JP2005058806A - Electrostatic suction type fluid discharge method and apparatus for the same - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic suction type fluid discharge method and an apparatus therefor which realize a minute nozzle, discharge of minute fluid, a highly accurate impact position, a low drive voltage and realize improved driving frequency by improving the discharge start/stoppage characteristics and realize the pulse time control of a discharge quantity. <P>SOLUTION: The diameter of a discharge port of the nozzle is 0.01-25 μm. Pulse voltage where an upper limit voltage 10 set equal to or above a dischargeable minimum voltage 30 that is the voltage condition to start the discharge of the fluid is applied between the nozzle and a substrate by a voltage applying means. Just before the build-up of the pulse voltage, a lower limit primary voltage 20a having the polarity same with that of the upper limit voltage and smaller than the dischargeable minimum voltage 30 in absolute value is set and just after the build-up of the pulse voltage, a lower limit secondary voltage 20b having polarity reverse to that of the upper limit voltage 10 is set. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００９】
ここで、γ：表面張力（Ｎ／ｍ）、ε_０：真空の誘電率（Ｆ／ｍ）、Ｅ_０：電界の強さ（Ｖ／ｍ）である。ノズル径ｄ（ｍ）が、λ_ｃよりも小さい場合、成長は起こらない。すなわち、
【００１０】
【数２】

【００１１】
が、吐出のための条件となっていた。
【００１２】
ここで、Ｅ_０は平行平板を仮定した場合の電界強度（Ｖ／ｍ）で、ノズル−対向電極間距離をｈ（ｍ）、ノズルに印加する電圧をＶ_０として、
【００１３】
【数３】

【００１４】
したがって、ｄは、
【００１５】
【数４】

【００１６】
となる。
【００１７】
【特許文献１】
特公昭３６−１３７６８号公報（公告日昭和３６年８月１８日）
【００１８】
【特許文献２】
特開２００１−８８３０６号公報（公開日平成１３年４月３日）
【００１９】
【特許文献３】
特開平８−２３８７７４号公報（公開日平成８年９月１７日）
【００２０】
【特許文献４】
特開２０００−１２７４１０号公報（公開日平成１２年５月９日）
【００２１】
【非特許文献１】
画像電子情報学会，第１７巻，第４号，１９８８年，ｐ．１８５−１９３
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】
静電吸引型流体吐出装置に関わらず流体吐出装置では、一般的により微細なドット形成やライン形成を可能とするために、インクを吐出するノズルの径を小さくしたいといった要望がある。
【００２３】
しかしながら、現在実用化されているピエゾ方式やサーマル方式などの流体吐出装置では、ノズル径を小さくして、例えば１ｐｌを下回るような微小量の流体の吐出は困難である。これは、流体を吐出するノズルが微細になるほど吐出に必要な圧力が大きくなるためである。
【００２４】
また、上述のような流体吐出装置では、液滴の微細化と高精度化は相反する課題であり、両方を同時に実現するのは困難であった。これは以下の理由による。
【００２５】
ノズルから吐出された液滴に付与される運動エネルギーは、液滴半径の３乗に比例する。このため、ノズルを微細化した場合に吐出される微細液滴は、吐出時の空気抵抗に耐えるほどの十分な運動エネルギーを確保できず、空気滞留などによる撹乱を受け、正確な着弾を期待できない。さらに、液滴が微細になるほど、表面張力の効果が増すため、液滴の蒸気圧が高くなり蒸発量が激しくなる．このため、微細液滴は飛翔中に著しい質量の消失を招き、着弾時に液滴の形態を保つことすら難しいという問題があった。
【００２６】
またさらに、上述した従来の静電吸引型流体吐出装置における流体吐出モデルに基づくと、上記（２）式より、ノズル径の減少は吐出に必要な電界強度の増加を要請することとなる。そして、電界強度は、上記（３）式に示すように、ノズルに印加する電圧（駆動電圧）Ｖ_０とノズル−対向電極間距離ｈとによって決まるため、ノズル径の減少は駆動電圧の上昇を招来する。
【００２７】
ここで、従来の静電吸引型流体吐出装置における駆動電圧は、１０００Ｖ以上と非常に高いため、各ノズル間でのリークや干渉化を考慮すると小型化および高密度化は難しく、ノズル径をさらに小さくすると上記問題がより大きなものとなる。また、１０００Ｖを越えるような高電圧のパワー半導体は一般的に高価で周波数応答性も低い。
【００２８】
尚、上記特許文献１で開示されているノズル径は０．１２７ｍｍであり、特許文献２で開示されているノズル径の範囲は５０〜２０００μｍ、より好ましくは１００〜１０００μｍといった範囲であった。
【００２９】
ノズル径に関して、従来の静電吸引型流体吐出における典型的な動作条件を当てはめて計算してみると、表面張力０．０２０Ｎ／ｍ、電界強度１０^７Ｖ／ｍとして、上記（１）式に代入して計算すると、成長波長λ_ｃは約１４０μｍとなる。すなわち、限界ノズル径として７０μｍという値が得られる。すなわち、上記条件下では１０^７Ｖ／ｍの強電界を用いてもノズル径が直径７０μｍ程度以下の場合は背圧を印加して強制的にメニスカス形成させるなどの処置をとらない限り、インクの成長は起こらず、静電吸引型流体吐出は成立しないと考えられていた。すなわち、微細ノズルと駆動電圧の低電圧化は両立しない課題と考えられていた。
【００３０】
以上のように、従来の流体吐出装置では、ノズルの微細化と高精度化は相反する課題であり、両方を同時に実現することは困難であった。また、特に静電吸引型流体吐出装置では、ノズルの微細化と駆動電圧の低電圧化とは両立しない課題と考えられていた。
【００３１】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、ノズルの微細化と微小流体の吐出及び着弾位置の高精度化、さらに、駆動電圧の低電圧化をすべて実現した静電吸引型流体吐出装置を提供することにある。
【００３２】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置は、上記の課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されていることを特徴としている。
【００３３】
上記の構成によれば、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、本願発明者らが提案する新たな吐出モデルにしたがって、局所電界が発生し、微細ノズル化により吐出における駆動電圧の低下が可能となる。このような駆動電圧の低下は、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となる。もちろん、駆動電圧を低下させることで、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする。
【００３４】
さらに、上記吐出モデルでは、吐出に必要な電界強度は、局所的な集中電界強度に依存することになるため、対向電極の存在が必須とならない。すなわち、対向電極を要さずに絶縁性基板などに対しても印字を行うことが可能となり、装置構成の自由度が増す。また、厚い絶縁体に対しても印字を行うことが可能となる。
【００３５】
ところが、上述のような微細ノズル化は、吐出量が微量となるほど急激に吐出応答性が悪くなり、高周波数駆動が困難となるといった問題がある。もちろん、この問題は、ノズル−基板間に印加するパルス電圧の上限電圧を大きくすることで、吐出応答性が上がり、高周波数駆動がある程度実現可能にはなるが、駆動電極に高電圧を印加するため高電圧ドライバが必要であり、微細ノズル化による本来のメリットであったはずのコストメリットの高い低電圧駆動ドライバを使用することが不可能となってしまう。
【００３６】
吐出応答性をより詳細に見ると、パルス電圧の立ち上がり時の吐出開始応答性、及び立ち下り時の吐出終了応答性に分けられ、吐出応答性が低いことはつまり、上限電圧印加時間に依存する精度の高い吐出量制御が行えないといった問題でもある。
【００３７】
これに対し、上記構成では、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されているので、パルス電圧立ち上がり前に既にメニスカス表面電位がある程度予備充電された状態となっている。
【００３８】
したがって、パルス電圧の立ち上がり後、メニスカス表面電位は吐出条件である吐出可能最低電圧に短時間で到達して吐出が開始し、吐出開始応答性を高めることができ、ひいては、吐出限界周波数を向上させて高周波数駆動が可能となる。
【００３９】
本発明の第２の静電吸引型流体吐出装置は、上記の課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち下がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【００４０】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする等の上記した本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の作用を奏する。
【００４１】
そして、上記構成では、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち下がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されているので、パルス電圧立ち下がり後にメニスカス表面電位が急激に減衰する。
【００４２】
したがって、パルス電圧の立ち下がり後、メニスカス表面電位は吐出を継続する条件である吐出維持可能最低電圧を短時間で下回って吐出が停止し、吐出終了応答性を高めることができ、ひいては、吐出限界周波数を向上させて高周波数駆動が可能となる。
【００４３】
本発明の第３の静電吸引型流体吐出装置は、上記の課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【００４４】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする等の上記した本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の作用を奏する。
【００４５】
そして、上記構成では、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されている。
【００４６】
したがって、上述したように、吐出開始応答性と吐出終了応答性を共に高めることができ、ひいては、より効果的に吐出限界周波数を向上させてさらなる高周波数駆動が可能となり、また、上限電圧印加時間に依存した吐出制御を行うことができるので、吐出量の時間制御も可能となる。
【００４７】
本発明の第４の静電吸引型流体吐出装置は、上記の課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と同極性で減衰促進電圧減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【００４８】
この構成と上記した本発明の第３の静電吸引型流体吐出装置との違いは、吐出終了応答性を高めるための減衰促進電圧にある、第３の静電吸引型流体吐出装置では、減衰促進電圧は上限電圧とは逆極性であったが、ここでは同極性で吐出維持可能最低電圧よりも絶対値の小さい電圧としている。
【００４９】
このようにすることで、減衰促進電圧が逆極性のものに比べて、吐出終了応答性を良好にする効果は劣るが、不吐出時間をできるだけ短縮した単発流吐出が可能となり、近接ドットの形成に対して有効である。また、パルス電圧の上限電圧及び下限電圧の電位差が小さくなるため、低電圧駆動ドライバの使用が可能となる。
【００５０】
本発明の第５の静電吸引型流体吐出装置は、上記課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該直流電圧の印加開始直前に、該直流電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されていることを特徴としている。
【００５１】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする等の上記した本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の作用を奏する。
【００５２】
そして、上記構成では、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該直流電圧の印加開始直前に、該直流電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されているので、電圧印加開始時の吐出開始応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出開始位置制御が可能となる。
【００５３】
つまり、上記した電圧の立ち上がり及び立ち下り時の応答性の問題は、何もパルス電圧に限るものではなく、基板上にライン描画を行うにあたって印加される直流電圧印加時にも生じる。そのため、直流電圧印加開始時の吐出開始応答性に起因して、直流電圧印加開始タイミングに依存させた精度の高い吐出開始位置制御が行えなかったが、これにより、直流電圧印開始タイミングに依存させた精度の高い吐出開始位置制御が可能となる。
【００５４】
本発明の第６の静電吸引型流体吐出装置は、上記課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該直流電圧の印加終了直後に、該直流電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【００５５】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする等の上記した本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の作用を奏する。
【００５６】
そして、上記構成では、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該直流電圧の印加終了直後に、該直流電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されているので、電圧印加終了時の吐出終了応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出終了位置制御が可能となる。
【００５７】
印加開始位置制御と同様に、基板上にライン描画を行うにあたって、直流電圧印加終了時の吐出終了応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出終了位置制御が行えなかったが、これにより、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出終了位置制御が可能となる。
【００５８】
また、本発明の上記第２、第３、第６の静電吸引型流体吐出装置では、吐出可能最低電圧よりも上記減衰促進電圧の絶対値が小さい構成とすることがさらに好ましい。
【００５９】
これは、吐出可能最低電圧の絶対値を超えて減衰促進電圧が大きいと、パルス電圧の周期等の減衰促進電圧の印加期間にもよるが、メニスカス表面電位が逆極性側で吐出可能最低電圧より大きくなり、逆極性に帯電した流体が吐出される恐れがあるためである。吐出可能最低電圧の絶対値よりも小さくしておくことで、メニスカス表面電位が逆極性となることはない。
【００６０】
本発明の静電吸引型流体吐出方法は、上記課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出方法において、上記ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍとし、上記ノズルと上記基板との間に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上の電圧を印加するにあたり、電圧の立ち上がり直前に、上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい印加電圧と同極性の予備充電電圧を印加することを特徴としている。
【００６１】
既に説明したように、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にし、対向電極を用いない構成も可能となる。
【００６２】
加えて、電圧の立ち上がり直前に、吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい印加電圧と同極性の予備充電電圧を印加しておくことで、メニスカス表面電位の予備充電が可能となり、吐出開始応答性を良好とできる。
【００６３】
また、本発明の別の静電吸引型流体吐出方法は、上記課題を解決するために、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出方法において、上記ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍとし、上記ノズルと上記基板との間に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上の電圧を印加するにあたり、電圧の立ち下がり直後に、印加電圧とは逆極性の減衰促進電圧を印加することを特徴としている。
【００６４】
既に説明したように、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にし、対向電極を用いない構成も可能となる。
【００６５】
加えて、電圧の立ち下がり直後に、印加電圧とは逆極性の減衰促進電圧を印加することで、メニスカス表面電位の減衰を促進して流体の切れを良くして、吐出終了応答性を良好とできる。
【００６６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図１ないし図１６に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００６７】
本実施の形態に係る静電吸引型流体吐出装置は、そのノズル径を０．０１μｍ〜２５μｍとしており、かつ、１０００Ｖ以下の駆動電圧にて流体の吐出制御を可能としている。
【００６８】
ここで、従来の流体吐出モデルにおいては、ノズル径の減少は駆動電圧の上昇に繋がるため、５０μｍ以下のノズル径では、吐出インクに背圧を与えるなどの他の工夫を行わない限り、１０００Ｖ以下の駆動電圧でのインク吐出は不可能と考えられていた。しかしながら、本願発明者らは鋭意検討の結果、あるノズル径以下では、従来の流体吐出モデルとは異なる吐出モデルでの吐出現象が起こることを突き止めた。本発明は、この流体吐出モデルにおける新たな知見に基づいてなされたものである。
【００６９】
先ずは、本願発明者らによって発見された流体吐出モデルについて説明する。
【００７０】
直径ｄ（以下の説明においては、特に断らない限りノズルの内径を指す）のノズルに導電性流体を注入し、無限平板導体から高さｈに垂直に位置させたと仮定する。この様子を図２に示す。このとき、ノズル先端部（ノズル孔）に誘起される電荷Ｑは、ノズル先端部の流体によって形成される半球部に集中すると仮定し、以下の式で近似的に表される。
【００７１】
【数５】

【００７２】
ここで、Ｑ：ノズル先端部に誘起される電荷（Ｃ）、ε_０：真空の誘電率（Ｆ／ｍ）、ｄ：ノズルの直径（ｍ）、Ｖ_０：ノズルに印加する総電圧である。また、αは、ノズル形状などに依存する比例定数であり、１〜１．５程度の値を取るが、特にｄ＜＜ｈ（ｈ：ノズル（正確にはノズル孔）−基板間距離（ｍ））の時はほぼ１となる。
【００７３】
また、基板として導電基板を用いた場合、ノズルと対向して基板内の対称位置に、上記電荷Ｑと反対の極性を持つ鏡像電荷Ｑ’が誘導されると考えられる。基板が絶縁体の場合は、誘電率によって定まる対称位置に同様に電荷Ｑと逆極性の映像電荷Ｑ’が誘導される。
【００７４】
ノズル先端部における集中電界強度Ｅ_ｌｏｃは、先端部の曲率半径をＲと仮定すると、
【００７５】
【数６】

【００７６】
で与えられる。ここで、ｋは、ノズル形状などに依存する比例定数であり、１．５〜８．５程度の値を取るが、多くの場合５程度と考えられる（Ｐ．Ｊ． Ｂｉｒｄｓｅｙｅ ａｎｄ Ｄ．Ａ． Ｓｍｉｔｈ， Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ， ２３（１９７０）， ｐ．１９８−２１０）。また、ここでは、流体吐出モデルを簡単にするため、Ｒ＝ｄ／２と仮定する。これは、ノズル先端部において表面張力によって流体がノズル径ｄと同じ曲率径を持つ半球形状に盛り上がっている状態に相当する。
【００７７】
ノズル先端部の流体に働く圧力のバランスを考える。まず、静電的な圧力Ｐ_ｅは、ノズル先端部の液面積をＳとすると、
【００７８】
【数７】

【００７９】
となる。（５）〜（７）式より、圧力Ｐ_ｅは、α＝１とおいて、
【００８０】
【数８】

【００８１】
と表される。
【００８２】
一方、ノズル先端部における流体の表面張力による圧力Ｐ_ｓとすると、
【００８３】
【数９】

【００８４】
となる。ここで、γ：表面張力である。静電的な力により吐出が起こる条件は、静電的な力が表面張力を上回ることなので、静電的な圧力Ｐ_ｅと表面張力による圧力Ｐ_ｓとの関係は、
【００８５】
【数１０】

【００８６】
となる。
【００８７】
図３に、ある直径ｄのノズルを与えた時の、表面張力による圧力Ｐ_ｓと静電的な圧力Ｐ_ｅとの関係を示す。流体の表面張力としては、流体が水（γ＝７２ｍＮ／ｍ）の場合を仮定している。ノズルに印加する電圧を７００Ｖとした場合、ノズル直径ｄが２５μｍにおいて静電的な圧力Ｐ_ｅが表面張力による圧力Ｐ_ｓを上回ることが示唆される。このことより、Ｖ_０とｄとの関係を求めると、
【００８８】
【数１１】

【００８９】
が吐出の最低電圧を与える。
【００９０】
また、その時の吐出圧力ΔＰは、
【００９１】
【数１２】

【００９２】
より、
【００９３】
【数１３】

【００９４】
となる。
【００９５】
ある直径ｄのノズルに対し、局所的な電界強度によって吐出条件を満たす場合の吐出圧力ΔＰの依存性を図４に、また、吐出臨界電圧（すなわち吐出の生じる最低電圧）Ｖｃの依存性を図５に示す。
【００９６】
図４から、局所的な電界強度によって吐出条件を満たす場合（Ｖ_０＝７００Ｖ，γ＝７２ｍＮ／ｍと仮定した場合）のノズル径の上限が２５μｍであることが分かる。
【００９７】
図５の計算では、流体として水（γ＝７２ｍＮ／ｍ）及び有機溶剤（γ＝２０ｍＮ／ｍ）を想定し、ｋ＝５の条件を仮定した。この図より、微細ノズルによる電界の集中効果を考慮すると、吐出臨界電圧Ｖｃはノズル径の減少に伴い低下することが明らかであり、流体が水の場合においてノズル径が２５μｍの場合、吐出臨界電圧Ｖｃは７００Ｖ程度であることが分かる。
【００９８】
従来の吐出モデルにおける電界の考え方、すなわちノズルに印加する電圧Ｖ_０とノズル−対向電極間距離ｈとによって定義される電界のみを考慮した場合では、ノズル径が微小になるに従い、吐出に必要な駆動電圧は増加する。
【００９９】
これに対し、本願発明者らが提案する新たな吐出モデルのように、局所電界強度に注目すれば、微細ノズル化により吐出における駆動電圧の低下が可能となる。このような駆動電圧の低下は、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となる。もちろん、駆動電圧を低下させることで、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にする。
【０１００】
さらに、上記吐出モデルでは、吐出に必要な電界強度は、局所的な集中電界強度に依存することになるため、対向電極の存在が必須とならない。すなわち、従来の吐出モデルでは、ノズル−基板間に電界を印加するため、絶縁体の基板に対してはノズルと反対側に対向電極を配置するか、あるいは基板を導電性とする必要があった。そして、対向電極を配置する場合、すなわち基板が絶縁体の場合では、使用できる基板の厚さに限界があった。
【０１０１】
これに対し、本発明の吐出モデルでは、対向電極を要さずに絶縁性基板などに対しても印字を行うことが可能となり、装置構成の自由度が増す。また、厚い絶縁体に対しても印字を行うことが可能となる。
【０１０２】
また、図６に、基板との間に働く鏡像力の大きさと基板からの距離ｈとの相関を示す。図より明らかなように、この鏡像力は基板とノズル間の距離が近くなるほどに顕著になり、特にｈが２０μｍ以下で顕著である。
【０１０３】
次に、吐出流量の精密制御について考えて見る。円筒状の流路における流量Ｑは、粘性流の場合、以下のハーゲン・ポアズイユの式によって表される。いま、円筒形のノズルを仮定し、このノズルを流れる流体の流量Ｑは、次式で表される。
【０１０４】
【数１４】

【０１０５】
ここで、η：流体の粘性係数（Ｐａ・ｓ）、Ｌ：流路すなわちノズルの長さ（ｍ）、ｄ：流路すなわちノズル孔の直径（ｍ）、△Ｐ：圧力差（Ｐａ）である。上式より、流量Ｑは、流路の半径の４乗に比例するため、流量を制限するためには、微細なノズルの採用が効果的である。この（１４）式に、（１３）式で求めた吐出圧力△Ｐを代入し、次式を得る。
【０１０６】
【数１５】

【０１０７】
この式は、直径ｄ、長さＬのノズルに電圧Ｖを引加した際に、ノズルから流出する流体の流出量を表している。この様子を、図７に示す。計算にはＬ＝１０ｍｍ、η＝１（ｍＰａ・ｓ）、γ＝７２（ｍＮ／ｍ）の値を用いた。いま、ノズルの直径を先行技術の最小値５０μｍと仮定する。電圧Ｖを徐々に印加していくと、電圧Ｖ＝１０００Ｖで吐出が開始する。この電圧は、図５でも述べた吐出開始電圧に相当する。そのときのノズルからの流量がＹ軸に示されている。吐出開始電圧Ｖｃ直上で流量は急速に立ち上がっている。
【０１０８】
このモデル計算上では、電圧をＶｃより少し上で精密に制御することで微小流量が得られそうに思えるが、片対数で示される図からも予想されるように実際上それは不可能で、特に１０^−１０ｍ^３／ｓ以下、微小量の実現は困難である。また、ある径のノズルを採用した場合には、式（１１）で与えられたように、最小駆動電圧が決まってしまう。このため、先行技術のように、直径５０μｍ以上のノズルを用いる限り、１０^−１０ｍ^３／ｓ以下の微小吐出量や、１０００Ｖ以下の駆動電圧にすることは困難である。
【０１０９】
図から分かるように、直径２５μｍのノズルの場合７００Ｖ以下の駆動電圧で充分であり、直径１０μｍのノズルの場合５００Ｖ以下でも制御可能である。また、直径１μｍのノズルの場合３００Ｖ以下でも良いことが分かる。
【０１１０】
以上の考察は、連続流を考えた場合であるが、単発流とするためには、スイッチングの必要性がある。次にそれに関して述べる。
【０１１１】
静電吸引による吐出は、ノズル端部における流体の帯電が基本である。帯電の速度は誘電緩和によって決まる時定数程度と考えられる。
【０１１２】
【数１６】

【０１１３】
ここで、ε：流体の比誘電率、σ：流体の導電率（Ｓ・ｍ）である。流体の比誘電率を１０、導電率を１０^−６Ｓ／ｍを仮定すると、τ＝１．８５４×１０^−５ｓｅｃとなる。あるいは、臨界周波数をｆｃとすると、
【０１１４】
【数１７】

【０１１５】
となる。このｆｃよりも早い周波数の電界の変化に対しては、応答できず吐出は不可能になると考えられる。上記の例について見積もると、周波数としては１０ｋＨｚ程度となる。
【０１１６】
次に、ノズル壁面における表面張力の低下について考える。電極の上に絶縁体を配置し、その上に滴下した流体と電極の間に電圧を印加すると流体と絶縁体の接触面積が増す、すなわち濡れ性がよくなることが見いだされ、エレクトロウェッティング（Ｅｌｅｃｔｒｏｗｅｔｔｉｎｇ）現象と呼ばれている。この効果は、円筒形のキャピラリー形状においても成り立ち、エレクトロキャピラリー（Ｅｌｅｃｔｒｏｃｐａｐｉｌｌａｒｙ）と呼ばれることもある。エレクトロウェッティング効果による圧力と、印加電圧、キャピラリーの形状、溶液の物性値との間に以下の関係がある。
【０１１７】
【数１８】

【０１１８】
ここで、ε_０：真空の誘電率、ε，一：絶縁体の誘電率、ｔ：絶縁体の厚さ、ｄ：キャピラリーの内径である。流体として、水を考えてこの値を計算してみると、上述の特許文献１の実施例の場合を計算してみると、高々３００００Ｐａ（０．３気圧）にすぎないが、本発明の場合、ノズルの外側に電極を設けることにより３０気圧相当の効果が得られることがわかった。これにより、微細ノズルを用いた場合でもノズル先端部への流体の供給は、この効果により速やかに行われる。この効果は、絶縁体の誘電率が高いほど、またその厚さが薄いほど顕著になる。エレクトロキャピラリー効果を得るためには、厳密には絶縁体を介して電極を設置する必要があるが、十分な絶縁体に十分な電場がかかる場合、同様の効果が得られる。
【０１１９】
以上の議論において、注意すべき点は、これらの近似理論は従来のように電界強度として、ノズルに印加する電圧Ｖ_０と、ノズル−対向電極間の距離ｈで決まる電界ではなく、ノズル先端における局所的な集中電界強度に基づいている点である。また、本発明において重要なのは、局所的な強電界と、流体を供給する流路が非常に小さなコンダクタンスを持つことである。そして、流体自身が微小面積において十分に帯電することであり、帯電した微小流体は、基板などの誘電体、または導体を近づけると、鏡像力が働き基板に対し直角に飛翔することとなる。
【０１２０】
ところで、本願発明者らが見出した新しい流体吐出モデルによる静電吸引型流体吐出では、上述したように、ノズル径と駆動電圧とを共に小さくすることが可能であるが、この場合でも、流体を単発流で吐出するには、流体を充填したノズルと、ノズル先端部に対向して配置された基板との間にパルス電圧を印加し、その電気力によって液体をノズル先端から基板側に吸引し、液滴を基板上に形成する方法が採られる。
【０１２１】
この方法によれば、ノズル−基板間に印加するパルス電圧の上限電圧（上限値）を大きくすると、ノズルより吐出される流体量が多くなり、反対にパルス電圧の上限電圧を小さくすると、ノズルより吐出される流体量が小さくなる。つまり、パルス電圧の上限値を制御することで吐出量を制御することができる。
【０１２２】
しかしながら、このモデルの場合、基本的に吐出応答性はノズル内部の電極とノズル先端部との間の流体の電気抵抗Ｒと、ノズル先端部のメニスカスと基板との間の静電容量Ｃの積である時定数ＲＣで決定する。そして、電気抵抗Ｒと静電容量Ｃの要素パラメータにはノズル径（直径）ｄが含まれており、吐出応答性はこのノズル径ｄによって変化する。
【０１２３】
図８は、銀ナノペーストの吐出応答性を示すグラフである。このように、ノズル径が小さくなるにつれて時定数ＲＣが極端に大きくなため、吐出応答性が悪くなり、吐出可能な限界周波数も小さくなる。
【０１２４】
つまり、本発明の静電吸引型流体吐出では、吐出量が微量となるほど急激に吐出応答性が悪くなり、高周波数駆動が困難となるといった問題がある。もちろん、ノズル−基板間に印加するパルス電圧の上限電圧を大きくすることで、吐出応答性が上がり、高周波数駆動がある程度実現可能にはなるが、駆動電極に高電圧を印加するため高電圧ドライバが必要であり、本発明の静電吸引型流体吐出の本来のメリットであったはずのコストメリットの高い低電圧駆動ドライバを使用することが不可能となってしまう。
【０１２５】
吐出応答性をより詳細に見ると、パルス電圧の立ち上がり時の吐出開始応答性、及び立ち下り時の吐出終了応答性に分けられ、吐出応答性が低いことはつまり、上限電圧印加時間に依存する精度の高い吐出量制御が行えないといった問題でもある。
【０１２６】
また、このような電圧の立ち上がり及び立ち下り時の応答性の問題は、何もパルス電圧に限るものではなく、基板上にライン描画を行うにあたって印加される直流電圧印加時にも生じる。つまり、直流電圧印加開始時の吐出開始応答性に起因して、直流電圧印加開始タイミングに依存させた精度の高い吐出開始位置制御が行えない。同様に、直流電圧印加終了時の吐出終了応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出終了位置制御が行えない。
【０１２７】
ここで述べた問題は何れも、本発明の静電吸引型流体吐出が、従来にない微量の流体吐出が可能となり、基板上に形成されるドットの径やピッチ、ライン描画であれば線幅、ピッチ、線長が微細となったが故に生じた、新たな問題である。
【０１２８】
本実施の形態に係る静電吸引型流体吐出装置は、ノズルと基板との間の印加電圧波形を工夫することで、コストメリットの高い低電圧ドライバの使用を実現し、かつ、高周波数駆動可能で上限電圧印加時間に依存する精度の高い吐出量制御を可能とする、或いはかつ、直流電圧印加開始・終了タイミングに依存する精度の高い吐出位置制御を可能とするものである。このような静電吸引型流体吐出装置の構成について、以下に具体的に説明する。
【０１２９】
図９は、本発明の実施の一形態である静電吸引型流体吐出装置の側面断面図を示したものである。図中１は、先端に超微細径のノズル孔（吐出孔）が形成された超微細径のノズルである。超微細量の流体体吐出を実現するためには、低コンダクタンスの流路をノズル１近傍に設けるか、またはノズル１自身を低コンダクタンスのものにする必要がある。このためには、ガラス製キャピラリーが好適であるが、導電性物質に絶縁材でコーティングしたものでも可能である。
【０１３０】
ノズル孔の直径（以下、ノズル直径）の下限値は、制作上の都合から０．０ｌμｍが好ましく、また、ノズル直径の上限値は、図３に示した静電的な力が表面張力を上回る時のノズル直径の上限が２５μｍであること、および、図４に示した局所的な電界強度によって吐出条件を満たす場合のノズル直径の上限が２５μｍであることから２５μｍが好ましく、１５μｍがより好ましい。特に、局所的な電界集中効果をより効果的に利用するには、ノズル直径は０．０１〜８μｍの範囲が望ましい。
【０１３１】
ノズル１内部には、図示しない溶液源から供給路８を介して吐出すべき溶液３が供給され充填されると共に、電極２がこの溶液３に浸されるように配置されている。ノズル１は、シールドゴム４およびノズルクランプ５によりホルダー６に取り付けられている。
【０１３２】
なお、本発明によれば、ノズル先端部に於ける電界の集中効果と、対向基板に誘起される鏡像力の作用とで、先行技術のように基板を導電性にしたり、基板の背面側に対向電極を設けたりする必要はなく、基板として絶縁性のガラス基板、ポリイミドなどのプラスチック基板、セラミックス基板、半導体基板などを用いることが可能である。
【０１３３】
しかしながら、本実施の形態では、ノズル１のノズル孔の対向面側に、所定の距離離れた位置に、ノズル１のノズル孔から吐出した溶液を基板１３の表面により安定して着弾させることを目的に対向電極１４が配設され、この対向電極１４とノズル１との間に基板１３が配置されるようになっている。
【０１３４】
上記電極２と対向電極１４とは、電圧印加部９に接続されている。この電圧印加部９は、電極２に印加する電圧と対向電極１４に印加される電圧の少なくとも一方を制御して、ノズル１先端部と基板１３との間に、単発流吐出であればパルス電圧を印加し、連続流吐出であれば直流電圧を印加するようになっている。ノズル１先端部と基板１３との間に印加する電圧の極性はプラスでもマイナスでも良い。
【０１３５】
ここでまず、上記電圧印加部９による電圧印加を説明する前に、ノズル１と基板１３との間に種々の電圧を印加して、吐出応答性を調べて結果を示す。
【０１３６】
まずは、ノズル１と基板１３との間に、図１０（ａ）（ｂ）に示すパルス電圧を印加した。
【０１３７】
（ａ）（ｂ）の各パルス電圧は、上限電圧１０が共に吐出可能最低電圧３０以上の同じ電圧に設定されると共に、上限電圧１０の印加期間及び周期は同じである。両者の違いは、下限電圧２０にあり、（ｂ）は、下限電圧２０が０Ｖに設定され、（ａ）は、下限電圧２０が０Ｖより高く、吐出可能最低電圧３０未満の電圧に設定されている。
【０１３８】
上記吐出可能最低電圧３０とは、直流バイアスで流体吐出させた場合に、吐出が可能な最低電圧条件を意味しており、ノズル１先端部（ノズル孔）の流体で形成されるメニスカスの表面電位が吐出可能最低電圧３０に達した時点で吐出が開始される。例えば、ノズル先端径が２μｍの場合、吐出可能最低電圧３０は約１５０Ｖである。
【０１３９】
なお、本実施の形態では、上限電圧１０が＋極性である場合を例示するが、上述したように、上限電圧１０は−極性であってもよい。したがって、説明に用いる電圧値の高低は、０Ｖラインを基準にしてその絶対値が大小に相当する。
【０１４０】
このような波形の各パルス電圧を印加した場合における、ノズル１先端部のメニスカスの表面電位４０変化と吐出との関係を見ると、図１（ｂ）に示すパルス電圧では、下限電圧２０が０Ｖであるため、パルス電圧を印加した直後に吐出材料に通電が開始され、ノズル１先端部のメニスカスに電荷が蓄積し始め、メニスカス表面電位４０が上昇する。メニスカス表面電位４０の上昇カーブは、上限電圧１０や吐出材料の電気伝導度、ノズル１内部の流路抵抗により異なるが、基本的に飽和曲線を描く。そして、メニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０に達した時点で吐出は開始されるが、図１（ｂ）の場合、上限電圧印加時間内でメニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０には達せず、吐出は開始されない。上限電圧１０の立ち下がり後は、下限電圧２０との電位差に応じたメニスカス上での蓄積電荷の放出が始まり、メニスカス表面電位４０は減衰する。つまり、比較例では、流体吐出することなく、パルス電圧の周期に合わせてメニスカス表面電位４０の上昇、減衰が繰り返される。
【０１４１】
一方、図２（ａ）に示すパルス電圧では、下限値２０が０Ｖよりも高く設定されているため、上限電圧１０印加前に予めメニスカス上に電荷が蓄積され、メニスカス表面電位４０は、ほぼ下限電圧２０と同様の値になっている。そして、上限電圧１０の印加（立ち上がり）とともに、下限電圧２０と同様の値から、メニスカス表面電位４０の上昇が始まり、上限値印加時間内に吐出可能最低電圧３０に達する。メニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０に達した時点で流体吐出が開始し、上限電圧１０の立ち下がり後は、メニスカス表面電位４０の減衰と共に吐出は終了する。
【０１４２】
このように、予め下限電圧２０として上限電圧１０と同じ極性の同極性バイアスを印加することにより、下限電圧２０が０Ｖでは流体を吐出させることができなかった上限電圧１０の印加時間内で、メニスカス表面電位４０を吐出可能最低電圧３０にまで到達させて流体を吐出させることができ、パルス電圧の周期（上限電圧の周期）に合わせた流体吐出が可能となる。
【０１４３】
上限電圧１０立ち上がり後の流体吐出が開始されるまでの時間が短いほど、吐出開始応答性は高いので、吐出開始応答性のみを考えた場合、下限電圧２０の設定範囲は、上限電圧１０と同極性で、吐出可能最低電圧３０よりも低い範囲で、より好ましくは、該範囲内でより高い、つまり、吐出可能最低電圧３０に近いことである。
【０１４４】
図１１に、ハリマ化成（株）製の銀ナノペーストを流体とした吐出開始応答性確認実験の結果を示す（ノズル直径１２μｍ）。銀ナノペーストの電気伝導度に適合させて吐出特性を確認するため、パルス電圧の上限電圧１０を＋４５０Ｖ、上限電圧１０の印加時間を２０００μｓｅｃと設定している。この場合の吐出可能最低電圧３０は＋２００Ｖであった。
【０１４５】
図１１に示すように、パルス電圧の下限電圧２０を０Ｖから＋１５０Ｖまで増加させると、上限電圧１０を印加してから吐出が開始するまでの時間が徐々に短くなり、下限電圧２０による吐出応答性向上の効果を確認することができた。
【０１４６】
このことから、下限電圧２０を、上限電圧１０と同極性で、吐出可能最低電圧３０より小さい範囲内で設定することで吐出開始応答性を高めることができ、ひいては、駆動周波数を向上させ得ることがわかる。
【０１４７】
次に、ノズル１と基板１３との間に、図１２（ａ）（ｂ）に示すパルス電圧を印加した。
【０１４８】
（ａ）（ｂ）の各パルス電圧は、上限電圧１０が共に吐出可能最低電圧３０以上の同じ電圧に設定されると共に、上限電圧１０の印加期間及び周期は同じである。両者の違いは、下限電圧２０にあり、（ｂ）では、下限電圧２０が上限電圧１０と同極性に設定され、（ａ）では、下限電圧２０が上限電圧１０とは逆極性に設定さている。
【０１４９】
このような波形の各パルス電圧を印加した場合における、ノズル１先端部のメニスカスの表面電位４０変化と吐出との関係を見ると、図１２（ｂ）に示す比較例では、下限電圧２０が上限電圧１０と同極性であるため、上限電圧１０立ち下げ後のメニスカス表面電位４０と下限電位２０との間の電位差が小さく、上限電圧１０立ち下げ後のメニスカス表面電位４０の減衰速度が遅い。そのため、上限電圧１０立ち下げ後もメニスカス表面電位４０が吐出維持可能最低電圧５０に達するまでに時間がかかり、吐出が比較的続くこととなる。図１２（ｂ）は、その最たるものであり、下限電圧２０が非常に高いため、下限電圧２０の印加時間内にメニスカス表面電位４０が吐出維持可能最低電５０を下回ることができず、吐出はパルス信号周期（上限電圧印加周期）に合わせて切れることなく断続的に行われる。
【０１５０】
一方、図１２（ａ）に示す本実施の形態のパルス電圧では、下限電２０が上限電圧１０と逆極性に設定されているため、上限電圧立ち下げ後のメニスカス表面電位４０と下限電位２０との間の電位差が大きく、メニスカス表面電位４０の減衰速度も速くなる。そのため、メニスカス表面電位４０が減衰によって吐出維持可能最低電圧５０を下回る時期を早くすることができ、吐出の切れの良さ、つまり、吐出終了応答性を良くすることが可能である。
【０１５１】
このように、下限電圧２０を上限電圧１０の逆極性とし、上限電圧１０の立ち下がり後に逆極性バイアスを印加することにより、上限電圧１０の立ち下がり後の吐出終了を早くすることができ、吐出終了応答性を良くすることが可能である。吐出終了応答性を高めることで、吐出限界周波数を向上させることができる。
【０１５２】
上限電圧１０立ち下がり後の流体吐出が完了するまでの時間が短いほど、吐出終了応答性は高いので、吐出終了応答性のみを考えた場合、下限電圧２０の設定範囲は、上限電圧１０と逆極性でその絶対値は大きいほどよい。しかしながら、絶対値が吐出可能最低電圧３０の絶対値よりも大きくなると、上限電圧１０と下限電圧２０との印加時間の割合（デューティ比）との兼ね合いもあるが、メニスカス表面電位４０が逆極性となる恐れがあるので、吐出可能最低電圧３０の絶対値以内としておくことが望ましい。
【０１５３】
図１３に、ハリマ化成（株）製の銀ナノペーストを流体とした吐出終了応答性確認実験の結果を示す（ノズル直径１２μｍ）。銀ナノペーストの電気伝導度に適合させて吐出特性を確認するため、パルス電圧の上限電圧１０を＋４５０Ｖ、上限電圧１０の印加時間を３０００μｓｅｃと設定している。この場合、吐出可能最低電圧３０は＋２００Ｖであった。
【０１５４】
図１３に示すように、パルス電圧の下限電圧２０を０Ｖから−２００Ｖまで増加させると、上限電圧１０の立ち下がりから吐出が終了するまでの時間が徐々に短くなり、下限電圧２０を上限電圧１０の逆極性とすることによる吐出終了応答性向上の効果を確認することができた。
【０１５５】
このことから、下限電圧２０を、上限電圧１０と逆極性に設定することで吐出終了応答性を高めることができ、ひいては、駆動周波数を向上させ得ることがわかる。
【０１５６】
このようなパルス電圧の下限電圧２０の工夫による、吐出開始応答性及び吐出終了応答性の向上効果を鑑みて、本静電吸引型流体吐出装置の電圧印加部９は、以下のような電圧をノズル１と基板１３との間に印加する構成となっている。
【０１５７】
図１（ａ）に、単発流吐出の場合に、上記電圧印加部９がノズル１と基板１３との間に印加するパルス電圧の波形を示す。また、図１（ｂ）に、比較例のパルス電圧波形を示す。
【０１５８】
本実施の形態のパルス電圧と、比較例のパルス電圧とは、上限電圧１０が共に吐出可能最低電圧３０以上の同じ電圧に設定されると共に、上限電圧１０の印加期間及び周期は同じである。両者の違いは下限電圧２０にあり、比較例では下限電圧２０は０Ｖに設定されている。これに対し、本実施の形態では、下限電圧２０は２段階に分けて設定されており、吐出開始応答性を良好とすべく、上限電圧１０の立ち上がり直前に、上限電圧１０と極性が同じで吐出可能最低電圧３０未満の第１下限電圧（予備充電電圧）２０ａが設定され、吐出終了応答性を良好とすべく、上限電圧１０の立ち下り直後に、上限電圧１０の逆極性の第２下限電圧（減衰促進電圧）２０ｂが設定されている。
【０１５９】
このような波形の各パルス電圧を印加した場合における、ノズル１先端部のメニスカスの表面電位４０変化と吐出との関係を見ると、図１（ｂ）に示す比較例では、下限電圧２０が０Ｖであるため、パルス電圧を印加した直後に吐出材料に通電が開始され、ノズル１先端部のメニスカスに電荷が蓄積し始め、メニスカス表面電位４０が上昇する。メそして、メニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０に達した時点で吐出が開始され、上限電圧１０の立ち下がり後は、メニスカス表面電位４０の減衰と共に、吐出維持可能最低電圧５０を超えると吐出が終了する。
【０１６０】
一方、図１（ａ）に示す本実施の形態のパルス電圧では、まず上限電圧１０の立ち上がり直前に、吐出可能最低電圧３０に満たない程度に下限第１電圧２０ａが設定されているため、下限第１電圧値２０ａに応じた分だけメニスカス表面に電荷が蓄積され、メニスカス表面電位４０は下限第１電圧２０ａとほぼ同電位となる。そしてさらに、吐出可能最低電圧３０以上の上限電圧１０を印加すると、メニスカス表面電位４０は直ちに吐出可能最低電圧３０に到達し、吐出が開始される。吐出終了時に関しては、上限電圧１０の立ち下がり直後に、上限電圧１０と逆極性の下限第２電圧２０ａが設定されているため、上限電圧１０たち下げ後のメニスカス表面電位４０の減衰速度が速く、メニスカス表面電位４０は、直ちに吐出維持可能最低電圧５０を下回り、吐出が終了する。
【０１６１】
このような構成とすることで、上限電圧１０の立ち上がりと立ち下がりの両方で吐出応答性を向上することができ、吐出限界周波数を向上することができる。また、立ち上がりと立ち下がりの両方の応答性を向上させることで、上限電圧印加時間に依存した吐出制御を行うことができ、吐出量の時間制御を可能にする。
【０１６２】
図１４に、単発流吐出の場合に、上記電圧印加部９がノズル１と基板１３との間に印加する変形例のパルス電圧の波形を示す。図１４に示すパルス電圧と図１（ａ）のパルス電圧との違いは、上限電圧１０の立ち下がり直後の下限第２電圧２０ｂにあり、ここでは下限第２電圧２０ｂが、下限第１電圧２０ａよりも小さい、上限電圧１０の同極性電圧となっている。但し、下限第２電圧２０ｂとしては、同極性であれば、０Ｖに近づけるほど吐出終了応答性は良好となる。また、下限第２電圧２０ｂを０ボルトとしたパルス電圧であってもよい。このようにすることで、下限第２電圧２０ｂが逆極性のものに比べて、吐出終了応答性を良好にする効果は劣るが、不吐出時間をできるだけ短縮した単発流吐出が可能となり、近接ドットの形成に対して有効である。また、パルス電圧の上限電圧及び下限電圧の電位差が小さくなるため、低電圧駆動ドライバの使用が可能となる。
【０１６３】
図１５（ａ）に、連続流吐出の場合に、上記電圧印加部９がノズル１と基板１３との間に印加する直流電圧立ち上がりの波形を示す。また、図１５（ｂ）に、比較例の直流電圧立ち上がりの波形を示す。
【０１６４】
図１５（ａ）では、直流電圧１５の立ち上がり直前に、直流電圧１５と同極性で、かつ吐出可能最低電圧３０未満のバイアス電圧（予備充電電圧）２５が印加されている。これに対し、比較例の図１５（ｂ）ではバイアス電圧２５は印加されておらず、０Ｖからの立ち上がりとなっている。
【０１６５】
図１５（ｂ）では、直流電圧の立ち上がり直前のバイアス電圧２５が印加されていないため、メニスカス表面電位４０は、直流電圧１５の立ち上がり後に０ボルトから上昇が開始する。そのため、メニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０に到達して吐出が開始するまでの時間が長く、直流電圧１５印加開始と同時に吐出を開始することができない。
【０１６６】
一方、図１５（ａ）では、直流電圧１５の立ち上がり直前にバイアス電圧２５が設定されているため、予めメニスカス表面電位４０がバイアス電圧２５とほぼ同電位になるまで上昇している。したがって、直流電圧１５を印加すると、メニスカス表面電位４０が吐出可能最低電位３０に到達するまでの時間が短く、直流電圧１５印加とほぼ同時に吐出を開始することが可能である。また、この吐出開始応答性に関しては、吐出可能最低電圧３０未満の範囲内で立ち上がり直前のバイアス電圧２５が大きい、つまり吐出可能最低電圧３０に近いほど良好である。
【０１６７】
図１６（ａ）に、連続流吐出の場合に、上記電圧印加部９がノズル１と基板１３との間に印加する直流電圧立ち下がりの波形を示す。また、図１６（ｂ）に、比較例の直流電圧立ち下がりの波形を示す。
【０１６８】
図１６（ａ）では、直流電圧１５の立ち下がり直後に、直流電圧１５と逆極性のバイアス電圧（減衰促進電圧）２６が印加されている。これに対し、比較例の図１６（ｂ）ではバイアス電圧２６は印加されておらず、０Ｖへの立ち下がりとなっている。
【０１６９】
図１６（ｂ）では、直流電圧の立ち下がり直後にバイアス電圧２６が印加されておらず０Ｖへの立ち下がりであるため、メニスカス表面電位４０は直流電圧立ち下がりに、緩やかな減衰カーブを描く。そのため、メニスカス表面電位４０が吐出維持可能最低電位５０を下回り、吐出が終了するまでの時間が長く、直流電圧印加終了と同時に吐出を終了することができない。
【０１７０】
一方、図１６（ａ）では、直流電圧１５の立ち下がり直後に逆極性のバイアス電圧２６が設定されているので、直流電圧１５の立ち下がり後のメニスカス表面４０との間の電位差は図１６（ｂ）よりも大きく、メニスカス表面電位４０は直流電圧１５の立ち下がり後に、急峻な減衰カーブを描く。そのため、メニスカス表面電位４０が吐出維持可能最低電位５０を下回り、吐出が終了するまでの時間は短く、直流バイアス印加終了とほぼ同時に吐出を終了することが可能である。また、この吐出終了応答性に関しては、立ち下がり直後のバイアス電圧２６は、直流電圧１５と逆極性で、その絶対値が大きいほど良好である。しかしながら、吐出可能最低電圧３０の絶対値を超えて大きいと、バイアス電圧２６の印加時間にもよるが、逆極性側でメニスカス表面電位４０が吐出可能最低電圧３０より大きくなり、逆極性に帯電した流体が吐出される恐れがあるため、吐出可能最低電圧３０の絶対値よりも小さくしておくことが好ましい。
【０１７１】
このような構成とすることで、直流電圧１５の立ち上がりと立ち下がりの両方で吐出応答性、つまり、吐出開始応答性、吐出終了応答性を良くすることが可能であり、直流電圧１５でライン描画を行う際に、その吐出開始位置と吐出終了位置の精度を向上することが可能である。
【０１７２】
なお、本実施の形態においては、対向電極１４を備えた構成としているが、上述したように、本発明の静電吸引型流体吐出では、対向電極１４を具備することは必須ではないので、図１（ａ）に示したパルス電圧を、ノズル１内部の電極２に印加する電圧のみで発生させる構成も可能である。また、対向電極１４が接地され、電圧印加部９がノズル１内部の電極２に印加する電圧のみを制御して、図１（ａ）に示したパルス電圧を発生させる構成も可能である。
【０１７３】
また、本実施の形態では、ノズル１先端部と基板１３との間に印加されるパルス電圧の波形として、図１、図１０、図１２、図１４〜図１６に示したような矩形波を例示したが、正弦波のようなスルーレートの低い波形に対しても同様に適用される。
【０１７４】
なお、本実施の形態では、最良の実施の形態として、吐出開始応答性、吐出終了応答性が共に良好となるものを説明したが、図１０〜図１３を用いた説明よりわかるように、吐出開始応答性と、吐出終了応答性とは、各々独立したものである。
【０１７５】
最後に、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。
【０１７６】
【発明の効果】
本発明の第１の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１７７】
上記の構成によれば、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にし、対向電極を用いない構成も可能となるなどの効果を奏する。
【０１７８】
これに加えて、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されているので、パルス電圧の立ち上がり後、メニスカス表面電位は吐出条件である吐出可能最低電圧に短時間で到達して吐出が開始し、吐出開始応答性を高めることができ、ひいては、吐出限界周波数を向上させて高周波数駆動が可能となるという効果も併せて奏する。
【０１７９】
本発明の第２の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち下がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１８０】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の効果を奏する。
【０１８１】
そして、これに加えて、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち下がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されているので、パルス電圧の立ち下がり後、メニスカス表面電位は吐出を継続する条件である吐出維持可能最低電圧を短時間で下回って吐出が停止し、吐出終了応答性を高めることができ、ひいては、吐出限界周波数を向上させて高周波数駆動が可能となるという効果を合わせて奏する。
【０１８２】
本発明の第３の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１８３】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の効果を奏する。
【０１８４】
そして、これに加えて、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されているので、吐出開始応答性と吐出終了応答性を共に高めることができ、ひいては、より効果的に吐出限界周波数を向上させてさらなる高周波数駆動が可能となり、また、上限電圧印加時間に依存した吐出制御を行うことができるので、吐出量の時間制御も可能となるといった効果を併せて奏する。
【０１８５】
本発明の第４の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に上限電圧が設定されたパルス電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該パルス電圧の立ち上がり直前に、上限電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されると共に、パルス電圧の立ち上がり直後に、上限電圧と同極性で減衰促進電圧減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１８６】
この構成と上記した本発明の第３の静電吸引型流体吐出装置との違いは、吐出終了応答性を高めるための減衰促進電圧にある、第３の静電吸引型流体吐出装置では、減衰促進電圧は上限電圧とは逆極性であったが、ここでは同極性で吐出維持可能最低電圧よりも絶対値の小さい電圧としているので、減衰促進電圧が逆極性のものに比べて、吐出終了応答性を良好にする効果は劣るが、不吐出時間をできるだけ短縮した単発流吐出が可能となり、近接ドットの形成に対して有効である。また、パルス電圧の上限電圧及び下限電圧の電位差が小さくなるため、低電圧駆動ドライバの使用が可能となる。
【０１８７】
本発明の第５の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該直流電圧の印加開始直前に、該直流電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１８８】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の効果を奏する。
【０１８９】
そして、これに加えて、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該直流電圧の印加開始直前に、該直流電圧と同極性でかつ上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい予備充電電圧が設定されているので、電圧印加開始時の吐出開始応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出開始位置制御が可能となるといった効果を併せて奏する。
【０１９０】
本発明の第６の静電吸引型流体吐出装置は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出装置において、上記ノズルの吐出孔直径が０．０１〜２５μｍであると共に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加する電圧印加手段を備え、該直流電圧の印加終了直後に、該直流電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されていることを特徴としている。
【０１９１】
上記の構成においても、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、第１の静電吸引型流体吐出装置と同様の効果を奏する。
【０１９２】
そして、これに加えて、電圧印加手段が、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上に直流電圧を上記ノズルと上記基板との間に印加するにおいて、該直流電圧の印加終了直後に、該直流電圧と逆極性の減衰促進電圧が設定されているので、電圧印加終了時の吐出終了応答性に起因して、直流電圧印加終了タイミングに依存させた精度の高い吐出終了位置制御が可能となるといった効果を併せて奏する。
【０１９３】
本発明の静電吸引型流体吐出方法は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出方法において、上記ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍとし、上記ノズルと上記基板との間に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上の電圧を印加するにあたり、電圧の立ち上がり直前に、上記吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい印加電圧と同極性の予備充電電圧を印加することを特徴としている。
【０１９４】
既に説明したように、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にし、対向電極を用いない構成も可能となる上、このように、電圧の立ち上がり直前に、吐出可能最低電圧よりも絶対値の小さい印加電圧と同極性の予備充電電圧を印加しておくことで、メニスカス表面電位の予備充電が可能となり、吐出開始応答性を良好とできるといった効果を奏する。
【０１９５】
また、本発明の別の静電吸引型流体吐出方法は、以上のように、電圧印加により帯電された流体をノズルの吐出孔から静電吸引によって吐出させることで、ノズルに対向配置された基板に着弾させる静電吸引型流体吐出方法において、上記ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍとし、上記ノズルと上記基板との間に、流体の吐出が開始される電圧条件である吐出可能最低電圧以上の電圧を印加するにあたり、電圧の立ち下がり直後に、印加電圧とは逆極性の減衰促進電圧を印加することを特徴としている。
【０１９６】
既に説明したように、ノズルの吐出孔直径を０．０１〜２５μｍの微細径とすることで、駆動電圧の低下が可能となり、装置の小型化およびノズルの高密度化において極めて有利となると共に、コストメリットの高い低電圧駆動ドライバの使用をも可能にし、対向電極を用いない構成も可能となる上、このように、電圧の立ち下がり直後に、印加電圧とは逆極性の減衰促進電圧を印加することで、メニスカス表面電位の減衰を促進して流体の切れを良くして、吐出終了応答性を良好とできるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本実施の一形態の静電吸引型流体吐出装置において、ノズル−基板間に印加されるパルス電圧の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図であり、（ｂ）はその比較例のパルス電圧の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図である。
【図２】本発明の基本となる吐出モデルにおいて、ノズルの電界強度の計算を説明するための図である。
【図３】表面張力圧力および静電的圧力のノズル径依存性のモデル計算結果を示すグラフである。
【図４】吐出圧力のノズル径依存性のモデル計算結果を示すグラフである。
【図５】吐出限界電圧のノズル径依存性のモデル計算結果を示すグラフである。
【図６】荷電液滴と基板の間に働く鏡像力とノズル−基板間距離の相関を示したものである。
【図７】ノズルから流出する流量と印加電圧との相関関係のモデル計算結果を示したものである。
【図８】ノズル径と吐出応答性、吐出限界周波数の関係を説明するためのグラフである。
【図９】本発明の実施の形態の一例としての静電吸引型流体吐出装置の要部側面断面を含む説明図である。
【図１０】（ａ）（ｂ）共に、ノズル−基板間に印加するパルス電圧の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移を示す波形図である。
【図１１】ノズル−基板間に印加するパルス電圧の立ち上がり直前に印加する電圧値による吐出開始応答性確認実験の結果を示すグラフである。
【図１２】（ａ）（ｂ）共に、ノズル−基板間に印加するパルス電圧の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移を示す波形図である。
【図１３】ノズル−基板間に印加するパルス電圧の立ち下がり直後に印加する電圧値による吐出終了応答性確認実験の結果を示すグラフである。
【図１４】ノズル−基板間に印加するパルス電圧の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移を示す波形図である。
【図１５】（ａ）は、本実施の一形態の静電吸引型流体吐出装置において、ノズル−基板間に印加される直流電圧印加開始時の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図であり、（ｂ）はその比較例の直流電圧印加開始時の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図である。
【図１６】（ａ）は、本実施の一形態の静電吸引型流体吐出装置において、ノズル−基板間に印加される直流電圧印加終了時の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図であり、（ｂ）はその比較例の直流電圧印加終了時の波形と、その際のメニスカス表面電位の推移とを示す波形図である。
【図１７】静電吸引型流体吐出装置にける静電曳き糸現象による吐出流体の成長原理を示す図である。
【符号の説明】
１ ノズル
２ 電極
３ 流体
９ 電圧印加部電圧印加手段）
１３ 基板
１０ 上限電圧
２０ 下限電圧
２０ａ 下限第１電圧（予備充電電圧）
２０ｂ 下限第２電圧（減衰促進電圧）
２５ バイアス電圧（予備充電電圧）
２６ バイアス電圧（減衰促進電圧）
４０ メニスカス表面電位
５０ 吐出可能最低電圧[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electrostatic suction type fluid discharge method and apparatus for discharging a fluid onto an object such as a substrate by charging a fluid such as ink and electrostatically attracting the fluid.
[0002]
[Prior art]
In general, the fluid jet method for ejecting fluid such as ink onto an object (recording medium) includes methods such as piezo and thermal that have been put to practical use as ink jet printers. There is an electrostatic suction method in which an electric field is applied and discharged from the nozzle hole (ink discharge hole / discharge hole) of the nozzle.
Such electrostatic suction type fluid discharge devices (hereinafter referred to as electrostatic suction type fluid discharge devices) are disclosed in, for example, Patent Documents 1 and 2.
[0003]
Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses an apparatus for making a nozzle hole into a slit shape, providing a needle electrode protruding from the nozzle hole, and discharging ink containing fine particles using the needle electrode.
[0004]
Patent Document 3 discloses an apparatus in which an electrode for applying a voltage is provided in an ink chamber inside a nozzle hole.
[0005]
Here, a fluid ejection model in a conventional electrostatic suction type fluid ejection device will be described.
[0006]
As a design factor of the electrostatic suction type fluid discharge device, especially the on-demand type electrostatic suction type fluid discharge device, the conductivity of the ink liquid (for example, the specific resistance of 10 ⁶ -10 ¹¹ Ωcm), surface tension (for example, 0.020 to 0.040 N / m), viscosity (for example, 0.011 to 0.015 Pa · s), and applied voltage (electric field). As the applied voltage, the voltage applied to the nozzle and the distance between the nozzle and the counter electrode are particularly important.
[0007]
The electrostatic suction type fluid discharge device utilizes electrohydrodynamic instability, and this state is shown in FIG. When a conductive fluid is placed in a uniform electric field, the electrostatic force acting on the surface of the conductive fluid destabilizes the surface and promotes the growth of the string (electrostatic string phenomenon). The electric field at this time is an electric field E generated when a voltage V is applied between the nozzle 100 and the counter electrode 101 facing the nozzle hole 100a at the tip of the nozzle 100 with a distance h. ₀ And Growth wavelength λ at this time _c Can be physically derived (for example, Non-Patent Document 1) and is represented by the following equation.
[0008]
[Expression 1]

[0009]
Where γ: surface tension (N / m), ε ₀ : Dielectric constant of vacuum (F / m), E ₀ : Electric field strength (V / m). The nozzle diameter d (m) is λ _c If it is smaller, no growth occurs. That is,
[0010]
[Expression 2]

[0011]
However, it was a condition for discharge.
[0012]
Where E ₀ Is the electric field strength (V / m) assuming a parallel plate, the distance between the nozzle and the counter electrode is h (m), and the voltage applied to the nozzle is V ₀ As
[0013]
[Equation 3]

[0014]
Therefore, d is
[0015]
[Expression 4]

[0016]
It becomes.
[0017]
[Patent Document 1]
Japanese Examined Patent Publication No. 36-13768 (Notification Date August 18, 1965)
[0018]
[Patent Document 2]
JP 2001-88306 A (publication date April 3, 2001)
[0019]
[Patent Document 3]
JP-A-8-238774 (publication date September 17, 1996)
[0020]
[Patent Document 4]
JP 2000-127410 A (publication date May 9, 2000)
[0021]
[Non-Patent Document 1]
The Institute of Image Electronics Information, Vol. 17, No. 4, 1988, p. 185-193
[0022]
[Problems to be solved by the invention]
Regardless of the electrostatic suction type fluid ejection device, the fluid ejection device generally has a desire to reduce the diameter of the nozzle that ejects ink in order to enable finer dot formation and line formation.
[0023]
However, in a fluid ejection device such as a piezo method or a thermal method that is currently in practical use, it is difficult to eject a minute amount of fluid with a nozzle diameter smaller than, for example, 1 pl. This is because the pressure required for ejection increases as the nozzle for ejecting fluid becomes finer.
[0024]
Further, in the fluid ejection device as described above, the miniaturization of the droplets and the increase in accuracy are contradictory problems, and it has been difficult to realize both at the same time. This is due to the following reason.
[0025]
The kinetic energy imparted to the droplet discharged from the nozzle is proportional to the cube of the droplet radius. For this reason, the fine droplets discharged when the nozzle is miniaturized cannot secure sufficient kinetic energy to withstand the air resistance at the time of discharge, cannot be expected to land accurately due to disturbance due to air retention, etc. . Furthermore, as the droplet becomes finer, the effect of surface tension increases, so the vapor pressure of the droplet increases and the amount of evaporation increases. For this reason, the fine droplets cause a significant loss of mass during flight, and there is a problem that it is difficult to maintain the shape of the droplets upon landing.
[0026]
Furthermore, based on the fluid ejection model in the above-described conventional electrostatic suction type fluid ejection device, from the above equation (2), the decrease in the nozzle diameter requires an increase in the electric field strength necessary for ejection. And the electric field strength is the voltage (drive voltage) V applied to the nozzle as shown in the above equation (3). ₀ And the nozzle-counter electrode distance h, a decrease in the nozzle diameter leads to an increase in drive voltage.
[0027]
Here, since the driving voltage in the conventional electrostatic suction type fluid ejection device is as high as 1000 V or more, it is difficult to reduce the size and increase the density in consideration of leakage and interference between the nozzles. If the size is reduced, the above problem becomes larger. In addition, a high-voltage power semiconductor exceeding 1000 V is generally expensive and has low frequency response.
[0028]
The nozzle diameter disclosed in Patent Document 1 is 0.127 mm, and the nozzle diameter range disclosed in Patent Document 2 is 50 to 2000 μm, more preferably 100 to 1000 μm.
[0029]
When the nozzle diameter is calculated by applying typical operating conditions in the conventional electrostatic attraction type fluid discharge, the surface tension is 0.020 N / m, and the electric field strength is 10. ⁷ Substituting into the above equation (1) and calculating as V / m, the growth wavelength λ _c Is about 140 μm. That is, a value of 70 μm is obtained as the limit nozzle diameter. That is, 10 ⁷ Even if a strong electric field of V / m is used, if the nozzle diameter is about 70 μm or less, ink growth does not occur and electrostatic attraction does not occur unless measures such as applying a back pressure to forcibly form a meniscus are taken. It was thought that mold fluid discharge was not established. That is, it has been considered that miniaturized nozzles and driving voltage reduction are incompatible problems.
[0030]
As described above, in the conventional fluid ejection device, miniaturization and high accuracy of the nozzles are contradictory problems, and it is difficult to realize both at the same time. In particular, in the electrostatic suction type fluid discharge device, it has been considered that miniaturization of the nozzle and lowering of the driving voltage are incompatible.
[0031]
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to realize miniaturization of the nozzle, high precision of the discharge and landing positions of the micro fluid, and further reduction of the driving voltage. Another object of the present invention is to provide an electrostatic suction type fluid discharge device.
[0032]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, a first electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges a fluid charged by applying a voltage from a discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, and is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid ejection device for landing on the formed substrate, the ejection hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is higher than the minimum ejectable voltage which is a voltage condition for starting fluid ejection. Is provided with a voltage applying means for applying a pulse voltage set to between the nozzle and the substrate, and has the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage immediately before the rise of the pulse voltage. A precharge voltage is set.
[0033]
According to said structure, a local electric field generate | occur | produces according to the new discharge model which this inventor proposes by making the discharge hole diameter of a nozzle into a fine diameter of 0.01-25 micrometers, and by making a fine nozzle It is possible to reduce the driving voltage during ejection. Such a decrease in driving voltage is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzles. Of course, by reducing the driving voltage, it is possible to use a low-voltage driving driver with high cost merit.
[0034]
Further, in the above discharge model, the electric field strength necessary for the discharge depends on the local concentrated electric field strength, so that the presence of the counter electrode is not essential. That is, it is possible to perform printing on an insulating substrate or the like without requiring a counter electrode, and the degree of freedom of the device configuration is increased. Further, it is possible to perform printing on a thick insulator.
[0035]
However, the miniaturization of nozzles as described above has a problem that, as the discharge amount becomes smaller, the discharge responsiveness deteriorates rapidly and high-frequency driving becomes difficult. Of course, the problem is that by increasing the upper limit voltage of the pulse voltage applied between the nozzle and the substrate, the ejection response is improved and high frequency driving can be realized to some extent, but a high voltage is applied to the drive electrode. Therefore, a high-voltage driver is necessary, and it becomes impossible to use a low-voltage drive driver with high cost merit, which should have been an original merit of a fine nozzle.
[0036]
Looking at the discharge response in more detail, it is divided into the discharge start response at the rise of the pulse voltage and the discharge end response at the fall. The low discharge response depends on the upper limit voltage application time. There is also a problem that the discharge amount control with high accuracy cannot be performed.
[0037]
On the other hand, in the above configuration, the voltage applying means applies a pulse voltage, in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid, between the nozzle and the substrate. Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. The battery is charged.
[0038]
Therefore, after the rise of the pulse voltage, the meniscus surface potential reaches the minimum dischargeable voltage, which is the discharge condition, in a short time, and discharge starts to improve the discharge start response, thereby improving the discharge limit frequency. High frequency drive is possible.
[0039]
In order to solve the above-mentioned problem, the second electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by the voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction so as to face the nozzle. In the electrostatic suction type fluid ejection device for landing on the formed substrate, the ejection hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is higher than the minimum ejectable voltage which is a voltage condition for starting fluid ejection. Is provided with voltage applying means for applying a set pulse voltage between the nozzle and the substrate, and immediately after the fall of the pulse voltage, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to the upper limit voltage is set. It is said.
[0040]
Even in the above configuration, by setting the nozzle discharge hole diameter to a fine diameter of 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, The same effect as the above-described first electrostatic attraction type fluid ejection device of the present invention such as enabling the use of a low voltage driving driver with high cost merit is achieved.
[0041]
And in the said structure, in the voltage application means, the pulse voltage by which the upper limit voltage was set more than the minimum dischargeable voltage which is a voltage condition by which the discharge of a fluid is started is applied between the said nozzle and the said board | substrate, Immediately after the fall of the pulse voltage, an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to that of the upper limit voltage is set, so that the meniscus surface potential abruptly decays after the pulse voltage falls.
[0042]
Therefore, after the fall of the pulse voltage, the meniscus surface potential falls below the minimum discharge sustainable voltage, which is the condition for continuing discharge, and the discharge is stopped in a short time, so that the discharge end response can be improved. High frequency driving is possible by improving the frequency.
[0043]
In order to solve the above-mentioned problem, the third electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention is arranged so as to face the nozzle by discharging the electrostatically charged fluid from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction. In the electrostatic suction type flow discharge device for landing on the formed substrate, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid. Is provided with a voltage applying means for applying a pulse voltage set to between the nozzle and the substrate, and has the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage immediately before the rise of the pulse voltage. A precharge voltage is set, and immediately after the rise of the pulse voltage, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to the upper limit voltage is set.
[0044]
Even in the above configuration, by setting the nozzle discharge hole diameter to a fine diameter of 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, The same effect as the above-described first electrostatic attraction type fluid ejection device of the present invention such as enabling the use of a low voltage driving driver with high cost merit is achieved.
[0045]
And in the said structure, in the voltage application means, the pulse voltage by which the upper limit voltage was set more than the minimum dischargeable voltage which is a voltage condition by which the discharge of a fluid is started is applied between the said nozzle and the said board | substrate, Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set, and immediately after the rise of the pulse voltage, attenuation of the reverse polarity from the upper limit voltage is promoted. The voltage is set.
[0046]
Therefore, as described above, both the discharge start responsiveness and the discharge end responsiveness can be improved. As a result, the discharge limit frequency can be improved more effectively, enabling further high frequency driving, and the upper limit voltage application time. Therefore, it is possible to perform time control of the discharge amount.
[0047]
In order to solve the above-described problems, a fourth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges a fluid charged by voltage application from a discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, and is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid ejection device for landing on the formed substrate, the ejection hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is higher than the minimum ejectable voltage which is a voltage condition for starting fluid ejection. Is provided with a voltage applying means for applying a pulse voltage set to between the nozzle and the substrate, and has the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage immediately before the rise of the pulse voltage. The precharge voltage is set, and immediately after the rise of the pulse voltage, the decay acceleration voltage decay acceleration voltage is set with the same polarity as the upper limit voltage.
[0048]
The difference between this configuration and the above-described third electrostatic suction type fluid ejection device of the present invention is that the third electrostatic suction type fluid ejection device has an attenuation accelerating voltage for enhancing the discharge end responsiveness. The accelerating voltage has a polarity opposite to that of the upper limit voltage. Here, the accelerating voltage has the same polarity and a smaller absolute value than the lowest discharge sustainable voltage.
[0049]
By doing so, the effect of improving the discharge end responsiveness is inferior to that of the reverse-acceleration accelerating voltage, but it becomes possible to perform single-current discharge with the non-discharge time shortened as much as possible, and the formation of adjacent dots It is effective against. In addition, since the potential difference between the upper limit voltage and the lower limit voltage of the pulse voltage becomes small, a low voltage driver can be used.
[0050]
In order to solve the above-mentioned problem, the fifth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention is disposed opposite to the nozzle by discharging the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction. In the electrostatic suction type fluid discharge device for landing on the substrate, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and a DC voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid A voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate is provided, and immediately before the start of application of the DC voltage, a precharge voltage having the same polarity as the DC voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. It is characterized by being.
[0051]
Even in the above configuration, by setting the nozzle discharge hole diameter to a fine diameter of 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, The same effect as the above-described first electrostatic attraction type fluid ejection device of the present invention such as enabling the use of a low voltage driving driver with high cost merit is achieved.
[0052]
In the above configuration, when the voltage application means applies a DC voltage between the nozzle and the substrate above the minimum dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of the fluid, the application of the DC voltage is started. Immediately before, a precharge voltage having the same polarity as the DC voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set, so that the DC voltage application ends due to the discharge start response at the start of voltage application. Accurate discharge start position control depending on the timing becomes possible.
[0053]
That is, the above-described problem of responsiveness at the rise and fall of the voltage is not limited to the pulse voltage, but also occurs when a DC voltage is applied when performing line drawing on the substrate. Therefore, due to the discharge start responsiveness at the start of DC voltage application, high-precision discharge start position control dependent on the DC voltage application start timing could not be performed. In addition, it is possible to control the discharge start position with high accuracy.
[0054]
In order to solve the above problems, a sixth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention is disposed opposite to the nozzle by discharging the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction. In the electrostatic suction type fluid discharge device for landing on the substrate, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and a DC voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid A voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate is provided, and immediately after the application of the DC voltage is completed, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to that of the DC voltage is set.
[0055]
Even in the above configuration, by setting the nozzle discharge hole diameter to a fine diameter of 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, The same effect as the above-described first electrostatic attraction type fluid ejection device of the present invention such as enabling the use of a low voltage driving driver with high cost merit is achieved.
[0056]
In the above configuration, when the voltage application means applies a DC voltage between the nozzle and the substrate above the lowest dischargeable voltage that is a voltage condition for starting the discharge of the fluid, the application of the DC voltage is completed. Immediately after that, an attenuation acceleration voltage having a polarity opposite to that of the DC voltage is set, so that the discharge end position control with high accuracy depending on the DC voltage application end timing due to the discharge end response at the end of voltage application. Is possible.
[0057]
As with the application start position control, when performing line drawing on the substrate, the discharge end position control with high accuracy depending on the DC voltage application end timing can be performed due to the discharge end response at the end of the DC voltage application. However, this enables highly accurate discharge end position control depending on the DC voltage application end timing.
[0058]
In the second, third, and sixth electrostatic suction type fluid discharge devices of the present invention, it is more preferable that the absolute value of the attenuation promotion voltage is smaller than the lowest dischargeable voltage.
[0059]
This is because if the acceleration promoting voltage is larger than the absolute value of the minimum dischargeable voltage, the meniscus surface potential is less than the minimum dischargeable voltage on the reverse polarity side, although it depends on the period of application of the attenuation promotion voltage such as the period of the pulse voltage. This is because there is a possibility that a fluid charged to a reverse polarity will be discharged. By making it smaller than the absolute value of the lowest dischargeable voltage, the meniscus surface potential does not become reverse polarity.
[0060]
In order to solve the above-described problem, the electrostatic suction type fluid discharge method of the present invention discharges a fluid charged by applying a voltage from a discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid discharge method for landing, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the minimum dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid between the nozzle and the substrate In applying the above voltage, a precharge voltage having the same polarity as the applied voltage having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is applied immediately before the voltage rises.
[0061]
As already described, by making the nozzle discharge hole diameter as small as 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, A low-voltage drive driver with high cost merit can be used, and a configuration without using a counter electrode is also possible.
[0062]
In addition, by applying a precharge voltage with the same polarity as the applied voltage whose absolute value is smaller than the lowest dischargeable voltage immediately before the voltage rises, it becomes possible to precharge the meniscus surface potential, and the discharge start response Can be good.
[0063]
Further, another electrostatic suction type fluid discharge method of the present invention is arranged so as to face the nozzle by discharging the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction in order to solve the above problem. In the electrostatic suction type fluid discharge method for landing on the substrate, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the voltage condition is such that the discharge of fluid is started between the nozzle and the substrate. When applying a voltage higher than the lowest dischargeable voltage, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to the applied voltage is applied immediately after the voltage falls.
[0064]
As already described, by making the nozzle discharge hole diameter as small as 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, A low-voltage drive driver with high cost merit can be used, and a configuration without using a counter electrode is also possible.
[0065]
In addition, immediately after the fall of the voltage, by applying an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to that of the applied voltage, the meniscus surface potential is attenuated, the fluid is cut off, and the discharge end responsiveness is improved. it can.
[0066]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 16 as follows.
[0067]
The electrostatic suction type fluid ejection device according to the present embodiment has a nozzle diameter of 0.01 μm to 25 μm, and enables fluid ejection control with a drive voltage of 1000 V or less.
[0068]
Here, in the conventional fluid ejection model, a decrease in the nozzle diameter leads to an increase in the driving voltage. Therefore, at a nozzle diameter of 50 μm or less, 1000 V or less unless other measures such as applying a back pressure to the ejected ink are performed. It was considered impossible to eject ink at a driving voltage of. However, as a result of intensive studies, the present inventors have found that a discharge phenomenon occurs in a discharge model different from a conventional fluid discharge model below a certain nozzle diameter. The present invention has been made based on new knowledge in this fluid ejection model.
[0069]
First, the fluid ejection model discovered by the present inventors will be described.
[0070]
It is assumed that a conductive fluid is injected into a nozzle having a diameter d (in the following description, refers to the inner diameter of the nozzle unless otherwise specified), and is positioned perpendicular to the height h from the infinite plate conductor. This is shown in FIG. At this time, it is assumed that the charge Q induced in the nozzle tip (nozzle hole) is concentrated in the hemisphere formed by the fluid at the nozzle tip, and is approximately expressed by the following equation.
[0071]
[Equation 5]

[0072]
Where Q: charge (C) induced at the nozzle tip, ε ₀ : Dielectric constant of vacuum (F / m), d: nozzle diameter (m), V ₀ : Total voltage applied to the nozzle. Α is a proportionality constant depending on the nozzle shape and takes a value of about 1 to 1.5. Particularly, d << h (h: distance between nozzle (more precisely, nozzle hole) and substrate (m )) Is almost 1.
[0073]
Further, when a conductive substrate is used as the substrate, it is considered that a mirror image charge Q ′ having a polarity opposite to that of the charge Q is induced at a symmetrical position in the substrate facing the nozzle. When the substrate is an insulator, a video charge Q ′ having a polarity opposite to that of the charge Q is similarly induced at a symmetrical position determined by the dielectric constant.
[0074]
Concentrated electric field strength E at the nozzle tip _loc Assuming that the radius of curvature of the tip is R,
[0075]
[Formula 6]

[0076]
Given in. Here, k is a proportionality constant depending on the nozzle shape and the like, and takes a value of about 1.5 to 8.5, but is considered to be about 5 in many cases (PJ Birdsey and DA). Smith, Surface Science, 23 (1970), p. 198-210). Also, here, R = d / 2 is assumed to simplify the fluid ejection model. This corresponds to a state in which the fluid rises in a hemispherical shape having the same curvature diameter as the nozzle diameter d due to surface tension at the nozzle tip.
[0077]
Consider the balance of pressure acting on the fluid at the nozzle tip. First, the electrostatic pressure P _e If the liquid area at the nozzle tip is S,
[0078]
[Expression 7]

[0079]
It becomes. From the equations (5) to (7), the pressure P _e Where α = 1
[0080]
[Equation 8]

[0081]
It is expressed.
[0082]
On the other hand, the pressure P due to the surface tension of the fluid at the nozzle tip _s Then,
[0083]
[Equation 9]

[0084]
It becomes. Where γ is the surface tension. The condition under which discharge is caused by an electrostatic force is that the electrostatic force exceeds the surface tension. _e And pressure P due to surface tension _s The relationship with
[0085]
[Expression 10]

[0086]
It becomes.
[0087]
FIG. 3 shows the pressure P due to the surface tension when a nozzle having a certain diameter d is given. _s And electrostatic pressure P _e Shows the relationship. As the surface tension of the fluid, it is assumed that the fluid is water (γ = 72 mN / m). When the voltage applied to the nozzle is 700 V, the electrostatic pressure P is obtained when the nozzle diameter d is 25 μm. _e Pressure P due to surface tension _s It is suggested to exceed. From this, V ₀ And the relationship between d and d
[0088]
## EQU11 ##

[0089]
Gives the lowest discharge voltage.
[0090]
The discharge pressure ΔP at that time is
[0091]
[Expression 12]

[0092]
Than,
[0093]
[Formula 13]

[0094]
It becomes.
[0095]
FIG. 4 shows the dependency of the discharge pressure ΔP when the discharge condition is satisfied by the local electric field intensity for a nozzle of a certain diameter d, and the dependency of the discharge critical voltage (that is, the lowest voltage at which discharge occurs) Vc. As shown in FIG.
[0096]
From FIG. 4, when the discharge condition is satisfied by the local electric field strength (V ₀ = 700 V, assuming that γ = 72 mN / m), it can be seen that the upper limit of the nozzle diameter is 25 μm.
[0097]
In the calculation of FIG. 5, water (γ = 72 mN / m) and an organic solvent (γ = 20 mN / m) are assumed as fluids, and a condition of k = 5 is assumed. From this figure, it is clear that the discharge critical voltage Vc decreases as the nozzle diameter decreases in consideration of the concentration effect of the electric field due to the fine nozzle. When the fluid is water and the nozzle diameter is 25 μm, the discharge critical voltage is It can be seen that Vc is about 700V.
[0098]
The concept of the electric field in the conventional discharge model, that is, the voltage V applied to the nozzle ₀ When only the electric field defined by the nozzle-counter electrode distance h is considered, the drive voltage required for ejection increases as the nozzle diameter becomes smaller.
[0099]
On the other hand, if attention is paid to the local electric field strength as in the new ejection model proposed by the inventors of the present application, the drive voltage in ejection can be reduced by making the nozzle finer. Such a decrease in driving voltage is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzles. Of course, by reducing the driving voltage, it is possible to use a low-voltage driving driver with high cost merit.
[0100]
Further, in the above discharge model, the electric field strength necessary for the discharge depends on the local concentrated electric field strength, so that the presence of the counter electrode is not essential. That is, in the conventional discharge model, since an electric field is applied between the nozzle and the substrate, it is necessary to dispose a counter electrode on the side opposite to the nozzle with respect to the insulating substrate, or to make the substrate conductive. . When the counter electrode is arranged, that is, when the substrate is an insulator, there is a limit to the thickness of the substrate that can be used.
[0101]
On the other hand, in the ejection model of the present invention, it is possible to perform printing on an insulating substrate or the like without requiring a counter electrode, and the degree of freedom of the apparatus configuration is increased. Further, it is possible to perform printing on a thick insulator.
[0102]
FIG. 6 shows the correlation between the magnitude of the image force acting between the substrate and the distance h from the substrate. As is apparent from the figure, this image force becomes more prominent as the distance between the substrate and the nozzle becomes closer, and particularly when h is 20 μm or less.
[0103]
Next, consider precise control of the discharge flow rate. The flow rate Q in the cylindrical channel is expressed by the following Hagen-Poiseuille equation in the case of a viscous flow. Now, assuming a cylindrical nozzle, the flow rate Q of the fluid flowing through this nozzle is expressed by the following equation.
[0104]
[Expression 14]

[0105]
Where η: fluid viscosity coefficient (Pa · s), L: flow path or nozzle length (m), d: flow path or nozzle hole diameter (m), ΔP: pressure difference (Pa) is there. From the above equation, since the flow rate Q is proportional to the fourth power of the radius of the flow path, it is effective to employ a fine nozzle to limit the flow rate. By substituting the discharge pressure ΔP obtained by the equation (13) into the equation (14), the following equation is obtained.
[0106]
[Expression 15]

[0107]
This expression represents the outflow amount of the fluid flowing out from the nozzle when the voltage V is applied to the nozzle having the diameter d and the length L. This is shown in FIG. For the calculation, values of L = 10 mm, η = 1 (mPa · s), and γ = 72 (mN / m) were used. Now, the nozzle diameter is assumed to be 50 μm, which is the minimum value of the prior art. When the voltage V is gradually applied, ejection starts at the voltage V = 1000V. This voltage corresponds to the discharge start voltage described in FIG. The flow rate from the nozzle at that time is shown on the Y axis. The flow rate rises rapidly just above the discharge start voltage Vc.
[0108]
In this model calculation, it seems that a minute flow rate is likely to be obtained by precisely controlling the voltage slightly above Vc, but this is actually impossible as expected from the semi-logarithmic diagram. 10 ^-10 m ³ / S or less, it is difficult to realize a minute amount. Further, when a nozzle having a certain diameter is employed, the minimum drive voltage is determined as given by the equation (11). Therefore, as long as a nozzle having a diameter of 50 μm or more is used as in the prior art, 10 ^-10 m ³ It is difficult to achieve a minute discharge amount of / s or less or a drive voltage of 1000 V or less.
[0109]
As can be seen from the figure, a drive voltage of 700 V or less is sufficient for a nozzle with a diameter of 25 μm, and control is possible even with a nozzle of 10 μm in diameter of 500 V or less. In addition, it can be seen that a nozzle of 1 μm in diameter may be 300 V or less.
[0110]
Although the above consideration is a case where a continuous flow is considered, there is a need for switching to achieve a single flow. Next, I will talk about it.
[0111]
Discharging by electrostatic suction is based on charging of fluid at the nozzle end. The charging speed is considered to be about a time constant determined by dielectric relaxation.
[0112]
[Expression 16]

[0113]
Here, ε is the relative dielectric constant of the fluid, and σ is the electrical conductivity of the fluid (S · m). The relative permittivity of the fluid is 10 and the conductivity is 10 ^-6 Assuming S / m, τ = 1.854 × 10 ^-5 sec. Alternatively, if the critical frequency is fc,
[0114]
[Expression 17]

[0115]
It becomes. It is considered that ejection cannot be performed because it cannot respond to a change in the electric field having a frequency faster than fc. When the above example is estimated, the frequency is about 10 kHz.
[0116]
Next, a decrease in surface tension on the nozzle wall surface will be considered. It is found that when an insulator is placed on an electrode and a voltage is applied between the fluid dropped on the electrode and the electrode, the contact area between the fluid and the insulator increases, that is, the wettability is improved, and electrowetting is improved. ) It is called a phenomenon. This effect is also realized in a cylindrical capillary shape, and is sometimes referred to as an electrocapillary. There is the following relationship between the pressure due to the electrowetting effect and the applied voltage, the shape of the capillary, and the physical properties of the solution.
[0117]
[Expression 18]

[0118]
Where ε ₀ : Dielectric constant of vacuum, ε, one: dielectric constant of insulator, t: thickness of insulator, d: inner diameter of capillary. When this value is calculated by considering water as the fluid, it is only 30000 Pa (0.3 atm) at the most in the case of the above-described embodiment of Patent Document 1, but in the case of the present invention. It was found that an effect equivalent to 30 atm can be obtained by providing an electrode outside the nozzle. As a result, even when a fine nozzle is used, the fluid is quickly supplied to the nozzle tip due to this effect. This effect becomes more prominent as the dielectric constant of the insulator is higher and as its thickness is thinner. Strictly speaking, in order to obtain the electrocapillary effect, it is necessary to install an electrode through an insulator, but the same effect can be obtained when a sufficient electric field is applied to a sufficient insulator.
[0119]
In the above discussion, it should be noted that these approximate theories are based on the voltage V applied to the nozzle as the electric field strength as in the past. ₀ And not based on the electric field determined by the distance h between the nozzle and the counter electrode, but based on the local concentrated electric field strength at the nozzle tip. Also, in the present invention, it is important that the local strong electric field and the flow path for supplying the fluid have a very small conductance. Then, the fluid itself is sufficiently charged in a small area, and when the charged microfluid is brought close to a dielectric such as a substrate or a conductor, the mirror image force acts and flies at right angles to the substrate.
[0120]
By the way, in the electrostatic suction type fluid discharge based on the new fluid discharge model found by the present inventors, it is possible to reduce both the nozzle diameter and the drive voltage as described above. To discharge in a single flow, a pulse voltage is applied between the nozzle filled with fluid and the substrate placed opposite the nozzle tip, and the electric force sucks the liquid from the nozzle tip toward the substrate. A method of forming droplets on the substrate is employed.
[0121]
According to this method, when the upper limit voltage (upper limit value) of the pulse voltage applied between the nozzle and the substrate is increased, the amount of fluid discharged from the nozzle is increased. The amount of fluid discharged becomes small. That is, the discharge amount can be controlled by controlling the upper limit value of the pulse voltage.
[0122]
However, in the case of this model, the discharge response is basically the product of the electrical resistance R of the fluid between the electrode inside the nozzle and the nozzle tip, and the capacitance C between the meniscus at the nozzle tip and the substrate. The time constant RC is determined. The element parameters of the electric resistance R and the capacitance C include the nozzle diameter (diameter) d, and the ejection response changes depending on the nozzle diameter d.
[0123]
FIG. 8 is a graph showing the discharge response of the silver nanopaste. As described above, since the time constant RC becomes extremely large as the nozzle diameter decreases, the discharge responsiveness deteriorates and the limit frequency at which discharge is possible also decreases.
[0124]
That is, in the electrostatic suction type fluid discharge of the present invention, there is a problem that the discharge responsiveness rapidly deteriorates as the discharge amount becomes small, and high frequency driving becomes difficult. Of course, by increasing the upper limit voltage of the pulse voltage applied between the nozzle and the substrate, the ejection responsiveness is improved and high frequency driving can be realized to some extent. However, a high voltage driver is applied to apply a high voltage to the driving electrode. Therefore, it becomes impossible to use a low-voltage drive driver with high cost merit that should have been the original merit of the electrostatic suction type fluid discharge of the present invention.
[0125]
Looking at the discharge response in more detail, it is divided into the discharge start response at the rise of the pulse voltage and the discharge end response at the fall. The low discharge response depends on the upper limit voltage application time. There is also a problem that the discharge amount control with high accuracy cannot be performed.
[0126]
In addition, the problem of responsiveness at the time of rising and falling of the voltage is not limited to the pulse voltage, but also occurs when a DC voltage applied when performing line drawing on the substrate is applied. That is, due to the discharge start response at the start of DC voltage application, it is not possible to perform discharge start position control with high accuracy depending on the DC voltage application start timing. Similarly, due to the discharge end responsiveness at the end of the DC voltage application, the discharge end position control with high accuracy depending on the DC voltage application end timing cannot be performed.
[0127]
Any of the problems described here can discharge a very small amount of fluid by the electrostatic suction type fluid discharge according to the present invention, and the line width if the diameter and pitch of dots formed on the substrate and line drawing are used. This is a new problem caused by the fine pitch and line length.
[0128]
The electrostatic suction type fluid ejection device according to the present embodiment can use a low-voltage driver with high cost merit by devising an applied voltage waveform between the nozzle and the substrate, and can be driven at a high frequency. Thus, it is possible to control the discharge amount with high accuracy depending on the application time of the upper limit voltage or to control discharge position with high accuracy depending on the start / end timing of DC voltage application. The configuration of such an electrostatic suction type fluid discharge device will be specifically described below.
[0129]
FIG. 9 shows a side cross-sectional view of an electrostatic suction type fluid discharge device according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes an ultrafine nozzle having an ultrafine nozzle hole (discharge hole) formed at the tip. In order to realize discharge of an ultrafine fluid, it is necessary to provide a low-conductance flow path in the vicinity of the nozzle 1 or to make the nozzle 1 itself have a low conductance. For this purpose, a glass capillary is suitable, but a conductive substance coated with an insulating material is also possible.
[0130]
The lower limit of the nozzle hole diameter (hereinafter referred to as the nozzle diameter) is preferably 0.0 l μm for the convenience of production, and the upper limit of the nozzle diameter is such that the electrostatic force shown in FIG. 3 exceeds the surface tension. The upper limit of the nozzle diameter at that time is 25 μm, and the upper limit of the nozzle diameter when the discharge condition is satisfied by the local electric field strength shown in FIG. 4 is 25 μm, preferably 25 μm, and more preferably 15 μm. In particular, in order to more effectively use the local electric field concentration effect, the nozzle diameter is desirably in the range of 0.01 to 8 μm.
[0131]
Inside the nozzle 1, a solution 3 to be discharged from a solution source (not shown) is supplied and filled, and the electrode 2 is disposed so as to be immersed in the solution 3. The nozzle 1 is attached to the holder 6 by a shield rubber 4 and a nozzle clamp 5.
[0132]
According to the present invention, the electric field concentration effect at the nozzle tip and the action of the image force induced on the counter substrate make the substrate conductive as in the prior art, or on the back side of the substrate. There is no need to provide a counter electrode, and an insulating glass substrate, a plastic substrate such as polyimide, a ceramic substrate, a semiconductor substrate, or the like can be used as the substrate.
[0133]
However, in the present embodiment, an object is to stably land the solution discharged from the nozzle hole of the nozzle 1 on the surface of the substrate 13 at a position away from the nozzle hole of the nozzle 1 by a predetermined distance. A counter electrode 14 is disposed on the substrate 13, and a substrate 13 is disposed between the counter electrode 14 and the nozzle 1.
[0134]
The electrode 2 and the counter electrode 14 are connected to the voltage application unit 9. The voltage application unit 9 controls at least one of a voltage applied to the electrode 2 and a voltage applied to the counter electrode 14, and a pulse voltage is applied between the tip of the nozzle 1 and the substrate 13 for single discharge. If a continuous flow discharge is applied, a DC voltage is applied. The polarity of the voltage applied between the tip of the nozzle 1 and the substrate 13 may be positive or negative.
[0135]
Here, before describing the voltage application by the voltage application unit 9, various voltages are applied between the nozzle 1 and the substrate 13, and the discharge response is examined to show the results.
[0136]
First, a pulse voltage shown in FIGS. 10A and 10B was applied between the nozzle 1 and the substrate 13.
[0137]
Each pulse voltage of (a) and (b) is set to the same voltage in which the upper limit voltage 10 is equal to or higher than the lowest dischargeable voltage 30 and the application period and period of the upper limit voltage 10 are the same. The difference between the two is in the lower limit voltage 20. In (b), the lower limit voltage 20 is set to 0 V, and in (a), the lower limit voltage 20 is higher than 0 V and set to a voltage lower than the lowest dischargeable voltage 30. Yes.
[0138]
The minimum dischargeable voltage 30 means a minimum voltage condition that allows discharge when fluid is discharged with a DC bias, and the surface potential of the meniscus formed by the fluid at the tip of the nozzle 1 (nozzle hole). The discharge is started when the dischargeable minimum voltage 30 is reached. For example, when the nozzle tip diameter is 2 μm, the lowest dischargeable voltage 30 is about 150V.
[0139]
In addition, in this Embodiment, although the case where the upper limit voltage 10 is + polarity is illustrated, as above-mentioned, the upper limit voltage 10 may be-polarity. Therefore, the magnitude of the voltage value used in the description corresponds to the magnitude of the absolute value with respect to the 0V line.
[0140]
When the relationship between the change in the surface potential 40 of the meniscus at the tip of the nozzle 1 and the ejection when each pulse voltage having such a waveform is applied, the lower limit voltage 20 is 0 V in the pulse voltage shown in FIG. Therefore, immediately after the pulse voltage is applied, energization is started in the discharge material, electric charges start to accumulate in the meniscus at the tip of the nozzle 1, and the meniscus surface potential 40 rises. The rising curve of the meniscus surface potential 40 differs depending on the upper limit voltage 10, the electrical conductivity of the discharge material, and the flow path resistance inside the nozzle 1, but basically shows a saturation curve. Discharge is started when the meniscus surface potential 40 reaches the minimum dischargeable voltage 30, but in the case of FIG. 1B, the meniscus surface potential 40 reaches the minimum dischargeable voltage 30 within the upper limit voltage application time. It does not reach and discharge is not started. After the upper limit voltage 10 falls, the discharge of the accumulated charge on the meniscus corresponding to the potential difference from the lower limit voltage 20 starts, and the meniscus surface potential 40 attenuates. That is, in the comparative example, the meniscus surface potential 40 is repeatedly increased and attenuated in accordance with the period of the pulse voltage without discharging the fluid.
[0141]
On the other hand, in the pulse voltage shown in FIG. 2A, since the lower limit value 20 is set higher than 0V, charges are accumulated on the meniscus in advance before the upper limit voltage 10 is applied, and the meniscus surface potential 40 is almost equal to the lower limit. The value is the same as the voltage 20. As the upper limit voltage 10 is applied (rise), the meniscus surface potential 40 starts to rise from the same value as the lower limit voltage 20, and reaches the lowest dischargeable voltage 30 within the upper limit value application time. Fluid discharge starts when the meniscus surface potential 40 reaches the minimum dischargeable voltage 30, and after the upper limit voltage 10 falls, the discharge ends with the attenuation of the meniscus surface potential 40.
[0142]
Thus, by applying the same polarity bias having the same polarity as the upper limit voltage 10 as the lower limit voltage 20 in advance, the meniscus can be applied within the application time of the upper limit voltage 10 where the fluid could not be discharged when the lower limit voltage 20 was 0V. The surface potential 40 can reach the lowest dischargeable voltage 30 to discharge the fluid, and fluid discharge can be performed in accordance with the cycle of the pulse voltage (cycle of the upper limit voltage).
[0143]
The shorter the time until fluid discharge is started after the upper limit voltage 10 rises, the higher the discharge start response. Therefore, when considering only the discharge start response, the setting range of the lower limit voltage 20 is the same as the upper limit voltage 10. The polarity is in a range lower than the lowest dischargeable voltage 30, more preferably higher in the range, that is, closer to the lowest dischargeable voltage 30.
[0144]
FIG. 11 shows the results of a discharge start response confirmation experiment using silver nanopaste manufactured by Harima Kasei Co., Ltd. (nozzle diameter 12 μm). In order to confirm the ejection characteristics in conformity with the electric conductivity of the silver nanopaste, the upper limit voltage 10 of the pulse voltage is set to +450 V, and the application time of the upper limit voltage 10 is set to 2000 μsec. In this case, the lowest dischargeable voltage 30 was + 200V.
[0145]
As shown in FIG. 11, when the lower limit voltage 20 of the pulse voltage is increased from 0 V to +150 V, the time from the application of the upper limit voltage 10 to the start of discharge gradually decreases, and the discharge response due to the lower limit voltage 20 The improvement effect could be confirmed.
[0146]
Therefore, by setting the lower limit voltage 20 within the range of the same polarity as the upper limit voltage 10 and smaller than the lowest dischargeable voltage 30, the discharge start response can be improved, and the drive frequency can be improved. I understand.
[0147]
Next, a pulse voltage shown in FIGS. 12A and 12B was applied between the nozzle 1 and the substrate 13.
[0148]
Each pulse voltage of (a) and (b) is set to the same voltage in which the upper limit voltage 10 is equal to or higher than the lowest dischargeable voltage 30 and the application period and period of the upper limit voltage 10 are the same. The difference between the two is in the lower limit voltage 20. In (b), the lower limit voltage 20 is set to the same polarity as the upper limit voltage 10, and in (a), the lower limit voltage 20 is set to the opposite polarity to the upper limit voltage 10. .
[0149]
When the relationship between the change in the surface potential 40 of the meniscus at the tip of the nozzle 1 and the ejection when each pulse voltage having such a waveform is applied, the lower limit voltage 20 is the upper limit in the comparative example shown in FIG. Since it has the same polarity as voltage 10, the potential difference between meniscus surface potential 40 after lowering upper limit voltage 10 and lower limit potential 20 is small, and the decay rate of meniscus surface potential 40 after lowering upper limit voltage 10 is slow. For this reason, it takes time until the meniscus surface potential 40 reaches the lowest discharge maintainable voltage 50 even after the upper limit voltage 10 is lowered, and the discharge is relatively continued. FIG. 12 (b) shows the best case. Since the lower limit voltage 20 is very high, the meniscus surface potential 40 cannot fall below the minimum discharge 50 that can maintain the discharge within the application time of the lower limit voltage 20, and the discharge is not performed. It is performed intermittently without breaking in accordance with the pulse signal cycle (upper limit voltage application cycle).
[0150]
On the other hand, in the pulse voltage of the present embodiment shown in FIG. 12A, since the lower limit electricity 20 is set to have a polarity opposite to that of the upper limit voltage 10, the meniscus surface potential 40 and the lower limit potential 20 after the upper limit voltage is lowered. And the attenuation rate of the meniscus surface potential 40 is increased. Therefore, it is possible to advance the time when the meniscus surface potential 40 falls below the minimum voltage 50 that can maintain the discharge due to attenuation, and it is possible to improve the discharge cut-off, that is, the discharge end responsiveness.
[0151]
Thus, by setting the lower limit voltage 20 to the reverse polarity of the upper limit voltage 10 and applying the reverse polarity bias after the fall of the upper limit voltage 10, the discharge end after the fall of the upper limit voltage 10 can be accelerated, and the discharge It is possible to improve the end response. By increasing the discharge end responsiveness, the discharge limit frequency can be improved.
[0152]
The shorter the time until the fluid discharge after the upper limit voltage 10 falls, the higher the discharge end response. Therefore, when considering only the discharge end response, the setting range of the lower limit voltage 20 is opposite to the upper limit voltage 10. The larger the absolute value of the polarity, the better. However, if the absolute value is larger than the absolute value of the minimum dischargeable voltage 30, there is a balance between the application time ratio (duty ratio) of the upper limit voltage 10 and the lower limit voltage 20, but the meniscus surface potential 40 has a reverse polarity. Therefore, it is desirable to keep the absolute value within the minimum dischargeable voltage 30.
[0153]
FIG. 13 shows the results of a discharge end responsiveness confirmation experiment using a silver nanopaste manufactured by Harima Kasei Co., Ltd. as a fluid (nozzle diameter 12 μm). In order to confirm the ejection characteristics in conformity with the electrical conductivity of the silver nanopaste, the upper limit voltage 10 of the pulse voltage is set to +450 V, and the application time of the upper limit voltage 10 is set to 3000 μsec. In this case, the lowest dischargeable voltage 30 was + 200V.
[0154]
As shown in FIG. 13, when the lower limit voltage 20 of the pulse voltage is increased from 0 V to −200 V, the time from the fall of the upper limit voltage 10 to the end of discharge gradually decreases, and the lower limit voltage 20 is set to the upper limit voltage 10. It was possible to confirm the effect of improving the discharge end response by setting the reverse polarity.
[0155]
From this, it can be seen that by setting the lower limit voltage 20 to a polarity opposite to that of the upper limit voltage 10, the discharge end responsiveness can be improved, and as a result, the drive frequency can be improved.
[0156]
In view of the effect of improving the discharge start responsiveness and the discharge end responsiveness by devising the lower limit voltage 20 of such a pulse voltage, the voltage applying unit 9 of the electrostatic suction type fluid discharge device has the following voltage: The structure is applied between the nozzle 1 and the substrate 13.
[0157]
FIG. 1A shows a waveform of a pulse voltage applied by the voltage application unit 9 between the nozzle 1 and the substrate 13 in the case of single-current discharge. FIG. 1B shows a pulse voltage waveform of the comparative example.
[0158]
The pulse voltage of the present embodiment and the pulse voltage of the comparative example are both set to the same voltage with the upper limit voltage 10 equal to or higher than the lowest dischargeable voltage 30 and the application period and cycle of the upper limit voltage 10 are the same. The difference between the two is in the lower limit voltage 20. In the comparative example, the lower limit voltage 20 is set to 0V. In contrast, in the present embodiment, the lower limit voltage 20 is set in two stages, and the polarity is the same as that of the upper limit voltage 10 immediately before the upper limit voltage 10 rises in order to improve the discharge start response. A first lower limit voltage (preliminary charge voltage) 20a less than the lowest dischargeable voltage 30 is set, and the second lower limit of the reverse polarity of the upper limit voltage 10 immediately after the fall of the upper limit voltage 10 in order to make the discharge end response good. A voltage (attenuation promoting voltage) 20b is set.
[0159]
When the relationship between the change in the surface potential 40 of the meniscus at the tip of the nozzle 1 and the discharge when each pulse voltage having such a waveform is applied, the lower limit voltage 20 is 0 V in the comparative example shown in FIG. Therefore, immediately after the pulse voltage is applied, energization is started in the discharge material, electric charges start to accumulate in the meniscus at the tip of the nozzle 1, and the meniscus surface potential 40 rises. When the meniscus surface potential 40 reaches the minimum dischargeable voltage 30, the discharge is started. After the fall of the upper limit voltage 10, the discharge of the meniscus surface potential 40 is attenuated and the discharge sustainable minimum voltage 50 is exceeded. Ends.
[0160]
On the other hand, in the pulse voltage of the present embodiment shown in FIG. 1A, the lower limit first voltage 20a is set to the extent that it does not reach the lowest dischargeable voltage 30 immediately before the upper limit voltage 10 rises. Charges are accumulated on the meniscus surface by an amount corresponding to the first voltage value 20a, and the meniscus surface potential 40 becomes substantially the same as the lower limit first voltage 20a. Further, when the upper limit voltage 10 equal to or higher than the lowest dischargeable voltage 30 is applied, the meniscus surface potential 40 immediately reaches the lowest dischargeable voltage 30 and discharge is started. At the end of discharge, immediately after the upper limit voltage 10 falls, the lower limit second voltage 20a having a polarity opposite to that of the upper limit voltage 10 is set. Therefore, the decay rate of the meniscus surface potential 40 after the upper limit voltage 10 is lowered is high. The meniscus surface potential 40 immediately falls below the lowest voltage 50 that can maintain discharge, and the discharge ends.
[0161]
By adopting such a configuration, it is possible to improve the discharge response at both the rise and fall of the upper limit voltage 10, and it is possible to improve the discharge limit frequency. Further, by improving the response of both rising and falling, it is possible to perform discharge control depending on the upper limit voltage application time, and to enable time control of the discharge amount.
[0162]
FIG. 14 shows a pulse voltage waveform of a modified example applied by the voltage application unit 9 between the nozzle 1 and the substrate 13 in the case of single-current discharge. The difference between the pulse voltage shown in FIG. 14 and the pulse voltage shown in FIG. 1A is the lower limit second voltage 20b immediately after the fall of the upper limit voltage 10, where the lower limit second voltage 20b is the lower limit first voltage 20a. The upper limit voltage 10 is the same polarity voltage. However, as the lower limit second voltage 20b is the same polarity, the closer to 0 V, the better the discharge end response. Moreover, the pulse voltage which made the minimum 2nd voltage 20b 0 volt may be sufficient. By doing so, the effect of improving the discharge end responsiveness is inferior to that of the lower limit second voltage 20b having a reverse polarity, but single discharge discharge can be performed with the non-discharge time shortened as much as possible. It is effective for the formation of In addition, since the potential difference between the upper limit voltage and the lower limit voltage of the pulse voltage becomes small, a low voltage driver can be used.
[0163]
FIG. 15A shows a waveform of a DC voltage rise applied by the voltage application unit 9 between the nozzle 1 and the substrate 13 in the case of continuous flow ejection. FIG. 15B shows the waveform of the DC voltage rise of the comparative example.
[0164]
In FIG. 15A, immediately before the DC voltage 15 rises, a bias voltage (preliminary charge voltage) 25 having the same polarity as the DC voltage 15 and less than the lowest dischargeable voltage 30 is applied. On the other hand, in FIG. 15B of the comparative example, the bias voltage 25 is not applied and rises from 0V.
[0165]
In FIG. 15B, since the bias voltage 25 immediately before the rising of the DC voltage is not applied, the meniscus surface potential 40 starts to rise from 0 volts after the rising of the DC voltage 15. Therefore, it takes a long time until the meniscus surface potential 40 reaches the lowest dischargeable voltage 30 and the discharge starts, and the discharge cannot be started simultaneously with the start of application of the DC voltage 15.
[0166]
On the other hand, in FIG. 15A, since the bias voltage 25 is set immediately before the rising of the DC voltage 15, the meniscus surface potential 40 rises in advance to substantially the same potential as the bias voltage 25. Therefore, when the DC voltage 15 is applied, the time until the meniscus surface potential 40 reaches the lowest dischargeable potential 30 is short, and discharge can be started almost simultaneously with the application of the DC voltage 15. Further, regarding the discharge start response, the better the bias voltage 25 immediately before rising within the range of less than the lowest dischargeable voltage 30, that is, the closer to the lowest dischargeable voltage 30, the better.
[0167]
FIG. 16A shows a waveform of a DC voltage falling applied by the voltage application unit 9 between the nozzle 1 and the substrate 13 in the case of continuous flow ejection. FIG. 16B shows a waveform of the DC voltage falling edge of the comparative example.
[0168]
In FIG. 16A, immediately after the DC voltage 15 falls, a bias voltage (attenuation promoting voltage) 26 having a polarity opposite to that of the DC voltage 15 is applied. On the other hand, in FIG. 16B of the comparative example, the bias voltage 26 is not applied and falls to 0V.
[0169]
In FIG. 16B, since the bias voltage 26 is not applied immediately after the DC voltage falls and falls to 0V, the meniscus surface potential 40 draws a gentle attenuation curve at the DC voltage fall. For this reason, the meniscus surface potential 40 is below the lowest discharge maintaining potential 50 and it takes a long time until the discharge is completed, and the discharge cannot be completed simultaneously with the end of the DC voltage application.
[0170]
On the other hand, in FIG. 16A, since the reverse polarity bias voltage 26 is set immediately after the DC voltage 15 falls, the potential difference with respect to the meniscus surface 40 after the DC voltage 15 falls is shown in FIG. It is larger than b), and the meniscus surface potential 40 draws a steep attenuation curve after the DC voltage 15 falls. Therefore, the meniscus surface potential 40 is lower than the lowest potential 50 that can maintain the discharge, and the time until the discharge is completed is short, and the discharge can be ended almost simultaneously with the end of the DC bias application. In addition, regarding the discharge end response, the bias voltage 26 immediately after the fall has a polarity opposite to that of the DC voltage 15, and the better the absolute value, the better. However, if the absolute value of the minimum dischargeable voltage 30 exceeds the absolute value, the meniscus surface potential 40 becomes larger than the minimum dischargeable voltage 30 on the reverse polarity side, depending on the application time of the bias voltage 26, and is charged to the reverse polarity. Since the fluid may be discharged, it is preferable to make it smaller than the absolute value of the minimum dischargeable voltage 30.
[0171]
With such a configuration, it is possible to improve the discharge response, that is, the discharge start response and the discharge end response, both at the rising edge and the falling edge of the DC voltage 15. When performing this, it is possible to improve the accuracy of the discharge start position and the discharge end position.
[0172]
In this embodiment, the counter electrode 14 is provided. However, as described above, in the electrostatic suction type fluid discharge of the present invention, it is not essential to have the counter electrode 14. A configuration in which the pulse voltage shown in FIG. 1A is generated only by the voltage applied to the electrode 2 inside the nozzle 1 is also possible. In addition, a configuration in which the counter electrode 14 is grounded and the voltage application unit 9 controls only the voltage applied to the electrode 2 inside the nozzle 1 to generate the pulse voltage shown in FIG.
[0173]
Further, in the present embodiment, as the waveform of the pulse voltage applied between the tip of the nozzle 1 and the substrate 13, a rectangular wave as shown in FIGS. 1, 10, 12, 14 to 16 is used. Although illustrated, it is similarly applied to a waveform having a low slew rate such as a sine wave.
[0174]
In the present embodiment, the best embodiment has been described in which both the discharge start responsiveness and the discharge end responsiveness are good. However, as can be seen from the description with reference to FIGS. The start response and the discharge end response are independent of each other.
[0175]
Finally, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims.
[0176]
【The invention's effect】
As described above, the first electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by the application of voltage from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid discharge device for landing, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage that is a voltage condition for starting the discharge of the fluid. A voltage applying means for applying a pulse voltage between the nozzle and the substrate is provided, and immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is provided. It is characterized by being set.
[0177]
According to the above configuration, by setting the nozzle discharge hole diameter to a fine diameter of 0.01 to 25 μm, the driving voltage can be reduced, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the nozzle density. In addition, it is possible to use a low-voltage drive driver with high cost merit, and it is possible to achieve a configuration without using a counter electrode.
[0178]
In addition to this, the voltage application means applies a pulse voltage between the nozzle and the substrate, the pulse voltage having an upper limit voltage set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid. Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. Therefore, after the rise of the pulse voltage, the meniscus surface potential is the discharge condition. The discharge can be started by reaching the lowest possible voltage in a short time, and the discharge start responsiveness can be improved. As a result, the discharge limit frequency can be improved to enable high frequency driving.
[0179]
As described above, the second electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by the voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate disposed opposite to the nozzle is applied. In the electrostatic suction type fluid discharge device for landing, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage that is a voltage condition for starting the discharge of the fluid. Voltage application means for applying a pulse voltage between the nozzle and the substrate is provided, and immediately after the fall of the pulse voltage, an attenuation promotion voltage having a polarity opposite to the upper limit voltage is set.
[0180]
Also in said structure, there exists an effect similar to a 1st electrostatic attraction type fluid discharge apparatus by making the discharge hole diameter of a nozzle into a fine diameter of 0.01-25 micrometers.
[0181]
In addition to this, the voltage application means applies a pulse voltage between the nozzle and the substrate in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid. Immediately after the fall of the pulse voltage, an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to the upper limit voltage is set, so that after the pulse voltage falls, the meniscus surface potential is set to the lowest discharge sustainable voltage that is a condition for continuing discharge. The discharge is stopped in a short time and the discharge end responsiveness can be improved. As a result, the discharge limit frequency is improved and the high frequency drive is enabled.
[0182]
As described above, the third electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type flow discharge device to be landed, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid. A voltage applying means for applying a pulse voltage between the nozzle and the substrate is provided, and immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is provided. In addition to being set, immediately after the rise of the pulse voltage, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to that of the upper limit voltage is set.
[0183]
Also in said structure, there exists an effect similar to a 1st electrostatic attraction type fluid discharge apparatus by making the discharge hole diameter of a nozzle into a fine diameter of 0.01-25 micrometers.
[0184]
In addition to this, the voltage application means applies a pulse voltage between the nozzle and the substrate in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid. Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. Since the accelerating voltage is set, both the discharge start response and the discharge end response can be improved. As a result, the discharge limit frequency can be improved more effectively to enable further high frequency driving, and the upper limit voltage can be increased. Since the discharge control depending on the application time can be performed, there is also an effect that the time control of the discharge amount can be performed.
[0185]
As described above, the fourth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by the voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate is disposed opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid discharge device for landing, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage that is a voltage condition for starting the discharge of the fluid. A voltage applying means for applying a pulse voltage between the nozzle and the substrate is provided, and immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is provided. In addition to being set, immediately after the rise of the pulse voltage, the attenuation accelerating voltage and the attenuation accelerating voltage having the same polarity as the upper limit voltage are set.
[0186]
The difference between this configuration and the above-described third electrostatic suction type fluid ejection device of the present invention is that the third electrostatic suction type fluid ejection device has an attenuation accelerating voltage for enhancing the discharge end responsiveness. The accelerating voltage has the opposite polarity to the upper limit voltage, but here it is the same polarity and has a smaller absolute value than the lowest discharge sustainable voltage. Although the effect of improving the property is inferior, it is possible to perform single-shot ejection with the non-ejection time shortened as much as possible, which is effective for the formation of adjacent dots. In addition, since the potential difference between the upper limit voltage and the lower limit voltage of the pulse voltage becomes small, a low voltage driver can be used.
[0187]
As described above, the fifth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by the voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate disposed opposite to the nozzle is applied. In the electrostatic suction type fluid discharge device to be landed, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and a DC voltage is set to be higher than the minimum dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of the fluid. A voltage application means for applying between the substrate and the substrate is provided, and immediately before the start of application of the DC voltage, a precharge voltage having the same polarity as the DC voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. It is characterized by that.
[0188]
Also in said structure, there exists an effect similar to a 1st electrostatic attraction type fluid discharge apparatus by making the discharge hole diameter of a nozzle into a fine diameter of 0.01-25 micrometers.
[0189]
In addition to this, when the voltage application means applies a DC voltage between the nozzle and the substrate above the minimum dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid, the application of the DC voltage Immediately before the start, since a precharge voltage having the same polarity as the DC voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set, the DC voltage application is caused by the discharge start response at the start of voltage application. There is also an effect that the discharge start position control with high accuracy depending on the end timing becomes possible.
[0190]
As described above, the sixth electrostatic suction type fluid discharge device of the present invention discharges the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate disposed opposite to the nozzle is placed. In the electrostatic suction type fluid discharge device to be landed, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and a DC voltage is set to be higher than the minimum dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of the fluid. A voltage applying means for applying between the substrate and the substrate is provided, and immediately after the application of the DC voltage is completed, an attenuation promotion voltage having a polarity opposite to that of the DC voltage is set.
[0191]
Also in said structure, there exists an effect similar to a 1st electrostatic attraction type fluid discharge apparatus by making the discharge hole diameter of a nozzle into a fine diameter of 0.01-25 micrometers.
[0192]
In addition to this, when the voltage application means applies a DC voltage between the nozzle and the substrate above the minimum dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid, the application of the DC voltage Immediately after the end, an acceleration acceleration voltage having a polarity opposite to that of the DC voltage is set, so that the discharge end position is highly accurate depending on the DC voltage application end timing due to the discharge end response at the end of voltage application. The effect that control becomes possible is also produced.
[0193]
As described above, the electrostatic suction type fluid discharge method of the present invention discharges the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction so that it is landed on the substrate disposed opposite to the nozzle. In the electrosuction fluid discharge method, the nozzle has a discharge hole diameter of 0.01 to 25 μm, and a voltage equal to or higher than a minimum dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid between the nozzle and the substrate. Is applied, immediately before the voltage rises, a precharge voltage having the same polarity as the applied voltage having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is applied.
[0194]
As already described, by making the nozzle discharge hole diameter as small as 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, It is possible to use a low-voltage drive driver with high cost merit, and a configuration without using a counter electrode is possible.In addition, an applied voltage having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set immediately before the voltage rises. By applying a precharge voltage of the same polarity, it is possible to precharge the meniscus surface potential and to achieve the effect of good discharge start response.
[0195]
Further, another electrostatic suction type fluid discharge method of the present invention, as described above, discharges the fluid charged by voltage application from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction, so that the substrate is arranged opposite to the nozzle. In the electrostatic suction type fluid discharge method for landing on the nozzle, the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm, and the minimum dischargeable condition is a voltage condition for starting the discharge of fluid between the nozzle and the substrate When a voltage higher than the voltage is applied, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to the applied voltage is applied immediately after the voltage falls.
[0196]
As already described, by making the nozzle discharge hole diameter as small as 0.01 to 25 μm, it becomes possible to lower the driving voltage, which is extremely advantageous in downsizing the apparatus and increasing the density of the nozzle, It is possible to use a low-voltage drive driver with high cost merit, and it is possible to use a configuration that does not use a counter electrode, and in this way, immediately after the voltage falls, an attenuation promoting voltage having a polarity opposite to the applied voltage is applied. As a result, the effect of facilitating the attenuation of the meniscus surface potential, improving the fluid breakage, and improving the discharge end response.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A shows a waveform of a pulse voltage applied between a nozzle and a substrate and a transition of a meniscus surface potential at that time in the electrostatic suction type fluid ejection device according to the present embodiment. (B) is a waveform diagram showing the waveform of the pulse voltage of the comparative example and the transition of the meniscus surface potential at that time.
FIG. 2 is a diagram for explaining calculation of electric field strength of a nozzle in a discharge model that is a basis of the present invention.
FIG. 3 is a graph showing model calculation results of nozzle diameter dependence of surface tension pressure and electrostatic pressure.
FIG. 4 is a graph showing a model calculation result of nozzle diameter dependence of discharge pressure.
FIG. 5 is a graph showing a model calculation result of nozzle diameter dependence of discharge limit voltage.
FIG. 6 shows a correlation between an image force acting between a charged droplet and a substrate and a nozzle-substrate distance.
FIG. 7 shows a model calculation result of a correlation between a flow rate flowing out from a nozzle and an applied voltage.
FIG. 8 is a graph for explaining the relationship between the nozzle diameter, discharge response, and discharge limit frequency.
FIG. 9 is an explanatory diagram including a side cross-section of a main part of an electrostatic suction type fluid ejection device as an example of an embodiment of the present invention.
FIGS. 10A and 10B are waveform diagrams showing the waveform of a pulse voltage applied between the nozzle and the substrate and the transition of the meniscus surface potential at that time.
FIG. 11 is a graph showing a result of an ejection start response confirmation experiment based on a voltage value applied immediately before rising of a pulse voltage applied between a nozzle and a substrate.
FIGS. 12A and 12B are waveform diagrams showing the waveform of the pulse voltage applied between the nozzle and the substrate and the transition of the meniscus surface potential at that time.
FIG. 13 is a graph showing the result of a discharge end response confirmation experiment using a voltage value applied immediately after the fall of a pulse voltage applied between the nozzle and the substrate.
FIG. 14 is a waveform diagram showing a waveform of a pulse voltage applied between a nozzle and a substrate and a transition of a meniscus surface potential at that time.
FIG. 15A is a waveform at the start of application of a DC voltage applied between a nozzle and a substrate, and a transition of a meniscus surface potential at that time, in the electrostatic suction type fluid ejection device of one embodiment of the present invention. (B) is a waveform diagram showing a waveform at the start of DC voltage application of the comparative example and the transition of the meniscus surface potential at that time.
FIG. 16A is a waveform at the end of application of a DC voltage applied between a nozzle and a substrate, and a transition of a meniscus surface potential at that time, in the electrostatic suction type fluid ejection device of one embodiment of the present invention. (B) is a waveform diagram showing the waveform at the end of the DC voltage application of the comparative example and the transition of the meniscus surface potential at that time.
FIG. 17 is a diagram illustrating a principle of growth of a discharge fluid by an electrostatic stringing phenomenon in an electrostatic suction type fluid discharge device.
[Explanation of symbols]
1 nozzle
2 electrodes
3 Fluid
9 Voltage application part voltage application means)
13 Substrate
10 Upper limit voltage
20 Lower limit voltage
20a Lower limit first voltage (preliminary charge voltage)
20b Lower limit second voltage (attenuation acceleration voltage)
25 Bias voltage (pre-charge voltage)
26 Bias voltage (damping acceleration voltage)
40 Meniscus surface potential
50 Minimum dischargeable voltage

Claims (9)

In the electrostatic suction type fluid discharge device for causing the fluid charged by voltage application to be discharged from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction and landing on the substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate a pulse voltage in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid;
Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. In the electrostatic suction type fluid discharge device for causing the fluid charged by voltage application to be discharged from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction and landing on the substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate a pulse voltage in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid;
Immediately after the fall of the pulse voltage, an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to the upper limit voltage is set. In an electrostatic suction type flow ejection device that causes a fluid charged by voltage application to be ejected from an ejection hole of a nozzle by electrostatic attraction to land on a substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate a pulse voltage in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid;
Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set, and immediately after the rise of the pulse voltage, the attenuation of the reverse polarity of the upper limit voltage is promoted. An electrostatic suction type fluid discharge device, wherein a voltage is set. In the electrostatic suction type fluid discharge device for causing the fluid charged by voltage application to be discharged from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction and landing on the substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage applying means for applying between the nozzle and the substrate a pulse voltage in which an upper limit voltage is set to be equal to or higher than the lowest dischargeable voltage which is a voltage condition for starting the discharge of fluid;
Immediately before the rise of the pulse voltage, a precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set, and immediately after the pulse voltage rises, the precharge voltage having the same polarity as the upper limit voltage is set. An electrostatic suction type fluid ejection device, wherein an attenuation acceleration voltage having an absolute value smaller than a charging voltage is set. In the electrostatic suction type fluid discharge device for causing the fluid charged by voltage application to be discharged from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction and landing on the substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage application means for applying a DC voltage between the nozzle and the substrate above the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid,
Immediately before the start of application of the DC voltage, a precharge voltage having the same polarity as the DC voltage and having an absolute value smaller than the lowest dischargeable voltage is set. In the electrostatic suction type fluid discharge device for causing the fluid charged by voltage application to be discharged from the discharge hole of the nozzle by electrostatic suction and landing on the substrate disposed opposite to the nozzle,
While the discharge hole diameter of the nozzle is 0.01 to 25 μm,
Voltage application means for applying a DC voltage between the nozzle and the substrate above the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid,
Immediately after the application of the DC voltage is completed, an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to that of the DC voltage is set. 7. The electrostatic suction type fluid discharge device according to claim 2, 3, or 6, wherein the absolute value of the attenuation accelerating voltage is smaller than the lowest dischargeable voltage. In an electrostatic suction type fluid discharge method of causing a fluid charged by voltage application to be discharged from a discharge hole of a nozzle by electrostatic suction to land on a substrate disposed opposite to the nozzle,
The nozzle has a discharge hole diameter of 0.01 to 25 μm,
When a voltage equal to or higher than the lowest dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid, is applied between the nozzle and the substrate, the absolute value is smaller than the lowest dischargeable voltage immediately before the voltage rises. An electrostatic suction type fluid discharge method comprising applying a precharge voltage having the same polarity as an applied voltage. In an electrostatic suction type fluid discharge method of causing a fluid charged by voltage application to be discharged from a discharge hole of a nozzle by electrostatic suction to land on a substrate disposed opposite to the nozzle,
The nozzle has a discharge hole diameter of 0.01 to 25 μm,
When applying a voltage higher than the minimum dischargeable voltage, which is a voltage condition for starting the discharge of fluid, between the nozzle and the substrate, immediately after the voltage falls, an attenuation accelerating voltage having a polarity opposite to that of the applied voltage is applied. An electrostatic suction type fluid discharge method, wherein:

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