JP2005111362A - Method and apparatus for plasma arc decomposition of flons in liquid at normal temperature - Google Patents

Method and apparatus for plasma arc decomposition of flons in liquid at normal temperature Download PDF

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Shinichi Kuroda
真一 黒田
Atsushi Kuwabara
厚 桑原
Taizo Shimizu
泰三 志水
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for detoxicating flons (chlorofluorocarbons) in liquid at a normal temperature by sufficiently evaporating recovered flons and analogous substances in liquid at normal temperature, supplying the flons and analogous substances to a decomposition apparatus, and decomposing the flons supplied in such a manner. <P>SOLUTION: The flons in liquid at a normal temperature are transported from a container and packed in a pressure vessel by using a compressed air, sufficiently evaporated by a heating apparatus 13 in the outside of a plasma arc generation means (PA), and then supplied to and decomposed by the plasma arc generation means (PA) for detoxification. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、オゾン層破壊および地球温暖化の原因となるフロンを分解して無害化するプラズマアーク分解方法および装置に関する技術分野に属する。本発明は、フロンを分解して無害化するプラズマアーク分解方法および装置に関する技術分野において、回収した常温で液体のフロンおよび類似物質(以下、フロン類という)を充分に気化し、分解装置に供給し、この方法によって供給された常温で液体のフロン類を分解する技術である。   The present invention belongs to a technical field relating to a plasma arc decomposition method and apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbons that cause ozone layer destruction and global warming. In the technical field related to a plasma arc decomposition method and apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbons, the present invention sufficiently vaporizes recovered chlorofluorocarbons and similar substances (hereinafter referred to as chlorofluorocarbons) at normal temperature and supplies them to a decomposing apparatus. However, this is a technique for decomposing liquid chlorofluorocarbons at room temperature supplied by this method.

[従来技術1]
従来技術1は、分解炉中に供給された空気に高電圧をかけて高温度のプラズマ中に有害物質を投入することによって、有害物質を熱分解する空気アークプラズマを使用した技術である。(特許文献1「公開特許公報昭60−154200号」参照)
しかし、この従来技術1には、公報の第1図および発明の詳細な説明の項に記載されているとおり、「プラズマバーナ12中のプラズマアークは、アークをスピンする環状電場コイル36、38によって安定化されるか一直線上にされる。」ことおよび「有機液体がプラズマバーナに供給される。」ことが記載されている。したがって、プラズマを有機液体に十分に接触させるためには、アークをスピンする環状電場コイル36および環状電場コイル38が必須であり、装置が大形化する。また、有機液体がプラズマバーナの電極26および電極28に直接に接触する構造になっているために、電極の消耗が極めて大である。
[Prior art 1]
Prior art 1 is a technique using air arc plasma that thermally decomposes harmful substances by applying a high voltage to the air supplied into the cracking furnace and putting the harmful substances into the high-temperature plasma. (See Patent Document 1 “Publication Patent Publication No. 60-154200”)
However, as described in the prior art 1 in FIG. 1 of the publication and in the detailed description of the invention, “the plasma arc in the plasma burner 12 is caused by the annular electric field coils 36 and 38 that spin the arc. “Stabilized or in line” and “Organic liquid is fed to the plasma burner”. Therefore, in order to sufficiently bring the plasma into contact with the organic liquid, the annular electric field coil 36 and the annular electric field coil 38 that spin the arc are essential, and the apparatus is increased in size. In addition, since the organic liquid has a structure in which it directly contacts the electrode 26 and the electrode 28 of the plasma burner, the consumption of the electrode is extremely large.

[従来技術2]
従来技術2は、分解炉中にアルゴンと水素との混合ガスを注入し、電極間に高電圧を印加して混合ガスをプラズマ状にするとともに、交流磁場発生器によってプラズマを回転振動させてプラズマ発生領域を拡大させ、その炉中に有害物質を投入すると、有害物質が原子状に解離してプラズマと接触混合しやすくなり、有害物質を効率よく安定に処理するアークプラズマを使用した技術である。(特許文献2「公開特許公報平5−84324号」参照)
この従来技術2は、アルゴンと水素との混合ガスを使用しているので、非常に高温度であり、強力な還元雰囲気での分解で反応を単純化できるために、従来の空気プラズマ発生ガスを使用した装置に比べて、分解炉容積を低減できることを効果としている。
[Prior Art 2]
In Prior Art 2, a mixed gas of argon and hydrogen is injected into a cracking furnace, a high voltage is applied between the electrodes to make the mixed gas into a plasma, and the plasma is rotated and vibrated by an AC magnetic field generator. This technology uses arc plasma, which expands the generation area and puts harmful substances into the furnace and dissociates the harmful substances into atoms, making it easier to contact and mix with the plasma. . (See Patent Document 2 “Publication Patent Publication No. 5-84324”)
Since this prior art 2 uses a mixed gas of argon and hydrogen, the temperature is very high, and the reaction can be simplified by decomposition in a strong reducing atmosphere. The effect is that the volume of the cracking furnace can be reduced as compared with the apparatus used.

[従来技術3]
従来技術3は、プラズマトーチおよびチャンバ(反応炉)内の圧力を大気圧以下の減圧状態に保持しているのでプラズマが安定に維持でき、また水蒸気と有機ハロゲン化合物の混合ガスとをプラズマトーチ内に直接導入するようにしているので有機ハロゲン化合物を効率よく分解することが可能となる。(特許文献3「公開特許公報平7−24081号」参照)
さらに、この従来技術3は、プラズマによって分解された有機ハロゲン化合物排ガスを、アルカリ性水溶液によって急冷することによって、ダイオキシン類の発生を抑圧することができる高周波誘導プラズマを使用した技術である。
[Prior Art 3]
Prior art 3 maintains the plasma torch and the pressure in the chamber (reactor) at a reduced pressure of atmospheric pressure or less, so that the plasma can be maintained stably, and the mixed gas of water vapor and organic halogen compound is contained in the plasma torch. Therefore, the organic halogen compound can be efficiently decomposed. (See Patent Document 3 “Publication Patent Publication No. 7-24081”)
Furthermore, this prior art 3 is a technique using high-frequency induction plasma that can suppress the generation of dioxins by quenching organic halogen compound exhaust gas decomposed by plasma with an alkaline aqueous solution.

しかし、これらの従来技術1ないし従来技術3は、いずれもプラズマ発生領域を拡大するために、交流磁場又は高周波コイルを使用しているので、大形の高周波発振器を必要とし、プラズマとハロゲン化合物との反応装置が大形化し、設備費が高価になるという問題がある。   However, since all of these conventional techniques 1 to 3 use an alternating magnetic field or a high frequency coil in order to expand the plasma generation region, a large high frequency oscillator is required, and plasma, halogen compound, There is a problem that the reaction apparatus becomes larger and the equipment cost becomes expensive.

[従来技術4]
また、従来技術4は、特定フロンの分解に熱アルゴンプラズマを用いた技術である。この従来技術4に使用された実験装置において、アルゴンプラズマ噴射は、大気圧下で銅製ノズルの陽極とタングステン製ロッドとの間の放電によって生じ、反応ガス(フロン)は反応部分の入りロ(プラズマアーク発生手段PAの下方)から注入している。(非特許文献1「Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol. 13、No. 3、1993」参照)
しかし、この従来技術4もアルゴンプラズマ噴射を使用しているために、アーク電圧が低くて入熱が少なく反応ガスの処理流量が少なく、また高価なアルゴンガスをプラズマ噴射に使用しているために、ランニングコストが上昇するという問題がある。
[Prior Art 4]
Prior art 4 is a technique using thermal argon plasma for the decomposition of specific CFCs. In the experimental apparatus used in this prior art 4, the argon plasma injection is caused by discharge between the anode of the copper nozzle and the tungsten rod under atmospheric pressure, and the reaction gas (Freon) enters the reaction part (plasma). It is injected from below the arc generating means PA. (See Non-Patent Document 1, “Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol. 13, No. 3, 1993”)
However, since this conventional technique 4 also uses argon plasma injection, the arc voltage is low, the heat input is low, the reaction gas processing flow rate is low, and the expensive argon gas is used for plasma injection. There is a problem that the running cost increases.

[従来技術5]
さらに、従来技術5は、プラズマアークによるフロンの分解技術である。プラズマガスには空気中から分離濃縮した窒素を使用し、陽極下部に設置した反応管中にフロン、水蒸気および空気からなる混合気体を投入する。(非特許文献2「日本化学会第73秋季年金(1997)講演予稿集p.236」参照)
[従来技術6]
従来技術6は、電極外周にプラズマアークを通過させ貫通孔を有するプラズマ拘束ノズルとプラズマ拘束ノズルの外周から下方までプラズマジェットを形成する気体を通過させプラズマアークを極点で形成させる部分の長さの貫通孔を有する陽極ノズルと陽極ノズルの下方にプラズマジェットおよび代替フロンを通過させ貫通孔を有する反応ノズルを配置し、電極と陽極ノズルの極点との間でプラズマアークを発生させ、プラズマ拘束ノズル外周上方からアルゴンガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェットを形成する気体を供給し、反応ノズルの上方に中心方向に貫通させた投入孔から代替フロンと共に水または水蒸気を供給して代替フロンをプラズマジェットで分解反応させ、発生した一酸化炭素を、反応ノズルの下方から供給した酸化気体と酸化反応させて炭酸ガスにする技術である。(特許文献4「公開特許公報2000−334294号」参照)
しかしながら、代替フロンを無害化するために必要となる酸素0を供給するために必要な圧縮空気量が代替フロン量に比べて過大となり、代替フロンを反応管中に供給することが困難となる。また圧縮空気量が大になり、代替フロンを分解するためのアーク長が不足するという問題があり、これらのアークプラズマ法ではいずれも常温で液体であるフロン類は分解不可能であるという問題があった。
[Prior art 5]
Furthermore, the prior art 5 is a technique for decomposing chlorofluorocarbon using a plasma arc. Nitrogen separated and concentrated from the air is used as the plasma gas, and a mixed gas composed of chlorofluorocarbon, water vapor, and air is put into a reaction tube installed under the anode. (See Non-Patent Document 2, “The Chemical Society of Japan 73rd Autumn Pension (1997) Preliminary Proceedings p. 236”)
[Prior Art 6]
Prior Art 6 has a plasma constraining nozzle that passes a plasma arc on the outer periphery of the electrode and a length of a portion that forms a plasma arc at a pole by passing a gas that forms a plasma jet from the outer periphery to the lower part of the plasma constraining nozzle. An anode nozzle with a through-hole and a reaction nozzle with a through-hole passing through the plasma jet and alternative chlorofluorocarbon under the anode nozzle are arranged to generate a plasma arc between the electrode and the pole of the anode nozzle. A gas that forms a plasma jet having an arc voltage higher than that of argon gas is supplied from above, and water or water vapor is supplied together with alternative chlorofluorocarbon from an injection hole that penetrates the reaction nozzle in the center direction. Acid generated by the decomposition reaction and carbon monoxide generated from the bottom of the reaction nozzle Gas and allowed to oxidation reaction is a technology for carbon dioxide. (See Patent Document 4 “Publication Patent Publication No. 2000-334294”)
However, the compressed amount of air required to supply oxygen 0 2 needed to detoxify CFC becomes excessive as compared with CFC substitute amount, it is difficult to supply HCFC into the reaction tube . In addition, there is a problem that the amount of compressed air becomes large and the arc length for decomposing alternative chlorofluorocarbons is insufficient, and in these arc plasma methods, chlorofluorocarbons that are liquid at room temperature cannot be decomposed. there were.

本発明はかかる問題点に鑑みなされたもので、その目的とするところは、第1に、常温で液体のフロン類を容器から耐圧容器へ圧縮空気を使用して移送・充填する。第2に、その後、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段に供給する。第3に、アークプラズマ発生手段によって分解・無害化する。これらの第1ないし第3の装置および方法の構成を有し、これらの構成のいずれか一つまたは2以上が一体となったプラズマアーク分解方法および分解装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and the object of the present invention is to first transfer and fill chlorofluorocarbons, which are liquid at room temperature, from a container to a pressure vessel using compressed air. Secondly, after that, chlorofluorocarbons, which are liquid at room temperature, are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means, and then supplied to the plasma arc generating means. Third, it is decomposed and detoxified by the arc plasma generating means. An object of the present invention is to provide a plasma arc decomposition method and a decomposition apparatus having the configurations of these first to third apparatuses and methods, and any one or two or more of these configurations are integrated.

特許文献は下記のとおりである。
公開特許公報昭60−154200号公報 公開特許公報平5−84324号公報 公開特許公報平7−24081号公報 公開特許公報2000−334294公報 非特許文献は下記のとおりである。 Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol.13、No.3、1993 日本化学会第73秋季年金(1997)講演予稿集p.236
The patent documents are as follows.
Japanese Patent Publication No. 60-154200 Published Patent Publication No. 5-84324 Published Patent Publication No. 7-24081 Non-patent documents are as follows. Plasma Chemistry and Plasma Processing Vol. 13, No. 3, 1993 The Chemical Society of Japan 73rd Autumn Pension (1997) Preliminary Proceedings p. 236

代替フロンを無害化するために必要となる酸素0を供給するために必要な圧縮空気量が代替フロン量に比べて過大となり、代替フロンを反応管中に供給することが困難となる。また圧縮空気量が大になり、代替フロンを分解するためのアーク長が不足するという問題があり、これらのアークプラズマ法ではいずれも常温で液体であるフロン類は分解不可能であるという問題があった。 HCFC amount of compressed air required to supply oxygen 0 2 needed to detoxify becomes excessive as compared with CFC substitute amount, we are difficult to supply HCFC into the reaction tube. In addition, there is a problem that the amount of compressed air becomes large and the arc length for decomposing alternative chlorofluorocarbons is insufficient, and in these arc plasma methods, chlorofluorocarbons that are liquid at room temperature cannot be decomposed. there were.

課題を解決するための手段は以下に示す3つの手段を有し、プラズマアーク分解方法および分解装置はこれらの手段のいずれか一つまたは2以上が一体となって実施される。   Means for solving the problems include the following three means, and the plasma arc decomposition method and the decomposition apparatus are implemented by any one or two or more of these means integrated.

本発明は、第1に、常温で液体のフロン類を容器から耐圧容器へ圧縮空気を使用して移送・充填する構成を備えている。この第1の構成は、後述する実施例では、図1に示すように、常温で液体のフロン類を耐圧容器に移送・充填するためのフロン類耐圧容器移送充填手段MFが相当する。   First, the present invention has a configuration in which chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are transferred and filled from a container to a pressure vessel using compressed air. In the embodiment described later, this first configuration corresponds to a chlorofluorocarbon pressure vessel transfer / filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons into the pressure vessel at room temperature as shown in FIG.

本発明は、第2に、その後、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段に供給する構成を備えている。この第2の構成は、後述する実施例では、図2に示すように、耐圧容器に充填され、常温で液体のフロン類を気化してプラズマアーク発生手段PAに供給するためのフロン類気化供給手段VFが相当する。   Secondly, the present invention includes a configuration in which chlorofluorocarbons, which are liquid at room temperature, are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means and then supplied to the plasma arc generating means. In the second embodiment, as shown in FIG. 2, in the embodiment described later, the chlorofluorocarbon vaporizing supply for filling the pressure resistant container and evaporating liquid chlorofluorocarbon at normal temperature and supplying it to the plasma arc generating means PA. Means VF corresponds.

本発明は、第3に、アークプラズマ発生手段によって分解・無害化する構成を備えている。この第3の構成は、後述する実施例では、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって気化した後でプラズマアーク分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAが相当する。   Thirdly, the present invention has a configuration in which the arc plasma generating means decomposes and renders it harmless. In the third embodiment, as shown in FIG. 3, in the embodiment described later, the fluorocarbons that are liquid at normal temperature are vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA, and then decomposed by plasma arc. This corresponds to plasma arc generating means PA for detoxifying treatment.

以下に記載する本発明の効果のすべてを同時に有している必要はなく、本発明の一つ以上の効果を有していればよい。   It is not necessary to have all the effects of the present invention described below at the same time, as long as they have one or more effects of the present invention.

本発明の常温で液体であるフロン類のプラズマアーク分解方法および装置を使用すると、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器(10−a)へ圧縮空気を使用して移送・充填することができ、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給することが可能になり、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAによって分解・無害化することができる。   When using the plasma arc decomposition method and apparatus for chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature according to the present invention, chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are transferred from the liquid chlorofluorocarbon containers 3 to the pressure vessel (10-a) using compressed air. The chlorofluorocarbons that are liquid at room temperature can be sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA and then supplied to the plasma arc generating means PA. Liquid chlorofluorocarbons can be decomposed and detoxified by the plasma arc generating means PA.

発明を実施するための最良の形態は、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器(10−a)へ圧縮空気を使用して移送・充填することができ、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給することが可能になり、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAによって分解・無害化するフロン類のプラズマアーク分解方法および装置である。   In the best mode for carrying out the invention, chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature can be transferred and filled from the liquid chlorofluorocarbon containers 3 to the pressure vessel (10-a) using compressed air. The chlorofluorocarbons can be supplied to the plasma arc generating means PA after being sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA. The liquid chlorofluorocarbons can be supplied to the plasma arc generating means PA at the supplied normal temperature. It is a plasma arc decomposition method and apparatus for chlorofluorocarbons that are decomposed and detoxified by the use of the above.

[最良の形態以外の実施の形態]
以下に、上記の発明を実施するための最良の形態以外に、本出願の発明を実施することができる実施の形態を列挙する。実施の形態は図面を参照して説明するので、実施の形態で説明する図面について説明する。
[Embodiments other than the best mode]
In the following, in addition to the best mode for carrying out the invention described above, embodiments capable of carrying out the invention of the present application are listed. Since the embodiments will be described with reference to the drawings, the drawings described in the embodiments will be described.

[実施の形態の図面の説明]
図1は、常温で液体のフロン類を耐圧容器に移送・充填するためのフロン類耐圧容器移送充填手段概略図である。
[Description of Drawings in Embodiment]
FIG. 1 is a schematic view of chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means for transferring and filling chlorofluorocarbons at room temperature into a pressure vessel.

図2は、耐圧容器に充填され、常温で液体のフロン類を気化してプラズマアーク発生手段に供給するためのフロン類気化供給手段概略図である。   FIG. 2 is a schematic view of chlorofluorocarbon vaporizing and supplying means for evaporating liquid chlorofluorocarbons filled in a pressure vessel and supplying them to the plasma arc generating means.

図3は、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって気化した後でプラズマアークで分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段概略図である。   FIG. 3 is a schematic diagram of plasma arc generating means for decomposing and detoxifying with plasma arc after vaporizing supplied fluorocarbons at room temperature by a heating device outside the plasma arc generating means.

[実施の形態の例示]
以下、実施の形態を例示して図面を参照して説明する。まず、本発明に係るフロン分解装置における分解処理方法を説明する。
[Exemplary Embodiment]
Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. First, a decomposition processing method in the CFC decomposition apparatus according to the present invention will be described.

実施の形態1は、図1に示すように、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器10−aへ圧縮空気を使用して移送・充填するフロン類耐圧容器移送充填手段MFを含む分解・無害化処理方法である。   In the first embodiment, as shown in FIG. 1, chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons at room temperature from the liquid chlorofluorocarbon vessel 3 to the pressure vessel 10-a using compressed air. Is a decomposition / detoxification treatment method including

実施の形態2は、図2に示すように、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給するフロン類気化供給手段VFを含むプラズマアーク分解方法である。   In the second embodiment, as shown in FIG. 2, the chlorofluorocarbon vaporization supply that supplies liquid chlorofluorocarbons at room temperature to the plasma arc generation means PA after being sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generation means PA. A plasma arc decomposition method including means VF.

実施の形態3は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって気化した後で分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAを含む分解・無害化処理方法である。   In the third embodiment, as shown in FIG. 3, generation of a plasma arc for decomposing and detoxifying the chlorofluorocarbons supplied at normal temperature after being vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA. This is a decomposition / detoxification processing method including means PA.

実施の形態4は、図1に示すように、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器10−aへ圧縮空気を使用して移送・充填するフロン類耐圧容器移送充填手段MFを含む分解・無害化処理装置である。   In the fourth embodiment, as shown in FIG. 1, chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons at room temperature from the liquid chlorofluorocarbon vessel 3 to the pressure vessel 10-a using compressed air. It is a disassembly / detoxification processing device including

実施の形態5は、図2に示すように、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給するフロン類気化供給手段VFを含むプラズマアーク分解装置である。   In the fifth embodiment, as shown in FIG. 2, the chlorofluorocarbon vaporization supply is performed in which chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generation means PA and then supplied to the plasma arc generation means PA. A plasma arc decomposition apparatus including means VF.

実施の形態6は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化した後で分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAを含む分解・無害化処理装置である。   In the sixth embodiment, as shown in FIG. 3, plasma for decomposing and detoxifying the chlorofluorocarbons supplied at room temperature after being sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA. This is a decomposition / detoxification processing apparatus including an arc generating means PA.

実施の形態7は、図3に示すように、プラズマアーク発生手段PAが、放電部分をプラズマトーチ17として操作性、作業性を向上させたフロン類の移送・充填手段MFまたはフロン類気化供給手段VFの一方または両方を含む分解・無害化処理供給方法である。   In the seventh embodiment, as shown in FIG. 3, the plasma arc generating means PA uses the discharge portion as the plasma torch 17 to improve the operability and workability of the fluorocarbon transfer / filling means MF or the fluorocarbon vaporization supply means. This is a decomposition / detoxification treatment supply method including one or both of VFs.

実施の形態8は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化し、水または水蒸気を供給してフロン類をプラズマジェットで分解反応させる分解・無害化するプラズマアーク分解方法である。   In the eighth embodiment, as shown in FIG. 3, the chlorofluorocarbons that are liquid at normal temperature are sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA, and water or steam is supplied to remove the chlorofluorocarbons. This is a plasma arc decomposition method in which decomposition and detoxification are performed by a plasma jet decomposition reaction.

実施の形態9は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化し、プラズマアークを発生させ、アルゴンガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェットを形成する気体を供給し、フロン類とともに、水または水蒸気を供給してフロン類をプラズマジェットで分解反応させる分解・無害化するプラズマアーク分解方法である。   In the ninth embodiment, as shown in FIG. 3, the chlorofluorocarbons that are liquid at normal temperature are sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA to generate a plasma arc. This is a plasma arc decomposition method in which a gas that forms a plasma jet having a high arc voltage is supplied, water or water vapor is supplied together with chlorofluorocarbons, and chlorofluorocarbons are decomposed and detoxified by the plasma jet.

実施の形態10は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化し、電極外周にプラズマアークを通過させ、貫通孔を有するプラズマ拘束ノズル25とプラズマ拘束ノズル25の外周から下方までプラズマジェットを形成する気体を通過させプラズマアークを極点で形成させる部分の長さの貫通孔を有する陽極ノズル22と陽極ノズル22の下方にプラズマジェットおよびフロン類を通過させ貫通孔を有する反応ノズル24を配置し、電極と陽極ノズル22の極点との間でプラズマアークを発生させ、プラズマ拘束ノズル25の外周上方からアルゴンガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェットを形成する気体を供給し、反応ノズル24の上方に中心方向に貫通させた投入孔からフロン類とともに、水または水蒸気を供給するプラズマアーク発生手段PAによって分解・無害化するプラズマアーク分解装置である。   In the tenth embodiment, as shown in FIG. 3, the chlorofluorocarbons, which are liquid at normal temperature, are sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA, and the plasma arc is passed through the outer periphery of the electrode. Of the anode nozzle 22 and the anode nozzle 22 having a through-hole having a length of a portion where a plasma arc is formed at the extreme point by passing a gas forming a plasma jet from the outer periphery to the lower side of the plasma restricting nozzle 25 having a hole. A reaction nozzle 24 having a through-hole through which a plasma jet and fluorocarbons pass is disposed below, a plasma arc is generated between the electrode and the pole of the anode nozzle 22, and from the upper periphery of the plasma constraining nozzle 25 more than argon gas. A gas that forms a plasma jet with a high arc voltage is supplied, and the reaction nozzle 24 is centered above the reaction nozzle 24. With fluorocarbons from threaded allowed the filling hole, a plasma arc decomposition apparatus for decomposing and detoxifying a plasma arc generating means PA for supplying water or water vapor.

実施の形態11は、図1に示すように、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器10−aへ圧縮空気を使用して移送・充填するフロン類耐圧容器移送充填手段MFと、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって気化した後で分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAとを含む分解・無害化処理方法である。   In the eleventh embodiment, as shown in FIG. 1, chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons at normal temperature from the liquid chlorofluorocarbon vessel 3 to the pressure vessel 10-a using compressed air. And a plasma arc generating means PA for decomposing and detoxifying the liquid chlorofluorocarbons supplied at normal temperature after being vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA, as shown in FIG. It is a decomposition and detoxification treatment method.

実施の形態12は、図2に示すように、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給するフロン類気化供給手段VFと、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって気化した後で分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAとを含む分解・無害化処理方法である。   In the twelfth embodiment, as shown in FIG. 2, the chlorofluorocarbon vaporization supply is performed in which chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generation means PA and then supplied to the plasma arc generation means PA. Means VF and plasma arc generating means PA for decomposing and detoxifying the chlorofluorocarbons supplied at normal temperature after being vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA, as shown in FIG. Is a decomposition / detoxification treatment method.

実施の形態13は、図1に示すように、常温で液体のフロン類を液体フロン類容器3から耐圧容器10−aへ圧縮空気を使用して移送・充填するフロン類耐圧容器移送充填手段MFと、図2に示すように、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段PAに供給するフロン類気化供給手段VFと、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類を分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAとを含む分解・無害化処理方法である。   In the thirteenth embodiment, as shown in FIG. 1, chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons at room temperature from the liquid chlorofluorocarbon vessel 3 to the pressure vessel 10-a using compressed air. As shown in FIG. 2, the chlorofluorocarbon vaporizing supply means VF for supplying the chlorofluorocarbons, which are liquid at room temperature, to the plasma arc generating means PA after being sufficiently vaporized by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA; As shown in FIG. 3, it is a decomposition / detoxification treatment method including plasma arc generating means PA for decomposing / detoxifying liquid chlorofluorocarbons at a supplied normal temperature.

以下、図1ないし図3を参照して実施例によってこの発明の装置について説明する。   Hereinafter, the apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1において、フィルタ1と採取管2とを連結して採取管連結ポート4−cに取り付けた後、キャップアジィー4を液体フロン類容器3に取り付ける。さらに、空気注入ポート4−bに開閉コック6を取り付け、その開閉コック6にエアーレギュレータ5−aと圧縮空気導入ホース7−aとを連結して取り付ける。フロン類吐出ポート4−aに液体フロン類移送ホース8−aの一端を接続し、液体フロン類移送ホース8−aの他方を液体ボート9−aに接続する。   In FIG. 1, after the filter 1 and the sampling tube 2 are connected and attached to the sampling tube connection port 4-c, the cap assembly 4 is attached to the liquid chlorofluorocarbon container 3. Furthermore, the opening / closing cock 6 is attached to the air injection port 4-b, and the air regulator 5-a and the compressed air introduction hose 7-a are connected to the opening / closing cock 6 and attached. One end of the liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-a is connected to the chlorofluorocarbon discharge port 4-a, and the other end of the liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-a is connected to the liquid boat 9-a.

圧縮空気導入ホース7−aから空気を供給することによって、液体フロン類容器3の内部の液体フロン類(例えばCFC−11;CClF)が、フィルタ1と採取管2、フロン類吐出ポート4−a、液体フロン類移送ホース8−aを通って液体ボート9−aから耐圧容器10−aに充填される。なお、不要な空気は気体ポート11−aによって排出する。 By supplying air from the compressed air introduction hose 7-a, the liquid inside fluorocarbons liquid Freon container 3 (e.g. CFC-11; CCl 3 F) is, the filter 1 and sampling tube 2, CFCs discharge port 4 -A, The pressure vessel 10-a is filled from the liquid boat 9-a through the liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-a. Unnecessary air is discharged through the gas port 11-a.

図2において、エアーレギュレータ5−b、圧縮空気導入ホース7−c、温度制御可能な加熱装置13、温度コントローラ14および保温措置を施したフロン類供給管16を金属製のスタンド12に取り付けた後、液体ポート9−bと加熱装置13とを液体フロン類移送ホース8−bで接続する。   In FIG. 2, after attaching the air regulator 5-b, the compressed air introduction hose 7-c, the temperature controllable heating device 13, the temperature controller 14 and the chlorofluorocarbon supply pipe 16 to which the heat retaining measures are applied to the metal stand 12. The liquid port 9-b and the heating device 13 are connected by a liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-b.

温度コントローラ14を所定の温度(例えば12[℃])にセットし、エアーレギュレータ5−bに圧縮空気導入ホース7−bおよび圧縮空気導入ホース7−cを接続し、圧縮空気導入ホース7−cの他方を気体ポート11−bに接続する。圧縮空気導入ホース7−cから圧縮空気をエアーレギュレータ5−b、圧縮空気導入ホース7−bおよび気体ポート11−bを通って耐圧容器10−bに供給する。   The temperature controller 14 is set to a predetermined temperature (for example, 12 [° C.]), the compressed air introduction hose 7-b and the compressed air introduction hose 7-c are connected to the air regulator 5-b, and the compressed air introduction hose 7-c is connected. Is connected to the gas port 11-b. Compressed air is supplied from the compressed air introduction hose 7-c to the pressure vessel 10-b through the air regulator 5-b, the compressed air introduction hose 7-b, and the gas port 11-b.

耐圧容器10−b内の液体フロン類(例えば、CFCTL;CClF)は、圧縮空気によって液体ポート9−bおよび液体フロン類移送ホース8−bを通って加熱装置13に供給される。加熱装置13で気化された液体フロン類(例えばCFC−l1)は、気化したフロン類吐出ポート15および保温措置を施したフロン類供給管16を通ってプラズマ発生手段PAに供給される。 Liquid chlorofluorocarbons (for example, CFCTL; CCl 3 F) in the pressure vessel 10-b are supplied to the heating device 13 through the liquid port 9-b and the liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-b by compressed air. The liquid chlorofluorocarbons (for example, CFC-11) vaporized by the heating device 13 are supplied to the plasma generating means PA through the vaporized chlorofluorocarbon discharge port 15 and the chlorofluorocarbon supply pipe 16 subjected to heat insulation.

図3において、プラズマトーチ17は、プラズマトーチ支持体20に取り付けられている。そのプラズマトーチ支持体20に陽極ノズル(プラス電極)22が取り付けられ、さらにその陽極ノズル(プラス電極)22の先端に反応ノズル24が取り付けられている。プラズマトーチ支持体20にトーチハンドル18およびトーチ着脱ハンドル19が取り付けられている。そのトーチハンドル18は、ネジによって冷却ブラケット23の上部に取り付けられている。   In FIG. 3, the plasma torch 17 is attached to the plasma torch support 20. An anode nozzle (plus electrode) 22 is attached to the plasma torch support 20, and a reaction nozzle 24 is attached to the tip of the anode nozzle (plus electrode) 22. A torch handle 18 and a torch attaching / detaching handle 19 are attached to the plasma torch support 20. The torch handle 18 is attached to the upper part of the cooling bracket 23 with screws.

トーチ着脱ハンドル19を回転させ持ち上げると、プラズマトーチ17、プラズマトーチ支持体20、トーチハンドル18、陽極ノズル(プラス電極)22および反応ノズル24を一体で冷却ブラケット23から引き抜くことができ、プラズマトーチ17、陽極ノズル(プラス電極)22、反応ノズル24の点検、交換等を容易にすることができる。   When the torch attaching / detaching handle 19 is rotated and lifted, the plasma torch 17, the plasma torch support body 20, the torch handle 18, the anode nozzle (plus electrode) 22, and the reaction nozzle 24 can be pulled out from the cooling bracket 23 together. In addition, inspection, replacement, etc. of the anode nozzle (plus electrode) 22 and the reaction nozzle 24 can be facilitated.

冷却ブラケット冷却水入口23−bから冷却ブラケット23に冷却水を供給し、陽極ノズル(プラス電極)22と反応ノズル24とを冷却して、冷却ブラケット冷却水出口23−aから排出する。なお、図に、プラズマ拘束ノズル25、気体供給用フランジ28およびプラズマ炎観測用窓30が図示されている。   Cooling water is supplied from the cooling bracket cooling water inlet 23-b to the cooling bracket 23, the anode nozzle (plus electrode) 22 and the reaction nozzle 24 are cooled, and discharged from the cooling bracket cooling water outlet 23-a. In the figure, the plasma restraining nozzle 25, the gas supply flange 28, and the plasma flame observation window 30 are shown.

プラズマジェット形成気体(プラズマジェット形成用圧縮空気)供給口21からアーク電圧が高いプラズマジェット形成気体(プラズマジェット形成用圧縮空気)を供給する。フロン類および水又は水蒸気供給口26から気化したフロン類の吐出ポート15および保温措置を施したフロン類供給管16を通って供給されたフロン類(例えばCFC−11;CClF)および水又は水蒸気を供給する。 Plasma jet forming gas (plasma jet forming compressed air) having a high arc voltage is supplied from a plasma jet forming gas (plasma jet forming compressed air) supply port 21. Fluorocarbons (for example, CFC-11; CCl 3 F) and water supplied through the discharge port 15 of chlorofluorocarbons vaporized from the chlorofluorocarbon and water or water vapor supply port 26 and the chlorofluorocarbon supply pipe 16 subjected to heat insulation Supply steam.

一酸化炭素酸化気体(一酸化炭素酸化用圧縮空気)供給口27から一酸化炭素酸化気体(例えば一酸化炭素酸化用圧縮空気)を、プラズマ炎観測用窓保護気体(プラズマ炎観測用窓保護用圧縮空気)供給口31からプラズマ炎観測用窓保護気体(例えばプラズマ炎観測用窓保護用圧縮空気)を供給する。フロン類および水又は水蒸気供給口26から供給されたフロン類(例えばCFC−ll;CClF)は発生した高温のプラズマアークジェットによって反応ノズル24および燃焼筒29で充分に分解される。 Carbon monoxide oxidizing gas (carbon monoxide oxidizing compressed air) is supplied from a carbon monoxide oxidizing gas (carbon monoxide oxidizing compressed air) supply port 27 to a plasma flame observation window protective gas (for plasma flame observation window protection). Compressed air) A plasma flame observation window protecting gas (for example, compressed air for protecting a plasma flame observation window) is supplied from a supply port 31. Fluorocarbons and chlorofluorocarbons (for example, CFC-ll; CCl 3 F) supplied from the water or water vapor supply port 26 are sufficiently decomposed by the reaction nozzle 24 and the combustion cylinder 29 by the generated high-temperature plasma arc jet.

(a)第1の手段は、図1に示すように、常温で液体のフロン類を耐圧容器に移送・充填するためのフロン類耐圧容器移送充填手段MFである。   (A) As shown in FIG. 1, the first means is a chlorofluorocarbon pressure vessel transfer / filling means MF for transferring and filling chlorofluorocarbons at room temperature into the pressure vessel.

(b)第2の手段は、図2に示すように、耐圧容器に充填され、常温で液体のフロン類を気化してプラズマアーク発生手段PAに供給するためのフロン類気化供給手段VFである。   (B) The second means, as shown in FIG. 2, is a fluorocarbon vaporization supply means VF that is filled in a pressure vessel and vaporizes liquid fluorocarbons at room temperature and supplies them to the plasma arc generation means PA. .

(c)第3の手段は、図3に示すように、供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段PAの外部で加熱装置13によって気化した後でプラズマアーク分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段PAである。この第3の手段は、第1の手段または第2の手段または両者を含むときは通常実用化されているプラズマアーク方式(手段)であってもよく、また、水または水蒸気を供給してフロン類をプラズマジェットで分解反応させる最新技術のプラズマアーク方式(手段)であってもよい。   (C) The third means, as shown in FIG. 3, performs the plasma arc decomposition / detoxification treatment after vaporizing the supplied chlorofluorocarbons at the normal temperature by the heating device 13 outside the plasma arc generating means PA. This is a plasma arc generating means PA. The third means may be a plasma arc system (means) that is normally put into practical use when the first means or the second means or both are included. It may be a state-of-the-art plasma arc method (means) in which a kind is decomposed by a plasma jet.

上記第1のフロン類を耐圧容器に充填するためのフロン類耐圧容器移送充填手段MFでは、図1に示すように、常温で液体のフロン類は通常、耐圧容器(10−a)に回収されていないために、先端にフィルタ1のついた採取管2をキャップアジィー4の吐出ポート側に取り付け、空気注入ポート側にエアーレギュレータ(5−a)と開閉コック6とを取り付け、エアー圧力で吐出ポート(4−a)によって液体フロン類を耐圧容器(10−a)の液体ポート(9−a)を通って耐圧容器(10−a)へ移す。   In the chlorofluorocarbon pressure vessel transfer and filling means MF for filling the first chlorofluorocarbon into the pressure vessel, as shown in FIG. 1, chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are usually recovered in the pressure vessel (10-a). Therefore, the sampling tube 2 with the filter 1 at the tip is attached to the discharge port side of the cap assembly 4, and the air regulator (5-a) and the open / close cock 6 are attached to the air injection port side. The liquid chlorofluorocarbons are transferred to the pressure vessel (10-a) through the liquid port (9-a) of the pressure vessel (10-a) by the discharge port (4-a).

上記第2のフロン類を供給するためのフロン類気化供給手段VFでは、図2に示すように、液体フロン類が充填された耐圧容器(10−b)の液体ポート(9−b)に液体フロン類供給用管の一方を接続し、他方をスタンド12に固定した加熱装置13で気化したフロン類吐出ポート15に接続する。   In the fluorocarbon vaporization supply means VF for supplying the second fluorocarbons, as shown in FIG. 2, liquid is supplied to the liquid port (9-b) of the pressure resistant container (10-b) filled with liquid fluorocarbons. One of the chlorofluorocarbon supply pipes is connected, and the other is connected to the fluorocarbon discharge port 15 vaporized by the heating device 13 fixed to the stand 12.

加熱装置13のフロン類吐出ポート15に保温措置を施したフロン類供給用管16の一方を接続し、他方をプラズマアーク発生手段PAのフロン類吐出ポート15に接続する。耐圧容器(10−b)の気体ポート(11−b)にエアーレギュレータ(5−b)を通じて、耐圧容器(10−b)内に空気を送り込むことによって、加熱装置13で充分に気化されたフロン類が所定量でプラズマアーク発生手段PAに供給できる。   One end of the chlorofluorocarbon supply pipe 16 subjected to heat insulation is connected to the chlorofluorocarbon discharge port 15 of the heating device 13, and the other is connected to the chlorofluorocarbon discharge port 15 of the plasma arc generating means PA. Freon sufficiently vaporized by the heating device 13 by sending air into the pressure vessel (10-b) through the air regulator (5-b) to the gas port (11-b) of the pressure vessel (10-b). Can be supplied to the plasma arc generating means PA in a predetermined amount.

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲の技術的範囲は、上記実施の形態に記載された説明ではなくて、特許請求の範囲に記載された構成よって定まり、特許請求の範囲に記載された構成と均等な構成のすべてが特許請求の範囲の技術的範囲に含まれる。   The embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and do not limit the scope of the claims. The technical scope of the claims is determined not by the description described in the above embodiment, but by the configuration described in the claims, and all the configurations equivalent to the configurations described in the claims. Is included in the technical scope of the claims.

本発明は、下記の各実施の形態に対して実益性を伴った有益性があるので、産業上の利用可能性を裏付ける。   The present invention has utility with utility for each of the following embodiments, thus supporting industrial applicability.

本発明は、第1に、常温で液体のフロン類を容器から耐圧容器へ圧縮空気を使用して移送・充填する。第2に、その後、常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段に供給する。第3に、アークプラズマ発生手段によって分解・無害化する。これらの第1ないし第3の装置および方法の構成を有し、これらの構成のいずれか一つまたは2以上が一体となったプラズマアーク分解方法および分解装置を実用化することができる。   In the present invention, first, chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are transferred and filled from a container to a pressure vessel using compressed air. Secondly, after that, chlorofluorocarbons, which are liquid at room temperature, are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means, and then supplied to the plasma arc generating means. Third, it is decomposed and detoxified by the arc plasma generating means. The plasma arc decomposition method and decomposition apparatus having the configurations of the first to third apparatuses and methods, and any one or more of these configurations integrated can be put into practical use.

常温で液体のフロン類を耐圧容器に移送・充填するためのフロン類耐圧容器移送充填手段概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a chlorofluorocarbon pressure vessel transfer filling means for transferring and filling liquid chlorofluorocarbons into a pressure vessel at room temperature. 耐圧容器に充填され、常温で液体のフロン類を気化してプラズマアーク発生手段に供給するためのフロン類気化供給手段概略図である。FIG. 3 is a schematic view of chlorofluorocarbon vaporization supply means for evaporating liquid chlorofluorocarbons filled in a pressure-resistant container and supplying them to plasma arc generation means. 供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって気化した後でプラズマアークで分解・無害化処理するためのプラズマアーク発生手段概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of plasma arc generating means for decomposing and detoxifying with plasma arc after vaporizing supplied fluorocarbons at room temperature by a heating device outside the plasma arc generating means.

符号の説明Explanation of symbols

MF フロン類耐圧容器移送充填手段
VF フロン類気化供給手段
PA プラズマアーク発生手段
1 フィルタ
2 採取管
3 液体フロン類容器
4 キャップアジィー
4−a フロン類吐出ポート
4−b 空気注入ポート
4−c 採取管連結ポート
5−a エアーレギュレータ
5−b エアーレギュレータ
6 開閉コック
7−a 圧縮空気導入ホース
7−b 圧縮空気導入ホース
7−c 圧縮空気導入ホース
8−a 液体フロン類移送ホース
8−b 液体フロン類移送ホース
9−a 液体ポート
9−b 液体ポート
10−a 耐圧容器
10−b 耐圧容器
11−a 気体ポート
11−b 気体ポート
12 金属製のスタンド
13 加熱装置
14 温度コントローラ
15 気化したフロン類吐出ポート
16 保温措置を施したフロン類供給管
17 プラズマトーチ
18 トーチハンドル
19 トーチ着脱ハンドル
20 プラズマトーチ支持体
21 プラズマジェット形成気体(プラズマジェット形成用圧縮空気)供給口
22 陽極ノズル(プラス電極)
23 冷却ブラケット
23−a 冷却ブラケット冷却水出口
23−b 冷却ブラケット冷却水入口
24 反応ノズル
25 プラズマ拘束ノズル
26 フロン類および水又は水蒸気供給口
27 一酸化炭素酸化気体(一酸化炭素酸化用圧縮空気)供給口
28 気体供給用フランジ
29 燃焼筒
30 プラズマ炎観測用窓
31 プラズマ炎観測用窓保護気体(プラズマ炎観測用窓保護用圧縮空気)供給口。
MF chlorofluorocarbon pressure-resistant container transfer filling means VF chlorofluorocarbon vaporization supply means PA plasma arc generating means 1 filter 2 sampling tube 3 liquid chlorofluorocarbon containers 4 cap assembly 4-a chlorofluorocarbons discharge port 4-b air injection port 4-c sampling Pipe connection port 5-a Air regulator 5-b Air regulator 6 Open / close cock 7-a Compressed air introduction hose 7-b Compressed air introduction hose 7-c Compressed air introduction hose 8-a Liquid chlorofluorocarbon transfer hose 8-b Liquid chlorofluorocarbon Liquid transfer hose 9-a Liquid port 9-b Liquid port 10-a Pressure vessel 10-b Pressure vessel 11-a Gas port 11-b Gas port 12 Metal stand 13 Heating device 14 Temperature controller 15 Vaporized fluorocarbon discharge Port 16 Fluorocarbon supply pipe 17 with heat insulation measures 17 Plasma torch 18 Torch handle 19 Torch attaching / detaching handle 20 Plasma torch support 21 Plasma jet forming gas (compressed air for forming plasma jet) supply port 22 Anode nozzle (plus electrode)
23 Cooling bracket 23-a Cooling bracket cooling water outlet 23-b Cooling bracket cooling water inlet 24 Reaction nozzle 25 Plasma restraint nozzle 26 CFCs and water or water vapor supply port 27 Carbon monoxide oxidizing gas (compressed air for carbon monoxide oxidation) Supply port 28 Gas supply flange 29 Combustion cylinder 30 Plasma flame observation window 31 Plasma flame observation window protective gas (compressed air for plasma flame observation window protection) supply port.

Claims (6)

常温で液体のフロン類を容器から耐圧容器へ圧縮空気を用いて移送・充填するプラズマアーク分解方法。   A plasma arc decomposition method in which liquid chlorofluorocarbons are transferred and filled from a container to a pressure vessel using compressed air at room temperature. 常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段に供給するプラズマアーク分解方法。     A plasma arc decomposition method in which chlorofluorocarbons which are liquid at room temperature are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means and then supplied to the plasma arc generating means. 供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化し、プラズマアークを発生させ、アルゴンガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェットを形成する気体を供給し、フロン類とともに、水または水蒸気を供給してフロン類をプラズマジェットで分解反応させるプラズマアーク分解方法。     The supplied chlorofluorocarbons at room temperature are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means to generate a plasma arc, and supply a gas that forms a plasma jet having an arc voltage higher than that of argon gas. Arc decomposition method in which chlorofluorocarbons are decomposed and reacted with a plasma jet by supplying water or water vapor together with the above. 常温で液体のフロン類を容器から耐圧容器へ圧縮空気を用いて移送・充填するプラズマアーク分解装置。   Plasma arc decomposition equipment that transfers and fills fluorocarbons at room temperature from a container to a pressure vessel using compressed air. 常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化してからプラズマアーク発生手段に供給するプラズマアーク分解装置。     A plasma arc decomposition apparatus that supplies liquid fluorocarbons at room temperature to a plasma arc generating means after they are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means. 供給された常温で液体のフロン類をプラズマアーク発生手段の外部で加熱装置によって充分に気化し、電極外周にプラズマアークを通過させ、貫通孔を有するプラズマ拘束ノズルとプラズマ拘束ノズルの外周から下方までプラズマジェットを形成する気体を通過させプラズマアークを極点で形成させる部分の長さの貫通孔を有する陽極ノズルと陽極ノズルの下方にプラズマジェットおよびフロン類を通過させ貫通孔を有する反応ノズルとを配置し、電極と陽極ノズルの極点との間でプラズマアークを発生させ、プラズマ拘束ノズル外周上方からアルゴンガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェットを形成する気体を供給し、反応ノズルの上方に中心方向に貫通させた投入孔からフロン類とともに、水または水蒸気を供給するプラズマアーク発生手段PAによって分解・無害化するプラズマアーク分解装置。   The supplied fluorocarbons at room temperature are sufficiently vaporized by a heating device outside the plasma arc generating means, and the plasma arc is passed through the outer periphery of the electrode, from the outer periphery of the plasma constraining nozzle and the plasma constraining nozzle to the lower part. An anode nozzle having a through-hole having a length that allows a gas to form a plasma jet to pass and a plasma arc to be formed at a pole point, and a reaction nozzle having a through-hole through which the plasma jet and chlorofluorocarbons pass are arranged below the anode nozzle Then, a plasma arc is generated between the electrode and the pole of the anode nozzle, a gas that forms a plasma jet having an arc voltage higher than that of the argon gas is supplied from above the outer periphery of the plasma constraining nozzle, and in the center direction above the reaction nozzle. Plasma arc that supplies water or water vapor together with chlorofluorocarbons from a through-hole inserted Plasma arc decomposition apparatus for decomposing and detoxifying the raw unit PA.
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