JP2005173179A - Dustproof substrate for liquid crystal panel and counter substrate for liquid crystal panel, and transmission liquid crystal display device - Google Patents

Dustproof substrate for liquid crystal panel and counter substrate for liquid crystal panel, and transmission liquid crystal display device Download PDF

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JP2005173179A JP2003412807A JP2003412807A JP2005173179A JP 2005173179 A JP2005173179 A JP 2005173179A JP 2003412807 A JP2003412807 A JP 2003412807A JP 2003412807 A JP2003412807 A JP 2003412807A JP 2005173179 A JP2005173179 A JP 2005173179A
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Keiji Hosoda
啓次 細田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dustproof substrate for a liquid crystal panel by which high reliability and good image quality can be obtained. <P>SOLUTION: The dustproof substrate 5 for the liquid crystal panel is formed with an antireflection film 52 on a substrate 51 composed of calcium fluoride (CaF<SB>2</SB>). The surface roughness of the main surface of the substrate 51 on the side formed with the antireflection film 52 is specified to over 0 to ≤1.5 nm in center line average height (Ra). The antireflection film 52 is composed of laminated films of three layers 52a, 52b and 52c which are deposited by a sputtering method, respectively. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は投射型液晶プロジェクター等に組み込まれる液晶パネル用防塵基板及び液晶パネル用対向基板、並びに透過型液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a dustproof substrate for a liquid crystal panel, a counter substrate for a liquid crystal panel, and a transmissive liquid crystal display device incorporated in a projection liquid crystal projector or the like.

投射型液晶プロジェクターは、光源から出射された光を集光光学系によって集光しながら透過型液晶表示装置に導き、この光を液晶表示装置内の液晶層で変調することにより、所定の画像を光学系によってスクリーンに投射して表示を行うものである。上記透過型液晶表示装置の主要部分である液晶パネルは、画素電極とそれを駆動するためのスイッチング素子が形成された厚さ１ｍｍ程度の駆動基板と、対向電極が形成された厚さ１ｍｍ程度の対向基板とが、互いに電極同士が対向するように所定の間隙を介して対向配置され、この駆動基板と対向基板との間隙に液晶層を挟持した構造になっている。
この液晶パネルを構成する駆動基板或いは対向基板の外面に傷や異物等が付いて、これが投射画像に映し出されると、表示品質が低下するため、例えば厚さ１ｍｍ程度の透光性基板を上記駆動基板、対向基板の外面に防塵基板として配置し、駆動基板、対向基板の外面に傷や異物が直接付くのを防止することが一般に行われている。このような防塵基板を配置することにより、液晶パネル表面と光の集光位置である液晶との間の距離が防塵基板の厚み分だけ長くなるため、防塵基板の外面（つまり液晶パネル表面）に傷や異物が付いても、デフォーカス状態となり、スクリーン上ではぼやけるので視覚上目立たなくなる。 A projection type liquid crystal projector guides a predetermined image by guiding light emitted from a light source to a transmission type liquid crystal display device while condensing the light by a condensing optical system, and modulating the light with a liquid crystal layer in the liquid crystal display device. The image is displayed on the screen by an optical system. A liquid crystal panel, which is a main part of the transmissive liquid crystal display device, has a driving substrate having a thickness of about 1 mm on which a pixel electrode and a switching element for driving the pixel electrode are formed, and a thickness of about 1 mm on which a counter electrode is formed. The counter substrate is disposed opposite to the electrode through a predetermined gap so that the electrodes face each other, and a liquid crystal layer is sandwiched between the drive substrate and the counter substrate.
If the outer surface of the drive substrate or the counter substrate constituting this liquid crystal panel is scratched or foreign, etc., and this is projected on the projected image, the display quality deteriorates. For example, a light-transmissive substrate having a thickness of about 1 mm is driven by Generally, a dust-proof substrate is disposed on the outer surfaces of the substrate and the counter substrate to prevent scratches and foreign matters from directly attaching to the outer surfaces of the drive substrate and the counter substrate. By arranging such a dustproof substrate, the distance between the liquid crystal panel surface and the liquid crystal at the light condensing position is increased by the thickness of the dustproof substrate, so that the outer surface of the dustproof substrate (that is, the liquid crystal panel surface) is increased. Even if there is a scratch or foreign object, it becomes defocused and blurs on the screen, making it visually inconspicuous.

また、液晶パネルには、光源の光が集光された状態で入射するため、液晶パネルの温度が上昇して液晶パネルが誤動作を起こす場合がある。誤動作を起こすと液晶パネルの信頼性が損われる。上記防塵基板は、液晶パネルに蓄積される熱を放熱し、液晶パネルの温度上昇を抑制する作用も有している。
下記特許文献１には、透過型表示装置の防塵基板として、熱伝導率が１Ｗ／ｍ・Ｋ以上で厚みが１ｍｍ以上の放熱用ガラス板（例えば、石英ガラス）を用いることが記載されている。
また、下記特許文献２には、電気光学パネルの防塵基板の材料として、単結晶サファイヤを用いることが記載されている。
特開平９−１１３９０６号公報 特開２０００−２８４７００号公報 Further, since the light from the light source is incident on the liquid crystal panel in a condensed state, the temperature of the liquid crystal panel rises and the liquid crystal panel may malfunction. If malfunction occurs, the reliability of the liquid crystal panel is impaired. The dust-proof substrate also has an action of radiating heat accumulated in the liquid crystal panel and suppressing a temperature rise of the liquid crystal panel.
Patent Document 1 below describes that a heat dissipation glass plate (for example, quartz glass) having a thermal conductivity of 1 W / m · K or more and a thickness of 1 mm or more is used as a dust-proof substrate of a transmissive display device. .
Patent Document 2 listed below describes the use of single crystal sapphire as a material for a dustproof substrate of an electro-optical panel.
JP-A-9-113906 JP 2000-284700 A

ところが、最近の高信頼性の投射型液晶プロジェクターが要求されているなかで、従来防塵基板として使用されていた上記石英ガラスや単結晶サファイヤでは、かかる要求を満足するものが得られなかった。
すなわち、上記特許文献１に記載されている石英ガラスは、熱伝導率が１．４Ｗ／ｍ・Ｋ程度しかなく、近年の高輝度化（強力な光源使用）においては、放熱性は満足するものでなく、結果として液晶パネルの温度上昇による誤作動を招き、液晶の特性上表示機能を果たせなくなるという問題がある。
また、特許文献２に記載されている単結晶サファイヤは、熱伝導率が４２Ｗ／ｍ・Ｋと非常に良好で、高輝度化（強力な光源使用）においても、放熱性は良好で液晶パネルの誤作動は発生しないものの、材料自体が持つ複屈折の影響で、良好な画像が得られないという問題がある。
本発明は、上述の従来の問題点に鑑みてなされたものであり、高信頼性の、良好な画質が得られる液晶パネル用防塵基板及び液晶パネル用対向基板、並びに透過型液晶表示装置を提供することを目的とする。 However, among the recent demands for high-reliability projection-type liquid crystal projectors, the quartz glass and single crystal sapphire conventionally used as dust-proof substrates have not been able to obtain those satisfying such requirements.
That is, the quartz glass described in Patent Document 1 has a thermal conductivity of only about 1.4 W / m · K, and the heat dissipation is satisfactory in the recent increase in luminance (use of a powerful light source). However, as a result, there is a problem that the malfunction due to the temperature rise of the liquid crystal panel is caused and the display function cannot be performed due to the characteristics of the liquid crystal.
In addition, the single crystal sapphire described in Patent Document 2 has a very good thermal conductivity of 42 W / m · K, and has a good heat dissipation even when the brightness is increased (using a powerful light source). Although no malfunction occurs, there is a problem that a good image cannot be obtained due to the birefringence of the material itself.
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and provides a dust-proof substrate for a liquid crystal panel, a counter substrate for a liquid crystal panel, and a transmissive liquid crystal display device capable of obtaining high reliability and good image quality. The purpose is to do.

本発明は、上記課題を解決するため、以下の構成を有する。
（構成１）弗化カルシウム（CaF2）からなる基板上に、反射防止膜が形成されていることを特徴とする液晶パネル用防塵基板。
弗化カルシウム（CaF2）の熱伝導率は、１０．３Ｗ／ｍ・Ｋ程度と、石英ガラスに比べて非常に高く、高輝度化（強力な光源使用）においても十分放熱性が良好で、液晶パネルの温度上昇を十分抑制でき、液晶パネルの誤作動は発生しないので高信頼性の液晶パネル用防塵基板が得られる。
また、弗化カルシウム（CaF2）は、結晶でありながら光学的に等方性で、複屈折による影響がないので、液晶パネルを有する透過型液晶表示装置を使って投影される画質には全く影響がない。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
(Structure 1) A dustproof substrate for a liquid crystal panel, wherein an antireflection film is formed on a substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ).
Calcium fluoride (CaF 2 ) has a thermal conductivity of about 10.3 W / m · K, which is very high compared to quartz glass, and has good heat dissipation even in high brightness (using a powerful light source). The temperature rise of the liquid crystal panel can be sufficiently suppressed, and malfunction of the liquid crystal panel does not occur, so that a highly reliable dustproof substrate for liquid crystal panel can be obtained.
Calcium fluoride (CaF 2 ) is crystal isotropic but optically isotropic and unaffected by birefringence. Therefore, the image quality projected using a transmissive liquid crystal display device having a liquid crystal panel is completely different. There is no effect.

（構成２）反射防止膜が形成される側の前記基板主表面の表面粗さは、中心線平均粗さ（Ra）で、０ｎｍ超１．５ｎｍ以下であることを特徴とする構成１記載の液晶パネル用防塵基板。
反射防止膜が形成される側の基板主表面の表面粗さを、中心線平均粗さ（Ra）で、０ｎｍ超１．５ｎｍ以下とすることにより、高透過率、低反射率の良好な光学特性が得られると共に、反射防止膜の付着性が良好になる。尚、この中心線平均粗さ（Ra）は、ＪＩＳＢ０６０１（１９９４）で定められたものであり、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）によりある測定エリア内で測定される値とする。
Raが１．５ｎｍ超の場合、入射光の散乱が大きくなり透過率が低下し、また、反射防止膜の干渉作用を妨げる結果となるので、反射防止効果が弱くなり低反射率が得られないというように光学特性が悪くなるので好ましくない。 (Structure 2) The surface roughness of the main surface of the substrate on the side where the antireflection film is formed is a center line average roughness (Ra) of more than 0 nm and 1.5 nm or less. Dust-proof substrate for LCD panels.
By setting the surface roughness of the main surface of the substrate on the side where the antireflection film is formed to a centerline average roughness (Ra) of more than 0 nm and not more than 1.5 nm, high optical properties with high transmittance and low reflectance are achieved. The characteristics are obtained and the adhesion of the antireflection film is improved. The centerline average roughness (Ra) is determined by JISB0601 (1994), and is a value measured in a measurement area by an atomic force microscope (AFM).
When Ra is more than 1.5 nm, the scattering of incident light increases and the transmittance decreases, and the interference action of the antireflection film is hindered. Therefore, the antireflection effect becomes weak and low reflectance cannot be obtained. In this way, the optical characteristics deteriorate, which is not preferable.

（構成３）前記反射防止膜はスパッタリング法で成膜されてなることを特徴とする構成１又は２記載の液晶パネル用防塵基板。
近年の高画質化の要求により、液晶パネル用防塵基板に形成される反射防止膜の欠陥に対する要求も厳しくなってきている。従来、上記防塵基板に形成される反射防止膜は、真空蒸着法により形成されていたが、真空蒸着法特有のスプラッシュにより反射防止膜中にパーティクルやピンホールが発生し、画質に影響を与える。これに対し、反射防止膜をスパッタリング法で成膜することにより、上述のようなパーティクルやピンホールが低減でき、高画質が得られる。
（構成４）複数の画素電極と、前記複数の画素電極を個々にスイッチング駆動する複数のスイッチング素子を有する駆動基板と、前記駆動基板より所定の間隙を介して対向配置された対向基板と、前記所定の間隙に保持された液晶とを有する液晶パネルに用いられる液晶パネル用対向基板であって、前記対向基板は、透光性基板上に、少なくとも前記スイッチング素子に対応した領域、前記液晶パネルを駆動する駆動回路に対応した領域の何れか一方又は両方に遮光性膜が形成されており、前記遮光性膜が形成された側と反対側の透光性基板に、構成１乃至３の何れかに記載の液晶パネル用防塵基板が接合されていることを特徴とする液晶パネル用対向基板。
対向基板の遮光性膜が形成されている側と反対側の透光性基板に、上述の構成の液晶パネル用防塵基板が接合されることにより、高信頼性の対向基板が提供される。 (Structure 3) The dustproof substrate for a liquid crystal panel according to Structure 1 or 2, wherein the antireflection film is formed by a sputtering method.
Due to the recent demand for higher image quality, the demand for defects in the antireflection film formed on the dustproof substrate for liquid crystal panels has become stricter. Conventionally, the antireflection film formed on the dustproof substrate has been formed by a vacuum vapor deposition method. However, particles and pinholes are generated in the antireflection film due to a splash unique to the vacuum vapor deposition method, which affects the image quality. On the other hand, by forming the antireflection film by a sputtering method, the above-described particles and pinholes can be reduced, and high image quality can be obtained.
(Structure 4) A plurality of pixel electrodes, a drive substrate having a plurality of switching elements that individually drive the plurality of pixel electrodes, a counter substrate disposed opposite to the drive substrate via a predetermined gap, A counter substrate for a liquid crystal panel used in a liquid crystal panel having a liquid crystal held in a predetermined gap, wherein the counter substrate includes at least a region corresponding to the switching element on the translucent substrate, the liquid crystal panel. A light-shielding film is formed in one or both of the regions corresponding to the driving circuit to be driven, and the light-transmitting substrate on the side opposite to the side on which the light-shielding film is formed has any one of configurations 1 to 3. A counter substrate for a liquid crystal panel, wherein the dustproof substrate for a liquid crystal panel described in 1 is bonded.
The liquid crystal panel dust-proof substrate having the above-described configuration is bonded to the light-transmitting substrate on the opposite side of the counter substrate where the light-shielding film is formed, thereby providing a highly reliable counter substrate.

（構成５）画素電極及びスイッチング素子が形成された駆動基板と、該駆動基板に対向配置された対向基板と、前記各基板の間隙に保持された液晶とを備えた液晶パネルを有し、画像の投影表示に用いられる透過型液晶表示装置であって、前記駆動基板及び／又は前記対向基板の外面に構成１乃至３の何れかに記載の液晶パネル用防塵基板が接合されていることを特徴とする透過型液晶表示装置。
透過型液晶表示装置における液晶パネルの駆動基板及び／又は対向基板の外面に上述の構成の液晶パネル用防塵基板が接合されることにより、高信頼性の、良好な画質が得られる透過型液晶表示装置が提供される。 (Configuration 5) A liquid crystal panel including a drive substrate on which pixel electrodes and switching elements are formed, a counter substrate disposed to face the drive substrate, and a liquid crystal held in a gap between the substrates. A transmissive liquid crystal display device for use in projection display, wherein a dustproof substrate for a liquid crystal panel according to any one of configurations 1 to 3 is bonded to an outer surface of the drive substrate and / or the counter substrate. A transmissive liquid crystal display device.
In the transmissive liquid crystal display device, the liquid crystal panel dust-proof substrate having the above-described configuration is bonded to the outer surface of the driving substrate and / or the counter substrate of the liquid crystal panel, so that a transmissive liquid crystal display capable of obtaining high reliability and good image quality. An apparatus is provided.

本発明の弗化カルシウム（CaF2）からなる基板上に反射防止膜が形成された液晶パネル用防塵基板によれば、近年の高輝度化（強力な光源使用）においても、液晶パネルの温度上昇を十分抑制でき、液晶パネルの誤作動は発生しないので高信頼性が得られる。また、弗化カルシウム（CaF2）からなる基板は、複屈折による影響がないので、投射型液晶プロジェクターで投影される画像は良好な画質が得られる。
また、上記防塵基板における反射防止膜が形成される側の基板主表面の表面粗さを、中心線平均粗さ（Ra）で、０ｎｍ超１．５ｎｍ以下とすることにより、高透過率で、低反射率の良好な光学特性が得られると共に、反射防止膜の付着性が良好になる。 According to the dustproof substrate for a liquid crystal panel in which an antireflection film is formed on a substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ) according to the present invention, the temperature of the liquid crystal panel rises even in the recent increase in luminance (use of a powerful light source). Since the liquid crystal panel does not malfunction, high reliability can be obtained. In addition, since the substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ) is not affected by birefringence, an image projected by the projection type liquid crystal projector can obtain a good image quality.
Further, the surface roughness of the main surface of the dust-proof substrate on the side where the antireflection film is formed has a centerline average roughness (Ra) of more than 0 nm and not more than 1.5 nm, thereby achieving high transmittance. Good optical characteristics with low reflectance can be obtained, and adhesion of the antireflection film becomes good.

また、上記防塵基板の反射防止膜をスパッタリング法で成膜することにより、反射防止膜中のパーティクルやピンホールが低減でき、高画質が得られる。
また、対向基板の遮光性膜が形成されている側と反対側の透光性基板に、上述の構成の液晶パネル用防塵基板が接合されることにより、高信頼性の対向基板が得られる。
また、液晶パネルの駆動基板及び／又は対向基板の外面に上述の構成の液晶パネル用防塵基板が接合された液晶パネルを有する透過型液晶表示装置によれば、高信頼性で、良好な画質が得られる。 Further, by forming the antireflection film of the dustproof substrate by a sputtering method, particles and pinholes in the antireflection film can be reduced, and high image quality can be obtained.
In addition, a highly reliable counter substrate can be obtained by bonding the liquid crystal panel dust-proof substrate having the above-described structure to the light-transmitting substrate on the side opposite to the side where the light-shielding film is formed.
In addition, according to the transmissive liquid crystal display device having the liquid crystal panel in which the liquid crystal panel dust-proof substrate having the above-described configuration is bonded to the outer surface of the driving substrate and / or the counter substrate of the liquid crystal panel, high image quality is achieved with high reliability. can get.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳しく説明する。
本発明の液晶パネル用防塵基板は、弗化カルシウム（CaF2）からなる基板上に、反射防止膜が形成された構造である。図１は、このような弗化カルシウム（CaF2）からなる基板５１上に、３層構造の反射防止膜５２が形成された液晶パネル用防塵基板５を示している。
後述する液晶パネルを構成する駆動基板或いは対向基板の外面に付いた傷や異物等が投射画像に映し出されると、表示品質が低下するため、上記駆動基板及び／又は対向基板の外面に上記防塵基板５を配置することにより、駆動基板及び／又は対向基板の外面に傷や異物が直接付くのを防止するとともに、液晶パネル表面（つまり防塵基板の外面）に傷や異物が付いても、それが投影されないようにデフォーカスし、スクリーン上ではぼやけて視覚上目立たなくすることができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The dustproof substrate for a liquid crystal panel of the present invention has a structure in which an antireflection film is formed on a substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ). FIG. 1 shows a dustproof substrate 5 for a liquid crystal panel in which an antireflection film 52 having a three-layer structure is formed on such a substrate 51 made of calcium fluoride (CaF 2 ).
When scratches or foreign matters attached to the outer surface of the driving substrate or the counter substrate constituting the liquid crystal panel to be described later appear on the projected image, the display quality deteriorates. Therefore, the dust-proof substrate is disposed on the outer surface of the driving substrate and / or the counter substrate. 5 prevents the outer surface of the drive substrate and / or the counter substrate from being directly scratched or foreign, and even if the surface of the liquid crystal panel (that is, the outer surface of the dustproof substrate) is scratched or foreign. It can be defocused so that it will not be projected, and it will be blurred and inconspicuous on the screen.

また、液晶パネルに強力な光源の光が集光された状態で入射しても、上記弗化カルシウム（CaF2）基板からなる防塵基板５は、液晶パネルに蓄積される熱を効率よく放熱し、液晶パネルの温度上昇を抑制することができるため、結果として液晶パネルの誤動作が発生しないので高信頼性が得られる。さらに、上記弗化カルシウム（CaF2）基板は、光学的に等方性で複屈折の影響が無いため、投射型液晶プロジェクターで投影される画像にはぼやけや乱れ等がなく、良好な画質が得られる。
基板材料である弗化カルシウム（CaF2）は、天然螢石より容易に入手することができるが、それ以外に、人工的に弗化カルシウムを成長させ、基板材料とすることができる。 Further, even when the light from a powerful light source is incident on the liquid crystal panel, the dust-proof substrate 5 made of the calcium fluoride (CaF 2 ) substrate efficiently dissipates the heat accumulated in the liquid crystal panel. Since the temperature rise of the liquid crystal panel can be suppressed, no malfunction of the liquid crystal panel occurs as a result, so that high reliability can be obtained. Furthermore, the calcium fluoride (CaF 2 ) substrate is optically isotropic and free from the effects of birefringence, so the image projected by the projection-type liquid crystal projector is free from blurring and distorting, and has good image quality. can get.
Calcium fluoride (CaF 2 ), which is a substrate material, can be easily obtained from natural meteorite, but besides this, calcium fluoride can be artificially grown to obtain a substrate material.

基板は、透過型液晶表示装置の液晶パネルに搭載したときに、所望のデフォーカス機能が得られるように所定の厚みに加工される。例えば、０．５〜２ｍｍ程度である。また、基板の大きさは、透過型液晶表示装置の液晶パネルの対向基板や駆動基板とほぼ同じ大きさに切断・加工される。また、基板は、該基板上に形成される反射防止膜の光学特性（透過率、反射率）を良好にし、かつ反射防止膜との付着性を向上させるために、反射防止膜が形成される側の主表面の表面粗さが、中心線平均粗さ（Ra）で０ｎｍ超１．５ｎｍ以下となるように研磨加工される。研磨方法は、特に限定されず、公知の研磨方法を任意に適用でき、片面研磨や両面研磨、枚葉式研磨や複数枚同時に研磨するバッチ式研磨により研磨することができる。
上記反射防止膜は、スパッタリング法、真空蒸着法等により成膜することができる。反射防止膜のパーティクルやピンホールの少ない高品質の液晶パネル用防塵基板を得るためにはスパッタリング法により形成するのが好ましい。 The substrate is processed to a predetermined thickness so as to obtain a desired defocus function when mounted on a liquid crystal panel of a transmissive liquid crystal display device. For example, it is about 0.5 to 2 mm. Further, the size of the substrate is cut and processed to substantially the same size as the counter substrate and the driving substrate of the liquid crystal panel of the transmissive liquid crystal display device. Further, the substrate is formed with an antireflection film in order to improve the optical characteristics (transmittance, reflectance) of the antireflection film formed on the substrate and to improve the adhesion to the antireflection film. The main surface on the side is polished so that the center line average roughness (Ra) is greater than 0 nm and not more than 1.5 nm. The polishing method is not particularly limited, and a known polishing method can be arbitrarily applied, and polishing can be performed by single-side polishing, double-side polishing, single-wafer polishing, or batch polishing in which a plurality of sheets are simultaneously polished.
The antireflection film can be formed by sputtering, vacuum deposition, or the like. In order to obtain a high-quality dustproof substrate for a liquid crystal panel with few antireflection film particles and pinholes, it is preferably formed by sputtering.

反射防止膜は、一般には複数の屈折率の異なる材料を積層させて、光の干渉効果による反射防止機能を付与したものである。反射防止膜の各層の材料、及び膜厚は、液晶パネルで求められる光学特性（可視領域における反射率（膜面反射率）が０．５％以下）を満足するように、光学的な設計により適宜選択される。例えば、図１に示すような反射防止膜５２が３層構造の場合、基板５１側から、屈折率が１．６〜１．８、幾何学的膜厚が６０〜９０ｎｍの中屈折率層５２ａ、屈折率が２．１〜２．８、幾何学的膜厚が９０〜１４０ｎｍの高屈折率層５２ｂ、屈折率が１．４〜１．４６、幾何学的膜厚が８０〜１００ｎｍの低屈折率層５２ｃの組合せとすることができる。具体的な材料は、中屈折率層としては、珪素、錫、酸素を含む材料（ＳｉｘＳｎｙＯｚ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）などが挙げられ、高屈折率層としては、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）などが挙げられ、低屈折率層としては、二酸化珪素（ＳｉＯ２）、弗化マグネシウム（ＭｇＦ２）などが挙げられる。なお、反射防止膜はこのような３層構造に限られず、４層、５層、又は６層以上としても良い。 In general, the antireflection film is formed by laminating a plurality of materials having different refractive indexes to provide an antireflection function due to the light interference effect. The material and film thickness of each layer of the antireflection film are optically designed so as to satisfy the optical characteristics required for the liquid crystal panel (the reflectance in the visible region (film surface reflectance) is 0.5% or less). It is selected appropriately. For example, when the antireflection film 52 as shown in FIG. 1 has a three-layer structure, a medium refractive index layer 52a having a refractive index of 1.6 to 1.8 and a geometric film thickness of 60 to 90 nm from the substrate 51 side. A high refractive index layer 52b having a refractive index of 2.1 to 2.8 and a geometric film thickness of 90 to 140 nm, a refractive index of 1.4 to 1.46 and a low film thickness of 80 to 100 nm. A combination of the refractive index layers 52c may be used. Specific examples of the material include a material containing silicon, tin, and oxygen (SixSnyOz) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ) as the medium refractive index layer, and titanium oxide (TiO 2 ) as the high refractive index layer. ), Niobium oxide (Nb 2 O 5 ), tantalum oxide (Ta 2 O 5 ), hafnium oxide (HfO 2 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), and the like. Examples of the low refractive index layer include silicon dioxide (SiO 2). ), Magnesium fluoride (MgF 2 ), and the like. The antireflection film is not limited to such a three-layer structure, and may be four layers, five layers, or six layers or more.

図２は、このような防塵基板を備えた透過型液晶表示装置を構成する液晶パネルの断面図である。
図２に示す液晶パネル１は、液晶層２と、該液晶層２を挟んで互いに対向して配置された、該液晶層２を保持・駆動するための駆動基板４及び対向基板３とを有しており、従来公知の液晶パネルと同様の構造である。 FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal panel constituting a transmissive liquid crystal display device having such a dustproof substrate.
A liquid crystal panel 1 shown in FIG. 2 includes a liquid crystal layer 2 and a drive substrate 4 and a counter substrate 3 that are disposed to face each other with the liquid crystal layer 2 interposed therebetween, and that hold and drive the liquid crystal layer 2. The structure is the same as that of a conventionally known liquid crystal panel.

ここで、駆動基板４は、石英ガラス等からなる透光性基板４１と、該透光性基板４１上に設けられた画素電極４２と該画素電極４２に接続されたスイッチング素子４３とを有している。スイッチング素子４３としては、例えばポリシリコンＴＦＴが用いられる。また、対向基板３は、石英ガラスや低膨張無アルカリガラス等からなる透光性基板３１と、この透光性基板３１上の前記画素電極４２と対向する位置に設けられた対向電極３２とを備えている。又、前記駆動基板４に形成されたスイッチング素子４３としてのＴＦＴのチャネル形成用の領域に投射光が入射すると、この領域において光電変換効果により光電流が発生しＴＦＴのトランジスタ特性を劣化させる場合があるので、必要に応じて、前記駆動基板４に形成されたスイッチング素子４３に投射光が入射するのを防止するための遮光性膜３３が、上記透光性基板３１上の前記スイッチング素子４３と対向する位置にマトリックス状に設けられる。そして、このような液晶パネル１の駆動基板４及び／又は対向基板３の外面に、上述の防塵基板５が接着剤等で接合されている。図２の液晶パネル１は、駆動基板４と対向基板３の双方の外面にそれぞれ防塵基板５を配置した場合を示している。   Here, the drive substrate 4 includes a translucent substrate 41 made of quartz glass or the like, a pixel electrode 42 provided on the translucent substrate 41, and a switching element 43 connected to the pixel electrode 42. ing. As the switching element 43, for example, a polysilicon TFT is used. The counter substrate 3 includes a translucent substrate 31 made of quartz glass, low expansion alkali-free glass, or the like, and a counter electrode 32 provided on the translucent substrate 31 at a position facing the pixel electrode 42. I have. In addition, when projection light is incident on a region for forming a channel of the TFT as the switching element 43 formed on the drive substrate 4, a photocurrent is generated in this region due to a photoelectric conversion effect, which may deteriorate the transistor characteristics of the TFT. Therefore, if necessary, the light-shielding film 33 for preventing the incident light from entering the switching element 43 formed on the drive substrate 4 is connected to the switching element 43 on the translucent substrate 31. It is provided in a matrix at opposite positions. The dust-proof substrate 5 is bonded to the outer surface of the driving substrate 4 and / or the counter substrate 3 of the liquid crystal panel 1 with an adhesive or the like. The liquid crystal panel 1 in FIG. 2 shows a case where dust-proof substrates 5 are arranged on the outer surfaces of both the drive substrate 4 and the counter substrate 3.

なお、上記遮光性膜３３としては、Ａｌ，Ａｇ等の高反射率を有する金属薄膜や、基板３１側から順に配置されるＡｌなどの金属からなる高反射膜と黒色樹脂やＣｒ酸化物からなる低反射膜との積層膜、或いは、これら高反射膜と低反射膜との間に両反射膜を構成する材料が混在する領域を設けた積層膜などが用いられる。
液晶層２は、これらの駆動基板４と対向基板３の間に配向膜を介して保持され、画素電極４２と対向電極３２との間に印加される電圧により駆動される。
透過型液晶表示装置は、このような液晶パネル１と、該液晶パネル１の駆動基板４に接続される外部接続用のフレキシブルコネクタ（配線基板）（図示せず）とを有している。 The light-shielding film 33 is made of a metal thin film having a high reflectivity such as Al or Ag, a highly reflective film made of a metal such as Al, which is arranged in order from the substrate 31 side, and a black resin or Cr oxide. A laminated film with a low reflective film, or a laminated film in which a region in which materials constituting both reflective films are mixed is provided between the high reflective film and the low reflective film.
The liquid crystal layer 2 is held between the driving substrate 4 and the counter substrate 3 via an alignment film, and is driven by a voltage applied between the pixel electrode 42 and the counter electrode 32.
The transmissive liquid crystal display device has such a liquid crystal panel 1 and a flexible connector (wiring board) (not shown) for external connection connected to the drive substrate 4 of the liquid crystal panel 1.

ここで、対向基板３側から液晶パネル１へ入射した光は、前記画素電極４２及び対向電極３２により制御される液晶層２の配向によって、各画素ごとに透過率が制御され、所定の変調された画像を形成する。
なお、入射光を有効に画素領域に入射させるため、対向基板３の光入射側の面に、マイクロレンズアレイが形成された基板を用いてもよい。この場合、マイクロレンズアレイが形成された対向基板と防塵基板とは、接着剤等で接合される。
なお、駆動基板のスイッチング素子を駆動する配線への光の入射を防止するため、防塵基板の外周部に所定の幅の遮光膜を設けることができる。 Here, the light incident on the liquid crystal panel 1 from the side of the counter substrate 3 is controlled in transmittance for each pixel according to the orientation of the liquid crystal layer 2 controlled by the pixel electrode 42 and the counter electrode 32, and is modulated in a predetermined manner. Form the image.
In order to make incident light effectively enter the pixel region, a substrate in which a microlens array is formed on the light incident side surface of the counter substrate 3 may be used. In this case, the counter substrate on which the microlens array is formed and the dust-proof substrate are bonded with an adhesive or the like.
In order to prevent light from entering the wiring that drives the switching element of the driving substrate, a light shielding film having a predetermined width can be provided on the outer periphery of the dust-proof substrate.

以上のような液晶パネル構造を有する透過型液晶表示装置は、例えば投射型液晶プロジェクターに搭載され、光源からの光を受けて所定の画像を形成するためのライトバルブとして用いられる。
図３は、透過型液晶表示装置を搭載する一般的な投射型液晶プロジェクターの概略構成を示す模式図である。 The transmissive liquid crystal display device having the above liquid crystal panel structure is mounted on, for example, a projection liquid crystal projector, and is used as a light valve for receiving a light from a light source to form a predetermined image.
FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a general projection-type liquid crystal projector equipped with a transmissive liquid crystal display device.

図３に示す投射型液晶プロジェクター６は、光源６１、ダイクロイックミラー６３，６５、反射ミラー６４，６６，６７、透過型液晶表示装置１１，１２，１３、ダイクロイックプリズム６８、投影レンズユニット６９等を有して構成されている。光源６１の後方には回転楕円体型の反射鏡６２を備え、光源６１としては、例えばメタルハライドランプ、キセノンランプ等が用いられる。光源６１の光は、２枚のダイクロイックミラー６３，６５によって、光の三原色Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して３つの光束に分離される。こうして分離された３つの光束は、反射ミラー６４，６６，６７を介して、ダイクロイックプリズム６８の周囲に設置された３個の透過型液晶表示装置１１，１２，１３にそれぞれ入射する。これら透過型液晶表示装置１１，１２，１３は、上述の液晶パネル１構造を有し、図示しない制御手段によって所望のＲ，Ｇ，Ｂの画像情報に応じて制御される。   The projection type liquid crystal projector 6 shown in FIG. 3 includes a light source 61, dichroic mirrors 63 and 65, reflection mirrors 64, 66, and 67, transmission type liquid crystal display devices 11, 12, and 13, a dichroic prism 68, a projection lens unit 69, and the like. Configured. A spheroid reflecting mirror 62 is provided behind the light source 61. As the light source 61, for example, a metal halide lamp, a xenon lamp, or the like is used. The light from the light source 61 is separated into three light beams by two dichroic mirrors 63 and 65 corresponding to the three primary colors R (red), G (green), and B (blue). The three light beams thus separated are incident on the three transmissive liquid crystal display devices 11, 12, and 13 installed around the dichroic prism 68 via the reflection mirrors 64, 66, and 67, respectively. These transmissive liquid crystal display devices 11, 12, and 13 have the above-described structure of the liquid crystal panel 1, and are controlled according to desired R, G, and B image information by a control means (not shown).

上記透過型液晶表示装置１１，１２，１３によってそれぞれ変調されたＲ，Ｇ，Ｂの画像成分は、ダイクロイックプリズム６８にて合成され、投影レンズユニット６９により拡大投影され、前方のスクリーン７上に画像が映し出される。投射型液晶プロジェクターに本発明の防塵基板５を搭載することにより、液晶パネルの誤動作が無く、投射された画像のぼやけや乱れのない良好な画質の画像が得られる。   The R, G, and B image components modulated by the transmissive liquid crystal display devices 11, 12, and 13 are combined by the dichroic prism 68, enlarged and projected by the projection lens unit 69, and imaged on the front screen 7. Is projected. By mounting the dustproof substrate 5 of the present invention on the projection type liquid crystal projector, there is no malfunction of the liquid crystal panel, and a good quality image without blurring or disturbance of the projected image can be obtained.

また、図３に示す投射型液晶プロジェクターでは、三原色Ｒ，Ｇ，Ｂの光に対応して３個の透過型液晶表示装置を備えているが、カラーフィルターを備えた１個の透過型液晶表示装置を有する構造のものもよく知られている。
なお、本発明の液晶パネル用防塵基板は、反射型プロジェクター等に使用される反射型の液晶パネルにも使用することができる。
以下、本発明の実施の形態について、実施例を用いて更に詳細に説明する。 In addition, the projection type liquid crystal projector shown in FIG. 3 includes three transmission type liquid crystal display devices corresponding to the light of the three primary colors R, G, and B, but one transmission type liquid crystal display including a color filter. Structures with devices are also well known.
The dustproof substrate for a liquid crystal panel of the present invention can also be used for a reflective liquid crystal panel used in a reflective projector or the like.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail using examples.

（実施例）
天然螢石（CaF2）（屈折率１．４４）の材料を基板状に加工した後、中心線平均粗さ（Ｒａ）で０．４ｎｍ（原子間力顕微鏡にて測定エリア５μｍ×５μｍで測定）に精密研磨された弗化カルシウム基板（以後、CaF2基板と称す）を準備した。このCaF2基板上に、基板側から順に珪素−錫酸化物からなるＳｉｘＳｎｙＯｚ膜（屈折率：１．７）、酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）膜（屈折率：２．３５）、二酸化珪素（ＳｉＯ２）膜（屈折率：１．４６）をスパッタリング法により形成して反射防止膜付きCaF2基板を作製した。尚、各層は、Ｓｉ−Ｓｎ（Ｓｉ：５０ａｔ％、Ｓｎ：５０ａｔ％）ターゲット、Ｎｂ２Ｏ５−ｘターゲット、Ｓｉ−ＳｉＣターゲットを使用し、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスによる反応性スパッタリングにより形成し、各層の膜厚は、ＳｉｘＳｎｙＯｚ膜は７７ｎｍ、Ｎｂ２Ｏ５膜は１１１ｎｍ、ＳｉＯ２膜は８９ｎｍとした。
この得られた反射防止膜付きCaF2基板の可視領域（４３０ｎｍ〜６５０ｎｍ）における膜面反射率を測定したところ、０．４％以下と光学的特性は良好であり、反射防止膜中に大きさが５μｍ以上の欠陥（パーティクルやピンホール）は発見されなかった。 (Example)
After processing natural meteorite (CaF 2 ) (refractive index 1.44) material into a substrate, centerline average roughness (Ra) is 0.4 nm (measured with an atomic force microscope in a measurement area of 5 μm × 5 μm) ) Prepared a finely polished calcium fluoride substrate (hereinafter referred to as CaF2 substrate). On this CaF 2 substrate, a SixSnyOz film (refractive index: 1.7) made of silicon-tin oxide, a niobium oxide (Nb 2 O 5 ) film (refractive index: 2.35), silicon dioxide (in order) from the substrate side. A SiO 2 ) film (refractive index: 1.46) was formed by sputtering to produce a CaF 2 substrate with an antireflection film. Each layer uses a Si—Sn (Si: 50 at%, Sn: 50 at%) target, a Nb 2 O 5 -x target, and a Si—SiC target, and reactive sputtering using a mixed gas of argon gas and oxygen gas. The thickness of each layer was 77 nm for the SixSnyOz film, 111 nm for the Nb 2 O 5 film, and 89 nm for the SiO 2 film.
When the film surface reflectivity in the visible region (430 nm to 650 nm) of the obtained CaF 2 substrate with an antireflection film was measured, the optical characteristics were as good as 0.4% or less, and the size was in the antireflection film. However, no defects (particles or pinholes) of 5 μm or more were found.

この反射防止膜付きCaF2基板を、投射型液晶プロジェクターに組み込む透過型液晶表示装置の液晶パネルに使用するため、所望の大きさに切断、洗浄処理して液晶パネル用防塵基板を作製した。切断時や洗浄処理時の反射防止膜の膜剥れはなかった。
この得られた液晶パネル用防塵基板を使用し、前述の図２の構成からなる液晶パネルを作製した。すなわち、石英基板上にCr膜からなるパターン状の遮光膜とＩＴＯ（インジウムと錫の合金酸化物）膜からなる対向電極が形成された対向基板と、石英基板上に複数の画素電極とスイッチング素子が形成された駆動基板を用意し、配向膜を形成後、これらの基板間に液晶が保持されるように組み立て、上記防塵基板を対向基板及び駆動基板の外面に接着剤で接合して、液晶パネルを得た。 In order to use this CaF 2 substrate with an antireflection film in a liquid crystal panel of a transmissive liquid crystal display device incorporated in a projection type liquid crystal projector, a dustproof substrate for a liquid crystal panel was produced by cutting and cleaning to a desired size. There was no peeling of the antireflective coating during cutting or cleaning.
Using the obtained dustproof substrate for a liquid crystal panel, a liquid crystal panel having the structure shown in FIG. 2 was prepared. That is, a counter substrate in which a patterned light shielding film made of a Cr film and a counter electrode made of an ITO (indium and tin alloy oxide) film are formed on a quartz substrate, and a plurality of pixel electrodes and switching elements on the quartz substrate After preparing the driving substrate on which the liquid crystal is formed and forming the alignment film, the liquid crystal is assembled between the substrates, and the dust-proof substrate is bonded to the outer surface of the counter substrate and the driving substrate with an adhesive. I got a panel.

次いで、この得られた液晶パネルを組み込んだ透過型液晶表示装置を作製し、更にこの透過型液晶表示装置を前述の図３に示すような構成からなる投射型液晶プロジェクターに組み込んだ。光源にメタルハライドランプを用いて投射テストを行ったところ、CaF2基板の放熱性が良好で液晶パネルの誤作動もなく、正常に投射型液晶プロジェクターを作動させることができた。また、スクリーンに投射された画像もぼけや画像の乱れもなく良好であった。 Next, a transmissive liquid crystal display device incorporating the obtained liquid crystal panel was produced, and the transmissive liquid crystal display device was further incorporated into a projection liquid crystal projector having the configuration shown in FIG. When a projection test was conducted using a metal halide lamp as the light source, the projection type liquid crystal projector could be operated normally without any malfunction of the liquid crystal panel due to good heat dissipation of the CaF 2 substrate. Also, the image projected on the screen was good without blurring or image distortion.

（比較例１）
上述の実施例において、基板材料を石英ガラス（屈折率１．４６）としたこと以外は、実施例と同様にして液晶パネル用防塵基板を作製した。得られた液晶パネル用防塵基板の可視領域（４３０ｎｍ〜６５０ｎｍ）における膜面反射率は、０．４％以下で実施例と変わりなく、また、反射防止膜中に大きさが５μｍ以上の欠陥（パーティクルやピンホール）も発見されなかった。
この得られた液晶パネル用防塵基板を使用し、実施例と同様に、液晶パネルを作製し、この液晶パネルを組み込んだ投射型液晶プロジェクターを用いて投射テストを行ったところ、放熱効果が十分でなく、液晶パネルの過熱が原因と考えられる誤動作が発生した。 (Comparative Example 1)
A dustproof substrate for a liquid crystal panel was produced in the same manner as in the above example except that the substrate material was quartz glass (refractive index: 1.46). The film surface reflectance in the visible region (430 nm to 650 nm) of the obtained dustproof substrate for liquid crystal panel is 0.4% or less, which is the same as the example, and a defect having a size of 5 μm or more in the antireflection film ( No particles or pinholes were found.
Using the obtained dustproof substrate for a liquid crystal panel, a liquid crystal panel was produced in the same manner as in the example, and a projection test was performed using a projection type liquid crystal projector incorporating this liquid crystal panel. However, a malfunction that could be caused by overheating of the liquid crystal panel occurred.

（比較例２）
上述の実施例において、基板材料を単結晶サファイア（屈折率１．７６）とし、反射防止膜における各層を基板側から順に以下の構成（膜材料、屈折率、膜厚）としたこと以外は、実施例と同様にして液晶パネル用防塵基板を作製した。
中屈折率層：材料（ＳｉｘＳｎｙＯｚ）、屈折率（１．８５）、膜厚（７０ｎｍ）
高屈折率層：材料（Ｎｂ２Ｏ５）、屈折率（２．３５）、膜厚（１１０ｎｍ）
低屈折率層：材料（ＳｉＯ２）、屈折率（１．４６）、膜厚（９０ｎｍ） (Comparative Example 2)
In the above-described embodiment, except that the substrate material is single crystal sapphire (refractive index 1.76), and each layer in the antireflection film has the following configuration (film material, refractive index, film thickness) in order from the substrate side, A dustproof substrate for a liquid crystal panel was produced in the same manner as in the example.
Medium refractive index layer: material (SixSnyOz), refractive index (1.85), film thickness (70 nm)
High refractive index layer: material (Nb 2 O 5 ), refractive index (2.35), film thickness (110 nm)
Low refractive index layer: material (SiO 2 ), refractive index (1.46), film thickness (90 nm)

この得られた液晶パネル用防塵基板の可視領域（４３０ｎｍ〜６５０ｎｍ）における膜面反射率を測定したところ、０．５％以下と光学的特性は良好であり、反射防止膜中に大きさが５μｍ以上の欠陥（パーティクルやピンホール）は発見されなかった。
この得られた液晶パネル用防塵基板を使用し、実施例と同様に、液晶パネルを作製し、この液晶パネルを組み込んだ投射型液晶プロジェクターを用いて投射テストを行ったところ、単結晶サファイヤ基板の放熱性が良好で液晶パネルの誤作動もなく、正常に投射型液晶プロジェクターを作動させることができたが、単結晶サファイヤの複屈折が原因と考えられる投射された画像のぼけや画像の乱れが確認された。 When the film surface reflectance in the visible region (430 nm to 650 nm) of the obtained dustproof substrate for liquid crystal panel was measured, the optical characteristics were as good as 0.5% or less, and the size in the antireflection film was 5 μm. The above defects (particles and pinholes) were not found.
Using the obtained dustproof substrate for a liquid crystal panel, a liquid crystal panel was produced in the same manner as in the example, and a projection test was performed using a projection type liquid crystal projector incorporating this liquid crystal panel. The projection type LCD projector could operate normally without any malfunction of the LCD panel due to good heat dissipation, but the projected image was blurred and the image was disturbed due to the birefringence of the single crystal sapphire. confirmed.

以上の実施例、比較例の結果からわかるように、本発明のCaF2基板上に反射防止膜を形成してなる液晶パネル用防塵基板によれば、強力な光源を使用しても、液晶パネルの誤動作がなく、高信頼性が得られ、しかもこの防塵基板を組み込んだ投射型液晶プロジェクターにより投射された画像は、良好な画質が得られる。
尚、以上の実施の形態では、液晶パネル用防塵基板を透過型液晶表示装置に適用した例しか示さなかったが、反射型液晶表示装置にも適用できる。 As can be seen from the results of the above examples and comparative examples, according to the dustproof substrate for a liquid crystal panel in which an antireflection film is formed on the CaF 2 substrate of the present invention, the liquid crystal panel can be used even when a powerful light source is used. The image projected by the projection type liquid crystal projector incorporating the dust-proof substrate can be obtained with good image quality.
In the above embodiment, only the example in which the liquid crystal panel dustproof substrate is applied to the transmissive liquid crystal display device is shown, but the present invention can also be applied to a reflective liquid crystal display device.

本発明の液晶パネル用防塵基板の一実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the dust-proof board | substrate for liquid crystal panels of this invention. 本発明の透過型液晶表示装置を構成する液晶パネルの断面図である。It is sectional drawing of the liquid crystal panel which comprises the transmissive liquid crystal display device of this invention. 本発明の透過型液晶表示装置を組み込んだ投射型液晶プロジェクターの概略構成を示す模式図である。1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a projection type liquid crystal projector incorporating a transmission type liquid crystal display device of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 液晶パネル
２ 液晶
３ 対向基板
３１ 透光性基板
３２ 対向電極
３３ 遮光性膜
４ 駆動基板
４１ 透光性基板
４２ 画素電極
４３ スイッチング素子
５ 防塵基板
５１ CaF2基板
５２ 反射防止膜
６ 投射型液晶プロジェクター
７ スクリーン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel 2 Liquid crystal 3 Opposite substrate 31 Translucent substrate 32 Opposite electrode 33 Light shielding film 4 Driving substrate 41 Translucent substrate 42 Pixel electrode 43 Switching element 5 Dustproof substrate 51 CaF 2 substrate 52 Antireflection film 6 Projection type liquid crystal projector 7 screens

Claims (5)

弗化カルシウム（CaF2）からなる基板上に、反射防止膜が形成されていることを特徴とする液晶パネル用防塵基板。 A dustproof substrate for a liquid crystal panel, wherein an antireflection film is formed on a substrate made of calcium fluoride (CaF 2 ). 反射防止膜が形成される側の前記基板主表面の表面粗さは、中心線平均粗さ（Ra）で、０ｎｍ超１．５ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の液晶パネル用防塵基板。 2. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the surface roughness of the main surface of the substrate on the side where the antireflection film is formed is a center line average roughness (Ra) of more than 0 nm and not more than 1.5 nm. Dust-proof board. 前記反射防止膜はスパッタリング法で成膜されてなることを特徴とする請求項１又は２記載の液晶パネル用防塵基板。 3. The dustproof substrate for a liquid crystal panel according to claim 1, wherein the antireflection film is formed by a sputtering method. 複数の画素電極と、前記複数の画素電極を個々にスイッチング駆動する複数のスイッチング素子を有する駆動基板と、前記駆動基板より所定の間隙を介して対向配置された対向基板と、前記所定の間隙に保持された液晶とを有する液晶パネルに用いられる液晶パネル用対向基板であって、
前記対向基板は、透光性基板上に、少なくとも前記スイッチング素子に対応した領域、前記液晶パネルを駆動する駆動回路に対応した領域の何れか一方又は両方に遮光性膜が形成されており、前記遮光性膜が形成された側と反対側の透光性基板に、請求項１乃至３の何れかに記載の液晶パネル用防塵基板が接合されていることを特徴とする液晶パネル用対向基板。 A plurality of pixel electrodes; a drive substrate having a plurality of switching elements that individually drive the plurality of pixel electrodes; a counter substrate disposed opposite to the drive substrate via a predetermined gap; and the predetermined gap A counter substrate for a liquid crystal panel used in a liquid crystal panel having a held liquid crystal,
The counter substrate has a light-shielding film formed on at least one of a region corresponding to the switching element and a region corresponding to a driving circuit for driving the liquid crystal panel on the translucent substrate, A counter substrate for a liquid crystal panel, wherein the dustproof substrate for a liquid crystal panel according to any one of claims 1 to 3 is bonded to a translucent substrate on the side opposite to the side on which the light shielding film is formed. 画素電極及びスイッチング素子が形成された駆動基板と、該駆動基板に対向配置された対向基板と、前記各基板の間隙に保持された液晶とを備えた液晶パネルを有し、画像の投影表示に用いられる透過型液晶表示装置であって、
前記駆動基板及び／又は前記対向基板の外面に請求項１乃至３の何れかに記載の液晶パネル用防塵基板が接合されていることを特徴とする透過型液晶表示装置。 A liquid crystal panel having a drive substrate on which pixel electrodes and switching elements are formed, a counter substrate disposed opposite to the drive substrate, and a liquid crystal held in a gap between the substrates is provided for image projection display. A transmissive liquid crystal display device used,
A transmissive liquid crystal display device, wherein the liquid crystal panel dust-proof substrate according to claim 1 is bonded to an outer surface of the drive substrate and / or the counter substrate.
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