JP2005021819A - Work washing device - Google Patents
Work washing device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005021819A JP2005021819A JP2003190975A JP2003190975A JP2005021819A JP 2005021819 A JP2005021819 A JP 2005021819A JP 2003190975 A JP2003190975 A JP 2003190975A JP 2003190975 A JP2003190975 A JP 2003190975A JP 2005021819 A JP2005021819 A JP 2005021819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- work
- airflow
- cleaning liquid
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3に示すように、動圧軸受Wは、通常、円筒状のスリーブWsと、このスリーブWs内のシャフトWtとからなり、スリーブWsとシャフトWtとの間にオイルOが充填されている。このオイルは、動圧軸受を製作する過程において、スリーブWsとシャフトWtとの組み立て体をオイルに浸漬して充填される。オイル充填後のスリーブWsの外周面にはオイルが付着している。
【0003】
このように付着したオイルは、レーザ照射による動圧軸受Wの外観検査の際、レーザの反射率を変化させ、精確な測定をできなくする原因になる。また、動圧軸受Wをハードディスクドライバ等の装置に組み込む際、前記付着したオイルが組み込み装置の不要個所に付着したり、スリーブWsを装置に接着により固定するのが阻害されたりする等の不具合が生じる。
【0004】
そのため、組み立て後の動圧軸受Wについては、そのスリーブWsの外周面に付着しているオイルを、洗浄により除去する必要がある。組み立て後の動圧軸受をワークとして洗浄するワーク洗浄装置としては、ワークを洗浄液に浸漬した状態で、超音波を作用させることで、オイル等の汚れを除去するようにしたものがある(特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開2000−199519号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記ワーク洗浄装置では、ワークが洗浄後もしばらくの間は洗浄液内に存在するので、その存在中に、ワークから一旦は除去された汚れが、ワークに再付着するおそれがあり、ワークを確実に清浄化することが難しい。特に、ワークが組み立て後の動圧軸受の場合、動圧軸受内に充填されているオイルが洗浄液中に流出して動圧軸受の表面に付着したり、動圧軸受でのオイルの充填量に不足が生じるおそれがある。
【0007】
また、上記ワーク洗浄装置では、ワークの全体を洗浄液に浸漬するので、多量の洗浄液を必要とし、コストがかさむばかりでなく、洗浄液に濡れたワークを乾燥させる必要があり、装置全体が大型化している。
【0008】
本発明が解決する課題は、ワークを確実に清浄に、かつ、多量の洗浄液を要せずに低コストで洗浄でき、かつ、装置全体も小型化が可能なワーク洗浄装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を達成するために、本発明のワーク洗浄装置は、ワークを内部に収容した状態で当該ワークの被洗浄面との間に気流通過用隙間が形成される収容室を備えたワーク収容容器と、前記気流通過用隙間に対して気体を吸引または圧送して該気流通過用隙間内に洗浄用気流を発生させる気流発生手段とを備えて構成されている。
【0010】
上記構成のワーク洗浄装置では、気流発生手段の稼動により、ワークと収容室内面との間の気流通過用隙間に空気等による洗浄用気流が発生し、その洗浄用気流がワークの外面等の被洗浄面に沿って高速で流通する。この洗浄用気流によって、ワークの被洗浄面に付着している研磨粉、切削くず等の汚れは、被洗浄面から除去されてワーク収容容器の外部に排出される。
【0011】
この場合、多量の洗浄液を使用しないので、装置の小型化が可能である。また、ワークの被洗浄面から一旦離脱した汚れは、直ちに気流により排出されるから、ワークに再付着するおそれがない。
【0012】
なお、上記構成において、気流発生手段としては、真空ポンプ、バキュームファン等の吸引型の空気機械がある。気流発生手段は、このほか、加圧ポンプや送風ファンのように、加圧した空気等の気体を前記気流通過用隙間に送り込んで、気流通過用隙間内に気流を発生させるものであってもよい。
【0013】
ワーク収容容器は、ワークを内部に収容するものであればよいが、ワークがたとえば円筒状もしくは角筒状で、内周にも被洗浄面を有している場合、容器は、円筒状もしくは角筒状のワークの内周側に位置する中子を一部として含む。その中子は、ワークの内周面との間に気流通過用隙間を形成する。
【0014】
上記構成のワーク洗浄装置において、ワークと容器との間の気流通過用隙間の気体空気流入側に、揮発性の洗浄液を投入する洗浄液投入手段、例えば、ノズルが設けられている場合は、このノズルを通じて、前記気流通過用隙間内に揮発性の洗浄液を投入することが可能である。投入された揮発性の洗浄液は、ワークの被洗浄面に付着している汚れに作用して、これを被洗浄面から除去するから、オイル等、油性の汚れや、粘着性を有する汚れの除去に効果がある。
【0015】
この場合、洗浄液は、ワークの被洗浄面のほぼ全面にいきわたる程度の量があればよいから、洗浄液の使用量は、ワークを浸漬する場合に比べ、少量に抑えられる。さらに、洗浄液は、気体の流れに接することで迅速に気化するから、ワークの被洗浄面は、汚れのない乾燥した状態となる。そのため、別にワークを乾燥させる工程、装置を必要としない。この点からも装置の小型化が可能になる。
【0016】
上記構成のワーク洗浄装置において、ワークと容器との間の気流通過用隙間の大きさ、もしくは気流発生手段の能力を変えることで、ワークの被洗浄面に沿って流通する気体の流速を調整することができる。
【0017】
洗浄用気流の流速は、毎秒10m〜100mの範囲が望ましい。洗浄用気流の流速が毎秒10m未満では、汚れの除去効果が不充分である。流速が毎秒100mを越える場合は、気流発生手段の能力の増加割り合いに対して、洗浄効果が余り上がらず、実用的に不経済である。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1および図2に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るワーク洗浄装置の構成図、図2は、図1のワーク洗浄装置の動作を示す工程図である。本実施形態では洗浄対象となるワークとして動圧軸受に適用しているが、これに限定されない。
【0019】
図1を参照して、本実施形態のワーク洗浄装置は、動圧軸受の外周面を洗浄するため、ワークWの収容容器1と、気流発生手段2とを備えている。
【0020】
ワークWは、動圧軸受であって、図3に既に示すように、スリーブWsと、このスリーブWsの内部に回転自在に挿入されたシャフトWtとからなり、スリーブWsの軸方向一端面からシャフトWtの一端側が突出した形状である。
【0021】
ワーク収容容器1は、上側が開口した円筒状の収容室11を有し、この収容室11は、ワークWの外形寸法より大きい収容容積を有している。この収容室11内に、ワークWが所定の姿勢、すなわちシャフトWtを下向きとした姿勢で収容される。ワークWをワーク収容容器1内に収容した状態では、ワークWのスリーブWsの外周面(被洗浄面)との間に、一定薄幅の気流通過用隙間3が形成されるようになっている。この気流通過用隙間3の幅は、ワークWの外径が10mmであるのに対して、約0.5mm〜1mmである。
【0022】
ワーク収容容器1の収容室11の内周面には、複数の突起12が形成されている。これら突起12は、いずれも同じ突出高さを有し、これによってワークWの周りからスリーブWsの外周面に当接することで、ワークWの外周面と収容室11の内周面との間にできる気流通過用隙間3の幅を一定幅に規制している。
【0023】
収容室11の底部には、ワークWのシャフトWtが嵌入する凹部13と、シャフトWtの周りでスリーブWsの端面を受け止める環状突部14とが形成されている。ワーク収容容器1には、収容室11の底部から外部にかけて通気路4が開設されている。
【0024】
気流発生手段2は、本実施形態では、吸引により気流通過用隙間3内に気流を発生するもので、真空ポンプや真空ファン等からなり、その吸引側は、バルブ5とトラップ6とを介して、容器1の通気路4に連通している。したがって、気流発生手段2の吸引側は、通気路4を介して、ワーク収容容器1内の気流通過用隙間3に連通しており、容器1の開放側である上側から空気を吸引するようになっている。
【0025】
ワーク収容容器1と気流発生手段2との間に、バルブ5と、トラップ6とが設けられ、バルブ5は、外部からの信号で開閉動作し、トラップ6は、吸引気体から固形もしくは液状の夾雑物、この実施形態では、気流によりワークWから除去された汚れを分離する。
【0026】
ワーク収容容器1の上方には、洗浄液投入手段7が設けられている。この洗浄液投入手段7は、アルコールのような揮発性の洗浄液Cを、ワーク収容容器1とワークWとの間の気流通過用隙間3の気体流入側に投入するもので、吐出ポンプ71と、揮発性の洗浄液Cのタンク72と、ノズル73とを備えている。この洗浄液投入手段7では、吐出ポンプ71の稼動により、タンク72から揮発性の洗浄液Cが吸い上げられて、ノズル73から噴霧もしくは滴下される。
【0027】
揮発性の洗浄液Cとしては、アセトン、ヘキサン、ヘプタン等がある。図示例では、洗浄液投入手段7の全体が容器1の上方にあるが、洗浄液投入手段7のうち、少なくともノズル73が容器1の収容室11の上方に位置すればよい。
【0028】
洗浄液投入手段としては、このほか、ワーク収容容器1より高い位置に貯溜されている揮発性の洗浄液を、それ自体の液圧により気流通過用隙間3の側に投入するものであってもよい。
【0029】
図2の工程図に基づいて上記構成のワーク洗浄装置の動作を説明すると、ステップS1では、ワークWのシャフトWtを下向きとした所定の姿勢で、ワークWを容器1の収容室11内に収容する。この作業は手作業で行ってもよいし、機械的に行ってもよい。ワーク収容容器1の収容室11内にワークWを収容した状態では、ワークWの被洗浄面であるスリーブWsの外周面の周りに一定薄幅の気流通過用隙間3が形成されている。
【0030】
ワークWが所定の姿勢にセットされると、ステップS2で、気流発生手段2(図示例では真空ポンプ)を起動させ、これとほぼ同時に、ステップS3で、気流発生手段2の吸引側のバルブ5を開放する。これで、ワーク収容容器内の気流通過用隙間3に負圧が作用し、気流通過用隙間3の上部側から外部の空気が矢印イの方向に吸い込まれる。
【0031】
なお、この場合、ワークWのほぼ表面全体に負圧が作用するが、ワークWのシャフトWtの周りは、環状突部14に覆われているから、シャフトWtとスリーブWsとの間の間隙には負圧は作用せず、間隙に充填されているオイルOは、吸い出されることがない。
【0032】
気流発生手段2による空気の吸い込みで、気流通過用隙間3内では矢印ロの方向に空気の流れが発生して、その空気は、ワークWの被洗浄面である外周面に沿って高速で流通する。この空気流によって、ワークWの外周面に付着している研磨粉、切削くず等の汚れは、被洗浄面から除去されて容器1の外部に排出される。
【0033】
上記のように、気流通過用隙間3内で空気が高速で流通している間に、ステップS4で、洗浄液投入手段7を起動させ、ノズル73から気流通過用隙間3の上部側に揮発性の洗浄液Cを一定量だけ、噴霧等により供給する。なお、図2において、ステップS3からステップS5までの点線は、両ステップS3,5の間の時間、気流発生手段2の真空ポンプは稼動を、バルブ5は開状態を、それぞれ継続することを示している。
【0034】
ワーク収容容器1の上方から供給された揮発性の洗浄液Cは、気流通過用隙間3内に吸引される空気とともに気流通過用隙間3内に流入し、ワークWの外周面に沿って流通することで、ワークWの外周面に付着しているオイル等の汚れに作用し、この汚れを分離作用もしくは分解作用によりワークWの外周面から除去する。汚れを除去した後の洗浄液Cは、飛沫もしくは気体となって、容器1の外部に排出される。
【0035】
なお、揮発性の洗浄液Cの投入後、気流通過用隙間3内での空気の流通は、しばらく(具体的には2秒程度)継続される。その間、ワークWの外周面に付いた揮発性の洗浄液Cは、高速の空気流にさらされるから、早期に気化して、ワークWの外周面には長く残存せず、ワークWの外周面は、汚れのない乾燥した状態となる。特に、図示の実施形態のように、吸引型の気流発生手段2を用いている場合、この気流発生手段2の稼動中、気流通過用隙間3内は減圧状態となるから、洗浄液その他の液体の気化、蒸発が早く、ワークWは早期に乾燥状態となる。そのため、後にワークWを乾燥させる必要がない。
【0036】
揮発性の洗浄液Cによる洗浄を終えた後は、ステップS5で、気流発生手段2を停止させ、バルブ5を閉止させて、一連の洗浄動作を終える。
【0037】
上記の実施形態では、洗浄液が付着するワークWが迅速に乾燥するよう、揮発性の洗浄液Cを用いたが、ワークWの乾燥時間を特に問題にしなければ、揮発性を有しない洗浄液を用いてもよい。本発明では、気流通過用隙間3を流れる気流が洗浄液の気化、蒸発を促進するので、揮発性を有しない洗浄液を用いても、ワークWは比較的短い時間内に乾燥する。
【0038】
また、上記実施形態では、上部が開放された容器1を用いたが、容器1は蓋体を有するものであってもよい。その場合、容器1の蓋体には、気体の流入口が設けられている必要がある。
【0039】
上記実施形態でのワークWは、円柱状で、その外周面を被洗浄面とするものであるが、ワークWはこれに限定されない。ワークがたとえば円筒状で、内周にも被洗浄面を有している場合、容器1の一部を、円筒状のワークの内周側に位置させて、ワークの内周面との間に一定薄幅の気流通過用隙間3が形成されるようにすればよい。ワークが円柱状、円筒状とは異なる形状である場合、容器1には、そのワークの外形に対応した内部形状の収容室を形成すればよい。
【0040】
さらに、上記実施形態では、気流発生手段2として真空ポンプを用いたが、気流発生手段2として、加圧ポンプや送風ファンのような送入型の空気機械を用いて、加圧した空気等の気体を前記気流通過用隙間3に送り込んで、気流通過用隙間3内に気流を発生させてもよく、また、吸引型の空気機械と送入型の空気機械とを併用してもよい。
【0041】
【発明の効果】
本発明によれば、気流通過用隙間内の洗浄用気流によって、ワークの被洗浄面を洗浄するから、汚れ等がワークに再付着するおそれが減り、また、その洗浄用気流に洗浄液を含ませるときは、従来のような多量の洗浄液を要するものでなく、また、洗浄液に濡れたワークの乾燥工程、乾燥装置を別に設定する必要がないから、低コストでかつ小型化可能なワーク洗浄装置となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るワーク洗浄装置の構成図
【図2】図1のワーク洗浄装置の動作を示す工程図
【図3】ワークの一例である動圧軸受の断面図
【符号の説明】
1 ワーク収容容器
11 収容室
2 気流発生手段
3 気流通過用隙間
W ワーク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a workpiece cleaning apparatus.
[0002]
[Prior art]
As shown in FIG. 3, the dynamic pressure bearing W is usually composed of a cylindrical sleeve Ws and a shaft Wt in the sleeve Ws, and oil O is filled between the sleeve Ws and the shaft Wt. This oil is filled by immersing the assembly of the sleeve Ws and the shaft Wt in the oil in the process of manufacturing the hydrodynamic bearing. Oil adheres to the outer peripheral surface of the sleeve Ws after oil filling.
[0003]
The oil attached in this way changes the reflectance of the laser during the appearance inspection of the hydrodynamic bearing W by laser irradiation, and causes an inaccurate measurement. In addition, when the dynamic pressure bearing W is incorporated in a device such as a hard disk driver, there are problems such as the adhered oil adhering to unnecessary portions of the incorporating device, or preventing the sleeve Ws from being fixed to the device by bonding. Arise.
[0004]
Therefore, for the hydrodynamic bearing W after assembly, it is necessary to remove the oil adhering to the outer peripheral surface of the sleeve Ws by washing. As a workpiece cleaning device that cleans a hydrodynamic bearing after assembly as a workpiece, there is a device that removes dirt such as oil by applying ultrasonic waves while the workpiece is immersed in a cleaning liquid (Patent Literature). 1).
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-199519
[Problems to be solved by the invention]
In the above-mentioned workpiece cleaning apparatus, since the workpiece is present in the cleaning liquid for a while after cleaning, dirt once removed from the workpiece may be reattached to the workpiece during the presence. Difficult to clean. In particular, when the workpiece is a hydrodynamic bearing after assembly, the oil filled in the hydrodynamic bearing flows into the cleaning liquid and adheres to the surface of the hydrodynamic bearing, or the amount of oil filled in the hydrodynamic bearing is reduced. There may be a shortage.
[0007]
Further, in the above workpiece cleaning apparatus, since the entire workpiece is immersed in the cleaning liquid, a large amount of cleaning liquid is required, which not only increases the cost, but also requires the work wet with the cleaning liquid to be dried, which increases the size of the entire apparatus. Yes.
[0008]
The problem to be solved by the present invention is to provide a workpiece cleaning apparatus that can clean a workpiece reliably, can be cleaned at a low cost without requiring a large amount of cleaning liquid, and can be downsized as a whole. .
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above-described problems, the workpiece cleaning apparatus of the present invention accommodates a workpiece having a chamber in which an airflow passage gap is formed between the workpiece and the surface to be cleaned in a state where the workpiece is accommodated therein. The apparatus includes a container and airflow generation means for generating a cleaning airflow in the airflow passage gap by sucking or pumping gas to the airflow passage gap.
[0010]
In the workpiece cleaning apparatus having the above-described configuration, a cleaning airflow is generated by air or the like in the airflow passage gap between the workpiece and the inner surface of the accommodation chamber due to the operation of the airflow generation means, and the cleaning airflow is applied to the outer surface of the workpiece. It distributes at high speed along the cleaning surface. By this cleaning airflow, dirt such as abrasive powder and cutting waste adhering to the surface to be cleaned is removed from the surface to be cleaned and discharged to the outside of the work container.
[0011]
In this case, since a large amount of cleaning liquid is not used, the apparatus can be miniaturized. Further, since the dirt once detached from the surface to be cleaned of the work is immediately discharged by the air flow, there is no possibility of reattaching to the work.
[0012]
In the above configuration, the airflow generation means includes a suction type air machine such as a vacuum pump or a vacuum fan. In addition to this, the air flow generating means may be a device that sends a gas such as pressurized air into the air flow passage gap to generate an air flow in the air flow passage gap, such as a pressure pump or a blower fan. Good.
[0013]
The work container may be any container as long as the work is accommodated therein. However, when the work is, for example, cylindrical or rectangular, and the inner periphery has a surface to be cleaned, the container is cylindrical or rectangular. A core located on the inner peripheral side of the cylindrical workpiece is included as a part. The core forms an airflow passage gap with the inner peripheral surface of the workpiece.
[0014]
In the workpiece cleaning apparatus having the above configuration, when a cleaning liquid input means, for example, a nozzle, is provided on the gas air inflow side of the airflow passage gap between the workpiece and the container, for example, a nozzle is provided. It is possible to introduce a volatile cleaning liquid into the airflow passage gap. The injected volatile cleaning liquid acts on the dirt adhering to the surface to be cleaned of the workpiece and removes it from the surface to be cleaned, so oily dirt such as oil and sticky dirt are removed. Is effective.
[0015]
In this case, since it is sufficient that the cleaning liquid has an amount sufficient to cover the entire surface to be cleaned of the workpiece, the amount of the cleaning liquid used can be suppressed to a small amount compared to the case of immersing the workpiece. Further, since the cleaning liquid is quickly vaporized by being in contact with the gas flow, the surface to be cleaned of the workpiece is in a dry state free from dirt. Therefore, there is no need for a separate process and device for drying the workpiece. From this point, the apparatus can be downsized.
[0016]
In the workpiece cleaning apparatus having the above-described configuration, the flow rate of the gas flowing along the surface to be cleaned of the workpiece is adjusted by changing the size of the airflow passage gap between the workpiece and the container or the capability of the airflow generation means. be able to.
[0017]
The flow rate of the cleaning airflow is preferably in the range of 10 m to 100 m per second. When the flow rate of the cleaning airflow is less than 10 m / second, the effect of removing dirt is insufficient. When the flow rate exceeds 100 m / s, the cleaning effect does not increase much with respect to the increase in the capacity of the airflow generation means, which is practically uneconomical.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a configuration diagram of a workpiece cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a process diagram showing an operation of the workpiece cleaning apparatus of FIG. In this embodiment, the workpiece to be cleaned is applied to a hydrodynamic bearing, but is not limited to this.
[0019]
With reference to FIG. 1, the workpiece cleaning apparatus of the present embodiment includes a
[0020]
The work W is a hydrodynamic bearing, and as shown in FIG. 3, the work W includes a sleeve Ws and a shaft Wt rotatably inserted into the sleeve Ws, and the shaft Wt extends from one axial end surface of the sleeve Ws. It is the shape where the one end side of Wt protruded.
[0021]
The
[0022]
A plurality of
[0023]
A
[0024]
In the present embodiment, the air flow generating means 2 generates air flow in the air
[0025]
A
[0026]
Above the
[0027]
Examples of the volatile cleaning liquid C include acetone, hexane, and heptane. In the illustrated example, the entire cleaning liquid charging means 7 is above the
[0028]
In addition, as the cleaning liquid charging means, a volatile cleaning liquid stored at a position higher than the
[0029]
The operation of the workpiece cleaning apparatus having the above configuration will be described with reference to the process diagram of FIG. 2. In
[0030]
When the workpiece W is set in a predetermined posture, the airflow generation means 2 (vacuum pump in the illustrated example) is activated in step S2, and almost simultaneously with this, in step S3, the
[0031]
In this case, a negative pressure acts on almost the entire surface of the workpiece W. However, since the periphery of the shaft Wt of the workpiece W is covered with the
[0032]
By sucking air by the air flow generating means 2, an air flow is generated in the direction of arrow B in the air
[0033]
As described above, while the air is flowing at high speed in the
[0034]
The volatile cleaning liquid C supplied from above the
[0035]
Note that after the volatile cleaning liquid C is introduced, the air flow in the
[0036]
After the cleaning with the volatile cleaning liquid C is completed, in step S5, the air flow generating means 2 is stopped, the
[0037]
In the above embodiment, the volatile cleaning liquid C is used so that the work W to which the cleaning liquid adheres is quickly dried. However, if the drying time of the work W is not particularly problematic, a non-volatile cleaning liquid is used. Also good. In the present invention, since the airflow flowing through the
[0038]
Moreover, in the said embodiment, although the
[0039]
The workpiece W in the above embodiment has a columnar shape and the outer peripheral surface thereof is a surface to be cleaned, but the workpiece W is not limited to this. When the workpiece is, for example, cylindrical and has a surface to be cleaned on the inner periphery, a part of the
[0040]
Furthermore, in the said embodiment, although the vacuum pump was used as the airflow generation means 2, as an airflow generation means 2, using a feed-in type air machine like a pressurization pump or a ventilation fan, A gas may be sent into the
[0041]
【The invention's effect】
According to the present invention, the surface to be cleaned of the workpiece is cleaned by the cleaning airflow in the airflow passage gap, so that the possibility of dirt and the like reattaching to the workpiece is reduced, and the cleaning air is included in the cleaning airflow. Sometimes, it does not require a large amount of cleaning liquid as in the past, and it is not necessary to set a separate drying process and drying device for the work wet with the cleaning liquid. Become.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a workpiece cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a process diagram showing the operation of the workpiece cleaning apparatus of FIG. 1. FIG. 3 is a sectional view of a hydrodynamic bearing which is an example of a workpiece. Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記収容室の気体流入側から前記気流通過用隙間内に洗浄液を投入する洗浄液投入手段が設けられているワーク洗浄装置。In the workpiece washing apparatus according to claim 1,
A workpiece cleaning apparatus provided with a cleaning liquid input means for supplying a cleaning liquid into the airflow passage gap from the gas inflow side of the storage chamber.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003190975A JP2005021819A (en) | 2003-07-03 | 2003-07-03 | Work washing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003190975A JP2005021819A (en) | 2003-07-03 | 2003-07-03 | Work washing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005021819A true JP2005021819A (en) | 2005-01-27 |
Family
ID=34188709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003190975A Pending JP2005021819A (en) | 2003-07-03 | 2003-07-03 | Work washing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005021819A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010501321A (en) * | 2006-08-23 | 2010-01-21 | デュール エコクリーン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Cleaning device and method for cleaning a workpiece |
JP2011240277A (en) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Kyosan Denki Co Ltd | Foreign matter removing apparatus |
-
2003
- 2003-07-03 JP JP2003190975A patent/JP2005021819A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010501321A (en) * | 2006-08-23 | 2010-01-21 | デュール エコクリーン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Cleaning device and method for cleaning a workpiece |
JP2011240277A (en) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Kyosan Denki Co Ltd | Foreign matter removing apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2365225T3 (en) | CLEANING AND DISHWASHER PROCEDURE THAT MAKES USE OF IT. | |
JP2008086955A (en) | Mist/dust collection apparatus | |
JP2007138605A (en) | Toilet bowl with mist flushing device | |
TWI724234B (en) | Washing device | |
US11998956B2 (en) | Method of, and an apparatus for, rinsing materialographic samples | |
JP2005021819A (en) | Work washing device | |
CN110730837B (en) | Ultrasonic cleaning device | |
JP2007324359A (en) | Cleaning method and cleaning device | |
JP2006305646A (en) | Machining chips and machining fluid discharge device for machine tool | |
JP4710392B2 (en) | dishwasher | |
JP2007283166A (en) | Washing apparatus | |
JP4588929B2 (en) | Substrate cleaning tool and substrate processing apparatus | |
JP2006312770A (en) | Washing device | |
JP6601200B2 (en) | Case cleaning method and case cleaning device | |
JP4165307B2 (en) | Foreign material removal method for assembly parts | |
JP4444012B2 (en) | dishwasher | |
JP4370197B2 (en) | Blower and exhaust gas treatment apparatus using the same | |
JP2002002902A (en) | Garbage storage device | |
WO2024202561A1 (en) | Vacuum cleaner | |
KR101939116B1 (en) | Flux cleaning device | |
WO2024202560A1 (en) | Vacuum cleaner | |
JP2010114394A (en) | Suction pad cleaning device and chuck table having suction pad | |
JP3227196U (en) | suction filter | |
JP2007098191A (en) | Vacuum ultrasonic cleaning solution apparatus | |
JP2018138831A (en) | Range hood |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20060627 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20081225 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090113 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090609 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |