JP2005176521A - Vibration-type drive unit, device equipped with the same, and assembling method for the vibration type drive unit - Google Patents

Vibration-type drive unit, device equipped with the same, and assembling method for the vibration type drive unit Download PDF

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淳 玉井
Akira Kitajima
暁 北島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To form at least either of first and second engagement parts into a shape that is inclined in the rotative direction with respect to the axial direction, thus allowing the other engagement part, to move along the the inclined shape, allowing the first and the second engagement parts to be easily engaged, and allowing a vibration-type drive unit to be assembled easily. <P>SOLUTION: The vibration-type drive unit is assembled with, alternately from the axial direction, a vibrating body (10) that is excited in vibration by an electromechanical energy converting element (12); a rotating body (1) that contacts with the vibrating body and is rotatively driven; and a transmission member (5) that transmits the rotational force of the rotating body to an output member (16). The vibration-type drive unit has a constitution, such that the rotational force of the rotating body is transmitted to the transmission member by the engagement of the first engagement part (1a), formed at the rotating body and the second engagement part (5a), formed at the transmission member in the rotative direction; and at least either of the first and the second engagement parts has the shape that is inclined in the rotative direction, with respect to the axial direction. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電気−機械エネルギ変換素子によって振動が励起される振動体と、該振動体での振動によって回転駆動される回転体とを有する振動型駆動装置に関するものである。さらに、この振動型駆動装置を用いた装置、この振動型駆動装置の組み立て方法に関するものである。   The present invention relates to a vibration type driving device having a vibrating body whose vibration is excited by an electro-mechanical energy conversion element and a rotating body that is rotationally driven by the vibration of the vibrating body. Furthermore, the present invention relates to a device using the vibration type driving device and a method for assembling the vibration type driving device.

振動型駆動装置においては、振動体で発生したわずか数ミクロンの振幅の振動を、回転体との摩擦面において、いかに効率良く回転体の実用的な動きとして変換するかが極めて重要な課題になっている。この最低条件は、回転型の振動型駆動装置においては、振動体および回転体の摩擦面全周において均一な接触状態を維持することである。   In a vibration type driving device, it is a very important issue how to efficiently convert vibrations of only a few microns amplitude generated by a vibrating body into a practical movement of the rotating body on the friction surface with the rotating body. ing. This minimum condition is to maintain a uniform contact state in the entire circumference of the friction surface of the vibrating body and the rotating body in the rotary vibration type driving device.

不均一な接触状態では、摩擦面に設けられた摩擦部材の偏摩耗により装置の寿命低下、摩擦伝達効率の低下、騒音発生及びワウフラの各原因になるからである。   This is because, in a non-uniform contact state, uneven wear of the friction member provided on the friction surface causes the life of the apparatus, the friction transmission efficiency, noise generation, and wowing.

このため、従来では、回転体側の摩擦面が振動体側の摩擦面と均一に接触するように、振動型駆動装置の構造に工夫を与えている(例えば、特許文献1参照)。   For this reason, conventionally, the structure of the vibration type driving device has been devised so that the friction surface on the rotating body is in uniform contact with the friction surface on the vibration body (see, for example, Patent Document 1).

この例としては、従来例の振動型駆動装置の分解斜視図である図29及びこの外観斜視図である図30からわかるように、回り止めネジ107によって出力軸116に固定された回転力伝達部材105に2つの凸部105aを設けるとともに、回転体101に凸部105aと係合する凹部101aを設け、回転力伝達部材105および回転体101間にコイルバネ106を配置したものがある。   As an example of this, as can be seen from FIG. 29 which is an exploded perspective view of a conventional vibration type driving device and FIG. 30 which is an external perspective view thereof, a rotational force transmission member fixed to an output shaft 116 by a locking screw 107. In some cases, two convex portions 105 a are provided on 105, and a concave portion 101 a that engages with the convex portion 105 a is provided on the rotating body 101, and a coil spring 106 is disposed between the rotational force transmitting member 105 and the rotating body 101.

なお、この振動型駆動装置は、出力軸116の両端側に回転体101が設けられており、出力軸116の略中心に対して上下方向で概ね対象な構造となっている。   This vibration type driving device is provided with the rotating body 101 on both ends of the output shaft 116, and has a structure that is generally targeted in the vertical direction with respect to the approximate center of the output shaft 116.

ここで、不図示の制御回路からフレキシブル基板113を介して圧電素子112に位相の異なる交番信号が印加されると、弾性部材110に振動が励起され、振動体側摩擦部材109の表面には進行波が生じる。そして、振動体側摩擦部材109および回転体側摩擦部材103間の摩擦力によって、回転体101が出力軸116回りに回転することになる。   Here, when an alternating signal having a different phase is applied to the piezoelectric element 112 from the control circuit (not shown) via the flexible substrate 113, vibration is excited in the elastic member 110, and a traveling wave is generated on the surface of the vibration member side friction member 109. Occurs. The rotating body 101 rotates around the output shaft 116 by the frictional force between the vibrating body side friction member 109 and the rotating body side friction member 103.

回転体110が回転すると、回転体110に設けられた2つの凹部101aの側面が、回転力伝達部材105の2つの凸部105aの側面を押すことで、回転力伝達部材105に回転モーメントのみを与える。   When the rotating body 110 rotates, the side surfaces of the two concave portions 101a provided in the rotating body 110 press the side surfaces of the two convex portions 105a of the rotational force transmitting member 105, so that only the rotational moment is applied to the rotational force transmitting member 105. give.

ところで、回転体側摩擦部材103の摩擦面を回転体101の軸心に対して完全に垂直に仕上げることは困難である。同時に、振動体と回転体101のそれぞれの軸心を一致させることも難しい。   By the way, it is difficult to finish the friction surface of the rotor-side friction member 103 completely perpendicular to the axis of the rotor 101. At the same time, it is difficult to make the axes of the vibrating body and the rotating body 101 coincide with each other.

よって、回転体101を直接出力軸116に固定してしまうと、摩擦面での均一な接触状態は得られないことになる。また、摩擦力を得るためには、回転体101を振動体に圧接させるための加圧機構が必要であるため、その意味でも回転体101を直接かつ強固に出力軸116に固定することはできない。   Therefore, if the rotating body 101 is directly fixed to the output shaft 116, a uniform contact state on the friction surface cannot be obtained. Further, in order to obtain the frictional force, a pressurizing mechanism for pressing the rotating body 101 against the vibrating body is required. Therefore, the rotating body 101 cannot be directly and firmly fixed to the output shaft 116 in that sense. .

このため、上述した図29に示す構造とすることで、回転体101と回転力伝達部材116を直接結合させず、回転力伝達部材116の軸心に対して、回転体101の軸心が傾くことができるようにしている。この結果、振動体側摩擦部材109と回転体側摩擦部材103の端面は均一に接触するようになる。   Therefore, with the structure shown in FIG. 29 described above, the rotating body 101 and the rotational force transmitting member 116 are not directly coupled, and the axis of the rotating body 101 is inclined with respect to the axial center of the rotating force transmitting member 116. To be able to. As a result, the end surfaces of the vibrating body side friction member 109 and the rotating body side friction member 103 come into uniform contact.

上述した振動型駆動装置は図30に示すように、第1のケース118及び第2のケース119の中に収められて使われることがある。このとき、振動体を支持する振動体支持板114は、第1のケースと第2のケースの間に挟まれて固定される。なお、117は、出力軸116の端部が取り付けられる。
特開2002−359985号公報(段落番号0055、0056)
As shown in FIG. 30, the vibration type driving device described above may be used in a first case 118 and a second case 119. At this time, the vibrating body support plate 114 that supports the vibrating body is sandwiched and fixed between the first case and the second case. 117 is attached to the end of the output shaft 116.
JP-A-2002-359985 (paragraph numbers 0055 and 0056)

しかし、上述した振動型駆動装置において、回転力伝達部材105の凸部105aの形状が直方体形状で、かつ回転体101の凹部101aによって形成される空間部が直方体形状に形成されており、回転力伝達部材105がコイルバネ106の反発力を常に受けているので、振動型駆動装置を組み立てる際に、凸部105aと凹部101aを噛み合わせるのが難しい。   However, in the vibration type driving device described above, the shape of the convex portion 105a of the rotational force transmitting member 105 is a rectangular parallelepiped shape, and the space formed by the concave portion 101a of the rotational body 101 is formed in a rectangular parallelepiped shape. Since the transmission member 105 always receives the repulsive force of the coil spring 106, it is difficult to engage the convex portion 105a and the concave portion 101a when assembling the vibration type driving device.

ここで、従来の振動型駆動装置の組立て工程について図29を用いて説明する。   Here, the assembly process of the conventional vibration type driving apparatus will be described with reference to FIG.

まず、出力軸116に、一方の回転力伝達部材105を圧入又は挿入した後、側面の回転止めネジ107により固定しておく。次に、一方のコイルバネ106、一方の回転体101、振動体(弾性部材110および圧電素子112)、他方の回転体101、他方のコイルバネ106の順で出力軸116に挿入していく。   First, one rotational force transmitting member 105 is press-fitted or inserted into the output shaft 116 and then fixed with a rotation-preventing screw 107 on the side surface. Next, one coil spring 106, one rotating body 101, a vibrating body (the elastic member 110 and the piezoelectric element 112), the other rotating body 101, and the other coil spring 106 are inserted into the output shaft 116 in this order.

そして、最後に他方の回転力伝達部材105を挿入するのであるが、この時該回転力伝達部材105の凸部105aが他方の回転体101の端面に接してはならない。凸部105aが回転体101の端部を押圧してしまうと、回転体側摩擦部材103に過大な力が加わり、該摩擦部材103が塑性変形してしまうこともあり、この場合振動型駆動装置としての機能を果たさなくなってしまうからである。   Finally, the other rotational force transmitting member 105 is inserted. At this time, the convex portion 105 a of the rotational force transmitting member 105 must not contact the end surface of the other rotating body 101. If the convex portion 105a presses the end of the rotating body 101, an excessive force is applied to the rotating body side friction member 103, and the friction member 103 may be plastically deformed. It is because the function of is not fulfilled.

このため、凸部105aと回転体101(図29の下方に位置する回転体)が接する前に、一旦回転力伝達部材105の軸方向への挿入を止める。そして、回転体101をつかんだ上で、この回転体101の端面を凸部105aに押し当てたまま外部からの力により回転体101を回転させながら、凸部105aを回転体101の凹部101aの位置に合わせる。この後、再度わずかに回転力伝達部材105を挿入する(組み込み方向に移動させる)。   For this reason, before the convex part 105a and the rotating body 101 (rotating body located below FIG. 29) contact | connect, the insertion to the axial direction of the rotational force transmission member 105 is once stopped. Then, after grabbing the rotating body 101, the rotating part 101 is rotated by an external force while the end surface of the rotating body 101 is pressed against the protruding part 105 a, and the protruding part 105 a is moved to the recessed part 101 a of the rotating body 101. Adjust to position. Thereafter, the rotational force transmitting member 105 is slightly inserted again (moved in the assembling direction).

次に、回転体101(図29の上方に位置する回転体)をつかんで回転させながら回転体101の凹部101aを回転力伝達部材105の凸部105aに嵌合させ、コイルバネ106の反発力に逆らって回転力伝達部材105を軸方向の最終的位置まで挿入する。   Next, while grasping and rotating the rotating body 101 (rotating body located above FIG. 29), the concave portion 101a of the rotating body 101 is fitted into the convex portion 105a of the rotational force transmitting member 105, and the repulsive force of the coil spring 106 is applied. On the contrary, the rotational force transmitting member 105 is inserted to the final position in the axial direction.

以上説明したように、振動型駆動装置の組み立てにはかなり複雑な工程を必要としている。   As described above, the assembly of the vibration type driving device requires a considerably complicated process.

本発明は、電気−機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、該振動体に接触して回転駆動される回転体と、該回転体の回転力を出力部材に伝達する伝達部材とが、軸方向から相互に組み付けられた振動型駆動装置であって、回転体に設けられた第1の係合部と伝達部材に設けられた第2の係合部とが回転方向にて係合することにより回転体の回転力が伝達部材に伝達される構造を有し、第1および第2の係合部のうち少なくとも一方が、軸方向に対して回転方向に傾いた形状を有することを特徴とする。   The present invention includes a vibrating body in which vibration is excited by an electromechanical energy conversion element, a rotating body that is rotationally driven in contact with the vibrating body, and a transmission member that transmits the rotational force of the rotating body to an output member. Is a vibration type drive device assembled to each other in the axial direction, and a first engagement portion provided on the rotating body and a second engagement portion provided on the transmission member are engaged in the rotation direction. By combining, the rotational force of the rotating body is transmitted to the transmission member, and at least one of the first and second engaging portions has a shape inclined in the rotational direction with respect to the axial direction. It is characterized by.

本発明の振動型駆動装置は、これを駆動源とする装置に設けることができる。   The vibration type drive device of the present invention can be provided in a device using this as a drive source.

本発明によれば、第1および第2の係合部のうち少なくとも一方を、軸方向に対して回転方向に傾いた形状とすることにより、この傾いた形状に沿って他方の係合部を移動させることができ、第1および第2の係合部を容易に係合させることができ、振動型駆動装置を組み立て易くすることができる。   According to the present invention, by forming at least one of the first and second engaging portions into a shape inclined in the rotational direction with respect to the axial direction, the other engaging portion is moved along the inclined shape. It can be moved, the first and second engaging portions can be easily engaged, and the vibration type driving device can be easily assembled.

第1の係合部を回転体の周方向に周期的に設けたり、第2の係合部を伝達部材の周方向に周期的に設けたりすることにより、回転体および伝達部材を所定の位相関係に合わせて第1および第2の係合部を係合させる必要がなくなる。   By periodically providing the first engaging portion in the circumferential direction of the rotating body and periodically providing the second engaging portion in the circumferential direction of the transmitting member, the rotating body and the transmitting member are placed in a predetermined phase. It is not necessary to engage the first and second engaging portions in accordance with the relationship.

第1および第2の係合部のうち少なくとも一方を、凸部における回転方向両端に設け、凸部の回転方向幅を、凸部の根元側から先端側に向かって減少させることにより、凸部に対する組み込みを容易に行うことができる。   By providing at least one of the first and second engaging portions at both ends in the rotational direction of the convex portion, and reducing the rotational width of the convex portion from the root side toward the tip side, the convex portion Can be easily incorporated.

第1および第2の係合部のうち少なくとも一方を、凹部における回転方向の両端に設け、凹部の回転方向幅を、凹部の底部側から開口側に向かって増加させることにより、凹部に対する組み込みを容易に行うことができる。   At least one of the first and second engaging portions is provided at both ends of the concave portion in the rotational direction, and the rotational width of the concave portion is increased from the bottom side of the concave portion toward the opening side, thereby incorporating the concave portion. It can be done easily.

第1の係合部と第2の係合部との間に弾性部材が挟むことにより、この弾性部材を弾性変形させることで第1および第2の係合部をゆっくりと係合させることができ、回転体および伝達部材の位置決めを容易に行うことができる。   When the elastic member is sandwiched between the first engagement portion and the second engagement portion, the first and second engagement portions can be slowly engaged by elastically deforming the elastic member. In addition, the rotating body and the transmission member can be easily positioned.

第1の係合部と第2の係合部のうち一方の数を、他方の数よりも多くすることにより、他方の係合部を一方の係合部のいずれかに係合させるだけで回転体および伝達部材を容易に組み付けることができる。   By making the number of one of the first engaging portion and the second engaging portion larger than the number of the other, only the other engaging portion is engaged with one of the one engaging portions. The rotating body and the transmission member can be easily assembled.

第1の係合部と第2の係合部のうち一方の軸方向における高さを、回転中心に向かって増加させ、他方の前記軸方向の高さを、回転中心に向かって減少させることにより、第1および第2の係合部を容易に係合させることができるとともに、回転体および伝達部材の軸心を一致させることができる。   The height in one axial direction of the first engaging portion and the second engaging portion is increased toward the rotation center, and the other height in the axial direction is decreased toward the rotation center. Thus, the first and second engaging portions can be easily engaged, and the axes of the rotating body and the transmission member can be made to coincide.

伝達部材における出力部材側の部分を金属で形成し、第2の係合部が設けられている側の部分を樹脂で形成することにより、回転体での振動を樹脂で形成された第2の係合部で減衰させることができ、回転体での振動が伝達部材を介して出力部材に伝達され騒音が発生するのを抑制することができる。   A portion on the output member side of the transmission member is made of metal, and a portion on the side where the second engaging portion is provided is made of resin, so that vibration in the rotating body is made of resin. It can be attenuated by the engaging portion, and it is possible to suppress the generation of noise due to the vibration in the rotating body being transmitted to the output member via the transmission member.

伝達部材により回転体と振動体とを圧接させる加圧力を発生させることで、この加圧力を発生させるための部材を別途設ける必要がなくなり、部品点数の削減による小型化及び低コスト化を図ることができる。   By generating a pressing force that presses the rotating body and the vibrating body with the transmission member, there is no need to separately provide a member for generating the pressing force, and the size and cost can be reduced by reducing the number of parts. Can do.

回転体に、第1の係合部を回転方向の両端に有する凸部を設け、凸部を振動体に接触させて該振動体から駆動力を受けるようにすることで、部品点数を減らすことが可能となる。   The rotating body is provided with convex portions having first engaging portions at both ends in the rotation direction, and the convex portions are brought into contact with the vibrating body so as to receive a driving force from the vibrating body, thereby reducing the number of parts. Is possible.

第1および第2の係合部のうち一方が回転方向の両端に設けられた第1の凸部と、回転方向における第1の凸部の両側に配置された2つの凸部であって、それぞれ第1および第2の係合部のうち他方が第1の凸部側に設けられた2つの第2の凸部とを設け、第1の凸部を、2つの第2の凸部における根元側部分の間に配置し、第2の凸部の根元側部分は、第1の回転方向幅を有し、先端側部分は、回転方向幅が第1の回転方向幅より大きい第2の回転方向幅から先端に向かって減少する形状とすることができる。これにより、例えば、回転体および伝達部材の間に、回転体を振動体に付勢するための付勢部材を配置したときに、この付勢部材の付勢力を利用して、第1の凸部を第2の凸部のうち第2の回転方向幅の部分に当接させることができる。   One of the first and second engaging portions is a first convex portion provided at both ends of the rotational direction, and two convex portions disposed on both sides of the first convex portion in the rotational direction, Each of the first and second engaging portions is provided with two second convex portions provided on the first convex portion side, and the first convex portions are provided in the two second convex portions. The second convex portion is disposed between the root-side portions, the root-side portion of the second convex portion has a first rotation direction width, and the tip-side portion has a second rotation direction width larger than the first rotation direction width. The shape can be reduced from the width in the rotational direction toward the tip. Thus, for example, when an urging member for urging the rotating body to the vibrating body is disposed between the rotator and the transmission member, the urging force of the urging member is used to make the first protrusion The portion can be brought into contact with a portion of the second convex portion having a width in the second rotational direction.

一方、本発明の振動型駆動装置を組み立てる場合には、振動体を振動させながら組み立てることで、第1および第2の係合部を確実に係合させて、回転体および伝達部材を軸方向における最適な位置に組み付けることができる。   On the other hand, when assembling the vibration type driving device of the present invention, the first and second engaging portions are reliably engaged by assembling while vibrating the vibrating body, and the rotating body and the transmission member are axially moved. Can be assembled at an optimal position.

また、振動体の振動によって回転体を回転させながら組み立てることで、回転体および伝達部材を組み付ける際に、回転体および振動体間の摩擦力の影響を無くして第1および第2の係合部を容易に係合させることができる。   Further, by assembling the rotating body by rotating the vibrating body by vibration of the vibrating body, the first and second engaging portions can be eliminated without the influence of the frictional force between the rotating body and the vibrating body when the rotating body and the transmission member are assembled. Can be easily engaged.

電気−機械エネルギ変換素子の出力信号に基づいて、回転体および伝達部材を軸方向における特定位置まで移動させることで、振動体、回転体および伝達部材を相互に組み付ける際に、これら部材に対して過度の負荷を与えることを防止することができるとともに、これら部材を軸方向における最適な位置で組み付けることができる。また、伝達部材を出力部材に組み付ける際に生じる反力に基づいて決定された力によって、伝達部材を出力部材に組み付けることによっても、同様の効果を得ることができる。   Based on the output signal of the electromechanical energy conversion element, the rotating body and the transmission member are moved to a specific position in the axial direction. An excessive load can be prevented and these members can be assembled at an optimum position in the axial direction. The same effect can also be obtained by assembling the transmission member to the output member with a force determined based on the reaction force generated when the transmission member is assembled to the output member.

以下、本発明の実施例について説明する。   Examples of the present invention will be described below.

図1は、本発明の実施例1である振動型駆動装置の分解斜視図である。本実施例の振動型駆動装置は、出力軸16の両側に振動体および回転体が配置されており、出力軸16の軸方向中央に対して上下方向で略対象な構造となっている。   FIG. 1 is an exploded perspective view of a vibration type driving apparatus that is Embodiment 1 of the present invention. The vibration type driving device of the present embodiment has a vibrating body and a rotating body arranged on both sides of the output shaft 16 and has a substantially target structure in the vertical direction with respect to the axial center of the output shaft 16.

本実施例では、回転体1の一端面に凹凸部(第1の係合部)1aが形成されているとともに、回転力伝達部材5の一端面に凹凸部1aと係合する凹凸部(第2の係合部)5aが形成されている。   In the present embodiment, an uneven portion (first engaging portion) 1 a is formed on one end surface of the rotating body 1, and an uneven portion (first engaging portion) engaged with the uneven portion 1 a on one end surface of the rotational force transmitting member 5. 2 engaging portion) 5a is formed.

ここで、本実施例の振動型駆動装置の基本的な構成や特徴などについては、特開平11−046486号公報、特開2000―308375号公報などに詳しく開示されているため、ここではその構成部品と機構について簡単に説明する。   Here, the basic configuration and characteristics of the vibration type driving device of this embodiment are disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-046486, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-308375, and the like. The parts and mechanism will be briefly described.

まず、図3の振動型駆動装置の断面図からわかるように、振動型駆動装置は回転型であって、中央の振動体(弾性体10および圧電素子12)と、この振動体の両端面に圧接された2つの回転体1が主要構成部品になっている。   First, as can be seen from the cross-sectional view of the vibration type driving device of FIG. 3, the vibration type driving device is a rotary type, and has a central vibrating body (elastic body 10 and piezoelectric element 12) and both end faces of the vibrating body. The two rotary bodies 1 that are in pressure contact are the main components.

図3において、振動型駆動装置の外装は、ケース18、19で構成されており、ケース18、19には、出力軸16が係合するケース用軸受け17が設けられている。   In FIG. 3, the exterior of the vibration type drive device is composed of cases 18 and 19, and the cases 18 and 19 are provided with case bearings 17 to which the output shaft 16 is engaged.

振動体の中心部を貫通する出力軸16には、2つの回転力伝達部材5が連結されている。このため、出力軸16には、2つの回転体1でそれぞれ生じる回転トルクの合計が発生する。これにより、1つの回転体を用いた場合に比べて高いモータ出力を得ることができる。   Two rotational force transmission members 5 are connected to the output shaft 16 that penetrates the center of the vibrating body. Therefore, the output shaft 16 generates a total rotational torque generated by each of the two rotating bodies 1. Thereby, a high motor output can be obtained as compared with the case of using one rotating body.

次に、図2に示す振動体の分解斜視図により振動体の構成を説明する。   Next, the configuration of the vibrator will be described with reference to an exploded perspective view of the vibrator shown in FIG.

この振動体は以下のように組み立てられる。2つの弾性体10の内径部に振動体用軸受け11を挿入した上で、弾性体10の間に圧電素子12、振動体支持板14及びフレキシブル配線基板13を挟み、中空ボルト15により以上の構成部品を一体的に固定する。   This vibrating body is assembled as follows. After the vibrating body bearing 11 is inserted into the inner diameter part of the two elastic bodies 10, the piezoelectric element 12, the vibrating body support plate 14 and the flexible wiring board 13 are sandwiched between the elastic bodies 10, and the above configuration is achieved by the hollow bolt 15. Fix the parts together.

圧電素子12への交番信号の印加によって、振動体には軸方向における曲げ振動が発生し、弾性体10に設けられたクビレ部10aによって、振動体の両端側における振幅が拡大される。   By applying the alternating signal to the piezoelectric element 12, bending vibration in the axial direction is generated in the vibrating body, and the amplitude at both ends of the vibrating body is expanded by the constricted portion 10 a provided in the elastic body 10.

回転体1には、摩擦部材3が接着により固定されている。また、回転体1には、図1に示すように凹凸部1aが一体的に形成されている。このように凹凸部1aを一体的に成形する場合は、ダイカスト成形加工法や粉末焼結成形法などのような三次元形状の成形が比較的容易な成形方法を選択することが1つの手段である。   A friction member 3 is fixed to the rotating body 1 by adhesion. Further, as shown in FIG. 1, the rotator 1 is integrally formed with an uneven portion 1 a. In this way, when the concave and convex portion 1a is integrally molded, one means is to select a molding method that is relatively easy to mold a three-dimensional shape, such as a die casting molding method or a powder sintering molding method. is there.

さらに、凹凸部1aおよび凹凸部5aの接触を介して振動体の振動が回転体1に伝達してしまうことのある不要振動を減衰できるようにすることが望ましい。このため、樹脂やゴムなどのように振動減衰能が高い材料を凹凸部1a、5aの接触部分に使用することも考えられる。   Furthermore, it is desirable to be able to attenuate unnecessary vibration that may transmit vibration of the vibrating body to the rotating body 1 through contact between the uneven portion 1a and the uneven portion 5a. For this reason, it is also conceivable to use a material having a high vibration damping capability such as resin or rubber for the contact portions of the concavo-convex portions 1a and 5a.

また、回転体1の凹凸部1aと回転力伝達部材5の凹凸部5aとの噛み合いガタを小さくするため、凹凸部1a又は/および凹凸部5aに若干弾力性を有する材料を用いたり、この形状を工夫することで弾力性をもたせたりすることができる。   Further, in order to reduce the meshing backlash between the concavo-convex portion 1a of the rotating body 1 and the concavo-convex portion 5a of the rotational force transmitting member 5, a material having a slight elasticity is used for the concavo-convex portion 1a and / or the concavo-convex portion 5a. It is possible to give elasticity by devising.

回転体1の中心部に形成された凹部には、回転体1に固定された摩擦部材3を振動体側の摩擦部材9に圧接させるためのコイルバネ6が収納されている。このコイルバネ6は、ある程度圧縮された状態で、回転力伝達部材5および回転体1の間に配置される。   A recess formed in the center of the rotating body 1 houses a coil spring 6 for pressing the friction member 3 fixed to the rotating body 1 against the friction member 9 on the vibrating body side. The coil spring 6 is disposed between the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 in a state compressed to some extent.

そして、回転体1の一端面には、回転中心軸から放射状に延びる複数の凹凸部1aが設けられている。一方、回転力伝達部材5の一端面にも、回転体1に設けられた複数の凹凸部1aに対応して複数の凹凸部5aが設けられている。   A plurality of concavo-convex portions 1 a extending radially from the rotation center axis are provided on one end surface of the rotating body 1. On the other hand, a plurality of uneven portions 5 a are also provided on one end surface of the rotational force transmitting member 5 corresponding to the plurality of uneven portions 1 a provided on the rotating body 1.

回転力伝達部材5は出力軸16に圧入されており、出力軸16と一体になって回転する。回転体1と回転力伝達部材5は、凹凸部1a、5aを介して互いに噛み合い、一体となって回転する構造になっている。   The rotational force transmission member 5 is press-fitted into the output shaft 16 and rotates integrally with the output shaft 16. The rotating body 1 and the rotational force transmitting member 5 are configured to mesh with each other via the concavo-convex portions 1a and 5a and rotate integrally.

図1は、本実施例の振動型駆動装置の分解斜視図である。   FIG. 1 is an exploded perspective view of the vibration type driving device of the present embodiment.

同図において、回転体1の一端面には先端部が細くなった凸部1aが、それらの間には反対に底部が狭くなった凹部1aがそれぞれ、回転体1の周方向において36箇所形成されている。また、回転力伝達部材5にも、凹部5aや凸部5aが回転力伝達部材5の周方向において36箇所形成されている。   In the same figure, one end surface of the rotating body 1 is formed with a convex portion 1a having a narrowed tip, and a concave portion 1a having a narrow bottom is formed between them in the circumferential direction of the rotating body 1. Has been. The rotational force transmission member 5 is also provided with 36 concave portions 5 a and convex portions 5 a in the circumferential direction of the rotational force transmission member 5.

次に、図4を用いて本実施例の振動型駆動装置の組立て方法を説明する。   Next, an assembling method of the vibration type driving apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG.

まず、一方の回転力伝達部材5(図4の下側に位置する回転力伝達部材)を出力軸16に圧入しておく。この時、回転力伝達部材5のうち凹凸部5aが形成された側とは反対側から突出させる出力軸16の長さは、最終的な長さよりも予め短くしておく。   First, one rotational force transmission member 5 (rotational force transmission member located on the lower side in FIG. 4) is press-fitted into the output shaft 16. At this time, the length of the output shaft 16 that protrudes from the opposite side of the rotational force transmitting member 5 to the side where the concavo-convex portion 5a is formed is made shorter than the final length in advance.

次に、凹みのある組立て冶具台20に、上述した出力軸16が圧入された回転力伝達部材5を立てる。組立て冶具台20の凹みの深さ寸法により、振動型駆動装置の両端(回転力伝達部材5)からそれぞれ延出する出力軸16の長さが決められる。   Next, the rotational force transmitting member 5 in which the output shaft 16 is press-fitted is set up on the assembly jig base 20 having a recess. The length of the output shaft 16 extending from both ends (rotational force transmitting member 5) of the vibration type driving device is determined by the depth dimension of the recess of the assembly jig base 20.

この時点では、出力軸16の端部は組立て冶具台20の凹みの底に突き当たっていない。すべての部品を出力軸16に圧入した時点で、最後に出力軸16の上端を図4の矢印で示す方向に押して、出力軸16と各部品の位置が決定される。   At this time, the end of the output shaft 16 does not hit the bottom of the recess of the assembly jig base 20. When all the parts are press-fitted into the output shaft 16, the upper end of the output shaft 16 is finally pushed in the direction indicated by the arrow in FIG. 4 to determine the positions of the output shaft 16 and each part.

組立て冶具台20に対して倒立した出力軸16には、コイルバネ6、摩擦部材3を接着固定した回転体1、予め組立てられた振動体、同じく摩擦部材3を接着した回転体1、コイルバネ66の順に挿入する。   The output shaft 16 that is inverted with respect to the assembly jig base 20 includes a coil spring 6, a rotating body 1 with the friction member 3 bonded and fixed, a pre-assembled vibrating body, a rotating body 1 with the friction member 3 bonded, and a coil spring 66. Insert in order.

ここで、圧入のための力は油圧プレス機械(不図示)を用いて発生させた。油圧プレス機械の下ボルスター面の上に組立て冶具台20を置き、上述したように各部品が出力軸16に挿入された状態で直立させておく。   Here, the force for press-fitting was generated using a hydraulic press machine (not shown). The assembly jig table 20 is placed on the lower bolster surface of the hydraulic press machine, and the components are erected in a state where each component is inserted into the output shaft 16 as described above.

なお、ボルスターとは、プレス機械に設置されているテーブルであって、一般には下ボルスターは固定され、上ボルスターは上下で可動するようになっている。また、下ボルスターの面と上ボルスターの面は互いに平行となっている。   The bolster is a table installed in a press machine. Generally, the lower bolster is fixed, and the upper bolster is movable up and down. The surface of the lower bolster and the surface of the upper bolster are parallel to each other.

次に、押し込み冶具21の内径部に隙間を設けて嵌合させた回転力伝達部材5を、出力軸16の上端部に乗せ、上ボルスターを下げて行くことで出力軸16に少し圧入しておく。   Next, the rotational force transmitting member 5 fitted with a gap in the inner diameter portion of the push-in jig 21 is placed on the upper end portion of the output shaft 16, and the upper bolster is lowered to slightly press-fit the output shaft 16. deep.

出力軸16は、最終的には決められた位置まで圧入させる必要があるが、この最終的な位置まで出力軸16を圧入させる方法としては、次に述べるような数種類の方法がある。   The output shaft 16 needs to be finally press-fitted to a predetermined position. As a method for press-fitting the output shaft 16 to this final position, there are several methods as described below.

第一の方法は、下ボルスターと上ボルスターが最も接近する間隔を予め決めておく方法である。ダイセット(不図示)の内部に設けた金属ブロックなどで下死点を決めるものである。この方法であれば、プレス機械を使用する代わりに、作業効率は低いが万力などでも出力軸16を圧入させることができる。   The first method is a method in which an interval at which the lower bolster and the upper bolster are closest to each other is determined in advance. The bottom dead center is determined by a metal block or the like provided inside a die set (not shown). With this method, instead of using a press machine, the output shaft 16 can be press-fitted with a vise, although the working efficiency is low.

出力軸16に挿入された各部品における軸方向寸法のバラツキが小さければ、この方法をとることによって、簡単な操作で圧入を行うことができる。   If the variation in the axial dimension of each part inserted into the output shaft 16 is small, press fitting can be performed by a simple operation by using this method.

ここで、下死点に近づくと、回転力伝達部材5の凸部5a先端付近と回転体1の凸部1a先端付近が接するようになる。実施例では、上述したように凸部1a、5aは、先端側が細くなっており、山型断面形状であるため、実際はこの斜面同士で最初に接触することになる。   Here, when approaching the bottom dead center, the vicinity of the tip of the convex portion 5 a of the rotational force transmitting member 5 comes into contact with the vicinity of the tip of the convex portion 1 a of the rotating body 1. In the embodiment, as described above, the convex portions 1a and 5a are thin on the tip side and have a mountain-shaped cross-sectional shape.

これにより、圧入操作によって、回転力伝達部材5および回転体1を軸方向で近づけると、自動的に互いに凹凸部1a、5aが噛み合うことになるので、従来例のように回転力伝達部材および回転体の回転方向における相対的な位置決めを行う必要がない。   Thus, when the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 are brought close to each other in the axial direction by press-fitting operation, the concave and convex portions 1a and 5a are automatically engaged with each other. There is no need for relative positioning in the direction of rotation of the body.

圧入がさらに進むと、凹凸部5a、1aでの斜面により、軸方向の力が回転体1の回転方向における分力として回転体1に作用することになる。これにより、凹凸部1a、5aが圧入当初から互いに噛み合う位置になくても、回転体1に作用する上記回転方向の分力によって、回転体1が凹凸部1a、5a間の接触面で滑りながら回転し、最終的には、凹凸部1a、5aが噛み合うようになる。このように、回転体1は、回転しながらその位置を決める。   When the press-fitting further proceeds, the axial force acts on the rotating body 1 as a component force in the rotating direction of the rotating body 1 due to the inclined surfaces of the uneven portions 5a and 1a. Thereby, even if the uneven portions 1a and 5a are not in positions where they are engaged with each other from the beginning of press-fitting, the rotating body 1 slides on the contact surface between the uneven portions 1a and 5a due to the component force in the rotational direction acting on the rotating body 1. As a result, the concavo-convex portions 1a and 5a are engaged with each other. Thus, the rotating body 1 determines its position while rotating.

この時、凹凸部1a、5aにおける斜面同士が密着しているので、回転方向に隙間(ガタ)のない状態が得られる。回転体1と一体化した摩擦部材3と振動体側の摩擦部材9との摩擦力が大きい場合には、凹凸部1a、5aにおける山型の頂角を小さくすればよい。回転のための上記の分力の比率が増加するからである。   At this time, since the slopes of the concavo-convex portions 1a and 5a are in close contact with each other, a state without a gap (backlash) in the rotation direction is obtained. When the frictional force between the frictional member 3 integrated with the rotating body 1 and the frictional member 9 on the vibrating body side is large, the apex angle of the mountain shape in the uneven portions 1a and 5a may be reduced. This is because the ratio of the above component force for rotation increases.

圧入量が不足した場合には、回転体1と回転力伝達部材5の回転ガタが発生する。このガタは従来例でも存在し、これにより振動型駆動装置の停止位置決め精度が低下する。このことは次に説明するような問題になる場合がある。   When the amount of press-fitting is insufficient, rotation of the rotating body 1 and the rotational force transmitting member 5 occurs. This backlash also exists in the conventional example, and this reduces the stop positioning accuracy of the vibration type driving device. This can be a problem as described below.

通常の電磁モータに比較して、振動型駆動装置は低速、高トルクという特徴がある。この特徴のため、バックラッシのあるギヤなどの減速機構を省略できる。すなわち、被駆動部材のダイレクト駆動により優れた位置決め精度を実現できるようになる。   Compared with a normal electromagnetic motor, the vibration type driving device has characteristics of low speed and high torque. Because of this feature, a reduction mechanism such as a gear with backlash can be omitted. That is, excellent positioning accuracy can be realized by direct driving of the driven member.

ところが、ダイレクト駆動が実現できても、振動型駆動装置の内部でギヤのバックラッシに相当する隙間ガタがあるようでは、高精度位置決めは実現できない。圧入量が反対に大きすぎた場合には、摩擦部材3が振動体側の摩擦部材9に強く押されて変形してしまうこともある。   However, even if direct driving can be realized, high-precision positioning cannot be realized if there is a gap play corresponding to the backlash of the gear inside the vibration type driving device. If the press-fitting amount is too large, the friction member 3 may be strongly pressed by the friction member 9 on the vibrating body side and deformed.

最終位置まで出力軸16を圧入させる方法としての第二の方法は、油圧プレス機械で発生する最大の力をリリーフ弁等で予め決めておく方法である。上述したガタを最小限に抑えることを目的とした方法である。   The second method as a method for press-fitting the output shaft 16 to the final position is a method in which the maximum force generated by the hydraulic press machine is determined in advance by a relief valve or the like. This is a method aimed at minimizing the above-mentioned play.

つまり、凹凸部1a、5aにおける斜面同士が接したとき、回転体1を回転させる上記の分力のほか、軸方向の反力も発生する。さらに、凹凸部1a、5aの噛み合いが増加して、凹凸部1a、5aの一方における凸部の先端が他方の凹部の両斜面に接触した瞬間、上述した軸方向の反力が増加する。この反力が加わった状態で発生する力を、最大限界値として設定しておけばよい。   That is, when the inclined surfaces of the concavo-convex portions 1a and 5a are in contact with each other, an axial reaction force is generated in addition to the above-described component force that rotates the rotating body 1. Furthermore, the engagement of the uneven portions 1a and 5a increases, and the above-described axial reaction force increases at the moment when the tip of the convex portion in one of the uneven portions 1a and 5a contacts both slopes of the other recessed portion. The force generated with this reaction force applied may be set as the maximum limit value.

最終位置まで出力軸16を圧入させる方法としての第三の方法は、圧入時に振動体の構成部品の一つである圧電素子が発生する電圧を利用する方法である。該電圧を検出して、圧入時に加わる力を制御する。応答性の高い電気信号を検出して制御するので、油圧による第2の方法に比較して回転体1の位置決め精度が向上する。   A third method as a method for press-fitting the output shaft 16 to the final position is a method using a voltage generated by a piezoelectric element that is one of the components of the vibrating body at the time of press-fitting. This voltage is detected and the force applied during press-fitting is controlled. Since a highly responsive electrical signal is detected and controlled, the positioning accuracy of the rotating body 1 is improved as compared with the second method using hydraulic pressure.

この方法では、予めプレス機械の上ボルスターの位置とその時の下降速度を決めておくことで、発生する電圧により発生している力を計算できる。   In this method, the force generated by the generated voltage can be calculated by determining the position of the upper bolster of the press machine and the descending speed at that time in advance.

以上述べたいずれかの方法により最適な圧入位置を決める。さらに、圧入過程において凹凸部1a、5aの接触時に、次のような工夫を付与することで、よりガタの小さい最適圧入位置が得られる。   The optimum press-fitting position is determined by any of the methods described above. Furthermore, an optimum press-fitting position with less play can be obtained by applying the following device when the concave and convex portions 1a and 5a are brought into contact in the press-fitting process.

すなわち、振動体の圧電素子12に電力を与えて、振動体に振動を発生させるとさらによい。これにより、回転力伝達部材5および回転体1間における摩擦面での摩擦力が低下するので、上述した回転体1に付与される回転分力が小さくても、回転体1を回りやすくすることができる。   In other words, it is better to apply power to the piezoelectric element 12 of the vibrating body to generate vibration in the vibrating body. Thereby, since the frictional force on the friction surface between the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 is reduced, the rotating body 1 can be easily rotated even if the rotational component force applied to the rotating body 1 is small. Can do.

また、図5に示すように組立て冶具20及び押し込み冶具21に、軸方向の力を受けるベアリング22、23を配置する構成にすると、回転力伝達部材5を回転しやすくすることができる。ここで、図5中上側の回転力伝達部材5と出力軸16は隙間ばめになっており、最終的には回り止めネジ7により回転力伝達部材5を出力軸16に固定する。   Further, when the assembly jig 20 and the push-in jig 21 are provided with bearings 22 and 23 that receive axial force as shown in FIG. 5, the rotational force transmitting member 5 can be easily rotated. Here, the rotational force transmission member 5 on the upper side in FIG. 5 and the output shaft 16 are fitted into a gap, and finally the rotational force transmission member 5 is fixed to the output shaft 16 by the rotation-preventing screw 7.

次に、本発明の実施例2について図6及び図7を用いて説明する。図6および図7(a)は、本実施例の振動型駆動装置のうち、回転力伝達部材5および回転体1の当接部分を示す拡大図である。なお、以下に説明する実施例では、特徴的な部分についてのみ説明し、他の構成は実施例1で説明した構成と同じであるため説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 6 and FIG. 7A are enlarged views showing contact portions of the rotational force transmission member 5 and the rotating body 1 in the vibration type driving apparatus of the present embodiment. In the embodiment described below, only characteristic portions will be described, and the other configurations are the same as the configurations described in the first embodiment, and thus description thereof will be omitted.

本実施例では、回転力伝達部材5および回転体1の間に、ゴムのような弾力性のある部材(弾性シート8)を挟んでから、凹凸部5a、1aを噛み合わせるようにしている。このような構成とすると、圧入時に急激な押し込み力の増加を招かないので、隙間ガタの小さい最適な圧入位置を決めやすくすることができる。   In this embodiment, an elastic member (elastic sheet 8) such as rubber is sandwiched between the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1, and then the concave and convex portions 5a and 1a are engaged with each other. With such a configuration, since the pressing force does not increase suddenly at the time of press-fitting, it is possible to easily determine an optimal press-fitting position with a small gap play.

最適な噛み合わせを実現するために、上述したように振動型駆動装置の組立て時に、圧入力を検出することが望ましい。すなわち、回転体1と回転力伝達部材5に弾性シート8が接触してから、この弾性シート8を変形させるために必要な一定の力が加わった時に組立てを停止させる方法がよい。   In order to achieve optimum meshing, it is desirable to detect the pressure input when assembling the vibration type driving device as described above. That is, it is preferable to stop the assembly when a certain force necessary to deform the elastic sheet 8 is applied after the elastic sheet 8 contacts the rotating body 1 and the rotational force transmitting member 5.

上述した圧入力の調整を行うことで、隙間ガタがなくかつ、回転体1および振動体の摩擦面に加わる力も一定の値に維持することが可能になる。このようにして組立てられた回転体の部分を示すのが図7(a)である。   By adjusting the pressure input described above, there is no gap play, and the force applied to the friction surfaces of the rotating body 1 and the vibrating body can be maintained at a constant value. FIG. 7A shows a part of the rotating body assembled in this way.

なお、凹凸部1a、5aにおける山型断面の斜面角度を変えたり、図7(b)に示すように、断面形状を凸形円弧形状、凹形円弧形状に変えたりして、隙間ガタのない最適な圧入状態を確保することも可能である。
また、凹凸部1a、5aにおける凸部の形状は、この先端部から基端部に向けてその幅が一旦増加していればよく、例えば、図7(c)に示すように、先端から基端にかけて幅が徐々に増加するように形成したり、図7(d)に示すように、一旦増加した断面積を再度基端部にかけて減少(又は一定)するように形成したりすることができる。
It should be noted that there is no gap play by changing the slope angle of the mountain-shaped cross section in the concavo-convex portions 1a and 5a, or by changing the cross-sectional shape to a convex arc shape or a concave arc shape as shown in FIG. It is also possible to ensure an optimal press-fit state.
In addition, the shape of the convex portions in the concavo-convex portions 1a and 5a only needs to increase once in width from the tip portion toward the base end portion. For example, as shown in FIG. It can be formed such that the width gradually increases toward the end, or can be formed so that the once increased cross-sectional area is decreased (or constant) again toward the base end as shown in FIG. .

このように凹凸部1a、5aの形状を設定することで、凹凸部1a、5aを容易に噛み合わせることができる。   Thus, by setting the shape of the uneven portions 1a and 5a, the uneven portions 1a and 5a can be easily engaged.

次に、本発明の実施例3である振動型駆動装置について図8を用いて説明する。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG.

本実施例と実施例1との差異は、回転力伝達部材5に2つの凸部5aを形成した点である。回転力伝達部材5における凸部5aが形成された端面は、凸部5aが形成された領域以外の領域は平面状に形成されている。   The difference between the present embodiment and the first embodiment is that two convex portions 5 a are formed on the rotational force transmitting member 5. The end surface of the rotational force transmitting member 5 where the convex portion 5a is formed has a flat area other than the region where the convex portion 5a is formed.

回転体1には、この周方向に形成された複数(36箇所)の凹凸部1aが形成されており、回転力伝達部材5の2つの凸部5aは、回転体1の凹凸部1aにおける複数の凹部のうちいずれかの凹部と係合するようになっている。   The rotating body 1 is formed with a plurality (36 places) of uneven portions 1 a formed in the circumferential direction, and the two convex portions 5 a of the rotational force transmitting member 5 are a plurality of uneven portions 1 a of the rotating body 1. It engages with any one of the recesses.

凸部5aに充分な強度と剛性をもたせれば、本実施例のように回転力伝達部材5に2つの凸部5aを形成するだけで足りる。本実施例では、実施例1のような凹凸部1a、5aを噛み合わせる構成とは異なり、凹凸部1aの累積ピッチ誤差があっても、凸部5aおよび凹凸部1aの噛み合い状態に影響を与えないという特徴がある。   If the convex portion 5a has sufficient strength and rigidity, it is only necessary to form the two convex portions 5a on the rotational force transmitting member 5 as in this embodiment. In this embodiment, unlike the configuration in which the concave and convex portions 1a and 5a are engaged as in the first embodiment, even if there is an accumulated pitch error of the concave and convex portions 1a, the engagement state of the convex portions 5a and the concave and convex portions 1a is affected. There is no feature.

次に、本発明の実施例4について図9および図10を用いて説明する。図9は、本実施例における振動型駆動装置の分解斜視図である。図10は、本実施例の振動型駆動装置のうち一部分の拡大図である。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 is an exploded perspective view of the vibration type driving device in the present embodiment. FIG. 10 is an enlarged view of a part of the vibration type driving apparatus of the present embodiment.

本実施例では、回転力伝達部材5のうち回転体1側の端面が、円錐状に形成されており、この端面には、周方向3箇所の位置(120度の角度範囲)に凸部5aが形成されている。一方、回転体1のうち回転力伝達部材5側の端面は、上記回転力伝達部材の端面と対向するように(すり鉢状に)なっており、この面には、凹凸部1aが形成されている。なお、回転力伝達部材5およびケース用軸受け17間にはスペーサ31が配置されている。また、摩擦材3の外周には、箍31が設けられている。
上述した実施例1及び実施例2では、回転力伝達部材5および回転体1に、図3に示すように互いに係合する円筒状の嵌合部が形成されており、この嵌合部の係合によって同軸度を決めていた。しかし、本実施例では、図10に示すように、回転力伝達部材5および回転体1に上記のような嵌合部を形成していない。
In the present embodiment, the end face on the rotating body 1 side of the rotational force transmitting member 5 is formed in a conical shape, and on this end face, convex portions 5a are formed at three positions in the circumferential direction (angle range of 120 degrees). Is formed. On the other hand, the end surface of the rotating body 1 on the side of the rotational force transmitting member 5 is configured to face the end surface of the rotational force transmitting member (in a mortar shape), and an uneven portion 1a is formed on this surface. Yes. A spacer 31 is disposed between the rotational force transmitting member 5 and the case bearing 17. A flange 31 is provided on the outer periphery of the friction material 3.
In the first and second embodiments described above, the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 are formed with cylindrical fitting portions that engage with each other as shown in FIG. The degree of coaxiality was determined by the combination. However, in the present embodiment, as shown in FIG. 10, the fitting portion as described above is not formed in the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1.

本実施例では、3箇所の凸部5aを確実に凹凸部1aにおける凹部に接触させることで、回転力伝達部材5および回転体1の軸心を一致させることができる。回転力伝達部材5および回転体1の互いに向かい合う端面は、すり鉢状に形成されているため、3つの凸部5aが接触するまでは、回転体1がその回転方向のみならず半径方向にも移動できる(図10参照)。   In the present embodiment, the axial centers of the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 can be matched by reliably bringing the three convex portions 5a into contact with the concave portions in the concave and convex portion 1a. Since the end faces of the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 facing each other are formed in a mortar shape, the rotating body 1 moves not only in the rotation direction but also in the radial direction until the three convex portions 5a come into contact with each other. Yes (see FIG. 10).

次に、本発明の実施例5である振動型駆動装置について図11を用いて説明する。図11は、回転力伝達部材および回転体の外観斜視図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 5 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is an external perspective view of the rotational force transmitting member and the rotating body.

回転力伝達部材5の端面には、軸方向に延びるピン5aがカシメによって固定されている。このピン5bは、円柱状に形成されているとともに、この先端が円錐状に形成されている。   A pin 5 a extending in the axial direction is fixed to the end face of the rotational force transmitting member 5 by caulking. The pin 5b is formed in a cylindrical shape, and its tip is formed in a conical shape.

一方、回転体1は、亜鉛ダイカスト製で構成されており、この周方向には、軸方向に延びる複数(18箇所)の孔部1bが形成されている。   On the other hand, the rotating body 1 is made of zinc die casting, and a plurality (18 places) of holes 1b extending in the axial direction are formed in the circumferential direction.

ピン5bの先端は細くなっている(幅が減少している)ので、回転力伝達部材5と回転体1の位置合わせをしなくても、回転力伝達部材5を軸方向に押し下げるだけで、ピン5bの先端部が、複数の孔部1bのうちいずれかの孔部1b内に進入していくようになっている。   Since the tip of the pin 5b is thin (the width is reduced), even if the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 are not aligned, the rotational force transmitting member 5 is simply pushed down in the axial direction. The tip of the pin 5b enters into any one of the plurality of holes 1b.

次に、本発明の実施例6である振動型駆動装置について図12および図13を用いて説明する。図12は、回転力伝達部材5および回転体1の外観斜視図であり、図13は、本実施例の振動型駆動装置の一部分を示す拡大図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 6 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 12 is an external perspective view of the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1, and FIG. 13 is an enlarged view showing a part of the vibration type driving device of the present embodiment.

回転力伝達部材5の一端面には、軸方向に延びる凸部5cが形成されている。
また、回転体1の一端面には、周方向に複数設けられた孔部2aを有する板状部材2が取り付けられている。圧入に際、凸部5cは、複数の孔部2aのうちいずれかの孔部2aと係合することになる。
A convex portion 5 c extending in the axial direction is formed on one end surface of the rotational force transmitting member 5.
A plate-like member 2 having a plurality of holes 2 a provided in the circumferential direction is attached to one end surface of the rotating body 1. At the time of press-fitting, the convex portion 5c is engaged with any one of the plurality of hole portions 2a.

本実施例では、回転力伝達部材5および板状部材2を合理化した加工法で製作するものである。すなわち、回転力伝達部材5は、板金プレス加工により製作している。凸部5aはバーリング加工で張り出して一体に形成している。   In this embodiment, the rotational force transmitting member 5 and the plate-like member 2 are manufactured by a rationalized processing method. That is, the rotational force transmission member 5 is manufactured by sheet metal pressing. The convex portion 5a is integrally formed by projecting by burring.

また、板状部材2は板金プレス加工で製作している。2段絞り加工によって、孔部2aを形成している。回転体1は、板状部材2に圧入されて一体化する。   The plate-like member 2 is manufactured by sheet metal pressing. The hole 2a is formed by two-stage drawing. The rotating body 1 is pressed into the plate-like member 2 and integrated.

板状部材2は、一般圧延鋼材を円環状にプレス打抜きしただけのもので、簡単な化成処理により日常耐食性を与えている。なお、ステンレス鋼をファインブランキングによって円環状に打ち抜いて、板状部材2を形成してもよい。   The plate-like member 2 is obtained by simply stamping a general rolled steel material into an annular shape, and provides daily corrosion resistance by a simple chemical conversion treatment. The plate-like member 2 may be formed by punching stainless steel into an annular shape by fine blanking.

摩擦部材3は、図13に示すように、2段絞り加工によって段差部3aが設けられている。そして、この段差部3aを回転体1の角部に突き当てて互いの軸方向の位置合わせを行うようにしている。   As shown in FIG. 13, the friction member 3 is provided with a stepped portion 3a by two-stage drawing. And this level | step-difference part 3a is contact | abutted to the corner | angular part of the rotary body 1, and it is trying to mutually align with an axial direction.

次に、本発明の実施例7である振動型駆動装置について、図14を用いて説明する。図14は、本実施例の振動型駆動装置のうち一部分の断面図を示している。本実施例は、実施例6の変形例である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 7 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 14 shows a cross-sectional view of a part of the vibration type driving apparatus of the present embodiment. The present embodiment is a modification of the sixth embodiment.

回転力伝達部材5には、爪部材5aが圧入されている。爪部材5aは、樹脂で構成されており、該樹脂を射出成型することによって図14に示す形状に形成される。この爪部材5aに形成された凸部は、板状部材2に形成された複数の孔部2aのうちいずれかの孔部と係合することになる。なお、爪部材5aにおける凸部の数は、適宜設定することができる。また、この凸部は、図に示すように、基端側から先端側にかけて細くなるように(幅が狭くなるように)形成されている。   A claw member 5 a is press-fitted into the rotational force transmission member 5. The claw member 5a is made of resin, and is formed into a shape shown in FIG. 14 by injection molding the resin. The convex portion formed on the claw member 5 a is engaged with any one of the plurality of hole portions 2 a formed on the plate-like member 2. In addition, the number of the convex parts in the nail | claw member 5a can be set suitably. Further, as shown in the figure, the convex portion is formed so as to become thinner (so that the width becomes narrower) from the base end side to the tip end side.

本実施例では、爪部材5aの凸部と板状部材2の孔部2aとの係合状態において、一方、すなわち、凸部が樹脂で形成されているため、回転体1で発生する振動が出力軸16に伝達され難くし、騒音の発生を抑制することができる。   In the present embodiment, in the engaged state between the convex portion of the claw member 5a and the hole portion 2a of the plate-like member 2, one side, that is, the convex portion is formed of resin, and therefore vibration generated in the rotating body 1 is generated. It is difficult to transmit to the output shaft 16, and the generation of noise can be suppressed.

次に、本発明の実施例8である振動型駆動装置について図15を用いて説明する。本実施例も実施例7の変形例である。ここで、図15は、本実施例の振動型駆動装置の一部分における断面図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 8 of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is also a modification of the seventh embodiment. Here, FIG. 15 is a cross-sectional view of a part of the vibration type driving apparatus of the present embodiment.

爪部材5aの凸部は、基端側から先端側にかけて幅が一定となるように形成されている。また、回転体1に圧入される板状部材2には、爪部材5aの凸部がはまり込む凹部が形成されており、この凹部は、バーリング加工によりすり鉢状(凹部の側面が傾斜している)に成形されている。ここで、板状部材の凹部の側面を傾斜させていることで、爪部材5aの凸部をスムーズに凹部内に挿入させることができる。   The convex portion of the claw member 5a is formed to have a constant width from the proximal end side to the distal end side. Further, the plate-like member 2 press-fitted into the rotating body 1 is formed with a concave portion into which the convex portion of the claw member 5a is fitted, and this concave portion has a mortar shape (side surface of the concave portion is inclined by burring). ). Here, since the side surface of the concave portion of the plate-like member is inclined, the convex portion of the claw member 5a can be smoothly inserted into the concave portion.

また、爪部材5aは、樹脂の射出成形で成形され、その中心部にはプレス加工で打ち抜かれた黄銅製の回転力伝達部材5が圧入されている。樹脂部材を直接出力軸に圧入した場合、結合の信頼性が低いからである。   The claw member 5a is molded by resin injection molding, and a brass rotational force transmitting member 5 punched out by press working is press-fitted into the center thereof. This is because when the resin member is directly press-fitted into the output shaft, the coupling reliability is low.

金属と樹脂の圧入を外周部に設定すれば、同じトルク伝達を行う時は、この圧入部分で円周方向に作用する力が小さくなり、結合の信頼性が高まる。   If the press-fitting of the metal and the resin is set at the outer peripheral portion, when the same torque transmission is performed, the force acting in the circumferential direction at the press-fitted portion is reduced, and the reliability of the coupling is increased.

また、本実施例の構成では、回転力伝達部材5の外周部にローレット、セレーションあるいはスプラインといった凹凸部を設けることで、互いの部材(回転力伝達部材5および爪部材5a)が相対的に回転してしまうのを防止できる(上述した実施例7においても同様である)。   Further, in the configuration of the present embodiment, by providing uneven portions such as knurls, serrations or splines on the outer peripheral portion of the rotational force transmission member 5, the members (the rotational force transmission member 5 and the claw member 5a) rotate relatively. Can be prevented (the same applies to the above-described seventh embodiment).

次に、本発明の実施例9である振動型駆動装置について図16および図17を用いて説明する。図16は、本実施例の振動型駆動装置における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図である。また、図17は、本実施例の振動型駆動装置の一部分における断面図である。
板状部材2は、2段絞りでプレス加工して形成されている。この板状部材2の周方向外側の領域には、波形状の凹凸部が形成されている。この部分はフランジ部が縮む部分であり皺が発生しやすいので、絞り加工によって容易に成形可能である。この板状部材2は、回転体1に圧入されている。
Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 9 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is an external perspective view of the rotating body and the rotational force transmitting member in the vibration type driving apparatus of the present embodiment. FIG. 17 is a cross-sectional view of a part of the vibration type driving device of this embodiment.
The plate-like member 2 is formed by pressing with a two-stage drawing. In the region on the outer side in the circumferential direction of the plate-like member 2, a wavy uneven portion is formed. Since this portion is a portion where the flange portion shrinks and wrinkles are likely to occur, it can be easily formed by drawing. The plate member 2 is press-fitted into the rotating body 1.

一方、回転力伝達部材5の外周には、略径方向外側に延びる凸部5aが一体的にプレス加工によって形成されている。また、回転力伝達部材5の径方向内側の領域には、周方向に延びる複数の貫通孔部5dが形成されている。   On the other hand, a convex portion 5a extending substantially outward in the radial direction is integrally formed on the outer periphery of the rotational force transmitting member 5 by pressing. A plurality of through-hole portions 5 d extending in the circumferential direction are formed in the radially inner region of the rotational force transmitting member 5.

本実施例では、上述した実施例のようにコイルバネを用いず、回転力伝達部材5にコイルバネとしての機能を持たせている。すなわち、回転力伝達部材5の外周側の領域(凸部5aを含む)は、回転軸に対して傾斜しており、回転力伝達部材5を板状部材2(回転体1)に組み込むことによって、回転体1に対して振動体(弾性部材10)側への付勢力を与えることができる。   In this embodiment, a coil spring is not used as in the above-described embodiment, and the rotational force transmission member 5 has a function as a coil spring. That is, the outer peripheral side region (including the convex portion 5a) of the rotational force transmitting member 5 is inclined with respect to the rotational axis, and the rotational force transmitting member 5 is incorporated into the plate-like member 2 (rotating body 1). The urging force toward the vibrating body (elastic member 10) can be applied to the rotating body 1.

また、貫通孔部5dを形成することによって、出力軸16に対する回転力伝達部材5の倒れを自動的に修正することができる。このように回転力伝達部材5の出力軸16に対する倒れを修正し、回転力伝達部材5によって回転体1を付勢することによって、回転体1および振動体(弾性部材10)の摩擦面に面圧ムラが生じるのを防止し、同時に回転方向での剛性を確保することができる。   In addition, by forming the through-hole portion 5d, it is possible to automatically correct the fall of the rotational force transmitting member 5 with respect to the output shaft 16. In this way, the tilt of the rotational force transmission member 5 with respect to the output shaft 16 is corrected, and the rotational body 1 is biased by the rotational force transmission member 5, so that the frictional surfaces of the rotational body 1 and the vibration body (elastic member 10) are faced. It is possible to prevent the occurrence of pressure unevenness and at the same time ensure the rigidity in the rotational direction.

次に、本発明の実施例10である振動型駆動装置について図18および図19を用いて説明する。ここで図18は、回転力伝達部材および回転体の外観斜視図であり、図19は、本実施例の振動型駆動装置の一部分における断面図である。 Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 10 of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 18 is an external perspective view of the rotational force transmitting member and the rotating body, and FIG. 19 is a cross-sectional view of a part of the vibration type driving device of the present embodiment.

回転力伝達部材5の外周には、この径方向外側に延びる凸部5aが形成されている。また、回転力伝達部材5の外周側の領域(凸部5aを含む)は、回転体1側に傾斜している。   On the outer periphery of the rotational force transmitting member 5, a convex portion 5a extending outward in the radial direction is formed. Moreover, the area | region (including the convex part 5a) of the outer peripheral side of the rotational force transmission member 5 inclines to the rotary body 1 side.

回転体1のうち回転力伝達部材5側の端面には、板状部材2が配置されている。この板状部材2の外周には、この径方向外側に延びる凸部2bが形成されている。また、板状部材2の外周側の領域(凸部2bを含む)は、回転力伝達部材5側に傾斜している。   A plate-like member 2 is disposed on the end face of the rotating body 1 on the side of the rotational force transmitting member 5. On the outer periphery of the plate-like member 2, a convex portion 2b extending outward in the radial direction is formed. Moreover, the area | region (including the convex part 2b) of the outer peripheral side of the plate-shaped member 2 inclines to the rotational force transmission member 5 side.

上述した回転力伝達部材5および板状部材2は、プレス加工で作製された極めて簡単な形状となっている。   The rotational force transmission member 5 and the plate-like member 2 described above have a very simple shape manufactured by pressing.

回転力伝達部材5の凸部5aおよび板状部材2の凸部2bのうち一方の凸部は、他方の凸部の間にはまり込むことにより、回転力伝達部材5および板状部材2は互いに噛み合うようになっている。これにより、回転体1の回転力が、回転力伝達部材5に伝達される。ここで、凸部5aおよび凸部2bは、先端側で細くなっているため、回転力伝達部材5および板状部材を容易に噛み合わせることができる。   One of the convex portions 5a of the rotational force transmitting member 5 and the convex portion 2b of the plate-like member 2 fits between the other convex portions, so that the rotational force transmitting member 5 and the plate-like member 2 are mutually connected. It comes to mesh. Thereby, the rotational force of the rotating body 1 is transmitted to the rotational force transmitting member 5. Here, since the convex part 5a and the convex part 2b are thin at the front end side, the rotational force transmitting member 5 and the plate-like member can be easily engaged.

次に、本発明の実施例11である振動型駆動装置について、図20および図21を用いて説明する。ここで、図20は、回転力伝達部材および回転体の外観斜視図であり、図21は、本実施例の振動型駆動装置における一部分の断面図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 11 of the present invention will be described with reference to FIGS. 20 and 21. FIG. Here, FIG. 20 is an external perspective view of the rotational force transmitting member and the rotating body, and FIG. 21 is a partial cross-sectional view of the vibration type driving device of the present embodiment.

回転力伝達部材5の外周には、回転体1側(軸方向)に延びる複数の凸部5aが形成されている。また、回転力伝達部材5には、周方向に延びる複数の溝部5dが形成されている。この回転力伝達部材5は、プレス加工によって成形される。   On the outer periphery of the rotational force transmitting member 5, a plurality of convex portions 5a extending toward the rotating body 1 (axial direction) are formed. Further, the rotational force transmitting member 5 is formed with a plurality of grooves 5d extending in the circumferential direction. This rotational force transmitting member 5 is formed by press working.

また、摩擦部材3の一端側は、回転体1の外周面から径方向外側に延びるように形成されており、この領域には、複数の凸部3bが形成されている。この摩擦部材3は、プレス加工によって成形されている。   One end side of the friction member 3 is formed so as to extend radially outward from the outer peripheral surface of the rotating body 1, and a plurality of convex portions 3 b are formed in this region. The friction member 3 is formed by press working.

回転力伝達部材5のうち出力軸16と係合する部分は、図21に示すように、回転体1側に延びるように形成されている。これにより、出力軸16と係合する部分を回転体1側とは反対側に延びるように形成する場合に比べて、振動型駆動装置の軸方向における大きさを小さくすることができる。   A portion of the rotational force transmitting member 5 that engages with the output shaft 16 is formed so as to extend toward the rotating body 1 as shown in FIG. Thereby, compared with the case where it forms so that the part engaged with the output shaft 16 may extend on the opposite side to the rotary body 1, the magnitude | size in the axial direction of a vibration type drive device can be made small.

ここで、出力軸16の端部(不図示)には、面取り(傾斜面、図3参照)が施されているため、回転力伝達部材5を出力軸16に容易に挿入させることができる。   Here, since the end (not shown) of the output shaft 16 is chamfered (inclined surface, see FIG. 3), the rotational force transmitting member 5 can be easily inserted into the output shaft 16.

上記構成において、回転力伝達部材5の凸部5aおよび摩擦部材3の凸部3bのうち一方の凸部が、他方の凸部の間にはまり込むことによって、回転力伝達部材5および摩擦部材3が互いに噛み合うようになっている。   In the above configuration, one of the convex portions 5a of the rotational force transmitting member 5 and the convex portion 3b of the friction member 3 fits between the other convex portions, whereby the rotational force transmitting member 5 and the friction member 3 are inserted. Are engaged with each other.

回転力伝達部材5の出力軸16への組み込み状態において、回転力伝達部材5は、凸部5aおよび凸部3bの係合作用を介して摩擦部材3を弾性部材10側に付勢するようになっている。   In a state where the rotational force transmitting member 5 is incorporated into the output shaft 16, the rotational force transmitting member 5 urges the friction member 3 toward the elastic member 10 via the engaging action of the convex portion 5a and the convex portion 3b. It has become.

本実施例では、回転力伝達部材5を摩擦部材3と噛み合わせているため、部品点数を減らして小型化および低コスト化を図ることができる。すなわち、実施例9等では、回転力伝達部材5を摩擦部材3とは異なる板状部材2と噛み合わせているが、本実施例では、この板状部材2が不要となるため、部品点数を減らすことができる。   In this embodiment, since the rotational force transmitting member 5 is engaged with the friction member 3, the number of parts can be reduced and the size and cost can be reduced. That is, in Example 9 and the like, the rotational force transmission member 5 is engaged with the plate-like member 2 different from the friction member 3, but in this example, the plate-like member 2 is not necessary, so the number of parts is reduced. Can be reduced.

また、回転力伝達部材5および摩擦部材3の噛み合っている部分を、摩擦部材3の摩擦面に対して回転軸方向で近づけることができ、回転力伝達部材5による付勢力の発生ポイントを摩擦面の近くで発生させることができるため、摩擦面の面圧ムラを抑制することができる。   Further, the meshing portion of the rotational force transmission member 5 and the friction member 3 can be brought closer to the friction surface of the friction member 3 in the rotational axis direction, and the generation point of the urging force by the rotational force transmission member 5 can be determined as the friction surface. Therefore, unevenness in the surface pressure of the friction surface can be suppressed.

次に、本発明の実施例12である振動型駆動装置について、図22および図23を用いて説明する。ここで、図22は、回転力伝達部材および回転体の外観斜視図であり、図23は、回転力伝達部材および回転体の連結部分における拡大図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 12 of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 22 is an external perspective view of the rotational force transmitting member and the rotating body, and FIG. 23 is an enlarged view of a connecting portion of the rotational force transmitting member and the rotating body.

回転力伝達部材5の外周には、径方向外側に延びる凸部(第1の凸部)5aが形成されている。また、回転力伝達部材5の外周側の領域は、回転体1側に傾斜している。この回転力伝達部材5は、プレス加工によって成形されている。   On the outer periphery of the rotational force transmitting member 5, a convex portion (first convex portion) 5a extending outward in the radial direction is formed. Moreover, the area | region of the outer peripheral side of the rotational force transmission member 5 inclines to the rotary body 1 side. This rotational force transmission member 5 is formed by press working.

板状部材2の周方向には、軸方向に延びる複数の凸部(第2の凸部)2bが形成されている。この凸部2bの幅は、図23に示すように、基端部側で一定となっており、先端側に向かって一旦増加した後、減少するようになっている。   A plurality of convex portions (second convex portions) 2 b extending in the axial direction are formed in the circumferential direction of the plate-like member 2. As shown in FIG. 23, the width of the convex portion 2b is constant on the proximal end side, and once increases toward the distal end side, it decreases.

回転力伝達部材5は、この凸部5aが、周方向で隣り合う凸部2bの間にはまり込み、凸部2bの斜面に当接することによって、板状部材2(回転体1)に取り付けられる(図23参照)。ここで、凸部5aは、周方向で隣り合う凸部2bによって形成された複数の凹部のうち周方向で1つおきに位置する凹部内に組み込まれる。これは、凸部5aを上記凹部内に組み込むときに、凸部2bが周方向に逃げる(変形する)スペースを確保するためである。   The rotational force transmitting member 5 is attached to the plate-like member 2 (rotating body 1) by this convex portion 5a being fitted between the convex portions 2b adjacent in the circumferential direction and coming into contact with the slope of the convex portion 2b. (See FIG. 23). Here, the convex part 5a is incorporated in the recessed part located in every other circumferential direction among several recessed parts formed of the convex part 2b adjacent in the circumferential direction. This is to secure a space for the convex portion 2b to escape (deform) in the circumferential direction when the convex portion 5a is incorporated into the concave portion.

つまり、板状部材2の凸部2bを径方向外側に押し広げて、周方向で隣り合う凸部2b間に回転力伝達部材5の凸部5aを組み込み、凸部2bが該弾性力によって元の位置に戻ると、回転力伝達部材5がコイルバネ6の付勢力を受けることで、凸部5aが凸部2bの基端部側の斜面に当接することになる。   That is, the convex portion 2b of the plate-like member 2 is spread outward in the radial direction, and the convex portion 5a of the rotational force transmitting member 5 is incorporated between the convex portions 2b adjacent in the circumferential direction. Returning to the position, the rotational force transmitting member 5 receives the urging force of the coil spring 6, so that the convex portion 5a comes into contact with the slope on the proximal end side of the convex portion 2b.

この様な構成にすることで、回転体1の中心部付近を押圧して回転体1および振動体間の加圧ムラを小さくさせるコイルバネ6の特長を活かしたまま、回転力伝達部材5および板状部材2(回転体1)間の係合ガタをなくすことができる。   With such a configuration, the rotational force transmission member 5 and the plate are pressed while taking advantage of the coil spring 6 that presses the vicinity of the central portion of the rotating body 1 to reduce the pressurization unevenness between the rotating body 1 and the vibrating body. The engagement play between the two-shaped members 2 (rotating body 1) can be eliminated.

次に、本発明の実施例13である振動型駆動装置について図24および図25について説明する。ここで、図24は、回転力伝達部材および回転体の外観斜視図であり、図25は、図24の点線で示す領域Aの拡大図である。   Next, a vibration type driving apparatus that is Embodiment 13 of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 24 is an external perspective view of the rotational force transmitting member and the rotating body, and FIG. 25 is an enlarged view of a region A indicated by a dotted line in FIG.

回転体1の上端面に固定された板状部材2には、この周方向において、複数の貫通孔部2aが形成されている。板状部材2のうち周方向において隣り合う貫通孔部2aの間には、回転力伝達部材5側に突出する凸部2bが形成されている。この凸部2bは、板状部材2を曲げ形成することによって得られ、頂点から隣り合う貫通孔部2aそれぞれの方向に延びる斜面を有している。   The plate-like member 2 fixed to the upper end surface of the rotator 1 is formed with a plurality of through-hole portions 2a in this circumferential direction. Between the through-hole parts 2a adjacent to each other in the circumferential direction in the plate-like member 2, a convex part 2b protruding to the rotational force transmitting member 5 side is formed. This convex part 2b is obtained by bending the plate-like member 2, and has slopes extending in the respective directions of the adjacent through-hole parts 2a from the apex.

回転力伝達部材5には、この回転中心を挟んで対称となる位置に凸部5aが形成されている。この凸部5aは、図25に示すように、金属板で構成された回転力伝達部材5の一部を剪断加工して成形され、板状部材2(回転体1)側に突出している。凸部5aにおけるつづみ形の中央を特に高く突出させたので、凸部5aは先端が細くなっているとともに、凸部5aの基端が回転力伝達部材5の他の領域に繋がっているため、凸部5aの剛性を高くすることができる。
回転力伝達部材5および回転体1を出力軸に取り付ける際において、回転力伝達部材5および回転体1が所定の位相関係にない場合には、凸部5aは、板状部材2の凸部2bの斜面に沿って移動して貫通孔部2aにガイドされる。これにより、従来のように回転力伝達部材および回転体を所定の位相関係に合わせて振動型駆動装置を組み立てるといった面倒な組み立て操作を行う必要がなくなる。
The rotational force transmitting member 5 is formed with a convex portion 5a at a symmetrical position with respect to the rotational center. As shown in FIG. 25, the convex portion 5a is formed by shearing a part of the rotational force transmitting member 5 made of a metal plate, and protrudes toward the plate-like member 2 (rotating body 1). Since the center of the projecting shape of the convex portion 5a is projected particularly high, the convex portion 5a has a thin tip, and the base end of the convex portion 5a is connected to another region of the rotational force transmitting member 5. And the rigidity of the convex part 5a can be made high.
When the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 are attached to the output shaft and the rotational force transmitting member 5 and the rotating body 1 are not in a predetermined phase relationship, the convex portion 5 a is the convex portion 2 b of the plate-like member 2. It moves along the inclined surface of and is guided by the through-hole part 2a. This eliminates the need for troublesome assembly operations such as assembling the vibration type driving device in accordance with a predetermined phase relationship between the rotational force transmitting member and the rotating body as in the prior art.

次に、本発明の実施例14である振動型駆動装置について図26を用いて説明する。図26は、本実施例の振動型駆動装置の断面図である。   Next, a vibration type driving apparatus which is Embodiment 14 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 26 is a cross-sectional view of the vibration type driving device of the present embodiment.

実施例7、8では、回転力伝達部材側に樹脂で形成された部分を設けたが、本実施例は、回転体側に樹脂で形成された部分を設けるようにしたものである。
本実施例において、回転体1は、絞り加工によって成形されている。また、回転体1には、樹脂の射出成形によって形成された部材2が固定されている。この部材2は、回転力伝達部材5と噛み合う凹凸部が形成されている。ここで、部材2を樹脂で形成したことで、回転体1の振動が出力軸16に伝達されるのを防止でき、騒音の発生を抑制することができる。
In Examples 7 and 8, a portion made of resin is provided on the rotational force transmitting member side, but in this example, a portion made of resin is provided on the rotating body side.
In this embodiment, the rotating body 1 is formed by drawing. A member 2 formed by resin injection molding is fixed to the rotating body 1. The member 2 has an uneven portion that meshes with the rotational force transmitting member 5. Here, by forming the member 2 with resin, it is possible to prevent the vibration of the rotating body 1 from being transmitted to the output shaft 16 and to suppress the generation of noise.

次に、上述した実施例の振動型駆動装置を備えたプリンタ装置について説明する。図27および図28はそれぞれ、プリンタ装置の正面図と側面図である。プリンタ装置に設けられた紙送りユニットは、プリンタや複写機などで用いられる用紙を搬送するためのユニットである。   Next, a printer apparatus provided with the vibration type driving apparatus of the above-described embodiment will be described. 27 and 28 are a front view and a side view of the printer device, respectively. A paper feeding unit provided in the printer apparatus is a unit for conveying paper used in a printer, a copying machine, or the like.

振動型駆動装置を用いると高トルクが得られることを利用して、該駆動装置の出力軸をローラに直接連結している。   Utilizing the fact that a high torque can be obtained when the vibration type driving device is used, the output shaft of the driving device is directly connected to the roller.

振動型駆動装置を用いた場合には、通常の電磁モータを用いた場合のようにモータ出力をギヤ機構によって減速しないので、ギヤのバックラッシによる停止位置精度のバラツキや、ギヤの駆動音などが低減でき、高精度で静粛性の高い紙送りユニットを構成することができる。また、振動型駆動装置は起動時間が短いため、プリンタ装置での印刷のように、用紙の停止および移動を頻繁に行わせる場合に適している。   When using a vibration-type drive device, the motor output is not decelerated by the gear mechanism as in the case of using an ordinary electromagnetic motor, which reduces variations in stop position accuracy due to gear backlash and gear drive noise. It is possible to configure a highly accurate and quiet paper feeding unit. In addition, since the vibration type driving device has a short start-up time, it is suitable for the case where the paper is frequently stopped and moved as in printing with a printer device.

本実施例の紙送りユニットにおいて、ローラ24の両端は2つのローラ用軸受け28で支持されている。一方、振動型駆動装置の出力軸16は、ローラ24の一端に圧入されている。なお、振動型駆動装置の反対側は固定されていない。用紙27は、ローラ24、29によって搬送される。   In the paper feeding unit of this embodiment, both ends of the roller 24 are supported by two roller bearings 28. On the other hand, the output shaft 16 of the vibration type driving device is press-fitted into one end of the roller 24. Note that the opposite side of the vibration type driving device is not fixed. The paper 27 is conveyed by rollers 24 and 29.

プリンタ装置には、インクタンクを搭載したキャリッジ26があり、これがローラ25に沿って往復運動する。この間にインクタンクの微細な吐出口からインクが吐出して用紙に印刷される。この微細な吐出口は、場合によってはインクで目詰まりするため、回復ユニットと呼ばれる一種のポンプでこの目詰まりを解消するようになっている。   The printer device includes a carriage 26 on which an ink tank is mounted, and this reciprocates along the roller 25. During this time, ink is ejected from fine ejection ports of the ink tank and printed on the paper. This fine discharge port is clogged with ink in some cases, and this clogging is eliminated by a kind of pump called a recovery unit.

該回復ユニットは用紙27が通過しないローラの端に設けられている。回復ユニットと微細な吐出口との間に用紙があると、回復動作ができないからである。
本実施例のプリンタ装置では、回復ユニットが配置された場所に振動型駆動装置を搭載している。従来は元々ローラが延長して存在した所に、振動型駆動装置を置換しただけなので、従来に比べて省スペース化を実現している。
The recovery unit is provided at the end of the roller through which the paper 27 does not pass. This is because the recovery operation cannot be performed if there is a sheet between the recovery unit and the fine discharge port.
In the printer device of this embodiment, the vibration type driving device is mounted at the place where the recovery unit is arranged. Conventionally, the vibration type driving device is simply replaced in the place where the roller originally existed, so that space saving is realized as compared with the conventional case.

支持板14はねじれの反力を受ければよい。図28に示すように、支持板14の一部は円弧状になっている。この支持板14は、振動体を回転させながら2本の固定ネジにより、振動型駆動装置を所定の位置に固定できるようにしている。   The support plate 14 only needs to receive a reaction force of torsion. As shown in FIG. 28, a part of the support plate 14 has an arc shape. The support plate 14 can fix the vibration type driving device at a predetermined position with two fixing screws while rotating the vibrating body.

実施例1を示す振動型駆動装置の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the vibration type driving device showing the first embodiment. 実施例1における振動体の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of a vibrating body according to the first embodiment. 実施例1における振動型駆動装置の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the vibration type driving device according to the first embodiment. 実施例1における振動型駆動装置の組立て説明図。FIG. 3 is an assembly explanatory diagram of the vibration type driving device according to the first embodiment. 実施例1における振動型駆動装置の別の組立て説明図。FIG. 6 is another assembly explanatory diagram of the vibration type driving device according to the first embodiment. 実施例2における回転体と回転力伝達部材の組み付け前の状態を示す図。The figure which shows the state before the assembly | attachment of the rotary body in Example 2, and a rotational force transmission member. 実施例2における回転体の部分を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a portion of a rotating body in Example 2. 実施例3における振動型駆動装置の分解斜視図。FIG. 6 is an exploded perspective view of a vibration type driving device in Embodiment 3. 実施例4における振動型駆動装置の分解斜視図。FIG. 9 is an exploded perspective view of a vibration type driving device in Embodiment 4. 実施例4における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 4. FIG. 実施例5における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。FIG. 10 is an external perspective view of a rotating body and a rotational force transmission member in Embodiment 5. 実施例6における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。FIG. 10 is an external perspective view of a rotating body and a rotational force transmission member in Embodiment 6. 実施例6における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 6. FIG. 実施例7における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 7. FIG. 実施例8における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 8. FIG. 実施例9における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。FIG. 10 is an external perspective view of a rotating body and a rotational force transmission member in Embodiment 9. 実施例9における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 9. FIG. 実施例10における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。The external appearance perspective view of the rotary body and rotational force transmission member in Example 10. FIG. 実施例10における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 10. FIG. 実施例11における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。The external appearance perspective view of the rotary body and rotational force transmission member in Example 11. FIG. 実施例11における回転体部分の断面図。Sectional drawing of the rotary body part in Example 11. FIG. 実施例12における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。The external appearance perspective view of the rotary body and rotational force transmission member in Example 12. FIG. 実施例12における回転体部分の凹凸部の拡大図。The enlarged view of the uneven | corrugated | grooved part of the rotary body part in Example 12. FIG. 実施例13における回転体および回転力伝達部材の外観斜視図。14 is an external perspective view of a rotating body and a rotational force transmission member in Embodiment 13. FIG. 実施例13における回転力伝達部材の拡大図。The enlarged view of the rotational force transmission member in Example 13. FIG. 実施例14における振動型駆動装置の断面図。Sectional drawing of the vibration type drive device in Example 14. FIG. 実施例15におけるプリンタ装置の正面図。FIG. 18 is a front view of a printer apparatus according to a fifteenth embodiment. 実施例15におけるプリンタ装置の側面図。FIG. 17 is a side view of the printer device according to the fifteenth embodiment. 従来例の振動型駆動装置の分解斜視図。The disassembled perspective view of the vibration type drive device of a prior art example. 従来例の振動型駆動装置の外観斜視図。The external appearance perspective view of the vibration type drive device of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1、101 回転体
1a、101a 凹凸部
2 板状部材
3、103 摩擦部材
4 回転力伝達部材側凹又は凸部材
5、105 回転力伝達部材
5a、105a 凹凸部
6、106 コイルバネ
7、107 回り止めネジ
8 弾性シート
9、109 摩擦部材
10、110 弾性部材
11 軸受け
12、112 圧電素子
13、113 フレキシブル基板
14、114 振動体支持板
15 中空ボルト
16、116 出力軸
17、117 ケース用軸受け
18、118 ケース
19、119 ケース
20 組立て冶具台
21 押し込み冶具
22、23 組立て冶具用ベアリング
24 ローラ
25 キャリッジガイド
26 キャリッジ
27 用紙
28 ローラ用軸受け
29 ローラ
30 箍
31 スペーサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 Rotating body 1a, 101a Uneven part 2 Plate-like member 3, 103 Friction member 4 Recessed or convex member 5 on rotational force transmission member 5,105 Rotating force transmission member 5a, 105a Uneven part 6,106 Coil spring 7, 107 Anti-rotation Screw 8 Elastic sheet 9, 109 Friction member 10, 110 Elastic member 11 Bearing 12, 112 Piezoelectric element 13, 113 Flexible substrate 14, 114 Vibrating body support plate 15 Hollow bolt 16, 116 Output shaft 17, 117 Case bearing 18, 118 Case 19, 119 Case 20 Assembly jig base 21 Pushing jigs 22, 23 Bearing for assembly jig 24 Roller 25 Carriage guide 26 Carriage 27 Paper 28 Roller bearing 29 Roller 30 箍 31 Spacer

Claims (17)

電気−機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、該振動体に接触して回転駆動される回転体と、該回転体の回転力を出力部材に伝達する伝達部材とが、軸方向から相互に組み付けられた振動型駆動装置であって、
前記回転体に設けられた第1の係合部と前記伝達部材に設けられた第2の係合部とが回転方向にて係合することにより前記回転体の回転力が前記伝達部材に伝達される構造を有し、
前記第1および第2の係合部のうち少なくとも一方が、前記軸方向に対して前記回転方向に傾いた形状を有することを特徴とする振動型駆動装置。
An oscillating body in which vibration is excited by an electro-mechanical energy conversion element, a rotator that is rotationally driven in contact with the oscillating body, and a transmission member that transmits the rotational force of the rotator to an output member are axially provided. A vibration type driving device assembled to each other,
A rotational force of the rotating body is transmitted to the transmission member by engaging a first engaging portion provided on the rotating body and a second engaging portion provided on the transmitting member in a rotating direction. Having a structure
At least one of the first and second engaging portions has a shape inclined in the rotational direction with respect to the axial direction.
前記第1の係合部が、前記回転体の周方向に周期的に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置。   The vibration-type drive device according to claim 1, wherein the first engagement portion is periodically provided in a circumferential direction of the rotating body. 前記第2の係合部が、前記伝達部材の周方向に周期的に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置。   The vibration type driving device according to claim 1, wherein the second engagement portion is periodically provided in a circumferential direction of the transmission member. 前記第1および第2の係合部のうち少なくとも一方が、凸部における前記回転方向両端に設けられており、
前記凸部の回転方向幅が、該凸部の根元側から先端側に向かって減少していることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。
At least one of the first and second engaging portions is provided at both ends in the rotation direction of the convex portion,
4. The vibration type driving device according to claim 1, wherein a width of the convex portion in a rotation direction decreases from a base side to a tip side of the convex portion.
前記第1および第2の係合部のうち少なくとも一方が、凹部における前記回転方向の両端に設けられており、
前記凹部の回転方向幅が、該凹部の底部側から開口側に向かって増加していることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。
At least one of the first and second engaging portions is provided at both ends of the recess in the rotational direction,
4. The vibration type driving device according to claim 1, wherein the width of the concave portion in the rotation direction increases from the bottom side to the opening side of the concave portion. 5.
前記第1の係合部と前記第2の係合部との間に弾性部材が挟まれていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。   6. The vibration type driving device according to claim 1, wherein an elastic member is sandwiched between the first engaging portion and the second engaging portion. 前記第1の係合部と前記第2の係合部のうち一方の数が他方の数よりも多いことを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。   7. The vibration type driving device according to claim 1, wherein one of the first engaging portion and the second engaging portion is greater in number than the other. 8. 前記第1の係合部と前記第2の係合部のうち一方の前記軸方向における高さが、回転中心に向かって増加し、他方の前記軸方向の高さが、回転中心に向かって減少していることを特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。   The height in the axial direction of one of the first engaging portion and the second engaging portion increases toward the rotation center, and the other height in the axial direction increases toward the rotation center. The vibration type driving device according to claim 1, wherein the vibration type driving device is reduced. 前記伝達部材における前記出力部材側の部分が金属により形成され、前記第2の係合部が設けられている側の部分が樹脂により形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。   The portion on the output member side of the transmission member is made of metal, and the portion on the side where the second engaging portion is provided is made of resin. The vibration type driving device according to any one of the above. 前記伝達部材が、前記回転体と前記振動体とを圧接させる加圧力を発生させることを特徴とする請求項1から9のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。   10. The vibration type driving device according to claim 1, wherein the transmission member generates a pressing force that presses the rotating body and the vibrating body. 前記回転体に、前記第1の係合部を前記回転方向の両端に有する凸部が設けられており、
前記凸部は、前記振動体に接触して該振動体から駆動力を受けることを特徴とする請求項1から10のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。
The rotating body is provided with convex portions having the first engaging portions at both ends in the rotation direction,
11. The vibration type driving device according to claim 1, wherein the convex portion receives the driving force from the vibrating body in contact with the vibrating body.
前記第1および第2の係合部のうち一方が前記回転方向の両端に設けられた第1の凸部と、
前記回転方向における前記第1の凸部の両側に配置された2つの凸部であって、それぞれ前記第1および第2の係合部のうち他方が前記第1の凸部側に設けられた2つの第2の凸部とを有し、
前記第1の凸部は、前記2つの第2の凸部における根元側部分の間に配置され、
前記第2の凸部の前記根元側部分は、第1の回転方向幅を有し、先端側部分は、回転方向幅が前記第1の回転方向幅より大きい第2の回転方向幅から先端に向かって減少する形状を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の振動型駆動装置。
One of the first and second engaging portions, a first convex portion provided at both ends in the rotational direction;
Two convex portions arranged on both sides of the first convex portion in the rotation direction, and the other of the first and second engaging portions is provided on the first convex portion side, respectively. Two second protrusions,
The first convex portion is disposed between the root side portions of the two second convex portions,
The root side portion of the second convex portion has a first rotation direction width, and the tip side portion has a rotation direction width larger than the first rotation direction width from the second rotation direction width to the tip. 4. The vibration type driving device according to claim 1, wherein the vibration type driving device has a shape that decreases toward the bottom.
請求項1から12のいずれか1つに記載の振動型駆動装置を有することを特徴とする振動型駆動装置を用いた装置。   An apparatus using the vibration type driving apparatus, comprising the vibration type driving apparatus according to claim 1. 請求項1から12のいずれか1つに記載の振動型駆動装置を組み立てる方法であって、
前記振動体を振動させながら組み立てることを特徴とする振動型駆動装置の組み立て方法。
A method for assembling the vibration type driving device according to any one of claims 1 to 12,
A method for assembling a vibration type driving apparatus, wherein the vibration body is assembled while vibrating.
前記振動体の振動によって前記回転体を回転させながら組み立てることを特徴とする請求項14に記載の振動型駆動装置の組み立て方法。   The method for assembling the vibration type driving device according to claim 14, wherein the assembly is performed while rotating the rotating body by vibration of the vibrating body. 前記電気−機械エネルギ変換素子の出力信号に基づいて、前記回転体および前記伝達部材を前記軸方向における特定位置まで移動させることを特徴とする請求項14又は15に記載の振動型駆動装置の組み立て方法。   The assembly of the vibration type driving device according to claim 14 or 15, wherein the rotating body and the transmission member are moved to a specific position in the axial direction based on an output signal of the electro-mechanical energy conversion element. Method. 前記伝達部材を前記出力部材に組み付ける際に生じる反力に基づいて決定された力によって、前記伝達部材を前記出力部材に組み付けることを特徴とする請求項14又は15に記載の振動型駆動装置の組み立て方法。

16. The vibration type driving device according to claim 14, wherein the transmission member is assembled to the output member by a force determined based on a reaction force generated when the transmission member is assembled to the output member. Assembly method.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2020030090A (en) * 2018-08-22 2020-02-27 ユニパルス株式会社 Torque converter

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JP2013243931A (en) * 2013-08-07 2013-12-05 Canon Inc Vibration wave motor
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