JP2005149170A - Data sending and receiving system and program - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the time required to send and receive data. <P>SOLUTION: A test system 2 for a semiconductor integrated circuit comprises a host computer 10 and a plurality of testing devices 11. The testing device 11 is provided with a USB host connector 23 for sending data to the outside, a USB host controller 25 for controlling the transmission of the data, a USB device connector 24 for receiving data from the outside, and a USB device controller 26 for controlling the reception of data. The testing device #1 sends the data received from the host computer 10 to the testing device #2, and sends the data received from the testing device #2 to the host computer 10. Each of the testing devices 11 behind the testing device #2 sends the data from the host computer 10 received from the upper testing device 11 to the lower testing device 11, and sends the data received from the lower testing device 11 to the upper testing device 11. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ホストコンピュータと複数の論理デバイスとの間でデータの送受信を行うデータ送受信システムおよびデータ送受信プログラムに関する。   The present invention relates to a data transmission / reception system and a data transmission / reception program for transmitting / receiving data between a host computer and a plurality of logical devices.

半導体メモリや論理集積回路などの半導体集積回路の動作を検証する際に、ユーザーにより任意の論理が書き換え可能なFPGA(Field Programmable Gate Array )などのプログラマブル・デバイスを回路基板上に搭載し、このプログラマブル・デバイスに、HDL(Hardware Description language )、あるいはC言語で記述された所望のテスト内容を実行可能なテスト回路を構成する技術が提案されている(特許文献1および2参照)。   When verifying the operation of a semiconductor integrated circuit such as a semiconductor memory or a logic integrated circuit, a programmable device such as an FPGA (Field Programmable Gate Array) capable of rewriting any logic by a user is mounted on a circuit board. A technique for configuring a test circuit capable of executing desired test contents described in HDL (Hardware Description language) or C language in a device has been proposed (see Patent Documents 1 and 2).

図7に、特許文献1および2に記載された半導体集積回路のテスト装置に関する概略構成を示す。テスト装置100は、FPGA101を中心に、AD変換器(ADC)102やDA変換器(DAC)103、およびこれらに付随する増幅器(AMP)104が回路基板上に搭載されたテストボードから構成される。このテスト装置100は、AMP104に接続された入出力端子105、106を介して、電圧や電流を入出力することが可能となっている。FPGA101は、ADC102およびDAC103のデジタル端子に接続されいる。また、リレーなどのスイッチングデバイスを介して、検証される半導体集積回路(図示せず)に選択的に接続されている。   FIG. 7 shows a schematic configuration of a semiconductor integrated circuit test apparatus described in Patent Documents 1 and 2. The test apparatus 100 includes a test board in which an AD converter (ADC) 102, a DA converter (DAC) 103, and an associated amplifier (AMP) 104 are mounted on a circuit board, with an FPGA 101 as a center. . The test apparatus 100 can input and output voltage and current via input / output terminals 105 and 106 connected to the AMP 104. The FPGA 101 is connected to the digital terminals of the ADC 102 and the DAC 103. Further, it is selectively connected to a semiconductor integrated circuit (not shown) to be verified through a switching device such as a relay.

特許文献1および2に記載される技術では、製品の仕様に応じたテストパターンを生成し、このテストパターンをテスタでデバックしたテストプログラムをHDLに変換して、必要に応じてシミュレーションを行いつつ、HDL変換されたテストプログラムを論理合成することにより、FPGA101に所望のテスト回路が構成される。この技術によれば、固定化されたテスト回路が形成されたテスタを用いて製品の検証を行う従来の方式に比べて、製造コストおよび工数を大幅に削減させることができる。   In the techniques described in Patent Documents 1 and 2, a test pattern according to product specifications is generated, a test program debugged with the test pattern is converted into HDL, and simulation is performed as necessary. A desired test circuit is configured in the FPGA 101 by logically synthesizing the HDL-converted test program. According to this technique, the manufacturing cost and the number of man-hours can be greatly reduced as compared with the conventional method of verifying a product using a tester in which a fixed test circuit is formed.

国際公開第98/57281号パンフレットInternational Publication No. 98/57281 Pamphlet 特開2002−123562号公報JP 2002-123562 A

FPGA101にテスト回路を構成する際には、データ送信側であるホストコンピュータからデータ受信側であるテスト装置(以下、テストボードともいう)に対して、大量のテストパターンデータ(数メガバイトになることがある)と、テスト条件データとしてのテストプログラムデータ(数百キロバイトとなる)とを予めテストボードに送信しておく必要がある。さらに具体的には、図7には明記されていないが、テストボード上にフラッシュメモリなどの不揮発性メモリを搭載しておき、ホストコンピュータに記憶されたHDLあるいはC言語記述から論理合成されているテスト回路をテストボードに送信して、テストボードに搭載されたメモリに記憶させ、しかる後にこのメモリから直接FPGA101に書き込む方法を採用している。   When configuring a test circuit in the FPGA 101, a large amount of test pattern data (which may be several megabytes) is sent from a host computer on the data transmission side to a test apparatus (hereinafter also referred to as a test board) on the data reception side. And test program data (having several hundred kilobytes) as test condition data must be transmitted to the test board in advance. More specifically, although not clearly shown in FIG. 7, a nonvolatile memory such as a flash memory is mounted on a test board, and logic synthesis is performed from HDL or C language description stored in the host computer. A method is adopted in which a test circuit is transmitted to a test board, stored in a memory mounted on the test board, and then written directly into the FPGA 101 from this memory.

実際の半導体集積回路のテストにあたっては、テスト時間の短縮を目的として複数のテスト装置が用意され、一回の操作で複数(例えば16個)のテスト対象(半導体ウェハのチップ)を一度にテストするようにしている。そこで、ホストコンピュータから複数のテスト装置の各々に搭載されたメモリにテストパターンおよびテストプログラム(典型的には同一のデータ)を送信する際には、並列転送可能な通信方式、例えばイーサネット(登録商標)方式が用いられることが一般的である。しかしながら、このイーサネット(登録商標)方式では、通信対象に対して特殊なIPアドレスを設定する必要があり、テストの便宜を図るため、あるいは一部のテスト装置の不具合を解消するために、複数のテスト装置の順番を入れ替えたり、別のテスト装置と入れ替えたりすることが頻繁に行われる半導体集積回路のテストにおいては、取り扱いが非常に複雑となり、用いることが困難である。   In an actual semiconductor integrated circuit test, a plurality of test apparatuses are prepared for the purpose of reducing the test time, and a plurality of (for example, 16) test objects (semiconductor wafer chips) are tested at a time by one operation. I am doing so. Therefore, when a test pattern and a test program (typically the same data) are transmitted from a host computer to a memory mounted on each of a plurality of test apparatuses, a communication method capable of parallel transfer, for example, Ethernet (registered trademark) ) Method is generally used. However, in this Ethernet (registered trademark) system, it is necessary to set a special IP address for the communication target, and for the sake of convenience of testing or to solve the problems of some test devices, a plurality of In a test of a semiconductor integrated circuit in which the order of test devices is frequently changed or replaced with another test device, handling is very complicated and it is difficult to use.

これに対して、USB(Universal Serial Bus)方式を用いた場合、イーサネット(登録商標)方式のような特殊なIPアドレスを必要としないために、何らの配慮を払うことなく複数のテスト装置の一部を他のテスト装置と入れ替えたりすることができ、取り扱いが極めて容易となる。   On the other hand, when the USB (Universal Serial Bus) method is used, a special IP address as in the Ethernet (registered trademark) method is not required. The part can be replaced with another test apparatus, and handling becomes extremely easy.

しかしながら、USB方式を用いた場合、並列転送を行うことができず、ハブを介して接続された複数のテスト装置を個々に指定して、これらに順次テストデータ(テストパターンおよびテストプログラム)を送信することが必要となる。したがって、USB方式をそのまま用いた場合には、このテストデータの送信には、1台のテスト装置に掛かるロード時間に、テスト装置の台数分を乗じたロード時間を要することとなる。一般に、ホストコンピュータから各テスト装置(テストボード)へテストデータをローディングする時間は、1台当たりおおよそ数分ないし数10分を要することが多い。   However, when the USB method is used, parallel transfer cannot be performed, and a plurality of test devices connected via a hub are individually specified, and test data (test pattern and test program) are sequentially transmitted to these test devices. It is necessary to do. Therefore, when the USB method is used as it is, this test data transmission requires a load time obtained by multiplying the load time required for one test device by the number of test devices. In general, the time for loading test data from the host computer to each test apparatus (test board) often takes approximately several to several tens of minutes per unit.

さらに、ホストコンピュータからテスト装置ヘのテストデータのローディングは、テスト対象が切り替わる毎に行わなければならないので、 頻繁にテスト対象が切り替わる少量多品種生産においては、上記のロード時間は特に大きな問題となり、テスト装置の非稼動時間を増大させる一因となっていた。また、ホストコンピュータは、テスト装置にテストデータを送信する他に、一般的に半導体製造工程全体を統括制御する生産管理装置との生産管理データの送受信や、テスト装置を操作するプローバやハンドラとの通信処理を同時に行っているため、上記のようにテストデータのロード時間が長くなると、半導体製造工程全体の稼動効率の低下をもたらすおそれがある。   Furthermore, since loading test data from the host computer to the test equipment must be performed each time the test target is switched, the load time described above becomes a particularly serious problem in small-lot, high-mix production where the test target is frequently switched. This contributed to increase the non-operation time of the test equipment. In addition to sending test data to the test equipment, the host computer generally sends / receives production management data to / from the production management equipment that controls the entire semiconductor manufacturing process, and communicates with the prober and handler that operates the test equipment. Since the communication processing is performed at the same time, if the load time of the test data becomes long as described above, the operation efficiency of the entire semiconductor manufacturing process may be lowered.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、データの送受信に掛かる時間を短縮化させることができるデータ送受信システムおよびデータ送受信プログラムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a data transmission / reception system and a data transmission / reception program capable of shortening the time required for data transmission / reception.

上記目的を達成するために、本発明は、ホストコンピュータと複数の論理デバイスとの間でデータの送受信を行うシステムであって、前記論理デバイスに、前記データを外部に送信するためのUSBホストコネクタ、および前記データの送信を制御するUSBホストコントローラと、前記データを外部から受信するためのUSBデバイスコネクタ、および前記データの受信を制御するUSBデバイスコントローラとを設け、前記ホストコンピュータを最上位として、前記ホストコンピュータ、および前記複数の論理デバイスを、前記USBホストコネクタ、および前記USBデバイスコネクタを介してデイジーチェイン接続し、前記ホストコンピュータの直下に接続された第1番目の論理デバイスは、前記ホストコンピュータから受信したデータを、第2番目の論理デバイスに送信するとともに、前記第2番目の論理デバイスから受信したデータを、前記ホストコンピュータに送信し、前記第2番目の論理デバイス以降の各論理デバイスは、上位側の論理デバイスから受信した前記ホストコンピュータからのデータを、下位側の論理デバイスに送信するとともに、前記下位側の論理デバイスから受信したデータを、前記上位側の論理デバイスに送信することを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention provides a system for transmitting and receiving data between a host computer and a plurality of logical devices, and a USB host connector for transmitting the data to the logical devices to the outside. And a USB host controller for controlling the transmission of the data, a USB device connector for receiving the data from the outside, and a USB device controller for controlling the reception of the data. The host computer and the plurality of logical devices are connected in a daisy chain via the USB host connector and the USB device connector, and the first logical device connected immediately below the host computer is the host computer. Received from To the second logical device, and the data received from the second logical device is transmitted to the host computer, and each logical device after the second logical device The data from the host computer received from the lower logical device is transmitted to the lower logical device, and the data received from the lower logical device is transmitted to the upper logical device. .

なお、前記論理デバイスは、前記データの取り込みを行わない場合、前記データの送受信の中継のみを行うことが好ましい。また、前記論理デバイスは、半導体集積回路のテストプログラムからテスト回路を作成し、前記半導体集積回路の動作を検証するテスト装置であることが好ましい。   The logical device preferably only relays transmission / reception of the data when the data is not captured. The logic device is preferably a test apparatus that creates a test circuit from a test program for a semiconductor integrated circuit and verifies the operation of the semiconductor integrated circuit.

また、本発明のデータ送受信プログラムは、ホストコンピュータと複数の論理デバイスとからなり、前記論理デバイスには、データを外部に送信するためのUSBホストコネクタおよび前記データの送信を制御するUSBホストコントローラ、並びに前記データを外部から受信するためのUSBデバイスコネクタおよび前記データの受信を制御するUSBデバイスコントローラが設けられており、前記ホストコンピュータ、および前記複数の論理デバイスが、前記USBホストコネクタ、および前記USBデバイスコネクタを介してデイジーチェイン接続されたデータ送受信システムに利用され、前記ホストコンピュータの直下に接続された第1番目の論理デバイスに、前記ホストコンピュータから受信したデータを、第2番目の論理デバイスに送信させるとともに、前記第2番目の論理デバイスから受信したデータを、前記ホストコンピュータに送信させる機能を実現させ、前記第2番目の論理デバイス以降の各論理デバイスに、上位側の論理デバイスから受信した前記ホストコンピュータからのデータを、下位側の論理デバイスに送信させるとともに、前記下位側の論理デバイスから受信したデータを、前記上位側の論理デバイスに送信させる機能を実現させることを特徴とする。   A data transmission / reception program according to the present invention includes a host computer and a plurality of logical devices. The logical device includes a USB host connector for transmitting data to the outside, a USB host controller for controlling transmission of the data, And a USB device connector for receiving the data from the outside and a USB device controller for controlling the reception of the data, and the host computer and the plurality of logical devices include the USB host connector and the USB Used in a data transmission / reception system connected in a daisy chain via a device connector, data received from the host computer is transferred to a first logical device connected immediately below the host computer. And a function for transmitting the data received from the second logical device to the host computer, and receiving each of the logical devices after the second logical device from the upper logical device. The function of transmitting the data from the host computer to the lower logical device and transmitting the data received from the lower logical device to the upper logical device is realized.

なお、前記論理デバイスに前記データの取り込みを行わない場合、前記データの送受信の中継のみを行う機能を、前記論理デバイスに実現させることが好ましい。また、前記論理デバイスは、半導体集積回路のテストプログラムからテスト回路を作成し、前記半導体集積回路の動作を検証するテスト装置であることが好ましい。   When the data is not taken into the logical device, it is preferable that the logical device realizes a function of only relaying the transmission / reception of the data. The logic device is preferably a test apparatus that creates a test circuit from a test program for a semiconductor integrated circuit and verifies the operation of the semiconductor integrated circuit.

本発明のデータ送受信システムおよびデータ送受信プログラムによれば、論理デバイスに、データを外部に送信するためのUSBホストコネクタ、およびデータの送信を制御するUSBホストコントローラと、データを外部から受信するためのUSBデバイスコネクタ、およびデータの受信を制御するUSBデバイスコントローラとを設け、ホストコンピュータを最上位として、ホストコンピュータ、および複数の論理デバイスを、USBホストコネクタ、およびUSBデバイスコネクタを介してデイジーチェイン接続し、ホストコンピュータの直下に接続された第1番目の論理デバイスは、ホストコンピュータから受信したデータを、第2番目の論理デバイスに送信するとともに、第2番目の論理デバイスから受信したデータを、ホストコンピュータに送信し、第2番目の論理デバイス以降の各論理デバイスは、上位側の論理デバイスから受信したホストコンピュータからのデータを、下位側の論理デバイスに送信するとともに、下位側の論理デバイスから受信したデータを、上位側の論理デバイスに送信するので、ホストコンピュータから各テスト装置に送信される大量のテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータの送信に掛かる時間を短縮化させることができる。   According to the data transmission / reception system and the data transmission / reception program of the present invention, a USB host connector for transmitting data to the logical device, a USB host controller for controlling transmission of data, and a data host for receiving data from the outside A USB device connector and a USB device controller that controls data reception are provided, and the host computer and a plurality of logical devices are connected in a daisy chain via the USB host connector and the USB device connector with the host computer as the highest level. The first logical device connected directly under the host computer transmits the data received from the host computer to the second logical device, and also receives the data received from the second logical device. Each of the logical devices after the second logical device transmits the data from the host computer received from the upper logical device to the lower logical device and receives from the lower logical device. Since the processed data is transmitted to the upper logical device, it is possible to reduce the time required for transmitting test data including a large number of test patterns and test programs transmitted from the host computer to each test apparatus.

図1において、本発明を適用した半導体集積回路のテストシステム2は、ホストコンピュータ10と、複数のテスト装置11(#1〜#m)と、複数のテスト対象12(#1〜#n)とからなる。このテストシステム2に用いられるテストパターンおよびテストプログラムは、検査すべきテスト対象12に応じて作成され、HDLあるいはC言語によって記述されたテスト回路を論理合成したものと、テストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータとをホストコンピュータ10に記憶させておき、これらのデータをテスト装置11上に設けられたフラッシュメモリやSRAM、DRAMからなるメモリ22(図2参照)に送信する。   In FIG. 1, a semiconductor integrated circuit test system 2 to which the present invention is applied includes a host computer 10, a plurality of test apparatuses 11 (# 1 to #m), and a plurality of test objects 12 (# 1 to #n). Consists of. The test pattern and test program used in the test system 2 are made up of a test circuit created according to the test object 12 to be inspected and described in HDL or C language, and a test pattern and test program. Test data is stored in the host computer 10, and these data are transmitted to a memory 22 (see FIG. 2) comprising a flash memory, SRAM, and DRAM provided on the test apparatus 11.

テスト装置11では、CPU20(図2参照)の制御の下に、メモリ22から直接FPGA21(図2参照)にテストデータを書き込んで、例えば半導体ウェハに形成された複数のチップであるテスト対象12に対して、所望のテストを実行するものである。   In the test apparatus 11, under the control of the CPU 20 (see FIG. 2), test data is directly written from the memory 22 to the FPGA 21 (see FIG. 2), and the test object 12 is a plurality of chips formed on a semiconductor wafer, for example. On the other hand, a desired test is executed.

テスト対象12は、典型的には半導体ウェハ上に形成された複数のチップのうちの所定の組み合わせ単位(例えば16個)を示し、1回のテスト終了後にテスト装置11を半導体ウェハに対して相対的にこの単位毎に移動させることによって、半導体ウェハに形成されたチップ全体をテストする際の単位テスト対象を示している。なお、テスト対象12は、半導体ウェハのチップに限らず、例えば、実装後の複数の同一半導体チップであってもよい。   The test object 12 typically indicates a predetermined combination unit (for example, 16) of a plurality of chips formed on the semiconductor wafer, and the test apparatus 11 is made relative to the semiconductor wafer after one test is completed. The unit test target when testing the whole chip formed on the semiconductor wafer is shown by moving the unit for each unit. Note that the test target 12 is not limited to a semiconductor wafer chip, and may be a plurality of identical semiconductor chips after mounting, for example.

ホストコンピュータ10は、一般的には、テスト装置11に接続されてテストデータを送信する他、システムLAN14にイーサネット(登録商標)方式により接続され、半導体製造工場全体を統括制御する図示しない生産管理装置との生産管理データの送受信を行う。また、ホストコンピュータ10は、テスト装置11とテスト対象12とを相対的に移動させるプローバや、テストの開始・終了を制御するためのハンドラなどの制御装置13とGPIB(General Purpose Interface Bus )接続され、この制御装置13との信号の送受信を行う。さらに、ホストコンピュータ10は、各テスト装置11にUSB接続されており、各テスト装置11固有のID番号を管理している。   In general, the host computer 10 is connected to the test apparatus 11 to transmit test data, and is connected to the system LAN 14 by the Ethernet (registered trademark) system to control the entire semiconductor manufacturing factory. Send and receive production management data. The host computer 10 is connected to a control device 13 such as a prober for moving the test device 11 and the test object 12 relative to each other and a handler for controlling the start / end of the test in GPIB (General Purpose Interface Bus) connection. The signal transmission / reception with the control device 13 is performed. Further, the host computer 10 is connected to each test apparatus 11 by USB and manages an ID number unique to each test apparatus 11.

ホストコンピュータ10と複数のテスト装置11とは、従来のハブによる接続の形態をとらず、ホストコンピュータ10を最上位として、ホストコンピュータ10に直接テスト装置#1が接続され、テスト装置#1とテスト装置#2、およびその下位側のテスト装置#3〜#mはデイジーチェイン接続されている。これにより、いわゆるバケツリレー方式で、ホストコンピュータ10から各テスト装置11に、大量のテストデータを送信することが可能となる。   The host computer 10 and the plurality of test devices 11 do not take the form of connection by a conventional hub, but the test device # 1 is directly connected to the host computer 10 with the host computer 10 as the highest level. Device # 2 and test devices # 3 to #m on its lower side are daisy chain connected. Thus, a large amount of test data can be transmitted from the host computer 10 to each test apparatus 11 by a so-called bucket relay system.

図2に示すように、テスト装置11は、CPU20、FPGA21、メモリ22、USBホストコネクタ23、USBデバイスコネクタ24、USBホストコントローラ25およびUSBデバイスコントローラ26を有するUSBコントローラ27から構成される。FPGA21は、図7に示すテスト装置100のFPGA101と同様に、HDLあるいはC言語により記述されたテスト回路を論理合成したものと、テストパターンおよびテストプログラムとにより、テスト対象12のテストを行う。また、FPGA21へのテスト回路の形成は、CPU20の制御の下に、メモリ22に蓄積されたテストパターンおよびテストプログラムを入力することにより行われる。さらに、FPGA21は、CPU20の制御の下に、テスト結果をメモリ22に送信し、メモリ22にテスト結果を蓄積させる。   As shown in FIG. 2, the test apparatus 11 includes a USB controller 27 having a CPU 20, FPGA 21, memory 22, USB host connector 23, USB device connector 24, USB host controller 25, and USB device controller 26. Similar to the FPGA 101 of the test apparatus 100 shown in FIG. 7, the FPGA 21 performs a test on the test target 12 by logically synthesizing a test circuit described in HDL or C language, a test pattern, and a test program. The test circuit is formed in the FPGA 21 by inputting a test pattern and a test program stored in the memory 22 under the control of the CPU 20. Further, the FPGA 21 transmits the test result to the memory 22 under the control of the CPU 20 and accumulates the test result in the memory 22.

メモリ22は、CPU20の制御の下に、ホストコンピュータ10からビットストリームで送信されるテスト回路と、テストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータとを蓄積・保持する。このメモリ22は、CPU20の制御の下に、FPGA21にテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータを送信し、任意のテストが行えるようにする。さらに、メモリ22は、CPU20の制御の下に、FPGA21からテスト結果を受信し蓄積する。また、さらに、メモリ22は、CPU20の制御の下に、テスト結果をUSBコントローラ27に送信する。   The memory 22 stores and holds a test circuit transmitted as a bit stream from the host computer 10 and test data including a test pattern and a test program under the control of the CPU 20. The memory 22 transmits test data including a test pattern and a test program to the FPGA 21 under the control of the CPU 20 so that an arbitrary test can be performed. Further, the memory 22 receives and accumulates test results from the FPGA 21 under the control of the CPU 20. Furthermore, the memory 22 transmits the test result to the USB controller 27 under the control of the CPU 20.

USBホストコントローラ25は、CPU20の制御の下に、USBデバイスコネクタ24、USBデバイスコントローラ26を介して上位側から送信されたテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータを、USBホストコネクタ23を介して下位側に転送する。また、USBホストコントローラ25は、CPU20の制御の下に、USBホストコネクタ23を介して下位側から送信されたデータ(例えばテスト結果のデータ)を、USBデバイスコントローラ26およびUSBデバイスコネクタ24を介して上位側に転送する。また、必要に応じて、USBホストコントローラ25は、CPU20の制御の下に、上記下位側から送信されたデータをメモリ22に蓄積することもできる。   The USB host controller 25 transmits test data including a test pattern and a test program transmitted from the upper side via the USB device connector 24 and the USB device controller 26 under the control of the CPU 20 via the USB host connector 23. Forward to the side. Further, the USB host controller 25 sends data (for example, test result data) transmitted from the lower side via the USB host connector 23 under the control of the CPU 20 via the USB device controller 26 and the USB device connector 24. Transfer to the upper side. If necessary, the USB host controller 25 can store the data transmitted from the lower side in the memory 22 under the control of the CPU 20.

USBデバイスコントローラ26は、CPU20の制御の下に、USBデバイスコネクタ24を介して上位側から送信されたテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータを、USBホストコントローラ25を介して下位側に転送する。また、USBデバイスコントローラ26は、CPU20の制御の下に、USBデバイスコネクタ24を介して上位側から送信されたテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータが、自己のテスト装置11を指定しているとき、当該データをCPU20の制御の下に、メモリ22に取り込む。また、さらに、USBデバイスコントローラ26は、CPU20の制御の下に、USBホストコネクタ23およびUSBホストコントローラ25を介して下位側から送信されたデータ(例えばテスト結果のデータ)を、USBデバイスコネクタ24を介して上位側に転送する。   Under the control of the CPU 20, the USB device controller 26 transfers test data including a test pattern and a test program transmitted from the upper side via the USB device connector 24 to the lower side via the USB host controller 25. Further, the USB device controller 26 is under the control of the CPU 20 when the test data including the test pattern and the test program transmitted from the upper side via the USB device connector 24 designates its own test apparatus 11. The data is taken into the memory 22 under the control of the CPU 20. Further, the USB device controller 26 receives data (for example, test result data) transmitted from the lower side via the USB host connector 23 and the USB host controller 25 under the control of the CPU 20, and the USB device connector 24. To the upper side.

USBホストコネクタ23およびUSBデバイスコネクタ24は、各々USBホストコントローラ25と下位側との接続、およびUSBデバイスコントローラ26と上位側との接続を行う。   The USB host connector 23 and the USB device connector 24 respectively connect the USB host controller 25 to the lower side and connect the USB device controller 26 to the upper side.

CPU20は、FPGA21、メモリ22、USBホストコントローラ25、およびUSBデバイスコントローラ26とバス接続されており、これらに対して上記の制御を行わせ、テスト期間中、FPGA21に対して通信を行ってテストの流れを監視するとともに、テスト結果に応じてテストの中止、中断、およびテストのスキップなどの制御を行う。   The CPU 20 is bus-connected to the FPGA 21, the memory 22, the USB host controller 25, and the USB device controller 26. The CPU 20 performs the above-described control, and communicates with the FPGA 21 during the test period. In addition to monitoring the flow, control such as test suspension, interruption, and test skipping is performed according to the test results.

ホストコンピュータ10、および各テスト装置11のプログラム構成を示す図3において、プログラム30は、各アプリケーション間の通信を実現し、USBコントローラ27をブリッジとして機能させ、ホストコンピュータ10、および各テスト装置11のデイジーチェイン接続を直接意識せずにアプリケーションの構築を可能とするために、USB物理層31、サイト間通信層32、およびシステム通信層33の3層のプロトコルを有している。これらの各層31〜33は、上位層に対してアプリケーションインターフェース(API)を提供する。   In FIG. 3 showing the program configuration of the host computer 10 and each test apparatus 11, a program 30 realizes communication between the respective applications, causes the USB controller 27 to function as a bridge, and allows the host computer 10 and each test apparatus 11 to In order to make it possible to construct an application without directly being aware of the daisy chain connection, it has three layers of protocols: a USB physical layer 31, an inter-site communication layer 32, and a system communication layer 33. Each of these layers 31 to 33 provides an application interface (API) to the upper layer.

USB物理層31は、例えばUSB1.1規格に沿ったホスト−デバイス間の通信処理を行う。このUSB物理層31による通信方式には、例えばインタラプト転送およびバルク転送が用いられる。   The USB physical layer 31 performs communication processing between the host and the device in conformity with the USB 1.1 standard, for example. As the communication method using the USB physical layer 31, for example, interrupt transfer and bulk transfer are used.

ホストコンピュータ10の直下に接続されたテスト装置#1のサイト間通信層32は、ホストコンピュータ10から受信したテストデータを、テスト装置#2に送信するとともに、テスト装置#2から受信したデータ(例えばテスト結果のデータ)を、ホストコンピュータ10に送信する。また、テスト装置#2以降の各テスト装置11のサイト間通信層32は、上位側のテスト装置11から受信したホストコンピュータ10からのテストデータを、下位側のテスト装置11に送信するとともに、下位側のテスト装置11から受信したデータ(例えばテスト結果のデータ)を、上位側のテスト装置11に送信する。なお、以下の説明では、上位側のテスト装置11を上位サイト、下位側のテスト装置11を下位サイトと表現する。   The inter-site communication layer 32 of the test apparatus # 1 connected immediately below the host computer 10 transmits the test data received from the host computer 10 to the test apparatus # 2 and data received from the test apparatus # 2 (for example, Test result data) is transmitted to the host computer 10. Further, the inter-site communication layer 32 of each of the test devices 11 after the test device # 2 transmits the test data from the host computer 10 received from the higher-order test device 11 to the lower-order test device 11 and the lower-order test device 11 Data (for example, test result data) received from the side test apparatus 11 is transmitted to the upper side test apparatus 11. In the following description, the upper test apparatus 11 is expressed as an upper site, and the lower test apparatus 11 is expressed as a lower site.

ホストコンピュータ10からのテストデータの転送は、USB1.1規格の転送サイズを加味して、最も効率の良いサイズのブロックで、複数のテスト装置11に対して同時に行われる。一方、テスト装置11からのテスト結果は、各テスト装置11毎にホストコンピュータ10に転送される。ここで、例えばホストコンピュータ10からのテストデータがテスト装置#1を指定したものではなく、テスト装置#2を指定したものであった場合は、図4に示すように、テスト装置#1では、システム通信層33およびマイコン制御アプリケーション層34bを経ずに、サイト間通信層32のみで通信を中継する。これにより、ホストコンピュータ10と各テスト装置11とは、仮想的に1:1で接続されていると見做すことができる。また、ホストコンピュータ10側から見ると、指定した複数のテスト装置11に対して、1つのリクエストを同時に送信することができる。   Transfer of test data from the host computer 10 is performed to a plurality of test apparatuses 11 at the most efficient size in consideration of the transfer size of the USB 1.1 standard. On the other hand, the test result from the test apparatus 11 is transferred to the host computer 10 for each test apparatus 11. Here, for example, when the test data from the host computer 10 does not specify the test device # 1, but specifies the test device # 2, as shown in FIG. Communication is relayed only by the inter-site communication layer 32 without passing through the system communication layer 33 and the microcomputer control application layer 34b. Thereby, it can be considered that the host computer 10 and each test apparatus 11 are virtually connected by 1: 1. Further, when viewed from the host computer 10 side, one request can be simultaneously transmitted to a plurality of designated test apparatuses 11.

システム通信層33は、UI(User Interface)アプリケーション層34a、マイコン制御アプリケーション層34bと関連して、ホストコンピュータ10、およびテスト装置11のシステム通信を実現する。このシステム通信層33は、主にメッセージの組立・解析、シーケンス制御、データ転送の待ちタイマやファンクション終了によるイベント通知などを行う。   The system communication layer 33 realizes system communication between the host computer 10 and the test apparatus 11 in association with a UI (User Interface) application layer 34a and a microcomputer control application layer 34b. This system communication layer 33 mainly performs message assembly / analysis, sequence control, data transfer waiting timer, event notification by function end, and the like.

上位サイトとのデータの送受信において、下位サイトのサイト間通信タスクとの連携は、メッセージキューAPIを用いて行う。ここで、自サイト向けの指定がある場合には、アプリケーションタスクにもメッセージをキューイングする。イベントは、このメッセージキューにより発生する。但し、エラー発生時など、即座に状態を変更しなければならない場合は、共有メモリなどを用いて通信を行う。   In the transmission / reception of data with the upper site, cooperation with the inter-site communication task of the lower site is performed using a message queue API. Here, if there is a specification for the own site, the message is also queued to the application task. An event is generated by this message queue. However, if the status must be changed immediately, such as when an error occurs, communication is performed using a shared memory.

下位サイトとのデータの送受信において、下位サイトのサイト間通信タスクとの連携は、メッセージキューAPIを用いて行う。イベントは、上位サイトとのデータの送受信の場合と同様に、このメッセージキューにより発生する。但し、エラー発生時など、即座に状態を変更しなければならない場合は、共有メモリなどを用いて通信を行う。   In the transmission / reception of data with the lower site, cooperation with the inter-site communication task of the lower site is performed using a message queue API. An event is generated by this message queue as in the case of data transmission / reception with an upper site. However, if the status must be changed immediately, such as when an error occurs, communication is performed using a shared memory.

システム通信においては、ホストコンピュータ10、若しくは上位サイト、下位サイトからメッセージを受信して、このメッセージ内のパラメータやコマンドなどから、適切なアプリケーションのモジュールを選択して処理を実行させる。イベントは、メッセージキューおよびFPGA21からの割り込み信号により発生する。   In system communication, a message is received from the host computer 10 or an upper site or a lower site, and an appropriate application module is selected from parameters or commands in the message to execute processing. An event is generated by an interrupt signal from the message queue and FPGA 21.

次に、上記構成による作用について、図5および図6のフローチャートを参照して説明する。なお、図5は、ホストコンピュータ10における処理手順、図6は、テスト装置11における処理手順をそれぞれ示す。   Next, the effect | action by the said structure is demonstrated with reference to the flowchart of FIG. 5 and FIG. 5 shows a processing procedure in the host computer 10, and FIG. 6 shows a processing procedure in the test apparatus 11.

まず、ホストコンピュータ10と、制御装置13、およびシステムLAN14とを接続するとともに、ホストコンピュータ10、および複数のテスト装置11を、USBホストコネクタ23、およびUSBデバイスコネクタ24を介してデイジーチェイン接続し、半導体集積回路のテストシステム2を構築する。   First, the host computer 10 is connected to the control device 13 and the system LAN 14, and the host computer 10 and the plurality of test devices 11 are daisy chain connected via the USB host connector 23 and the USB device connector 24. A semiconductor integrated circuit test system 2 is constructed.

図5において、ホストコンピュータ10では、UIアプリケーション層34aによるアプリケーション処理が行われている。この状態でメッセージがキューイングされると、下位サイトのシステム通信層33とのインターフェース(I/F)が確立され、システム通信が行われる。   In FIG. 5, the host computer 10 performs application processing by the UI application layer 34a. When a message is queued in this state, an interface (I / F) with the system communication layer 33 of the lower site is established, and system communication is performed.

システム通信層33におけるデータの通信方向が、UIアプリケーション層34aからであった場合は、システム通信層33でメッセージの解析・組立が行われ、UIアプリケーション層34aにおいて、メッセージに対応したシーケンス制御が施された後、サイト間通信層32とのI/Fが確立される。一方、通信方向がサイト間通信層32からであった場合は、UIアプリケーション層34aにメッセージが転送される。   If the data communication direction in the system communication layer 33 is from the UI application layer 34a, the system communication layer 33 analyzes and assembles the message, and the UI application layer 34a performs sequence control corresponding to the message. After that, an I / F with the inter-site communication layer 32 is established. On the other hand, when the communication direction is from the inter-site communication layer 32, the message is transferred to the UI application layer 34a.

サイト間通信層32におけるデータの通信方向が、USB物理層31からであった場合は、システム通信層33にメッセージが転送される。一方、通信方向がシステム通信層33からであった場合は、USB物理層31のホスト側にメッセージが転送される。   When the data communication direction in the inter-site communication layer 32 is from the USB physical layer 31, the message is transferred to the system communication layer 33. On the other hand, if the communication direction is from the system communication layer 33, the message is transferred to the host side of the USB physical layer 31.

図6において、テスト装置11では、マイコン制御アプリケーション層34bによるアプリケーション処理が行われている。この状態でメッセージがキューイングされると、下位サイトのシステム通信層33とのI/Fが確立され、自サイトシステム通信が行われる。   In FIG. 6, in the test apparatus 11, application processing by the microcomputer control application layer 34b is performed. When a message is queued in this state, an I / F with the system communication layer 33 of the lower site is established, and the local site system communication is performed.

システム通信層33におけるデータの通信方向が、マイコン制御アプリケーション層34bからであった場合は、システム通信層33でメッセージの解析・組立が行われた後、サイト間通信層32とのI/Fが確立される。一方、通信方向がサイト間通信層32からであった場合は、マイコン制御アプリケーション層34bにメッセージが転送される。   If the data communication direction in the system communication layer 33 is from the microcomputer control application layer 34b, the system communication layer 33 analyzes and assembles the message, and then the I / F with the inter-site communication layer 32 is Established. On the other hand, when the communication direction is from the inter-site communication layer 32, the message is transferred to the microcomputer control application layer 34b.

サイト間通信層32におけるデータの通信方向が、USB物理層31からで、且つ自サイトを対象としたものであった場合は、システム通信層33にメッセージが転送される。自サイトを対象としたものでなかった場合は、USB物理層31のホスト側にメッセージが転送される。一方、通信方向がシステム通信層33からであった場合は、USB物理層31のデバイス側にメッセージが転送される。   When the data communication direction in the inter-site communication layer 32 is from the USB physical layer 31 and is intended for the own site, the message is transferred to the system communication layer 33. If it is not intended for its own site, the message is transferred to the host side of the USB physical layer 31. On the other hand, if the communication direction is from the system communication layer 33, the message is transferred to the device side of the USB physical layer 31.

このように、ホストコンピュータ10の直下に接続されたテスト装置#1では、ホストコンピュータ10から受信したデータが、テスト装置#2に送信されるとともに、テスト装置#2から受信したデータが、ホストコンピュータ10に送信され、テスト装置#2以降の各テスト装置11では、上位側のテスト装置11から受信したホストコンピュータ10からのデータが、下位側のテスト装置11に送信されるとともに、下位側のテスト装置11から受信したデータが、上位側のテスト装置11に送信される。   As described above, in the test apparatus # 1 connected immediately below the host computer 10, the data received from the host computer 10 is transmitted to the test apparatus # 2, and the data received from the test apparatus # 2 is transmitted to the host computer 10. In each of the test apparatuses 11 after the test apparatus # 2, the data from the host computer 10 received from the upper test apparatus 11 is transmitted to the lower test apparatus 11 and the lower test apparatus 11 receives the test data. Data received from the apparatus 11 is transmitted to the higher-level test apparatus 11.

各テスト装置11では、ホストコンピュータ10からのテストプログラムがメモリ22に記憶される。メモリ22に記憶されたテストプログラムは、FPGA21に読み出される。そして、FPGA21で所望のテスト回路が構成され、各テスト対象12に対して所望のテストが実行される。   In each test apparatus 11, a test program from the host computer 10 is stored in the memory 22. The test program stored in the memory 22 is read out to the FPGA 21. A desired test circuit is configured by the FPGA 21, and a desired test is executed on each test target 12.

テスト終了後、各テスト装置11毎にホストコンピュータ10にテスト結果が送信される。ホストコンピュータ10では、送信されたテスト結果を元に、各テスト対象12の評価データが作成される。   After the test is completed, the test result is transmitted to the host computer 10 for each test apparatus 11. In the host computer 10, evaluation data for each test object 12 is created based on the transmitted test results.

上記のような構成であると、従来、テスト装置11の台数分掛かっていたテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータのロード時間が、1台分のロード時間で済むので、テストデータの送受信に掛かる時間を飛躍的に短縮化させることができる。すなわち、通信方式として、イーサネット(登録商標)方式のような特殊なIPアドレスの設定をする必要がないUSB方式を用いるとともに、ホストコンピュータ10を最上位として、ホストコンピュータ10に直接上位のテスト装置11が接続され、さらに下位のテスト装置11がデイジーチェイン接続されるようにしたので、データ送信側であるホストコンピュータ10からデータ受信側であるテスト装置11に対して、大量のテストパターンデータ(数メガバイトになることがある)およびテスト条件データとしてのテストプログラムデータ(数百キロバイトとなる)を一回送信すればよく、1台分のロード時間でローディングすることができる。これに対して、下位側のテスト装置11から最上位側のホストコンピュータ10には、各テスト装置11から個別に送信されるテスト結果データが送信されるが、このテスト結果データは、上記したテストパターンおよびテストプログラムからなるテストデータに比して著しく容量の小さいデータであるので、その送受信は何ら問題となるものではない。したがって、半導体製造工程全体の稼動効率を向上させることができる。   With the configuration as described above, the load time of test data consisting of test patterns and test programs, which conventionally takes the number of test devices 11, can be reduced by the load time for one unit. Time can be shortened dramatically. That is, as a communication method, a USB method that does not require setting of a special IP address such as the Ethernet (registered trademark) method is used, and the host computer 10 is set at the highest level and the host computer 10 is directly connected to the host computer 10. Is connected, and the lower-level test device 11 is daisy chain-connected, so that a large amount of test pattern data (several megabytes) is transmitted from the host computer 10 on the data transmission side to the test device 11 on the data reception side. And test program data as test condition data (having several hundred kilobytes) may be transmitted once, and loading can be performed with a load time of one unit. On the other hand, test result data individually transmitted from each test apparatus 11 is transmitted from the lower-level test apparatus 11 to the highest-level host computer 10. Since the data is remarkably small in comparison with the test data composed of the pattern and the test program, the transmission / reception is not a problem. Therefore, the operation efficiency of the entire semiconductor manufacturing process can be improved.

上記実施形態では、半導体集積回路のテストシステム2を例示して説明したが、本発明はこれに限定されず、ホストコンピュータ10から複数のデバイスに共通で大量のデータを送信し、これに対して、各デバイスからホストコンピュータ10に対してデバイス毎の少量のデータを送信するような用途、例えばホストコンピュータから複数のデバイスである端末に同一のデータを送信し、各端末からホストコンピュータに回答を送信するような視聴覚システムや、ホストシステムから多数の端末にビデオ信号を送信するようなビデオ信号のダビングシステムにも利用することができる。   In the above embodiment, the semiconductor integrated circuit test system 2 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and a large amount of data is commonly transmitted from the host computer 10 to a plurality of devices. For example, a small amount of data for each device is transmitted from each device to the host computer 10, for example, the same data is transmitted from the host computer to a terminal that is a plurality of devices, and an answer is transmitted from each terminal to the host computer. It can also be used for a video / audio dubbing system in which a video signal is transmitted from a host system to a large number of terminals.

本発明を適用した半導体集積回路のテストシステムの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the test system of the semiconductor integrated circuit to which this invention is applied. テスト装置の内部構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the internal structure of a test apparatus. ホストコンピュータおよびテスト装置のプログラム構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the program structure of a host computer and a test apparatus. テスト装置#1にデータの取り込みを行わない場合の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example when not taking in data to the test apparatus # 1. ホストコンピュータにおける処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence in a host computer. テスト装置における処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence in a test apparatus. 従来のテスト装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the conventional test apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

2 テストシステム
10 ホストコンピュータ
11、100 テスト装置
12 テスト対象
20 CPU
21、101 FPGA
22 メモリ
23 USBホストコネクタ
24 USBデバイスコネクタ
25 USBホストコントローラ
26 USBデバイスコントローラ
27 USBコントローラ
30 プログラム
31 USB物理層
32 サイト間通信層
33 システム通信層
2 Test System 10 Host Computer 11, 100 Test Device 12 Test Target 20 CPU
21, 101 FPGA
22 Memory 23 USB Host Connector 24 USB Device Connector 25 USB Host Controller 26 USB Device Controller 27 USB Controller 30 Program 31 USB Physical Layer 32 Intersite Communication Layer 33 System Communication Layer

Claims (6)

ホストコンピュータと複数の論理デバイスとの間でデータの送受信を行うシステムであって、
前記論理デバイスに、前記データを外部に送信するためのUSBホストコネクタ、および前記データの送信を制御するUSBホストコントローラと、
前記データを外部から受信するためのUSBデバイスコネクタ、および前記データの受信を制御するUSBデバイスコントローラとを設け、
前記ホストコンピュータを最上位として、前記ホストコンピュータ、および前記複数の論理デバイスを、前記USBホストコネクタ、および前記USBデバイスコネクタを介してデイジーチェイン接続し、
前記ホストコンピュータの直下に接続された第1番目の論理デバイスは、前記ホストコンピュータから受信したデータを、第2番目の論理デバイスに送信するとともに、前記第2番目の論理デバイスから受信したデータを、前記ホストコンピュータに送信し、
前記第2番目の論理デバイス以降の各論理デバイスは、上位側の論理デバイスから受信した前記ホストコンピュータからのデータを、下位側の論理デバイスに送信するとともに、前記下位側の論理デバイスから受信したデータを、前記上位側の論理デバイスに送信することを特徴とするデータ送受信システム。
A system for transmitting and receiving data between a host computer and a plurality of logical devices,
A USB host connector for transmitting the data to the logic device, and a USB host controller for controlling the transmission of the data;
A USB device connector for receiving the data from the outside, and a USB device controller for controlling the reception of the data;
With the host computer as the highest level, the host computer and the plurality of logical devices are daisy chain connected via the USB host connector and the USB device connector,
The first logical device connected directly under the host computer transmits data received from the host computer to the second logical device, and receives data received from the second logical device. To the host computer,
Each logical device after the second logical device transmits data received from the host logical device to the lower logical device and data received from the lower logical device. Is transmitted to the upper logical device.
前記論理デバイスは、前記データの取り込みを行わない場合、前記データの送受信の中継のみを行うことを特徴とする請求項1に記載のデータ送受信システム。   The data transmission / reception system according to claim 1, wherein the logical device only relays transmission / reception of the data when the data is not captured. 前記論理デバイスは、半導体集積回路のテストプログラムからテスト回路を作成し、前記半導体集積回路の動作を検証するテスト装置であることを特徴とする請求項1または2に記載のデータ送受信システム。   The data transmission / reception system according to claim 1, wherein the logic device is a test apparatus that creates a test circuit from a test program for a semiconductor integrated circuit and verifies the operation of the semiconductor integrated circuit. ホストコンピュータと複数の論理デバイスとからなり、前記論理デバイスには、データを外部に送信するためのUSBホストコネクタおよび前記データの送信を制御するUSBホストコントローラ、並びに前記データを外部から受信するためのUSBデバイスコネクタおよび前記データの受信を制御するUSBデバイスコントローラが設けられており、
前記ホストコンピュータ、および前記複数の論理デバイスが、前記USBホストコネクタ、および前記USBデバイスコネクタを介してデイジーチェイン接続されたデータ送受信システムに利用され、
前記ホストコンピュータの直下に接続された第1番目の論理デバイスに、前記ホストコンピュータから受信したデータを、第2番目の論理デバイスに送信させるとともに、前記第2番目の論理デバイスから受信したデータを、前記ホストコンピュータに送信させる機能を実現させ、
前記第2番目の論理デバイス以降の各論理デバイスに、上位側の論理デバイスから受信した前記ホストコンピュータからのデータを、下位側の論理デバイスに送信させるとともに、前記下位側の論理デバイスから受信したデータを、前記上位側の論理デバイスに送信させる機能を実現させることを特徴とするデータ送受信プログラム。
A host computer and a plurality of logical devices, the logical device including a USB host connector for transmitting data to the outside, a USB host controller for controlling transmission of the data, and for receiving the data from the outside A USB device connector and a USB device controller for controlling reception of the data are provided;
The host computer and the plurality of logical devices are used in a data transmission / reception system in which the USB host connector and the USB device connector are connected in a daisy chain,
The first logical device connected immediately below the host computer causes the data received from the host computer to be transmitted to the second logical device, and the data received from the second logical device is Realizing the function of sending to the host computer,
Data received from the host logical device received from the upper logical device is transmitted to the lower logical device by each logical device after the second logical device and data received from the lower logical device. A data transmission / reception program that realizes a function of transmitting a message to the upper logical device.
前記論理デバイスに前記データの取り込みを行わない場合、前記データの送受信の中継のみを行う機能を、前記論理デバイスに実現させることを特徴とする請求項4に記載のデータ送受信プログラム。   5. The data transmission / reception program according to claim 4, wherein when the data is not taken into the logical device, the logical device is allowed to realize a function of only relaying the transmission / reception of the data. 前記論理デバイスは、半導体集積回路のテストプログラムからテスト回路を作成し、前記半導体集積回路の動作を検証するテスト装置であることを特徴とする請求項4または5に記載のデータ送受信プログラム。   6. The data transmission / reception program according to claim 4, wherein the logic device is a test apparatus that creates a test circuit from a test program for a semiconductor integrated circuit and verifies the operation of the semiconductor integrated circuit.
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