjusting circuit 20 A balance control circuit 24 for controlling a 0 ° phase balance circuit 23 for generating an initial unbalance compensation signal (details will be described later) additionally inputted to the AC amplifier 11 based on the phase signal, and a 90 ° phase detection circuit Whether or not the output (DC component) of the 15th low-pass filter 17 is substantially 0 (more specifically, whether or not the output level of the low-pass filter 17 is within a predetermined range near 0) The AC amplifier 11 is based on a determination circuit 25 for determination (hereinafter, referred to as a 90 ° phase side determination circuit 25), an output of the 90 ° phase side determination circuit 25, and a 90 ° reference phase signal generated by the phase shift circuit 21. A balance control circuit 27 for controlling the 90 ° phase balance circuit 26 for generating an initial unbalance compensation signal (details will be described later) to be additionally input to the phase shifter, and a phase adjustment circuit according to the output of the 90 ° phase side discrimination circuit 25 20 includes a phase control circuit 28 that outputs a command signal for adjusting the phase of the 0 ° reference phase signal. Supplementally, the signals output from the 0 ° phase side discrimination circuit 22 and the 90 ° phase side discrimination circuit 25 to the balance control circuits 24 and 27 include signals indicating the output levels of the low-pass filters 16 and 17, respectively.

また、ひずみ測定器3には、ブリッジボックス2のリレー駆動回路9の制御信号を前記接続ケーブル10の制御信号線10e,10f(図1参照)を介して該リレー駆動回路9に出力するリレー制御回路29と、ひずみ測定器3内の各回路に動作用電源を供給する電源回路30とが備えられている。電源回路30は、外部の交流電源あるいは電池から各回路の動作用電源を生成する。   Further, the strain measuring device 3 outputs a control signal for the relay drive circuit 9 of the bridge box 2 to the relay drive circuit 9 via the control signal lines 10e and 10f (see FIG. 1) of the connection cable 10. A circuit 29 and a power supply circuit 30 that supplies power for operation to each circuit in the strain measuring instrument 3 are provided. The power supply circuit 30 generates an operation power supply for each circuit from an external AC power supply or a battery.

次に、実施形態の装置の作動を説明する。まず、ひずみ測定を開始しようとするとき、ブリッジ回路5の初期不平衡を補償するための処理(以下、初期不平衡補償処理という)をひずみ測定器3の所要の動作によって行う。ひずみ測定を開始する前のひずみゲージ1が無ひずみ状態であっても、前記リード線1a,1bの抵抗値やこれらのリード線1a,1b間の浮遊容量の影響によって、一般には、ブリッジ回路5が不平衡状態となっており、ブリッジ回路5にブリッジ電源電圧einを付与した状態でのブリッジ出力eoutは一般には0にならない。この場合、ひずみゲージ1が無ひずみ状態であっても、ブリッジ出力eoutからひずみ測定器3の交流増幅器11、0°位相検波回路14およびローパスフィルタ16を介して得られる直流電圧のレベルは0にならないので、この直流電圧から把握されるひずみ測定値に誤差を生じることとなる。このような不具合を解消するための処理が前記初期不平衡補償処理であり、この処理は、本発明における初期不平衡調整ステップに相当するものである。   Next, the operation of the apparatus of the embodiment will be described. First, when starting strain measurement, processing for compensating for the initial unbalance of the bridge circuit 5 (hereinafter referred to as initial unbalance compensation processing) is performed by a required operation of the strain measuring device 3. Even if the strain gauge 1 before starting the strain measurement is in an unstrained state, the bridge circuit 5 is generally affected by the resistance value of the lead wires 1a and 1b and the stray capacitance between these lead wires 1a and 1b. Is in an unbalanced state, and the bridge output eout generally does not become zero when the bridge power supply voltage ein is applied to the bridge circuit 5. In this case, the level of the DC voltage obtained from the bridge output eout through the AC amplifier 11, the 0 ° phase detection circuit 14 and the low-pass filter 16 from the bridge output eout is 0 even when the strain gauge 1 is in an unstrained state. Therefore, an error occurs in the measured strain value obtained from the DC voltage. The process for eliminating such a problem is the initial unbalance compensation process, and this process corresponds to the initial unbalance adjustment step in the present invention.

この初期不平衡補償処理を以下に詳説すると、まず、ひずみ測定を開始しようとするときの、ひずみゲージ1の無ひずみ状態において、ひずみ測定器3の図示しない操作パネル等の所定の操作によって、ブリッジ電源出力回路13からブリッジ電源電圧eoutが出力され、それがブリッジ回路5に付与される。そして、この時のブリッジ出力eout(以下、これを初期不平衡ブリッジ出力eoutということがある)がひずみ測定器3の交流増幅器11で増幅された後、0°位相検波回路14および90°位相検波回路15に入力される。この場合、0°位相検波回路14には、ブリッジ電源出力回路13が出力しているブリッジ電源電圧einと同相の0°基準位相信号が位相調整回路20から与えられ、また、90°位相検波回路15には、0°基準位相信号に対して90°の位相差(位相遅れ)を有する、すなわちブリッジ電源電圧einに対して90°の位相遅れを有する90°基準位相信号が移相回路21から与えられる。従って、0°位相検波回路14は、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応(比例)する交流増幅器11の出力電圧信号のうち、ブリッジ電源電圧einと同相の信号成分を検波し、90°位相検波回路15は、交流増幅器11のうち、ブリッジ電源電圧einに対して90°の位相遅れを有する信号成分を検波することとなる。   The initial unbalance compensation process will be described in detail below. First, in the unstrained state of the strain gauge 1 when the strain measurement is to be started, the bridge is operated by a predetermined operation such as an operation panel (not shown) of the strain measuring instrument 3. A bridge power supply voltage eout is output from the power supply output circuit 13 and applied to the bridge circuit 5. Then, after the bridge output eout at this time (hereinafter sometimes referred to as initial unbalanced bridge output eout) is amplified by the AC amplifier 11 of the strain measuring device 3, the 0 ° phase detection circuit 14 and the 90 ° phase detection are performed. Input to the circuit 15. In this case, the 0 ° phase detection circuit 14 is provided with a 0 ° reference phase signal in phase with the bridge power supply voltage ein output from the bridge power supply output circuit 13 from the phase adjustment circuit 20, and the 90 ° phase detection circuit. 15, a 90 ° reference phase signal having a phase difference (phase lag) of 90 ° with respect to the 0 ° reference phase signal, that is, a phase lag of 90 ° with respect to the bridge power supply voltage ein is output from the phase shift circuit 21. Given. Therefore, the 0 ° phase detection circuit 14 detects a signal component in phase with the bridge power supply voltage ein from the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding (proportional) to the initial unbalanced bridge output eout, and the 90 ° phase detection circuit. 15 detects a signal component having a phase lag of 90 ° with respect to the bridge power supply voltage ein in the AC amplifier 11.

この動作を図6の複素平面上のベクトル図で説明すると、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号を複素表現したときのベクトルは例えば図中のV0で表される。ここで、同図中の実軸1(実数軸1)は、ブリッジ電源電圧einと同相の軸であり、虚軸1(虚数軸1)はブリッジ電源電圧einに対して90°の位相差を有する軸である。ベクトルV0の大きさ(長さ)が初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号の振幅に相当し、実軸1に対するベクトルV0の角度αが交流増幅器11の出力電圧信号のブリッジ電源電圧einに対する位相差(位相の遅れ分)に相当する。位相差αは、主に、前記リード線1a,1bの間の浮遊容量や、前記接続ケーブル10の信号線10c,10dの間の浮遊容量、電源線10a,10bの間の浮遊容量などの容量成分によって発生する位相差である。なお、同図中の実軸2および虚軸2については後述する。   This operation will be described with reference to a vector diagram on the complex plane in FIG. 6. A vector when the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout is expressed in a complex manner is represented by V0 in the figure, for example. Here, the real axis 1 (real axis 1) in the figure is an axis in phase with the bridge power supply voltage ein, and the imaginary axis 1 (imaginary axis 1) has a phase difference of 90 ° with respect to the bridge power supply voltage ein. It is an axis that has. The magnitude (length) of the vector V0 corresponds to the amplitude of the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout, and the angle α of the vector V0 with respect to the real axis 1 is the output voltage signal of the AC amplifier 11. This corresponds to a phase difference (phase delay) with respect to the bridge power supply voltage ein. The phase difference α is mainly a capacitance such as a stray capacitance between the lead wires 1a and 1b, a stray capacitance between the signal lines 10c and 10d of the connection cable 10, and a stray capacitance between the power supply lines 10a and 10b. It is a phase difference generated by a component. The real axis 2 and imaginary axis 2 in the figure will be described later.

この場合、0°位相基準信号はブリッジ電源電圧einと同相であるので、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号のうち、前記0°位相検波回路14で検波される信号成分は、ベクトルV0の、実軸1方向の成分ベクトルV0xであり、前記90°位相検波回路15で検波される信号成分は、ベクトルV0の、虚軸1方向の成分ベクトルV0yである。   In this case, since the 0 ° phase reference signal is in phase with the bridge power supply voltage ein, the signal detected by the 0 ° phase detection circuit 14 out of the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout. The component is the component vector V0x of the vector V0 in the real axis 1 direction, and the signal component detected by the 90 ° phase detection circuit 15 is the component vector V0y of the vector V0 in the imaginary axis 1 direction.

初期不平衡補償処理では、上述のように初期不平衡ブリッジ出力eoutが交流増幅器11に入力されつつ、バランスコントロール回路24が、判別回路22で判別される0°位相側ローパスフィルタ16の出力(直流成分)のレベルが0になるように、換言すれば、交流増幅器11の出力電圧信号のうち、ブリッジ電源電圧einと同相の信号成分(0°位相成分)、ひいては0°位相検波回路14の出力が定常的に0レベルの信号になるように、0°位相バランス回路23から初期不平衡補償信号(以下、0°位相初期不平衡補償信号という)を交流増幅器11に付加的に入力させる。この動作は、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号としての図6のベクトルV0の実軸1方向の成分ベクトルV0xと180°位相の異なるベクトルVb0x、すなわち、成分ベクトルV0xと重畳(加算)したときに該成分ベクトルV0xを打ち消すようなベクトルVb0xの出力電圧信号を交流増幅器11の出力側に発生させる信号を、0°位相初期不平衡補償信号として交流増幅器11に付加的に入力することを意味している。この場合、0°位相初期不平衡補償信号の大きさ(振幅)は、判別回路22からバランスコントロール回路24に与えられる0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルに応じて決定され、該補償信号の位相は、0°基準位相信号に対して180°の位相差を有するように決定される。より具体的には、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号が前記図4に例示したように0°基準位相信号に対して角度αの位相遅れを有する場合、交流増幅器11の出力電圧信号の0°位相成分(ブリッジ電源電圧einと同相の成分)は、図5の第4段目のグラフに実線で示すような波形となる。このとき、0°位相初期不平衡補償信号は、同図の第4段面のグラフに2点鎖線で示すように、実線の波形と180°の位相差を有する波形の信号となる。   In the initial unbalance compensation processing, the initial unbalanced bridge output eout is input to the AC amplifier 11 as described above, and the balance control circuit 24 outputs the output (DC) of the 0 ° phase side low-pass filter 16 determined by the determination circuit 22. In other words, in the output voltage signal of the AC amplifier 11, the signal component in phase with the bridge power supply voltage ein (0 ° phase component), and thus the output of the 0 ° phase detection circuit 14 is set so that the level of the component) becomes 0. , The initial unbalance compensation signal (hereinafter referred to as the 0 ° phase initial unbalance compensation signal) is additionally inputted to the AC amplifier 11 from the 0 ° phase balance circuit 23 so that the signal becomes a zero level signal. This operation is performed as follows. The component vector V0x in the direction of the real axis 1 of the vector V0 in FIG. 6 as the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout is a vector Vb0x that is 180 degrees out of phase, that is, the component vector V0x. A signal for generating an output voltage signal of the vector Vb0x on the output side of the AC amplifier 11 that cancels the component vector V0x when superimposed on (added) is added to the AC amplifier 11 as a 0 ° phase initial unbalance compensation signal. Means to enter. In this case, the magnitude (amplitude) of the 0 ° phase initial unbalance compensation signal is determined in accordance with the output level of the 0 ° phase side low-pass filter 16 provided from the discrimination circuit 22 to the balance control circuit 24, and The phase is determined to have a phase difference of 180 ° with respect to the 0 ° reference phase signal. More specifically, when the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout has a phase delay of an angle α with respect to the 0 ° reference phase signal as illustrated in FIG. The 0 ° phase component of the output voltage signal 11 (the component having the same phase as the bridge power supply voltage ein) has a waveform as shown by the solid line in the fourth graph of FIG. At this time, the 0 ° phase initial unbalance compensation signal is a signal having a waveform having a phase difference of 180 ° with the waveform of the solid line, as indicated by a two-dot chain line in the graph of the fourth step surface of FIG.

なお、本実施形態においては、初期不平衡補償処理では、0°位相側ローパスフィルタ16の出力は、判別回路22にのみ入力され、直流増幅器18には入力されないようになっている。これは後述する位相ずれ補償処理においても同様である。   In the present embodiment, in the initial unbalance compensation process, the output of the 0 ° phase side low-pass filter 16 is input only to the discrimination circuit 22 and is not input to the DC amplifier 18. The same applies to the phase shift compensation process described later.

上記したバランスコントロール回路24の制御処理が実行されるのと並行して、これと同様の制御処理がバランスコントロール回路27でも実行される。すなわち、バランスコントロール回路27は、判別回路25で判別される90°位相側ローパスフィルタ17の出力(直流成分)のレベルが0になるように、換言すれば、交流増幅器11の出力電圧信号のうち、ブリッジ電源電圧einに対して90°の位相遅れを有する信号成分(90°位相成分)、ひいては90°位相検波回路15の出力が定常的に0レベルの信号になるように、90°位相バランス回路26から初期不平衡補償信号(以下、90°位相初期不平衡補償信号という)を交流増幅器11に付加的に入力させる。この動作は、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号としての図6のベクトルV0の虚軸1方向の成分ベクトルV0yと180°位相の異なるベクトルVb0y、すなわち、成分ベクトルV0yと重畳(加算)したときに該成分ベクトルV0yを打ち消すようなベクトルVb0yの出力電圧信号を交流増幅器11の出力側に発生させる信号を、90°位相初期不平衡補償信号として交流増幅器11に付加的に入力することを意味している。この場合、90°位相初期不平衡補償信号の大きさ(振幅)は、判別回路25からバランスコントロール回路27に与えられる0°位相側ローパスフィルタ17の出力レベルに応じて決定され、該補償信号の位相は、90°基準位相信号に対して180°の位相差を有するように決定される。より具体的には、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号が前記図4に例示したように0°基準位相信号に対して角度αの位相遅れを有する場合、交流増幅器11の出力電圧信号の90°位相成分(ブリッジ電源電圧einに対して90°の位相遅れを有する成分)は、図5の第5段目のグラフに実線で示すような波形となる。このとき、0°位相初期不平衡補償信号は、同図の第5段面のグラフに2点鎖線で示すように、実線の波形と180°の位相差を有する波形の信号となる。   In parallel with the above-described control process of the balance control circuit 24 being executed, the same control process is also executed in the balance control circuit 27. That is, the balance control circuit 27 is set so that the level of the output (DC component) of the 90 ° phase side low pass filter 17 determined by the determination circuit 25 becomes 0, in other words, out of the output voltage signal of the AC amplifier 11. 90 ° phase balance so that the signal component (90 ° phase component) having a phase lag of 90 ° with respect to the bridge power supply voltage ein, and thus the output of the 90 ° phase detection circuit 15 steadily becomes a 0 level signal. An initial unbalance compensation signal (hereinafter referred to as a 90 ° phase initial unbalance compensation signal) is additionally input from the circuit 26 to the AC amplifier 11. This operation is the same as the vector Vb0y in the imaginary axis 1 direction of the vector V0 in FIG. 6 as the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout, that is, the vector Vb0y that is 180 ° out of phase, ie, the component vector V0y. A signal for generating an output voltage signal of the vector Vb0y on the output side of the AC amplifier 11 that cancels the component vector V0y when it is superimposed (added) to the AC amplifier 11 as a 90 ° phase initial unbalance compensation signal. Means to enter. In this case, the magnitude (amplitude) of the 90 ° phase initial unbalance compensation signal is determined according to the output level of the 0 ° phase side low-pass filter 17 given from the discrimination circuit 25 to the balance control circuit 27, and The phase is determined to have a phase difference of 180 ° with respect to the 90 ° reference phase signal. More specifically, when the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout has a phase delay of an angle α with respect to the 0 ° reference phase signal as illustrated in FIG. The 90 ° phase component of the output voltage signal 11 (the component having a phase lag of 90 ° with respect to the bridge power supply voltage ein) has a waveform as indicated by the solid line in the fifth graph of FIG. At this time, the 0 ° phase initial unbalance compensation signal is a signal having a phase difference of 180 ° with respect to the solid waveform as indicated by a two-dot chain line in the graph of the fifth step surface of FIG.

上記のように0°位相初期不平衡補償信号と90°位相初期不平衡補償信号とを交流増幅器11に付加的に入力することは、0°位相初期不平衡補償信号に対応する図6のベクトルVb0xと90°位相初期不平衡補償信号に対応する図6のベクトルVb0yとを合成してなるベクトルVb0の出力電圧信号を交流増幅器11の出力側に付加的に発生させることと等価である。この場合、このベクトルVb0は初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号を表すベクトルV0と大きさが同じで且つ180°位相が相違するものとなるので、該ベクトルVb0の出力電圧信号がベクトルV0の出力電圧信号に重畳されることで、交流増幅器11の出力電圧信号は定常的に0レベルの信号となる。   When the 0 ° phase initial unbalance compensation signal and the 90 ° phase initial unbalance compensation signal are additionally input to the AC amplifier 11 as described above, the vector in FIG. 6 corresponding to the 0 ° phase initial unbalance compensation signal is obtained. This is equivalent to additionally generating an output voltage signal of the vector Vb0 formed by combining Vb0x and the vector Vb0y of FIG. 6 corresponding to the 90 ° phase initial unbalance compensation signal on the output side of the AC amplifier 11. In this case, the vector Vb0 has the same magnitude and a 180 ° phase difference as the vector V0 representing the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout. By superimposing the voltage signal on the output voltage signal of the vector V0, the output voltage signal of the AC amplifier 11 becomes a signal of 0 level constantly.

これにより、ひずみゲージ1の無ひずみ状態での交流増幅器11の出力電圧信号が0となるように0°位相および90°位相初期不平衡補償信号が決定され、ブリッジ回路5の初期不平衡の影響が補償されることとなる。そして、以後は、バランスコントロール回路24,27は、その決定した初期不平衡補償信号を継続的に各バランス回路23,26から交流増幅器11に入力させるように各バランス回路23,26を動作させる。   Thereby, the 0 ° phase and 90 ° phase initial unbalance compensation signals are determined so that the output voltage signal of the AC amplifier 11 in the unstrained state of the strain gauge 1 becomes 0, and the influence of the initial unbalance of the bridge circuit 5 is determined. Will be compensated. Thereafter, the balance control circuits 24 and 27 operate the balance circuits 23 and 26 so as to continuously input the determined initial unbalance compensation signals from the balance circuits 23 and 26 to the AC amplifier 11.

なお、交流増幅器11が複数段のアンプを備えるような場合には、0°位相初期不平衡補償信号や90°位相初期不平衡補償信号は、必ずしも初段のアンプに入力する必要はなく、2段目以降のアンプに入力するようにしてもよい。   When the AC amplifier 11 includes a plurality of stages of amplifiers, the 0 ° phase initial unbalance compensation signal and the 90 ° phase initial unbalance compensation signal do not necessarily need to be input to the first stage amplifier. You may make it input into the amplifier after eyes.

補足すると、交流増幅器11の出力電圧信号のうち、ブリッジ回路5の抵抗値の平衡状態からのずれに応じた実際の抵抗成分は、特に接続ケーブル10における前記浮遊容量の影響によって、ブリッジ電源出力回路13が発生するブリッジ電源電圧einに対して位相遅れを生じる。例えば図6に示す如く、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号のベクトルV0のうち、実際の抵抗成分はブリッジ電源電圧einと同相の実軸1に対して角度θの位相遅れを有する成分ベクトルV0rで表される。同様に、ベクトルV0のうち、実際の容量成分(抵抗成分と90°の位相差を有する成分)はブリッジ電源電圧einと90°の位相差を有する虚軸1に対して角度θの位相遅れを有する成分ベクトルV0cで表される。図6に示した実軸2は、交流増幅器11の出力電圧信号のうち、実際の抵抗成分と同相の軸を示しており、虚軸2は、実軸2に対して90°の位相差を有する軸(実際の容量成分と同相の軸)を示している。   Supplementally, in the output voltage signal of the AC amplifier 11, the actual resistance component according to the deviation of the resistance value of the bridge circuit 5 from the equilibrium state is caused by the influence of the stray capacitance in the connection cable 10, in particular. 13 causes a phase delay with respect to the bridge power supply voltage ein generated. For example, as shown in FIG. 6, in the output voltage signal vector V0 of the AC amplifier 11 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout, the actual resistance component has an angle θ with respect to the real axis 1 in phase with the bridge power supply voltage ein. It is represented by a component vector V0r having a phase delay. Similarly, in the vector V0, the actual capacitance component (a component having a phase difference of 90 ° from the resistance component) has a phase delay of an angle θ with respect to the imaginary axis 1 having a phase difference of 90 ° from the bridge power supply voltage ein. It is represented by a component vector V0c. The real axis 2 shown in FIG. 6 indicates an axis in phase with the actual resistance component in the output voltage signal of the AC amplifier 11, and the imaginary axis 2 has a phase difference of 90 ° with respect to the real axis 2. It shows the axis (the axis in phase with the actual capacitive component).

従って、前述した初期不平衡補償処理において、0°位相検波回路14および90°位相検波回路15がそれぞれ検波する信号成分は、一般には、初期不平衡ブリッジ出力eoutの実際の抵抗成分、容量成分を表すものとはならない。   Therefore, in the above-described initial unbalance compensation process, the signal components detected by the 0 ° phase detection circuit 14 and the 90 ° phase detection circuit 15 are generally the actual resistance component and capacitance component of the initial unbalanced bridge output eout. It does not represent.

但し、初期不平衡補償処理は、結果的に交流増幅器11の出力電圧信号が0になるように0°基準位相信号と同相の0°位相初期不平衡補償信号と90°基準位相信号と同相の90°位相初期不平衡補償信号を決定して、交流増幅器11に付加的に入力する処理であり、これらの初期不平衡補償信号を合成してなる信号、すなわち、図6のベクトルVb0に対応する信号は、初期不平衡ブリッジ出力eoutの実際の抵抗成分、容量成分によらずに、該初期不平衡ブリッジ出力eout(図6のベクトルV0)に対して一義的に定まる。より一般的にいえば、0°基準位相信号および90°基準位相信号がブリッジ電源電圧einに対してどのような位相差を有していても、前記したように0°位相検波回路14の出力が0になるように0°位相初期不平衡補償信号を決定すると共に、90°位相検波回路15の出力が0になるように90°位相初期不平衡補償信号を決定することで、それらの補償信号を合成してなる信号によって交流増幅器11が発生する出力電圧信号は、初期不平衡ブリッジ出力eoutに対応する図6のベクトルV0に対して180°位相の異なるものとして一義的に定まるベクトルVb0となる。   However, in the initial unbalance compensation process, the 0 ° phase initial unbalance compensation signal and the 90 ° reference phase signal are in phase with the 0 ° reference phase signal so that the output voltage signal of the AC amplifier 11 becomes 0 as a result. This is a process of determining a 90 ° phase initial unbalance compensation signal and additionally inputting it to the AC amplifier 11, and corresponds to a signal obtained by synthesizing these initial unbalance compensation signals, that is, the vector Vb0 in FIG. The signal is uniquely determined with respect to the initial unbalanced bridge output eout (vector V0 in FIG. 6) regardless of the actual resistance component and capacitance component of the initial unbalanced bridge output eout. More generally speaking, as described above, the output of the 0 ° phase detection circuit 14 is whatever the phase difference between the 0 ° reference phase signal and the 90 ° reference phase signal with respect to the bridge power supply voltage ein. 0 ° phase initial unbalance compensation signal is determined so that becomes 0, and 90 ° phase initial unbalance compensation signal is determined so that the output of the 90 ° phase detection circuit 15 becomes 0, thereby compensating for them. An output voltage signal generated by the AC amplifier 11 by a signal obtained by combining the signals is a vector Vb0 that is uniquely determined as having a phase difference of 180 ° with respect to the vector V0 of FIG. 6 corresponding to the initial unbalanced bridge output eout. Become.

従って、前記した初期不平衡補償処理では、0°基準位相信号の位相をブリッジ電源電圧einと同相にしたが、初期不平衡補償処理で使用する0°基準位相信号は、ブリッジ電源電圧einと同相にする必要はなく、該ブリッジ電源電圧einと任意の位相差を有するものであってもよい。   Therefore, in the initial unbalance compensation process, the phase of the 0 ° reference phase signal is in phase with the bridge power supply voltage ein. However, the 0 ° reference phase signal used in the initial unbalance compensation process is in phase with the bridge power supply voltage ein. It is not necessary to have a phase difference between the bridge power supply voltage ein and the bridge power supply voltage ein.

なお、ブリッジ電源電圧einに対する初期不平衡ブリッジ出力eoutの位相、すなわち、図6の角度αは、リード線1a,1b間の浮遊容量や接続ケーブル10の浮遊容量、リード線1a,1bの抵抗値などが総合的に影響して定まるものであるので、初期不平衡ブリッジ出力eoutの実際の抵抗成分のブリッジ電源電圧einに対する位相差(図6の角度θ)を該初期不平衡ブリッジ出力eoutから把握することは一般にはできない。   The phase of the initial unbalanced bridge output eout with respect to the bridge power supply voltage ein, that is, the angle α in FIG. 6 indicates the stray capacitance between the lead wires 1a and 1b, the stray capacitance of the connection cable 10, and the resistance values of the lead wires 1a and 1b. Thus, the phase difference (angle θ in FIG. 6) of the actual resistance component of the initial unbalanced bridge output eout with respect to the bridge power supply voltage ein is grasped from the initial unbalanced bridge output eout. You can't generally do it.

上述したように初期不平衡補償処理が実行された後、これに続いて、ブリッジ回路5の抵抗値変化(容量成分の変化を伴わない抵抗値変化)によるブリッジ出力eoutの実際の抵抗成分がブリッジ電源電圧einに対して生じる位相遅れの影響を補償するための処理(以下、位相ずれ補償処理という)がひずみ測定器3の所要の動作によって行われる。精度のよいひずみ測定を行うためには、ブリッジ出力eoutから、ひずみゲージ1の抵抗値変化に伴う実際の抵抗成分を0°位相検波回路14で検波する必要がある。この場合、前記したようにブリッジ回路5の抵抗値変化に応じたブリッジ出力eoutの実際の抵抗成分は、特に接続ケーブル10における前記浮遊容量の影響によって、ブリッジ電源出力回路13が発生するブリッジ電源電圧einに対して位相遅れを生じるので、その位相遅れ分だけ、0°基準位相信号の位相をブリッジ電源電圧einからずらすように決定する必要がある。位相ずれ補償処理は、このように0°基準位相信号の位相(詳しくはブリッジ電源電圧einに対する位相差)を決定する処理であり、本発明における位相ずれ決定処理に相当するものである。   After the initial unbalance compensation process is executed as described above, the actual resistance component of the bridge output eout due to the resistance value change of the bridge circuit 5 (resistance value change not accompanied by the change of the capacitance component) is bridged. A process for compensating for the influence of the phase delay generated on the power supply voltage ein (hereinafter referred to as a phase shift compensation process) is performed by a required operation of the distortion measuring device 3. In order to perform accurate strain measurement, it is necessary to detect the actual resistance component accompanying the change in resistance value of the strain gauge 1 from the bridge output eout by the 0 ° phase detection circuit 14. In this case, as described above, the actual resistance component of the bridge output eout corresponding to the change in the resistance value of the bridge circuit 5 is the bridge power supply voltage generated by the bridge power supply output circuit 13 due to the influence of the stray capacitance in the connection cable 10 in particular. Since a phase delay occurs with respect to ein, it is necessary to determine that the phase of the 0 ° reference phase signal is shifted from the bridge power supply voltage ein by the amount of the phase delay. The phase shift compensation process is a process for determining the phase of the 0 ° reference phase signal (specifically, the phase difference with respect to the bridge power supply voltage ein), and corresponds to the phase shift determination process in the present invention.

この位相ずれ補償処理を以下に詳説すると、まず、前記リレー制御回路29から、ブリッジボックス2のリレー駆動回路9に制御信号が与えられ、これに応じてリレー駆動回路9がソレノイド9aを介してスイッチ7を開成状態から閉成させる。なお、本実施形態では、ラッチリレーを使用しているので、リレー駆動回路9からソレノイド9aに一時的に通電するだけでスイッチ7は開成状態から閉成し、その閉成状態が維持される。また、ひずみゲージ1は初期不平衡補償処理のときと同様に無ひずみ状態である。   The phase shift compensation process will be described in detail below. First, a control signal is given from the relay control circuit 29 to the relay drive circuit 9 of the bridge box 2, and in response to this, the relay drive circuit 9 switches via the solenoid 9a. 7 is closed from the open state. In this embodiment, since a latch relay is used, the switch 7 is closed from the open state only by temporarily energizing the solenoid 9a from the relay drive circuit 9, and the closed state is maintained. Further, the strain gauge 1 is in a no-strain state as in the case of the initial unbalance compensation process.

これにより、ブリッジ回路5の一辺(前記抵抗体4bにより構成される辺)に抵抗体8がスイッチ7を介して並列に接続されることとなる。従って、ブリッジ回路5の抵抗値が強制的に変化させられる。この場合、抵抗体8の抵抗値は、それをブリッジ回路5に接続したときのブリッジ回路5の抵抗値変化(ひいてはブリッジ出力eoutの振幅変化)が、ひずみゲージ1の通常的なひずみ(例えばひずみゲージ1で測定可能なひずみ値の範囲内の中間的な値のひずみ)によって生じるブリッジ回路5の抵抗値変化と同程度になるような抵抗値にあらかじめ定めておけばよい。なお、抵抗体8は、実質的に容量成分等を含まない抵抗体として機能するものであれば、その抵抗値は必ずしも高精度なものである必要はない。   As a result, the resistor 8 is connected in parallel via the switch 7 to one side of the bridge circuit 5 (side constituted by the resistor 4b). Accordingly, the resistance value of the bridge circuit 5 is forcibly changed. In this case, the resistance value of the resistor 8 is such that the resistance value change of the bridge circuit 5 (and hence the amplitude change of the bridge output eout) when it is connected to the bridge circuit 5 is the normal strain (for example, strain) of the strain gauge 1. The resistance value may be determined in advance so as to be comparable to the change in the resistance value of the bridge circuit 5 caused by an intermediate strain within a range of strain values measurable by the gauge 1. As long as the resistor 8 functions as a resistor that does not substantially include a capacitance component, the resistance value does not necessarily have to be highly accurate.

そして、上記のように抵抗体8をブリッジ回路5に接続した状態で、ひずみ測定器3のブリッジ電源出力回路13からブリッジ電源電圧einを付与しつつ、ブリッジ出力eoutをひずみ測定器3の交流増幅器11に入力する。また、これと並行して、交流増幅器11には、前記初期不平衡補償処理によって決定された0°位相初期不平衡補償信号と90°位相初期不平衡補償信号とがそれぞれ各バランス回路23,26から付加的に入力される。   In the state where the resistor 8 is connected to the bridge circuit 5 as described above, the bridge power supply voltage ein is applied from the bridge power supply output circuit 13 of the strain measuring device 3 and the bridge output eout is used as the AC amplifier of the strain measuring device 3. 11 is input. In parallel with this, the AC amplifier 11 receives the 0 ° phase initial unbalance compensation signal and the 90 ° phase initial unbalance compensation signal determined by the initial unbalance compensation processing, respectively, in the balance circuits 23 and 26, respectively. Is additionally input.

この場合、前記初期不平衡補償処理によって、ブリッジ回路5の初期不平衡は補償されているので、この時のブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号は、抵抗体8の接続によるブリッジ回路5の抵抗値変化に応じたものとなる。別の言い方をすれば、この時のブリッジ出力eout(以下、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutということがある)に対応(比例)する交流増幅器11の出力電圧信号そのものが、ブリッジ回路5の抵抗値変化に応じた抵抗成分に相当するものとなる。但し、その抵抗成分は、前記接続ケーブル10の浮遊容量の影響で、一般にはブリッジ電源電圧einに対して位相遅れを有するものとなっている。   In this case, since the initial unbalance of the bridge circuit 5 is compensated by the initial unbalance compensation process, the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the bridge output eout at this time is the bridge by the connection of the resistor 8. This corresponds to a change in the resistance value of the circuit 5. In other words, the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to (proportional to) the bridge output eout at this time (hereinafter sometimes referred to as the bridge output eout during phase shift compensation) is the resistance value of the bridge circuit 5. This corresponds to a resistance component corresponding to the change. However, the resistance component generally has a phase lag with respect to the bridge power supply voltage ein due to the influence of the stray capacitance of the connection cable 10.

そこで、位相ずれ補償処理では、0°基準位相信号が前記位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号と同相になるように0°基準位相信号の位相を決定する。   Therefore, in the phase shift compensation process, the phase of the 0 ° reference phase signal is determined so that the 0 ° reference phase signal is in phase with the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the phase shift compensation bridge output eout.

この処理は前記位相コントロール回路28の動作を主体として次にように行われる。すなわち、位相コントロール回路28は、判別回路25の出力を監視しつつ、連続的に、もしくは、微小量ずつ、0°基準位相信号の位相をブリッジ電源電圧einと同一の位相から変化させていくように、位相調整回路20を制御する。なお、これに追従して、移相回路21が発生する90°基準位相信号も、0°基準位相信号との位相差(90°)を維持しながら変化していくこととなる。   This processing is performed as follows mainly with the operation of the phase control circuit 28 as a main component. That is, the phase control circuit 28 monitors the output of the determination circuit 25 and changes the phase of the 0 ° reference phase signal from the same phase as the bridge power supply voltage ein continuously or by a minute amount. In addition, the phase adjustment circuit 20 is controlled. Following this, the 90 ° reference phase signal generated by the phase shift circuit 21 also changes while maintaining the phase difference (90 °) from the 0 ° reference phase signal.

この場合、0°基準位相信号が位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号とほぼ同相になる時に、90°位相側ローパスフィルタ17の出力(90°位相検波回路15の出力の直流成分)がほぼ0になる。すなわち、前記図3に例示したように、交流増幅器11の出力電圧信号が、0°基準位相信号と同相であるときには、90°位相検波回路15の出力は、正側と負側とで対称的な波形となるので、90°位相側ローパスフィルタ17の出力がほぼ0になる。そこで、本実施形態における位相コントロール回路28は、0°基準位相信号の位相を変化させていく過程で、90°位相側ローパスフィルタ17の出力がほぼ0になったこと(詳しくは、該出力のレベルが0近傍の所定の範囲内に収まったこと)を判別回路25の出力によって認識した時の0°基準位相信号のブリッジ電源電圧einに対する位相差を位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号のブリッジ電源電圧einに対する位相差として決定する。そして、その位相差分だけブリッジ電源電圧einに対して位相差を有する0°基準位相信号をひずみ測定時に0°位相検波回路14に位相調整回路20から出力させるべき0°基準位相信号として決定する。つまり、90°位相側ローパスフィルタ17の出力がほぼ0になる時の、0°基準位相信号の位相をひずみ測定時に使用すべき0°基準位相信号の位相として決定する。このように決定された0°基準位相信号は、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号、すなわち、ブリッジ出力eoutの抵抗成分に同相のものとなる。   In this case, when the 0 ° reference phase signal is substantially in phase with the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the phase deviation compensation bridge output eout, the output of the 90 ° phase side low-pass filter 17 (of the 90 ° phase detection circuit 15). The DC component of the output becomes almost zero. That is, as illustrated in FIG. 3, when the output voltage signal of the AC amplifier 11 is in phase with the 0 ° reference phase signal, the output of the 90 ° phase detection circuit 15 is symmetrical between the positive side and the negative side. Therefore, the output of the 90 ° phase side low-pass filter 17 becomes almost zero. Therefore, the phase control circuit 28 in the present embodiment has confirmed that the output of the 90 ° phase side low-pass filter 17 has become almost 0 in the process of changing the phase of the 0 ° reference phase signal (more specifically, AC level corresponding to the bridge output eout when compensating for the phase difference of the 0 ° reference phase signal with respect to the bridge power supply voltage ein when the level is within a predetermined range near 0) The phase difference of the output voltage signal of the amplifier 11 with respect to the bridge power supply voltage ein is determined. Then, a 0 ° reference phase signal having a phase difference with respect to the bridge power supply voltage ein by the phase difference is determined as a 0 ° reference phase signal to be output from the phase adjustment circuit 20 to the 0 ° phase detection circuit 14 during distortion measurement. That is, the phase of the 0 ° reference phase signal when the output of the 90 ° phase side low-pass filter 17 becomes approximately 0 is determined as the phase of the 0 ° reference phase signal to be used in the distortion measurement. The 0 ° reference phase signal thus determined is in phase with the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the bridge output eout at the time of phase shift compensation, that is, the resistance component of the bridge output eout.

この動作を図7の複素平面上のベクトル図で説明すると、同図中のベクトルVεが、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号を表すベクトルである。この場合、0°基準位相信号がブリッジ出力電圧einと同相である状態では、90°位相検波回路15が検波する信号成分は、虚軸1方向の成分ベクトルVεy(≠0ベクトル)である。なお、実軸1および虚軸1は前記図6のものと同じであり、図示のベクトルVεは、ブリッジ出力電圧einと同相の実軸1に対して角度θの位相遅れを有している。また、図示の例では、0°基準位相信号がブリッジ出力電圧einと同相である状態では、0°位相検波回路14で検波される信号成分は、実軸1方向の成分ベクトルVεxである。   This operation will be described with reference to a vector diagram on the complex plane in FIG. 7. A vector Vε in FIG. 7 is a vector representing an output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the phase shift compensation bridge output eout. In this case, when the 0 ° reference phase signal is in phase with the bridge output voltage ein, the signal component detected by the 90 ° phase detection circuit 15 is the component vector Vεy (≠ 0 vector) in the imaginary axis 1 direction. The real axis 1 and the imaginary axis 1 are the same as those in FIG. 6, and the illustrated vector Vε has a phase delay of an angle θ with respect to the real axis 1 in phase with the bridge output voltage ein. In the illustrated example, in the state where the 0 ° reference phase signal is in phase with the bridge output voltage ein, the signal component detected by the 0 ° phase detection circuit 14 is the component vector Vεx in the real axis 1 direction.

そして、この状態から、0°基準位相信号の位相を変化させていくということは、実軸および虚軸を回転させていくことと同等であり、0°基準位相信号の位相がブリッジ電源電圧einに対して角度θの位相遅れを有する位相まで変化したときに、図示の実軸2および虚軸2で示すように、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応するベクトルVεと実軸2とが同相になり、且つ、虚軸2がベクトルVεと90°の位相差を有するものとなる。このため、ベクトルVεの、虚軸2方向の成分ベクトルは0になる。従って、90°位相検波回路15が検波する信号成分が0になるときの、0°基準位相信号の位相が、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号の位相と同相になる。   Then, changing the phase of the 0 ° reference phase signal from this state is equivalent to rotating the real axis and the imaginary axis, and the phase of the 0 ° reference phase signal is equal to the bridge power supply voltage ein. As shown by the real axis 2 and the imaginary axis 2 in the figure, the vector Vε corresponding to the phase deviation compensation bridge output eout and the real axis 2 are in phase as shown in the figure. And the imaginary axis 2 has a phase difference of 90 ° from the vector Vε. For this reason, the component vector in the imaginary axis 2 direction of the vector Vε is zero. Therefore, when the signal component detected by the 90 ° phase detection circuit 15 becomes 0, the phase of the 0 ° reference phase signal is in phase with the phase of the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the bridge output eout at the time of phase shift compensation. become.

なお、位相ずれ補償処理で、前記のように0°基準位相信号の位相を変化させていくとき、0°基準位相信号が位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutに対応する交流増幅器11の出力電圧信号と同相になるときに、0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルは、最大となり、0°基準位相信号の位相が交流増幅器11の出力電圧信号からずれるにしたがって、0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルは小さくなる。従って、位相ずれ補償処理で、0°基準位相信号の位相を決定するときには、0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルが最大となるような0°基準位相信号の位相を、ひずみ測定時に位相調整回路20から発生させる0°基準位相信号の位相として決定するようにしてもよい。この場合には、判別回路25の出力に代えて、判別回路22の出力を位相コントロール回路28に入力するようにして、0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルが最大となるときの0°基準位相信号の位相をひずみ測定時に使用すべき0°基準位相信号の位相として決定するようにすればよい。   In the phase shift compensation process, when the phase of the 0 ° reference phase signal is changed as described above, the 0 ° reference phase signal corresponds to the output voltage signal of the AC amplifier 11 corresponding to the bridge output eout at the time of phase shift compensation. When the phase becomes the same, the output level of the 0 ° phase side low pass filter 16 becomes maximum, and the output of the 0 ° phase side low pass filter 16 increases as the phase of the 0 ° reference phase signal deviates from the output voltage signal of the AC amplifier 11. The level becomes smaller. Therefore, when determining the phase of the 0 ° reference phase signal in the phase shift compensation process, the phase of the 0 ° reference phase signal that maximizes the output level of the 0 ° phase side low-pass filter 16 is adjusted during distortion measurement. The phase of the 0 ° reference phase signal generated from the circuit 20 may be determined. In this case, instead of the output of the discriminating circuit 25, the output of the discriminating circuit 22 is input to the phase control circuit 28, and the 0 ° reference when the output level of the 0 ° phase-side low-pass filter 16 is maximized. What is necessary is just to determine the phase of a phase signal as a phase of the 0 degree reference | standard phase signal which should be used at the time of distortion measurement.

補足すると、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutのブリッジ電源電圧einに対する位相差は、原理的には、例えばブリッジ電源電圧einのゼロクロス点(einが0となる位相)と、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutのゼロクロス点(eoutが0となる位相)との差分として直接的に検出することも可能である。但し、一般には、ブリッジ出力eoutにはノイズ成分も多少なりとも含まれるため、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutのゼロクロス点を高精度に把握することは困難である。従って、位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutと同相になる0°基準位相信号を決定する上では、前記したように0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルが最大となり、あるいは、90°位相側ローパスフィルタ17の出力レベルがほぼ0となるような0°基準位相信号を位相ずれ補償時ブリッジ出力eoutと同相のものとして決定することが好ましい。   Supplementally, in principle, the phase difference of the bridge output eout at the time of phase deviation compensation with respect to the bridge power supply voltage ein is, for example, the zero cross point of the bridge power supply voltage ein (the phase at which ein becomes 0) and the bridge output eout at the time of phase deviation compensation. It is also possible to directly detect the difference from the zero cross point (phase where eout becomes 0). However, since the bridge output eout generally includes noise components, it is difficult to accurately grasp the zero cross point of the bridge output eout at the time of phase shift compensation. Accordingly, in determining the 0 ° reference phase signal that is in phase with the bridge output eout at the time of phase shift compensation, the output level of the 0 ° phase side low pass filter 16 is maximized as described above, or the 90 ° phase side low pass filter is used. It is preferable to determine a 0 ° reference phase signal in which the output level of 17 is substantially 0 as being in phase with the bridge output eout at the time of phase shift compensation.

以上のようにして、0°基準位相信号の位相を決定することで、位相ずれ補償処理が完了する。   As described above, the phase shift compensation process is completed by determining the phase of the 0 ° reference phase signal.

本実施形態では、上記位相ずれ補償処理に続いて、ひずみ測定器3のリレー制御回路29からブリッジボックス2のリレー駆動回路9に制御信号を与え、前記スイッチ7を閉成状態から開成させる。そして、この状態で、再度、前記初期不平衡補償処理を実行した後、ひずみゲージ1を測定対象の物体(図示省略)に貼着した状態(物体のひずみと同じひずみがひずみゲージ1に生じる状態)で、実際のひずみ測定が開始される。この場合、再度の初期不平衡補償処理は、0°基準位相信号の位相を前記位相ずれ補償処理で決定した位相に固定した状態で行われる。そして、これに続くひずみ測定では、0°基準位相信号の位相を位相ずれ補償処理で決定した位相に維持し、また、再度の初期不平衡補償処理で決定された0°位相初期不平衡補償信号と90°位相初期不平衡補償信号とをそれぞれ各バランス回路23,26から交流増幅器11に付加的に入力しつつ、ブリッジ出力eoutが交流増幅器11に入力される。そして、このときの0°位相側ローパスフィルタ16の出力(これはひずみゲージ1の抵抗値変化に応じた実際の抵抗成分の直流成分に相当するものとなる)が直流増幅器18および出力回路19を介して出力され、その出力信号のレベルに基づいてひずみ測定値が求められる。   In this embodiment, following the phase shift compensation process, a control signal is given from the relay control circuit 29 of the strain measuring device 3 to the relay drive circuit 9 of the bridge box 2 to open the switch 7 from the closed state. In this state, after executing the initial unbalance compensation process again, the strain gauge 1 is attached to the object to be measured (not shown) (the same strain as that of the object is generated in the strain gauge 1). ), The actual strain measurement is started. In this case, the initial initial imbalance compensation process is performed again with the phase of the 0 ° reference phase signal fixed to the phase determined by the phase shift compensation process. In the subsequent distortion measurement, the phase of the 0 ° reference phase signal is maintained at the phase determined by the phase shift compensation process, and the 0 ° phase initial unbalance compensation signal determined by the initial initial unbalance compensation process is repeated. And the 90 ° phase initial unbalance compensation signal are additionally input to the AC amplifier 11 from the balance circuits 23 and 26, respectively, and the bridge output eout is input to the AC amplifier 11. At this time, the output of the 0 ° phase side low-pass filter 16 (which corresponds to the direct current component of the actual resistance component corresponding to the change in the resistance value of the strain gauge 1) is connected to the direct current amplifier 18 and the output circuit 19. The strain measurement value is obtained based on the level of the output signal.

なお、本実施形態では、位相ずれ補償処理の後に初期不平衡補償処理を再度実行するようにしたが、この再度の初期不平衡補償処理は念のための処理であり、必ずしも実行する必要はない。従って、位相ずれ補償処理の後に直ちにひずみ測定を開始するようにしてもよい。   In the present embodiment, the initial unbalance compensation process is executed again after the phase shift compensation process. However, this initial initial imbalance compensation process is a precautionary process and need not be executed. . Therefore, distortion measurement may be started immediately after the phase shift compensation process.

以上のようにして本実施形態は、ひずみ測定を開始しようとするときに、初期不平衡補償処理と位相ずれ補償処理とを順次実行するようにしたことによって、前記リード線1a,1bの間の浮遊容量や、前記接続ケーブル10の信号線10c,10dの間の浮遊容量、電源線10a,10bの間の浮遊容量の影響を適切に補償して、交流増幅器11の出力電圧信号から、ひずみゲージ1の抵抗値変化に応じた実際の抵抗成分を0°位相検波回路14で検波することができ、ひいては精度のよいひずみ測定を行うことができる。   As described above, according to the present embodiment, when the strain measurement is started, the initial unbalance compensation process and the phase shift compensation process are sequentially executed, so that the gap between the lead wires 1a and 1b is increased. By appropriately compensating for the effects of stray capacitance, stray capacitance between the signal lines 10c and 10d of the connection cable 10 and stray capacitance between the power supply lines 10a and 10b, a strain gauge is obtained from the output voltage signal of the AC amplifier 11. The actual resistance component corresponding to the change in the resistance value of 1 can be detected by the 0 ° phase detection circuit 14, so that accurate distortion measurement can be performed.

次に、本発明の第2実施形態を図8を参照して説明する。なお、本実施形態は、ひずみゲージのブリッジ回路への組み込み構成のみが前記第1実施形態と相違するものであるので、第1実施形態と同一部分については、第1実施形態と同一の参照符号を用いて説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The present embodiment is different from the first embodiment only in the construction of the strain gauge incorporated in the bridge circuit, and the same reference numerals as those in the first embodiment are used for the same parts as those in the first embodiment. Description is omitted using.

前記第1実施形態では、ひずみゲージ1をこれに結線された2つのリード線1a,1bを介してブリッジ回路5に組み込む、いわゆる2線式の測定手法を例にとって説明したが、本発明は、例えばひずみゲージを3つのリード線を介してブリッジ回路に組み込む、いわゆる3線式の測定手法にも適用することができる。第2実施形態は、この3線式の実施形態を示すものである。   In the first embodiment, the so-called two-wire measurement method in which the strain gauge 1 is incorporated into the bridge circuit 5 via the two lead wires 1a and 1b connected thereto is described as an example. For example, the present invention can also be applied to a so-called three-wire measurement method in which a strain gauge is incorporated into a bridge circuit via three lead wires. The second embodiment shows this three-wire type embodiment.

この第2実施形態が第1実施形態と相違する点を説明すると、図8に示すように、ひずみゲージ1には、リード線1a,1bが結線されているほか、さらに、該ひずみゲージ1の一端、例えばリード線1a側の一端にリード線1cが結線されている。そして、これらのリード線1a〜1cを介してひずみゲージ1がブリッジボックス2’に接続される。この場合、ブリッジボックス2’の内部では、出力端子6c,6dのうち、出力端子6cは、抵抗体4aには直接的に接続されておらず、リード線1cに接続(導通)されるようになっている。これ以外の構成は、前記第1実施形態とまったく同一である。なお、上記の接続構成でひずみゲージ1をブリッジ回路5に組み込んだとき、リード線1a,1bは、ブリッジ回路5の各別の辺に組み込まれることとなる。   When the second embodiment is different from the first embodiment, as shown in FIG. 8, lead wires 1 a and 1 b are connected to the strain gauge 1. A lead wire 1c is connected to one end, for example, one end on the lead wire 1a side. The strain gauge 1 is connected to the bridge box 2 'via these lead wires 1a to 1c. In this case, in the bridge box 2 ′, the output terminal 6c out of the output terminals 6c and 6d is not directly connected to the resistor 4a, but is connected (conductive) to the lead wire 1c. It has become. The other configuration is exactly the same as that of the first embodiment. When the strain gauge 1 is incorporated into the bridge circuit 5 with the above connection configuration, the lead wires 1 a and 1 b are incorporated into different sides of the bridge circuit 5.

かかる本実施形態の装置では、ひずみ測定を開始しようとするときに、前記第1実施形態とまったく同様に初期不平衡補償処理および位相ずれ補償処理が実行され、これにより、リード線1a〜1cの間の浮遊容量や、接続コード10の浮遊容量の影響を適切に補償することができる。   In the apparatus according to the present embodiment, when the strain measurement is to be started, the initial unbalance compensation process and the phase shift compensation process are executed in the same manner as in the first embodiment, whereby the lead wires 1a to 1c are processed. It is possible to appropriately compensate for the effects of the stray capacitance between them and the stray capacitance of the connection cord 10.

なお、前記各実施形態では、位相ずれ補償処理において、抵抗体8をブリッジ回路5に接続して、ブリッジ回路5の抵抗値変化を発生させるようにしたが、原理的には、ブリッジ回路5の容量成分を変化させるようにして、その時のブリッジ出力eoutに対して90°の位相差(位相の進み)を有するように、ひずみ測定時に使用すべき0°基準位相信号の位相を決定する(具体的には、ブリッジ回路5の容量成分を変化させた時の0°位相側ローパスフィルタ16の出力レベルがほぼ0になり、もしくは、90°位相側ローパスフィルタ17の出力レベルが最大になるように0°基準位相信号の位相を決定する)ようにしてもよい。但し、一般に容量成分を持つコンデンサは、抵抗成分も持つため、ブリッジ回路5の容量成分を変化させるためにコンデンサを該ブリッジ回路5に接続するようにしても、ブリッジ回路5の容量成分だけを変化させることは難しく、抵抗成分も変化してしまう。従って、位相ずれ補償処理において、ブリッジ回路にコンデンサを接続してブリッジ回路5の容量成分を変化させることは実用的でない。このため、本発明では、位相ずれ補償処理で、ブリッジ回路に抵抗体を接続するようにした。   In each of the above embodiments, in the phase shift compensation process, the resistor 8 is connected to the bridge circuit 5 to generate a change in the resistance value of the bridge circuit 5. By changing the capacitance component, the phase of the 0 ° reference phase signal to be used at the time of strain measurement is determined so as to have a phase difference (phase advance) of 90 ° with respect to the bridge output eout at that time (specifically Specifically, the output level of the 0 ° phase side low-pass filter 16 when the capacitance component of the bridge circuit 5 is changed is substantially zero, or the output level of the 90 ° phase side low pass filter 17 is maximized. The phase of the 0 ° reference phase signal may be determined). However, since a capacitor having a capacitance component generally has a resistance component, even if a capacitor is connected to the bridge circuit 5 in order to change the capacitance component of the bridge circuit 5, only the capacitance component of the bridge circuit 5 is changed. It is difficult to cause the resistance component to change. Therefore, in the phase shift compensation process, it is not practical to change the capacitance component of the bridge circuit 5 by connecting a capacitor to the bridge circuit. For this reason, in the present invention, the resistor is connected to the bridge circuit in the phase shift compensation process.

本発明の第1実施形態におけるひずみ測定システムの全体構成を示すブロック図。The block diagram which shows the whole structure of the distortion | strain measurement system in 1st Embodiment of this invention. 図1のひずみ測定システムのひずみ測定器の回路構成を示すブロック図。The block diagram which shows the circuit structure of the strain measuring device of the strain measuring system of FIG. 図2のひずみ測定器の作動を説明するためのグラフ。The graph for demonstrating the action | operation of the distortion measuring device of FIG. 図2のひずみ測定器の作動を説明するためのグラフ。The graph for demonstrating the action | operation of the distortion measuring device of FIG. 図2のひずみ測定器における初期不平衡補償処理を説明するためのグラフ。The graph for demonstrating the initial imbalance compensation process in the distortion measuring device of FIG. 図2のひずみ測定器における初期不平衡補償処理を説明するためのベクトル図。The vector diagram for demonstrating the initial imbalance compensation process in the distortion measuring device of FIG. 図2のひずみ測定器における位相ずれ補償処理を説明するためのベクトル図。The vector diagram for demonstrating the phase shift compensation process in the distortion measuring device of FIG. 本発明の第2実施形態におけるひずみ測定システムの全体構成を示すブロック図。The block diagram which shows the whole structure of the distortion | strain measurement system in 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…ひずみゲージ、5…ブリッジ回路、7…抵抗体、11…交流増幅器、ein…交流電源電圧、eout…ブリッジ回路の出力電圧信号。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Strain gauge, 5 ... Bridge circuit, 7 ... Resistor, 11 ... AC amplifier, ein ... AC power supply voltage, eout ... Output voltage signal of a bridge circuit.

Claims (4)

抵抗式ひずみゲージを含むブリッジ回路に交流電源電圧を付与しつつ、該ブリッジ回路の出力電圧信号を交流増幅器に入力して増幅すると共に、該交流増幅器の出力電圧信号から、前記交流電源電圧に対して所定の位相関係を有する信号成分を前記ブリッジ回路の抵抗値変化に応じた抵抗成分として検波し、その検波した抵抗成分から前記ひずみゲージのひずみ値に応じたひずみ測定信号を生成するようにした搬送波型ひずみ測定方法において、
前記ひずみゲージの無ひずみ状態での前記ブリッジ回路の出力電圧信号を前記交流増幅器に入力しつつ、該交流増幅器の出力電圧信号の抵抗成分と該抵抗成分に対して90°の位相差を有する容量成分とが零になるように該交流増幅器に付加的に入力する初期不平衡補償信号を決定する初期不平衡調整ステップと、
この初期不平衡補償信号の決定後に、前記ブリッジ回路に固定抵抗値の抵抗体を接続して、該ブリッジ回路の出力電圧信号と前記初期不平衡補償信号とを前記交流増幅器に入力しつつ、前記交流増幅器の出力電圧信号の前記交流電源電圧に対する位相のずれ量を決定する位相ずれ決定ステップとを備え、
この位相ずれの決定後に、前記固定抵抗値の抵抗体を前記ブリッジ回路から切り離してひずみ測定を行う時に、前記交流増幅器の出力電圧信号のうち、前記位相ずれ決定ステップで決定したずれ量だけ前記交流電源電圧に対して位相差を有する信号成分を前記ブリッジ回路の抵抗値変化に応じた抵抗成分として検波するようにしたことを特徴とする搬送波型ひずみ測定方法。
While applying an AC power supply voltage to a bridge circuit including a resistance type strain gauge, the output voltage signal of the bridge circuit is input to an AC amplifier for amplification, and from the output voltage signal of the AC amplifier to the AC power supply voltage. Then, a signal component having a predetermined phase relationship is detected as a resistance component corresponding to a change in the resistance value of the bridge circuit, and a strain measurement signal corresponding to the strain value of the strain gauge is generated from the detected resistance component. In the carrier wave type strain measurement method,
A capacitor having a phase difference of 90 ° with respect to the resistance component of the output voltage signal of the AC amplifier and the resistance component while inputting the output voltage signal of the bridge circuit in an unstrained state of the strain gauge to the AC amplifier. An initial unbalance adjustment step for determining an initial unbalance compensation signal to be additionally input to the AC amplifier so that the component becomes zero;
After determining the initial unbalance compensation signal, connecting a resistor having a fixed resistance value to the bridge circuit, and inputting the output voltage signal of the bridge circuit and the initial unbalance compensation signal to the AC amplifier, A phase shift determination step for determining a phase shift amount of the output voltage signal of the AC amplifier with respect to the AC power supply voltage,
After the phase shift is determined, when the distortion is measured by separating the resistor having the fixed resistance value from the bridge circuit, the AC voltage is output by the shift amount determined in the phase shift determination step in the output voltage signal of the AC amplifier. A carrier-type distortion measuring method, wherein a signal component having a phase difference with respect to a power supply voltage is detected as a resistance component according to a change in resistance value of the bridge circuit.
前記位相ずれ決定ステップは、前記交流増幅器の出力電圧信号のうち、前記交流電源電圧に対して所定の位相差を有する信号成分を検波しつつ、該所定の位相差を変化させる可変位相検波ステップを備え、該可変位相検波ステップで検波される信号成分の直流成分がほぼ最大となるときの前記所定の位相差を前記位相のずれ量として決定することを特徴とする請求項1記載の搬送波型ひずみ測定方法。   The phase shift determination step includes a variable phase detection step of changing a predetermined phase difference while detecting a signal component having a predetermined phase difference with respect to the AC power supply voltage in the output voltage signal of the AC amplifier. The carrier-type distortion according to claim 1, wherein the predetermined phase difference when the DC component of the signal component detected in the variable phase detection step is substantially maximum is determined as the phase shift amount. Measuring method. 前記位相ずれ決定ステップは、前記交流増幅器の出力電圧信号のうち、前記交流電源電圧に対して所定の位相差を有する信号成分を検波しつつ、該所定の位相差を変化させる可変位相検波ステップを備え、該可変位相検波ステップで検波される信号成分の直流成分がほぼ0になるときの前記所定の位相差と90°の位相差との差分を前記位相のずれ量として決定することを特徴とする請求項1記載の搬送波型ひずみ測定方法。   The phase shift determination step includes a variable phase detection step of changing a predetermined phase difference while detecting a signal component having a predetermined phase difference with respect to the AC power supply voltage in the output voltage signal of the AC amplifier. And the difference between the predetermined phase difference and the 90 ° phase difference when the DC component of the signal component detected in the variable phase detection step is substantially zero is determined as the phase shift amount. The carrier wave type distortion measuring method according to claim 1. 前記位相ずれ決定ステップにおいて、前記ブリッジ回路のうち、前記ひずみゲージを含む辺以外の辺に前記抵抗体を並列に接続するようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の搬送波型ひずみ測定方法。   The said phase difference determination step WHEREIN: The said resistor was connected in parallel to sides other than the side containing the said strain gauge among the said bridge circuits, The any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. The carrier wave type distortion measuring method as described.
JP2004003354A 2004-01-08 2004-01-08 Carrier wave type strain measurement method Expired - Fee Related JP3792229B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004003354A JP3792229B2 (en) 2004-01-08 2004-01-08 Carrier wave type strain measurement method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004003354A JP3792229B2 (en) 2004-01-08 2004-01-08 Carrier wave type strain measurement method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005195509A true JP2005195509A (en) 2005-07-21
JP3792229B2 JP3792229B2 (en) 2006-07-05

Family

ID=34818295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004003354A Expired - Fee Related JP3792229B2 (en) 2004-01-08 2004-01-08 Carrier wave type strain measurement method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3792229B2 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076300A (en) * 2006-09-22 2008-04-03 Shimadzu Corp Measuring unit and material testing machine
JP2008076299A (en) * 2006-09-22 2008-04-03 Shimadzu Corp Measuring unit and material testing machine
JP2010266408A (en) * 2009-05-18 2010-11-25 Kyowa Electron Instr Co Ltd Carrier wave type strain measuring device
JP2017067517A (en) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社ミツトヨ Signal processing circuit for measurement apparatus
CN110108987A (en) * 2019-03-29 2019-08-09 珠海瑞特电气设备有限公司 A kind of direct current system electric bridge self-adjusting apparatus
CN111404503A (en) * 2020-04-24 2020-07-10 中国地震局地壳应力研究所 Differential capacitance alternating current bridge sensing control circuit
US11360008B2 (en) 2016-03-16 2022-06-14 Shimadzu Corporation Measurement device and material, tester

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076300A (en) * 2006-09-22 2008-04-03 Shimadzu Corp Measuring unit and material testing machine
JP2008076299A (en) * 2006-09-22 2008-04-03 Shimadzu Corp Measuring unit and material testing machine
JP2010266408A (en) * 2009-05-18 2010-11-25 Kyowa Electron Instr Co Ltd Carrier wave type strain measuring device
JP2017067517A (en) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社ミツトヨ Signal processing circuit for measurement apparatus
US11360008B2 (en) 2016-03-16 2022-06-14 Shimadzu Corporation Measurement device and material, tester
CN110108987A (en) * 2019-03-29 2019-08-09 珠海瑞特电气设备有限公司 A kind of direct current system electric bridge self-adjusting apparatus
CN111404503A (en) * 2020-04-24 2020-07-10 中国地震局地壳应力研究所 Differential capacitance alternating current bridge sensing control circuit

Also Published As

Publication number Publication date
JP3792229B2 (en) 2006-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8847896B2 (en) Adaptive high dynamic range surface capacitive touchscreen controller
JP2012047677A (en) Detection circuit for voltage detection apparatus and voltage detection apparatus
JPWO2005080919A1 (en) Angular velocity sensor
JP3792229B2 (en) Carrier wave type strain measurement method
JP4807207B2 (en) Measuring device and material testing machine
JP2017227518A (en) Impedance measuring device and impedance measuring method
Volkers et al. The influence of source impedance on charge amplifiers
KR101926978B1 (en) Non-contact-type substrate inspecting apparatus and method
Beug et al. Dynamic bridge standard for strain gauge bridge amplifier calibration
JP4741900B2 (en) Automatic balancing circuit for impedance measurement
JP2001324520A (en) Impedance detection circuit, impedance detection device, and impedance detection method
JP5076420B2 (en) Measuring device and material testing machine
JP7407617B2 (en) Acceleration measurement device and acceleration measurement method
JP2007240286A (en) Measuring method and measuring instrument
JP7080757B2 (en) Impedance measuring device and impedance measuring method
JP2012154701A (en) Carrier wave type dynamic strain measuring instrument
JP2002022785A (en) Impedance detecting circuit and impedance detecting method
JP4803098B2 (en) Material testing machine
JP6315273B2 (en) Insulation state measuring device
JP2006170797A (en) Unbalance capacity detecting device, sensor unbalance capacity detecting method, and transducer used therefor
JP7496258B2 (en) Gradient magnetic field sensor and magnetic object detection device
US10514313B2 (en) Capacitance type sensor including detection and fixed capacitors
WO2012053992A4 (en) Current source with active common mode rejection
JP2000146594A (en) Device for detecting breaking of wire in oscillatory sensor
JP5312905B2 (en) Resistance measuring device

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20060217

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060328

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060404

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110414

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120414

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees