JP2005033100A - 表面波励起プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラズマが生成されるチャンバ内にマイクロ波を導入する誘電体板32上には、複数のスロット導波管31b、31cが配設される。スロット導波管31b、31cはT型分岐導波管31aに接続されており、T型分岐導波管31aに導入されたマイクロ波は3つに分岐されて、各のスロット導波管31b、31cにそれぞれ伝搬される。T型分岐導波管31aの分岐点Oからスロット導波管31bの終端Bまでの長さ、分岐点Oからスロット導波管31cの終端Cまでの長さ、および分岐点Oからスロットアンテナ300aまでの長さは、それぞれマイクロ波の管内波長λgの整数倍に設定される。
【選択図】 図4
Description
請求項2の発明による表面波励起プラズマ処理装置は、(a)プラズマ生成用チャンバの外壁部に隙間を設けて並設された複数の誘電体と、(b)複数の誘電体の各々に設けられ、スロットアンテナを有する複数のスロット導波管を分岐導波管により並列接続して成る導波管ユニットとを具備するプラズマソース部と、複数の導波管ユニット毎に独立して設けられ、分岐導波管にマイクロ波を送出する複数のマイクロ波発生部と、並設された複数の誘電体の各隙間に着脱可能に設けられた表面波反射板とを備えたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、複数のスロット導波管の各終端に終端整合器をそれぞれ設けた。
2 基板
3 プラズマソース部
4,31,70〜74 導波管
5 マイクロ波発生部
6 ガス供給装置
31,70〜74 導波管ユニット
31a,70a T型分岐導波管
31b,31c,70a〜70e スロット導波管
32,32A〜32D 誘電体板
34 終端整合器
33,75 反射板
300,300a〜300e スロットアンテナ
O 分岐点
Claims (3)
- プラズマを生成するチャンバ内にマイクロ波を導入するための誘電体と、
前記誘電体上に配設され、スロットアンテナを有する複数のスロット導波管と、
マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記複数のスロット導波管を並列接続し、前記マイクロ波発生部からのマイクロ波を分岐して前記複数のスロット導波管の各々に伝搬する分岐導波管とを備え、
前記分岐導波管の分岐点から前記複数のスロット導波管の各終端までの長さを、それぞれマイクロ波の管内波長の整数倍に設定したことを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - (a)プラズマ生成用チャンバの外壁部に隙間を設けて並設された複数の誘電体と、(b)前記複数の誘電体の各々に設けられ、スロットアンテナを有する複数のスロット導波管を分岐導波管により並列接続して成る導波管ユニットとを具備するプラズマソース部と、
前記複数の導波管ユニット毎に独立して設けられ、前記分岐導波管にマイクロ波を送出する複数のマイクロ波発生部と、
前記並設された複数の誘電体の各隙間に着脱可能に設けられた表面波反射板とを備えたことを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。 - 請求項1または2に記載の表面波励起プラズマ処理装置において、
前記複数のスロット導波管の各終端に終端整合器をそれぞれ設けたことを特徴とする表面波励起プラズマ処理装置。
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