JP2005114608A - Hardness testing machine - Google Patents

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JP2005114608A JP2003350747A JP2003350747A JP2005114608A JP 2005114608 A JP2005114608 A JP 2005114608A JP 2003350747 A JP2003350747 A JP 2003350747A JP 2003350747 A JP2003350747 A JP 2003350747A JP 2005114608 A JP2005114608 A JP 2005114608A
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Masaharu Tsujii
正治 辻井
Fumihiko Koshimizu
文比古 輿水
Satoko Nomaguchi
聡子 野間口
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable even an inexperienced person to test hardness easily. <P>SOLUTION: A hardness testing machine for measuring the hardness of a material 1 comprises a test force giving means 4 for pressing a penetrator onto the surface of a sample S for giving a specified test force; an amount-of-penetration detection means 20 for detecting the amount of penetration of the penetrator into the sample, when the penetrator is pressed to the sample and an indentation is formed; a distance calculation means 100 for calculating the distance between the specified feature points of the indentation, based on the detected amount of penetration; an objective lens selection means 100 for selecting a specified objective lens from a plurality of objective lenses 7, based on the distance between the specified feature points of the calculated indentation; and a notification means for notifying the specifications of a selected, specified objective lens. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、試料表面に圧痕を形成させて試料の硬さを測定する硬さ試験機に関する。   The present invention relates to a hardness tester that measures the hardness of a sample by forming indentations on the surface of the sample.

従来から、圧子によって、試料表面に荷重を負荷し、圧痕を形成することに基づいて、試料の硬さを評価、測定する硬さ試験機が使用されている。
このような硬さ試験機として、所定の荷重で圧子を試料に押しつけて形成した圧痕の大きさ(例えば、圧痕の所定点間の長さ(対角線の長さ))を計測し、硬さを算出するビッカース硬さ試験機が知られている(例えば、特許文献1参照。)。ビッカース硬さ試験機には、試料に圧痕を形成するための圧子、圧子により形成された圧痕をモニタに拡大表示させるための対物レンズが設けられている。この対物レンズは、圧痕のあらゆる大きさに対応できるよう、通常は複数設けられている。
特開2000−292333号公報
Conventionally, a hardness tester that evaluates and measures the hardness of a sample based on applying a load to the surface of the sample with an indenter to form an indentation has been used.
As such a hardness tester, the size of the indentation formed by pressing the indenter against the sample with a predetermined load (for example, the length between predetermined points of the indentation (the length of the diagonal line)) is measured, and the hardness is measured. A Vickers hardness tester for calculation is known (for example, see Patent Document 1). The Vickers hardness tester is provided with an indenter for forming an indentation on a sample, and an objective lens for displaying the indentation formed by the indenter on a monitor in an enlarged manner. In general, a plurality of objective lenses are provided so as to correspond to any size of the indentation.
JP 2000-292333 A

ところで、圧痕を最適な大きさでモニタに表示させるためには、圧痕の大きさに応じて最適な倍率の対物レンズを選択する必要があるが、ユーザが経験に基づいて圧痕の大きさから対物レンズを選択していたため、オペレータには相応の熟練度が必要とされていた。   By the way, in order to display the indentation on the monitor with the optimum size, it is necessary to select an objective lens having an optimum magnification according to the size of the indentation. Since the lens was selected, the operator was required to have a certain level of skill.

そこで、本発明の課題は、硬さ試験について熟練を積んでいない者でも容易に硬さ試験を行うことができる硬さ試験機を提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide a hardness tester that can easily perform a hardness test even by a person who is not skilled in the hardness test.

以上の課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、例えば、図1に示すように、圧子(例えば、圧子5)により試料(例えば、試料S)表面に形成された圧痕を表示部に拡大表示させるための複数の対物レンズ(例えば、対物レンズ7)を備え、前記圧痕に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機(例えば、硬さ試験機1)であって、前記圧子を試料表面に押し込む所定の試験力を付与する試験力付与手段(例えば、アーム作動部4)と、前記試験力付与手段により付与された試験力によって前記圧子が前記試料に押し込まれて圧痕が形成されたときに、前記試料への前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段(例えば、圧子軸変位検出部20)と、前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する距離算出手段(例えば、制御部100)と、前記距離算出手段により算出された前記圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて前記複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択する対物レンズ選択手段(例えば、制御部100)と、前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズの仕様を通知する通知手段と、を備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the invention described in claim 1 includes, for example, an indentation formed on the surface of a sample (for example, sample S) by an indenter (for example, indenter 5) as shown in FIG. A hardness tester (for example, a hardness tester 1) that measures the hardness of a sample based on the indentation, and includes a plurality of objective lenses (for example, the objective lens 7). A test force applying means (for example, arm actuating portion 4) for applying a predetermined test force for pushing the indenter into the sample surface, and the indenter is pushed into the sample by the test force applied by the test force applying means. Based on the intrusion amount detected by the intrusion amount detecting means (for example, the indenter shaft displacement detector 20) and the intrusion amount detected by the intrusion amount detecting means, the indentation is detected. Between predetermined feature points A predetermined objective lens is selected from the plurality of objective lenses based on the distance between the predetermined feature points of the indentation calculated by the distance calculation means (for example, the control unit 100) and the indentation calculated by the distance calculation means. Objective lens selection means (for example, the control unit 100) to select, and notification means for notifying the specification of the predetermined objective lens selected by the objective lens selection means.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の硬さ試験機において、例えば、図1に示すように、前記圧子と前記複数の対物レンズを支持する支持手段(例えば、ターレット8)と、前記圧子と前記複数の対物レンズとが移動可能となるように前記支持手段を駆動させる駆動手段(例えば、駆動モータ83)と、前記圧痕の形成後に、前記圧子を移動させるとともに、前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズを前記圧痕の上方に移動させるように前記駆動手段を制御する駆動制御手段(例えば、制御部100)と、を備えることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the hardness tester according to the first aspect, for example, as shown in FIG. 1, a supporting means (for example, a turret 8) for supporting the indenter and the plurality of objective lenses, A drive means (for example, a drive motor 83) for driving the support means so that the indenter and the plurality of objective lenses can move; and after the formation of the indentation, the indenter is moved, and the objective lens Drive control means (for example, control unit 100) for controlling the drive means to move the predetermined objective lens selected by the selection means above the indentation.

請求項3に記載の発明は、例えば、図1に示すように、圧子(例えば、圧子5)により試料(例えば、試料S)表面に形成された圧痕を表示部に拡大表示させるための複数の対物レンズ(例えば、対物レンズ7)を備え、前記圧痕に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機(例えば、硬さ試験機1)であって、前記圧子を試料表面に押し込む所定の試験力を付与する試験力付与手段(例えば、アーム作動部4)と、前記試験力付与手段により付与された試験力によって前記圧子が前記試料に押し込まれて圧痕が形成されたときに、前記試料への前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段(例えば、圧子軸変位検出部20)と、前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する距離算出手段(例えば、制御部100)と、前記距離算出手段により算出された前記圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて前記複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択する対物レンズ選択手段(例えば、制御部100)と、前記圧子と前記複数の対物レンズを支持する支持手段(例えば、ターレット8)と、前記圧子と前記複数の対物レンズとが移動可能となるように前記支持手段を駆動させる駆動手段(例えば、駆動モータ83)と、前記圧痕の形成後に、前記圧子を移動させるとともに、前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズを前記圧痕の上方に移動させるように前記駆動手段を制御する駆動制御手段(例えば、制御部100)と、を備えることを特徴とする。   In the invention according to claim 3, for example, as shown in FIG. 1, a plurality of indentations formed on the surface of the sample (for example, the sample S) by the indenter (for example, the indenter 5) are displayed on the display unit. A hardness tester (e.g., hardness tester 1) that includes an objective lens (e.g., objective lens 7) and measures the hardness of the sample based on the indentation, and presses the indenter into the sample surface. When the indenter is pushed into the sample by the test force applying means (for example, the arm actuating portion 4) for applying the test force and the test force applied by the test force applying means, the sample is formed. Based on the intrusion amount detected by the intrusion amount detecting means (for example, the indenter shaft displacement detecting unit 20) and detecting the intrusion amount of the indenter into the indenter, a distance between predetermined feature points of the indentation Calculate distance calculation hand (For example, the control unit 100) and an objective lens selection unit that selects a predetermined objective lens from the plurality of objective lenses based on the distance between the predetermined feature points of the indentation calculated by the distance calculation unit ( For example, the control unit 100), the support means for supporting the indenter and the plurality of objective lenses (for example, the turret 8), and the support means are driven so that the indenter and the plurality of objective lenses can move. Driving means (for example, driving motor 83) to be moved, and after the formation of the indentation, the indenter is moved, and the predetermined objective lens selected by the objective lens selecting means is moved above the indentation. Drive control means (for example, control unit 100) for controlling the drive means.

請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の硬さ試験機において、例えば、図1〜図3に示すように、前記対物レンズ選択手段は、前記複数の対物レンズのうち、前記圧痕が前記表示部に最も大きく表示される対物レンズを選択することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the hardness tester according to any one of the first to third aspects, for example, as shown in FIGS. Among the objective lenses, an objective lens in which the indentation is displayed on the display unit is selected.

請求項1に記載の発明によれば、試験力付与手段により所定の試験力を圧子に付与すると、圧子が試料に押し込まれて圧痕が形成される。このとき、侵入量検出手段は、試料への圧子の侵入量を検出し、距離算出手段は、検出された侵入量に基づき、圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する。そして、対物レンズ選択手段は、圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択し、通知手段は、選択された所定の対物レンズの仕様を通知する。すなわち、従来ユーザが経験に基づいて行っていた圧痕に応じた対物レンズの選択を硬さ試験機が自動的に行うこととなる。
これにより、硬さ試験を行う硬さ試験機のユーザは、自らの経験や知識によって対物レンズを選択する必要がなくなるので、硬さ試験について熟練を積んでいない者でも容易に硬さ試験を行うことができる。
According to the first aspect of the present invention, when a predetermined test force is applied to the indenter by the test force applying means, the indenter is pushed into the sample to form an indentation. At this time, the intrusion amount detection means detects the intrusion amount of the indenter into the sample, and the distance calculation means calculates a distance between predetermined feature points of the indentation based on the detected intrusion amount. The objective lens selection means selects a predetermined objective lens from the plurality of objective lenses based on the distance between the predetermined feature points of the indentation, and the notification means notifies the specification of the selected predetermined objective lens. To do. In other words, the hardness tester automatically selects the objective lens according to the indentation that the user has conventionally performed based on experience.
This eliminates the need for a user of a hardness tester performing a hardness test to select an objective lens based on his / her own experience and knowledge, so even those who are not skilled in the hardness test can easily perform a hardness test. be able to.

請求項2に記載の発明によれば、請求項1の効果に加え、駆動制御手段は、圧痕の形成後に圧子を移動させるとともに、選択された所定の対物レンズを圧痕の上方に移動させるように駆動手段を制御する。
これにより、硬さ試験を行う硬さ試験機のユーザは、自らの経験や知識によって対物レンズを選択する必要がなく、更には、圧痕に応じた対物レンズを自らの手でセットする必要がなくなるので、硬さ試験について熟練を積んでいない者でも容易に硬さ試験を行うことができる。
According to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect, the drive control means moves the indenter after forming the indentation and moves the selected predetermined objective lens above the indentation. Control the driving means.
Thereby, the user of the hardness tester who performs the hardness test does not need to select the objective lens based on his / her own experience and knowledge, and further does not need to set the objective lens corresponding to the indentation with his / her hand. Therefore, even those who are not skilled in the hardness test can easily perform the hardness test.

請求項3に記載の発明によれば、試験力付与手段により所定の試験力を圧子に付与すると、圧子が試料に押し込まれて圧痕が形成される。このとき、侵入量検出手段は、試料への圧子の侵入量を検出し、距離算出手段は、検出された侵入量に基づき、圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する。そして、対物レンズ選択手段は、圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択し、駆動制御手段は、圧痕の形成後に圧子を移動させるとともに、選択された所定の対物レンズを圧痕の上方に移動させるように駆動手段を制御する。すなわち、従来ユーザが経験に基づいて行っていた圧痕に応じた対物レンズの選択を硬さ試験機が自動的に行うこととなる。
これにより、硬さ試験を行う硬さ試験機のユーザは、自らの経験や知識によって対物レンズを選択する必要がなく、更には、圧痕に応じた対物レンズを自らの手でセットする必要がなくなるので、硬さ試験について熟練を積んでいない者でも容易に硬さ試験を行うことができる。
According to the third aspect of the present invention, when a predetermined test force is applied to the indenter by the test force applying means, the indenter is pushed into the sample to form an indentation. At this time, the intrusion amount detection means detects the intrusion amount of the indenter into the sample, and the distance calculation means calculates a distance between predetermined feature points of the indentation based on the detected intrusion amount. The objective lens selection means selects a predetermined objective lens from the plurality of objective lenses based on the distance between the predetermined feature points of the indentation, and the drive control means moves the indenter after forming the indentation, The driving means is controlled to move the selected predetermined objective lens above the indentation. In other words, the hardness tester automatically selects the objective lens according to the indentation that the user has conventionally performed based on experience.
Thereby, the user of the hardness tester who performs the hardness test does not need to select the objective lens based on his / her own experience and knowledge, and further does not need to set the objective lens corresponding to the indentation with his / her hand. Therefore, even those who are not skilled in the hardness test can easily perform the hardness test.

請求項4に記載の発明によれば、対物レンズ選択手段は、複数の対物レンズのうち、圧痕が表示部に最も大きく表示される対物レンズを選択するので、ユーザは、圧痕の特徴を把握しやすくなる。   According to the fourth aspect of the present invention, the objective lens selection means selects the objective lens that displays the largest impression on the display unit from among the plurality of objective lenses, so that the user grasps the characteristics of the impression. It becomes easy.

以下、図面を参照して、本発明である硬さ試験機の最良の形態について詳細に説明する。
図1、図2に示されるように、硬さ試験機1は、各構成部材が配設される試験機本体2と、試験機本体2に回動自在に支持される荷重アーム3と、荷重アーム3に試験力を付与し、荷重アーム3を作動させる試験力付与手段としてのアーム作動部4と、荷重アーム3の下方の試験機本体2に回転自在に備えられた支持手段としてのターレット8と、このターレット8に取り付けられ、先端部に圧子5を備える圧子軸6と、ターレット8に取り付けられた対物レンズ7と、ターレット8に対向配置され、試料Sが載置される試料台9と、試料台9上の試料Sに形成された圧痕を撮像する撮像部10、圧痕が拡大表示される表示部16等により構成されている。なお、硬さ試験機1は、図3に示される制御部100により、各部の動作制御が行われる。
Hereinafter, the best mode of a hardness tester according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the hardness tester 1 includes a tester main body 2 in which each component is disposed, a load arm 3 that is rotatably supported by the tester main body 2, and a load. An arm operating part 4 as a test force applying means for applying a test force to the arm 3 and operating the load arm 3, and a turret 8 as a support means rotatably provided in the test machine main body 2 below the load arm 3. And an indenter shaft 6 attached to the turret 8 and having an indenter 5 at the tip, an objective lens 7 attached to the turret 8, and a sample stage 9 placed opposite to the turret 8 on which the sample S is placed. The imaging unit 10 captures an impression formed on the sample S on the sample stage 9, and the display unit 16 displays the indentation enlarged. In the hardness tester 1, operation control of each unit is performed by the control unit 100 shown in FIG.

荷重アーム3は、アーム本体31と、アーム本体31の一端部31aを試験機本体2に軸支する回動軸32とを有している。アーム本体31の他端側は第1の他端部31bと第2の他端部31cとの二股に分岐しており、第1の他端部31bは、可撓性を有する板ばね状に形成されている。
また、アーム本体31の下面側には、アーム本体31の下面と試験機本体2との間にコイルばね33aにより弾性支持される荷重軸33が備えられている。また、アーム本体31には、荷重アーム3(アーム本体31)が作動した際の、第1の他端部31bと第2の他端部31cとの開き量を検出するアーム変位検出部34が備えられている。
The load arm 3 includes an arm main body 31 and a rotating shaft 32 that pivotally supports one end 31 a of the arm main body 31 on the tester main body 2. The other end of the arm body 31 is bifurcated into a first other end 31b and a second other end 31c, and the first other end 31b is shaped like a flexible leaf spring. Is formed.
Further, on the lower surface side of the arm main body 31, a load shaft 33 elastically supported by a coil spring 33a is provided between the lower surface of the arm main body 31 and the tester main body 2. The arm body 31 has an arm displacement detector 34 that detects an opening amount between the first other end 31b and the second other end 31c when the load arm 3 (arm body 31) is operated. Is provided.

アーム本体31は、アーム本体31の一端部31aが回動軸32により試験機本体2に回動自在に軸支されるとともに、第1の他端部31bに荷重アーム3を作動させる試験力としての作用力を発生させるアーム作動部4が接続されている。そして、アーム作動部4の動作に伴い、アーム本体31は、回動軸32を中心とした回動を行う。このアーム本体31の下方への回動に伴い、アーム本体31は、荷重軸33を下方へ押圧し、移動させる。そして、荷重軸33は、アーム本体31(荷重アーム3)の駆動、動作を圧子軸6に伝達する(図1参照)。   The arm main body 31 has a first end 31a of the arm main body 31 pivotally supported on the test machine main body 2 by a rotary shaft 32 and a test force for operating the load arm 3 on the first other end 31b. The arm actuating part 4 for generating the acting force is connected. Then, along with the operation of the arm operation unit 4, the arm body 31 rotates around the rotation shaft 32. As the arm body 31 pivots downward, the arm body 31 presses the load shaft 33 downward to move it. The load shaft 33 transmits the driving and operation of the arm body 31 (load arm 3) to the indenter shaft 6 (see FIG. 1).

アーム変位検出部34は、例えば、所定の間隔の目盛が刻まれたスケールと、そのスケールの目盛を光学的に読み取るリニアエンコーダとからなり、アーム本体31が回動するとともに、圧子軸6を介して圧子5を試料Sに押し込む際の第1の他端部31bと第2の他端部31cとの開き量(ばね変位量)を検出し、その検出した開き量に基づくアーム変位信号を制御部100に出力する。なお、この開き量(ばね変位量)は、圧子5が試料Sを押し込む押圧力(試験力)、或いは試料Sに加わる荷重に対応している。   The arm displacement detection unit 34 includes, for example, a scale having graduations with predetermined intervals and a linear encoder that optically reads the graduations of the scales, and the arm main body 31 is rotated and the indenter shaft 6 is interposed therebetween. Then, an opening amount (spring displacement amount) between the first other end portion 31b and the second other end portion 31c when the indenter 5 is pushed into the sample S is detected, and an arm displacement signal based on the detected opening amount is controlled. Output to the unit 100. The opening amount (spring displacement amount) corresponds to a pressing force (test force) by which the indenter 5 pushes the sample S or a load applied to the sample S.

アーム作動部4は、サーボモータ41と、ボールネジ43と、サーボモータ41のモータ軸41aとボールネジ43のネジ軸43aに掛け渡されるタイミングベルト42と、ボールネジ43に保持される固定治具44等により構成されている。なお、アーム作動部4は、固定治具44の板ばね44aが、アーム本体31の第1の他端部31bに固定されて荷重アーム3に接続されている。   The arm operating unit 4 includes a servo motor 41, a ball screw 43, a motor shaft 41a of the servo motor 41, a timing belt 42 spanning the screw shaft 43a of the ball screw 43, a fixing jig 44 held by the ball screw 43, and the like. It is configured. The arm operating unit 4 is connected to the load arm 3 with the leaf spring 44 a of the fixing jig 44 fixed to the first other end 31 b of the arm body 31.

サーボモータ41は、制御部100から入力された駆動制御信号に基づき駆動する。そして、サーボモータ41の駆動により回転するサーボモータ41のモータ軸41aの駆動力は、タイミングベルト42を介してボールネジ43のネジ軸43aに伝達されて、ボールネジ43は回転する。そのボールネジ43の回転駆動により固定治具44は上下に移動される。
このように、アーム作動部4は、サーボモータ41の駆動に基づき固定治具44を上下動させて、固定治具44と接続しているアーム本体31の第1の他端部31bに、その駆動(駆動力)を伝達し、アーム本体31(荷重アーム3)を回動させる。なお、アーム作動部4が荷重アーム3を動作させる際、板ばね44aは撓む。
The servo motor 41 is driven based on a drive control signal input from the control unit 100. Then, the driving force of the motor shaft 41a of the servo motor 41 that rotates by driving the servo motor 41 is transmitted to the screw shaft 43a of the ball screw 43 via the timing belt 42, and the ball screw 43 rotates. The fixing jig 44 is moved up and down by the rotation of the ball screw 43.
As described above, the arm operating unit 4 moves the fixing jig 44 up and down based on the drive of the servo motor 41, and moves it to the first other end 31 b of the arm main body 31 connected to the fixing jig 44. Driving (driving force) is transmitted, and the arm body 31 (load arm 3) is rotated. In addition, when the arm operation part 4 operates the load arm 3, the leaf | plate spring 44a bends.

試料台9は、試料Sが載置される試料ステージ91と、試料ステージ91の下面に設けられたステージ昇降部92等により構成されている。このステージ昇降部92は、ねじ部92aを有し、ねじ部92aを回転させることによって試料ステージ91を、試験機本体2に対して上下に移動可能としている。   The sample stage 9 includes a sample stage 91 on which the sample S is placed, a stage elevating unit 92 provided on the lower surface of the sample stage 91, and the like. The stage elevating part 92 has a threaded part 92a, and the sample stage 91 can be moved up and down with respect to the tester main body 2 by rotating the threaded part 92a.

ターレット8は、ターレット本体81と、ターレット本体81を試験機本体2に回転自在に軸支する回転軸82等により構成されている。
ターレット本体81には、圧子軸6と、対物レンズ7と、圧子軸6の変位量を検出する侵入量検出手段としての圧子軸変位検出部20とが備えられている。なお、圧子軸6は、圧子軸保持部61を介してターレット本体81に備えられている。ターレット本体81は、駆動手段としての駆動モータ83に接続されており、制御部100から駆動モータ83に電流が供給されることにより駆動モータ83が起動し、ターレット本体81が回転することによって、圧子軸6や対物レンズ7の配置が切り替えられる。
The turret 8 includes a turret main body 81, a rotation shaft 82 that rotatably supports the turret main body 81 on the tester main body 2, and the like.
The turret body 81 includes an indenter shaft 6, an objective lens 7, and an indenter shaft displacement detection unit 20 as an intrusion amount detection unit that detects a displacement amount of the indenter shaft 6. The indenter shaft 6 is provided in the turret body 81 via an indenter shaft holding portion 61. The turret body 81 is connected to a drive motor 83 as drive means. When a current is supplied from the control unit 100 to the drive motor 83, the drive motor 83 is activated, and the turret body 81 rotates, whereby the indenter is rotated. The arrangement of the shaft 6 and the objective lens 7 can be switched.

圧子軸保持部61は、縦保持部材61aと、縦保持部材61aから横方向に延出する板ばね61b、61bにより構成されており、圧子軸6は、板ばね61b、61bに弾性支持され、試料ステージ91の試料Sの載置面、特に試料ステージ91に載置された試料の表面(上面)に対して垂直に備えられている。
また、圧子軸6の下端部には圧子5が交換可能に備えられている。
そして、図1に示されるように、ターレット8(ターレット本体81)を回転させ、圧子軸6を荷重軸33に対応する配置に切り替えることにより、荷重アーム3の回動に伴い荷重軸33が下方へ移動する動作の作用力を圧子軸6に伝達可能となる。そして、圧子5を試料Sに押し当て、押し込むことが可能となる。
The indenter shaft holding portion 61 includes a vertical holding member 61a and plate springs 61b and 61b extending in the horizontal direction from the vertical holding member 61a. The indenter shaft 6 is elastically supported by the plate springs 61b and 61b. It is provided perpendicularly to the mounting surface of the sample S of the sample stage 91, particularly the surface (upper surface) of the sample mounted on the sample stage 91.
An indenter 5 is provided at the lower end of the indenter shaft 6 so as to be replaceable.
Then, as shown in FIG. 1, the turret 8 (turret body 81) is rotated, and the indenter shaft 6 is switched to an arrangement corresponding to the load shaft 33, so that the load shaft 33 moves downward as the load arm 3 rotates. It is possible to transmit the acting force of the movement to the indenter shaft 6. Then, the indenter 5 can be pressed against the sample S and pushed.

対物レンズ7は、後述する撮像部10の顕微鏡部11に付随するレンズ部であり、図2に示されるように、ターレット8(ターレット本体81)を回転させ、対物レンズ7を撮像部10に対応する配置に切り替えた際に、撮像部10による試料Sの撮像が可能になる。   The objective lens 7 is a lens unit attached to the microscope unit 11 of the imaging unit 10 to be described later. As illustrated in FIG. 2, the turret 8 (turret body 81) is rotated and the objective lens 7 corresponds to the imaging unit 10. When switching to the arrangement to be performed, the imaging of the sample S by the imaging unit 10 becomes possible.

圧子軸変位検出部20は、例えば、所定の間隔の目盛が刻まれたスケールと、そのスケールの目盛を光学的に読み取るリニアエンコーダとからなり、圧子軸6が試料Sに圧痕を形成する際に移動した変位量(つまり、試料Sに圧子5が押し込まれた侵入量、圧痕の深さ)を検出し、その検出した変位量に基づく圧子軸変位信号を後述する制御部100に出力する。   The indenter shaft displacement detection unit 20 includes, for example, a scale in which a scale having a predetermined interval is engraved, and a linear encoder that optically reads the scale of the scale, and when the indenter shaft 6 forms an indentation on the sample S. The displacement amount thus moved (that is, the penetration amount when the indenter 5 is pushed into the sample S, the depth of the indentation) is detected, and an indenter shaft displacement signal based on the detected displacement amount is output to the control unit 100 described later.

撮像部10は、顕微鏡部11と、その顕微鏡部11に取り付けられたCCDカメラ10a(図3参照)と、試料Sの観察位置を照らす照明装置(図示省略)などにより構成されており、試料Sの表面に形成された圧痕の撮像を行う。そして、撮像部10(CCDカメラ10a)は、撮像した圧痕の画像データを後述する制御部100に出力する。   The imaging unit 10 includes a microscope unit 11, a CCD camera 10a (see FIG. 3) attached to the microscope unit 11, an illumination device (not shown) that illuminates the observation position of the sample S, and the like. The impression formed on the surface is imaged. Then, the imaging unit 10 (CCD camera 10a) outputs the captured image data of the impression to the control unit 100 described later.

表示部16は、例えば、液晶モニタ等から構成されており、撮像した圧痕の画像データを表示する。また、表示部16は、制御部100により算出された、圧子5を試料S表面に押し込む試験力を表示する。   The display unit 16 includes, for example, a liquid crystal monitor or the like, and displays image data of the captured indentation. The display unit 16 displays the test force calculated by the control unit 100 to push the indenter 5 into the surface of the sample S.

制御部100は、CPU,ROM,RAM等を含む演算装置で構成され、ROMに記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の硬さ試験を行うため予め設定された所定の動作条件(各硬さ試験用の動作条件)に基づく圧痕形成のための各部の動作制御を行う機能を有する。   The control unit 100 is composed of an arithmetic unit including a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and a predetermined operating condition set in advance for performing a predetermined hardness test by executing a predetermined program stored in the ROM. It has a function of controlling the operation of each part for forming an indentation based on (operating conditions for each hardness test).

例えば、制御部100は、アーム変位検出部34から入力されたアーム変位信号と、予め設定された設定アーム変位データとの比較を行い、所定の試験力(荷重)で圧子5を試料Sに作用させるように荷重アーム3を回動させるため、アーム作動部4(サーボモータ41)の駆動を制御する駆動制御信号をサーボモータ41に出力する機能を有する。   For example, the controller 100 compares the arm displacement signal input from the arm displacement detector 34 with preset arm displacement data, and applies the indenter 5 to the sample S with a predetermined test force (load). In order to rotate the load arm 3 in such a manner, a drive control signal for controlling the drive of the arm operating unit 4 (servo motor 41) is output to the servo motor 41.

また、制御部100は、圧子軸変位検出部20により検出された圧子5の試料Sへの侵入量に基づき、圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する距離算出手段として機能する。
更に、制御部100は、算出された圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて、ターレット8に支持された複数の対物レンズ7の中から圧痕を拡大表示するのに最適な対物レンズ7を選択する対物レンズ選択手段として機能する。ここで、対物レンズ7の選択基準は、圧痕を表示部16に最も大きく表示させることができる対物レンズ7が最適とされる。
また、制御部100は、圧痕の形成後に、圧子軸6を移動させるとともに、選択された所定の対物レンズ7を圧痕の上方に移動させるようにターレット8に接続された駆動モータ83を制御する駆動制御手段として機能する。
In addition, the control unit 100 functions as a distance calculation unit that calculates the distance between predetermined feature points of the indentation based on the intrusion amount of the indenter 5 into the sample S detected by the indenter shaft displacement detection unit 20.
Furthermore, the control unit 100 selects the objective lens 7 that is optimal for displaying the impression from the plurality of objective lenses 7 supported by the turret 8 based on the calculated distance between the predetermined feature points of the impression. It functions as an objective lens selection means to select. Here, the selection criterion of the objective lens 7 is optimally the objective lens 7 that can display the impressions on the display unit 16 most greatly.
Further, the controller 100 controls the drive motor 83 connected to the turret 8 to move the indenter shaft 6 and move the selected predetermined objective lens 7 above the indentation after forming the indentation. It functions as a control means.

次に、硬さ試験機1を用いた硬さ試験方法について説明する。
最初に、圧子軸6に圧子5を取り付け、試料台9に試料Sを載せ、ターレット8や試料台9の調整を行う。
次いで、制御部100がアーム作動部4を駆動させることにより、荷重アーム3は下方へ回動し、荷重軸33を介して圧子軸6を下方へ移動させる。すると、圧子軸6の先端に取り付けられた圧子5は、試料Sに押し込まれ、試料Sに略四角形状の圧痕が形成される。
試料Sに圧痕が形成されると、制御部100は、圧子軸変位検出部20を制御することにより、試料Sへの圧子5の侵入量、すなわち、圧痕の深さを検出する。次いで、制御部100は、検出された圧痕の深さから圧痕の対角線の長さを算出する。なお、圧痕の対角線の長さの算出にあたっては、圧痕の深さと対角線の長さとの関係を示す関係式を用いる。
圧痕の対角線の長さが算出されると、制御部100は、圧痕の大きさに最も適した対物レンズ7を選択する。なお、対物レンズ7の選択にあたっては、硬さ試験機1に備え付けの表示部(図示しない)に圧痕を表示させる際に、圧痕が歪むことのない視認性の良い大きさに拡大されるような倍率を有する対物レンズ7を選択する。
Next, a hardness test method using the hardness tester 1 will be described.
First, the indenter 5 is attached to the indenter shaft 6, the sample S is placed on the sample stage 9, and the turret 8 and the sample stage 9 are adjusted.
Next, when the control unit 100 drives the arm actuating unit 4, the load arm 3 rotates downward and moves the indenter shaft 6 downward via the load shaft 33. Then, the indenter 5 attached to the tip of the indenter shaft 6 is pushed into the sample S, and a substantially square indentation is formed on the sample S.
When the indentation is formed on the sample S, the control unit 100 controls the indenter shaft displacement detection unit 20 to detect the intrusion amount of the indenter 5 into the sample S, that is, the depth of the indentation. Next, the control unit 100 calculates the length of the diagonal line of the indentation from the detected depth of the indentation. In calculating the diagonal length of the indentation, a relational expression indicating the relationship between the depth of the indentation and the diagonal length is used.
When the diagonal length of the impression is calculated, the control unit 100 selects the objective lens 7 that is most suitable for the size of the impression. In selecting the objective lens 7, when the impression is displayed on the display unit (not shown) provided in the hardness tester 1, it is enlarged to a size with good visibility so that the impression is not distorted. The objective lens 7 having a magnification is selected.

次いで、制御部100は、駆動モータ83を制御することにより、ターレット8を回転させ、図2に示すような選択された対物レンズ7を圧痕観察のための位置、すなわち、対物レンズ7が撮像部10に対応する位置になるように切り替える。そして、撮像部10は、試料Sに形成された圧痕を撮像し、撮像した圧痕の画像データを制御部100に出力すると、制御部100は圧痕を表示部に表示させる。   Next, the control unit 100 controls the drive motor 83 to rotate the turret 8 so that the selected objective lens 7 as shown in FIG. Switch to a position corresponding to 10. Then, when the imaging unit 10 captures an impression formed on the sample S and outputs image data of the captured impression to the control unit 100, the control unit 100 causes the display unit to display the impression.

本発明に係る硬さ試験機1によれば、アーム作動部4により試験力を圧子5に付与すると、圧子5が試料Sに押し込まれて試料Sには圧痕が形成される。このとき、圧子軸変位検出部20は、試料Sへの圧子5の侵入量を検出し、制御部100は、検出された侵入量に基づき、圧痕の対角線の長さを算出する。そして、制御部100は、圧痕の対角線の長さに基づいて複数の対物レンズ7の中から最適な対物レンズ7を選択し、ターレット8を回転させて、選択された対物レンズ7を圧痕の上方に移動させる。すなわち、従来ユーザが経験に基づいて行っていた圧痕に応じた対物レンズ7の選択を硬さ試験機1が自動的に行うこととなる。
これにより、硬さ試験を行う硬さ試験機1のユーザは、自らの経験や知識によって対物レンズ7を選択する必要がなく、更には、圧痕に応じた対物レンズを自らの手でセットする必要がなくなるので、硬さ試験について熟練を積んでいない者でも容易に硬さ試験を行うことができる。
また、制御部100は、複数の対物レンズ7のうち、圧痕が表示部16に最も大きく表示される対物レンズ7を選択するので、ユーザは、圧痕の特徴を把握しやすくなる。
According to the hardness tester 1 according to the present invention, when a test force is applied to the indenter 5 by the arm operating unit 4, the indenter 5 is pushed into the sample S and an indentation is formed in the sample S. At this time, the indenter shaft displacement detection unit 20 detects the intrusion amount of the indenter 5 into the sample S, and the control unit 100 calculates the length of the diagonal line of the indentation based on the detected intrusion amount. Then, the control unit 100 selects the optimum objective lens 7 from the plurality of objective lenses 7 based on the length of the diagonal line of the indentation, rotates the turret 8, and moves the selected objective lens 7 above the indentation. Move to. That is, the hardness tester 1 automatically selects the objective lens 7 according to the indentation that the user has conventionally performed based on experience.
Thereby, the user of the hardness tester 1 performing the hardness test does not need to select the objective lens 7 based on his / her own experience and knowledge, and further needs to set the objective lens corresponding to the indentation with his / her hand. Therefore, even those who are not skilled in the hardness test can easily perform the hardness test.
Moreover, since the control part 100 selects the objective lens 7 in which an impression is the largest displayed on the display part 16 among the several objective lenses 7, it becomes easy for a user to grasp | ascertain the characteristic of an impression.

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態においては、最適な対物レンズ7が選択されると、ターレット8を回転させて選択された対物レンズ7を自動的に試料Sの上方に位置するような構成としたが、選択した対物レンズ7を通知手段としてのスピーカ(図示しない)からの音声や表示部への表示によりユーザに知らせるものでも良いし、これらを兼ね備えたものであっても良い。その他、本発明は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で自由に変更、改良が可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, when the optimum objective lens 7 is selected, the turret 8 is rotated so that the selected objective lens 7 is automatically positioned above the sample S. The objective lens 7 may be notified to the user by sound from a speaker (not shown) as a notification means or display on a display unit, or may be provided with both. In addition, the present invention can be freely changed and improved without departing from the gist of the invention.

本発明に係る硬さ試験機の概略断面図である。1 is a schematic sectional view of a hardness tester according to the present invention. 本発明に係る硬さ試験機の概略断面図である。1 is a schematic sectional view of a hardness tester according to the present invention. 本発明に係る硬さ試験機の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the hardness tester based on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 硬さ試験機
4 アーム作動部(試験力付与手段)
5 圧子
7 対物レンズ
8 ターレット(支持手段)
20 圧子軸変位検出部(侵入量検出手段)
83 駆動モータ(駆動手段)
100 制御部(距離算出手段、対物レンズ選択手段、駆動制御手段)
S 試料
1 Hardness Tester 4 Arm Actuator (Test Force Applicator)
5 Indenter 7 Objective lens 8 Turret (support means)
20 Indenter shaft displacement detector (intrusion detection means)
83 Drive motor (drive means)
100 control unit (distance calculation means, objective lens selection means, drive control means)
S sample

Claims (4)

圧子により試料表面に形成された圧痕を表示部に拡大表示させるための複数の対物レンズを備え、前記圧痕に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機であって、
前記圧子を試料表面に押し込む所定の試験力を付与する試験力付与手段と、
前記試験力付与手段により付与された試験力によって前記圧子が前記試料に押し込まれて圧痕が形成されたときに、前記試料への前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段と、
前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する距離算出手段と、
前記距離算出手段により算出された前記圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて前記複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択する対物レンズ選択手段と、
前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズの仕様を通知する通知手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。
A hardness tester comprising a plurality of objective lenses for displaying indentations formed on the sample surface by an indenter on a display unit, and measuring the hardness of the sample based on the indentations,
A test force applying means for applying a predetermined test force for pushing the indenter into the sample surface;
An intrusion amount detecting means for detecting an intrusion amount of the indenter into the sample when the indenter is pushed into the sample by the test force applied by the test force applying means and an indentation is formed;
A distance calculating means for calculating a distance between predetermined feature points of the indentation based on the intrusion amount detected by the intrusion amount detecting means;
Objective lens selection means for selecting a predetermined objective lens from the plurality of objective lenses based on a distance between predetermined feature points of the indentation calculated by the distance calculation means;
Notification means for notifying the specification of the predetermined objective lens selected by the objective lens selection means;
A hardness tester comprising:
前記圧子と前記複数の対物レンズを支持する支持手段と、
前記圧子と前記複数の対物レンズとが移動可能となるように前記支持手段を駆動させる駆動手段と、
前記圧痕の形成後に、前記圧子を移動させるとともに、前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズを前記圧痕の上方に移動させるように前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。
Support means for supporting the indenter and the plurality of objective lenses;
Drive means for driving the support means such that the indenter and the plurality of objective lenses are movable;
Drive control means for controlling the drive means to move the indenter after the formation of the indentation and to move the predetermined objective lens selected by the objective lens selection means above the indentation;
The hardness tester according to claim 1, comprising:
圧子により試料表面に形成された圧痕を表示部に拡大表示させるための複数の対物レンズを備え、前記圧痕に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機であって、
前記圧子を試料表面に押し込む所定の試験力を付与する試験力付与手段と、
前記試験力付与手段により付与された試験力によって前記圧子が前記試料に押し込まれて圧痕が形成されたときに、前記試料への前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段と、
前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記圧痕の所定の特徴点間の距離を算出する距離算出手段と、
前記距離算出手段により算出された前記圧痕の所定の特徴点間の距離に基づいて前記複数の対物レンズの中から所定の対物レンズを選択する対物レンズ選択手段と、
前記圧子と前記複数の対物レンズを支持する支持手段と、
前記圧子と前記複数の対物レンズとが移動可能となるように前記支持手段を駆動させる駆動手段と、
前記圧痕の形成後に、前記圧子を移動させるとともに、前記対物レンズ選択手段により選択された前記所定の対物レンズを前記圧痕の上方に移動させるように前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。
A hardness tester comprising a plurality of objective lenses for displaying indentations formed on the sample surface by an indenter on a display unit, and measuring the hardness of the sample based on the indentations,
A test force applying means for applying a predetermined test force for pushing the indenter into the sample surface;
An intrusion amount detecting means for detecting an intrusion amount of the indenter into the sample when the indenter is pushed into the sample by the test force applied by the test force applying means and an indentation is formed;
A distance calculating means for calculating a distance between predetermined feature points of the indentation based on the intrusion amount detected by the intrusion amount detecting means;
Objective lens selection means for selecting a predetermined objective lens from the plurality of objective lenses based on a distance between predetermined feature points of the indentation calculated by the distance calculation means;
Support means for supporting the indenter and the plurality of objective lenses;
Drive means for driving the support means such that the indenter and the plurality of objective lenses are movable;
Drive control means for controlling the drive means to move the indenter after the formation of the indentation and to move the predetermined objective lens selected by the objective lens selection means above the indentation;
A hardness tester comprising:
前記対物レンズ選択手段は、前記複数の対物レンズのうち、前記圧痕が前記表示部に最も大きく表示される対物レンズを選択することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の硬さ試験機。   The said objective lens selection means selects the objective lens with which the said impression is displayed on the said display part most among the said some objective lenses, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Hardness tester.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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