JP2005180233A - Molecular pump - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は半導体製造装置や分析装置等の被排気部に接合されて中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用される分子ポンプ、具体的にはたとえばターボ分子ポンプ、あるいはねじ溝ポンプに代表されるモレキュラードラッグポンプなどに関する。 The present invention relates to a molecular pump that is joined to an exhausted part of a semiconductor manufacturing apparatus, an analysis apparatus or the like and is used for vacuum exhaust in a pressure range from a medium vacuum to an ultra-high vacuum, specifically, for example, a turbo molecular pump or a thread groove pump. It relates to a molecular drag pump represented by
このような分子ポンプにおいて、その代表的なターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、ケーシングの一方側における吸気口からの分子、ガス等を吸気し、他方側の排気口に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された回転体がケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組み合わせであって、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には1分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。 In such a molecular pump, a typical turbo molecular pump is configured such that a turbo mechanism that is a main part of the molecular pump is rotatably held in a cylindrical casing, and sucks molecules, gas, and the like from an intake port on one side of the casing. And it has the structure which exhausts to the exhaust port of the other side. That is, in the turbo mechanism, a rotating body arranged at the central axis of the casing is rotatably held by upper and lower bearings installed on the casing, and this rotating body is also provided by a motor installed on the casing. It is connected to rotate at high speed. And this turbo mechanism is a combination of a rotor blade fixed in a plurality of stages on the outer periphery of the rotating body and a stator blade of a plurality of stages fixed on the casing side, in which the rotor blades are rotated at high speed by a motor. Specifically, it is driven at a rotational speed of tens of thousands of revolutions per minute, and compresses and exhausts gas and molecules.
従来におけるターボ分子ポンプの一般的な例を示すと図14に示すとおりである。なお、この図14は被排気部HVに接合された状態を示している。以下、このターボ分子ポンプTPの主体であるターボ機構TKについて説明すると、回転軸3の上方部には一体的に円筒部4Nが形成されていて、この円筒部4Nには外周に複数段(具体的には8段)の回転翼B1〜B8(図面には最上段の回転翼B1と最下段の回転翼B8のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している)が延設されている。この回転翼B1〜B8は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸3と回転翼B1〜B8などは一体的であり、回転体4を構成している。他方、上方に吸気口6が形成されたケーシング5の内周側からは、固定翼T1〜T7(図面には最上段の固定翼T1と最下段の固定翼T7のみ符号を付してその他の付記は省略している)が各回転翼B1〜B8と交互に設けられターボ機構TKが構成されている。なお、図14においてSは各固定翼T1〜T7を一定の間隔で保持するためのスペーサである。7は排気口である。
FIG. 14 shows a general example of a conventional turbo molecular pump. In addition, this FIG. 14 has shown the state joined to the to-be-exhausted part HV. Hereinafter, the turbo mechanism TK which is the main body of the turbo molecular pump TP will be described. A cylindrical portion 4N is integrally formed on the upper portion of the rotating
この回転軸3はポンプ機台部1に架設された上下の磁気軸受8A、8Rにて回転自在に保持されるとともに、モータ2と結合されている。すなわち、8Aはアキシャル用の磁気軸受であり、また8Rはラジアル用の磁気軸受で、これらにより回転軸3を確実に軸受している。他方、モータ2の一方を構成する回転子(図示せず)がこの回転軸3に内設され一体的に取付られている。この回転子はポンプ機台部1に架設された電極コイル1Kと協働しモータ2を構成する。このモータ2にはインバータ(図示せず)から電気エネルギーが供給され、回転軸3を高速で回転駆動する。
The
そして、さらに回転体4の一部すなわち具体的には下方には円筒部4Nが一体的に形成され、しかもその外周にはねじ溝(この溝は図面では明確には開示されていない)が形成されている。なお、このねじ溝はステータリング10の側に形成される場合もある。このねじ溝は下方になるにつれて溝の深さが浅い円錐状をなしている。しかもこの円筒部4Nの外周はベースを兼ねた下部ケーシング9の内周に接合されたステータリング10の内周面に近接している。このステータリング10の内周面と前記円筒部4Nとの組合わせによってねじ溝ポンプNPが構成されている。このねじ溝ポンプNPはドラッグポンプとして機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。
Further, a cylindrical portion 4N is integrally formed at a part of the
このようなターボ分子ポンプTPは、ターボ機構TKによるターボポンプ機構とねじ溝ポンプNPによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプTPとしては、このようなハイブリッド形のものが排気特性が良く、よく利用されている。なお、分子ポンプとしてはターボ機構TKのみを採用するものと、上記ステータリング10と外周にねじ溝が形成された回転体(円筒体)との組合わせのみからなるねじ溝ポンプNPなどがある。
このターボ分子ポンプTPは、ケーシング5の吸気口6側に一体的に形成された吸気口フランジ5Fを介して吸気口6側が半導体製造装置などの被排気部HVに接合される。接合には通常ボルト11を利用したボルト結合方式が採用される。図15はこのボルト結合部を拡大して示す断面図である。
Such a turbo molecular pump TP is an organic combination of a turbo pump mechanism by the turbo mechanism TK and a thread groove pump function by the thread groove pump NP, and is usually called a hybrid turbo molecular pump. As the turbo molecular pump TP, such a hybrid type has good exhaust characteristics and is often used. The molecular pump includes a turbo pump NP that uses only the turbo mechanism TK, and a thread groove pump NP that includes only a combination of the
The turbo molecular pump TP is joined to the exhausted part HV of a semiconductor manufacturing apparatus or the like through an
このようなターボ分子ポンプTPにおいては、回転翼B1〜B8が万が一応力腐蝕割れなどにより破壊したときは分裂して半径方向に飛散し、ケーシング5の内周に配置されているスペーサSや固定翼T1〜T7に衝突する。この衝突によって、回転翼B1〜B8の破片がスペーサSおよび固定翼T1〜T7と一体となり、この衝撃エネルギーにて半径方向に膨張しケーシング5に衝突する。この衝突によりケーシング5にはトルクが発生する。このトルクはケーシング5そして吸気口フランジ5Fを介して被排気部HVに伝達され、すなわちターボ分子ポンプTPの外方機器にも衝撃を与えるとともに図16に示すようにターボ分子ポンプTPのケーシング5を変形させてポンプ機能を破壊することになる。このようなことは好ましくないことから、この衝撃を緩和させるためにケーシング5と一体の吸気口フランジ5Fを被排気部HVに結合するボルト結合の方法について工夫が提案されている(例えば特許文献1参照)。
このようなターボ分子ポンプTPにおいて、回転体4が遠心破壊した場合は高速回転状態で破裂するため、ケーシング5ならびに下部ケーシング9に大きなトルクを与える。ケーシング5ならびに下部ケーシング9に与えられた衝撃によるトルクは、ターボ分子ポンプTPがボルト結合で取付けられた被排気部HVに伝達されることになるので、このトルクの伝達を少なくすることが望まれる。そこで、このトルクの伝達を軽減するためボルト結合部である吸気口フランジ5Fにおけるボルト用の貫通孔5Hをボルト11の径より大きく形成し、トルクが作用したときボルト11が曲折できるようにする工夫が提案されている。具体的には、このボルト11の曲折で被排気部HVへの伝達を軽減化させる方法である。しかしながら、この方法では吸気口フランジ5Fにトルクを緩和させる工夫は施されておらず、伝達トルクの軽減には有効でない。
本発明はこのような問題を解消できる分子ポンプを提供しようとするものである。
In such a turbo molecular pump TP, when the
The present invention seeks to provide a molecular pump capable of solving such problems.
本発明が提供する分子ポンプは、上記課題を解決するために、被排気部に対してボルトにて吸気口フランジを接合させて結合させるポンプにおいて、この吸気口フランジにケーシングがトルクを受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってトルクによる衝撃が被排気部に伝達するのを緩和させるようにしたものである。この変形部については具体的にはつぎの3つの構成からなる分子ポンプを提供する。すなわち、第1に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の近傍に切り込みを形成することによって構成するものである。この切り込みは貫通孔が穿設されるピッチ円の円周方向両側に形成される。この切込部を貫通形にすることもできる。 In order to solve the above problems, the molecular pump provided by the present invention is a pump in which an inlet flange is joined to a portion to be exhausted with a bolt, and when the casing receives torque on the inlet flange. A deforming portion that deforms is provided, and the deformation of the deforming portion reduces the transmission of an impact due to torque to the exhausted portion. Specifically, a molecular pump having the following three configurations is provided for the deformed portion. That is, the first provided molecular pump is configured by forming a notch in the vicinity of a through hole for a bolt. This notch is formed on both sides in the circumferential direction of the pitch circle in which the through holes are formed. This notch part can also be made into a penetration type.
本発明が第2に提供する分子ポンプは、変形部をボルト用の貫通孔の位置より内方であって吸気口フランジにおける円周上に連続的または連続的に形成された切込部によって構成される。この場合も切込部は吸気口フランジに対して貫通形とすることもできる。
さらに、本発明が第3に提供する分子ポンプは、吸気口フランジを半径方向に分割するよう構成し、この分割形の吸気口フランジをねじ部材等にて半径方向に接合することとし、この接合のためのねじ部材を結合のためのボルトより機械的に弱い材料で構成する。この分割方式とし接合部材を弱い材料にて形成することで変形部を構成する。
本発明が提供する分子ポンプはこのような構成により衝撃によるトルクをケーシングが受けたとき変形部が変形して吸気口フランジに作用したトルクの被排気部への伝達が軽減される。
In the molecular pump provided by the present invention secondly, the deforming portion is formed by a notch portion formed inward or continuously from the position of the through hole for the bolt and continuously or continuously on the circumference of the inlet flange. Is done. In this case as well, the cut portion may be a through-type with respect to the inlet flange.
Furthermore, the molecular pump provided by the third aspect of the present invention is configured such that the inlet flange is divided in the radial direction, and the divided inlet flange is joined in the radial direction by a screw member or the like. The screw member for the material is made of a material that is mechanically weaker than the bolt for the connection. By using this division method, the deformable portion is formed by forming the joining member with a weak material.
With this configuration, the molecular pump provided by the present invention reduces the transmission of the torque acting on the intake flange to the exhausted portion by deforming the deformed portion when the casing receives torque due to impact.
回転体が回転中に破壊し、ケーシングがトルクを受けた際、ボルト用の貫通孔の近傍に形成された切り込みにボルトを介して負荷が作用し切込部と貫通孔との間に吸気口フランジに変形が生じる。この変形でトルク(エネルギー)が消耗され、吸気口フランジから被排気部への伝達は緩和され軽減される。したがって安価なボルトを使用しても安全余裕を確保でき、ボルト破断の危険を回避できる。被排気部も衝撃が大きく緩和され装置の構成を簡略にできる。 When the rotating body breaks during rotation and the casing receives torque, a load is applied to the notch formed in the vicinity of the through hole for the bolt via the bolt, and the intake port is formed between the notch and the through hole. The flange is deformed. Torque (energy) is consumed by this deformation, and transmission from the intake flange to the exhausted portion is relaxed and reduced. Therefore, even if an inexpensive bolt is used, a safety margin can be secured and the risk of bolt breakage can be avoided. The impact of the exhausted part is greatly reduced, and the configuration of the apparatus can be simplified.
本発明が適用される分子ポンプはターボ機構のみからなるターボ分子ポンプあるいは回転体とステータリング間に形成されるねじ溝ポンプ、さらにはターボ機構とねじ溝ポンプの組合わせを基本とする構成のハイブリッド形の分子ポンプが挙げられる。最良である分子ポンプはハイブリッド形である。これは排気特性が良好であるためである。すなわち、円筒状のケーシングの内部には回転体が軸受により支持され、この回転体の上方部にターボ機構が配置され、下方部にはドラックポンプとしてのねじ溝ポンプが配置される。 The molecular pump to which the present invention is applied is a turbo molecular pump consisting only of a turbo mechanism, a thread groove pump formed between a rotating body and a stator ring, or a hybrid based on a combination of a turbo mechanism and a thread groove pump. A molecular pump of the form. The best molecular pump is the hybrid type. This is because the exhaust characteristics are good. That is, a rotating body is supported by a bearing inside a cylindrical casing, a turbo mechanism is disposed above the rotating body, and a thread groove pump as a drag pump is disposed below the rotating body.
このようなハイブリッド形の分子ポンプにおいて、ケーシングと一体の吸気口フランジ自体にトルクの衝撃を受けたとき変形する変形部を設け、この変形部の変形によってその衝撃が被排気部に伝達されるのを緩和するものである。吸気口フランジは被排気部にボルトにて結合されるが、このボルトを貫通するための貫通孔近傍における吸気口フランジに切込部を形成する。この切込部の介在によって機械的強度の弱い部所すなわちこの部所が変形部であり、この部分の変形でトルクを緩和させようとするものである。あるいは吸気口フランジを分割体で構成しその接合部材を変形部として構成しトルクを吸収させるようにしたものである。
以下、図面に示す実施例にしたがって本発明を説明する。
In such a hybrid type molecular pump, the intake flange integrated with the casing is provided with a deformed portion that deforms when subjected to a torque shock, and the shock is transmitted to the exhausted portion by the deformation of the deformed portion. Is to ease. The intake flange is coupled to the exhausted portion with a bolt, and a notch is formed in the intake flange in the vicinity of the through hole for penetrating the bolt. The portion having a low mechanical strength, that is, this portion is a deformed portion by the interposition of the cut portion, and the torque is relieved by the deformation of this portion. Alternatively, the intake flange is configured as a divided body, and the joining member is configured as a deformed portion so as to absorb torque.
Hereinafter, the present invention will be described according to embodiments shown in the drawings.
図1は本発明をターボ分子ポンプTPに適用した実施例1の構成の断面図を示している。この図1は図14に示す構成とほぼ同様で円筒状のケーシング5および下部ケーシング9の内部には高速回転する回転体4が2個の磁気軸受8A、8Rにより支持されている。回転体4の上部は回転翼B1〜B8を有しており、この回転翼B1〜B8と交互に配置される形で固定翼T1〜T7が設けられ、固定翼T1〜T7はスペーサSによって位置決めされている。5Fはケーシング5と一体に形成された吸気口フランジで、ボルト11にて被排気部HVに接合され結合される。ところで、分子ポンプの回転体4は数万rpmの高速で回転しており、回転体4が腐食性ガスにより材料が腐食を受けるなどして万一破損するような場合には、回転体4の破片は回転体4の周囲にあるスペーサSに衝突したのち、ケーシング5および下部ケーシング9へ半径方向外側に向かって力が加わる。また、回転体4は高速回転状態しているため、ケーシング5および下部ケーシング9に回転力(トルク)が加わり、したがってこの回転力はボルト11に伝達されることになる。
FIG. 1 shows a cross-sectional view of a configuration of Example 1 in which the present invention is applied to a turbo molecular pump TP. FIG. 1 is substantially the same as the configuration shown in FIG. 14, and a
本発明はこの点の改善を鑑みて発明されたものであり、以上の構成において吸気口フランジ5F側に変形部を設け、この変形によってケーシング5や下部ケーシング9が受けたトルクを被排気部HVに伝達されるのを緩和させるものである。
具体的には、図1〜図3に示すように、吸気口フランジ5Fに穿設されたボルト11用の貫通孔5Hの近傍両側、理想的には貫通孔5Hの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に切込部5Kが設けられている。この構成は図2の断面図に詳しく示されている。すなわち図2は、ボルト11が吸気口フランジ5Fの貫通孔5Hを貫通して被排気部HVにねじ込まれた部位を拡大して示す図である。このような構成により貫通孔5Hの近傍に肉薄部Tが形成されている。この肉薄部Tが変形部である。図3はこの吸気口フランジ5Fを上方から見た図である。このような構成であるから、発生したトルクがボルト11を介してこの肉薄部Tに作用すると、この肉薄部Tを中心とする吸気口フランジ5Fは図4に示すように歪み、ボルト11に作用したエネルギーがこの切込部5Kの変形で吸収されることになる。このように本発明実施例1の構成はこのボルト用の貫通孔5Hの両側に切込部5Kを設けた点に特徴がある。
The present invention was invented in view of the improvement of this point. In the above configuration, a deformed portion is provided on the
Specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, a circle of a pitch circle passing through both sides in the vicinity of the through
トルク発生時における状態を図1〜図4にしたがって詳細に説明すると、吸気口フランジ5Fが図4に示す矢印Y方向に動きはじめると、ボルト11は最初に肉薄部Tの上方点Aに当接する。このボルト11は被排気部HVにねじ込まれており、その部分は位置が固定されているので、ボルト11は曲折せざるを得ず曲折する。そして、ボルト11が曲折されると切込部5Kが歪み肉薄部Tの下方点Bがふくらんだ形となってボルト11に当接する。同時にその反対側にある肉薄部Tが歪むことになり肉薄部Tの下方点Cが当接して押すことになる。この動作で歪みの変形が生起しトルクのエネルギーが吸収されることになる。肉薄部Tの歪みの変形部がなければ、エネルギーの吸収はなくボルト11に局部的な力がかかることになる。なお、この切込部5Kの形状は吸気口フランジ5Fの厚さを貫通する形にしても良いが、貫通形状よりさらに格段の効果を得るために、図2に示すように切込部5Kの形状をV字形でかつ平面的には円弧状とすることが望ましい。それは上述したとおり、図4に示すように肉薄部Tの上方点Aが押されて下方点Bが盛上がって膨らみ、下方点Bの部位がボルト11を押すことでボルト11の変形と下方点Cの変形の両方で効率良く力を吸収することができるからである。
The state at the time of torque generation will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4. When the
したがって、切込部5Kは片側だけに設けた場合は効果は小さく、図2に示したように貫通孔5Hに対し、そのピッチ円周方向の両側に形成することによって格段の効果を有する。しかしながら本発明はこの図1〜図4に示すように、切込部5KをV字形のみに限定するものではなく、吸気口フランジ5Fの厚さを貫通する形状にしても本発明の効果は発揮できる。図6はこの貫通形の例を示す図で、(A)は断面図、(B)は平面図である。5Tは貫通形の切込部である。さらに図5(A)、(B)とともに説明すると、回転体4の回転方向に対して貫通孔5Hの進行側は下部に、そしてその反対側には上部に形成することで効率的に変形を吸収することができるが、切込部5Sの場所は貫通孔5Hの中心を通るピッチ円の円周方向に隣接して両側に設けられていることが望ましい。この場合切込部5Sは矩形状でV溝形ではない。これら変形例に示すように切込部の形状および大きさについては問わない。なお、図1〜図4において、図14と同一の符号で示される部品は図14と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。
Therefore, when the
図7は本発明が提供する実施例2の構成を平面的に示している。そして図8は図7の構成のA−A縦断面を示している。この本発明が第2に提供する実施例2は、図7に示すように、吸気口フランジ5Fにおけるボルト11用の貫通孔5Hの中心を通るピッチ円より内方側で円周状に切込部5Dを設けたものである。この切込部5Dは円周状に断続した形で穿設されている。この断続的な切込部5Dのピッチは自在に設定できるが、各切込部5D間の肉薄部Qが変形部を構成する。すなわち、この第2の実施例は吸気口フランジ5Fにおける半径方向(外側)に向かって作用するトルクを受けたとき、その力をこの各切込部5D間の肉薄部Qが受け、歪みを生じトルクのエネルギーを吸収する。その結果、ボルト11に伝わる力が緩和される。図8に示すようにこの切込部5Dは吸気口フランジ5Fを貫通している。なお、この切込部5Dの形状については、図示例のような楕円形に限定されず、台形、三角形、真円形など種々の形とすることができる。5Mは円周状溝である。
FIG. 7 is a plan view showing the configuration of the second embodiment provided by the present invention. FIG. 8 shows an AA longitudinal section of the configuration of FIG. As shown in FIG. 7, the second embodiment provided by the present invention has a circumferential cut inwardly from a pitch circle passing through the center of the through
この第2の実施例については、さらに具体的な変形の実施例を挙げることができる。この変形実施例としては図9、図10に示されている。この変形例は図9の断面図に示すように、吸気口フランジ5Fの上面と下面の両面に円周状の切込部5Gが形成されている。すなわち、上面には垂直状溝の切込部5Gが形成され下面には傾斜溝状の切込部5Gが形成されている。したがって両切込部5G間に肉薄部Zが形成され、この肉薄部Zが変形部を構成している。
As for the second embodiment, a more specific modified embodiment can be given. This modified embodiment is shown in FIGS. In this modified example, as shown in the cross-sectional view of FIG. 9,
トルクの発生により、この肉薄部Zが変形ないし破断しトルクエネルギーの吸収が行われる。図10はこの肉薄部Zが破断状態を示している。もちろんこの円周状の切込部を有する実施例2の実施例はこれらの変形例に限定されるものではない。これらの例では吸気口フランジ5Fの切込部5Gが変形の結果として、吸気口フランジ5Fの破断を生じたとしても回転フランジのように機能するものである。したがって、ボルト11の破断によってターボ分子ポンプTPが被排気部HVから結合が解かれ、離脱、落下に至ることはない。なお、図7〜図10において、図1〜図6と同一の符号で示される部品は図1〜図6と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。
Due to the generation of torque, the thin portion Z is deformed or broken, and torque energy is absorbed. FIG. 10 shows the thinned portion Z in a broken state. Of course, the embodiment of the
図11、図12は本発明が提供する実施例3の構成を示す図である。図11は吸気口フランジ5Fを上面より示す図であり、図12は図11のB−B面を示す縦断面である。本発明が第3に提供する分子ポンプの実施例3は、これらの図面から明らかなとおり、吸気口フランジ5Fを半径方向に分割するとともに、この分割形の吸気口フランジ5Fをボルト11よりも機械的強度の小さい材料からなる結合具で結合させたものであり、この結合具が変形部を構成させるようにしたことを特徴とする。分割の仕方はL字形の分割断面Lで行っている。
11 and 12 are diagrams showing the configuration of the third embodiment provided by the present invention. FIG. 11 is a view showing the
具体的には、分子ポンプを結合する際使用するボルト11より小さなサイズの結合ねじ12を前記結合具として使用し、分割フランジ5SFを吸気口フランジ5Fと結合するものである。図11は2個に分割した内方分割フランジ5SFを結合ねじ12で結合させた状態を示し、図12はこの結合部を縦断面して示している。以上のような構成であるから、したがってトルクが発生して吸気口フランジ締結用のボルト11が破断するより先にこの分割フランジ5SFと吸気口フランジ5Fの結合ねじ12が破断し、その後は回転フランジのように機能することになる。この場合も分子ポンプが被排気部HV(図1)から離脱、落下してしまうようなことはない。図13は吸気口フランジ5Fの分割の仕方を傾斜面Kで行った変形例を示す図である。
もちろんこれら各実施例以外の変形例も挙げられ、図示例に限定されない。なお、図11〜図13において、図1〜図10と同一の符号で示される部品は図1〜図10と同様の機能、作動をするものであり、詳細な説明は省略する。
Specifically, a
Of course, modifications other than these examples are also included, and are not limited to the illustrated examples. 11 to 13, components denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 10 perform the same functions and operations as those in FIGS. 1 to 10, and detailed descriptions thereof are omitted.
1 ポンプ機台部
1K 電極コイル
2 モータ
3 回転軸
4 回転体
4N 円筒部
5 ケーシング
5F 吸気口フランジ
5D、5G、5K、5S、5T 切込部
5H 貫通孔
5M 円周状溝
5SF 分割フランジ
6 吸気口
7 排気口
8A、8R 磁気軸受
9 下部ケーシング
10 ステータリング
11 ボルト
12 結合ねじ
B1〜B8 回転翼
HV 被排気部
K 傾斜面
L 分割断面
S スペーサ
T1〜T7 固定翼
TK ターボ機構
TP ターボ分子ポンプ
NP ねじ溝ポンプ
T、Q、Z 肉薄部
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