JP2005149835A - Plasma display panel - Google Patents

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Yasushi Motoyama
靖 本山
Yukio Murakami
由紀夫 村上
Keiji Ishii
啓二 石井
Yoshikuni Hirano
芳邦 平野
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Nippon Hoso Kyokai NHK
Japan Broadcasting Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To materialize a PDP having high luminescent efficiency and a long life, by lowering the driving voltage of the PDP when N<SB>2</SB>is added to a filler gas. <P>SOLUTION: This plasma display panel is provided with: a first substrate; a second substrate facing the first substrate; a first electrode formed on the side of the first substrate, which faces the second substrate; a second electrode formed on the side of the second substrate, which faces the first substrate; a first dielectric layer formed so as to cover the first electrode; a second dielectric layer formed so as to cover the second electrode; a protective layer formed so as to cover the first dielectric layer; and a discharge space filled with the filler gas, which is formed between the protective layer and the second dielectric layer. The protective layer is made of ZnO, and the filler gas contains N<SB>2</SB>. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明はプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel、以下文中ではPDPと表記する)に係り、特には高効率な放電が可能なPDPに関する。   The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP), and more particularly to a PDP capable of high-efficiency discharge.

PDPは、大画面化が容易なこと、表示品質がよいこと、また、液晶ディスプレイと比べた場合に視野角が広いなどの特長があり、薄型化が可能なことから例えば壁掛け型ディスプレイなどの大型表示装置として用いられるようになってきている。   PDP has features such as easy screen enlargement, good display quality, and wide viewing angle compared to liquid crystal display, and can be thinned, so it can be made large, such as a wall-mounted display. It has come to be used as a display device.

PDPの動作原理の概要は、表示セルと呼ばれる、例えば希ガスからなる封入ガスが封入された放電空間で放電を起こすことによって希ガスの粒子を励起し、その光学的遷移によって生じる紫外線によって蛍光体を励起し、当該蛍光体からの可視光を表示発光に利用するものである。   An outline of the operating principle of the PDP is that a rare gas is excited by causing discharge in a discharge space in which a sealed gas made of a rare gas, for example, called a display cell is sealed, and phosphors are generated by ultraviolet rays generated by the optical transition thereof. And visible light from the phosphor is used for display light emission.

図1(A)は、従来の交流(AC)駆動型のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図1(B)にはそのA−A断面図を示す。また図2には、図1(A),(B)に示した表示セルを複数個並べたAC駆動型のカラーPDP100の斜視図を示す。   FIG. 1A schematically shows a cross-sectional view of one display cell having a structure of a conventional alternating current (AC) drive type PDP, and FIG. Show. FIG. 2 is a perspective view of an AC drive type color PDP 100 in which a plurality of the display cells shown in FIGS. 1A and 1B are arranged.

図1(A)、(B)および図2を参照するに、前記PDP100では、放電空間110を挟んで、ガラス基板からなる前面板101と背面板105が対向する形で配置されている。前記前面板101上の、前記背面板105に対向する側には表示用電極102が配置され、当該表示用電極102は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層103に覆われ、さらに当該誘電体層103が、MgOからなる保護膜104で覆われた構造となっている。前記表示用電極102は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。   Referring to FIGS. 1A, 1B, and 2, in the PDP 100, a front plate 101 made of a glass substrate and a back plate 105 are arranged to face each other with a discharge space 110 interposed therebetween. A display electrode 102 is disposed on the front plate 101 on the side facing the back plate 105. The display electrode 102 is covered with a dielectric layer 103 made of, for example, lead oxide glass, and the like. The dielectric layer 103 is covered with a protective film 104 made of MgO. The display electrode 102 is configured by arranging a pair of band-like scanning electrodes and sustaining electrodes in parallel with each other.

一方、前記背面板105上の、前記前面板101に対向する側には前記表示用電極102に直交する帯状の複数のデータ電極106が設けられており、これら複数のデータ電極106は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極106は誘電体層107によって覆われている。   On the other hand, a plurality of strip-shaped data electrodes 106 orthogonal to the display electrode 102 are provided on the back plate 105 on the side facing the front plate 101, and the plurality of data electrodes 106 are parallel to each other. And each data electrode 106 is covered by a dielectric layer 107.

さらに複数のデータ電極106を分離し、かつ放電空間110を形成する隔壁108が前記誘電体層107上に設けられている。また前記データ電極106上の前記誘電体層107の上から前記隔壁108の側面にわたって、蛍光体層109が形成されている。図3に示すPDP100の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁108を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体109が順に配置された構造になっている。   Further, a partition wall 108 for separating the plurality of data electrodes 106 and forming a discharge space 110 is provided on the dielectric layer 107. Further, a phosphor layer 109 is formed from the dielectric layer 107 on the data electrode 106 to the side surface of the partition wall 108. The PDP 100 shown in FIG. 3 has a structure in which, for example, red, green, and blue phosphors 109 are sequentially arranged with the partition wall 108 interposed therebetween in order to enable color display.

前記放電空間110には封入ガスが封入され、前記封入ガスは、例えばHe,Ne,KrおよびArのうち、少なくともひとつと、Xeの混合ガスからなる。   Filled gas is sealed in the discharge space 110, and the sealed gas is composed of a mixed gas of at least one of He, Ne, Kr and Ar and Xe, for example.

このような構造の前記PDP100において、前記誘電体層103および107は、前記表示電極102および前記データ電極106に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。   In the PDP 100 having such a structure, the dielectric layers 103 and 107 are provided for accumulating charges generated by applying a voltage to the display electrode 102 and the data electrode 106.

また、前記保護膜104は、放電電圧を低くし、放電によって生じたイオンなどの衝突により、前記誘電体層103が破壊されることを防ぐために設けられている。前記保護膜104としては一般にMgO膜が用いられている。   The protective film 104 is provided in order to reduce the discharge voltage and prevent the dielectric layer 103 from being destroyed by collision of ions generated by the discharge. As the protective film 104, an MgO film is generally used.

前記PDP100の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極102(走査電極および維持電極間)のリセット放電を全てのセルの前記放電空間110で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極102の走査電極の走査にあわせて前記データ電極106に選択的に電圧を印加して前記放電空間110においてアドレス放電を起こす。   The operating principle of the PDP 100 is as follows. First, the reset discharge of the display electrode 102 (between the scan electrode and the sustain electrode) is performed in the discharge space 110 of all the cells, the wall charge state is made the same, and then the scan electrode of the display electrode 102 is scanned. At the same time, a voltage is selectively applied to the data electrode 106 to cause an address discharge in the discharge space 110.

これにより、前記表示用電極102上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極102に印加した際に、前記放電空間110での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間110での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。   As a result, wall charges are selectively formed on the display electrode 102. Therefore, when a discharge sustain voltage is next applied to the display electrode 102, it is possible to control whether or not a discharge is generated in the discharge space 110. Depending on the number of sustain discharges in the discharge space 110, an image can be obtained. An image can be displayed by controlling display gradation.

しかし、近年の高性能化したPDPにおいては更なる高輝度化や高精細化が要求されており、高輝度化や高精細化を実現するためには、PDPの発光効率を高める必要があった。   However, in recent years, high performance PDPs are required to have higher brightness and higher definition, and in order to achieve higher brightness and higher definition, it is necessary to increase the luminous efficiency of the PDP. .

また、PDPは蛍光体の劣化によって寿命が決まるので、蛍光体の劣化をできるだけ低減し、PDPの寿命を長くする必要が有る。   In addition, since the lifetime of the PDP is determined by the deterioration of the phosphor, it is necessary to reduce the deterioration of the phosphor as much as possible and to extend the lifetime of the PDP.

このように、PDPの発光効率を高め、さらにPDPの寿命を長くするための試みとして、封入ガス中の紫外線励起に用いられるガスとして、Xeに換えてN2を用いることが提案されている。(例えば非特許文献1〜非特許文献3参照。)
TV学会技報、横澤、ED474,pp.69-74(1979) 電子情報通信学会総合大会、上田他、C−9−2 K.C.Choi et al,SID Int. Symp. Dig. Tech. Papers, pp432-435,VOL. VIII,May2002
As described above, as an attempt to increase the light emission efficiency of the PDP and further extend the life of the PDP, it has been proposed to use N 2 instead of Xe as a gas used for ultraviolet excitation in the sealed gas. (For example, refer nonpatent literature 1-nonpatent literature 3.)
TV Society Technical Report, Yokozawa, ED474, pp.69-74 (1979) IEICE General Conference, Ueda et al., C-9-2 KCChoi et al, SID Int. Symp. Dig. Tech. Papers, pp432-435, VOL. VIII, May2002

しかし、PDPの封入ガスにN2を添加した場合、駆動電圧が上昇してしまう問題が生じていた。特に封入ガス中でN2の分圧を増加させるに従い、駆動電圧が上昇する傾向が強くなり、駆動回路の消費電力やコストが増加してしまう問題が生じ、PDPの封入ガス中にN2を添加することは困難となっていた。 However, when N 2 is added to the sealed gas of the PDP, there has been a problem that the drive voltage increases. In particular, as the partial pressure of N 2 is increased in the sealed gas, the driving voltage tends to increase, and there is a problem that the power consumption and cost of the driving circuit increase. N 2 is contained in the sealed gas of the PDP. It was difficult to add.

そこで、本発明は上記の問題を解決することを目的としている。   Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems.

本発明の具体的な課題は、封入ガスにN2を添加したときにPDPの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率を高めて、寿命の長いPDPを実現することである。 A specific problem of the present invention is to realize a PDP having a long lifetime by making it possible to reduce the driving voltage of the PDP when N 2 is added to the sealed gas, increasing the light emission efficiency.

本発明では上記の課題を解決するために、第1の基板と、前記第1の基板と対向する第2の基板と、前記第1の基板の前記第2の基板に面した側に形成された第1の電極と、前記第2の基板の前記第1の基板に面した側に形成された第2の電極と、前記第1の電極を覆うように形成された第1の誘電体層と、前記第2の電極を覆うように形成された第2の誘電体層と、前記第1の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、前記保護膜と前記第2の誘電体層の間に形成され封入ガスが封入された放電空間と、を設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜はZnOからなり、前記封入ガスはN2を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルを用いた。 In the present invention, in order to solve the above-described problem, the first substrate, the second substrate facing the first substrate, and the first substrate on the side facing the second substrate are formed. A first electrode; a second electrode formed on a side of the second substrate facing the first substrate; and a first dielectric layer formed to cover the first electrode A second dielectric layer formed so as to cover the second electrode, a protective film formed so as to cover the first dielectric layer, the protective film, and the second dielectric A plasma display panel comprising a discharge space formed between layers and encapsulated with an encapsulated gas, wherein the protective film is made of ZnO, and the encapsulated gas contains N 2. Was used.

本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの保護膜にZnOからなる膜を用いたことで、保護膜表面から二次電子が放出されやすくなり、放電開始電圧を低くすることができる。そのためにN2ガスを封入ガスに添加することが可能となり、発光効率が高く、蛍光体へのダメージが少なく寿命が長いPDPを実現することが可能となる。 According to the present invention, by using a film made of ZnO as the protective film of the plasma display panel, secondary electrons are easily emitted from the surface of the protective film, and the discharge start voltage can be lowered. Therefore, it is possible to add N 2 gas to the sealed gas, and it is possible to realize a PDP with high luminous efficiency, little damage to the phosphor and long life.

また、前記封入ガスの全圧に対するN2の分圧の比が2%以上であるようにすると、発光効率が増大するとともに、従来の場合に比べて駆動電圧が抑制される効果が特に大きくなり、好適である。 Further, when the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure of the sealed gas is 2% or more, the luminous efficiency is increased and the effect of suppressing the driving voltage is particularly increased as compared with the conventional case. Is preferable.

また、前記保護膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長し、(0001)面に優先配向しているようにすると、前記放電空間の放電での当該保護膜のスパッタリング耐性が向上して、好適である。   Further, if the hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the protective film grows perpendicularly to the substrate and is preferentially oriented in the (0001) plane, the sputtering film has resistance to sputtering in the discharge space. Is preferable.

本発明によれば、PDPの封入ガスにN2を添加したときにPDPの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率が高く、また蛍光体へのダメージを少なくしてより寿命の長いPDPを実現することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to reduce the driving voltage of the PDP when N 2 is added to the PDP sealing gas, and the luminous efficiency is high, and the damage to the phosphor is reduced and the PDP has a longer life. Can be realized.

次に、本発明の実施の形態について図面に基づき、説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

次に、本発明の実施の形態に関して、図面に基づき以下に説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図3(A)は、本発明の実施例1によるAC駆動型のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図3(B)にはそのB−B断面図を示す。また図4には、図4(A),(B)に示した表示セルを複数個並べたAC駆動型のカラーPDP10の斜視図を示す。   FIG. 3A schematically shows a cross-sectional view of one display cell of the structure of the AC drive type PDP according to the first embodiment of the present invention, and FIG. The figure is shown. FIG. 4 is a perspective view of an AC drive type color PDP 10 in which a plurality of the display cells shown in FIGS. 4A and 4B are arranged.

図3(A)、(B)および図4を参照するに、前記PDP10では、放電空間20を挟んで、ガラス基板からなる前面板11と背面板15が対向する形で配置されている。前記前面板11上の、前記背面板15に対向する側には表示用電極12が配置され、当該表示用電極12は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層13に覆われ、さらに当該誘電体層13が、ZnOからなる保護膜14で覆われた構造としている。前記表示用電極12は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。   3A, 3B and 4, in the PDP 10, the front plate 11 and the back plate 15 made of a glass substrate are arranged to face each other with the discharge space 20 in between. A display electrode 12 is disposed on the front plate 11 on the side facing the back plate 15, and the display electrode 12 is covered with a dielectric layer 13 made of, for example, lead oxide glass. The dielectric layer 13 is covered with a protective film 14 made of ZnO. The display electrode 12 is configured by arranging a pair of strip-like scan electrodes and sustain electrodes in parallel with each other.

また、前記背面板15上の、前記前面板11に対向する側には前記表示用電極12に直交する帯状の複数のデータ電極16が設けられており、これら複数のデータ電極16は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極16は誘電体層17によって覆われている。   A plurality of strip-shaped data electrodes 16 orthogonal to the display electrodes 12 are provided on the back plate 15 on the side facing the front plate 11, and the plurality of data electrodes 16 are parallel to each other. The data electrodes 16 are arranged and covered with a dielectric layer 17.

さらに複数のデータ電極16を分離し、かつ放電空間20を形成する隔壁18が、前記データ電極16と略平行に前記誘電体層17上に設けられている。また前記データ電極16上の前記誘電体層17の上から前記隔壁18の側面にわたって、蛍光体層19が形成されている。図5に示すPDP10の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁18を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体19が順に配置された構造になっている。   Further, a partition wall 18 for separating the plurality of data electrodes 16 and forming the discharge space 20 is provided on the dielectric layer 17 substantially in parallel with the data electrode 16. A phosphor layer 19 is formed from the dielectric layer 17 on the data electrode 16 to the side surface of the partition wall 18. The PDP 10 shown in FIG. 5 has a structure in which, for example, red, green, and blue phosphors 19 are sequentially arranged with the partition wall 18 interposed therebetween in order to enable color display.

また、前記PDP10において、前記誘電体層13および17は、前記表示電極12および前記データ電極16に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。   In the PDP 10, the dielectric layers 13 and 17 are provided for accumulating charges generated by applying a voltage to the display electrode 12 and the data electrode 16.

なお、図4には、例として1表示セルを3つ組み合わせた形状を示しているが、表示セルの個数は任意であり、実際にはさらに多数の表示セルを組み合わせて大型表示装置であるPDPを形成する。   FIG. 4 shows a shape in which three display cells are combined as an example, but the number of display cells is arbitrary, and actually a PDP that is a large display device by combining a larger number of display cells. Form.

前記PDP10の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極12(走査電極および維持電極間)のリセット放電を全てのセルの前記放電空間20で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極12の走査電極の走査にあわせて前記データ電極16に選択的に電圧を印加して前記放電空間20においてアドレス放電を起こす。   The operation principle of the PDP 10 is as follows. First, the reset discharge of the display electrode 12 (between the scan electrode and the sustain electrode) is performed in the discharge space 20 of all the cells, the wall charge state is made the same, and then the scan electrode of the display electrode 12 is scanned. At the same time, a voltage is selectively applied to the data electrode 16 to cause an address discharge in the discharge space 20.

これにより、前記表示用電極12上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極12に印加した際に、前記放電空間20での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間20での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。   As a result, wall charges are selectively formed on the display electrode 12. Therefore, when a discharge sustain voltage is next applied to the display electrode 12, it is possible to control whether or not a discharge occurs in the discharge space 20, and depending on the number of sustain discharges in the discharge space 20, An image can be displayed by controlling display gradation.

本実施例においては、前記放電空間11に封入された封入ガスは、例えばHe,Ne,Ar,KrおよびXeのうち、少なくともひとつと、N2の混合ガスからなる。PDPの発光効率は前記封入ガスに大きく依存し、例えば前記封入ガスのN2の混合比、または前記封入ガスの全圧に対するN2の分圧の比を増加させると発光効率が向上し、PDPの高輝度化、高精細化が可能となる。さらに蛍光体の寿命も長くなり、PDPの寿命を長くすることが可能となる。 In this embodiment, the sealed gas sealed in the discharge space 11 is composed of a mixed gas of at least one of He, Ne, Ar, Kr and Xe and N 2 , for example. The luminous efficiency of the PDP greatly depends on the enclosed gas. For example, increasing the N 2 mixing ratio of the enclosed gas or the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure of the enclosed gas improves the luminous efficiency. Higher brightness and higher definition. Furthermore, the lifetime of the phosphor is also increased, and the lifetime of the PDP can be increased.

このように前記封入ガスにN2を添加したことにより発光効率が向上し、さらに蛍光体の寿命が長くなる効果は、N2の励起波長が長いためと考えられる。例えば、従来のPDPの封入ガス中に添加されているXeと、本実施例によるN2の励起波長、蛍光体励起エネルギーおよびエネルギー変換効率を比較した表を下記に示す。 Thus, it is thought that the effect that the luminous efficiency is improved by adding N 2 to the sealed gas and the lifetime of the phosphor is extended is because the excitation wavelength of N 2 is long. For example, a table comparing Xe added to a conventional PDP sealing gas with N 2 excitation wavelength, phosphor excitation energy, and energy conversion efficiency according to this example is shown below.

Figure 2005149835
上記のように、例えば従来用いられていたXeの場合、励起波長が147nmと短く、エネルギーが高いために、蛍光体による紫外線から可視光へのエネルギー変換効率が低くなってしまう。そのため、蛍光体に与えるダメージも大きく、長期間にわたる使用においては焼き付などを生じる場合があった。
Figure 2005149835
As described above, for example, in the case of Xe conventionally used, since the excitation wavelength is as short as 147 nm and the energy is high, the energy conversion efficiency from ultraviolet rays to visible light by the phosphor is lowered. Therefore, the damage given to the phosphor is large, and there are cases where seizure or the like occurs when used over a long period of time.

一方、本実施例による、N2を用いた場合には、励起波長が337nmを中心とした、340〜450nmに強い放射スペクトルを持つため、紫外線から可視光へのエネルギー変換効率が高く、Xeを用いた場合の2.3倍となっており、効率よく可視発光を得ることができるため、発光効率を向上させることが可能となる。 On the other hand, when N 2 according to the present embodiment is used, since the excitation wavelength has a strong emission spectrum at 340 to 450 nm centered at 337 nm, the energy conversion efficiency from ultraviolet light to visible light is high, and Xe is Since it is 2.3 times that used, and visible light emission can be obtained efficiently, the light emission efficiency can be improved.

また、放電の際に、蛍光体に与えるダメージは、蛍光体に照射される紫外線のエネルギーが低いほど小さく、そのために寿命が長くなる傾向にあり、Xeを用いた場合に対して、N2を用いた場合には紫外線エネルギーは1/2.3、すなわち43%程度であり、N2を用いた場合には、従来に比べて2倍以上の寿命を実現することが可能となる。 Further, the damage given to the phosphor during the discharge is smaller as the energy of the ultraviolet rays applied to the phosphor is lower, and therefore the life tends to be longer. N 2 is less than that when Xe is used. When it is used, the ultraviolet energy is 1 / 2.3, that is, about 43%. When N 2 is used, it is possible to realize a life that is twice or more that of the prior art.

しかし、封入ガスにN2を添加した場合、従来は放電開始電圧が上昇し、駆動電圧が増大してしまうために、封入ガスにN2を用いることは非常に困難であった。そこで、本発明の発明者は、前記保護膜14に、ZnOからなる層を用いたことで、放電開始電圧を低下させて、PDPの駆動電圧を低くし、封入ガスにN2を用いることが可能となることを見出した。 However, when N 2 is added to the sealed gas, conventionally, since the discharge start voltage increases and the drive voltage increases, it has been very difficult to use N 2 as the sealed gas. Therefore, the inventor of the present invention uses a layer made of ZnO for the protective film 14, thereby lowering the discharge start voltage, lowering the driving voltage of the PDP, and using N 2 as the sealing gas. I found it possible.

本実施例では、前記前記表示用電極12が、ZnOからなる前記保護膜14で覆われた構造となっており、前記保護膜14が前記放電空間20に面した構造になっている。
前記放電空間20での放電特性、放電開始電圧などは、前記封入ガスのイオンや励起粒子が前記保護膜14に入射する際に、前記保護膜14の表面から放出される二次電子の出やすさに大きく依存する。
In this embodiment, the display electrode 12 is covered with the protective film 14 made of ZnO, and the protective film 14 faces the discharge space 20.
The discharge characteristics in the discharge space 20, the discharge start voltage, and the like are such that secondary electrons emitted from the surface of the protective film 14 are easily emitted when ions or excited particles of the sealed gas enter the protective film 14. It depends greatly on the size.

本実施例で用いたZnOは、バンドギャップが小さいために、このような二次電子が放出されやすい特性を持っていると考えられ、そのために放電開始電圧を低くして駆動電圧を低減できる効果を奏すると考えられる。   ZnO used in this example is considered to have such a characteristic that secondary electrons are easily emitted because the band gap is small. Therefore, the effect of reducing the drive voltage by lowering the discharge start voltage. It is thought to play.

また、保護膜にZnOを用いて、封入ガスにN2を添加した場合には、ZnOとN2の相互作用により、ZnOの電子親和力が小さくなる可能性があり、放電開始電圧を低下させる要因の一つとなっている可能性があると推察される。 In addition, when ZnO is used for the protective film and N 2 is added to the sealing gas, the electron affinity of ZnO may be reduced due to the interaction between ZnO and N 2 , which causes a decrease in the discharge start voltage. It is speculated that it may be one of the following.

特に、前記封入ガス中のN2の分圧を増加させた場合に駆動電圧の増加量を抑制する効果が大きくなり、図5で後述するように、全圧に対するN2の分圧の比を2%以上とすることでその効果が有効となり、さらに発光効率も増大する。 In particular, when the partial pressure of N 2 in the sealed gas is increased, the effect of suppressing the increase in driving voltage is increased, and the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure is increased as will be described later with reference to FIG. By setting it to 2% or more, the effect becomes effective, and the luminous efficiency also increases.

また、前記保護膜14は、前記放電空間20で放電が起こる際に形成されたイオンの衝突などにより、スパッタされ、当該保護膜14の表面がスパッタエッチングによって削られてしまう。   Further, the protective film 14 is sputtered due to collision of ions formed when a discharge occurs in the discharge space 20, and the surface of the protective film 14 is scraped by sputter etching.

そのため、前記保護膜14のスパッタリングによる損傷に起因する前記PDPの寿命もしくはメンテナンスサイクルを長くするため、前記保護膜14の、ZnOのスパッタリング耐性を大きくする、すなわち前記保護膜14がスパッタエッチングされる速度を小さくすることが重要である。   Therefore, in order to prolong the life or maintenance cycle of the PDP due to damage due to sputtering of the protective film 14, the sputtering resistance of the protective film 14 is increased, that is, the speed at which the protective film 14 is sputter etched. It is important to reduce the size.

本発明の発明者は、実験の結果、前記保護膜14を構成するZnO膜を形成する場合に、ZnO結晶の六方晶系のc軸が、ZnO膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ZnO膜が(0001)面に優先配向するように形成した場合、当該ZnO膜のスパッタリング耐性が大きいことを見出した。   As a result of experiments, the inventors of the present invention have shown that when forming a ZnO film constituting the protective film 14, the hexagonal c-axis of the ZnO crystal grows perpendicularly to the plane on which the ZnO film is formed. It was found that when the ZnO film was formed so as to be preferentially oriented in the (0001) plane with the above-described orientation, the sputtering resistance of the ZnO film was high.

そのため、前記保護膜14であるZnO膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が、ZnO膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ZnO膜が(0001)面に優先配向するように形成することで、前記PDP10の前記保護膜14がスパッタエッチングされる速度が小さくなり、前記PDP10の寿命を長くすることが可能となった。   Therefore, the hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the ZnO film as the protective film 14 is oriented so that it grows perpendicular to the surface on which the ZnO film is formed, and the ZnO film is preferentially oriented on the (0001) plane. By forming in this way, the speed at which the protective film 14 of the PDP 10 is sputter-etched is reduced, and the life of the PDP 10 can be extended.

次に、図3(A),(B)および図4に示した前記PDP10の製造方法について説明する。ただし以下文中、先に説明した部分には同一の参照符号を用いて、詳細な説明を省略する。   Next, a method for manufacturing the PDP 10 shown in FIGS. 3A and 3B and FIG. 4 will be described. However, in the following text, the same reference numerals are used for the parts described above, and detailed description is omitted.

まず、前面板11ガラス基板からなる前記前面板11上に、透明導電膜およびクロム(Cr)/銅(Cu)/Cr(クロム)からなる積層膜を、スパッタリング法によって成膜する。   First, a transparent conductive film and a laminated film made of chromium (Cr) / copper (Cu) / Cr (chromium) are formed on the front plate 11 made of a glass substrate by a sputtering method.

次に、前記透明導電膜および積層膜を、フォトリソグラフィの手法を用いて、それぞれ前記透明導電膜を170μm、前記積層膜を55μmの帯状のパターンに形成し、前記表示用電極12とする。   Next, the transparent conductive film and the laminated film are formed into a strip-like pattern with a thickness of 170 μm and the laminated film of 55 μm, respectively, using a photolithography technique, and the display electrode 12 is obtained.

次に、前記表示用電極12が形成された前記前面板11上に、低融点ガラスペーストを印刷して乾燥させた後、焼成することによって、膜厚略20μmの前記誘電体層3を形成する。   Next, a low melting point glass paste is printed on the front plate 11 on which the display electrodes 12 are formed, dried, and then baked to form the dielectric layer 3 having a thickness of about 20 μm. .

次に、前記誘電体層3を被覆するように、RFマグネトロンスパッタ法を用いて、ZnOからなる前記保護膜14を、厚さが0.8μmとなるように形成する。また、前記保護膜14を形成する方法としては、前記RFマグネトロンスパッタ法の他にも、例えばMBE法(Molecular Beam Epitaxy)、CVD法(Chemical Vapor Deposition)、PLD法(Pulsed Laser Deposition)などの方法を用いることが可能である。   Next, the protective film 14 made of ZnO is formed to have a thickness of 0.8 μm by using an RF magnetron sputtering method so as to cover the dielectric layer 3. In addition to the RF magnetron sputtering method, a method such as MBE (Molecular Beam Epitaxy), CVD (Chemical Vapor Deposition), PLD (Pulsed Laser Deposition) or the like is used as a method for forming the protective film 14. Can be used.

また、前記したように、前記保護膜14のスパッタリング耐性を高めるために、ZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長したc軸配向を優先的に成長させる。そのために、スパッタリング蒸着を、例えば、スパッタ圧力1〜10Pa、Arと酸素の混合ガス中の酸素濃度10〜50%、基板温度150〜500℃、蒸着レート1.0μm/hrの条件で行う。   Further, as described above, in order to increase the sputtering resistance of the protective film 14, the c-axis orientation in which the hexagonal c-axis of the ZnO crystal grows perpendicularly to the substrate is preferentially grown. Therefore, sputtering vapor deposition is performed, for example, under the conditions of a sputtering pressure of 1 to 10 Pa, an oxygen concentration of 10 to 50% in a mixed gas of Ar and oxygen, a substrate temperature of 150 to 500 ° C., and a vapor deposition rate of 1.0 μm / hr.

次に、ガラス基板からなる前記背面板15上の所望の位置に、感光性銀ペーストをフォトリソグラフィの手法を用いて帯状パターンに形成して、銀からなる前記データ電極16を形成し、さらに当該データ電極16を覆うように前記誘電体層17を形成した。   Next, a photosensitive silver paste is formed in a strip pattern using a photolithography technique at a desired position on the back plate 15 made of a glass substrate, thereby forming the data electrode 16 made of silver. The dielectric layer 17 was formed so as to cover the data electrode 16.

さらに、前記誘電体層17上には、幅60μm、高さ130μmの前記隔壁8を形成し、前記蛍光体19を前記隔壁18および前記誘電体層17の表面上に塗布した。前記蛍光体9として、例えば、赤色発光体((YxGd1-x)BO3:Eu3+)、緑色発光体(BaAl1219:Mn)および青色発光体(BaMgAl1423:Eu2+)を塗り分けるようにする。 Further, the barrier rib 8 having a width of 60 μm and a height of 130 μm was formed on the dielectric layer 17, and the phosphor 19 was applied on the surfaces of the barrier rib 18 and the dielectric layer 17. Wherein the phosphor 9, for example, a red light emitter ((Y x Gd 1-x ) BO 3: Eu 3+), green light-emitting body (BaAl 12 O 19: Mn) and blue emitter (BaMgAl 14 O 23: Eu 2+ ).

次に、前記前面板11と背面板15を、前記表示用電極12とデータ電極16が直交するように張り合わせ、周辺部をガラスフリットを用いて封着し、前記放電空間20を排気した後に、当該放電空間20に、Ne―Xe混合ガスに、N2ガスを加えた封入ガスを、圧力が5kPa〜70kPaとなるように封入する。この場合、N2の分圧は、封入ガスの全圧に対して2%以上となるようにする。 Next, the front plate 11 and the back plate 15 are bonded together so that the display electrode 12 and the data electrode 16 are orthogonal to each other, the periphery is sealed with glass frit, and the discharge space 20 is exhausted. An enclosed gas obtained by adding N 2 gas to the Ne—Xe mixed gas is enclosed in the discharge space 20 so that the pressure becomes 5 kPa to 70 kPa. In this case, the partial pressure of N 2 is set to 2% or more with respect to the total pressure of the sealed gas.

次に、図5には、前記PDP10において、前記封入ガスの全圧に対するN2の分圧の割合を増加させた場合の、PDPの放電開始電圧を測定した結果を示す。 Next, FIG. 5 shows the result of measuring the discharge start voltage of the PDP when the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure of the sealed gas is increased in the PDP 10.

測定ではAC放電させる1対の電極に0(V)とVs(V)の20kHzの矩形パルス(duty=20%)を交互に加え、放電が開始する電圧を測定した。測定する際は、電圧を下げて放電が停止してから20秒後に電圧を印加して実験を行った。   In the measurement, a 20 kHz rectangular pulse (duty = 20%) of 0 (V) and Vs (V) was alternately applied to a pair of electrodes for AC discharge, and a voltage at which discharge was started was measured. In the measurement, the experiment was performed by applying a voltage 20 seconds after the discharge was stopped by lowering the voltage.

また、比較のために、前記保護膜14に、従来用いられていたMgOからなる膜を0.8μm形成した場合の電圧の測定結果も併記した。この場合の封入ガスの全圧は67kPaとした。なお、PDPの駆動電圧は放電空間の放電開始電圧に強く依存し、放電開始電圧の増減の割合は、PDPの駆動電圧の増減の割合を示している。   For comparison, the measurement result of the voltage in the case where 0.8 μm of a conventionally used MgO film is formed on the protective film 14 is also shown. In this case, the total pressure of the sealed gas was 67 kPa. Note that the driving voltage of the PDP strongly depends on the discharge start voltage in the discharge space, and the rate of increase / decrease in the discharge start voltage indicates the rate of increase / decrease in the drive voltage of the PDP.

図5を参照するに、本実施例における、前記保護膜14にZnOかららなる膜を用いた場合には、前記保護膜14にMgOからなる膜を用いた場合にくらべて放電開始電圧が低いことがわかる。特に、前記封入ガスの全圧に対するN2の分圧の比を2%以上とすることで、放電開始電圧を抑制する効果が大きくなり、N2の分圧が高くなるほど、ZnOを用いた場合の放電開始電圧を低く抑える効果が大きくなり、また発光効率も増大する。このような効果を得るために、前記封入ガスの全圧は、5kPa〜70kPaの範囲とすることが好ましい。 Referring to FIG. 5, when a film made of ZnO is used for the protective film 14 in this embodiment, the discharge start voltage is lower than when a film made of MgO is used for the protective film 14. I understand that. In particular, when the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure of the sealed gas is set to 2% or more, the effect of suppressing the discharge start voltage is increased. When the partial pressure of N 2 is increased, ZnO is used. The effect of suppressing the discharge start voltage is increased, and the luminous efficiency is also increased. In order to obtain such an effect, the total pressure of the sealed gas is preferably in the range of 5 kPa to 70 kPa.

また、本実施例では、前記保護膜14にZnOを用いる場合について説明したが、本発明の効果はこれに限定されるものではなく、例えば、Cu、Mn、Liなどの金属を微量に含んだZnO系化合物を前記保護膜14に用いても、本実施例に記述した場合と同様の効果を奏する。   In this embodiment, the case where ZnO is used for the protective film 14 has been described. However, the effect of the present invention is not limited to this, and for example, a trace amount of metals such as Cu, Mn, and Li is included. Even when a ZnO-based compound is used for the protective film 14, the same effects as described in the present embodiment can be obtained.

さらに、本実施例においてはAC駆動型のPDPの例を示したが、本実施例はAC駆動型に限られるものではなく、例えばDC駆動型、またはAC/DCハイブリッド駆動型においても、陰極や陽極を被覆する保護膜としてZnOを用いることにより、本実施例に記載した場合と同様の効果を得ることが可能であり、駆動電圧が低く、高効率で寿命が長いPDPを実現できる。   Furthermore, although an example of an AC drive type PDP has been shown in the present embodiment, the present embodiment is not limited to the AC drive type. For example, in the DC drive type or the AC / DC hybrid drive type, a cathode or By using ZnO as the protective film covering the anode, it is possible to obtain the same effect as described in this embodiment, and it is possible to realize a PDP with a low driving voltage, high efficiency and a long life.

本発明によれば、PDPの封入ガスにN2を添加したときにPDPの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率が高く、また紫外線による蛍光体へのダメージを少なくして、より寿命の長いPDPを実現することが可能となる。 According to the present invention, when N 2 is added to the PDP sealing gas, the driving voltage of the PDP can be lowered, the luminous efficiency is high, and the phosphor is less damaged by ultraviolet rays, so that the lifetime is increased. It is possible to realize a long PDP.

(A)は、従来のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、(B)はそのA−A断面図である。(A) is a schematic cross-sectional view of one display cell having a conventional PDP structure, and (B) is a cross-sectional view taken along the line AA. 図1の表示セルを複数個並べた従来のAC駆動型のカラーPDPの断面斜視図である。FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a conventional AC drive type color PDP in which a plurality of display cells of FIG. 1 are arranged. (A)は、本発明のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、(B)はそのB−B断面図である。(A) is a schematic cross-sectional view of one display cell of the structure of the PDP of the present invention, and (B) is a cross-sectional view taken along the line BB. 図3の表示セルを複数個並べた本発明のAC駆動型のカラーPDPの断面斜視図である。FIG. 4 is a cross-sectional perspective view of an AC drive type color PDP of the present invention in which a plurality of the display cells of FIG. 3 are arranged. 本発明の実施例に係る放電開始電圧のN2分圧依存性の測定結果である。A N 2 partial pressure dependence of the measurement results of the discharge starting voltage in accordance with an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10,100 PDP
11,111 前面板
12,102 表示用電極
13,103 誘電体層
14,104 保護膜
16,106 データ電極
17,107 誘電体層
18,108 隔壁
19,109 蛍光体
20,110 放電空間
10,100 PDP
11, 111 Front plate 12, 102 Display electrode 13, 103 Dielectric layer 14, 104 Protective film 16, 106 Data electrode 17, 107 Dielectric layer 18, 108 Bulkhead 19, 109 Phosphor 20, 110 Discharge space

Claims (3)

第1の基板と、
前記第1の基板と対向する第2の基板と、
前記第1の基板の前記第2の基板に面した側に形成された第1の電極と、
前記第2の基板の前記第1の基板に面した側に形成された第2の電極と、
前記第1の電極を覆うように形成された第1の誘電体層と、
前記第2の電極を覆うように形成された第2の誘電体層と、
前記第1の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、
前記保護膜と前記第2の誘電体層の間に形成され封入ガスが封入された放電空間と、を設けたプラズマディスプレイパネルであって、
前記保護膜はZnOからなり、前記封入ガスはN2を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
A first substrate;
A second substrate facing the first substrate;
A first electrode formed on a side of the first substrate facing the second substrate;
A second electrode formed on a side of the second substrate facing the first substrate;
A first dielectric layer formed to cover the first electrode;
A second dielectric layer formed to cover the second electrode;
A protective film formed to cover the first dielectric layer;
A plasma display panel provided with a discharge space formed between the protective film and the second dielectric layer and filled with a sealing gas,
The plasma display panel according to claim 1, wherein the protective film is made of ZnO, and the sealed gas contains N 2 .
前記封入ガスの全圧に対するN2の分圧の比が2%以上であることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。 The plasma display panel of claim 1, wherein the ratio of the partial pressure of N 2 to the total pressure of the sealed gas is 2% or more. 前記保護膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長し、(0001)面に優先配向していることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマディスプレイパネル。   3. The plasma display panel according to claim 1, wherein a hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the protective film grows perpendicularly to the substrate and is preferentially oriented in the (0001) plane.
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