JP2005195408A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源1から出射した光を被検査面上に投影する光学系3,5と、前記被検査面からの戻り光を分岐する分岐手段2と、分岐手段2によって分岐された一方の光路に配置された、第1のピンホールを有する光絞り部材11と、分岐された他方の光路に配置された、第2のピンホールを有する光絞り部材13とを有する共焦点光学系と、戻り光のうち第1のピンホールを通った光の光量を検出する光量検出手段12と、第2のピンホールを通った光の光量を検出する光量検出手段14と、光量検出手段12、14での検出量の差の基づいて、前記被検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有する。
【選択図】図1
Description
光源から出射した光を被検査面上に投影する光学系と、前記被検査面からの戻り光を分岐する分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された一方の光路に配置された、第1のピンホールを有する第1の光絞り部材と、前記分岐手段によって分岐された他方の光路に配置された、第2のピンホールを有する第2の光絞り部材とを有する共焦点光学系と、
前記戻り光のうち前記第1のピンホールを通った光の光量を検出する第1の光量検出手段と、
前記戻り光のうち前記第2のピンホールを通った光の光量を検出する第2の光量検出手段と、
前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差の基づいて、前記被
検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有することを特徴とする。
請求項1の位置検出装置において、
前記第1のピンホールと前記第2のピンホールは、前記共焦点光学系の焦点位置と共役な位置から光軸方向にずらして配置され、前記第1のピンホールと前記第2のピンホールとは、互いに逆方向にずらして配置されることを特徴とする。
請求項1又は2の位置検出装置において、
前記面位置検出手段は、前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差と前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の和に基づいて、前記被検査面の位置を検出することを特徴とする。
請求項1又は2の位置検出装置において、
前記戻り光の光量を検出する第3の光量検出手段を有し、
前記面位置検出手段は、前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差と前記第3の光量検出手段での検出量に基づいて、前記被検査面の位置を検出することを特徴とする。
2乗の100倍となる。したがって、物体側のZ−I全幅(15μm)の1/4に相当する像側のずらし量は、375μmとなる。
S=(A−B)/(A+B)
(A+B)で除するのは、正規化するためである。
らの差信号Sとの関係を示した図である。
(変形例)
上記、実施形態では、差信号の値Sを求めるときに、(A+B)の値で正規化したが、第3光量センサ15の出力信号の値で正規化してもよい。
S=(A−B)/C
このSの値を用いて、前述と同様の動作を行って焦点合わせを行うことができる。
が一定となるように制御しているため、高反射率面から低反射面まで幅広い被検物面に対して光量の調整することができる。
2:偏光ビームスプリッタ
3:レンズ
4:ダイクロイックミラー
5:対物レンズ
6:1/4波長板
7:被検物
8:ステージ
9,10:ビームスプリッタ
11,13:光絞り部材
11a,13a:ピンホール
12,14,15:光量センサ
16:面位置検出装置
17:光量コントローラ
18:移動装置
19:共焦点光学系
20:光学装置
21:観察光学系
Claims (4)
- 光源から出射した光を被検査面上に投影する光学系と、前記被検査面からの戻り光を分岐する分岐手段と、前記分岐手段によって分岐された一方の光路に配置された、第1のピンホールを有する第1の光絞り部材と、前記分岐手段によって分岐された他方の光路に配置された、第2のピンホールを有する第2の光絞り部材とを有する共焦点光学系と、
前記戻り光のうち前記第1のピンホールを通った光の光量を検出する第1の光量検出手段と、
前記戻り光のうち前記第2のピンホールを通った光の光量を検出する第2の光量検出手段と、
前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差の基づいて、前記被検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1に記載の位置検出装置において、
前記第1のピンホールと前記第2のピンホールは、前記共焦点光学系の焦点位置と共役な位置から光軸方向にずらして配置され、前記第1のピンホールと前記第2のピンホールとは、互いに逆方向にずらして配置されることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1又は2に記載の位置検出装置において、
前記面位置検出手段は、前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差と前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の和に基づいて、前記被検査面の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1又は2に記載の位置検出装置において、
前記戻り光の光量を検出する第3の光量検出手段を有し、
前記面位置検出手段は、前記第1の光量検出手段と前記第2の光量検出手段での検出量の差と前記第3の光量検出手段での検出量に基づいて、前記被検査面の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004000719A JP2005195408A (ja) | 2004-01-06 | 2004-01-06 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004000719A JP2005195408A (ja) | 2004-01-06 | 2004-01-06 | 位置検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005195408A true JP2005195408A (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=34816410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004000719A Pending JP2005195408A (ja) | 2004-01-06 | 2004-01-06 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005195408A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007132761A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Showa Seiki Kk | 共焦点型信号光検出装置および信号光検出方法 |
JP2013200506A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
-
2004
- 2004-01-06 JP JP2004000719A patent/JP2005195408A/ja active Pending
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