JP2005140886A - Color filter for translucent liquid crystal display and manufacturing method of the same - Google Patents

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JP2005140886A JP2003375215A JP2003375215A JP2005140886A JP 2005140886 A JP2005140886 A JP 2005140886A JP 2003375215 A JP2003375215 A JP 2003375215A JP 2003375215 A JP2003375215 A JP 2003375215A JP 2005140886 A JP2005140886 A JP 2005140886A
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Akio Haneda
昭夫 羽田
Katsunori Asanuma
克典 浅沼
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter for a translucent liquid crystal display and a method for manufacturing the color filter at a low cost in which the surface of the color filter is flat and the positional accuracy of the transparent part of a colored layer and the colored layer part is improved, and also, the deterioration of gap accuracy between substrates is prevented even when a post spacer is arranged above the transparent part. <P>SOLUTION: Regarding the color filter constituted of the colored layer as a light transmission area and a colored layer having a transparent part as a light reflection area, the transparent part 27 is formed by etching the surface of a glass substrate, and the method comprises a process of forming the transparent part by etching the surface of the glass substrate 21, and a process of forming a black matrix 12, a colored layer 23, a transparent conductive film 14 and a process of forming the post spacer 18 on the transparent conductive film on the transparent part. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、一画素中の着色画素が、一画素中の光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成されるカラーフィルタを精度よく、廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device, and in particular, a colored pixel in one pixel is formed in a light transmitting region in one pixel, a colored layer formed in a light reflecting region, and a transparent portion. The present invention relates to a color filter for a transflective liquid crystal display device, which can accurately and inexpensively produce a color filter composed of a colored layer, and a method for producing the same.

液晶表示装置は自発光型の表示装置ではないので、その表示には他からの光を必要とし、例えば、その後方にバックライトを設け、後方からの光によって表示を行っている。このような液晶表示装置は透過型液晶表示装置と称され、主に屋内のような暗い環境下で用いられる。
また、例えば、その後方に光反射層を設け、液晶表示装置を観視する際の周囲からの外光によって表示を行う液晶表示装置がある。このような液晶表示装置は反射型液晶表示装置と称され、主に屋外のような周囲が明るい環境下で用いられる。
Since the liquid crystal display device is not a self-luminous display device, the display needs light from the other, for example, a backlight is provided behind the display, and the display is performed by the light from the back. Such a liquid crystal display device is called a transmissive liquid crystal display device, and is mainly used in a dark environment such as indoors.
Further, for example, there is a liquid crystal display device in which a light reflection layer is provided behind the liquid crystal display device, and display is performed by external light from the surroundings when the liquid crystal display device is viewed. Such a liquid crystal display device is called a reflection type liquid crystal display device, and is mainly used in a bright environment such as outdoors.

上記透過型液晶表示装置においては、その後方に設けられたバックライトからの光はカラーフィルタの着色画素を透過し、液晶表示装置が観視される前方の外部へ射出されるようになっている。
この際の着色画素の分光透過率は、例えば、図5における実線で示すように、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいては透過率が低く、波長600〜700nmにおいては透過率が高いものが好ましいものである。
In the transmissive liquid crystal display device, light from a backlight provided behind the transmissive liquid crystal display device passes through the colored pixels of the color filter and is emitted to the outside in front of the liquid crystal display device being viewed. .
At this time, the spectral transmittance of the colored pixel is, for example, as shown by a solid line in FIG. 5, the spectral transmittance of the red colored pixel is low at a wavelength of 400 to 600 nm and low at a wavelength of 600 to 700 nm. A high value is preferable.

図6は、従来法の反射型液晶表示装置の一例を断面で示す説明図であるが、図6に示すように、反射型液晶表示装置(60)は、対向基板(68)、液晶(65)、カラーフィルタ(69)などで構成されている。図6において、対向基板(68)は、画素表示に必要な駆動素子(図示せず)や光拡散反射性の電極層(66)などが基板(67)上に形成されたもので構成されている。
また、カラーフィルタ(69)は、ガラス基板(61)、着色画素(62)、オーバーコート層(63)、透明電極層(64)などで構成されている。
FIG. 6 is an explanatory view showing an example of a reflection type liquid crystal display device of a conventional method in cross section. As shown in FIG. 6, the reflection type liquid crystal display device (60) includes a counter substrate (68), a liquid crystal (65 ), A color filter (69), and the like. In FIG. 6, a counter substrate (68) is configured by a driving element (not shown) necessary for pixel display, a light diffusive reflective electrode layer (66), and the like formed on a substrate (67). Yes.
The color filter (69) includes a glass substrate (61), a colored pixel (62), an overcoat layer (63), a transparent electrode layer (64), and the like.

図6において、外光(L1)は着色画素(62)を通過し色光となり、光拡散反射性の電極層(66)にて反射され、再び着色画素(62)を通過して、外部へ反射光(L2)として射出されるようになっている。
このような反射型液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素(62)の色濃度は、透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度より低い色濃度のものである。
In FIG. 6, the external light (L1) passes through the colored pixel (62) to become colored light, is reflected by the light diffusion reflective electrode layer (66), passes through the colored pixel (62) again, and is reflected to the outside. The light (L2) is emitted.
The color density of the colored pixel (62) of the color filter for the reflective liquid crystal display device is lower than the color density of the color filter pixel of the color filter for the transmissive liquid crystal display device.

これは、上記のように外部からの光は、入射の際と反射の際の2回にわたり赤色の着色画素を透過し、外部へ射出されるので、例えば、図5における点線で示すように、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいて透過率がやや高く、波長600〜700nmにおいても透過率がやや高いものを用いることにより、実線で示す透過型に用いられる赤色の着色画素の分光透過率と同様の効果が得られるようにしているものである。
そして、このような点線で示すような分光透過率を有する着色画素の形成は、例えば、着色画素に含まれる顔料の含有量を少なくすることにより行われている。
This is because, as described above, light from the outside passes through the red colored pixel twice and is emitted to the outside at the time of incidence and reflection, for example, as shown by the dotted line in FIG. The spectral transmittance of the red colored pixel is slightly higher at a wavelength of 400 to 600 nm and slightly higher at a wavelength of 600 to 700 nm, so that the red colored pixel used in the transmission type indicated by the solid line is used. An effect similar to that of the spectral transmittance is obtained.
And formation of the colored pixel which has such a spectral transmittance as shown with a dotted line is performed by reducing content of the pigment contained in a colored pixel, for example.

さて、液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素の形成は、種々な方法により行われて
いるが、感光性樹脂組成物に顔料を分散させた感光性着色樹脂組成物(着色フォトレジスト)を材料として用い、フォトリソグラフィー法により着色画素を形成する顔料分散法が広く採用されている。
The colored pixels of the color filter for a liquid crystal display device are formed by various methods. A photosensitive colored resin composition (colored photoresist) in which a pigment is dispersed in the photosensitive resin composition is used as a material. A pigment dispersion method in which colored pixels are formed by photolithography is widely used.

この顔料分散法、すなわち、着色フォトレジストを用いフォトリソグラフィー法により、上記のような反射型液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素を形成する場合には、画素の色濃度を低くするため、その着色画素に含まれる顔料の含有量を少なくしたり、または、着色画素の厚さを薄く形成する手段が用いられている。   In the case of forming the colored pixels of the color filter for the reflective liquid crystal display device as described above by this pigment dispersion method, that is, by photolithography using a colored photoresist, the coloring is performed in order to reduce the color density of the pixels. Means for reducing the content of pigment contained in a pixel or reducing the thickness of a colored pixel is used.

上記透過型液晶表示装置は、主に屋内のような暗い環境下で用いられるものであり、屋外のような周囲が明るい環境下では、その表示が見にくいといった欠点がある。また、上記反射型液晶表示装置は、主に屋外のような周囲が明るい環境下で用いられるものであり、屋内のような暗い環境下では、その表示が見にくいといった欠点がある。   The transmissive liquid crystal display device is mainly used in a dark environment such as indoors, and has a drawback that its display is difficult to see in a bright environment such as outdoors. The reflective liquid crystal display device is mainly used in a bright environment such as outdoors, and has a drawback that its display is difficult to see in a dark environment such as indoors.

このような透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置に対し、半透過型液晶表示装置と称される液晶表示装置は、1基の液晶表示装置において透過型と反射型の両機能を兼ね備えた液晶表示装置である。
この半透過型液晶表示装置は、屋外のような非常に明るい環境下でも、屋内のような暗い環境下でも用いることができるものであり、モバイル機器に用いられる液晶表示装置として期待されている液晶表示装置である。
In contrast to such a transmissive liquid crystal display device and a reflective liquid crystal display device, a liquid crystal display device called a transflective liquid crystal display device has both functions of a transmissive type and a reflective type in one liquid crystal display device. It is a liquid crystal display device.
This transflective liquid crystal display device can be used in a very bright environment such as outdoors or in a dark environment such as indoors, and is expected as a liquid crystal display device used in mobile devices. It is a display device.

図3は、半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す平面図である。また、図4は、図3に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いた半透過型液晶表示装置の一画素の部分を示す断面説明図である。図3におけるX−X’線の断面が、図4に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ(30)の断面に相当する。   FIG. 3 shows an example of a color filter used in a transflective liquid crystal display device, and is a plan view showing an enlarged portion corresponding to one pixel. FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view showing a pixel portion of a transflective liquid crystal display device using the color filter for the transflective liquid crystal display device shown in FIG. The cross section taken along the line X-X ′ in FIG. 3 corresponds to the cross section of the color filter (30) for the transflective liquid crystal display device shown in FIG.

図3、及び図4に示すように、この半透過型液晶表示装置は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ(30)、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ上に形成された透明電極(14)、液晶(50)、TFT素子(図示せず)などが形成されたTFT基板(40)、TFT基板上に形成された透明電極(41)及び反射電極(42)で構成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the transflective liquid crystal display device includes a translucent liquid crystal display device color filter (30) and a transparent electrode (30) formed on the transflective liquid crystal display device color filter. 14), a liquid crystal (50), a TFT substrate (40) on which a TFT element (not shown) and the like are formed, a transparent electrode (41) and a reflective electrode (42) formed on the TFT substrate.

半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ(30)は、ガラス基板(11)上にブラックマトリックス(12)、着色画素(13)が形成されたものである。また、透明電極(41)及び反射電極(42)はTFT素子のドレイン電極と接続されている。
1画素の領域(Px)はブラックマトリックス(12)を除くと、光透過領域(Tr)と光反射領域(Re)とで構成されている。
The color filter (30) for a transflective liquid crystal display device has a black matrix (12) and colored pixels (13) formed on a glass substrate (11). The transparent electrode (41) and the reflective electrode (42) are connected to the drain electrode of the TFT element.
Except for the black matrix (12), one pixel region (Px) is composed of a light transmission region (Tr) and a light reflection region (Re).

光透過領域(Tr)は、透過型液晶表示装置として機能する領域であり、光反射領域(Re)は、反射型液晶表示装置として機能する領域である。   The light transmissive region (Tr) is a region that functions as a transmissive liquid crystal display device, and the light reflective region (Re) is a region that functions as a reflective liquid crystal display device.

1画素の領域(Px)内の着色層(15)及び透明部を有する着色層(16)は、同一の着色層形成材料を用いて設けられた同一厚さの着色層である。図4にては、説明上、左斜線と右斜線で表記してある。また、図4中、反射電極(42)の両端の上方が着色層(15)と透明部を有する着色層(16)との境界であり、鎖線で表記してある。
着色画素(13)の光透過領域(Tr)には、その全領域に厚さD1の均一な着色層(15)が形成され、また、光反射領域(Re)には、外光が入反射する透明部(17)を有する着色層(16)が形成されている。
The colored layer (15) in the one pixel region (Px) and the colored layer (16) having a transparent portion are colored layers having the same thickness provided using the same colored layer forming material. In FIG. 4, for the sake of explanation, the left diagonal line and the right diagonal line are used. Moreover, in FIG. 4, the upper part of both ends of the reflective electrode (42) is a boundary between the colored layer (15) and the colored layer (16) having a transparent portion, and is indicated by a chain line.
In the light transmission region (Tr) of the colored pixel (13), a uniform colored layer (15) having a thickness D1 is formed in the entire region, and external light enters and reflects in the light reflection region (Re). A colored layer (16) having a transparent part (17) to be formed is formed.

すなわち、1画素の領域(Px)内では、光透過領域(Tr)の均一な着色層(15)と、光反射領域(Re)の透明部を有する着色層(16)とで着色画素(13)が構成されている。
そして、この透明部を有する着色層(16)の厚さは、その平均厚さ(D2)で表される。尚、平坦性をもたせるため着色層(16)の透明部(17)には、無色透明な樹脂を充填するのが一般的である。
That is, in the region (Px) of one pixel, the colored pixel (13) is composed of a uniform colored layer (15) in the light transmitting region (Tr) and a colored layer (16) having a transparent portion in the light reflecting region (Re). ) Is configured.
And the thickness of the colored layer (16) which has this transparent part is represented by the average thickness (D2). In order to provide flatness, the transparent portion (17) of the colored layer (16) is generally filled with a colorless and transparent resin.

図4に示す、厚さD1を有する均一な着色層(15)の分光透過率は図5に実線で示すような、例えば、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいては透過率が低く、波長600〜700nmにおいては透過率が高い透過型液晶表示装置に好適な分光透過率を有する。   The spectral transmittance of the uniform colored layer (15) having the thickness D1 shown in FIG. 4 is shown by the solid line in FIG. 5, for example, the spectral transmittance of the red colored pixel is the transmittance at a wavelength of 400 to 600 nm. And a spectral transmittance suitable for a transmissive liquid crystal display device having a high transmittance at a wavelength of 600 to 700 nm.

光透過領域(Tr)においては白太矢印(A)で示すバックライトからの白色光が、TFT基板(40)、透明電極(41)、液晶(50)、透明導電膜(14)を経て着色画素(13)の光透過領域(Tr)の着色層(15)を通過し色光となり白細矢印(a)で示すように、外部へ射出するようになっている。   In the light transmission region (Tr), white light from the backlight indicated by the white arrow (A) is colored through the TFT substrate (40), the transparent electrode (41), the liquid crystal (50), and the transparent conductive film (14). It passes through the colored layer (15) in the light transmission region (Tr) of the pixel (13) and becomes colored light, and is emitted to the outside as indicated by a white thin arrow (a).

従って、この半透過型液晶表示装置のバックライトを点灯し透過型液晶表示装置として使用した際には、透過型液晶表示装置として優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をする。   Therefore, when the backlight of this transflective liquid crystal display device is turned on and used as a transmissive liquid crystal display device, a transmissive color display having excellent brightness and saturation as the transmissive liquid crystal display device is obtained.

また、この半透過型液晶表示装置のバックライトを消灯し、屋外のような非常に明るい環境下で反射型液晶表示装置として使用した際には、光反射領域(Re)において、斜線太矢印(B)で示す周囲からの外光が、ガラス基板(11)、平均厚さ(D2)の、透明部を有する着色層(16)を通過し色光となり反射電極(42)にて反射され、斜線細矢印(b)で示すように、再び外部へ射出するようになっている。   Further, when the backlight of this transflective liquid crystal display device is turned off and used as a reflective liquid crystal display device in a very bright environment such as outdoors, a hatched thick arrow ( The external light from the surrounding shown by B) passes through the colored layer (16) having the transparent portion of the glass substrate (11) and the average thickness (D2), becomes colored light, is reflected by the reflective electrode (42), and is shaded. As indicated by the thin arrow (b), the liquid is again injected to the outside.

この際の反射光は、平均厚さ(D2)の透明部を有する着色層(16)を2回にわたり通過しているので、例えば、図5に点線で示すような、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいて透過率がかなり高く、波長600〜700nmにおいても透過率が高いものを用いることにより、実線で示す透過型液晶表示装置に用いられる赤色の着色画素の分光透過率と同様の分光透過率を有するものとなる。   The reflected light at this time has passed through the colored layer (16) having a transparent portion having an average thickness (D2) twice, so that, for example, the spectrum of a red colored pixel as shown by a dotted line in FIG. The transmittance is considerably high at a wavelength of 400 to 600 nm, and the transmittance is also high at a wavelength of 600 to 700 nm, so that the spectral transmittance of a red colored pixel used in a transmissive liquid crystal display device indicated by a solid line can be obtained. It has the same spectral transmittance.

このような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いることにより、透過型液晶表示装置としての優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をし、また、反射型液晶表示装置として暗くならず、優れた明度、彩度を有する反射カラー表示をすることが可能となる。   By using such a color filter for a transflective liquid crystal display device, a transmissive color display having excellent brightness and saturation as a transmissive liquid crystal display device is obtained, and it is not dark as a reflective liquid crystal display device. Reflective color display having excellent brightness and saturation can be achieved.

図7は、上述した半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する従来の方法の一例の説明図である。この方法は、先ず、ブラックマトリックス(12)が形成されたガラス基板(11)上に、ネガ型無色透明フォトレジスト(78)を塗布し、透明部(17)を光透過させるフォトマスク(PM1)を介して露光(C)、現像処理を行い、透明部(17)を形成する。(図7(a)〜(c))
次に、透明部が形成されたガラス基板(11)上に、ネガ型着色フォトレジスト(79)を塗布し、着色層の部分を光透過させるフォトマスク(PM2)を介して露光(C)、現像処理を行い、均一な着色層(15)と透明部を有する着色層(16)とで構成される着色画素(13)を形成するといった方法である。(図7(d)〜(f))
この方法によれば、透明部(17)の厚さと着色層(15)の厚さが同一で窪みのない、表面が面一な、すなわち、表面が平坦な着色画素を有するカラーフィルタが得られる。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of a conventional method for manufacturing the above-described color filter for a transflective liquid crystal display device. In this method, first, a negative colorless transparent photoresist (78) is applied onto a glass substrate (11) on which a black matrix (12) is formed, and a photomask (PM1) that allows light to pass through the transparent portion (17). Through this, exposure (C) and development processing are performed to form a transparent portion (17). (FIGS. 7A to 7C)
Next, on the glass substrate (11) on which the transparent portion is formed, a negative colored photoresist (79) is applied, and exposure (C) is performed through a photomask (PM2) that allows the colored layer portion to transmit light. A development process is performed to form a colored pixel (13) composed of a uniform colored layer (15) and a colored layer (16) having a transparent portion. (FIGS. 7D to 7F)
According to this method, it is possible to obtain a color filter having colored pixels in which the thickness of the transparent portion (17) and the thickness of the colored layer (15) are the same and there is no depression and the surface is flush, that is, the surface is flat. .

しかし、この方法は、透明部の形成、及び赤色、緑色、青色の3色の着色層の形成、合計4回のフォトリソグラフィー工程によって製造されるので、基本的にコストの高い製造方法である。   However, this method is basically a high-cost manufacturing method because the transparent portion is formed and the colored layers of three colors of red, green, and blue are formed by a total of four photolithography processes.

加えて、透明部の部分を光透過させるフォトマスク(PM1)と着色層の部分を光透過させるフォトマスク(PM2)の2枚のフォトマスクを使用するので、カラーフィルタを製造する際のガラス基板が大型の場合などには、透明部(17)と着色層部分の境界(E)の位置関係を精度よく合わせて製造するのは困難である。境界(E)にて、着色層部分が透明部に重なった角(ツノ)や隙間が発生すると、液晶の配向に悪影響を及ぼすのでカラーフィルタは不良品となる。すなわち、カラーフィルタの収率が悪化する。   In addition, since two photomasks, a photomask (PM1) that transmits light through a transparent portion and a photomask (PM2) that transmits light through a colored layer, are used, a glass substrate for manufacturing a color filter. Is large, it is difficult to manufacture with the positional relationship between the transparent portion (17) and the boundary (E) between the colored layer portions with high accuracy. If corners (horns) or gaps where the colored layer part overlaps the transparent part are generated at the boundary (E), the alignment of the liquid crystal is adversely affected, so that the color filter becomes a defective product. That is, the yield of the color filter is deteriorated.

また、この方法では、赤色、緑色、青色の各着色画素に設けられる透明部(17)の大きさが異なる場合、着色層の部分を光透過させるフォトマスク(PM2)は、赤色、緑色、青色の各着色画素毎に異なる3枚のフォトマスクを用いて各着色画素を形成することとなり、コストの高いものとなる。   Further, in this method, when the sizes of the transparent portions (17) provided in the red, green, and blue colored pixels are different, the photomask (PM2) that transmits light through the colored layer portions is red, green, and blue. Each colored pixel is formed by using three different photomasks for each colored pixel, resulting in high cost.

また、従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、画素の全面にスペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子(ビーズ)を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。   In a conventional liquid crystal display device, transparent spherical particles (beads) of glass or synthetic resin called spacers are dispersed on the entire surface of a pixel in order to form a gap between substrates. Since these spacers are transparent particles, if a spacer is included with the liquid crystal in the pixel, light will leak through the spacer during black display, and the substrate in which the liquid crystal material is enclosed Due to the presence of the spacers between them, the alignment of the liquid crystal molecules in the vicinity of the spacers is disturbed, and light leakage occurs at this part, and the contrast is lowered and the display quality is adversely affected.

このような問題を解決する技術として、スペーサー機能を有する柱状スペーサー(突起部)をカラーフィルタ上に形成する方法が開発された。   As a technique for solving such a problem, a method of forming columnar spacers (projections) having a spacer function on a color filter has been developed.

図2に示す、このような液晶表示装置用カラーフィルタの一例では、透明部(17)上方の透明導電膜(14)上にスペーサー機能を有する突起部としての柱状スペーサー(18)が形成されている。
この液晶表示装置用カラーフィルタを用いた液晶表示装置には、柱状スペーサー(18)が画素内の一部分にのみ形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
In an example of such a color filter for a liquid crystal display device shown in FIG. 2, a columnar spacer (18) as a protrusion having a spacer function is formed on a transparent conductive film (14) above the transparent portion (17). Yes.
In the liquid crystal display device using the color filter for the liquid crystal display device, since the columnar spacer (18) is formed only in a part of the pixel, the improvement in the contrast is observed.

しかし、図2に示すような柱状スペーサー(18)が透明部(17)上方に設けられた液晶表示装置用カラーフィルタを用い、対向基板との圧着貼り合わせにより液晶パネルとして組み付けると、透明部(17)が弾性体であるために基板間のギャップ精度が悪化するといった問題が発生する。
特願2003−1868号公報 特願2003−166131号公報
However, when a color filter for a liquid crystal display device in which a columnar spacer (18) as shown in FIG. 2 is provided above the transparent portion (17) is assembled as a liquid crystal panel by pressure bonding with a counter substrate, the transparent portion ( Since 17) is an elastic body, there arises a problem that the gap accuracy between the substrates deteriorates.
Japanese Patent Application No. 2003-1868 Japanese Patent Application No. 2003-166131

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、着色画素が光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、表面が平坦で、透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる、また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを課題とするものである。   The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and is a semi-colored layer in which a colored pixel is formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion. In a color filter for a transmissive liquid crystal display device, a color filter having a flat surface and excellent positional accuracy of a transparent portion and a colored layer portion can be manufactured at a low cost. Further, a column spacer may be provided above the transparent portion. An object of the present invention is to provide a color filter for a transflective liquid crystal display device in which the gap accuracy between substrates does not deteriorate when assembled as a liquid crystal panel.

また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とする。   Another object of the present invention is to provide a method for producing the color filter for the transflective liquid crystal display device.

本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、該透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタである。   The present invention relates to a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion. The color filter for a transflective liquid crystal display device is characterized in that the transparent part is a transparent part formed by etching the surface of a glass substrate.

また、本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
1)ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、
2)該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、
3)該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
In addition, the present invention is for a transflective liquid crystal display device in which a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion. In the manufacturing method of the color filter,
1) a step of forming a transparent portion by etching on the surface of the glass substrate;
2) A step of sequentially forming a black matrix, a colored layer, and a transparent conductive film on the glass substrate on which the transparent portion is formed,
3) forming a columnar spacer on the transparent conductive film above the transparent portion;
A method of manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device.

本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であるので、表面が平坦で、着色層中の透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
The present invention relates to a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion. The transparent part is a transparent part formed by etching the surface of the glass substrate, so that the surface is flat and a color filter with excellent positional accuracy of the transparent part and the colored layer part in the colored layer is manufactured at low cost. Thus, a color filter for a transflective liquid crystal display device can be provided.
Further, even if a columnar spacer is provided above the transparent portion, a color filter for a transflective liquid crystal display device is obtained in which the gap accuracy between the substrates does not deteriorate when assembled as a liquid crystal panel.

また、本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、1)ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、2)該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、3)該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程を具備するので、表面が平坦で、着色層中の透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
In addition, the present invention is for a transflective liquid crystal display device in which a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion. In the color filter manufacturing method, 1) a step of forming a transparent portion on the surface of the glass substrate by etching, and 2) a black matrix, a colored layer, and a transparent conductive film are sequentially formed on the glass substrate on which the transparent portion is formed. Step 3) Since a step of forming a columnar spacer on the transparent conductive film above the transparent portion is provided, a color filter having a flat surface and excellent positional accuracy of the transparent portion and the colored layer portion in the colored layer is inexpensive. Thus, the color filter for a transflective liquid crystal display device can be manufactured.
In addition, even if a columnar spacer is provided above the transparent portion, a method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device in which the gap accuracy between the substrates does not deteriorate when assembled as a liquid crystal panel.

以下に本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、その一実施形態に基づいて説明する。
図1(e)は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す断面図である。
Hereinafter, a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention will be described based on an embodiment thereof.
FIG. 1E shows an embodiment of a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view showing a portion corresponding to one pixel.

一実施例として示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラス基板(21)上にブラックマトリックス(12)、着色画素(23)、透明導電膜(14)、及び柱状スペーサー(18)が形成されたものである。   As a color filter for a transflective liquid crystal display device shown as an example, a black matrix (12), a colored pixel (23), a transparent conductive film (14), and a columnar spacer (18) are formed on a glass substrate (21). It has been done.

ガラス基板(21)の表面には、ガラス基板の表面をエッチングすることによって形成
された透明部(27)が設けられている。1画素の領域(Px)はブラックマトリックス(12)を除くと、光透過領域(Tr)と光反射領域(Re)とで構成されている。
A transparent part (27) formed by etching the surface of the glass substrate is provided on the surface of the glass substrate (21). Except for the black matrix (12), one pixel region (Px) is composed of a light transmission region (Tr) and a light reflection region (Re).

1画素の領域(Px)内の着色層(15)及びガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部(27)を有する着色層(26)は、同一の着色層形成材料を用いて設けられた同一厚さの着色層である。   The colored layer (15) in the region (Px) of one pixel and the colored layer (26) having the transparent portion (27) formed by etching the surface of the glass substrate are formed using the same colored layer forming material. It is the provided colored layer of the same thickness.

また、図1(e)中、光透過領域(Tr)の着色層(15)と透明部(27)を有する着色層(26)との境界を点線で表記してある。
着色画素(23)の光透過領域(Tr)には、その全領域に厚さの均一な着色層(15)が形成され、また、光反射領域(Re)には、外光が入反射する透明部(27)を有する着色層(26)が形成されている。
In FIG. 1E, the boundary between the colored layer (15) in the light transmission region (Tr) and the colored layer (26) having the transparent portion (27) is indicated by a dotted line.
A colored layer (15) having a uniform thickness is formed in the entire light transmission region (Tr) of the colored pixel (23), and external light enters and reflects in the light reflection region (Re). A colored layer (26) having a transparent portion (27) is formed.

すなわち、1画素の領域(Px)内では、光透過領域(Tr)の均一な着色層(15)と、光反射領域(Re)の透明部(27)を有する着色層(26)とで着色画素(23)が構成されている。
図1(e)に示す、着色層(15)の分光透過率は図5に実線で示すような、例えば、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいては透過率が低く、波長600〜700nmにおいては透過率が高い透過型液晶表示装置に好適な分光透過率を有する。
That is, in the region (Px) of one pixel, coloring is performed with a uniform colored layer (15) in the light transmitting region (Tr) and a colored layer (26) having the transparent portion (27) in the light reflecting region (Re). Pixel (23) is constructed.
The spectral transmittance of the colored layer (15) shown in FIG. 1 (e) is as shown by a solid line in FIG. 5, for example, the spectral transmittance of a red colored pixel has a low transmittance at a wavelength of 400 to 600 nm. The spectral transmittance of 600 to 700 nm is suitable for a transmissive liquid crystal display device with high transmittance.

また、透明部(27)を有する着色層(26)の分光透過率は図5に点線で示すような、赤色の着色画素の分光透過率は波長400〜600nmにおいて透過率がかなり高く、波長600〜700nmにおいても透過率が高い、すなわち、反射型液晶表示装置の分光透過率として好適な分光透過率を有する。
このような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いることにより、透過型液晶表示装置としての優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をし、また、反射型液晶表示装置として暗くならず、優れた明度、彩度を有する反射カラー表示をすることが可能となる。
Further, the spectral transmittance of the colored layer (26) having the transparent portion (27) is considerably high at a wavelength of 400 to 600 nm as shown by a dotted line in FIG. Even at ˜700 nm, the transmittance is high, that is, it has a spectral transmittance suitable as the spectral transmittance of the reflective liquid crystal display device.
By using such a color filter for a transflective liquid crystal display device, a transmissive color display having excellent brightness and saturation as a transmissive liquid crystal display device is obtained, and it is not dark as a reflective liquid crystal display device. Reflective color display having excellent brightness and saturation can be achieved.

図1(e)に示す、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、その透明部(27)が予めガラス基板の表面をフォトエッチングすることによって形成された透明部であるが、着色層のフォトリソグラフィー工程としては赤色、緑色、青色の3色の着色層の形成、すなわち、合計3回のフォトリソグラフィー工程によって製造されるので(柱状スペーサー(18)の形成を除く)、基本的に廉価なものとなる。   In the color filter for a transflective liquid crystal display device shown in FIG. 1 (e), the transparent portion (27) is a transparent portion formed by photo-etching the surface of the glass substrate in advance. As a lithography process, the colored layers of red, green and blue are formed, that is, they are manufactured by a total of three photolithography processes (except for the formation of columnar spacers (18)), so they are basically inexpensive. It becomes.

また、この半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、着色層の部分を光透過させる1枚のフォトマスクを使用し、予め透明部(27)が形成されたガラス基板(21)上に着色層を形成するので、カラーフィルタを製造する際のガラス基板が大型の場合などでも、透明部(27)と着色層部分の境界の位置関係を精度よく合わせて製造することが容易なものとなり、境界には、着色層部分が透明部に重なった角(ツノ)や隙間が発生することはなく、カラーフィルタの収率が向上する。   In addition, this color filter for a transflective liquid crystal display device uses a single photomask that allows the colored layer portion to transmit light, and the colored layer is formed on the glass substrate (21) on which the transparent portion (27) is previously formed. Therefore, even when the glass substrate used for manufacturing the color filter is large, it is easy to manufacture with the positional relationship of the boundary between the transparent portion (27) and the colored layer portion with high accuracy. In this case, no corners (horns) or gaps where the colored layer portion overlaps the transparent portion are generated, and the yield of the color filter is improved.

更に、本発明における透明部(27)は、無色透明な樹脂を用いて形成されたものではなく、ガラス基板の表面をエッチングすることによって形成されたもの、すなわち、ガラスを材料とした透明部(27)であるので、透明部(27)が形成されたガラス基板として再利用することができる。   Furthermore, the transparent part (27) in the present invention is not formed using a colorless and transparent resin, but is formed by etching the surface of a glass substrate, that is, a transparent part ( 27), it can be reused as a glass substrate on which the transparent portion (27) is formed.

例えば、図1(e)に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの完成品、或いは中間製品において、何らかの欠陥によって不良品となった際、ガラス基板(21)上に形成された樹脂型ブラックマトリックス、着色層(23)、透明導電膜(14)、柱状スペーサー(18)を除去することにより、透明部(27)が形成されたガラス基板(21)と
して再利用することができ、コスト低減に寄与することができる。
For example, the resin type black formed on the glass substrate (21) when the color filter for the transflective liquid crystal display device shown in FIG. 1 (e) or the intermediate product becomes defective due to some defect. By removing the matrix, the colored layer (23), the transparent conductive film (14), and the columnar spacer (18), it can be reused as the glass substrate (21) on which the transparent portion (27) is formed, thereby reducing costs. Can contribute.

図1(a)〜(e)は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例を示す断面図である。
図1に示すように、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、エッチングによって透明部(27)が形成されたガラス基板(21)上に、ブラックマトリックス(12)、光透過領域に形成される着色層(15)と、光反射領域に形成され透明部(27)を有する着色層(26)とで構成される着色画素(23)、透明導電膜(14)、柱状スペーサー(18)を有するカラーフィルタを製造する方法である。
1A to 1E are cross-sectional views showing an embodiment of a method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the method of manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention includes a black matrix (12), a light beam on a glass substrate (21) on which a transparent part (27) is formed by etching. A colored pixel (23) composed of a colored layer (15) formed in the transmission region and a colored layer (26) formed in the light reflection region and having a transparent portion (27), a transparent conductive film (14), a columnar shape This is a method for producing a color filter having a spacer (18).

図1(a)は、透明部(27)が形成された段階のものである。この透明部(27)はガラス基板(21)の表面をエッチングすることによって形成されたものである。透明部(27)の厚さ(D3)は、着色層(15)の厚さと等しい厚さであり、0.7μm〜2.0μm程度である。
次に、図1(b)に示すように、透明部(27)が形成されたガラス基板(21)上にブラックマトリックス(12)を形成する。
FIG. 1A shows the stage where the transparent portion (27) has been formed. The transparent part (27) is formed by etching the surface of the glass substrate (21). The thickness (D3) of the transparent part (27) is equal to the thickness of the colored layer (15), and is about 0.7 μm to 2.0 μm.
Next, as shown in FIG.1 (b), a black matrix (12) is formed on the glass substrate (21) in which the transparent part (27) was formed.

次に、図1(c)に示すように、ブラックマトリックス(12)が形成されたガラス基板(21)上に着色フォトレジストを塗布する。
次に、フォトマスク(図示せず)を介した露光を行う。図1は、例えば、赤色の一画素を拡大して示したものであり、この一画素内にはフォトマスクを介した均一な露光がなされ、緑色、青色などが続いて形成される他色の着色画素の部分はフォトマスクによって遮光されている。すなわち、このフォトマスクは、緑色、青色など他色の着色画素が形成される部分を遮光し、赤色の着色画素内を露光する。
Next, as shown in FIG.1 (c), a coloring photoresist is apply | coated on the glass substrate (21) in which the black matrix (12) was formed.
Next, exposure through a photomask (not shown) is performed. FIG. 1 shows, for example, an enlarged one pixel of red, and uniform exposure through a photomask is performed in this pixel, and other colors of green, blue, etc. are subsequently formed. The colored pixel portion is shielded from light by a photomask. That is, this photomask shields light from portions where colored pixels of other colors such as green and blue are formed, and exposes the red colored pixels.

次に、露光した着色フォトレジストに現像を行い赤色の着色画素を形成する。この際、ガラス基板(21)上には既にD3で示す厚さを有する透明部(27)が形成されており、着色画素の厚さは、透明部(27)の厚さと等しい厚さに形成する。得られた着色画素(23)は、透明部(27)の表面と着色層(15)の表面とが面一で平坦なものであり、また、境界には、着色層部分が透明部に重なった角(ツノ)や隙間が生じていない。   Next, the exposed colored photoresist is developed to form red colored pixels. At this time, the transparent portion (27) having the thickness indicated by D3 is already formed on the glass substrate (21), and the thickness of the colored pixel is formed to be equal to the thickness of the transparent portion (27). To do. The obtained colored pixel (23) is such that the surface of the transparent portion (27) and the surface of the colored layer (15) are flush with each other, and the colored layer portion overlaps the transparent portion at the boundary. There are no horns or gaps.

次に、着色画素(23)が形成されたガラス基板(21)上に透明導電膜(14)を形成し、続いて柱状スペーサー(18)を形成し、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを得る。   Next, a transparent conductive film (14) is formed on the glass substrate (21) on which the colored pixels (23) are formed, and then a columnar spacer (18) is formed, for the transflective liquid crystal display device according to the present invention. Get a color filter.

本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、透明部(27)がガラス基板(21)の表面をエッチングすることによって形成された透明部、すなわち、透明部の材料がガラスであるので、透明部(27)上方に柱状スペーサー(18)が設けられていても、対向基板との圧着貼り合わせにより液晶パネルとして組み付けた際に、基板間のギャップ精度が悪化することはない。   In the color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention, the transparent part (27) is formed by etching the surface of the glass substrate (21), that is, the material of the transparent part is glass. Even if the columnar spacer (18) is provided above the transparent portion (27), the gap accuracy between the substrates does not deteriorate when assembled as a liquid crystal panel by pressure bonding with the counter substrate.

また、図2に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例においては、ガラス基板(11)上に、無色透明な樹脂を材料とする透明部(17)及び柱状スペーサー(18)が2回のフォトリソグラフィー工程によって形成されている。   In the example of the color filter for a transflective liquid crystal display device shown in FIG. 2, the transparent portion (17) and the columnar spacer (18) made of a colorless and transparent resin are provided twice on the glass substrate (11). The photolithography process is used.

一方、図1(e)に示す、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、ガラス基板(21)上に、柱状スペーサー(18)が1回のフォトリソグラフィー工程によって形成されているので、ガラス基板から柱状スペーサー(18)の上部までの高さの精度は向上したものとなる。
すなわち、対向基板との圧着貼り合わせ前の段階における柱状スペーサー(18)の高さ
の精度にすぐれた半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが得られる。
On the other hand, in the color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention shown in FIG. 1 (e), the columnar spacer (18) is formed on the glass substrate (21) by one photolithography process. Therefore, the accuracy of the height from the glass substrate to the upper part of the columnar spacer (18) is improved.
That is, it is possible to obtain a color filter for a transflective liquid crystal display device, which is excellent in the accuracy of the height of the columnar spacer (18) before the pressure bonding with the counter substrate.


(a)〜(e)は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例を示す断面図である。(A)-(e) is sectional drawing which shows one Example of the manufacturing method of the color filter for transflective liquid crystal display devices by this invention. 透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of the color filter for liquid crystal display devices in which the columnar spacer was formed on the transparent conductive film above a transparent part. 半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an example of a color filter used in a transflective liquid crystal display device and showing an enlarged portion corresponding to one pixel. 図3に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いた半透過型液晶表示装置の一画素の部分を示す断面説明図である。FIG. 4 is a cross-sectional explanatory diagram illustrating a pixel portion of a transflective liquid crystal display device using the color filter for the transflective liquid crystal display device illustrated in FIG. 3. 透過型液晶表示装置用及び反射型液晶表示装置用カラーフィルタの赤色の着色画素の分光透過率を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the spectral transmittance of the red colored pixel of the color filter for transmissive liquid crystal display devices and a reflective liquid crystal display device. 従来法における反射型液晶表示装置の一例を断面で示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the reflection type liquid crystal display device in a conventional method in a cross section. (a)〜(f)は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法の一例の説明図である。(A)-(f) is explanatory drawing of an example of the method of manufacturing the color filter for transflective liquid crystal display devices.

符号の説明Explanation of symbols

11、21…ガラス基板
12…ブラックマトリックス
13、23、62…着色画素
14…透明導電膜
15…光透過領域の均一な着色層
16、26…光反射領域の透明部を有する着色層
17…透明部
18…柱状スペーサー
27…本発明における透明部
30…半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
40…TFT素子などが形成されたTFT基板
41…TFT基板上に形成された透明電極
42…TFT基板上に形成された反射電極
50、65…液晶
60…反射型液晶表示装置の一例
61…ガラス基板
63…オーバーコート層
64…透明電極層
66…光拡散反射性の電極層
67…基板
68…対向基板
69…カラーフィルタ
78…ポジ型無色透明フォトレジスト
79…ネガ型着色フォトレジスト
A…バックライトからの白色光
B…周囲からの外光
L1…外光
L2…反射光
PM1…透明部の部分を光透過させるフォトマスク
PM2…着色層の部分を光透過させるフォトマスク
D1…着色層の厚さ
D2…透明部を有する着色層の平均厚さ
D3…本発明における透明部の厚さ
E…透明部と着色層との境界
Px…1画素の領域
Re…光反射領域
Tr…光透過領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11, 21 ... Glass substrate 12 ... Black matrix 13, 23, 62 ... Colored pixel 14 ... Transparent conductive film 15 ... Uniform colored layer 16 of light transmission region ... Colored layer 17 having transparent part of light reflection region ... Transparent Part 18 ... Columnar spacer 27 ... Transparent part 30 in the present invention ... Color filter 40 for transflective liquid crystal display device ... TFT substrate 41 on which TFT elements are formed ... Transparent electrode 42 formed on the TFT substrate ... On the TFT substrate Reflective electrodes 50, 65 formed on the substrate 60 ... Liquid crystal 60 ... Example of reflective liquid crystal display device 61 ... Glass substrate 63 ... Overcoat layer 64 ... Transparent electrode layer 66 ... Light diffuse reflective electrode layer 67 ... Substrate 68 ... Counter substrate 69 ... Color filter 78 ... Positive colorless transparent photoresist 79 ... Negative colored photoresist A ... White light B from backlight B ... External light L1 from the surroundings External light L2 ... reflected light PM1 ... photomask PM2 that transmits light through a transparent portion ... photomask D1 that transmits light through a colored layer ... thickness D2 of a colored layer ... average thickness D3 of a colored layer having a transparent portion ... thickness E of transparent part in the present invention ... boundary Px between transparent part and colored layer ... area of one pixel Re ... light reflection area Tr ... light transmission area

Claims (2)

一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、該透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。   A color filter for a transflective liquid crystal display device in which a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion, A color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein the transparent part is a transparent part formed by etching the surface of a glass substrate. 一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
1)ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、
2)該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、
3)該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
In a method of manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device, in which a colored pixel in one pixel is composed of a colored layer formed in a light transmission region and a colored layer formed in a light reflection region and having a transparent portion ,
1) a step of forming a transparent portion by etching on the surface of the glass substrate;
2) A step of sequentially forming a black matrix, a colored layer, and a transparent conductive film on the glass substrate on which the transparent portion is formed,
3) forming a columnar spacer on the transparent conductive film above the transparent portion;
A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device.
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