JP2005004991A - Plasma display panel - Google Patents

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JP2005004991A
JP2005004991A JP2003164038A JP2003164038A JP2005004991A JP 2005004991 A JP2005004991 A JP 2005004991A JP 2003164038 A JP2003164038 A JP 2003164038A JP 2003164038 A JP2003164038 A JP 2003164038A JP 2005004991 A JP2005004991 A JP 2005004991A
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Inventor
Yasushi Motoyama
靖 本山
Yukio Murakami
由紀夫 村上
Keiji Ishii
啓二 石井
Yoshikuni Hirano
芳邦 平野
Daiji Noda
大二 野田
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Japan Broadcasting Corp
Original Assignee
Nippon Hoso Kyokai NHK
Japan Broadcasting Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve light emitting efficiency while suppressing driving voltage of a plasma display panel. <P>SOLUTION: The plasma display panel is provided with a first substrate, a second substrate facing the first substrate, a first electrode formed on the side of the first substrate facing the second substrate, a second electrode formed on the side of the second substrate facing the first substrate, a first dielectric layer formed so that the first electrode is covered, a second dielectric layer formed so that the second electrode is covered, a protective film formed so that the first dielectric layer is covered, and a discharging space with sealing gas sealed inside between the protective layer and the second dielectric layer. The protective film comprises ZnO. Thus, the driving voltage of PDP10 is suppressed to be low and high light emitting efficiency is achieved. Therefore, consumed power of PDP is suppressed and high luminance and high precision can be achieved. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel、以下文中ではPDPと表記する)に係り、更には保護膜に覆われた電極を有するPDPに関する。
【0002】
【従来の技術】
PDPは、大画面化が容易なこと、表示品質がよいこと、また、液晶ディスプレイと比べた場合に視野角が広いなどの特長があり、薄型化が可能なことから例えば壁掛け型ディスプレイなどの大型表示装置として用いられるようになってきている。
【0003】
PDPの動作原理の概要は、表示セルと呼ばれる、例えば希ガスからなる封入ガスが封入された放電空間で放電を起こすことによって希ガスの粒子(分子、原子)を励起し、その光学的遷移によって生じる紫外線によって蛍光体を励起し、当該蛍光体からの可視光を表示発光に利用するものである。
【0004】
図1(A)は、従来の交流(AC)駆動型のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図1(B)にはそのA−A断面図を示す。また図2には、図1(A),(B)に示した表示セルを複数個並べたAC駆動型のカラーPDP100の斜視図を示す。
【0005】
図1(A)、(B)および図2を参照するに、前記PDP100では、放電空間110を挟んで、ガラス基板からなる前面板101と背面板105が対向する形で配置されている。前記前面板101上の、前記背面板105に対向する側には表示用電極102が配置され、当該表示用電極102は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層103に覆われ、さらに当該誘電体層103が、MgOからなる保護膜104で覆われた構造としている。前記表示用電極102は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。
【0006】
一方、前記背面板105上の、前記前面板101に対向する側には前記表示用電極102に直交する帯状の複数のデータ電極106が設けられており、これら複数のデータ電極106は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極106は誘電体層107によって覆われている。
【0007】
さらに複数のデータ電極106を分離し、かつ放電空間110を形成する隔壁108が前記誘電体層107上に設けられている。また前記データ電極106上の前記誘電体層107の上から前記隔壁108の側面にわたって、蛍光体層109が形成されている。図3に示すPDP100の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁108を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体109が順に配置された構造になっている。
【0008】
前記放電空間110には不活性ガスからなる封入ガスが封入され、前記封入ガスは、例えばHe,Ne,およびArのうち、少なくともひとつと、Xeの混合ガスからなる。
【0009】
このような構造の前記PDP100において、前記誘電体層103および107は、前記表示電極102および前記データ電極106に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。
【0010】
また、図2には、例として1表示セルを3つ組み合わせた形状を示しているが、表示セルの個数は任意であり、実際にはさらに多数の表示セルを組み合わせて大型表示装置であるPDPを形成する。
【0011】
前記PDP100の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極102(走査電極および維持電極間)のリセット放電を全てのセルの前記放電空間110で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極102の走査電極の走査にあわせて前記データ電極106に選択的に電圧を印加して前記放電空間110においてアドレス放電を起こす。
【0012】
これにより、前記表示用電極102上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極102に印加した際に、前記放電空間110での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間110での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。
【0013】
このように、前記PDP100では、前記放電空間110における放電を制御することで、画像表示を行っている。
【0014】
しかし、近年の高性能化したPDPにおいては更なる高輝度化や高精細化が要求されており、例えば、PDPの高輝度化や高精細化を実現するために、図1(A),(B)に示した前記放電空間110に封入される封入ガスに添加されたXeの分圧を増加させる方法が提案されている。(例えば非特許文献1参照。)
しかし、このような高輝度化や高精細化を実現するために発光効率を上げようとすると、消費電力が増大してしまうという問題が生じるため、例えば前記PDP100の構造において、前記保護膜107に用いられているMgOのバンドギャップ中に局在準位を形成することにより二次電子放出利得を高めて、放電開始電圧を下げて駆動電圧を低下させる方法が提案されている。(例えば特許文献1および特許文献2参照。)
【非特許文献1】
G.Oversluizen et al,SID int. Symp. Dig. Tech. Papers, pp848−851,VOL, XXXIII, May 2002
【0015】
【非特許文献2】
Y.Motoyama etal,Proc.Int.Display Workshop ’00,pp.799−802,Dec.2000
【0016】
【特許文献1】
特開平8−236028号公報
【0017】
【特許文献2】
特開平11−339665号公報
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、PDPの放電空間に封入される封入ガスに添加されたXeの分圧を増加させると、発光効率が上がって高輝度化や高精細化が実現する反面、駆動電圧も増大してしまい、駆動回路のコスト増大や消費電力の増大といった問題が生じてしまう。
【0019】
図3は、図2に示したPDP100において、前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比を変更した場合の、PDPの駆動維持電圧の変化を示したものである。図3を参照するに、Xeの分圧を増加させるに従い、駆動維持電圧が増大していることがわかる。従来、PDPの駆動回路の耐圧の制限より、前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比は5〜6%程度で用いられており、Xeの分圧を増加させることで発光効率を改善して高輝度化や高精細化を行うことは困難であった。
【0020】
また、前記保護膜107に用いられているMgOのバンドギャップ中に局在準位を形成することにより二次電子放出利得を高めて、放電開始電圧を下げて駆動電圧を低下させる方法を用いた場合でも、図3に示したXeの分圧の増加に対する電圧の上昇を効果的に抑制するには至っていない。
【0021】
そこで、本発明では上記の問題を解決するために有用なPDPを提供することを目的としている。
【0022】
本発明の具体的な課題は、発光効率を高めて高輝度化や高精細化を実現し、かつ駆動電圧を抑制して低消費電力であるPDPを提供することである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記の課題を解決するために、第1の基板と、前記第1の基板と対向する第2の基板と、前記第1の基板の前記第2の基板に面した側に形成された第1の電極と、前記第2の基板の前記第1の基板に面した側に形成された第2の電極と、前記第1の電極を覆うように形成された第1の誘電体層と、前記第2の電極を覆うように形成された第2の誘電体層と、前記第1の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、前記保護膜と前記第2の誘電体層の間に形成された、封入ガスが封入された放電空間とを設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜はZnOからなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルにより、解決する。
【0024】
本発明によれば、前記第1の電極が前記第1の誘電体層に覆われ、さらに前記第1の誘電体層が、ZnOからなる保護膜に覆われた構造になっているため、前記放電空間での放電開始電圧を低くしてPDPの駆動電圧を低くすることができる。ZnOは、封入ガスのイオンや励起粒子(原子や分子)がZnOに入射する際に、ZnO表面から二次電子が放出されやすく、すなわち二次電子利得γが大きい。PDPの駆動電圧を決定づける放電開始電圧は、前記二次電子利得γに大きく依存し、ZnOはこの値が大きいために放電開始電圧を低くすることができ、発光効率を高めて高輝度化、高精細化を実現しながら、PDPの駆動電圧を低く抑えることが可能となる。
【0025】
また、上記の場合、前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比を10%以上とするとより好適である。この場合には発光効率が増大して、高輝度化、高精細化が可能となり、さらに従来の場合に比べて駆動電圧の抑制の効果が特に大きくなる。
【0026】
また、上記の場合、前記保護膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長し、(0001)面に優先配向しているとより好適である。この場合、前記放電空間で放電が起こった場合の、前記保護膜のスパッタリング耐性が向上する。
【0027】
【発明の実施の形態】
[第1実施例]
次に、本発明の実施の形態に関して、図面に基づき以下に説明する。
【0028】
図4(A)は、本発明の第1実施例による交流(AC)駆動型のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図4(B)にはそのB−B断面図を示す。また図5には、図4(A),(B)に示した表示セルを複数個並べたAC駆動型のカラーPDP10の斜視図を示す。
【0029】
図4(A)、(B)および図5を参照するに、前記PDP10では、放電空間20を挟んで、ガラス基板からなる前面板11と背面板15が対向する形で配置されている。前記前面板11上の、前記背面板15に対向する側には表示用電極12が配置され、当該表示用電極12は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層13に覆われ、さらに当該誘電体層13が、ZnOからなる保護膜14で覆われた構造としている。前記表示用電極12は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。
【0030】
本実施例においては、前記表示用電極12が、ZnOからなる前記保護膜14で覆われた構造となっており、当該保護膜14が前記放電空間20に面した構造になっている。このため、前記放電空間20での放電開始電圧を低くして、PDPの駆動電圧を低く抑えることが可能となる。このような、保護膜にZnOを用いた場合の効果の詳細に関しては後述する。
【0031】
また、前記背面板15上の、前記前面板11に対向する側には前記表示用電極12に直交する帯状の複数のデータ電極16が設けられており、これら複数のデータ電極16は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極16は誘電体層17によって覆われている。
【0032】
さらに複数のデータ電極16を分離し、かつ放電空間20を形成する隔壁18が、前記データ電極16と略平行に前記誘電体層17上に設けられている。また前記データ電極16上の前記誘電体層17の上から前記隔壁18の側面にわたって、蛍光体層19が形成されている。図5に示すPDP10の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁18を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体19が順に配置された構造になっている。
【0033】
前記放電空間11には不活性ガスからなる封入ガスが封入され、前記封入ガスは、例えばHe,Ne,およびArのうち、少なくともひとつと、Xeの混合ガスからなる。また、PDPの発光効率は前記封入ガスに大きく依存し、例えば前記封入ガスのXeの混合比、または前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比を増加させると発光効率が向上して、PDPの高輝度化、高精細化が可能となる。
【0034】
しかし従来、前記封入ガス中のXeの分圧を増加させると、PDPの駆動電圧が増大する傾向にあり、Xeの分圧を増加させるのは困難であった。しかし、本実施例では前記保護膜14にZnOからなる層を用いたことで、PDPの駆動電圧が低くなり、さらに前記封入ガス中のXeの分圧を増加させた場合の駆動電圧の増加量を抑制する効果を奏するため、Xeの分圧を増加させて発光効率を向上させることが可能となった。
【0035】
また、前記PDP10において、前記誘電体層13および17は、前記表示電極12および前記データ電極16に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。
【0036】
なお、図5には、例として1表示セルを3つ組み合わせた形状を示しているが、表示セルの個数は任意であり、実際にはさらに多数の表示セルを組み合わせて大型表示装置であるPDPを形成する。
【0037】
前記PDP10の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極12(走査電極および維持電極間)のリセット放電を全てのセルの前記放電空間20で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極12の走査電極の走査にあわせて前記データ電極16に選択的に電圧を印加して前記放電空間20においてアドレス放電を起こす。
【0038】
これにより、前記表示用電極12上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極12に印加した際に、前記放電空間20での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間20での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。
【0039】
このように、前記PDP10では、前記放電空間20における放電を制御することで、画像表示を行っており、前記放電空間20での放電開始電圧を低下させることが前記PDP10の駆動電圧を低下させることになる。
【0040】
本実施例では、前記前記表示用電極12が、ZnOからなる前記保護膜14で覆われた構造となっており、前記保護膜14が前記放電空間20に面した構造になっているが、前記放電空間20での放電特性、放電開始電圧などは前記保護膜14表面から放出される二次電子に大きく依存する。
【0041】
例えば、放電開始電圧は、前記封入ガスのイオンや励起粒子が前記保護膜14に入射する際に、前記保護膜14の表面から放出される二次電子の出やすさである二次電子利得γに大きく依存し、当該二次電子利得γが大きいほど、放電開始電圧が低くなる。この二次電子利得γは、おもに前記保護膜14を構成する材料のバンド構造と入射粒子のポテンシャルエネルギーによってきまる値である。
【0042】
例えば前記保護膜14の材料としては、従来、比較的二次電子利得γが大きいMgOが広く用いられてきた。例えば、MgOの、Neイオンに対する二次電子利得γの値については、ZrO、Al、SiOなどの材料に比べて高い値を示していることが知られている。(Y.Motoyama et al, Proc. Int.Display Workshops ’00, pp.799−802,Dec.2000)
しかし、例えば前記PDP10のように、励起されたXeから放出される紫外線を利用している現状のPDPの場合、前記保護膜14に入射する粒子のうちで最も多いものはXeイオンである。そのため、Xeイオンが前記保護膜14に入射した場合に、二次電子が放出される量が多い場合に最も効率的に放電電圧が低下する。
【0043】
例えば、比較的二次電子利得γが大きいMgOの場合であっても、MgOにXeイオンが入射した場合には二次電子は放出されず、二次電子利得は0に近い値である。これは、以下の理由による。
【0044】
まず、イオンにより、保護膜から二次電子が放出されるための条件は、保護膜への入射イオンの電離エネルギーをEi、保護膜の材料のバンドギャップをEg、電子親和力をxとしたとき、条件1であるEi>2(Eg+x)で近似できる。Xeの電離エネルギーEiは、12.13eVであるが、保護膜にMgOを用いた場合には、2(Eg+x)=15.3eVとなるために前記条件1を満たさず、二次電子は放出されない。そのため、例えば、MgO材料に局在準位を持たせて当該局在準位から二次電子を出す方法が提案されているが、MgOが、前記条件1を満たさない材料であるため、困難である。
【0045】
そのため、前記条件1を満たす保護膜の材料を用いることが必要である。例えば、BaOを用いた場合には、2(Eg+x)=10.2eVとなり、BaOは、前記条件1を満たす材料である。
【0046】
しかし、BaOを形成する工程を考えると、BaCOを800℃以上の温度で熱分解してBaOを形成する必要があるため、600℃以下にする必要があるPDPの製造工程で用いることは困難である。
【0047】
そこで、本発明の発明者は、前記条件1において、x=2.08eV、Eg=3.3eVであって前記条件1を満たし、Xeイオンの入射に対して二次電子を放出する材料として、ZnOを見出した。
【0048】
すなわち、図5に示した前記PDP10において、前記保護膜14にZnOを用いたことで、Xeイオンに対する二次電子利得γが大きく、前記放電空間20での放電電圧が低下し、PDP10の駆動電圧を低く抑えて、PDPの低消費電力化を実現できる。
【0049】
このように前記空間20での放電開始電圧の低下の効果は、特に、前記封入ガスのXeの分圧を増加させた場合に大きく、例えば前記封入ガスのXe分圧を10%以上とした場合に顕著になる。
【0050】
前記PDP10は、放電によって励起されたXeから放出される紫外線を利用して画像を表示しているため、前記封入ガスのXe分圧を増加させると、発光効率が増大し、高輝度化、高精細化が可能になる。従来は、Xeの分圧を増加させると、放電電圧が急速に増大するため、Xe分圧を増加させることは困難であった。
【0051】
本実施例においては、前記保護膜14にZnOを用いたことで前記放電空間20の放電開始電圧を低下させ、さらに、Xe分圧を増加させた場合の放電開始電圧の増大を抑制するため、従来用いることが困難であった、封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比が10%以上の封入ガスを用いることが可能となり、その結果、PDPの駆動電圧を抑制すると同時に、高輝度化、高精細化を可能とした。
【0052】
また、前記保護膜14は、前記放電空間20で放電が起こる際に形成されたイオンの衝突などにより、スパッタされ、当該保護膜14の表面がスパッタエッチングによって削られてしまう。
【0053】
そのため、前記保護膜14のスパッタリングによる損傷に起因する前記PDPの寿命もしくはメンテナンスサイクルを長くするため、前記保護膜14の、ZnOのスパッタリング耐性を大きくする、すなわち前記保護膜14がスパッタエッチングされる速度を小さくすることが重要である。
【0054】
本発明の発明者は、実験の結果、前記保護膜14を構成するZnO膜を形成する場合に、ZnO結晶の六方晶系のc軸が、ZnO膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ZnO膜が(0001)面に優先配向するように形成した場合、当該ZnO膜のスパッタリング耐性が大きいことが見出された。
【0055】
そのため、前記保護膜14であるZnO膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が、ZnO膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ZnO膜が(0001)面に優先配向するように形成することで、前記PDP10の前記保護膜14がスパッタエッチングされる速度が小さくなり、前記PDP10の寿命もしくはメンテナンスサイクルを長くすることが可能となった。
【0056】
次に、図4(A),(B)および図5に示した前記PDP10の製造方法について説明する。ただし以下文中、先に説明した部分には同一の参照符号を用いて、詳細な説明を省略する。
【0057】
まず、前面板11ガラス基板からなる前記前面板11上に、例えばITOまたはSnOなどからなる透明導電膜およびクロム(Cr)/銅(Cu)/Cr(クロム)からなる積層膜を、スパッタリング法によって成膜する。
【0058】
次に、前記透明導電膜および積層膜を、フォトリソグラフィの手法を用いて、それぞれ前記透明導電膜を170μm、前記積層膜を55μmの帯状のパターンに形成し、前記表示用電極12とする。
【0059】
次に、前記表示用電極12が形成された前記前面板11上に、低融点ガラスペーストを印刷して乾燥させた後、焼成することによって、膜厚略20μmの前記誘電体層3を形成する。
【0060】
次に、前記誘電体層3を被覆するように、RFマグネトロンスパッタ法を用いて、ZnOからなる前記保護膜14を、厚さが0.8μmとなるように形成する。また、前記保護膜14を形成する方法としては、前記RFマグネトロンスパッタ法の他にも、例えばMBE法(Molecular Beam Epitaxy)、CVD法(Chemical Vapor Deposition)、PDL法(Pulsed Laser Deposition)などの方法を用いることが可能である。
【0061】
また、前記したように、前記保護膜14のスパッタリング耐性を高めるために、ZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長したc軸配向をを優先的に成長させるため、スパッタリング蒸着を、例えば、スパッタ圧力1〜10Pa、Arと酸素の混合ガス中の酸素濃度10〜50%、基板温度150〜500℃、蒸着レート1.0μm/hrの条件で行う。
【0062】
次に、ガラス基板からなる前記背面板15上の所望の位置に、感光性銀ペーストをフォトリソグラフィの手法を用いて帯状パターンに形成して、銀からなる前記データ電極16を形成し、さらに当該データ電極16を覆うように前記誘電体層17を形成した。
【0063】
さらに、前記誘電体層17上には、幅60μm、高さ130μmの前記隔壁8を形成し、前記蛍光体19を前記隔壁18および前記誘電体層17の表面上に塗布した。前記蛍光体9は、例えば、赤色発光体((YGd1−x)BO:Eu3+)、緑色発光体(BaAl1219:Mn)および青色発光体(BaMgAl1423:Eu2+)を塗り分けるようにする。
【0064】
次に、前記前面板11と背面板15を、前記表示用電極12とデータ電極16が直交するように張り合わせ、周辺部をガラスフリットを用いて封着し、前記放電空間20を排気した後に、当該放電空間20に、NeにXeを混合した封入ガスを、前記放電空間の圧力が5kPa〜70kPaとなるように封入する。この場合、Xeの分圧は、封入ガスの全圧に対して10%以上となるようにし、またNeを混合せずに、封入ガスとしてはXeのみを用いてもよい。
【0065】
次に、図6には、前記PDP10において、前記封入ガスのXeの分圧を増加させた場合の、PDPの駆動維持電圧を測定した結果を示す。また、比較のために、前記保護膜14に、従来用いられていたMgOからなる膜を0.8μm形成した場合の駆動維持電圧の結果も併記する。この場合の封入ガスの全圧は67kPaとした。なお、PDPの駆動維持電圧は前記放電空間の放電開始電圧に強く依存し、PDPの駆動維持電圧の増減の割合は、当該放電開始電圧の増減の割合を示している。
【0066】
図6を参照するに、前記保護膜14にMgOからなる膜を用いた場合には、前記保護膜14にZnOからなる膜を用いた場合に比べて駆動維持電圧が高く、特に前記封入ガス中のXeの分圧を増加させると、駆動維持電圧が著しく増大する傾向にある。
【0067】
一方、本実施例における、前記保護膜14にZnOかららなる膜を用いたPDP10においては、前記保護膜14にMgOからなる膜を用いた場合にくらべて駆動維持電圧が低いことがわかる。特に、前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比が10%以上となる領域において、駆動維持電圧を抑制する効果が大きい。
【0068】
これは、前記したように、MgOに比べてZnOのXeイオンに対する二次電子利得γが大きいため、Xe分圧が高くなるほど、ZnOを用いた場合の放電開始電圧を低く抑える効果が大きくなり、そのためにPDPの駆動維持電圧を低く抑える効果が大きくなるためと考えられる。
【0069】
このような効果を得るために、前記封入ガスの全圧は、5kPa〜70kPaの範囲とすることが好ましい。
【0070】
また、現状のPDPでは、駆動回路の耐圧条件が略250Vであり、本実施例においては、従来用いることが困難であった、封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比が10%以上の封入ガスを用いることが可能となった。また、封入ガスをNeとXeの混合ガスではなく、Xeからなるガスにした場合にも、駆動維持電圧を250V以下とすることが可能となった。
【0071】
そのため、PDPの発光効率を増大させることが可能となり、PDPの駆動電圧を低く抑えながら、高輝度化、高精細化が可能となった。
【0072】
また、本実施例では、前記保護膜14にZnOを用いる場合について説明したが、本発明の効果はこれに限定されるものではなく、例えば、Cu、Mn、Liなどの金属を微量に含んだZnO系化合物を前記保護膜14に用いても、本実施例に記述した場合と同様の効果を奏する。
【0073】
例えば、RFマグネトロンスパッタリング法でZnOを形成する場合に、Cuを同時にスパッタリングすることでCuをZnO膜中に混合し、Cuの原子量比が0.5at.%となるようにして形成したZnO系化合物の場合、抵抗率(Ω・cm)は1×10 〜1×10 程度の値となり、高い絶縁性を有するため、AC駆動型のPDPの保護膜に用いるのに適している。
【0074】
さらに、本実施例においてはAC駆動型のPDPの保護膜としてZnOからなる膜を用いたが、これはAC駆動型に限られるものではなく、DC駆動型、またはAC/DCハイブリッド駆動型においても、陰極や陽極を被覆する保護膜として用いることにより、駆動電圧が低く、高効率なPDPを形成することができる。
【0075】
【発明の効果】
本発明によれば、PDPの駆動電圧を低く抑えると共に、高い発光効率を達成することが可能となり、PDPの消費電力を抑えて、高輝度化・高精細化を達成することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(A)は、従来のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、(B)はそのA−A断面図である。
【図2】図1の表示セルを複数個並べた従来のAC駆動型のカラーPDPの断面斜視図である。
【図3】従来のPDPの、駆動維持電圧のXe分圧依存を示す図である。
【図4】図4(A)は、本発明のPDPの構造の1表示セルの断面図を模式的に示したものであり、(B)はそのB−B断面図である。
【図5】図4の表示セルを複数個並べた本発明のAC駆動型のカラーPDPの断面斜視図である。
【図6】本発明の実施例に係る、PDPの、駆動維持電圧のXe分圧依存の測定結果である。
【符号の説明】
10,100 PDP
11,111 前面板
12,102 表示用電極
13,103 誘電体層
14,104 保護膜
16,106 データ電極
17,107 誘電体層
18,108 隔壁
19,109 蛍光体
20,110 放電空間
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter referred to as “PDP”), and more particularly to a PDP having an electrode covered with a protective film.
[0002]
[Prior art]
PDP has features such as easy screen enlargement, good display quality, and wide viewing angle compared to liquid crystal display, and can be thinned, so it can be made large, such as a wall-mounted display. It has come to be used as a display device.
[0003]
The outline of the operation principle of the PDP is called a display cell, which excites rare gas particles (molecules, atoms) by causing discharge in a discharge space in which a sealed gas composed of a rare gas, for example, is sealed. The phosphor is excited by the generated ultraviolet light, and visible light from the phosphor is used for display light emission.
[0004]
FIG. 1A schematically shows a cross-sectional view of one display cell having a structure of a conventional alternating current (AC) drive type PDP, and FIG. Show. FIG. 2 is a perspective view of an AC drive type color PDP 100 in which a plurality of the display cells shown in FIGS. 1A and 1B are arranged.
[0005]
Referring to FIGS. 1A, 1B, and 2, in the PDP 100, a front plate 101 made of a glass substrate and a back plate 105 are arranged to face each other with a discharge space 110 interposed therebetween. A display electrode 102 is disposed on the front plate 101 on the side facing the back plate 105. The display electrode 102 is covered with a dielectric layer 103 made of, for example, lead oxide glass, and the like. The dielectric layer 103 is covered with a protective film 104 made of MgO. The display electrode 102 is configured by arranging a pair of band-like scanning electrodes and sustaining electrodes in parallel with each other.
[0006]
On the other hand, a plurality of strip-shaped data electrodes 106 orthogonal to the display electrode 102 are provided on the back plate 105 on the side facing the front plate 101, and the plurality of data electrodes 106 are parallel to each other. And each data electrode 106 is covered by a dielectric layer 107.
[0007]
Further, a partition wall 108 for separating the plurality of data electrodes 106 and forming a discharge space 110 is provided on the dielectric layer 107. Further, a phosphor layer 109 is formed from the dielectric layer 107 on the data electrode 106 to the side surface of the partition wall 108. The PDP 100 shown in FIG. 3 has a structure in which, for example, red, green, and blue phosphors 109 are sequentially arranged with the partition wall 108 interposed therebetween in order to enable color display.
[0008]
The discharge space 110 is filled with a filled gas made of an inert gas, and the filled gas is made of, for example, a mixed gas of at least one of He, Ne, and Ar and Xe.
[0009]
In the PDP 100 having such a structure, the dielectric layers 103 and 107 are provided for accumulating charges generated by applying a voltage to the display electrode 102 and the data electrode 106.
[0010]
In addition, FIG. 2 shows a shape in which three display cells are combined as an example, but the number of display cells is arbitrary, and actually a PDP that is a large display device by combining a larger number of display cells. Form.
[0011]
The operating principle of the PDP 100 is as follows. First, the reset discharge of the display electrode 102 (between the scan electrode and the sustain electrode) is performed in the discharge space 110 of all the cells, the wall charge state is made the same, and then the scan electrode of the display electrode 102 is scanned. At the same time, a voltage is selectively applied to the data electrode 106 to cause an address discharge in the discharge space 110.
[0012]
As a result, wall charges are selectively formed on the display electrode 102. Therefore, when a discharge sustain voltage is next applied to the display electrode 102, it is possible to control whether or not a discharge is generated in the discharge space 110. Depending on the number of sustain discharges in the discharge space 110, an image can be obtained. An image can be displayed by controlling display gradation.
[0013]
Thus, the PDP 100 performs image display by controlling the discharge in the discharge space 110.
[0014]
However, in recent years, high-performance PDPs are required to have higher brightness and higher definition. For example, in order to realize higher brightness and higher definition of PDPs, FIG. There has been proposed a method for increasing the partial pressure of Xe added to the sealed gas sealed in the discharge space 110 shown in B). (For example, refer nonpatent literature 1.)
However, if the light emission efficiency is increased in order to achieve such high brightness and high definition, there is a problem that power consumption increases. For example, in the structure of the PDP 100, the protective film 107 is formed on the protective film 107. A method has been proposed in which a secondary electron emission gain is increased by forming a localized level in the band gap of MgO used, and a driving voltage is lowered by lowering a discharge start voltage. (For example, refer to Patent Document 1 and Patent Document 2.)
[Non-Patent Document 1]
G. Overluizen et al, SID int. Symp. Dig. Tech. Papers, pp 848-851, VOL, XXXIII, May 2002
[0015]
[Non-Patent Document 2]
Y. Motoyama et al, Proc. Int. Display Worksshop '00, pp. 799-802, Dec. 2000
[0016]
[Patent Document 1]
JP-A-8-236028
[0017]
[Patent Document 2]
JP 11-339665 A
[0018]
[Problems to be solved by the invention]
In general, increasing the partial pressure of Xe added to the gas sealed in the PDP discharge space increases the luminous efficiency and increases the brightness and definition, but also increases the drive voltage. As a result, problems such as an increase in cost of the drive circuit and an increase in power consumption occur.
[0019]
FIG. 3 shows changes in the drive sustaining voltage of the PDP when the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the sealed gas is changed in the PDP 100 shown in FIG. Referring to FIG. 3, it can be seen that the drive sustain voltage increases as the partial pressure of Xe is increased. Conventionally, the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the enclosed gas is about 5 to 6% due to the limitation of the breakdown voltage of the driving circuit of the PDP, and the luminous efficiency is improved by increasing the partial pressure of Xe. Therefore, it has been difficult to achieve high brightness and high definition.
[0020]
In addition, a method of increasing the secondary electron emission gain by forming a localized level in the band gap of MgO used for the protective film 107 and lowering the discharge starting voltage to lower the driving voltage was used. Even in this case, the increase in the voltage with respect to the increase in the partial pressure of Xe shown in FIG. 3 has not been effectively suppressed.
[0021]
Accordingly, an object of the present invention is to provide a PDP useful for solving the above problems.
[0022]
A specific problem of the present invention is to provide a PDP that achieves higher luminance and higher definition by increasing luminous efficiency and suppresses driving voltage and has low power consumption.
[0023]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a first substrate, a second substrate facing the first substrate, and a side of the first substrate facing the second substrate are formed. The first electrode formed, the second electrode formed on the second substrate facing the first substrate, and the first dielectric formed so as to cover the first electrode A layer, a second dielectric layer formed to cover the second electrode, a protective film formed to cover the first dielectric layer, the protective film, and the second dielectric This is solved by a plasma display panel provided with a discharge space filled with a sealing gas formed between body layers, wherein the protective film is made of ZnO.
[0024]
According to the present invention, the first electrode is covered with the first dielectric layer, and the first dielectric layer is covered with a protective film made of ZnO. The drive voltage of the PDP can be lowered by lowering the discharge start voltage in the discharge space. When ZnO ions or excited particles (atoms and molecules) enter ZnO, secondary electrons are easily emitted from the ZnO surface, that is, the secondary electron gain γ is large. The discharge start voltage that determines the driving voltage of the PDP is highly dependent on the secondary electron gain γ. Since this value is large, ZnO can reduce the discharge start voltage, and the luminous efficiency is increased to increase the brightness and increase the brightness. It is possible to keep the driving voltage of the PDP low while realizing finer.
[0025]
In the above case, it is more preferable that the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the sealed gas is 10% or more. In this case, the light emission efficiency is increased, so that high brightness and high definition can be achieved, and the effect of suppressing the drive voltage is particularly great as compared with the conventional case.
[0026]
In the above case, it is more preferable that the hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the protective film grows perpendicularly to the substrate and is preferentially oriented in the (0001) plane. In this case, the sputtering resistance of the protective film is improved when a discharge occurs in the discharge space.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
[First embodiment]
Next, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0028]
FIG. 4A schematically shows a cross-sectional view of one display cell of the structure of an alternating current (AC) drive type PDP according to the first embodiment of the present invention, and FIG. BB sectional drawing is shown. FIG. 5 is a perspective view of an AC drive type color PDP 10 in which a plurality of the display cells shown in FIGS. 4A and 4B are arranged.
[0029]
4A, 4B and 5, in the PDP 10, the front plate 11 and the back plate 15 made of a glass substrate are arranged to face each other with the discharge space 20 in between. A display electrode 12 is disposed on the front plate 11 on the side facing the back plate 15. The display electrode 12 is covered with a dielectric layer 13 made of, for example, lead oxide glass, and the like. The dielectric layer 13 is covered with a protective film 14 made of ZnO. The display electrode 12 is configured by arranging a pair of strip-like scan electrodes and sustain electrodes in parallel with each other.
[0030]
In this embodiment, the display electrode 12 is covered with the protective film 14 made of ZnO, and the protective film 14 has a structure facing the discharge space 20. For this reason, the discharge start voltage in the discharge space 20 can be lowered, and the driving voltage of the PDP can be kept low. Details of the effect of using ZnO for the protective film will be described later.
[0031]
A plurality of strip-shaped data electrodes 16 orthogonal to the display electrodes 12 are provided on the back plate 15 on the side facing the front plate 11, and the plurality of data electrodes 16 are parallel to each other. The data electrodes 16 are arranged and covered with a dielectric layer 17.
[0032]
Further, a partition wall 18 separating the plurality of data electrodes 16 and forming the discharge space 20 is provided on the dielectric layer 17 substantially in parallel with the data electrodes 16. A phosphor layer 19 is formed from the dielectric layer 17 on the data electrode 16 to the side surface of the partition wall 18. The PDP 10 shown in FIG. 5 has a structure in which, for example, red, green, and blue phosphors 19 are sequentially arranged with the partition wall 18 interposed therebetween in order to enable color display.
[0033]
The discharge space 11 is filled with a filling gas made of an inert gas, and the filling gas is made of, for example, a mixed gas of at least one of He, Ne, and Ar and Xe. In addition, the luminous efficiency of the PDP greatly depends on the enclosed gas. For example, increasing the Xe mixing ratio of the enclosed gas or the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the enclosed gas improves the luminous efficiency. It is possible to increase the brightness and definition of the PDP.
[0034]
However, conventionally, when the partial pressure of Xe in the sealed gas is increased, the driving voltage of the PDP tends to increase, and it is difficult to increase the partial pressure of Xe. However, in this embodiment, since the layer made of ZnO is used for the protective film 14, the drive voltage of the PDP is lowered, and the drive voltage increase amount when the partial pressure of Xe in the sealed gas is further increased. In order to achieve the effect of suppressing the emission, it is possible to increase the partial pressure of Xe to improve the light emission efficiency.
[0035]
In the PDP 10, the dielectric layers 13 and 17 are provided for accumulating charges generated by applying a voltage to the display electrode 12 and the data electrode 16.
[0036]
FIG. 5 shows a shape in which three display cells are combined as an example. However, the number of display cells is arbitrary, and actually a PDP that is a large display device by combining a larger number of display cells. Form.
[0037]
The operation principle of the PDP 10 is as follows. First, the reset discharge of the display electrode 12 (between the scan electrode and the sustain electrode) is performed in the discharge space 20 of all the cells, the wall charge state is made the same, and then the scan electrode of the display electrode 12 is scanned. At the same time, a voltage is selectively applied to the data electrode 16 to cause an address discharge in the discharge space 20.
[0038]
As a result, wall charges are selectively formed on the display electrode 12. Therefore, when a discharge sustain voltage is next applied to the display electrode 12, it is possible to control whether or not a discharge is generated in the discharge space 20, and depending on the number of sustain discharges in the discharge space 20, an image can be obtained. An image can be displayed by controlling display gradation.
[0039]
As described above, in the PDP 10, image display is performed by controlling the discharge in the discharge space 20, and reducing the discharge start voltage in the discharge space 20 reduces the drive voltage of the PDP 10. become.
[0040]
In this embodiment, the display electrode 12 has a structure covered with the protective film 14 made of ZnO, and the protective film 14 has a structure facing the discharge space 20. The discharge characteristics in the discharge space 20, the discharge start voltage, and the like largely depend on secondary electrons emitted from the surface of the protective film 14.
[0041]
For example, the discharge start voltage is a secondary electron gain γ that is the ease with which secondary electrons emitted from the surface of the protective film 14 are emitted when ions or excited particles of the sealed gas enter the protective film 14. The discharge start voltage decreases as the secondary electron gain γ increases. The secondary electron gain γ is a value determined mainly by the band structure of the material constituting the protective film 14 and the potential energy of the incident particles.
[0042]
For example, MgO having a relatively large secondary electron gain γ has been widely used as a material for the protective film 14. For example, regarding the value of secondary electron gain γ with respect to Ne ions of MgO, ZrO2, Al2O3, SiO2It is known that it shows a high value compared to such materials. (Y. Motoyama et al, Proc. Int. Display Worksshop '00, pp. 799-802, Dec. 2000)
However, in the case of a current PDP that utilizes ultraviolet rays emitted from excited Xe, such as the PDP 10, the largest number of particles incident on the protective film 14 are Xe ions. Therefore, when Xe ions are incident on the protective film 14, the discharge voltage is most efficiently lowered when the amount of secondary electrons emitted is large.
[0043]
For example, even in the case of MgO having a relatively large secondary electron gain γ, when Xe ions are incident on MgO, secondary electrons are not emitted, and the secondary electron gain is close to zero. This is due to the following reason.
[0044]
First, the conditions for the secondary electrons to be emitted from the protective film by ions are as follows: Ei is the ionization energy of ions incident on the protective film, Eg is the band gap of the protective film material, and x is the electron affinity. It can be approximated by Ei> 2 (Eg + x) which is condition 1. The ionization energy Ei of Xe is 12.13 eV. However, when MgO is used for the protective film, 2 (Eg + x) = 15.3 eV, so that the condition 1 is not satisfied and secondary electrons are not emitted. . Therefore, for example, a method has been proposed in which the MgO material has a localized level and emits secondary electrons from the localized level. However, since MgO is a material that does not satisfy the condition 1, it is difficult. is there.
[0045]
Therefore, it is necessary to use a material for the protective film that satisfies the above condition 1. For example, when BaO is used, 2 (Eg + x) = 10.2 eV, and BaO is a material that satisfies the above condition 1.
[0046]
However, considering the process of forming BaO, BaCO3Since it is necessary to form BaO by thermally decomposing at a temperature of 800 ° C. or higher, it is difficult to use it in a PDP manufacturing process that needs to be set to 600 ° C. or lower.
[0047]
Therefore, the inventor of the present invention, as the material that satisfies x in the condition 1, x = 2.08 eV, Eg = 3.3 eV, satisfies the condition 1, and emits secondary electrons upon incidence of Xe ions, ZnO was found.
[0048]
That is, in the PDP 10 shown in FIG. 5, by using ZnO for the protective film 14, the secondary electron gain γ with respect to Xe ions is large, the discharge voltage in the discharge space 20 is lowered, and the driving voltage of the PDP 10 is reduced. It is possible to reduce the power consumption of the PDP while keeping the above low.
[0049]
Thus, the effect of lowering the discharge start voltage in the space 20 is particularly great when the Xe partial pressure of the sealed gas is increased, for example, when the Xe partial pressure of the sealed gas is set to 10% or more. Becomes prominent.
[0050]
Since the PDP 10 displays an image using ultraviolet rays emitted from Xe excited by discharge, increasing the Xe partial pressure of the sealed gas increases the luminous efficiency, increasing the brightness, Refinement becomes possible. Conventionally, when the partial pressure of Xe is increased, the discharge voltage increases rapidly, so it is difficult to increase the Xe partial pressure.
[0051]
In this embodiment, the use of ZnO for the protective film 14 reduces the discharge start voltage of the discharge space 20, and further suppresses the increase in the discharge start voltage when the Xe partial pressure is increased. It is possible to use a sealed gas having a ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the sealed gas, which has been difficult to use in the past, of 10% or more. High definition is possible.
[0052]
Further, the protective film 14 is sputtered due to collision of ions formed when a discharge occurs in the discharge space 20, and the surface of the protective film 14 is scraped by sputter etching.
[0053]
Therefore, in order to prolong the life or maintenance cycle of the PDP due to damage due to sputtering of the protective film 14, the sputtering resistance of the protective film 14 is increased, that is, the speed at which the protective film 14 is sputter etched. It is important to reduce the size.
[0054]
As a result of experiments, the inventors of the present invention have shown that when forming a ZnO film constituting the protective film 14, the hexagonal c-axis of the ZnO crystal grows perpendicularly to the plane on which the ZnO film is formed. It was found that when the ZnO film was formed so as to be preferentially oriented in the (0001) plane with the above-described orientation, the sputtering resistance of the ZnO film was high.
[0055]
Therefore, the hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the ZnO film as the protective film 14 is oriented so that it grows perpendicular to the surface on which the ZnO film is formed, and the ZnO film is preferentially oriented on the (0001) plane. By forming in this way, the speed at which the protective film 14 of the PDP 10 is sputter-etched is reduced, and the life or maintenance cycle of the PDP 10 can be extended.
[0056]
Next, a method for manufacturing the PDP 10 shown in FIGS. 4A and 4B and FIG. 5 will be described. However, in the following text, the same reference numerals are used for the parts described above, and detailed description is omitted.
[0057]
First, on the front plate 11 made of the front plate 11 glass substrate, for example, ITO or SnO2A transparent conductive film made of, for example, and a laminated film made of chromium (Cr) / copper (Cu) / Cr (chromium) are formed by sputtering.
[0058]
Next, the transparent conductive film and the laminated film are formed into a strip-like pattern with a thickness of 170 μm and the laminated film of 55 μm, respectively, using a photolithography technique, and the display electrode 12 is obtained.
[0059]
Next, a low melting point glass paste is printed on the front plate 11 on which the display electrodes 12 are formed, dried, and then baked to form the dielectric layer 3 having a thickness of about 20 μm. .
[0060]
Next, the protective film 14 made of ZnO is formed to have a thickness of 0.8 μm by using an RF magnetron sputtering method so as to cover the dielectric layer 3. In addition to the RF magnetron sputtering method, a method such as MBE (Molecular Beam Epitaxy), CVD (Chemical Vapor Deposition), PDL (Pulsed Laser Deposition), or the like is used as a method for forming the protective film 14. Can be used.
[0061]
Further, as described above, in order to increase the sputtering resistance of the protective film 14, sputtering deposition is performed in order to preferentially grow the c-axis orientation in which the hexagonal c-axis of the ZnO crystal grows perpendicular to the substrate. For example, the sputtering pressure is 1 to 10 Pa, the oxygen concentration in the mixed gas of Ar and oxygen is 10 to 50%, the substrate temperature is 150 to 500 ° C., and the deposition rate is 1.0 μm / hr.
[0062]
Next, a photosensitive silver paste is formed in a strip pattern using a photolithography technique at a desired position on the back plate 15 made of a glass substrate, thereby forming the data electrode 16 made of silver. The dielectric layer 17 was formed so as to cover the data electrode 16.
[0063]
Further, the barrier rib 8 having a width of 60 μm and a height of 130 μm was formed on the dielectric layer 17, and the phosphor 19 was applied on the surfaces of the barrier rib 18 and the dielectric layer 17. The phosphor 9 is, for example, a red light emitter ((YxGd1-x) BO3: Eu3+), Green light emitter (BaAl12O19: Mn) and blue light emitter (BaMgAl)14O23: Eu2+).
[0064]
Next, the front plate 11 and the back plate 15 are bonded together so that the display electrode 12 and the data electrode 16 are orthogonal to each other, the periphery is sealed with glass frit, and the discharge space 20 is exhausted. A sealed gas in which Xe is mixed with Ne is sealed in the discharge space 20 so that the pressure in the discharge space is 5 kPa to 70 kPa. In this case, the partial pressure of Xe may be 10% or more with respect to the total pressure of the sealed gas, and only Xe may be used as the sealed gas without mixing Ne.
[0065]
Next, FIG. 6 shows the result of measuring the drive sustaining voltage of the PDP when the partial pressure of Xe of the sealed gas is increased in the PDP 10. For comparison, the result of the drive sustain voltage when a conventionally used film made of MgO is formed on the protective film 14 by 0.8 μm is also shown. In this case, the total pressure of the sealed gas was 67 kPa. The driving sustain voltage of the PDP strongly depends on the discharge start voltage in the discharge space, and the rate of increase / decrease in the drive sustain voltage of the PDP indicates the rate of increase / decrease in the discharge start voltage.
[0066]
Referring to FIG. 6, in the case where a film made of MgO is used as the protective film 14, the driving sustain voltage is higher than that in the case where a film made of ZnO is used as the protective film 14, and particularly in the sealed gas. When the partial pressure of Xe is increased, the driving sustain voltage tends to increase remarkably.
[0067]
On the other hand, in the PDP 10 using a film made of ZnO for the protective film 14 in this example, it can be seen that the drive sustaining voltage is lower than when a film made of MgO is used for the protective film 14. In particular, in the region where the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the sealed gas is 10% or more, the effect of suppressing the drive sustain voltage is great.
[0068]
As described above, since the secondary electron gain γ with respect to the Xe ions of ZnO is larger than that of MgO, the effect of suppressing the discharge start voltage when using ZnO is increased as the Xe partial pressure is increased. Therefore, it is considered that the effect of suppressing the driving sustain voltage of the PDP is increased.
[0069]
In order to obtain such an effect, the total pressure of the sealed gas is preferably in the range of 5 kPa to 70 kPa.
[0070]
In the current PDP, the withstand voltage condition of the drive circuit is about 250 V, and in this embodiment, the ratio of the partial pressure of Xe to the total pressure of the sealed gas, which has been difficult to use in the past, is 10% or more. It became possible to use a sealed gas. Further, even when the sealed gas is not a mixed gas of Ne and Xe but a gas composed of Xe, the driving sustain voltage can be reduced to 250 V or less.
[0071]
Therefore, it is possible to increase the light emission efficiency of the PDP, and it is possible to increase the brightness and the definition while keeping the driving voltage of the PDP low.
[0072]
In this embodiment, the case where ZnO is used for the protective film 14 has been described. However, the effect of the present invention is not limited to this, and for example, a trace amount of metals such as Cu, Mn, and Li is included. Even when a ZnO-based compound is used for the protective film 14, the same effects as described in the present embodiment can be obtained.
[0073]
For example, when forming ZnO by the RF magnetron sputtering method, Cu is simultaneously sputtered to mix Cu into the ZnO film, and the atomic weight ratio of Cu is 0.5 at. %, The resistivity (Ω · cm) is 1 × 10.- 9~ 1x10- 8Since it has a high degree of insulation and is suitable, it is suitable for use as a protective film for an AC drive type PDP.
[0074]
Further, in this embodiment, a film made of ZnO is used as a protective film of the AC drive type PDP, but this is not limited to the AC drive type, and the DC drive type or the AC / DC hybrid drive type is also used. By using it as a protective film covering the cathode or anode, a PDP having a low driving voltage and high efficiency can be formed.
[0075]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to reduce the driving voltage of the PDP and achieve high luminous efficiency, and to achieve high brightness and high definition while suppressing the power consumption of the PDP. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A schematically shows a cross-sectional view of one display cell having a conventional PDP structure, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a conventional AC drive type color PDP in which a plurality of display cells of FIG. 1 are arranged.
FIG. 3 is a diagram showing Xe voltage division dependence of a drive sustain voltage in a conventional PDP.
FIG. 4A schematically shows a cross-sectional view of one display cell having a PDP structure according to the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG.
5 is a cross-sectional perspective view of an AC drive type color PDP of the present invention in which a plurality of the display cells of FIG. 4 are arranged.
FIG. 6 is a measurement result of the drive sustaining voltage of the PDP according to the embodiment of the present invention depending on the Xe partial pressure.
[Explanation of symbols]
10,100 PDP
11,111 Front plate
12,102 Display electrode
13,103 Dielectric layer
14,104 Protective film
16,106 Data electrode
17,107 Dielectric layer
18,108 Bulkhead
19,109 phosphor
20,110 discharge space

Claims (6)

第1の基板と、
前記第1の基板と対向する第2の基板と、
前記第1の基板の前記第2の基板に面した側に形成された第1の電極と、
前記第2の基板の前記第1の基板に面した側に形成された第2の電極と、
前記第1の電極を覆うように形成された第1の誘電体層と、
前記第2の電極を覆うように形成された第2の誘電体層と、
前記第1の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、
前記保護膜と前記第2の誘電体層の間に形成された、封入ガスが封入された放電空間とを設けたプラズマディスプレイパネルであって、
前記保護膜はZnOからなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
A first substrate;
A second substrate facing the first substrate;
A first electrode formed on a side of the first substrate facing the second substrate;
A second electrode formed on a side of the second substrate facing the first substrate;
A first dielectric layer formed to cover the first electrode;
A second dielectric layer formed to cover the second electrode;
A protective film formed to cover the first dielectric layer;
A plasma display panel provided between the protective film and the second dielectric layer, and provided with a discharge space filled with a sealed gas;
The plasma display panel, wherein the protective film is made of ZnO.
略帯状に形成された前記第1の電極と、略帯状に形成された前記第2の電極が、交差するように前記第1の基板と前記第2の基板が重ねられていることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル。The first substrate and the second substrate are overlapped so that the first electrode formed in a substantially band shape and the second electrode formed in a substantially band shape intersect with each other. The plasma display panel according to claim 1. 前記放電空間を分割する隔壁が形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマディスプレイパネル。3. The plasma display panel according to claim 1, further comprising barrier ribs that divide the discharge space. 前記第2の誘電体層の前記第1の基板に面した側には蛍光体層が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか1項記載のプラズマディスプレイパネル。The plasma display panel according to any one of claims 1 to 3, wherein a phosphor layer is formed on a side of the second dielectric layer facing the first substrate. 前記封入ガスはXeを含み、前記封入ガスの全圧に対するXeの分圧の比が10%以上であることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか1項記載のプラズマディスプレイパネル。The plasma display panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the sealed gas contains Xe, and a ratio of a partial pressure of Xe to a total pressure of the sealed gas is 10% or more. 前記保護膜のZnO結晶の六方晶系のc軸が基板に垂直に成長し、(0001)面に優先配向していることを特徴とする請求項1〜5のうち、いずれか1項記載のプラズマディスプレイパネル。6. The hexagonal c-axis of the ZnO crystal of the protective film grows perpendicularly to the substrate and is preferentially oriented in the (0001) plane. 6. Plasma display panel.
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