JP2005128676A - Production management system and method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、生産管理システムおよび生産管理方法に関し、特に工業製品の生産ラインにおける各処理装置の稼動履歴データの管理に適用して有効な技術に関するものである。 The present invention relates to a production management system and a production management method, and more particularly to a technique effective when applied to the management of operation history data of each processing apparatus in an industrial product production line.
本発明者が検討した技術として、例えば、工業製品の生産ラインにおける生産管理においては、ロット処理履歴データファイル、装置稼動履歴データファイルのデータから、処理装置の処理開始時刻およびロットID(ロット識別コード)をキーにしてソート(並べ替え)して、各履歴データを作成して表示する技術が考えられる(例えば、特許文献1参照)。
ところで、前記のような生産管理の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。 By the way, as a result of examination of the production management technique as described above by the present inventors, the following has been clarified.
例えば、ロット処理履歴と装置稼動履歴から装置ごとに処理したロットを時系列に把握することは可能であるが、そのロットを処理した前後の装置状態を把握することは困難である。 For example, although it is possible to grasp the lot processed for each device from the lot processing history and the device operation history in time series, it is difficult to grasp the device state before and after the processing of the lot.
したがって、そのロットの処理前後の装置状態を調査するために、別途分析が必要となる。そのため、ロット不良が発生した場合、その不良の原因分析を行うのに長時間を要することが考えられる。 Therefore, a separate analysis is required to investigate the state of the apparatus before and after the processing of the lot. Therefore, when a lot defect occurs, it can be considered that it takes a long time to analyze the cause of the defect.
そこで、本発明の目的は、工業製品の生産ラインにおいて、ロット処理前後の装置状態を迅速に把握することができる生産管理システムおよび生産管理方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a production management system and a production management method capable of quickly grasping the device state before and after lot processing in an industrial product production line.
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。 The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。 Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
すなわち、本発明による生産管理システムは、複数の処理装置についての各種履歴データ(処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データ、処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データ、処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データなど)が格納されているデータベースと、前記データベースに格納されている前記各種履歴データから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出し、抽出された前記データを結合し、結合された前記データを時系列に並べ替え、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する手段を有するコンピュータと、を有するものである。 That is, the production management system according to the present invention provides various history data for a plurality of processing devices (device history data indicating the history of the operating state of the processing device, lot history data indicating the history of lot processing in the processing device, and processing in the processing device. Port history data indicating the history of the input port of the product to be processed, mode history data indicating the history of the input method of the product processed in the processing apparatus, and the like, and the various types stored in the database Extracting multiple types of data by specifying the processing device and period from the history data, combining the extracted data, rearranging the combined data in time series, and reordering the data And a computer having means for outputting for each processing device.
また、本発明による生産管理方法は、複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出する第1の工程と、抽出された前記複種類のデータを結合する第2の工程と、結合された前記データを時系列に並べ替える第3の工程と、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する第4の工程と、を有するものである。 In addition, the production management method according to the present invention includes a first step of extracting a plurality of types of data by designating the processing device and a period from a database storing various history data for a plurality of processing devices, A second step of combining the plurality of types of combined data, a third step of rearranging the combined data in time series, and a fourth step of outputting the rearranged data for each processing device And a process.
よって、処理装置および期間を指定することで、処理装置の状態履歴に装置ごとのロット処理履歴を時系列に統合して表示するので、ロット処理前後の処理装置の状態を迅速に把握することが可能となる。 Thus, by specifying the processing device and the period, the lot processing history for each device is integrated and displayed in the time history of the processing device status history, so that the status of the processing device before and after lot processing can be quickly grasped. It becomes possible.
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。 Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows.
(1)ロット処理状態の前後に装置状態が出力・表示されるため、不良が発生したロットの処理前後における装置状態を簡易な方法で迅速に把握することが可能となる。 (1) Since the device state is output and displayed before and after the lot processing state, it is possible to quickly grasp the device state before and after the processing of the lot where a defect has occurred by a simple method.
(2)装置障害発生後に処理したロットを迅速に把握することが可能となる。 (2) It becomes possible to quickly grasp the processed lot after the occurrence of an apparatus failure.
(3)ロット不良となった前後の装置状態を調査することで、ロット不良が発生する前兆の装置状態を事前に把握することが可能となり、その対策を行うことで、生産ライン停止時間の短縮を図ることが可能となる。 (3) By investigating the state of the equipment before and after a lot failure, it becomes possible to grasp in advance the state of the equipment that is a sign of the occurrence of a lot failure. Can be achieved.
(4)ロット処理状態の前後に装置状態が出力・表示されるため、どのような装置状態でロットを処理したのかが明確になり、不良対策において、原因調査工数の短縮を図ることが可能となる。 (4) Since the equipment status is output and displayed before and after the lot processing status, it is clear what equipment status the lot was processed in, and it is possible to shorten the cause investigation man-hour in defect countermeasures. Become.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiment, and the repetitive description thereof will be omitted.
図1は本発明の一実施の形態の生産管理システムの構成および処理フローを示す概略図、図2は図1のコンピュータ30内の履歴データ抽出・統合処理部31の処理フローを示すフローチャート、図3は本実施の形態における装置履歴データの一例を示す図、図4は本実施の形態における装置ごとのロット履歴データの一例を示す図、図5は本実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部31の処理結果の一例を示す図、図6は本実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部31の処理結果の一例を示す図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration and processing flow of a production management system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a flowchart showing the processing flow of a history data extraction /
まず、図1により、本実施の形態の生産管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態の生産管理システムは、例えば半導体装置などの工業製品の生産ラインにおける生産管理システムとされ、生産基幹システム10、データベースサーバ20、コンピュータ30などから構成され、半導体装置などの工業製品を生産するための複数の処理装置40a,40b,…,40nに接続されている。
First, an example of the configuration of the production management system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. The production management system of the present embodiment is a production management system in a production line of industrial products such as semiconductor devices, for example. The production management system includes a
生産基幹システム10は、半導体装置などの工業製品の生産を管理する生産基幹システムであり、処理装置40a,40b,…,40nの稼動状態の履歴を示す装置履歴データ11、処理装置40a,40b,…,40nにおけるロット処理の履歴を示すロット履歴データ12、処理装置40a,40b,…,40nにおいて処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、処理装置40a,40b,…,40nにおいて処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、などの各種履歴データが格納されている。
The
データベースサーバ20は、生産基幹システム10内のデータが損傷を受けないように、生産基幹システム10内の各種データが複製されているデータベースサーバである。
The
コンピュータ30は、データベースサーバ20内の各種履歴データに対して、履歴データの抽出・統合の処理を実行する履歴データ抽出・統合処理部31などを有するコンピュータである。例えば、履歴データ抽出・統合処理部31はプログラムなどの形態で存在し、ハードウエアと協働して処理を実行する。
The
次に図1および図2により、本実施の形態の生産管理システムおよび生産管理方法の処理手順を説明する。 Next, the processing procedure of the production management system and the production management method of this embodiment will be described with reference to FIGS.
まず、処理装置40a,40b,…,40nについての各種履歴データ(装置履歴データ11、ロット履歴データ12、ポート履歴データ、モード履歴データなど)を生産基幹システム10に格納する。
First, various types of history data (
次に、生産基幹システム10内の各種履歴データを複製して、データベースサーバ20に格納する(装置履歴データ(複製版)21、ロット履歴データ(複製版)22など)。
Next, various history data in the
続いて、データベースサーバ20に格納されている装置履歴データ(複製版)21、ロット履歴データ(複製版)22などのデータから必要なデータを抽出してデータ処理(履歴データ抽出・統合)を行う。その際、抽出条件32によりデータの抽出条件が指定される。抽出条件としては、処理装置、期間などが指定される。履歴データ抽出・統合処理部31の処理結果として統合履歴ファイル33が出力される。統合履歴ファイル33は、コンピュータ30に接続されたモニタ上に表示され、またはプリントアウトされる。
Subsequently, necessary data is extracted from data such as device history data (replicated version) 21 and lot history data (replicated version) 22 stored in the
図2に、履歴データ抽出・統合処理部31の処理フローを示す。履歴データ抽出・統合処理部31では、以下の手順(ステップ)で処理が実行される。
FIG. 2 shows a processing flow of the history data extraction /
ステップS101で、抽出条件32を取得する。抽出条件としては、処理装置(装置ID)、収集期間などの条件を指定する。
In step S101, the
ステップS102で、収集期間と装置IDを確認する。そして、収集期間または装置IDに問題があるときは、処理を終了し、問題がないときはステップS103へ進む。 In step S102, the collection period and device ID are confirmed. If there is a problem in the collection period or device ID, the process is terminated, and if there is no problem, the process proceeds to step S103.
ステップS103で、装置履歴の該当件数を取得する。 In step S103, the number of corresponding items in the device history is acquired.
ステップS104で、ロット履歴の該当件数を取得する。 In step S104, the number of hits in the lot history is acquired.
ステップS105で、最大処理件数を確認する。そして、装置履歴・ロット履歴の該当件数が最大処理件数を超えている場合は処理を終了し、最大処理件数以内の場合はステップS106へ進む。 In step S105, the maximum number of processes is confirmed. Then, if the number of corresponding items in the device history / lot history exceeds the maximum number of processing, the process is terminated, and if it is within the maximum number of processing, the process proceeds to step S106.
ステップS106で、装置履歴データ(複製版)21から、抽出条件32に従って装置履歴のデータを取得する。図3に装置履歴データの一例を示す。装置履歴データは、各処理装置の稼動状態の履歴を示すデータであり、ロット処理とは全く非同期に収集される。図3は、装置IDがEQP01である処理装置についての装置履歴データである。図3において、遷移時間は、当該処理装置が処理を行った年・月・日・時刻であり、時刻はミリ秒の単位まで表示してある。装置状態は当該処理装置のスタンバイ(待機)、トラブル発生、処理などの稼動状態を示し、装置メモは問題が発生した時の状態などを示す。
In step S 106, device history data is acquired from the device history data (replicated version) 21 according to the
ステップS107で、ロット履歴データ(複製版)22から、抽出条件32に従って処理装置ごとのロット履歴のデータを取得する。図4に処理装置ごとのロット履歴データの一例を示す。ロット履歴データは、各処理装置におけるロット処理の履歴を示すデータであり、ロットに対する作業履歴と処理装置のロット処理履歴から作成される。図4は、装置IDがEQP01である処理装置についてのロット履歴データである。遷移時間は、当該処理装置が処理を行った年・月・日・時刻であり、時刻はミリ秒の単位まで表示してある。工程はロットに対して実施した処理内容を示し、ロットIDは処理したロットの識別コードを示す。
In step S 107, lot history data for each processing apparatus is acquired from the lot history data (replicated version) 22 in accordance with the
ステップS108で、抽出した装置履歴と装置ごとのロット履歴のデータを結合する。 In step S108, the extracted device history and the lot history data for each device are combined.
ステップS109で、処理開始時間をキーにして時系列に並べ替え(ソート)を行う。 In step S109, sorting is performed in time series using the processing start time as a key.
ステップS110で、時系列にソートされた統合履歴ファイル33を出力し、そのファイルを画面表示または印刷する。図5に、装置履歴のデータ(図3)と装置ごとロット履歴のデータ(図4)を時系列に統合したデータの一例を示す。図5では、2003年6月20日6時29分53.634秒に装置トラブルが発生している。そして、装置トラブル前後に処理したロットがLOT01−01、LOT02−01〜LOT02−04であることが迅速に把握することができる。
In step S110, the
したがって、装置状態履歴と処理装置ごとのロット履歴が時系列に入れ子で表示されるので、迅速にロット前後の装置状態を把握することが可能となる。 Accordingly, since the device status history and the lot history for each processing device are displayed in nesting in time series, the device status before and after the lot can be quickly grasped.
また、装置履歴データとロット履歴データの他に、さらに、ポート(処理する製品を装置に投入する入り口)の履歴、すなわち、処理装置40a,40b,…,40nにおいて処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴のデータや、処理モード(製品を装置に投入する方法:自動/手動)の履歴、すなわち、処理装置40a,40b,…,40nにおいて処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴のデータなどを時系列に統合して出力・表示することで、そのロットを処理する前後で何が行われたかを迅速に把握することが可能となる。
In addition to the device history data and the lot history data, the history of the port (entrance for inputting the product to be processed into the device), that is, the input port of the product processed in the
図6に、ポート履歴のデータとモード履歴のデータを時系列に統合して出力したデータを示す。1番のポート(Port_ID:1)に対して処理する製品を、手動(MODE:Manual)で投入したのか、自動(MODE:Auto)で投入したのかを迅速に把握することが可能となり、不良の原因分析がさらに容易になる。 FIG. 6 shows data output by integrating port history data and mode history data in time series. It is possible to quickly grasp whether the product to be processed for the first port (Port_ID: 1) is manually (MODE: Manual) or automatically (MODE: Auto), Cause analysis becomes easier.
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。 As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment. However, the invention is not limited to the embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.
例えば、前記実施の形態においては、各種履歴データをデータベースサーバ20に複製し、データベースサーバ20内の各種履歴データ(複製版)からデータを抽出してデータ処理(履歴データ抽出・統合)を行う場合について説明したが、これに限定されるものではなく、データベースサーバ20を省略して、直接、生産基幹システム10内の各種履歴データからデータを抽出してデータ処理を行ってもよい。
For example, in the above-described embodiment, various history data is replicated to the
以上述べたように、本願において開示された発明は、生産ラインで生産されるすべての工業製品について適用可能であり、特に、精密度の高い加工・処理が要求される処理装置を利用して生産される工業製品については最適である。 As described above, the invention disclosed in the present application can be applied to all industrial products produced on a production line, and in particular, produced using a processing apparatus that requires high-precision processing and processing. It is optimal for industrial products.
10 生産基幹システム
11 装置履歴データ
12 ロット履歴データ
20 データベースサーバ
21 装置履歴データ(複製版)
22 ロット履歴データ(複製版)
30 コンピュータ
31 履歴データ抽出・統合処理部
32 抽出条件
33 統合履歴ファイル
40a,40b,…,40n 処理装置
10
22 Lot history data (replicated version)
30
Claims (6)
複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースと、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出し、抽出された前記データを結合し、結合された前記データを時系列に並べ替え、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する手段を有するコンピュータと、
を有することを特徴とする生産管理システム。 A production management system for an industrial product production line,
A database storing various history data for a plurality of processing devices;
Multiple types of data are extracted from the various history data stored in the database by specifying the processing device and a period, the extracted data are combined, and the combined data is rearranged in time series A computer having means for outputting the sorted data for each processing device;
A production management system comprising:
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、前記処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データと、前記処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データと、が含まれていることを特徴とする生産管理システム。 The production management system according to claim 1,
The various history data stored in the database includes device history data indicating a history of the operating state of the processing device, and lot history data indicating a history of lot processing in the processing device. A production management system characterized by
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、さらに、前記処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、および/または前記処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、が含まれていることを特徴とする生産管理システム。 The production management system according to claim 2,
The history data stored in the database further includes port history data indicating a history of a product inlet processed in the processing device, and / or a method of inputting a product processed in the processing device. A production management system comprising mode history data indicating a history.
複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出する第1の工程と、
抽出された前記複種類のデータを結合する第2の工程と、
結合された前記データを時系列に並べ替える第3の工程と、
並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する第4の工程と、
を有することを特徴とする生産管理方法。 A production management method for an industrial product production line,
A first step of extracting a plurality of types of data by designating the processing device and a period from a database storing various history data about the plurality of processing devices;
A second step of combining the extracted multiple types of data;
A third step of rearranging the combined data in time series;
A fourth step of outputting the sorted data for each of the processing devices;
A production management method comprising:
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、前記処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データと、前記処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データと、が含まれており、
前記第1の工程では、前記装置履歴データと前記ロット履歴データから前記複種類のデータが抽出されることを特徴とする生産管理方法。 The production management method according to claim 4,
The various history data stored in the database includes device history data indicating a history of the operating state of the processing device, and lot history data indicating a lot processing history in the processing device,
In the first step, the multiple types of data are extracted from the device history data and the lot history data.
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、さらに、前記処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、および/または前記処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、が含まれており、
前記第1の工程では、さらに、前記ポート履歴データおよび/または前記モード履歴データから前記複種類のデータが抽出されることを特徴とする生産管理方法。
The production management method according to claim 5, wherein
The history data stored in the database further includes port history data indicating a history of a product inlet processed in the processing device, and / or a method of inputting a product processed in the processing device. Mode history data showing the history,
In the first step, the multiple types of data are further extracted from the port history data and / or the mode history data.
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