JP2005175201A - Ultrasonic bonding apparatus, multi-frequency ultrasonic wave generator therefor, and multi-frequency ultrasonic wave generating method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体装置等の組み立て工程で使用される超音波ボンディング装置、その装置に使用される超音波発生器であり、ボンディング対象に応じてボンディングに有効な共振周波数を発生することができる多周波超音波発生器、及びその多周波超音波発生方法に関するものである。 The present invention is an ultrasonic bonding apparatus used in an assembly process of a semiconductor device or the like, and an ultrasonic generator used in the apparatus, and can generate a resonance frequency effective for bonding depending on a bonding target. The present invention relates to a high-frequency ultrasonic generator and a multi-frequency ultrasonic generation method thereof.
図8は、従来の超音波ボンディング装置の概略図であり、超音波ホーン1の先端にはキャピラリ2が設けられ、超音波振動子1aが超音波ホーン1に組み込まれ、超音波ホーン1は取付フランジ4で装置に固定され、超音波振動子1aの共振周波数に合わせて超音波発振器3からの超音波電圧が超音波振動子1aに印加されて振動し、超音波ホーン1を通して増幅されてキャピラリ2に超音波振動が伝達され、ボンディングが行われている。図9では超音波振動子固有の共振周波数による共振点に加えて一定の間隔で共振点が存在する。これらの共振周波数は機械的な共振によるものである。なお、図9は超音波振動子のインピーダンス特性を示す図であり、横軸が周波数を示し、縦軸がインピーダンス値を示している。
FIG. 8 is a schematic view of a conventional ultrasonic bonding apparatus. A
一方、半導体装置は高集積化に伴うリードの微細化が顕著であり、ボンディング工程における超音波ボンディング装置によるリードとワイヤとの接合に際し、リードの位置条件等によってはリードが共振状態となってリードとワイヤとの接合強度が十分に確保できないことがあった。このような状態では半導体装置の樹脂封止工程において、ワイヤ剥がれ或いは断線等の接触不良によるボンディング不良が発生するおそれがあった。 On the other hand, the miniaturization of the lead due to high integration is remarkable in the semiconductor device. When the lead and the wire are bonded by the ultrasonic bonding apparatus in the bonding process, the lead becomes a resonance state depending on the position condition of the lead. In some cases, sufficient bonding strength between the wire and the wire could not be secured. In such a state, in the resin sealing process of the semiconductor device, there is a possibility that bonding failure due to contact failure such as wire peeling or disconnection may occur.
従来の超音波ボンディング装置では、リードの位置条件によりリードに加えられる超音波振動が共振範囲になる場合、超音波振動子に加えられる発振周波数を変更したり、或いは出力を増大させることによりリードの共振を防止するものがあった。図10の超音波ボンディング装置は超音波ホーン1の先端にキャピラリ2が設けられ、超音波発振器(60KHz)3或いは超音波発振器(100KHz)4の発振周波数がスイッチ機構5を経て超音波ホーン1からキャピラリ2へと伝えるように構成され、スイッチ機構5は制御部6により制御されている。制御部6はキャピラリ2がボンディング対象に接触した時点のインピーダンスを監視し、ボンディング対象を判別してスイッチ機構5の切り替え制御を行っている。このように超音波振動子に加えられる周波数を切り替えている。この超音波ボンディング装置は、超音波振動子の機械的な共振周波数による超音波振動を利用するものである。(例えば、特許文献1参照)
In the conventional ultrasonic bonding apparatus, when the ultrasonic vibration applied to the lead falls within the resonance range due to the position condition of the lead, the oscillation frequency applied to the ultrasonic transducer is changed or the output is increased by increasing the output. There was something that prevented resonance. The ultrasonic bonding apparatus of FIG. 10 is provided with a
また、図11の超音波ボンディング装置は、超音波トランスジューサ(超音波振動子を組み込んだ超音波ホーン)1と多周波超音波発生器(超音波周波F1〜F3)7と制御装置8とで構成され、制御装置8によりボンディングに必要な周波数Fxを多周波超音波発生器7から選択して超音波発振子1aに印加するようにしたものである。多周波超音波発生器からの周波数F1〜F3の選択又はそれらの組み合わせによる発振周波数を超音波振動子に加えるものであり、上記従来例と同様に超音波振動子の機械的な共振周波数による超音波振動を利用するものである。(例えば、特許文献2参照)
11 includes an ultrasonic transducer (ultrasonic horn incorporating an ultrasonic transducer) 1, a multi-frequency ultrasonic generator (ultrasonic frequencies F 1 to F 3 ) 7, a
従来例の超音波ボンディング装置(特許文献1,2)は、超音波振動子の固有の共振点を利用するものであり、ボンデング対象に応じて最適な固有の共振周波数を有するものを使用しており、超音波振動子は、半波長共振の正数倍に機械的共振点が存在する性質を持っているが、圧電素子挿入位置や装置に取り付けるための取付フランジなどの関係上、一個の超音波振動子でボンディングに必要な振幅が得られるだけの効率の良い共振点が複数存在することは少なく、複数の共振点を必要とする場合、異なった共振点を有する超音波振動子を多数準備する必要があり、極めて高価なものとなる欠点があった。
Conventional ultrasonic bonding apparatuses (
また、近年では、半導体装置のチップサイズが極めて微細化してリードはファインピッチとなっており、このようなチップのボンディングには140KHz など高周波が有効であり、ベースに仮り付け状態のチップでは60KHz のような低周波が適し、50μm以上の金線をボンディングする場合においても低周波が適している。さらに、低温ボンディングや常温ボンディングの場合は高い周波数が有効であり、フリップチップボンダーでは大きなチップには40KHzの超音波振動を使用し、小さなチップには60KHzを使用している。 In recent years, the chip size of semiconductor devices has become extremely fine and leads have become fine pitches. High frequency such as 140 KHz is effective for bonding such chips, and 60 KHz for a chip temporarily attached to the base. Such a low frequency is suitable, and the low frequency is also suitable when bonding a gold wire of 50 μm or more. Further, a high frequency is effective for low-temperature bonding and room-temperature bonding, and the flip chip bonder uses 40 KHz ultrasonic vibration for a large chip and 60 KHz for a small chip.
このようにボンディング対象が変わった場合、最適な周波数に合わせて設計された超音波振動子と発振器とを交換する必要があり、作業工程の途中でこのような交換作業を行うことは稼働率が低下して生産性を劣化させる欠点があった。また、同一のボンディング対象であったとしてもボンディング位置によってボンディング状態が異なることがあり、このようなボンディングを同一周波数で行った場合、製品の信頼性が著しく低下することになる。 When the bonding target changes in this way, it is necessary to replace the ultrasonic transducer and the oscillator designed for the optimum frequency, and performing such replacement work in the middle of the work process has a high operating rate. There was a drawback that the productivity was lowered by lowering. Further, even if the same bonding target is used, the bonding state may differ depending on the bonding position. When such bonding is performed at the same frequency, the reliability of the product is significantly lowered.
一方、複数の共振点を発生させるには、多周波超音波ボンディング装置が必要となるが、一個の超音波振動子により多数の共振点を有するような振動子を設計することは困難である。即ち、超音波振動子は、図8に示したように、超音波振動子の固有の機械的共振周波数の半波長共振の整数倍に共振点が多数有するが、圧電素子挿入位置や超音波ホーンを装置に組み込むための取付フランジの位置等の関係上、ボンディングに必要な振幅を得られるだけの効率の良い共振点が複数存在することは少ない。そこで超音波振動子或いは超音波発振器を交換することなく、異なったボンディング対象に応じてボンディングに有効な共振周波数を発生させる必要があった。また、従来、超音波振動子の出来具合や装置への取付け状態などにより最適な機械的共振点からずれることがあり、装置間での振動状態の差が大きくなる欠点があり、このような問題点に対し改善の余地があった。 On the other hand, in order to generate a plurality of resonance points, a multi-frequency ultrasonic bonding apparatus is required, but it is difficult to design a vibrator having a large number of resonance points with one ultrasonic vibrator. That is, as shown in FIG. 8, the ultrasonic vibrator has a large number of resonance points at an integral multiple of the half-wave resonance of the inherent mechanical resonance frequency of the ultrasonic vibrator. In view of the position of the mounting flange for incorporating the device into the apparatus, there are few resonance points that are efficient enough to obtain the amplitude required for bonding. Therefore, it is necessary to generate an effective resonance frequency for bonding according to different bonding objects without replacing the ultrasonic vibrator or the ultrasonic oscillator. In addition, there is a drawback that the difference in the vibration state between the devices becomes large, which may deviate from the optimum mechanical resonance point depending on the condition of the ultrasonic vibrator and the state of attachment to the device. There was room for improvement.
本発明は、上記課題に鑑みなてされたものであって、ボンディング対象の状態に応じてボンディングに有効な超音波振動を容易に供給し得る超音波ボンディング装置、その装置に使用する多周波超音波発生器、その多周波超音波発生方法を提供するものである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an ultrasonic bonding apparatus that can easily supply ultrasonic vibration effective for bonding according to the state of a bonding target, and a multi-frequency ultrasonic wave used in the apparatus. A sound wave generator and a multi-frequency ultrasonic wave generation method thereof are provided.
本発明は上記課題を解消したものであって、請求項1の発明は、キャピラリを設けた超音波ホーンに超音波振動子が設けられ、超音波発振器から該超音波振動子に超音波電圧を加える超音波ボンディング装置において、前記超音波発振器からの超音波電圧がインダクタンス成分を通して印加される前記超音波振動子を有することを特徴とする超音波ボンディング装置である。なお、インダクタンス成分はコイルに代表されるが、コイルに限定することなく、コイルとコンデンサとの組み合わせであってもよい。
The present invention solves the above problems, and the invention of
また、請求項2の発明は、前記インダクタンス成分として作用する機能部品が前記超音波振動子に直列接続され、該インダクタンス成分のインダクタンス値を調整可能としたことを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング装置であり、機能部品とは、コイルのみ、直列接続されたコイル、或いはコイルとコンデンサとの組み合わせ等である。また、インダクタンス値は、インダクタンス成分を制御部からの制御信号に基づいて、調整することができるし、また制御部は記憶部を備え、この記憶部にボンディング対象のボンディング条件を記憶させることができる。
The invention of
また、請求項3の発明は、超音波発振器の一電極がインダクタンス成分として作用する機能部品の一端に接続され、該機能部品の他端が超音波振動子の一電極に接続され、該超音波振動子の他電極が前記超音波発振器の他電極に接続され、前記超音波発振器からの超音波電圧を前記機能部品を通して該超音波振動子に加えるようにしたことを特徴とする超音波ボンディング装置の多周波超音波発生器である。なお、超音波振動子は一個の固有の共振点を有するものであってもよいし、二個以上の共振点を有するものであってもよい。また、機能部品とは、上記で説明したように、コイルのみ、或いはコイルを直列接続したもの、コイルとコンデンサとの組み合わせ等である。 According to a third aspect of the present invention, one electrode of an ultrasonic oscillator is connected to one end of a functional component that acts as an inductance component, and the other end of the functional component is connected to one electrode of an ultrasonic transducer. An ultrasonic bonding apparatus characterized in that the other electrode of the vibrator is connected to the other electrode of the ultrasonic oscillator, and an ultrasonic voltage from the ultrasonic oscillator is applied to the ultrasonic vibrator through the functional component. Is a multi-frequency ultrasonic generator. The ultrasonic transducer may have one unique resonance point, or may have two or more resonance points. Further, as described above, the functional component is only a coil, a series connection of coils, a combination of a coil and a capacitor, or the like.
また、請求項4の発明は、前記機能部品のインダクタンス値を調整可能としたことを特徴とする請求項3に記載の超音波ボンディング装置の多周波超音波発生器である。インダクタンス値の調整は、コイルの磁芯の調整によるインダクタンス値の調整、或いはコイルとコンデンサとの組み合わせの場合、コンデンサの容量の調整が含まれる。さらには、スイッチ等によるインダクタンス値の選択による共振周波数の調整を含むものである。 According to a fourth aspect of the invention, there is provided the multi-frequency ultrasonic generator of the ultrasonic bonding apparatus according to the third aspect, wherein the inductance value of the functional component can be adjusted. Adjustment of the inductance value includes adjustment of the inductance value by adjusting the magnetic core of the coil, or adjustment of the capacitance of the capacitor in the case of a combination of a coil and a capacitor. Furthermore, the resonance frequency is adjusted by selecting an inductance value using a switch or the like.
また、請求項5の発明は、超音波振動子にインダクタンス成分を通して超音波電圧を印加し、該超音波振動子の固有の共振周波数とは異なる周波数の電気的共振周波数を該超音波振動子に発生させることを特徴とする多周波超音波発生方法であり、ボンディングに必要な振幅が得られる共振周波数は、インダクタンス成分のインダクタンス値を調整することで得られる。
Further, the invention of
請求項1の発明では、キャピラリを設けた超音波ホーンに超音波振動子が設けられ、超音波発振器から該超音波振動子に超音波電圧を加える超音波ボンディング装置において、前記超音波発振器からの超音波電圧がインダクタンス成分を通して印加される前記超音波振動子を有することを特徴とする超音波ボンディング装置であるので、超音波振動子の機械的な共振周波数のみに依存することなく、超音波振動子に直列に接続したインダクタンス成分のインダクタンス値によって、最適な共振周波数を超音波振動子に印加して得られる超音波振動をボンディング対象に加えることができるようにしたものであり、複数の超音波振動子を用意して、最適な超音波振動となる超音波振動子を交換しながら使用する必要がなく、しかも一個の超音波振動子により比較的自由に周波数を設定して超音波振動を発生させることができ、様々なボンディング対象に対応することができる利点がある。また、超音波振動子は複数の効率の良い機械的共振点を形状するのが困難であるが、本発明によれば、多周波超音波ボンディング装置を容易に実現できるので、安価なものとなる利点がある。
In the invention of
また、請求項2の発明では、前記インダクタンス成分として作用する機能部品が前記超音波振動子に直列接続され、該インダクタンス成分のインダクタンス値を調整可能としたことを特徴とする請求項1に記載の超音波ボンディング装置であるので、インダクタンス成分のインダクタンス値を調整することによって、超音波周波数帯の低域から高域の範囲を移動させて、超音波振動子固有の共振点以外のボンディングに有効な共振周波数を得ることができ、様々なボンディング条件に容易に対応することができる。また、複数の超音波振動子を用意して、最適な超音波振動となる超音波振動子を交換しながら使用する必要がなく、稼働率が向上し生産性を高めることができる利点がある。しかも一個の超音波振動子を用いて複数の超音波振動を発生させることができるので、安価な超音波ボンディング装置を提供できる利点がある。なお、インダクタンス成分のインダクタンス値の調整は、制御部からの電気信号により行うことができ、超音波振動子に加えられる共振周波数の周波数を容易に調整することができる。また、インダクタンス成分はコイルのみならず、コイルにコンデンサを組み合わせたものであってもよい。その場合、コンデンサを容量可変型として、共振周波数を調整するようにしてもよい。また、制御部は記憶部を備えるようにして、この記憶部にボンディング対象のボンディング条件を記憶させることとによって、ボンディングを一時停止して超音波振動の周波数を変えてから行う必要がなく、超音波ボンディング装置の稼働率の向上に寄与する。 According to a second aspect of the present invention, the functional component that acts as the inductance component is connected in series to the ultrasonic transducer, and the inductance value of the inductance component can be adjusted. Since this is an ultrasonic bonding device, it is effective for bonding other than the resonance point unique to the ultrasonic transducer by moving the range of the ultrasonic frequency band from low to high by adjusting the inductance value of the inductance component. A resonance frequency can be obtained and various bonding conditions can be easily handled. Further, there is an advantage that it is not necessary to prepare a plurality of ultrasonic transducers and use them while exchanging the ultrasonic transducers that are optimal ultrasonic oscillations, and the operating rate can be improved and the productivity can be increased. In addition, since a plurality of ultrasonic vibrations can be generated using one ultrasonic transducer, there is an advantage that an inexpensive ultrasonic bonding apparatus can be provided. The adjustment of the inductance value of the inductance component can be performed by an electric signal from the control unit, and the frequency of the resonance frequency applied to the ultrasonic transducer can be easily adjusted. Further, the inductance component may be not only a coil but also a combination of a coil and a capacitor. In this case, the resonance frequency may be adjusted by using a capacitor with a variable capacitance. In addition, the control unit includes a storage unit, and the bonding condition to be bonded is stored in the storage unit, so that it is not necessary to temporarily stop the bonding and change the frequency of the ultrasonic vibration. This contributes to the improvement of the operating rate of the sonic bonding device.
また、請求項3の発明では、超音波発振器の一電極がインダクタンス成分として作用する機能部品の一端に接続され、該機能部品の他端が超音波振動子の一電極に接続され、該超音波振動子の他電極が前記超音波発振器の他電極に接続され、前記超音波発振器からの超音波電圧を前記機能部品を通して該超音波振動子に加えるようにしたことを特徴とする超音波ボンディング装置の多周波超音波発生器であるので、超音波振動子の機械的共振周波数に依存することなく、インダクタンス成分のインダクタンス値を任意の値に設定すれば、機械的共振点以外の複数の電気的な共振点を容易に発生させることができるとともに、ボンディング対象に最適な超音波振動を供給することができる利点がある。 According to a third aspect of the invention, one electrode of the ultrasonic oscillator is connected to one end of a functional component that acts as an inductance component, and the other end of the functional component is connected to one electrode of an ultrasonic transducer. An ultrasonic bonding apparatus characterized in that the other electrode of the vibrator is connected to the other electrode of the ultrasonic oscillator, and an ultrasonic voltage from the ultrasonic oscillator is applied to the ultrasonic vibrator through the functional component. Therefore, if the inductance value of the inductance component is set to an arbitrary value without depending on the mechanical resonance frequency of the ultrasonic transducer, a plurality of electrical frequencies other than the mechanical resonance point can be set. Therefore, there is an advantage that an optimum ultrasonic vibration can be supplied to a bonding target.
また、請求項4の発明では、前記機能部品のインダクタンス値を調整可能としたことを特徴とする請求項3に記載の超音波ボンディング装置の多周波超音波発生器であるので、発振器の一電極にインダクタンス成分の一端を接続して、超音波振動子を直列接続することによって、インダクタンス値を調整し、超音波周波数の低域から高域の範囲を移動させてボンディングに有効な共振周波数を発生させて超音波震動を発生させることができる多周波超音波発生器であり、この多周波超音波発生器を超音波ボンディング装置に組み込むことにより、ボンディング対象に最適な周波数の超音波振動を容易に得ることができる利点がある。 According to a fourth aspect of the invention, the inductance value of the functional component can be adjusted, and the multi-frequency ultrasonic generator of the ultrasonic bonding apparatus according to the third aspect is provided. By connecting one end of the inductance component to and connecting the ultrasonic transducers in series, the inductance value is adjusted, and the ultrasonic frequency is moved from the low frequency range to the high frequency range to generate a resonance frequency effective for bonding. This is a multi-frequency ultrasonic generator that can generate ultrasonic vibrations, and by incorporating this multi-frequency ultrasonic generator into an ultrasonic bonding device, it is easy to generate ultrasonic vibrations at the optimal frequency for the bonding target. There are benefits that can be obtained.
また、請求項5の発明では、超音波振動子にインダクタンス成分を通して超音波電圧を印加し、該超音波振動子の固有の共振周波数とは異なる周波数の電気的共振周波数を該超音波振動子に発生させることを特徴とする多周波超音波発生方法であるので、インダクタンス成分のインダクタンス値を調整するのみで共振周波数を変えることが可能であり、極めて簡単に所望の超音波振動を得ることができる利点があり、同一ボンディング対象においてボンディング条件が異なる場合であってもインダクタンス成分のインダクタンス値を調整するのみでボンディングに最適な超音波振動を得ることができる利点がある。
According to the invention of
以下、本発明の超音波ボンディング装置の実施形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施形態を示す概略図である。同図において、超音波ボンディング装置10は、超音波振動子13が設けられた超音波ホーン11の先端にキャピラリ12が設けられ、装置を装着するための取付フランジ14が設けられており、発振器15の一電極15aがインダクタンス成分16である機能部品の一端16aに接続され、この機能部品の他端16bが超音波振動子13の一電極に接続され、超音波振動子13の他電極が発振器15の他の電極15bに接続されている。発振器15の超音波電圧は、インダクタンス成分16を通して超音波振動子13に印加され、超音波振動子13は振動する。超音波振動子13の超音波振動は、超音波ホーン11を経て増幅されてキャピラリ12に伝達され、キャピラリ12に伝達された超音波振動によりワイヤをボンディング対象にボンディングが行われる。なお、インダクタンス成分16である機能部品の代表例としてはコイルが挙げられる。
Hereinafter, embodiments of an ultrasonic bonding apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the present invention. In the figure, an
本実施形態は、発振器15からの超音波電圧をインダクタンス成分16を通して超音波振動子13に印加し、超音波振動子13の固有の共振周波数とは異なる周波数を有する超音波電圧を超音波振動子13に印加することによって、超音波震動を発生させることが可能であり、インダクタンス成分16のインダクタンス値を調整すれば、超音波周波数帯の低域から高域にわたって、共振点を移動させることが可能な多周波超音波発生方法による超音波ボンディング装置である。本実施形態では、インダクタンス成分16のインダクタンス値を調整するのみで、超音波振動子13の固有の共振点以外の周波数に共振点を発生させることが可能であり、ボンディングに最適な共振周波数に調整して超音波振動子13を発生させ、ボンディング対象に応じた最適な超音波振動によりボンディングすることができる。
In the present embodiment, the ultrasonic voltage from the
因みに、図2は本実施形態における超音波ホーンの共振点付近のインピーダンス特性を示している。図中の(イ)のインピーダンス特性はインダクタンス成分16を有する本実施形態を示し、図中(ロ)はインダクタンス成分16を接続しない場合のインピーダンス特性を示しており、この周波数帯域では超音波振動子13の機械的共振による一つの共振点が発生する。本実施形態では、発振器15と超音波振動子13との間にあるインダクタンス成分16を直列接続することによって、機械的な共振点R0(99KHz)の替わりに88KHzに共振点R1が発生し、113KHzに共振点R2が発生する。共振点R1,R2は電気的な共振周波数である。
Incidentally, FIG. 2 shows impedance characteristics near the resonance point of the ultrasonic horn in the present embodiment. The impedance characteristic (A) in the figure shows the present embodiment having the
図3は、本発明に係る超音波ボンディング装置の他の実施形態を示している。なお、図3において、図1の実施形態と同一部分には同一符号が付与されている。本実施形態は、インダクタンス値可変型のインダクタンス成分16′が超音波振動子13に直列接続され、インダクタンス成分16′のインダクタンス値は制御部17により調整可能としたものであり、他の構成は上記実施形態と同様である。インダクタンス成分16′のインダクタンス値は制御部17からの電気信号により可変可能であって、共振点の周波数を調整してボンディング対象に応じた超音波振動を発生させることができる。
FIG. 3 shows another embodiment of the ultrasonic bonding apparatus according to the present invention. In FIG. 3, the same reference numerals are given to the same portions as those in the embodiment of FIG. In this embodiment, an inductance component 16 'of variable inductance value type is connected in series to the
また、制御部17は、ボンディング対象の情報が記憶されており、このボンディング情報(第1〜第Nボンド点の最適なボンデング周波数,ボンディング位置情報等)に基づいてインダクタンス成分16′のインダクタンス値を任意に調整することができる。本実施形態において、発振器15とインダクタンス成分16′と超音波振動子13とは多周波数超音波発生器を構成しており、この多周波数超音波発生器を超音波ボンディング装置に組み込むことによって、ボンディング対象に応じた周波数の超音波振動を発生させることができる。なお、このインダクタンス可変型のインダクタンス成分16′はコイルのインダクタンス値を調整して共振点の周波数を調整してもよいし、インダクタンス成分16′がコンデンサを含む場合、コンデンサの容量を調整してインダクタンス値を可変することが可能である。
Further, the
図4(a),(b)は、本発明の他の実施形態の要部を示し、図1の実施形態のインダクタンス成分16が複数のコイルで構成された実施形態である。図4(a)において、所定のインダクタンス値のコイル161〜16nが直列接続され、コイル161とコイル162との接続点がスイッチ182の一方の接点に接続され、コイル162とコイル163との接続点がスイッチ183の一方の接点に接続され、終端部のコイル16nにスイッチ18nの一方の接点が接続されており、スイッチ181〜18nの他の接点が共通接続された接点が超音波振動子13の一電極に接続され、コイル161の他端が発振器15の一電極に接続されている。スイッチ181〜18nは制御部17による制御信号により切り替え制御され、ボンディング対象に応じたインダクタンス値が選択されている。コイル161〜16nは同一のインダクタンス値のものであってもよいし、スイッチ181〜18nから必要な共振周波数が得られるようにインダクタンス値を設定してもよい。
4 (a) and 4 (b) show an essential part of another embodiment of the present invention, which is an embodiment in which the
また、図4(b)では、インダクタンス値の異なるコイル161〜16nが設けられ、それらの両端に複数の接点を有する切替スイッチ18a,18bが設けられ、コイル161〜16nの各端子が切替スイッチ18a,18bの接点に接続され、切替スイッチ18aの共通接続端が発振器15の一電極に接続され、切替スイッチ18bの共通接続端が接続されている。切替スイッチ18a,18bは制御部17による制御信号によりオン・オフ制御されて所定のインダクタンス値のコイルが選択される。コイル161〜16nは必要なインダクタンス値が得られるように設定されている。
4B, coils 16 1 to 16 n having different inductance values are provided, changeover switches 18a and 18b having a plurality of contacts at both ends thereof, and terminals of the
なお、上記実施形態では、インダクタンス成分16,16′としてコイルを例示して説明したが、コイルに限定することなく、コイルにコンデンサを直列接続したもの、或いはコイルの値を固定してコンデンサの容量を調整してインダクタンス値を調整可能としたものであってもよい。即ち、インダクタンス成分16,16′は、コイルのみ、直列接続したコイル、直列接続したコイルとコンデンサ等の機能部品であって、超音波振動子13と直列接続された回路網が入力周波数に対して共振周波数を有する全ての回路構成が適用可能である。
In the above embodiment, the coil is exemplified and described as the
次に、本発明の実施例について、図1の超音波ボンディング装置を参照し、図5〜図7の超音波ホーン11の共振点付近のインピーダンス特性を参照して説明する。なお、図5は図1の超音波ボンディング装置において、インダクタンス成分16を接続することなく、電極15aを直接超音波振動子13の一電極に接続した場合のインピーダンス特性を示し、図6はインダクタンス成分16として1.8mHのコイルを超音波振動子13に直列接続した場合の共振点付近のインピーダンス特性を示し、図7はインダクタンス成分16として3.5mHのコイルを超音波振動子13に直列接続した場合の共振点付近のインピーダンス特性を示している。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the ultrasonic bonding apparatus of FIG. 1 and with reference to impedance characteristics near the resonance point of the
図5は、超音波振動子13のみによる共振周波数であり、この機械的共振点の周波数は146KHz であり、その共振点のインピーダンスが25Ωであるので、ボンディングパッド或いはリードにワイヤを接着するのに十分な振幅が得られる。他の共振点としては、62KHz、91KHz、117KHzの共振周波数が存在するが、これらの共振点はインピーダンス値が最も低い値で118Ωであり、インピーダンスが高く、ボンディングを行うための適正な振幅が得られない。
FIG. 5 shows the resonance frequency by the
このような超音波振動子を用い、インダクタンス成分16のインダクタンス値を変えた場合について説明する。先ず、図1の実施例において、超音波振動子13は図5と同一特性のものを用い、インダクタンス成分16は1.8mHのコイルを超音波振動子13に直列接続した場合、図6に示すように、電気的共振点が102KHzに発生する。この共振点のインピーダンスは18Ωであり、キャピラリ12を102KHzの超音波振動で動作させることができる。この共振点の共振周波数はボンディングを行うための適正な振幅が得られる。このようにインダクタンス成分16のインダクタンス値を変えることにより、ボンディング可能な共振周波数が発生する。
A case where the inductance value of the
また、図1の実施例において、超音波振動子13は図5と同一特性のものを用い、インダクタンス成分16は3.5mHのコイルを用い、このコイルを超音波振動子13に直列接続した場合、図7に示すように、60KHz,71KHz,95KHzに共振点が発生する。60KHzの共振点のインピーダンスは40Ωであり、十分に低く、キャピラリ12を60KHzの周波数の超音波振動を与えることができ、ボンディングに必要な振幅が得られる。
In the embodiment of FIG. 1, the
このように本実施例では、超音波振動子13に直列に接続したインダクタンス成分16のインダクタンス値を変化させることにより、超音波振動子13の本来の共振点である機械的共振点とは違う周波数に共振点を発生させることができる。本実施例では、例えば10KHz〜300KHzの周波数帯域において、電気的な共振周波数により超音波ボンディング可能な超音波振動をある程度自由に設定することができる。即ち、超音波振動子の形状を調整して共振周波数を設定することなく、インダクタンス成分のインダクタンス値を調整することによって、様々な周波数の超音波振動を発生させてキャピラリを超音波振動させることができる。
As described above, in this embodiment, by changing the inductance value of the
また、超音波振動子13と超音波発振器15との組み合わせによって、例えば10KHzから300KHzまでの周波数帯域で共振周波数を発生させることができる超音波ボンディング装置であり、ボンディング対象の状態が変わったとしても、超音波振動子を交換作業を行うことなく、コイルのインダクタンス値を変えるだけでボンディング工程を継続することが可能となる。さらには、コイルのインダクタンス値を可変させ方によっては、振動周波数を0.1KHzの間隔である程度自由に変化させることが可能であり、超音波振動子の共振点のバラツキを、インダクタンス値の調整によって、解消することが可能であるので、装置間のボンディング性能の差を減少させることができる。
Further, an ultrasonic bonding apparatus capable of generating a resonance frequency in a frequency band from 10 KHz to 300 KHz by the combination of the
また、本実施例は、共振周波数を利用してキャピラリを超音波振動させることによって、様々な周波数で超音波振動させることができ、複数の効率の良い機械的共振点を有する超音波振動子を必要としないし、超音波振動子では調整が困難な共振周波数であって超音波ボンディングが可能であり、例えば、ファインピッチボンディングの場合は、140KHzなどの高い周波数が有効であるが、しっかり固定されていないチップや細く動き易いリードなどのボンディングには60KHzのような低い周波数が有効である。また、50μm以上の金線を使用する時や大きな振幅が必要な時は、低い周波数の方が有利である。また、低温ボンディングや常温ボンディングの場合は高い周波数が有効である。また、フリップチップボンダーでは大きなチップは40KHzを使用し、小さなチップでは60KHzを使用している。さらに、第1ボンド点と第2ボンド点で状態が大きく違うといったような、同じ工程内でボンデンィング条件が違う場合であってもボンディングの信頼性を著しく低下させることなく、インダクタンス値を調整することによって、最適な周波数に合わせて設計した超音波振動子と発振器を交換することなく対応することができる。 Further, in this embodiment, ultrasonic vibration of the capillary can be performed at various frequencies by ultrasonically vibrating the capillary using the resonance frequency, and an ultrasonic transducer having a plurality of efficient mechanical resonance points can be obtained. It is not necessary, and it is a resonance frequency that is difficult to adjust with an ultrasonic transducer and ultrasonic bonding is possible. For example, in the case of fine pitch bonding, a high frequency such as 140 KHz is effective, but it is firmly fixed. A low frequency such as 60 KHz is effective for bonding such as a chip that is not formed or a thin and easily movable lead. Further, when using a gold wire of 50 μm or more or when a large amplitude is required, a lower frequency is advantageous. In the case of low temperature bonding or room temperature bonding, a high frequency is effective. In the flip chip bonder, a large chip uses 40 kHz, and a small chip uses 60 kHz. Furthermore, even when the bonding conditions are different in the same process, such as the state of the first bond point and the second bond point being significantly different, the inductance value is adjusted without significantly reducing the bonding reliability. Thus, it is possible to cope with the ultrasonic transducer and the oscillator designed for the optimum frequency without exchanging them.
また、本実施例では制御部に備えた記憶部にボンディング情報を記憶して、同一ボンディング工程内で振動周波数を変更したい場合、例えば第1ボンド点が140KHzであり、第2ボンド点が60KHzである場合であっても、このようなボンディング情報を予め記憶部に記憶しておくだけで、超音波発振器の共振周波数を、最適な値に設定して確実にボンディングすることが可能であり、ボンディングの信頼性が向上する。 Further, in this embodiment, when bonding information is stored in the storage unit provided in the control unit and it is desired to change the vibration frequency within the same bonding process, for example, the first bond point is 140 KHz and the second bond point is 60 KHz. Even in some cases, it is possible to set the resonance frequency of the ultrasonic oscillator to an optimum value and to perform bonding reliably by simply storing such bonding information in the storage unit in advance. Reliability is improved.
本発明は、半導体装置のワイヤボンディング、フリップチップボンディング等のボンディング工程で利用することができるし、電子・電気機器等の広い分野でのボンディング工程に利用することができる。 The present invention can be used in bonding processes such as wire bonding and flip chip bonding of semiconductor devices, and can be used in bonding processes in a wide range of fields such as electronic and electrical equipment.
10 超音波ボンディング装置
11 超音波ホーン
12 キャピラリ
13 超音波振動子
14 取付フランジ
15 超音波発振器
16,16′ インダクタンス成分
161〜16n コイル(インダクタンス成分)
17 制御部
181〜18n スイッチ
18a,18b 切替スイッチ
10
17 control unit 18 1 to 18 n
Claims (5)
前記超音波発振器からの超音波電圧がインダクタンス成分を通して印加される前記超音波振動子を有することを特徴とする超音波ボンディング装置。 In an ultrasonic bonding apparatus in which an ultrasonic vibrator is provided in an ultrasonic horn provided with a capillary, and an ultrasonic voltage is applied to the ultrasonic vibrator from an ultrasonic oscillator,
An ultrasonic bonding apparatus comprising: the ultrasonic vibrator to which an ultrasonic voltage from the ultrasonic oscillator is applied through an inductance component.
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