JP2005084323A - Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance - Google Patents

Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance Download PDF

Info

Publication number
JP2005084323A
JP2005084323A JP2003315586A JP2003315586A JP2005084323A JP 2005084323 A JP2005084323 A JP 2005084323A JP 2003315586 A JP2003315586 A JP 2003315586A JP 2003315586 A JP2003315586 A JP 2003315586A JP 2005084323 A JP2005084323 A JP 2005084323A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sealing material
electro
substrate
optical device
image display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2003315586A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Isao Adachi
勲 安達
Takashi Fukagawa
剛史 深川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2003315586A priority Critical patent/JP2005084323A/en
Publication of JP2005084323A publication Critical patent/JP2005084323A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To meet the demand for downsizing, heightening precision and enlarging the screen of an electrooptical device by narrowing clearance between a sealant forming region and a picture display region. <P>SOLUTION: A method for manufacturing the electrooptical device includes: a sealant forming step to form the sealant on a TFT array substrate (10) so as to form a rectangular shape in plain view and further to arrange a gap (523G) on corner parts thereof; and a press-fixing step to stick a counter substrate to the TFT array substrate so as face each other and to press-fix the TFT array substrate and the counter substrate to each other. The press-fixing step is carried out in such a way that the sealants (52A and 52B), holding the gap in between, are moved so as to fill the gap. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えばアクティブマトリクス駆動の液晶装置、電子ペーパなどの電気泳動装置、EL(Electro-Luminescence)表示装置、電子放出素子を備えた装置(Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display)等の電気光学装置の製造方法の技術分野に属する。また、本発明は、かかる製造方法により製造された電気光学装置を具備してなる電子機器の技術分野にも属する。   The present invention includes, for example, an active matrix driving liquid crystal device, an electrophoretic device such as electronic paper, an EL (Electro-Luminescence) display device, a device including an electron-emitting device (Field Emission Display and Surface-Conduction Electron-Emitter Display), etc. It belongs to the technical field of the manufacturing method of the electro-optical device. The present invention also belongs to a technical field of an electronic apparatus including an electro-optical device manufactured by such a manufacturing method.

従来、例えば、素子基板上に、マトリクス状に配列された画素電極及び該電極の各々に接続された薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;以下適宜、「TFT」という。)、該TFTの各々に接続され、行及び列方向それぞれに平行に設けられたデータ線及び走査線等を備えることで、いわゆるアクティブマトリクス駆動が可能な電気光学装置が知られている。   Conventionally, for example, pixel electrodes arranged in a matrix on an element substrate, thin film transistors (hereinafter referred to as “TFT” as appropriate) connected to the electrodes, and the TFTs, There is known an electro-optical device capable of so-called active matrix driving by including data lines, scanning lines, and the like provided in parallel in the row and column directions.

このような電気光学装置では、上記に加えて、前記素子基板に対向配置される対向基板を備えるとともに、該対向基板上に、画素電極に対向する対向電極等を備え、更には、画素電極及び対向電極間に挟持される電気光学物質の一例たる液晶からなる層等を備えることで、画像表示が行われる。すなわち、液晶層内の液晶分子は、画素電極及び対向電極間に設定された所定の電位差によって、その配向状態が適当に変更され、これにより、当該液晶層を透過する光の透過率が変化することによって画像の表示が行われることになるのである。   In addition to the above, the electro-optical device includes a counter substrate disposed to face the element substrate, a counter electrode facing the pixel electrode, and the like on the counter substrate. An image display is performed by including a layer made of liquid crystal as an example of an electro-optical material sandwiched between the counter electrodes. That is, the alignment state of the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer is appropriately changed by a predetermined potential difference set between the pixel electrode and the counter electrode, thereby changing the transmittance of light transmitted through the liquid crystal layer. As a result, an image is displayed.

ところで、前記の電気光学装置においては、前記の素子基板及び対向基板は、例えば光硬化性樹脂、或いは熱硬化性樹脂等からなるシール材を介して接着されている。このシール材は、前記液晶層を素子基板及び対向基板間に閉じ込めるためのいわば堤防としての機能も有する。このような電気光学装置としては、例えば特許文献1及び2に開示されているようなものが知られている。   By the way, in the electro-optical device, the element substrate and the counter substrate are bonded via a sealing material made of, for example, a photocurable resin or a thermosetting resin. This sealing material also has a function as a so-called embankment for confining the liquid crystal layer between the element substrate and the counter substrate. As such an electro-optical device, for example, those disclosed in Patent Documents 1 and 2 are known.

特開2002−277884号公報JP 2002-277844 A 特開2000−137234号公報JP 2000-137234 A

しかしながら、従来における電気光学装置には、次のような問題点がある。すなわち、近年、電気光学装置の更なる小型化・高精細化が要求されている一方、画面サイズの大型化が要求されているが、これを実現するためには、具体的には、前記のシール材の形成領域と前記電気光学装置における画像表示領域とに関して、いわゆる狭額縁化(狭額縁化とは、シール材形成領域と画像表示領域との間の間隙を狭くしようとする試みないしは傾向をいう。)が図られねばならない。というのも、画像表示領域は、前記のTFT、データ線、走査線及び画素電極が形成された領域として規定され、該画像表示領域の周りにはこれを囲むようにシール材を形成しなければならないが、前記の要求を満たすためには、画像表示領域は大きく、しかしながらシール材形成領域及び画像表示領域の両領域全体としては小型化する必要があるからである。ここで、シール材の塗布量は、基本的に、前記素子基板及び対向基板を十分に接着するために必要なものとして定められ、また、画像表示領域の大きさは、基本的に、当該電気光学装置で実現しようとする画像のインチサイズ等によって定められるから、前記の要求を効果的に満足させようとすれば、これらシール材の形成領域と画像表示領域との間のいわば無駄な領域を狭めることが望まれることになるのである。   However, the conventional electro-optical device has the following problems. That is, in recent years, there has been a demand for further miniaturization and higher definition of the electro-optical device, while there has been a demand for an increase in the screen size. Regarding the seal material forming area and the image display area in the electro-optical device, a so-called narrow frame (narrow frame is an attempt or tendency to narrow the gap between the seal material forming area and the image display area. Must be planned). This is because the image display area is defined as an area in which the TFT, the data line, the scanning line, and the pixel electrode are formed, and a sealant is not formed around the image display area. However, in order to satisfy the above requirement, the image display area is large, but it is necessary to reduce the size of both the sealing material forming area and the image display area as a whole. Here, the application amount of the sealing material is basically determined as necessary for sufficiently bonding the element substrate and the counter substrate, and the size of the image display area is basically determined by the electric display. Since it is determined by the inch size or the like of the image to be realized by the optical device, so as to effectively satisfy the above requirement, a so-called wasted region between the seal material forming region and the image display region is provided. Narrowing is desired.

しかしながら、かかる狭額縁化を達成することは、一般に容易ではない。とりわけ、基板上にシール材を描画する方法として、シールディスペンサ方式を採用する場合には、狭額縁化を達成することが非常に困難である。というのも、該シールディスペンサ方式に用いられるシールディスペンサ装置の機構精度等の関係から、画像表示領域の角部付近に形成されるシール材については、当該角部に沿うような角部をもつものとして形成することが困難だからである。この場合、従来では一般に、シール材は、この画像表示領域の角部付近において、一定の半径をもつ略四半円形状をもつものとして形成されていたが、これによると、必然的に、当該角部を挟む二つの辺部においては、シール材と画像表示領域との間に比較的大きな隙間を設ける必要が出てくる(そうしなければ、画像表示領域の角部にシール材が被さってしまう。)。すなわち、従来においては、前記の一定の半径の大きさに応じて、狭額縁化の限界が設定されてしまっていたのである。   However, it is generally not easy to achieve such a narrow frame. In particular, when a seal dispenser method is employed as a method for drawing a sealing material on a substrate, it is very difficult to achieve a narrow frame. This is because the seal material formed near the corner of the image display area has a corner that follows the corner because of the mechanism accuracy of the seal dispenser device used in the seal dispenser system. Because it is difficult to form as. In this case, conventionally, the sealing material is generally formed as having a substantially quarter-circular shape having a certain radius in the vicinity of the corner of the image display region. It is necessary to provide a relatively large gap between the seal material and the image display area at the two side portions sandwiching the area (otherwise, the seal material covers the corners of the image display area). .) That is, conventionally, the limit of narrowing the frame has been set according to the size of the certain radius.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シール材形成領域と画像表示領域との間をより狭めることにより、小型化・高精細化・画面大型化の要求を満たし得る電気光学装置の製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、かかる製造方法により製造された電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することをも課題とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and by reducing the space between the seal material forming area and the image display area, the electro-optic that can satisfy the demands for miniaturization, high definition, and large screen It is an object to provide a method for manufacturing a device. Another object of the present invention is to provide an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured by the manufacturing method.

〔1〕
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記課題を解決するため、第1基板及び第2基板がシール材によって接着されるとともに、これら第1基板及び第2基板間に電気光学物質を挟持してなる電気光学装置の製造方法であって、前記第1基板上に、平面視して矩形状となるように、且つ、その角部に隙間を設けるように前記シール材を形成するシール材形成工程と、前記第1基板に対向させるように前記第2基板を貼り合わせて、これら第1基板及び第2基板を圧着させる圧着工程とを備えている。
[1]
In order to solve the above-described problem, the electro-optical device manufacturing method of the present invention attaches the electro-optical material between the first substrate and the second substrate while the first substrate and the second substrate are bonded together by the sealing material. An electro-optical device manufacturing method comprising: forming a sealing material on the first substrate so that the sealing material is formed to have a rectangular shape in plan view and to have a gap at a corner thereof And a crimping step of bonding the second substrate so as to face the first substrate and crimping the first substrate and the second substrate.

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、まず、シール材形成工程により、第1基板上に、矩形状となるようにシール材が形成される。ここで、「矩形状」とは、四つの線分からなり、そのうちのいずれの線分もこれと隣接する二つの線分とが直角に交わるように順次繋ぎ合わされたときにみられる形状をいうことは勿論、そこからは多少外れるような形状をも含む。例えば、当該矩形状の角部の全部又は一部に直角部を含まない形状(即ち、より一般的に「四辺形状」と呼びうるようなもの)や、四つの線分のうち一つ以上の線分が、途中で「折り曲げ」られている(したがって、当該「線分」は、厳密にはもはや「線分」とは呼べないが)ような形状であってよい。要は、第1基板上に一般に複数形成され得る画像表示領域のそれぞれを取り囲むような形状であれば、基本的には、どのような形状であってもよい。   According to the method for manufacturing an electro-optical device of the present invention, first, a sealing material is formed on the first substrate so as to have a rectangular shape by a sealing material forming step. Here, the “rectangular shape” means a shape that is formed when four line segments are connected to each other so that each of the line segments and two adjacent line segments intersect at right angles. Of course, it includes a shape that deviates somewhat. For example, a shape that does not include a right-angle portion in all or a part of the rectangular corner portion (that is, a shape that can be more generally called a “four-sided shape”), or one or more of four line segments The line segment may be shaped such that it is “bent” in the middle (thus, the “line segment” can no longer be called a “line segment” strictly). In short, any shape may be basically used as long as the shape surrounds each of the image display regions that can generally be formed on the first substrate.

なお、このシール材の形成にあたっては、いわゆるディスペンサ方式、或いは印刷方式のいずれを採用してもよい。前者(ディスペンサ方式)は、例えば、その外部よりシール材が順次装填されてくるシール材吐出口に、平面的に移動可能にされた基板を対向させる構成を備えてなり、この基板を所定方向及び所定量移動させつつ、シール材吐出口からシール材を吐出することで、所定形状にシール材を塗布する方式である。後者(印刷方式)は、予め、形成しようとする所定形状をもつ版を形成しておき、この版を使って、シール材を基板上に形成する方式である。後者の方式では特に、シール材形成にかかる費用を比較的安価に抑えることが可能であり、また、当該電気光学装置を量産するのに適した方法ということができる。   In forming the sealing material, either a so-called dispenser method or a printing method may be employed. For example, the former (dispenser system) includes a configuration in which a substrate that is movable in a plane is opposed to a sealing material discharge port into which sealing materials are sequentially loaded from the outside. In this method, the sealing material is applied in a predetermined shape by discharging the sealing material from the sealing material discharge port while moving the predetermined amount. The latter (printing method) is a method in which a plate having a predetermined shape to be formed is formed in advance, and a sealing material is formed on the substrate using this plate. In particular, the latter method can reduce the cost for forming the sealing material relatively inexpensively, and can be said to be a method suitable for mass production of the electro-optical device.

そして、本発明では特に、前記の矩形状の角部に隙間が形成されるように、シール材が形成されるのである。すなわち、前記の四つの線分の例に従えば、これら四つの線分の各端部のうち隣り合う端部間は、直接的に接続されるのではなく、「隙間」が形成されるようにされているのである。これによると、後に続く、第1基板及び第2基板の圧着工程を経ることにより、当該隙間を挟むシール材がお互いに近づくように、換言すれば当該隙間を埋めるように当該シール材を移動させることが可能であり、最終的には、当該隙間を挟むシール材を互いに接続させることが可能になる。そして、このとき、隙間の形状及び大きさなどが適当なものであれば、該隙間が形成されていた部分で、「角」を有する形状を好ましく形成することができることになる。つまり、最終的なシール材の平面的な形状を、四つの角部を備えた矩形状にしうるのである。   And especially in this invention, a sealing material is formed so that a clearance gap may be formed in the said rectangular corner | angular part. That is, according to the example of the four line segments, adjacent ends of these four line segments are not directly connected, but a “gap” is formed. It is done. According to this, through the subsequent crimping process of the first substrate and the second substrate, the sealing material is moved so that the sealing material sandwiching the gap approaches each other, in other words, the gap is filled. Eventually, it becomes possible to connect the sealing materials sandwiching the gap to each other. At this time, if the shape and size of the gap are appropriate, a shape having a “corner” can be preferably formed in the portion where the gap is formed. In other words, the planar shape of the final sealing material can be made rectangular with four corners.

したがって、本発明によれば、画像表示領域が矩形状である場合において、該画像表示領域の角部に合致するような角部をシール材においても形成することが可能である。言い換えると、本発明によれば、背景技術の項で述べたように画像表示領域の角部においてシール材が一定の半径をもって形成されるということがなく、また望むのであれば、シール材形成領域と当該画像表示領域の外形形状とがほぼ完全に相似の関係にあるように、シール材を形成することが可能なのである。   Therefore, according to the present invention, when the image display area is rectangular, it is possible to form corners in the sealing material so as to match the corners of the image display area. In other words, according to the present invention, the sealing material is not formed with a constant radius at the corner of the image display region as described in the background section, and if desired, the sealing material formation region. Therefore, the sealing material can be formed so that the outer shape of the image display area and the outer shape of the image display area are almost completely similar to each other.

よって、本発明によれば、シール材形成領域と画像表示領域との間をより狭くすることができることになり、もって電気光学装置の小型化・高精細化・画面大型化の要求をもよりよく実現しうることになる。   Therefore, according to the present invention, the space between the sealing material forming area and the image display area can be further narrowed, and thus the demand for downsizing, high definition, and large screen of the electro-optical device is improved. It can be realized.

〔2〕
本発明の電気光学装置の製造方法の一態様では、前記圧着工程は、前記隙間を挟んで存在する前記シール材が、当該隙間を埋めるべく移動するように行われる。
[2]
In one aspect of the method for manufacturing the electro-optical device according to the aspect of the invention, the pressure-bonding step is performed so that the sealing material existing across the gap moves to fill the gap.

この態様によれば、圧着工程が、前記の隙間を埋めるべく行われることから、前記の作用効果をより確実に享受できる。   According to this aspect, since the crimping process is performed to fill the gap, it is possible to receive the above-described effects more reliably.

〔3〕
本発明の電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記圧着工程の後に、前記第1基板を所定形状に裁断する裁断工程を更に備えてなり、前記シール材形成工程は、前記裁断工程における裁断位置として予定される前記第1基板における裁断線の内側で前記シール材を形成する工程を含み、当該工程は更に、そのそれぞれが前記裁断線の内側からその外側に向けて当該裁断線を所定距離越えて延在するように、且つ、そのそれぞれの間に前記隙間が設けられるように第1シール材及び第2シール材を形成する工程を含む。
[3]
In another aspect of the method for manufacturing an electro-optical device according to the aspect of the invention, the method further includes a cutting step of cutting the first substrate into a predetermined shape after the press-bonding step, and the sealing material forming step is performed in the cutting step. Forming the sealing material inside a cutting line in the first substrate that is planned as a cutting position, and the process further includes a predetermined cutting line from the inside of the cutting line toward the outside thereof. Forming a first sealing material and a second sealing material so as to extend beyond a distance and to provide the gap between them.

この態様によれば、前述した画像表示領域の角部に合致するような角を有する形状を、当初に所望したとおりのものとして、それに、より忠実に形成することができる。   According to this aspect, the shape having a corner that matches the corner of the image display region described above can be formed more faithfully as it is originally desired.

また、本態様によれば、裁断線を超えてシール材を形成することから次のような作用効果が得られる。すなわち、電気光学装置の小型化を実現するためには、端的に、その外形形状をより小さくすることが望まれるが、そうすると、画像表示領域の外縁と当該外形形状(通常は、前記裁断線により画されると考えることができる。)との間の領域はなるべく狭くされるべきことになる。つまり、通常において、かかる領域は、比較的狭くされる傾向にあると考えてよい。   Moreover, according to this aspect, since the sealing material is formed beyond the cutting line, the following effects can be obtained. In other words, in order to realize the miniaturization of the electro-optical device, it is desirable to make the outer shape smaller, but in that case, the outer edge of the image display area and the outer shape (usually by the cutting line). The area between the two is supposed to be as small as possible. That is, in general, it may be considered that such a region tends to be relatively narrow.

ここで仮に、シール材の形成をディスペンサ方式によって行う場合には、通常、第1基板上において一筆書きによるシール材描画が行われることになるが、前記のような狭い領域内で、前記隙間を確保しつつ前記一筆書きによるシール材形成を行うことは、ディスペンサ方式に用いられる前記シール材吐出口等の取り回し精度には、自ずと一定の限界があることなどから比較的困難な作業になる。   Here, if the seal material is formed by the dispenser method, the seal material is usually drawn on the first substrate with a single stroke. However, the gap is formed within the narrow region as described above. It is relatively difficult to form the sealing material by the one-stroke drawing while ensuring the handling accuracy of the sealing material discharge port or the like used in the dispenser system due to a certain limit.

しかるに、裁断線を超えた、シール材の形成を許容すれば、かかる困難は殆ど完全に解消し、シール材吐出口を自由に取り回していわばシール材のはみ出し部を形成すればよく、したがって、前記隙間の確保も容易になる。   However, if the formation of the sealing material exceeding the cutting line is allowed, such difficulty is almost completely eliminated, and if the sealing material discharge port is freely arranged, the protruding portion of the sealing material may be formed. It becomes easy to secure the gap.

なお、前記のように一筆書きによるシール材描画を行うときには、本態様にいう「第1シール材」及び「第2シール材」は、連続して形成されていてもよい。この場合更に、これら第1及び第2シール材は滑らかな曲線で接続されるように形成されることが好ましい。   In addition, when drawing the sealing material by one stroke as described above, the “first sealing material” and the “second sealing material” referred to in this aspect may be formed continuously. In this case, the first and second sealing materials are preferably formed so as to be connected with a smooth curve.

〔4〕
この態様では、前記隙間は、前記所定距離にわたって等間隔であるように構成してもよい。
[4]
In this aspect, the gaps may be configured to be equidistant over the predetermined distance.

このような構成によれば、前述した画像表示領域の角部に合致するような角を有する形状を、より好適に、或いは当該角を有する形状を、前記にも増して、当初に所望したとおりのものとして、それに、より忠実に形成することができる。   According to such a configuration, the shape having a corner that matches the corner portion of the image display region described above is more suitable, or the shape having the corner is increased to the above, as originally desired. As a thing, it can be formed more faithfully.

〔5〕
本発明の裁断工程を含む電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記第1基板又は前記第2基板の上に、画素電極がマトリクス状に配列するように形成して、複数の画像表示領域を規定する工程を更に備えてなり、前記シール材形成工程は、前記シール材を前記画像表示領域の一つ一つを囲むように形成する工程を含む。
[5]
In another aspect of the method for manufacturing an electro-optical device including the cutting step of the present invention, pixel electrodes are formed on the first substrate or the second substrate so as to be arranged in a matrix, thereby displaying a plurality of images. The method further includes a step of defining a region, and the sealing material forming step includes a step of forming the sealing material so as to surround each of the image display regions.

この態様によれば、一挙に複数の電気光学装置を製造することができるから、生産性を高めることができる。しかも、前記に述べた、よりよい狭額縁化は、当然ながら、これら複数の電気光学装置のすべてにおいて享受しうる。したがって、本態様によれば、よりよく小型化等が実現された電気光学装置を、多数一挙に製造することができる。   According to this aspect, since a plurality of electro-optical devices can be manufactured at once, productivity can be improved. Moreover, the better narrowing of the frame as described above can of course be enjoyed in all of the plurality of electro-optical devices. Therefore, according to this aspect, a large number of electro-optical devices in which downsizing and the like are realized can be manufactured at once.

なお、本態様において、シール材を、画像表示領域を完全に取り囲むように形成すれば、第1基板及び第2基板間に挟持する電気光学物質の一例たる液晶の導入方法として、液晶滴下方式を採用することができる。   In this aspect, if the sealing material is formed so as to completely surround the image display region, a liquid crystal dropping method is used as a method for introducing liquid crystal as an example of an electro-optical material sandwiched between the first substrate and the second substrate. Can be adopted.

〔6〕
この態様では、少なくとも当該画像表示領域の一つ一つにつき当該シール材を一繋がりで形成する工程を含むように構成してもよい。
[6]
In this aspect, at least one of the image display areas may include a step of forming the sealing material in a single connection.

このような構成によれば、特に、シール材の形成を前記のディスペンサ方式による場合には、画像表示領域を一定の幅を有するシール材で取り囲むことが可能となるし、また、シール材形成工程の短縮化を図ることもできる。   According to such a configuration, particularly when the sealing material is formed by the dispenser method, the image display region can be surrounded by the sealing material having a certain width, and the sealing material forming step Can be shortened.

なお、本態様において、「少なくとも当該画像表示領域の一つ一つにつき当該シール材を一繋がりで形成する」とは、具体的には、画像表示領域の一つに着目すればシール材が一繋がりで形成されているが、その他はそうではないとか、或いは画像表示領域の一つ一つについてはシール材が一繋がりで形成されているが、各画像表示領域間では一繋がりになっているわけではないとか、更には、例えば四つずつの画像表示領域に着目するとシール材が一繋がりで形成されているが、当該四つずつの画像表示領域からなるグループ間ではそうではないとか、或いは更に、すべての画像表示領域についてシール材が一繋がりで形成されている、などという各場合を含んでいる。   In the present embodiment, “to form the sealing material in one connection for at least each of the image display areas” specifically means that if one of the image display areas is focused, one sealing material is used. It is formed by connection, but the other is not so, or the seal material is formed by one connection for each of the image display areas, but is connected between the image display areas. Or, for example, when attention is paid to four image display areas, for example, the sealing material is formed in a continuous manner, but this is not the case between groups of the four image display areas, or Further, it includes cases where all the image display areas are formed with a continuous seal material.

〔7〕
本発明の電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記隙間の形状及び大きさの少なくとも一方は、前記シール材の粘度及び前記シール材中に混入されるギャップ材の径の大きさの少なくとも一方に応じて、定められる。
[7]
In another aspect of the method of manufacturing the electro-optical device according to the aspect of the invention, at least one of the shape and the size of the gap is at least the viscosity of the sealing material and the size of the diameter of the gap material mixed in the sealing material. It is determined according to one side.

この態様によれば、隙間を埋めるようにシール材を移動させることに大きく関係する、シール材の粘度、あるいはこの中に混入されるギャップ材の径の大きさに応じて、形成されるべき隙間の形状、あるいは大きさが定められることから、当該隙間をシール材の移動によって消滅させることを、より好適に実現することができる。また、同じ理由により、画像表示領域の角部に合致するような角部を有するシール材の形成を(即ち、シール材形成領域の設定を)、より好適に実行することもできる。   According to this aspect, the gap to be formed depends on the viscosity of the sealing material or the diameter of the gap material mixed in the sealing material, which is largely related to moving the sealing material so as to fill the gap. Since the shape or size is determined, it is possible to more suitably realize elimination of the gap by the movement of the sealing material. For the same reason, it is also possible to more suitably execute the formation of the sealing material having corners that match the corners of the image display area (that is, setting the sealing material forming area).

〔8〕
本発明の電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記シール材形成工程は、シールディスペンサ方式によって行われる。
[8]
In another aspect of the method for manufacturing the electro-optical device according to the aspect of the invention, the sealing material forming step is performed by a seal dispenser method.

この態様によれば、シールディスペンサ方式によってシール材が形成されることから、例えば、前記の印刷方式に比べて、より正確・緻密にシール材を形成することができる。また、前記印刷方式とは異なり、基板にはシール材が非接触で塗布されていることから、当該シール材形成工程において、基板にダメージを与える可能性が小さい。   According to this aspect, since the sealing material is formed by the seal dispenser method, for example, the sealing material can be formed more accurately and precisely than the printing method described above. Further, unlike the printing method, since the sealing material is applied to the substrate in a non-contact manner, there is little possibility of damaging the substrate in the sealing material forming step.

〔9〕
この態様では、前記画像表示領域は平面視して矩形状であり、前記シールディスペンサ方式による前記シール材形成工程は、前記画像表示領域の第1辺に沿って前記シール材を描画する第1工程と、該第1工程の後、前記画像表示領域の前記第1辺の端部である角部付近で、前記第1辺と45〔°〕以上90〔°〕以下の角度の方向を有する第1進路をとって所定の第1長さだけ前記シール材を描画する第2工程と、該第2工程の後、前記所定の第1長さを越えた部分において、一定の中心をもつ円の上をなぞるように旋回しながら前記シール材を描画する第3工程と、該第3工程の後、前記第1辺に相隣接する前記画像表示領域の第2辺と45〔°〕以上90〔°〕以下の角度の方向を有するとともに前記角部付近を目指す第2進路をとって、前記シール材を描画する第4工程と、該第4工程の後、前記角部付近から、前記第2辺に沿って前記シール材を描画する第5工程とを備えるように構成してもよい。
[9]
In this aspect, the image display area has a rectangular shape in plan view, and the seal material forming step by the seal dispenser method is a first step of drawing the seal material along the first side of the image display area. And after the first step, in the vicinity of a corner that is an end of the first side of the image display region, the first side has a direction having an angle of 45 ° to 90 ° with the first side. A second step of drawing the seal material by a predetermined first length by taking one path, and a circle having a constant center in a portion beyond the predetermined first length after the second step. A third step of drawing the sealing material while swirling in a trace, and after the third step, a second side of the image display region adjacent to the first side and 45 [°] or more 90 [ °] Take the second path with the following angle direction and aiming near the corner A fourth step of drawing the sealing material and a fifth step of drawing the sealing material along the second side from the vicinity of the corner after the fourth step may be provided. .

このような構成によれば、前記隙間をよりよく形成することができる。すなわち、この場合、隙間は、前記の第2工程、第3工程及び第4工程において形成されたシール材により囲まれた部分として形成しうることになるのである。   According to such a configuration, the gap can be formed better. That is, in this case, the gap can be formed as a portion surrounded by the sealing material formed in the second step, the third step, and the fourth step.

この場合、例えば第2工程と第3工程との間や第3工程と第4工程との間には、更に何らかの意味で特徴付け得るシール材描画工程が挟まっていてもよいが、好ましくは、以下のような構成を採用するとよい。   In this case, for example, between the second step and the third step or between the third step and the fourth step, a sealing material drawing step that can be further characterized in some sense may be sandwiched, The following configuration may be adopted.

〔10〕
すなわち、このような構成では更に、前記第3工程における前記円は半円であり、当該第3工程は前記所定の第1長さが終わる時点で開始され、且つ、前記第4工程における前記第2進路は前記第1進路と正反対の方向を有し、当該第4工程は前記第1長さと同じ第2長さだけ実施されるように構成してもよい。このような構成によれば、前述したような等間隔をもつ隙間を好適に形成することができるからである。
[10]
That is, in such a configuration, the circle in the third step is a semicircle, the third step is started when the predetermined first length ends, and the third step in the fourth step The second path may have a direction opposite to the first path, and the fourth step may be performed by a second length that is the same as the first length. This is because according to such a configuration, the gaps having the same intervals as described above can be suitably formed.

〔11〕
本発明の電子機器は、上記課題を解決するために、上述した本発明の製造方法により製造された電気光学装置(但し、その各種態様を含む。)を具備してなる。
[11]
In order to solve the above problems, an electronic apparatus according to the present invention includes an electro-optical device (including various aspects thereof) manufactured by the above-described manufacturing method according to the present invention.

本発明の電子機器によれば、上述の本発明の電気光学装置を具備してなるので、より小型化を達成可能な、投射型表示装置、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。   According to the electronic apparatus of the present invention, since it includes the electro-optical device of the present invention described above, a projection display device, a liquid crystal television, a mobile phone, an electronic notebook, a word processor, and a viewfinder that can achieve further miniaturization. Various electronic devices such as a video tape recorder, a workstation, a videophone, a POS terminal, and a touch panel can be realized.

本発明のこのような作用及び他の利得は、次に説明する実施の形態から明らかにされる。   Such an operation and other advantages of the present invention will become apparent from the embodiments described below.

以下では、本発明の実施の形態について図1乃至図4を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。図1は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図であり、図2は、図1のH−H’断面図である。また、図3は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。さらに、図4は、シール材形成領域の角部の平面図であり、(a)は、本実施形態に係り図1の符号C1を付した円内部分に対応する拡大平面図であり、(b)はその比較例である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following embodiments, the electro-optical device of the invention is applied to a liquid crystal device. FIG. 1 is a plan view of the electro-optical device when the TFT array substrate is viewed from the counter substrate side together with each component formed thereon, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line H-H ′ of FIG. 1. FIG. 3 is an equivalent circuit of various elements, wirings, and the like in a plurality of pixels formed in a matrix that forms an image display area of the electro-optical device. Further, FIG. 4 is a plan view of a corner portion of the sealing material forming region, and FIG. 4A is an enlarged plan view corresponding to an in-circle portion denoted by reference numeral C1 in FIG. b) is a comparative example.

〔電気光学装置の全体構成〕
まず、電気光学装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
[Overall configuration of electro-optical device]
First, the overall configuration of the electro-optical device will be described with reference to FIGS. 1 and 2. Here, a TFT active matrix driving type liquid crystal device with a built-in driving circuit, which is an example of an electro-optical device, is taken as an example.

図1及び図2において、本実施形態に係る電気光学装置では、TFTアレイ基板10と対向基板20とが対向配置されている。TFTアレイ基板10と対向基板20との間には液晶層50が封入されている。TFTアレイ基板10と対向基板20とが対向しあう部分のほぼ真ん中の領域には、画素電極9aがマトリクス状に配列されることで規定される画像表示領域10aが位置している(図中大きな丸いドットが連なっているのは該画素電極9aが全面的に配列されることを表している。)。前記の液晶層50が存在する領域はこの画像表示領域10aに略一致し、画像表示は、当該画像表示領域10aないしは液晶層50を光が透過することで行われる。   1 and 2, in the electro-optical device according to the present embodiment, a TFT array substrate 10 and a counter substrate 20 are disposed to face each other. A liquid crystal layer 50 is sealed between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20. An image display region 10a defined by the pixel electrodes 9a being arranged in a matrix is located in a substantially middle region where the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 face each other (large in the figure). The continuous round dots indicate that the pixel electrodes 9a are arranged over the entire surface.) The area where the liquid crystal layer 50 exists substantially coincides with the image display area 10a, and image display is performed by transmitting light through the image display area 10a or the liquid crystal layer 50.

画像表示領域10aの周囲には、シール材形成領域(図中ドットによるハッチングのある部分。以下参照する各図において同じ。)が位置しており、該シール材形成領域にはシール材52が設けられている。このシール材52には、画像表示領域10aないしはTFTアレイ基板10の四つの角部に対応するようにして、はみ出し部523Zが含まれている。このはみ出し部523Zその他本実施形態において特徴的な構成については、後に(シール材の構成及び作用・効果)及び(電気光学装置の製造方法)なる項を立てて、改めて詳しく述べることとする。   Around the image display area 10a, there is a sealing material forming area (a portion with hatching by dots in the figure. The same applies to the drawings referred to below), and a sealing material 52 is provided in the sealing material forming area. It has been. The seal material 52 includes an overhang portion 523Z so as to correspond to the four corner portions of the image display region 10a or the TFT array substrate 10. The protruding portion 523Z and other characteristic configurations in the present embodiment will be described in detail later with the terms of (seal material configuration and operation / effect) and (electro-optical device manufacturing method).

シール材52が配置されたシール材形成領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜(不図示)が、対向基板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。この額縁遮光膜より以遠の周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール材形成領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。また、この周辺領域には、走査線駆動回路104が、TFTアレイ基板10の2辺に沿うようにして設けられている。更に、このように画像表示領域10aの両側に設けられた二つの走査線駆動回路104間をつなぐため、TFTアレイ基板10の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして複数の配線105が設けられている。また、対向基板20の4つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材106が配置されている。他方、TFTアレイ基板10にはこれらのコーナーに対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。   A light-shielding frame light-shielding film (not shown) that defines the frame region of the image display region 10a is provided on the counter substrate 20 side in parallel with the inside of the seal material forming region where the seal material 52 is disposed. However, a part or all of such a frame light shielding film may be provided as a built-in light shielding film on the TFT array substrate 10 side. In the peripheral region farther than the frame light shielding film, the data line driving circuit 101 and the external circuit connection terminal 102 are provided on one side of the TFT array substrate 10 in the region located outside the sealing material forming region where the sealing material 52 is disposed. It is provided along. In this peripheral region, the scanning line driving circuit 104 is provided along two sides of the TFT array substrate 10. Further, in order to connect the two scanning line driving circuits 104 provided on both sides of the image display area 10a in this way, the TFT array substrate 10 is covered with the frame light shielding film 53 along the remaining side. A plurality of wirings 105 are provided. In addition, vertical conduction members 106 that function as vertical conduction terminals between the two substrates are disposed at the four corners of the counter substrate 20. On the other hand, the TFT array substrate 10 is provided with vertical conduction terminals in a region facing these corners. Thus, electrical conduction can be established between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20.

図2において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用のTFTや走査線、データ線等の配線の上に形成された画素電極9a上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板20上には、対向電極21の他、格子状又はストライプ状の遮光膜23、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。   In FIG. 2, an alignment film is formed on a TFT array substrate 10 on a pixel electrode 9a formed on a pixel switching TFT, a scanning line, a data line or the like. On the other hand, on the counter substrate 20, in addition to the counter electrode 21, a lattice-shaped or striped light-shielding film 23 and an alignment film are formed on the uppermost layer portion. Further, the liquid crystal layer 50 is made of, for example, a liquid crystal in which one or several types of nematic liquid crystals are mixed, and takes a predetermined alignment state between the pair of alignment films.

なお、図1及び図2に示したTFTアレイ基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。   In addition to the data line driving circuit 101, the scanning line driving circuit 104, and the like, the image signal on the image signal line is sampled and supplied to the data line on the TFT array substrate 10 shown in FIGS. Sampling circuit, precharge circuit for supplying a precharge signal of a predetermined voltage level to a plurality of data lines in advance of the image signal, for inspecting the quality, defects, etc. of the electro-optical device during production or at the time of shipment An inspection circuit or the like may be formed.

(画像表示領域の回路構成)
前記の図1に示す画像表示領域10aには、図3に示すようなマトリクス状に形成された複数の画素が構成されている。これら画素には、それぞれ、画素電極9aと当該画素電極9aをスイッチング制御するためのTFT30とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に順次供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
(Circuit configuration of the image display area)
In the image display area 10a shown in FIG. 1, a plurality of pixels formed in a matrix as shown in FIG. 3 are configured. Each of these pixels is formed with a pixel electrode 9a and a TFT 30 for controlling the switching of the pixel electrode 9a, and a data line 6a to which an image signal is supplied is electrically connected to the source of the TFT 30. Yes. The image signals S1, S2,..., Sn written to the data lines 6a may be sequentially supplied in this order, or may be supplied for each group to a plurality of adjacent data lines 6a.

また、TFT30のゲートにゲート電極3aが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線11a及びゲート電極3aにパルス的に走査信号G1、G2、…、Gmを、この順に順次印加するように構成されている。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。   Further, the gate electrode 3a is electrically connected to the gate of the TFT 30, and the scanning signals G1, G2,..., Gm are sequentially applied in this order to the scanning line 11a and the gate electrode 3a in a predetermined timing. It is configured as follows. The pixel electrode 9a is electrically connected to the drain of the TFT 30, and the image signal S1, S2,..., Sn supplied from the data line 6a is obtained by closing the switch of the TFT 30 as a switching element for a certain period. Write at a predetermined timing.

画素電極9aを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、対向基板20に形成された対向電極21との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。   Image signals S1, S2,..., Sn written in a liquid crystal as an example of an electro-optical material via the pixel electrode 9a are held for a certain period with the counter electrode 21 formed on the counter substrate 20. The The liquid crystal modulates light and enables gradation display by changing the orientation and order of the molecular assembly depending on the applied voltage level. In the normally white mode, the transmittance for incident light is reduced according to the voltage applied in units of each pixel, and in the normally black mode, the light is incident according to the voltage applied in units of each pixel. The light transmittance is increased, and light having a contrast corresponding to the image signal is emitted from the electro-optical device as a whole.

ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極9aと対向電極21との間に形成される液晶容量と並列に保持容量70を付加する。この保持容量70は、走査線11aに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量線300を含んでいる。   In order to prevent the image signal held here from leaking, a holding capacitor 70 is added in parallel with the liquid crystal capacitor formed between the pixel electrode 9 a and the counter electrode 21. The storage capacitor 70 is provided side by side with the scanning line 11a, and includes a capacitor line 300 including a fixed potential side capacitor electrode and fixed at a constant potential.

〔シール材の構成及び作用・効果〕
以下では、本実施形態において特徴的な構成を有するシール材52について、より詳しく説明する。まず、シール材52は、TFTアレイ基板10及び対向基板20を貼り合わせるため、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材52の中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材(不図示)が散布されている。
[Configuration, action and effect of sealing material]
Below, the sealing material 52 which has the characteristic structure in this embodiment is demonstrated in detail. First, the sealing material 52 is made of, for example, an ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or the like in order to bond the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20, and is applied to the TFT array substrate 10 in the manufacturing process, and then irradiated with ultraviolet rays and heated. It is hardened by the above. Further, a gap material (not shown) such as glass fiber or glass bead for spraying the gap between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 (inter-substrate gap) to a predetermined value is scattered in the sealing material 52. Yes.

そして、本実施形態においては特に、かかるシール材52は、図1に示すように、平面視して矩形状を有する画像表示領域10aを囲むように、且つ、該画像表示領域10aと略相似の関係にある矩形状に形成されている。特に、この矩形状であるシール材52の角部は、図4(a)によく示されているように直角部分523Aとなっている。したがって、図1及び図4(a)において、シール材52が形成されているシール材形成領域と画像表示領域10aとの間には、殆ど間隙が設けられていない(図4(a)中符号Dp参照)。   In particular, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the sealing material 52 surrounds the image display region 10a having a rectangular shape in plan view and is substantially similar to the image display region 10a. It is formed in a rectangular shape having a relationship. In particular, the corner of the rectangular sealing material 52 is a right-angled portion 523A as well shown in FIG. Therefore, in FIG. 1 and FIG. 4A, there is almost no gap between the seal material forming area where the seal material 52 is formed and the image display area 10a (reference numeral in FIG. 4A). Dp).

このようなことが可能となるのは、画像表示領域10aの四つの角部に対応するようにして、シール材52にはみ出し部523Zが含まれていることに強く関係するが、このことは当該電気光学装置の製造方法に関わることから、後の〔電気光学装置の製造方法〕において詳しく説明することとする。   Such a possibility is strongly related to the fact that the seal material 52 includes the protruding portion 523Z so as to correspond to the four corners of the image display region 10a. Since it relates to a method for manufacturing an electro-optical device, it will be described in detail later in [Method for manufacturing an electro-optical device].

以上のように、本実施形態によれば、シール材52が形成されている領域の角部が前記のようにほぼ直角に形成されていることから、シール材形成領域と画像表示領域10aとの間に殆ど間隙が設けられておらず、したがって、いわゆる狭額縁化をよりよく実現することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, since the corners of the region where the seal material 52 is formed are formed substantially at right angles as described above, the seal material forming region and the image display region 10a are separated from each other. There is almost no gap between them, so that it is possible to better realize so-called narrowing of the frame.

この点、従来の電気光学装置においては、図4(b)に示すように、画像表示領域10aの角部付近におけるシール材52´の角部52´Cは、印刷方式で用いられる版作成精度の限界、或いは特にシールディスペンサ方式で用いられるXYテーブル(後の記述あるいは図6参照)の機構精度の限界により、一定の半径Rをもつ略四半円形状をもつものとして形成されていた。したがって、シール材形成領域と画像表示領域10aとの間の間隙Dcは、本実施形態に係る間隙Dpに比べて大きくならざるをえない。図4(b)では、シール材形成領域の角部52´Cにおいて、画像表示領域10aとシール材52´との間の間隙Daが可能な限り狭くなるようにされているが、それでも前記一定の半径Rの存在により、間隙Dpは大きくなってしまうのである。ちなみに、このような図4(b)において仮に、間隙Dcを実現しようとすれば、シール材52´ないしは当該シール材形成領域は、図から明らかなように、画像表示領域10aの角部に大きく被さってしまうことになる。   In this regard, in the conventional electro-optical device, as shown in FIG. 4B, the corner portion 52′C of the sealing material 52 ′ in the vicinity of the corner portion of the image display region 10a has a plate forming accuracy used in the printing method. Or an XY table used in a seal dispenser system (see the following description or FIG. 6) has a substantially quadrant shape having a constant radius R. Accordingly, the gap Dc between the seal material forming area and the image display area 10a must be larger than the gap Dp according to the present embodiment. In FIG. 4B, the gap Da between the image display region 10a and the sealing material 52 ′ is made as narrow as possible in the corner portion 52′C of the sealing material forming region. The presence of the radius R increases the gap Dp. Incidentally, if the gap Dc is to be realized in FIG. 4B, the sealing material 52 'or the sealing material forming area is large at the corner of the image display area 10a as is apparent from the drawing. It will be covered.

しかるに、本実施形態においては、既に述べたように、そのようなことは生ぜず、シール材形成領域と画像表示領域10aとの間の間隙Dpを非常に小さく抑えることが可能となり、いわゆる狭額縁化をよりよく達成することができるのである。ちなみに、本願発明者らの研究によれば、本実施形態における間隙Dpの値は、従前における間隙Dcに比べて95〔%〕程度も減少させうること(即ち、従前の間隙Dcの大きさが例えば1〔mm〕であれば、間隙Dpを50〔μm〕程度にしうること)が確認されている。このように、本実施形態では、狭額縁化をよりよく達成することができ、したがって当該電気光学装置の小型化・高精細化・画面大型化の要求をよりよく実現することができる。   However, in the present embodiment, as described above, such a situation does not occur, and the gap Dp between the seal material forming region and the image display region 10a can be suppressed to a very small size, so-called narrow frame. Can be better achieved. Incidentally, according to the study by the inventors of the present application, the value of the gap Dp in this embodiment can be reduced by about 95 [%] compared to the previous gap Dc (that is, the size of the previous gap Dc is smaller). For example, if 1 [mm], the gap Dp can be reduced to about 50 [μm]). As described above, in the present embodiment, it is possible to better achieve narrowing of the frame, and thus it is possible to better realize the demand for downsizing, high definition, and enlargement of the screen of the electro-optical device.

〔電気光学装置の製造方法〕
以下では、上記の電気光学装置の製造方法について、図5乃至図8を参照して説明する。ここに図5は、本実施形態に係る電気光学装置の製造方法のフローチャートであり、図6は、シール材形成工程におけるシール描画の様子を詳細に説明するための説明図であり、図7は、製造工程途中の一個の電気光学装置についての全体平面図である。図8は、図7の符号C2を付した円内部分に対応する拡大平面図であって、(a)はシール材描画直後の様子、(b)は、TFTアレイ基板10及び対向基板20の圧着開始後の様子をそれぞれ示している。
[Method of manufacturing electro-optical device]
Hereinafter, a method for manufacturing the above electro-optical device will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart of the electro-optical device manufacturing method according to the present embodiment, FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining in detail the state of the seal drawing in the sealing material forming step, and FIG. FIG. 3 is an overall plan view of one electro-optical device in the middle of the manufacturing process. 8 is an enlarged plan view corresponding to an in-circle portion denoted by reference numeral C2 in FIG. 7, where (a) shows a state immediately after drawing a sealing material, and (b) shows the state of the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20. The state after the start of crimping is shown.

まず、TFTアレイ基板10上に、図3に示したTFT30、データ線6a、走査線11a及び画素電極9a等の各種の構成要素を構築する(図5のステップS10)。この工程は、例えば、スパッタリング法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等による成膜工程、或いはリソグラフィ及びエッチング法によるパターニング工程等の公知となる各種の半導体製造技術を利用して行われる。ここで、前記の各種の構成要素のうち画素電極9a(及びTFT30)は、マトリクス状に配列するように形成されて、一つの画像表示領域10aを規定する(図1或いは図7等参照)。本実施形態では、共通のTFTアレイ基板10上に、この画像表示領域10aが複数規定されるように、前記画素電極9a(及びTFT30)が形成される(図6参照)。これら複数の画像表示領域10aは、後に説明する図6のスクライブライン501X及び501Yに沿った裁断によって、個別の電気光学装置に含まれることになる。   First, various components such as the TFT 30, the data line 6a, the scanning line 11a, and the pixel electrode 9a shown in FIG. 3 are constructed on the TFT array substrate 10 (step S10 in FIG. 5). This step is performed using various known semiconductor manufacturing techniques such as a film forming step by sputtering, CVD (Chemical Vapor Deposition), or a patterning step by lithography and etching. Here, among the various components described above, the pixel electrodes 9a (and the TFTs 30) are formed so as to be arranged in a matrix and define one image display area 10a (see FIG. 1 or FIG. 7). In the present embodiment, the pixel electrodes 9a (and TFTs 30) are formed on the common TFT array substrate 10 so that a plurality of image display regions 10a are defined (see FIG. 6). The plurality of image display areas 10a are included in individual electro-optical devices by cutting along scribe lines 501X and 501Y in FIG. 6 described later.

なお、本実施形態においては、前記の各要素に加えて、TFTアレイ基板10上に、画素電極9aにおける電位保持特性を向上させるための容量線300を含む保持容量70(図3参照)や配向膜、或いは走査線駆動回路104並びにデータ線駆動回路101及び外部回路接続端子102(図1参照)その他の構成を、前述と同様、公知となる各種の半導体製造技術を利用して構築してよいことはいうまでもない。   In the present embodiment, in addition to the above-described elements, the storage capacitor 70 (see FIG. 3) including the capacitor line 300 for improving the potential holding characteristic of the pixel electrode 9a on the TFT array substrate 10 and the orientation. The film, or the scanning line driving circuit 104, the data line driving circuit 101, the external circuit connection terminal 102 (see FIG. 1), and other configurations may be constructed using various known semiconductor manufacturing techniques as described above. Needless to say.

次に、TFTアレイ基板10上に、図示しないスペーサを散布などした後、ディスペンサ方式によってシール材52を描画する(図5のステップS12)。すなわち、まず、図6に示すように、画素電極9a等が構築され複数の画像表示領域10aが規定されたTFTアレイ基板10を、図中X方向及びY方向に動作可能なXYテーブル602の上に載置する。続いて、該XYテーブル602に対向するように配置されたシール材吐出口601を、TFTアレイ基板10の所定位置に配置した後、該TFTアレイ基板10を載せたXYテーブル602を、所定方向及び所定量移動させる。この際、シール材吐出口601に、相応の粘性率を有するシール材を順次供給するとともに、その吐出口先端部601aからシール材をTFTアレイ基板10に向かって吐出させる。これにより、シール材は、TFTアレイ基板10上に所定の軌道を描きながら描画されることになる。なお、シール材吐出口601に供給されるシール材には、ギャップ材を混入しておく。   Next, after spraying spacers (not shown) on the TFT array substrate 10, the sealing material 52 is drawn by a dispenser method (step S12 in FIG. 5). That is, first, as shown in FIG. 6, a TFT array substrate 10 in which pixel electrodes 9a and the like are constructed and a plurality of image display regions 10a are defined is placed on an XY table 602 that can operate in the X and Y directions in the figure. Placed on. Subsequently, after the sealing material discharge port 601 disposed so as to face the XY table 602 is disposed at a predetermined position of the TFT array substrate 10, the XY table 602 on which the TFT array substrate 10 is mounted is disposed in a predetermined direction and Move a predetermined amount. At this time, a sealing material having a corresponding viscosity is sequentially supplied to the sealing material discharge port 601 and the sealing material is discharged toward the TFT array substrate 10 from the discharge port tip 601a. As a result, the sealing material is drawn on the TFT array substrate 10 while drawing a predetermined trajectory. Note that a gap material is mixed in the seal material supplied to the seal material discharge port 601.

ここで前記の所定の軌道とは、本実施形態において具体的に次のようである。すなわち、図7に示すように、まず、シール材吐出口601を、スクライブライン501X及び501Yの外側である余剰領域10sの上、且つ、ある一つの画像表示領域10aの図中左下隅付近の所定位置に位置付ける。次にシール材吐出口601が当該所定位置に位置付けられたら、その吐出口先端部601aからシール材の吐出を開始する。これにより、TFTアレイ基板10上に当該シール材からなるスタートポイント521が現される。また、これと同時に、XYテーブル602を、最初は図6又は図7中+Y方向に暫く移動させた後、一転して−X方向及び−Y方向の合成した方向に移動させる。これにより、シール材吐出口601は、TFTアレイ基板10との相対的な関係において、最初は図6中下方向に移動した後、一転して右斜め上方向に移動するようなかたちになる。ちなみに、前記のスタートポイント521ではシール材の吐出始めということもあり、該スターポイント521の幅は、その後続くシール材の描画ラインの幅よりも一般に大きくなる。   Here, the predetermined trajectory is specifically as follows in the present embodiment. That is, as shown in FIG. 7, first, the sealing material discharge port 601 is placed on a surplus area 10s outside the scribe lines 501X and 501Y and a predetermined area near the lower left corner of one image display area 10a. Position to position. Next, when the seal material discharge port 601 is positioned at the predetermined position, discharge of the seal material is started from the discharge port front end portion 601a. As a result, the start point 521 made of the sealing material appears on the TFT array substrate 10. At the same time, the XY table 602 is first moved for a while in the + Y direction in FIG. 6 or FIG. 7 and then moved in the combined direction of the −X direction and the −Y direction. As a result, in the relative relationship with the TFT array substrate 10, the sealing material discharge port 601 first moves in the downward direction in FIG. 6 and then turns and moves in the diagonally upward direction to the right. Incidentally, the start point 521 may start the discharge of the sealing material, and the width of the star point 521 is generally larger than the width of the drawing line of the subsequent sealing material.

後は、図6及び図7に示すように、基本的には、画像表示領域10aを囲むようにシール材吐出口601を移動させて、シール材の描画を実行すればよい。最後は、前記のスタートポイント521の近くに、シール材吐出口521を導いてエンドポイント524を現し、ここでシール材吐出口601の吐出口先端部601aからのシール材の吐出をストップする。これにより、最終的に形成される当該シール材52の平面的な形状は概ね矩形状となる。また、本実施形態においては、一つ一つの画像表示領域10aにつき、一繋がりで或いは一筆書きのシール材52が形成されることになる。以後、各々の画像表示領域10aにつき、同じ手順を踏んで、シール材52を形成していけばよい。ちなみに、図6においては、図中右上の画像表示領域10aについてシール材形成の最中であり、XYテーブル602が図中−Y方向に向かって進んでいることにより、シール材吐出口601は図中左上に向かって進んでいるかの如き様子が示されている。   Thereafter, as shown in FIGS. 6 and 7, basically, the seal material discharge port 601 may be moved so as to surround the image display region 10a, and the seal material should be drawn. Lastly, the seal material discharge port 521 is guided near the start point 521 to reveal the end point 524, where the discharge of the seal material from the discharge port front end portion 601a of the seal material discharge port 601 is stopped. Thereby, the planar shape of the sealing material 52 finally formed is substantially rectangular. Further, in the present embodiment, a single or one-stroke seal material 52 is formed for each image display region 10a. Thereafter, the sealing material 52 may be formed by following the same procedure for each image display region 10a. Incidentally, in FIG. 6, the seal material is being formed in the upper right image display region 10 a in the drawing, and the XY table 602 advances in the −Y direction in the drawing. It is shown as if it is moving toward the upper left in the middle.

このように、好ましくは一筆書きによってシール材を形成しうるディスペンサ方式を採用することによれば、印刷方式に比べて、より正確・緻密なシール材形成を実現することができるし、また、印刷方式とは異なり、TFTアレイ基板10にはシール材が非接触で塗布されていくようになっていることから、当該シール材形成工程において、TFTアレイ基板10にダメージを与える可能性が小さい。また、ディスペンサ方式を採用して一筆書きを実施すれば、シール材形成領域の殆どどの部分においても一定の幅とすることができ、ばらつきのない電気光学装置の製造も可能となる。   Thus, by adopting a dispenser system that can preferably form a sealing material by a single stroke, it is possible to achieve more accurate and precise sealing material formation than printing methods, and printing. Unlike the method, since the sealing material is applied to the TFT array substrate 10 in a non-contact manner, the possibility of damaging the TFT array substrate 10 in the sealing material forming step is small. In addition, if a single stroke writing is performed by adopting a dispenser method, it is possible to make the width constant in almost any part of the sealing material forming region, and it is possible to manufacture an electro-optical device having no variation.

さて、ところで前記のような一筆書きによるシール材形成工程において、本実施形態では特に、画像表示領域10aの角部に対応する部分、即ち前記矩形状の角部には隙間523Gが形成されるようにして、シール材52の形成が行われることに特徴がある。より詳しくは、例えば図7の右上隅の部分、即ち図8(a)において、まず、画像表示領域10aの図中上辺に沿うように図中右方向に進んできたシール材吐出口601は、画像表示領域10aの角部付近で図中右斜め上方向に進路(以下、「第1進路」という。)を変更する。続いて、シール材吐出口601は、スクライブライン501Xを所定距離Deqだけ越えた部分まで、この第1進路を保つ。次に、シール材吐出口601は、所定距離Deqを越えた部分で、略半円を描きながら移動することで、いままで保っていた第1進路とは正反対の方向に進路(以下、「第2進路」という。)をとった後、前記所定距離Deq及びスクライブライン501Yの内側の所定の地点まで、当該第2進路を保つ。この際、第1進路を進行中に描画されたシール材52Aと、第2進路を進行中に形成されたシール材52Bとの間には、これら両シール材52A及び52Bが延在する限り等間隔の距離Geqが保たれるような隙間523Gが形成されるようにする。最後に、シール材吐出口601は、スクライブライン501Y内側の所定の地点に至った後、画像表示領域10aの図中右辺に沿うように図中下方向に移動する。   By the way, in the sealing material forming process by one stroke writing as described above, in this embodiment, a gap 523G is formed in a portion corresponding to the corner of the image display area 10a, that is, in the corner of the rectangle. Thus, the sealing material 52 is formed. More specifically, for example, in the upper right corner portion of FIG. 7, that is, FIG. 8A, first, the sealing material discharge port 601 that has advanced in the right direction in the drawing along the upper side of the image display region 10 a in the drawing, In the vicinity of the corner of the image display area 10a, the course (hereinafter referred to as "first course") is changed in the upper right direction in the figure. Subsequently, the sealing material discharge port 601 maintains this first path up to a portion that exceeds the scribe line 501X by a predetermined distance Deq. Next, the seal material discharge port 601 moves while drawing a substantially semicircle at a portion exceeding the predetermined distance Deq, so that the path (hereinafter referred to as “the first path” in the opposite direction to the first path maintained until now). 2), the second path is maintained up to the predetermined distance Deq and a predetermined point inside the scribe line 501Y. At this time, as long as both the sealing materials 52A and 52B extend between the sealing material 52A drawn while traveling the first path and the sealing material 52B formed while traveling the second path, etc. A gap 523G is formed so that the distance Geq is maintained. Finally, after reaching the predetermined point inside the scribe line 501Y, the sealing material discharge port 601 moves downward in the drawing along the right side of the image display region 10a in the drawing.

以上のような描画手順を踏むことにより、画像表示領域10aの角部付近においては、図6乃至図8(a)に示すようなはみ出し部523とともに、隙間523Gが形成されることになる。なお、各々の画像表示領域10aの図中左下隅部分においては、このはみ出し部523及び隙間523Gの形成手順とほぼ同様にして、やはり隙間523G´が形成されている。このようなことが可能であるのは、図に示すスタートポイント521及びエンドポイント524の配置関係から明らかに読み取れるであろう。   By following the drawing procedure as described above, a gap 523G is formed in the vicinity of the corner of the image display area 10a together with the protruding portion 523 as shown in FIGS. A gap 523G ′ is also formed in the lower left corner of each image display area 10a in the same manner as the procedure for forming the protruding portion 523 and the gap 523G. Such a possibility can be clearly read from the arrangement of the start point 521 and the end point 524 shown in the figure.

さて、以上のように、シール材形成工程が完了したら次に、当該TFTアレイ基板10を所定の清浄性・真空度等が保たれた所定の雰囲気下においた上で、画像表示領域10a上に液晶滴下を実施する(図5のステップS14)。すなわち、便宜上、図6に併せて示したように、シール材52によって囲われた画像表示領域10a上に、液晶滴下筒701を用いて、液晶滴50Dを滴下するのである。この液晶滴下は、複数の画像表示領域10aのすべてについて行われるが、これを実現するためには、図6に示すようなXYテーブル602と同様な構成を備えたXYテーブルの上にTFTアレイ基板10を載置して、前記液晶滴下筒701と各々の画像表示領域10aとの適当な位置決めを実施しながら、液晶滴下を実施すればよい。なお、シール材形成工程の後、液晶滴下工程の前には、シール材52に対するプレベーク工程を挟んでおくとよい。   As described above, when the sealing material forming process is completed, the TFT array substrate 10 is placed in a predetermined atmosphere in which a predetermined cleanliness, a degree of vacuum, and the like are maintained, and then on the image display region 10a. Liquid crystal dropping is performed (step S14 in FIG. 5). That is, for convenience, as shown in FIG. 6, the liquid crystal droplet 50D is dropped on the image display region 10a surrounded by the sealing material 52 using the liquid crystal dropping cylinder 701. This liquid crystal dropping is performed on all of the plurality of image display areas 10a. In order to realize this, the TFT array substrate is placed on the XY table having the same configuration as the XY table 602 as shown in FIG. 10 is placed, and liquid crystal dropping may be performed while appropriately positioning the liquid crystal dropping cylinder 701 and each image display region 10a. In addition, after the sealing material forming process and before the liquid crystal dropping process, a pre-baking process for the sealing material 52 may be sandwiched.

続いて、このようなTFTアレイ基板10に対して、図示しない対向基板20を対向させた上で、これらTFTアレイ基板10及び対向基板20を圧着する(図5のステップS16)。なお、対向基板20については、この圧着工程以前の適当な段階において、該対向基板20上に、対向電極21、額縁遮光膜等の各種の構成要素を構築しておく(図5のステップS20)。   Subsequently, the counter substrate 20 (not shown) is opposed to the TFT array substrate 10 as described above, and then the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are pressure-bonded (step S16 in FIG. 5). For the counter substrate 20, various components such as the counter electrode 21 and the frame light shielding film are constructed on the counter substrate 20 at an appropriate stage prior to the crimping process (step S 20 in FIG. 5). .

この圧着工程ではまず、前記の液晶滴50Dは、各画像表示領域10aの全面に行き渡るように周囲に広がる。ここで、シール材52は、このように広がる液晶滴50Dに対していわば堤防として機能することになる。   In this press-bonding step, first, the liquid crystal droplets 50D spread to the periphery so as to spread over the entire surface of each image display region 10a. Here, the sealing material 52 functions as a levee for the liquid crystal droplets 50D spreading in this way.

また、本実施形態では特に、この圧着工程により、前記のはみ出し部523及び隙間523Gについて、以下のような変化が生じることになる。すなわち、TFTアレイ基板10及び対向基板20の圧着により、液晶滴50Dが画像表示領域10aに広がったのと同様に、隙間523Gを挟んで存在する前記のシール材52A及び52Bは、この隙間523Gを埋めるように広がる、ないしは移動することになる。そして、これらのシール材52A及び52Bは、図8(b)に示すように、やがて相互に接続されるようなかたちになる。この後、最終的には隙間523Gは完全に消滅し、それとほぼ同時に、シール材52の画像表示領域10aの角部に対応する部分に、直角部分523Aが形作られることになる。この場合特に、本実施形態では、はみ出し部523が所定距離Deqだけ延在していること、及び、この所定距離Deqにわたって隙間523Gが等間隔の距離Geqを保っていることから、前記の直角部分523Aは、より好適に形作られることになる。これは、この場合における隙間523Gの形状及び大きさが直角部分523Aを形作るにあたって好ましいからであるが、この点については、後に図9乃至図12に示される変形形態を参照しながら改めて説明することとする。   In the present embodiment, in particular, the crimping step causes the following changes in the protruding portion 523 and the gap 523G. That is, as the liquid crystal droplets 50D spread to the image display region 10a due to the pressure bonding of the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20, the sealing materials 52A and 52B existing across the gap 523G It will spread or move to fill. Then, as shown in FIG. 8B, these sealing materials 52A and 52B eventually become connected to each other. Thereafter, finally, the gap 523G completely disappears, and at the same time, a right-angled portion 523A is formed at a portion corresponding to the corner of the image display region 10a of the sealing material 52. In this case, in particular, in the present embodiment, the protruding portion 523 extends by the predetermined distance Deq, and the gap 523G maintains the equidistant distance Geq over the predetermined distance Deq. 523A will be more suitably shaped. This is because the shape and size of the gap 523G in this case is preferable for forming the right-angled portion 523A, but this point will be described later with reference to the deformation modes shown in FIGS. And

以上のように、本実施形態では、シール材52に直角部分523Aが好適に形作られることにより、画像表示領域10aの図中上下の辺及び左右の辺に沿って形成されるべきシール材52は、当初から(即ち、図5のステップS12におけるシール材形成工程の段階で既に)、当該上下の辺及び左右の辺に非常に近くに位置するように形成することができるのである。   As described above, in the present embodiment, the right-angled portion 523A is suitably formed on the sealing material 52, so that the sealing material 52 to be formed along the upper and lower sides and the left and right sides of the image display region 10a in FIG. From the beginning (that is, already at the stage of the sealing material forming step in step S12 in FIG. 5), it can be formed so as to be located very close to the upper and lower sides and the left and right sides.

この点、従来においては、画像表示領域10aの図中上下の辺及び左右の辺に非常に近接してシール材を形成するわけにはいかない。これは、既に図4(b)を参照して述べたように、主に図6に示したXYテーブル602の機構精度或いはX方向及びY方向への動作に伴う誤差の発生により、シール材52を連続して形成するためには、画像表示領域10aの角部に対応する部分において、一定の半径Rを確保する必要があったからである。このことにより、画像表示領域10aとシール材形成領域との間には、図4(a)に示す間隙Dpに比べて遥かに広い間隙Dc(或いは、それ以上の間隙)を設けておかなければならなかったのである。   In this regard, conventionally, the seal material cannot be formed very close to the upper and lower sides and the left and right sides of the image display region 10a in the drawing. As already described with reference to FIG. 4B, this is mainly due to the mechanism accuracy of the XY table 602 shown in FIG. 6 or the occurrence of errors due to the operation in the X and Y directions. This is because it is necessary to secure a constant radius R in the portion corresponding to the corner of the image display region 10a in order to form the image continuously. Accordingly, a gap Dc (or a gap larger than the gap Dp shown in FIG. 4A) should not be provided between the image display area 10a and the seal material forming area. It was not.

以上、圧着工程が完了したら最後は、シール材52の硬化処理(シール材52が光硬化性樹脂なら光照射処理、熱硬化性樹脂なら加熱処理等)を行った後(図5のステップS17)、スクライブライン501X及び501Yに沿ってTFTアレイ基板10を裁断する(図5のステップS18。また、図6及び図7等参照)。この裁断工程により、はみ出し部523のうち、スクライブライン501X及び501Yの内部のみが残存するような「はみ出し部523Z」が形成されることになる(図4(a)参照)。   As described above, after the crimping process is completed, the sealing material 52 is finally cured (light irradiation treatment if the sealing material 52 is a photocurable resin, heat treatment or the like if the sealing material 52 is a thermosetting resin) (step S17 in FIG. 5). Then, the TFT array substrate 10 is cut along the scribe lines 501X and 501Y (step S18 in FIG. 5; see FIGS. 6 and 7, etc.). By this cutting process, a “protruding portion 523Z” in which only the inside of the scribe lines 501X and 501Y remains in the protruding portion 523 is formed (see FIG. 4A).

なお、上記の電気光学装置の製造方法では、画像表示領域10aの一つ一つにつき、シール材が一筆書きで形成されるようになっているが、本発明は、このような形態に限定されない。図6等にいうスタートポイント521及びエンドポイント524の位置を工夫すれば、例えば、複数の画像表示領域10aについて一挙に一筆書きでシール材の形成を行うことも可能である。具体的には、四つの画像表示領域10aの各角部が相互に向き合う余剰領域10sに、スタートポイント及びエンドポイントを取れば、これら四つの画像表示領域10aについて一挙にシール材の形成を行うことができる。その他これ以外にも、種々の描画方法が考えられることは言うまでもない。いずれにせよ、そのすべては、本発明の範囲内にある。   In the above-described electro-optical device manufacturing method, the seal material is formed with a single stroke for each image display region 10a. However, the present invention is not limited to such a form. . If the positions of the start point 521 and the end point 524 shown in FIG. 6 and the like are devised, for example, it is possible to form the sealing material with a single stroke on the plurality of image display areas 10a. Specifically, if the start point and the end point are taken in the surplus area 10s where the corners of the four image display areas 10a face each other, the seal material is formed at once for the four image display areas 10a. Can do. In addition to this, it goes without saying that various drawing methods can be considered. In any case, all of them are within the scope of the present invention.

また、上記では、シール材の形成はTFTアレイ基板10の上になされているが、対向基板20の側にシール材を形成した後、この対向基板20とTFTアレイ基板10とを圧着させる工程を実施してもよい。この場合、図5においては、ちょうどステップS10及びステップS20を交換したかの如きフローチャートを想定すればよい(ステップS12に「TFTアレイ基板」とあるのは、「対向基板」と読み替える。)。   Further, in the above, the sealing material is formed on the TFT array substrate 10, but after forming the sealing material on the counter substrate 20 side, the step of pressure bonding the counter substrate 20 and the TFT array substrate 10 is performed. You may implement. In this case, in FIG. 5, it is only necessary to assume a flowchart as if Step S10 and Step S20 were exchanged (“TFT array substrate” in Step S12 is read as “opposing substrate”).

〔変形形態〕
以下では、上記の電気光学装置ないしはその製造方法とは異なる変形形態について、図9乃至図12を参照して説明する。ここに図9乃至図12は、それぞれ、図8(a)と同趣旨の図であって、同図とは異なる形態となるものを示す平面図である。
[Deformation]
In the following, a modification different from the electro-optical device or the manufacturing method thereof will be described with reference to FIGS. 9 to 12 are diagrams having the same concept as in FIG. 8A, and are plan views showing different forms from those in FIG.

まず、図9は、スクライブライン501X及び501Yを越えた部分において、シール材が略円形を描くように形成されており、その結果、略円形の隙間G1が形成されている。他方、図10は、スクライブライン501X及び501Yを越えた部分において、シール材が略三角形を描くように形成されており、その結果、略三角形の隙間G2が形成されている。さらに、図11は、スクライブライン501X及び501Yを越えた部分において、シール材が略四角形を描くように形成されており、その結果、略四角形の隙間G3が形成されている。   First, in FIG. 9, the seal material is formed so as to draw a substantially circular shape in a portion beyond the scribe lines 501X and 501Y, and as a result, a substantially circular gap G1 is formed. On the other hand, in FIG. 10, the seal material is formed so as to draw a substantially triangular shape in a portion beyond the scribe lines 501X and 501Y, and as a result, a substantially triangular gap G2 is formed. Further, in FIG. 11, the seal material is formed so as to draw a substantially square in a portion beyond the scribe lines 501X and 501Y, and as a result, a substantially square gap G3 is formed.

これらの図では、スクライブライン501X及び501Yを越えた部分に、シール材が形成されていることについては同様であるが、図8(a)の隙間523Gのように、それぞれの隙間G1乃至G3に等間隔の部分が存在しない。したがって、TFTアレイ基板10及び対向基板20を圧着させる工程において、この隙間G1乃至G3を完全に埋めるようにシール材を移動させることは図8(a)に比べて困難ということがいえる。したがって、これらの場合においては、圧着工程等において、特別な注意が必要とされる場合があり得、また、図8(a)に示すような極めて綺麗な直角部分523Aを形作ることは比較的困難ということができる。   In these drawings, the seal material is formed in the portion beyond the scribe lines 501X and 501Y. However, as in the gap 523G in FIG. There are no equally spaced parts. Therefore, it can be said that it is difficult to move the sealing material so as to completely fill the gaps G1 to G3 in the step of pressure bonding the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 as compared with FIG. Therefore, in these cases, special care may be required in the crimping process and the like, and it is relatively difficult to form a very beautiful right-angled portion 523A as shown in FIG. It can be said.

ただし、隙間G1乃至G3、或いは図8(a)における隙間523Gが埋まるかどうかは、これらの形状及び大きさが関係してくるのに加えて、シール材52の粘度及び当該シール材52中に混入されるギャップ材の径にも大きく依存する。したがって、このような条件が程よく満たされるのであれば、隙間G1乃至G3のような形状及び大きさをもつものであっても、これらを完全に埋めるように、シール材を移動させることはできる。なお、図8(a)に関していえば、シール材の粘度が20000〜50000〔cP(センチポアズ)〕、ギャップ材が径4.0〜5.0〔μm〕の金メッキグラスファイバとすると、隙間523Gの距離Deqは、3〔mm〕程度としておくのが最も好ましい一例である。   However, whether or not the gaps G1 to G3 or the gap 523G in FIG. 8A is filled is related to the viscosity and the sealant 52 in addition to the shape and size of the gaps. It also greatly depends on the diameter of the gap material to be mixed. Therefore, if such a condition is adequately satisfied, the sealing material can be moved so as to completely fill the gaps G1 to G3 even if they have shapes and sizes. 8A, if the seal material has a viscosity of 20000 to 50000 [cP (centipoise)] and the gap material has a diameter of 4.0 to 5.0 [μm], the gap 523G The distance Deq is most preferably set to about 3 [mm].

ただ、これら図9乃至図11に示すように、スクライブライン501X及び501Yを超えて、シール材を形成する方法によれば、それらに共通して次のような作用効果が得られる。すなわち、電気光学装置の小型化を実現するためには、端的に、その外形形状をより小さくすることが望まれるが、そうすると、画像表示領域10aの外縁と当該外形形状(図では、スクライブライン501X及び501Yにより画されると考えることができる。)との間の領域はなるべく狭くされるべきことになる。つまり、通常において、かかる領域は、比較的狭くされる傾向にあると考えてよい。しかし、この場合、このような狭い領域内でシール材吐出口601を取り回し(即ち、XYテーブル602を移動させ)、図9乃至図11のようなはみ出し部の形状を形作ることは極めて困難なことになる。しかるに、スクライブライン501X及び501Yを超えて、余剰領域10s(図6及び図7参照)に至るように、シール材を形成することを許容すれば、かかる困難は殆ど完全に解消し、シール材吐出口601を自由に取り回して、はみ出し部を形成すればよいことになる。なお、図9乃至図11においては、本発明にいう「所定距離」として、具体的には例えば、これら各図にそれぞれ示すような距離Dosを観念すればよい。   However, as shown in FIGS. 9 to 11, according to the method of forming the sealing material beyond the scribe lines 501 </ b> X and 501 </ b> Y, the following operational effects can be obtained in common with them. That is, in order to reduce the size of the electro-optical device, it is desired to make the outer shape smaller, but in that case, the outer edge of the image display region 10a and the outer shape (the scribe line 501X in the drawing). And the area between 501Y and 501Y) should be as narrow as possible. That is, in general, it may be considered that such a region tends to be relatively narrow. However, in this case, it is extremely difficult to form the shape of the protruding portion as shown in FIGS. 9 to 11 by manipulating the sealing material discharge port 601 (that is, moving the XY table 602) in such a narrow region. become. However, if the sealing material is allowed to be formed so as to extend beyond the scribe lines 501X and 501Y to reach the surplus region 10s (see FIGS. 6 and 7), this difficulty is almost completely eliminated, and the sealing material discharge is eliminated. The outlet 601 can be freely routed to form the protruding portion. In FIG. 9 to FIG. 11, as the “predetermined distance” in the present invention, specifically, for example, a distance Dos as shown in each of these drawings may be considered.

このように、スクライブライン501X及び501Yを所定距離越えてシール材を形成することによれば、電気光学装置の小型化をよりよく実現し得るのである。ただし、本発明においては、シール材が必ずスクライブライン501X及び501Yを越えて形成されていなければならないわけではない。例えば図12に示すように、画像表示領域10aの角部に対応する部分において、単に、隙間G4が形成されているというような形態も、本発明の範囲内にある。このような場合であっても、前記で述べたのと略同様な作用効果が得られることは明白である。ただ、この図12においては、シール材の吐出をいったん停止した後、再び吐出を始めるという手順を踏む必要があり、そうすると、その再吐出の時点においては、図6等に示したような比較的幅広のスタートポイントを現させる可能性が高い。したがって、図12のような形態は、かかる問題点を克服した上で実施することが好ましい。   As described above, by forming the sealing material beyond the scribe lines 501X and 501Y by a predetermined distance, the electro-optical device can be more miniaturized. However, in the present invention, the sealing material does not necessarily have to be formed beyond the scribe lines 501X and 501Y. For example, as shown in FIG. 12, a configuration in which a gap G4 is simply formed in a portion corresponding to the corner of the image display region 10a is also within the scope of the present invention. Even in such a case, it is obvious that substantially the same effect as described above can be obtained. However, in FIG. 12, it is necessary to take a procedure of once stopping the discharge of the sealing material and then starting the discharge again. Then, at the time of the re-discharge, the relative discharge as shown in FIG. There is a high possibility of revealing a wide starting point. Therefore, it is preferable to implement the embodiment as shown in FIG. 12 after overcoming such problems.

(電子機器)
次に、以上詳細に説明した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここに、図13は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。
(Electronics)
Next, an overall configuration, particularly an optical configuration, of an embodiment of a projection color display device as an example of an electronic apparatus using the electro-optical device described in detail as a light valve will be described. FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of the projection type color display device.

図13において、本実施形態における投射型カラー表示装置の一例たる液晶プロジェクタ1100は、駆動回路がTFTアレイ基板上に搭載された液晶装置を含む液晶モジュールを3個用意し、それぞれRGB用のライトバルブ100R、100G及び100Bとして用いたプロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ1100では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット1102から投射光が発せられると、3枚のミラー1106及び2枚のダイクロックミラー1108によって、RGBの三原色に対応する光成分R、G及びBに分けられ、各色に対応するライトバルブ100R、100G及び100Bにそれぞれ導かれる。この際特に、B光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ1122、リレーレンズ1123及び出射レンズ1124からなるリレーレンズ系1121を介して導かれる。そして、ライトバルブ100R、100G及び100Bによりそれぞれ変調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリズム1112により再度合成された後、投射レンズ1114を介してスクリーン1120にカラー画像として投射される。   In FIG. 13, a liquid crystal projector 1100, which is an example of a projection type color display device according to the present embodiment, prepares three liquid crystal modules including a liquid crystal device having a drive circuit mounted on a TFT array substrate, each of which is a light valve for RGB. It is configured as a projector used as 100R, 100G, and 100B. In the liquid crystal projector 1100, when projection light is emitted from a lamp unit 1102 of a white light source such as a metal halide lamp, the light components R, G, and R corresponding to the three primary colors of RGB are obtained by three mirrors 1106 and two dichroic mirrors 1108. The light is divided into B and led to the light valves 100R, 100G and 100B corresponding to the respective colors. In particular, the B light is guided through a relay lens system 1121 including an incident lens 1122, a relay lens 1123, and an exit lens 1124 in order to prevent light loss due to a long optical path. The light components corresponding to the three primary colors modulated by the light valves 100R, 100G, and 100B are synthesized again by the dichroic prism 1112 and then projected as a color image on the screen 1120 via the projection lens 1114.

かかる投射型カラー表示装置では、ライトバルブ100R、100G及び100Bに前述した電気光学装置が用いられているため、その小型化を実現することができる。   In such a projection type color display device, since the above-described electro-optical device is used for the light valves 100R, 100G, and 100B, the miniaturization thereof can be realized.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の製造方法及び電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification, and an electro-optical device with such a change. The manufacturing method and the electronic device are also included in the technical scope of the present invention.

TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the electro-optical device when the TFT array substrate is viewed from the side of the counter substrate together with each component formed thereon. 図1のH−H’断面図である。It is H-H 'sectional drawing of FIG. 電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。3 is an equivalent circuit of various elements and wirings in a plurality of pixels formed in a matrix that forms an image display region of an electro-optical device. シール材形成領域の角部の平面図であり、(a)は、本実施形態に係り、図1の符号C1を付した円内部分に対応する拡大平面図であり、(b)はその比較例である。It is a top view of the corner | angular part of a sealing material formation area | region, (a) is an enlarged plan view corresponding to the in-circle part which attached | subjected the code | symbol C1 of FIG. 1 concerning this embodiment, (b) is the comparison It is an example. 本実施形態に係る電気光学装置の製造方法のフローチャートである。5 is a flowchart of a method for manufacturing an electro-optical device according to the embodiment. シール材形成工程におけるシール描画の様子を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the mode of the seal drawing in a sealing material formation process. 製造工程途中の一個の電気光学装置についての全体平面図である。It is a whole top view about one electro-optical device in the middle of a manufacturing process. 図7の符号C2を付した円内部分に対応する拡大平面図であって、(a)はシール材描画直後の様子、(b)は、TFTアレイ基板10及び対向基板20の圧着開始後の様子をそれぞれ示している。FIG. 8 is an enlarged plan view corresponding to an in-circle portion denoted by reference numeral C2 in FIG. 7, where (a) shows a state immediately after drawing a sealing material, and (b) shows after the start of crimping of the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20. Each state is shown. 図8(a)と同趣旨の図であって、同図とは異なる形態(はみ出し部が円形)となるものを示す平面図である。It is a figure of the same meaning as Fig.8 (a), Comprising: It is a top view which shows what becomes a form (a protrusion part is circular) different from the figure. 図8(a)と同趣旨の図であって、同図とは異なる形態(はみ出し部が三角形)となるものを示す平面図である。It is a figure of the same meaning as Fig.8 (a), Comprising: It is a top view which shows what becomes a form (a protrusion part is a triangle) different from the figure. 図8(a)と同趣旨の図であって、同図とは異なる形態(はみ出し部が四角形)となるものを示す平面図である。It is a figure of the same meaning as Fig.8 (a), Comprising: It is a top view which shows what becomes a form different from the figure (a protrusion part is a rectangle). 図8(a)と同趣旨の図であって、同図とは異なる形態(はみ出し部が存在しない)となるものを示す平面図である。It is a figure of the same meaning as Fig.8 (a), Comprising: It is a top view which shows what becomes a form different from the figure (a protrusion part does not exist). 本発明の電子機器の実施形態である投射型カラー表示装置の一例たるカラー液晶プロジェクタを示す図式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a color liquid crystal projector as an example of a projection type color display device which is an embodiment of an electronic apparatus of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10…TFTアレイ基板、10a…画像表示領域、11a…走査線、6a…データ線、30…TFT、9a…画素電極、20…対向基板
52…シール材、523、523Z…はみ出し部
501X、501Y…スクライブライン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... TFT array substrate, 10a ... Image display area, 11a ... Scan line, 6a ... Data line, 30 ... TFT, 9a ... Pixel electrode, 20 ... Opposite substrate 52 ... Sealing material, 523, 523Z ... Extruding part 501X, 501Y ... Scribe line

Claims (11)

第1基板及び第2基板がシール材によって接着されるとともに、これら第1基板及び第2基板間に電気光学物質を挟持してなる電気光学装置の製造方法であって、
前記第1基板上に、平面視して矩形状となるように、且つ、その角部に隙間を設けるように前記シール材を形成するシール材形成工程と、
前記第1基板に対向させるように前記第2基板を貼り合わせて、これら第1基板及び第2基板を圧着させる圧着工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A method of manufacturing an electro-optical device, in which a first substrate and a second substrate are bonded by a sealing material, and an electro-optical material is sandwiched between the first substrate and the second substrate,
On the first substrate, a sealing material forming step of forming the sealing material so as to be rectangular in plan view and to provide a gap at a corner thereof;
A method of manufacturing an electro-optical device, comprising: a step of bonding the second substrate so as to face the first substrate, and pressing the first substrate and the second substrate.
前記圧着工程は、前記隙間を挟んで存在する前記シール材が、当該隙間を埋めるべく移動するように行われることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造方法。   2. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 1, wherein the pressure-bonding step is performed so that the sealing material existing across the gap moves to fill the gap. 前記圧着工程の後に、前記第1基板を所定形状に裁断する裁断工程を更に備えてなり、
前記シール材形成工程は、前記裁断工程における裁断位置として予定される前記第1基板における裁断線の内側で前記シール材を形成する工程を含み、
当該工程は更に、
そのそれぞれが前記裁断線の内側からその外側に向けて当該裁断線を所定距離越えて延在するように、且つ、そのそれぞれの間に前記隙間が設けられるように第1シール材及び第2シール材を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置の製造方法。
After the crimping step, further comprising a cutting step of cutting the first substrate into a predetermined shape,
The sealing material forming step includes a step of forming the sealing material inside a cutting line in the first substrate planned as a cutting position in the cutting step;
The process further includes
The first seal material and the second seal are so formed that each of them extends from the inner side of the cutting line toward the outer side of the cutting line over a predetermined distance, and the gap is provided therebetween. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 1, further comprising a step of forming a material.
前記隙間は、前記所定距離にわたって等間隔であることを特徴とする請求項3に記載の電気光学装置の製造方法。   The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 3, wherein the gaps are equidistant over the predetermined distance. 前記第1基板又は前記第2基板の上に、画素電極がマトリクス状に配列するように形成して、複数の画像表示領域を規定する工程を更に備えてなり、
前記シール材形成工程は、
前記シール材を前記画像表示領域の一つ一つを囲むように形成する工程を含むことを特徴とする請求項3又は4に記載の電気光学装置の製造方法。
Forming a plurality of image display areas on the first substrate or the second substrate so that pixel electrodes are arranged in a matrix;
The sealing material forming step includes
5. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 3, further comprising a step of forming the sealing material so as to surround each of the image display areas.
前記シール材形成工程は、
前記複数の画像表示領域の少なくとも一つ一つにつき前記シール材を一繋がりで形成する工程を含むことを特徴とする請求項5に記載の電気光学装置の製造方法。
The sealing material forming step includes
6. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 5, further comprising a step of forming the sealing material in a continuous manner for at least one of the plurality of image display regions.
前記隙間の形状及び大きさの少なくとも一方は、前記シール材の粘度及び前記シール材中に混入されるギャップ材の径の大きさの少なくとも一方に応じて、定められることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   2. The shape and size of the gap are determined according to at least one of a viscosity of the sealing material and a diameter of a gap material mixed in the sealing material. The method for manufacturing an electro-optical device according to any one of claims 1 to 6. 前記シール材形成工程は、シールディスペンサ方式によって行われることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。   The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 1, wherein the sealing material forming step is performed by a seal dispenser method. 前記画像表示領域は平面視して矩形状であり、
前記シールディスペンサ方式による前記シール材形成工程は、
前記画像表示領域の第1辺に沿って前記シール材を描画する第1工程と、
該第1工程の後、前記画像表示領域の前記第1辺の端部である角部付近で、前記第1辺と45〔°〕以上90〔°〕以下の角度の方向を有する第1進路をとって所定の第1長さだけ前記シール材を描画する第2工程と、
該第2工程の後、前記所定の第1長さを越えた部分において、一定の中心をもつ円の上をなぞるように旋回しながら前記シール材を描画する第3工程と、
該第3工程の後、前記第1辺に相隣接する前記画像表示領域の第2辺と45〔°〕以上90〔°〕以下の角度の方向を有するとともに前記角部付近を目指す第2進路をとって、前記シール材を描画する第4工程と、
該第4工程の後、前記角部付近から、前記第2辺に沿って前記シール材を描画する第5工程と
を備えたことを特徴とする請求項8に記載の電気光学装置の製造方法。
The image display area is rectangular in plan view,
The sealing material forming step by the seal dispenser method is
A first step of drawing the sealing material along the first side of the image display area;
After the first step, in the vicinity of a corner that is an end of the first side of the image display region, a first path having a direction with an angle of 45 ° to 90 ° with respect to the first side. A second step of drawing the sealing material by a predetermined first length,
After the second step, in a portion exceeding the predetermined first length, a third step of drawing the sealing material while turning so as to trace on a circle having a certain center;
After the third step, a second path having a direction of an angle of 45 ° to 90 ° with the second side of the image display region adjacent to the first side and aiming near the corner. A fourth step of drawing the sealing material,
The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 8, further comprising: a fifth step of drawing the sealing material along the second side from the vicinity of the corner portion after the fourth step. .
前記第3工程における前記円は半円であり、当該第3工程は前記所定の第1長さが終わる時点で開始され、且つ、
前記第4工程における前記第2進路は前記第1進路と正反対の方向を有し、当該第4工程は前記第1長さと同じ第2長さだけ実施されることを特徴とする請求項9に記載の電気光学装置の製造方法。
The circle in the third step is a semicircle, the third step is started when the predetermined first length ends, and
10. The method according to claim 9, wherein the second path in the fourth step has a direction opposite to the first path, and the fourth step is performed by a second length that is the same as the first length. A method of manufacturing the electro-optical device according to claim.
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing an electro-optical device according to claim 1.
JP2003315586A 2003-09-08 2003-09-08 Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance Withdrawn JP2005084323A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003315586A JP2005084323A (en) 2003-09-08 2003-09-08 Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003315586A JP2005084323A (en) 2003-09-08 2003-09-08 Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005084323A true JP2005084323A (en) 2005-03-31

Family

ID=34415804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003315586A Withdrawn JP2005084323A (en) 2003-09-08 2003-09-08 Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005084323A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163524A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Casio Comput Co Ltd Method of manufacturing liquid crystal element
WO2009040967A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Sharp Kabushiki Kaisha Display cell
JP2011242670A (en) * 2010-05-20 2011-12-01 Mitsubishi Electric Corp Liquid crystal display panel, manufacturing method thereof, and liquid crystal display device
US9095018B2 (en) 2012-05-18 2015-07-28 Joled Inc. Display panel and display panel manufacturing method
CN104898326A (en) * 2015-06-05 2015-09-09 深圳市华星光电技术有限公司 Alignment film forming method
CN105068326A (en) * 2015-09-01 2015-11-18 深圳市华星光电技术有限公司 Liquid crystal display substrate
CN113296294A (en) * 2021-04-27 2021-08-24 信利(惠州)智能显示有限公司 Method for improving yield of sealing glue of display panel

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163524A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Casio Comput Co Ltd Method of manufacturing liquid crystal element
WO2009040967A1 (en) * 2007-09-28 2009-04-02 Sharp Kabushiki Kaisha Display cell
JP2011242670A (en) * 2010-05-20 2011-12-01 Mitsubishi Electric Corp Liquid crystal display panel, manufacturing method thereof, and liquid crystal display device
US9095018B2 (en) 2012-05-18 2015-07-28 Joled Inc. Display panel and display panel manufacturing method
CN104898326A (en) * 2015-06-05 2015-09-09 深圳市华星光电技术有限公司 Alignment film forming method
CN105068326A (en) * 2015-09-01 2015-11-18 深圳市华星光电技术有限公司 Liquid crystal display substrate
CN113296294A (en) * 2021-04-27 2021-08-24 信利(惠州)智能显示有限公司 Method for improving yield of sealing glue of display panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5217752B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2010078840A (en) Electro-optical device and electronic equipment
JP5396905B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2004004722A (en) Electrooptical device and electronic equipment
US20090091701A1 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2005084324A (en) Electro-optical apparatus, its manufacturing method, and electronic equipment
JP2005084323A (en) Method for manufacturing electrooptical device and electronic appliance
JP2011133607A (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2008026348A (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2010044182A (en) Method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic device
JP2010129733A (en) Thin-film transistor, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2010026040A (en) Electro-optical device, electronic equipment, and method for manufacturing electro-optical device
JP2010191408A (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2011164189A (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2009122305A (en) Liquid crystal device and electronic device
JP2009069247A (en) Electro-optical apparatus, manufacturing method thereof, electronic equipment, and wiring structure
JP2009053417A (en) Electrooptical device, its manufacturing method, and electronic apparatus
JP2011180524A (en) Electro-optical device and electronic equipment
JP2010039209A (en) Electrooptical device and method for manufacturing the same, and electronic equipment
JP2011186283A (en) Electrooptical device and electronic apparatus
JP5402511B2 (en) Liquid crystal device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus
JP2001337336A (en) Production method for electrooptical device, electrooptical device and projection type display device
JP2009300477A (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP5309568B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2010160308A (en) Electrooptical apparatus and electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20061205