JP2005119158A - Manufacturing method of polyimide film - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a polyimide film good in surface adhesiveness. <P>SOLUTION: A solution, which is prepared by dissolving a polyamic acid being a polyimide precursor or a polyimide in a solvent, is continuously applied to an endless belt or a drum and, after the coated film is dried until self-supporting properties are developed, the obtained self-supporting film is fed through a heating furnace under an inert gas atmosphere to be imidated. Since the imidation of the self-supporting film is performed under the inert gas atmosphere, the polyimide film good in adhesiveness can be obtained. The polyimide film thus obtained can be adapted to a flexible circuit board, a coverlay or the like. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、表面の接着性が良好なポリイミドフィルムを製造する方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a polyimide film having good surface adhesion.

ポリイミドフィルムは、その優れた耐熱性・耐溶剤性・電気絶縁性などから種々の用途に広く用いられており、とりわけ半導体や実装回路基板用途に幅広く使用されている。ポリイミドフィルムの代表的なものは、ピロメリット酸ニ無水物やビフェニルテトラカルボン酸二無水物などの酸二無水物と、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルやパラフェニレンジアミンなどのジアミンとからなるポリイミドである。このポリイミドは機械的・熱的特性のバランスに優れた構造であり、汎用の製品として広く工業的に用いられているが、表面の接着性が乏しいことが問題となっている。   Polyimide films are widely used for various applications because of their excellent heat resistance, solvent resistance, electrical insulation, and the like, and are particularly widely used for semiconductors and mounted circuit board applications. A typical polyimide film is a polyimide composed of an acid dianhydride such as pyromellitic dianhydride or biphenyltetracarboxylic dianhydride and a diamine such as 4,4′-diaminodiphenyl ether or paraphenylenediamine. is there. This polyimide has a structure with an excellent balance between mechanical and thermal characteristics, and is widely used industrially as a general-purpose product, but has a problem of poor surface adhesion.

一方、ポリイミドフィルムを製造するに際しては、通常前駆体としてのポリアミック酸をイミド化する工程を踏むが、ポリアミック酸を十分イミド化するためには、高温での加熱が必要である。また、フィルムとしての靭性を付与するためには、十分な分子鎖間のパッキングを発現する必要があり、そのためにも高温で加熱する必要がある。しかしながら、高温で加熱した場合には、フィルムの表面に脆弱層が生じるため、接着性の良いフィルムを得ることができないという問題があった。   On the other hand, when producing a polyimide film, a step of imidizing a polyamic acid as a precursor is usually taken, but heating at a high temperature is necessary to sufficiently imidize the polyamic acid. Moreover, in order to provide the toughness as a film, it is necessary to express sufficient packing between molecular chains, and for that purpose, it is necessary to heat at a high temperature. However, when heated at a high temperature, a fragile layer is formed on the surface of the film, so that there is a problem that a film having good adhesion cannot be obtained.

このような問題を解決するため、ポリイミドフィルム表面に各種処理を施す方法が提案されており、例えば、ポリイミド表面にプラズマ処理やコロナ処理を施す方法(例えば、特許文献1参照)が知られている。しかるに、これらの方法は、一時期的にポリイミドフィルム表面の接着性を向上させる方法としては有用であるが、処理後時間の経過と共に効果が徐々に弱まるため、長期的には接着性が元の状態に戻るという欠点を有していた。   In order to solve such problems, methods for performing various treatments on the polyimide film surface have been proposed. For example, a method for performing plasma treatment or corona treatment on the polyimide surface (for example, see Patent Document 1) is known. . However, these methods are useful as a method for improving the adhesion of the polyimide film surface temporarily, but the effect gradually weakens with the lapse of time after treatment, so that the adhesiveness is the original state in the long term. Had the disadvantage of returning to

また、加熱温度および加熱時間を制御することによりポリイミドフィルムの接着性を向上させる方法(例えば、特許文献1参照)も知られているが、この方法では、熱の伝わり具合によって脆弱層の除去が不均一となり、局所的に接着性が良い部分と悪い部分とが発生してしまうという問題点を有していた。
特開昭63−61030号公報 特開平11−930号公報
Moreover, although the method (for example, refer patent document 1) which improves the adhesiveness of a polyimide film by controlling a heating temperature and a heating time is also known, in this method, removal of a weak layer is carried out by the condition of heat transfer. There is a problem in that unevenness is caused and a portion having good adhesion and a portion having poor adhesion are locally generated.
JP-A 63-61030 Japanese Patent Laid-Open No. 11-930

したがって、本発明の目的は、ポリイミドフイルムの表面に脆弱層が生じるという問題を解決し、表面の接着性が良好なポリイミドフィルムを製造する方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to solve the problem that a fragile layer is formed on the surface of a polyimide film and to provide a method for producing a polyimide film having good surface adhesion.

上記目的を達成するために本発明によれば、ポリイミド前駆体であるポリアミック酸またはポリイミドを溶剤中に溶解した溶液を、エンドレスベルトまたはドラム上に連続的に塗布し、自己支持性がでるまで乾燥した後、得られた自己支持性のフィルムを加熱炉中で搬送してイミド化することによりポリイミドフィルムを製造する方法において、前記加熱炉を不活性ガスの雰囲気下とすることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法が提供される。   In order to achieve the above object, according to the present invention, a solution obtained by dissolving a polyimide precursor polyamic acid or polyimide in a solvent is continuously applied onto an endless belt or drum, and dried until self-supporting properties are obtained. Then, in the method for producing a polyimide film by transporting and imidizing the obtained self-supporting film in a heating furnace, the heating furnace is placed in an inert gas atmosphere. A method of manufacturing a film is provided.

なお、本発明のポリイミドフィルムの製造方法においては、
前記不活性ガスが、窒素、ヘリウムおよびアルゴンから選ばれた少なくとも1種類であること、
前記自己支持性のフィルムの両端を固定し、フィルム幅を変更しながら加熱炉中で搬送すること、および
前記エンドレスベルトまたはドラムが加熱されていること
が、いずれも好ましい条件として挙げられ、これらの条件を適用することにより、さらに優れた効果の取得を期待することができる。
In the method for producing the polyimide film of the present invention,
The inert gas is at least one selected from nitrogen, helium and argon;
It is preferable that both ends of the self-supporting film are fixed and conveyed in a heating furnace while changing the film width, and that the endless belt or the drum is heated. By applying the conditions, it is possible to expect further superior effects.

本発明の特徴は、不活性ガス雰囲気下の加熱炉中でイミド化反応させることである。不活性ガス雰囲気下でイミド化させることにより、イミド化以外の反応が起こる可能性がなくなり、ポリイミドフィルム表面に脆弱層が生じるのを防ぐことができるため、結果としてポリイミドフィルム表面の接着性が向上する。   A feature of the present invention is that the imidization reaction is performed in a heating furnace under an inert gas atmosphere. By imidizing in an inert gas atmosphere, there is no possibility of reactions other than imidization, and it is possible to prevent the formation of a fragile layer on the polyimide film surface, resulting in improved polyimide film surface adhesion. To do.

以下、本発明について具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described.

本発明において、ポリアミック酸またはポリイミドについては、フィルム形成できるものであれば特に限定されないが、好ましくは以下に示す酸ニ無水物とジアミンとから合成されるポリアミック酸およびポリイミドが挙げられる。
(1)酸二無水物
ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,5,6−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物など。
(2)ジアミン
4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、ベンチジン、4,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,3’−ジアミノジフェニルサルファイド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、2,6−ジアミノピリジン、ビス−(4−アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3’−ジクロロベンチジン、ビス−(4−アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、ビス−(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,4’−ジメチル−3’,4−ジアミノビフェニル3,3’−ジメトキシベンチジン、2,4−ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス(2−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス−(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、1,3−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノ−1,1’−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノメチル1,1’−ジアダマンタン、ビス(p−アミノシクロヘキシル)メタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4’−ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,2−ビス(3−アミノプロポキシ)エタン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、3−メトキシヘキサエチレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、5−メチルノナメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,12−ジアミノオクタデカン、2,5−ジアミノ−1,3,4−オキサジアゾール、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N−(3−アミノフェニル)−4−アミノベンズアミド、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエートなど。
In the present invention, the polyamic acid or polyimide is not particularly limited as long as it can form a film, but preferably includes polyamic acid and polyimide synthesized from acid dianhydride and diamine as shown below.
(1) acid dianhydride pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine -2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1, 4,5,8-decahydronaphthalene tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,5,6-hexahydronaphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloro-1,4 5,8-Naphthalenetetracarboxylic acid Dianhydride, 2,7-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid Anhydride, 1,8,9,10-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxy) Phenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ) Methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenone tetra Carboxylic acid dianhydride Such as.
(2) Diamine 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,4′- Diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3, 4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 2,6-diaminopyridine, Screw (4 -Aminophenyl) diethylsilane, 3,3'-dichlorobenzidine, bis- (4-aminophenyl) ethylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) phenylphosphinoxide, bis- (4-amino) Phenyl) -N-phenylamine, bis- (4-aminophenyl) -N-methylamine, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,4′-dimethyl -3 ′, 4-diaminobiphenyl 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,4-bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether P-bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis- (1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, m-xylylenediamine P-xylylenediamine, 1,3-diaminoadamantane, 3,3′-diamino-1,1′-diaminoadamantane, 3,3′-diaminomethyl1,1′-diadamantane, bis (p-aminocyclohexyl) ) Methane, hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylenediamine, 3-methylheptamethylenediamine, 4,4'-dimethylheptamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 1,2 -Bis (3-aminopropoxy) ethane, 2,2-dimethylpropylenediamine, 3-methoxyhexaethylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, 2,5-dimethylheptamethylenediamine, 5-methylnonamethylenediamine, 1 , 4-Diaminocyclohex 1,12-diaminooctadecane, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, N- (3-aminophenyl) -4 -Aminobenzamide, 4-aminophenyl-3-aminobenzoate and the like.

これらのポリアミック酸およびポリイミドを合成する際に用いる溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−メチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられるが、これらに限定されない。また、ポリイミドを合成する際には、第三級アミン類に代表される各種触媒、有機カルボン酸無水物に代表される各種脱水剤などを適宜使用してもよい。   Examples of the solvent used when synthesizing these polyamic acid and polyimide include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylformamide, and dimethyl sulfoxide. However, it is not limited to these. Moreover, when synthesizing a polyimide, various catalysts represented by tertiary amines, various dehydrating agents represented by organic carboxylic acid anhydrides, and the like may be used as appropriate.

ポリイミド前駆体であるポリアミック酸またはポリイミドを溶剤中に溶解した溶液をエンドレスベルトまたはドラム上に連続的に塗布して乾燥する場合には、エンドレスベルトまたはドラム上で自然に乾燥してもよいが、エンドレスベルトまたはドラムをある程度加熱しておき、この熱によりフィルムに自己支持性がでるまで乾燥することが好ましい。エンドレスベルトまたはドラムの加熱温度としては30〜200℃が好ましく、より好ましくは50〜150℃である。加熱温度が低すぎるとフィルムに自己支持性が出るまでに長時間が必要となり、逆に加熱温度が高すぎるとこの段階でフィルムに歪みや異方性が生じてしまうという好ましくない傾向を生じることがある。   When a polyimide precursor polyamic acid or a polyimide solution dissolved in a solvent is continuously applied on an endless belt or drum and dried, it may be naturally dried on the endless belt or drum. It is preferable that the endless belt or drum is heated to some extent and dried until the film is self-supporting by this heat. The heating temperature of the endless belt or drum is preferably 30 to 200 ° C, more preferably 50 to 150 ° C. If the heating temperature is too low, it takes a long time for the film to become self-supporting. Conversely, if the heating temperature is too high, the film tends to be undesirably strained or anisotropic at this stage. There is.

このようにして得られた自己支持性のフィルムは、次いで加熱炉中で搬送してイミド化反応されるが、この場合には加熱炉中を不活性ガス雰囲気下にすることが重要な要件である。   The self-supporting film thus obtained is then conveyed in a heating furnace to undergo an imidization reaction. In this case, it is an important requirement that the heating furnace be placed in an inert gas atmosphere. is there.

本発明で用いる不活性ガスとしては、イミド化反応以外の副反応を発生させないガスであれば特に限定されないが、好ましくはガス自体が不活性である窒素ガス、ヘリウムガスおよびアルゴンガスから選ばれた少なくとも1種類である。これらのガスは単独で用いてもよく、複数組み合わせて用いてもよい。また、必要に応じて少量の活性ガスを混合してもよい。   The inert gas used in the present invention is not particularly limited as long as it does not cause a side reaction other than the imidization reaction, but is preferably selected from nitrogen gas, helium gas and argon gas in which the gas itself is inert. There is at least one type. These gases may be used alone or in combination. Moreover, you may mix a small amount of active gas as needed.

本発明において、イミド化反応を行うための加熱炉の温度としては、50〜650℃の範囲が適当である。好ましくは、複数の加熱炉を用い、適宜温度を変化させるのがよい。例えば、加熱炉前半は比較的低温(50〜250℃程度)に設定し、加熱炉後半は比較的高温(250〜650℃程度)に設定することが好ましい。また、加熱炉の最後に低温の冷却ゾーンを設けるのもよい。   In the present invention, the temperature of the heating furnace for carrying out the imidization reaction is suitably in the range of 50 to 650 ° C. Preferably, a plurality of heating furnaces are used and the temperature is appropriately changed. For example, it is preferable to set the first half of the heating furnace to a relatively low temperature (about 50 to 250 ° C.) and the second half of the heating furnace to a relatively high temperature (about 250 to 650 ° C.). It is also possible to provide a low-temperature cooling zone at the end of the heating furnace.

加熱炉中を搬送する際には、フィルムの幅は一定でもよいが、好ましくはフィルムの両端を固定し、フィルム幅を変更しながら加熱炉中を搬送するのがよい。フィルム幅変更の割合に関しては、ポリイミドの種類によって収縮や伸びの割合が異なるので一概には言えないが、好ましくは0.10〜10.0倍であり、より好ましくは0.20〜5.0倍であり、最も好ましくは0.50〜2.0倍である。このようなフィルム幅変更により、フィルムの幅方向の延伸倍率が0.25〜4.0、好ましくは0.5〜2.0になるように制御することで、寸法安定性にも優れたフィルムを得ることができる。フィルム幅の変更に伴い、フィルムの搬送による張力を調整し、フィルムを縦方向に0.5〜2.0倍程度延伸倍率にすることも好ましい。   When transporting through the heating furnace, the width of the film may be constant, but preferably both ends of the film are fixed and transported through the heating furnace while changing the film width. Regarding the rate of film width change, the rate of shrinkage and elongation differs depending on the type of polyimide, so it cannot be generally stated, but is preferably 0.10 to 10.0 times, more preferably 0.20 to 5.0. Times, most preferably 0.50 to 2.0 times. A film excellent in dimensional stability by controlling the stretching ratio in the width direction of the film to be 0.25 to 4.0, preferably 0.5 to 2.0 by changing the film width. Can be obtained. As the film width is changed, it is also preferable to adjust the tension due to the film conveyance so that the film has a draw ratio of about 0.5 to 2.0 times in the longitudinal direction.

次に、フィルムの両端を固定する方法としては、ピンに突き刺す方法やチャックなどで加える方法などが挙げられるが、これらに限定されない。両端固定の際には、あらかじめフィルムをエンドレスベルトやドラムから剥離しておくのが好ましいが、場合によってはエンドレスベルトやドラムの上にある状態で両端を固定してもよい。   Next, examples of the method for fixing both ends of the film include a method of piercing a pin and a method of adding with a chuck, but are not limited thereto. When fixing both ends, it is preferable to peel the film from the endless belt or drum in advance, but in some cases, both ends may be fixed in a state of being on the endless belt or drum.

本発明により製造されるポリイミドフィルムの厚みとしては、0.1〜250μm、より好ましくは1〜180μmである。フイルムは帯状の連続したものでもよく、適当な長さで裁断されたものでもよい。   As a thickness of the polyimide film manufactured by this invention, it is 0.1-250 micrometers, More preferably, it is 1-180 micrometers. The film may be a continuous strip or may be cut to an appropriate length.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに説明するが、実施例中のポリイミドフィルムの接着性評価は次の方法により行った。   EXAMPLES The present invention will be further described with reference to the following examples. The adhesion evaluation of polyimide films in the examples was performed by the following method.

[接着性評価]
デュポン(株)製“パイララックス”を用いてポリイミドフィルムと銅箔(三井金属鉱業(株)製電解銅箔3EC、厚さ35μm厚)とをラミネートし、185℃×1時間で接着剤の硬化反応を行い、銅張り板を得た。得られた銅張り板から銅パターン幅が3mmとなるようにサンプルを切り出し、引張試験機(島津製作所(株)製S−100−C)により接着性評価を行った。接着力評価は、サンプル作製直後(初期)、および150℃×14日間保存後について実施した。
[Adhesion evaluation]
Laminated polyimide film and copper foil (electrolytic copper foil 3EC made by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., thickness 35 μm) using “Pyralax” manufactured by DuPont Co., Ltd. and cured the adhesive at 185 ° C. × 1 hour Reaction was performed to obtain a copper-clad plate. A sample was cut out from the obtained copper-clad plate so that the copper pattern width was 3 mm, and adhesion evaluation was performed with a tensile tester (S-100-C, manufactured by Shimadzu Corporation). Adhesive strength evaluation was performed immediately after sample preparation (initial stage) and after storage at 150 ° C. for 14 days.

[実施例1]
ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとを用い、ピロメリット酸二無水物218.1g(1mol)と4,4’−ジアミノジフェニルエーテル200.2g(1mol)とをN,N−ジメチルアセトアミド溶媒中に溶解し、ポリアミック酸状態に合成した。このポリアミック酸溶液をエンドレスベルト上に乾燥膜厚で25μmになるように塗布し、エンドレスベルト上で100℃で5分加熱し、自己支持性を有するフィルムを得た。
[Example 1]
Using pyromellitic dianhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether, 218.1 g (1 mol) of pyromellitic dianhydride and 200.2 g (1 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether were added to N, N— It was dissolved in a dimethylacetamide solvent and synthesized into a polyamic acid state. This polyamic acid solution was applied on the endless belt so as to have a dry film thickness of 25 μm, and heated on the endless belt at 100 ° C. for 5 minutes to obtain a self-supporting film.

次に、この自己支持性を有するフィルムをエンドレスベルトから剥離し、ピンによりフィルムの両端を固定した。固定後、窒素ガス雰囲気下の加熱炉内に搬送し、180℃×3分、290℃×3分、400℃×3分加熱処理した。   Next, this self-supporting film was peeled from the endless belt, and both ends of the film were fixed with pins. After fixing, it was transferred into a heating furnace under a nitrogen gas atmosphere, and heat-treated at 180 ° C. × 3 minutes, 290 ° C. × 3 minutes, and 400 ° C. × 3 minutes.

このようにして得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、良好であった。   The adhesion of the polyimide film thus obtained was examined. The results were as shown in Table 1 and were good.

[実施例2]
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミンとを用い、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物294.2g(1mol)とパラフェニレンジアミン108.1g(1mol)とからなるポリイミドをN,N−ジメチルホルムアミド溶媒中に溶解し、ポリアミック酸状態に合成した。このポリアミック酸溶液に触媒として無水酢酸とβ−ピコリンとをそれぞれ0.5重量%ずつ加えた後に、ドラム上に乾燥膜厚で12.5μmになるように塗布し、キャストドラム上で120℃で3分加熱し、自己支持性を有するフィルムを得た。
[Example 2]
Using 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and paraphenylenediamine, 294.2 g (1 mol) of 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and para A polyimide composed of 108.1 g (1 mol) of phenylenediamine was dissolved in a N, N-dimethylformamide solvent and synthesized into a polyamic acid state. After adding 0.5 wt% each of acetic anhydride and β-picoline as a catalyst to this polyamic acid solution, it was applied on the drum so as to have a dry film thickness of 12.5 μm, and on a cast drum at 120 ° C. The film was heated for 3 minutes to obtain a self-supporting film.

次に、この自己支持性を有するフィルムをキャストドラムから剥離し、ピンによりフィルムの両端を固定した。固定後、アルゴンガス雰囲気下の加熱炉内に搬送し、200℃×3分、350℃×6分、500℃×1分加熱処理した。この際、最初の5分はフィルム幅が1.2倍になるように順次大きくしていき、後半の5分はフィルム幅が0.9倍になるように順次小さくしていった。   Next, the film having the self-supporting property was peeled from the cast drum, and both ends of the film were fixed with pins. After fixing, it was transferred into a heating furnace under an argon gas atmosphere, and heat-treated at 200 ° C. × 3 minutes, 350 ° C. × 6 minutes, and 500 ° C. × 1 minute. At this time, the first 5 minutes were gradually increased so that the film width was 1.2 times, and the latter 5 minutes were gradually decreased so that the film width was 0.9 times.

このようにして得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、良好であった。   The adhesion of the polyimide film thus obtained was examined. The results were as shown in Table 1 and were good.

[実施例3]
ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレンジアミンを用い、ピロメリット酸二無水物109.1g(0.5mol)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物147.1g(0.5mol)、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル100.1g(0.5mol)、パラフェニレンジアミン54.1g(0.5mol)とからなるポリイミドをN,N−ジメチルホルムアミド溶媒中に溶解し、ポリアミック酸状態に合成した。このポリアミック酸溶液に触媒として無水酢酸とβ−ピコリンとをそれぞれ0.3重量%ずつ加えた後にキャストドラム上に乾燥膜厚で50μmになるように塗布し、ドラム上で70℃で2分加熱し、自己支持性を有するフィルムを得た。
[Example 3]
Using pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4′-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine, 109.1 g of pyromellitic dianhydride (0 .5 mol), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride 147.1 g (0.5 mol), 4,4′-diaminodiphenyl ether 100.1 g (0.5 mol), paraphenylenediamine 54 Polyimide consisting of 0.1 g (0.5 mol) was dissolved in N, N-dimethylformamide solvent and synthesized into a polyamic acid state. After adding 0.3% by weight of acetic anhydride and β-picoline as a catalyst to the polyamic acid solution, the solution was applied on a cast drum to a dry film thickness of 50 μm and heated on the drum at 70 ° C. for 2 minutes. Thus, a film having self-supporting properties was obtained.

次に、この自己支持性を有するフィルムをキャストドラムから剥離し、ピンによりフィルムの両端を固定した。固定後、ヘリウムガス雰囲気下の加熱炉内に搬送し、100℃×3分、200℃×3分、300℃×2分、400℃×3分、550℃×1分加熱処理した。この際、最初の4分はフィルム幅が1.6倍になるように順次大きくしていき、中間の4分はフィルム幅が0.7倍になるように順次小さくしていき、最後の4分はフィルム幅が1.1倍になるように順次大きくしていった。   Next, the film having the self-supporting property was peeled from the cast drum, and both ends of the film were fixed with pins. After fixing, it was transferred into a heating furnace in a helium gas atmosphere, and heat-treated at 100 ° C. × 3 minutes, 200 ° C. × 3 minutes, 300 ° C. × 2 minutes, 400 ° C. × 3 minutes, 550 ° C. × 1 minute. At this time, the first 4 minutes are sequentially increased so that the film width is 1.6 times, and the middle 4 minutes are sequentially decreased so that the film width is 0.7 times, and the last 4 minutes. The minutes were gradually increased so that the film width became 1.1 times.

このようにして得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、良好であった。   The adhesion of the polyimide film thus obtained was examined. The results were as shown in Table 1 and were good.

[実施例4]
ピロメリット酸二無水物、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレンジアミンを用い、ピロメリット酸二無水物218.1g(1mol)、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル100.1g(0.5mol)、パラフェニレンジアミン54.1g(0.5mol)とからなるポリイミドをN,N−ジメチルホルムアミド溶媒中に溶解し、ポリアミック酸状態に合成した。このポリアミック酸溶液に触媒として無水酢酸とβ−ピコリンとをそれぞれ0.3重量%ずつ加えた後にキャストドラム上に乾燥膜厚で75μmになるように塗布し、ドラム上で70℃で1分加熱し、自己支持性を有するフィルムを得た。
[Example 4]
Pyromellitic dianhydride, 4,4′-diaminodiphenyl ether, paraphenylenediamine, pyromellitic dianhydride 218.1 g (1 mol), 4,4′-diaminodiphenyl ether 100.1 g (0.5 mol), A polyimide composed of 54.1 g (0.5 mol) of paraphenylenediamine was dissolved in a N, N-dimethylformamide solvent and synthesized into a polyamic acid state. After adding 0.3% by weight of acetic anhydride and β-picoline as a catalyst to the polyamic acid solution, the solution was applied on a cast drum to a dry film thickness of 75 μm, and heated on the drum at 70 ° C. for 1 minute. Thus, a film having self-supporting properties was obtained.

次に、この自己支持性を有するフィルムをキャストドラムから剥離し、ピンによりフィルムの両端を固定した。固定後、窒素ガス/アルゴンガス=50/50の混合ガス雰囲気下の加熱炉内に搬送し、100℃×2分、200℃×2分、300℃×2分、400℃×3分、500℃×2分、150℃×1分加熱処理した。この際、最初の3分はフィルム幅が1.2倍になるように順次大きくしていき、次の3分はフィルム幅が0.8倍になるように順次小さくしていき、その次の3分はフィルム幅が1.1倍になるように順次大きくしていき、最後の3分はフィルム幅が0.9倍になるように順次小さくしていった。   Next, the film having the self-supporting property was peeled from the cast drum, and both ends of the film were fixed with pins. After fixation, it is transferred into a heating furnace under a mixed gas atmosphere of nitrogen gas / argon gas = 50/50, 100 ° C. × 2 minutes, 200 ° C. × 2 minutes, 300 ° C. × 2 minutes, 400 ° C. × 3 minutes, 500 Heat treatment was carried out at 150 ° C. for 1 minute. At this time, the first 3 minutes is gradually increased so that the film width is 1.2 times, and the next 3 minutes is gradually decreased so that the film width is 0.8 times. For 3 minutes, the film width was gradually increased to 1.1 times, and for the last 3 minutes, the film width was gradually decreased to 0.9 times.

このようにして得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、良好であった。   The adhesion of the polyimide film thus obtained was examined. The results were as shown in Table 1 and were good.

[比較例1]
実施例1において、加熱炉を通常の空気雰囲気下にする以外は、全て実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、接着性が悪かった。
[Comparative Example 1]
In Example 1, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the heating furnace was placed in a normal air atmosphere. The adhesiveness of the obtained polyimide film was examined. The results are as shown in Table 1, and the adhesion was poor.

[比較例2]
実施例2において、加熱炉を通常の空気雰囲気下にする以外は、全て実施例2と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、接着性が悪かった。
[Comparative Example 2]
In Example 2, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 2 except that the heating furnace was placed in a normal air atmosphere. The adhesiveness of the obtained polyimide film was examined. The results are as shown in Table 1, and the adhesion was poor.

[比較例3]
実施例3において、加熱炉を通常の空気雰囲気下にする以外は、全て実施例3と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、接着性が悪かった。
[Comparative Example 3]
In Example 3, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 3 except that the heating furnace was placed in a normal air atmosphere. The adhesiveness of the obtained polyimide film was examined. The results are as shown in Table 1, and the adhesion was poor.

[比較例4]
実施例4において、加熱炉を通常の空気雰囲気下にする以外は、全て実施例4と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの接着性を調べた。結果は表1に示す通りであり、接着性が悪かった。
[Comparative Example 4]
In Example 4, a polyimide film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the heating furnace was placed in a normal air atmosphere. The adhesiveness of the obtained polyimide film was examined. The results are as shown in Table 1, and the adhesion was poor.

Figure 2005119158
Figure 2005119158

本発明のポリイミドフイルムの製造方法によれば、不活性ガス雰囲気下でイミド化させているので、接着性の良好なポリイミドフィルムを得ることができる。このようにして得られるポリイミドフィルムは、フレキシブル回路基板やカバーレイなどの用途に適用可能である。   According to the method for producing a polyimide film of the present invention, since imidization is performed in an inert gas atmosphere, a polyimide film having good adhesiveness can be obtained. The polyimide film thus obtained can be applied to uses such as flexible circuit boards and coverlays.

Claims (4)

ポリイミド前駆体であるポリアミック酸またはポリイミドを溶剤中に溶解した溶液を、エンドレスベルトまたはドラム上に連続的に塗布し、自己支持性がでるまで乾燥した後、得られた自己支持性のフィルムを加熱炉中で搬送してイミド化することによりポリイミドフィルムを製造する方法において、前記加熱炉を不活性ガスの雰囲気下とすることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。 A solution of polyimide precursor polyamic acid or polyimide dissolved in a solvent is continuously applied onto an endless belt or drum, dried until self-supporting properties are obtained, and then the resulting self-supporting film is heated. In the method of manufacturing a polyimide film by conveying in a furnace and imidizing, the said heating furnace is made into the atmosphere of an inert gas, The manufacturing method of the polyimide film characterized by the above-mentioned. 前記不活性ガスが、窒素、ヘリウムおよびアルゴンから選ばれた少なくとも1種類であることを特徴とする請求項1記載のポリイミドフィルムの製造方法。 2. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the inert gas is at least one selected from nitrogen, helium and argon. 前記自己支持性のフィルムの両端を固定し、フィルム幅を変更しながら加熱炉中で搬送することを特徴とする請求項1または2記載のポリイミドフィルムの製造方法。 The method for producing a polyimide film according to claim 1 or 2, wherein both ends of the self-supporting film are fixed and conveyed in a heating furnace while changing the film width. 前記エンドレスベルトまたはドラムが加熱されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のポリイミドフィルムの製造方法。 The said endless belt or drum is heated, The manufacturing method of the polyimide film of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
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