JP2005180999A - Icソケット及び半導体装置の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数種類の半導体装置に簡単に対応することができ、半導体装置の位置ずれを防止できるようにしたICソケット及び半導体装置の検査方法を提供する。
【解決手段】 ICパッケージ50をプローブ検査する際に当該ICパッケージ50に装着されるICソケット100であって、このICパッケージ50を載置するための複合領域14を有するソケットベース10と、複合領域14を構成する領域14a、14b、14cを個々に囲むようにソケットベース10に設けられた複数のピン孔12a、12b、12cと、これらのピン孔12a、12b、12cのうち、例えば領域14bを囲むピン孔12bに着脱可能に差し込まれる複数のガイドピンとを備えたものである。
【選択図】 図2
【解決手段】 ICパッケージ50をプローブ検査する際に当該ICパッケージ50に装着されるICソケット100であって、このICパッケージ50を載置するための複合領域14を有するソケットベース10と、複合領域14を構成する領域14a、14b、14cを個々に囲むようにソケットベース10に設けられた複数のピン孔12a、12b、12cと、これらのピン孔12a、12b、12cのうち、例えば領域14bを囲むピン孔12bに着脱可能に差し込まれる複数のガイドピンとを備えたものである。
【選択図】 図2
Description
本発明は、ICソケット及び半導体装置の検査方法に関し、特に、樹脂パッケージ等により封止された半導体装置(以下、「ICパッケージ」という。)をICハンドラ等を用いてプローブ検査する際に、このICハンドラ等とICパッケージとを電気的に中継するICソケットに関するものである。
量産されたICパッケージは、製品として出荷される前に、パッケージの状態で電気的特性の試験(測定検査)、バーンイン試験(所定温度、電圧条件下での検査)などが行われ良品が選別される。その際、このICパッケージの外部端子を、ICハンドラや、テスタ等の端子に接続させる中継部品として、ICソケットが広く用いられている(例えば、特許文献1参照)。
図5は従来例にかかるICソケット200の構成例を示す断面図である。図5に示すように、このICソケット200は、BGA(Ball Grid Array)タイプのICパッケージ50に電気的特性の試験や、バーンイン試験等(以下、「プローブ検査」という。)を行う際に、このICパッケージ50を収容すると共に、そのボール電極52を当該ICソケット200の外に引き出すものである。図5に示すように、このICソケット200はBGAソケットベース(以下、単に「ソケットベース」という。)205と、BGAソケットガイド(以下、単に「ソケットガイド」という。)207と、複数のコンタクトピン230等から構成されている。
ソケットベース205には、ソケットガイド207を収容するための凹部が設けられており、この凹部内にソケットガイド207は収容され固定されている。また、このソケットベース205の凹部底面の中心部に複数のコンタクトピン230が貫いた状態で取り付けられている。一方、ソケットガイド207には、ICパッケージ50を収容するための凹部209が設けられている。この凹部209の内形状は、ICパッケージ50の外形状に略一致しており、この凹部209の開口面は当該凹部209の上方からその底面にかけて徐々に窄まるようになっている(即ち、凹部209の内壁はテーパ状となっている。)。また、この凹部209の底面積はICパッケージ50の平面積と略一致するようになっている。
このソケットガイド207に設けられた凹部209の底面には、この底面からソケットガイド207の下面に至る貫通孔が複数設けられている。ここで、これらの貫通孔の形成位置は、凹部209内で位置決めされた状態のICパッケージ50のボール電極52位置にそれぞれ対応している。上記のコンタクトピン230は、この貫通孔に緩やかに通され、その先端がこの貫通孔から僅かに突出している。
このような構成により、ソケットガイド207の凹部209にICパッケージ50のボール電極52を向けた状態で、このICパッケージ50を当該凹部209内に収めると、このICパッケージ50は凹部209の内壁にガイドされてその底面上で位置決めされる。そして、この凹部209内で位置決めされたICパッケージ50のボール電極52は、この凹部209底面から僅かに突出したコンタクトピン230に接触する。
ところで、この種のICパッケージの外形の寸法(以下、「外形寸法」という。)は様々ある。特に、多品種のICパッケージを少量に生産し検査するような、いわゆる多品種少量生産型ラインでは、外形寸法が異なる多種類のICパッケージがその生産工程や検査工程に流れる。このため、上記の多品種少量生産型ラインでは、凹部209の内形状と大きさが異なる多種類のソケットガイドを用意しておき、検査するICパッケージの外形寸法に応じて、ソケットベース205上のソケットガイドを取り替えていた。
特開2002−156407号公報
特開平5−74894号公報
しかしながら、最近の多品種少量生産型ラインでは、量産されるICパッケージの種類は非常に多く、用意するソケットガイドの種類もますます増えつつある。さらに、ソケットガイドの外観はどれも似通っている。このため、本来のソケットガイドとは異なる種類のものをソケットベース205に間違って取り付け易いという問題があった。また、ソケットガイド207をソケットベース205に取り付ける際に、コンタクトピン230をソケットガイド207の貫通孔に通さなければならない。ここで、貫通孔とコンタクトピン230は共に細いので、ソケットガイド207の取り付けには手間がかかるという問題もあった。
このような2つの問題を解決するために、本発明者は、特許文献2に記載されたICソケットを用いることを検討した。しかしながら、この特許文献2に開示されたICソケットは、ICパッケージの周囲にバネを均等に配置しておき、これらのバネの付勢力によってICパッケージを周囲から固定するものである。このため、この特許文献2に記載されたICソケットでは、ICパッケージの着脱回数が増えるにつれてバネ間の付勢力にバラツキが生じてしまい、ICパッケージが位置ずれしてしまうおそれがあった。
そこで、この発明はこのような問題を解決したものであって、複数種類の半導体装置に簡単に対応することができ、半導体装置の位置ずれを防止できるようにしたICソケット及び半導体装置の検査方法の提供を目的とする。
上述した課題を解決するために、本発明に係る第1のICソケットは、パッケージで封止された半導体装置の電気的特性を検査する際に当該半導体装置に装着されるICソケットであって、半導体装置を載置するための領域を有するベース部材と、前記ベース部材に設けられた複数のピン装着用開口部と、前記ピン装着用開口部に着脱可能に差し込まれる複数のピンと、を備え、前記複数のピン装着用開口部は、複数種類の半導体装置外形線に沿って配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る第2のICソケットは、上述した第1のICソケットにおいて、前記複数種類の半導体装置外形線は相似形であり、前記半導体装置を載置するための前記領域上でそれぞれ重なり合うことを特徴とするものである。
本発明に係る第1、第2のICソケットによれば、一の種類(以下、「一」という。)の半導体装置をICソケットに装着する場合には、一の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部にピンをそれぞれ差し込む。これにより、一の半導体装置に対応したガイドをベース部材上に形成することができる。また、一の半導体装置をICソケットから脱着した後で、この一の半導体装置とは外形の寸法が異なる他の種類(以下、「他」という)の半導体装置を当該ICソケットに装着する場合には、一の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部からピンを取り外し、他の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部にピンをそれぞれ差し込む。これにより、他の半導体装置に対応したガイドを前記ベース部材上に形成することができる。このように、ピンを差し替えることでベース部材上のガイドを変更できるので、ガイドの変更に要する手間を少なくでき、複数種類の半導体装置に簡単に対応することができる。
本発明に係る第1、第2のICソケットによれば、一の種類(以下、「一」という。)の半導体装置をICソケットに装着する場合には、一の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部にピンをそれぞれ差し込む。これにより、一の半導体装置に対応したガイドをベース部材上に形成することができる。また、一の半導体装置をICソケットから脱着した後で、この一の半導体装置とは外形の寸法が異なる他の種類(以下、「他」という)の半導体装置を当該ICソケットに装着する場合には、一の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部からピンを取り外し、他の半導体装置外形線に沿って配置されたピン装着用開口部にピンをそれぞれ差し込む。これにより、他の半導体装置に対応したガイドを前記ベース部材上に形成することができる。このように、ピンを差し替えることでベース部材上のガイドを変更できるので、ガイドの変更に要する手間を少なくでき、複数種類の半導体装置に簡単に対応することができる。
また、この第1、第2のICソケットによれば、特許文献2に開示されたICソケットと比べて、半導体装置の固定にバネの付勢力を用いないので、半導体装置の着脱を何回も繰り返したような場合でも、ベース部材に対する半導体装置の位置ずれを防止することができる。
本発明に係る第3のICソケットは、上述した第1、第2のICソケットにおいて、前記半導体装置外形線に沿って配置される前記複数のピン装着用開口部は、前記半導体装置外形線が囲む面積が大きいほど、その個数が多いことを特徴とするものである。本発明に係る第3のICソケットによれば、半導体装置の外形寸法に関係なく、一定間隔でピンを立てることができる。
本発明に係る第3のICソケットは、上述した第1、第2のICソケットにおいて、前記半導体装置外形線に沿って配置される前記複数のピン装着用開口部は、前記半導体装置外形線が囲む面積が大きいほど、その個数が多いことを特徴とするものである。本発明に係る第3のICソケットによれば、半導体装置の外形寸法に関係なく、一定間隔でピンを立てることができる。
本発明に係る第4のICソケットは、上述した第1から第3のICソケットにおいて、前記複数のピンはその上面から側面にかけてテーパ面を有し、前記テーパ面を有する前記複数のピンは、当該複数のピンにより囲まれる領域に該テーパ面を向けた状態で、前記ピン装着用開口部にそれぞれ差し込まれていることを特徴とするものである。
本発明に係る第4のICソケットによれば、半導体装置をベース部材の前記領域上に載置する際に、このテーパ面を使って前記半導体装置を前記領域側へ移動させることができる。従って、半導体装置を簡単に装着することができる。
本発明に係る第4のICソケットによれば、半導体装置をベース部材の前記領域上に載置する際に、このテーパ面を使って前記半導体装置を前記領域側へ移動させることができる。従って、半導体装置を簡単に装着することができる。
本発明に係る半導体装置の検査方法は、上述した第1から第4のICソケットの何れか一つに前記半導体装置を装着し、その電気的特性を検査することを特徴とするものである。本発明に係る半導体装置の検査方法によれば、上述した第1から第4のICソケットを使用するので、複数種類の半導体装置を1種類のICソケットで検査することができる。また、半導体装置の着脱を何回も繰り返したような場合でも、ベース部材に対する半導体装置の位置ずれを防止することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係るICソケット及び半導体装置の検査方法について説明する。
図1(A)及び(B)は、本発明の実施形態に係るICソケット100の構成例を示す断面図である。このICソケット100は、例えば、図1(A)に示すようなBGAタイプのICパッケージ50に電気的特性の試験や、バーンイン試験等(プローブ検査)を行う際に、このICパッケージ50を収容すると共に、そのボール電極52を当該ICソケット100の外に引き出すものである。図1(B)に示すように、このICソケット100は、ソケットベース10と、複数のガイドピン20と、複数のコンタクトピン30等から構成されている。
図1(A)及び(B)は、本発明の実施形態に係るICソケット100の構成例を示す断面図である。このICソケット100は、例えば、図1(A)に示すようなBGAタイプのICパッケージ50に電気的特性の試験や、バーンイン試験等(プローブ検査)を行う際に、このICパッケージ50を収容すると共に、そのボール電極52を当該ICソケット100の外に引き出すものである。図1(B)に示すように、このICソケット100は、ソケットベース10と、複数のガイドピン20と、複数のコンタクトピン30等から構成されている。
ソケットベース10は、ICパッケージ50をその下方から支持するものである。このソケットベース10の中心部には、複数のコンタクトピン30が1本ずつ貫いた状態で取り付けられている。また、図1(A)に示すように、このソケットベース10の上面には、ICパッケージを載置するための複合領域14が設けられている。
この複合領域14は、ICパッケージ50のほかに、外形寸法の異なるICパッケージ50´(図4(A)参照)や、ICパッケージ50´´(図4(B))を配置するための領域でもある。これらのICパッケージ50、50´、50´´は何れもBGAタイプであり、その平面視での形状(以下、「平面形状」という。)は例えば正方形である。また、その外形寸法は、例えばICパッケージ50´、50、50´´の順に大きい。
この複合領域14は、ICパッケージ50のほかに、外形寸法の異なるICパッケージ50´(図4(A)参照)や、ICパッケージ50´´(図4(B))を配置するための領域でもある。これらのICパッケージ50、50´、50´´は何れもBGAタイプであり、その平面視での形状(以下、「平面形状」という。)は例えば正方形である。また、その外形寸法は、例えばICパッケージ50´、50、50´´の順に大きい。
図2に示すように、この複合領域14は、領域14a、14b及び14cの重なり合いにより構成されており、これらの領域14a、14b及び14cは上記の3種類のICパッケージにそれぞれ対応している。具体的には、領域14aは上記ICパッケージ50´を載せるための領域であり、領域14bは上記ICパッケージ50を載せるための領域である。また、領域14cは上記ICパッケージ50´´を載せるための領域である。
これらの領域14a、14b及び14cの形状は何れも正方形であり、それぞれの領域の中心が重なっている。さらに、これらの領域の面積は領域14a、14b、14cの順に大きい。このような構成により、このICソケット100では、図2に示すように、複合領域14と領域14cの周縁が一致している。なお、ソケットベース10を貫く複数のコンタクトピン30は、全て領域14aの内側に取り付けられている。
また、図2に示すように、このソケットベース10には、複数の貫通した開口部(以下、「ピン孔」という。)12a、12b、12cが設けられている。このソケットベース10では、領域14aの周縁に沿って当該領域14aの外側にピン孔12aが配置され、領域14bの周縁に沿って当該領域14bの外側にピン孔12bが配置されている。また、領域14cの周縁に沿って当該領域14cの外側にピン孔12cが配置されている。
図2に示すように、このソケットベース10では、領域14aの一辺に対してピン孔12aが例えば2個設けられており、この領域14aの周囲に計8個(=2個×4辺)のピン孔12aが設けられている。同様に、領域14bの一辺に対してはピン孔12bが等間隔に3個設けられており、この領域14bの周囲に計12個(=3個×4辺)のピン孔12bが設けられている。さらに、領域14cの一辺に対してはピン孔12cが等間隔に4個設けられており、この領域14cの周囲に計16個(=4個×4辺)のピン孔12cが設けられている。つまり、ICパッケージを載置するための領域の面積が大きいほど、その周囲に設けられたピン孔の個数は多くなっている。このような構成によれば、ICパッケージの大きさに関係なく、一定間隔でガイドピン20を立てることができる。
なお、これらのピン孔12a、12b、12cの形状とその大きさは、全てのピン孔間で同じである。例えば、このピン孔12a、12b、12cの平面視での形状は全て正方形であり、その一辺の長さは全て1.5[mm]程度である。このようにピン孔12a、12b、12cの平面視での形状を多角形とすることで、このピン孔12a、12b、12c内でのガイドピンの回転を防ぐことができる。このソケットベース10は、例えば合成樹脂等の絶縁材料で形成されている。
図1(B)に戻って、ガイドピン20は、挿嵌部22と突起部24とが一体に形成されている。挿嵌部22は、ソケットベース10に設けられたピン孔12a、12b又は12cに差し込まれる部分である。この挿嵌部22は、その形状がピン孔12a、12b、12cの形状と略一致しており、かつ、その大きさはピン孔12a、12b、12cよりもやや小さい。また、突起部24は、この挿嵌部22がピン孔12a、12b又は12c内に完全に差し込まれたときに、ソケットベース10の表面上から露出する部分である。この突起部24には、その上面から側面にかけてテーパ面24aが設けられている。図1(B)に示すように、プローブピン20は例えばピン孔12bが囲む領域の内側にそのテーパ面24aを向けた状態で、このピン孔12bに差し込まれている。
このような構成によれば、ICパッケージ50をソケットベース10の領域14b(図2参照)上に載せる際に、このガイドピン20のテーパ面24aを使ってICパッケージ50を領域14b側へ移動させることができる。従って、ICパッケージ50の装着が簡単である。このガイドピン20は、例えば合成樹脂等の絶縁材料で形成されている。
ところで、このようなICソケット100を用いてICパッケージ50をプローブ検査する場合には、まず始めに、図1に示すICソケット100を、図示しないICハンドラのソケット取付台に載せ、このICソケット100のコンタクトピン30をICハンドラ側の対応する端子に接続させる。次に、ソケットベース10上に設定された領域14a、14b、14cの中から、検査するICパッケージ50の外形寸法に対応した領域を選択する。ここでは、領域14bを選択する。
ところで、このようなICソケット100を用いてICパッケージ50をプローブ検査する場合には、まず始めに、図1に示すICソケット100を、図示しないICハンドラのソケット取付台に載せ、このICソケット100のコンタクトピン30をICハンドラ側の対応する端子に接続させる。次に、ソケットベース10上に設定された領域14a、14b、14cの中から、検査するICパッケージ50の外形寸法に対応した領域を選択する。ここでは、領域14bを選択する。
次に、図3に示すように、この選択された領域14bの内側にテーパ面24aを向けた状態で、この領域14bを囲むピン孔12bにガイドピン20の挿嵌部22を完全に差し込む。このようにピン孔12bの全てにガイドピン20を差し込むと、図1(A)に示すように、複数のガイドピン20からなるガイドを形成することができる。これ以降は、ICパッケージ50の種類を変えるまで、このガイドピン20をピン孔12bに差し込んだままにしておく。次に、ICパッケージ50のボール電極52をソケットベース10に向けた状態で、このICパッケージ50をガイドピン20で囲まれたソケットベース10の領域14b(図2参照)上に載置する。
ここで、この領域14bに対してICパッケージ50が多少位置ずれしてソケットベース10に近づけられたとしても、このICパッケージ50はガイドピン20によって領域14b側へガイドされる。このようなICパッケージ50の載置は、例えば図示しないICハンドラの搬送系により行う。
次に、このICハンドラのプッシャーをICパッケージ50の上面に当て、このICパッケージ50をソケットベース10側に押圧する。これにより、このICパッケージ50のボール電極52と、ICソケット100のコンタクトピン30とを確実に接触させる。そして、ボール電極52とコンタクトピン30とを確実に接触させた状態で、ICパッケージ50のプローブ検査を開始する。
次に、このICハンドラのプッシャーをICパッケージ50の上面に当て、このICパッケージ50をソケットベース10側に押圧する。これにより、このICパッケージ50のボール電極52と、ICソケット100のコンタクトピン30とを確実に接触させる。そして、ボール電極52とコンタクトピン30とを確実に接触させた状態で、ICパッケージ50のプローブ検査を開始する。
このように、本発明に係るICソケット100によれば、このICソケット100にICパッケージ50を装着する場合には、このICパッケージ50に対応した領域14bを囲むピン孔12bにガイドピン20をそれぞれ差し込む。これにより、ICパッケージ50専用のガイドをソケットベース10上に形成することができる。
また、このICパッケージ50よりもその外形寸法が小さいICパッケージ50´をICソケット100に装着する場合には、図4(A)に示すように、上記のピン孔12bではなく、ICパッケージ50´に対応した領域14aを囲むピン孔12a(図2参照)にガイドピン20をそれぞれ差し込む。これにより、ICパッケージ50´専用のガイドをソケットベース10上に形成することができる。同様に、ICパッケージ50´´をICソケット100に装着する場合には、上記のピン孔12a及び12bではなく、領域14cを囲むピン孔12c(図2参照)にガイドピン20を差し込む。これにより、図4(B)に示すように、ICパッケージ50´´専用のガイドを形成することができる。
また、このICパッケージ50よりもその外形寸法が小さいICパッケージ50´をICソケット100に装着する場合には、図4(A)に示すように、上記のピン孔12bではなく、ICパッケージ50´に対応した領域14aを囲むピン孔12a(図2参照)にガイドピン20をそれぞれ差し込む。これにより、ICパッケージ50´専用のガイドをソケットベース10上に形成することができる。同様に、ICパッケージ50´´をICソケット100に装着する場合には、上記のピン孔12a及び12bではなく、領域14cを囲むピン孔12c(図2参照)にガイドピン20を差し込む。これにより、図4(B)に示すように、ICパッケージ50´´専用のガイドを形成することができる。
従って、ガイドピン20を差し替えることでソケットベース10上のガイドを変更できるので、手間がかからず、外形寸法の異なるICパッケージ50、50´、50´´に簡単に対応することができる。また、ガイドピン20の仕様を一種類に統一することができるので、ガイドピン20をピン孔12a、12b又は12cに差し込む際に、その種類の選択に迷うことはない。さらに、ソケットベース10を金型を用いて成形部品として作成する場合には、外形寸法の異なるICパッケージ50、50´、50´´に対し、金型は一種類で済むので、ICソケット100の安価化に貢献することができる。
さらにまた、本発明に係るICソケット100によれば、特許文献2に開示されたICソケットと比べて、ICパッケージ50の固定にバネの付勢力を用いないので、ICパッケージ50の着脱を何回も繰り返したような場合でも、その位置ずれを防止することができる。
この実施形態では、ICパッケージ50、50´及び50´´が本発明の半導体装置に対応し、複合領域14が本発明の半導体装置を載置するための領域に対応している。また、ソケットベース10が本発明のベース部材に対応し、ピン孔12a、12b、12cが本発明のピン装着用開口部に対応している。さらに、ガイドピン20が本発明のピンに対応している。また、領域14a、14b、14cのそれぞれの周縁が、本発明の半導体装置外形線に対応している。
この実施形態では、ICパッケージ50、50´及び50´´が本発明の半導体装置に対応し、複合領域14が本発明の半導体装置を載置するための領域に対応している。また、ソケットベース10が本発明のベース部材に対応し、ピン孔12a、12b、12cが本発明のピン装着用開口部に対応している。さらに、ガイドピン20が本発明のピンに対応している。また、領域14a、14b、14cのそれぞれの周縁が、本発明の半導体装置外形線に対応している。
10 ソケットベース、12a、12b、12c ピン孔、14a、14b、14c 領域、20 ソケットピン、22 挿嵌部、24 突起部、24a テーパ面、30 コンタクトピン、50 ICパッケージ、100 ICソケット
Claims (5)
- パッケージで封止された半導体装置の電気的特性を検査する際に当該半導体装置に装着されるICソケットであって、
半導体装置を載置するための領域を有するベース部材と、前記ベース部材に設けられた複数のピン装着用開口部と、前記ピン装着用開口部に着脱可能に差し込まれる複数のピンと、を備え、
前記複数のピン装着用開口部は、複数種類の半導体装置外形線に沿って配置されていることを特徴とするICソケット。 - 前記複数種類の半導体装置外形線は相似形であり、前記半導体装置を載置するための前記領域上でそれぞれ重なり合うことを特徴とする請求項1に記載のICソケット。
- 前記半導体装置外形線に沿って配置される前記複数のピン装着用開口部は、前記半導体装置外形線が囲む面積が大きいほど、その個数が多いことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のICソケット。
- 前記複数のピンはその上面から側面にかけてテーパ面を有し、
前記テーパ面を有する前記複数のピンは、当該複数のピンにより囲まれる領域に該テーパ面を向けた状態で、前記ピン装着用開口部にそれぞれ差し込まれていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のICソケット。 - 請求項1から請求項4の何れか一項に記載のICソケットに前記半導体装置を装着し、その電気的特性を検査することを特徴とする半導体装置の検査方法。
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JP2012015024A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
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