JP2005125746A - Mold device for molding substrate, disk substrate, and method for producing substrate - Google Patents

Mold device for molding substrate, disk substrate, and method for producing substrate Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To secure the plane property of a disk substrate which is molded/manufactured through a peeling process while attaining the shortening of a molding cycle. <P>SOLUTION: A mold device for molding a substrate has a resistance mold release part 15 formed by doing roughening in relation to the inner surface of a mold in the shape of a surface by point collection, line collection, or the combination of them on the inner surface of the mold corresponding to the peripheral side end surface of the disk substrate 4. When the disk substrate 4 molded by packing a synthetic resin material in a substrate molding cavity 5 fitted with a stamper 7 for transfer is stripped from the stamper 7, by showing " resistance" to the peripheral side end surface of the disk substrate 4 by the resistance mold release part 15, the stripping from the stamper 7 can be done with the plane property maintained. After that, when the disk substrate 4 is stripped from the mold 2, by showing "a mold release property" to the peripheral side end surface of the disk substrate 4 by the resistance mold release part 15, even when the molding cycle is short, the stripping of the disk substrate can be done with the plane property maintained. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、情報信号の記録媒体となる光ディスク等を構成するために合成樹脂材料を成形して形成されるディスク基板、この基板成形用の基板成形用金型装置及び基板成形製造方法に関する。   The present invention relates to a disk substrate formed by molding a synthetic resin material to form an optical disk or the like that serves as an information signal recording medium, a substrate molding die apparatus for molding the substrate, and a substrate molding manufacturing method.

一般に、光ディスクを構成するポリカーボネート樹脂等の合成樹脂材料を成形して形成されるディスク基板は、射出成形用の金型装置により成形される。このディスク基板を成形する金型装置は、ディスク基板に対応する成形用キャビティを構成する固定側金型と可動側金型とを備え、例えば固定側金型のディスク基板成形面側に所定の音楽信号等の情報信号に対応する凹凸パターンである、いわゆるピット或いは所望の情報信号が記録される記録トラックを構成するプリグルーブを成形するスタンパを配し、可動側金型側に突部の中心部に設けられるセンタリング部材係合孔を穿設する打ち抜きパンチを配している。   In general, a disk substrate formed by molding a synthetic resin material such as polycarbonate resin that constitutes an optical disk is formed by a mold apparatus for injection molding. This mold apparatus for molding a disk substrate includes a fixed mold and a movable mold that form a molding cavity corresponding to the disk substrate. For example, a predetermined music is provided on the disk substrate molding surface side of the fixed mold. A stamper for forming a so-called pit or a pre-groove constituting a recording track on which a desired information signal is recorded, which is a concave / convex pattern corresponding to an information signal such as a signal, is arranged, and the central portion of the protrusion on the movable mold side A punching punch for drilling a centering member engaging hole provided in is provided.

このような金型装置を用いたディスク基板の成形は、固定側金型に配したスプルブッシュの射出口を介して溶融された合成樹脂材料を成形キャビティ内に射出充填して行なわれる。そして、成形キャビティ内でのディスク基板の成形を行なった後、打ち抜きパンチを可動させることにより中心部にセンタリング部材係合孔が穿設され、一方の主面側にピット或いはプリグルーブが成形されたディスク基板の成形が行なわれる。   Molding of a disk substrate using such a mold apparatus is performed by injecting and filling a synthetic resin material melted through an injection port of a sprue bush arranged in a fixed side mold into a molding cavity. Then, after the disk substrate was molded in the molding cavity, the punching punch was moved to form a centering member engagement hole in the center, and a pit or pregroove was molded on one main surface side. A disk substrate is formed.

このような基板成形用金型装置に関しては、例えば特許文献1に、可動側金型側に周方向に点に配設した突起・穴、又は、リング状の突起・溝部からなる離型抵抗部を、ディスク基板の外周側壁に相当する部分又は内側中心部に突設される突部の内壁に相当する部分に設けるものが記載されている。   With regard to such a substrate molding die device, for example, Patent Document 1 discloses a mold release resistance portion comprising protrusions / holes or ring-like protrusions / grooves arranged at points in the circumferential direction on the movable mold side. Is provided on the portion corresponding to the outer peripheral side wall of the disk substrate or the portion corresponding to the inner wall of the protrusion protruding from the inner central portion.

特許第03301103号公報Japanese Patent No. 0301103

特許文献1記載のものは、凹凸パターンであるピット或いは記録トラックを構成するプリグルーブを成形するスタンパから成形されたディスク基板の容易かつ確実な離型(1次剥離)は行われる。しかし、その成形サイクルを短縮していくと、このスタンパからの離型の次の工程として、可動側金型から離型する時点(2次剥離)で周方向に点に配設した突起・穴、又は、リング状の突起・溝部による離型抵抗が大きくなり、可動側金型から容易に離型を行なうことができなくなる。これにより、ディスク平面性が悪くなり、特に、機械特性的な面振れ、周方向のチルト、半径方向のチルト、が悪化することが判っており、光ディスクのディスク基板として用いることができなくなる。特に、最近普及・開発の目覚しいDVD系ディスク(DVD+R/RW等)に関しては、高速記録化に対応できるようにするため、ディスク平面性が重視されているので、このようなディスク用には適さないものとなる。   In the device described in Patent Document 1, easy and reliable release (primary peeling) of a disk substrate formed from a stamper for forming a pregroove constituting a pit or recording track that is an uneven pattern is performed. However, if the molding cycle is shortened, as the next step of releasing from this stamper, protrusions / holes arranged at points in the circumferential direction at the time of releasing from the movable mold (secondary peeling) Alternatively, the mold release resistance due to the ring-shaped protrusions / grooves increases, and the mold cannot be easily released from the movable mold. As a result, it is known that the flatness of the disk deteriorates, and in particular, the mechanical characteristic surface shake, the circumferential tilt, and the radial tilt are deteriorated and cannot be used as a disk substrate of an optical disk. In particular, DVD discs (DVD + R / RW, etc.), which have recently been widely spread and developed, are not suitable for such discs because disc flatness is important in order to be compatible with high-speed recording. It will be a thing.

即ち、特許文献1によると、スタンパからのディスク基板剥離時の抵抗力を離型抵抗部により持たせたものであり、成形サイクルの短縮化は考慮されておらず、単に、スタンパからのディスク基板の剥離性(1次剥離)を考慮しているに過ぎないものである。   That is, according to Patent Document 1, the resistance at the time of peeling the disk substrate from the stamper is provided by the release resistance portion, and the shortening of the molding cycle is not considered, and the disk substrate from the stamper is simply considered. This is merely considering the releasability (primary peeling).

本発明の目的は、成形サイクルの短縮化を達成しつつ、剥離工程を経て成形作製されるディスク基板の平面性を確保することができるようにすることである。   It is an object of the present invention to ensure the flatness of a disk substrate that is molded and manufactured through a peeling process while achieving a shortening of the molding cycle.

請求項1記載の発明は、合成樹脂材料を用いてディスク基板を成形する基板成形用金型装置において、基板成形用キャビティを構成する固定側金型と可動側金型とを備え、これらの金型の一方で成形される前記ディスク基板の外周側端面に対応する金型内周面に、面粗しによる抵抗離型部を設けた。   The invention described in claim 1 is a substrate molding die apparatus for molding a disk substrate using a synthetic resin material, comprising a fixed side mold and a movable side mold constituting a substrate molding cavity, and these molds A resistance release portion by surface roughening was provided on the inner peripheral surface of the mold corresponding to the outer peripheral side end surface of the disk substrate formed on one side of the mold.

本発明及び以下の発明において、「抵抗離型部」とは、転写用のスタンパが装填された基板成形用キャビティに合成樹脂材料を充填して成形されたディスク基板をスタンパから引き剥がす際には、ディスク基板の外周側端面に対して「抵抗性」を示すとともに、その後、金型からディスク基板を引き剥がす際にはディスク基板の外周側端面に対して「離型性」を示す特性を持たせた部分を意味する。従って、特許文献1のように、転写用のスタンパが装填された基板成形用キャビティに合成樹脂材料を充填して成形されたディスク基板をスタンパから引き剥がす際(離型時)に、ディスク基板の外周側端面に対して「抵抗性」を示すことのみを意図した「離型抵抗部」とは異なるものである。   In the present invention and the following invention, the “resistance release part” refers to the case where a disk substrate formed by filling a synthetic resin material into a substrate molding cavity loaded with a transfer stamper is peeled off from the stamper. In addition to exhibiting “resistance” to the outer peripheral end surface of the disk substrate, and subsequently exhibiting “releasability” to the outer peripheral end surface of the disk substrate when the disk substrate is peeled off from the mold. This means the part Therefore, as disclosed in Patent Document 1, when a disk substrate formed by filling a synthetic resin material into a substrate molding cavity loaded with a transfer stamper is peeled from the stamper (at the time of mold release), This is different from a “release resistance part” intended only to show “resistance” with respect to the outer peripheral side end face.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の基板成形用金型装置において、面粗しによる前記抵抗離型部は、当該金型内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより形成されている。   According to a second aspect of the present invention, in the mold apparatus for molding a substrate according to the first aspect, the resistance release part by surface roughening is a point set, a line set or a composite thereof with respect to the inner peripheral surface of the mold. It is formed by carrying out by planar shape.

請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の基板成形用金型装置において、前記抵抗離型部の粗しは、基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとされている。この場合、より好適には、前記抵抗離型部の粗しにおける1段分の粗し深さが3〜20μmとされている(請求項4)。 According to a third aspect of the present invention, in the substrate molding die apparatus according to the first or second aspect, the resistance release portion is roughened so that a resistance area in the substrate drawing direction is 18 mm 2 or more and the number of steps in the substrate drawing direction is rough. However, the roughening depth for one stage is 3 to 90 μm. In this case, more preferably, the one-step roughing depth of the resistance release portion is 3 to 20 μm.

請求項5記載の発明は、請求項1ないし4の何れか一記載の基板成形用金型装置において、前記抵抗離型部の粗しは、当該金型内周面に対する面粗し処理により形成されている。この場合の面粗し処理としては、WPC(Wide Peening and Clean)処理(請求項6)、ビーズを用いたブラスト処理(請求項7)、ショットピーニング処理(請求項8)、マイクロディンプル加工処理(請求項9)、細かく粗したバイト面による切削或いは研磨処理(請求項10)、或いは、金属面を粗す薬剤又は溶剤を用いる処理(請求項11)を挙げることができる。   A fifth aspect of the present invention is the substrate molding die apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein the resistance release portion is roughened by a surface roughening process on the inner peripheral surface of the die. Has been. In this case, the surface roughening process includes WPC (Wide Peening and Clean) process (Claim 6), blasting process using beads (Claim 7), shot peening process (Claim 8), and micro dimple processing ( (Claim 9), cutting or polishing treatment with a finely roughened bite surface (Claim 10), or treatment using a chemical or solvent for roughening the metal surface (Claim 11).

請求項12記載の発明のディスク基板は、請求項1ないし11の何れか一記載の基板成形用金型装置を用いて合成樹脂材料により作製され、面粗しされた抵抗離型部により形成された面粗し部分を外周側端面に有する。   A disc substrate according to a twelfth aspect of the present invention is formed of a resistance release portion that is made of a synthetic resin material using the substrate molding die device according to any one of the first to eleventh aspects and is roughened. A rough surface portion is provided on the outer end surface.

請求項13記載の発明は、基板成形用キャビティを構成する固定側金型と可動側金型とを備える基板成形用金型装置を用いてディスク基板を成形する基板成形製造方法であって、前記可動側金型又は前記固定側金型の一方に、面粗しによる抵抗離型部が成形される前記ディスク基板の外周側端面に対応する金型内周面に形成された金型を用い、転写用のスタンパが装填された前記基板成形用キャビティに合成樹脂材料を充填してディスク基板を成形する工程と、前記スタンパから合成樹脂材料により形成されたディスク基板を引き剥がす1次剥離工程と、前記金型から前記ディスク基板を引き剥がす2次剥離工程と、を備える。   The invention according to claim 13 is a substrate molding manufacturing method for molding a disk substrate using a substrate molding die apparatus comprising a stationary mold and a movable mold that constitute a substrate molding cavity, Using one of the movable side mold or the fixed side mold, a mold formed on the inner peripheral surface of the mold corresponding to the outer peripheral side end surface of the disk substrate on which the resistance release portion due to surface roughening is formed, Filling the substrate molding cavity loaded with a transfer stamper with a synthetic resin material to mold a disk substrate; and removing the disk substrate formed of the synthetic resin material from the stamper; A secondary peeling step of peeling off the disk substrate from the mold.

請求項14記載の発明は、請求項13記載の基板成形製造方法において、当該金型内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした。   According to a fourteenth aspect of the present invention, in the substrate molding manufacturing method according to the thirteenth aspect, the resistance due to surface roughening is obtained by performing roughening on the inner peripheral surface of the mold in a planar shape by a point set, a line set or a combination thereof. A mold having a release part was used.

請求項15記載の発明は、請求項13又は14記載の基板成形製造方法において、基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとされた面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした。この場合、好適には、1段分の粗し深さが3〜20μmとされた面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした(請求項16)。 According to a fifteenth aspect of the present invention, in the substrate molding manufacturing method according to the thirteenth or fourteenth aspect, the resistance area in the substrate drawing direction is 18 mm 2 or more, the number of roughing steps in the drawing direction of the substrate is two or more, and the roughing depth for one step. A mold having the resistance release portion formed by surface roughening with a thickness of 3 to 90 μm was used. In this case, it is preferable to use a mold in which the resistance release portion is formed by surface roughening, in which the roughness depth for one step is 3 to 20 μm.

本発明によれば、ディスク基板の外周側端面に対応する金型内周面に、面粗しによる抵抗離型部を設けたので、基板成形製造工程において、転写用のスタンパが装填された基板成形用キャビティに合成樹脂材料を充填して成形されたディスク基板をスタンパから引き剥がす際には、当該抵抗離型部がディスク基板の外周側端面に対して「抵抗性」を示すことにより、スタンパからの引き剥がしを平面性を維持したまま行わせることができるとともに、その後、金型からディスク基板を引き剥がす際には当該抵抗離型部がディスク基板の外周側端面に対して「離型性」を示すことにより成形サイクルが短くてもディスク基板の引き剥がしを平面性を維持したまま行わせることができる。従って、成形サイクルの短い条件下でも、高速対応のDVD系ディスクに要求されるディスク平面性を確保してディスクを作製することができる。   According to the present invention, since the resistance release portion by surface roughening is provided on the inner peripheral surface of the mold corresponding to the outer peripheral side end surface of the disk substrate, the substrate loaded with the transfer stamper in the substrate molding manufacturing process When the disk substrate formed by filling the molding cavity with the synthetic resin material is peeled off from the stamper, the resistance release part exhibits “resistance” with respect to the outer peripheral side end surface of the disk substrate. When the disk substrate is peeled off from the mold, the resistance release part is “releasing to the outer peripheral side end surface of the disk substrate. ", The disc substrate can be peeled off while maintaining the flatness even if the molding cycle is short. Therefore, the disc can be produced while ensuring the disc flatness required for a high-speed compatible DVD disc even under a short molding cycle.

特に、面粗しによる抵抗離型部を、当該金型内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより形成し、その抵抗離型部の粗しを、基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとすることにより、上記の「抵抗性」と「離型性」とを確実に発揮させることができる。即ち、1段分の粗し深さが3μmより小さいと粗しの山が細かすぎて山の強度が弱く潰れやすいためスタンパから剥がす際に十分な抵抗が得られないが、3μm以上としているので、「抵抗性」を確保でき、かつ、1段分の粗し深さが90μmより大きいと成形サイクルが短い条件下では金型からディスク基板を引き剥がす際の引っ掛かり量(抵抗)が大きくなりすぎるが、90μm以下としているので、成形サイクルを短縮させた場合でも「離型性」を確保することができる。 In particular, the resistance release part due to surface roughening is formed by performing surface roughening with respect to the inner peripheral surface of the mold by a point set, a line set or a composite thereof, and the resistance release part is roughened. By setting the resistance area in the substrate drawing direction to 18 mm 2 or more, the number of roughing steps in the substrate drawing direction to 2 steps or more, and the roughing depth for one step to 3 to 90 μm, the above “resistance” and “release property” Can be surely exhibited. That is, if the roughing depth for one step is less than 3 μm, the rough mountain is too fine and the strength of the mountain is weak and easily crushed, so sufficient resistance cannot be obtained when peeling from the stamper, but it is 3 μm or more. , "Resistance" can be ensured, and if the roughening depth for one step is greater than 90 μm, the amount of catch (resistance) when the disk substrate is peeled off from the mold becomes too large under a short molding cycle. However, since it is 90 μm or less, even when the molding cycle is shortened, the “release property” can be ensured.

また、このような面粗しによる抵抗離型部は、各種の面粗し処理により形成することができるが、特に、WPC処理、ブラスト処理、ショットピーニング処理、マイクロディンプル加工処理によれば、面荒れなく均一で上記の「抵抗性」と「離型性」とを確実に発揮させることができる面粗しを容易に作ることができる。   Further, such a resistance release portion due to surface roughening can be formed by various surface roughening treatments. It is possible to easily create a rough surface that is uniform without roughening and can reliably exhibit the above-described “resistance” and “releasing properties”.

本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態は、DVD+R等のDVD系ディスクのような光ディスク用のディスク基板成形用金型装置及び当該装置を用いた基板成形製造方法への適用例を示す。   The best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. This embodiment shows an example of application to a disk substrate molding die apparatus for an optical disk such as a DVD-based disk such as DVD + R and a substrate molding manufacturing method using the apparatus.

図1は、当該ディスク基板成形用金型装置の金型構造等を示し、(a)は型開き状態の概略側面図、(b)は型締め状態の概略側面図である。まず、図1を参照して、ディスク基板成形用金型装置の基本的な概略構成及び基本的な基板成形製造方法について説明する。   1A and 1B show a mold structure and the like of the disk substrate molding die device, wherein FIG. 1A is a schematic side view in a mold open state, and FIG. 1B is a schematic side view in a mold clamped state. First, a basic schematic configuration of a disk substrate molding die device and a basic substrate molding manufacturing method will be described with reference to FIG.

このディスク基板成形用金型装置は、図1に示すように、固定側金型1とこの固定側金型1に対し、近接離間する方向に進退可能に油圧機構等を介して支持された可動側金型2とからなる金型3を備えてなる。この金型3を構成する固定側金型1と可動側金型2との間には、成形されるディスク基板4に対応する基板成形用キャビティ5が区画構成される。固定側金型1側には、基板成形用キャビティ5の中心に位置して、射出成形機(図示せず)から供給される溶融されたポリカーボネート樹脂の如き合成樹脂材料を基板成形用キャビティ5内に流入させるスプルブッシュ6が配設されている。このスプルブッシュ6の中心部には樹脂射出ノズル6aが穿設され、射出成形機から供給される溶融された合成樹脂材料は、この樹脂射出ノズル6aを介して基板成形用キャビティ5内に射出される。   As shown in FIG. 1, the disk substrate molding die apparatus is movable and supported by a fixed-side mold 1 and a fixed-side mold 1 through a hydraulic mechanism or the like so as to be able to advance and retreat in a direction of approaching and separating. A mold 3 including a side mold 2 is provided. A substrate molding cavity 5 corresponding to the disk substrate 4 to be molded is defined between the fixed mold 1 and the movable mold 2 constituting the mold 3. A synthetic resin material such as a molten polycarbonate resin supplied from an injection molding machine (not shown) is located in the center of the substrate molding cavity 5 on the fixed mold 1 side. A sprue bush 6 is provided to flow into the pipe. A resin injection nozzle 6a is formed at the center of the sprue bush 6, and the molten synthetic resin material supplied from the injection molding machine is injected into the substrate molding cavity 5 through the resin injection nozzle 6a. The

また、スプルブッシュ6の外周側には、後述するスタンパ7の内周側を支持する内周側スタンパ押え(図示せず)が嵌合配設されるホルダ支持体(図示せず)が嵌合配設されている。この固定側金型1の基板成形用キャビティ5を区画構成する成形面側には、光ディスクに記録される情報信号に対応する微小な凹凸パターンであるいわゆるピット、或いは光ディスクの信号記録部に形成される記録トラックを構成するプリグルーブを成形するスタンパ7が装着されている。このスタンパ7は、中心穴の周縁をホルダ支持体に嵌合配設される内周側スタンパ押えに支持され、外周側は吸引口(図示せず)からのエアー吸引により吸引され装着されてなる。   Further, a holder support (not shown) on which an inner peripheral side stamper presser (not shown) for supporting an inner peripheral side of a stamper 7 described later is fitted is fitted on the outer peripheral side of the sprue bush 6. It is arranged. On the molding surface side that defines the substrate molding cavity 5 of the fixed mold 1, a so-called pit that is a minute uneven pattern corresponding to an information signal recorded on the optical disk, or a signal recording portion of the optical disk is formed. A stamper 7 for forming a pre-groove constituting a recording track is mounted. The stamper 7 is supported by an inner peripheral stamper presser fitted around the holder support at the periphery of the center hole, and the outer peripheral side is sucked and attached by air suction from a suction port (not shown). .

一方、可動側金型2の基板成形用キャビティ5を区画構成する成形面側の中央部には、固定側金型1に設けられる突部成形部と共働してディスク基板4の他方の主面側に突設される突部8を成形する突部成形用凹部9が形成されている。この突部成形用凹部9の中心部には、突部8の中心に貫通穴として形成されるセンタリング部材係合孔を打ち抜き形成する打ち抜きカットパンチ機構の打ち抜きパンチ10が配設されている。この打ち抜きパンチ10は、スリーブ11内を進退するようにして可動側金型2に配設されている。なお、スリーブ11は、可動側金型2に対し進退可能に支持され、成形されたディスク基板4を可動側金型2から突き出し操作する。   On the other hand, the other main part of the disk substrate 4 cooperates with the projection forming part provided on the fixed side mold 1 in the central part on the molding surface side that defines the substrate molding cavity 5 of the movable side mold 2. A protrusion forming recess 9 for forming the protrusion 8 protruding on the surface side is formed. A punching punch 10 of a punching cut punch mechanism for punching and forming a centering member engaging hole formed as a through hole at the center of the protrusion 8 is disposed at the center of the protrusion forming recess 9. This punching punch 10 is disposed in the movable mold 2 so as to advance and retreat in the sleeve 11. The sleeve 11 is supported so as to be movable back and forth with respect to the movable mold 2, and pushes the molded disk substrate 4 out of the movable mold 2.

そして、可動側金型2の外周側には、基板成形用キャビティ4の外周側を区画構成するとともに、成形されるディスク基板4の外周側周面(外周側単面)を成形するディスク外周面成形部材のキャビリング12が配設されている。このキャビリング12は、先端面側を平滑な突当て面となし、固定側金型1に取付けられるスタンパの外周部にタッチするように配設されてなる。そして、キャビリング12は、可動側金型2が固定側金型1に移動して図1(b)に示すような型締め状態とされたとき、平滑な突当て面をスタンパ7に当接して基板成形用キャビティ5を密閉する。   The outer periphery of the movable mold 2 is divided into the outer periphery of the substrate molding cavity 4, and the outer peripheral surface of the disk substrate 4 to be molded is molded as an outer peripheral surface (outer peripheral single surface). A molding member cavity ring 12 is provided. The cavity 12 has a smooth abutting surface on the front end surface side, and is arranged so as to touch an outer peripheral portion of a stamper attached to the fixed side mold 1. When the movable side mold 2 moves to the fixed side mold 1 and is brought into a mold-clamped state as shown in FIG. 1B, the cavity 12 contacts the stamper 7 with a smooth abutting surface. Then, the substrate forming cavity 5 is sealed.

また、可動側金型2の成形面は、ディスク基板4の光ビームの入射面側となり高精度に平滑な面とされるディスク基板4の他方の主面の成形を可能となすように、高精度に平滑な面とされたミラー面13とされている。   Further, the molding surface of the movable mold 2 is on the light beam incident surface side of the disk substrate 4 so that the other main surface of the disk substrate 4 which is a smooth surface with high accuracy can be molded. The mirror surface 13 is a smooth surface with high accuracy.

そして、ディスク基板4を成形後、可動側金型2を固定側金型1から離間する方向に移動させる型開き(1次剥がし)を行なう際には、ディスク基板4を可動側金型2側に保持させ、その後、可動側金型2内のエジェクタ14を突出させることで可動側金型2からディスク基板4を離型(2次剥がし)させる。   Then, after the disk substrate 4 is molded, when performing mold opening (primary peeling) in which the movable mold 2 is moved away from the fixed mold 1, the disk substrate 4 is moved to the movable mold 2 side. And then ejecting the ejector 14 in the movable mold 2 to release the disk substrate 4 from the movable mold 2 (secondary peeling).

このような基本的な構成において、ディスク基板4を成形するには、可動側金型2を固定側金型1側に近接させた型締め状態とする(図1(b)参照)。この型締め状態において、スプルブッシュ6の樹脂射出口6aを介して基板成形用キャビティ5内に、射出成形機から供給される溶融されたポリカーボネート樹脂の如き合成樹脂材料を射出充填する。この時、打ち抜きパンチ10を可動させて突部の中心にセンタリング部材係合孔を穿設する。次いで、可動側金型2を固定側金型1側へ移動させ、基板成形用キャビティ5内に充填された合成樹脂材料を圧縮する型締めを行なうとともに冷却を行なうことにより、基板成形用キャビティ5に対応するディスク基板4の成形が行なわれる。これが、樹脂充填&基板成形工程として行われる。   In such a basic configuration, in order to mold the disk substrate 4, a mold-clamping state in which the movable mold 2 is brought close to the fixed mold 1 side is set (see FIG. 1B). In this clamping state, a synthetic resin material such as a molten polycarbonate resin supplied from an injection molding machine is injected and filled into the substrate molding cavity 5 through the resin injection port 6a of the sprue bush 6. At this time, the punching punch 10 is moved to form a centering member engagement hole at the center of the protrusion. Next, the movable mold 2 is moved to the fixed mold 1 side, the synthetic resin material filled in the substrate molding cavity 5 is clamped and cooled, and the substrate molding cavity 5 is cooled. The disk substrate 4 corresponding to the above is formed. This is performed as a resin filling & substrate molding process.

このようなディスク基板4を成形後、可動側金型2を固定側金型1から離間する方向に移動させる型開き(1次剥がし)を行なうことにより、スタンパ7からディスク基板4を引き剥がす(1次剥離工程)。この際、ディスク基板4を可動側金型2側に保持させる。引き続き、可動側金型2内のエジェクタ14を突出させることで可動側金型2からディスク基板4を離型(2次剥がし)させる(2次剥離工程)。   After the disk substrate 4 is formed, the disk substrate 4 is peeled off from the stamper 7 by performing mold opening (primary peeling) in which the movable mold 2 is moved away from the fixed mold 1 ( Primary peeling step). At this time, the disk substrate 4 is held on the movable mold 2 side. Subsequently, the ejector 14 in the movable mold 2 is protruded to release (secondarily peel) the disk substrate 4 from the movable mold 2 (secondary peeling step).

このようなディスク基板成形用金型装置及び当該装置を用いた基板成形製造方法に関して、本実施の形態では、金型3の一部を構成しディスク基板4の外周側周面(端面)に対応するキャビリング12の内周面(金型内周面)に、面粗しによる抵抗離型部15を設けた点を特徴とする。このような面粗しによる抵抗離型部15は、キャビリング12の内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより形成されたものであり、その粗しの程度としては、基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとされている(詳細については後述する)。ここに、抵抗離型部15は、転写用のスタンパ7が装填された基板成形用キャビティ5に合成樹脂材料を充填して成形されたディスク基板4をスタンパ7から引き剥がす際には、ディスク基板4の外周側端面に対して「抵抗性」を示すとともに、その後、可動側金型2からディスク基板4を引き剥がす際にはディスク基板4の外周側端面に対して「離型性」を示す特性を持たせた部分を意味する。また、「粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行う」とは、キャビリング12の内周面全域において微小な凹凸部が点状に散在するようにしてなる点集合、或いは、キャビリング12の内周面全域において微小な凹凸条部が線状に散在又は交差するようにしてなる線集合、或いは、これらを適宜組合せてなる複合結果が得られるように、キャビリング12の内周面の粗しを2次元的に行うことを意味する。 With respect to such a disk substrate molding die apparatus and a substrate molding manufacturing method using the apparatus, in the present embodiment, a part of the mold 3 is formed and the outer peripheral side peripheral surface (end surface) of the disk substrate 4 is supported. It is characterized in that a resistance release portion 15 by surface roughening is provided on the inner peripheral surface (mold inner peripheral surface) of the cavity ring 12 to be performed. The resistance release part 15 by such surface roughening is formed by performing surface roughening on the inner peripheral surface of the cavity ring 12 by a point set, a line set, or a combination thereof, and the roughening is performed. As for the degree of resistance, the resistance area in the substrate drawing direction is 18 mm 2 or more, the number of roughening steps in the substrate drawing direction is two steps or more, and the roughing depth for one step is 3 to 90 μm (details will be described later). . Here, the resistance release part 15 is used when the disk substrate 4 formed by filling the synthetic resin material into the substrate molding cavity 5 loaded with the transfer stamper 7 is peeled off from the stamper 7. 4 shows “resistance” with respect to the outer peripheral side end face, and after that, shows “release” with respect to the outer peripheral side end face of the disc substrate 4 when the disc substrate 4 is peeled off from the movable die 2. It means the part which gave the characteristic. “Roughening is performed in a planar shape by a point set, a line set, or a combination thereof” is a point set in which minute uneven portions are scattered in a point shape over the entire inner peripheral surface of the cavity 12, or In order to obtain a line set in which minute ridges are scattered or intersected in a linear manner in the entire inner peripheral surface of the cavity ring 12, or a composite result obtained by appropriately combining these, This means that the inner peripheral surface is roughened two-dimensionally.

このようにキャビリング12の内周面に面粗しによる抵抗離型部15を設けることにより、ディスク基板4の成形過程でその外周側端面には抵抗離型部15の面粗しに対応して面粗し部分4aが形成される。そして、型開きを行い成形されたディスク基板4をスタンパ7側から引き剥がす際には、抵抗離型部15がディスク基板4の外周側端面の面粗し部分4aに対して抵抗性を示してディスク基板4が可動側金型2と一体状態が維持されるので、ディスク基板4をスタンパ7側から面振れ、周方向のチルト、半径方向のチルトを悪化させることなく平面性を維持した状態で確実に離型(1次剥離)させ、スタンパ7が配設されない可動側金型2側へ確実に移動させることができる。   Thus, by providing the resistance release portion 15 by roughening on the inner peripheral surface of the cavity ring 12, the outer peripheral side end surface corresponds to the roughening of the resistance release portion 15 in the molding process of the disk substrate 4. As a result, the roughened portion 4a is formed. Then, when the disk substrate 4 formed by opening the mold is peeled off from the stamper 7 side, the resistance release portion 15 exhibits resistance to the roughened portion 4 a on the outer peripheral side end surface of the disk substrate 4. Since the disk substrate 4 is maintained in an integrated state with the movable mold 2, the disk substrate 4 is kept flat from the surface of the stamper 7 without being shaken, deteriorating the circumferential tilt and the radial tilt. The mold can be surely released (primary separation) and moved to the movable mold 2 side where the stamper 7 is not disposed.

次に、可動側金型2からディスク基板4を引き剥がす際(2次剥離時)には、ディスク基板4が収縮する時間を十分とらなくても、面粗しによる抵抗離型部15がディスク基板4の外周側端面の面粗し部分4aに対して離型性を示すこととなり、成形サイクルを短縮しても(高速成形時)、ディスク基板4の外周側端面がキャビリング12に引っ掛かることなく平面性を維持して引き剥がすことが可能である。   Next, when the disk substrate 4 is peeled off from the movable side mold 2 (secondary peeling), the resistance release part 15 due to surface roughening is formed on the disk without taking sufficient time for the disk substrate 4 to shrink. The surface roughness portion 4a on the outer peripheral side end surface of the substrate 4 exhibits releasability, and even if the molding cycle is shortened (during high-speed molding), the outer peripheral side end surface of the disk substrate 4 is caught by the cab ring 12. It is possible to peel off while maintaining flatness.

なお、ディスク基板4の外周側端面には、抵抗離型部15に対応して面粗し部分4aが形成されるが、この面粗し部分4aは信号記録部の形成が行われることのない外周側端面であるので、信号記録部が形成される基板本体に対する影響を抑えることができる。   Note that a roughened surface 4a is formed on the outer peripheral side end surface of the disk substrate 4 corresponding to the resistance release portion 15, but the roughened portion 4a is not formed with a signal recording portion. Since it is an outer peripheral side end surface, the influence with respect to the board | substrate body in which a signal recording part is formed can be suppressed.

また、本実施の形態では、スタンパ7が装着される側を固定側金型1とし、打ち抜きパンチ10が配置される側を可動側金型2としているが、この関係を逆に構成するようにしたものであってもよい。   In the present embodiment, the side on which the stamper 7 is mounted is the fixed die 1 and the side on which the punching punch 10 is disposed is the movable die 2. However, this relationship is reversed. It may be what you did.

ところで、前述の抵抗離型部15の面粗しの程度、形成方法等について、従来方式との対比を含めて考察する。   By the way, the degree of surface roughening of the above-mentioned resistance release part 15, the formation method, etc. will be considered including the comparison with the conventional method.

まず、特許文献1に準じて比較例となるサンプル(1)(2)(3)を作製するとともに、本実施の形態に準ずる実施例としてサンプル(4)(5)を作製した。これらのサンプルの数値例を表1に示す。   First, samples (1), (2), and (3) serving as comparative examples according to Patent Document 1 were produced, and samples (4) and (5) were produced as examples according to the present embodiment. Table 1 shows numerical examples of these samples.

Figure 2005125746
Figure 2005125746

サンプル(1)はキャビリングの内周面に0.2mm角の凹部を離型抵抗部として24点分を1周に亘って1段分を均等に形成したものであり、その1周分の長さ(a)は4.8mm、引っ掛かり量(1段分の深さb)は0.2mm、抵抗面積は0.96mmである。サンプル(2)は、キャビリングの内周面に0.1mm幅のコーナーリング(角状リング;図2(A)参照)を離型抵抗部として1周に亘って1段分形成したものであり、その1周分の長さ(a)は376.99mm、引っ掛かり量(1段分の深さb)は0.1mm、抵抗面積は37.70mmである。サンプル(3)は、キャビリングの内周面に0.05mm幅のコーナーリング(角状リング;図2(B)参照)を離型抵抗部として1周に亘って1段分形成したものであり、その1周分の長さ(a)は376.99mm、引っ掛かり量(1段分の深さb)は0.05mm、抵抗面積は18.85mmである。一方、サンプル(4)は、キャビリング12の内周面に0.020mmの面粗さの抵抗離型部15を1周に亘って面状に形成したものであり(図2(C)参照)、その1周分の長さ(a)は376.99mm、引っ掛かり量(1段分の深さb)は0.02mm、ディスク引き抜き方向の段数12段、抵抗面積は45.24mmである。一方、サンプル(5)は、キャビリング12の内周面に0.012mmの面粗さの抵抗離型部15を1周に亘って面状に形成したものであり、その1周分の長さ(a)は376.99mm、引っ掛かり量(1段分の深さb)は0.012mm、ディスク引き抜き方向の段数13段、抵抗面積は29.41mmである。なお、サンプル(4)(5)における抵抗離型部15の面粗し部分は三角形状断面として考えることができるので、その抵抗面積d=(a*b)/2*cにより求めた。 Sample (1) has a 0.2 mm square recess on the inner peripheral surface of the cavity, and a 24-step portion of the cavity is formed uniformly over one round, and one round portion is formed. The length (a) is 4.8 mm, the amount of catch (depth b for one step) is 0.2 mm, and the resistance area is 0.96 mm 2 . Sample (2) is formed by forming a corner ring (square ring; see FIG. 2 (A)) with a width of 0.1 mm on the inner peripheral surface of the cavity ring for one step over the entire circumference as a release resistance portion. The length (a) for one turn is 37699 mm, the amount of catch (depth b for one step) is 0.1 mm, and the resistance area is 37.70 mm 2 . Sample (3) is formed by forming a corner ring (square ring; see FIG. 2 (B)) having a width of 0.05 mm on the inner peripheral surface of the cab ring for one step over the entire circumference as a release resistance portion. The length (a) for one turn is 37699 mm, the amount of catch (depth b for one step) is 0.05 mm, and the resistance area is 18.85 mm 2 . On the other hand, in the sample (4), a resistance release portion 15 having a surface roughness of 0.020 mm is formed in a planar shape on the inner peripheral surface of the cavity ring 12 (see FIG. 2C). ), The length (a) for one round is 37699 mm, the amount of catch (depth b for one step) is 0.02 mm, the number of steps in the disk pulling direction is 12, and the resistance area is 45.24 mm 2 . . On the other hand, in the sample (5), the resistance release part 15 having a surface roughness of 0.012 mm is formed on the inner peripheral surface of the cavity 12 in a planar shape over one turn, and the length of one turn is (a) is 376.99Mm, caught the amount (depth b of one step) is 0.012 mm, number 13 stage disk drawing direction, the resistance area is 29.41mm 2. In addition, since the rough surface portion of the resistance release portion 15 in the samples (4) and (5) can be considered as a triangular cross section, the resistance area d = (a * b) / 2 * c was obtained.

なお、これらのサンプルの表面粗さは、Form Taly-Surf S6(Taylor Hobson製)表面粗さ測定機を用いて測定したものである。これらの表面粗さ測定機で測定した実際の粗さのデータ例を図3(a)(b)に示す。図(a)(b)は同じ部位の表面粗さの例を示すものであるが、図3(a)が3mmストロークで測定した結果を示しているのに対して、図3(b)はチャート表示により粗さ形状を見やすくするために1mmストロークで再測定した結果を示すものである。図3に示す例は、サンプル(5)の表面粗さ0.012mmの場合の例を示している。また、表1中に示すサンプル(4)(5)の段数は、実際の粗さチャートからディスク基板板厚0.6mmに対して何段あるかを読み取った結果を示している。   The surface roughness of these samples was measured using a Form Taly-Surf S6 (Taylor Hobson) surface roughness measuring machine. 3A and 3B show examples of actual roughness data measured by these surface roughness measuring machines. Figures (a) and (b) show examples of the surface roughness of the same part, whereas Fig. 3 (a) shows the results measured with a 3 mm stroke, whereas Figure 3 (b) shows the results. In order to make the roughness shape easier to see by chart display, the result of remeasurement with a 1 mm stroke is shown. The example shown in FIG. 3 shows an example when the surface roughness of the sample (5) is 0.012 mm. Further, the number of stages of Samples (4) and (5) shown in Table 1 indicates the result of reading how many stages are present with respect to the disk substrate plate thickness of 0.6 mm from the actual roughness chart.

これらのサンプル例を基に、成形サイクルタイムとの関係及びその機械特性評価を行った結果について説明する。なお、機械的評価については、図2に示すように、成形サイクルタイム、外周軸方向加速度、外周半径方向チルト、外周周方向チルトについて測定し、それらの結果に基づき機械特性評価がOKかNGかを判定評価したものである。「外周半径方向チルト」とは、ディスク基板の半径方向の反りを角度で表したもので、これが悪化して大きな値を示す基板ではプッシュプル信号のオフセットや振幅に影響を及ぼすので、この数値が小さいほどよい。「外周周方向チルト」とは、ディスク基板の周方向の反りを角度で表したものであり、同様に、この数値が小さいほどよい。「外周軸方向加速度」とは、回転数が16Hz(960rpm,CAV方式)のときの基準面と直交する方向における記録層の加速度を意味し、ディスク表面の凹凸などに起因してこの加速度が悪化して大きな値を示す基板ではフォーカス/トラッキングサーボの引込み応答性、追従性、安定性に影響を及ぼすこととなる。近年、高速記録化されてきているDVD系ディスクではこの軸方向加速度の品質が重要視されてきており、この軸方向加速度については、例えばDVD+R/RWオレンジブックによれば残留フォーカス/トラッキングエラーで規定され、軸方向加速度換算で2.1m/s以下が求められるようになってきている。本実施の形態でも、軸方向加速度換算で2.1m/s以下の場合を機械特性評価をOKとしている。また、成形サイクルタイムに関しては、本実施の形態では、5.5s以下を目標値としている。これらの機械特性は、Biref-126P(Dr.Schenk製)なる測定機を用いて測定した。 Based on these sample examples, the relationship with the molding cycle time and the results of the mechanical property evaluation will be described. As for mechanical evaluation, as shown in FIG. 2, the molding cycle time, outer peripheral axial acceleration, outer peripheral radial tilt, and outer peripheral tilt are measured. Based on these results, whether the mechanical property evaluation is OK or NG. Is evaluated. The “peripheral radial tilt” is an angular representation of the radial curvature of the disk substrate, and this value deteriorates and affects the offset and amplitude of the push-pull signal on a substrate that shows a large value. Smaller is better. The “peripheral circumferential direction tilt” is an angular representation of the warpage of the disk substrate in the circumferential direction. Similarly, the smaller the numerical value, the better. The “peripheral axis direction acceleration” means the acceleration of the recording layer in the direction perpendicular to the reference surface when the rotational speed is 16 Hz (960 rpm, CAV method), and this acceleration is deteriorated due to irregularities on the disk surface. In the case of a substrate showing a large value, the focus / tracking servo pull-in responsiveness, followability, and stability are affected. In recent years, the quality of this axial acceleration has been regarded as important for DVD-based discs that have been recorded at high speed. This axial acceleration is defined by the residual focus / tracking error according to the DVD + R / RW Orange Book, for example. Accordingly, 2.1 m / s 2 or less is demanded in terms of axial acceleration. Also in the present embodiment, the mechanical characteristic evaluation is OK when the axial acceleration is 2.1 m / s 2 or less. Regarding the molding cycle time, in the present embodiment, the target value is 5.5 s or less. These mechanical properties were measured using a measuring machine called Biref-126P (Dr. Schenk).

まず、型開き速度を一定とした場合、スタンパからディスク基板を引き剥がす1次剥がしにおいて引っ掛かりが生ずるか否かの境界は、基板引き抜き方向の抵抗面積として18mmであり、この抵抗面積が18mmよりも小さいとスタンパ・ディスク基板間の剥離をうまく行えないことが判明したものである。従って、サンプル(1)の場合、成形サイクルタイムを問わず、この段階でディスク基板をうまく作製することができなかったものである。 First, when the mold opening speed is constant, the boundary of whether or not the primary peeling is performed when the disk substrate is peeled off from the stamper is 18 mm 2 as the resistance area in the substrate drawing direction, and this resistance area is 18 mm 2. If it is smaller than that, it has been found that peeling between the stamper disk substrate cannot be performed well. Therefore, in the case of sample (1), the disk substrate could not be successfully produced at this stage regardless of the molding cycle time.

次に、サンプル(2)については図2中に示すように成形サイクルタイムを9.6sとした場合であれば、軸方向加速度が1.4m/sとなり、また、サンプル(3)については図2中に示すように成形サイクルタイムを8.4sとした場合であれば、軸方向加速度が1.6m/sとなったのに対して、成形サイクルタイムを6.7sに短縮した場合には、軸方向加速度が4.7m/sとなった上に、ディスク半径R=50mmからR=57mmにかけて屈曲がディスク鏡面方向(−チルト)が発生してNGとなってしまったものである。一方、サンプル(5)については図2中に示すように成形サイクルタイムを目標値5.5sに短縮した場合であっても、軸方向加速度が1.7m/sとなり、かつ、チルトも小さく評価が全てOKとなったものである。従って、表面粗さに関しては基板引き抜き方向に複数段必要な上に、1段分の深さ(b)でみた場合、0.09mm程度が成形サイクルタイム9sを達成できるか否かの境界であり、0.05mm程度が成形サイクルタイム7sを達成できるか否かの境界であり、さらに、0.02mm程度が成形サイクルタイム5.5sを達成できるか否かの境界と考えられる(図4参照)。 Next, for sample (2), if the molding cycle time is 9.6 s as shown in FIG. 2, the axial acceleration is 1.4 m / s 2 , and for sample (3) As shown in FIG. 2, when the molding cycle time is 8.4 s, the axial acceleration is 1.6 m / s 2 whereas the molding cycle time is shortened to 6.7 s. In this example, the axial acceleration was 4.7 m / s 2 and the bending of the disk radius R = 50 mm to R = 57 mm caused the disk mirror surface direction (−tilt) to become NG. is there. On the other hand, as shown in FIG. 2, for sample (5), even when the molding cycle time is shortened to the target value of 5.5 s, the axial acceleration is 1.7 m / s 2 and the tilt is small. All evaluations were OK. Therefore, regarding the surface roughness, a plurality of steps are required in the substrate drawing direction, and when viewed at a depth (b) of one step, about 0.09 mm is a boundary whether or not the molding cycle time 9 s can be achieved. 0.05 mm is a boundary whether or not the molding cycle time 7 s can be achieved, and about 0.02 mm is considered a boundary whether or not the molding cycle time 5.5 s can be achieved (see FIG. 4). .

つまり、サンプル(4)(5)のように、細かい面粗しで基板引き抜き方向の抵抗面積を稼いでいく、つまり、抵抗量は増やす一方、粗し1段分の深さは浅くしていくとより良好な機械特性が得られる。基板引き抜き方向の抵抗量(抵抗面積)はスタンパ面からの1次剥がしに対して大きい方が良好である。粗し1段分の深さは、金型3からディスク基板4を取り出す2次剥がし時、特に成形サイクルタイムを短縮してディスク基板4が冷却収縮する時間が取れなくなってきた場合に浅い方が引っ掛かり無く抜くことができ良好である。表1中に示すサンプル(2)(3)のように基板引き抜き方向に1段でリング状に形成した特許文献1方式の離型抵抗部ではサンプル(3)の場合で成形サイクルタイム6.7sで既に2次剥がし時の引っ掛かりによる外周半径方向の悪化が発生している。ディスク外周端面が引っ掛かったまま抜かれたため、ディスク基板の半径R=50mmからR=57mmにかけて屈曲がディスク鏡面方向(−チルト)に発生している。これに対して、サンプル(5)のように細かい面粗しで基板引き抜き方向の抵抗量は増やし、粗し1段分の深さは浅くした粗し形状・量では5.5sの成形サイクルタイム下でも良好な機械特性が得られている。   In other words, as in samples (4) and (5), the resistance area in the substrate drawing direction is increased by fine surface roughening, that is, the amount of resistance is increased while the depth of one step is reduced. And better mechanical properties. It is better that the amount of resistance (resistance area) in the direction of drawing out the substrate is larger than the primary peeling from the stamper surface. The rough one-step depth is shallower when the disk substrate 4 is removed from the mold 3, and when the time required for cooling and shrinkage of the disk substrate 4 is shortened especially when the molding cycle time is shortened. It can be pulled out without being caught. In the case of sample (3), the molding cycle time is 6.7 s in the release resistor portion of the method of Patent Document 1 formed in a ring shape in one step in the substrate drawing direction as in samples (2) and (3) shown in Table 1. Thus, deterioration in the outer peripheral radial direction has already occurred due to catching at the time of secondary peeling. Since the disk outer peripheral end surface was pulled out, the disk substrate was bent in the disk mirror surface direction (-tilt) from the radius R = 50 mm to R = 57 mm. On the other hand, as shown in sample (5), the amount of resistance in the substrate drawing direction is increased by fine surface roughening, and the depth of one step is reduced to a shallow depth. Good mechanical properties have been obtained even below.

この粗し1段分の深さについて考察したところ、この1段分の粗し深さを3〜90μm、より好適には3〜20μmすることにより、抵抗離型部15に要求される機能を確実に発揮させることができたものである。サンプル(5)は最適例として、この粗し深さが12μmの場合を示している。即ち、1段分の粗し深さが3μmより小さいと粗しの山が細かすぎて山の強度が弱く潰れやすいためスタンパ7から剥がす際に十分な抵抗が得られないが、3μm以上としているので、「抵抗性」を確保することとができる。また、段分の粗し深さが90μmより大きいと成形サイクルが短い条件下では金型からディスク基板を引き剥がす際の引っ掛かり量(抵抗)が大きくなりすぎるが、90μm以下としているので、成形サイクルを短縮させた場合でも「離型性」を確保することができる。   Considering the depth of one step of this roughening, the function required for the resistance release part 15 is achieved by setting the depth of one step of 3-90 μm, more preferably 3-20 μm. It was something that could be demonstrated reliably. Sample (5) shows a case where the roughening depth is 12 μm as an optimal example. That is, if the roughing depth for one step is smaller than 3 μm, the rough mountain is too thin and the strength of the mountain is weak and easily crushed. Therefore, sufficient resistance cannot be obtained when peeling from the stamper 7, but it is 3 μm or more. Therefore, “resistance” can be ensured. Also, if the roughening depth of the step is larger than 90 μm, the amount of catch (resistance) when peeling the disk substrate from the mold becomes too large under the condition that the molding cycle is short, but the molding cycle is 90 μm or less. Even when the length is shortened, the “releasability” can be ensured.

図5は、このような粗しによる2次剥がし効果を、1段分の粗し深さ−成形サイクルの関係としてまとめてグラフで示す説明図である。横軸が成形サイクルT、縦軸が1段分の粗し深さを示している。この例では、成形サイクルが9sの場合には基板が90μm収縮し、7sの場合には基板が50μm収縮し、6sの場合には基板が20μm収縮するものとした場合の例を示している。前提として18mm2以上の抵抗面積、基板引き抜き方向粗らし2段以上を確保した場合に、1段分の粗らし深さを浅くしていくと、基板収縮のための時間が得られない短時間の成形サイクルT条件においても引っ掛かりのない良好な2次剥がしが行われることが判かる。即ち、領域A+B+C部分において使用に適する範囲となるが、成形サイクルT短縮時、特に所望とする成形サイクルT=5.5s以下でも対応可能な1段分の粗らし深さ領域として領域A+B部分なる3〜20μm領域が良好である。更には、1次剥がしに重要な抵抗面積18mm2以上が充分に確保される領域A部分なる12〜20μm領域が良好である。 FIG. 5 is an explanatory view showing the effect of secondary peeling by such roughening as a graph of the relationship between the roughening depth of one step and the molding cycle. The horizontal axis shows the molding cycle T, and the vertical axis shows the roughening depth for one stage. In this example, the substrate contracts by 90 μm when the molding cycle is 9 s, the substrate contracts by 50 μm when 7 s, and the substrate contracts by 20 μm when 6 s. As a premise, if a resistance area of 18 mm 2 or more and two or more steps of roughening in the drawing direction of the substrate are secured, if the roughening depth for one step is reduced, the time required for shrinking the substrate cannot be obtained. It can be seen that good secondary peeling without catching is performed even under the molding cycle T condition. In other words, the region A + B + C is a range suitable for use, but when the molding cycle T is shortened, the region A + B is a roughening depth region for one step that can be handled even when the molding cycle T = 5.5 s or less. The 3 to 20 μm region is good. Furthermore, a 12 to 20 μm region, which is a region A portion in which a resistance area of 18 mm 2 or more important for primary peeling is sufficiently secured, is favorable.

ところで、サンプル(4)(5)のような面粗しによる抵抗離型部15は、各種の面粗し処理により形成することができるが、本実施の形態では、その一例としてWPC(Wide Peening and Clean)処理が用いられている。本実施の形態では、特に理想的な面粗さを得るために、粗度・形状の異なるショット材を使用し2段階の工程処理で面粗しを行うようにしている。例えば、ショット材に関しては、1工程目では角張った形状の酸化アルミニウムで平均粒度300μmのものを使用し、2工程目では球形状のセラミックビーズで平均粒度45μmのものを使用した。ショット圧力は、1工程目、2工程目ともに4.0kgf/cmとした。ノズルの噴射距離(被処理物までの距離)は7cmとした。さらに、処理時間は各部位に30秒間は当るようにして2回転させるようにした(1回転で処理の粗さは十分に出ているが、2回転させることで粗さを安定させた)。このようなWPC処理によれば、面荒れなく均一な面粗しを簡単に作ることができる。角張った形状のショット材を使用した場合、WPC処理では、図6(a)に示すような形状になる。図6はキャビリング12を図7中の矢印Aで示すような上方から見た水平断面図を示しているが、図7中に示すB−B断面として見た場合でも同様である。 By the way, the resistance release part 15 by surface roughening as in the samples (4) and (5) can be formed by various surface roughening treatments. In this embodiment, as an example, WPC (Wide Peening) is used. and Clean) processing is used. In the present embodiment, in order to obtain particularly ideal surface roughness, surface roughening is performed by two-step process processing using shot materials having different roughness and shape. For example, as for the shot material, aluminum oxide having an angular shape with an average particle size of 300 μm was used in the first step, and spherical ceramic beads having an average particle size of 45 μm were used in the second step. The shot pressure was 4.0 kgf / cm 2 in both the first step and the second step. The nozzle ejection distance (distance to the object to be processed) was 7 cm. Further, the treatment time was rotated twice so as to hit each part for 30 seconds (the roughness of the treatment was sufficient by one revolution, but the roughness was stabilized by making two revolutions). According to such WPC processing, uniform surface roughness can be easily made without surface roughness. When an angular shot material is used, the shape shown in FIG. 6A is obtained in the WPC process. FIG. 6 shows a horizontal sectional view of the cavity ring 12 as viewed from above as indicated by an arrow A in FIG. 7, but the same applies to the case where the cavity ring 12 is viewed as a BB section in FIG.

なお、キャビリング12の内周面に面粗しによる抵抗離型部15を形成する面粗し処理としては、WPC処理に限らず、例えば、ビーズを用いたブラスト処理、ショットピーニング処理、マイクロディンプル加工処理、細かく粗らしたバイト面による切削或いは研磨処理、金属面を粗す薬剤・溶液を用いた処理等を適宜用いることができる。   The surface roughening process for forming the resistance release portion 15 by surface roughening on the inner peripheral surface of the cavity 12 is not limited to the WPC process, and for example, a blast process using beads, a shot peening process, a micro dimple A processing treatment, a cutting or polishing treatment with a finely roughened bite surface, a treatment using a chemical / solution for roughening a metal surface, and the like can be appropriately used.

WPC処理、ショットピーニング、マイクロディンプル、ビーズによるブラスト処理等のショット材を金属表面に加速をつけて叩きつけ点集合粗しを行う処理方法では、ショット材形状が角張っていれば図6(a)、丸まっていれば図6(b)に示すような表面形状となるが、何れの形状の場合でもその抵抗面積が18mm以上であれば使用可能である。例えば、図6(a)に示すような簡単な三角断面形状のものであれば(平均粗らし深さ*1周の長さ)/2*(ディスク引き抜き方向の段数)にて簡易に計算を行い、抵抗面積を求めることができる。 In a processing method in which a shot material, such as WPC treatment, shot peening, microdimple, and blasting with beads, is struck by accelerating the metal surface to perform point set roughening, if the shot material has an angular shape, FIG. If it is round, it has a surface shape as shown in FIG. 6 (b), but any shape can be used if its resistance area is 18 mm 2 or more. For example, if it has a simple triangular cross-sectional shape as shown in FIG. 6 (a), the calculation is simply performed with (average roughening depth * length of one circumference) / 2 * (number of steps in the disk drawing direction). And the resistance area can be determined.

また、1周を同形状に切削或いは研磨した場合の表面形状例を図8に例示する。各々キャビリング12を回転させながら当てるバイトの面形状と等しい表面形状に仕上がるが、抵抗面積は平均粗らし深さ*1周の長さ*ディスク引き抜き方向の段数にて計算をし18mm以上であれば表面の形状は問わす使用可能である。但し、図8(d)に示すようなディスクが収縮しても抜けない形状は使用不可である。 Further, FIG. 8 illustrates an example of the surface shape when one round is cut or polished into the same shape. Each surface finish is equal to the surface shape of the tool to be applied while rotating the cabling 12, but the resistance area is calculated by the average roughening depth * length of one round * number of steps in the disk pulling direction and at least 18 mm 2 Any surface shape can be used. However, a shape that does not come out even when the disc contracts as shown in FIG. 8D cannot be used.

同様に、金属面を粗らす薬剤・溶液を用いた処理法においても単位当たりの抵抗面積を算出し、それに掛けることの*1周長さ*引き抜き方向段数を計算して使用可否を求めれば良い。   Similarly, in the treatment method using a chemical / solution that roughens the metal surface, the resistance area per unit is calculated, and the availability is calculated by calculating the * 1 circumference * the number of steps in the drawing direction. good.

本発明の一実施の形態のディスク基板成形用金型装置の金型構造等を示し、(a)は型開き状態の概略側面図、(b)は型締め状態の概略側面図である。1 shows a mold structure and the like of a disk substrate molding die device according to an embodiment of the present invention, wherein (a) is a schematic side view in a mold open state, and (b) is a schematic side view in a mold clamped state. 従来方式と対比させてキャビリング内周面の形状と機械特性値とを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the shape and mechanical characteristic value of a cavity inner peripheral surface in contrast with the conventional system. 測定された表面粗さの例を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the example of the measured surface roughness. 粗し形状と成形サイクルタイムとの関係を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the relationship between a rough shape and shaping | molding cycle time. 粗し形状と成形サイクルタイムとの関係により2次剥がし効果をまとめてグラフで示す説明図である。It is explanatory drawing which summarizes the secondary peeling effect according to the relationship between a rough shape and shaping | molding cycle time, and shows it with a graph. 表面粗し形状の例を示す矢視A方向の水平断面図である。It is a horizontal sectional view of an arrow A direction showing an example of a rough surface shape. 図示方向を示すためのキャビリングの斜視図である。It is a perspective view of the cabling for showing a direction of illustration. 表面粗し形状の例を示すB−B線による断面図である。It is sectional drawing by the BB line which shows the example of a rough surface shape.

符号の説明Explanation of symbols

1 固定側金型
2 可動側金型
4 ディスク基板
4a 面粗し部分
5 基板成形用キャビティ
7 スタンパ
12 金型の一部
15 抵抗離型部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed side metal mold | die 2 Movable side metal mold | die 4 Disc board | substrate 4a Roughening part 5 Substrate shaping | molding cavity 7 Stamper 12 Part of metal mold | die 15 Resistance mold release part

Claims (16)

合成樹脂材料を用いてディスク基板を成形する基板成形用金型装置において、
基板成形用キャビティを構成する固定側金型と可動側金型とを備え、
これらの金型の一方で成形される前記ディスク基板の外周側端面に対応する金型内周面に、面粗しによる抵抗離型部を設けたことを特徴とする基板成形用金型装置。
In a substrate molding die apparatus that molds a disk substrate using a synthetic resin material,
A fixed side mold and a movable side mold that constitute a substrate molding cavity are provided.
A substrate molding die apparatus, wherein a resistance release portion by surface roughening is provided on an inner peripheral surface of a die corresponding to an outer peripheral side end surface of the disk substrate formed on one of these dies.
面粗しによる前記抵抗離型部は、当該金型内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより形成されている、ことを特徴とする請求項1記載の基板成形用金型装置。   2. The resistance release part by surface roughening is formed by performing surface roughening with respect to the inner peripheral surface of the mold by a point set, a line set or a composite thereof. Molding equipment for substrate molding. 前記抵抗離型部の粗しは、基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとされている、ことを特徴とする請求項1又は2記載の基板成形用金型装置。 The roughness of the resistance release part is such that the resistance area in the substrate drawing direction is 18 mm 2 or more, the number of roughing steps in the substrate drawing direction is two or more, and the roughing depth for one step is 3 to 90 μm. The mold apparatus for substrate molding according to claim 1 or 2. 前記抵抗離型部の粗しにおける1段分の粗し深さが3〜20μmとされている、ことを特徴とする請求項3記載の基板成形用金型装置。   4. The substrate molding die apparatus according to claim 3, wherein a roughening depth for one step in the roughening of the resistance release part is 3 to 20 [mu] m. 前記抵抗離型部の粗しは、当該金型内周面に対する面粗し処理により形成されている、ことを特徴とする請求項1ないし4の何れか一記載の基板成形用金型装置。   5. The substrate molding die apparatus according to claim 1, wherein the resistance release portion is roughened by a surface roughening process on the inner peripheral surface of the die. 前記面粗し処理は、WPC(Wide Peening and Clean)処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The substrate molding die apparatus according to claim 5, wherein the surface roughening process is a WPC (Wide Peening and Clean) process. 前記面粗し処理は、ビーズを用いたブラスト処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The mold apparatus for forming a substrate according to claim 5, wherein the surface roughening process is a blast process using beads. 前記面粗し処理は、ショットピーニング処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The substrate molding die apparatus according to claim 5, wherein the surface roughening process is a shot peening process. 前記面粗し処理は、マイクロディンプル加工処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The mold apparatus for forming a substrate according to claim 5, wherein the surface roughening process is a micro dimple process. 前記面粗し処理は、細かく粗したバイト面による切削或いは研磨処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The substrate molding die apparatus according to claim 5, wherein the surface roughening treatment is a cutting or polishing treatment with a finely roughened bite surface. 前記面粗し処理は、金属面を粗す薬剤又は溶剤を用いる処理である、ことを特徴とする請求項5記載の基板成形用金型装置。   6. The substrate molding die apparatus according to claim 5, wherein the surface roughening treatment is a treatment using a chemical or a solvent for roughening a metal surface. 請求項1ないし11の何れか一記載の基板成形用金型装置を用いて合成樹脂材料により作製され、面粗しされた抵抗離型部により形成された面粗し部分を外周側端面に有するディスク基板。   A surface roughened portion formed by a resistance release portion that is made of a synthetic resin material using the substrate molding die device according to any one of claims 1 to 11 and is roughened is provided on an outer peripheral side end surface. Disc substrate. 基板成形用キャビティを構成する固定側金型と可動側金型とを備える基板成形用金型装置を用いてディスク基板を成形する基板成形製造方法であって、
前記可動側金型又は前記固定側金型の一方に、面粗しによる抵抗離型部が成形される前記ディスク基板の外周側端面に対応する金型内周面に形成された金型を用い、転写用のスタンパが装填された前記基板成形用キャビティに合成樹脂材料を充填してディスク基板を成形する工程と、
前記スタンパから合成樹脂材料により形成されたディスク基板を引き剥がす1次剥離工程と、
前記金型から前記ディスク基板を引き剥がす2次剥離工程と、
を備えることを特徴とする基板成形製造方法。
A substrate molding manufacturing method for molding a disk substrate using a substrate molding die apparatus comprising a fixed mold and a movable mold that constitute a substrate molding cavity,
A mold formed on an inner peripheral surface of a mold corresponding to an outer peripheral side end surface of the disk substrate on which a resistance release portion due to surface roughening is formed is used on one of the movable side mold and the fixed side mold. Filling the substrate molding cavity loaded with a transfer stamper with a synthetic resin material and molding a disk substrate;
A primary peeling step of peeling off a disk substrate formed of a synthetic resin material from the stamper;
A secondary peeling step of peeling the disk substrate from the mold;
A substrate molding and manufacturing method comprising:
当該金型内周面に対する粗しを点集合、線集合又はその複合により面状に行うことにより面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした、ことを特徴とする請求項13記載の基板成形製造方法。   It is characterized by using a die in which the resistance release part by surface roughening is formed by performing roughening with respect to the inner peripheral surface of the die in a surface shape by a point set, a line set or a combination thereof. The substrate molding manufacturing method according to claim 13. 基板引き抜き方向の抵抗面積が18mm以上、基板引き抜き方向粗し段数が2段以上、1段分の粗し深さが3〜90μmとされた面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした、ことを特徴とする請求項13又は14記載の基板成形製造方法。 The resistance release part is formed by surface roughening in which the resistance area in the substrate drawing direction is 18 mm 2 or more, the number of roughing steps in the substrate drawing direction is two steps or more, and the roughing depth for one step is 3 to 90 μm. 15. The substrate molding manufacturing method according to claim 13, wherein a mold is used. 1段分の粗し深さが3〜20μmとされた面粗しによる前記抵抗離型部が形成された金型を用いるようにした、ことを特徴とする請求項15記載の基板成形製造方法。
16. The substrate molding manufacturing method according to claim 15, wherein a mold having the resistance release portion formed by surface roughening with a one-step roughening depth of 3 to 20 [mu] m is used. .
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