JP2005088309A - Substrate film with metal foil layer and substrate film with metal foil on both sides - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate film with metal foil which has enough adhesive properties between the metal foil and the substrate film even when metal foil having a smooth surface is used and excellent heat resistance even when the substrate film with metal foil on both sides is formed and is excellent in work properties during production and low in costs. <P>SOLUTION: The substrate film with the metal foil is composed of the metal foil and the substrate film made of the cured product of a curable resin set on the metal foil. The curable resin contains a polyamidimide having a main chain of a siloxane structure and a weight average molecular weight of at least 80,000, an amide-reactive compound, and an inorganic filler which are incorporated in prescribed amounts respectively.Since the cured product of the curable resin is excellent in heat resistance and adhesive properties to a smooth metal surface, the substrate film with the metal foil is high in heat resistance, and the metal foil can hardly be peeled off from the substrate film. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、金属箔付き基板フィルム及び両面金属箔付き基板フィルムに関する。   The present invention relates to a substrate film with metal foil and a substrate film with double-sided metal foil.

近年、携帯電子機器等に搭載されるプリント配線板として、薄型化が可能であり、また柔軟性にも優れるといった特性を有するフレキシブルプリント配線板が多用されている。なかでも、プリント配線板における配線密度の更なる向上を目的として、両面に配線回路が形成されたフレキシブルプリント配線板が注目を集めている。これらのフレキシブルプリント配線板は、樹脂製の基板フィルムとこの基板フィルムの表面に形成された配線回路から構成され、基板フィルムを形成する樹脂としては、耐熱性、可撓性及び機械的強度に優れるポリイミドが主として用いられている(例えば、特許文献1参照。)。このような構成を有するフレキシブルプリント配線板は、基板フィルムの表面(片面又は両面)に金属箔が積層された金属箔付き基板フィルムを用い、この金属箔をエッチング等の公知の方法により加工して配線回路とすることにより製造されることが一般的である。   In recent years, as a printed wiring board mounted on a portable electronic device or the like, a flexible printed wiring board having characteristics such as being thin and excellent in flexibility has been widely used. Among them, for the purpose of further improving the wiring density in the printed wiring board, a flexible printed wiring board in which wiring circuits are formed on both surfaces has attracted attention. These flexible printed wiring boards are composed of a resin substrate film and a wiring circuit formed on the surface of the substrate film, and the resin forming the substrate film is excellent in heat resistance, flexibility and mechanical strength. Polyimide is mainly used (for example, refer to Patent Document 1). A flexible printed wiring board having such a configuration uses a substrate film with a metal foil in which a metal foil is laminated on the surface (one side or both sides) of the substrate film, and this metal foil is processed by a known method such as etching. In general, the wiring circuit is manufactured.

ところで、このような製造方法において用いられる金属箔付き基板フィルムには、金属箔と基板フィルムとが強固に接着されているという特性が求められる。これは、金属箔と基板フィルムとの接着強度が弱いと、形成される配線回路が基板フィルムから剥離してしまう等の不都合を生じるおそれがあるためである。そこで、従来の金属箔付き基板フィルムにおいては、電気的又は化学的な粗面化処理により表面に微細な凹凸形状が形成された金属箔を用い、製造時に基板フィルム形成前の樹脂をこの凹凸に染み込ませてアンカー効果を発現させることによって、接着力の向上を図っていた。   By the way, the characteristic that the metal foil and the board | substrate film are adhere | attached firmly is calculated | required by the board | substrate film with metal foil used in such a manufacturing method. This is because if the adhesive strength between the metal foil and the substrate film is weak, there is a risk that the formed wiring circuit will be peeled off from the substrate film. Therefore, in a conventional substrate film with a metal foil, a metal foil having a fine irregular shape formed on the surface by electrical or chemical roughening treatment is used, and the resin before the formation of the substrate film is made into this irregularity at the time of manufacture. The adhesive force was improved by making it soak and exhibit the anchor effect.

このような従来の金属箔付き基板フィルムは、例えば、以下に示すような製造方法により製造されている。すなわち、(A)金属箔の表面にポリイミドの前駆体であるポリアミック酸ワニスを流延塗布した後、塗布されたポリアミック酸にイミド化を生じさせて、基板フィルムであるポリイミドフィルムを形成する方法、(B)予め形成されたポリイミドフィルムと金属箔とを接着剤層を介して接着する方法、(C)ポリイミドを変性することにより高溶剤溶解性や熱融着性等の特性を付与し、この変性により接着性が向上したポリイミドフィルムと金属箔とを接着する方法、(D)ポリイミドフィルムの表面にスパッタ等のドライプロセスにより金属からなる薄膜を形成させた後、この薄膜上にめっき等により更に金属層を形成させる方法等が知られている。
特開2003−012924号公報
Such a conventional substrate film with a metal foil is manufactured, for example, by the following manufacturing method. That is, (A) a method of forming a polyimide film that is a substrate film by casting a polyamic acid varnish that is a polyimide precursor on the surface of a metal foil, and then imidizing the applied polyamic acid, (B) A method of adhering a preformed polyimide film and a metal foil through an adhesive layer, (C) By modifying the polyimide, properties such as high solvent solubility and heat fusibility are imparted. A method of adhering a polyimide film and a metal foil whose adhesion has been improved by modification, (D) after forming a thin film made of metal on the surface of the polyimide film by a dry process such as sputtering, and further by plating or the like on this thin film A method of forming a metal layer is known.
JP 2003-012924 A

しかし、粗面化された表面を有する金属箔を用いる上記従来の金属箔付き基板フィルムを用いた場合、得られるフレキシブルプリント配線板における伝達信号の高周波数化が困難となる傾向にあった。これは、配線中に流れる電流の付近に発生した磁力線が特に導体の中心部に干渉し、この干渉により電流が配線回路の表面に集中する現象(この現象は、一般的に「表皮効果」と呼ばれる。)に起因するものである。上記従来技術のプリント配線板のように配線回路の表面が粗面化されていると、表皮効果によって電流が表面に集中した場合に、その凹凸によって抵抗が顕著に増大する。こうなると、伝達信号の高周波数化が困難となり、ひいてはこのフレキシブルプリント配線板を搭載した電子機器の動作速度の高速化も困難となる。   However, when the conventional substrate film with a metal foil using a metal foil having a roughened surface is used, it is difficult to increase the frequency of a transmission signal in the obtained flexible printed wiring board. This is because the magnetic field lines generated in the vicinity of the current flowing in the wiring interfere with the center of the conductor, and the current concentrates on the surface of the wiring circuit due to this interference (this phenomenon is generally referred to as the “skin effect”). It is caused by. When the surface of the wiring circuit is roughened like the above-described prior art printed wiring board, when current is concentrated on the surface due to the skin effect, the resistance is remarkably increased due to the unevenness. In this case, it is difficult to increase the frequency of the transmission signal, and it is also difficult to increase the operation speed of the electronic device equipped with this flexible printed wiring board.

従って、動作の高速化の観点からは、表面の平滑な金属箔を用いることが望ましい。しかし、平滑表面を有する金属箔を用いると、上述したポリイミドと金属箔とのアンカー効果が得られ難くなって、金属箔とポリイミドフィルムとの接着性が低下し、これにより形成された配線が基板から剥離してしまう等の不都合を生じるおそれがある。このため、従来の金属箔付き基板フィルムにおいては、表面が平滑な金属箔を用いることが困難であった。   Therefore, it is desirable to use a metal foil having a smooth surface from the viewpoint of speeding up the operation. However, when a metal foil having a smooth surface is used, the anchor effect between the polyimide and the metal foil described above becomes difficult to obtain, and the adhesion between the metal foil and the polyimide film is lowered, and the wiring formed thereby becomes a substrate. There is a risk of inconvenience such as peeling from the surface. For this reason, in the conventional substrate film with metal foil, it was difficult to use metal foil with a smooth surface.

また、上記(A)〜(D)の金属箔付き基板フィルムの製造法には以下に示す幾つかの不都合があった。例えば、上記(A)の方法は、両面に金属箔を有する両面金属箔付き基板フィルムの製造には不適であった。これは、ポリアミック酸のイミド化は、300℃以上の高温条件下で脱水閉環反応を生じさせることにより進行し、かかる脱水閉環反応に伴って水が生成することに起因している。両面金属箔付き基板フィルムを形成するためには、金属箔上に塗布されたポリアミック酸のワニス上に、更に金属箔を重ねた状態でイミド化を行う必要があるが、こうして両側が金属箔に覆われていると、イミド化に伴って生成する水が除去されにくくなる。こうなると基板フィルムであるポリイミドフィルムの生成が不利となって、両面金属箔付き基板フィルムの製造が困難となる。   Moreover, there existed some inconveniences shown below in the manufacturing method of the board | substrate film with a metal foil of said (A)-(D). For example, the method (A) is unsuitable for the production of a double-sided metal foil-attached substrate film having metal foils on both sides. This is because the imidization of polyamic acid proceeds by causing a dehydration cyclization reaction under a high temperature condition of 300 ° C. or higher, and water is generated along with the dehydration cyclization reaction. In order to form a substrate film with a double-sided metal foil, it is necessary to imidize the metal foil on a polyamic acid varnish coated on the metal foil. If it is covered, it will be difficult to remove the water generated with imidization. If it becomes like this, the production | generation of the polyimide film which is a board | substrate film will become disadvantageous, and manufacture of a board | substrate film with a double-sided metal foil will become difficult.

これに対して、上記(B)の方法においては、予め形成されたポリイミドフィルムと金属箔とを接着剤層を介して接着させているため、両面金属箔付き基板フィルムを容易に製造することができる。しかし、接着剤層を構成している樹脂は、一般にポリイミドよりも耐熱性が低いため、これに伴って、得られる金属箔付き積層板全体の耐熱性も低下してしまっていた。   On the other hand, in the method (B), since the preliminarily formed polyimide film and the metal foil are bonded via the adhesive layer, it is possible to easily manufacture the substrate film with double-sided metal foil. it can. However, since the resin constituting the adhesive layer is generally lower in heat resistance than polyimide, the heat resistance of the resulting laminated sheet with metal foil has also been lowered.

また、上記(C)の方法によっても両面金属箔付き積層板の製造は可能であり、かかる方法によれば金属箔と基板フィルムとの接着に接着剤層を要しないため、接着剤層に起因する耐熱性の低下の懸念はない。しかし、変性されたポリイミドは、変性されていないものに比してガラス転移温度が低いため、充分な耐熱性を有する金属箔付き基板フィルムを得ることは未だ困難であった。   In addition, a laminate with a double-sided metal foil can also be produced by the method (C) described above, and according to such a method, no adhesive layer is required for adhesion between the metal foil and the substrate film. There is no concern of a decrease in heat resistance. However, since the modified polyimide has a lower glass transition temperature than that of the unmodified one, it has still been difficult to obtain a substrate film with metal foil having sufficient heat resistance.

上記(D)の方法によれば、上述した(A)〜(C)の方法における欠点は解消される。しかし、この方法においては、それぞれにスパッタやめっき等の複雑な操作又は装置を要する2段階の工程が必要であるため、製造にかかるコストが増大してしまっていた。   According to the above method (D), the above-mentioned drawbacks in the methods (A) to (C) are eliminated. However, this method requires a two-step process that requires complicated operations or apparatuses such as sputtering and plating, which increases the manufacturing cost.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、表面が平滑な金属箔を用いた場合であっても金属箔と基板フィルムとの接着性が充分であり、また、両面金属箔付き基板フィルムを形成した場合であっても優れた耐熱性を有しており、さらに製造時の作業性及びコストにも優れる金属箔付き基板フィルムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when a metal foil with a smooth surface is used, the adhesion between the metal foil and the substrate film is sufficient, and the substrate with double-sided metal foil An object is to provide a substrate film with a metal foil which has excellent heat resistance even when a film is formed, and which is excellent in workability and cost during production.

上記目的を達成するため、本発明の金属箔付き基板フィルムは、金属箔と、硬化性樹脂の硬化物からなり金属箔上に設けられた基板フィルムとを備える金属箔付き基板フィルムであって、硬化性樹脂は、主鎖にシロキサン構造を有しており重量平均分子量が80000以上であるポリアミドイミドと、ポリアミドイミドのアミド基と反応する官能基を有したアミド反応性化合物と、全体積に対して5〜50体積%の無機フィラーとを含むものであり、且つ、ポリアミドイミド中のアミド基の含有量(「アミド基の含有量」を以下、「アミド基量」と略す。)をPa重量%、アミド反応性化合物がアミド基を含む場合はその含有量をEa重量%、ポリアミドイミド中のケイ素原子の含有量(「ケイ素原子の含有量」を以下、「ケイ素量」と略す。)をPc重量%、アミド反応性化合物がケイ素原子を含む場合はその含有量をEc重量%としたときに、ポリアミドイミド100重量部に対する、アミド反応性化合物の重量部Bは、以下の式(I)及び(II)を満たすことを特徴とする。
3≦(Pa×100+Ea×B)/(100+B)≦11 …(I)
1≦(Pc×100+Ec×B)/(100+B)≦16 …(II)
In order to achieve the above object, a substrate film with a metal foil of the present invention is a substrate film with a metal foil comprising a metal foil and a substrate film made of a cured product of a curable resin and provided on the metal foil, The curable resin includes a polyamideimide having a siloxane structure in the main chain and a weight average molecular weight of 80,000 or more, an amide reactive compound having a functional group that reacts with an amide group of the polyamideimide, and the total volume. The content of the amide group in the polyamide-imide (“content of amide group” is hereinafter abbreviated as “amount of amide group”) is Pa weight. %, If the amide-reactive compound contains an amide group, its content is Ea% by weight, and the silicon atom content in the polyamide-imide (“silicon atom content” is hereinafter abbreviated as “silicon content”). ) Is Pc wt%, and when the amide-reactive compound contains a silicon atom, when the content is Ec wt%, the weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamideimide is represented by the following formula ( It is characterized by satisfying I) and (II).
3 ≦ (Pa × 100 + Ea × B) / (100 + B) ≦ 11 (I)
1 ≦ (Pc × 100 + Ec × B) / (100 + B) ≦ 16 (II)

上記式(I)及び(II)の条件を満たす硬化性樹脂は金属箔に対する極めて高い接着性を有しているため、金属箔が平滑な表面を有する場合であっても、硬化性樹脂はこの平滑面に強く接着される。従って、この硬化性樹脂が硬化して形成された基板フィルムも、金属箔の平滑面に対して強固に接着されるようになる。また、基板フィルムを構成する硬化性樹脂は、高い耐熱性を有するポリアミドイミドを含有するものであるため、得られる金属箔付き基板フィルムも優れた耐熱性を有するようになる。さらに、硬化性樹脂に含まれるポリアミドイミドは、80000以上の分子量を有する重合度の高いポリマーであるため、形成される基板フィルムは高い機械的強度をも有するようになる。   Since the curable resin that satisfies the conditions of the above formulas (I) and (II) has extremely high adhesiveness to the metal foil, even if the metal foil has a smooth surface, the curable resin It is strongly bonded to a smooth surface. Therefore, the substrate film formed by curing the curable resin is also firmly bonded to the smooth surface of the metal foil. Moreover, since curable resin which comprises a board | substrate film contains the polyamideimide which has high heat resistance, the board | substrate film with metal foil obtained also comes to have the outstanding heat resistance. Furthermore, since the polyamideimide contained in the curable resin is a polymer having a high degree of polymerization having a molecular weight of 80000 or more, the formed substrate film also has a high mechanical strength.

またさらに、硬化性樹脂の硬化反応は、ポリアミドイミドにおけるアミド基と、アミド反応性化合物のアミド基と反応する官能基の間の反応により生じるものであるため、金属箔上に硬化性樹脂を塗布した後に硬化反応を生じさせることで、容易に金属箔付き基板フィルムを得ることができる。また、ポリイミドの前駆体からポリイミドを形成する場合と異なり、硬化反応の際に水を生じることがないため、硬化性樹脂からなる層の両面に金属箔を配置して硬化させるだけで容易に両面金属箔付き基板フィルムを形成することができる。   Furthermore, since the curing reaction of the curable resin is caused by a reaction between the amide group in the polyamideimide and the functional group that reacts with the amide group of the amide reactive compound, the curable resin is applied onto the metal foil. Then, a substrate film with metal foil can be easily obtained by causing a curing reaction. Also, unlike the case of forming polyimide from a polyimide precursor, water is not generated during the curing reaction, so it is easy to install both sides of a metal foil on both sides of a layer made of a curable resin. A substrate film with a metal foil can be formed.

具体的には、硬化性樹脂を構成する成分であるポリアミドイミドは、下記一般式(1)で表される芳香族ジアミン及び下記一般式(2)で表されるシロキサンジアミンを含むジアミン混合物と、無水トリメリット酸とを反応させて得られるジイミドジカルボン酸に、芳香族ジイソシアネートを反応させてなるポリアミドイミドであると好ましい。   Specifically, the polyamideimide as a component constituting the curable resin is a diamine mixture containing an aromatic diamine represented by the following general formula (1) and a siloxane diamine represented by the following general formula (2); Polyamideimide obtained by reacting aromatic diisocyanate with diimidedicarboxylic acid obtained by reacting with trimellitic anhydride is preferable.

Figure 2005088309

Figure 2005088309

[式中、Xは下記一般式(3a)又は(3b)で表される2価の基、Rはアルキル基、フェニル基又は置換フェニル基、Rはアルキレン基、フェニレン基又は置換フェニレン基、nは1〜15の整数を示す。
Figure 2005088309

但し、Yは、炭素数1〜3の2価の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜3の2価のハロゲン化脂肪族炭化水素基、スルホニル基、エーテル基、カルボニル基又は単結合であり、複数存在するR及びRのそれぞれは同一であっても異なっていてもよい。]
Figure 2005088309

Figure 2005088309

[Wherein, X is a divalent group represented by the following general formula (3a) or (3b), R 1 is an alkyl group, a phenyl group or a substituted phenyl group, and R 2 is an alkylene group, a phenylene group or a substituted phenylene group. , N represents an integer of 1-15.
Figure 2005088309

Y is a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, a divalent halogenated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, a sulfonyl group, an ether group, a carbonyl group, or a single bond. Each of R 1 and R 2 present in a plurality may be the same or different. ]

さらに、アミド反応性化合物としては、2以上のグリシジル基を有する多官能エポキシ化合物が好ましい。かかる多官能エポキシ化合物は、ポリアミドイミドのアミド基と高い反応性を有していることから、加熱等による両者の反応が容易に生じるようになり、基板フィルムの基板に対する接着性が更に向上する。   Furthermore, as the amide-reactive compound, a polyfunctional epoxy compound having two or more glycidyl groups is preferable. Since such a polyfunctional epoxy compound has a high reactivity with the amide group of polyamideimide, the reaction between both easily occurs by heating or the like, and the adhesion of the substrate film to the substrate is further improved.

本発明による両面金属箔付き基板フィルムは、第1の金属箔と第2の金属箔との間に、硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムを挟持してなるものであり、基板フィルムを形成する硬化性樹脂は、上述の金属箔付き基板フィルムに用いられる硬化性樹脂と同様のものであることが好適である。このような両面金属箔付き基板フィルムは、両面に配線板が形成された両面フレキシブルプリント配線板の製造に好ましく用いることができ、こうして得られた両面フレキシブルプリント配線板は、基板と配線パターンとの接着性や耐熱性等の特性に特に優れたものとなる。   The substrate film with double-sided metal foil according to the present invention is obtained by sandwiching a substrate film made of a cured product of a curable resin between a first metal foil and a second metal foil, thereby forming the substrate film. The curable resin to be used is preferably the same as the curable resin used for the above-described substrate film with metal foil. Such a substrate film with a double-sided metal foil can be preferably used for the production of a double-sided flexible printed wiring board in which a wiring board is formed on both sides, and the double-sided flexible printed wiring board thus obtained has a substrate and a wiring pattern. It is particularly excellent in properties such as adhesion and heat resistance.

このような構成を有する両面金属箔付き基板フィルムは、第1の金属箔と第2の金属箔との間に、硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を挟持した後、全体を加熱及び/又は加圧して得られるものであると好ましい。   The substrate film with a double-sided metal foil having such a configuration is obtained by sandwiching a curable resin to be a substrate film by curing between the first metal foil and the second metal foil, and then heating and / or the whole. Or it is preferable in what is obtained by pressurizing.

ここで、第1の金属箔と第2の金属箔との間に硬化性樹脂を挟持させるための具体的な方法としては、硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を、第1の金属箔及び第2の金属箔の一方面上に積層して得られた2つの積層体を、硬化性樹脂同士が対向するように接触させる方法が例示できる。   Here, as a specific method for sandwiching the curable resin between the first metal foil and the second metal foil, a curable resin to be a substrate film by curing is used as the first metal foil. And the method of making two laminated bodies obtained by laminating | stacking on the one surface of 2nd metal foil contact so that curable resin may oppose can be illustrated.

また、本発明の金属箔付き基板フィルム又は両面金属箔付き基板フィルムにおける金属箔は、その基板フィルムに対する接着面の十点平均表面粗さがそれぞれ3.0μm以下であることが好ましい。こうすると、これらの金属箔付き基板フィルムにより製造されたプリント配線板において表皮効果が生じたとしても、これによる抵抗の増大は、伝達信号の高周波数化に影響しない程度に抑制されるようになる。   Moreover, it is preferable that the metal foil in the board | substrate film with a metal foil of this invention or the board | substrate film with a double-sided metal foil has a 10 point average surface roughness of the adhesion surface with respect to the board | substrate film of 3.0 micrometers or less, respectively. In this way, even if a skin effect occurs in a printed wiring board manufactured using these metal foil-fitted substrate films, the increase in resistance caused thereby is suppressed to the extent that it does not affect the increase in frequency of the transmission signal. .

本発明の金属箔付き基板フィルム又は両面金属箔付き基板フィルムは、基板フィルムの材料が上述の特定のポリアミドイミドからなるものであるため、表面に平滑な金属箔を用いた場合であっても金属箔と基板フィルムとの接着性が充分であり、また、耐熱性にも優れており、更にその製造方法も簡易である。このような金属箔付き基板フィルムは、金属箔に公知のパターニングを施して配線パターンを形成させることにより、高周波駆動に対応したフレキシブルプリント配線板として好適に用いることができる。   The substrate film with metal foil or the substrate film with double-sided metal foil of the present invention is made of the above-mentioned specific polyamideimide, so that even if a smooth metal foil is used on the surface, the substrate film is made of metal. Adhesiveness between the foil and the substrate film is sufficient, heat resistance is excellent, and the manufacturing method is simple. Such a substrate film with a metal foil can be suitably used as a flexible printed wiring board compatible with high-frequency driving by forming a wiring pattern by performing known patterning on the metal foil.

(金属箔付き基板フィルム)
本発明の金属箔付き基板フィルムは、上述の如く、金属箔とこの金属箔上に設けられた硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムを備えるものである。また、本発明の両面金属箔付き基板フィルムは、第1及び第2の金属箔間に、硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムが挟持された構成を有している。
(Substrate film with metal foil)
The board | substrate film with metal foil of this invention is provided with the board | substrate film which consists of metal foil and the hardened | cured material of curable resin provided on this metal foil as mentioned above. Moreover, the board | substrate film with a double-sided metal foil of this invention has the structure by which the board | substrate film which consists of hardened | cured material of curable resin was pinched | interposed between the 1st and 2nd metal foil.

基板フィルムは、主鎖にシロキサン構造を有しており、重量平均分子量が80000以上であるポリアミドイミドと、このポリアミドイミドのアミド基と反応を生じる官能基を有したアミド反応性化合物と、全体積に対して5〜50体積%の無機フィラーとを含む硬化性樹脂からなるものである。かかる硬化性樹脂においては、ポリアミドイミド中のアミド基量をPa重量%、アミド反応性化合物がアミド基を含む場合はそのアミド基量をEa重量%、ポリアミドイミド中のケイ素量をPc重量%、アミド反応性化合物がケイ素原子を含む場合はそのケイ素量をEc重量%としたときに、ポリアミドイミド100重量部に対する、アミド反応性化合物の重量部Bは、上記式(I)及び(II)を満たすように配合されている。   The substrate film has a siloxane structure in the main chain and a polyamideimide having a weight average molecular weight of 80000 or more, an amide reactive compound having a functional group that causes a reaction with the amide group of the polyamideimide, and the total volume. It consists of curable resin containing 5-50 volume% inorganic filler with respect to this. In such a curable resin, the amount of amide groups in the polyamideimide is Pa wt%, when the amide reactive compound contains an amide group, the amount of amide groups is Ea wt%, the amount of silicon in the polyamideimide is Pc wt%, When the amide-reactive compound contains a silicon atom, when the silicon content is Ec wt%, the weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamideimide represents the above formulas (I) and (II). Formulated to satisfy.

硬化性樹脂が、上記式(I)及び(II)を満たす場合、硬化性樹脂中のポリアミドイミド及びアミド反応性化合物中に含まれている全てのアミド基の含有量(全アミド基量)が3〜11重量%となり、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物中に含まれる全てのケイ素原子の含有量(全ケイ素量)が1〜16重量%となる。硬化性樹脂が上記式(I)又は(II)の少なくとも一方を満たしておらず、全アミド基量及び全ケイ素量が上記範囲外である場合は、得られる金属箔付き基板フィルムの耐熱性が不充分となり、また金属箔と基板フィルムとの接着強度も不充分となる。   When the curable resin satisfies the above formulas (I) and (II), the content of all amide groups (total amount of amide groups) contained in the polyamideimide and amide reactive compound in the curable resin is 3 to 11% by weight, and the content of all silicon atoms contained in the polyamideimide and amide-reactive compound (total silicon amount) is 1 to 16% by weight. When the curable resin does not satisfy at least one of the above formula (I) or (II) and the total amide group amount and the total silicon amount are out of the above ranges, the resulting heat resistance of the substrate film with metal foil is In addition, the adhesive strength between the metal foil and the substrate film becomes insufficient.

耐熱性及び接着強度を更に向上させる観点からは、上記式(I)における(Pa×100+Ea×B)/(100+B)の下限は6が好ましく、上限は9が好ましく、上記式(II)における(Pc×100+Ec×B)/(100+B)の下限は5が好ましく上限は12が好ましい。   From the viewpoint of further improving the heat resistance and the adhesive strength, the lower limit of (Pa × 100 + Ea × B) / (100 + B) in the above formula (I) is preferably 6, the upper limit is preferably 9, and the ( The lower limit of Pc × 100 + Ec × B) / (100 + B) is preferably 5, and the upper limit is preferably 12.

また、硬化性樹脂中に含まれるポリアミドイミドの重量平均分子量が80000未満であると、得られる金属箔付き基板フィルムの機械的強度が、フレキシブルプリント配線板の用途に対して不充分となる。機械的強度を向上させる観点からは、ポリアミドイミドの重量平均分子量は80,000〜150,000が好ましく、100,000〜120,000がより好ましい。   Moreover, when the weight average molecular weight of the polyamideimide contained in the curable resin is less than 80,000, the mechanical strength of the obtained substrate film with metal foil is insufficient for the use of the flexible printed wiring board. From the viewpoint of improving the mechanical strength, the weight average molecular weight of the polyamideimide is preferably 80,000 to 150,000, and more preferably 100,000 to 120,000.

このような条件を満たした硬化性樹脂を、好ましくは5μm以下、より好ましくは4μm以下、更に好ましくは3μm以下の厚さの基板フィルムとして金属箔付き基板フィルムに適用することにより、金属箔との接着性及び耐熱性の優れた金属箔付き基板フィルムを得ることができる。これは、主に耐熱性の高いポリアミドイミド中にシロキサン構造を導入したポリアミドイミドに起因するものである。このような構成のポリアミドイミドは、金属箔等との高い接着性を有しているばかりでなく、硬化性樹脂を硬化しない温度において、樹脂中に含まれる残存有機溶媒成分を極めて容易に5重量%以下にまで低減することができるという特性を有する。硬化性樹脂中の残存有機溶媒量が5重量%以下に低減されると、後のはんだ等の工程で基板フィルムが高温に晒された場合であっても、有機溶媒の揮発によるふくれ等は殆ど生じない。このため、得られる金属箔付き基板フィルムは高い耐熱性を有するようになる。以下、まず、このような基板フィルムを構成し得る硬化性樹脂の各成分について説明する。   By applying a curable resin satisfying such conditions to a substrate film with a metal foil as a substrate film having a thickness of preferably 5 μm or less, more preferably 4 μm or less, and even more preferably 3 μm or less, The board | substrate film with metal foil excellent in adhesiveness and heat resistance can be obtained. This is mainly due to the polyamideimide in which the siloxane structure is introduced into the polyamideimide having high heat resistance. The polyamideimide having such a structure not only has high adhesiveness with a metal foil or the like, but the residual organic solvent component contained in the resin is extremely easily 5 wt% at a temperature at which the curable resin is not cured. % Can be reduced to below%. When the amount of the remaining organic solvent in the curable resin is reduced to 5% by weight or less, even if the substrate film is exposed to a high temperature in the subsequent process such as soldering, there is almost no blistering due to volatilization of the organic solvent. Does not occur. For this reason, the obtained board | substrate film with metal foil comes to have high heat resistance. Hereinafter, first, each component of curable resin which can comprise such a substrate film is demonstrated.

(ポリアミドイミド)
硬化性樹脂を構成するポリアミドイミドは、主鎖にシロキサン構造、アミド結合及びイミド結合を有している。ここで、シロキサン構造とは、その構造中に−SiO−結合を有している構造をいう。なお、シロキサン構造としては、ケイ素原子に1価の有機基が2つ結合している構造が好ましい。
(Polyamideimide)
Polyamideimide constituting the curable resin has a siloxane structure, an amide bond and an imide bond in the main chain. Here, the siloxane structure refers to a structure having a —SiO— bond in the structure. The siloxane structure is preferably a structure in which two monovalent organic groups are bonded to a silicon atom.

ポリアミドイミドは、例えば、上記一般式(1)で表される芳香族ジアミンと上記一般式(2)で表されるシロキサンジアミンとを含むジアミン混合物と、無水トリメリット酸と、を反応させてジイミドジカルボン酸を得、得られたジイミドジカルボン酸にジイソシアネートを反応させて得ることができる。   For example, the polyamideimide is a diimide obtained by reacting a diamine mixture containing the aromatic diamine represented by the general formula (1) and the siloxane diamine represented by the general formula (2) with trimellitic anhydride. Dicarboxylic acid can be obtained and obtained by reacting the obtained diimide dicarboxylic acid with diisocyanate.

上記一般式(1)で表される芳香族ジアミンにおいて、Yで表される炭素数1〜3の脂肪族炭化水素基としては、−C(CH−で表される基が好ましく、炭素数1〜3のハロゲン化脂肪族炭化水素基としては−C(CF2−で表される基が好ましい。また、上記一般式(2)で表されるシロキサンジアミンにおいては、Rとしては炭素数1〜6のアルキル基が好ましく、炭素数1〜3のアルキル基がより好ましく、Rとしては、炭素数1〜6のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜3のアルキレン基がより好ましい。 In the aromatic diamine represented by general formula (1), the aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms represented by Y, -C (CH 3) 2 - group is preferably represented by, The halogenated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms is preferably a group represented by —C (CF 3 ) 2 —. In the siloxane diamine represented by the general formula (2), R 1 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and R 2 may be carbon. An alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is preferable, and an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms is more preferable.

このような芳香族ジアミンとしては、例えば、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(アミノフェノキシ)ベンゼンが例示できる。   Examples of such aromatic diamines include 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP), bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, and bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1 , 4-bis (aminophenoxy) benzene.

なかでも、芳香族ジアミンとしては、下記一般式(4)で表される化合物を用いることが好ましく、BAPPを用いることが特に好ましい。なお、式中、Yは上記と同義である。

Figure 2005088309
Especially, as aromatic diamine, it is preferable to use the compound represented by following General formula (4), and it is especially preferable to use BAPP. In the formula, Y is as defined above.
Figure 2005088309

また、上記一般式(2)で表されるシロキサンジアミンとしては、ジメチルシロキサン系両末端アミンやジメチルジフェニルシロキサン系両末端ジアミンを用いることが好ましい。具体的には、ジメチルシロキサン系両末端アミンは、アミノ変性シリコーンオイルX−22−161AS(アミン当量450)、X−22−161A(アミン当量840)、X−22−161B(アミン当量1500)(以上、信越化学工業社製)、BY16−853(アミン当量650)、BY−16−853B(アミン当量2200)(以上、東レダウコーニングシリコーン社製)等として商業的に入手可能である。また、ジメチルジフェニルシロキサン系両末端ジアミンは、X−22−9409(アミン当量680)、X−22−1660B(アミン当量2260、以上、信越化学工業社製)等として商業的に入手可能である。なお、これらは単独で、または組み合わせて用いることができる。   Moreover, as a siloxane diamine represented by the said General formula (2), it is preferable to use a dimethylsiloxane type | system | group both terminal amine and a dimethyl diphenylsiloxane type | mold terminal diamine. Specifically, dimethylsiloxane-based both terminal amines are amino-modified silicone oils X-22-161AS (amine equivalent 450), X-22-161A (amine equivalent 840), X-22-161B (amine equivalent 1500) ( As described above, commercially available as Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., BY16-853 (amine equivalent 650), BY-16-853B (amine equivalent 2200) (above, Toray Dow Corning Silicone). Further, dimethyldiphenylsiloxane-based both terminal diamines are commercially available as X-22-9409 (amine equivalent 680), X-22-1660B (amine equivalent 2260, above, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and the like. These can be used alone or in combination.

ポリアミドイミドの製造においては、まず、上述したような芳香族ジアミンとシロキサンジアミンとのジアミン混合物と、無水トリメリット酸とを反応させてジイミドジカルボン酸を得る。こうして得られるジイミドジカルボン酸には、下記一般式(5a)及び下記一般式(5b)で表される化合物が含まれる。   In the production of polyamideimide, first, diimide dicarboxylic acid is obtained by reacting a diamine mixture of aromatic diamine and siloxane diamine as described above with trimellitic anhydride. The diimide dicarboxylic acid thus obtained includes compounds represented by the following general formula (5a) and the following general formula (5b).

Figure 2005088309
Figure 2005088309

式中、Zは、上記一般式(1)で表される化合物のアミノ基を除いた残基である。また、R、R及びnは上記と同義である。 In the formula, Z is a residue excluding the amino group of the compound represented by the general formula (1). R 1 , R 2 and n are as defined above.

芳香族ジアミン及びシロキサンジアミンを含むジアミン混合物と、無水トリメリット酸との反応においては、芳香族ジアミンのモル数をA、シロキサンジアミンのモル数をB、無水トリメリット酸のモル数をCとすると、(A+B)/Cの値が1.0/2.0〜1.0/2.2となるようにして反応させることが好ましい。ここで、AとBとの混合比率A/Bは99.9/0.1〜0/100であることが好ましく、かかる混合比率は、Bのアミン当量に応じて決定することが好ましい。例えば、シロキサンジアミンのアミン当量が400〜500の場合、A/Bは99.9/0.1〜0/100、アミン当量が800〜1000の場合、A/Bは99.9/0.1〜60/40、アミン当量が1500〜1600の場合、A/Bは99.9/0.1〜60/40とすることが好ましい。A、B及びCを上記範囲内にすることにより、上記一般式(5a)及び(5b)で表されるジイミドジカルボン酸がより生成しやすくなり、得られるポリアミドイミドにおける全アミド基量及び全ケイ素量について上記式(I)及び(II)を具備させやすくなる。   In the reaction of a diamine mixture containing aromatic diamine and siloxane diamine with trimellitic anhydride, the number of moles of aromatic diamine is A, the number of moles of siloxane diamine is B, and the number of moles of trimellitic anhydride is C. , (A + B) / C is preferably reacted so as to be 1.0 / 2.0 to 1.0 / 2.2. Here, the mixing ratio A / B of A and B is preferably 99.9 / 0.1 to 0/100, and the mixing ratio is preferably determined according to the amine equivalent of B. For example, when the amine equivalent of siloxane diamine is 400 to 500, A / B is 99.9 / 0.1 to 0/100, and when the amine equivalent is 800 to 1000, A / B is 99.9 / 0.1. When A60 is -60/40 and the amine equivalent is 1500-1600, A / B is preferably 99.9 / 0.1-60 / 40. By making A, B and C within the above ranges, the diimide dicarboxylic acid represented by the general formulas (5a) and (5b) can be more easily generated, and the total amount of amide groups and total silicon in the resulting polyamideimide It becomes easy to provide said formula (I) and (II) about quantity.

ジイミドジカルボン酸の生成反応においては、まず、芳香族ジアミン及びシロキサンジアミンを含むジアミン混合物と無水トリメリット酸とを非プロトン性極性溶媒中、50〜90℃で反応させた後、更に水と共沸可能な芳香族炭化水素を加え、120〜180℃で反応させて脱水閉環反応を生じさせることにより製造することが好ましい。かかる反応に用いる非プロトン性極性溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、4−ブチロラクトン、スルホラン等が例示でき、N−メチル−2−ピロリドンを用いることがより好ましい。   In the formation reaction of diimide dicarboxylic acid, first, a diamine mixture containing aromatic diamine and siloxane diamine and trimellitic anhydride are reacted in an aprotic polar solvent at 50 to 90 ° C., and further azeotroped with water. It is preferable to produce by adding a possible aromatic hydrocarbon and reacting at 120 to 180 ° C. to cause a dehydration cyclization reaction. Examples of the aprotic polar solvent used in the reaction include dimethylacetamide, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone, 4-butyrolactone, sulfolane and the like, and N-methyl-2-pyrrolidone is used. More preferred.

また、水と共沸可能な芳香族炭化水素としては、トルエン、ベンゼン、キシレン、エチルベンゼン等が例示でき、トルエンを用いることが好ましい。かかる芳香族炭化水素は非プロトン性極性溶媒に対して、重量比で0.1〜0.5となる重量を加えることが好ましい。そして、脱水閉環反応の終了後、更に温度を約190℃に上昇させて水と共沸可能な芳香族炭化水素を除去しておくことが好ましい。   Examples of aromatic hydrocarbons that can be azeotroped with water include toluene, benzene, xylene, and ethylbenzene, and it is preferable to use toluene. The aromatic hydrocarbon is preferably added at a weight ratio of 0.1 to 0.5 with respect to the aprotic polar solvent. And after completion | finish of a dehydration ring closure reaction, it is preferable to raise the temperature further to about 190 degreeC, and to remove the aromatic hydrocarbon which can azeotrope with water.

ポリアミドイミドの製造においては、次に、こうして得られたジイミドジカルボン酸に、ジイソシアネートを反応させ、ポリアミドイミドを得る。ここで用いるジイソシアネートとしては、下記一般式(6)で表される化合物を用いることができる。

Figure 2005088309
In the production of polyamideimide, the diimide dicarboxylic acid thus obtained is then reacted with diisocyanate to obtain polyamideimide. As the diisocyanate used here, a compound represented by the following general formula (6) can be used.
Figure 2005088309

式中、Eは少なくとも1つの芳香環を有する2価の有機基、又は、2価の脂肪族炭化水素基であり、−C−CH−C−で表される基、トリレン基、ナフチレン基、ヘキサメチレン基、2,2,4−トリメチルヘキサメチレン基及びイソホロン基からなる群より選ばれる少なくとも1つの基であることが好ましい。 In the formula, E is a divalent organic group having at least one aromatic ring or a divalent aliphatic hydrocarbon group, and is a group represented by —C 6 H 4 —CH 2 —C 6 H 4 —. And at least one group selected from the group consisting of a tolylene group, a naphthylene group, a hexamethylene group, a 2,2,4-trimethylhexamethylene group and an isophorone group.

上記一般式(6)で表されるジイソシアネートとしては、脂肪族ジイソシアネート又は芳香族ジイソシアネートを用いることができるが、芳香族ジイソシアネートを用いることが好ましく、両者を併用することが特に好ましい。   As the diisocyanate represented by the general formula (6), an aliphatic diisocyanate or an aromatic diisocyanate can be used, but it is preferable to use an aromatic diisocyanate, and it is particularly preferable to use both in combination.

芳香族ジイソシアネートとしては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、2,4−トリレンダイマー等が例示でき、MDIを用いることが特に好ましい。芳香族ジイソシアネートとしてMDIを用いることにより、得られるポリアミドイミドの可撓性を向上させ、また、結晶性を低減させることができ、ポリアミドイミドのフィルム形成性を向上させることができる。   Examples of aromatic diisocyanates include 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI), 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, 2,4-tolylene dimer, and the like. As an example, it is particularly preferable to use MDI. By using MDI as the aromatic diisocyanate, the flexibility of the polyamideimide obtained can be improved, the crystallinity can be reduced, and the film-formability of the polyamideimide can be improved.

脂肪族ジイソシアネートとしては、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等が例示できる。   Examples of the aliphatic diisocyanate include hexamethylene diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate.

芳香族ジイソシアネート及び脂肪族ジイソシアネートを併用する場合は、脂肪族ジイソシアネートを芳香族ジイソシアネートに対して5〜10モル%程度添加して用いることが好ましく、かかる併用により、得られるポリアミドイミドの耐熱性を更に向上させることができる。   When an aromatic diisocyanate and an aliphatic diisocyanate are used in combination, it is preferable to add an aliphatic diisocyanate to the aromatic diisocyanate in an amount of about 5 to 10 mol%, and the combined use further improves the heat resistance of the resulting polyamideimide. Can be improved.

ジイミドジカルボン酸混合物とジイソシアネートとの反応の結果、例えば、下記一般式(7)及び下記一般式(8)で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミドが得られる。これらの繰り返し単位は、ブロック的に結合していてもよく、ランダム的に結合していても構わない。なお、式中のZ、E、R及びR及びnは、上記と同義である。 As a result of the reaction between the diimide dicarboxylic acid mixture and the diisocyanate, for example, a polyamideimide having repeating units represented by the following general formula (7) and the following general formula (8) is obtained. These repeating units may be bonded in blocks or may be bonded randomly. In the formula, Z, E, R 1, R 2 and n are as defined above.

Figure 2005088309
Figure 2005088309

Figure 2005088309
Figure 2005088309

ジイミドジカルボン酸混合物と芳香族ジイソシアネートとの反応は、ジイミドジカルボン酸混合物の調製において水と共沸可能な芳香族炭化水素を除去した後に、一旦この溶液を室温まで冷却してから行うことが望ましい。こうして冷却された溶液に芳香族ジイソシアネートを加えて、温度を約190℃に上昇させて2時間程度反応させることによりポリアミドイミドが得られる。かかる反応においては、生成したジイミドジカルボン酸混合物1当量に対する芳香族ジイソシアネートの添加量は1.0〜1.5当量であることが好ましく、1.1〜1.3当量であることがより好ましい。芳香族ジイソシアネートの添加量が1.0当量未満であると、得られる基板フィルムの可撓性が低下する傾向があり、また1.5当量を超えても、同様に得られる基板フィルムの可撓性が低下する傾向がある。   The reaction between the diimide dicarboxylic acid mixture and the aromatic diisocyanate is desirably carried out after removing the aromatic hydrocarbon azeotropic with water in the preparation of the diimide dicarboxylic acid mixture and then cooling the solution to room temperature. Aromatic diisocyanate is added to the solution thus cooled, the temperature is raised to about 190 ° C., and a reaction is carried out for about 2 hours to obtain a polyamideimide. In such a reaction, the amount of aromatic diisocyanate added is preferably 1.0 to 1.5 equivalents, more preferably 1.1 to 1.3 equivalents, relative to 1 equivalent of the resulting diimide dicarboxylic acid mixture. When the addition amount of the aromatic diisocyanate is less than 1.0 equivalent, the flexibility of the obtained substrate film tends to be lowered, and even when it exceeds 1.5 equivalents, the flexibility of the obtained substrate film is similarly obtained. Tend to decrease.

(アミド反応性化合物)
次に、硬化性樹脂を構成するアミド反応性化合物について説明する。アミド反応性化合物としては、アミド基と反応を生じる官能基を備えた熱硬化性樹脂を用いることができる。かかるアミド反応性化合物はアミド基及び/又はケイ素原子を含有していてもよい。熱硬化性樹脂としては、多官能エポキシ化合物、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ビスマレイミド樹脂、トリアジン−ビスマレイミド樹脂、フェノール樹脂等が例示でき、多官能エポキシ化合物が好ましい。アミド反応性化合物として多官能エポキシ化合物を用いることにより、得られる基板フィルムの耐熱性だけでなく機械的特性及び電気的特性を向上させることができる。このような多官能エポキシ化合物としては2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物が好ましく、3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物がより好ましい。
(Amide reactive compounds)
Next, the amide reactive compound constituting the curable resin will be described. As the amide-reactive compound, a thermosetting resin having a functional group that reacts with an amide group can be used. Such amide-reactive compounds may contain amide groups and / or silicon atoms. Examples of the thermosetting resin include polyfunctional epoxy compounds, polyimide resins, unsaturated polyester resins, polyurethane resins, bismaleimide resins, triazine-bismaleimide resins, phenol resins, and the like, and polyfunctional epoxy compounds are preferable. By using a polyfunctional epoxy compound as the amide-reactive compound, not only the heat resistance of the resulting substrate film but also the mechanical and electrical properties can be improved. As such a polyfunctional epoxy compound, a polyfunctional epoxy compound having two or more epoxy groups is preferable, and a polyfunctional epoxy compound having three or more epoxy groups is more preferable.

2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物としては、ビスフェノールA、ノボラック型フェノール樹脂、オルトクレゾールノボラック型フェノール樹脂等の多価フェノールとエピクロルヒドリンとを反応させてなるエポキシ樹脂;1,4−ブタンジオール等の多価アルコールとエピクロルヒドリンとを反応させてなるエポキシ樹脂;フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等の多塩基酸とエピクロルヒドリンとを反応させてなるポリグリシジルエステル;アミン、アミド又は複素環式窒素塩基を有する化合物のN−グリシジル誘導体;脂環式エポキシ樹脂等が例示できる。   Examples of the polyfunctional epoxy compound having two or more epoxy groups include an epoxy resin obtained by reacting a polyhydric phenol such as bisphenol A, a novolac type phenol resin, or an orthocresol novolac type phenol resin with epichlorohydrin; 1,4-butane Epoxy resin formed by reacting polyhydric alcohol such as diol with epichlorohydrin; polyglycidyl ester formed by reacting polybasic acid such as phthalic acid or hexahydrophthalic acid with epichlorohydrin; amine, amide or heterocyclic nitrogen base N-glycidyl derivative of a compound having a alicyclic epoxy resin and the like.

多官能エポキシ化合物として特に好適な、3個以上のグリシジル基を有する多官能エポキシ化合物としては、ZX−1548−2(東都化成社製)、DER−331L(ダウケミカル社製ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、YDCN−195(東都化成社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)等が商業的に入手可能であり、好適に用いることができる。   Particularly suitable as the polyfunctional epoxy compound, as the polyfunctional epoxy compound having three or more glycidyl groups, ZX-15548-2 (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), DER-331L (bisphenol A type epoxy resin manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) YDCN-195 (Cresol novolac type epoxy resin manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) is commercially available and can be suitably used.

硬化性樹脂中に含有させるアミド反応性化合物の配合量は、硬化性樹脂中のアミド基又はケイ素原子が所定の含有量となるように決定する。具体的には、ポリアミドイミド100重量部に対するアミド反応性化合物の重量部Bは、ポリアミドイミド中のアミド基量をPa重量%、アミド反応性化合物中のアミド基量をEa重量%、ポリアミドイミド中のケイ素量をPc重量%、アミド反応性化合物中のケイ素量をEc重量%としたときに、上記の式(I)及び(II)を満たすように決定する。   The compounding amount of the amide reactive compound to be contained in the curable resin is determined so that the amide group or silicon atom in the curable resin has a predetermined content. Specifically, the weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamide-imide is such that the amount of amide groups in the polyamide-imide is Pa wt%, the amount of amide groups in the amide-reactive compound is Ea wt%, When the amount of silicon is Pc wt% and the amount of silicon in the amide-reactive compound is Ec wt%, it is determined so as to satisfy the above formulas (I) and (II).

アミド反応性化合物として多官能エポキシ化合物を用いる場合には、硬化性樹脂中に、多官能エポキシ化合物の硬化剤や硬化促進剤を更に加えることが好ましい。このような硬化剤、硬化促進剤としては、公知のものを加えることができる。例えば、硬化剤としては、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、グアニル尿素等のアミン類;イミダゾール類;ヒドロキノン、レゾルシノール、ビスフェノールA及びこれらのハロゲン化物、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等の多官能フェノール類;無水フタル酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルハイミック酸等の酸無水物類等が挙げられる。また、硬化促進剤としては、アルキル基置換イミダゾール、ベンゾイミダゾール等のイミダゾール類が挙げられる。   When a polyfunctional epoxy compound is used as the amide-reactive compound, it is preferable to further add a curing agent or a curing accelerator for the polyfunctional epoxy compound in the curable resin. Known curing agents and curing accelerators can be added. For example, as the curing agent, amines such as dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, guanylurea; imidazoles; hydroquinone, resorcinol, bisphenol A and their halides, polyfunctional phenols such as novolac-type phenol resin, resole-type phenol resin; Examples thereof include acid anhydrides such as phthalic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and methyl hymic acid. Examples of the curing accelerator include imidazoles such as alkyl group-substituted imidazole and benzimidazole.

硬化剤を加える場合、その配合量は、多官能エポキシ化合物におけるエポキシ当量に応じて決定することができる。例えば、硬化剤としてアミン化合物を添加する場合には、アミンの活性水素の当量と、多官能エポキシ化合物のエポキシ当量が等しくなるように配合する。また、硬化剤が多官能フェノール類又は酸無水物類である場合には、その配合量は、多官能エポキシ化合物1当量に対して、フェノール性水酸基又はカルボキシル基が0.6〜1.2当量となるようにすることが好ましい。一方、硬化促進剤を加える場合、その配合量は多官能エポキシ化合物100重量部に対して、0.001〜10重量部とすることが好ましい。これらの硬化剤又は硬化促進剤の配合量が上記範囲より少ないと、多官能エポキシ化合物の硬化が不充分となって、硬化性樹脂の硬化後のガラス転移温度が低下する傾向にある。一方、上記範囲よりも多いと、残存の硬化剤又は硬化促進剤により硬化性樹脂の硬化後の電気的特性が低下する傾向がある。   When adding a hardening | curing agent, the compounding quantity can be determined according to the epoxy equivalent in a polyfunctional epoxy compound. For example, when an amine compound is added as a curing agent, the compound is blended so that the active hydrogen equivalent of the amine is equal to the epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy compound. When the curing agent is a polyfunctional phenol or acid anhydride, the compounding amount is 0.6 to 1.2 equivalent of phenolic hydroxyl group or carboxyl group with respect to 1 equivalent of polyfunctional epoxy compound. It is preferable that On the other hand, when adding a hardening accelerator, it is preferable that the compounding quantity shall be 0.001-10 weight part with respect to 100 weight part of polyfunctional epoxy compounds. When the compounding amount of these curing agents or curing accelerators is less than the above range, the polyfunctional epoxy compound is insufficiently cured and the glass transition temperature after curing of the curable resin tends to decrease. On the other hand, when the amount is larger than the above range, the electrical characteristics after curing of the curable resin tend to be reduced by the remaining curing agent or curing accelerator.

(無機フィラー)
本発明の硬化性樹脂中は、上述のポリアミドイミド、アミド反応性化合物の他に、無機フィラーを更に含有している。硬化性樹脂中に無機フィラーを含有していると、形成される基板フィルムの熱膨張係数が低減され、また、弾性率が向上し、これにより得られる金属箔付き基板フィルムの耐熱性及び機械的強度も極めて良好となる。
(Inorganic filler)
The curable resin of the present invention further contains an inorganic filler in addition to the above polyamideimide and amide reactive compounds. When an inorganic filler is contained in the curable resin, the coefficient of thermal expansion of the formed substrate film is reduced, and the elastic modulus is improved, whereby the heat resistance and mechanical properties of the obtained substrate film with metal foil are improved. The strength is also extremely good.

このような無機フィラーとしては、例えば、炭酸カルシウム、アルミナ、酸化チタン、マイカ、炭酸アルミニウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム、シリカ、ガラス短繊維、ホウ酸アルミニウムウィスカ、炭化ケイ素ウィスカ等が例示でき、これらは単独で、又は組み合わせて用いることができる。これらの無機フィラーの含有量は、硬化性樹脂の全体積(硬化性樹脂の固形分の全体積)に対して5〜50体積%であり、10〜50体積%であると好ましく、20〜40体積%であるとより好ましい。無機フィラーの含有量が5体積%未満であるか、又は50体積%を超えると、基板フィルムの強度が低下したり、基板フィルムの金属箔との接着強度が低下したりする傾向にある。   Examples of such inorganic fillers include calcium carbonate, alumina, titanium oxide, mica, aluminum carbonate, aluminum hydroxide, magnesium silicate, aluminum silicate, silica, short glass fiber, aluminum borate whisker, and silicon carbide whisker. And these can be used alone or in combination. Content of these inorganic fillers is 5-50 volume% with respect to the total volume (total volume of solid content of curable resin) of curable resin, and it is preferable in it being 10-50 volume%, and 20-40. More preferably, it is volume%. When content of an inorganic filler is less than 5 volume% or exceeds 50 volume%, it exists in the tendency for the intensity | strength of a board | substrate film to fall or the adhesive strength with the metal foil of a board | substrate film to fall.

これらの無機フィラーには、硬化性樹脂中での分散性を向上させるための所定の前処理が施されていることが好ましい。かかる前処理としては、例えば、シリコーン重合体による無機フィラーの表面処理が挙げられる。この場合、無機フィラーをシリコーン重合体溶液に配合し、この混合溶液を硬化性樹脂の他の成分と混合(混錬等)することにより、表面処理が成されたフィラーを硬化性樹脂中に含有させることができる。用いるシリコーン重合体の量は、無機フィラーの重量に対して0.01〜10重量%程度が好ましく、0.05〜5重量%程度がより好ましい。   These inorganic fillers are preferably subjected to a predetermined pretreatment for improving dispersibility in the curable resin. Examples of such pretreatment include surface treatment of an inorganic filler with a silicone polymer. In this case, the inorganic filler is blended with the silicone polymer solution, and the mixed solution is mixed with other components of the curable resin (kneading, etc.), so that the surface-treated filler is contained in the curable resin. Can be made. The amount of the silicone polymer used is preferably about 0.01 to 10% by weight, more preferably about 0.05 to 5% by weight, based on the weight of the inorganic filler.

所定の前処理としては、また、シランカップリング剤による無機フィラーの表面処理も挙げられる。この場合も、シリコーン重合体における場合と同様に、無機フィラーをシランカップリング剤溶液中に配合し、この混合溶液を硬化性樹脂の他の成分と混合する。用いるシランカップリング剤の量は、無機フィラーの重量に対して0.01〜10重量%が好ましく、0.05〜5重量%がより好ましい。   Examples of the predetermined pretreatment also include a surface treatment of an inorganic filler with a silane coupling agent. In this case as well, as in the case of the silicone polymer, an inorganic filler is blended in the silane coupling agent solution, and this mixed solution is mixed with other components of the curable resin. The amount of the silane coupling agent used is preferably 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.05 to 5% by weight, based on the weight of the inorganic filler.

以上、基板フィルム形成する硬化性樹脂の各成分について説明したが、硬化性樹脂中には、硬化を阻害しない範囲で、充填剤、カップリング剤、難燃剤等をその他の成分として更に添加することもできる。   As described above, each component of the curable resin for forming the substrate film has been described. In the curable resin, a filler, a coupling agent, a flame retardant, and the like are further added as other components within a range not inhibiting the curing. You can also.

(金属箔)
次に、金属箔付き基板フィルムに用いられる金属箔について説明する。金属箔としては、一般的にフレキシブルプリント配線板の配線回路の形成に用いられる金属からなるものであれば特に制限はないが、通常配線用材料として多く用いられる銅箔が特に好ましい。銅箔としては、電解銅箔や圧延銅箔等を用いることができ、表面に粗化処理等により凹凸が形成されていないものが好ましい。配線回路を形成した場合に伝達信号の高周波数化を図るためには、小さい表面粗さを有する銅箔が好ましく、具体的には、銅箔の少なくとも一方の面が、JIS B0601−1994に規定の十点平均表面粗さ(Rz)が3μm以下であると好ましく、Rzが2μmであるとより好ましい。通常の電解銅箔の光沢面は、これらの条件を満たしており、このような銅箔を用いる場合は、その光沢面をそのまま基板フィルムに対する接着面とすることができる。
(Metal foil)
Next, the metal foil used for the substrate film with metal foil will be described. The metal foil is not particularly limited as long as it is made of a metal that is generally used for forming a wiring circuit of a flexible printed wiring board, but a copper foil that is often used as a wiring material is particularly preferable. As the copper foil, an electrolytic copper foil, a rolled copper foil, or the like can be used, and it is preferable that the surface has no irregularities formed by roughening treatment or the like. In order to increase the frequency of a transmission signal when a wiring circuit is formed, a copper foil having a small surface roughness is preferable. Specifically, at least one surface of the copper foil is defined in JIS B0601-1994. The ten-point average surface roughness (Rz) is preferably 3 μm or less, and more preferably Rz is 2 μm. The glossy surface of a normal electrolytic copper foil satisfies these conditions, and when such a copper foil is used, the glossy surface can be used as an adhesive surface to the substrate film as it is.

このような条件を満たす銅箔としては、F2−WS(古河サーキットフォイル社製、Rz=3.0)、3EC−VLP(三井金属社製、Rz=3.0)が挙げられ、特に表面粗さの小さい銅箔としては、F0−WS(古河サーキットフォイル社製、Rz=1.2μm)が商業的に入手可能である。また、これらの銅箔の厚さは9〜18μm程度が好ましい。また、キャリア銅箔の表面に離型処理を施し、この上に極薄の銅箔を積層したピーラブル銅箔も使用可能であり、この場合の銅箔としては、3μmや5μmの厚みのものを用いることができる。このような銅箔としては、例えば、MTS(三井金属社製)、NAP(日本電解社製)、FCF(古河サーキットフォイル社製)等が商業的に入手可能である。   Examples of the copper foil satisfying such conditions include F2-WS (Furukawa Circuit Foil, Rz = 3.0) and 3EC-VLP (Mitsui Metals, Rz = 3.0). As a small copper foil, F0-WS (Furukawa Circuit Foil, Rz = 1.2 μm) is commercially available. Further, the thickness of these copper foils is preferably about 9 to 18 μm. In addition, a peelable copper foil in which a release treatment is performed on the surface of the carrier copper foil and an extremely thin copper foil is laminated thereon can be used. In this case, the copper foil having a thickness of 3 μm or 5 μm is used. Can be used. As such copper foil, for example, MTS (manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.), NAP (manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd.), FCF (manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) and the like are commercially available.

銅箔以外の金属箔としては、厚さ5〜200μmのアルミニウム箔、厚さ0.5〜15μmの銅箔層と厚さ10〜300μmの銅箔層の間に、ニッケル、ニッケル−リン、ニッケル−スズ合金、ニッケル−鉄合金、鉛、鉛−スズ合金等からなる中間層を設けた3層構造の複合箔や、アルミニウムと銅箔を複合した2層構造の複合箔等が挙げられる。これらの金属箔も、その表面粗さが上述の条件を満たしていることが好ましい。   Metal foils other than copper foil include nickel, nickel-phosphorus, nickel between aluminum foil having a thickness of 5 to 200 μm, copper foil layer having a thickness of 0.5 to 15 μm and copper foil layer having a thickness of 10 to 300 μm. -The composite foil of the 3 layer structure which provided the intermediate | middle layer which consists of a tin alloy, nickel-iron alloy, lead, lead-tin alloy, etc., the composite foil of the 2 layer structure which compounded aluminum and copper foil, etc. are mentioned. These metal foils also preferably have a surface roughness that satisfies the above-described conditions.

(金属箔付き基板フィルムの製造)
本発明の金属箔付き基板フィルムは、金属箔上に硬化性樹脂を塗布等した後、硬化性樹脂を硬化して基板フィルムとすることにより製造することができる。金属箔上への硬化性樹脂の塗布は、公知の方法により実施することができ、具体的には、コンマコータ、ディップコータ、キスコータや自然流延塗布等による方法が挙げられる。かかる塗布は、硬化性樹脂を有機溶媒等に溶解又は分散させ、硬化性樹脂の濃度が0.1〜10%、好ましくは2〜6%であるワニスの状態で行うことが好ましい。この場合にワニスに用いる有機溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、スルホラン、シクロヘキサノン等が挙げられる。
(Manufacture of substrate film with metal foil)
The substrate film with metal foil of the present invention can be produced by applying a curable resin on the metal foil and then curing the curable resin to obtain a substrate film. Application | coating of curable resin on metal foil can be implemented by a well-known method, Specifically, the method by a comma coater, a dip coater, a kiss coater, natural casting application | coating etc. is mentioned. Such application is preferably performed in a varnish state in which the curable resin is dissolved or dispersed in an organic solvent or the like, and the concentration of the curable resin is 0.1 to 10%, preferably 2 to 6%. In this case, examples of the organic solvent used for the varnish include dimethylacetamide, dimethylformamide, dimethylsulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone, sulfolane, cyclohexanone, and the like.

こうして金属箔上に硬化性樹脂層が積層された樹脂付き金属箔を、所定の条件で加熱及び/又は加圧することにより硬化性樹脂を硬化させて基板フィルムとし、片面に金属箔を有する片面金属箔付き基板フィルムが形成される。この場合の加熱は、好ましくは160〜250℃の温度で実施することができ、加圧は0.1〜8.0MPaの圧力、好ましくは真空下で実施することができる。加熱及び加圧は真空プレス等を用いて同時に行うことが好ましく、これらの処理を10分以上、好ましくは30分以上、より好ましくは60分以上実施することで、金属箔と基板フィルムとの接着性に優れた金属箔付き基板フィルムを製造することができる。   The metal foil with resin in which the curable resin layer is laminated on the metal foil in this manner is heated and / or pressurized under predetermined conditions to cure the curable resin to form a substrate film, and a single-sided metal having a metal foil on one side A substrate film with foil is formed. The heating in this case can be preferably carried out at a temperature of 160 to 250 ° C., and the pressurization can be carried out under a pressure of 0.1 to 8.0 MPa, preferably under vacuum. Heating and pressing are preferably performed simultaneously using a vacuum press or the like, and these treatments are performed for 10 minutes or more, preferably 30 minutes or more, more preferably 60 minutes or more, so that the metal foil and the substrate film can be bonded. The board | substrate film with metal foil excellent in property can be manufactured.

(両面金属箔付き基板フィルム及びその製造)
また、上述した硬化性樹脂は、当該硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムの両面に金属箔を備える両面金属箔付き基板フィルムに対しても好適に用いることができる。このような両面金属箔付き基板フィルムは、2つの金属箔(第1の金属箔及び第2の金属箔)の間に、硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を挟持して、全体を加熱及び/又は加圧する方法により得られたものが好ましい。かかる方法においては、例えば、一方の金属箔上に硬化性樹脂を塗布する等して硬化性樹脂からなる層を形成させた後、この硬化性樹脂層上に更に金属箔を配置することにより金属箔間に硬化性樹脂が挟持された状態とすることができる。この場合、金属箔上への硬化性樹脂の塗布は、上述した片面金属箔付き基板フィルムにおける場合と同様にして実施することができる。2つの金属箔としてはそれぞれ同一のものを用いてもよく、異なるものを用いてもよい。
(Substrate film with double-sided metal foil and its manufacture)
Moreover, the curable resin mentioned above can be used suitably also for the board | substrate film with a double-sided metal foil provided with metal foil on both surfaces of the board | substrate film which consists of the hardened | cured material of the said curable resin. Such a substrate film with double-sided metal foil is heated by sandwiching a curable resin to be a substrate film by curing between two metal foils (first metal foil and second metal foil). And what was obtained by the method of pressurizing is preferable. In such a method, for example, a layer made of a curable resin is formed by applying a curable resin on one metal foil, and then a metal foil is further disposed on the curable resin layer. A curable resin can be sandwiched between the foils. In this case, application | coating of curable resin on metal foil can be implemented like the case in the board | substrate film with single-sided metal foil mentioned above. The two metal foils may be the same or different.

また、硬化性樹脂は、2つの金属箔(第1の金属箔及び第2の金属箔)のそれぞれの一方面上に当該硬化性樹脂を積層して得られた2つの積層体を、それぞれの硬化性樹脂同士が対向するようにして接触させることによって、第1の金属箔と第2の金属箔との間に挟持させることもできる。この場合、2つの積層体における硬化性樹脂及び金属箔は、それぞれ同一でも異なっていてもよいが、積層体同士の接着性の観点からは、少なくとも硬化性樹脂が同一であることが望ましい。   In addition, the curable resin includes two laminates obtained by laminating the curable resin on one side of each of the two metal foils (the first metal foil and the second metal foil). It can also be made to clamp between 1st metal foil and 2nd metal foil by making curable resin contact so that it may oppose. In this case, the curable resin and the metal foil in the two laminates may be the same or different from each other, but at least the curable resin is desirably the same from the viewpoint of adhesion between the laminates.

こうして2つの金属箔間に硬化性樹脂を挟持したら、全体を上述の片面金属箔付き基板フィルムの製造における場合と同様の条件で加熱及び/又は加圧することにより金属箔間の硬化性樹脂を硬化させて、硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムを形成させる。こうして両面金属箔付き基板フィルムが得られる。   When the curable resin is sandwiched between the two metal foils in this way, the curable resin between the metal foils is cured by heating and / or pressing the whole under the same conditions as in the production of the substrate film with a single-sided metal foil. Thus, a substrate film made of a cured product of the curable resin is formed. Thus, a substrate film with double-sided metal foil is obtained.

こうして得られた両面金属箔付き基板フィルムは、金属箔表面が平滑であり、また基板フィルムと金属箔との接着性や耐熱性、更には可撓性に極めて優れるといった特性を有するものとなる。かかる両面金属箔付き基板フィルムを用い、金属箔にエッチングやめっきといった公知のパターニングを施して配線パターンを形成することにより、高周波領域でも動作が可能なフレキシブルプリント配線板等のプリント配線板を得ることができる。   The substrate film with double-sided metal foil thus obtained has characteristics that the surface of the metal foil is smooth, and that the adhesion between the substrate film and the metal foil, heat resistance, and flexibility are extremely excellent. A printed wiring board such as a flexible printed wiring board that can operate in a high-frequency region is obtained by forming a wiring pattern by performing known patterning such as etching or plating on the metal foil using the substrate film with double-sided metal foil. Can do.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these.

[ポリアミドイミドの合成]
(合成例1)
還流冷却器を連結したコック付き25mLの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、芳香族ジアミンとして2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)57.5g(0.14mol)、シロキサンジアミンとして反応性シリコンオイルKF8010(信越化学工業社製、アミン当量421)50.5g(0.06mol)、無水トリメリット酸(TMA)80.7g(0.42mol)、非プロトン性極性溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン(NMP)462gを仕込み、80℃で30分間攪拌した。
[Synthesis of Polyamideimide]
(Synthesis Example 1)
To a 1 L separable flask equipped with a 25 mL water meter with a cock connected to a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] as an aromatic diamine 57.5 g (0.14 mol) of propane (BAPP), 50.5 g (0.06 mol) of reactive silicon oil KF8010 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., amine equivalent 421) as siloxane diamine, 80. trimellitic anhydride (TMA) 80. 7 g (0.42 mol) and 462 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) as an aprotic polar solvent were charged and stirred at 80 ° C. for 30 minutes.

攪拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン100mLを加え、温度を160℃に上昇させて2時間還流させた。水分定量受器に水が約7.2mL以上たまり、水の留出が見られなくなっていることを確認したら、水分定量受器中の水とトルエンを除去し、更に温度を190℃まで上昇させて、反応溶液中のトルエンを除去した。   After completion of stirring, 100 mL of toluene was added as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and the temperature was raised to 160 ° C. and refluxed for 2 hours. When it is confirmed that water has accumulated in the moisture determination receiver about 7.2 mL or more and water is no longer distilled, water and toluene in the moisture determination receiver are removed, and the temperature is further increased to 190 ° C. Then, toluene in the reaction solution was removed.

フラスコの溶液を室温まで戻した後、芳香族イソシアネートとして4,4’−ジフェニルメタンジイイソシアネート(MDI)60.1g(0.24mol)を加え、温度を190℃に上昇させて2時間反応させた。反応後、溶液を室温まで冷却して、重量平均分子量(MW)110000、アミド基量8.05重量%、ケイ素量8.68重量%のポリアミドイミドのNMP溶液を得た。   After returning the solution in the flask to room temperature, 60.1 g (0.24 mol) of 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (MDI) was added as an aromatic isocyanate, and the temperature was raised to 190 ° C. and reacted for 2 hours. After the reaction, the solution was cooled to room temperature to obtain an NMP solution of polyamideimide having a weight average molecular weight (MW) of 110,000, an amide group amount of 8.05% by weight, and a silicon amount of 8.68% by weight.

(合成例2)
還流冷却器を連結したコック付き25mLの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、芳香族ジアミンとしてBAPPの41.1g(0.10mol)、シロキサンジアミンとして反応性シリコンオイルKF8010の84.2g(0.10mol)、TMAの80.7g(0.42mol)、非プロトン性極性溶媒としてNMPの494gを仕込み、80℃で30分間攪拌した。
(Synthesis Example 2)
In a 1 L separable flask equipped with a 25 mL water meter with a cock connected to a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer, 41.1 g (0.10 mol) of BAPP as an aromatic diamine and reactive as a siloxane diamine 84.2 g (0.10 mol) of silicon oil KF8010, 80.7 g (0.42 mol) of TMA, and 494 g of NMP as an aprotic polar solvent were charged and stirred at 80 ° C. for 30 minutes.

攪拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン100mLを加え、温度を160℃に上昇させて2時間還流させた。水分定量受器に水が約7.2mL以上たまり、水の留出が見られなくなっていることを確認したら、水分定量受器中の水とトルエンを除去し、更に温度を190℃まで上昇させて、反応溶液中のトルエンを除去した。   After completion of stirring, 100 mL of toluene was added as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and the temperature was raised to 160 ° C. and refluxed for 2 hours. When it is confirmed that water has accumulated in the moisture determination receiver about 7.2 mL or more and water is no longer distilled, water and toluene in the moisture determination receiver are removed, and the temperature is further increased to 190 ° C. Then, toluene in the reaction solution was removed.

フラスコの溶液を室温まで戻した後、芳香族イソシアネートとしてMDIの60.1g(0.24mol)を加え、温度を190℃に上昇させて2時間反応させた。反応後、溶液を室温まで冷却して、MW105000、アミド基量7.38重量%、ケイ素量13.26重量%のポリアミドイミドのNMP溶液を得た。   After returning the solution in the flask to room temperature, 60.1 g (0.24 mol) of MDI was added as an aromatic isocyanate, and the temperature was raised to 190 ° C. and reacted for 2 hours. After the reaction, the solution was cooled to room temperature to obtain an NMP solution of polyamideimide having a MW of 105000, an amide group amount of 7.38% by weight, and a silicon amount of 13.26% by weight.

(合成例3)
還流冷却器を連結したコック付き25mLの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、芳香族ジアミンとしてBAPPの41.05g(0.10mol)、シロキサンジアミンとして反応性シリコンオイルX−22−9409(信越化学工業社製、アミン当量679)135.8g(0.10mol)、TMAの80.7g(0.42mol)、非プロトン性極性溶媒としてNMPの476gを仕込み、80℃で30分間攪拌した。
(Synthesis Example 3)
In a 1 L separable flask equipped with a 25 mL water meter with a cock connected to a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer, 41.05 g (0.10 mol) of BAPP as an aromatic diamine and reactive as a siloxane diamine Silicon oil X-22-9409 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., amine equivalent 679) 135.8 g (0.10 mol), 80.7 g (0.42 mol) of TMA, 476 g of NMP as an aprotic polar solvent, Stir at 80 ° C. for 30 minutes.

攪拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン100mLを加え、温度を160℃に上昇させて2時間還流させた。水分定量受器に水が約7.2mL以上たまり、水の留出が見られなくなっていることを確認したら、水分定量受器中の水とトルエンを除去し、更に温度を190℃まで上昇させて、反応溶液中のトルエンを除去した。   After completion of stirring, 100 mL of toluene was added as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and the temperature was raised to 160 ° C. and refluxed for 2 hours. When it is confirmed that water has accumulated in the moisture determination receiver about 7.2 mL or more and water is no longer distilled, water and toluene in the moisture determination receiver are removed, and the temperature is further increased to 190 ° C. Then, toluene in the reaction solution was removed.

フラスコの溶液を室温まで戻した後、芳香族イソシアネートとしてMDIの60.1g(0.24mol)を加え、トリエチルアミン0.6gを更に添加して、温度を130℃に上昇させて4時間反応させた。反応後、溶液を室温まで冷却して、MW98000、アミド基量6.12重量%、ケイ素量10.99重量%のポリアミドイミドのNMP溶液を得た。   After returning the solution in the flask to room temperature, 60.1 g (0.24 mol) of MDI was added as an aromatic isocyanate, 0.6 g of triethylamine was further added, and the temperature was raised to 130 ° C. and reacted for 4 hours. . After the reaction, the solution was cooled to room temperature to obtain an NMP solution of polyamideimide having a MW of 98,000, an amide group amount of 6.12% by weight, and a silicon amount of 10.99% by weight.

(比較合成例1)
還流冷却器を連結したコック付き25mLの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、シロキサンジアミンとして反応性シリコンオイルX−22−161A(信越化学工業社製、アミン当量805)161.0g(0.10mol)、TMAの40.34g(0.21mol)、非プロトン性極性溶媒としてNMPの540gを仕込み、80℃で30分間攪拌した。
(Comparative Synthesis Example 1)
Reactive silicone oil X-22-161A (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., amine) was added as a siloxane diamine to a 1-L separable flask equipped with a 25 mL water meter with a cock connected to a reflux condenser, a thermometer, and a stirrer. Equivalent 805) 161.0 g (0.10 mol), 40.34 g (0.21 mol) of TMA, and 540 g of NMP as an aprotic polar solvent were charged and stirred at 80 ° C. for 30 minutes.

攪拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン100mLを加え、温度を160℃に上昇させて2時間還流させた。水分定量受器に水が約3.6mL以上たまり、水の留出が見られなくなっていることを確認したら、水分定量受器中の水とトルエンを除去し、更に温度を190℃まで上昇させて、反応溶液中のトルエンを除去した。   After completion of stirring, 100 mL of toluene was added as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and the temperature was raised to 160 ° C. and refluxed for 2 hours. After confirming that about 3.6 mL of water has accumulated in the moisture meter and the water is no longer distilled, remove the water and toluene in the meter and further raise the temperature to 190 ° C. Then, toluene in the reaction solution was removed.

フラスコの溶液を室温まで戻した後、芳香族イソシアネートとしてMDIの30.1g(0.12mol)を加え、さらにトリエチルアミン1.0gを投入して、温度を110℃に上昇させて4時間反応させた。反応後、溶液を室温まで冷却して、MW85000、アミド基量4.07重量%、ケイ素量27.96重量%のポリアミドイミドのNMP溶液を得た。   After returning the solution in the flask to room temperature, 30.1 g (0.12 mol) of MDI was added as an aromatic isocyanate, 1.0 g of triethylamine was further added, and the temperature was raised to 110 ° C. and reacted for 4 hours. . After the reaction, the solution was cooled to room temperature to obtain an NMP solution of polyamideimide having MW 85000, amide group amount 4.07% by weight, and silicon amount 27.96% by weight.

(比較合成例2)
還流冷却器を連結したコック付き25mLの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、芳香族ジアミンとしてBAPPの57.5g(0.14mol)、シロキサンジアミンとして反応性シリコンオイルKF8010の50.5g(0.06mol)、TMAの76.8g(0.40mol)、非プロトン性極性溶媒としてNMPの548gを仕込み、80℃で30分間攪拌した。
(Comparative Synthesis Example 2)
A 25-mL water quantitative receiver with a cock connected to a reflux condenser, a thermometer, a 1 L separable flask equipped with a stirrer, 57.5 g (0.14 mol) of BAPP as an aromatic diamine, and reactive as a siloxane diamine 50.5 g (0.06 mol) of silicone oil KF8010, 76.8 g (0.40 mol) of TMA, and 548 g of NMP as an aprotic polar solvent were charged and stirred at 80 ° C. for 30 minutes.

攪拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン100mLを加え、温度を160℃に上昇させて2時間還流させた。水分定量受器に水が約7.2mL以上たまり、水の留出が見られなくなっていることを確認したら、水分定量受器中の水トルエンを除去し、更に温度を190℃まで上昇させて、反応溶液中のトルエンを除去した。   After completion of stirring, 100 mL of toluene was added as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and the temperature was raised to 160 ° C. and refluxed for 2 hours. After confirming that water has accumulated in the moisture determination receiver about 7.2 mL or more and water is no longer being distilled, remove the water toluene in the moisture determination receiver and further raise the temperature to 190 ° C. The toluene in the reaction solution was removed.

フラスコの溶液を室温まで戻した後、芳香族イソシアネートとしてMDIの50.1g(0.20mol)を加え、温度を190℃に上昇させて2時間反応させた。反応後、溶液を室温まで冷却して、MW30000、アミド基量8.05重量%、ケイ素量8.68重量%のポリアミドイミドのNMP溶液を得た。   After returning the solution in the flask to room temperature, 50.1 g (0.20 mol) of MDI was added as an aromatic isocyanate, and the temperature was raised to 190 ° C. and reacted for 2 hours. After the reaction, the solution was cooled to room temperature to obtain an NMP solution of polyamideimide having a MW of 30000, an amide group amount of 8.05% by weight, and a silicon amount of 8.68% by weight.

[基板フィルム用硬化性樹脂の調製]
(フィラーの前処理)
攪拌装置、コンデンサ、温度計を備えたガラスフラスコに、ジメトキシジメチルシランを20g、テトラメトキシシランを25g、メタノールを105g配合した溶液に、酢酸0.60g及び蒸留水17.8gを更に配合し、50℃で8時間攪拌して、シリコーン重合体を得た。得られたシリコーン重合体と、シリカフィラー700g及びジメチルアセトアミド300gを混合して、80℃で1時間攪拌してシリカフィラーを含むスラリーを得た。
[Preparation of curable resin for substrate film]
(Filler pretreatment)
In a glass flask equipped with a stirrer, a condenser, and a thermometer, 0.60 g of acetic acid and 17.8 g of distilled water were further added to a solution containing 20 g of dimethoxydimethylsilane, 25 g of tetramethoxysilane, and 105 g of methanol. The mixture was stirred at 0 ° C. for 8 hours to obtain a silicone polymer. The obtained silicone polymer, 700 g of silica filler and 300 g of dimethylacetamide were mixed and stirred at 80 ° C. for 1 hour to obtain a slurry containing silica filler.

(調製例1)
合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液102.8g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331L(ダウ・ケミカル社製、ビスフェノールA型エポキシ樹脂)8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー30.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.3重量%、全ケイ素量が7.8重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Preparation Example 1)
102.8 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), DER331L which is an epoxy resin as an amide-reactive compound (8.0 g of bisphenol A type epoxy resin manufactured by Dow Chemical Co.) (Dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) and 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole were blended and stirred for about 1 hour until the composition became uniform. Thereafter, 30.8 g of the above-described slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution is filtered through a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound is 7.3 wt. %, The total silicon amount was 7.8% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(調製例2)
合成例2で得られたポリアミドイミドのNMP溶液102.8g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331L(ダウ・ケミカル社製、ビスフェノールA型エポキシ樹脂)8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー30.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が6.6重量%、全ケイ素量が11.9重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Preparation Example 2)
102.8 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 2 (resin solid content 35% by weight), DER331L which is an epoxy resin as an amide-reactive compound (8.0 g of bisphenol A type epoxy resin manufactured by Dow Chemical Company) (Dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) and 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole were blended and stirred for about 1 hour until the composition became uniform. Thereafter, 30.8 g of the above-described slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution is filtered through a 200-mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide-reactive compound is 6.6 wt. %, The total silicon amount was 11.9% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(調製例3)
合成例3で得られたポリアミドイミドのNMP溶液90.0g(樹脂固形分40重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるYDCN500−10(東都化成社製、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー30.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が5.5重量%、全ケイ素量が9.9重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Preparation Example 3)
7. 90.0 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 3 (resin solid content 40 wt%), YDCN500-10 (Cresol novolac type epoxy resin, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) which is an epoxy resin as an amide reactive compound 0 g (dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) and 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole were blended and stirred for about 1 hour until the composition became uniform. Thereafter, 30.8 g of the above-described slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution is filtered with a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound is 5.5 wt. %, The total silicon amount was 9.9% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(調製例4)
合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液91.4g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるNC3000H(日本化薬社製、ザイロック型エポキシ樹脂)16.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.16gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー38.0gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.3重量%、全ケイ素量が7.8重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が25体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Preparation Example 4)
91.4 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), 13000 g of NC3000H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., zylock epoxy resin) as an amide reactive compound ( (Dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) and 0.16 g of 2-ethyl-4-methylimidazole were blended and stirred for about 1 hour until the composition became uniform. Thereafter, 38.0 g of the above-mentioned slurry was put into the solution, and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to perform kneading and defoaming. Further, this solution is filtered through a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound is 7.3 wt. %, The total silicon amount was 7.8% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 25% by volume in the curable resin was obtained.

(調製例5)
合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液108.3g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるNC3000Hの4.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.16gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー38.0gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.6重量%、全ケイ素量が8.2重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が25体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Preparation Example 5)
108.3 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), 4.0 g of NC3000H which is an epoxy resin as an amide reactive compound (dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) 2-ethyl-4-methylimidazole (0.16 g) was added and stirred for about 1 hour until the composition became homogeneous. Thereafter, 38.0 g of the above-mentioned slurry was put into the solution, and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to perform kneading and defoaming. Further, this solution was filtered with a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate was kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound was 7.6 wt. %, The total silicon content was 8.2% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 25% by volume in the curable resin was obtained.

(比較調製例1)
比較合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液90.0g(樹脂固形分40重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331Lの8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー30.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が3.7重量%、全ケイ素量が25.2重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Comparative Preparation Example 1)
90.0 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Comparative Synthesis Example 1 (resin solid content 40 wt%), 8.0 g of DER331L epoxy resin as amide reactive compound (dimethylacetamide solution 50 wt% resin solid content) ), 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole was blended and stirred for about 1 hour until the composition became homogeneous. Thereafter, 30.8 g of the above-described slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution is filtered with a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound is 3.7 wt. %, The total silicon amount was 25.2% by weight, and a varnish of a curable resin having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(比較調製例2)
比較合成例2で得られたポリアミドイミドのNMP溶液120.0g(樹脂固形分30重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331Lの8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー30.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.3重量%、全ケイ素量が7.8重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Comparative Preparation Example 2)
120.0 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Comparative Synthesis Example 2 (resin solid content 30% by weight), 8.0 g of DER331L, which is an epoxy resin as an amide reactive compound (dimethylacetamide solution of 50% resin solid content) ), 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole was blended and stirred for about 1 hour until the composition became homogeneous. Thereafter, 30.8 g of the above-described slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution was filtered with a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate was kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound was 7.3 wt. %, The total silicon amount was 7.8% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(比較調製例3)
比較合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液59.4g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331Lの40.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.40gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー35.8gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が14.0重量%、全ケイ素量が2.0重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が21.2体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Comparative Preparation Example 3)
59.4 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Comparative Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), 40.0 g of DER331L epoxide resin as an amide reactive compound (dimethylacetamide solution of 50% resin solid content) ), 0.40 g of 2-ethyl-4-methylimidazole was blended and stirred for about 1 hour until the composition became homogeneous. Thereafter, 35.8 g of the above-mentioned slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution was filtered with a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate was kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound was 14.0 wt. %, The total silicon content was 2.0% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 21.2% by volume in the curable resin was obtained.

(比較調製例4)
合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液102.8g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331Lの8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した後、この溶液の脱泡を行い、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.3重量%、全ケイ素量が7.8重量%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Comparative Preparation Example 4)
102.8 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), 8.0 g of DER331L, which is an epoxy resin as an amide reactive compound (dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) Then, 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole was blended and stirred for about 1 hour until the composition became homogeneous, and then the solution was degassed, and all of the mixture of polyamideimide and amide-reactive compound was mixed. A curable resin varnish having an amide group amount of 7.3% by weight and a total silicon amount of 7.8% by weight was obtained.

(比較調製例5)
合成例1で得られたポリアミドイミドのNMP溶液102.8g(樹脂固形分35重量%)、アミド反応性化合物としてエポキシ樹脂であるDER331Lの8.0g(樹脂固形分50重量%のジメチルアセトアミド溶液)、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.08gを配合し、組成物が均一になるまで約1時間攪拌した。その後、溶液中に、上述のスラリー66.7gを投入して、自転・公転方式ミキサーを使用して2分間混合し、混錬と脱泡を行った。さらに、この溶液を、200メッシュのナイロン布でろ過し、ろ液を自転・公転ミキサーで1分間混錬して、ポリアミドイミド及びアミド反応性化合物の混合物中の全アミド基量が7.3重量%、全ケイ素量が7.8重量%であり、硬化性樹脂中のシリカフィラーの含有量が53.8体積%である硬化性樹脂のワニスを得た。
(Comparative Preparation Example 5)
102.8 g of NMP solution of polyamideimide obtained in Synthesis Example 1 (resin solid content 35% by weight), 8.0 g of DER331L, which is an epoxy resin as an amide reactive compound (dimethylacetamide solution having a resin solid content of 50% by weight) Then, 0.08 g of 2-ethyl-4-methylimidazole was blended and stirred for about 1 hour until the composition became uniform. Thereafter, 66.7 g of the above-mentioned slurry was put into the solution and mixed for 2 minutes using a rotation / revolution mixer to knead and degas. Further, this solution is filtered through a 200 mesh nylon cloth, and the filtrate is kneaded for 1 minute with a rotation / revolution mixer, so that the total amount of amide groups in the mixture of polyamideimide and amide reactive compound is 7.3 wt. %, The total silicon amount was 7.8% by weight, and a curable resin varnish having a silica filler content of 53.8% by volume in the curable resin was obtained.

[金属箔付き基板フィルムの作製]
(実施例1〜5、比較例1〜5)
調製例1〜5及び比較調整例1〜5で得られた硬化性樹脂のワニスを、電解銅箔(厚み12μm)の粗化面(Rz=5.0μm)又は光沢面(Rz=1.5μm)にそれぞれ自然流延塗布して130℃で20分間乾燥させて樹脂付き金属箔を得、この樹脂付き金属箔に230℃、60分の加熱を行って、片面金属箔付き基板フィルムを得た。また、各ワニスを用いて得られた樹脂付き金属箔を、それぞれ2つずつ準備して、同一の樹脂付き金属箔同士を樹脂側が接するように重ねて積層体とし、この積層体に230℃、2MPa、60分の条件で真空プレスを行って両面銅箔付き基板フィルムを得た。なお、調製例1〜5の硬化性樹脂を用いて得られた片面金属箔付き基板フィルムをそれぞれ実施例1a〜5aとし、比較調製例1〜5の硬化性樹脂を用いて得られた片面金属箔付き基板フィルムを比較例1a〜5aとした。また、調製例1〜5の硬化性樹脂を用いて得られた両面金属箔付き基板フィルムを実施例1b〜5bとし、比較調製例1〜5の硬化性樹脂を用いて得られた両面金属箔付き基板フィルムを比較例1b〜5bとした。
[Production of substrate film with metal foil]
(Examples 1-5, Comparative Examples 1-5)
The varnish of the curable resin obtained in Preparation Examples 1 to 5 and Comparative Adjustment Examples 1 to 5, the roughened surface (Rz = 5.0 μm) or the glossy surface (Rz = 1.5 μm) of the electrolytic copper foil (thickness 12 μm). ), Respectively, and dried at 130 ° C. for 20 minutes to obtain a metal foil with resin, and this metal foil with resin was heated at 230 ° C. for 60 minutes to obtain a substrate film with single-sided metal foil. . Also, two metal foils with resin obtained using each varnish were prepared, and the same metal foils with resin were stacked so that the resin side was in contact with each other to form a laminate. Vacuum pressing was performed at 2 MPa for 60 minutes to obtain a substrate film with double-sided copper foil. In addition, the single-sided metal obtained using the curable resin of the comparative preparation examples 1-5 by making the board | substrate film with a single-sided metal foil obtained using the curable resin of the preparation examples 1-5 into Example 1a-5a, respectively. The board | substrate film with foil was made into Comparative Examples 1a-5a. Moreover, let the board | substrate film with a double-sided metal foil obtained using the curable resin of Preparation Examples 1-5 be Examples 1b-5b, and the double-sided metal foil obtained using the curable resin of Comparative Preparation Examples 1-5 The attached substrate film was set as Comparative Examples 1b to 5b.

[破断強度の測定]
実施例1〜5及び比較例1〜5の金属箔付き基板フィルムにおける基板フィルムの破断強度を測定するため、実施例1a〜5a及び比較例1a〜5aの片面金属箔付き基板フィルムにおける金属箔を過硫酸アンモニウム水溶液によりエッチング除去して得られたそれぞれの基板フィルム単体を、100℃で20分乾燥した後、10mm幅の短冊状に切り出して、得られた各短冊を用いてオートグラフAC100C(島津製作所社製)により引張試験を行い、それぞれの基板フィルムの破断強度を測定した。得られた結果を表1に示す。
[Measurement of breaking strength]
In order to measure the breaking strength of the substrate films in the substrate films with metal foils of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5, the metal foils in the substrate films with single-sided metal foils of Examples 1a to 5a and Comparative Examples 1a to 5a were used. Each substrate film obtained by etching and removing with an aqueous ammonium persulfate solution was dried at 100 ° C. for 20 minutes, then cut into a 10 mm width strip, and Autograph AC100C (Shimadzu Corporation) was obtained using each strip. Tensile test was conducted to determine the breaking strength of each substrate film. The obtained results are shown in Table 1.

[そりの発生の確認]
実施例1a〜5a、比較例1a〜5aの金属箔付き基板フィルムを目視により観察し、そりが生じているか否かを評価した。そりの発生が見られなかった金属箔付き基板フィルムを○、そりの発生が見られた金属箔付き基板フィルムを×として、得られた結果を表2に示す。
[Confirmation of warpage]
The board | substrate film with metal foil of Examples 1a-5a and Comparative Examples 1a-5a was observed visually, and it was evaluated whether the curvature has produced. The results obtained are shown in Table 2, where the substrate film with metal foil in which no occurrence of warpage was observed was marked with ◯, and the substrate film with metal foil in which warpage was observed was marked with x.

[接着強度の測定]
実施例1a〜5a、実施例1b〜5b、比較例1a〜5a及び比較例1b〜5bの金属箔付き基板フィルムにおける銅箔を、それぞれ90度方向に引き剥がす際の引き剥がし強さ(90°剥離強さ、JIS C6481に準拠)を測定し、得られた値を銅箔と基板フィルムとの接着強度(kN/m)とした。なお、接着強度は、金属箔の粗化面が基板フィルムと接着している金属箔付き基板フィルム、及び光沢面が基板フィルムと接着している金属箔付き基板フィルムの両方について測定を行った。得られた結果を表2に示す。
[Measurement of adhesive strength]
Peeling strength (90 °) when the copper foils in the substrate films with metal foils of Examples 1a to 5a, Examples 1b to 5b, Comparative Examples 1a to 5a, and Comparative Examples 1b to 5b are each peeled in the direction of 90 degrees. The peel strength, based on JIS C6481) was measured, and the obtained value was defined as the adhesive strength (kN / m) between the copper foil and the substrate film. The adhesive strength was measured for both the substrate film with metal foil in which the roughened surface of the metal foil was bonded to the substrate film and the substrate film with metal foil in which the glossy surface was bonded to the substrate film. The obtained results are shown in Table 2.

[はんだ耐熱性試験]
実施例1a〜5a、実施例1b〜5b、比較例1a〜5a及び比較例1b〜5bの金属箔付き基板フィルムを20mm×20mmに切断したものをはんだ耐熱性試験用の試料とし、この試料を260℃のはんだ浴にそれぞれ浸漬して、銅箔と基板フィルムとの接着界面におけるふくれや、基板フィルムからの銅箔の剥がれが生じていないかを目視により確認してはんだ耐熱性の評価を行った。なお、はんだ耐熱性の評価は、試料をはんだ浴に浸漬してからふくれ又は剥がれが生じるまでの時間(秒)を測定することにより行った。得られた結果を表2に示す。
[Solder heat resistance test]
What cut | disconnected the board film with metal foil of Example 1a-5a, Example 1b-5b, Comparative example 1a-5a, and Comparative example 1b-5b to 20 mm x 20 mm was used as the sample for a solder heat resistance test, and this sample was used. Each piece is immersed in a 260 ° C solder bath, and the solder heat resistance is evaluated by visually checking whether there is blistering at the adhesive interface between the copper foil and the substrate film or peeling of the copper foil from the substrate film. It was. The solder heat resistance was evaluated by measuring the time (seconds) from when the sample was immersed in the solder bath until blistering or peeling occurred. The obtained results are shown in Table 2.


Figure 2005088309
Figure 2005088309


Figure 2005088309
Figure 2005088309

表1及び表2より、実施例1〜5の金属箔付き基板フィルムは、電解銅箔の粗化面に対して基板フィルムが接着したものについては全て1.2kN/m以上、光沢面に対して接着したものであっても0.7kN/m以上の接着強度を示し、また、これらに用いられている基板フィルムは58MPa以上の破断強度を示すことが判明した。さらに、実施例1〜5の金属箔付き基板フィルムにおいては、そりの発生は見られなかった。   From Tables 1 and 2, the substrate films with metal foils of Examples 1 to 5 are all 1.2 kN / m or more for the glossy surface when the substrate film is adhered to the roughened surface of the electrolytic copper foil. Even if they are bonded together, it has been found that the adhesive strength is 0.7 kN / m or more, and the substrate film used in these materials has a breaking strength of 58 MPa or more. Furthermore, in the board | substrate film with metal foil of Examples 1-5, generation | occurrence | production of the curvature was not seen.

これに対し、全アミド基量及び全ケイ素量が本発明の金属箔付き基板フィルムの範囲外であった比較例1〜3の金属箔付き基板フィルムは、金属箔の粗化面に対して基板フィルムが接着したものであっても接着強度は0.6kN/m以下であった。   On the other hand, the substrate films with metal foils of Comparative Examples 1 to 3 in which the total amide group amount and the total silicon amount were outside the range of the substrate film with metal foils of the present invention were substrates with respect to the roughened surface of the metal foil. Even if the film was adhered, the adhesive strength was 0.6 kN / m or less.

また、硬化性樹脂中に無機フィラーを含まない比較例4の金属箔付き基板フィルムは、電解銅箔を外側にしてそりが生じた。さらに、無機フィラーの含有量が50体積%以上であった比較例5の金属箔付き基板フィルム、及び、ポリアミドイミドの重量平均分子量が80000未満であった比較例2の金属箔付き基板フィルムは、基板フィルムの破断強度がそれぞれ15.6MPa及び12.3MPaであり、他の金属箔付き基板フィルムにおける基板フィルムと比べて劣っていることが判明した。   Moreover, the board | substrate film with a metal foil of the comparative example 4 which does not contain an inorganic filler in curable resin produced the curvature | sledge with the electrolytic copper foil outside. Furthermore, the substrate film with metal foil of Comparative Example 5 in which the content of the inorganic filler was 50% by volume or more, and the substrate film with metal foil of Comparative Example 2 in which the weight average molecular weight of the polyamideimide was less than 80000, The breaking strength of the substrate film was 15.6 MPa and 12.3 MPa, respectively, and it was found that the substrate film was inferior to the substrate films in other substrate films with metal foil.

Claims (9)

金属箔と、硬化性樹脂の硬化物からなり前記金属箔上に設けられた基板フィルムと、を備える金属箔付き基板フィルムであって、
前記硬化性樹脂は、主鎖にシロキサン構造を有しており重量平均分子量が80000以上であるポリアミドイミドと、前記ポリアミドイミドのアミド基と反応する官能基を有したアミド反応性化合物と、全体積に対して5〜50体積%の無機フィラーと、を含むものであり、且つ、
前記ポリアミドイミド中のアミド基の含有量をPa重量%、前記アミド反応性化合物がアミド基を含む場合はその含有量をEa重量%、前記ポリアミドイミド中のケイ素原子の含有量をPc重量%、前記アミド反応性化合物がケイ素原子を含む場合はその含有量をEc重量%としたときに、
前記ポリアミドイミド100重量部に対する、前記アミド反応性化合物の重量部Bは、以下の式(I)及び(II)、
3≦(Pa×100+Ea×B)/(100+B)≦11 …(I)
1≦(Pc×100+Ec×B)/(100+B)≦16 …(II)
を満たすことを特徴とする金属箔付き基板フィルム。
A metal foil and a substrate film comprising a cured product of a curable resin and provided on the metal foil, and a substrate film with a metal foil comprising:
The curable resin includes a polyamideimide having a siloxane structure in the main chain and a weight average molecular weight of 80,000 or more, an amide reactive compound having a functional group that reacts with an amide group of the polyamideimide, and a total volume. 5 to 50% by volume of an inorganic filler, and
The content of amide groups in the polyamideimide is Pa wt%, when the amide reactive compound contains an amide group, the content is Ea wt%, the content of silicon atoms in the polyamideimide is Pc wt%, When the amide reactive compound contains a silicon atom, when the content is Ec wt%,
The weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamideimide is represented by the following formulas (I) and (II):
3 ≦ (Pa × 100 + Ea × B) / (100 + B) ≦ 11 (I)
1 ≦ (Pc × 100 + Ec × B) / (100 + B) ≦ 16 (II)
The board | substrate film with metal foil characterized by satisfy | filling.
前記金属箔の前記基板フィルムに対向する面の十点平均表面粗さが、3.0μm以下であることを特徴とする請求項1記載の金属箔付き基板フィルム。   The substrate film with metal foil according to claim 1, wherein the ten-point average surface roughness of the surface of the metal foil facing the substrate film is 3.0 μm or less. 前記ポリアミドイミドは、
下記一般式(1)で表される芳香族ジアミン及び下記一般式(2)で表されるシロキサンジアミンを含むジアミン混合物と、無水トリメリット酸と、を反応させて得られるジイミドジカルボン酸に、
ジイソシアネートを反応させて得られるポリアミドイミドであることを特徴とする請求項1又は2記載の金属箔付き基板フィルム。
Figure 2005088309

Figure 2005088309

[式中、Xは下記一般式(3a)又は(3b)で表される2価の基、Rはアルキル基、フェニル基又は置換フェニル基、Rはアルキレン基、フェニレン基又は置換フェニレン基、nは1〜15の整数を示す。
Figure 2005088309




但し、Yは、炭素数1〜3の2価の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜3の2価のハロゲン化脂肪族炭化水素基、スルホニル基、エーテル基、カルボニル基又は単結合であり、複数存在するR及びRのそれぞれは同一であっても異なっていてもよい。]
The polyamideimide is
Diimide dicarboxylic acid obtained by reacting an aromatic diamine represented by the following general formula (1) and a diamine mixture containing a siloxane diamine represented by the following general formula (2) with trimellitic anhydride,
3. The substrate film with metal foil according to claim 1, which is a polyamideimide obtained by reacting diisocyanate.
Figure 2005088309

Figure 2005088309

[Wherein, X is a divalent group represented by the following general formula (3a) or (3b), R 1 is an alkyl group, a phenyl group or a substituted phenyl group, and R 2 is an alkylene group, a phenylene group or a substituted phenylene group. , N represents an integer of 1-15.
Figure 2005088309




Y is a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, a divalent halogenated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms, a sulfonyl group, an ether group, a carbonyl group, or a single bond. Each of R 1 and R 2 present in a plurality may be the same or different. ]
前記アミド反応性化合物は、2以上のグリシジル基を有する多官能エポキシ化合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の金属箔付き基板フィルム。   The substrate film with metal foil according to any one of claims 1 to 3, wherein the amide-reactive compound is a polyfunctional epoxy compound having two or more glycidyl groups. 第1の金属箔と第2の金属箔との間に、硬化性樹脂の硬化物からなる基板フィルムを挟持してなる両面金属箔付き基板フィルムであって、
前記硬化性樹脂は、主鎖にシロキサン構造を有しており重量平均分子量が80000以上であるポリアミドイミドと、前記ポリアミドイミドのアミド基と反応する官能基を有したアミド反応性化合物と、全体積に対して5〜50体積%の無機フィラーと、を含むものであり、且つ、
前記ポリアミドイミド中のアミド基の含有量をPa重量%、前記アミド反応性化合物がアミド基を含む場合はその含有量をEa重量%、前記ポリアミドイミド中のケイ素原子の含有量をPc重量%、前記アミド反応性化合物がケイ素原子を含む場合はその含有量をEc重量%としたときに、
前記ポリアミドイミド100重量部に対する、前記アミド反応性化合物の重量部Bは、以下の式(I)及び(II)、
3≦(Pa×100+Ea×B)/(100+B)≦11 …(I)
1≦(Pc×100+Ec×B)/(100+B)≦16 …(II)
を満たすことを特徴とする両面金属箔付き基板フィルム。
A substrate film with a double-sided metal foil formed by sandwiching a substrate film made of a cured product of a curable resin between the first metal foil and the second metal foil,
The curable resin includes a polyamideimide having a siloxane structure in the main chain and a weight average molecular weight of 80,000 or more, an amide reactive compound having a functional group that reacts with an amide group of the polyamideimide, and a total volume. 5 to 50% by volume of an inorganic filler, and
The content of amide groups in the polyamideimide is Pa wt%, when the amide reactive compound contains an amide group, the content is Ea wt%, the content of silicon atoms in the polyamideimide is Pc wt%, When the amide reactive compound contains a silicon atom, when the content is Ec wt%,
The weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamideimide is represented by the following formulas (I) and (II):
3 ≦ (Pa × 100 + Ea × B) / (100 + B) ≦ 11 (I)
1 ≦ (Pc × 100 + Ec × B) / (100 + B) ≦ 16 (II)
The board | substrate film with a double-sided metal foil characterized by satisfy | filling.
前記金属箔の前記基板フィルムに対向する面の十点平均表面粗さが、3.0μm以下であることを特徴とする請求項5記載の両面金属箔付き基板フィルム。   6. The substrate film with double-sided metal foil according to claim 5, wherein the ten-point average surface roughness of the surface of the metal foil facing the substrate film is 3.0 [mu] m or less. 第1の金属箔と第2の金属箔との間に、硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を挟持して、全体を加熱及び/又は加圧して得られる両面金属箔付き基板フィルムであって、
前記硬化性樹脂は、主鎖にシロキサン構造を有しており、重量平均分子量が80000以上であるポリアミドイミドと、前記ポリアミドイミドのアミド基と反応する官能基を有したアミド反応性化合物と、全体積に対して5〜50体積%の無機フィラーと、を含むものであり、且つ、
前記ポリアミドイミド中のアミド基の含有量をPa重量%、前記アミド反応性化合物がアミド基を含む場合はその含有量をEa重量%、前記ポリアミドイミド中のケイ素原子の含有量をPc重量%、前記アミド反応性化合物がケイ素原子を含む場合はその含有量をEc重量%としたときに、
前記ポリアミドイミド100重量部に対する、前記アミド反応性化合物の重量部Bは、以下の式(I)及び(II)、
3≦(Pa×100+Ea×B)/(100+B)≦11 …(I)
1≦(Pc×100+Ec×B)/(100+B)≦16 …(II)
を満たしていることを特徴とする両面金属箔付き基板フィルム。
A substrate film with a double-sided metal foil obtained by sandwiching a curable resin to be a substrate film by curing between the first metal foil and the second metal foil and heating and / or pressing the whole. And
The curable resin has a siloxane structure in the main chain, and a polyamideimide having a weight average molecular weight of 80000 or more, an amide reactive compound having a functional group that reacts with an amide group of the polyamideimide, and the whole 5 to 50% by volume of inorganic filler with respect to the product, and
The content of amide groups in the polyamideimide is Pa wt%, when the amide reactive compound contains an amide group, the content is Ea wt%, the content of silicon atoms in the polyamideimide is Pc wt%, When the amide reactive compound contains a silicon atom, when the content is Ec wt%,
The weight part B of the amide-reactive compound with respect to 100 parts by weight of the polyamideimide is represented by the following formulas (I) and (II):
3 ≦ (Pa × 100 + Ea × B) / (100 + B) ≦ 11 (I)
1 ≦ (Pc × 100 + Ec × B) / (100 + B) ≦ 16 (II)
The board | substrate film with a double-sided metal foil characterized by satisfy | filling.
硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を、第1の金属箔及び第2の金属箔の一方面上に積層して得られた2つの積層体を、前記硬化性樹脂が対向するように接触させることにより、第1の金属箔と第2の金属箔との間に、硬化により基板フィルムとなるべき硬化性樹脂を挟持させたことを特徴とする請求項7記載の両面金属箔付き基板フィルム。   Two laminates obtained by laminating a curable resin to be a substrate film by curing on one side of the first metal foil and the second metal foil are contacted so that the curable resin faces each other. 8. A substrate film with a double-sided metal foil according to claim 7, wherein a curable resin to be a substrate film by curing is sandwiched between the first metal foil and the second metal foil. . 前記金属箔の前記硬化性樹脂に対向する面の十点平均表面粗さが、3.0μm以下であることを特徴とする請求項7又は8記載の両面金属箔付き基板フィルム。   The substrate film with double-sided metal foil according to claim 7 or 8, wherein a ten-point average surface roughness of a surface of the metal foil facing the curable resin is 3.0 µm or less.
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