JP2005091018A - Vibration testing system - Google Patents
Vibration testing system Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005091018A JP2005091018A JP2003321552A JP2003321552A JP2005091018A JP 2005091018 A JP2005091018 A JP 2005091018A JP 2003321552 A JP2003321552 A JP 2003321552A JP 2003321552 A JP2003321552 A JP 2003321552A JP 2005091018 A JP2005091018 A JP 2005091018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- generator
- vibration generator
- cooling fan
- power amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 38
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 4
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、供試体に対して振動試験を行う振動試験装置に関するものである。 The present invention relates to a vibration test apparatus for performing a vibration test on a specimen.
従来、電気・電子分野などの比較的小型な部品等から空港・宇宙などの比較的大型の製品等について、様々な振動条件の下で振動試験を行うことにより、部品や製品の耐震性や耐久性を評価する装置として、振動試験装置が知られている。
このような振動試験装置として、例えば、次のような振動試験システムが知られている(例えば、特許文献1)。
Conventionally, vibration tests on parts and products have been conducted by conducting vibration tests under various vibration conditions on relatively large parts such as airports and space from relatively small parts in the electrical and electronic fields. A vibration testing apparatus is known as an apparatus for evaluating the performance.
As such a vibration test apparatus, for example, the following vibration test system is known (for example, Patent Document 1).
特許文献1記載の振動試験システムは、磁界内に配置された可動コイルに駆動電流が供給されることにより可動コイルを駆動させて供試体を振動させる振動発生機と、該振動発生機の振動を制御する振動制御装置と、該振動制御装置から出力された振動制御信号を増幅する電力増幅器等を備えている。具体的には、振動制御装置より振動制御信号が電力増幅器に出力され、次いで、電力増幅器にて該振動制御信号が変換、増幅される。そして、増幅された振動制御信号を振動発生機に出力して、振動発生機は、その振動制御信号に基づいて供給される駆動電流の周波数に従って供試体を振動させるようになっている。また、振動発生機は振動検出器を備えており、この振動検出器により検出された振動状態信号をチャージアンプが拾い、振動制御装置に出力して、振動制御装置が次段階の振動制御信号を出力するという一連の動作を行う。
ところで、上記構成の振動試験システムは、振動発生機における振動が与える影響を考慮して、振動発生機と、電力増幅器と、振動制御装置とが別個独立して配置され、遠隔制御によって振動試験を行うようになっている。従って、工場等の生産ラインに振動試験システムを設置して振動試験を行う場合に、振動試験システムの設置面積が大きくなってしまうという問題点があった。 By the way, in the vibration test system configured as described above, the vibration generator, the power amplifier, and the vibration control device are separately arranged in consideration of the influence of vibration in the vibration generator, and the vibration test is performed by remote control. To do. Therefore, when the vibration test system is installed in a production line such as a factory and the vibration test is performed, there is a problem that the installation area of the vibration test system becomes large.
そこで、本発明は、振動発生機の振動により性能が損なわれることなく、設置面積を小さくすることができる振動試験装置を提供することである。 Therefore, the present invention is to provide a vibration test apparatus capable of reducing the installation area without impairing performance due to vibration of a vibration generator.
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、図1に示すように、
磁界内に配置された可動コイル(24)に駆動電流を供給することにより供試体を振動させる振動発生機(2)と、
前記振動発生機の振動を制御する振動制御部(例えば、制御部41)と、
前記振動制御部から出力される振動制御信号を増幅し、該振動制御信号を前記振動発生機に出力する電力増幅器(42)と、を備える振動試験装置において、
前記電力増幅器を収容するとともに、前記振動発生機を支持する支持部(4)を備え、
前記振動発生機と、前記支持部との間に、前記振動発生機の振動を防振する防振手段(例えば、防振ゴム3)が介設されていることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problem, as shown in FIG.
A vibration generator (2) that vibrates the specimen by supplying a drive current to the movable coil (24) disposed in the magnetic field;
A vibration control unit (for example, control unit 41) for controlling the vibration of the vibration generator;
In a vibration test apparatus comprising: a power amplifier (42) that amplifies a vibration control signal output from the vibration control unit and outputs the vibration control signal to the vibration generator;
The power amplifier is accommodated and a support portion (4) for supporting the vibration generator is provided.
Anti-vibration means (for example, anti-vibration rubber 3) for isolating the vibration of the vibration generator is interposed between the vibration generator and the support portion.
請求項2記載の発明は、請求項1記載の振動試験装置であって、
前記支持部は、前記振動制御部を収容することを特徴とする。
The invention according to
The support part houses the vibration control part.
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の振動試験装置であって、
前記可動コイル及び前記電力増幅器を冷却する冷却ファン(5)と、
前記振動発生機が作動しているか否かを判断する判断手段(例えば、CPU411)と、
前記判断手段により前記振動発生機が作動していないと判断された場合に、前記冷却ファンを駆動させるように制御する冷却ファン制御手段(例えば、CPU411)と、を備えることを特徴とする。
The invention according to
A cooling fan (5) for cooling the movable coil and the power amplifier;
Determination means (for example, CPU 411) for determining whether or not the vibration generator is operating;
Cooling fan control means (for example, CPU 411) that controls to drive the cooling fan when the determination means determines that the vibration generator is not operating is provided.
請求項4記載の発明は、請求項1〜3記載の何れか一項に記載の振動試験装置であって、
前記防振手段は、防振ゴム(3)であることを特徴とする。
Invention of
The anti-vibration means is an anti-vibration rubber (3).
請求項1記載の発明によれば、電力増幅器を収容するとともに、振動発生機を支持する支持部を備え、振動発生機と支持部との間に、振動発生機の振動を防振する防振手段が介設されているので、振動発生機と電力増幅器とを別個独立して配置する必要がなく、また振動発生機の振動が電力増幅器に伝わることがない。従って、振動発生機の振動により性能が損なわれることなく、振動試験装置の設置面積を小さくすることができる。 According to the first aspect of the present invention, the power amplifier is accommodated, the support portion that supports the vibration generator is provided, and the vibration is prevented between the vibration generator and the support portion. Since the means is interposed, it is not necessary to separately arrange the vibration generator and the power amplifier, and vibrations of the vibration generator are not transmitted to the power amplifier. Therefore, the installation area of the vibration test apparatus can be reduced without impairing performance due to vibration of the vibration generator.
請求項2記載の発明によれば、請求項1記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、支持部は振動制御部を収納しているので、振動制御部を別個独立に配置する必要がない。従って、振動試験装置の設置面積をさらに小さくすることができる。 According to the second aspect of the present invention, it is possible to obtain the same effect as the first aspect of the invention, and in particular, since the support portion houses the vibration control portion, the vibration control portion is separately provided. There is no need to place it in. Therefore, the installation area of the vibration test apparatus can be further reduced.
請求項3記載の発明によれば、請求項1又は2記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、可動コイル及び電力増幅器を冷却させる冷却ファンと、振動発生機が作動しているか否かを判断する判断手段と、判断手段により振動発生機が作動していないと判断された場合に、冷却ファンを駆動させるように制御する冷却ファン制御手段とを備えているので、振動試験中に冷却ファンが駆動しない。従って、振動試験中に振動試験機から発生する音を低減させることができる。 According to the third aspect of the present invention, the same effect as that of the first or second aspect of the invention can be obtained. In particular, the cooling fan for cooling the movable coil and the power amplifier and the vibration generator are operated. Since it comprises a judging means for judging whether or not, and a cooling fan control means for controlling to drive the cooling fan when it is judged by the judging means that the vibration generator is not operating, The cooling fan does not drive during the vibration test. Therefore, it is possible to reduce the sound generated from the vibration testing machine during the vibration test.
請求項4記載の発明によれば、請求項1〜3記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、防振手段は防振ゴムであるので、振動発生機による振動の吸収がより効果的に行われる。
According to the invention described in
以下、図を参照しながら実施形態としての振動試験装置を説明する。
図1は、本発明に係る振動試験装置の全体構成図、図2は、図1の振動試験装置の制御ブロック図である。図1に示すように、振動試験装置1は、供試体を振動させる振動発生機2と、振動発生機2を防振手段としての防振ゴム3を介して支持する支持部4と、所定の位置に設けられた冷却ファン5と、振動試験装置1を操作するための操作部6と、操作により入力されたデータ等を表示する表示部7等を備えている。
Hereinafter, a vibration test apparatus as an embodiment will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a vibration test apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a control block diagram of the vibration test apparatus of FIG. As shown in FIG. 1, a
振動発生機2は、一方の磁極に磁化される外側磁極21と、他方の磁極に磁化される内側磁極22と、磁界を形成する励磁コイル23と、励磁コイル23が形成する磁界内に配置された可動コイル24と、可動コイル24に取り付けられるとともに、供試体(図示省略)が載置される振動台25等を備えている。
The
外側磁極21は、内部に格納された励磁コイル23によって磁化される磁性体である。
内側磁極22は、空気ばね26を介して振動台25を支持するものであり、励磁コイル23によって外側磁極21と異なる磁極に磁化される磁性体である。
励磁コイル23は、外側磁極21内部に外周を囲まれるように格納されている。この励磁コイル23は直流電源(図示省略)に接続され、この直流電源から直流電流が供給されると、励磁されて磁界を形成する。
The outer
The inner
The
可動コイル24は、交流電源(図示省略)と接続されている。この交流電源から可動コイル24に駆動電流が供給されると、可動コイル24は、磁界内を駆動電流の周波数に基づく振動数で振動するようになっている。従って、この可動コイル24の振動に伴って空気ばね26が伸縮して、振動台25が振動することにより、振動台25に載置された供試体を振動することとなる。
この可動コイル24は、振動試験時の駆動電流の供給に伴って熱が発生する。この発生した熱による可動コイル24の機能低下を防止するため、振動発生機2が作動していないときには冷却ファン5によって冷却されるようになっている。
振動台25の下面部で且つ空気ばね26の内部には、加速度検出器27が設けられている。この加速度検出器27は、振動発生機2の振動を加速度として検出するものである。
The
The
An
支持部4は、振動発生機2を支持するとともに、振動発生機2の振動を制御する振動制御部としての制御部41と、制御部41によって出力される振動制御信号を増幅して振動発生機2に出力する電力増幅器42と、冷却ファン5を駆動させる冷却ファン駆動モータ43を内部に収納している。
The
制御部41は、CPU411、RAM412、ROM413等を備えて構成される。
CPU411は、ROM413に格納されている各種プログラムの中から指定されたプログラムをRAM412の作業領域に展開して、このプログラムに従った各種処理を実行する。
具体的には、CPU411は、振動発生機2の振動の制御を行う。この振動発生機2の振動の制御は、振動制御信号を出力することにより行う。また、CPU411は、振動発生機2が作動しているか否かを判断する判断手段として機能するとともに、振動発生機2が作動していないと判断した場合には、冷却ファン5を駆動させる冷却ファン制御手段として機能する。
The
The
Specifically, the
RAM412は、CPU411の作業領域を形成するとともに、CPU411の制御の下、処理データを一時的に記憶する記憶領域を有する。
ROM413には、CPU411が各種機能を実行するためのプログラムやデータが格納されている。
The
The
電力増幅器42は、D/A変換器(図示省略)と、入力信号を増幅する増幅器(図示省略)等を備えている。そして、CPU411から出力される振動制御信号をD/A変換器によりD/A変換した後、増幅器により増幅して、振動発生機2に出力する。
この電力増幅器42は、稼働時に熱が発生する。この発生した熱による電力増幅器42の電気回路の故障等を防止するため、振動発生機2が作動していないときには冷却ファン5によって冷却されるようになっている。
The
The
冷却ファン駆動モータ43は、制御部41に接続されており、CPU411から出力される冷却ファン制御信号に基づいて、冷却ファン5を駆動させるものである。即ち、制御部41のCPU411が、振動発生機2が作動していないと判断した場合には、冷却ファン駆動モータ43に冷却ファン制御信号を出力して、冷却ファン5を駆動させるようになっている。このように、冷却ファン駆動モータ43は、冷却ファン制御手段として機能する。
The cooling
振動発生機2と、支持部4との間には、防振ゴム3が介設されている。この防振ゴム3は、略直方体状に形成されており、支持部4の上面部の四隅にそれぞれ配置され、その防振ゴム3上に振動発生機2が設置される構成となっている。防振ゴム3は、振動発生機2の振動周波数に対して十分な防振効果を奏するゴムを選択するのが好ましい。
An
上述したように、振動発生機2を防振ゴム3を介して支持部4が支持することにより、これらの各部材は高さ方向に積層された構成として、各部材が幅方向に並列に配置されないようになっている。
As described above, the
操作部6は、例えば、キーボードやマウス等からなり、供試体の質量、寸法、重心値、偏心量等の数値データや振動試験に関するコマンドを入力、或いは選択するためのものである。
表示部7は、例えば、CRT(Cathode Ray Tube)表示装置等からなり、操作部6から入力された数値データやコマンド、或いは算出された数値データ等を表示するためのものである。
The
The display unit 7 includes, for example, a CRT (Cathode Ray Tube) display device and the like, and is used to display numerical data and commands input from the
次に、振動試験装置1の供試体の振動試験方法について説明する。
まず、振動試験装置1に電源を入れるとともに、振動台25に供試体(図示省略)を載置して、ユーザが表示部7を見ながら操作部6を操作して、振動発生機2の振動を開始するよう指示を与える。
Next, a vibration test method for the specimen of the
First, the
具体的には、図2に示すように、制御部41のCPU411は、振動発生機2の振動を制御する振動制御信号を電力増幅器42に出力する。電力増幅器42に入力された振動制御信号は、電力増幅器42内のD/A変換器(図示省略)によってD/A変換され、増幅器(図示省略)によって増幅される。増幅された振動制御信号は、振動発生機2に出力される。
Specifically, as shown in FIG. 2, the
次いで、電力増幅器42から出力された振動制御信号に基づいて、交流電源(図示省略)から振動発生機2内に設けられた可動コイル24に駆動電流が供給される。可動コイル24は励磁コイル23により形成された直流磁界内に配置されているので、駆動電流が供給された可動コイル24は上下方向に振動する。この振動に伴って空気ばね26が伸縮して振動台25が振動することによって、振動台25上に載置された供試体を振動させる。
Next, based on the vibration control signal output from the
次いで、振動台25下部に設けられた加速度検出器27によって振動発生機2の振動が加速度として検出される。検出された加速度信号は、チャージアンプ(図示省略)の増幅器(図示省略)によって増幅され、A/D変換器(図示省略)によってA/D変換される。A/D変換された加速度信号は、制御部41に出力される。そして、制御部41のCPU411は、この加速度信号に基づいて、振動制御信号を電力増幅器42に出力して、振動発生機2における振動のフィードバック制御を行う。
Next, the vibration of the
また、CPU411は、振動発生機2が作動しているか否かを判断する。例えば、振動制御信号が電力増幅器42に出力されていない場合には、振動発生機2は作動しないので、CPU411は、振動発生機2が作動していないと判断する。CPU411は、振動発生機2が作動していないと判断すると、冷却ファン駆動モータ43に冷却ファン制御信号を出力して、冷却ファン5を駆動させる。冷却ファン5が駆動すると、振動によって熱が発生している可動コイル24及び電力増幅器42が冷却される。
Further, the
以上説明した本発明に係る振動試験装置1によれば、振動発生機2を支持するとともに、制御部41及び電力増幅器42を収容する支持部4を備え、振動発生機2と支持部4との間には、防振ゴム3が介設されているので、振動発生機2と、制御部41と、電力増幅器42とを別個独立に配置する必要がなく、また振動発生機2の振動が電力増幅器42及び制御部41に伝わることがない。従って、振動発生機2の振動によって装置の性能を損なうことなく、振動試験装置1の設置面積を小さくすることができる。
According to the
また、制御部41のCPU411は、振動発生機2が作動していないと判断した場合に、冷却ファン5を駆動させるように制御するので、振動試験中には冷却ファン5が駆動しない。例えば、供試体の取付け時等には振動制御信号が電力増幅器42に出力されていないので、この出力状態に基づいてCPU411は振動発生機2が作動していないと判断して、冷却ファン5を駆動させる。一方、振動試験中には振動制御信号が電力増幅器42に出力されているので、CPU411は振動発生機2が作動していないと判断しないため、冷却ファン5を駆動させない。従って、振動試験中における振動試験装置1から発生する音を低減させることができる。また、特に、ラットルノイズ試験のような微小な音を検出する試験において、試験精度をより高めることができる点で有効である。
Further, since the
なお、本発明に係る振動試験装置は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、防振手段は防振ゴムに限られるものではなく、ダンパ等を用いてもよい。また、防振ゴムの形状もブロック状に限られず、平面状に形成して、振動発生機の底部全体に敷設されるようにしてもよいし、支持板間に防振ゴム部が挟持されている積層状態の防振ゴムを用いてもよい。 The vibration test apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the vibration isolation means is not limited to the vibration isolation rubber, and a damper or the like may be used. Further, the shape of the anti-vibration rubber is not limited to the block shape, and may be formed in a flat shape and laid on the entire bottom of the vibration generator, or the anti-vibration rubber portion is sandwiched between the support plates. The laminated anti-vibration rubber may be used.
1 振動試験装置
2 振動発生機
3 防振ゴム(防振手段)
4 支持部
5 冷却ファン
24 可動コイル
41 制御部(振動制御部)
42 電力増幅器
43 冷却ファン駆動モータ
411 CPU(判断手段、冷却ファン制御手段)
DESCRIPTION OF
4 Supporting
42
Claims (4)
前記振動発生機の振動を制御する振動制御部と、
前記振動制御部から出力される振動制御信号を増幅し、該振動制御信号を前記振動発生機に出力する電力増幅器と、を備える振動試験装置において、
前記電力増幅器を収容するとともに、前記振動発生機を支持する支持部を備え、
前記振動発生機と、前記支持部との間に、前記振動発生機の振動を防振する防振手段が介設されていることを特徴とする振動試験装置。 A vibration generator that vibrates the specimen by supplying a driving current to a moving coil disposed in a magnetic field;
A vibration control unit for controlling the vibration of the vibration generator;
In a vibration test apparatus comprising: a power amplifier that amplifies a vibration control signal output from the vibration control unit and outputs the vibration control signal to the vibration generator;
While containing the power amplifier, comprising a support portion for supporting the vibration generator,
A vibration test apparatus, wherein a vibration isolating means for isolating vibration of the vibration generator is interposed between the vibration generator and the support portion.
前記振動発生機が作動しているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記振動発生機が作動していないと判断された場合に、前記冷却ファンを駆動させるように制御する冷却ファン制御手段と、を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の振動試験装置。 A cooling fan for cooling the movable coil and the power amplifier;
Determining means for determining whether the vibration generator is operating;
The cooling fan control means for controlling to drive the cooling fan when the determination means determines that the vibration generator is not in operation. Vibration test equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321552A JP4150648B2 (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Vibration test equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321552A JP4150648B2 (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Vibration test equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005091018A true JP2005091018A (en) | 2005-04-07 |
JP4150648B2 JP4150648B2 (en) | 2008-09-17 |
Family
ID=34453202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003321552A Expired - Fee Related JP4150648B2 (en) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | Vibration test equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4150648B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014044076A (en) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Kayaba System Machinery Co Ltd | Vibration testing machine |
CN106468615A (en) * | 2015-08-18 | 2017-03-01 | 联合汽车电子有限公司 | Simulation fuel tank for oil pump bracket assembly vibration test and vibration test system |
CN108680197A (en) * | 2018-04-18 | 2018-10-19 | 河南省计量科学研究院 | Electrodynamic type protective garment obstructs infective agents energy force checking device |
JP2020003376A (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | Imv株式会社 | Impact tester |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103604575A (en) * | 2013-10-22 | 2014-02-26 | 航天科工防御技术研究试验中心 | Vibration isolator accelerated aging failure criterion determining method |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003321552A patent/JP4150648B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014044076A (en) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Kayaba System Machinery Co Ltd | Vibration testing machine |
CN106468615A (en) * | 2015-08-18 | 2017-03-01 | 联合汽车电子有限公司 | Simulation fuel tank for oil pump bracket assembly vibration test and vibration test system |
CN106468615B (en) * | 2015-08-18 | 2019-08-13 | 联合汽车电子有限公司 | Simulation fuel tank and vibration test system for oil pump bracket assembly vibration test |
CN108680197A (en) * | 2018-04-18 | 2018-10-19 | 河南省计量科学研究院 | Electrodynamic type protective garment obstructs infective agents energy force checking device |
CN108680197B (en) * | 2018-04-18 | 2023-12-22 | 河南省计量科学研究院 | Electric protective clothing infection medium blocking capability detection device |
JP2020003376A (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | Imv株式会社 | Impact tester |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4150648B2 (en) | 2008-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6668650B1 (en) | Vibration testing apparatus and method using acoustical waves | |
JP4785233B2 (en) | Vibration-insulated MR system and vibration isolation method for MR system | |
JP4150648B2 (en) | Vibration test equipment | |
JP2007510865A (en) | Test platform for vibration sensitive equipment | |
US9923363B2 (en) | Temperature measurement device and protective device for acoustic signal converter | |
JPWO2014045705A1 (en) | Protective device for acoustic signal converter | |
JP2005265804A (en) | Electronic balance | |
JP2009225552A (en) | Operation method of machine drive system | |
JP2009014542A (en) | Material testing machine | |
JP2011105435A (en) | Elevator vibration damping system | |
JP2003337079A (en) | Electrodynamic exciter system | |
JP3696928B2 (en) | Active vibration isolator and semiconductor exposure apparatus | |
JP6333896B2 (en) | Exciter | |
US10107355B2 (en) | Active damping device and design method | |
JP4135091B2 (en) | Vibration test equipment | |
JP2004205337A (en) | Electromagnetic actuator and material testing machine | |
JP2011247314A (en) | Active vibration removing device | |
JP5882798B2 (en) | Vibration suppression device and vibration suppression method | |
JP2003150250A (en) | Vibration suppressing device | |
JP3282303B2 (en) | Exciter | |
JP5404830B2 (en) | Vibration generator | |
JP2001271870A (en) | Active vibration damping device | |
JPH08159862A (en) | Vibration monitoring apparatus | |
JP4197144B2 (en) | Vibration test equipment | |
JP2009047282A (en) | Vibration damping device and its control method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080624 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080630 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4150648 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140704 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |