JP2005082455A - Dielectric ceramic composition - Google Patents

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JP2005082455A JP2003317498A JP2003317498A JP2005082455A JP 2005082455 A JP2005082455 A JP 2005082455A JP 2003317498 A JP2003317498 A JP 2003317498A JP 2003317498 A JP2003317498 A JP 2003317498A JP 2005082455 A JP2005082455 A JP 2005082455A
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Tomohiro Sogabe
智浩 曽我部
Keisuke Itakura
圭助 板倉
Shigeki Yanagida
茂樹 柳田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric ceramic composition having both of an excellent dielectric characteristic and a high temperature characteristic in a GHz band. <P>SOLUTION: The dielectric ceramic composition contains at least one or more kinds of Mn, Y, Yb, Co, Sc, V, Nb, Ta, Bi and W as an element M and is expressed by a formula (Sr<SB>x</SB>Ca<SB>1-x</SB>)<SB>k</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)O<SB>3</SB>-aMO (MO is an oxide of the element M). In the formula, x, y and k are controlled respectively to 0.50<x<0.70, 0.00≤y≤0.18 and 0.940<k<1.020 in a molar ratio and (a) is controlled to 0.00<a≤4.00 wt.%. The temperature characteristic is improved while the high dielectric characteristic is kept by incorporating a prescribed quantity of the element M such as Mn in the dielectric ceramic composition. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、高周波用の共振器、フィルタ、温度補償用コンデンサ、デュプレクサ等に好適な誘電体磁器組成物に関する。   The present invention relates to a dielectric ceramic composition suitable for high-frequency resonators, filters, temperature compensation capacitors, duplexers, and the like.

誘電体磁器組成物は共振器やフィルタ、温度補償用コンデンサ等の材料として広く用いられている。共振器等に用いられる誘電体磁器組成物としては、誘電特性および温度特性に優れたものが望ましい。このため、高い誘電特性を示し、かつ温度特性に優れた誘電体磁器組成物を得るための検討が種々行われている(例えば、特許文献1〜3参照)。
例えば、特許文献1には組成式(Ca1-xSrxm(Zr1-yTiy)O3と表したとき、x,yおよびmがモル比で0≦x<0.5、0.60<y≦0.85、0.85<m<1.30を満足する主成分100モルに対して、副成分としてマンガン化合物をMnOに、マグネシウム化合物をMgOにそれぞれ換算して全量で0.1〜6モル含有すること、さらにはSiO2等の焼結助剤を含有することが提案されている。
また、特許文献2には組成式(Ca1-xSrxm(Zr1-yTiy)O3−zMnO2−w
SiO2と表したとき、x,yおよびmがモル比で0≦x≦1.0、0≦y≦0.2、0
.9≦m≦1.1の関係にあり、この組成式で示される主成分に対して、さらに添加剤としてa(LiO1/2−RO)−(1−a)(BO3/2−SiO2)を所定量添加することが
提案されている(ROは、SrO、BaOおよびCaOのうち少なくとも1種)。
さらに特許文献3には、組成式(Srx,Ca1-x)(Zry,Ti1-y)O3において、
0.59≦x≦0.65、0<y≦0.1とすること、(Srx,Ca1-x)(Zry,T
1-y)O3の重量100に対してSiO2を3.0wt%未満添加することにより、比誘
電率εrおよび共振周波数の温度特性が向上することが開示されている。
Dielectric ceramic compositions are widely used as materials for resonators, filters, temperature compensation capacitors, and the like. As a dielectric ceramic composition used for a resonator or the like, one having excellent dielectric characteristics and temperature characteristics is desirable. For this reason, various studies for obtaining a dielectric ceramic composition exhibiting high dielectric characteristics and excellent temperature characteristics have been made (see, for example, Patent Documents 1 to 3).
For example, in Patent Document 1, when expressed as a composition formula (Ca 1-x Sr x ) m (Zr 1-y Ti y ) O 3 , x, y, and m are in a molar ratio of 0 ≦ x <0.5, With respect to 100 moles of the main component satisfying 0.60 <y ≦ 0.85 and 0.85 <m <1.30, the manganese compound is converted into MnO and the magnesium compound is converted into MgO as subcomponents, respectively. It has been proposed to contain 0.1 to 6 mol, and further to contain a sintering aid such as SiO 2 .
Further, the composition formula in Patent Document 2 (Ca 1-x Sr x ) m (Zr 1-y Ti y) O 3 -zMnO 2 -w
When expressed as SiO 2 , x, y and m are molar ratios of 0 ≦ x ≦ 1.0, 0 ≦ y ≦ 0.2, 0
. 9 ≦ m ≦ 1.1, and for the main component represented by this composition formula, a (LiO 1/2 -RO)-(1-a) (BO 3/2 -SiO) is further added as an additive. 2 ) is proposed to be added in a predetermined amount (RO is at least one of SrO, BaO and CaO).
Further, Patent Document 3, a composition formula (Sr x, Ca 1-x ) (Zr y, Ti 1-y) O 3,
0.59 ≦ x ≦ 0.65, 0 <y ≦ 0.1, (Sr x , Ca 1-x ) (Zr y , T
It is disclosed that by adding less than 3.0 wt% of SiO 2 with respect to the weight of i 1-y ) O 3 , the temperature characteristics of relative permittivity ε r and resonance frequency are improved.

特開2000−53466号公報(特許請求の範囲、実施例)JP 2000-53466 A (Claims, Examples) 特開平5−217426号公報(特許請求の範囲、実施例)JP-A-5-217426 (Claims, Examples) 特開平4−14704号公報(特許請求の範囲、実施例)JP-A-4-14704 (Claims, Examples)

上述した特許文献1に記載の誘電体磁器組成物は、周波数1kHzにおける比誘電率εrが100〜140かつ誘電損失が1.0%以下という特性を示す。また、特許文献2に
記載の誘電体磁器組成物は、測定周波数1MHzにおける誘電率εが20以上かつQ値が3000以上という特性を示す。
しかしながら、近年、使用周波数帯はより高周波側にシフトしており、より高周波側、つまりギガヘルツ帯(以下、「GHz帯」という)においてより高い比誘電率εrを示す
誘電体磁器組成物が望まれている。
一方、特許文献3に記載の誘電体磁器組成物によれば、マイクロ波帯で200以上の比誘電率εrおよび1000以上のQ値を得ることができる。ところが、表1の従来例1、
2に示すように、特許文献3では高い誘電特性を示す試料については共振周波数の温度係数τf25-85の値が高い。一方、共振周波数の温度係数τf25-85が小さいレベルに到達している試料は比誘電率εrおよびQ値が低い。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、GHz帯において誘電特性と温度特性を兼備した誘電体磁器組成物を提供することを目的とする。
The dielectric ceramic composition described in Patent Document 1 described above exhibits the characteristics that the relative dielectric constant ε r at a frequency of 1 kHz is 100 to 140 and the dielectric loss is 1.0% or less. In addition, the dielectric ceramic composition described in Patent Document 2 exhibits characteristics that the dielectric constant ε is 20 or more and the Q value is 3000 or more at a measurement frequency of 1 MHz.
However, in recent years, the frequency band used has shifted to a higher frequency side, and a dielectric ceramic composition exhibiting a higher relative dielectric constant ε r on the higher frequency side, that is, the gigahertz band (hereinafter referred to as “GHz band”) is desired. It is rare.
On the other hand, according to the dielectric ceramic composition described in Patent Document 3, a dielectric constant ε r of 200 or more and a Q value of 1000 or more can be obtained in the microwave band. However, Conventional Example 1 in Table 1,
As shown in FIG. 2, in Patent Document 3, the value of the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency is high for a sample exhibiting high dielectric characteristics. On the other hand, the sample in which the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency has reached a small level has a low relative dielectric constant ε r and Q value.
The present invention has been made based on such a technical problem, and an object thereof is to provide a dielectric ceramic composition having both dielectric properties and temperature properties in the GHz band.

かかる目的のもと、本発明は、M元素としてMn,Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,
Nb,Ta,Bi,Wのうちの少なくとも1種以上を含む誘電体磁器組成物であって、(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3−aMO(MOはM元素の酸化物)で表される式中、x,yおよびkがモル比で0.50<x<0.70、0.00≦y≦0.18、0.940<k<1.020であり、0.00<a≦4.00wt%であることを特徴とする誘電体磁器組成物を提供する。Mn等のM元素を誘電体磁器組成物中に所定量含有させることで、高い誘電特性を維持したまま温度特性を向上させることができるという知見に基づく。
本発明における誘電体磁器組成物において、(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3の重量100に対して、さらにSiO2を3.00wt%未満(但し、0は含まず)添加す
ることができる。SiO2を3.00wt%未満の範囲内で添加することで、比誘電率εrおよび温度特性が向上する。
本発明における誘電体磁器組成物は、測定周波数2GHzにおける比誘電率εrが20
0以上かつ共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値が250ppm/℃以下という優れた特性を示す。
さらに本発明における誘電体磁器組成物によれば、GHz帯におけるQf(QfはQ値と周波数fの積)を2500以上とすることができる。ここで、本発明においてQは品質係数であり、誘電正接tanδの逆数(Q=1/tanδ)である。
For this purpose, the present invention provides M elements such as Mn, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V,
Nb, Ta, Bi, a dielectric ceramic composition comprising at least one or more of W, (Sr x Ca 1- x) k (Zr y Ti 1-y) O 3 -aMO (MO is M In the formula represented by (element oxide), x, y, and k are molar ratios of 0.50 <x <0.70, 0.00 ≦ y ≦ 0.18, 0.940 <k <1.020. The dielectric ceramic composition is characterized in that 0.00 <a ≦ 4.00 wt%. This is based on the knowledge that the temperature characteristics can be improved while maintaining high dielectric characteristics by containing a predetermined amount of M element such as Mn in the dielectric ceramic composition.
In the dielectric ceramic composition of the present invention, with respect to (Sr x Ca 1-x) k (Zr y Ti 1-y) weight 100 O 3, less than further 3.00 wt% of SiO 2 (where 0 (Not included) can be added. By adding SiO 2 within a range of less than 3.00 wt%, the relative dielectric constant ε r and the temperature characteristics are improved.
The dielectric ceramic composition of the present invention has a relative dielectric constant ε r of 20 at a measurement frequency of 2 GHz.
It exhibits excellent characteristics in which the absolute value of the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency is 0 ppm or less and 0 ppm or less.
Furthermore, according to the dielectric ceramic composition of the present invention, the Qf in the GHz band (Qf is the product of the Q value and the frequency f) can be 2500 or more. Here, in the present invention, Q is a quality factor and is the reciprocal of the loss tangent tan δ (Q = 1 / tan δ).

本発明によれば、GHz帯において高い誘電特性と温度特性を兼備することができる誘電体磁器組成物を得ることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the dielectric ceramic composition which can have a high dielectric characteristic and temperature characteristic in GHz band can be obtained.

以下、本発明の誘電体磁器組成物を詳細に説明する。
本発明の誘電体磁器組成物は、M元素としてはMn,Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,Bi,Wのうちの少なくとも1種以上を含み、かつ以下の式(1)に示す組成を有する。
Hereinafter, the dielectric ceramic composition of the present invention will be described in detail.
The dielectric ceramic composition of the present invention contains at least one of Mn, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, and W as the M element, and the following formula ( It has the composition shown in 1).

(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3−aMO・・・式(1)
式(1)中、
x,yおよびkがモル比で、
0.50<x<0.70、
0.00≦y≦0.18、
0.940<k<1.020であり、かつ
0.00<a≦4.00(wt%)である。
(Sr x Ca 1-x) k (Zr y Ti 1-y) O 3 -aMO ··· Equation (1)
In formula (1),
x, y and k are molar ratios;
0.50 <x <0.70,
0.00 ≦ y ≦ 0.18,
0.940 <k <1.020 and 0.00 <a ≦ 4.00 (wt%).

はじめに、式(1)中におけるx,y,kおよびaの限定理由を説明する。
xは0.50<x<0.70の範囲とする。xが0.50以下になると、焼成密度が低下するとともに温度特性が劣化する。一方、xが0.70以上になると、Ca量が相対的に減少してGHz帯におけるQfが低下するとともに、やはり温度特性が劣化する。xの望ましい範囲は0.55≦x≦0.65、xのより望ましい範囲は0.58≦x≦0.62である。
First, the reasons for limiting x, y, k, and a in Equation (1) will be described.
x is in the range of 0.50 <x <0.70. When x is 0.50 or less, the firing density is lowered and the temperature characteristics are deteriorated. On the other hand, when x is 0.70 or more, the Ca content is relatively reduced, the Qf in the GHz band is lowered, and the temperature characteristics are also deteriorated. A desirable range of x is 0.55 ≦ x ≦ 0.65, and a more desirable range of x is 0.58 ≦ x ≦ 0.62.

yは0.00≦y≦0.18の範囲とする。Zrの含有はQfを向上させる上で有効であるが、yが0.18を超えると、QfがZrを含有しない場合(y=0.00)よりも小さくなるとともに温度特性が劣化する。ここで、本発明の誘電体磁器組成物は、組成中に所定量のM元素を含有させることを1つの特徴としており、後述する実施例で示すようにZrを含有しない場合であっても、温度特性を従来の誘電体磁器組成物よりも大幅に向上させることができる。しかも、M元素は誘電特性を害することがない。よって、本発明ではZrの含有を任意とする。yの望ましい範囲は0.00≦y≦0.12、yのより望
ましい範囲は0.03≦y≦0.09である。
y is in the range of 0.00 ≦ y ≦ 0.18. The inclusion of Zr is effective for improving Qf. However, when y exceeds 0.18, the temperature characteristics are deteriorated as Qf is smaller than when Zr is not contained (y = 0.00). Here, the dielectric ceramic composition of the present invention is characterized by containing a predetermined amount of M element in the composition, and even when it does not contain Zr as shown in the examples described later, The temperature characteristics can be greatly improved as compared with the conventional dielectric ceramic composition. Moreover, the M element does not harm the dielectric properties. Therefore, in the present invention, the inclusion of Zr is optional. A desirable range of y is 0.00 ≦ y ≦ 0.12, and a more desirable range of y is 0.03 ≦ y ≦ 0.09.

kは0.940<k<1.020の範囲とする。kが0.940以下では比誘電率εr
が200未満となり、温度特性も劣化する。一方、kが1.020以上になると、温度特性が劣化するとともに焼成密度が低下する。kの望ましい範囲は0.950≦k≦1.015、kのより望ましい範囲は0.960≦k≦1.010である。
k is in the range of 0.940 <k <1.020. When k is 0.940 or less, the relative dielectric constant ε r
Becomes less than 200, and the temperature characteristics deteriorate. On the other hand, when k is 1.020 or more, the temperature characteristics deteriorate and the firing density decreases. A desirable range of k is 0.950 ≦ k ≦ 1.015, and a more desirable range of k is 0.960 ≦ k ≦ 1.010.

M元素の酸化物MOの量を示すaは0.00<a≦4.00(wt%)の範囲とする。所定量のM元素を組成中に含有することで誘電特性を害することがなく温度特性を向上させることができる。また、所定量のM元素を組成中に含有することで、組成中にZrを含有しない場合(y=0.00)であっても、高い誘電特性と温度特性を兼備することが可能となる。但し、aが4.00wt%を超えると、温度特性が劣化する。aの望ましい範囲は0.00<a≦3.00(wt%)、aのより望ましい範囲は0.00<a≦2.00(wt%)、aのより一層望ましい範囲は0.00<a≦0.50(wt%)である。
ここで、M元素としては、Mn,Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,BiおよびWのうち1種以上が選択されるが、各元素についての望ましい含有量は後述する。
“A” indicating the amount of the oxide MO of the M element is in the range of 0.00 <a ≦ 4.00 (wt%). By containing a predetermined amount of M element in the composition, the temperature characteristics can be improved without harming the dielectric characteristics. In addition, by including a predetermined amount of M element in the composition, even when Zr is not included in the composition (y = 0.00), it is possible to have both high dielectric characteristics and temperature characteristics. . However, if a exceeds 4.00 wt%, the temperature characteristics deteriorate. The desirable range of a is 0.00 <a ≦ 3.00 (wt%), the more desirable range of a is 0.00 <a ≦ 2.00 (wt%), and the even more desirable range of a is 0.00 < a ≦ 0.50 (wt%).
Here, as the M element, one or more of Mn, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, and W are selected, and desirable contents for each element will be described later. .

上述した組成を有する本発明の誘電体磁器組成物において、副成分としてさらにSiO2を添加することが望ましい。SiO2を添加する場合には、以下の式(2)で示すように、その添加量を3.00wt%未満(但し、0を含まず)とする。 In the dielectric ceramic composition of the present invention having the above-described composition, it is desirable to further add SiO 2 as a subcomponent. In the case of adding SiO 2 , the amount added is less than 3.00 wt% (however, not including 0) as shown in the following formula (2).

(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3−aMO−bSiO2・・・式(2)
式(2)中、
0.00<b<3.00(wt%)である。
(Sr x Ca 1-x) k (Zr y Ti 1-y) O 3 -aMO-bSiO 2 ··· (2)
In formula (2),
0.00 <b <3.00 (wt%).

SiO2を3.00wt%未満の範囲内で添加することで、比誘電率εrおよび温度特性が向上する。但し、SiO2量が3.00wt%以上になると温度特性が劣化する傾向が
ある。bの望ましい範囲は0.02≦b≦2.80(wt%)、bのより望ましい範囲は0.05≦b≦2.50(wt%)である。
By adding SiO 2 within a range of less than 3.00 wt%, the relative dielectric constant ε r and the temperature characteristics are improved. However, when the SiO 2 amount is 3.00 wt% or more, the temperature characteristics tend to deteriorate. A desirable range of b is 0.02 ≦ b ≦ 2.80 (wt%), and a more desirable range of b is 0.05 ≦ b ≦ 2.50 (wt%).

以上、本発明の誘電体磁器組成物における組成の限定理由を説明した。次に、本発明の誘電体磁器組成物における必須元素であるM元素について述べる。
上述したように、M元素を組成中に所定量含有することで温度特性を向上させることができる。M元素としては、Mn,Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,BiおよびWのうち1種以上が選択される。なかでも、Mn,Y,V,NbがM元素として望ましい。さらに望ましいM元素は、 Mn,Yである。
ここで、M元素としてBiまたはWを選択した場合には、比誘電率εr,Qfを害する
ことなく温度特性を向上させることができる。M元素としてCo,Sn,Nb,Taのうちいずれかを選択した場合には、温度特性およびQfを向上させることができる。M元素としてYb,Sc,Vのうちいずれかを選択した場合には、温度特性および比誘電率εr
を向上させることができる。そして、MnまたはYを選択した場合には、温度特性の向上という効果に加えて、Qfおよび比誘電率εrの向上という効果も享受することができる
The reason for limiting the composition of the dielectric ceramic composition of the present invention has been described above. Next, the M element which is an essential element in the dielectric ceramic composition of the present invention will be described.
As described above, the temperature characteristics can be improved by containing a predetermined amount of the M element in the composition. As the M element, one or more of Mn, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, and W are selected. Among these, Mn, Y, V, and Nb are preferable as the M element. Further desirable M elements are Mn and Y.
Here, when Bi or W is selected as the M element, the temperature characteristics can be improved without harming the relative dielectric constants ε r and Qf. When any one of Co, Sn, Nb, and Ta is selected as the M element, the temperature characteristics and Qf can be improved. When any one of Yb, Sc, and V is selected as the M element, temperature characteristics and relative dielectric constant ε r
Can be improved. When Mn or Y is selected, in addition to the effect of improving the temperature characteristics, the effect of improving Qf and relative dielectric constant ε r can also be enjoyed.

M元素としてMnを選択する場合の望ましい含有量は、MnO換算で0.01〜0.30wt%、さらに望ましい含有量は0.02〜0.20wt%である。
M元素としてYを選択する場合の望ましい含有量は、Y23換算で0.20〜2.00wt%、さらに望ましい含有量は0.50〜1.50wt%である。
M元素としてYbを選択する場合の望ましい含有量は、Yb23換算で0.50〜4.00wt%、さらに望ましい含有量は1.50〜2.50wt%である。
M元素としてCoを選択する場合の望ましい含有量は、Co34換算で0.20〜2.00wt%、さらに望ましい含有量は0.50〜1.50wt%である。
M元素としてScを選択する場合の望ましい含有量は、Sc23換算で0.20〜2.00wt%、さらに望ましい含有量は0.50〜1.50wt%である。
M元素としてSnを選択する場合の望ましい含有量は、SnO2換算で0.01〜0.
20wt%、さらに望ましい含有量は0.05〜0.10wt%である。
M元素としてVを選択する場合の望ましい含有量は、V25換算で0.005〜0.500wt%、さらに望ましい含有量は0.01〜0.10wt%である。
M元素としてNbを選択する場合の望ましい含有量は、Nb23換算で0.10〜3.00wt%、さらに望ましい含有量は0.50〜2.00wt%である。
M元素としてTaを選択する場合の望ましい含有量は、Ta25換算で0.05〜1.00wt%、さらに望ましい含有量は0.10〜0.60wt%である。
M元素としてBiを選択する場合の望ましい含有量は、Bi23換算で0.10〜2.00wt%、さらに望ましい含有量は0.20〜0.80wt%である。
M元素としてWを選択する場合の望ましい含有量は、WO3換算で0.005〜0.1
00wt%、さらに望ましい含有量は0.010〜0.060wt%である。
When Mn is selected as the M element, a desirable content is 0.01 to 0.30 wt% in terms of MnO, and a more desirable content is 0.02 to 0.20 wt%.
A desirable content when selecting Y as the M element is 0.20 to 2.00 wt% in terms of Y 2 O 3 , and a more desirable content is 0.50 to 1.50 wt%.
When Yb is selected as the M element, a desirable content is 0.50 to 4.00 wt% in terms of Yb 2 O 3 , and a more desirable content is 1.50 to 2.50 wt%.
When Co is selected as the M element, a desirable content is 0.20 to 2.00 wt% in terms of Co 3 O 4 , and a more desirable content is 0.50 to 1.50 wt%.
Desired content when selecting Sc as the element M, 0.20~2.00Wt% by Sc 2 O 3 in terms of further desirable content is 0.50~1.50wt%.
Desirable content when Sn is selected as the M element is 0.01 to 0.00 in terms of SnO 2 .
20 wt%, and a more desirable content is 0.05 to 0.10 wt%.
When V is selected as the M element, a desirable content is 0.005 to 0.500 wt% in terms of V 2 O 5 , and a more desirable content is 0.01 to 0.10 wt%.
When Nb is selected as the M element, a desirable content is 0.10 to 3.00 wt% in terms of Nb 2 O 3 , and a more desirable content is 0.50 to 2.00 wt%.
When Ta is selected as the M element, a desirable content is 0.05 to 1.00 wt% in terms of Ta 2 O 5 , and a more desirable content is 0.10 to 0.60 wt%.
Desired content when selecting Bi as the element M, 0.10~2.00Wt% in terms of Bi 2 O 3, more preferable content is 0.20~0.80wt%.
Desirable content when W is selected as the M element is 0.005 to 0.1 in terms of WO 3.
00 wt%, and a more desirable content is 0.010 to 0.060 wt%.

本発明の誘電体磁器組成物は、GHz帯における比誘電率εrが200以上、Qfが2
500以上および共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値が250ppm/℃以下という特性を兼備することができる。さらに、上述した組成を適宜選択することにより、GHz帯におけるQfを2800以上、さらに共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値を200ppm/℃以下とすることもできる。さらにはGHz帯における比誘電率εrが200以上、Qfが3000以上、共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値を150ppm/℃以下という特性を兼備することもできる。
これらの特性に加えて、本発明の誘電体磁器組成物は、20℃における比抵抗ρをρ>1013Ωcm、かつ焼成密度を4.5g/cm3以上とすることもできる。
The dielectric ceramic composition of the present invention has a relative dielectric constant ε r of 200 or more in the GHz band and a Qf of 2
The characteristics that the absolute value of the temperature coefficient τ f25-85 of 500 or more and the resonance frequency is 250 ppm / ° C. or less can be combined. Furthermore, by appropriately selecting the above-described composition, the Qf in the GHz band can be set to 2800 or more, and the absolute value of the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency can be set to 200 ppm / ° C. or less. Furthermore, the relative permittivity εr in the GHz band is 200 or more, Qf is 3000 or more, and the absolute value of the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency is 150 ppm / ° C. or less.
In addition to these characteristics, the dielectric ceramic composition of the present invention can have a specific resistance ρ at 20 ° C. of ρ> 10 13 Ωcm and a firing density of 4.5 g / cm 3 or more.

次に、本発明による誘電体磁器組成物にとって好適な製造方法を説明する。
<原料粉末、秤量>
主成分の原料として、酸化物または加熱により酸化物となる化合物の粉末を用いる。具体的にはSrCO3粉末,CaCO3粉末,TiO2粉末、ZrO2粉末等を用いることができる。原料粉末を式(1)の組成となるように、それぞれ秤量する。その後、秤量された各粉末の総重量に対して、副成分としてM元素を含む化合物の粉末(例えばMnCO3
末等)を式(1)の組成となるように、所定量添加する。そして、秤量された各主成分の原料粉末の総重量に対して、副成分としてSiO2粉末を3.00wt%未満の範囲で添
加する。各原料粉末の平均粒径は0.1〜3.0μmの範囲で適宜選択すればよい。
なお、上述した原料粉末に限らず、2種以上の金属を含む複合酸化物の粉末を原料粉末としてもよい。
<仮焼>
原料粉末を例えばボールミルにより湿式混合した後、900〜1300℃の範囲内で所定時間保持する仮焼を行う。このときの雰囲気はN2または大気とすればよい。仮焼の保
持時間は0.5〜5.0時間の範囲で適宜選択すればよい。仮焼後、仮焼体を例えば平均粒径0.5〜2.0μm程度まで粉砕する。
なお、主成分の原料粉末(SrCO3粉末,CaCO3粉末,TiO2粉末、ZrO2粉末)と副成分の原料粉末(M元素を含む化合物の粉末,SiO2粉末)を混合した後に、両
者をともに仮焼に供する場合について示したが、副成分の原料粉末を添加するタイミングは上述したものに限定されるものではない。例えば、まず主成分の粉末のみを秤量、混合、仮焼および粉砕する。そして、仮焼粉砕後に得られた主成分の粉末に、副成分の原料粉末を所定量添加し混合するようにしてもよい。
Next, a production method suitable for the dielectric ceramic composition according to the present invention will be described.
<Raw material powder, weighing>
As a raw material of the main component, an oxide or a powder of a compound that becomes an oxide by heating is used. Specifically, SrCO 3 powder, CaCO 3 powder, TiO 2 powder, ZrO 2 powder and the like can be used. Each raw material powder is weighed so as to have the composition of formula (1). Thereafter, a predetermined amount of a powder of a compound containing M element as an accessory component (for example, MnCO 3 powder) is added to the total weight of each weighed powder so as to have the composition of formula (1). Then, based on the total weight of the raw material powder of each principal component is weighed and added SiO 2 powder in a range of less than 3.00 wt% as an auxiliary component. What is necessary is just to select suitably the average particle diameter of each raw material powder in the range of 0.1-3.0 micrometers.
In addition, not only the raw material powder mentioned above but it is good also considering the powder of the complex oxide containing 2 or more types of metals as raw material powder.
<Calcination>
After the raw material powder is wet-mixed by, for example, a ball mill, calcination is performed in a range of 900 to 1300 ° C. for a predetermined time. The atmosphere at this time may be N 2 or air. What is necessary is just to select suitably the holding time of calcination in the range of 0.5 to 5.0 hours. After the calcination, the calcined body is pulverized, for example, to an average particle size of about 0.5 to 2.0 μm.
After mixing the main component raw material powder (SrCO 3 powder, CaCO 3 powder, TiO 2 powder, ZrO 2 powder) and the subcomponent raw material powder (compound containing M element, SiO 2 powder), Although the case where both are subjected to calcination has been shown, the timing of adding the raw material powder of the accessory component is not limited to that described above. For example, first, only the main component powder is weighed, mixed, calcined, and pulverized. And you may make it add and mix a predetermined amount of raw material powder of a subcomponent with the powder of the main component obtained after calcining pulverization.

<造粒・成形>
粉砕粉末は、後の成形工程を円滑に実行するために顆粒に造粒される。この際、粉砕粉末に適当なバインダ、例えばポリビニルアルコール(PVA)を少量添加することが望ましい。得られる顆粒の粒径は80〜200μm程度とすることが望ましい。
造粒粉末を200〜300MPaの圧力で加圧成形し、所望の形状の成形体を得る。
<Granulation / Molding>
The pulverized powder is granulated into granules in order to smoothly execute the subsequent molding process. At this time, it is desirable to add a small amount of an appropriate binder such as polyvinyl alcohol (PVA) to the pulverized powder. The particle size of the obtained granules is preferably about 80 to 200 μm.
The granulated powder is pressure-molded at a pressure of 200 to 300 MPa to obtain a molded body having a desired shape.

<焼成>
成形時に添加したバインダを除去した後、1250〜1430℃の範囲内で所定時間成形体を加熱保持し焼結体を得る。このときの雰囲気はN2または大気とすればよい。加熱
保持時間は2〜6時間の範囲で適宜選択すればよい。本発明の誘電体磁器組成物の効果を十分引き出すには、1300〜1400℃の範囲で焼成することが望ましい。本発明による誘電体磁器組成物は4.4g/cm3以上、さらには4.5g/cm3以上の焼成密度を得ることができる。
<Baking>
After removing the binder added during molding, the molded body is heated and held for a predetermined time within a range of 1250 to 1430 ° C. to obtain a sintered body. The atmosphere at this time may be N 2 or air. The heating and holding time may be appropriately selected within a range of 2 to 6 hours. In order to sufficiently bring out the effect of the dielectric ceramic composition of the present invention, it is desirable to fire in the range of 1300 to 1400 ° C. The dielectric ceramic composition according to the present invention can obtain a firing density of 4.4 g / cm 3 or more, and further 4.5 g / cm 3 or more.

以上の工程を経ることで、本発明における誘電体磁器組成物を得ることができる。本発明における誘電体磁器組成物は、2GHzにおける比誘電率εrが200〜300、Qf
が2000〜6000および共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値が250ppm/℃以下、20℃における比抵抗ρがρ>1013Ωcm、かつ焼成密度を4.5g/cm3
上という特性を備える。こうした優れた特性を備えた本発明における誘電体磁器組成物は、高周波用、特にマイクロ波用の共振器、フィルタ、温度補償用コンデンサ、デュプレクサ等の材料として好適である。
Through the above steps, the dielectric ceramic composition according to the present invention can be obtained. The dielectric ceramic composition according to the present invention has a relative dielectric constant ε r of 200 to 300 at 2 GHz, Qf
Of 2000 to 6000 , the absolute value of the temperature coefficient τ f25-85 of the resonance frequency is 250 ppm / ° C. or less, the specific resistance ρ at 20 ° C. is ρ> 10 13 Ωcm, and the firing density is 4.5 g / cm 3 or more. Prepare. The dielectric ceramic composition according to the present invention having such excellent characteristics is suitable as a material for a high-frequency resonator, particularly a microwave resonator, a filter, a temperature compensation capacitor, a duplexer and the like.

以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
実施例1ではM元素としてMnを選択し、以下の条件で誘電体磁器組成物を作製し、その特性を評価した。
Hereinafter, the present invention will be described based on specific examples.
In Example 1, Mn was selected as the M element, a dielectric ceramic composition was prepared under the following conditions, and its characteristics were evaluated.

原料粉末として、SrCO3粉末、CaCO3粉末、TiO2粉末、ZrO2粉末、MnCO3粉末およびSiO2粉末を準備した。なお、各原料粉末の平均粒径は0.1〜1.0μmである。
まず、上述した式(2)において、x,yおよびkがモル比でそれぞれ表1〜5の値となるように秤量し、次いでaおよびbがwt%で表1〜5の値となるように秤量した後、ボールミルを用いて湿式混合を16時間行った。得られたスラリーを十分に乾燥させた後、大気中、1100℃で2時間保持する仮焼を行い、仮焼体を得た。仮焼体が平均粒径1.0μmになるまでボールミルにより微粉砕した後、微粉砕粉末を乾燥させた。次いで、バインダとしてPVA(ポリビニルアルコール)を適量加えて造粒し、成形を行った後、1370℃で4時間焼成し、直径10mm、厚さ5mmの誘電体磁器組成物を得た。
As raw material powders, SrCO 3 powder, CaCO 3 powder, TiO 2 powder, ZrO 2 powder, MnCO 3 powder and SiO 2 powder were prepared. In addition, the average particle diameter of each raw material powder is 0.1-1.0 micrometer.
First, in the above-described formula (2), x, y, and k are weighed so that the molar ratios are the values shown in Tables 1 to 5, respectively, and then a and b are wt% so that the values shown in Tables 1 to 5 are obtained. Then, wet mixing was performed for 16 hours using a ball mill. After the obtained slurry was sufficiently dried, calcining was performed in the air at 1100 ° C. for 2 hours to obtain a calcined body. After finely pulverizing with a ball mill until the calcined body had an average particle size of 1.0 μm, the finely pulverized powder was dried. Next, an appropriate amount of PVA (polyvinyl alcohol) was added as a binder, granulated, molded, and then fired at 1370 ° C. for 4 hours to obtain a dielectric ceramic composition having a diameter of 10 mm and a thickness of 5 mm.

得られた誘電体磁器組成物を用いて、誘電特性、温度特性、比抵抗および焼成密度を測定した。その結果を表1〜5に併せて示す。また、比較例として、本発明の組成範囲外の組成を有する誘電体磁器組成物を上述した条件と同様の条件で作製した。それらの比較例の誘電体磁器組成物の特性も、表1〜5に併せて示す。
なお、誘電体磁器組成物は、表1〜5に示した各試料についてそれぞれ5個ずつ作製し、それらの試料について各特性をそれぞれ測定し、平均値を算出した(表1〜5中の各特性の値は、算出された平均値である)。
Using the obtained dielectric ceramic composition, dielectric characteristics, temperature characteristics, specific resistance, and firing density were measured. The result is combined with Tables 1-5, and is shown. As a comparative example, a dielectric ceramic composition having a composition outside the composition range of the present invention was produced under the same conditions as described above. The characteristics of the dielectric ceramic compositions of those comparative examples are also shown in Tables 1 to 5.
Five dielectric ceramic compositions were prepared for each sample shown in Tables 1 to 5, and each characteristic was measured for each sample, and an average value was calculated (each of Tables 1 to 5). The value of the characteristic is the calculated average value).

<比誘電率εr、Q値、共振周波数>
比誘電率εr、Q値、共振周波数は、Hakki−Coleman 法により測定した。比誘電率εr
測定の際には、ネットワークアナライザー(ヒューレッドパッカード社製8510C)の一方のプローブより高周波を発振して周波数特性を測定し、得られたTE01δモードの
共振周波数ピークと試料の寸法より比誘電率εrを求めた。なお、測定周波数は2GHz
とした。
<共振周波数の温度係数τf
20℃および85℃における共振周波数を測定し、共振周波数の温度係数τf(20-85)を求めた。なお、表1〜5に示したτf(20-85)の値は、共振周波数の温度係数τf(20-85)の絶対値である。また、以下では「共振周波数の温度係数τf(20-85)」を単にτfという。
<比抵抗>
20℃で100Vの直流電圧を40秒間印加して絶縁抵抗を測定し比抵抗を求めた。
<Relative permittivity ε r , Q value, resonance frequency>
The relative dielectric constant ε r , Q value, and resonance frequency were measured by the Hakki-Coleman method. Dielectric constant ε r
At the time of measurement, a frequency characteristic is measured by oscillating a high frequency from one probe of a network analyzer (Hured Packard 8510C), and the relative dielectric constant ε is calculated from the obtained TE01δ mode resonance frequency peak and the sample size. sought r . The measurement frequency is 2 GHz
It was.
<Temperature coefficient τ f of resonance frequency>
The resonance frequency at 20 ° C. and 85 ° C. was measured, and the temperature coefficient τ f (20-85) of the resonance frequency was obtained. The values of τ f (20-85) shown in Tables 1 to 5 are absolute values of the temperature coefficient τ f (20-85) of the resonance frequency. Hereinafter, the “temperature coefficient τ f (20-85) of the resonance frequency” is simply referred to as τ f .
<Resistivity>
The insulation resistance was measured by applying a DC voltage of 100 V for 40 seconds at 20 ° C. to determine the specific resistance.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

はじめに、表1を用いて、M元素含有にともなう特性の変動を確認する。
表1において、試料No.1と試料No.2は、試料No.2がM元素(Mn)を含有している点を除けば、同一の組成を有している。試料No.3と試料No.4、そして試料No.5と試料No.6は、それぞれ試料No.1と試料No.2と同じ関係にある。
表1に示すように、Mnを含有することで温度特性が大幅に改善され、Mnを含有する試料No.2、4、6は、τfがいずれも250ppm/℃以下の値を示す。また、Mn
を含有する試料No.2、4、6は、比誘電率εrが200以上、Qfが3000以上と
、Mnを含有しない試料No.1、3、5と同等以上の誘電特性を得ている。
以上の結果から、M元素の含有は、高い誘電特性および温度特性を兼備する誘電体磁器組成物を得る上で有効であることがわかった。また、M元素の含有は、比抵抗および焼成密度に悪影響を及ぼすものではないことが確認できた。
First, using Table 1, the variation in characteristics associated with the M element content is confirmed.
In Table 1, Sample No. 1 and sample no. 2 is Sample No. Except for the point that 2 contains M element (Mn), it has the same composition. Sample No. 3 and sample no. 4 and sample no. 5 and sample no. 6 is sample No. 6 respectively. 1 and sample no. 2 is the same relationship.
As shown in Table 1, the temperature characteristics are greatly improved by containing Mn. 2, 4, and 6 all show values of τ f of 250 ppm / ° C. or less. Mn
Sample No. containing Samples Nos. 2, 4, and 6 have a relative dielectric constant ε r of 200 or more and a Qf of 3000 or more, and no sample No. Dielectric characteristics equivalent to or better than 1, 3, 5 are obtained.
From the above results, it was found that the inclusion of the M element is effective in obtaining a dielectric ceramic composition having high dielectric characteristics and temperature characteristics. Further, it was confirmed that the inclusion of the M element did not adversely affect the specific resistance and the firing density.

次に、表2を用いてxの変動に伴う特性の変動を確認する。   Next, using Table 2, the fluctuation of characteristics accompanying the fluctuation of x is confirmed.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表2から、xが変動することで、比誘電率εr、Qf、τfおよび焼成密度それぞれ変動することがわかる。そして、xが0.50と本発明の範囲より少ない場合(試料No.7
)にはτfが大きく、焼成密度が低い。また、xが0.70と本発明の範囲より多い場合
(試料No.8)にはτfが1311ppm/℃と高い。
一方、xが0.58〜0.62である試料No.2、4、6は、高い誘電特性を示すとともにτfも200ppm/℃以下と良好である。よって、本発明においてxは、モル比
で0.50<x<0.70とする。望ましいxの値は0.55≦x≦0.65、さらに望ましいxの値は0.58≦x≦0.62である。
From Table 2, it can be seen that the relative permittivity ε r , Qf, τ f, and the firing density vary as x varies. When x is 0.50, which is less than the range of the present invention (Sample No. 7)
) Has a large τ f and a low firing density. When x is 0.70, which is larger than the range of the present invention (Sample No. 8), τ f is as high as 1311 ppm / ° C.
On the other hand, the sample No. x is 0.58 to 0.62. 2, 4 and 6 show high dielectric characteristics and τ f is as good as 200 ppm / ° C. or less. Therefore, in the present invention, x is 0.50 <x <0.70 in terms of molar ratio. A desirable x value is 0.55 ≦ x ≦ 0.65, and a more desirable x value is 0.58 ≦ x ≦ 0.62.

次に、表3を用いてyの変動に伴う特性の変動を確認する。   Next, using Table 3, the variation in characteristics accompanying the variation in y is confirmed.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表3から、yが変動することで、比誘電率εr、Qfおよびτfがそれぞれ変動することがわかる。
yが0.00〜0.10である試料No.4、9〜14は、高い誘電特性を示すとともにτfも250ppm/℃以下、さらには200ppm/℃以下と良好である。ところが
、yが0.10(試料No.14)を超えて0.20(試料No.15)になると、温度係数τfが大幅に増加してしまう。さらに、yが0.40(試料No.16)になると、
温度特性の劣化に加えて、誘電特性も劣化する。
よって、本発明においてyは、モル比で0.00≦y≦0.18とする。望ましいyの値は0.00≦y≦0.12、さらに望ましいyの値は0.03≦y≦0.09である。
From Table 3, it can be seen that the relative permittivity ε r , Qf, and τ f vary as y varies.
Sample No. with y being 0.00 to 0.10. Nos. 4 and 9 to 14 show high dielectric properties and τ f is 250 ppm / ° C. or lower, and 200 ppm / ° C. or lower. However, when y exceeds 0.10 (sample No. 14) and becomes 0.20 (sample No. 15), the temperature coefficient τ f significantly increases. Furthermore, when y becomes 0.40 (sample No. 16),
In addition to the deterioration of temperature characteristics, the dielectric characteristics also deteriorate.
Therefore, in the present invention, y is 0.00 ≦ y ≦ 0.18 in terms of molar ratio. A desirable y value is 0.00 ≦ y ≦ 0.12, and a more desirable y value is 0.03 ≦ y ≦ 0.09.

次に、表4を用いてkの変動に伴う特性の変動を確認する。   Next, using Table 4, the variation in characteristics accompanying the variation in k is confirmed.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表4から、kが変動することで、比誘電率εr、Qf、τfおよび焼成密度それぞれ変動
することがわかる。
kが0.940と本発明の範囲より少ない場合(試料No.17)にはτfが大きい。
一方、kが1.020以上と本発明の範囲より多い場合(試料No.24〜26)にも、τfが300ppm/℃以上と大きくなる。
よって、本発明においてkは、モル比で0.940<k<1.020とする。望ましいkの値は0.950≦k≦1.015、さらに望ましいkの値は0.960≦k≦1.010である。
From Table 4, it can be seen that the relative permittivity ε r , Qf, τ f, and the firing density vary as k varies.
When k is 0.940, which is less than the range of the present invention (sample No. 17), τ f is large.
On the other hand, when k is 1.020 or more, which is larger than the range of the present invention (Sample Nos. 24 to 26), τ f is as large as 300 ppm / ° C.
Therefore, in the present invention, k is 0.940 <k <1.020 in terms of molar ratio. A desirable value of k is 0.950 ≦ k ≦ 1.015, and a more desirable value of k is 0.960 ≦ k ≦ 1.010.

次に、表5を用いて望ましいaの値を検討する。   Next, Table 5 is used to examine a desirable value of a.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表5から、MO(M元素の酸化物)の量を示すaの増加に伴い、比誘電率εrも増加す
ることがわかる。ここで、M元素としてMnを含有させることで、温度特性を改善するこ
とができることは表1に示した通りであるが、MO量を示すaの増加に伴い、τfが徐々
に増加する傾向が見られることから、本発明においてM元素としてMnを選択する場合にはaは、wt%で0.00<a≦0.30とする。M元素としてMnを選択する場合の望ましいaの値は0.00<a≦0.20、さらに望ましいaの値は0.02≦a≦0.15である。
From Table 5, it can be seen that the relative dielectric constant ε r increases with increasing a indicating the amount of MO (oxide of M element). Here, it is as shown in Table 1 that the temperature characteristics can be improved by containing Mn as the M element. However, τ f tends to gradually increase as a indicating MO amount increases. Therefore, when Mn is selected as the M element in the present invention, a is set to 0.00 <a ≦ 0.30 in wt%. When Mn is selected as the M element, a desirable value of a is 0.00 <a ≦ 0.20, and a more desirable value of a is 0.02 ≦ a ≦ 0.15.

SiO2の添加量を表6に示すように変動させた以外は、実施例1と同様の手順で誘電
体磁器組成物を作製した。そして、実施例1と同様の条件で各特性を測定した。測定結果を表6に示す。
A dielectric ceramic composition was prepared in the same procedure as in Example 1 except that the addition amount of SiO 2 was varied as shown in Table 6. And each characteristic was measured on the conditions similar to Example 1. FIG. Table 6 shows the measurement results.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表6から、SiO2量を示すbの変動に伴い、比誘電率εr、Qfおよびτfが変動する
ことがわかる。
SiO2を組成中に含有しない場合(試料No.29)およびbが3.00wt%と本
発明の範囲より多い場合(試料No.31)には、比誘電率εrが200未満となり、τfも大きい。
よって、本発明においてはbは、wt%で0.00<b<3.00とする。望ましいbの値は0.02≦b≦2.80(wt%)、さらに望ましいbの値は0.05≦b≦2.50(wt%)である。
From Table 6, it can be seen that the relative permittivity ε r , Qf and τ f vary with the variation of b indicating the amount of SiO 2 .
When SiO 2 is not contained in the composition (sample No. 29) and when b is 3.00 wt% and more than the range of the present invention (sample No. 31), the relative dielectric constant ε r is less than 200, and τ f is also large.
Therefore, in the present invention, b is defined as 0.00 <b <3.00 in wt%. A desirable value of b is 0.02 ≦ b ≦ 2.80 (wt%), and a more desirable value of b is 0.05 ≦ b ≦ 2.50 (wt%).

以上の実施例1、2では、M元素としてMnを選択した。実施例3では、M元素として、Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,Bi,Wをそれぞれ選択した例を示す。
表7に示す条件で、Mn元素(Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,Bi,W)を含有させた以外は、実施例1と同様の手順で誘電体磁器組成物を作製した。そして、実施例1と同様の条件で各特性を測定した。測定結果を表7に示す。
In Examples 1 and 2 above, Mn was selected as the M element. Example 3 shows an example in which Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, and W are selected as the M element.
Dielectric porcelain composition in the same procedure as in Example 1 except that Mn element (Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, W) was contained under the conditions shown in Table 7. Was made. And each characteristic was measured on the conditions similar to Example 1. FIG. Table 7 shows the measurement results.

Figure 2005082455
Figure 2005082455

表7に示すように、M元素としてY,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,Bi
,Wを選択した場合にも、比誘電率εrを200以上、Qfを2000以上、τfを250ppm/℃以下とすることができた。
As shown in Table 7, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi as M elements
, W was selected, the relative dielectric constant ε r was 200 or more, Qf was 2000 or more, and τ f was 250 ppm / ° C. or less.

Claims (4)

M元素として、Mn,Y,Yb,Co,Sc,Sn,V,Nb,Ta,Bi,Wのうちの少なくとも1種以上を含む誘電体磁器組成物であって、
(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3−aMO(MOはM元素の酸化物)で表される式中、
x,yおよびkがモル比で、
0.50<x<0.70、
0.00≦y≦0.18、
0.940<k<1.020、かつ、
0.00<a≦4.00(wt%)
であることを特徴とする誘電体磁器組成物。
A dielectric ceramic composition containing at least one of Mn, Y, Yb, Co, Sc, Sn, V, Nb, Ta, Bi, and W as an M element,
Wherein (Sr x Ca 1-x) k (Zr y Ti 1-y) O 3 -aMO (MO is the M oxides of the elements) represented by,
x, y and k are molar ratios;
0.50 <x <0.70,
0.00 ≦ y ≦ 0.18,
0.940 <k <1.020, and
0.00 <a ≦ 4.00 (wt%)
A dielectric porcelain composition comprising:
前記(SrxCa1-xk(ZryTi1-y)O3の重量100に対して、b重量%のSiO2を添加し、bが0.00<b<3.00(wt%)であることを特徴とする請求項1に
記載の誘電体磁器組成物。
The (Sr x Ca 1-x) k (Zr y Ti 1-y) with respect to the weight 100 of the O 3, was added to SiO 2 of b wt%, b is 0.00 <b <3.00 (wt %)). The dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein:
測定周波数2GHzにおける比誘電率εrが200以上かつ共振周波数の温度係数τf25-85の絶対値が250ppm/℃以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の
誘電体磁器組成物。
3. The dielectric ceramic composition according to claim 1, wherein the relative dielectric constant ε r at a measurement frequency of 2 GHz is 200 or more and the absolute value of the temperature coefficient τ f25 -85 of the resonance frequency is 250 ppm / ° C. or less. .
GHz帯におけるQf(QfはQ値と周波数fの積)が2500以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。   The dielectric ceramic composition according to any one of claims 1 to 3, wherein a Qf in the GHz band (Qf is a product of a Q value and a frequency f) is 2500 or more.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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