JP2005097103A - Method for production of cast part made out of composite material and cast part consisting of ceramic or glass composite - Google Patents

Method for production of cast part made out of composite material and cast part consisting of ceramic or glass composite Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid shrinkage in drying in the production of a quartz glass body by slip casting and to improve the strengths of a cast part consisting of a ceramic or glass composite. <P>SOLUTION: The subject method for the production of the cast part made out of a composite material starts from a known method for production of the cast part made out of the composite material by producing a composite slip containing a base material particle having ≤10 μm particle diameter and a base material granule having ≥10 μm particle diameter, homogenizing the composite slip, casting the composite slip into a mold to form a blue body, drying the blue body to form a porous green body and aggregating the green body by heating. In such a case, the composite slip having at least 80 wt.% solid-containing material is casted into the mold having a liquid impermeable mold wall, and after that, is cooled to a cooling temperature equal to or below a liquid freezing point of the liquid slip to eliminate the shrinkage in drying. In the drying process, the freezed blue body is heated to a temperature equal to or below the boiling point of the liquid. The cast part produced by the method has uniformly distributed fine pores and density and has improved strength. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、10μm以下のオーダーの素材粒子と10μm以上のオーダーの素材顆粒とを含む複合スリップをつくり、その複合スリップを均質化し、モールドにその複合スリップを流しこんでブルーボディ(凍結ボディ)形成し、そのブルーボディを乾燥して多孔性グリーンボディを形成し、そしてそのグリーンボディを熱凝集させることにより複合材からキャスティングを製造する方法に係るものである。   The present invention creates a composite slip containing material particles of the order of 10 μm or less and material granules of the order of 10 μm or more, homogenizes the composite slip, and flows the composite slip into a mold to form a blue body (frozen body). The blue body is then dried to form a porous green body, and the green body is thermally agglomerated to produce a casting from the composite.

さらに本発明は、セラミックもしくはガラス質の複合材料のキャスティングであって、その材料からからつくられた均質マトリックスを有し、それにはその材料の粒子が埋め込まれており、粒子の大きさは10μmより大きく、そしてそれの壁内でキャスティング軸が垂直方向に向いているようにしたキャスティングに係るものである。   Furthermore, the present invention is a casting of a ceramic or glassy composite material having a homogeneous matrix made from the material, in which particles of the material are embedded, and the particle size is from 10 μm It relates to a casting which is large and has its casting axis oriented vertically in its wall.

いわゆるスリップキャスティング法はセラミックもしくはガラス質のコンポーネント、特に石英ガラスのコンポーネントを製造するセラミック工業における標準的な方法である。DE10114484A1はSiOの含有率の高い複合材をつくるスリップキャスティングを開示している。フィルター材料として働く石英ガラスの顆粒は、全部合成生成のSiOからできているSiO含有マトリックスに埋め込まれている。マトリックスのSiOの含有量は少なくとも99重量%であり、そしてそれは少なくとも2つの粒子部分からなり、それぞれナノスケールの非晶質、合成生成のSiOの顆粒として形成され、一次粒子の平均の大きさは100nm以下である。 The so-called slip casting process is a standard method in the ceramic industry for producing ceramic or glassy components, in particular quartz glass components. DE 10114484 A1 discloses slip casting for producing composites with a high SiO 2 content. The quartz glass granules that serve as filter material are all embedded in a SiO 2 containing matrix made of synthetically produced SiO 2 . The SiO 2 content of the matrix is at least 99% by weight, and it consists of at least two particle parts, each formed as a nanoscale amorphous, synthetically produced SiO 2 granule, the average size of the primary particles The thickness is 100 nm or less.

この既知の方法により得られた複合材は細孔は閉じられており、そしてそれは全部結晶質ではなく、それの密度は2.1g/cmである。それは高い熱衝撃抵抗と化学抵抗とにより特徴付けられている。それ故、その複合材はソーラーシリコンを溶かす永久モールドとして使用するのに適している。しかしその複合材をつくる合成出発材料は高価である。 The composite obtained by this known method has closed pores and it is not entirely crystalline, and its density is 2.1 g / cm 3 . It is characterized by high thermal shock resistance and chemical resistance. Therefore, the composite material is suitable for use as a permanent mold for melting solar silicon. However, the synthetic starting materials that make up the composite are expensive.

スリップキャスティング法により石英ガラスるつぼをつくる別の方法はDE19943103A1に説明されている。ここでは高純度の非晶質SiO粒子の懸濁液から出発し、それの充填度は少なくとも83.96重量%である。このSiOの高い充填度は、2つのモードの粒度分布を持つSiO粒子を使用することにより達成される。その使用されるSiOの約95%が酸水素のガス炎内でつくられる平均粒子の大きさが30μmのSiOの粒子である。 Another method for producing quartz glass crucibles by slip casting is described in DE 19943103A1. Here, starting from a suspension of high-purity amorphous SiO 2 particles, the degree of filling is at least 83.96% by weight. The SiO 2 high degree of filling is achieved by the use of SiO 2 particles having a particle size distribution of the two modes. Its average size of particles about 95% of SiO 2 used is made of a gas flame of the oxyhydrogen is SiO 2 particles 30 [mu] m.

耐熱燒結キャスティングをつくる上述の方法とその発明によるキャスティングとはDE69306169(T2)から知られる。そこに説明されている石英ガラスの物品では細かいSiOの粒子の2つの部分が、40μmと100μmとの間の大きさのSiOの粗粒子のSiO含有の複合材のための結合層を形成している。その2つの細かいSiOの粒子の一方は0.2μmと0.6μmとの間の大きさの球形の粒子からつくられた石英ダストとして存在する。この使用される好ましい石英ダストは溶融プロセスと二酸化ジルコニウムの還元から取り出される。石英ガラス出発複合材は乾式ミリング・プロセスにおいて予め混合され、そしてそれから安定剤を加えてスリップをつくる。個々の複合材の重量成分は54%(粗いSiOの粒子)、33%(細かいSiOの粒子)、そして13%(石英ダスト)である。真空下でスリップのガス抜きをやり、そして石膏モールドに流し込む。それによりつくられたグリーンボディを1050℃の炉で乾燥し、燒結して複合コンポーネントを得る。この製造プロセスの結果としてのキャスティングはキャスティング軸を示しており、この軸はキャスティングプロセス中垂直方向に形成される。 The above-mentioned method for producing heat-resistant sintered casting and the casting according to the invention are known from DE 69306169 (T2). Two portions of the fine SiO 2 particles in the article of quartz glass is described therein is, 40 [mu] m and 100μm between the size of the binding layer for the SiO 2 content of the composite material of the coarse particles of SiO 2 Forming. One of the two fine SiO 2 particles exists as quartz dust made from spherical particles with a size between 0.2 μm and 0.6 μm. The preferred quartz dust used is taken from the melting process and the reduction of zirconium dioxide. The quartz glass starting composite is premixed in a dry milling process and then a stabilizer is added to create a slip. The weight components of the individual composites are 54% (coarse SiO 2 particles), 33% (fine SiO 2 particles), and 13% (quartz dust). Degas slip under vacuum and pour into gypsum mold. The green body thus produced is dried in a furnace at 1050 ° C. and sintered to obtain a composite component. The resulting casting of this manufacturing process shows the casting axis, which is formed vertically during the casting process.

粗い石英ガラスはそのコンポーネントのミクロ構造の典型であり、その粗粒は微粒子の、そして石英ダストの球形粒子の比較的連続したマトリックスに埋め込まれている。そのコンポーネントの開孔率は13%であり、そしてそれの密度は1.91g/cmである。結晶学的分析によればクリストバライトの含有は2%以下である。 Coarse quartz glass is typical of the component microstructure, and the coarse grains are embedded in a relatively continuous matrix of fine particles and spherical particles of quartz dust. The porosity of the component is 13% and its density is 1.91 g / cm 3 . According to crystallographic analysis, the content of cristobalite is 2% or less.

それの開いた、すなわち連続した、有孔性のためその既知の複合材を、密度もしくは高純度が重要である場合はコンポーネントに無制限に使用できない。孔を通ってコンポーネントの壁に溶けた金属が浸透して漏れる。   Because of its open, ie continuous, porosity, its known composite cannot be used indefinitely on components where density or high purity is important. The molten metal penetrates into the component walls through the holes and leaks.

DE69306169(T2)の方法の変形では、溶融プロセスと二酸化ジルコンの還元中に得られた石英ダストの代わりに轢かれた、ミクロに轢かれた石英材料を使用する。しかし、そのできた石英ガラス物品の密度は低く、そして曲げ強度は非常に小さい。   In a variant of the method of DE 69306169 (T2), a micro-worn quartz material is used instead of the quartz dust obtained during the melting process and the reduction of zircon dioxide. However, the resulting quartz glass article has a low density and a very low flexural strength.

スリップキャスティング法で生じる問題は、特に乾燥と燒結中のグリーンボディの収縮から生じる。収縮ひび割れが起き、そしてコンポーネントの寸法の安定性が非常に低いことがしばしばである。   Problems arising with the slip casting process arise in particular from shrinkage of the green body during drying and sintering. Shrinkage cracks often occur and component dimensional stability is often very low.

乾燥における収縮は、乾燥後取り除くコアの周りにスリップを流し込むいわゆるコアキャスティングによってコンポーネントをつくるのを一層難しくしている。乾燥における収縮のためグリーンボディはコアへ収縮していって割れたりするし、コアを取り除こうとすると必ずグリーンボディを壊してしまう。   Shrinkage in drying makes it more difficult to make components by so-called core casting in which slip is cast around the core that is removed after drying. Due to shrinkage during drying, the green body shrinks into the core and cracks, and whenever you try to remove the core, the green body breaks.

懸濁液を吸収するモールドを使うため構造を弱くすることになる孔を並置した形のプロナウンスドキャスティングコアを形成することがしばしばある。大型のコンポーネントは限られた限度でそして簡単な設計でしか製作できず、そしてモールドからのブルーボディの取り外しを容易にするため円筒状の壁をつくらなければならないということもしばしば起こった。   Often, a pronouncing casting core is formed with juxtaposed holes that would weaken the structure due to the use of a mold that absorbs the suspension. Larger components can only be produced with limited and simple designs, and it has often occurred that a cylindrical wall must be created to facilitate the removal of the blue body from the mold.

このようなスリップキャスティング法は形状の複雑なコンポーネントの廉価な製作を可能とするので、石英ガラスの製作における前記の欠点を回避することが非常に望まれている。   It is highly desirable to avoid the aforementioned drawbacks in the production of quartz glass, since such slip casting methods allow for the inexpensive production of components with complex shapes.

本発明の目的は、乾燥時における収縮によって生じる欠点を小さくするか、もしくはそのような欠点をなくしたスリップキャスティングによる石英ガラスボディの製法を提供することである。本発明の別の目的は、正確な円筒状の壁を有する構造のコンポーネントの製作を容易とし、そして構造の大きいコンポーネントの製作に特に適した方法を提供することである。さらに、本発明の目的は高い強度を特徴とするセラミックもしくはガラス質の複合材のキャスティングを提供することである。   An object of the present invention is to provide a method for producing a quartz glass body by slip casting in which defects caused by shrinkage during drying are reduced or eliminated. Another object of the present invention is to facilitate the fabrication of structural components having precise cylindrical walls and to provide a method particularly suitable for the fabrication of large structural components. Furthermore, it is an object of the present invention to provide a casting of a ceramic or glassy composite characterized by high strength.

本発明の方法では、少なくとも80重量%の固体を含有する複合スリップを液体不浸透性のモールド壁を備えるモールドに流し込み、流し込んだ後でその複合スリップを液体の凍結温度以下の冷却温度へ冷却して凍結ブルーボディを形成し、そして乾燥プロセスでは液体の沸点温度以下の加熱温度へその凍結ブルーボディを加熱する。   In the method of the present invention, a composite slip containing at least 80% by weight of solids is poured into a mold having a liquid-impermeable mold wall, and after pouring, the composite slip is cooled to a cooling temperature below the freezing temperature of the liquid. To form a frozen blue body, and in the drying process, the frozen blue body is heated to a heating temperature below the boiling point of the liquid.

つくろうとする複合材は、その材料の粗粒が埋められている均質なマトリックスから成る。その材料は石英ガラス、窒化珪素、炭化珪素、珪酸ジルコニウム、珪素もしくはこれらの混合である。   The composite to be made consists of a homogeneous matrix in which the coarse grains of the material are embedded. The material is quartz glass, silicon nitride, silicon carbide, zirconium silicate, silicon or a mixture thereof.

本発明の方法によればスリップキャスティング法によって、またコアキャスティングによって複合材からひび割れのないキャスティングをつくれる。そのための必須条件はグリーンボディを乾燥するときの高い強度と非常に少ない収縮である。この要件は本発明の以下の特徴により満たされる。
1.複合スリップは、平均の粒子の大きさが10μm以下の細粒とそれ以上の粗粒とを含んでいる。それの特徴としては固体含有率が少なくとも80重量%、好ましくは少なくとも90重量%である。この高い固体含有と粗粒の添加との組合せによりグリーンボディの収縮を食いとめ、形状安定性を改善し、そのことは複合材からつくられたコンポーネントの寸法の安定に効果的となるのである。
2.複合スリップを少なくとも一つの液体不浸透性のモールド壁を備えるモールドに流し込む。液体不浸透性のモールド壁は、懸濁している粒子が未だ自由に動いている状況での複合スリップからの液体の損失を防ぐ。このようでないとその材料の粒子の移動性により材料は吸収モールドの壁へ移っていってしまうことになり、そしてキャスティングコアを形成しようとし、もしくは材料を非均質としてしまう。
このことが固体の均質分布と高い強度とを有するコアーのないブルーボディをつくることを見出した。程度は少ないけれどやはりこの有利な効果が認められるのは、その少なくとも一つの不浸透性のモールド壁はさておいて、モールドが液体を浸透させる壁部分そして気泡をその中に捉える壁部分を含むときである。
完全な不浸透性のモールド壁では複合スリップの「垂れ下がり」はなく、仕上げ作業を必要としない滑らかなキャスティング表面をつくる。少なくとも一つの不浸透性のモールド壁はさておいて、気体浸透性のモールド壁もしくはガス抜きをし、そして表面泡の形成を防ぐ気体浸透性のモールド壁部分をモールドは備えていることもある。テフロン被膜の金属シート(例えば、アルミニュームシートもしくは鋼板)もモールドを形成する材料として有用である。別の好ましいモールド材料は珪素であり、それの使用は、使用前に加熱して乾燥させれば欠点のない(泡のない)表面をつくる。
3.複合スリップをモールド内で液体の凍結点以下の冷却温度へ冷却して凍結ブルーボディを形成する。キャスティング中、キャスティングの前もしくは後に懸濁液の凍結点以下の温度へモールドを冷却する。これは液体に結晶を形成させ、そして水の場合には氷を形成させて特にサブミクロン範囲の粒子を凝結させ、そしてまだ粘性のブルーボディにおける分離もしくは沈降を阻止する。できるだけ針状結晶の形成を抑止するため凍結プロセスは迅速に実施する。
4.乾燥と凝集のため固化したブルーボディを凍結状態で液体の沸点以下の加熱温度で加熱する。比較的緩慢な加熱であるため液体は緩慢に蒸発して、凍結ブルーボディの内側で沸騰する液体により生じる強いガス生成と、それに伴うブルーボディへの損傷とは回避される。衝撃的凍結とそれに続く凍結状態での緩慢な加熱とによりグリーンボディの乾燥のこの驚くべき有利な効果は複合スリップとブルーボディの低水分含有によってかなり促進されるのである。
凍結状態のブルーボディはモールドから外され、それから乾燥される。しかしながら、ブルーボディの乾燥は、もしも液体の蒸発をあまり阻害しなければモールドに入れたままで行うこともできる。
According to the method of the present invention, a crack-free casting can be made from a composite material by slip casting and by core casting. The prerequisite for this is high strength and very little shrinkage when the green body is dried. This requirement is met by the following features of the present invention.
1. The composite slip includes fine particles having an average particle size of 10 μm or less and coarse particles having a larger particle size. It is characterized by a solids content of at least 80% by weight, preferably at least 90% by weight. This combination of high solids content and the addition of coarse grains counteracts the shrinkage of the green body and improves shape stability, which is effective in stabilizing the dimensions of components made from composites.
2. The composite slip is poured into a mold comprising at least one liquid impermeable mold wall. The liquid impervious mold wall prevents liquid loss from the composite slip in situations where suspended particles are still free to move. Otherwise, the mobility of the particles of the material will cause the material to move to the walls of the absorbent mold and attempt to form a casting core or make the material non-homogeneous.
This has been found to produce a coreless blue body with a homogeneous distribution of solids and high strength. To a lesser extent, this advantageous effect is still observed when the mold includes a wall portion that allows liquid to penetrate and a wall portion that traps bubbles therein, aside from its at least one impermeable mold wall. is there.
A fully impervious mold wall eliminates the “sag” of composite slip, creating a smooth casting surface that does not require finishing operations. Apart from at least one impermeable mold wall, the mold may also comprise a gas permeable mold wall or a gas permeable mold wall portion that vents and prevents the formation of surface foam. A Teflon-coated metal sheet (for example, an aluminum sheet or a steel plate) is also useful as a material for forming a mold. Another preferred mold material is silicon, and its use produces a defect-free (bubble-free) surface if heated and dried prior to use.
3. The composite slip is cooled in the mold to a cooling temperature below the freezing point of the liquid to form a frozen blue body. During casting, the mold is cooled to a temperature below the freezing point of the suspension before or after casting. This causes the liquid to form crystals and in the case of water to form ice, condensing particles, especially in the submicron range, and preventing separation or settling in the still viscous blue body. The freezing process is carried out quickly to suppress the formation of needle-like crystals as much as possible.
4). The blue body solidified for drying and aggregation is heated in a frozen state at a heating temperature below the boiling point of the liquid. Due to the relatively slow heating, the liquid slowly evaporates, avoiding the strong gas generation caused by the liquid boiling inside the frozen blue body and the resulting damage to the blue body. This surprisingly advantageous effect of drying the green body by impact freezing followed by slow heating in the frozen state is considerably promoted by the low moisture content of the composite slip and blue body.
The frozen blue body is removed from the mold and then dried. However, the drying of the blue body can also be carried out in the mold if it does not significantly inhibit the evaporation of the liquid.

次いで行われるグリーンボディの熱強化(材料の溶融点以下の温度での燒結)が機械的に安定したキャスティングをつくり、このキャスティングは細孔も密度分布も均一で、開孔度も少なく、そして全収縮(乾燥と燒結とにおける収縮)が少ない(4%以下、2.5%以下でさえある)という特徴がある。   The subsequent heat strengthening of the green body (sintering at temperatures below the melting point of the material) creates a mechanically stable casting that is uniform in pore size and density distribution, has low openness, and is completely It is characterized by low shrinkage (shrinkage between drying and sintering) (4% or less, even 2.5% or less).

マイナス20℃とマイナス80℃との間の冷却温度、好ましくはマイナス30℃とマイナス60℃との間の冷却温度が特に有利である。   A cooling temperature between minus 20 ° C. and minus 80 ° C., preferably between minus 30 ° C. and minus 60 ° C., is particularly advantageous.

冷却温度は液体の凍結温度によって変わる。上記の限定値は、凍結温度が0℃付近の液体、例えば水もしくは水と有機化合物との均質な混合液に適応する。冷却温度が液体の凍結温度よりも低ければ低いほど、複合スリップの固化はより迅速であり、そして凍結ブルーボディの強度はより高くなる。石英ガラス(材料)のキャスティングの場合、テトラエチルオルトシリケート(TEOS)を含む液体を使用するのが好ましい。その液体のTEOSの量は複合スリップ内のSiOの量を増大させることに貢献し、そして強度を高めるのに、さらに凍結構造をなくすのに寄与する。 The cooling temperature varies depending on the freezing temperature of the liquid. The above limit value applies to a liquid having a freezing temperature of around 0 ° C., for example, water or a homogeneous mixture of water and an organic compound. The lower the cooling temperature is below the freezing temperature of the liquid, the faster the composite slip solidifies and the higher the strength of the frozen blue body. In the case of casting of quartz glass (material), it is preferable to use a liquid containing tetraethylorthosilicate (TEOS). The amount of TEOS in the liquid contributes to increasing the amount of SiO 2 in the composite slip and further contributes to eliminating the frozen structure to increase strength.

さらに、加熱温度が40℃と90℃との間にあるとき、好ましくは50℃と80℃との間にあると有用であることが判っている。   Furthermore, it has been found useful when the heating temperature is between 40 ° C. and 90 ° C., preferably between 50 ° C. and 80 ° C.

40℃と90℃との間の温度でその衝撃凍結ブルーボディを加熱することにより液体を除去することが結果としてのグリーンボディの強度を高める。   Removing the liquid by heating the impact frozen blue body at a temperature between 40 ° C. and 90 ° C. increases the strength of the resulting green body.

好ましくは、湿気を除いた乾燥室内で凍結ブルーボディを乾燥する。   Preferably, the frozen blue body is dried in a drying chamber excluding moisture.

例えばその乾燥室は空気を循環させたキャビネットもしくはマイクロ波乾燥炉である。乾燥室からの湿気の除去は水蒸気の凝縮を防ぎ、表面構造を破壊し、グリーンの強度を減少させる表面再凍結を防ぐ。特にマイクロ波乾燥の場合は温度が90℃を越えないようにすることに注意を払わなければならない。   For example, the drying chamber is a cabinet or a microwave drying oven in which air is circulated. Removal of moisture from the drying chamber prevents water vapor condensation, destroys the surface structure, and prevents surface refreezing which reduces the strength of the green. Care must be taken that the temperature does not exceed 90 ° C., especially in the case of microwave drying.

第一の好ましい方法の変形態様では、液体の凍結点以下の温度へ冷却したモールドへ複合スリップを流し込むのが有利である。   In a first preferred method variant, it is advantageous to pour the composite slip into a mold cooled to a temperature below the freezing point of the liquid.

モールドの温度は複合スリップのキャスティング中既に液体の凍結点以下になっている。このことが複合スリップを急速に冷却させ、そして沈降を防ぐ。   The mold temperature is already below the freezing point of the liquid during casting of the composite slip. This quickly cools the composite slip and prevents settling.

別の同様に好ましい方法の変形態様では、周囲温度よりも高い温度に加熱したモールドへ複合スリップを流し込む。   In another similarly preferred process variant, the composite slip is poured into a mold heated to a temperature above ambient temperature.

複合スリップのキャスティング前にこうすることが、モールド壁に周囲空気から水分を凝結させるのを防ぐ。そのような凝結がブルーボディの表面損傷を生じさせることがある。それ故、このやり方は、高い表面の質を要求されるとき、そして空気の湿度が高い場合に行われる。   This prior to casting the composite slip prevents moisture from condensing from the ambient air on the mold wall. Such condensation can cause blue body surface damage. This practice is therefore performed when high surface quality is required and when the humidity of the air is high.

グリーンボディの強度は結晶(氷の結晶)が非常に大きく成長すると損なわれる。石英ガラス(材料)の場合には懸濁液内に溶けているSiOが氷の結晶の成長を阻止するものとして作用するけれども、複合スリップに氷の結晶の成長を阻止する物質が更に加わることはそれなりに有利である。 The strength of the green body is impaired when crystals (ice crystals) grow very large. In the case of quartz glass (material), SiO 2 dissolved in the suspension acts as an inhibitor of ice crystal growth, but the composite slip is further added with a substance that inhibits ice crystal growth. Is reasonably advantageous.

氷の結晶の成長を阻止する物質の添加による効果とは、多くの氷の結晶ができていたのができるだけ少なくなるということである。このタイプの有用な物質は、アルコール、例えばイソプロパノール、グリコール、ポリエチレングリコール、ポリアクリレートそして有機珪素化合物例えばTEOS、同じ目的を達成するナノスケールの粒子の添加である(後の場合5重量%を越えない、好ましくは1重量%を越えない)。   The effect of adding a substance that inhibits the growth of ice crystals is that as many ice crystals as possible are made as few as possible. Useful materials of this type are the addition of alcohols such as isopropanol, glycols, polyethylene glycols, polyacrylates and organosilicon compounds such as TEOS, nanoscale particles that achieve the same purpose (in the latter case not exceeding 5% by weight) Preferably not exceeding 1% by weight).

石英ガラスのキャスティングでは複合スリップは、10μm、好ましくは100μm以上のオーダーの石英顆粒を含んでおり、そして少なくとも1.75g/cmの密度でモールドに注入される。 In the casting of quartz glass, the composite slip contains quartz granules on the order of 10 μm, preferably 100 μm or more and is injected into the mold at a density of at least 1.75 g / cm 3 .

この場合複合スリップは10μm以下のSiO細粒と平均粒子の大きさが10μm以上、好ましくは100μm以上のSiO粗粒とを含んでおり、高い固体含有となる少なくとも1.75g/cmの密度を特徴としている。この密度はSiOの少なくとも80重量%の固体含有にほぼ一致する。グリーンボディの熱凝集がこの場合800℃と1440℃との間の温度で起きるのが好ましい。燒結によりつくられる不透明な石英ガラスの機械的に安定なキャスティングは細孔と密度分布とが均一であり、そして開孔率が低く、全収縮(乾燥と燒結とにおける収縮)は低く、2%以下であり、そして密度は高くて、少なくとも1.80g/cmもある。 In this case, the composite slip contains SiO 2 fine particles of 10 μm or less and SiO 2 coarse particles having an average particle size of 10 μm or more, preferably 100 μm or more, and has a high solid content of at least 1.75 g / cm 3 . It is characterized by density. The density is approximately equal to at least 80% by weight of the solids-containing SiO 2. In this case, the thermal aggregation of the green body preferably takes place at temperatures between 800 ° C. and 1440 ° C. The mechanically stable casting of opaque quartz glass produced by sintering has uniform pores and density distribution, low porosity, low total shrinkage (shrinkage during drying and sintering), and less than 2% And the density is high, at least 1.80 g / cm 3 .

複合スリップの製造に関する以下の所見は石英ガラスが材料である場合を参照している。他の材料に対しては石英ガラスのパラメーターを幾つかのテストと当業者の知識とによって適応させることができる。   The following observations regarding the production of composite slips refer to the case where quartz glass is the material. For other materials, the parameters of quartz glass can be adapted by several tests and the knowledge of those skilled in the art.

グリーンボディの特に高い固体含有を実現するには、SiOの粒子を液体と混合することにより複合スリップをつくるとき、SiOの粒子の大きさと粒度分布とは15μmより大きくないD50値により、そして50μmより大きくないD90値により特徴付けられており、均質なベーススリップは少なくとも75重量%の固体を含有してつくられ、そして石英ガラスの顆粒を均質なベーススリップに混入し、複合スリップとする。 To achieve particularly high solids content of the green body, when the particles of SiO 2 making a composite slip by mixing a liquid, the D 50 value not greater than 15μm of the size and size distribution of the SiO 2 particles, And characterized by a D 90 value not greater than 50 μm, a homogeneous base slip is made containing at least 75% by weight of solids, and quartz glass granules are incorporated into the homogeneous base slip, To do.

SiOの顆粒をその液体の中で轢いてSiOの粒子と液体とを混合してSiOの粒子を得るのが好ましい。 Preferred obtain particles of SiO 2 by mixing SiO 2 particles and liquid caught in the liquid of SiO 2 granules.

一方で、ベーススリップの固体含有率を高くすることは特別な質の固体をスリップに含有させることによりできる。すなわち、その特別な質の固体とは細かくした非晶質のSiOの粒子で、それの大きさと粒度分布とは15μmより大きくないD50値により、そして50μmより大きくないD90値により特徴付けられている。 On the other hand, the solid content of the base slip can be increased by incorporating a special quality solid in the slip. That is, the special quality solid is finely divided amorphous SiO 2 particles whose size and size distribution are characterized by a D 50 value not greater than 15 μm and a D 90 value not greater than 50 μm. It has been.

この特別な質の固体は液体内でSiOの顆粒を轢くことによりつくるのが好ましく、効果的に轢く必要条件はベーススリップの固体含有率が高いことである。SiOの顆粒を轢くことはベーススリップの均質化に貢献し、そして轢く過程において液体における溶解限界までSiOが次第に溶解していくのでpH値も低下し、そのことは更にSiOの溶解を促進する。 This special quality solid is preferably made by rolling SiO 2 granules in a liquid, and the requirement for effective sowing is a high solids content of the base slip. Scattering the SiO 2 granules contributes to the homogenization of the base slip, and the SiO 2 gradually dissolves to the solubility limit in the liquid during the sowing process, so the pH value also decreases, which further reduces the dissolution of SiO 2 . Facilitate.

このようにして得られたベーススリップは粘着性であり、沈降の傾向を示すことはない。これは凝集への強い傾向により達成されるのであるが、それは高いグリーンの密度と高い均質性、そしてブルーボディとグリーンボディマトリックスを細かい孔の多孔性とすることになる。   The base slip obtained in this way is sticky and does not show a tendency to settle. This is achieved by a strong tendency to agglomerate, which results in high green density and high homogeneity, and a fine pore porosity in the blue body and green body matrix.

石英ガラスの顆粒の形の固体を均質のベーススリップへさらに混入することにより固体含有率を一層高められる。しかしながら、混合しそしてベーススリップが均質化した後になって石英ガラスの顆粒を加える。そうしないと、このことにより目詰まりが生じ、スリップの鋳込みを損なう。石英ガラスの顆粒の添加は、少なくとも1.85g/cmの密度の複合スリップを得られるように計算される。石英ガラスの顆粒の添加はスリップの固体含有率を増加するのみならず、グリーンボディの形状安定性を改善し、そして乾燥と燒結とにおける収縮を減らす。それ故、複合材料のキャスティングの寸法の安定性はそのような粒子の添加により改善される。 The solid content can be further increased by further incorporating solids in the form of quartz glass granules into a homogeneous base slip. However, after mixing and the base slip is homogenized, the quartz glass granules are added. Otherwise, this will cause clogging and impair slip casting. The addition of quartz glass granules is calculated so as to obtain a composite slip with a density of at least 1.85 g / cm 3 . The addition of quartz glass granules not only increases the solids content of the slip, but also improves the shape stability of the green body and reduces shrinkage during drying and sintering. Therefore, the dimensional stability of the composite casting is improved by the addition of such particles.

非晶質のSiOの粒子の大きさと粒子の大きさの分布の特徴はいわゆるD50値とD90値の粒度分布曲線(SiOの粒子の大きさにより変わる粒子の累積体積)の様子で示される。D90値がSiO粒子の累積体積の90%まで到達しない粒子の大きさを表し、D50値は対応する平均の粒子の大きさを表す。粒度分布はISO13320により散乱光とレーザー回折分光により決定される。 The characteristics of amorphous SiO 2 particle size and particle size distribution are the so-called D 50 and D 90 value particle size distribution curves (cumulative volume of particles that change depending on the SiO 2 particle size). Indicated. The D 90 value represents the particle size that does not reach 90% of the cumulative volume of SiO 2 particles, and the D 50 value represents the corresponding average particle size. The particle size distribution is determined by scattered light and laser diffraction spectroscopy according to ISO 13320.

ベーススリップの非晶質SiOの粒子の特定BET表面積は1m/gであり、石英ガラス顆粒のBET表面積は1m/gよりも小さい。SiOの顆粒と石英ガラスの顆粒とは同じ原料からもしくは異なる原料から得られる。これらの原料は非晶質であり、そして合成もしくは天然のものである。 The specific BET surface area of the amorphous SiO 2 particles of the base slip is 1 m 2 / g, and the BET surface area of the quartz glass granules is less than 1 m 2 / g. The SiO 2 granules and the quartz glass granules can be obtained from the same raw material or from different raw materials. These raw materials are amorphous and synthetic or natural.

9μmより大きくないD50値と40μmより大きくないD90値とにより特徴付けられる粒子の大きさと粒度分布を有するSiOの粒子を摩砕工程においてつくるのが有用である。 It is useful to produce SiO 2 particles in the milling process having a particle size and size distribution characterized by a D 50 value not greater than 9 μm and a D 90 value not greater than 40 μm.

このやり方でつくられたグリーンボディマトリックスのグリーン密度と均質性とは高く、その孔は細かくなり、それらの特質は添加された石英ガラスの顆粒と組み合わさって全体として4%以下、2.5%以下ですらあるグリーンボディの乾燥と燒結時の低い収縮に貢献する。   The green density and homogeneity of the green body matrix produced in this way is high, its pores become finer, and their characteristics combined with added quartz glass granules are less than 4% overall, 2.5% Even the following contributes to dryness of some green bodies and low shrinkage during sintering.

ベーススリップの均質化プロセスにはかなりの時間を必要とする。有用なベーススリップの均質化は少なくとも12時間続けなければならないことが判っている。好ましくはそのプロセスは24時間続ける。SiOの顆粒の均質化と摩砕とを同時に行う場合には、Alのような適切なミリング・ボディの使用によりプロセス時間を短縮できる。このようにしてできたベーススリップは流し込みに使えるが石英ガラスの顆粒を加えることによりそれの固体含有分を多くしておくのが好ましい。 The base slip homogenization process requires considerable time. It has been found that useful base slip homogenization must continue for at least 12 hours. Preferably the process continues for 24 hours. If homogenization and attrition of the SiO 2 granules are performed simultaneously, the use of a suitable milling body such as Al 2 O 3 can reduce the process time. The base slip produced in this way can be used for pouring, but it is preferable to increase its solid content by adding quartz glass granules.

ベーススリップ内の10重量%を越えないSiOの粒子が1μm以下であるときは乾燥と燒結とにおける収縮は小さくなる。 When the SiO 2 particles not exceeding 10% by weight in the base slip is 1 μm or less, the shrinkage in drying and sintering is small.

(SiOの粒子の全体に対して約10重量%の割合までの)少ない量では、そのような細かいSiOの粒子はグリーンボディ内でバインダーのような効果を持つ。その場合、それらの細粒はグリーンボディの、従ってそれからつくられる複合材料の密度と機械的強度とを高めるのに寄与し、燒結中いわゆるネック形成を助成し、かくして燒結助成剤として作用し、燒結温度を低下させる。10重量%より多い分量では液体の増加が望まれるので収縮が多くなる。ベーススリップ内の上記の細かいSiOの粒子の10重量%より多い含有は原則として回避すべきである。 In small quantities (up to a proportion of about 10% by weight relative to the total SiO 2 particles) such fine SiO 2 particles have a binder-like effect in the green body. In that case, the fines contribute to increasing the density and mechanical strength of the green body and thus the composite material made from it, helping so-called neck formation during sintering, thus acting as a sintering aid, and sintering. Reduce temperature. If the amount is more than 10% by weight, the liquid is desired to increase, and the shrinkage increases. Inclusion of more than 10% by weight of the fine SiO 2 particles in the base slip should in principle be avoided.

上の説明の流れとして注意すべきこととしては、ナノメートル範囲の大きさの粒子の、例えばSiOのコロイド懸濁液の細かいSiO粒子はグリーンボディのベース強度を高めるが、収縮も大きくする。それ故、ベーススリップ内での5重量%を越えないSiO粒子、好ましくは(SiOの粒子の全体に対して)1重量%を越えないSiO粒子は100ナノメートル以下の大きさである。 It should be noted as a flow of the above description, in the nanometer range of size of particles, for example fine SiO 2 particles colloidal suspension of SiO 2 increases the base strength of the green body, but shrinkage increased . Therefore, SiO 2 particles not exceeding 5% by weight in the base slip, is preferably (total respect of the SiO 2 particles) 1% by weight of SiO 2 particles not exceeding the following 100 nm size .

そのような細かいSiO粒子の添加は本発明では、(ベーススリップの質量に対して)最大5重量%に、さらには1重量%に制限している。全体の収縮が小さくなるのであればグリーンボディの強度の減少は甘受される。従って、上に述べた乾燥プロセスは比較的低い乾燥温度でブルーボディのひび割れのない乾燥を実施するのに必要とされる。 The addition of such fine SiO 2 particles is limited in the present invention to a maximum of 5% by weight (based on the mass of the base slip) and even to 1% by weight. If the overall shrinkage is reduced, the reduction in green body strength is acceptable. Therefore, the drying process described above is required to perform a blue body crack-free drying at relatively low drying temperatures.

固体含有率が75重量%と82重量%との間にあるベーススリップをつくるのが好ましい。   It is preferred to make a base slip with a solids content between 75% and 82% by weight.

固体含有率が75重量%以下ではベーススリップは沈降する傾向を示し、その結果グリーンボディの密度と均質性とは共に低くなる。それからつくられる複合材の全収縮(乾燥と燒結とにおける収縮)は大きすぎてひび割れのない石英ガラスのコンポーネントをつくることはできない。上記の上限を固体含有率が超えるとSiOの目詰まりのためスリップを流し込めなくなる危険がある。 At a solids content of 75% by weight or less, the base slip tends to settle, resulting in a decrease in both green body density and homogeneity. The total shrinkage of the composite made from it (shrinkage during drying and sintering) is too great to produce a quartz glass component without cracks. If the solid content exceeds the above upper limit, there is a risk that slip will not flow due to clogging of SiO 2 .

本発明の方法の第1の好ましい実施態様ではベーススリップへ加えた石英ガラスの顆粒の平均の大きさ(D50値)は200μmと1000μmとの間であり、好ましくは50μmと500μmとの間であり、特に好ましくは90μmと200μmとの間である。 In a first preferred embodiment of the method of the invention, the average size (D 50 value) of the quartz glass granules added to the base slip is between 200 μm and 1000 μm, preferably between 50 μm and 500 μm. Particularly preferably between 90 μm and 200 μm.

本発明の方法の第2の同様に好ましい実施態様ではベーススリップへ加えた石英ガラスの細粒の平均の大きさ(D50値)は10μmと90μmとの間であり、好ましくは15μmと60μmとの間である。 In a second equally preferred embodiment of the method of the invention, the average size (D 50 value) of the quartz glass fines added to the base slip is between 10 and 90 μm, preferably between 15 and 60 μm. Between.

これらの実施態様では、既に説明したように石英ガラスの顆粒はグリーンボディの乾燥と燒結とにおける低収縮を齎し、そのような粒子の添加はその複合材からつくった石英ガラスのコンポーネントの形状安定性と寸法安定性とを改善する。4%以下、2.5%以下の全収縮でさえ達成できる。石英ガラスの顆粒は主としてフィルターとして役立つが、選択すれば複合材の物理的もしくは化学的特性を決めることもできる。石英ガラスの顆粒を小さくすると説明した効果は少なくなり、大きさが1000μm以上の石英ガラスの顆粒を使えば、不均質構造のそして強度が比較的小さい複合材を得ることになる。   In these embodiments, as already explained, the quartz glass granules exhibit low shrinkage in drying and sintering of the green body, and the addition of such particles is the shape stability of the quartz glass component made from the composite. And improve dimensional stability. Even total shrinkage of 4% or less, 2.5% or less can be achieved. Quartz glass granules primarily serve as filters, but if selected, can also determine the physical or chemical properties of the composite. Making the quartz glass granules smaller reduces the effect described, and using quartz glass granules with a size of 1000 μm or more results in a composite material with a heterogeneous structure and relatively low strength.

さらに、石英ガラスの顆粒のベーススリップへの添加によりグリーンボディ内に2つのモードのSiO粒子の分布を生じさせ、これにより密度は高められる。それについて粗い石英ガラスの顆粒の平均の大きさ(D50値)が好ましくは90μmと200μmとの間であり、細かい石英ガラスの顆粒もそうであると特によいことが判明している。使用する細かい石英ガラスの顆粒は球形であるのが好ましい。 In addition, the addition of quartz glass granules to the base slip causes a distribution of two modes of SiO 2 particles within the green body, thereby increasing the density. About is between rough average size of quartz glass granules (D 50 value) is preferably 90μm and 200μm It has proved particularly good with the granules of fine quartz glass so is. The fine quartz glass granules used are preferably spherical.

ベーススリップのpH値の低下は複合スリップの固体含有率を高めるのに貢献する。既にSiO粒子の摩砕が、その摩砕中SiO粒子の表面積は増加するので、液体中でのSiOの溶解を高め、ベーススリップのpH値を低下させている。 Lowering the pH value of the base slip contributes to increasing the solids content of the composite slip. Already trituration SiO 2 particles, so increases the surface area of the grinding砕中SiO 2 particles, increasing the SiO 2 dissolution in the liquid, and lowers the pH value of the base slip.

さらに、酸性にする成分、例えばナノスケールの珪酸粒子もしくはその粒子を含むコロイド溶液を加えてSiOの可溶性を高めることによりpH値を低下させる。好ましい仕方でベーススリップのpH値を酸の添加により決める。 Further, the pH value is lowered by adding an acidifying component such as nanoscale silicic acid particles or a colloidal solution containing the particles to increase the solubility of SiO 2 . In a preferred manner, the pH value of the base slip is determined by addition of acid.

複合材の全収縮をできるだけ少なくし、密度と強度とを高めるには複合スリップ内の固体の全質量におけるベーススリップからの固体の分量が30重量%と60重量%との間であると有利である。   In order to minimize the total shrinkage of the composite and increase the density and strength, it is advantageous if the amount of solids from the base slip in the total mass of solids in the composite slip is between 30% and 60% by weight. is there.

ベーススリップの質量が30重量%以下であるとグリーンボディにおける架橋結合を減らし、そして基本強度を低下させ、ベーススリップの質量が60重量%以上であると複合材の収縮を増大させ、寸法の安定性を低下させる。   A base slip mass of less than 30% by weight reduces cross-linking in the green body and lowers the basic strength, and a base slip mass of greater than 60% by weight increases the shrinkage of the composite and stabilizes the dimensions. Reduce sex.

原則として、複合スリップの密度が高く設定されればされるほど、複合材の密度は大きくなり、そして全収縮は少なくなる。複合スリップの密度は少なくとも1.95g/cmである。 In principle, the higher the composite slip density is set, the higher the composite density and the less the total shrinkage. The density of the composite slip is at least 1.95 g / cm 3 .

以下の所見は上述の適例の総てに言及するものである。   The following observations refer to all of the above examples.

窒素もしくは窒素化合物を含む雰囲気内でグリーンボディもしくはキャスティングの熱処理を行うと特に有利であることが判っている。   It has been found to be particularly advantageous to perform a green body or casting heat treatment in an atmosphere containing nitrogen or nitrogen compounds.

これは気体、特に空気の拡散を防ぐ拡散バリヤーを形成する窒素富化表面層をつくる。珪素のような溶融体と接触するキャスティングの使用中拡散バリヤー層はそのキャスティングから溶融体内への酸素の転移を少なくする。拡散バリヤー層を発生するためグリーンボディを窒素もしくは窒素化合物を含む雰囲気内で燒結するか、もしくは既に熱的に予め高密度としたキャスティングをそのような雰囲気内で加熱する。石英ガラス(材料)の場合好ましい処理温度は1100℃と1450℃との間である。金属珪素のグリーンボディの場合には、窒素もしくは窒素化合物を含む雰囲気内の熱処理のためそのボディの全体もしくは少なくとも最も大きな部分は窒化珪素に変えられる。窒化珪素は溶融珪素によって濡らされないので、珪素ブロック素材を溶解するため何回でも使える「再使用るつぼ」をつくれる。   This creates a nitrogen-enriched surface layer that forms a diffusion barrier that prevents the diffusion of gases, particularly air. During use of a casting in contact with a melt such as silicon, the diffusion barrier layer reduces the transfer of oxygen from the casting into the melt. In order to generate a diffusion barrier layer, the green body is sintered in an atmosphere containing nitrogen or a nitrogen compound, or a casting that has already been thermally pre-densified is heated in such an atmosphere. In the case of quartz glass (material), the preferred processing temperature is between 1100 ° C and 1450 ° C. In the case of a metallic silicon green body, the entire body or at least the largest part of the body is converted to silicon nitride due to heat treatment in an atmosphere containing nitrogen or nitrogen compounds. Since silicon nitride is not wetted by molten silicon, a “reusable crucible” can be made that can be used any number of times to dissolve the silicon block material.

熱処理は窒素を含むプラズマ内での処理を含む。   The heat treatment includes treatment in a plasma containing nitrogen.

プラズマで窒素が支持されているおかげで深い層の中までの窒素の富化が急速に達成される。   Nitrogen enrichment into deep layers is rapidly achieved thanks to the support of nitrogen in the plasma.

使用するのに好ましいモールドは円筒形の内壁でキャビティを形成している。   A preferred mold for use forms a cavity with a cylindrical inner wall.

標準の石膏型技術においてブルーボディの除去を容易にするため内壁が円錐状のモールドをしばしば使用する。このやり方は本発明の方法では必要ではなく、正確に円筒状のキャスティングの製作を容易としている。このことは円筒状の注入ボディーをつくるためのキャスティングモールド(るつぼ)としてキャスティングそれ自体を使用するとき特に有利である。この場合円筒状の形をつくる注入ボディの壁の仕上げは不用であるからである。特に、本発明の方法は内壁が矩形状のキャビティを包囲するモールドを使用すると矩形のキャスティングの製作を簡単にする。   In standard gypsum mold technology, a mold with a conical inner wall is often used to facilitate the removal of the blue body. This approach is not necessary in the method of the present invention and facilitates the production of a precise cylindrical casting. This is particularly advantageous when the casting itself is used as a casting mold (crucible) for making a cylindrical injection body. This is because it is not necessary to finish the wall of the injection body which forms a cylindrical shape. In particular, the method of the present invention simplifies the fabrication of rectangular castings when using a mold whose inner wall surrounds a rectangular cavity.

特にるつぼのようなキャスティングをつくるのに有利であると判明しているのは、複合スリップにより全体にオーバーキャストされるキャスティング・コアをキャビティ内に入れる場合である。   It has proven particularly advantageous to make a crucible-like casting when a casting core that is overcast entirely by a composite slip is placed in the cavity.

完全に不浸透性のモールド壁では複合スリップの「垂れ下がり」はなく、滑らかなキャスティング表面が得られる。この滑らかなキャスティング表面(仕上げの必要はない)はるつぼのようなキャスティングの底(外面)を形成している。   A completely impervious mold wall eliminates the “sag” of composite slip and provides a smooth casting surface. This smooth casting surface (no need for finishing) forms the bottom (outer surface) of the casting like a crucible.

セラミックもしくはガラス質の複合材のキャスティングについては、上述の材料から出発した上述のキャスティングは本発明によりつくられるのであるが、その壁は細孔が均一になっており、密度分布については、キャスティング軸に垂直な方向で見た全壁にわたっての局所密度が複合材の平均密度から5%を越えて異なることはない。   For the casting of ceramic or glassy composites, the above-mentioned castings starting from the above-mentioned materials are made according to the present invention, but the walls have uniform pores and the density distribution is determined by the casting axis. The local density across the entire wall as viewed in the direction perpendicular to the surface does not differ by more than 5% from the average density of the composite.

本発明のキャスティングは微細孔と密度分布とが均一であることで特徴付けられている。このため、それは例えば吸収性の壁を持つモールドにスリップを流し込んだときつくられることのあるキャスティング・コアはない。それ故本発明のキャスティングは高い機械的強度を示し、それは本発明の方法によりつくることができる。複合スリップの液体を浸透させない壁を持つモールド内で固体含有率の高い複合スリップを急速に冷却することが、キャスティング軸に垂直な方向における密度勾配の形成を回避する。   The casting of the present invention is characterized by uniform pores and density distribution. For this reason, it is not a casting core that can be created, for example, when a slip is poured into a mold with an absorbent wall. Therefore, the casting of the present invention exhibits high mechanical strength, which can be made by the method of the present invention. Rapid cooling of a composite slip with a high solids content in a mold with walls that do not allow liquid penetration of the composite slip avoids the formation of a density gradient in a direction perpendicular to the casting axis.

本発明のキャスティングを構成している複合材が含んでいる均質なマトリックスにはその材料の粗粒が埋め込まれている。その材料は石英ガラス、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニウーム・シリケート、珪素もしくはそれらの混合である。   Coarse grains of the material are embedded in the homogeneous matrix contained in the composite constituting the casting of the present invention. The material is quartz glass, silicon nitride, silicon carbide, zirconium silicate, silicon or a mixture thereof.

密度を計測するには辺の長さが1cmの立方体サンプルをキャスティングの壁から採り、そしてX線法により計測する。キャスティング軸は製造中のキャスティングの配向を示す。   To measure the density, a cubic sample with a side length of 1 cm is taken from the casting wall and measured by the X-ray method. The casting axis indicates the orientation of the casting during manufacture.

石英ガラスの場合複合材は少なくとも1.80g/cmの密度で特徴付けられている。 In the case of quartz glass, the composite is characterized by a density of at least 1.80 g / cm 3 .

本発明のキャスティングは矩形の横断面と円筒状の内壁のコアキャスティングとして形成される。   The casting of the present invention is formed as a core casting with a rectangular cross section and a cylindrical inner wall.

円筒状の内壁は、円筒状の注型体をつくるためのキャスティングモールド(ソーラーシリコンを溶解する永久モールド)としてキャスティングの使用に特に適している。その注型体を円筒形にするための仕上げは必要でないからである。   The cylindrical inner wall is particularly suitable for the use of casting as a casting mold (permanent mold for dissolving solar silicon) for making cylindrical castings. This is because the finish for making the cast body cylindrical is not necessary.

本発明のキャスティングの実施例は窒素をドープした表面層を備えているのが好ましい。   The casting embodiment of the present invention preferably includes a nitrogen-doped surface layer.

ソーラーシリコンを溶解する永久モールドはSiの分離層を設けているのが普通である。対照的に本発明のキャスティングは材料に窒素をドープした一体の表面層により特徴付けられている。この窒素富化表面層は、ガス、特に酸素の拡散に対する障壁として機能する。この表面層の窒素含有率は少なくとも1重量%、好ましくは0.5重量%である。 A permanent mold for melting solar silicon is usually provided with a Si 3 N 4 separation layer. In contrast, the casting of the present invention is characterized by an integral surface layer in which the material is doped with nitrogen. This nitrogen-enriched surface layer functions as a barrier to the diffusion of gases, particularly oxygen. The nitrogen content of this surface layer is at least 1% by weight, preferably 0.5% by weight.

本発明のキャスティングは本発明の方法によってつくるのが好ましい。これについては上述の説明を参照する。   The casting of the present invention is preferably made by the method of the present invention. Refer to the above description for this.

本発明を実施例と添付図とを参照して以下に詳述する。   The present invention will be described in detail below with reference to examples and the accompanying drawings.

先ず均質なベーススリップ14をつくる。10kgのベーススリップ(SiO懸濁水)のバッチをつくるため、250μmと650μmとの間の大きさの粒子の原材料の非晶質石英ガラス8.2kgと3μS以下の導電率の脱イオン水1.8kgとを、Alで被膜した約20リットルの体積のドラムミル内で混合する。 First, a homogeneous base slip 14 is made. To produce a batch of 10 kg base slip (SiO 2 suspension water), raw material amorphous quartz glass with a particle size between 250 μm and 650 μm 8.2 kg and deionized water with a conductivity of 3 μS or less 8 kg are mixed in a drum mill with a volume of about 20 liters coated with Al 2 O 3 .

この混合物13を毎分23回転のロールスタンドに載せたAlのミリングボール(重量2.3kgと4.5kg)により3日間摩砕し、固体含有率82%で粘性140mPasの均質なベーススリップ14を形成する。この摩砕工程中pH値は溶解SiOのため約5まで下がる。 This mixture 13 was ground for 3 days with Al 2 O 3 milling balls (weights 2.3 kg and 4.5 kg) placed on a roll stand at 23 revolutions per minute, and a homogeneous base with a solid content of 82% and a viscosity of 140 mPas. A slip 14 is formed. During this milling process, the pH value drops to about 5 due to dissolved SiO 2 .

ベーススリップ14内の石英ガラス粒子11の摩砕後に得られるSiOの粒子の大きさの分布は約5μmのD50値と約23μmのD90値とにより特徴付けられる。 The size distribution of the SiO 2 particles obtained after grinding of the quartz glass particles 11 in the base slip 14 is characterized by a D 50 value of about 5 μm and a D 90 value of about 23 μm.

複合スリップ19はこのようにして得た均質なベーススリップ14から、63μmと180μmとの間の大きさの非晶質SiO顆粒を固体含有率が90重量%になるまで添加することによりつくられる。さらに、この混合物に針状成長抑止剤15として働くグリセロール16重量%を加え、そしてその混合物を12時間均質化する。毎分25回転するドラムミル内で均質化を行うが、摩砕に使用されるミリングボールの1/10だけ使用する。こうしてつくられた複合スリップの固体含有率は90%であり、粘性は1531mPasであり、そして密度は2.0g/cmである。 The composite slip 19 is made from the homogeneous base slip 14 thus obtained by adding amorphous SiO 2 granules of a size between 63 μm and 180 μm until the solids content is 90% by weight. . Further, 16% by weight of glycerol acting as a needle growth inhibitor 15 is added to the mixture and the mixture is homogenized for 12 hours. Homogenization takes place in a drum mill rotating at 25 revolutions per minute, but only 1/10 of the milling balls used for grinding are used. The composite slip thus produced has a solids content of 90%, a viscosity of 1531 mPas and a density of 2.0 g / cm 3 .

次に、均質な複合スリップ19からグリーンボディ20を形成する。この目的で、二酸化炭素スノー(ドライアイス)に埋め込まれた真空成形の珪素の膜モールドに複合スリップ19を流し込む。これにより複合スリップを急速に凍らせてブルーボディ22にする。   Next, the green body 20 is formed from the homogeneous composite slip 19. For this purpose, the composite slip 19 is poured into a vacuum-molded silicon film mold embedded in carbon dioxide snow (dry ice). As a result, the composite slip is rapidly frozen into the blue body 22.

複合スリップ19へのグリコールの添加は針状構造のない均質構造体の形成に貢献する。膜モールドの壁は水を浸透させないので、キャスティングコアの形成を回避し、複合スリップ19の「垂れ下がり」はなく、キャスティングの表面が滑らかなブルーボディが得られる。   Addition of glycol to the composite slip 19 contributes to the formation of a homogeneous structure having no acicular structure. Since the wall of the membrane mold does not allow water to permeate, the formation of a casting core is avoided, and there is no “sagging” of the composite slip 19 and a blue body with a smooth casting surface is obtained.

急冷凍ブルーボディ22を膜から外して、凍結状態で空気循環乾燥室(これは予め80℃に加熱されている)に入れ、そして数時間その温度でその中で乾燥させる。   The quick-frozen blue body 22 is removed from the membrane and placed in a frozen state in an air circulation drying chamber (which has been preheated to 80 ° C.) and dried therein at that temperature for several hours.

表面からの連続蒸発と脱湿によって、針状結晶成形を伴いグリーンボディ構造の破壊を伴う水分の再凝縮と反復表面凍結とを防ぐ。   Continuous evaporation and dehumidification from the surface prevents water recondensation and repeated surface freezing with the destruction of the green body structure with acicular crystal formation.

特に重要なことは、乾燥中ブルーボディ22を固めて自己保持のグリーンボディ20にすることである。氷を昇華させ、そして解けたばかりの水分は直ぐに蒸発するので液相は生じることはない。低乾燥温度は別としてブルーボディ22の低湿分がオペレーションの成功に貢献する。同時に水分の蒸発で添加グリセロールの主部分が気相に変換される。複合スリップ19へナノスケールのSiOの粒子を添加しないとグリーンボディ20の強度は、もしも上に述べたようにそれを乾燥しないと、比較的低くなる。 Of particular importance is the solidification of the blue body 22 during drying to a self-holding green body 20. The liquid sublimation does not occur because the ice sublimates and the freshly melted water evaporates immediately. Apart from the low drying temperature, the low moisture content of the blue body 22 contributes to the success of the operation. At the same time, the main part of the added glycerol is converted into a gas phase by evaporation of moisture. Strength of the composite slip 19 without the addition of SiO 2 particles of nanoscale into the green body 20, if not drying it as mentioned above if, relatively low.

乾燥グリーンボディ20は1250℃の温度で2時間燒結して不透明の石英ガラスのキャスティング21を得る。   The dried green body 20 is sintered at a temperature of 1250 ° C. for 2 hours to obtain an opaque quartz glass casting 21.

キャスティング21の複合材の密度は1.95g/cmである。それを構成しているマトリックスは均質構造であって、細かい孔が均一に分布しており、密度分布も均一であって、その中に石英ガラスの顆粒が埋め込まれている。それは、特に珪素溶融体に対して高い熱衝撃抵抗と優れた化学抵抗性とにより特徴づけられている。それの全収縮(乾燥と燒結とにおける収縮)はキャスティング・モールドの寸法に対して1.5%である。 The density of the composite material of casting 21 is 1.95 g / cm 3 . The matrix constituting it has a homogeneous structure, fine pores are uniformly distributed, the density distribution is also uniform, and quartz glass granules are embedded therein. It is particularly characterized by high thermal shock resistance and excellent chemical resistance against silicon melts. Its total shrinkage (shrinkage during drying and sintering) is 1.5% with respect to the dimensions of the casting mold.

本発明の方法の別の実施例を以下に、コアキャスティング法によりソーラー珪素の溶融体を受ける不透明の石英ガラスの恒久モールドをつくる場合について詳述する。   Another embodiment of the method of the present invention is described in detail below for making a permanent mold of opaque quartz glass that receives solar silicon melt by a core casting method.

実施例1の複合スリップをつくる。添加されるグリセロールの50%をTEOSで置換える。氷の粒子の大きさは別として、TEOSはゾル−ゲル反応により固体含有率を増加させ、そしてグリーンボディのグリーンと燒結強度とを増加させる。   The composite slip of Example 1 is made. Replace 50% of the added glycerol with TEOS. Apart from the size of the ice particles, TEOS increases the solids content through the sol-gel reaction and increases the green and green strength of the green body.

内側寸法が850mm×850mmのテフロン被膜内壁を持つ正方形のマルチパートのアルミニュームモールドの中心に、辺が830mm×830mmで高さが450mmの正方形のキャスティングコアを挿入する。このアルミニュームモールドをマイナス20℃の温度まで冷却し、そしてキャスティングコアを覆う高さまで複合スリップ19を充填する。   A square casting core having a side of 830 mm × 830 mm and a height of 450 mm is inserted into the center of a square multi-part aluminum mold having a Teflon-coated inner wall with an inner dimension of 850 mm × 850 mm. The aluminum mold is cooled to a temperature of minus 20 ° C., and the composite slip 19 is filled to a height that covers the casting core.

そのような凍結は複合スリップ19の沈降と分離とを防ぎ、迅速にそれを凝固させる。金属モールドの壁は水を浸透させないのでキャスティングコアの形成はない。複合スリップ19の「ゲル化」もなく、その結果滑らかなキャスティング表面を生じ、乾燥凝固後に仕上げを必要としないし、そしてその仕上がった恒久モールド21内に底(外壁)を形成する。   Such freezing prevents sedimentation and separation of the composite slip 19 and quickly solidifies it. Since the metal mold wall does not allow water to penetrate, there is no casting core formation. There is no “gelling” of the composite slip 19 resulting in a smooth casting surface, no finishing is required after dry solidification, and a bottom (outer wall) is formed in the finished permanent mold 21.

衝撃凍結ブルーボディ22を金属モールドから取り外し、空気循環のマイクロ波乾燥炉に凍結状態で入れ、数時間その中で約80℃の温度でパルスド・オペレーションで乾燥させる。このプロセスにおいて解けている液体は蒸発して水分とグリセロールの大部分とが蒸発してしまう。さらに、針状結晶成形とグリーンボディ構造の崩壊とを伴う水分の再凝縮と反復表面凍結とを防止する。   The impact frozen blue body 22 is removed from the metal mold, placed in a freezing air-dried microwave drying oven and dried in a pulsed operation at a temperature of about 80 ° C. for several hours. The liquid dissolved in this process evaporates and most of the water and glycerol evaporate. Furthermore, it prevents water recondensation and repeated surface freezing with acicular crystal forming and green body structure collapse.

乾燥後そのできたグリーンボディ20を燒結炉に入れて、アンモニアと窒素との混合物から成る雰囲気内で3時間約1200℃の温度で処理し、このプロセスで燒結して本発明による窒素含有不透明石英ガラスの恒久モールド21にする。   After drying, the resulting green body 20 is placed in a sintering furnace and treated at a temperature of about 1200 ° C. for 3 hours in an atmosphere consisting of a mixture of ammonia and nitrogen. A permanent glass mold 21 is used.

この恒久モールド21は横断面が矩形であり、寸法は850mm×850mm×500mmであって、壁は垂直である。表面面積の窒素含有率は20重量%である。珪素を溶かすのにこの恒久モールド21を使用している間その窒素含有表面層は溶融体内への酸素拡散を阻止し、低酸素含有の珪素ブロックが得られ、それからつくられるソーラーセルの有効性に有利な効果を有する。円錐壁を有する従来の恒久モールドと比較して本発明の恒久モールド21の垂直壁はその中で溶けている珪素ブロックのむだを少なくする。   The permanent mold 21 has a rectangular cross section, dimensions of 850 mm × 850 mm × 500 mm, and the walls are vertical. The nitrogen content of the surface area is 20% by weight. While using this permanent mold 21 to dissolve silicon, its nitrogen-containing surface layer prevents oxygen diffusion into the melt, resulting in a low oxygen content silicon block, which is useful for solar cells made from it. Has an advantageous effect. Compared with a conventional permanent mold having a conical wall, the vertical wall of the permanent mold 21 of the present invention reduces the waste of the silicon block that is melted therein.

「マイクロ複合スリップ」をつくる。このため高純度の合成非晶質の石英ガラスを2100gの脱イオン水と一緒にして、ポリウレタンで被膜され、Alミリング・ボールを含むボールミル内で摩砕して微分ベーススリップを得る。このスリップは5.5μmのD50値と24μmのD90値とを有し、固体含有率は79重量%である。2000gのこのベーススリップを16μmのD50値を持つ大きい非晶質の石英ガラスの顆粒と均質化させる。スリップの密度は1.92g/cmである。 Create a “micro composite slip”. For this purpose, high purity synthetic amorphous quartz glass together with 2100 g of deionized water is coated with polyurethane and ground in a ball mill containing Al 2 O 3 milling balls to obtain a differential base slip. This slip has a D 50 value of 5.5 μm and a D 90 value of 24 μm and a solids content of 79% by weight. 2000 g of this base slip is homogenized with large amorphous quartz glass granules having a D 50 value of 16 μm. The density of the slip is 1.92 g / cm 3 .

14重量%のグリセロールをマイクロ複合スリップに加える。12時間継続する均質化の後チューブの形の珪素膜にそのマイクロ複合スリップを流し込む。そのチューブは90℃の温度で加熱することにより予め乾燥されていた。それはチューブの垂直に配向された縦軸を持ち、そしてモールド内で‐50℃で凍結される。3時間後その凍結ブルーボディを凍結デバイスから取り除き、そしてサポート・モールドと珪素膜とが取り除かれる。   14% by weight of glycerol is added to the microcomposite slip. After homogenization lasting 12 hours, the micro composite slip is poured into a silicon film in the form of a tube. The tube was previously dried by heating at a temperature of 90 ° C. It has a vertically oriented longitudinal axis of the tube and is frozen at −50 ° C. in the mold. After 3 hours, the frozen blue body is removed from the freezing device and the support mold and silicon film are removed.

80℃に予め加熱された空気循環式炉にそのブルーボディを直接移し、そしてその表面からの連続蒸発と水分放出とにより乾燥させる。最後にその乾燥したグリーンボディを2時間1440℃の温度で燒結し石英ガラスのチューブを得る。このチューブの密度は2.15g/cmであり、そして不透明であって、密度が均質で細孔が一様に分布している均質構造である。キャスティングコアは検出できない。チューブの壁の内側、外側そして(チューブの長さの半分の)中央で採取した1cmの立方体サンプルは密度差を示さなかった。 The blue body is transferred directly to an air circulating oven preheated to 80 ° C. and dried by continuous evaporation and moisture release from the surface. Finally, the dried green body is sintered at a temperature of 1440 ° C. for 2 hours to obtain a quartz glass tube. The tube has a density of 2.15 g / cm 3 and is opaque and has a homogeneous structure in which the density is uniform and the pores are uniformly distributed. Casting core cannot be detected. A 1 cm 3 cubic sample taken inside, outside the tube wall and in the middle (half the length of the tube) showed no density difference.

実施例3のベーススリップをつくり、そして80μmのD50値を持ち、粒子の大きさが60μmないし125μmの非晶質合成の火炎ガラス化したSiO顆粒2000gを90.4重量%の固体含有率となるまでそのベーススリップと混ぜ合わせる。(液体の重量に基づいて)15重量%のTEOSを添加した後はスリップは容易に注入できる。それはフランジとして形成され、そしてテフロン被膜シートから成るモールドに注入される。実施例1を参照して説明したように、それはその中で凍結され、そして燒結される。 The base slip of Example 3 was made and a solid content of 90.4% by weight of 2000 g of amorphous synthetic flame vitrified SiO 2 granules having a D 50 value of 80 μm and a particle size of 60 μm to 125 μm Mix with the base slip until The slip can be easily injected after adding 15% by weight of TEOS (based on the weight of the liquid). It is formed as a flange and poured into a mold consisting of a Teflon coated sheet. As described with reference to Example 1, it is frozen and sintered therein.

仕上がったフランジ部材は不透明の石英ガラスから成り、そしてそれは均質な細孔分布と密度分布とを有する。全収縮は約2.5%である。それには従来の石膏モールド法で起きるようなカルシュウム汚染はない。   The finished flange member consists of opaque quartz glass and it has a homogeneous pore distribution and density distribution. Total shrinkage is about 2.5%. It is free of calcium contamination as occurs with conventional gypsum mold methods.

本発明の方法に基づいて複合材をつくる手順を説明する流れ図である。It is a flowchart explaining the procedure which makes a composite material based on the method of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11 非晶質の石英ガラス顆粒
12 脱イオン水
13 混合物
14 ベース スリップ
15 針状成長抑止剤
18 石英ガラス顆粒
19 複合スリップ
20 グリーンボディ
21 キャスティング(構造要素)
22 ブルーボディ(凍結体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Amorphous quartz glass granule 12 Deionized water 13 Mixture 14 Base slip 15 Acicular growth inhibitor 18 Quartz glass granule 19 Compound slip 20 Green body 21 Casting (structural element)
22 Blue body (frozen)

Claims (36)

10μm以下のオーダーの素材粒子と10μm以上のオーダーの素材顆粒とを含む複合スリップをつくり、その複合スリップを均質化し、モールドにその複合スリップを流しこんでブルーボディ(凍結ボディ)形成し、そのブルーボディを乾燥して多孔性グリーンボディを形成し、そしてそのグリーンボディを熱凝集させることにより複合材からキャスティングを製造する方法において、少なくとも80重量%の固体含有物を有する複合スリップを液体不浸透性のモールド壁を有するモールドに流しこみ、流しこんだ後その複合スリップを液体の凍結点以下の冷却温度に冷却して凍結ブルーボディを成形し、そして乾燥プロセスでは液体の沸点以下の加熱温度にその凍結ブルーボディを加熱することを特徴とした複合材からキャスティングを製造する方法。   A composite slip containing material particles of the order of 10 μm or less and material granules of the order of 10 μm or more is made, the composite slip is homogenized, and the composite slip is poured into a mold to form a blue body (frozen body). In a process for producing a casting from a composite by drying the body to form a porous green body and thermally agglomerating the green body, the composite slip having a solids content of at least 80% by weight is liquid impervious After casting, the composite slip is cooled to a cooling temperature below the freezing point of the liquid to form a frozen blue body, and in the drying process, the heating temperature is below the boiling point of the liquid. Casting is made from a composite material characterized by heating a frozen blue body How to build. 冷却温度はマイナス20℃とマイナス80℃との間である請求項1に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the cooling temperature is between minus 20 ° C and minus 80 ° C. 冷却温度はマイナス30℃とマイナス60℃との間である請求項1に記載の方法。 The method of claim 1, wherein the cooling temperature is between minus 30 ° C and minus 60 ° C. 加熱温度は40℃と90℃との間である請求項1に記載の方法。   The method of claim 1, wherein the heating temperature is between 40 ° C and 90 ° C. 加熱温度は50℃と80℃との間である請求項1に記載の方法。 The method of claim 1, wherein the heating temperature is between 50 ° C and 80 ° C. 湿気を除去した乾燥室で凍結ブルーボディを乾燥する請求項1ないし5のいずれかに記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the frozen blue body is dried in a drying chamber from which moisture has been removed. 液体の凍結点以下の温度に冷却したモールドに複合スリップを流しこむ請求項1ないし6のいずれかに記載の方法。   7. The method according to claim 1, wherein the composite slip is poured into a mold cooled to a temperature below the freezing point of the liquid. 周囲温度以上の温度に加熱したモールドに複合スリップを流しこむ請求項1ないし6のいずれかに記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 6, wherein the composite slip is poured into a mold heated to a temperature higher than ambient temperature. 氷の結晶の形成を阻止する物質を複合スリップに加える請求項1ないし8のいずれかに記載の方法。   9. A method according to any preceding claim, wherein a substance which prevents the formation of ice crystals is added to the composite slip. 石英ガラスのキャスティングを製造するため複合スリップは10μm以下のオーダーの非晶質のSiOの粒子と10μm以上のオーダーの石英ガラスの顆粒とを含んでおり、そして少なくとも1.75g/cmの密度で複合スリップをモールドに流しこむ請求項1ないし9のいずれかに記載の方法。 In order to produce quartz glass castings, the composite slip comprises amorphous SiO 2 particles of the order of 10 μm or less and quartz glass granules of the order of 10 μm or more, and a density of at least 1.75 g / cm 3 . 10. The method according to claim 1, wherein the composite slip is poured into the mold. 前記石英ガラスの顆粒が100μm以上のオーダーである請求項10に記載の方法。 The method according to claim 10, wherein the quartz glass granules are on the order of 100 μm or more. 液体とSiOの粒子とを混合することにより複合スリップを得て、そのSiOの粒子の大きさと粒子の大きさの分布とは15μmよりも大きくはないD50の値と50μmよりも大きくはないD90の値とにより特徴付けられており、均質のベースのスリップは少なくとも75重量%の固体含有物でつくられており、そして石英ガラスの顆粒を均質ベーススリップに混入して複合スリップを形成する請求項10または11に記載の方法。 A composite slip is obtained by mixing the liquid and SiO 2 particles, and the SiO 2 particle size and particle size distribution is not greater than 15 μm and the D 50 value is greater than 50 μm. not have been characterized by the values of D 90, based slip homogeneous are made of at least 75% by weight of the solids content, and form a composite slip by mixing granules of quartz glass homogeneous base slip The method according to claim 10 or 11. 非晶質のSiOの顆粒を液体内で轢いてSiOの粒子を得る請求項12に記載の方法。 The method according to claim 12, wherein amorphous SiO 2 granules are seeded in a liquid to obtain SiO 2 particles. 轢いてSiOの粒子をつくり、これらのSiOの粒子の大きさと、大きさの分布とは9μmよりも大きくはないD50の値と40μmよりも大きくはないD90の値とにより特徴付けられている請求項13に記載の方法。 Scattering to produce SiO 2 particles, the size of these SiO 2 particles and the size distribution is characterized by a value of D 50 not greater than 9 μm and a value of D 90 not greater than 40 μm. 14. The method of claim 13, wherein: ベーススリップの摩砕と均質化とは少なくとも12時間続く請求項13もしくは14に記載の方法。   15. A method according to claim 13 or 14, wherein the grinding and homogenization of the base slip lasts at least 12 hours. ベーススリップの摩砕と均質化とは少なくとも24時間続く請求項13もしくは14に記載の方法。 15. A method according to claim 13 or 14, wherein the grinding and homogenization of the base slip lasts at least 24 hours. ベーススリップにおける10重量%よりも多くないSiOの粒子の大きさが1μm以下である請求項12ないし16のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 12 to 16, wherein the size of SiO 2 particles not more than 10% by weight in the base slip is 1 µm or less. ベーススリップにおける5重量%よりも多くないSiOの粒子の大きさが100nm以下である請求項12ないし17のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 12 to 17, wherein the size of SiO 2 particles not more than 5% by weight in the base slip is 100 nm or less. ベーススリップにおける1重量%よりも多くないSiOの粒子の大きさが100nm以下である請求項12ないし17のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 12 to 17, wherein the size of SiO 2 particles not more than 1% by weight in the base slip is 100 nm or less. 75重量%と82重量%との間の固体含有物でベーススリップをつくる請求項12ないし19に記載の方法。   20. A process according to claims 12 to 19, wherein a base slip is made with a solids content of between 75% and 82% by weight. 平均の粒子の大きさ(D50の値)が200μmから1000μmの範囲の粗粒である石英ガラスの顆粒をベーススリップに加えた請求項12ないし20のいずれかに記載の方法。 21. A method according to any one of claims 12 to 20, wherein quartz glass granules which are coarse particles having an average particle size (D 50 value) in the range of 200 μm to 1000 μm are added to the base slip. 平均の粒子の大きさ(D50の値)が50μmから500μmの範囲の粗粒である石英ガラスの顆粒をベーススリップに加えた請求項12ないし20のいずれかに記載の方法。 21. A process according to any of claims 12 to 20, wherein quartz glass granules, which are coarse particles having an average particle size (D 50 value) in the range of 50 μm to 500 μm, are added to the base slip. 平均の粒子の大きさ(D50の値)が90μmから200μmの範囲の粗粒である石英ガラスの顆粒をベーススリップに加えた請求項12ないし20のいずれかに記載の方法。 21. A method according to any one of claims 12 to 20, wherein quartz glass granules which are coarse particles having an average particle size (D 50 value) in the range of 90 μm to 200 μm are added to the base slip. 平均の粒子の大きさ(D50の値)が10μmから90μmの範囲の細粒である石英ガラス顆粒をベーススリップに加えた請求項12ないし23のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 12 to 23, wherein quartz glass granules, which are fine particles having an average particle size (D 50 value) in the range of 10 µm to 90 µm, are added to the base slip. 平均の粒子の大きさ(D50の値)が15μmから60μmの範囲の細粒である石英ガラス顆粒をベーススリップに加えた請求項12ないし23のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of claims 12 to 23, wherein quartz glass granules, which are fine particles having an average particle size (D 50 value) in the range of 15 µm to 60 µm, are added to the base slip. pH値を下げるため酸をベーススリップに混ぜ合わせる請求項12ないし25のいずれかに記載の方法。   26. A method according to any of claims 12 to 25, wherein an acid is mixed with the base slip to lower the pH value. 複合スリップ内の固体の総量におけるベーススリップからの固体の量が30重量%と60重量%との間である請求項12ないし26のいずれかに記載の方法。   27. A process according to any of claims 12 to 26, wherein the amount of solids from the base slip in the total amount of solids in the composite slip is between 30% and 60% by weight. 複合スリップの密度が少なくとも1.95g/cmである請求項1ないし27のいずれかに記載の方法。 The method according to any one of the density of the composite slip claims 1 is at least 1.95g / cm 3 27. グリーンボディもしくはキャスティングを窒素もしくは窒素化合物を含む雰囲気内で加熱処理する請求項1ないし28のいずれかに記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 28, wherein the green body or casting is heat-treated in an atmosphere containing nitrogen or a nitrogen compound. 加熱処理が窒素含有プラズマ内での処理を含む請求項29に記載の方法。   30. The method of claim 29, wherein the heat treatment comprises treatment in a nitrogen containing plasma. 使用するモールドのキャビティが円筒状内壁により形成されている請求項1ないし30のいずれかに記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 30, wherein the mold cavity to be used is formed by a cylindrical inner wall. 内壁は矩形のキャビティを形成している請求項31に記載の方法。   32. The method of claim 31, wherein the inner wall forms a rectangular cavity. 複合スリップが全体を流延するキャスティングコアをキャビティに挿入する請求項31もしくは32に記載の方法。   33. A method according to claim 31 or 32, wherein a casting core in which the composite slip is cast is inserted into the cavity. セラミックもしくはガラス質の複合材料のキャスティングであって、その材料からつくられた均質マトリックスを有し、それにはその材料の粒子が埋め込まれており、粒子の大きさは10μmより大きく、そしてそれの壁内でキャスティング軸が垂直方向に向いているようにしたキャスティングにおいて、前記の壁は細孔と密度とが一様に分布していて、キャスティング軸に垂直な方向で見て、全壁の局部密度が前記の複合材の平均密度から5重量%より大きく異なっていないことを特徴としたキャスティング。   Casting of a ceramic or glassy composite material, having a homogeneous matrix made from that material, in which particles of the material are embedded, the size of the particles is greater than 10 μm and the walls thereof In the casting in which the casting axis is oriented in the vertical direction, the walls are uniformly distributed in pores and density, and the local density of the entire wall is seen in the direction perpendicular to the casting axis. Casting characterized in that does not differ by more than 5% by weight from the average density of the composite. 横断面が矩形で内壁が円筒状のコアキャスティングとして設計されている請求項34に記載のキャスティング。   35. Casting according to claim 34, designed as a core casting with a rectangular cross section and a cylindrical inner wall. 窒素をドープした表面層を有する請求項34もしくは35に記載のキャスティング。
36. Casting according to claim 34 or 35, having a surface layer doped with nitrogen.
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