JP2005148502A - Laser transfer film, and method for manufacturing color filter - Google Patents

Laser transfer film, and method for manufacturing color filter Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser transfer film obtained by successively forming a photothermal conversion layer and a transfer layer on base material, where a high-definition pattern excellent in contact property is transferred and formed on an image receiving element, and a conductive high-functional thin film having high film thickness accuracy is stably formed, and which is easily and exactly formed by transferring a vacuum thin film showing high functionality by using a laser irradiation device, and to provide a method for manufacturing a color filter using the laser transfer film. <P>SOLUTION: The laser transfer film 13 is provided with the base material 14, the photothermal conversion layer 15 and the transfer layer 16 being the vacuum thin film successively formed on the base material 14 or equipped with a heat seal layer melted by receiving heat through transfer on the transfer layer. Thus, the problem is solved. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は高機能性を示す真空薄膜の転写に関し、更に詳しくはレーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスを使用した真空薄膜の転写フィルムと、該転写フィルムを使用して形成されるカラーフィルターの製造方法に関する。この転写フィルムを用いることで、機能性薄膜の高精細なパターニングが可能となる。なお、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスは、一般的にはレーザー光熱転写法あるいはLITI(Laser−induced Thermal Imaging)法と呼ばれている。   The present invention relates to transfer of a vacuum thin film exhibiting high functionality, and more specifically, a vacuum thin film transfer film using a thermal imaging process using laser light, and a method for producing a color filter formed using the transfer film About. By using this transfer film, high-definition patterning of the functional thin film becomes possible. The thermal imaging process using a laser beam is generally called a laser photothermal transfer method or a LITI (Laser-Induced Thermal Imaging) method.

カラーフィルター、液晶表示装置や有機EL素子等の隔壁部材や、カラーフィルターの複数色の画素等を形成するための薄膜を転写する際、熱転写方式が多く用いられている。例えば、特許文献1では、カラー陰極線管用パネルの導電膜としてメタルバック膜や、熱吸収膜の黒色膜を、それらの膜が形成された転写フィルムから加熱ロールの圧接により、上記パネルに転写して形成している。しかしながら、上記の方法では高精細且つ密着性に優れたパターンを形成する為には、不十分であり、適用範囲も狭いものであった。其処で、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスであるレーザー転写法を用いることで、数〜数十μmの高精細で且つ密着性の高い機能性真空薄膜を得ることが提案されている。   When transferring a thin film for forming a color filter, a partition member such as a liquid crystal display device or an organic EL element, or a multi-color pixel of the color filter, a thermal transfer method is often used. For example, in Patent Document 1, a metal back film as a conductive film of a color cathode ray tube panel or a black film of a heat absorption film is transferred from the transfer film on which the film is formed to the panel by pressing a heating roll. Forming. However, the above method is insufficient to form a pattern with high definition and excellent adhesion, and the application range is narrow. Therefore, it has been proposed to obtain a functional vacuum thin film with high definition and high adhesion of several to several tens of μm by using a laser transfer method which is a thermal imaging process using laser light.

例えば、レーザー転写法で、特許文献2では、カラーフィルターのセパレーションリブや液晶表示装置のブラックマトリックス、有機EL素子の隔壁をドナーシートを使用してレーザー転写法にて作製する技術が開示されている。このドナーシートは基材上に光熱変換層、転写層を順次形成したもので、この転写層をダイコーティング法で形成した例が実施例で挙がっている。また、特許文献3では、液晶表示装置、カラー固体撮像素子等に用いるカラーフィルターを基板に転写するための転写フィルムに関し、該転写フィルムがフィルム基材上にフィルム幅方向に複数の領域に当分割に熱溶融性カラーインク層を設けていることが記載されている。また、上記の熱溶融性カラーインク層はノズルを有する塗布用ヘッドを用いて、フィルム基材上に塗布されるものである。
特開2001−328229号公報 特開2001−130141号公報 特開2003−21710号公報
For example, Patent Document 2 discloses a technique for producing a separation rib of a color filter, a black matrix of a liquid crystal display device, and a partition wall of an organic EL element by a laser transfer method using a donor sheet. . This donor sheet is obtained by sequentially forming a photothermal conversion layer and a transfer layer on a substrate, and examples in which this transfer layer is formed by a die coating method are mentioned in the examples. Patent Document 3 relates to a transfer film for transferring a color filter used for a liquid crystal display device, a color solid-state imaging device, etc. to a substrate, and the transfer film is divided into a plurality of regions in the film width direction on a film base material. Describes that a heat-meltable color ink layer is provided. Further, the above heat-meltable color ink layer is applied onto a film substrate using a coating head having a nozzle.
JP 2001-328229 A JP 2001-130141 A JP 2003-21710 A

上記の薄膜転写の熱転写方式における加熱ロール方式では、高精細且つ密着性に優れたパターンを形成することが難しく、また上記に説明したレーザー転写法においては、転写フィルムの基材上に設ける転写層はダイコーティングやヘッドを使用してウェットコーティング、つまり液状のインキを用いて形成されるものであり、薄膜における膜厚がばらついてしまい、電子部品の構成要素として、充分な膜厚精度を保持していないという問題がある。また、上記のウェットコーティングでは塗工液の状態で、主成分である金属成分をバインダーと溶媒で保持する必要があり、金属成分の含有濃度を薄膜の状態で高くさせることが難しいので、導電性等の機能に限界がある。   With the heating roll method in the thermal transfer method of the above thin film transfer, it is difficult to form a pattern with high definition and excellent adhesion, and in the laser transfer method described above, the transfer layer provided on the substrate of the transfer film Is formed by using wet coating, that is, liquid ink, using a die coating or a head, and the film thickness in the thin film varies, maintaining sufficient film thickness accuracy as a component of electronic components. There is no problem. Also, in the above wet coating, it is necessary to hold the metal component as the main component with a binder and solvent in the state of the coating liquid, and it is difficult to increase the concentration of the metal component in the state of a thin film. There is a limit to the functions such as.

したがって、本発明は上記問題に鑑みなされたものであり、基材上に光熱変換層、転写層を順次形成したレーザー転写フィルムにおいて、高精細且つ密着性に優れたパターンを受像要素に転写形成でき、また膜厚精度が高く、導電性等の高機能の薄膜を安定して形成でき、レーザー照射装置を用いることで、容易且つ正確に、高機能性を示す真空薄膜を転写して形成できるレーザー転写フィルムと、該レーザー転写フィルムを使用するカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and in a laser transfer film in which a photothermal conversion layer and a transfer layer are sequentially formed on a substrate, a pattern having high definition and excellent adhesion can be transferred and formed on an image receiving element. In addition, a laser capable of stably forming a highly functional thin film with high film thickness accuracy, such as conductivity, and easily and accurately transferring a vacuum thin film exhibiting high functionality by using a laser irradiation apparatus. It is an object of the present invention to provide a transfer film and a method for producing a color filter using the laser transfer film.

本発明は、上記課題を解決するための手段として、請求項1として、本発明のレーザー転写フィルムは、基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、真空薄膜である転写層を備えていることを特徴とする。該転写層は、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記光熱変換層の作用により加熱されて破断し、受像要素にパターン状に転写されるものである。また、請求項2として、本発明のレーザー転写フィルムは、基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、真空薄膜である転写層、ヒートシール層を備えていることを特徴とする。この構成は、請求項1のレーザー転写フィルムの転写層の上に、ヒートシール層を備えたものであり、このヒートシール層は、転写を通じて熱を受けて溶融するものである。   As a means for solving the above-mentioned problems, the present invention provides, as claim 1, a laser transfer film according to the present invention comprising a base material, a photothermal conversion layer and a transfer layer that is a vacuum thin film sequentially formed thereon. It is characterized by having. The transfer layer is heated and broken by the action of the photothermal conversion layer by a thermal imaging process using laser light, and is transferred to the image receiving element in a pattern. According to a second aspect of the present invention, the laser transfer film of the present invention comprises a substrate, a photothermal conversion layer, a transfer layer that is a vacuum thin film, and a heat seal layer, which are sequentially formed thereon. . In this configuration, a heat seal layer is provided on the transfer layer of the laser transfer film according to claim 1, and the heat seal layer is melted by receiving heat through transfer.

請求項3として、請求項1または2に記載の転写層が絶縁膜であることを特徴とする。また請求項4として、請求項1または2に記載の転写層が透明導電膜であることを特徴とする。請求項5として、請求項1または2に記載の転写層が磁性体膜であることを特徴とする。請求項6として、請求項1または2に記載の転写層が誘電体膜であることを特徴とする。   As a third aspect, the transfer layer according to the first or second aspect is an insulating film. According to a fourth aspect of the present invention, the transfer layer according to the first or second aspect is a transparent conductive film. A fifth aspect is characterized in that the transfer layer according to the first or second aspect is a magnetic film. A sixth aspect is characterized in that the transfer layer according to the first or second aspect is a dielectric film.

請求項7として、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、請求項1、2、4のいずれか一つに記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とする。   The present invention includes a transparent substrate, pixels of a plurality of colors arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels, and the substrate side with respect to the pixels 5. The laser transfer according to claim 1, wherein a partition pattern on the substrate is formed on the opposite side of the color filter having a conductive electrical wiring that maintains transparency on the opposite side. The film transfer layer or heat seal layer is in close contact with the surface of the substrate, and subsequently formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using laser light. It is characterized by.

また、請求項8として、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記電気配線を、請求項1または2に記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とする。   Further, the present invention includes a transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other, and the substrate is separated from the pixels. 3. The method for producing a color filter having an electrically conductive electrical wiring that maintains transparency on the side opposite to the side, wherein the electrical wiring is the transfer layer or heat seal layer of the laser transfer film according to claim 1. And the pixel and the pixel side of the substrate on which the partition pattern is formed are in close contact with each other, and subsequently, the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film is transferred by a thermal imaging process using laser light. It is characterized by doing.

請求項9として、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、請求項1、2、4のいずれか一つに記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成し、かつ前記電気配線を、請求項1または2に記載のレーザー転写フィルムで、但し、仕切りパターン形成用のレーザー転写フィルムとは同一ではなく、転写層が異なる条件で、転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とする。
請求項10として、請求項7、8、9のいずれか一つに記載の仕切りパターンが液晶表示装置のブラックマトリックスであることを特徴とする。
The present invention includes a transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other. 5. The laser transfer according to claim 1, wherein a partition pattern on the substrate is formed on the opposite side of the color filter having a conductive electrical wiring that maintains transparency on the opposite side. The film transfer layer or heat seal layer and the surface of the substrate are brought into close contact with each other, and subsequently formed by transferring a vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using laser light, And the electrical wiring is the laser transfer film according to claim 1 or 2, provided that the laser transfer film for partition pattern formation is not the same, The transfer film or the heat seal layer and the pixel side of the substrate on which the partition pattern is formed are brought into close contact with each other under different coating layers, and then the laser transfer film is formed by a thermal imaging process using laser light. The transfer layer is formed by transferring a vacuum thin film component.
A tenth aspect is characterized in that the partition pattern according to any one of the seventh, eighth, and ninth aspects is a black matrix of a liquid crystal display device.

本発明のレーザー転写フィルムは、基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、真空薄膜である転写層を備えている、あるいは前記転写層の上に、ヒートシール層を備えている。このような構成により、転写層またはヒートシール層と被転写体とを密着させ、レーザー光を照射することにより、容易に高精細且つ密着性に優れたパターンを転写形成でき、また膜厚精度が高く、導電性等の高機能の薄膜を安定して転写形成できる。   The laser transfer film of the present invention includes a substrate and a light-to-heat conversion layer and a transfer layer that is a vacuum thin film sequentially formed thereon, or a heat seal layer on the transfer layer. . With such a configuration, the transfer layer or heat seal layer and the transfer target can be closely adhered to each other, and a laser beam can be irradiated to easily transfer and form a pattern with high definition and excellent adhesion, and the film thickness accuracy can be improved. High, highly functional thin films such as conductivity can be stably transferred and formed.

本発明では、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、その裏面に透明性を保持する電気伝導性のある電気配線をもつカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、上記のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を前記電気配線パターンに対応するパターンで転写することによって形成することができる。この仕切りパターンが液晶表示装置のブラックマトリックスとして機能させることができ、利用価値が高い。また、本発明のレーザー転写フィルムを用いることで、カラーフィルターの作製において、工程時間の短縮を図ることが可能となった。   The present invention includes a transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other. In the method of manufacturing a color filter having a characteristic electric wiring, the partition pattern on the substrate is brought into close contact with the transfer layer or heat seal layer of the laser transfer film and the surface of the substrate, and then laser light is emitted. By the thermal imaging process used, it can be formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film in a pattern corresponding to the electrical wiring pattern. This partition pattern can function as a black matrix of a liquid crystal display device, and has high utility value. Further, by using the laser transfer film of the present invention, it has become possible to shorten the process time in the production of a color filter.

本発明の実施の形態を添付の図面を参照して説明する。なお、以下の図面を参照した説明において、説明の都合から、同じ参照番号のものについて異なる部材名などを付与することもある。本発明によるレーザー転写フィルムは、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセス(LITI法)により画像パターンを受像要素に転写するために画像付与要素として使用されるものである。図1は、この本発明のレーザー転写フィルムの典型的な構成を示したものである。図示されるように、レーザー転写フィルム13は、基材14と、その上に順次形成された、光熱変換層15、そして光熱変換層15の作用により加熱されて溶融し、受像要素(図示せず)にパターン状に転写される転写層16とを備えている。なお、本発明のレーザー転写フィルムは、必要に応じて、例えば転写層の上にヒートシール層を設け、受像要素と転写層との密着性を向上させたり、また他の任意の追加の層を有していてもよい。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the description with reference to the following drawings, different member names may be given for the same reference numbers for convenience of description. The laser transfer film according to the present invention is used as an image providing element for transferring an image pattern to an image receiving element by a thermal imaging process (LITI method) using laser light. FIG. 1 shows a typical structure of the laser transfer film of the present invention. As shown in the figure, the laser transfer film 13 is heated and melted by the action of the substrate 14, the photothermal conversion layer 15 and the photothermal conversion layer 15 sequentially formed thereon, and an image receiving element (not shown). And a transfer layer 16 transferred in a pattern. The laser transfer film of the present invention is provided with a heat seal layer, for example, on the transfer layer, if necessary, to improve the adhesion between the image receiving element and the transfer layer, or any other optional layer. You may have.

次に、上記本発明のレーザー転写フィルムを構成する各層について説明する。
(基材)
本発明のレーザー転写フィルムで用いられる基材14としては、従来の熱転写記録材料に使用されているものと同じ基材をそのまま用いることが出来ると共に、その他のものも使用することが出来、特に制限されない。但し、転写層の転写のためにレーザー光を照射して加熱が行われるので、レーザー光の透過性、耐熱性など、そして、受像要素に密着させて使用され、かつ使用後には剥離されるので、適度の柔軟性、軽さ、取り扱い性、機械的強度などが必要となる。特に用いるレーザー光の波長の透過率が60%以上であることが好ましい。
Next, each layer constituting the laser transfer film of the present invention will be described.
(Base material)
As the base material 14 used in the laser transfer film of the present invention, the same base material as that used in the conventional thermal transfer recording material can be used as it is, and other base materials can be used. Not. However, since the heating is performed by irradiating the laser beam for the transfer of the transfer layer, the laser beam permeability, heat resistance, etc. are used in close contact with the image receiving element, and are peeled off after use. Appropriate flexibility, lightness, handleability, mechanical strength, etc. are required. In particular, the transmittance of the wavelength of the laser beam used is preferably 60% or more.

好ましい基材の具体例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、セロハン、ポリカーボネート、酢酸セルロース、トリアセチルセルロース、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ナイロン、ポリイミド、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、フッ素樹脂、塩化ゴム、アイオノマー等のように比較的耐熱性の良いプラスチックフィルム、コンデンサー紙、パラフィン紙等の紙類、不織布等があり、又、これらを複合した基材であってもよい。この基材の厚さは、その強度及び熱伝導性が適切になるように材料に応じて適宜変更することが出来るが、その厚さは、好ましくは、例えば、2〜180μmである。   Specific examples of preferable substrates include, for example, polyester such as polyethylene terephthalate, polypropylene, cellophane, polycarbonate, cellulose acetate, triacetyl cellulose, polyethylene, polyvinyl chloride, polystyrene, nylon, polyimide, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, fluorine. There are relatively heat-resistant plastic films such as resin, chlorinated rubber, and ionomer, paper such as condenser paper and paraffin paper, non-woven fabric, and the like, and a composite material of these may be used. The thickness of the substrate can be appropriately changed depending on the material so that the strength and thermal conductivity are appropriate, but the thickness is preferably 2 to 180 μm, for example.

(光熱変換層)
光熱変換層15は、レーザ光を吸収することのできる色素(顔料など)とバインダーを主体に構成される。使用できる色素(顔料など)の例としては、カーボンブラックのような黒色顔料、フタロシアニン、ナフタロシアニンのような可視から近赤外域に吸収を有する大環状化合物の顔料、光ディスクなどの高密度レーザ記録のレーザ吸収材料として使用される有機染料(インドレニン染料等のシアニン染料、アントラキノン系染料、アズレン系色素、フタロシアニン系染料)およびジチオールニッケル錯体等の有機金属化合物色素を挙げることができる。上記の中でも特に、粒子材料であるカーボンブラックを用いると、適度な箔持ちと印字の高感度化が達成できるので、好ましい。
(Photothermal conversion layer)
The photothermal conversion layer 15 is mainly composed of a dye (such as a pigment) capable of absorbing laser light and a binder. Examples of dyes that can be used include black pigments such as carbon black, macrocyclic compound pigments having absorption in the visible to near infrared region such as phthalocyanine and naphthalocyanine, and high density laser recording such as optical disks. Examples thereof include organic dyes (cyanine dyes such as indolenine dyes, anthraquinone dyes, azulene dyes, and phthalocyanine dyes) used as laser absorbing materials and organometallic compound dyes such as dithiol nickel complexes. Among these, carbon black, which is a particulate material, is particularly preferable because moderate foil holding and high printing sensitivity can be achieved.

光熱変換層のバインダーの材料としては特に限定はないが、不飽和結合を有するモノマー、オリゴマーの光重合性または熱重合性化合物を重合、架橋させたポリマーが挙げられる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステルなどのアクリル酸系モノマーの単独重合体または共重合体、メチルセルロース、エチルセルロース、セルロースアセテートのようなセルロース系ポリマー、ポリスチレン、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコールのようなビニル系ポリマー及びビニル化合物の共重合体、ポリエステル、ポリアミドのような縮合系ポリマー、ブタジェン−スチレン共重合体のようなゴム系熱可塑性ポリマー、エポキシ化合物などの光重合性または熱重合性化合物を重合・架橋させたポリマーなどを挙げることができる。また、樹脂中に反応性基を有する熱可塑性樹脂とポリイソシアネートとの反応硬化物も使用できる。上記バインダー樹脂の架橋硬化方法は加熱したり、電離放射線の照射など手段は特に限定されない。   The binder material for the photothermal conversion layer is not particularly limited, and examples thereof include a polymer obtained by polymerizing and crosslinking a monomer having an unsaturated bond and an oligomer photopolymerizable or thermopolymerizable compound. Specific examples include homopolymers or copolymers of acrylic monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, acrylic esters, and methacrylic esters, cellulose polymers such as methyl cellulose, ethyl cellulose, and cellulose acetate, polystyrene, and vinyl chloride. -Vinyl acetate copolymers, polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl butyral, vinyl polymers such as polyvinyl alcohol and copolymers of vinyl compounds, condensation polymers such as polyester and polyamide, rubber systems such as butadiene-styrene copolymers. Examples thereof include a polymer obtained by polymerizing and crosslinking a photopolymerizable or thermopolymerizable compound such as a thermoplastic polymer and an epoxy compound. Moreover, the reaction hardened | cured material of the thermoplastic resin and polyisocyanate which have a reactive group in resin can also be used. The method for crosslinking and curing the binder resin is not particularly limited, and means such as heating or irradiation with ionizing radiation is not particularly limited.

上記バインダー材料として、光重合性モノマー又はオリゴマーを用いた場合、光熱変換層に光重合開始剤を添加して使用することが好ましい。光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、チオキサントン、チオアクリドン、2−エチルアントラキノン、フェナントレン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル類、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ハロメチルチアゾール化合物等が挙げられる。これらの光重合開始剤を単独で、また、光硬化反応速度を高めるために2種以上を混合して使用することができる。このような光重合開始剤の添加量は、光熱変換層の総固形分に対して、0.1〜10質量%の範囲が好ましい。   When a photopolymerizable monomer or oligomer is used as the binder material, it is preferable to add a photopolymerization initiator to the photothermal conversion layer. As photopolymerization initiators, aromatic ketones such as benzophenone, Michler ketone, thioxanthone, thioacridone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrene, benzoin ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, methyl benzoin, ethyl benzoin, etc. Benzoin, halomethylthiazole compounds and the like. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more in order to increase the photocuring reaction rate. The addition amount of such a photopolymerization initiator is preferably in the range of 0.1 to 10% by mass with respect to the total solid content of the photothermal conversion layer.

光熱変換層の形成は、上記のようなレーザー吸収色素とバインダー樹脂と、必要に応じて光重合開始剤等の添加剤を加えて、さらにこれに必要に応じて水、有機溶剤等の溶媒成分を配合調整した光熱変換層形成用塗工液を、従来公知のグラビアダイレクトコート、グラビアリバースコート、ナイフコート、エアコート、ロールコート、ダイコート等の方法により塗布、乾燥することができる。光熱変換層の膜厚は乾燥時で0.05〜3μm、好ましくは0.1〜1μmである。また、光熱変換層は真空薄膜の転写に使用するレーザー光の波長での光吸収率として70%以上を示すことが好ましい。   The photothermal conversion layer is formed by adding an additive such as a laser-absorbing dye and a binder resin as described above, and a photopolymerization initiator as necessary, and further adding a solvent component such as water or an organic solvent as necessary. The coating solution for forming a photothermal conversion layer, which has been adjusted, can be applied and dried by conventionally known methods such as gravure direct coating, gravure reverse coating, knife coating, air coating, roll coating, and die coating. The film thickness of the photothermal conversion layer is 0.05 to 3 μm, preferably 0.1 to 1 μm when dried. Moreover, it is preferable that a photothermal conversion layer shows 70% or more as a light absorptance in the wavelength of the laser beam used for the transfer of a vacuum thin film.

(転写層)
本発明におけるレーザー転写フィルムの転写層16は、光熱変換層の作用により加熱されて破断し、受像要素にパターン状に転写される真空薄膜であり、その薄膜の性能により、絶縁膜、透明導電膜、磁性体膜、又は誘電体膜のいずれかの機能を発揮することができる。本発明における転写層は、真空薄膜であり、レーザー光の照射により光熱変換層の作用により加熱されて破断し、受像要素にパターン状に転写されるものである。
(Transfer layer)
The transfer layer 16 of the laser transfer film in the present invention is a vacuum thin film that is heated and broken by the action of the light-to-heat conversion layer and is transferred in a pattern to the image receiving element. Any of the functions of a magnetic film or a dielectric film can be exhibited. The transfer layer in the present invention is a vacuum thin film, and is heated and broken by the action of the light-to-heat conversion layer by irradiation with laser light, and is transferred to the image receiving element in a pattern.

転写層は、熱CVD(化学気相蒸着)法、Cat−CVD法、RS−CVD(ラジカルシャワーCVD)法、プラズマCVD法、スパッタリング法、物理蒸着法、イオンプレーティング法等の真空成膜法により形成することができる。この中で、特にプラズマCVD法、イオンプレーティング法は、基材に熱的なダメージを与えることが少ないので、基材の選択の幅が広がり、また薄膜の膜厚精度の高いものを安定して製造でき、かつサブミクロン単位の薄膜を安定し形成でき、好ましく使用することができる。このような製造方法により作製される真空薄膜の転写層は、転写層を構成する主成分の金属成分の含有割合が非常に高く、かつ薄膜の密度が非常に高いものが得られ、導電性等の転写層の機能に非常に優れたものとなる。本発明における転写層は、膜厚が10〜200nm程度である。   The transfer layer is a vacuum film formation method such as a thermal CVD (chemical vapor deposition) method, a Cat-CVD method, an RS-CVD (radical shower CVD) method, a plasma CVD method, a sputtering method, a physical vapor deposition method, or an ion plating method. Can be formed. Among these, the plasma CVD method and the ion plating method in particular do not cause thermal damage to the base material, so the range of base material selection is widened, and a thin film with high film thickness accuracy is stabilized. And a thin film of submicron unit can be stably formed and can be preferably used. The transfer layer of the vacuum thin film produced by such a manufacturing method can be obtained with a very high content of the metal component of the main component constituting the transfer layer and a very high density of the thin film. The transfer layer has a very excellent function. The transfer layer in the present invention has a thickness of about 10 to 200 nm.

上記の転写層の製造方法の中で、プラズマCVD法を例に挙げて、図3に基づいて成膜方法を説明する。まず、ウェッブ状のプラスティックフィルム1が基材巻き出し部2より巻きだされて、真空容器3中のプラズマCVDの反応室4に導入される。この反応容器3の全体は、真空ポンプ5により排気される。また、同時に反応室4には、原料ガス導入口6より規定流量の有機チタン化合物ガスと酸素ガスが供給され、反応室4の内部は、常に一定圧力のこれらのガスで満たされている。ここで、有機チタン化合物とは、Ti(i−OC374(チタンテトラi−プロポキシド)、Ti(OCH34(チタンテトラメトキシド)、Ti(OC254(チタンテトラエトキシド)、Ti(n−OC374(チタンテトラn−プロポキシド)、Ti(n−OC494(チタンテトラn−ブトキシド)、Ti(t−OC494(チタンテトラt−ブトキシド)のチタンアルコキシドが挙げられ、四塩化チタンも此処では含めている。そのなかでも、四塩化チタン、Ti(i−OC374(チタンテトラi−プロポキシド)、Ti(t−OC494(チタンテトラt−ブトキシド)の蒸気圧が高いという理由で好適である。 Of the above-described transfer layer manufacturing methods, the film forming method will be described with reference to FIG. 3 taking the plasma CVD method as an example. First, the web-shaped plastic film 1 is unwound from the substrate unwinding section 2 and introduced into the plasma CVD reaction chamber 4 in the vacuum vessel 3. The entire reaction vessel 3 is evacuated by a vacuum pump 5. At the same time, the reaction chamber 4 is supplied with an organic titanium compound gas and oxygen gas at a predetermined flow rate from the raw material gas inlet 6, and the interior of the reaction chamber 4 is always filled with these gases at a constant pressure. Here, the organic titanium compound is Ti (i-OC 3 H 7 ) 4 (titanium tetra i-propoxide), Ti (OCH 3 ) 4 (titanium tetramethoxide), Ti (OC 2 H 5 ) 4 ( titanium tetraethoxide), Ti (n-OC 3 H 7) 4 ( titanium tetra n- propoxide), Ti (n-OC 4 H 9) 4 ( titanium tetra n- butoxide), Ti (t-OC 4 H 9 ) 4 (titanium tetra-t-butoxide) titanium alkoxide, and titanium tetrachloride is also included here. Among them, titanium tetrachloride, Ti (i-OC 3 H 7 ) 4 (titanium tetra i-propoxide), and Ti (t-OC 4 H 9 ) 4 (titanium tetra t-butoxide) have high vapor pressure. It is preferable for the reason.

次に、基材巻き出し部2より巻き出され、反応室4に導入されたプラスティックフィルム1は、反転ロール7を経て、成膜用ドラム8に巻き付き、成膜用ドラム8の回転と同期しながら反転ロール7’の方向に送られていく。この時、成膜用ドラム8は、温度コントロールが可能であり、この時、プラスティックフィルム1の表面温度と成膜用ドラム8の表面温度はほぼ等しい。従って、プラズマCVD時に酸化チタンが堆積するプラスティックフィルム1の表面温度、すなわちプラズマCVDの成膜温度を任意にコントロールできる。この例においては、プラズマCVDにより酸化チタン膜12をプラスティックフィルム1上に成膜する場合の成膜温度を、その時の成膜用ドラム8の表面温度により表示する。   Next, the plastic film 1 unwound from the substrate unwinding section 2 and introduced into the reaction chamber 4 is wound around the film-forming drum 8 through the reverse roll 7 and is synchronized with the rotation of the film-forming drum 8. However, it is sent in the direction of the reversing roll 7 '. At this time, the temperature of the film forming drum 8 can be controlled. At this time, the surface temperature of the plastic film 1 and the surface temperature of the film forming drum 8 are substantially equal. Therefore, the surface temperature of the plastic film 1 on which titanium oxide is deposited during plasma CVD, that is, the film formation temperature of plasma CVD can be arbitrarily controlled. In this example, the film forming temperature when the titanium oxide film 12 is formed on the plastic film 1 by plasma CVD is displayed by the surface temperature of the film forming drum 8 at that time.

電極9と成膜用ドラム8との間には、電源10によりRF電圧が印加される。このとき、電源の周波数は、ラジオ波に限らず、直流からマイクロ波まで適当な周波数を使用することも可能である。そして、電極9と成膜用ドラム8の間にRF電圧を印加することにより、この両電極の周辺にプラズマ11が発生する。そして、このプラズマ11中で有機チタン化合物ガスと酸素ガスが反応し、酸化チタンを生成して成膜用ドラム8に巻き付いたプラスティックフィルム1上に堆積して、酸化チタン膜12が形成される。その後、酸化チタン膜12が表面に形成されたプラスティックフィルム1は、反転ロール7’を経て、基材巻き取り部2’で巻き取られる。   An RF voltage is applied between the electrode 9 and the film forming drum 8 by a power source 10. At this time, the frequency of the power source is not limited to a radio wave, and an appropriate frequency from a direct current to a microwave can be used. Then, by applying an RF voltage between the electrode 9 and the film forming drum 8, plasma 11 is generated around these electrodes. The organic titanium compound gas and oxygen gas react in the plasma 11 to generate titanium oxide, which is deposited on the plastic film 1 wound around the film forming drum 8 to form a titanium oxide film 12. Thereafter, the plastic film 1 having the titanium oxide film 12 formed on the surface thereof is wound up by the substrate winding portion 2 ′ through the reverse roll 7 ′.

上記のように、プラズマ11により有機チタン化合物ガスと酸素ガスが化学反応して生成した酸化チタンが、成膜用ドラム8により適切な温度に冷却されたプラスティックフィルム1上に堆積して、酸化チタン膜を形成するので、プラスティックフィルム1が高温にさらされ、伸び、変形、カール等することなく、酸化チタン膜12の形成が可能である。さらに、プラズマCVD法においては、材料ガス流量・圧力、放電条件、プラスティックフィルム1の送りスピードのコントロールにより、形成される酸化チタン膜12の屈折率、膜厚等を広範囲でコントロールしうるため、材料を変更することなく、所望の膜を得ることができる。   As described above, the titanium oxide produced by the chemical reaction of the organic titanium compound gas and the oxygen gas by the plasma 11 is deposited on the plastic film 1 cooled to an appropriate temperature by the film-forming drum 8, and the titanium oxide is deposited. Since the film is formed, the plastic film 1 is exposed to a high temperature, and the titanium oxide film 12 can be formed without stretching, deformation, curling and the like. Furthermore, in the plasma CVD method, the refractive index and film thickness of the titanium oxide film 12 to be formed can be controlled over a wide range by controlling the material gas flow rate / pressure, discharge conditions, and the feeding speed of the plastic film 1. A desired film can be obtained without changing the value.

上記のプラズマCVD法による成膜の例では、真空薄膜として酸化チタン膜を形成したが、これに限らず原料ガスを適宜変更することにより、絶縁膜、透明導電膜、磁性体膜、又は誘電体膜のいずれかの機能を有する薄膜を形成することができる。例えば、シリカ、酸化チタン等の薄膜を形成した絶縁膜、酸化チタン、ITO(インジウム/スズ酸化物)、IZO(インジウム/亜鉛酸化物)、ZAO(亜鉛/アルミ酸化物)等の薄膜を形成した透明導電膜、鉄、コバルト、ニッケル等の強磁性金属あるいはそれらの合金、酸化物等の薄膜の磁性体膜、二酸化アルミニウム、二酸化ジルコニウム、フッ化マグネシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、PZT(チタン酸鉛/ジルコニア)等の薄膜による誘電体膜が挙げられる。   In the example of film formation by the above plasma CVD method, a titanium oxide film is formed as a vacuum thin film. However, the present invention is not limited to this, and by appropriately changing the source gas, an insulating film, a transparent conductive film, a magnetic film, or a dielectric A thin film having any function of the film can be formed. For example, an insulating film formed with a thin film such as silica or titanium oxide, a thin film such as titanium oxide, ITO (indium / tin oxide), IZO (indium / zinc oxide), or ZAO (zinc / aluminum oxide) was formed. Transparent conductive film, ferromagnetic metal such as iron, cobalt, nickel or their alloys, magnetic thin film such as oxide, aluminum dioxide, zirconium dioxide, magnesium fluoride, barium titanate, strontium titanate, PZT (titanium) Examples thereof include a dielectric film made of a thin film such as lead acid / zirconia.

上記薄膜の中で、例えばシリカ薄膜をプラズマCVD法で形成する場合、原料ガスとしては、シラン、ジシラン、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルジシロキサン(TMDSO)、メチルトリメトキシシラン(MTMOS)、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、テトラメトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、テトラエトキシシラン等のSi系化合物を用いることが可能である。特に、水蒸気との反応性が高い方が好ましい。   Among the above thin films, for example, when a silica thin film is formed by a plasma CVD method, source gases include silane, disilane, hexamethyldisiloxane (HMDSO), tetramethyldisiloxane (TMDSO), and methyltrimethoxysilane (MTMOS). Si-based compounds such as methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, tetramethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, and tetraethoxysilane can be used. In particular, a higher reactivity with water vapor is preferable.

(ヒートシール層)
本発明のレーザー転写フィルムは、基材上に光熱変換層、転写層、ヒートシール層を順次形成できる。レーザー転写フィルムの最表面にヒートシール層を設けることにより、受像要素と転写される転写層との接着性を向上させることができる。ヒートシール層は、レーザー光照射手段による加熱により、軟化して接着性を発揮する熱可塑性樹脂及び/または、得られるレーザー転写フィルムをロール状に巻き取ったり、枚葉状で積み重ねる時に、ブロッキングを防止するために、ワックス類、高級脂肪酸のアミド、エステル及び塩、フッ素樹脂や無機物質の粉末のようにブロッキング防止剤を含有することができる。
(Heat seal layer)
The laser transfer film of the present invention can sequentially form a photothermal conversion layer, a transfer layer, and a heat seal layer on a substrate. By providing a heat seal layer on the outermost surface of the laser transfer film, the adhesion between the image receiving element and the transferred transfer layer can be improved. Heat sealing layer prevents blocking when the thermoplastic resin and / or the laser transfer film obtained is softened by heating with laser light irradiation means and / or the resulting laser transfer film is rolled up or stacked in sheet form In order to achieve this, it is possible to contain an anti-blocking agent such as waxes, higher fatty acid amides, esters and salts, fluororesin and inorganic powders.

熱可塑性樹脂として、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリブデン、石油樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニリデン樹脂、メタクリル樹脂、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリビニルフォルマール、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル、ポリイソブチレン、ポリアセタールや、天然ゴム、アクリレートゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、弗素ゴム、ネオプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、エピクロルヒドリン、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンエラストマー等のエラストマー等が挙げられ、特に従来感熱接着剤として使用されている比較的低軟化点、例えば、50〜150℃の軟化点を有するものが好ましい。   Examples of the thermoplastic resin include ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-acrylic acid ester copolymer, polyester resin, polyethylene, polystyrene, polypropylene, polybudene, petroleum resin, vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer. , Vinylidene chloride resin, methacrylic resin, polyamide, polycarbonate, polyvinyl formal, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyisobutylene, polyacetal, natural rubber, acrylate rubber, butyl rubber, nitrile rubber, butadiene rubber, isoprene rubber, styrene-butadiene rubber , Chloroprene rubber, urethane rubber, silicone rubber, acrylic rubber, fluorine rubber, neoprene rubber, chlorosulfonated polyethylene, epichlorohydrin, ethylene propylene di Ngomu, elastomers such as urethane elastomer and the like, a relatively low softening point, which is used particularly as a conventional heat-sensitive adhesive, for example, preferably has a softening point of 50 to 150 ° C..

ヒートシール層の形成は、上記の材料と添加剤をホットメルトコートまたは適当な有機溶剤または水に溶解または分散したヒートシール層形成用塗工液を、従来公知のホットメルトコート、ホットラッカーコート、グラビアダイレクトコート、グラビアリバースコート、ナイフコート、エアコート、ロールコート、ダイコート等の方法により、乾燥状態で厚さ0.10〜5g/m2を設けるものである。乾燥塗膜の厚さが、0.10g/m2未満の場合、受像要素及び転写層との接着性が劣り、レーザー光照射の際の転写不良となる。また、厚さが5g/m2を越えた場合、レーザー光照射時の転写感度が低下し、満足のいく印字品質が得られない。 The heat seal layer is formed by hot melt coating or a coating solution for forming a heat seal layer obtained by dissolving or dispersing the above-described materials and additives in an appropriate organic solvent or water. A thickness of 0.10 to 5 g / m 2 is provided in a dry state by a method such as gravure direct coating, gravure reverse coating, knife coating, air coating, roll coating, or die coating. When the thickness of the dried coating film is less than 0.10 g / m 2 , the adhesiveness between the image receiving element and the transfer layer is poor, resulting in transfer failure upon laser light irradiation. On the other hand, when the thickness exceeds 5 g / m 2 , the transfer sensitivity at the time of laser light irradiation is lowered, and satisfactory print quality cannot be obtained.

(プライマー層)
本発明のレーザー転写フィルムは、基材と光熱変換層との接着性が弱い場合、基材と光熱変換層との間に、プライマー層を設けて、光熱変換層と基材との接着を強めることができる。プライマー層に用いる樹脂としては、例えば、アルキッド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、NBR樹脂、SBR樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル系樹脂、ポリアミド等が単独もしくは共重合物、混合物、変性物として用いられる。変性物とは、例えば水酸基やカルボン酸、4級アンモニウム塩含有モノマーを共重合もしくはグラフトさせて、接着性、親水性を上げたもの等である。
(Primer layer)
When the adhesion between the substrate and the light-to-heat conversion layer is weak, the laser transfer film of the present invention provides a primer layer between the substrate and the light-to-heat conversion layer to enhance the adhesion between the light-to-heat conversion layer and the substrate. be able to. Examples of the resin used for the primer layer include alkyd resin, polyester resin, polyvinyl acetate resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer resin, NBR resin, SBR resin, polyurethane resin, acrylic resin, and polyamide. Used as a polymer, a mixture, or a modified product. The modified product is, for example, a product obtained by copolymerizing or grafting a hydroxyl group, a carboxylic acid, or a quaternary ammonium salt-containing monomer to improve adhesion and hydrophilicity.

また、プライマー層の接着性、塗膜強度を向上させるために、上記の樹脂を各種硬化剤、例えばエポキシ樹脂、メラミン樹脂、イソシアネート等により架橋させてもよい。プライマー層の形成方法は、前述の光熱変換層の形成方法と同様な方法が選べ、プライマー層の厚みは乾燥時で0.01〜50g/m2、好ましくは0.1〜10g/m2とするのが良い。 Moreover, in order to improve the adhesiveness and coating film strength of the primer layer, the above resin may be cross-linked with various curing agents such as epoxy resin, melamine resin, isocyanate and the like. The method of forming the primer layer, choose formation method similar to the method of the light-to-heat conversion layer of the above, the thickness of the primer layer 0.01 to 50 g / m 2 in dry, preferably a 0.1 to 10 g / m 2 Good to do.

(クッション層)
本発明のレーザー転写フィルムは、基材と光熱変換層との間に、クッション層を設けることができ、レーザー光照射による転写時に、レーザー転写フィルムと受像要素との密着性を向上させることができる。このクッション性を付与するには、低弾性率を有する材料あるいはゴム弾性を有する材料を使用すればよい。具体的には、天然ゴム、アクリレートゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、弗素ゴム、ネオプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、エピクロルヒドリン、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンエラストマー等のエラストマー、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブタジエン、ポリブテン、耐衝撃性ABS樹脂、ポリウレタン、ABS樹脂、アセテート、セルロースアセテート、アミド樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ニトロセルロース、ポリスチレン、エポキシ樹脂、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、ポリエステル、耐衝撃性アクリル樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、可塑剤入り塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等の内、弾性率の小さな樹脂が挙げられる。
(Cushion layer)
In the laser transfer film of the present invention, a cushion layer can be provided between the base material and the photothermal conversion layer, and the adhesion between the laser transfer film and the image receiving element can be improved during transfer by laser light irradiation. . In order to impart this cushioning property, a material having a low elastic modulus or a material having rubber elasticity may be used. Specifically, natural rubber, acrylate rubber, butyl rubber, nitrile rubber, butadiene rubber, isoprene rubber, styrene-butadiene rubber, chloroprene rubber, urethane rubber, silicone rubber, acrylic rubber, fluorine rubber, neoprene rubber, chlorosulfonated polyethylene, Epichlorohydrin, elastomers such as ethylene / propylene / diene rubber, urethane elastomer, polyethylene, polypropylene, polybutadiene, polybutene, impact-resistant ABS resin, polyurethane, ABS resin, acetate, cellulose acetate, amide resin, polytetrafluoroethylene, nitrocellulose, polystyrene , Epoxy resin, phenol-formaldehyde resin, polyester, impact-resistant acrylic resin, styrene-butadiene copolymer, ethylene Elastic modulus of vinyl acetate copolymer, acrylonitrile-butadiene copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinyl acetate, plasticized vinyl chloride resin, vinylidene chloride resin, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, etc. Small resin.

クッション層として使用可能な形状記憶樹脂としては、ポリノルボルネンやポリブタジエンユニットとポリスチレンユニットとが複合化されたスチレン系ハイブリッドポリマー等を挙げることができる。また、これらの材料を基材に適用して、基材自身にクッション性を持たせることもできる。クッション層の厚みは、使用する樹脂あるいはエラストマーの種類、レーザー転写フィルム−受像要素間の密着の際の吸引力、マット材の使用など様々の因子により異なるので一概には決められないが、通常、乾燥時の塗工量で5〜100g/m2の範囲である。クッション層の形成方法としては、前記材料を溶媒に溶解又はラテックス状に分散したものを、ブレードコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター等の塗布法、ホットメルトでの押出しラミネーション法、クッション層フィルムの貼合せ法などを適用できる。 Examples of the shape memory resin that can be used as the cushion layer include polynorbornene, a styrene hybrid polymer in which a polybutadiene unit and a polystyrene unit are combined. Moreover, these materials can be applied to a base material to give the base material itself cushioning properties. The thickness of the cushion layer varies depending on various factors such as the type of resin or elastomer to be used, the adhesion between the laser transfer film and the image receiving element, and the use of a mat material. It is the range of 5-100 g / m < 2 > by the coating amount at the time of drying. As a method for forming the cushion layer, a material in which the above materials are dissolved in a solvent or dispersed in a latex form, a coating method such as a blade coater, a roll coater, a bar coater, a curtain coater, a gravure coater, an extrusion lamination method using hot melt, Cushion layer film laminating method can be applied.

(カラーフィルターの製造方法)
本発明におけるカラーフィルターの製造方法について、以下に説明する。
透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、上記のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、つまりレーザー光を薄膜成分の転写させたいパターン(イメージ)に応じて照射して、基板表面に薄膜を転写する方法で、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成するものである。
(Color filter manufacturing method)
The manufacturing method of the color filter in the present invention will be described below.
A transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other; In the method of manufacturing a color filter having electrically conductive electrical wiring that retains electrical properties, the partition pattern on the substrate is brought into close contact with the transfer layer or heat seal layer of the laser transfer film and the surface of the substrate, Subsequently, the laser transfer film is transferred by a thermal imaging process using laser light, that is, by irradiating the laser light according to the pattern (image) to which the thin film component is to be transferred and transferring the thin film to the substrate surface. It is formed by transferring the vacuum thin film component of the layer.

また、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記電気配線を、上前のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成するものである。   In addition, it includes a transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other, on the side opposite to the substrate side with respect to the pixels In the method of manufacturing a color filter having electrically conductive electrical wiring that maintains transparency, the electrical wiring is formed with a transfer layer or a heat seal layer of the previous laser transfer film, and a partition pattern formed with the pixels. The substrate is adhered to the pixel side, and subsequently the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film is transferred by a thermal imaging process using laser light.

さらに、上記の仕切りパターンと、配線パターンの両方を、別個のレーザー転写フィルムを使用して転写して形成するもので、つまり透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、上記のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成し、かつ前記電気配線を、上記のレーザー転写フィルムで、但し、仕切りパターン形成用のレーザー転写フィルムとは同一ではなく、転写層が異なる条件で、転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成するものである。   Further, both the partition pattern and the wiring pattern are formed by transferring using separate laser transfer films, that is, a transparent substrate and a plurality of colors arranged at predetermined positions on the substrate. And a partition pattern that separates adjacent pixels from each other, and a method for producing a color filter having electrically conductive electrical wiring that maintains transparency on the side opposite to the substrate side with respect to the pixels In the above, the partition pattern on the substrate is brought into close contact with the transfer layer or heat seal layer of the laser transfer film and the surface of the substrate, and subsequently, the thermal transfer process of the laser transfer film is performed by a thermal imaging process using laser light. It is formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer, and the electrical wiring is made of the above laser transfer film, provided that the partition It is not the same as the laser transfer film for forming the turn, and the transfer layer or the heat seal layer and the pixel side of the substrate on which the partition pattern is formed are brought into close contact with each other under different conditions of the transfer layer. It is formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using light.

本発明のレーザー転写フィルムにおける真空薄膜の転写のメカニズムは、図2から容易に理解することができるであろう。図2は、レーザー転写フィルム13における真空薄膜16の受像要素への転写のメカニズムを順を追って示した断面図である。図2(A)に示すように、レーザー転写フィルム13を用意し、これを、その転写層16が、ヒートシール層17を介して、受像要素の基板18に密着するようにして重ね合わせる。次いで、得られた積層体のレーザー転写フィルム13に対して、基材14の側から、レーザー光Lを所定のパターンで照射する。ここで、レーザー光Lのパターンは、受像要素に転写しようとしている画像パターンに対応する。   The mechanism of the transfer of the vacuum thin film in the laser transfer film of the present invention can be easily understood from FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the transfer mechanism of the vacuum thin film 16 to the image receiving element in the laser transfer film 13 in order. As shown in FIG. 2 (A), a laser transfer film 13 is prepared, and is superposed so that the transfer layer 16 is in close contact with the substrate 18 of the image receiving element via the heat seal layer 17. Next, laser light L is irradiated in a predetermined pattern from the base material 14 side to the laser transfer film 13 of the obtained laminate. Here, the pattern of the laser beam L corresponds to the image pattern to be transferred to the image receiving element.

レーザー光のパターン照射の結果、レーザー転写フィルム13の基材14に隣接する光熱変換層15の作用により、光エネルギーが熱エネルギーに変換され、さらにこの熱エネルギーが転写層16に拡散し、ヒートシール層17へ伝熱し溶融する為、基板18と密着する。光熱変換層15の炭素成分を代表とするような光吸収材料(の一部)は、光エネルギーを受けた部分のみが気化し、転写層16は局所的な破断して、基板18上に転写される。そして、レーザー光の照射されていない部分は、レーザー転写フィルム13から転写されないで、基板18から(基材14〜ヒートシール層17)の積層された元の状態で、分離する。(図2(B)参照)   As a result of the laser beam pattern irradiation, light energy is converted into heat energy by the action of the photothermal conversion layer 15 adjacent to the base material 14 of the laser transfer film 13, and this heat energy is further diffused into the transfer layer 16 for heat sealing. Since the heat is transferred to the layer 17 and melted, it adheres to the substrate 18. In the light absorbing material (part of it) represented by the carbon component of the light-to-heat conversion layer 15, only the portion that has received light energy is vaporized, and the transfer layer 16 is locally broken and transferred onto the substrate 18. Is done. And the part which is not irradiated with the laser beam is not transferred from the laser transfer film 13 but separated from the substrate 18 in the original state where the base material 14 to the heat seal layer 17 are stacked. (See Fig. 2 (B))

図2で説明した転写メカニズムを利用して、ブラックストライプとして機能する仕切りパターンを形成したり、予め基板19に複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンが形成されたものに対して、透明導電層を真空薄膜の転写により形成することもできる。同様に上記の転写メカニズムを使用して、電子部品の絶縁膜、磁性体膜、誘電体膜等を、レーザー光の照射パターンを適宜変更し、かつ所定の機能を発揮するように設計した転写層を有するレーザー転写フィルムを用いて、所定のパターンで、電子部品に転写して形成することができる。本発明では、カラーフィルターの製造方法を例示して説明したが、高精細で且つ密着性に優れた高機能性薄膜が必要とされる分野に関して、一般的に用いられる技術であり、カラーフィルターの製造方法に限定されるものではない。   A partition pattern that functions as a black stripe is formed using the transfer mechanism described in FIG. 2, or a partition pattern that separates pixels of multiple colors and adjacent pixels is formed on the substrate 19 in advance. On the other hand, the transparent conductive layer can be formed by transferring a vacuum thin film. Similarly, using the above transfer mechanism, a transfer layer designed to change the irradiation pattern of the laser beam as appropriate and to perform a predetermined function on the insulating film, magnetic film, dielectric film, etc. of the electronic component It can be formed by transferring to a electronic component in a predetermined pattern using a laser transfer film having In the present invention, the method for producing a color filter has been described by way of example. However, the present invention is a technique that is generally used in the field where a highly functional thin film having high definition and excellent adhesion is required. It is not limited to the manufacturing method.

以下、本発明の実施例を参照して説明する。なお、本発明は下記の実施例に限定されるものではないことを理解されたい。
(1)レーザー転写フィルムの作製
基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、転写層、ヒートシール層とを備えたレーザー転写フィルムを次のような手順に従って作製した。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples. It should be understood that the present invention is not limited to the following examples.
(1) Production of Laser Transfer Film A laser transfer film comprising a base material and a photothermal conversion layer, a transfer layer, and a heat seal layer sequentially formed thereon was produced according to the following procedure.

基材として厚さ75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意した後、その上に、それぞれ、下記の組成及び膜厚を有する光熱変換層(LTHC層)、転写層及びヒートシール層を記載の順序で形成した。LTHC層をダイコーティング法で塗布し、紫外線照射により硬化させた後、その上にさらに転写層を真空成膜法で、ヒートシール層を光熱変換層と同様にダイコーティング法にて形成し、実施例1のレーザー転写フィルムを作製した。。   After preparing a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 75 μm as a base material, a photothermal conversion layer (LTHC layer), a transfer layer, and a heat seal layer having the following composition and film thickness are respectively described thereon. Formed with. After the LTHC layer is applied by a die coating method and cured by ultraviolet irradiation, a transfer layer is further formed thereon by a vacuum film formation method, and a heat seal layer is formed by a die coating method in the same manner as the photothermal conversion layer. The laser transfer film of Example 1 was produced. .

<光熱変換層>
カーボンブラック(コロンビアンカーボン社製、商品名「Raben 760」)
100.0質量%
分散剤(BYK−Chiemie社製、商品名「Disperbyk 161」)
8.9質量%
ビニルブチラール樹脂(日本モンサント社製、商品名「Burvar B−98」)
17.9質量%
カルボキシル基含有アクリル系樹脂(ジョンソンポリマー社製、商品名「Joncryi 67」) 53.5質量%
アクリルオリゴマー(UCB Radcure社製、商品名「Evecryl EB629」) 834.0質量%
カルボキシル基含有アクリル系樹脂(ICI社製、商品名「Elvacite 2669」) 556.0質量%
光重合開始剤(チバガイギー社製、商品名「Irgacure 369」)
45.2質量%
光重合開始剤(チバガイギー社製、商品名「Irgacure 184」)
6.7質量%
合計 1622.3質量%
固形分濃度:30%、PMA/MEK=60/40の溶媒で希釈した。
膜厚:5μm(乾燥時)
<Photothermal conversion layer>
Carbon black (trade name "Raben 760", manufactured by Colombian Carbon)
100.0% by mass
Dispersant (BYK-Chiemie, trade name “Disperbyk 161”)
8.9% by mass
Vinyl butyral resin (trade name “Burvar B-98” manufactured by Monsanto, Japan)
17.9% by mass
Carboxyl group-containing acrylic resin (trade name “Joncryi 67” manufactured by Johnson Polymer Co., Ltd.) 53.5% by mass
Acrylic oligomer (trade name “Evecryl EB629” manufactured by UCB Radcure) 834.0% by mass
Carboxyl group-containing acrylic resin (trade name “Elvacite 2669” manufactured by ICI) 556.0% by mass
Photopolymerization initiator (trade name “Irgacure 369” manufactured by Ciba Geigy)
45.2% by mass
Photopolymerization initiator (trade name “Irgacure 184” manufactured by Ciba Geigy)
6.7% by mass
Total 1622.3% by mass
It was diluted with a solvent having a solid content concentration of 30% and PMA / MEK = 60/40.
Film thickness: 5μm (when dry)

(2)真空薄膜成膜
上述した光熱変換層塗布後の基材に対して、プラズマCVD法を用いてSiOxCy膜を、光熱変換層上に転写層として形成した。今回使用したプラズマCVD装置は図3に示したようなものである。また、連続成膜時の基材となるプラスティックフィルムの送り速度は、5m/minである。その他の条件は、以下に記す。
(2) Vacuum Thin Film Formation A SiOxCy film was formed on the photothermal conversion layer as a transfer layer on the photothermal conversion layer using the plasma CVD method on the substrate after the photothermal conversion layer was applied. The plasma CVD apparatus used this time is as shown in FIG. Moreover, the feeding speed of the plastic film used as the base material during continuous film formation is 5 m / min. Other conditions are described below.

<成膜条件>
印加電力 2.0kW
成膜圧力 40Pa
HMDSO流量 0.2slm
酸素ガス流量 0.6slm
ヘリウムガス流量 0.6slm
成膜用ドラム表面温度(成膜温度) 30℃
尚、前記ガス流量単位slmは、standard little per minuteのことである。
<Film formation conditions>
Applied power 2.0kW
Deposition pressure 40Pa
HMDSO flow rate 0.2 slm
Oxygen gas flow rate 0.6 slm
Helium gas flow rate 0.6 slm
Deposition drum surface temperature (deposition temperature) 30 ° C
The gas flow rate unit slm is a standard small per minute.

<ヒートシール層>
ポリエステル樹脂 30部
(東洋紡績(株)製、商品名:バイロン700)
トルエン 35部
メチルエチルケトン 35部
膜厚:0.5μm(乾燥時)
<Heat seal layer>
30 parts of polyester resin (product name: Byron 700, manufactured by Toyobo Co., Ltd.)
Toluene 35 parts Methyl ethyl ketone 35 parts Film thickness: 0.5 μm (when dry)

以上の条件でポリエチレンテレフタレートフィルム上に光熱変換層を介して形成したシリカ薄膜の測定結果を以下に示す。
<SiOxCy膜測定結果>
膜厚 20nm
組成 x=1.60、y=0.60
表面濡れ性 32ダイン
The measurement results of the silica thin film formed on the polyethylene terephthalate film through the photothermal conversion layer under the above conditions are shown below.
<Results of SiOxCy film measurement>
Film thickness 20nm
Composition x = 1.60, y = 0.60
Surface wettability 32 dynes

<SiOxCy膜測定に使用した装置>
膜厚測定 エリプソメーター
型番 UVISELTM メーカー JOBIN YVON
組成分析 光電子分光
型番 ESCALAB220i−XL メーカー VG Scientific
表面濡れ性 濡れ試薬
<Apparatus used for SiOxCy film measurement>
Film thickness measurement Ellipsometer Model number UVISELTM Manufacturer JOBIN YVON
Composition analysis Photoelectron spectroscopy Model number ESCALAB220i-XL Manufacturer VG Scientific
Surface wettability Wetting reagent

以上に示したシリカ薄膜の作製結果の如く、成膜温度30℃において、組成SiOxCy(x=1.60、y=0.6)の膜がポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成できた。尚、シリカ薄膜成膜後の、ポリエチレンテレフタレートフィルムは、わずかな伸び、変形も無く良好な状態であった。   As shown in the result of producing the silica thin film described above, a film having the composition SiOxCy (x = 1.60, y = 0.6) was formed on the polyethylene terephthalate film at a film forming temperature of 30 ° C. The polyethylene terephthalate film after the formation of the silica thin film was in a good state with little elongation and no deformation.

基材のプラスティックフィルムである厚さ23μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、実施例1で使用した光熱変換層塗工液を用いて、実施例1と同様の方法で、光熱変換層(LTHC層)を形成し、その次に図3の装置を使用して、基材のプラスティックフィルムである厚さ23μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの光熱変換層上にシリカ薄膜の転写層を形成した。また、連続成膜時の基材となるプラスティックフィルムの送り速度は、10m/minである。その他の条件は、以下に記す。尚、この転写層上に実施例1と同様の条件で、ヒートシール層を形成し、実施例2のレーザー転写フィルムを作製した。   Using the photothermal conversion layer coating liquid used in Example 1 on a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 23 μm, which is a plastic film of the base material, the photothermal conversion layer (LTHC) is produced in the same manner as in Example 1. Then, using the apparatus of FIG. 3, a silica thin film transfer layer was formed on the photothermal conversion layer of a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 23 μm, which was a base plastic film. Moreover, the feeding speed of the plastic film used as the base material during continuous film formation is 10 m / min. Other conditions are described below. A heat seal layer was formed on the transfer layer under the same conditions as in Example 1 to produce a laser transfer film of Example 2.

<成膜条件>
印加電力 2.0kW
成膜圧力 100Pa
HMDSO流量 1.0slm
酸素ガス流量 1.0slm
成膜用ドラム表面温度(成膜温度) 30℃
<Film formation conditions>
Applied power 2.0kW
Deposition pressure 100Pa
HMDSO flow rate 1.0 slm
Oxygen gas flow rate 1.0 slm
Deposition drum surface temperature (deposition temperature) 30 ° C

以上の条件でポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成したシリカ薄膜の測定結果を以下に示す。
<SiOxCy膜測定結果>
膜厚 150nm
組成 x=1.40、y=1.00
表面濡れ性 33ダイン
The measurement results of the silica thin film formed on the polyethylene terephthalate film under the above conditions are shown below.
<Results of SiOxCy film measurement>
Film thickness 150nm
Composition x = 1.40, y = 1.00
Surface wettability 33 dynes

<SiOxCy膜測定に使用した装置>
膜厚測定 エリプソメーター
型番 UVISELTM メーカー JOBIN YVON
組成分析 光電子分光
型番 ESCALAB220i−XL メーカー VG Scientific
表面濡れ性 濡れ試薬
<Apparatus used for SiOxCy film measurement>
Film thickness measurement Ellipsometer Model number UVISELTM Manufacturer JOBIN YVON
Composition analysis Photoelectron spectroscopy Model number ESCALAB220i-XL Manufacturer VG Scientific
Surface wettability Wetting reagent

以上に示したSiOxCy膜の作製結果の如く、成膜温度30℃において、ポリエチレンテレフタレートフィルムは、わずかな伸び、変形も無く良好な状態であった。   As shown in the above-described results of producing the SiOxCy film, the polyethylene terephthalate film was in a good state with little elongation and deformation at a film forming temperature of 30 ° C.

(実施例3)
基材のプラスティックフィルムである厚さ23μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に、実施例1で使用した光熱変換層塗工液を用いて、実施例1と同様の方法で、光熱変換層(LTHC層)を形成し、その次に図4の装置を使用して、基材19としてロール状のポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、巻取り式のホロカソード型イオンプレーティング装置20のチャンバー21内に装着し、次に、蒸発源としてITO(インジウム/スズ酸化物)を準備し、陽極(ハース)22上に搭載した。次にチャンバー21内を、油回転ポンプおよび油拡散ポンプにより、到達真空度1×10-5Torrまで減圧した。
(Example 3)
Using the photothermal conversion layer coating liquid used in Example 1 on a polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 23 μm, which is a plastic film of the base material, the photothermal conversion layer (LTHC) is produced in the same manner as in Example 1. Next, using the apparatus of FIG. 4, using a roll-shaped polyethylene terephthalate film as the base material 19 and mounting it in the chamber 21 of the winding-type holocathode ion plating apparatus 20, Next, ITO (indium / tin oxide) was prepared as an evaporation source and mounted on the anode (hearth) 22. Next, the inside of the chamber 21 was depressurized to an ultimate vacuum of 1 × 10 −5 Torr by an oil rotary pump and an oil diffusion pump.

次に、真空ポンプ24とチャンバー21との間にあるバルブ25の開閉度を制御することにより、成膜時のチャンバー圧力を5×10-4Torrに保ちながら、基材を走行させアルゴンガス20sccmを導入したホロカソード型プラズマガン23にプラズマ生成のための電力を5kW投入し、陽極(ハース)22上の蒸発源にプラズマ流を収束させて照射することにより蒸発源を蒸発させ、高密度プラズマにより蒸発分子をイオン化させて、基材19(厳密には光熱変換層の上)上にITO薄膜の転写層を形成した。なお基材19の走行速度は、形成されるITO薄膜の膜厚が50nmとなるように設定した。 Next, by controlling the degree of opening and closing of the valve 25 between the vacuum pump 24 and the chamber 21, the substrate is caused to travel while maintaining the chamber pressure during film formation at 5 × 10 −4 Torr, and the argon gas is 20 sccm. The holocathode type plasma gun 23 introduced with 5 kW is charged with 5 kW of power for plasma generation, and the evaporation source is evaporated by converging and irradiating the evaporation flow on the anode 22 with the high density plasma. The evaporated molecules were ionized to form an ITO thin film transfer layer on the substrate 19 (strictly, on the photothermal conversion layer). The traveling speed of the base material 19 was set so that the film thickness of the formed ITO thin film was 50 nm.

次に、上記の転写層のITO薄膜上に実施例1と同様の条件で、ヒートシール層を形成し、実施例3のレーザー転写フィルムを作製した。   Next, a heat seal layer was formed on the ITO thin film of the transfer layer under the same conditions as in Example 1 to produce a laser transfer film of Example 3.

上記の得られた実施例1〜3のレーザー転写フィルムのヒートシール層と、ガラス基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写した。
<結果>
・実施例1〜3の全てにおいて、レーザー出力が800mAを用いた場合、転写部としてリブ径20μmにおいて、SiOxCy膜が、±1μmの転写精度で転写され、優れた転写性を有するものであった。すなわち、良好な転写精度を示した。更に、透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターにおいて、前記基板上の仕切りパターンを、実施例3のレーザー転写フィルムのヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成した。このカラーフィルターは高精細なパターンが形成できたことを目視にて確認した。
The heat transfer layer of the laser transfer film of Examples 1 to 3 obtained above and the surface of the glass substrate were brought into close contact with each other, and subsequently, the vacuum of the transfer layer of the laser transfer film was performed by a thermal imaging process using laser light. The thin film component was transferred.
<Result>
In all of Examples 1 to 3, when the laser output was 800 mA, the SiOxCy film was transferred with a transfer accuracy of ± 1 μm at a rib diameter of 20 μm as a transfer portion, and had excellent transferability. . That is, good transfer accuracy was shown. Furthermore, it includes a transparent substrate, pixels of a plurality of colors arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other on the side opposite to the substrate side. In the color filter having electrically conductive electrical wiring that maintains transparency, the partition pattern on the substrate is brought into close contact with the heat seal layer of the laser transfer film of Example 3 and the surface of the substrate. It was formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using laser light. The color filter confirmed visually that a high-definition pattern could be formed.

本発明のレーザー転写フィルムの典型的な構成を示したものである。The typical structure of the laser transfer film of this invention is shown. レーザー転写フィルムにおける真空薄膜の受像要素への転写のメカニズムを順を追って示した断面図である。It is sectional drawing which showed the mechanism of the transfer to the image receiving element of the vacuum thin film in a laser transfer film later on. レーザー転写フィルムの真空薄膜の転写層の製造方法の一例を示すために、プラズマCVD装置を使用した概略説明図である。In order to show an example of the manufacturing method of the transfer layer of the vacuum thin film of a laser transfer film, it is a schematic explanatory drawing using a plasma CVD apparatus. レーザー転写フィルムの真空薄膜の転写層の製造方法の一例を示すイオンプレーティング装置を使用した概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing using the ion plating apparatus which shows an example of the manufacturing method of the transfer layer of the vacuum thin film of a laser transfer film.

符号の説明Explanation of symbols

1 プラスチックフィルム基材(被転写体)
2 基材巻き出し部
2′ 基材巻き取り部
3 真空容器
4 反応室
5 真空ポンプ
6 原料ガス導入口
7 反転ロール
7′ 反転ロール
8 成膜用ドラム
9 電極
10 電源
11 プラズマ
12 酸化チタン膜(真空薄膜)
13 レーザー転写フィルム
14 基材
15 光熱変換層
16 転写層
17 ヒートシール層
18 基板
19 基材
20 イオンプレーティング装置
21 チャンバー
22 陽極(ハース)
23 プラズマガン
24 真空ポンプ
25 バルブ
1 Plastic film substrate (transferred material)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Substrate unwinding part 2 'Substrate winding part 3 Vacuum container 4 Reaction chamber 5 Vacuum pump 6 Raw material gas introduction port 7 Reversing roll 7' Reversing roll 8 Film forming drum 9 Electrode 10 Power supply 11 Plasma 12 Titanium oxide film ( Vacuum thin film)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Laser transfer film 14 Base material 15 Photothermal conversion layer 16 Transfer layer 17 Heat seal layer 18 Substrate 19 Base material 20 Ion plating apparatus 21 Chamber 22 Anode (hearth)
23 Plasma gun 24 Vacuum pump 25 Valve

Claims (10)

基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、真空薄膜である転写層を備えていることを特徴とするレーザー転写フィルム。   A laser transfer film comprising: a base material; and a light-to-heat conversion layer and a transfer layer that is a vacuum thin film sequentially formed thereon. 基材と、その上に順次形成された、光熱変換層、真空薄膜である転写層、ヒートシール層を備えていることを特徴とするレーザー転写フィルム。   A laser transfer film comprising a substrate, a photothermal conversion layer, a transfer layer that is a vacuum thin film, and a heat seal layer, which are sequentially formed thereon. 請求項1または2に記載の転写層が絶縁膜であることを特徴とするレーザー転写フィルム。   3. A laser transfer film, wherein the transfer layer according to claim 1 is an insulating film. 請求項1または2に記載の転写層が透明導電膜であることを特徴とするレーザー転写フィルム。   The laser transfer film, wherein the transfer layer according to claim 1 or 2 is a transparent conductive film. 請求項1または2に記載の転写層が磁性体膜であることを特徴とするレーザー転写フィルム。   3. A laser transfer film, wherein the transfer layer according to claim 1 is a magnetic film. 請求項1または2に記載の転写層が誘電体膜であることを特徴とするレーザー転写フィルム。   3. A laser transfer film, wherein the transfer layer according to claim 1 is a dielectric film. 透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、請求項1、2、4のいずれか一つに記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other; In the manufacturing method of the color filter which has the electrical wiring which has electrical conductivity which keeps nature, the partition pattern on the substrate is a transfer layer of the laser transfer film according to any one of claims 1, 2, and 4, or A color formed by bringing a heat seal layer and a surface of the substrate into close contact with each other, and subsequently transferring a vacuum thin film component of a transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using a laser beam. The manufacturing method of the filter. 透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記電気配線を、請求項1または2に記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other; 3. A method of manufacturing a color filter having electrically conductive electrical wiring that retains electrical properties, wherein the electrical wiring comprises a transfer layer or a heat seal layer of the laser transfer film according to claim 1, the pixels, and a partition pattern. A color film formed by transferring the vacuum thin film component of the transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using laser light; The manufacturing method of the filter. 透明な基板と、該基板上の所定の位置に配置された複数色の画素と、相隣る画素同士を隔離する仕切りパターンとを含み、該画素に対して該基板側と反対側に、透明性を保持する電気伝導性のある電気配線を有するカラーフィルターの製造方法において、前記基板上の仕切りパターンを、請求項1、2、4のいずれか一つに記載のレーザー転写フィルムの転写層またはヒートシール層と前記基板の表面とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成し、かつ前記電気配線を、請求項1または2に記載のレーザー転写フィルムで、但し、仕切りパターン形成用のレーザー転写フィルムとは同一ではなく、転写層が異なる条件で、転写層またはヒートシール層と、前記画素と仕切りパターンの形成された基板の画素側とを密着させ、引き続いて、レーザー光を用いたサーマルイメージングプロセスにより、前記レーザー転写フィルムの転写層の真空薄膜成分を転写することによって形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A transparent substrate, a plurality of color pixels arranged at predetermined positions on the substrate, and a partition pattern that separates adjacent pixels from each other; In the manufacturing method of the color filter which has the electrical wiring which has electrical conductivity which keeps nature, the partition pattern on the substrate is a transfer layer of the laser transfer film according to any one of claims 1, 2, and 4, or A heat seal layer and the surface of the substrate are brought into close contact with each other, and subsequently formed by transferring a vacuum thin film component of a transfer layer of the laser transfer film by a thermal imaging process using laser light, and the electric wiring is formed. The laser transfer film according to claim 1 or 2, wherein the transfer film is not the same as the laser transfer film for forming the partition pattern, but the transfer layer is different. Then, the transfer layer or the heat seal layer and the pixel and the pixel side of the substrate on which the partition pattern is formed are brought into close contact with each other, and subsequently, the vacuum of the transfer layer of the laser transfer film is performed by a thermal imaging process using laser light. A method for producing a color filter, wherein the thin film component is formed by transferring a thin film component. 請求項7、8、9のいずれか一つに記載の仕切りパターンが液晶表示装置のブラックマトリックスであることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
A method for manufacturing a color filter, wherein the partition pattern according to any one of claims 7, 8, and 9 is a black matrix of a liquid crystal display device.
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