JP2005116101A - Magnetic head - Google Patents

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Kiyoshi Sato
清 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head which reduces both size of an upper core layer, and value of resistance and heat release by enlarging a cross section of a toroidal coil. <P>SOLUTION: A second coil segment 41 formed on top of the upper core layer 39 via an insulation layer 40 is also formed on top of a back gap layer 34. Thus, the value of resistance and the heat release and reduced by enlarging the size of width in height direction for the second coil segment 41 and enlarging the cross section, and the size of the upper core layer 39 and the lower core layer 29 is made equal to, or smaller than, the conventional one at the same time. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば浮上式磁気ヘッドなどに使用される記録用の磁気ヘッドに係り、特に、トロイダルコイル層の形状を適正化することで、放熱性に優れた磁気ヘッドに関する。   The present invention relates to a magnetic head for recording used in, for example, a floating magnetic head, and more particularly to a magnetic head excellent in heat dissipation by optimizing the shape of a toroidal coil layer.

コア層とコイル層とを有してなる記録用の薄膜磁気ヘッド(インダクイティブヘッド)は、近年の高記録密度化に伴って小型化が進み、非常に微小な空間内にコイル層を巻回形成しなければならなくなった。そのためコア層を軸として、そのコア層の周囲をトロイダル状に巻回形成する構造が、今後のインダクティブヘッドでは主流になると考えられている。   Thin-film magnetic heads for recording (inductive heads) having a core layer and a coil layer have been downsized with the recent increase in recording density, and the coil layer is wound in a very small space. It has to be formed. For this reason, a structure in which the core layer is wound around in a toroidal shape around the core layer is considered to be the mainstream in future inductive heads.

例えば、以下に示す公知文献には、インダクティブヘッドを構成するコア層の周りをトロイダル状に巻回されたコイル層の構成が開示されている。このようなトロイダル形状のコイル層を用いることで、前記コア層の周囲の三次元的な空間を有効活用でき、これによってインダクティブヘッドの小型化を実現できるとともに、磁化効率も良好になると期待された。   For example, the following publicly known documents disclose the configuration of a coil layer wound around a core layer constituting an inductive head in a toroidal shape. By using such a toroidal coil layer, it was expected that the three-dimensional space around the core layer could be effectively utilized, thereby enabling the downsizing of the inductive head and improving the magnetization efficiency. .

しかしながら、トロイダル形状のコイル層を用いた小型化のインダクティブヘッドでは、特に次のような課題が顕著化した。すなわち前記コイル層を流れる記録電流によって発生するジュール熱やコアに発生する渦電流による熱が前記インダクティブヘッドから効率良く放出され難く、その結果、前記インダクティブヘッド内部の温度が非常に高くなるという現象が生じたのである。   However, in the downsized inductive head using the toroidal-shaped coil layer, the following problems are particularly noticeable. In other words, Joule heat generated by the recording current flowing through the coil layer and heat due to eddy current generated in the core are not easily released from the inductive head, and as a result, the temperature inside the inductive head becomes very high. It has occurred.

前記インダクティブヘッド内部での温度が高くなると、金属材料で形成されているコイル層やコア層と、その周囲を覆う絶縁材料との間での熱膨張係数の違いによって、前記インダクティブヘッドが形成されている部分が、他の部分に比べて記録媒体との対向面から突出しやくなる。   When the temperature inside the inductive head increases, the inductive head is formed due to the difference in thermal expansion coefficient between the coil layer or core layer formed of a metal material and the insulating material covering the periphery thereof. The portion that is present is more likely to protrude from the surface facing the recording medium as compared to other portions.

特に、高記録密度化を可能とした薄膜磁気ヘッドでは、トロイダルコイルに与えられる記録電流の周波数が高いため、インダクティブヘッド内部の温度が急激に高くなり、記録媒体との対向面からの突出量が大きくなってしまう。そして、このように前記インダクティブヘッドが記録媒体との対向面から突出すると、前記インダクティブヘッドが記録媒体に衝突する頻度が高まり、記録媒体を傷つけたり、インダクティブヘッドが損傷しやくなる。   In particular, in a thin film magnetic head capable of increasing the recording density, the frequency of the recording current applied to the toroidal coil is high, so the temperature inside the inductive head increases rapidly, and the amount of protrusion from the surface facing the recording medium increases. It gets bigger. When the inductive head protrudes from the surface facing the recording medium in this way, the frequency with which the inductive head collides with the recording medium increases, and the recording medium is damaged or the inductive head is easily damaged.

図10及び図11に、特許文献1に示されるような従来のトロイダルコイル型の磁気ヘッドを示す。図10は磁気ヘッドの断面図であり、図11は図10を図示上方向からみた平面図である。   10 and 11 show a conventional toroidal coil type magnetic head as disclosed in Patent Document 1. FIG. 10 is a cross-sectional view of the magnetic head, and FIG. 11 is a plan view of FIG. 10 as viewed from above.

図10に示されるように、磁性材料からなる下部コア層1の上に、絶縁層2を介して、トロイダルコイルを構成する複数の第1コイル片3が形成されており、第1コイル片3は、絶縁層4に覆われている。絶縁層4の上には、磁性材料からなる上部コア層5が形成されている。下部コア層1の記録媒体との対向面F側には、磁性材料からなる上部磁極層6、非磁性材料からなるギャップ層7、磁性材料からなる下部磁極層8からなる磁極部9が形成されており、この磁極部9の図示X方向(トラック幅方向)の幅寸法で磁気ヘッドのトラック幅寸法が規定される。   As shown in FIG. 10, a plurality of first coil pieces 3 constituting a toroidal coil are formed on the lower core layer 1 made of a magnetic material via an insulating layer 2. Is covered with an insulating layer 4. An upper core layer 5 made of a magnetic material is formed on the insulating layer 4. On the side of the lower core layer 1 facing the recording medium F, an upper magnetic pole layer 6 made of a magnetic material, a gap layer 7 made of a nonmagnetic material, and a magnetic pole portion 9 made of a lower magnetic pole layer 8 made of a magnetic material are formed. The track width dimension of the magnetic head is defined by the width dimension of the magnetic pole portion 9 in the X direction (track width direction).

上部磁極層8は上部コア層5に接続されている。また、下部コア層1と上部コア層5は図示Y方向後方で磁性材料からなるバックギャップ層10を介して接続されている。   The upper magnetic pole layer 8 is connected to the upper core layer 5. The lower core layer 1 and the upper core layer 5 are connected via a back gap layer 10 made of a magnetic material at the rear in the Y direction in the figure.

上部コア層5の上には、絶縁層11を介してトロイダルコイルを構成する複数の第2コイル片12が形成されている。   A plurality of second coil pieces 12 constituting a toroidal coil are formed on the upper core layer 5 via an insulating layer 11.

第1コイル片3のトラック幅方向における端部と、第2コイル片12のトラック幅方向における端部とが電気的に接続されて、第1コイル片3と第2コイル片12を有する、上部コア層5を軸にして巻回形成されたトロイダルコイルが形成されている。
特開2001−76313号公報 特開平5−101337号公報
The upper part which has the 1st coil piece 3 and the 2nd coil piece 12 by electrically connecting the edge part in the track width direction of the 1st coil piece 3 and the edge part in the track width direction of the 2nd coil piece 12 A toroidal coil wound around the core layer 5 is formed.
JP 2001-76313 A JP-A-5-101337

ここで、図10及び図11に示されるように、従来のトロイダルコイル型の磁気ヘッドは、第2コイル片12がバックギャップ層10の前端面10aよりも、記録媒体との対向面F側に形成されており、バックギャップ層10の上に形成されることがなかった。   Here, as shown in FIGS. 10 and 11, in the conventional toroidal coil type magnetic head, the second coil piece 12 is closer to the surface F facing the recording medium than the front end face 10 a of the back gap layer 10. It was formed and was not formed on the back gap layer 10.

従って、放熱性に優れたトロイダルコイルを形成するために、第2コイル片12の形状を適性化することが制限されていた。   Therefore, in order to form the toroidal coil excellent in heat dissipation, making the shape of the 2nd coil piece 12 suitable was restrict | limited.

また、図12に示されるような、第2コイル片12に記録電流を供給するためのリード層13がバックギャップ層10の上に形成されている磁気ヘッドが、特許文献2に記載されている。   A magnetic head in which a lead layer 13 for supplying a recording current to the second coil piece 12 is formed on the back gap layer 10 as shown in FIG. .

ただし、このリード層13は、バックギャップ層10の上で、第2コイル片12の延長方向(図示X方向)に平行方向に延びているものではない。すなわち、リード層13から発生する磁束は、第2コイル片から発生する磁束と同一方向に周回するものではなく、上部コア層に磁束を与える第2コイル片として機能するものではなかった。   However, the lead layer 13 does not extend on the back gap layer 10 in a direction parallel to the extending direction (X direction in the drawing) of the second coil piece 12. That is, the magnetic flux generated from the lead layer 13 does not circulate in the same direction as the magnetic flux generated from the second coil piece, and does not function as the second coil piece that applies the magnetic flux to the upper core layer.

本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、トロイダルコイル層の形状を適正化し、放熱性に優れた磁気ヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic head that optimizes the shape of the toroidal coil layer and is excellent in heat dissipation.

本発明の磁気ヘッドは、記録媒体との対向面側から第1の方向に延びて形成された下部コア層と、前記下部コア層上の所定距離離れた位置に、磁性材料からなるバックギャップ層を介して、前記下部コア層とハイト側で直接的あるいは間接的に接続される磁性層を有し、
前記磁性層の下側に形成された複数の第1コイル片のトラック幅方向における端部と、前記磁性層の上側に形成された複数の第2コイル片のトラック幅方向における端部とが電気的に接続されて、前記第1コイル片と第2コイル片とを有する、前記磁性層を軸にして巻回形成されたトロイダルコイル層が形成され、
前記バックギャップ層の上に、他の第2コイル片と相似形状の第2コイル片が形成されていることを特徴とするものである。
A magnetic head according to the present invention includes a lower core layer formed extending in a first direction from a surface facing the recording medium, and a back gap layer made of a magnetic material at a predetermined distance from the lower core layer. A magnetic layer directly or indirectly connected to the lower core layer on the height side via,
The ends in the track width direction of the plurality of first coil pieces formed on the lower side of the magnetic layer and the ends in the track width direction of the plurality of second coil pieces formed on the upper side of the magnetic layer are electrically connected. Connected to each other, and a toroidal coil layer formed around the magnetic layer having the first coil piece and the second coil piece is formed,
A second coil piece similar in shape to the other second coil pieces is formed on the back gap layer.

本発明では、前記第2コイル片を、前記上部コア層の上で、前記バックギャップ層の前端面よりも記録媒体との対向面側の範囲内にだけ形成するのではなく、前記バックギャップ層の上にも形成している。   In the present invention, the second coil piece is not formed on the upper core layer only within the range of the surface facing the recording medium from the front end surface of the back gap layer. It is also formed on the top.

従って、上部コア層や下部コア層の大きさを従来と同様または従来より小さくしても、前記第2コイル片の断面積を大きく維持できるので前記第2コイル片の直流抵抗値を低減できる。   Therefore, even if the size of the upper core layer and the lower core layer is the same as or smaller than the conventional size, the cross-sectional area of the second coil piece can be maintained large, so that the DC resistance value of the second coil piece can be reduced.

この結果、本発明の磁気ヘッドは、前記コイル層を流れる記録電流によって発生するジュール熱を低減し、磁気ヘッド内部の温度上昇を抑制でき、記録周波数が高くなっても金属材料からなる磁気ヘッドの先端部分の記録媒体との対向面からの突出を抑えることができる。   As a result, the magnetic head of the present invention reduces Joule heat generated by the recording current flowing through the coil layer, can suppress the temperature rise inside the magnetic head, and even when the recording frequency is high, the magnetic head made of a metal material Protrusion of the front end portion from the surface facing the recording medium can be suppressed.

すなわち、磁気ヘッドが記録媒体に衝突する頻度を低減し、記録媒体及び磁気ヘッドの損傷を抑制できる。   That is, the frequency with which the magnetic head collides with the recording medium can be reduced, and damage to the recording medium and the magnetic head can be suppressed.

本発明では、前記複数の第2コイル片の全てが長方形状であって、互いに平行になるように配置されていること、或いは、前記複数の第2コイル片の全てがV字形状であって、各第2コイル片の各辺が互いに平行になるように配置されていることが好ましい。   In the present invention, all of the plurality of second coil pieces are rectangular and arranged so as to be parallel to each other, or all of the plurality of second coil pieces are V-shaped. The second coil pieces are preferably arranged so that the sides of the second coil pieces are parallel to each other.

前記第2コイル片は前記上部コア層を横切って形成されるため、前記上部コア層の側面によって形成される段差をまたぐことになる。前記第2コイル片が長方形状のような単純な形、または、V字形状のようなで面対称形状であると、前記第2コイル片を所定の形状と均一な膜厚を有するものとして形成することが容易になる。   Since the second coil piece is formed across the upper core layer, the second coil piece straddles the step formed by the side surface of the upper core layer. When the second coil piece has a simple shape such as a rectangular shape or a plane-symmetric shape such as a V shape, the second coil piece is formed to have a predetermined shape and a uniform film thickness. Easy to do.

また、本発明では、前記第2コイル片が、前記第1の方向に直交する第2の方向に延ばされて形成されていると、前記上部コア層および前記下部コア層に対する磁界誘導の効率が向上するので好ましい。   In the present invention, when the second coil piece is formed to extend in a second direction orthogonal to the first direction, the magnetic field induction efficiency for the upper core layer and the lower core layer is increased. Is preferable.

また、前記複数の第1のコイル片の上部コア層と重なる部分か、互いに平行になるように配置されていると、前記上部コア層および前記下部コア層に対する磁界誘導の効率が向上するので好ましい。   In addition, it is preferable that the plurality of first coil pieces overlap with the upper core layer or be arranged in parallel with each other because the efficiency of magnetic field induction with respect to the upper core layer and the lower core layer is improved. .

特に、前記第1コイル片の上部コア層と重なる部分が、前記第2の方向に平行方向に延ばされて形成されているとより好ましい。   In particular, it is more preferable that a portion overlapping the upper core layer of the first coil piece is formed so as to extend in a direction parallel to the second direction.

また、本発明においては、前記下部コア層の上に、下から下部磁極層、ギャップ層及び前記磁性層である上部磁極層の順に構成された積層構造を有し、前記積層構造の前記対向面でのトラック幅方向における幅寸法でトラック幅Twが決定されるものにすることができる。   Further, in the present invention, on the lower core layer, the lower magnetic pole layer, the gap layer, and the upper magnetic pole layer that is the magnetic layer are arranged in this order from the bottom, and the facing surface of the laminated structure The track width Tw can be determined by the width dimension in the track width direction.

本発明では、下部磁極層、ギャップ層及び上部磁極層を有する積層構造が、記録媒体との対向面側とハイト方向側で下部コア層と接続され、前記積層構造を前記第1コイル片の上に平面状に形成することができる。   In the present invention, a laminated structure having a lower magnetic pole layer, a gap layer, and an upper magnetic pole layer is connected to the lower core layer on the side facing the recording medium and in the height direction, and the laminated structure is placed on the first coil piece. It can be formed flat.

または、本発明は、前記下部コア層の上に、少なくとも下から下部磁極層、非磁性金属材料で形成されたギャップ層及び上部磁極層の順にメッキ形成され、記録媒体との対向面側の端面の、トラック幅方向における幅寸法でトラック幅Twが規定される磁極端層が設けられ、前記磁極端層の上に前記磁性層が積層されるものでもよい。   Alternatively, in the present invention, at least the lower magnetic pole layer, the gap layer formed of a nonmagnetic metal material, and the upper magnetic pole layer are sequentially formed on the lower core layer in order from the bottom, and the end surface on the side facing the recording medium is formed. A magnetic pole end layer whose track width Tw is defined by a width dimension in the track width direction may be provided, and the magnetic layer may be laminated on the magnetic pole end layer.

本発明では、前記磁極端層は前記下部コア層の記録媒体との対向面側の端部に形成され、前記磁性層が前記下部コア層のハイト側と前記磁極端層とを接続する上部コア層となる。前記第1コイル片と第2コイル片は、上部コア層である前記磁性層を軸にして巻回形成される。   In the present invention, the magnetic pole end layer is formed at an end of the lower core layer facing the recording medium, and the magnetic layer connects the height side of the lower core layer and the magnetic pole end layer. Become a layer. The first coil piece and the second coil piece are wound around the magnetic layer that is the upper core layer.

前記磁性層が上部コア層である本発明では、前記磁性層は、記録トラック幅の外側で磁気記録することを防ぐために、前記上部磁極層よりも飽和磁束密度が低いことが好ましい。   In the present invention in which the magnetic layer is an upper core layer, the magnetic layer preferably has a lower saturation magnetic flux density than the upper magnetic pole layer in order to prevent magnetic recording outside the recording track width.

なお、本発明では、前記トロイダルコイル層の発熱を低減するために、前記第2コイル片の電流が流れる方向と直交する第3の方向の長さ寸法が、前記第1コイル片の前記第3の方向の長さ寸法よりも大きいことが好ましい。
本発明では、前記第2コイル片を前記バックギャップ層の上にも形成できるので、前記第2コイル片の第3の方向の長さ寸法を大きくしても、上部コア層や下部コア層の大きさを従来と同様または従来より小さくすることができ、磁気ヘッドのインダクタンスを小さくすることができる。
In the present invention, in order to reduce the heat generation of the toroidal coil layer, the length dimension in the third direction orthogonal to the direction in which the current of the second coil piece flows is the third dimension of the first coil piece. It is preferable that it is larger than the length dimension of this direction.
In the present invention, since the second coil piece can be formed also on the back gap layer, even if the length dimension in the third direction of the second coil piece is increased, the upper core layer and the lower core layer The size can be the same as or smaller than the conventional one, and the inductance of the magnetic head can be reduced.

また、前記第2コイル片の膜厚が、前記第1コイル片の膜厚よりも大きいことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the film thickness of the said 2nd coil piece is larger than the film thickness of the said 1st coil piece.

本発明では、前記第2コイル片を前記バックギャップ層の上にも形成することにより、上部コア層や下部コア層の大きさを従来と同様または従来より小さくしても、前記第2コイル片の断面積を大きく維持できるので前記第2コイル片の直流抵抗値を低減できる。従って、前記コイル層を流れる記録電流によって発生するジュール熱を低減して、磁気ヘッド内部の温度上昇を抑制でき、記録周波数が高くなっても金属材料からなる磁気ヘッドの先端部分の記録媒体との対向面からの突出を抑えることができる。すなわち、磁気ヘッドが記録媒体に衝突する頻度を低減し、記録媒体及び磁気ヘッドの損傷を抑制できる。   In the present invention, by forming the second coil piece also on the back gap layer, the second coil piece can be formed even if the size of the upper core layer and the lower core layer is the same as or smaller than the conventional one. Since the cross-sectional area of the second coil piece can be maintained large, the DC resistance value of the second coil piece can be reduced. Therefore, the Joule heat generated by the recording current flowing through the coil layer can be reduced, the temperature rise inside the magnetic head can be suppressed, and the recording medium at the tip of the magnetic head made of a metal material can be controlled even when the recording frequency is increased. Protrusion from the facing surface can be suppressed. That is, the frequency with which the magnetic head collides with the recording medium can be reduced, and damage to the recording medium and the magnetic head can be suppressed.

図1は、本発明の磁気ヘッドがスライダに搭載された磁気ヘッド装置を示す全体斜視図、図2は、本発明における第1実施形態の磁気ヘッドの構造を示す部分縦面図、図3は図2に示す磁気ヘッドの部分平面図である。   FIG. 1 is an overall perspective view showing a magnetic head device in which the magnetic head of the present invention is mounted on a slider, FIG. 2 is a partial vertical view showing the structure of the magnetic head according to the first embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 3 is a partial plan view of the magnetic head shown in FIG. 2.

なお以下では図示X方向をトラック幅方向と呼び、図示Y方向をハイト方向と呼ぶ。ハイト方向は本発明の第1の方向に相当し、トラック幅方向は本発明の第2の方向に相当する。   In the following, the X direction shown in the figure is called the track width direction, and the Y direction shown in the figure is called the height direction. The height direction corresponds to the first direction of the present invention, and the track width direction corresponds to the second direction of the present invention.

また図示Z方向は記録媒体(磁気ディスク)の進行方向である。また磁気ヘッドの前端面(図2に示す最左面)を「記録媒体との対向面」と呼ぶ。さらに各層において「前端面(前端部)」とは図2における左側の面を指し「後端面(後端部)」とは図2における右側の面を指す。   The Z direction shown in the figure is the traveling direction of the recording medium (magnetic disk). Further, the front end surface (the leftmost surface shown in FIG. 2) of the magnetic head is referred to as “a surface facing the recording medium”. Further, in each layer, “front end surface (front end portion)” refers to the left surface in FIG. 2 and “rear end surface (rear end portion)” refers to the right surface in FIG.

また図面を用いて説明する磁気ヘッドは、記録用ヘッド(インダクティブヘッドとも言う)と再生用ヘッド(MRヘッドとも言う)とが複合された磁気ヘッドであるが、記録用ヘッドのみで構成された磁気ヘッドであってもよい。   The magnetic head described with reference to the drawings is a magnetic head in which a recording head (also referred to as an inductive head) and a reproducing head (also referred to as an MR head) are combined, but a magnetic head composed only of the recording head. It may be a head.

符号20はアルミナチタンカーバイト(Al23−TiC)などで形成されたスライダであり、その対向面20aが記録媒体に対向する。図1に示すようにスライダ20のトレーリング側の端部20b上に、磁気ヘッドHと端子部P1,P1及び端子部P2,P2が形成されている。磁気ヘッドHを構成するインダクティブヘッドのトロイダルコイル層42は、リード層を介して端子部P1,P1に接続されている。またMRヘッドの磁気抵抗効果素子が設けられている場合には、端子部P2,P2から磁気抵抗効果素子に検出電流が与えられ、且つ端子部P2,P2から再生磁気信号が得られる。 Reference numeral 20 denotes a slider formed of alumina titanium carbide (Al 2 O 3 —TiC) or the like, and its facing surface 20a faces the recording medium. As shown in FIG. 1, a magnetic head H, terminal portions P1, P1, and terminal portions P2, P2 are formed on an end portion 20b of the slider 20 on the trailing side. The toroidal coil layer 42 of the inductive head constituting the magnetic head H is connected to the terminal portions P1 and P1 through the lead layer. When the MR head magnetoresistive effect element is provided, a detection current is applied to the magnetoresistive effect element from the terminal portions P2 and P2, and a reproduced magnetic signal is obtained from the terminal portions P2 and P2.

図2に示すように、スライダ20上にAl23層21が形成されている。
Al23層21上には、NiFe系合金やセンダストなどで形成された下部シールド層22が形成され、下部シールド層22の上にAl23などで形成された下部ギャップ層や上部ギャップ層からなるギャップ層23が形成されている。
As shown in FIG. 2, an Al 2 O 3 layer 21 is formed on the slider 20.
A lower shield layer 22 made of NiFe alloy or sendust is formed on the Al 2 O 3 layer 21, and a lower gap layer or upper gap made of Al 2 O 3 or the like is formed on the lower shield layer 22. A gap layer 23 composed of layers is formed.

ギャップ層23内にはスピンバルブ型薄膜素子などのGMR素子に代表される磁気抵抗効果素子24が形成されており、磁気抵抗効果素子24の前端面は記録媒体との対向面から露出している。   A magnetoresistive element 24 typified by a GMR element such as a spin valve thin film element is formed in the gap layer 23, and the front end face of the magnetoresistive element 24 is exposed from the surface facing the recording medium. .

ギャップ層23上にはNiFe系合金などで形成された上部シールド層25が形成されている。   An upper shield layer 25 made of NiFe alloy or the like is formed on the gap layer 23.

下部シールド層22から上部シールド層25までを再生用ヘッド(MRヘッドとも言う)と呼ぶ。   The portion from the lower shield layer 22 to the upper shield layer 25 is called a reproducing head (also referred to as an MR head).

図2に示すように上部シールド層25上には、Al23などで形成された分離層28が形成されている。なお上部シールド層25及び分離層28が設けられておらず、上部ギャップ層26上に次の下部コア層29が設けられていてもよい。かかる場合、下部コア層29が上部シールド層をも兼ね備える。 As shown in FIG. 2, a separation layer 28 made of Al 2 O 3 or the like is formed on the upper shield layer 25. The upper shield layer 25 and the separation layer 28 may not be provided, and the next lower core layer 29 may be provided on the upper gap layer 26. In such a case, the lower core layer 29 also serves as an upper shield layer.

図2では、分離層28の上に下部コア層29が形成されている。下部コア層29はNiFe系合金などの磁性材料で形成される。下部コア層29は記録媒体との対向面からハイト方向(図示Y方向)に所定の長さ寸法で形成される。   In FIG. 2, a lower core layer 29 is formed on the separation layer 28. The lower core layer 29 is made of a magnetic material such as a NiFe alloy. The lower core layer 29 is formed with a predetermined length dimension in the height direction (Y direction in the drawing) from the surface facing the recording medium.

下部コア層29上には記録媒体との対向面からハイト方向(図示Y方向)にかけて所定の長さ寸法で形成された磁極端層(隆起層)30が形成されている。   On the lower core layer 29, a magnetic pole end layer (raised layer) 30 formed with a predetermined length dimension is formed from the surface facing the recording medium in the height direction (Y direction in the figure).

磁極端層30はトラック幅方向(図示X方向)への幅寸法がトラック幅Twで形成されている。トラック幅Twは、例えば0.5μm以下で形成される。   The pole end layer 30 is formed with a track width Tw in the track width direction (X direction in the drawing). For example, the track width Tw is 0.5 μm or less.

図2に示す実施形態では、磁極端層30は、下部磁極層31、ギャップ層32、および上部磁極層33の3層膜の積層構造で構成されている。   In the embodiment shown in FIG. 2, the magnetic pole end layer 30 has a laminated structure of a three-layer film of a lower magnetic pole layer 31, a gap layer 32, and an upper magnetic pole layer 33.

下部コア層29上には磁極端層30の最下層となる下部磁極層31がメッキ形成されている。下部磁極層31は磁性材料を用いて形成され、下部コア層29と磁気的に接続されており、下部磁極層31は、下部コア層29と同じ材質でも異なる材質で形成されていてもどちらでもよい。また単層膜でも多層膜で形成されていてもどちらでもよい。   On the lower core layer 29, a lower magnetic pole layer 31 which is the lowest layer of the magnetic pole end layer 30 is formed by plating. The lower magnetic pole layer 31 is formed using a magnetic material and is magnetically connected to the lower core layer 29. The lower magnetic pole layer 31 may be formed of the same material as or different from the lower core layer 29. Good. Either a single layer film or a multilayer film may be used.

下部磁極層31上には、非磁性のギャップ層32が積層されている。
ギャップ層32は非磁性金属材料で形成されて、下部磁極層31上にメッキ形成されることが好ましい。非磁性金属材料として、NiP、NiReP、NiPd、NiW、NiMo、NiRh、NiRe、Au、Pt、Rh、Pd、Ru、Crのうち1種または2種以上を選択することが好ましく、ギャップ層32は、単層膜で形成されていても多層膜で形成されていてもどちらであってもよい。
A nonmagnetic gap layer 32 is stacked on the bottom pole layer 31.
The gap layer 32 is preferably made of a nonmagnetic metal material and is plated on the lower magnetic pole layer 31. As the nonmagnetic metal material, it is preferable to select one or more of NiP, NiReP, NiPd, NiW, NiMo, NiRh, NiRe, Au, Pt, Rh, Pd, Ru, Cr, and the gap layer 32 is Either a single layer film or a multilayer film may be used.

ギャップ層32上には、上部磁極層33がメッキ形成されている。本実施の形態では、上部磁極層33を下層33aと上層33bの積層構造にしている。下層33a及び上層33bは磁性材料によって形成され、下層3aの飽和磁束密度は、上層33bの飽和磁束密度より大きくなっている。   On the gap layer 32, an upper magnetic pole layer 33 is formed by plating. In the present embodiment, the upper magnetic pole layer 33 has a laminated structure of a lower layer 33a and an upper layer 33b. The lower layer 33a and the upper layer 33b are made of a magnetic material, and the saturation magnetic flux density of the lower layer 3a is larger than the saturation magnetic flux density of the upper layer 33b.

上記したようにギャップ層32が、非磁性金属材料で形成されていれば、下部磁極層31、ギャップ層32および上部磁極層33を連続してメッキ形成することが可能になる。   As described above, if the gap layer 32 is formed of a nonmagnetic metal material, the lower magnetic pole layer 31, the gap layer 32, and the upper magnetic pole layer 33 can be continuously formed by plating.

さらに磁極端層30のハイト方向後端面からハイト方向(図示Y方向)に所定距離離れた位置にバックギャップ層34が下部コア層29上に形成されている。   Further, a back gap layer 34 is formed on the lower core layer 29 at a position away from the rear end face in the height direction of the magnetic pole end layer 30 in the height direction (Y direction in the drawing).

バックギャップ層34は磁性材料で形成され、下部コア層29と同じ材質で形成されてもよいし、別の材質で形成されていてもよい。またバックギャップ層34は単層であってもよいし多層の積層構造で形成されていてもよい。バックギャップ層34は下部コア層29に磁気的に接続されている。   The back gap layer 34 is made of a magnetic material and may be made of the same material as the lower core layer 29 or may be made of a different material. Further, the back gap layer 34 may be a single layer or may be formed in a multilayer structure. The back gap layer 34 is magnetically connected to the lower core layer 29.

磁極端層30とバックギャップ層34間の下部コア層29上にはコイル絶縁下地層35が形成され、コイル絶縁下地層35上には、上部コア層39と重なる部分が、トラック幅方向(図示X方向)に平行に延び、且つ互いに平行に形成された複数本の第1コイル片36がハイト方向に並んで形成されている。   A coil insulating base layer 35 is formed on the lower core layer 29 between the pole end layer 30 and the back gap layer 34, and a portion overlapping the upper core layer 39 on the coil insulating base layer 35 is in the track width direction (illustrated). A plurality of first coil pieces 36 extending in parallel with each other in the X direction and formed in parallel with each other are formed side by side in the height direction.

第1コイル片36上はAl23などの無機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層37で埋められている。図2に示すように磁極端層30の上面、コイル絶縁層37の上面、及びバックギャップ層34の上面は連続した平坦化面となっている。 The first coil piece 36 is filled with a coil insulating layer 37 made of an inorganic insulating material such as Al 2 O 3 . As shown in FIG. 2, the top surface of the pole tip layer 30, the top surface of the coil insulating layer 37, and the top surface of the back gap layer 34 are continuous flat surfaces.

下部コア層29上には、記録媒体との対向面からハイト方向(図示Y方向)に所定の距離離れた位置からハイト方向に向けてGd決め層38が形成されている。上部磁極層33の後端部はGd決め層38上に載せられている。ギャップデプス(Gd)は、ギャップ層32の記録媒体との対向面からGd決め層38に突き当たるまでのハイト方向(図示Y方向)への長さで決められる。   On the lower core layer 29, a Gd determining layer 38 is formed from the position facing the recording medium in the height direction (Y direction in the drawing) from the position away from the surface in the height direction. The rear end portion of the upper magnetic pole layer 33 is placed on the Gd determining layer 38. The gap depth (Gd) is determined by the length in the height direction (Y direction in the drawing) from the surface of the gap layer 32 facing the recording medium until it hits the Gd determining layer 38.

上部磁極層33とバックギャップ層34上には上部コア層(磁性層)39がメッキ形成されている。上部コア層39は、バックギャップ層34を介して、下部コア層29のハイト側と磁極端層30とを接続しており、上部コア層39が本発明の磁性層に相当する。   An upper core layer (magnetic layer) 39 is formed on the upper magnetic pole layer 33 and the back gap layer 34 by plating. The upper core layer 39 connects the height side of the lower core layer 29 and the pole tip layer 30 via the back gap layer 34, and the upper core layer 39 corresponds to the magnetic layer of the present invention.

なお上部磁極層33と上部コア層39と同じ材質で形成されていてもよいが、異なる材質で形成されるほうが好ましい。特に、上部コア層39が上部磁極層33の上層33bよりも飽和磁束密度が低いことがより好ましい。上部コア層39の飽和磁束密度は例えば1.4T〜1.9T、上部磁極層33の飽和磁束密度は例えば下層が1.9T〜2.4T、上層が1.4T〜1.9Tである。   The upper magnetic pole layer 33 and the upper core layer 39 may be formed of the same material, but are preferably formed of different materials. In particular, it is more preferable that the upper core layer 39 has a lower saturation magnetic flux density than the upper layer 33 b of the upper magnetic pole layer 33. The saturation magnetic flux density of the upper core layer 39 is, for example, 1.4T to 1.9T, and the saturation magnetic flux density of the upper magnetic pole layer 33 is, for example, 1.9T to 2.4T for the lower layer and 1.4T to 1.9T for the upper layer.

上部コア層39の飽和磁束密度が上部磁極層33の飽和磁束密度よりも低いと、上部コア層39からの洩れ磁界で磁気記録することを防ぐことが容易になる。   When the saturation magnetic flux density of the upper core layer 39 is lower than the saturation magnetic flux density of the upper magnetic pole layer 33, it becomes easy to prevent magnetic recording by a leakage magnetic field from the upper core layer 39.

図2に示すように上部コア層39の上には、例えばAl23などの絶縁材料で形成された絶縁層40が形成されている。絶縁層40は無機絶縁材料で形成されていることが好ましい。 As shown in FIG. 2, an insulating layer 40 made of an insulating material such as Al 2 O 3 is formed on the upper core layer 39. The insulating layer 40 is preferably formed of an inorganic insulating material.

図2に示すように絶縁層40上には、複数本の第2コイル片41が形成されている。
第1コイル片36と第2コイル片41とは、それぞれのトラック幅方向における端部同士が図3に示す接続層42aを介して電気的に接続されており、第1コイル片36と第2コイル片41とを有し、上部コア層39を軸にして巻回形成されたトロイダルコイル層42が形成されている。
As shown in FIG. 2, a plurality of second coil pieces 41 are formed on the insulating layer 40.
The ends of the first coil piece 36 and the second coil piece 41 in the track width direction are electrically connected to each other via a connection layer 42a shown in FIG. A toroidal coil layer 42 having a coil piece 41 and wound around the upper core layer 39 is formed.

トロイダルコイル層42上にはAl23やAlSiOなどの絶縁材料で形成された保護層43が形成されている。なお、下部コア層29及びバックギャップ層34のハイト方向後方は、絶縁層44である。 A protective layer 43 made of an insulating material such as Al 2 O 3 or AlSiO is formed on the toroidal coil layer 42. Note that an insulating layer 44 is behind the lower core layer 29 and the back gap layer 34 in the height direction.

コイル層42に記録電流が与えられると、下部コア層29及び上部コア層39に記録磁界が誘導され、ギャップ層32を介して対向する下部磁極層31及び上部磁極層33間に漏れ磁界が発生し、この漏れ磁界により、ハードディスクなどの記録媒体に磁気信号が記録される。   When a recording current is applied to the coil layer 42, a recording magnetic field is induced in the lower core layer 29 and the upper core layer 39, and a leakage magnetic field is generated between the lower magnetic pole layer 31 and the upper magnetic pole layer 33 facing each other through the gap layer 32. However, a magnetic signal is recorded on a recording medium such as a hard disk by the leakage magnetic field.

図3に図2に示される磁気ヘッドを図示上側から見た部分平面図を示す。
図3に示される磁気ヘッドでは、複数の第2コイル片41の全てが長方形状であって、互いに平行になるように配置されている。
FIG. 3 shows a partial plan view of the magnetic head shown in FIG. 2 as viewed from above.
In the magnetic head shown in FIG. 3, all of the plurality of second coil pieces 41 are rectangular and are arranged in parallel to each other.

また、バックギャップ層34の上にも、第2コイル片41が形成されており、この第2コイル片41は、他の第2コイル片41と相似形状であり、各々の第2コイル片41から発生する誘導磁界の方向は同じ方向である。   A second coil piece 41 is also formed on the back gap layer 34, and the second coil piece 41 has a similar shape to the other second coil pieces 41. The direction of the induction magnetic field generated from the same direction is the same.

なお、本発明における「相似形状」とは、隣りあう2つの第2コイル片41の向かいあう辺が平行状態にあることを意味している。すなわち、ある第2コイル片41とその隣りの第2コイル片41の間隔が全ての位置において一定の値S1であればよく、各第2コイル片41のハイト方向の幅寸法W1は各第2コイル片41ごとに異なっていてもよい。   The “similar shape” in the present invention means that the sides facing each other of the two second coil pieces 41 adjacent to each other are in a parallel state. In other words, the interval between a certain second coil piece 41 and the adjacent second coil piece 41 may be a constant value S1 at all positions, and the width dimension W1 in the height direction of each second coil piece 41 is equal to each second. Each coil piece 41 may be different.

第2コイル片41を、上部コア層39の上で、バックギャップ層34の前端面34aよりも記録媒体との対向面側Fの範囲内にだけ形成するのではなく、バックギャップ層34の上にも形成している。   The second coil piece 41 is not formed on the upper core layer 39 only within the range of the front surface 34a facing the recording medium from the front end surface 34a of the back gap layer 34, but on the back gap layer 34. Also formed.

従って、上部コア層39や下部コア層29の大きさを従来と同様または従来より小さくしても、第2コイル片41の断面積を大きく維持できるので第2コイル片41の直流抵抗値を低減できる。   Therefore, even if the size of the upper core layer 39 and the lower core layer 29 is the same as or smaller than the conventional size, the cross-sectional area of the second coil piece 41 can be maintained large, so that the DC resistance value of the second coil piece 41 is reduced. it can.

この結果、本実施の形態の磁気ヘッドは、コイル層42を流れる記録電流によって発生するジュール熱を低減し、磁気ヘッド内部の温度上昇を抑制でき、記録周波数が高くなっても金属材料からなる磁気ヘッドの先端部分の記録媒体との対向面からの突出を抑えることができる。   As a result, the magnetic head of the present embodiment can reduce Joule heat generated by the recording current flowing through the coil layer 42, suppress the temperature rise inside the magnetic head, and can be made of a magnetic material made of a metal material even when the recording frequency increases. Protrusion of the head tip portion from the surface facing the recording medium can be suppressed.

すなわち、磁気ヘッドが記録媒体に衝突する頻度を低減し、記録媒体及び磁気ヘッドの損傷を抑制できる。   That is, the frequency with which the magnetic head collides with the recording medium can be reduced, and damage to the recording medium and the magnetic head can be suppressed.

本実施の形態では、各第2コイル片41は、第1の方向であるハイト方向(図示Y方向)に直交するトラック幅方向(第2の方向)に延ばされて形成されている。これによって、ハイト方向に延ばされて形成されている上部コア層39に、ハイト方向の誘導磁界を与えることができ、記録効率を高めることができる。   In the present embodiment, each second coil piece 41 is formed so as to extend in the track width direction (second direction) orthogonal to the height direction (Y direction in the figure) that is the first direction. As a result, an induced magnetic field in the height direction can be applied to the upper core layer 39 formed to extend in the height direction, and the recording efficiency can be increased.

また、上部コア層39と重なる部分Cの第1コイル片36(図3では斜線のハッチングを施している)か、互いに平行になるように配置されている。さらに、上部コア層39と重なる部分Cの第1コイル片36が、トラック幅方向(第2の方向)に延ばされて形成されている。これによって、ハイト方向に延ばされて形成されている上部コア層39に、ハイト方向の誘導磁界を与えることができ、記録効率を高めることができる。   Further, the first coil pieces 36 of the portion C overlapping the upper core layer 39 (hatched with hatching in FIG. 3) are arranged parallel to each other. Further, the first coil piece 36 of the portion C overlapping with the upper core layer 39 is formed to extend in the track width direction (second direction). As a result, an induced magnetic field in the height direction can be applied to the upper core layer 39 formed to extend in the height direction, and the recording efficiency can be increased.

なお、図3に示されるように、第1コイル片36の上部コア層39と重なる部分Cをトラック幅方向(第2の方向)に延ばしつつ、トラック幅方向に延びる第2コイル片41とトロイダル状のコイルを形成するために、上部コア層39の両側部に延びた部分Sの第1コイル片36は、ハイト方向に屈曲している。   As shown in FIG. 3, the second coil piece 41 extending in the track width direction and the toroidal portion C are extended in the track width direction (second direction) while overlapping the upper core layer 39 of the first coil piece 36. In order to form a coil, the first coil piece 36 of the portion S extending on both sides of the upper core layer 39 is bent in the height direction.

第1コイル片36は平坦面であるコイル絶縁下地層35上に形成されるので、両側部を屈曲させても、正確な形状および均一な膜厚でパターン形成できる。   Since the first coil piece 36 is formed on the coil insulating base layer 35 that is a flat surface, even if both sides are bent, a pattern can be formed with an accurate shape and a uniform film thickness.

また、第2コイル片41の電流が流れる方向と直交する第3の方向の長さ寸法W1は、第1コイル片36の第3の方向の長さ寸法W2よりも大きくなっている。図3では、第3の方向はハイト方向であり、第2の方向と同じ方向である。   The length dimension W1 in the third direction orthogonal to the direction in which the current of the second coil piece 41 flows is larger than the length dimension W2 in the third direction of the first coil piece 36. In FIG. 3, the third direction is the height direction and is the same direction as the second direction.

本実施の形態では、第2コイル片41をバックギャップ層34の上にも形成できるので、第2コイル片41のハイト方向(第3の方向)の長さ寸法W1を大きくしても、上部コア層39や下部コア層29の大きさを従来と同様または従来より小さくすることができ、磁気ヘッドのインダクタンスを小さくすることができる。   In the present embodiment, since the second coil piece 41 can also be formed on the back gap layer 34, even if the length dimension W1 in the height direction (third direction) of the second coil piece 41 is increased, The size of the core layer 39 and the lower core layer 29 can be made the same as or smaller than the conventional one, and the inductance of the magnetic head can be made smaller.

なお、図2に示されるように、第2コイル片41の膜厚t1を、第1コイル片36の膜厚t2よりも大きくすることによって、コイル層42の直流抵抗値を低減し、発熱量及び磁極端層30の突出量を低減することができる。   As shown in FIG. 2, the DC resistance value of the coil layer 42 is reduced by making the film thickness t1 of the second coil piece 41 larger than the film thickness t2 of the first coil piece 36, and the amount of heat generated. And the protrusion amount of the magnetic pole end layer 30 can be reduced.

図4は、本発明の第2の実施の形態の磁気ヘッドの平面図である。本実施の形態は、全ての第2コイル片51の形状がV字形状である点で、図2及び図3に示された第1の実施の形態の磁気ヘッドと異なっており、第1コイル片36などの他の構成要素は第1の実施の形態の磁気ヘッドと同じである。第2コイル片51と第1コイル片36が端部で接続層42aを介して接続されて、上部コア層39の周りを巻回するトロイダル上のコイル層が形成される。   FIG. 4 is a plan view of the magnetic head according to the second embodiment of the present invention. This embodiment is different from the magnetic head of the first embodiment shown in FIGS. 2 and 3 in that the shape of all the second coil pieces 51 is V-shaped. Other components such as the piece 36 are the same as those of the magnetic head of the first embodiment. The second coil piece 51 and the first coil piece 36 are connected to each other through the connection layer 42 a at the end, and a toroidal coil layer wound around the upper core layer 39 is formed.

図4に示されるように、第2コイル片51の辺51aおよび辺51bが、互いに平行になるように配置されている。また、第2コイル片51の電流が流れる方向と直交する第3の方向の長さ寸法W3は、第1コイル片36の第3の方向の長さ寸法W2よりも大きくなっている。   As shown in FIG. 4, the side 51 a and the side 51 b of the second coil piece 51 are arranged so as to be parallel to each other. Further, the length dimension W3 in the third direction orthogonal to the direction in which the current of the second coil piece 51 flows is larger than the length dimension W2 of the first coil piece 36 in the third direction.

第2コイル片51がV字形状のように、一点鎖線Mを通る垂直面に対する面対称形状であれば、第2コイル片51が上部コア層39の側面によって形成される段差をまたいでも。第2コイル片51を所定の形状と均一な膜厚を有するものとして形成することが容易になる。   If the second coil piece 51 has a plane-symmetrical shape with respect to a vertical plane passing through the alternate long and short dash line M, such as a V shape, the second coil piece 51 straddles the step formed by the side surface of the upper core layer 39. It becomes easy to form the second coil piece 51 having a predetermined shape and a uniform film thickness.

本実施の形態でも、バックギャップ層34の上に、第2コイル片51が形成されている。この第2コイル片51は、他の第2コイル片51と相似形状であり、各々の第2コイル片51から発生する誘導磁界の方向は同じ方向である。   Also in the present embodiment, the second coil piece 51 is formed on the back gap layer 34. The second coil piece 51 has a similar shape to the other second coil pieces 51, and the direction of the induction magnetic field generated from each second coil piece 51 is the same direction.

従って、上部コア層39や下部コア層29の大きさを従来と同様または従来より小さくしても、第2コイル片51の断面積を大きく維持できるので第2コイル片51の直流抵抗値を低減でき、磁気ヘッドの発熱を抑えて磁気ヘッドの先端部分の記録媒体との対向面からの突出を抑えることができる。すなわち、磁気ヘッドが記録媒体に衝突する頻度を低減し、記録媒体及び磁気ヘッドの損傷を抑制できる。   Therefore, even if the size of the upper core layer 39 and the lower core layer 29 is the same as or smaller than the conventional size, the cross-sectional area of the second coil piece 51 can be maintained large, so that the DC resistance value of the second coil piece 51 is reduced. In addition, the heat generation of the magnetic head can be suppressed and the protrusion of the tip portion of the magnetic head from the surface facing the recording medium can be suppressed. That is, the frequency with which the magnetic head collides with the recording medium can be reduced, and damage to the recording medium and the magnetic head can be suppressed.

なお、本発明における「相似形状」とは、隣りあう2つの第2コイル片51の向かいあう辺51aおよび51bが平行状態にあることを意味している。すなわち、ある第2コイル片51とその隣りの第2コイル片51の間隔が全ての位置において一定の値S2であればよく、各第2コイル片51のハイト方向の幅寸法は各第2コイル片51ごとに異なっていてもよい。   The “similar shape” in the present invention means that the sides 51 a and 51 b facing each other of the two adjacent second coil pieces 51 are in a parallel state. That is, the interval between a certain second coil piece 51 and the adjacent second coil piece 51 only needs to be a constant value S2 at all positions, and the width dimension in the height direction of each second coil piece 51 is equal to each second coil piece. Each piece 51 may be different.

本発明では、第2コイル片が面対称形状であれば、第2コイル片が上部コア層の側面によって形成される段差をまたいでも。第2コイル片を所定の形状と均一な膜厚を有するものとして形成することが容易になる。   In the present invention, if the second coil piece has a plane-symmetric shape, the second coil piece straddles the step formed by the side surface of the upper core layer. It becomes easy to form the second coil piece having a predetermined shape and a uniform film thickness.

ここで、図5に示されるように、第2コイル片50がハイト方向(Y方向)に湾曲している場合には、第2コイル片50の後端辺50aの端点50bから第2コイル片50の対称面(一点鎖線Mを通る垂直面に)に下ろした垂線と、端点50bと後端辺50aの中央点50cを結ぶ直線とがなす角度θが0°以上30°以下であることが好ましい。   Here, as shown in FIG. 5, when the second coil piece 50 is curved in the height direction (Y direction), the second coil piece starts from the end point 50 b of the rear end side 50 a of the second coil piece 50. The angle θ formed by the perpendicular line drawn to the 50 symmetry plane (in the vertical plane passing through the alternate long and short dash line M) and the straight line connecting the end point 50b and the center point 50c of the rear end side 50a is 0 ° or more and 30 ° or less. preferable.

図6は本発明の第3の実施の形態の磁気ヘッドの平面図である。本実施の形態は、第2コイル片52が、長方形状であってトラック幅方向(第2の方向:図示X方向)に対して鋭角方向に延長形成されている点および第1コイル片53がトラック幅方向に延びる長方形状である点で、図2及び図3に示された第1の実施の形態の磁気ヘッドと異なっており、上部コア層39などの他の構成要素は第1の実施の形態の磁気ヘッドと同じである。   FIG. 6 is a plan view of a magnetic head according to a third embodiment of the present invention. In the present embodiment, the second coil piece 52 has a rectangular shape and extends in an acute angle direction with respect to the track width direction (second direction: X direction in the figure), and the first coil piece 53 It differs from the magnetic head of the first embodiment shown in FIGS. 2 and 3 in that it has a rectangular shape extending in the track width direction. Other components such as the upper core layer 39 are the same as those of the first embodiment. It is the same as the magnetic head of the form.

本発明では、バックギャップ層の上に、他の第2コイル片と相似形状の第2コイル片が形成されていればよく、図6に示されるように、バックギャップ層34の上に形成される第2コイル片52も含めて、全ての第2コイル片52がトラック幅方向に対して等しい鋭角で傾いていてもよい。   In the present invention, a second coil piece similar in shape to the other second coil pieces may be formed on the back gap layer. As shown in FIG. 6, the second coil piece is formed on the back gap layer 34. All of the second coil pieces 52 including the second coil pieces 52 may be inclined at an equal acute angle with respect to the track width direction.

全ての第2コイル片52がトラック幅方向に対して等しい鋭角で傾いていれば、全ての第2コイル片52から同じ方向に誘導磁界が発生するからである。   This is because if all the second coil pieces 52 are inclined at the same acute angle with respect to the track width direction, an induced magnetic field is generated from all the second coil pieces 52 in the same direction.

なお、本発明では、各第1コイル片はトラック幅方向(図示X方向)からハイト方向に傾斜して延びていてもよい。   In the present invention, each first coil piece may be inclined and extended in the height direction from the track width direction (X direction in the drawing).

また、本発明において第2コイル片がバックギャップ層の上に形成されているとは、バックギャップ層の前端面よりハイト方向後方に、第2コイル片の少なくとも一部が形成されていることを意味する。従って、図6に示されるように、少なくともひとつの第2コイル片52の一部がバックギャップ層34に重なっていればよい。
あるいは、2つ以上の第2コイル片がバックギャップ層34に重なっていてもよい。
In the present invention, the second coil piece is formed on the back gap layer means that at least a part of the second coil piece is formed behind the front end face of the back gap layer in the height direction. means. Therefore, as shown in FIG. 6, at least one part of the second coil piece 52 only needs to overlap the back gap layer 34.
Alternatively, two or more second coil pieces may overlap the back gap layer 34.

また、図7に示すように、バックギャップ層34の上に形成された最もハイト方向(図示Y方向;第1の方向)奥側の第2コイル片41aが、バックギャップ層34の後端面34bよりもハイト方向奥側に延びて形成されてもよい。図7に示される磁気ヘッドでは、第2コイル片41aのハイト方向の幅寸法W4が、他の第2コイル片41のハイト方向の幅寸法W1よりも大きくなっている。   Further, as shown in FIG. 7, the second coil piece 41a located on the back side in the most height direction (the Y direction in the drawing; the first direction) formed on the back gap layer 34 is the rear end face 34b of the back gap layer 34. Further, it may be formed so as to extend deeper in the height direction. In the magnetic head shown in FIG. 7, the width dimension W4 in the height direction of the second coil piece 41a is larger than the width dimension W1 in the height direction of the other second coil pieces 41.

上述したように、本発明における「相似形状」とは、隣りあう2つの第2コイル片41の向かいあう辺が平行状態にあることを意味しており、第2コイル片41と第2コイル片41aの間隔が全ての位置において一定の値であればよい。   As described above, the “similar shape” in the present invention means that the opposite sides of two adjacent second coil pieces 41 are in a parallel state, and the second coil piece 41 and the second coil piece 41a. The interval may be a constant value at all positions.

図2ないし図7に示した磁気ヘッドは、下部コア層29の上に、下から下部磁極層31、非磁性金属材料で形成されたギャップ層32及び上部磁極層33の順にメッキ形成され、トラック幅Twを規定する磁極端層30が設けられ、磁極端層30の上に磁性層である上部コア層39が積層されているものであった。   The magnetic head shown in FIG. 2 to FIG. 7 is formed by plating a lower magnetic pole layer 31, a gap layer 32 made of a nonmagnetic metal material, and an upper magnetic pole layer 33 in this order on the lower core layer 29 from the bottom. The magnetic pole end layer 30 defining the width Tw is provided, and the upper core layer 39 that is a magnetic layer is laminated on the magnetic pole end layer 30.

本発明の磁気ヘッドは、以下の図8及び図9に示すように、下部コア層29の上に、磁性材料からなる隆起層60が形成され、この隆起層60とバックギャップ層34の上に、下から下部磁極層61、ギャップ層62及び本発明の磁性層である上部磁極層63の順に構成された積層構造64を有し、積層構造64の記録媒体との対向面Fでのトラック幅方向(X方向)における幅寸法でトラック幅Twが決定されるものも含む。   In the magnetic head of the present invention, as shown in FIGS. 8 and 9 below, a raised layer 60 made of a magnetic material is formed on the lower core layer 29, and on the raised layer 60 and the back gap layer 34. And a bottom pole layer 61, a gap layer 62, and a top pole layer 63, which is a magnetic layer according to the present invention, in this order, and a track width at a surface F facing the recording medium of the laminate structure 64. Including those in which the track width Tw is determined by the width dimension in the direction (X direction).

図8及び図9は、本発明の第5の実施の形態の磁気ヘッドの断面図及び平面図である。
本実施の形態の磁気ヘッドは、下部コア層29の上に、磁性材料からなる隆起層60が形成され、この隆起層60とバックギャップ層34の上に、下から下部磁極層61、ギャップ層62及び上部磁極層63の順に構成された積層構造64と上部コア層65が積層されている点で、図2及び図3に示された磁気ヘッドと異なっており、その他の構成は図2及び図3に示された磁気ヘッドと同様である。例えば、下部コア層29の上にコイル絶縁下地層35を介して形成された第1コイル片36及び上部コア層65の上に絶縁層40を介して形成された第2コイル片41の構成、及び第1コイル片36及び第2コイル片41を接続層42aを介して接続して構成されるトロイダル状のコイル層の構造は図2及び図3に示された磁気ヘッドと同様であり、ハイト方向最後部の第2コイル片41は、バックギャップ層34上に形成されている。
8 and 9 are a sectional view and a plan view of the magnetic head according to the fifth embodiment of the present invention.
In the magnetic head of the present embodiment, a raised layer 60 made of a magnetic material is formed on the lower core layer 29, and a lower magnetic pole layer 61 and a gap layer are formed on the raised layer 60 and the back gap layer 34 from below. 62 and the upper magnetic pole layer 63 are different from the magnetic head shown in FIGS. 2 and 3 in that the laminated structure 64 and the upper core layer 65 are laminated in this order. This is the same as the magnetic head shown in FIG. For example, the configuration of the first coil piece 36 formed on the lower core layer 29 via the coil insulating base layer 35 and the second coil piece 41 formed on the upper core layer 65 via the insulating layer 40, The structure of the toroidal coil layer formed by connecting the first coil piece 36 and the second coil piece 41 via the connection layer 42a is the same as that of the magnetic head shown in FIGS. The second coil piece 41 at the end in the direction is formed on the back gap layer 34.

図8及び図9に記載された磁気ヘッドを詳しく説明する。
下部コア層29上には記録媒体との対向面からハイト方向(図示Y方向)にかけて所定の長さ寸法で形成された隆起層60が形成されている。さらに隆起層60のハイト方向後端面60aからハイト方向(図示Y方向)に所定距離離れた位置にバックギャップ層34が下部コア層29上に形成されている。
The magnetic head described in FIGS. 8 and 9 will be described in detail.
On the lower core layer 29, a raised layer 60 having a predetermined length dimension is formed from the surface facing the recording medium to the height direction (Y direction in the drawing). Further, a back gap layer 34 is formed on the lower core layer 29 at a position away from the rear end surface 60 a in the height direction of the raised layer 60 in the height direction (Y direction in the drawing).

隆起層60及びバックギャップ層34は磁性材料で形成され、下部コア層29と同じ材質で形成されてもよいし、別の材質で形成されていてもよい。また隆起層60及びバックギャップ層34は単層であってもよいし多層の積層構造で形成されていてもよい。隆起層60及びバックギャップ層34は下部コア層29に磁気的に接続されている。   The raised layer 60 and the back gap layer 34 are formed of a magnetic material, and may be formed of the same material as the lower core layer 29 or may be formed of a different material. Further, the raised layer 60 and the back gap layer 34 may be a single layer or may be formed of a multilayer structure. The raised layer 60 and the back gap layer 34 are magnetically connected to the lower core layer 29.

図8に示すように、コイル絶縁下地層35上には、複数本の第1コイル片36が形成されている。   As shown in FIG. 8, a plurality of first coil pieces 36 are formed on the coil insulating base layer 35.

第1コイル片36上はAl23などの無機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層37で埋められている。図8に示すように隆起層60の上面、コイル絶縁層37の上面、及びバックギャップ層34の上面は連続した平坦化面となっている。 The first coil piece 36 is filled with a coil insulating layer 37 made of an inorganic insulating material such as Al 2 O 3 . As shown in FIG. 8, the upper surface of the raised layer 60, the upper surface of the coil insulating layer 37, and the upper surface of the back gap layer 34 are continuous flat surfaces.

図8に示すように隆起層60及びコイル絶縁層37の平坦化面上には、記録媒体との対向面からハイト方向(図示Y方向)に所定の距離離れた位置からハイト方向に向けてGd決め層66が形成されている。   As shown in FIG. 8, on the planarized surfaces of the raised layer 60 and the coil insulating layer 37, Gd from the position facing the recording medium in the height direction (Y direction shown in the drawing) from the position in the height direction toward the height direction. A determining layer 66 is formed.

また図8に示すように、記録媒体との対向面からGd決め層66の前端面66aまでの隆起層60上、Gd決め層66の後端面66bよりハイト方向のコイル絶縁層37上、及びバックギャップ層34上に、下から下部磁極層61及びギャップ層62が形成されている。下部磁極層61及びギャップ層62はメッキ形成されている。なおギャップ層62のハイト方向への寸法がGd決め層66によって決められている。   Further, as shown in FIG. 8, on the raised layer 60 from the surface facing the recording medium to the front end surface 66a of the Gd determining layer 66, on the coil insulating layer 37 in the height direction from the rear end surface 66b of the Gd determining layer 66, and back A lower magnetic pole layer 61 and a gap layer 62 are formed on the gap layer 34 from below. The bottom pole layer 61 and the gap layer 62 are formed by plating. The dimension of the gap layer 62 in the height direction is determined by the Gd determining layer 66.

また図8に示すようにギャップ層62上及びGd決め層66上には、本発明の磁性層である上部磁極層63がメッキ形成され、さらに上部磁極層63上には上部コア層65がメッキ形成されている。上部磁極層63は、バックギャップ層34を介して、下部コア層29と直接的あるいは間接的に接続されている。下部磁極層61、ギャップ層62、上部磁極層63が本発明の積層構造64である。   Further, as shown in FIG. 8, an upper magnetic pole layer 63, which is a magnetic layer of the present invention, is formed on the gap layer 62 and the Gd determining layer 66, and further, an upper core layer 65 is plated on the upper magnetic pole layer 63. Is formed. The upper magnetic pole layer 63 is directly or indirectly connected to the lower core layer 29 through the back gap layer 34. The lower magnetic pole layer 61, the gap layer 62, and the upper magnetic pole layer 63 are the laminated structure 64 of the present invention.

この実施の形態では、下部磁極層61、ギャップ層62、上部磁極層63及び上部コア層65の4層で積層体70が構成されている。   In this embodiment, the laminated body 70 is composed of four layers of the lower magnetic pole layer 61, the gap layer 62, the upper magnetic pole layer 63, and the upper core layer 65.

下部磁極層61、上部磁極層63及び上部コア層65は磁性材料で形成され、ギャップ層62はNiP、NiRePなどの非磁性材料で形成される。   The lower magnetic pole layer 61, the upper magnetic pole layer 63, and the upper core layer 65 are made of a magnetic material, and the gap layer 62 is made of a nonmagnetic material such as NiP or NiReP.

積層体70は真上から見ると例えば図9のような形態である。積層体70の記録媒体との対向面側にある先端領域70bはトラック幅方向(図示X方向)への幅寸法が狭く形成され、先端領域70bの記録媒体との対向面でのトラック幅方向の寸法でトラック幅Twが決められる。トラック幅Twは例えば0.7μm以下であり、好ましくは0.5μm以下である。また積層体70の後端領域70cは、先端領域70bの基端からトラック幅方向への幅がハイト方向(図示Y方向)に向けて広がって形成され、後端領域70cの面積は先端領域70bの面積よりも十分に広くされている。   When viewed from directly above, the laminated body 70 has a form as shown in FIG. 9, for example. The front end region 70b on the side facing the recording medium of the stacked body 70 is formed with a narrow width dimension in the track width direction (X direction in the figure), and the front end region 70b in the track width direction on the surface facing the recording medium. The track width Tw is determined by the dimensions. The track width Tw is, for example, 0.7 μm or less, and preferably 0.5 μm or less. Further, the rear end region 70c of the stacked body 70 is formed such that the width in the track width direction from the base end of the front end region 70b extends in the height direction (Y direction in the drawing), and the area of the rear end region 70c is the front end region 70b. The area is sufficiently larger than the area.

図8に示すように上部コア層65の上には、例えばAl23などの絶縁材料で形成された絶縁層43が形成されている。絶縁層43は無機絶縁材料で形成されていることが好ましい。 As shown in FIG. 8, an insulating layer 43 made of an insulating material such as Al 2 O 3 is formed on the upper core layer 65. The insulating layer 43 is preferably formed of an inorganic insulating material.

本実施の形態でも、バックギャップ層34の上に、第2コイル片41が形成されている。この第2コイル片41は、他の第2コイル片41と相似形状であり、各々の第2コイル片41から発生する誘導磁界の方向は同じ方向である。
従って、上部コア層39や下部コア層29の大きさを従来と同様または従来より小さくしても、第2コイル片41の断面積を大きくできるので第2コイル片41の直流抵抗値を低減でき、磁気ヘッドの発熱を抑えて磁気ヘッドの先端部分の記録媒体との対向面からの突出を抑えることができる。すなわち、磁気ヘッドが記録媒体に衝突する頻度を低減し、記録媒体及び磁気ヘッドの損傷を抑制できる。
Also in the present embodiment, the second coil piece 41 is formed on the back gap layer 34. The second coil piece 41 has a similar shape to the other second coil pieces 41, and the direction of the induction magnetic field generated from each second coil piece 41 is the same direction.
Therefore, even if the size of the upper core layer 39 and the lower core layer 29 is the same as or smaller than the conventional size, the cross-sectional area of the second coil piece 41 can be increased, so that the DC resistance value of the second coil piece 41 can be reduced. Further, the heat generation of the magnetic head can be suppressed, and the protrusion of the tip portion of the magnetic head from the surface facing the recording medium can be suppressed. That is, the frequency with which the magnetic head collides with the recording medium can be reduced, and damage to the recording medium and the magnetic head can be suppressed.

本発明の磁気ヘッドが形成されたスライダの全体斜視図、An overall perspective view of a slider on which the magnetic head of the present invention is formed, 本発明における第1の実施の形態の磁気ヘッドの構造を示す縦断面図、1 is a longitudinal sectional view showing the structure of a magnetic head according to a first embodiment of the invention, 図1に示す薄膜磁気ヘッドの部分平面図、FIG. 1 is a partial plan view of the thin film magnetic head shown in FIG. 本発明における第2の実施の形態の磁気ヘッドの構造を示す部分平面図、A partial plan view showing the structure of a magnetic head according to a second embodiment of the present invention, 本発明の第2コイル片の他の実施の形態を示す部分平面図、The fragmentary top view which shows other embodiment of the 2nd coil piece of this invention, 本発明における第3の実施の形態の磁気ヘッドの構造を示す部分平面図、FIG. 7 is a partial plan view showing the structure of a magnetic head according to a third embodiment of the invention. 本発明における第4の実施の形態の磁気ヘッドの構造を示す縦断面図、A longitudinal sectional view showing the structure of a magnetic head according to a fourth embodiment of the present invention, 本発明における第5の実施の形態の磁気ヘッドの構造を示す縦断面図、A longitudinal sectional view showing a structure of a magnetic head according to a fifth embodiment of the present invention, 図8に示す薄膜磁気ヘッドの部分平面図、FIG. 9 is a partial plan view of the thin film magnetic head shown in FIG. 従来の磁気ヘッドの構造を示す縦断面図、A longitudinal sectional view showing the structure of a conventional magnetic head, 図10に示す薄膜磁気ヘッドの部分平面図、FIG. 10 is a partial plan view of the thin film magnetic head shown in FIG. 従来の磁気ヘッドの構造を示す部分平面図、A partial plan view showing the structure of a conventional magnetic head,

符号の説明Explanation of symbols

29 下部コア層
30 磁極端層
34 バックギャップ層
36 第1コイル片
39 上部コア層
41、51、52 第2コイル片
64 積層構造
29 Lower core layer 30 Magnetic pole end layer 34 Back gap layer 36 First coil piece 39 Upper core layers 41, 51, 52 Second coil piece 64 Laminated structure

Claims (11)

記録媒体との対向面側から第1の方向に延びて形成された下部コア層と、前記下部コア層上の所定距離離れた位置に、磁性材料からなるバックギャップ層を介して、前記下部コア層とハイト側で直接的あるいは間接的に接続される磁性層を有し、
前記磁性層の下側に形成された複数の第1コイル片のトラック幅方向における端部と、前記磁性層の上側に形成された複数の第2コイル片のトラック幅方向における端部とが電気的に接続されて、前記第1コイル片と第2コイル片とを有する、前記磁性層を軸にして巻回形成されたトロイダルコイル層が形成され、
前記バックギャップ層の上に、他の第2コイル片と相似形状の第2コイル片が形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
A lower core layer formed extending in the first direction from the surface facing the recording medium, and the lower core via a back gap layer made of a magnetic material at a predetermined distance from the lower core layer. Having a magnetic layer connected directly or indirectly to the layer at the height side,
The ends in the track width direction of the plurality of first coil pieces formed on the lower side of the magnetic layer and the ends in the track width direction of the plurality of second coil pieces formed on the upper side of the magnetic layer are electrically connected. Connected to each other, and a toroidal coil layer formed around the magnetic layer having the first coil piece and the second coil piece is formed,
A magnetic head, wherein a second coil piece similar in shape to another second coil piece is formed on the back gap layer.
前記複数の第2コイル片の全てが長方形状であって、互いに平行になるように配置されている請求項1記載の磁気ヘッド。   The magnetic head according to claim 1, wherein all of the plurality of second coil pieces have a rectangular shape and are arranged in parallel to each other. 前記第2コイル片は、前記第1の方向に直交する第2の方向に延ばされて形成されている請求項2記載の磁気ヘッド。   The magnetic head according to claim 2, wherein the second coil piece is formed to extend in a second direction orthogonal to the first direction. 前記複数の第2コイル片の全てがV字形状であって、各第2コイル片の各辺が互いに平行になるように配置されている請求項1記載の磁気ヘッド。   2. The magnetic head according to claim 1, wherein all of the plurality of second coil pieces are V-shaped, and are arranged so that the sides of the second coil pieces are parallel to each other. 前記複数の第1のコイル片の上部コア層と重なる部分か、互いに平行になるように配置されている請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気ヘッド。   5. The magnetic head according to claim 1, wherein the plurality of first coil pieces are arranged so as to overlap with an upper core layer or to be parallel to each other. 前記第1コイル片の上部コア層と重なる部分が、前記第1の方向に直交する前記第2の方向に平行方向に延ばされて形成されている請求項5記載の磁気ヘッド。   6. The magnetic head according to claim 5, wherein a portion of the first coil piece that overlaps the upper core layer is formed to extend in a direction parallel to the second direction orthogonal to the first direction. 前記下部コア層の上に、下から下部磁極層、ギャップ層及び前記磁性層である上部磁極層の順に構成された積層構造を有し、前記積層構造の前記対向面でのトラック幅方向における幅寸法でトラック幅Twが決定される請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気ヘッド。   A width in the track width direction on the facing surface of the stacked structure having a stacked structure in which a lower magnetic pole layer, a gap layer, and an upper magnetic pole layer, which is the magnetic layer, are formed in order from the bottom on the lower core layer 7. The magnetic head according to claim 1, wherein the track width Tw is determined by the dimension. 前記下部コア層の上に、少なくとも下から下部磁極層、非磁性金属材料で形成されたギャップ層及び上部磁極層の順にメッキ形成され、記録媒体との対向面側の端面の、トラック幅方向における幅寸法でトラック幅Twが規定される磁極端層が設けられ、前記磁極端層の上に前記磁性層が積層されている請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気ヘッド。   On the lower core layer, at least the lower magnetic pole layer, the gap layer formed of a nonmagnetic metal material, and the upper magnetic pole layer are plated in this order, and the end surface on the side facing the recording medium in the track width direction is plated. The magnetic head according to claim 1, wherein a magnetic pole end layer whose track width Tw is defined by a width dimension is provided, and the magnetic layer is laminated on the magnetic pole end layer. 前記磁性層は、前記上部磁極層よりも飽和磁束密度が低い請求項8記載の磁気ヘッド。   The magnetic head according to claim 8, wherein the magnetic layer has a saturation magnetic flux density lower than that of the upper magnetic pole layer. 前記第2コイル片の電流が流れる方向と直交する第3の方向の長さ寸法は、前記第1コイル片の前記第3の方向の長さ寸法よりも大きい請求項1ないし9のいずれかに記載の磁気ヘッド。   The length dimension in the third direction orthogonal to the direction in which the current of the second coil piece flows is larger than the length dimension in the third direction of the first coil piece. The magnetic head described. 前記第2コイル片の膜厚は、前記第1コイル片の膜厚よりも大きい請求項1ないし10のいずれかに記載の磁気ヘッド。   The magnetic head according to claim 1, wherein a film thickness of the second coil piece is larger than a film thickness of the first coil piece.
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