JP2005150661A - Semiconductor device and packager therefor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体素子とその半導体素子を制御する制御回路とを1つのパッケージに収めた半導体装置、及びその実装体に関する。 The present invention relates to a semiconductor device in which a semiconductor element and a control circuit for controlling the semiconductor element are housed in one package, and a mounting body thereof.
パワーデバイスと、そのパワーデバイスを制御する制御回路とを1つのパッケージに収めたインテリジェントパワーモジュール(Intelligent Power Module:以下、「IPM」という。)が、インバータ回路等で多用されている。インバータ回路に用いられるIPMは、例えば、ハーフブリッジを含むIPMであり、パッケージとして、例えば、シングルインラインパッケージ(以下、「SIP」という。)が用いられる。SIP型IPMは、パッケージの一側面からリード部が突出しており、プリント基板に対する実装面積が小さいという利点がある。 An intelligent power module (hereinafter referred to as “IPM”) in which a power device and a control circuit for controlling the power device are contained in one package is often used in an inverter circuit or the like. The IPM used for the inverter circuit is an IPM including a half bridge, for example, and a single in-line package (hereinafter referred to as “SIP”) is used as the package, for example. The SIP type IPM has an advantage that the lead portion protrudes from one side surface of the package, and the mounting area on the printed circuit board is small.
以下に、ハーフブリッジを含む従来のSIP型IPMの構成を説明する。インバータ回路に用いられる、ハーフブリッジを含むIPMは、そのパッケージ内に、直列接続された2個のパワースイッチングデバイスと、それらを制御する集積回路(IC)チップ(以下、「制御IC」という。)とを備える。それらの半導体素子は、リードフレームのフレーム部に搭載される。また、SIPであれば、リードフレームのリード部が、パッケージの一側面から外部に突出する。インバータ回路におけるパワースイッチングデバイスとしては、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(insulated gate Bipolar Transistor:以下、「IGBT」という。)が主流であるため、以下では、パワースイッチングデバイスとしてIGBTを使用した場合について説明する。 The configuration of a conventional SIP IPM including a half bridge will be described below. An IPM including a half bridge used in an inverter circuit includes two power switching devices connected in series and an integrated circuit (IC) chip (hereinafter referred to as “control IC”) for controlling them in the package. With. Those semiconductor elements are mounted on the frame portion of the lead frame. In the case of SIP, the lead portion of the lead frame protrudes from one side surface of the package. As a power switching device in an inverter circuit, an insulated gate bipolar transistor (hereinafter referred to as “IGBT”) is mainstream, and therefore, a case where an IGBT is used as a power switching device will be described below.
IGBT素子は、対向する2つの表面(以下、「主面」という。)を備え、それらの主面の一方に、コレクタ電極を有し、他方に、エミッタ電極及びゲート電極を有する。IGBT素子は、フレーム部を構成するフレームの1つに搭載される。IGBT素子は、そのコレクタ電極がフレームの表面に接するように、フレームに搭載される。一方、制御ICは、対向する2つの表面(主面)を備え、それらの主面の一方に、接地電極を有し、他方に、複数のボンディングパッドを有する。制御ICは、その接地電極がフレームの表面に接するように、フレームに搭載される。 The IGBT element includes two opposing surfaces (hereinafter referred to as “main surface”), one of the main surfaces having a collector electrode, and the other having an emitter electrode and a gate electrode. The IGBT element is mounted on one of the frames constituting the frame portion. The IGBT element is mounted on the frame such that its collector electrode is in contact with the surface of the frame. On the other hand, the control IC includes two opposing surfaces (main surfaces), one of the main surfaces has a ground electrode, and the other has a plurality of bonding pads. The control IC is mounted on the frame such that the ground electrode is in contact with the surface of the frame.
リードフレームのフレーム部は、第1のIGBT素子を搭載する第1のフレームと、第2のIGBT素子を搭載し、かつボンディングワイヤによって第1のIGBT素子のエミッタ電極に接続される第2のフレームと、ボンディングワイヤによって第2のIGBT素子のエミッタ電極に接続される第3のフレームと、制御ICを搭載する第4のフレームと、ボンディングワイヤによって、制御ICの複数のボンディングパッドに接続される複数の第5のフレームとを備える。それらのフレームは、それぞれ、パッケージ外部のリード部を構成する各リードにつなげられる。 The frame portion of the lead frame includes a first frame for mounting the first IGBT element, and a second frame for mounting the second IGBT element and connected to the emitter electrode of the first IGBT element by a bonding wire. A third frame connected to the emitter electrode of the second IGBT element by a bonding wire, a fourth frame for mounting the control IC, and a plurality connected to a plurality of bonding pads of the control IC by a bonding wire The fifth frame. Each of these frames is connected to each lead constituting a lead portion outside the package.
第1のフレームに接続されるリードは、インバータ回路のP側直流端子に接続される端子(以下、「P端子」という。)であり、第3のフレームに接続されるリードは、インバータ回路のN側直流端子に接続される端子(以下、「N端子」という。)である。また、第2のフレームに接続されるリードは、第1のIGBT素子のエミッタ電極と、第2のIGBT素子のコレクタ電極の接続点に接続されるセンター端子(Tc)である。従来のSIP型IPMでは、通常、センター端子が、P端子とN端子の間に配置される(例えば、特許文献1参照。)。 The lead connected to the first frame is a terminal (hereinafter referred to as “P terminal”) connected to the P-side DC terminal of the inverter circuit, and the lead connected to the third frame is the terminal of the inverter circuit. It is a terminal connected to the N-side DC terminal (hereinafter referred to as “N terminal”). The lead connected to the second frame is a center terminal (Tc) connected to the connection point between the emitter electrode of the first IGBT element and the collector electrode of the second IGBT element. In the conventional SIP type IPM, the center terminal is usually arranged between the P terminal and the N terminal (see, for example, Patent Document 1).
また、従来の半導体モジュールには、U相、V相、及びW相の交流側出力端子(センター端子に相当する。)が、2つの直流側端子(P端子及びN端子に相当する。)と並ぶことなく全く別の位置に配置されるもの、又はそれらの直流端子と並んでその列の最端に配置されるものがある(例えば、特許文献2−5参照。)。 In the conventional semiconductor module, the U-phase, V-phase, and W-phase AC side output terminals (corresponding to the center terminal) are two DC side terminals (corresponding to the P terminal and the N terminal). Some are arranged at completely different positions without being lined up, or some are arranged at the extreme end of the column along with their DC terminals (see, for example, Patent Document 2-5).
ハーフブリッジを含むSIP型IPMを用いて三相インバータを構成する場合、3個のIPMを使用するので、各々のIPMのP端子、及びN端子を、互いに接続する必要がある。また、各々のIPMのセンター端子を、負荷への出力端子U、V、Wとして、外部と接続する必要がある。これらの場合、IPMのリードは、プリント基板上に配置された電極を介して、互いに又は外部と接続される。
センター端子がP端子とN端子との間に配置されているとき、プリント基板上において、センター端子に接続される銅箔導体(すなわち、出力用銅箔導体。以下、「Tc銅箔導体」という。)を、P端子に接続される銅箔導体(以下、「P銅箔導体」という。)と、N端子に接続される銅箔導体(以下、「N銅箔導体」という。)との間に配置する必要がある。しかし、P銅箔導体、及びN銅箔導体は、通常、大きな電流を流す必要性から、その幅が広く作成されるため、プリント基板上で、Tc銅箔導体をP銅箔導体及びN銅箔導体に挟まれた位置から迂回させるか、そうでなければ、両面基板や多層基板等の高価なプリント基板を採用しなければならないという問題があった。 When the center terminal is disposed between the P terminal and the N terminal, a copper foil conductor (that is, an output copper foil conductor; hereinafter referred to as “Tc copper foil conductor”) connected to the center terminal on the printed circuit board. .) Is a copper foil conductor connected to the P terminal (hereinafter referred to as “P copper foil conductor”) and a copper foil conductor connected to the N terminal (hereinafter referred to as “N copper foil conductor”). Need to be placed between. However, P copper foil conductors and N copper foil conductors are usually made wide because of the need to pass a large current. Therefore, Tc copper foil conductors and P copper foil conductors and N copper are formed on a printed circuit board. There is a problem that it is necessary to make a detour from the position sandwiched between the foil conductors, or to employ an expensive printed board such as a double-sided board or a multilayer board.
さらに、センター端子がP端子とN端子との間に配置されているとき、Tc銅箔導体は、P端子とTc端子との間、又はTc端子とN端子との間に配置されなければならず、その場合は、IPMのP端子、Tc端子、N端子の端子間寸法を大きくとって、IPMの横寸法を大きくするか、リード部のフォーミングをしなければならないといった問題があった。 Further, when the center terminal is disposed between the P terminal and the N terminal, the Tc copper foil conductor must be disposed between the P terminal and the Tc terminal or between the Tc terminal and the N terminal. In this case, however, there is a problem that the inter-terminal dimensions of the IPM P terminal, Tc terminal, and N terminal must be increased to increase the lateral dimension of the IPM or form the lead portion.
以上により、従来の半導体装置をプリント基板に実装する際には、プリント基板上の配線が複雑になってプリント基板上で大きな面積を占有する、及びIPMの寸法が大きくなるという問題が生じ、半導体装置の実装面積が大きくなるという問題があった。 As described above, when a conventional semiconductor device is mounted on a printed board, wiring on the printed board becomes complicated, occupies a large area on the printed board, and the size of the IPM increases. There is a problem that the mounting area of the apparatus becomes large.
本発明の目的は、実装面積が小さく、かつ小型で安価な半導体装置を提供すること、及びそのような半導体装置が実装された実装体を提供することである。 An object of the present invention is to provide a small and inexpensive semiconductor device having a small mounting area, and to provide a mounting body on which such a semiconductor device is mounted.
本発明による半導体装置は、その内部に半導体素子を含むパッケージと、リードフレームとを備える半導体装置である。この半導体装置において、前記のリードフレームは、前記のパッケージの内部において前記の半導体素子を搭載するフレーム部と、前記のフレーム部につなげられ、前記のパッケージの一側面から突出するリード部とから成る。前記のパッケージは、その内部に、第1の電力用スイッチング半導体素子と、第2の電力用スイッチング半導体素子と、前記の第1の電力用スイッチング半導体素子と前記の第2の電力用スイッチング半導体素子とを制御する単一の制御用半導体素子とを含む。前記の第1の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第1の電極を有し、他方に第2の電極を有し、前記の第2の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第3の電極を有し、他方に第4の電極を有し、前記の制御用半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に接地電極を有し、他方に複数の電極パッドを有する。前記のフレーム部は、その表面に、前記の第1の電力用スイッチング半導体素子を、その第1の電極が接するように搭載する第1のフレームと、その表面に、前記の第2の電力用スイッチング半導体素子を、その第3の電極が接するように搭載し、かつ前記の第1のフレームに搭載された前記の第1の電力用スイッチング半導体素子の第2の電極と電気的に接続される第2のフレームと、前記の第2のフレームに搭載された前記の第2の電力用スイッチング半導体素子の第4の電極と電気的に接続される第3のフレームと、その表面に、前記の制御用半導体素子を、その接地電極が接するように搭載する第4のフレームと、前記の第4のフレームに搭載された前記の制御用半導体素子の電極パッドの各々と電気的に接続される複数の第5のフレームとを備える。前記のリード部は、前記のフレーム部の各フレームにつなげられた複数のリードの列であり、前記の第2のフレームにつなげられた前記のリードが、前記の列の最端に配置される。 A semiconductor device according to the present invention is a semiconductor device including a package including a semiconductor element therein and a lead frame. In this semiconductor device, the lead frame includes a frame portion on which the semiconductor element is mounted inside the package, and a lead portion connected to the frame portion and protruding from one side surface of the package. . The package includes therein a first power switching semiconductor element, a second power switching semiconductor element, the first power switching semiconductor element, and the second power switching semiconductor element. And a single semiconductor element for control. The first power switching semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a first electrode, the other has a second electrode, and the second The power switching semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a third electrode, and the other has a fourth electrode, and the control semiconductor element has two Opposing main surfaces are provided, one of the main surfaces has a ground electrode, and the other has a plurality of electrode pads. The frame portion includes a first frame on which the first power switching semiconductor element is mounted so that the first electrode is in contact with the surface, and the second power switching device on the surface. The switching semiconductor element is mounted so that the third electrode is in contact therewith, and is electrically connected to the second electrode of the first power switching semiconductor element mounted on the first frame. A second frame; a third frame electrically connected to the fourth electrode of the second power switching semiconductor element mounted on the second frame; A fourth frame for mounting the control semiconductor element so that the ground electrode is in contact with each other, and a plurality of electrodes electrically connected to each of the electrode pads of the control semiconductor element mounted on the fourth frame The fifth of And an over-time. The lead portion is a row of a plurality of leads connected to each frame of the frame portion, and the lead connected to the second frame is disposed at the end of the row. .
本発明の半導体装置によれば、その内部に半導体素子を含むパッケージと、リードフレームとを備える半導体装置であって、リードフレームは、パッケージの内部において半導体素子を搭載するフレーム部と、フレーム部につなげられ、パッケージの一側面から突出するリード部とから成り、パッケージは、その内部に、第1の電力用スイッチング半導体素子と、第2の電力用スイッチング半導体素子と、第1の電力用スイッチング半導体素子と第2の電力用スイッチング半導体素子とを制御する単一の制御用半導体素子とを含み、第1の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第1の電極を有し、他方に第2の電極を有し、第2の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第3の電極を有し、他方に第4の電極を有し、制御用半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に接地電極を有し、他方に複数の電極パッドを有し、フレーム部は、その表面に、第1の電力用スイッチング半導体素子を、その第1の電極が接するように搭載する第1のフレームと、その表面に、第2の電力用スイッチング半導体素子を、その第3の電極が接するように搭載し、かつ第1のフレームに搭載された第1の電力用スイッチング半導体素子の第2の電極と電気的に接続される第2のフレームと、第2のフレームに搭載された第2の電力用スイッチング半導体素子の第4の電極と電気的に接続される第3のフレームと、その表面に、制御用半導体素子を、その接地電極が接するように搭載する第4のフレームと、第4のフレームに搭載された制御用半導体素子の電極パッドの各々と電気的に接続される複数の第5のフレームとを備え、リード部は、フレーム部の各フレームにつなげられた複数のリードの列であり、第2のフレームにつなげられたリードが、列の最端に配置されるので、実装面積が小さく、かつ小型で安価な半導体装置を実現できる。 According to the semiconductor device of the present invention, the semiconductor device includes a package including a semiconductor element therein and a lead frame. The lead frame includes a frame portion on which the semiconductor element is mounted inside the package, and a frame portion. And a lead portion projecting from one side surface of the package. The package includes a first power switching semiconductor element, a second power switching semiconductor element, and a first power switching semiconductor. A first control semiconductor element for controlling the element and the second power switching semiconductor element, the first power switching semiconductor element having two opposing main surfaces on one of the main surfaces The second power switching semiconductor element having the first electrode and the second electrode on the other side includes two opposing main surfaces, and The main surface has a third electrode, the other has a fourth electrode, the control semiconductor element has two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a ground electrode, A plurality of electrode pads are provided on the other side, and the frame portion includes a first frame on which the first power switching semiconductor element is mounted so that the first electrode is in contact with the surface, and a first frame on the surface. Two power switching semiconductor elements are mounted so that their third electrodes are in contact with each other, and are electrically connected to the second electrodes of the first power switching semiconductor elements mounted on the first frame. A second frame, a third frame electrically connected to the fourth electrode of the second power switching semiconductor element mounted on the second frame, and a control semiconductor element on the surface thereof; A fourth frame mounted so that the ground electrode is in contact with it. And a plurality of fifth frames electrically connected to each of the electrode pads of the control semiconductor element mounted on the fourth frame, and the lead portion is connected to each frame of the frame portion. In addition, since the lead, which is a row of a plurality of leads and is connected to the second frame, is arranged at the end of the row, a small and inexpensive semiconductor device with a small mounting area can be realized.
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
本発明による半導体装置は、半導体素子と、その半導体素子を制御する制御回路とを1つのパッケージに収めたインテリジェントパワーモジュール(IPM)である。実施の形態1及び実施の形態2では、インバータ回路に用いられるIPMを例に挙げて、そのIPMの構成及び動作を説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
The semiconductor device according to the present invention is an intelligent power module (IPM) in which a semiconductor element and a control circuit for controlling the semiconductor element are housed in one package. In the first embodiment and the second embodiment, the configuration and operation of an IPM used in an inverter circuit will be described as an example.
図1は、一般的なインバータ回路におけるインバータ部の構成を示す。インバータ部では、コンバータ部及び整流部を通して出力される直流電圧を交流電圧に変換して、その交流電圧を負荷(図1では、Mで表される。)に出力する。図1に示されるように、インバータ部10は、6個のパワースイッチングデバイス12と、各々のパワースイッチングデバイス12を駆動させる6個の制御回路14と、各々のパワースイッチングデバイス12に逆並列に接続されたフリーホイールダイオード(FWD)16とを備える。ここで、パワースイッチングデバイス12とは、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT)である。図1に示されるように、インバータ部10は、2個のIGBT12が直列接続されて構成される1相のハーフブリッジ18を3相分含む。実施の形態1及び実施の形態2による半導体装置は、単相ハーフブリッジ18を含むIPMである。
FIG. 1 shows a configuration of an inverter unit in a general inverter circuit. The inverter unit converts the DC voltage output through the converter unit and the rectifying unit into an AC voltage, and outputs the AC voltage to a load (represented by M in FIG. 1). As shown in FIG. 1, the
実施の形態1.
図2は、本発明の実施の形態1による半導体装置の概観図である。図2に示されるように、本実施の形態による半導体装置20は、半導体素子がシングルインラインパッケージ(SIP)に収められた構成をしており、パッケージ22と、そのパッケージ22の一側面から突出した直線状に並ぶ複数のリード24から成るリード部26とを備える。リード部26は、パッケージ22内の半導体素子と外部との接続を可能にし、半導体装置20がプリント基板に実装されるとき、プリント基板上の配線に接続される。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 2 is a schematic view of the semiconductor device according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the
図3は、パッケージ22内部の部品接続を示す平面図であり、図4は、図3に対応する、半導体装置20の回路構成を示す図である。図3及び図4に示されるように、本実施の形態による半導体装置20は、2個のIGBT30,32と、2個のFWD34,36と、それらのIGBT30,32及びFWD34,36を制御する単一の制御回路(制御IC)38とを備える。図3に示されるように、パッケージ22の内部において、IGBT等の半導体素子は、リードフレームのフレーム部40に搭載される。リードフレームのリード部26は、外部端子列として、パッケージ22の外部に突出する。フレーム部40は、パッケージ22の内部において、第1のIGBT30と第1のFWD34とを搭載する第1のフレーム50と、第2のIGBT32と第2のFWD36とを搭載する第2のフレーム52と、第2のフレーム52に搭載された半導体素子(第2のIGBT32、及び第2のFWD36)に電気的に接続される第3のフレーム54と、制御IC38を搭載する第4のフレーム56と、第4のフレーム56に搭載された制御IC38の複数のボンディングパッドと電気的に接続される複数の第5のフレーム58とを備える。フレーム50,52,54,56,58は、それぞれ、リード部26における各々のリードにつなげられる。
FIG. 3 is a plan view showing component connections inside the
IGBT素子30,32は、それぞれ、対向する2つの表面(主面)を備える。そして、それらの主面の一方には、コレクタ電極(C)が設けられ、他方には、エミッタ電極(E)が設けられる。また、IGBT素子30,32は、それぞれ、エミッタ電極(E)が設けられた側の主面上にゲート電極(G)60,62を備える。第1のIGBT30は、そのコレクタ電極(C)がフレーム50に接触するように、フレーム50に搭載され、第2のIGBT32は、そのコレクタ電極(C)がフレーム52に接触するように、フレーム52に搭載される。すなわち、フレーム50及びフレーム52は、それぞれ、IGBT素子30のコレクタ電極及びIGBT素子32のコレクタ電極と同電位になる。
The
FWD34,36として動作するダイオード素子は、それぞれ、対向する2つの表面(主面)を備える。それらの主面の一方は、カソード電極(K)を有し、他方は、アノード電極(A)を有する。第1のFWD34は、そのカソード電極(K)がフレーム50に接触するように、フレーム50に搭載され、第2のFWD36は、そのカソード電極(K)がフレーム52に接触するように、フレーム52に搭載される。すなわち、FWD34のカソード電極、及びFWD36のカソード電極は、IGBT素子30のコレクタ電極及びIGBT素子32のコレクタ電極と同電位になる。
Each of the diode elements operating as the
第1のフレーム50、第2のフレーム52、及び第3のフレーム54は、並んで配置される。第1のフレーム50と第2のフレーム52は、互いに隣接して位置され、第2のフレーム52と第3のフレーム54は、互いに隣接して位置される。第1のフレーム50におけるIGBT素子30のエミッタ電極(E)、及びFWD34のアノード電極(A)は、それぞれ、複数のボンディングワイヤ70、及びボンディングワイヤ72によって、第2のフレーム52の主面に接続される。また、第2のフレーム52におけるIGBT素子32のエミッタ電極(E)、及びFWD34のアノード電極(A)は、それぞれ、複数のボンディングワイヤ74、及びボンディングワイヤ76によって、第3のフレーム54の主面に接続される。すなわち、IGBT30のエミッタ電極とIGBT32のコレクタ電極、及びFWD34のアノード電極とFWD36のカソード電極が、それぞれ、同電位になる。
The
制御IC38は、対向する2つの表面(主面)を備える。それらの一方の主面には、接地電極が設けられ、他方の主面には、複数のボンディングパッドが設けられる。制御IC38は、その接地電極が第4のフレーム56に接触するように、第4のフレーム56に搭載される。複数の第5のフレーム58は、それぞれ、ボンディングワイヤ78によって、制御IC38のボンディングパッドの1つに接続される。本実施の形態による半導体装置では、制御IC38のボンディングパッドが、制御ICの主面の外周部に周辺配置されるので、第5のフレーム58は、各々のボンディングパッドに対応するように、第4のフレーム56の周囲に配置される。
The
さらに、第2のフレーム52の主面、第3のフレーム54の主面、ゲート電極60,62が、それぞれ、ボンディングワイヤ80,82,84,86によって、IGBT素子38の互いに異なるボンディングパッドに接続される。上述の接続により、図4に示される回路が実現できる。
Further, the main surface of the
フレーム50,52,54,56,58は、それぞれ、リード部26の対応するリードに接続される。ここで、図3及び図4に示されるように、第1のフレーム50に接続されるリードは、インバータ回路のP側直流端子に接続される端子(P端子)であり、第3のフレーム54に接続されるリードは、インバータ回路のN側直流端子に接続される端子(N端子)である。また、第2のフレーム52に接続されるリードは、IGBT素子30のエミッタ電極と、IGBT素子32のコレクタ電極との接続点に接続されるセンター端子(Tc)である。
The
図3に示されるように、パッケージ22の外部に突出するリードは、一方向に並ぶリード部26を構成する。第4のフレーム56に接続されるリード(VN1)と、第5のフレームに接続される複数のリードは、リード部26の一方の端から相互に隣接するように配置され、リード群88を構成する。そして、リード群88に続いて、N端子(N)及びP端子(P)が順に配置され、リード部26の他方の端には、センター端子(Tc)が配置される。
As shown in FIG. 3, the leads protruding outside the
図5は、本実施の形態による半導体装置を使用してインバータ回路を構成する場合に、その半導体装置をプリント基板に実装して構成する実装体を示す図である。図5に示されるように、3つの半導体装置(IPM)20が、プリント基板90に並んで実装される。半導体装置20のリードは、プリント基板20に設けられた配線電極に接続される。プリント基板90の上面には、インバータ回路のU相、V相、W相の出力端子に対応するU相配線92、V相配線94、及びW相配線96が並んで配置される。U相配線92、V相配線94、及びW相配線96には、それぞれ、半導体装置20のセンター端子(Tc)が接続される。
FIG. 5 is a diagram showing a mounting body configured by mounting a semiconductor device on a printed circuit board when the inverter circuit is configured using the semiconductor device according to the present embodiment. As shown in FIG. 5, three semiconductor devices (IPM) 20 are mounted side by side on a printed
また、プリント基板90の上面には、半導体装置20のP端子に接続されるP端子用の銅箔導体(以下、「P銅箔導体」という。)100と、半導体装置20のN端子に接続されるN端子用の銅箔導体(以下、「N銅箔導体」という。)102が設けられる。P銅箔導体100、及びN銅箔導体102には、それぞれ、半導体装置20のP端子、及びN端子が接続される。P銅箔導体100、及びN銅箔導体102は、それぞれ、半導体装置20の配列方向に延びた矩形状の導体であり、それらは、半導体装置20が配列される方向に垂直に並んで配置される。
Further, a copper foil conductor for P terminal (hereinafter referred to as “P copper foil conductor”) 100 connected to the P terminal of the
さらに、プリント基板90の上面に対向する表面(下面)にも、複数の配線104が設けられる。リード群88におけるリードは、それぞれ、プリント基板90に設けられたスルーホールに挿入され、配線104の各々に接続される。
Furthermore, a plurality of
本実施の形態による半導体装置によれば、SIP型IPMにおいて、センター端子Tcが、リード部の一番端に位置される。よって、プリント基板におけるTc銅箔導体を、P銅箔導体及びN銅箔導体に挟まれた位置から迂回させて配置するといったことを行う必要がなく、Tc銅箔導体を、センター端子に接続されるように、より簡単に配置することができる。これにより、配線に必要なプリント基板の面積を小さくすることができるので、プリント基板における半導体装置の実装に必要な面積を小さくすることができる。また、以上の利点は、インバータ回路のようにIPMを複数個並べて用いる場合に、それぞれのIPM間の距離を短くできるので、より効果的である。 According to the semiconductor device of the present embodiment, the center terminal Tc is located at the end of the lead portion in the SIP type IPM. Therefore, there is no need to arrange the Tc copper foil conductor on the printed circuit board by detouring from the position sandwiched between the P copper foil conductor and the N copper foil conductor, and the Tc copper foil conductor is connected to the center terminal. It can be arranged more easily. As a result, the area of the printed board necessary for wiring can be reduced, so that the area required for mounting the semiconductor device on the printed board can be reduced. The above advantages are more effective when a plurality of IPMs are used side by side like an inverter circuit because the distance between the IPMs can be shortened.
なお、本実施の形態による半導体装置によれば、N端子及びP端子を、リード群とセンター端子の間に配置したが、少なくとも一方を、リード部のセンター端子側と異なる側の最端に配列してもよい。 In the semiconductor device according to the present embodiment, the N terminal and the P terminal are arranged between the lead group and the center terminal, but at least one of them is arranged at the extreme end on the side different from the center terminal side of the lead portion. May be.
なお、本実施の形態による半導体装置は、パワーデバイスを2個含むが、2個以上のパワーデバイスを含む半導体装置であっても、センター端子として作用する端子をリード部の一番端に配置すれば、本実施の形態による半導体装置と同様の効果が得られる。 Although the semiconductor device according to the present embodiment includes two power devices, even if the semiconductor device includes two or more power devices, the terminal that functions as the center terminal is disposed at the end of the lead portion. For example, the same effect as the semiconductor device according to the present embodiment can be obtained.
また、パワーデバイスとして、IGBT以外に、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)を用いても、同様の効果が得られる。 Moreover, the same effect can be obtained by using a metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) in addition to the IGBT as the power device.
実施の形態2.
図6は、本発明の実施の形態2による半導体装置のパッケージ内部の部品接続を示す平面図である。図6において、図3と同じ構成要素には、同じ符号を付し、説明を省略する。図6に示された部品接続が、図3に示された部品接続と異なる点は、制御ICを搭載した第4のフレーム56に接続されるリード(VN1)が、N端子に隣接して配置される点である。
FIG. 6 is a plan view showing component connection inside the package of the semiconductor device according to the second embodiment of the present invention. In FIG. 6, the same components as those in FIG. The component connection shown in FIG. 6 is different from the component connection shown in FIG. 3 in that the lead (VN1) connected to the
制御ICを搭載したフレームの電位(すなわち、リードVN1の電位)は、制御ICの接地電位に等しい。従って、リードVN1が、他の高電位の端子に隣接する場合は、その高電位端子の電位変動の影響を受ける場合がある。本実施の形態による半導体装置においては、その電位が互いに近似しているリードVN1とN端子とを隣接して配置するので、リードVN1の電位を安定させることができる。また、リードVN1とN端子とは電位が近いために端子間ピッチを最小にすることができる。結果として、小型で信頼性の高いIPMを実現できる。 The potential of the frame on which the control IC is mounted (that is, the potential of the lead VN1) is equal to the ground potential of the control IC. Therefore, when the lead VN1 is adjacent to another high potential terminal, the lead VN1 may be affected by the potential fluctuation of the high potential terminal. In the semiconductor device according to the present embodiment, the lead VN1 and the N terminal whose potentials are close to each other are arranged adjacent to each other, so that the potential of the lead VN1 can be stabilized. Further, since the potentials of the lead VN1 and the N terminal are close to each other, the pitch between the terminals can be minimized. As a result, a compact and highly reliable IPM can be realized.
なお、本実施の形態による半導体装置によれば、P端子を、N端子とセンター端子の間に配置したが、リード部のセンター端子と異なる側の最端に配列してもよい。 In the semiconductor device according to the present embodiment, the P terminal is disposed between the N terminal and the center terminal.
実施の形態3.
実施の形態3では、AC−ACコンバータの交流チョッパ回路に用いられる、ハーフブリッジを含むIPMの構成及び動作を説明する。図7は、一般的な三相AC−ACコンバータの構成を示す。図7に示されるように、AC−ACコンバータ120は、交流電源122の出力電圧を交流チョッパ方式により降圧調整して負荷124に供給する9個の交流チョッパ回路126を備える。図8は、そのような交流チョッパ回路126の主回路の構成を示す回路図である。図8に示されるように、交流チョッパ回路126は、2個のパワースイッチングデバイス128と、各々のパワースイッチングデバイス128を駆動させる2個の制御回路130とを備える。また、この交流チョッパ回路126は、2個のIGBT128が直列接続されて構成される単相のハーフブリッジ132を含む。本実施の形態による半導体装置は、単相ハーフブリッジ132を含むIPMである。本実施の形態による半導体装置も、図2に示されるように、半導体素子がシングルインラインパッケージ(SIP)に収められた構成をしており、パッケージと、そのパッケージの一側面から突出した複数のリードから成るリード部とを備える。
Embodiment 3 FIG.
In Embodiment 3, the configuration and operation of an IPM including a half bridge used in an AC chopper circuit of an AC-AC converter will be described. FIG. 7 shows a configuration of a general three-phase AC-AC converter. As shown in FIG. 7, the AC-
図9は、本実施の形態による半導体装置140のパッケージ内部の部品接続を示す平面図であり、図10は、図9に対応する、半導体装置140の回路構成を示す図である。図9及び図10において、図3及び図4と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。本実施の形態による半導体装置は、実施の形態1及び実施の形態2による半導体装置と異なり、IGBT素子のそれぞれに対して制御ICが与えられる。
FIG. 9 is a plan view showing component connections inside the package of the
図9及び図10に示されるように、本実施の形態による半導体装置140は、2個のIGBT30,32と、IGBT30を制御する制御回路142と、IGBT32を制御する制御回路144とを備える。図9に示されるように、パッケージ150の内部において、IGBT等の半導体素子は、リードフレームのフレーム部40に搭載される。リードフレームのリード部は、外部端子列として、パッケージ22の外部に突出する。リード部40は、パッケージ150の内部において、第1のIGBT30を搭載する第1のフレーム50と、第2のIGBT32を搭載する第2のフレーム52と、第2のフレーム52に搭載された第2のIGBT32に電気的に接続される第3のフレーム54と、制御IC142を搭載する第4のフレーム156と、第4のフレーム156に搭載された制御IC142の複数のボンディングパッドと電気的に接続される複数の第5のフレーム158と、制御IC142を搭載する第6のフレーム160と、第6のフレーム160に搭載された制御IC142の複数のボンディングパッドと電気的に接続される複数の第7のフレーム162とを備える。フレーム50,52,54,156,158,160,162は、それぞれ、リード部152のリードの各々につなげられる。
As shown in FIGS. 9 and 10, the
制御IC142は、対向する2つの表面(主面)を備える。それらの一方の主面には、接地電極が設けられ、他方の主面には、複数のボンディングパッドが設けられる。制御IC142は、その接地電極が第4のフレーム156に接触するように、第4のフレーム156に搭載される。複数の第5のフレーム158は、それぞれ、ボンディングワイヤ170によって、制御IC142のボンディングパッドの1つに接続される。本実施の形態による半導体装置では、制御IC142のボンディングパッドが、制御ICの主面の外周部に周辺配置されるので、第5のフレーム158は、各々のボンディングパッドに対応するように、第4のフレーム156の周囲に配置される。
The
制御IC144は、対向する2つの表面(主面)を備える。それらの一方の主面には、接地電極が設けられ、他方の主面には、複数のボンディングパッドが設けられる。制御IC144は、その接地電極が第6のフレーム160に接触するように、第6のフレーム160に搭載される。複数の第7のフレーム162は、それぞれ、ボンディングワイヤ172によって、制御IC144のボンディングパッドの1つに接続される。本実施の形態による半導体装置では、制御IC144のボンディングパッドが、制御IC144の主面の外周部に周辺配置されるので、第7のフレーム162は、各々のボンディングパッドに対応するように、第6のフレーム160の周囲に配置される。
The
図9に示されるように、パッケージ150の外部に突出するリードは、一方向に並ぶリード部152を構成する。第4のフレーム156に接続されるリード(VN1p)と、第5のフレーム158に接続される複数のリードは、相互に隣接するように配置され、リード群180を構成する。また、第6のフレーム160に接続されるリード(VN1)と、第7のフレーム162に接続される複数のリードは、相互に隣接するように配置され、リード群182を構成する。リード部152の一方の端には、P端子が配置され、そのP端子に隣接してN端子が配置される。また、そのN端子に隣接して、リード群182が配置される。さらに、そのリード群182に隣接して、リード群180が配置される。そして、リード部152の他方の端には、リード群180に隣接して、センター端子(Tc)が配置される。すなわち、センター端子(Tc)は、リード部152の最端に位置される。
As shown in FIG. 9, the leads protruding to the outside of the
図11は、本実施の形態による半導体装置を使用して交流チョッパ回路を構成する場合に、その半導体装置をプリント基板に実装して構成する実装体を示す図である。図11に示されるように、半導体装置(IPM)140が、プリント基板200に実装される。半導体装置140のリードは、プリント基板200に設けられた配線電極に接続される。プリント基板200の上面には、負荷(図8参照。図8において、上記負荷は、「M」で示される。)に接続される配線202が設けられる。配線202には、半導体装置140のセンター端子(Tc)が接続される。
FIG. 11 is a diagram showing a mounting body configured by mounting a semiconductor device on a printed circuit board when an AC chopper circuit is configured using the semiconductor device according to the present embodiment. As shown in FIG. 11, a semiconductor device (IPM) 140 is mounted on the printed
また、プリント基板200の上面には、半導体装置140のP端子、及びN端子に接続される銅箔導体204が設けられる。銅箔導体204には、半導体装置140のP端子、及びN端子の両方が接続される。
A
さらに、プリント基板200の上面に対向する表面(下面)にも、複数の配線210が設けられる。リード群180,182におけるリードは、それぞれ、プリント基板200に設けられたスルーホールに挿入され、プリント配線板200の下面に設けられた配線210の各々に接続される。
Furthermore, a plurality of
本実施の形態による半導体装置によれば、SIP型IPMにおいて、センター端子Tcが、リード部の一番端に位置される。よって、プリント基板におけるTc銅箔導体を、P銅箔導体及びN銅箔導体に挟まれた位置から迂回させて配置するといったことを行う必要がなく、Tc銅箔導体を、センター端子に接続されるように、より簡単に配置することができる。これにより、配線に必要なプリント基板の面積を小さくすることができるので、プリント基板における半導体装置の実装に必要な面積を小さくすることができる。 According to the semiconductor device of the present embodiment, the center terminal Tc is located at the end of the lead portion in the SIP type IPM. Therefore, there is no need to arrange the Tc copper foil conductor on the printed circuit board by detouring from the position sandwiched between the P copper foil conductor and the N copper foil conductor, and the Tc copper foil conductor is connected to the center terminal. It can be arranged more easily. As a result, the area of the printed board necessary for wiring can be reduced, so that the area required for mounting the semiconductor device on the printed board can be reduced.
本実施の形態による半導体装置によれば、その電位が互いに近似しているリードVN1とN端子とを隣接して配置するので、リードVN1の電位を安定させることができる。また、リードVN1とN端子とは電位が近いために端子間ピッチを最小にすることができる。結果として、小型で信頼性の高いIPMを実現できる。なお、本実施の形態による半導体装置においては、N端子を、VN1端子に隣接して配置したが、VN1p端子に隣接して配置しても、同様の効果が得られる。その際には、N端子とセンター端子との間にP端子が配置される。 In the semiconductor device according to the present embodiment, the lead VN1 and the N terminal whose potentials are close to each other are arranged adjacent to each other, so that the potential of the lead VN1 can be stabilized. Further, since the potentials of the lead VN1 and the N terminal are close to each other, the pitch between the terminals can be minimized. As a result, a compact and highly reliable IPM can be realized. In the semiconductor device according to the present embodiment, the N terminal is disposed adjacent to the VN1 terminal. However, the same effect can be obtained even when the N terminal is disposed adjacent to the VN1p terminal. In that case, the P terminal is arranged between the N terminal and the center terminal.
本実施の形態による半導体装置は、IGBT素子のそれぞれに対して制御ICが与えられる。これは、IGBTが逆並列で接続される回路に適用する場合に、特に有用である。 In the semiconductor device according to the present embodiment, a control IC is provided for each IGBT element. This is particularly useful when applied to a circuit in which IGBTs are connected in antiparallel.
なお、本実施の形態による半導体装置においては、パワーデバイスのそれぞれに対して制御ICを設けたが、実施の形態1及び実施の形態2と同じように、2つのパワーデバイスを単一の制御ICを用いて制御することも可能である。その場合には、パッケージ内部の部品接続を、図3と同様にすればよい。図12は、そのような半導体装置を使用して交流チョッパ回路を構成する場合に、半導体装置をプリント基板に実装して構成する実装体を示す図である。図12に示されるように、半導体装置(IPM)220のリードが、プリント基板222に設けられた配線電極に接続される。プリント基板222の上面には、負荷(図8参照。図8において、上記負荷は、「M」で示される。)に接続される配線224が設けられ、半導体装置220のセンター端子(Tc)が接続される。また、プリント基板222の上面には、半導体装置220のP端子、及びN端子に接続される銅箔導体226が設けられ、銅箔導体226には、半導体装置220のP端子、及びN端子の両方が接続される。さらに、プリント基板220の上面に対向する表面(下面)にも、複数の配線228が設けられる。リードは、それぞれ、プリント基板222に設けられたスルーホールに挿入され、プリント基板222の下面に設けられた配線228の各々に接続される。
In the semiconductor device according to the present embodiment, a control IC is provided for each power device. However, as in the first and second embodiments, two power devices are connected to a single control IC. It is also possible to control using. In that case, the component connections inside the package may be made the same as in FIG. FIG. 12 is a diagram showing a mounting body configured by mounting a semiconductor device on a printed circuit board when an AC chopper circuit is configured using such a semiconductor device. As shown in FIG. 12, the lead of the semiconductor device (IPM) 220 is connected to a wiring electrode provided on the printed
20 半導体装置、 22 パッケージ、 24 リード、 26 リード部、 30,32 IGBT素子、 34,36 ダイオード素子、 38 制御IC、 40 フレーム部、 50,52,54,56,58 フレーム、 60,62 コレクタ電極、 70,72,74,76,78,80,82,84,86 ボンディングワイヤ
20 semiconductor device, 22 package, 24 lead, 26 lead part, 30, 32 IGBT element, 34, 36 diode element, 38 control IC, 40 frame part, 50, 52, 54, 56, 58 frame, 60, 62
Claims (5)
前記リードフレームは、
前記パッケージの内部において前記半導体素子を搭載するフレーム部と、
前記フレーム部につなげられ、前記パッケージの一側面から突出するリード部と
から成り、
前記パッケージは、その内部に、
第1の電力用スイッチング半導体素子と、
第2の電力用スイッチング半導体素子と、
前記第1の電力用スイッチング半導体素子と前記第2の電力用スイッチング半導体素子とを制御する単一の制御用半導体素子と
を含み、
前記第1の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第1の電極を有し、他方に第2の電極を有し、
前記第2の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第3の電極を有し、他方に第4の電極を有し、
前記制御用半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に接地電極を有し、他方に複数の電極パッドを有し、
前記フレーム部は、
その表面に、前記第1の電力用スイッチング半導体素子を、その第1の電極が接するように搭載する第1のフレームと、
その表面に、前記第2の電力用スイッチング半導体素子を、その第3の電極が接するように搭載し、かつ前記第1のフレームに搭載された前記第1の電力用スイッチング半導体素子の第2の電極と電気的に接続される第2のフレームと、
前記第2のフレームに搭載された前記第2の電力用スイッチング半導体素子の第4の電極と電気的に接続される第3のフレームと、
その表面に、前記制御用半導体素子を、その接地電極が接するように搭載する第4のフレームと、
前記第4のフレームに搭載された前記制御用半導体素子の電極パッドの各々と電気的に接続される複数の第5のフレームと
を備え、
前記リード部は、前記フレーム部の各フレームにつなげられた複数のリードの列であり、
前記第2のフレームにつなげられた前記リードが、前記列の最端に配置される半導体装置。 A semiconductor device including a package including a semiconductor element therein and a lead frame,
The lead frame is
A frame portion for mounting the semiconductor element inside the package;
A lead portion connected to the frame portion and projecting from one side of the package;
The package is inside,
A first power switching semiconductor element;
A second power switching semiconductor element;
A single control semiconductor element that controls the first power switching semiconductor element and the second power switching semiconductor element;
The first power switching semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a first electrode, and the other has a second electrode,
The second power switching semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a third electrode, and the other has a fourth electrode,
The control semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a ground electrode, the other has a plurality of electrode pads,
The frame part is
A first frame on which the first power switching semiconductor element is mounted so that the first electrode is in contact with the surface;
The second power switching semiconductor element is mounted on the surface thereof so that the third electrode is in contact therewith, and the second power switching semiconductor element mounted on the first frame is a second one. A second frame electrically connected to the electrode;
A third frame electrically connected to a fourth electrode of the second power switching semiconductor element mounted on the second frame;
A fourth frame on which the control semiconductor element is mounted so that the ground electrode is in contact with the surface;
A plurality of fifth frames electrically connected to each of the electrode pads of the control semiconductor element mounted on the fourth frame;
The lead portion is a row of a plurality of leads connected to each frame of the frame portion,
A semiconductor device in which the lead connected to the second frame is arranged at the end of the row.
前記リードフレームは、
前記パッケージの内部において前記半導体素子を搭載するフレーム部と、
前記フレーム部につなげられ、前記パッケージの一側面から突出するリード部と
から成り、
前記パッケージは、その内部に、
第1の電力用スイッチング半導体素子と、
第2の電力用スイッチング半導体素子と、
前記第1の電力用スイッチング半導体素子と前記第2の電力用スイッチング半導体素子のそれぞれを制御する2つの制御用半導体素子と
を含み、
前記第1の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第1の電極を有し、他方に第2の電極を有し、
前記第2の電力用スイッチング半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に第3の電極を有し、他方に第4の電極を有し、
前記制御用半導体素子は、2つの対向する主面を備え、その主面の一方に接地電極を有し、他方に複数の電極パッドを有し、
前記フレーム部は、
その表面に、前記第1の電力用スイッチング半導体素子を、その第1の電極が接するように搭載する第1のフレームと、
その表面に、前記第2の電力用スイッチング半導体素子を、その第3の電極が接するように搭載し、かつ前記第1のフレームに搭載された前記第1の電力用スイッチング半導体素子の第2の電極と電気的に接続される第2のフレームと、
前記第2のフレームに搭載された前記第2の電力用スイッチング半導体素子の第4の電極と電気的に接続される第3のフレームと、
その表面に、前記制御用半導体素子のそれぞれを、その接地電極が接するように搭載する2つの第4のフレームと、
前記第4のフレームに搭載された前記制御用半導体素子の電極パッドの各々と電気的に接続される複数の第5のフレームと
を含み、
前記リード部は、前記フレーム部の各フレームにつなげられた複数のリードの列であり、
前記第2のフレームにつなげられた前記リードが、前記列の最端に配置される半導体装置。 A semiconductor device including a package including a semiconductor element therein and a lead frame,
The lead frame is
A frame portion for mounting the semiconductor element inside the package;
A lead portion connected to the frame portion and projecting from one side of the package;
The package is inside,
A first power switching semiconductor element;
A second power switching semiconductor element;
Two control semiconductor elements for controlling each of the first power switching semiconductor element and the second power switching semiconductor element,
The first power switching semiconductor device includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a first electrode, and the other has a second electrode,
The second power switching semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a third electrode, and the other has a fourth electrode,
The control semiconductor element includes two opposing main surfaces, one of the main surfaces has a ground electrode, the other has a plurality of electrode pads,
The frame part is
A first frame on which the first power switching semiconductor element is mounted so that the first electrode is in contact with the surface;
The second power switching semiconductor element is mounted on the surface so that the third electrode is in contact therewith, and the second power switching semiconductor element mounted on the first frame is second A second frame electrically connected to the electrode;
A third frame electrically connected to a fourth electrode of the second power switching semiconductor element mounted on the second frame;
Two fourth frames for mounting each of the control semiconductor elements on the surface so that the ground electrode is in contact therewith,
A plurality of fifth frames electrically connected to each of the electrode pads of the control semiconductor element mounted on the fourth frame;
The lead portion is a row of a plurality of leads connected to each frame of the frame portion,
A semiconductor device in which the lead connected to the second frame is arranged at the end of the row.
前記実装基板は、その1つの表面に、
各々の前記半導体装置の前記第1のフレームにつなげられた前記リードが接続される第1の配線と、
各々の前記半導体装置の前記第2のフレームにつなげられた前記リードが接続される複数の第2の配線と、
各々の前記半導体装置の前記第3のフレームにつなげられた前記リードが接続される第3の配線と
を備え、
前記第1の配線、及び前記第3の配線は、それぞれ、複数の前記半導体装置の配列方向に沿って延びた単一の配線である実装体。 A mounting body of a semiconductor device comprising a plurality of semiconductor devices according to claim 1 and a single mounting substrate on which the plurality of semiconductor devices are mounted,
The mounting substrate has one surface thereof,
A first wiring to which the lead connected to the first frame of each of the semiconductor devices is connected;
A plurality of second wirings to which the leads connected to the second frame of each of the semiconductor devices are connected;
A third wiring connected to the lead connected to the third frame of each of the semiconductor devices; and
Each of the first wiring and the third wiring is a mounting body that is a single wiring extending along the arrangement direction of the plurality of semiconductor devices.
前記半導体装置の前記リードの列において、前記第1のフレームにつなげられた前記リードと、前記第3のフレームにつなげられた前記リードが隣接し、
前記実装基板は、その1つの表面に、
前記半導体装置の前記第1のフレーム、及び前記第3のフレームのそれぞれにつなげられた前記リードが接続される第1の配線と、
前記半導体装置の前記第2のフレームにつなげられた前記リードが接続される第2の配線と
を備える実装体。 A semiconductor device mounting body comprising the semiconductor device according to any one of claims 1 to 3 and a mounting substrate on which the semiconductor device is mounted,
In the row of leads of the semiconductor device, the lead connected to the first frame and the lead connected to the third frame are adjacent to each other,
The mounting substrate has one surface thereof,
A first wiring to which the lead connected to each of the first frame and the third frame of the semiconductor device is connected;
A mounting body comprising: a second wiring connected to the lead connected to the second frame of the semiconductor device.
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JP2005310907A (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Renesas Technology Corp | Semiconductor device |
JP2012134566A (en) * | 2012-04-09 | 2012-07-12 | Fuji Electric Co Ltd | Semiconductor device |
JP2018022849A (en) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | ローム株式会社 | Power module and motor driving circuit |
CN113141122A (en) * | 2020-01-20 | 2021-07-20 | 珠海格力电器股份有限公司 | Intelligent power module and preparation method thereof |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005294464A (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Renesas Technology Corp | Semiconductor device |
JP4489485B2 (en) * | 2004-03-31 | 2010-06-23 | 株式会社ルネサステクノロジ | Semiconductor device |
JP2005310907A (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Renesas Technology Corp | Semiconductor device |
JP4565879B2 (en) * | 2004-04-19 | 2010-10-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Semiconductor device |
JP2012134566A (en) * | 2012-04-09 | 2012-07-12 | Fuji Electric Co Ltd | Semiconductor device |
JP2018022849A (en) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | ローム株式会社 | Power module and motor driving circuit |
CN113141122A (en) * | 2020-01-20 | 2021-07-20 | 珠海格力电器股份有限公司 | Intelligent power module and preparation method thereof |
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