JP2005076792A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 回転軸を磁力を用いて磁気浮上させることにより非接触で支持する磁気軸受装置であって、
   磁力を発生させる電磁石を構成する電磁コイルと、
   前記電磁コイルと共に前記電磁石を構成し、前記電磁コイルが巻回された、少なくとも２つの磁極部を有する電磁極と、
   前記磁極部に巻回された、前記回転軸の変位を検出する変位センサを構成する変位センサコイルと、
   を具備し、
   前記電磁コイルが巻回された電磁極の磁極端面の面積と、前記変位センサコイルが巻回された磁極部の磁極端面の面積とが等しいことを特徴とする磁気軸受装置。
2. 前記回転軸を軸方向に支持する磁気軸受装置であって、
   前記回転軸に対して垂直に固着された円板状のアーマチュアを具備し、
   前記電磁極は、前記アーマチュアと対向する面に設けられた、環状溝と、径方向に延びる複数の放射溝と、を有し、
   前記磁極部は、隣接する前記放射溝の間に形成され、
   前記電磁コイルは、前記環状溝に沿って巻回され、
   前記変位センサコイルの一部は、前記放射溝に配設されていることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受装置。
3. 前記回転軸を半径方向に支持する磁気軸受装置であって、
   前記電磁極は、円周方向または軸方向に延びる溝を有し、
   前記磁極部は、前記溝の両側に形成され、
   前記変位センサコイルの一部は、前記溝に配設されていることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受装置。
4. 前記電磁石は、異なる電磁極性を有する一対の前記電磁極を備え、
   前記変位センサコイルは、それぞれ異なる電磁極性を有する前記電磁極に設けられた２つの前記磁極部に渡って巻回されていることを特徴とする請求項３記載の磁気軸受装置。
5. 前記回転軸を半径方向に支持する磁気軸受装置であって、
   軸方向に隣接する前記磁極部の間に配置された非磁性体部材を具備し、
   前記電磁石は、異なる電磁極性を有する一対の前記電磁極を備え、
   前記変位センサコイルは、それぞれ異なる電磁極性を有する前記電磁極に設けられた円周方向に隣接する前記磁極部において、それぞれ異なるセンサ磁極性を有するように巻回されていることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受装置。
6. 前記変位センサコイルを覆うように、前記磁極部の側面に配設された電磁遮蔽部材を具備し、
   前記電磁コイルは、電磁遮蔽部材を介して前記電磁極に巻回されていることを特徴とする請求項５記載の磁気軸受装置。
7. 前記電磁石は、少なくとも２つ設けられ、
   前記変位センサは、前記電磁石ごとに設けられ、
   同一の前記変位センサを構成する前記変位センサコイルは、並列に接続されていることを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載の磁気軸受装置。
8. 前記磁極部の前記回転軸側端部、または、前記電磁コイルと前記センサコイルとの間の少なくとも一方に配置された、外縁部が短絡されたシールド部材を具備したことを特徴とする請求項１から請求項７までのうちの何れか１の請求項に記載の磁気軸受装置。