JP2005011489A - Master disk manufacturing method of optical information recording medium - Google Patents

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英一 伊藤
鋭二 大野
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Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily control the cross sectional shape of a projected and recessed pattern formed on a master disk using heat mode recording. <P>SOLUTION: A recording master disk is used with a base plate 101, a thermosensitive material layer 102 in which states are varied by exposure and at least one recording auxiliary layer 103 which is arranged to contact the thermosensitive material layer 102. By arbitrarily selecting the thermal conductivity of the recording auxiliary layer, optical constants and thickness or the like, the exposure condition of the thermosensitive material layer is thermally and optically controlled and the cross sectional shape of the projected and recessed pattern formed on the master disk is controlled. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、記録原盤に凹凸パターンを形成するために、ヒートモード記録を用いる光情報記録媒体の原盤製造に関する。 The present invention, in order to form an uneven pattern on the master disc, to master the production of an optical information recording medium using a heat mode recording.

図10を用いて、従来の光情報記録媒体の原盤製造方法およびスタンパ製造方法を説明する。 With reference to FIG. 10, illustrating a mastering process and a stamper manufacturing method of the conventional optical information recording medium. まず、基板1001上にフォトレジスト1002を薄膜状に形成して記録原盤1003を作製する。 First, a photoresist 1002 on the substrate 1001 to form a thin film to produce a master disc 1003. この記録原盤1003にレーザ光または電子線等(記録光)1010を用いた露光により、案内溝および情報ピット等の所望パターンを潜像1004として形成する(図10(A))。 The exposure using a laser beam or an electron beam or the like (recording light) 1010 on the recording master disk 1003, to form a desired pattern such as a guide groove and information pits as a latent image 1004 (FIG. 10 (A)). 露光後の記録原盤にエッチングを施すことにより、潜像1004として記録された所望パターンが凸または凹として形成された原盤1005を製造する(図10(B))。 By etching the master disc after the exposure, the recorded desired pattern to produce a master disk 1005 which is formed as a convex or concave as a latent image 1004 (FIG. 10 (B)). DVDおよびその次世代の光情報記録媒体の原盤製造においては、紫外線レーザによる露光、およびアルカリ溶液によるウエットエッチングが広く用いられている。 DVD and in mastering of the next generation optical information recording medium, exposed to ultraviolet laser, and wet etching with an alkaline solution has been widely used. フォトレジストの露光による光化学反応を利用した潜像の形成は、フォトンモード記録とも呼ばれる。 Formation of a latent image utilizing a photochemical reaction caused by exposure of the photoresist is also referred to as photon-mode recording. スタンパは、原盤1005上に導電膜1006を形成し(図10(C))、導電膜1006の表面にメッキにより金属層1007を形成し(図10(D))、金属層1007を剥離して、さらに打ち抜き加工等を施すことにより得られる。 Stamper, and forming a conductive film 1006 on the master 1005 (FIG. 10 (C)), by plating on the surface of the conductive film 1006 to form a metal layer 1007 (FIG. 10 (D)), by peeling off the metal layer 1007 obtained by further punching the like. 光情報記録媒体のディスク基板は、スタンパを用いた射出成形により製造される。 Disc substrate of the optical information recording medium is produced by injection molding using a stamper. 図10(A)〜(D)は、ポジ型のフォトレジストを用いて原盤を製造する方法を示す。 Figure 10 (A) ~ (D) illustrate a method of manufacturing a master disk using a positive photoresist. ネガ型のフォトレジストを用いる場合も、原盤に形成される凹凸が逆となる点(図10(E))以外はポジ型のフォトレジストを用いて説明した方法と同じ方法を適用して原盤を製造できる。 Even when using a negative photoresist, except that unevenness formed on the master are reversed (Fig. 10 (E)) applies the same manner as described with reference to positive photoresist the master It can be produced.

フォトレジストの代わりに、感熱性材料から成る層を基板1001上に形成し、感熱材料層をヒートモード記録して、原盤を製造する方法も提案されている(例えば特許文献1参照)。 Instead of the photoresist, a layer of a heat-sensitive material is formed on the substrate 1001, the heat-sensitive material layer to a heat mode recording, in which (for example, see Patent Document 1) proposed a method for manufacturing the master disk. ヒートモード記録とは、露光による温度変化によって引き起こされる物質の状態変化を利用して所定のパターンを記録する方法をいう。 The heat mode recording, by utilizing the state change of material caused by the temperature change due to exposure refers to a method for recording a predetermined pattern. ここで、物質の「状態変化」とは、物質の物理的および/または化学的性質が変化することをいう。 Here, the "state change" of a substance refers to the change in physical and / or chemical properties of the substance. 光情報記録媒体の原盤の製造において、ヒートモード記録は、エッチングにより凹部となる部分(またはエッチング後に凸となる部分)を形成するために実施される。 In the production of the master of an optical information recording medium, a heat mode recording is performed to form a portion (or convex portion serving after etching) the recesses by etching. ヒートモード記録を利用する場合には、同波長の光を用いてフォトンモード記録を実施する場合と比較して、凹凸の輪郭がより明瞭なパターンを得ることができる。 When using a heat mode recording, as compared with the case of performing the photon-mode recording using light of the same wavelength, it is possible to contour irregularities obtain a clearer pattern. これは、露光による感熱材料の状態変化は、その材料がある一定温度以上に達したときに生じ、一定温度に達しなかった部分では昇温されたとしても状態変化が生じないことによる。 This state change of the heat-sensitive material by exposure, occurs when it reaches a certain temperature or higher which is the material, due to the state change even if they are heated does not occur in a portion which has not reached a predetermined temperature. したがって、ヒートモード記録を利用することにより、より微細なパターンの形成が可能である。 Thus, by utilizing the heat mode recording, it is possible to form a finer pattern. なお、ヒートモード記録を利用した製品としては、書換型光情報記録媒体が既に存在する。 As the products using heat-mode recording, rewritable optical information recording medium is already present. 書換型光情報記録媒体においては、情報の記録(即ち、ピットの形成)が、温度変化によって引き起こされる記録層の光学定数の変化を利用して行われている。 In a rewritable optical information recording medium, the recording of information (i.e., formation of pits), has been carried out by utilizing a change in the optical constants of the recording layer caused by temperature changes.

特開平10−97738号公報 JP-10-97738 discloses

前述のように、ヒートモード記録を利用することによって、原盤表面における輪郭が明瞭な凹凸パターンを形成できる。 As described above, by utilizing heat mode recording, contours in the master surface can form a clear concavo-convex pattern. しかしながら、ヒートモード記録を利用して形成した凹部は、後述する図11に示すように、凹部の側面が緩やかに傾斜した断面形状を有する、即ち、傾斜角1104が小さくなる傾向にある。 However, the recess formed by utilizing heat mode recording, as shown in FIG. 11 to be described later, the side surface of the recess has a gently sloping cross-sectional shape, i.e., tends to tilt angle 1104 is small. 傾斜角の小さい凹部(具体的には、案内溝および信号ピット等)が形成された原盤を用いてスタンパを製造し、当該スタンパを用いて光情報記録媒体を製造すると、光情報記録媒体の案内溝および信号ピット等からの信号の振幅が小さくなるという不都合がある。 Small recess inclination angle (specifically, the guide groove and signal pits) to produce a stamper using the master disk is formed, when manufacturing the optical information recording medium using the stamper, guidance of the optical information recording medium the disadvantage that the amplitude of the signal from the groove and the signal pits is reduced.

また、光情報記録媒体の原盤に形成される凹凸パターンは、金属スタンパの製造および樹脂成形の際に転写されて、最終的に光情報記録媒体において、案内溝および信号ピット等を構成する。 Further, the concavo-convex pattern formed on the master disk of the optical information recording medium, is transferred to the preparation and the resin molding of the metal stamper, the final optical information recording medium, constituting the guide channel and the signal pits. したがって、所望の案内溝等を形成するためには、使用される転写プロセスに応じて最適な傾斜角1104を原盤上に形成することが重要である。 Therefore, in order to form a desired guide groove or the like, it is important to the optimal tilt angle 1104 in accordance with the transfer process used to form on the master. しかしながら、傾斜角を自在に制御することは、ヒートモード記録だけでなく、フォトンモード記録を用いた光情報記録媒体の原盤記録においても、困難であった。 However, be controlled freely tilt angle, not only heat mode recording, in the master recording of the optical information recording medium using the photon-mode recording, it has been difficult.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ヒートモード記録を利用して、より傾斜角の大きい凹部または凸部を形成することを目的とし、さらには、傾斜角を自在に制御することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, by using a heat mode recording, intended to form a larger concave or convex portion of the more inclination angles, further, to freely control the angle of inclination and an object thereof.

図11を用いて、ヒートモード記録を用いて製造した光情報記録媒体の原盤において凹凸パターンの傾斜角が小さくなる理由について本発明者が得た知見を説明する。 With reference to FIG. 11, the reason why the inclination angle of the uneven pattern in the master of an optical information recording medium produced decreases illustrating the findings by the inventors was obtained using a heat mode recording. ヒートモード記録を光情報記録媒体の原盤記録に応用した場合、感熱性の記録材料からなる感熱材料層1101の一方の主表面が大気1102と、他方の主表面が基板1103と接することになる。 When an application of the heat mode recording the master recording of the optical information recording medium, one main surface of the heat-sensitive material layer 1101 made of heat-sensitive recording material with the atmosphere 1102, the other main surface comes into contact with the substrate 1103. 一般に大気と固体の基板とでは熱伝導率が異なるために、露光による感熱材料の昇温の度合いが大気側と基板側とで異なる。 Generally in the thermal conductivity is different between the substrate of the atmosphere and the solid, the degree of Atsushi Nobori of the heat-sensitive material by exposure is different between the atmosphere side and the substrate side. 即ち、図11に示す例では、感熱材料層1101の表面付近に熱がより溜まりやすくなって、昇温により状態変化する部分は、感熱材料層1101の表面付近に偏在する。 That is, in the example shown in FIG. 11, taken in the vicinity of the surface of the heat-sensitive material layer 1101 heat more easily accumulate, part of the state change by heating is localized near the surface of the heat-sensitive material layer 1101. その結果、凹部においてエッチング前の感熱材料層の厚さに対するエッチング後の感熱材料層の厚さの割合の面方向における変化(即ち、状態変化していない部分と状態変化した部分との境界の傾き)が小さくなる。 Slope of the results, the boundary between the change in the surface direction of the ratio of the thickness of the heat-sensitive material layer after etching to the thickness (i.e., the portion and the state change that is not a state change part of the heat-sensitive material layer before etching the recesses ) becomes smaller. その結果、凹部の傾斜角1104が小さくなる。 As a result, the inclination angle 1104 of the recess is reduced. ここで、凹部の傾斜角とは、凹部の深さの2分の1のところにおける凹部の側面の接線と原盤の主表面に平行な面とがなす角度であって、エッチング後に残っている部分の側で測定される角度をいう。 Here, the inclination angle of the concave portion, an angle formed between a plane parallel to the main surface of the tangent and the master side of the recess in at the one-half of the depth of the recess, remaining after the etching portion It refers to the angle measured in the side. さらに、感熱材料層の昇温の度合は、露光に用いられる波長の光を、感熱材料が吸収し得る能力(即ち、光吸収率)によっても影響され、かかる光吸収率もまた、感熱材料層の両方の主表面に接する物質によって変化する。 Furthermore, the degree of Atsushi Nobori of the heat-sensitive material layer, a light of a wavelength used for exposure, the ability of heat-sensitive material can absorb (i.e., light absorption rate) is also affected by, such light absorption rate is also heat-sensitive material layer It varies depending on the material in contact with both of the major surfaces. 本発明者は、感熱材料層の両方の主表面に接する物質(空気を含む)の熱伝導率および/または光学定数を調節することにより、所望の断面形状の凹凸が得られるとの考えに基づいて、本発明を完成させた。 The present inventors have, based on the idea that by adjusting the thermal conductivity and / or optical constants of contact with both major surfaces of the heat-sensitive material layer material (including air), the unevenness of the desired cross-sectional shape can be obtained Te, it has led to the completion of the present invention.

本発明は、第1の光情報記録媒体の原盤製造方法として基板、露光による温度変化によって状態の変化する材料から成る感熱材料層、および当該感熱材料層とは異なる材料から成る記録補助層を含む記録原盤に、当該感熱材料層に露光を施して、状態変化した部分を形成すること、ならびに当該状態変化した部分のエッチングレートと状態変化していない部分のエッチングレートが異なる条件で第一のエッチングを実施することを含む、光情報記録媒体の原盤製造方法を提供する。 The present invention includes a substrate, heat-sensitive material layer made of a material which changes of state by temperature changes due to exposure, and the recording auxiliary layer made of a material different from that of the heat-sensitive material layer as the master production method of the first optical information recording medium the master disc, the heat-sensitive material layer to be subjected to exposure, to form a state changed portion, and first etching the etching rate of the etching rate and the portion not changed state of the state changed portion is at different conditions the comprising performing, provides a master disk manufacturing method of an optical information recording medium. 本発明の当該方法は、感熱材料層に熱的および/または光学的作用を及ぼす記録補助層を設けた記録原盤を用いることを特徴とする。 The method of the present invention is characterized by using a master disc in which a recording auxiliary layer on the thermal and / or optical effect on the heat-sensitive material layer. かかる特徴によれば、ヒートモード記録を利用して凹凸パターンを形成する場合でも、従来にない急峻な断面形状を持つ凹凸パターンの形成が可能となる。 According to this feature, even when forming a concavo-convex pattern using a heat mode recording, formation of the concavo-convex pattern with a steep cross-sectional shape without the conventional becomes possible. また、記録補助層の材料および厚さを適宜選択することによって、容易に凹凸パターンの断面形状を制御できる。 Further, by appropriately selecting the material and thickness of the recording auxiliary layer can be easily controlled cross-sectional shape of the uneven pattern. 記録補助層は、好ましくは、感熱材料層の主表面と接するように設けられる。 Recording auxiliary layer is preferably provided in contact with the main surface of the heat-sensitive material layer.

上述のとおり、感熱材料は、露光による温度変化(具体的には昇温)によって状態の変化する材料である。 As described above, the heat-sensitive material (specifically, temperature increase) the temperature change due to exposure is a material which changes state by. ここで、「状態の変化」とは、感熱材料の化学的および/または物理的性質が変化することをいう。 Here, the "change of state" refers to the chemical and / or physical properties of the heat sensitive material is changed. 「状態変化した部分」は、例えば、相変化した部分または熱架橋した部分等となる。 "State changed portion" is, for example, the phase change portion or thermally crosslinked portions or the like. また、本明細書において、「露光」とは、光の照射だけでなく、電子線照射等も含む意味で使用される。 In the present specification, the term "exposure", not only the irradiation of light, are used in the sense to include electron beam radiation and the like. さらに、本明細書において、「断面形状」とは、特に断りのない限り厚さ方向の断面の形状を指し、「表面」とは、特に断りのない限り、厚さ方向に垂直な広い面(即ち、主表面)を指すことに留意されたい。 Further, in this specification, the term "cross-sectional shape", especially refers to the thickness direction of the cross-sectional shape unless otherwise stated, the term "surface" in the present specification, a wide perpendicular to the thickness direction surface ( that is, it should be noted that the dominant surface). さらにまた、以下の説明を含む本明細書においては、光情報記録媒体の原盤を単に「原盤」と呼ぶ場合があり、感熱材料層中に状態変化した部分を露光により所定のように形成することを、「記録」と呼ぶ場合がある。 Furthermore, in the present specification including the following description, there are cases where a master of an optical information recording medium referred to simply as "master", to form a predetermined manner by exposing the state changed portion to the heat-sensitive material layer a, it may be referred to as a "record".

本発明はまた第2の原盤製造方法として、上記第1の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が前記感熱材料層と前記基板との間に配置されていることを特徴とする方法を提供する。 As the present invention may also second mastering process, a the first master manufacturing method, in the recording master disk, said auxiliary recording layer is disposed between the substrate and the heat-sensitive material layer to provide a method which is characterized. その場合には、記録の際に、感熱材料層を基板側から熱的および/または光学的に制御することが可能となる。 In that case, the time of recording, it is possible to thermally and / or optically controlled heat-sensitive material layer from the substrate side.

本発明は、第3の原盤製造方法として、上記第1または第2の製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記基板を構成する材料の熱伝導率と異なっていることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a third method for mastering, a said first or second manufacturing method, in the master disc, the material thermal conductivity of the material constituting the recording auxiliary layer constituting the substrate a method which is characterized in that is different from the thermal conductivity. 基板を構成する材料の熱伝導率を考慮して記録補助層の材料および厚さを変えることにより、感熱材料層の基板側の放熱性を容易に制御することが可能となり、それにより、記録原盤に形成される凹凸パターンの断面形状および記録感度の制御が可能となる。 By changing the material and thickness of the auxiliary recording layer in consideration of the thermal conductivity of the material of the substrate, it is possible to easily control the substrate side of the heat dissipation of the heat-sensitive material layer, whereby the master disc it is possible to control the cross-sectional shape and the recording sensitivity of the concavo-convex pattern formed on.

本発明は、第4の原盤製造方法として、上記第2または第3の製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が、露光に使用する波長の光における前記感熱材料層の光吸収率を増大させるように形成されていることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a fourth mastering process, a the second or third manufacturing method, in the master disc, the recording auxiliary layer, the light of the heat-sensitive material layer in the light of the wavelength used for exposure it is formed so as to increase the absorption rate provides a method characterized. そのような記録原盤は、具体的には、記録補助層の光学定数(n+iκ、n:屈折率、κ:消衰係数)を基板および感熱材料の光学定数に応じて、適宜選択することにより形成することができる。 Such master disc, specifically, the optical constants of the recording auxiliary layer (n + iκ, n: refractive index, kappa: extinction coefficient) of in accordance with the optical constants of the substrate and heat-sensitive material, formed by appropriately selecting can do. かかる記録原盤によれば、記録の際の感熱材料層の記録感度を高めることができる。 According to such a recording master disk, it is possible to increase the recording sensitivity of the heat-sensitive material layer when the recording. また、感熱材料層の深さ方向の記録光吸収量の分布を制御することができ、それによって、凹凸パターンの断面形状を制御することもできる。 Further, it is possible to control the recording light absorption amount of distribution in the depth direction of the heat-sensitive material layer, thereby, it is possible to control the cross-sectional shape of the uneven pattern.

本発明は、第5の原盤製造方法として、第1の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記感熱材料層が記録補助層と基板との間に位置することを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a fifth method of mastering, a first mastering process, in the recording master disk, the method characterized by the heat-sensitive material layer is located between the auxiliary recording layer and the substrate provide. 第5の方法で使用される記録原盤は、基板に近い感熱材料層の表面を下側表面としたときに、感熱材料層の上側表面に記録補助層が位置する構成を有する。 Master disc used in the fifth method, when the surface of near the substrate heat-sensitive material layer and the lower surface has a configuration which positions the recording auxiliary layer on the upper surface of the heat-sensitive material layer. この記録原盤を使用すると、記録の際に、感熱材料層を記録原盤の露光表面側から熱的および/または光学的に制御することが可能となる。 Using this recording master, during recording, comprising a heat-sensitive material layer from the exposed surface of the master disc can be controlled thermally and / or optically.

本発明は、第6の原盤製造方法として、上記第5の原盤製造方法であって、前記記録原盤の前記記録補助層を前記第一のエッチングの際に除去することを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides a sixth mastering method, a the fifth mastering process, the method characterized by removing the auxiliary recording layer of the master disc during the first etching to. この方法においては、かかる条件で第一のエッチングを実施できるよう、記録補助層および感熱材料層の材料、ならびにエッチング液を選択する。 In this manner and performing the first etching under such conditions, the material of the recording auxiliary layer and the heat-sensitive material layer, and to select an etchant. 第6の方法によれば、第一のエッチングを行う前に前記記録補助層を除去する必要が無くなり、原盤製造の工程数を減らすことが可能となる。 According to the sixth method, it is not necessary to remove the recording auxiliary layer prior to performing the first etching, it is possible to reduce the number of steps mastering.

本発明は、第7の原盤製造方法として、上記第5または第6の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記記録原盤の表面が接する媒質の熱伝導率と異なることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a seventh mastering method, a the fifth or sixth mastering method, the in master disc, the surface of the recording thermal conductivity the master disc of the material of the auxiliary layer the thermal conductivity of the medium in contact with the different provided a method characterized. この第7の方法は、記録補助層が感熱材料層の上に位置する記録原盤を使用する場合の好ましい形態である。 The seventh method is a preferred embodiment when using the master disc for the recording auxiliary layer is located on the heat-sensitive material layer. 記録原盤の外部媒質の熱伝導率に基づいて、記録補助層の材料および厚さを変えることにより、感熱材料層の記録原盤の露光表面側の放熱性を容易に制御することが可能となり、それにより凹凸パターンの断面形状および記録感度の制御が可能となる。 Based on the thermal conductivity of the external medium of the recording master disk, by changing the material and thickness of the recording auxiliary layer, it is possible to easily control the heat radiation of the exposure surface side of the master disc of the heat-sensitive material layer, it it is possible to control the cross-sectional shape and the recording sensitivity of the concavo-convex pattern by.

本発明は、第8の原盤製造方法として、本発明の第1の光情報記録媒体の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が第一の記録補助層と第二の記録補助層とから成り、第一の記録補助層が感熱材料層と基板との間に配置され、感熱材料層が第一の記録補助層と第二の記録補助層との間に配置されていることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as master manufacturing method of the eighth, a mastering method for the first optical information recording medium of the present invention, in the master disc, the recording auxiliary layer is the second and first auxiliary recording layer composed of a recording auxiliary layer, a first recording auxiliary layer is disposed between the heat-sensitive material layer and the substrate, the heat-sensitive material layer is disposed between the first auxiliary recording layer and the second recording auxiliary layer It provides a method characterized in that there. 2つの記録補助層が感熱材料層を挟んでいる記録原盤を使用することによって、記録の際に、感熱材料層を、基板側および記録原盤の露光表面側の双方から、熱的および/または光学的に制御することが可能となる。 By two auxiliary recording layer uses a master disc sandwiching a heat-sensitive material layer, during the recording, a heat-sensitive material layer, from both the exposure surface of the substrate side and the recording master disc, thermal and / or optical it is possible to controlled.

本発明は、第9の原盤製造方法として、本発明の第8の光情報記録媒体の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記第一の記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記基板を構成する材料の熱伝導率と異なることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as master manufacturing method of the ninth, a mastering method of the eighth optical information recording medium of the present invention, in the master disc, the thermal conductivity of the material constituting the first recording auxiliary layer There is provided a method characterized in that different from the thermal conductivity of the material constituting the substrate. 第9の方法によりもたされる効果は上記第3の方法によりもたらされる効果と同じである。 Effect Motasa by ninth method is the same as the effect produced by the third method.

本発明は、第10の原盤製造方法として、上記第8または第9の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記第二の記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記記録原盤の露光表面が接する媒質の熱伝導率と異なることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 10 mastering method, the eighth or a ninth mastering process, the in the recording master disc, the second thermal conductivity the master disc of the material of the recording auxiliary layer a method characterized by thermal conductivity of the medium through which the exposure surface is in contact with the different. 第10の方法によりもたらされる効果は上記第7の方法によりもたされる効果と同じである。 Effect provided by the 10 method is the same as effects Motasa by the method of the seventh.

本発明は、第11の原盤製造方法として、前記第8から第10のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が露光に使用する光の波長での前記感熱材料層の光吸収率を増大させることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as master manufacturing method of the 11, a tenth any one of mastering method from the eighth, in the master disc, the at the wavelength of light that the recording auxiliary layer is used for exposure It provides a method characterized by increasing the light absorption rate of the heat-sensitive material layer. 第11の方法によりもたらされる効果は上記第5の方法によりもたらされる効果と同じである。 Effect provided by the 11 method is the same as the effect brought about by the method of the fifth.

本発明は、第12の原盤製造方法として、上記第1から第11のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、金属反射層が、前記感熱材料層および前記記録補助層のいずれよりも前記基板に近い位置に配置されていることを特徴とする方法を提供する。 As the present invention is the twelfth mastering method, a first 11 one of the master production process from the first, in the master disc, a metal reflective layer, the heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer than any provides a method characterized in that it is located closer to the substrate. 第12の方法で使用される記録原盤においては、記録原盤の露光される表面からより遠い位置がより下に位置すると規定した場合に、金属反射層が、感熱材料層および記録補助層のいずれよりも下に位置する。 In the master disc used in the twelfth method, when more distant from the exposed the surface of the recording master disc is defined as more situated below the metal reflective layer than any of the heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer also located below. 金属反射層を設けることによって、記録の際の感熱材料層の光吸収率を高めることができる。 By providing the metal reflective layer, it is possible to increase the light absorption rate of the heat-sensitive material layer when the recording.

本発明は、第13の原盤製造方法として、本発明の第12の原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が前記金属反射層と前記感熱材料層との間に配置され、当該記録補助層を構成する材料の熱伝導率が、前記金属反射層を構成する材料の熱伝導率より小さいことを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 13 mastering method, a twelfth master production method of the present invention, in the master disc, the recording auxiliary layer is disposed between the heat-sensitive material layer and the metal reflective layer , the thermal conductivity of the material constituting the recording auxiliary layer, a method is provided for being less than the thermal conductivity of the material constituting the metal reflective layer. 金属反射層は一般に高い熱伝導率を有するため、これが感熱材料層と接すると、感熱材料層の放熱性が高くなる。 Because having a metal reflective layer is generally high thermal conductivity, which when in contact with the heat-sensitive material layer, heat dissipation of the heat-sensitive material layer is increased. 第13の原盤製造方法においては、金属反射層に起因して感熱材料層の放熱性が高められることを、熱伝導率の小さい記録補助層によって抑制することが可能となる。 In the thirteenth mastering method, that heat dissipation of the heat-sensitive material layer is enhanced due to the metal reflective layer, it is possible to suppress the small recording auxiliary layer thermal conductivity.

本発明は、第14の原盤製造方法として、上記第1、2、3、4、8、9、10、11、12または13の原盤製造方法であって、前記第一のエッチングが、前記感熱材料層の前記状態変化した部分と前記状態変化していない部分のうちエッチングレートの高い方のエッチングレートよりも、前記記録補助層のエッチングレートが低くなる条件で実施されることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 14 mastering method, a mastering method of the first 1,2,3,4,8,9,10,11,12 or 13, wherein the first etching, the thermosensitive method characterized in that than the etching rate of the higher etch rate of the state changed portion and the state unaltered portions of the material layer, the etching rate of the recording auxiliary layer is performed under a condition to be low I will provide a. 第14の製造方法は、即ち、記録補助層が感熱材料層と基板との間に位置する記録原盤を使用する場合に実施される。 Manufacturing method of the 14, i.e., is carried out when using the master disc for the recording auxiliary layer is located between the heat-sensitive material layer and the substrate. 第14の原盤製造方法においては、第一のエッチングの際に、記録補助層の表面が荒らされるのを抑制できるので、前記凹凸パターンの底部の表面をより平滑にすることができる。 In the fourteenth mastering method, during the first etching, so that the surface of the recording auxiliary layer is roughened can be suppressed, it is possible to the surface of the bottom of the concave-convex pattern smoother.

本発明は、第15の原盤製造方法として、上記第1、2、3、4、8、9、10、11、12、13、または14の原盤製造方法であって、前記第一のエッチングにより前記感熱材料層を選択的に除去した後に、前記感熱材料層をマスクとして利用する第二のエッチングを実施すること、および前記第二のエッチング後、前記感熱材料層を除去する第三のエッチングを実施することを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 15 mastering method, a mastering method of the first 1,2,3,4,8,9,10,11,12,13 or 14, by the first etching after selectively removing the heat-sensitive material layer, performing a second etching utilizing the heat-sensitive material layer as a mask, and after the second etching, the third etching to remove the heat-sensitive material layer It provides a method which comprises carrying out. 感熱材料層のエッチングにより凹凸パターンを形成する場合には、感熱材料層の表面が荒らされて感熱材料層に良好な凹凸パターンが得られないことがある。 When forming a concave-convex pattern by etching of the heat-sensitive material layer may be roughened the surface of the heat-sensitive material layer is not obtained a good uneven pattern on heat-sensitive material layer. 第15の方法によれば、第二のエッチングによって記録補助層に凹凸が形成され、第三のエッチングによって記録補助層の平滑な表面が露出するため、良好な凹凸パターンを形成することができる。 According to the 15 method, unevenness on the recording auxiliary layer by the second etching is formed, to expose a smooth surface of the recording auxiliary layer by a third etching, it is possible to form a good uneven pattern.

本発明は、第16の原盤製造方法として、上記第15の原盤製造方法であって、前記記録原盤が前記感熱材料層と前記基板との間に前記記録補助層が位置する構成を有し、前記第二のエッチングにより前記記録補助層をエッチングする深さをd1、前記第二のエッチング前の前記感熱材料層の平均厚さをd2としたときに、前記第二のエッチングが、前記感熱材料層に対する前記記録補助層のエッチング選択比がd1/d2より大きい条件で実施されることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 16 mastering method, a the fifteenth mastering method has a configuration in which the master disc is the recording auxiliary layer is located between the substrate and the heat-sensitive material layer, the depth of etching the auxiliary recording layer by the second etching d1, an average thickness of the heat-sensitive material layer before the second etching is taken as d2, the second etching, the thermosensitive material etching selectivity of the recording auxiliary layer to the layer to provide a method characterized in that it is performed at d1 / d2 greater than conditions. ここで、「深さd1」とは、エッチング後の凹部の最も深い部分の深さをいい、第二のエッチング前の感熱材料層の平均厚さd2とは、第一のエッチングにより状態変化した部分が凹部となる場合には、凹部の存在しない部分の平均厚さをいい、状態変化した部分が凸部となる場合には、凸部の平均高さをいう。 Here, the "depth d1" refers to the depth of the deepest portion of the recess after the etching, and the second average thickness d2 of the etching before the heat-sensitive material layer, and the state change by the first etching If the portion is concave refers to the average thickness of the non-existent portion of the recess, when the state changed portion is convex portion refers to the average height of the projections. また、エッチング選択比は、エッチングレートの比に相当する。 The etching selectivity ratio corresponds to the ratio of the etching rate. 第16の方法においては、第二のエッチングの際の記録補助層のエッチングレートをr aux 、感熱材料層のエッチングレートをr heatとした場合に、r aux /r heat >d1/d2であることを要する。 It In a sixteenth method, when the etching rate of the recording auxiliary layer during the second etch and r aux, the etching rate of the heat-sensitive material layer and r heat, a r aux / r heat> d1 / d2 the required. 第16の方法によれば、前記第二のエッチングの際にエッチングマスクとして働く前記感熱材料層が、エッチング中に消失することがなく、前記第二のエッチングによって良好な凹凸パターンを形成することができる。 According to the 16 method, the heat-sensitive material layer acting as an etch mask during the second etching, without lost during etching, to form a good uneven pattern by the second etching it can. 第16の方法は、感熱材料層と基板との間に記録補助層を有する記録原盤のいずれにも適用できる。 The method of 16 is applicable to any recording master having a recording auxiliary layer between the heat-sensitive material layer and the substrate. したがって、第16の方法は、前述した第一の記録補助層と第二の記録補助層の間に感熱材料層が位置する構成の記録原盤にも適用できる。 Accordingly, the method of the 16 is also applicable to the configuration of the recording master disk to position heat-sensitive material layer between the first auxiliary recording layer and the second recording auxiliary layer described above.

本発明は、第第17の原盤製造方法として、上記第15または第16の原盤製造方法であって、前記第二のエッチングが、前記記録補助層に接し、かつ、前記基板に近い位置に配置される層に対する前記記録補助層のエッチング選択比が1より大きい条件で実施されることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a seventeenth mastering method, a the fifteenth or sixteenth mastering process, the second etching is in contact with the recording auxiliary layer and located closer to the substrate etching selectivity of the recording auxiliary layer to the layer which is to provide a method characterized in that it is carried out at greater than one condition. 記録補助層に接し、かつ基板に近い位置に配置される層は、記録原盤の露光面から基板に向かう方向を下向きとした場合には、記録補助層の下側表面に隣接する層である。 Contact with the recording auxiliary layer, and a layer that is located closer to the substrate, when a direction from the exposure surface of the recording master disc substrate was downward, a layer adjacent to the lower surface of the recording auxiliary layer. かかる層は、例えば、前述の金属反射層である。 Such layers, for example, a metal reflective layer described above. 第17の方法においては、前記第二のエッチングの際に、前記記録補助層の下層の表面が荒らされることが抑制されるので、当該下層の表面が第二のエッチング中に露出する場合に、凹部の底面がより平滑である良好な凹凸パターンが形成される。 In the method of the 17, during the second etching, the so recorded that the underlying surface of the auxiliary layer is roughened is suppressed, when the surface of the lower layer is exposed during the second etching, good uneven pattern bottom surface of the recess is more smooth is formed.

本発明は、第18の原盤製造方法として、上記第1から第17のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記露光に使用する光の波長における屈折率が1.35以上1.65以下の材料から成る光透過層が、前記感熱材料層および前記記録補助層のいずれよりも前記基板から遠い位置に配置され、当該光透過層が前記露光後に除去されることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 18 mastering method, a seventeenth any one of mastering method from the first, in the master disc, the refractive index at the wavelength of light used for the exposure is 1.35 characterized in that the light transmitting layer having the above 1.65 following materials than said one heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer located farther from the substrate, the light transmission layer is removed after the exposure to provide a method for the. 第18の原盤製造方法において、上記特定の屈折率を有する材料から成る光透過層は、民生機器用の光ディスクにおける保護層に相当する。 In the 18 master manufacturing method of the light transmission layer made of a material having the specific refractive index corresponds to the protective layer in the optical disc for consumer equipment. したがって、光透過層を形成することによって、大量生産されている民生機器用の対物レンズを用いて、記録原盤に光の焦点を合わせることができる。 Therefore, by forming the light transmission layer using an objective lens for consumer equipment that is mass-produced, it is possible to focus the light on the recording master. このことは、安価な民生機器用の対物レンズを、原盤記録に用いることを可能にする。 This objective lens for inexpensive consumer appliances makes it possible to use the master recording.

本発明は、第19の原盤製造方法として、上記第1から第18のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記感熱材料層が、TeおよびSbのいずれか一方または両方、Au、Pt、AgおよびCuから選択される1または複数の元素、ならびにOを含み、前記記録補助層が、ZnSおよびSiO のいずれか一方または両方を含み、前記露光がレーザ光を用いてなされ、前記第一のエッチングがアルカリエッチングであることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as master manufacturing method of the 19, a first 18 one of the master production process from the first, in the master disc, one or both of the heat-sensitive material layer, Te and Sb include Au, Pt, 1 or more elements selected from Ag, Cu, and the O, the recording auxiliary layer comprises one or both of ZnS and SiO 2, the exposure by using a laser beam made is, the first etching is a method which is characterized in that an alkali etching. 第19の原盤製造方法においては、前記露光および前記第一のエッチングを実施するために常套的に用いられている装置を使用することが可能である。 In the nineteenth mastering method, it is possible to use a device used to routinely to implement said exposure and said first etching. 即ち、ここで示される材料から成る感熱材料層および記録補助層を有する記録原盤を使用することによって、一層当たり4.7GBの記録容量を持つ直径12cmのDVDの製造に用いられる装置と同様の装置を用いて、記録密度が従来のフォトンモード記録と比較して5倍以上に高い原盤の製造が可能となる。 That is, by using a master disc having a heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer made of a material shown here, the same equipment and apparatus used for manufacturing a DVD 12cm diameter with a recording capacity of 4.7GB per layer using, recording density is possible to produce a high master to 5 times or more as compared to conventional photon mode recording.

本発明は、第20の原盤製造方法として、上記第1から第19のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が、樹脂材料から成ることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 20 mastering method, a nineteenth any one of mastering method from the first, in the master disc, the recording auxiliary layer, characterized in that it consists of a resin material to provide a method. 樹脂材料は無機材料に比べて熱伝導率が小さいために、例えば金属反射層と記録補助層とが接する場合のように、熱伝導率の小さい記録補助層を形成するのに好ましく用いられる。 Resin material for thermal conductivity than inorganic material is small, for example, as in the case of contact and the metal reflective layer and the recording auxiliary layer, preferably used to form small recording auxiliary layer thermal conductivity. また、同じ溶媒に溶かすことのできる複数の樹脂材料を混ぜることにより、所望の特性の材料を容易に得られる。 Further, by mixing a plurality of resin materials that can be dissolved in the same solvent, it is readily obtained a material of desired properties.

本発明は、第21の原盤製造方法として、上記第1から第20のいずれか1つの原盤製造方法であって、前記記録原盤において、前記記録補助層が、蒸着法またはスパッタ法により形成された無機材料から成ることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 21 mastering method, a twentieth one of mastering method from the first, in the master disc, the recording auxiliary layer were formed by vapor deposition or sputtering a method which is characterized in that it consists of an inorganic material. 蒸着法またはスパッタ法を、例えば、複数の材料を混合して形成したターゲットまたは複数個のターゲットを用いて同時に実施することにより、複数の異なる無機材料を混合して記録補助層を容易に形成することができ、それにより、所望の特性の記録補助層を容易に得ることができる。 An evaporation method or a sputtering method, for example, by carried out simultaneously by using a target or a plurality formed by mixing a plurality of materials of the target, to easily form the auxiliary recording layer by mixing a plurality of different inorganic materials it can, thus, it is possible to easily obtain a recording auxiliary layer having desired characteristics.

本発明は、第22の原盤製造方法として、上記第1から第21の原盤製造方法であって、前記第一のエッチングによって原盤上に形成される凹部または凸部の傾斜角を50度以上73度以下とすることを特徴とする方法を提供する。 The present invention provides, as a 22 mastering method, the from the first a 21 mastering method, the inclination angle of the concave or convex portions formed on the master by the first etching 50 degrees 73 It provides a method characterized by the following degrees. ここで、凹部の傾斜角とは凹部の深さの2分の1のところで側面の接線と原盤の主表面に平行な面とが、エッチング後に残った部分の側でなす角度をいい、凸部の傾斜角とは、凸部の高さの2分の1のところで側面の接線と原盤の主表面に平行な面とが、エッチング後に残った部分の側でなす角度をいう。 Here, the inclination angle of the concave portion and the plane parallel to the main surface of the side of the tangent and the master at the one-half of the depth of the recesses, say an angle formed by the side of the remaining part after the etching, the convex portion the angle of inclination, and height a plane parallel to the tangent to the main surface of the master side at the one-half of the protrusions refers to the angle formed by the side of the remaining part after the etching. 本発明の原盤製造方法によれば、記録原盤の記録補助層の材料等を適宜選択することにより、従来のヒートモード記録を利用する原盤製造方法では形成が困難であった高い傾斜角の凹凸パターンを原盤上に製造することができるので、より解像度の高い原盤記録が可能となる。 According to the mastering process of the present invention, by appropriately selecting the material of the recording auxiliary layer of the recording master disk, the uneven pattern of the higher tilt angle formed was difficult with mastering process utilizing conventional heat mode recording it is possible to produce on the master, it is possible to higher resolution master recording.

本発明はまた、本発明の製造方法に従って製造される原盤を用いて製造されるスタンパを提供する。 The present invention also provides a stamper is produced using a master that is produced according to the production method of the present invention. スタンパは、従来の技術に関連して説明したような常套の方法を用いて、原盤の表面にさらに導電膜および金属層を形成することにより作製される。 Stamper, using conventional methods as described in connection with the prior art, is prepared by forming a further conductive layer and a metal layer on the surface of the master.

本発明はまた、本発明の製造方法に従って製造される原盤または当該原盤から製造されるスタンパを用いて製造される光情報記録媒体を提供する。 The present invention also provides an optical information recording medium manufactured by using the stamper made from the master or the master is produced according to the production method of the present invention. 光情報記録媒体は、例えば、DVDおよび短波長のレーザ光を用いて記録する次世代の光ディスク等である。 The optical information recording medium is, for example, a next-generation optical disk or the like for recording using a laser beam of DVD and short wavelength.
光情報記録媒体は、再生専用のものであってよく、または一度だけ記録可能なものであってよく、または書換型のものであってもよい。 The optical information recording medium may be of read-only, or may be those capable of recording only once, or may be of a rewritable type.

本発明の光情報記録媒体の原盤製造方法を用いれば、原盤上に形成される凹凸パターンの断面形状を容易に制御できる。 Using the mastering process for an optical information recording medium of the present invention, it can be easily controlled cross-sectional shape of the uneven pattern formed on the master disk. また、本発明の製造方法は、記録原盤の材料および構造を適宜選択することにより、記録原盤への記録の際の記録感度を向上させること、ヒートモード記録に使用する感熱材料の選択肢を広げること、ならびに安価な対物レンズを用いて原盤記録を実施することを可能にする。 The manufacturing method of the present invention, by appropriately selecting the material and structure of the recording master disk, to improve the recording sensitivity in the recording on the master disc, to widen the choice of the heat-sensitive material used in the heat mode recording , and it makes it possible to implement the master recording using an inexpensive objective lens.

発明を実施するための形態 DESCRIPTION OF THE INVENTION

図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。 With reference to the drawings, embodiments of the present invention are described. なお、特に断りのない限り、ある層に関して「下」という用語は、記録原盤を基板が下となるように配置したときに、基板に近い方向を指すために用いられる。 Unless otherwise noted, the term "lower" with respect to a layer, when the recording master disc substrate was placed so that the bottom is used to refer to a direction close to the substrate.

(実施の形態1) (Embodiment 1)
実施の形態1として、感熱材料層と基板との間に位置する記録補助層を有する記録原盤を用いて、光情報記録媒体の原盤を製造する方法を図1〜図4を参照して説明する。 As the first embodiment, by using a master disc having a recording auxiliary layer located between the heat-sensitive material layer and the substrate will be described a method of manufacturing a master of an optical information recording medium with reference to FIGS. 1 to 4 . 図1(A)は、記録原盤の一例の断面を示す。 Figure 1 (A) shows an example of a cross section of a master disc. 図1(A)に示す記録原盤104において、基板101は、ガラス、シリコン、または樹脂等から成る。 In the recording master disk 104 shown in FIG. 1 (A), the substrate 101 is made of glass, silicon or resin or the like. この基板101上に、例えば、誘電体または樹脂等から成る記録補助層102を、例えば、スパッタ法やスピンコート法などにより形成する。 This substrate 101, for example, a recording auxiliary layer 102 made of a dielectric resin, or the like, for example, be formed by a sputtering method or a spin coating method. この記録補助層102の上に、記録補助層102と接するように、感熱材料層103を形成する。 On this recording auxiliary layer 102, in contact with the recording auxiliary layer 102, to form a heat-sensitive material layer 103. 感熱材料層103は、露光による昇温により状態変化する材料から成り、例えば、スパッタ法やスピンコート法等により形成される。 Heat-sensitive material layer 103 is made of a material that changes state by Atsushi Nobori due to the exposure, for example, it is formed by a sputtering method or a spin coating method, or the like. 図示した記録原盤は、実施の形態1の製造方法を実施するのに最小限必要とされる構成に相当する。 Recording master disc shown correspond to the configuration that is minimally required for carrying out the manufacturing method of the first embodiment. したがって、記録原盤は、記録補助層が感熱材料層よりも下に位置し、かつ記録補助層により状態変化した部分の断面形状を制御し得る限りにおいて、例えば、記録補助層と感熱材料層との間に位置する界面層(例えば、厚さ1nm未満の薄い層)、または反射層等、図示していない構成要素を含んでもよい。 Therefore, the recording master disk, as long as the auxiliary recording layer is capable of controlling the state changed portion of the cross-sectional shape by positioned below the heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer, for example, the auxiliary recording layer and the heat-sensitive material layer interface layer which is located between (e.g., a thin layer of thickness less than 1 nm), or a reflective layer or the like may include components not shown. 金属反射層107を含む記録原盤104の一例を図1(I)に示す。 An example of a master disc 104 including a metal reflective layer 107 shown in FIG. 1 (I).

図1(B)〜(H)は、記録原盤に光を照射することによって、感熱材料層103に昇温により状態変化した部分105が形成された記録原盤を示す。 Figure 1 (B) ~ (H) shows by irradiating light to the recording master disc, the master disc of the state changed portion 105 by heating to the heat-sensitive material layer 103 is formed. ここでは、状態変化していない部分を符号106で示す。 Here, a portion not change states by reference numeral 106. ここで、記録原盤104への記録方法について図2を用いて説明する。 Here, will be described with reference to FIG recording method of the master disc 104. 記録原盤201は、回転台202に載せられて、回転台202とともに回転させられる。 Recording master 201 is placed on the turntable 202 is rotated together with the turntable 202. 光源203から発せられた記録光206は、レンズ204によって記録原盤201表面に集光される。 Recording light 206 emitted from the light source 203 is condensed on the recording master 201 surface by a lens 204. 必要であれば、記録光206は光源203内で変調および/または偏向されていてもよい。 If necessary, the recording light 206 may be modulated and / or deflection in the light source 203. 記録中、記録ヘッド205と回転台202とは相対的に平行移動し、記録原盤上にスパイラル状に状態変化した部分が順次形成されるように記録が行われる。 During recording, relatively parallel movement between the recording head 205 and the turntable 202, the recording is performed so spirally state changed portion on the recording master disk are sequentially formed. 記録光206としては、レーザ光または電子線束等を用いることができる。 As the recording light 206, laser light can be used or an electron beam bundle or the like. 図2に示すような装置を用いる、この原盤記録方法は、従来から採用されているものであって、それ自体新規なものではないから詳細な説明は省略する。 Using an apparatus as shown in FIG. 2, the master recording method comprises that employed conventionally, the detailed description because it not themselves novel omitted. また、ここで説明した以外の原盤記録方法であっても、感熱材料層103が昇温により状態変化することを利用して所望のパターンを記録する方法であれば、いずれの方法を用いてもよい。 Further, even in the master recording method other than those described herein, as long as it is a method for recording a desired pattern by utilizing the fact that the heat-sensitive material layer 103 is changed state by heating, using any method good.

図1(B)〜(D)は、記録補助層102の厚さを一定として、熱伝導率が異なる材料を用いて記録補助層102を形成した場合の、感熱材料層103の状態変化した部分105の断面形状を模式的に示している。 Figure 1 (B) ~ (D), as a constant thickness of the recording auxiliary layer 102, when the thermal conductivity to form a recording auxiliary layer 102 with different materials, and the state change of the heat-sensitive material layer 103 portions 105 cross-sectional shape is shown schematically. 記録補助層102を構成する材料の熱伝導率は、図1(B)>図1(C)>図1(D)の順で高い。 Thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer 102 is higher in the order of FIG. 1 (B)> FIG 1 (C)> FIG 1 (D). 図1(B)〜(D)より、記録補助層102を構成する材料の熱伝導率によって、状態変化した部分105の断面形状が変化することがわかる。 1 from (B) ~ (D), the thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer 102, it can be seen that the cross section of the state changed portion 105 is changed. 記録補助層が感熱材料層と基板との間に位置する記録原盤において、記録補助層を構成する材料の熱伝導率だけを変化させると、熱伝導率が小さいほど、感熱材料層の基板側表面から放出される熱量がより小さくなる。 In the recording master disk recording auxiliary layer is located between the heat-sensitive material layer and the substrate, varying only thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer, as low thermal conductivity, the substrate-side surface of the heat-sensitive material layer heat emitted from the smaller. 即ち、記録補助層の熱伝導率が小さいほど、感熱材料層の表面からより深い部分が昇温することが可能となるので、図1(D)に示すように、状態変化した部分と状態変化していない部分との境界がより急な傾きを有することとなる。 In other words, as the thermal conductivity of the recording auxiliary layer is small, because the deeper portion from the surface of the heat-sensitive material layer makes it possible to increase the temperature, as shown in FIG. 1 (D), part a state change that status change the boundary between the to no portion will have a steeper slope.

図1(E)および(F)は、熱伝導率が基板101を構成する材料よりも小さい材料で記録補助層102を形成したときに、記録補助層102の厚さを変化させることによって、感熱材料層103の状態変化した部分105の断面形状がどのように変わるかを模式的に示している。 Figure 1 (E) and (F), when the thermal conductivity to form a recording auxiliary layer 102 in less material than the material constituting the substrate 101, by varying the thickness of the recording auxiliary layer 102, the heat-sensitive or cross-sectional shape of the state changed portion 105 of the material layer 103 is how changes are shown schematically. 図1(E)に示す記録原盤は、記録補助層102の厚さがより大きいために、感熱材料層103から熱が放出されることをより抑制し、状態変化した部分と状態変化していない部分との間の境界の傾きがより大きくなる。 Recording master disk shown in FIG. 1 (E), to a larger thickness of the recording auxiliary layer 102 is more suppressed that the heat is released from the heat-sensitive material layer 103, not part and the state change that status change the inclination of the boundary between the portion becomes greater. 図1(G)および(H)は、熱伝導率が基板101を構成する材料よりも大きい材料で記録補助層102を形成したときに、記録補助層102の厚さを変化させることによって、状態変化した部分105がどのように変化するかを模式的に示す。 Figure 1 (G) and (H), when the thermal conductivity to form a recording auxiliary layer 102 in greater material than the material constituting the substrate 101, by varying the thickness of the recording auxiliary layer 102, the state or changed portion 105 how changes shown schematically. 記録補助層102の熱伝導率を基板101の熱伝導率よりも大きくすることによって、記録補助層を設けない場合と比較して、状態変化した部分と状態変化していない部分との境界の傾きがより緩やかになる。 By the thermal conductivity of the recording auxiliary layer 102 is greater than the thermal conductivity of the substrate 101, as compared with the case without the auxiliary recording layer, the inclination of the boundary between the state changed portion and the state unaltered portions There will be more gradual. また、記録補助層102の厚さが大きい程、状態変化した部分と状態変化していない部分との間の境界の傾きがより小さくなる。 Also, the larger the thickness of the recording auxiliary layer 102, the boundary of the slope becomes smaller between the changed status portion and the state unaltered portions. 図1(E)〜(H)に示すように、記録補助層102の厚さを変化させることにによっても、記録時の昇温により状態変化した部分105の分布を変化させ得ることが分かる。 As shown in FIG. 1 (E) ~ (H), also by the changing the thickness of the recording auxiliary layer 102, it can be seen that can change the distribution of the state changed portion 105 by heating at the time of recording. なお、図1(B)〜(H)は、記録補助層の熱伝導率および厚さが、感熱材料層の状態変化した部分の断面形状にどのように影響するかという傾向を表す模式図であることに留意されたい。 Incidentally, FIG. 1 (B) ~ (H), the thermal conductivity and thickness of the recording auxiliary layer, in schematic diagram showing the trend of how to influence the state changed portion of the cross-sectional shape of the heat-sensitive material layer it should be noted sometimes. 実際に得られる断面形状は基板を構成する材料の熱伝導率の具体的な数値、この数値と記録補助層を構成する材料の熱伝導率の具体的な数値との差、記録補助層の実際の厚さ等によって決定される。 Actually obtained sectional shape specific values ​​of thermal conductivity of the material of the substrate, the difference between the specific values ​​of thermal conductivity of the material constituting the numerical and the recording auxiliary layer, the actual recording auxiliary layer It is determined by the thickness or the like of the.

状態変化した部分105を形成した後に、記録原盤104に第一のエッチングを施す。 After forming the state changed portion 105 performs first etching on the recording master disk 104. 第一のエッチングは、記録時の昇温により状態変化した部分105と状態変化していない部分106とでエッチングレートが異なる条件にて実施する。 First etching, the etching rate in a portion 106 of the Atsushi Nobori during recording is not part 105 and the state change that status change is performed at different conditions. 第一のエッチングの例としては、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング、および酸またはアルカリ等によるウエットエッチング等が挙げられる。 Examples of the first etching, wet etching, or the like by dry etching such as reactive ion etching, and acid or alkali or the like. 尤も、第一のエッチングの具体的な方法はこれらに限定されず、状態変化した部分105と状態変化していない部分106とでエッチングレートが異なる条件にて実施できる方法であれば、いずれの方法を用いてもよい。 However, a specific method of the first etching is not limited thereto, as long as the etching rate in a portion 106 that is not part 105 and the state change that state change method can be implemented in different conditions, any method it may be used.

図3にエッチング前の記録原盤およびエッチング後に得られる原盤を示す。 Figure 3 shows the master obtained after etching before the master disc and etching. 図3(A)および(B)はエッチング前の記録原盤を示す。 Figure 3 (A) and (B) shows a master disc before etching. 図3(C)および(D)は、それぞれ図3(A)および(B)に示す記録原盤を、状態変化した部分105のエッチングレートが状態していない部分106のエッチングレートよりも高くなる条件にてエッチングを実施して得られる原盤を示す。 Figure 3 (C) and (D) are respectively diagrams 3 (A) and a recording master disk (B), the etching rate of the state changed portion 105 is higher than the etching rate of the portion 106 which is not state condition It shows the master obtained by carrying out the etching by. この場合、状態変化した部分105は原盤において、凹部を形成する。 In this case, the state changed portion 105 in master, to form a recess. この凹部の傾斜角は、それぞれ301で表される角度に相当する。 Inclination angle of the recess corresponds to the angle represented by respectively 301. 前述のとおり、凹部の傾斜角は、凹部の深さtの2分の1のところにおける凹部の側面の接線kと原盤の主表面に平行な面pとが、エッチング後に残っている部分の側でなす角度をいう。 As described above, the inclination angle of the recess, the tangent k parallel plane p to the main surface of the master side of the recess in at the one-half of the depth t of the recess, the side of the portion remaining after etching It refers to the angle formed by. したがって、図3(C)に示すように、凹部が原盤表面に向かって広がっている漏斗形状である場合に、傾斜角は鋭角となる。 Accordingly, as shown in FIG. 3 (C), if the recess is funnel-shaped and extends toward the surface of the master, the inclination angle is an acute angle. 図3(E)および(F)は、それぞれ図3(A)および(B)に示す記録原盤を、状態変化した部分105のエッチングレートが状態変化していない部分106のエッチングレートよりも低くなる条件にてエッチングを実施して得られる原盤を示す。 Figure 3 (E) and (F) are respectively diagrams 3 (A) and a recording master disk (B), the lower than the etching rate of the portion 106 where the etching rate of the state changed portion 105 is not changed state It shows the master obtained by carrying out the etching under the condition. この場合、状態変化した部分105は、原盤において凸部を形成する。 In this case, the state changed portion 105 forms a convex portion in the master. この凸部の傾斜角は、それぞれ302で表される角度に相当する。 Inclination angle of the convex portion corresponds to the angle, respectively represented by 302. 前述のとおり、凸部の傾斜角は、凸部の高さhの2分の1のところにおける凸部の側面の接線jと原盤の主表面に平行な面pとが、エッチング後に残っている部分の側でなす角度をいう。 As described above, the inclination angle of the convex portion, a plane parallel p tangentially j main surface of the master of the side surface of the protrusion in place of one half of the height h of the convex portion, remaining after the etching It refers to the angle formed by the side parts. したがって、図3(F)に示すように、凸部が下側に向かって面積が広くなっている円錐形状である場合に、傾斜角は鋭角となる。 Accordingly, as shown in FIG. 3 (F), when the protrusion has a conical shape which is wide area toward the lower, tilt angle is an acute angle. 図3に示すように、エッチングによって、状態変化した部分105が、そのままの形状で凹または凸として形成された原盤を作成することができる。 As shown in FIG. 3, by etching, the state changed portion 105, is concave or in intact form can be created master formed as a convex.

第一のエッチングは、記録補助層102のエッチングレートが状態変化した部分105と状態変化していない部分106のうちエッチングレートの高い方よりも低くなる条件にて実施されることが好ましい。 First etching is preferably etching rate of the auxiliary recording layer 102 is performed in a state changed portion 105 and state changes to low The condition than out higher etching rate has no portion 106. 即ち、図3(C)および(D)のように、状態変化した部分をエッチングにより凹部とする場合には、記録補助層のエッチングレートは状態変化した部分のエッチングレートよりも低いことが好ましい。 That is, as shown in FIG. 3 (C) and (D), when the portion changed status to the recess by etching, the etching rate of the auxiliary recording layer is preferably lower than the etching rate of the state changed portion. 図3(E)および(F)のように、状態変化した部分を凸部とする場合には、記録補助層のエッチングレートは、状態変化していない部分のエッチングレートよりも低いことが好ましい。 As shown in FIG. 3 (E) and (F), when the state changed portion and the convex portion, the etching rate of the auxiliary recording layer is preferably lower than the etching rate of the portion not state change. 記録補助層のエッチングレートが低いことが望ましい理由は、第一に、エッチングにより形成される凹凸パターンにおいて凹部の底面(一般に、記録補助層の露出表面となる)がより平坦になることである。 Reason why it is desirable that a lower etching rate of the recording auxiliary layer, the first, bottom (typically, the exposed surface of the auxiliary recording layer) of the recess in the concave-convex pattern formed by etching is to become flatter. 凹部の底面が平坦であると、この原盤またはこの原盤を転写して得たスタンパから製造される光情報記録媒体において、凹凸パターンを光学的に再生する際にノイズ成分の小さい信号を得られる。 When the bottom surface of the concave portion is flat, the optical information recording medium manufactured from the master disk or a stamper obtained by transferring the master, obtain a signal having small noise component at a time of reproducing the concave-convex pattern optically. 第二に、第一のエッチングの際に、記録補助層102のエッチングされる量が少ないほど、記録時に潜像として作成されるパターンに、より忠実な凹凸パターンをエッチングにより形成することができることである。 Secondly, during the first etching, the smaller the amount to be etched of the recording auxiliary layer 102, the pattern created as a latent image at the time of recording, by a more faithful uneven pattern can be formed by etching is there. そのことは、本発明に基づいて凹凸パターンの断面形状をより効果的に制御することを可能にする。 Its makes it possible to control the cross-sectional shape of the uneven pattern effectively on the basis of the present invention. したがって、第一のエッチングにおいて、記録補助層のエッチングレートは、状態変化した部分および状態変化していない部分のエッチングレートのいずれよりも低い(即ち、最も低い)ことが好ましく、ゼロであってもよい。 Accordingly, in a first etching, the etching rate of the auxiliary recording layer is lower than any state changed portion and the state unaltered portions of the etching rate (i.e., lowest) is preferably, be zero good. 実施の形態1として示す図3は、記録補助層102のエッチングレートが実質的にゼロである例を示しているが、本発明は、第一のエッチングの際の記録補助層102のエッチングレートが0よりも大きい形態をも含むことに留意すべきである。 3 showing the first embodiment, although the etching rate of the auxiliary recording layer 102 is an example that is substantially zero, the present invention, the etching rate of the recording auxiliary layer 102 during the first etching it should be noted that also include larger forms than 0.

以上において説明したように、本発明の方法は、記録補助層の熱伝導率および厚みを選択することにより、最終的に原盤に形成される凹凸パターンの断面形状を制御することを可能にする。 As described in the above, the method of the present invention, by selecting the thermal conductivity and thickness of the recording auxiliary layer, eventually making it possible to control the cross-sectional shape of the uneven pattern formed on the master. 断面形状を表すパラメータとして、上述した傾斜角を用いることができる。 As a parameter representing the cross-sectional shape, it is possible to use a tilt angle as described above. 記録により形成したパターン(単に「記録パターン」と呼ぶことがある)が凹として形成される場合も、凸として形成される場合も、傾斜角が90度であると、より微細な記録パターンをより安定に形成しやすく、また、原盤から製造される光情報記録媒体の信号特性を良好なものとすることができる。 When forming the recording pattern (sometimes simply referred to as "recording pattern") is formed as a concave well, may be formed as a convex, when the inclination angle is 90 degrees, more finer recording pattern easily formed stably, also the signal characteristics of the optical information recording medium manufactured from the master can be improved. 原盤からスタンパをさらに作成する場合には、傾斜角は0度よりも大きいことを条件として90度よりも小さいことが好ましく、50度〜73度であることがより好ましい。 When further create a stamper from the master, it is preferable inclination angle is smaller than 90 degrees as a condition greater than 0 degrees, and more preferably 50 degrees to 73 degrees. 傾斜角が90度未満であると、原盤からスタンパへの凹凸パターンの転写およびスタンパから樹脂基板への凹凸パターンの転写が容易となるという利点がある。 If the inclination angle is less than 90 degrees, there is an advantage that the transfer of the uneven pattern of the transfer and the stamper of the concavo-convex pattern from the master disk to the stamper into the resin substrate is facilitated. 但し、ここで挙げた数値範囲は一般的なものであって、傾斜角の最適な値は、原盤を用いて行われるその後の工程、および最終的に作成される光情報記録媒体の使用法により異なることに留意されたい。 However, there is here mentioned numerical ranges are general, optimum value of the tilt angle of the subsequently carried out using a mastering process, and by use of an optical information recording medium is finally created it should be noted that different. 所望の傾斜角がいずれの値であっても、本発明の方法を用いれば、材料の選択肢の少ない感熱材料を変えることなく、記録補助層によって、容易に傾斜角を制御することが可能になる。 Even desired tilt angle any value, using the method of the present invention, without altering the choice of less heat-sensitive material of the material, by recording auxiliary layer, it is possible to easily control the inclination angle . また、従来のヒートモードによる原盤記録に比べて、より大きな傾斜角の凹部または凸部を得ることが可能となる。 Further, as compared with the master recording by the conventional heat mode, it is possible to obtain a concave or convex portion of a larger tilt angle.

実施の形態1はまた、感熱材料層103の記録感度を向上させて、様々な原盤構成を実現することを可能にする。 Embodiment 1 also improves the recording sensitivity of the heat-sensitive material layer 103 makes it possible to realize various master configuration. 例えば、記録補助層102の熱伝導率が基板101のそれよりも小さい場合には、記録補助層102を設けることにより、状態変化した部分105の断面形状を変化させ得るだけでなく、記録時の感度を向上させることもできる。 For example, when the thermal conductivity of the recording auxiliary layer 102 is smaller than that of the substrate 101, by providing the auxiliary recording layer 102, not only can change the cross-sectional shape of the state changed portion 105, at the time of recording it is also possible to improve the sensitivity. より具体的にいえば、記録補助層を感熱材料層の下側に好ましくは隣接させるように設けることによって、感熱材料層の露光に使用される波長の光の吸収率を高くする作用をする層を感熱材料層の下方に配置することが可能となる。 More specifically, by preferably the auxiliary recording layer on the lower side of the heat-sensitive material layer provided so as to adjoin a layer which serves to increase the absorption of light of a wavelength used for exposure of the heat-sensitive material layer the can be disposed below the heat-sensitive material layer. 例えば、基板101をシリコン基板とすることによって、そのような光学的効果を得ることができる。 For example, the substrate 101 by a silicon substrate, it is possible to obtain such an optical effect. シリコン基板は、熱伝導率が一般的なガラスや樹脂に比べて2桁も高いために、感熱材料層とシリコン基板とが接する原盤にヒートモード記録を実施することは困難である。 Silicon substrate, the thermal conductivity is higher two digits in comparison with common glass or resin, it is difficult to implement a heat mode recording in the heat-sensitive material layer and the silicon substrate and the master contact is. 本発明の方法において、記録補助層を熱伝導率の小さい材料で形成すれば、このシリコン基板で記録原盤を作製することを可能にする。 In the method of the present invention, by forming the auxiliary recording layer with a material having a low thermal conductivity, make it possible to prepare a master disc in the silicon substrate. シリコン基板はまた、清浄であるという点からも好ましく用いられる。 Silicon substrate is also preferably used from the point that it is clean. シリコン基板以外の熱伝導率の高い基板を必要に応じて用いることもまた可能である。 It is also possible to use high substrate thermal conductivity than silicon substrate as necessary. あるいはまた、感熱材料層の記録感度を向上させるために、図1(I)に示すように、基板101と記録補助層102との間に、Au、Ag、Al、Cu、Pt、Pd、Cr、Ni等の金属元素から選択される1以上の元素もしくはそれらの混合物または化合物などから成る、熱伝導率の非常に大きい金属反射層107を設けることも容易となる。 Alternatively, in order to improve the recording sensitivity of the heat-sensitive material layer, as shown in FIG. 1 (I), between the substrate 101 and the auxiliary recording layer 102, Au, Ag, Al, Cu, Pt, Pd, Cr , and the like one or more elements or a mixture thereof or a compound selected from metal elements such as Ni, it is also easy to provide a metal reflective layer 107 very large thermal conductivity.

また、感熱材料層103の光吸収率を増大させることは、記録補助層102を構成する材料の光学定数および記録補助層102の厚さを適切に選択することによっても可能である。 Also, increasing the light absorption rate of the heat-sensitive material layer 103 is also possible by appropriate selection of the thickness of the optical constants and the auxiliary recording layer 102 of the material of the recording auxiliary layer 102. 光学定数は、例えば、記録に用いる光の波長における記録補助層102を構成する材料の屈折率を適宜調節することによって適切に選択される。 Optical constant, for example, be selected appropriately by adjusting the refractive index of the material of the recording auxiliary layer 102 at the wavelength of light used for recording as appropriate. 記録補助層の適切な光学定数は、基板101、記録補助層102、および感熱材料層103の間の光学的な効果(例えば、反射および干渉効果)を考慮して決定される。 Appropriate optical constants of the recording auxiliary layer, the substrate 101, optical effect between the auxiliary recording layer 102 and the heat-sensitive material layer 103, (e.g., reflection and interference effects) is determined in consideration of. また、記録原盤を構成する各層の光学的な効果を考慮して、各層の光学定数の組み合わせが適切となるように記録原盤を構成することによって、感熱材料層103の光吸収率を深さ方向で制御することもでき、それにより原盤上に形成される凹凸パターンの断面形状を制御することもできる。 In consideration of optical effects of each layer constituting the recording master disk, by configuring the master disc so that the combination of each layer of the optical constant is appropriate, the depth direction of light absorption rate of the heat-sensitive material layer 103 in can be controlled, thereby it is also possible to control the cross-sectional shape of the uneven pattern formed on the master disk.

本発明の方法に従って、原盤上に形成される凹凸パターンの断面形状を制御する具体例を図4を参照して説明する。 According to the method of the present invention, a specific example of controlling the cross-sectional shape of the uneven pattern formed on the master will be described with reference to FIG. 図4(A)および(B)は、それぞれ、露光前の記録原盤を示す。 Figure 4 (A) and (B) respectively show recording master before exposure. ここでは、基板401として、ソーダガラス基板を用いた例を説明する。 Here, as the substrate 401, an example of using the soda glass substrate. ソーダガラス以外の基板401材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、およびオレフィン樹脂等がある。 The substrate 401 material other than soda glass, for example, a quartz glass, silicon, polycarbonate resins, acrylic resins, and olefin resins. 基板401の材料としては、平板を形成できる材料であればいずれの材料も用いることができる。 As the material of the substrate 401 can be also used any material as long as the material can form a flat plate. ここで、基板401の厚さは、6.0mmである。 The thickness of the substrate 401 is 6.0 mm. 基板401の厚さは、これに限定されず、例えば0.4〜10.0mmの範囲内から選択される。 The thickness of the substrate 401 is not limited thereto, it is selected for example from the range of 0.4~10.0Mm. 基板の光学定数によって、記録補助層403によりもたらされる光学的な効果は変化するため、それを考慮して記録補助層の厚さを下記に示す値から変更することが好ましい場合もある。 By the optical constants of the substrate, the optical effects caused by the auxiliary recording layer 403 to change, it may be preferable to change the thickness of the auxiliary recording layer by considering it from the values ​​shown below.

感熱材料層402は、スパッタ法により、TeO 1.0 Pd 3.0で表される材料で形成した。 Heat-sensitive material layer 402 by a sputtering method to form a material represented by TeO 1.0 Pd 3.0. また、その厚さは45nmとした。 In addition, its thickness was 45nm. Teの代わりに、Sb、Se、Sn、Ge、Mo、WまたはTi等を用いることもできる。 Instead of Te, it can be Sb, Se, Sn, Ge, Mo, also possible to use W or Ti or the like. また、Pdに代えて、他の金属元素、例えば、Au、Ag、CuまたはPd等の貴金属を用いてよい。 Further, instead of Pd, other metallic elements, e.g., Au, Ag, may be used a noble metal such as Cu or Pd. これらの貴金属を含む材料で感熱材料層を形成することにより、エッチングの際の残膜率(状態変化した部分が凹部となる場合には、未露光部(即ち、状態変化していない部分)のエッチング前の厚さに対するエッチング後の厚さの割合)を上げることができる。 By forming the heat-sensitive material layer of a material containing these noble metals, residual film ratio (state changed portion during etching when the recess is unexposed portion (i.e., the portion not changed state) it can increase the ratio of the thickness) after etching to the thickness before etching. 感熱材料層402を構成するのに適した材料は、一般式、M OM (式中、M は、Te、Sb、Se、Sn、Ge、Mo、WおよびTiから選択される1または複数の金属であり、M は、M 以外の金属元素であり、好ましくはAu、Ag、CuおよびPdから選択される1または複数の元素であり、0.3<X<1.7、0.05<Y<0.52である)で表される。 Suitable materials for constituting the heat-sensitive material layer 402 is represented by the general formula, M 1 X OM 2 Y (wherein, M 1 is chosen Te, Sb, Se, Sn, Ge, Mo, and W and Ti is one or more metals, M 2 is a metal element other than M 1, preferably 1 or more elements selected Au, Ag, Cu and Pd, 0.3 <X <1. 7,0.05 represented by <Y <0.52). 尤も、感熱材料層402を構成する材料は、この式で表されない材料であってもよい。 However, the material constituting the heat-sensitive material layer 402 may be a material that is not represented by this equation. また、感熱材料層402の厚さも、原盤に形成すべき凹凸パターンに応じて変化させることができる。 The thickness of the heat-sensitive material layer 402 can also be varied in accordance with the concavo-convex pattern to be formed on the master.

図4(A)に示す記録原盤において、記録補助層403aは、スパッタ法により形成された、ZnSとSiO とをモル比で4:1の割合で含む層であり、その厚さは45nmである。 In the recording master disk shown in FIG. 4 (A), the recording auxiliary layer 403a was formed by sputtering, ZnS and SiO 2 and 4 in a molar ratio of: is a layer containing a ratio of 1, its thickness is at 45nm is there. 図4(B)に示す記録原盤において、記録補助層403bは、スパッタ法により形成されたSiO から成る層であり、その厚さは45nmである。 In the recording master disk shown in FIG. 4 (B), the recording auxiliary layer 403b is a layer of SiO 2 formed by sputtering and has a thickness of 45 nm. 記録補助層403aおよび403bの厚さは、45nmに限定されるわけではなく、感熱材料層402の記録波長での光吸収率が最大となるように感熱材料層402の材料および厚さに応じて選択することが記録感度を高めるためには好ましい。 The thickness of the recording auxiliary layer 403a and 403b is not limited to 45 nm, depending on the material and thickness of the heat-sensitive material layer 402 such that the light absorption rate in the recording wavelength of the thermal material layer 402 is maximum preferably selected to enhance the recording sensitivity. 例えば、感熱材料層402aを材料を変化させずに、厚さが60nmなるように形成した場合には、記録補助層403aの厚さが35nmのときに記録感度が最大となった。 For example, without changing the heat-sensitive material layer 402a material, when the thickness was formed to be 60nm, the recording sensitivity when the thickness of the recording auxiliary layer 403a is 35nm it is maximized.

これらの2つの記録原盤に、波長405nmのレーザ光とNA0.9の対物レンズとを用いてピット列および案内溝に対応するパターンが状態変化した部分として形成されるように露光した。 These two master disc was exposed to a pattern corresponding to a pit array and a guide groove with a laser beam and NA0.9 objective lens wavelength 405nm is formed as a state changed portion. 次いで、1.7%のTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)によるウエットエッチングを60秒間行った。 Then, wet etching is performed by 1.7% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) for 60 seconds. その結果、図4(A)および(B)に示す記録原盤から、それぞれ図4(C)および(D)に示す原盤が得られた。 As a result, the recording master disk shown in FIG. 4 (A) and (B), master shown in, were obtained Figure 4 (C) and (D). ここで使用したエッチング液は一例であり、TMAHの濃度は、例えば、1.0%〜2.4%の範囲から選択することができる。 Note that the etching solution used in an example, the concentration of TMAH, for example, can be selected from the range of 1.0% to 2.4%. あるいは、TMAHの代わりに、例えば、KOHおよびNaOH等の他のアルカリ水溶液を用いても同様にエッチングを実施できる。 Alternatively, in place of TMAH, for example, an etching similarly using other alkali aqueous solution such as KOH and NaOH. エッチングによって、状態変化した部分が凹となり、原盤上に直径90nmの円形ピットや幅70nmの案内溝が安定に形成された。 By etching, the portion changed status becomes concave, the guide groove of the circular pits or width 70nm diameter 90nm on the master is formed stably. このような凹部の形成は、一層当たり25GB以上の記録容量を持つ直径12cmの光情報記録媒体を製造するのに十分な解像度が達成されたことを意味する。 Such recess formation means that sufficient resolution is achieved to produce the optical information recording medium having a diameter of 12cm having a recording capacity of over 25GB per layer.

原盤上に形成された凹部の傾斜角404は、図4(C)に示す原盤においては73度、図4(D)に示す原盤においては28度であった。 Tilt angle 404 of the recess formed on the master disc, 73 degrees in the master shown in FIG. 4 (C), was 28 degrees in the master shown in FIG. 4 (D). また、記録時の感度は、図4(A)に示す記録原盤の場合が、図4(B)に示すものよりも高く、前者は後者の約2倍となった。 Further, the sensitivity at the time of recording, if the recording master disk shown in FIG. 4 (A), higher than that shown in FIG. 4 (B), the former was about twice that of the latter. これらのことから、本発明の方法に従って記録補助層403を形成した記録原盤を使用し、さらに、例えば記録補助層の材料の組成比を変えることによって、原盤に形成される凹部の断面形状の傾斜角404を例えば28度から73度の任意の値に制御すること、ならびに記録感度を例えば約2倍の幅で制御することが可能であることが分かる。 From these results, using the master disc formed with a recording auxiliary layer 403 in accordance with the method of the present invention, furthermore, for example, by varying the composition ratio of the material of the recording auxiliary layer, the inclination of the concave cross-sectional shape formed on the master controlling the angular 404 to any value 73 degrees for example 28 degrees, and it can be seen can be controlled recording sensitivity such as about 2 times the width. さらに、本発明の方法によれば、従来の方法に従って、石英ガラスまたはソーダガラスから成る基板に感熱材料層のみを配置した記録原盤を用いてヒートモード記録した原盤において実現することが困難であった、50度以上の高い傾斜角を実現できることも分かる。 Furthermore, according to the method of the present invention, according to conventional methods, it has been difficult to realize in a heat mode recording the master disk using a master disc arranged only heat-sensitive material layer to a substrate made of quartz glass or soda glass , seen can be realized a high tilt angle of 50 degrees or more.

ここでは、ZnSとSiO の組成比を変えて記録補助層を形成した例を用いて本発明の方法を説明した。 Here, we describe the method of the present invention using an example of forming a recording auxiliary layer by changing the composition ratio of ZnS and SiO 2. 記録補助層を構成する材料は、これらに限定されない。 The material constituting the auxiliary recording layer is not limited thereto. 記録補助層は、例えば、ZnSe等のセレン化物、Si−O、Ge−O、Al−O、Zn−O、Y−O、La−O、Ti−O、Zr−O、Hf−O、Nb−O、Ta−O、Cr−O、Mo−O、W−O、Sn−O、In−O、Sb−O、およびBi−O等の酸化物、Si−N、Ge−N、Al−N、Zn−N、Ti−N、Zr−N、Hf−N、Nb−N、Ta−N、Cr−N、Mo−N、W−N、Sn−N、およびIn−N等の窒化物、Si−O−N、Ge−O−N、Al−O−N、Ti−O−N、Zr−O−N、Hf−O−N、Nb−O−N、Ta−O−N、Cr−O−N、Mo−O−N、W−O−N、Sn−O−N、およびIn−O−N等の窒酸化物、Ge−C、Cr−C、Si−C、Al−C、Ti−C、Zr−C、およびTa−C等 Recording auxiliary layer, for example, selenides ZnSe, etc., Si-O, Ge-O, Al-O, Zn-O, Y-O, La-O, Ti-O, Zr-O, Hf-O, Nb -O, Ta-O, Cr-O, Mo-O, W-O, Sn-O, in-O, Sb-O, and oxides such as Bi-O, Si-N, Ge-N, Al- N, Zn-N, Ti-N, Zr-N, Hf-N, Nb-N, Ta-N, Cr-N, Mo-N, W-N, Sn-N, and nitrides such as in-N , Si-O-N, Ge-O-N, Al-O-N, Ti-O-N, Zr-O-N, Hf-O-N, Nb-O-N, Ta-O-N, Cr -O-N, Mo-O-N, W-O-N, Sn-O-N, and in-O-N oxynitride such as, Ge-C, Cr-C, Si-C, Al-C , Ti-C, Zr-C, and Ta-C, etc. 炭化物、Si−F、Al−F、Mg−F、Ca−F、およびLaF等の弗化物、ならびに先に例示したZnSおよびSiO で構成される群から選択される一または複数の材料、またはそれらの混合材料を、スパッタ法や蒸着法を用いて成膜することによって、形成してよい。 Carbide, Si-F, Al-F , Mg-F, Ca-F, and fluorides such as LaF, and one or more materials selected from the group consisting of ZnS and SiO 2 exemplified above or, their mixed material, by forming by sputtering or vapor deposition, may be formed.

あるいは、記録補助層は、有機材料で形成してよく、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、またはそれらの混合物から成る層であってよい。 Alternatively, the recording auxiliary layer may be formed of an organic material, for example, be a layer made of acrylic resin, epoxy resin, or mixtures thereof. 樹脂材料から成る記録補助層は、例えば、スピンコート法により成膜する方法で形成される。 Recording auxiliary layer made of a resin material, for example, it is formed by a method of forming by spin coating. さらに、樹脂材料を使用する場合にも、混合比または組成比を選択することによって、記録補助層403の熱伝導率および光学定数を制御して、凹凸パターンの断面形状の制御を実施することができる。 Furthermore, even when using resin materials, by selecting the mixing ratio or composition ratio, to control the thermal conductivity and the optical constant of the recording auxiliary layer 403, making control of the cross-sectional shape of the uneven pattern it can. 勿論、ここで説明した方法以外の方法を用いて、記録補助層の熱伝導率および光学定数の少なくとも一方を適当に選択することで、原盤上に形成される凹凸パターンの断面形状(具体的には傾斜角)を制御することは可能である。 Of course, here using a method other than the method described, by appropriately selecting at least one of the thermal conductivity and the optical constant of the recording auxiliary layer, the cross-sectional shape of the uneven pattern formed on the master (specifically is possible to control the inclination angle).

(実施の形態2) (Embodiment 2)
実施の形態2として、感熱材料層の上側表面(基板から遠い側の表面)に記録補助層を有する記録原盤を用いて、原盤を製造する方法を図5を参照して説明する。 As the second embodiment, by using a master disc having a recording auxiliary layer on the upper surface of the heat-sensitive material layer (the surface farther from the substrate), it will be described with reference to FIG. 5 a method of manufacturing a master disk. 図5(A)は、記録原盤の一例を示す。 5 (A) shows an example of a master disc. この記録原盤504は、基板501上に感熱材料層502を形成し、さらに感熱材料層502上に、記録補助層503を形成することにより形成される。 The recording master 504, a heat-sensitive material layer 502 formed on the substrate 501, further on the heat-sensitive material layer 502 is formed by forming a recording auxiliary layer 503. 図5(A)において、506は外部媒質(即ち、露光の際の雰囲気)を指し、これは一般には空気である。 In FIG. 5 (A), 506 is an external medium (i.e., atmosphere in the exposure) it refers to, which is generally air. 記録原盤504を構成する基板501の材料および感熱材料層502の材料および形成方法については、実施の形態1に関連して説明したとおりである。 The materials and formation method of the material and the heat-sensitive material layer 502 of the substrate 501 constituting the recording master 504 is as described in relation to the first embodiment. 記録補助層503は、実施の形態1に関連して説明した材料および方法により形成される膜であってよい。 Recording auxiliary layer 503 may be a film formed by the materials and methods described in connection with the first embodiment. あるいは、記録補助層503は液体であってもよい。 Alternatively, the recording auxiliary layer 503 may be a liquid. 具体的には、露光を、記録補助層503となる液体を配置した(例えば塗布した)状態、または当該液体に記録原盤を浸漬した状態にて実施することによっても、この実施の形態2を実施することができる。 Specifically, the exposure was arranged a liquid as a recording auxiliary layer 503 (e.g., coated) state, or by performing in a state in which was immersed master disc to the liquid, out the second embodiment can do. 図示した記録原盤は、実施の形態2の製造方法を実施するのに最小限必要とされる構成に相当する。 Recording master disc shown correspond to the configuration that is minimally required for carrying out the manufacturing method of the second embodiment. したがって、記録原盤は、感熱材料層が記録補助層と基板との間に位置する構成を有する限りにおいて、例えば、前述のような界面層または反射層等、図示していない構成要素を含んでもよい。 Therefore, the recording master disk, as long as having a structure in which heat-sensitive material layer is located between the auxiliary recording layer and the substrate, for example, an interface layer or a reflective layer such as described above may include components not shown .

図5(B)〜(H)は、記録原盤に光を照射することによって、感熱材料層502に昇温により状態変化した部分505と状態変化していない部分507とが形成された記録原盤を示す。 Figure 5 (B) ~ (H), by irradiating light to the recording master disc, the master disc in which a portion 507 that is not part 505 and the state change that status change by heating to the heat-sensitive material layer 502 is formed show. 記録原盤への記録方法は第1の実施の形態に関連して説明したとおりであるから省略する。 Recording method of the master disc is omitted since it is as described in connection with the first embodiment. 図5(B)〜(D)は、記録補助層503の厚さを一定として、熱伝導率が異なる材料を用いて記録補助層を形成した場合の、感熱材料層502の状態変化した部分505の断面形状を模式的に示している。 Figure 5 (B) ~ (D), as a constant thickness of the recording auxiliary layer 503, when the thermal conductivity to form a recording auxiliary layer using different materials, the portion 505 of the state change of the heat-sensitive material layer 502 It shows a cross section schematically. 記録補助層503を構成する材料の熱伝導率は、図5(B)>図5(C)>図5(D)の順で高い。 Thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer 503 is higher in the order of FIG. 5 (B)> FIG 5 (C)> FIG 5 (D). 図5(B)〜(D)より、記録補助層503を構成する材料の熱伝導率によって、状態変化した部分505の断面形状が変化することがわかる。 5 from (B) ~ (D), the thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer 503, it can be seen that the cross section of the state changed portion 505 is changed. 記録補助層が感熱材料層の上に位置する記録原盤において、記録補助層を構成する材料の熱伝導率だけを変化させると、熱伝導率が小さいほど、感熱材料層の表面付近に熱が溜まりやすくなる。 In the recording master disk recording auxiliary layer is located on top of the heat-sensitive material layer, varying only thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer, as low thermal conductivity, heat is accumulated in the vicinity of the surface of the heat-sensitive material layer It becomes easier. 即ち、記録補助層の熱伝導率が小さいほど、感熱材料層の表面から深い部分で昇温しにくくなるので、図5(D)に示すように、状態変化した部分と状態変化していない部分との境界がより緩やかな傾きを有することとなる。 In other words, as the thermal conductivity of the recording auxiliary layer is small, since it is difficult to warm a deep portion from the surface of the heat-sensitive material layer, as shown in FIG. 5 (D), not part and state changes that state change portion boundary between is to have a more gradual slope.

図5(E)および(F)は、記録補助層503を熱伝導率が外部媒質506の熱伝導率よりも小さい材料で形成したときに、記録補助層503の厚さを変化させることによって、感熱材料層502の状態変化した部分505の断面形状がどのように変わるかを模式的に示している。 Figure 5 (E) and (F), when the auxiliary recording layer 503 thermal conductivity is formed in the material smaller than the thermal conductivity of the external medium 506, by varying the thickness of the recording auxiliary layer 503, or cross-sectional shape of the heat-sensitive material layer 502 of the state change portion 505 how changes are shown schematically. 図5(E)に示す記録原盤は、記録補助層503の厚さがより大きいために、感熱材料層502の表面から熱が放出されることをより抑制し、状態変化した部分と状態変化していない部分との間の境界の傾きがより小さくなる。 Recording master disk shown in FIG. 5 (E), the recording thickness of the auxiliary layer 503 to greater than, more suppress the heat is released from the surface of the heat-sensitive material layer 502, and partially a state change that status change boundary of the slope between the portions not becomes smaller. 図5(G)および(H)は、熱伝導率が外部媒質506よりも大きい材料で記録補助層503を形成したときに、記録補助層503の厚さを変化させることによって、状態変化した部分505の断面形状がどのように変化するかを模式的に示す。 Figure 5 (G) and (H), when the thermal conductivity to form a recording auxiliary layer 503 in greater material than the external medium 506, by varying the thickness of the recording auxiliary layer 503, and the state change portion or 505 of the cross-sectional shape which changes as shown schematically. 記録補助層503の熱伝導率を外部媒質506の熱伝導率よりも大きくすることによって、記録補助層を設けない場合と比較して、状態変化した部分と状態変化していない部分との傾きがより大きくなる。 By greater than the thermal conductivity of the thermal conductivity of the recording auxiliary layer 503 external medium 506, as compared with the case without the auxiliary recording layer, the inclination of the state changed portion and the state unaltered portions more increases. また、記録補助層503の厚さが大きいほど、状態変化した部分と状態変化していない部分との間の境界の傾きはより大きくなる。 Also, the larger the thickness of the recording auxiliary layer 503, the boundary of the slope between the state changed portion and the state unaltered portion becomes larger. 一般に感熱材料層502が曝されている外部媒質506は固体や液体に比べて非常に熱伝導率の低い空気である。 Generally the external medium 506 heat-sensitive material layer 502 are exposed is a very low thermal conductivity air as compared to a solid or liquid. その場合、記録補助層503の熱伝導率を外部媒質よりも小さくすることは一般に困難であるから、状態変化した部分の断面形状の制御は、図5(G)および(H)に示すように実現される。 In that case, because it is smaller than the external medium thermal conductivity of the recording auxiliary layer 503 is generally difficult, control of the state changed portion of the cross-sectional shape, as shown in FIG. 5 (G) and (H) It is realized. ただし、LIL(液浸レンズ法)による原盤記録等のように外部媒質506として液体を用いる場合には、状態変化した部分505の制御は、図5(E)〜(H)のいずれに示すようにも実現可能である。 However, in the case of using a liquid as the external medium 506 as the master recording due LIL (immersion lens method), control of the state changed portion 505, as shown in either FIG. 5 (E) ~ (H) in can also be realized. このように、記録補助層を感熱材料層の上に設ける場合にも、記録補助層503の厚さを変化させることによっても、記録時の昇温により状態変化した部分505の分布を変化させ得ることが分かる。 Thus, in case where the recording auxiliary layer on the heat-sensitive material layer may, by varying the thickness of the recording auxiliary layer 503 may also alter the distribution of state changed portion 505 by raising the temperature during recording it can be seen. なお、なお、図5(B)〜(H)は、記録補助層の熱伝導率および厚さが、感熱材料層の状態変化した部分の断面形状にどのように影響するかという傾向を表す模式図であることに留意されたい。 Incidentally, It should be noted that FIG. 5 (B) ~ (H) is a schematic of the thermal conductivity and thickness of the recording auxiliary layer, representing the tendency of how to influence the state changed portion of the cross-sectional shape of the heat-sensitive material layer it is noted that FIG. 実際に得られる断面形状は外部媒質の熱伝導率の具体的な数値、この数値と記録補助層を構成する材料の熱伝導率の具体的な数値との差、記録補助層の実際の厚さ等によって決定される。 Actually obtained sectional shape specific values ​​of thermal conductivity of the external medium, the difference between the specific values ​​of thermal conductivity of the material constituting the numerical and the recording auxiliary layer, the actual thickness of the recording auxiliary layer It is determined by, for example.

次に、記録後の記録原盤504から記録補助層503を除去する処理を行う。 Next, a process of removing the recording auxiliary layer 503 from the recording master disc 504 after recording. 記録補助層503の除去は、好ましくは感熱材料層502に及ぼす影響が小さくなるように実施される。 Removal of the auxiliary recording layer 503 is preferably carried out so that the influence on the heat-sensitive material layer 502 decreases. 記録補助層503の主成分が、例えば、ノボラック樹脂、アクリル樹脂、またはポリカーボネート樹脂等の有機物であり、感熱材料層502の主成分が、例えば、Te、Sb、Se、Sn、GeまたはMo等の化合物のような無機材料である場合には、例えば、有機溶剤によるウエットエッチングまたは、酸素もしくは希ガス等を使ったプラズマエッチングが好ましく実施される。 The main component of the recording auxiliary layer 503, for example, a novolac resin, an organic substance such as acrylic resin or polycarbonate resin, the main component of the heat-sensitive material layer 502, for example, Te, Sb, Se, Sn, such as Ge or Mo when an inorganic material such as a compound, for example, wet etching with an organic solvent or, plasma etching using oxygen or noble gas or the like is preferably carried out. これらのエッチングを用いれば、記録補助層503のエッチングレートの方が感熱材料層502のエッチングレートよりも十分大きくなり、効率的に記録補助層503のみを除去することが可能である。 With these etching, towards the etching rate of the recording auxiliary layer 503 is sufficiently larger than the etching rate of the heat-sensitive material layer 502, it is possible to remove only efficiently recording auxiliary layer 503. また、感熱材料層502を構成する材料が水溶性でない場合には、記録補助層503を、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド、またはポリアクリル酸ナトリウム等の水溶性の材料で形成すると、容易に記録補助層503のみを除去することが可能となる。 Further, when the material constituting the heat-sensitive material layer 502 is not water soluble, the recording auxiliary layer 503, for example, polyvinyl alcohol, polyethylene oxide, or to form a water-soluble material such as sodium polyacrylate, easily record it is possible to remove only the auxiliary layer 503. また、感熱材料層502を構成する材料がアルカリ可溶でなければ、記録補助層503を、例えば、ノボラック樹脂またはアクリル樹脂等のアルカリ可溶の材料で形成すると、容易に記録補助層503のみを除去することが可能となる。 Further, if the material is alkali-soluble constituting the heat-sensitive material layer 502, a recording auxiliary layer 503, for example, be formed of a material of an alkali-soluble, such as novolac resin or an acrylic resin, only readily auxiliary recording layer 503 it is possible to remove. また、感熱材料層502を構成する材料が酸可溶でなければ、記録補助層503を酸可溶の材料で形成すると、容易に記録補助層503のみを除去することが可能となる。 Further, if the material is acid soluble constituting the heat-sensitive material layer 502, to form a recording auxiliary layer 503 of a material of acid-soluble, it is possible to easily remove only the auxiliary recording layer 503.

次に、記録時の昇温により状態変化した部分505と状態変化していない部分507とでエッチングレートの異なる条件にて、第一のエッチングを実施する。 Next, at different conditions of etching rates between portions 507 is not part 505 and the state change that status change by heating at the time of recording, performing the first etching. 第一のエッチングの例は、先に実施の形態1に関連して説明したとおりであるから、ここでは省略する。 Examples of the first etching, because as has been described in relation to Embodiment 1 above will be omitted here. また、この実施の形態2においても、第一のエッチングは、基板501のエッチングレートが、状態変化した部分505と状態変化していない部分507のうちエッチングレートの高い方よりも低くなる条件にて実施することが好ましい。 Also in the second embodiment, the first etching, the etching rate of the substrate 501, in a state changed portion 505 and state changes to low The condition than out higher etching rate of the portion 507 is not implementation it is preferable to. その理由については、実施の形態1において、説明したとおりであるからここでは省略する。 The reason is, in the first embodiment, is omitted here since it is as described. この第一のエッチングにより、記録時の昇温により状態変化した領域505が凸または凹として原盤上に形成される。 This first etching region 505 that state change is formed on the master as a convex or concave by heating at the time of recording.

以上においては、記録補助層503の除去と感熱材料層502のエッチングを別工程として実施する形態を説明した。 In the above, it explained the mode for carrying out the etching removal of the recording auxiliary layer 503 and the heat-sensitive material layer 502 as a separate process. 別法として、記録補助層503の除去と感熱材料層502のエッチングを同時に行うこともできる。 Alternatively, it is also possible to perform the etching removal and the heat-sensitive material layer 502 of the auxiliary recording layer 503 at the same time. その場合、工程数が減ることによって、汚染の可能性およびコストを低減することができる。 In that case, by the number of steps is reduced, it is possible to reduce the possibility and cost of pollution. 具体的には、例えば、感熱材料層502がTeまたはSbの化合物等から成り、記録時の昇温により状態変化した部分505と状態していない部分507とでアルカリエッチングの際のエッチングレートが大きく異なる層であり、記録補助層503が、例えば、ノボラック樹脂またはアクリル樹脂等のアルカリ可溶の材料から成る場合には、アルカリエッチングによって、記録補助層503の除去と感熱材料層502のエッチングを同時に実施できる。 Specifically, for example, a compound or the like of the heat-sensitive material layer 502 Te or Sb, large etching rate when the alkaline etching in the portion 507 which is not a state changed portion 505 and state by raising the temperature at the time of recording different is a layer, the recording auxiliary layer 503, for example, in the case where an alkali-soluble material, such as novolac resin or acrylic resin, by alkali etching, the etching removal and the heat-sensitive material layer 502 of the auxiliary recording layer 503 at the same time It can be carried out. また、感熱材料層502のエッチングを酸を用いて実施する場合には、記録補助層503を酸可溶の材料で形成すればよい。 Furthermore, when carried out using an acid etching of the heat-sensitive material layer 502 may be formed auxiliary recording layer 503 of a material of acid soluble. 感熱材料層502のエッチングを水溶液を用いて実施する場合には、記録補助層503を、例えば、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド、またはポリアクリル酸ナトリウム等の水溶性の材料で形成すれば、1回の処理で感熱材料層502のエッチングと記録補助層503の除去を実施できる。 When carried out with an aqueous solution of the etching of the heat-sensitive material layer 502, a recording auxiliary layer 503, for example, polyvinyl alcohol, by forming a water-soluble material such as polyethylene oxide or sodium polyacrylate, once It can be performed to remove the etching and the recording auxiliary layer 503 of the heat-sensitive material layer 502 in the process. 他にも様々な方法がある。 There are other various ways. いずれの方法を採用する場合も、エッチングを、記録補助層503のエッチングレートが感熱材料層502のエッチングレートより大きくなるように実施することによって、効率的に記録補助層503を除去できる。 May employ any method, the etching by the etching rate of the auxiliary recording layer 503 is performed to be greater than the etching rate of the heat-sensitive material layer 502, the efficient recording auxiliary layer 503 may be removed. また、記録補助層503の除去と感熱材料層502のエッチングを同時に実施する場合には、記録補助層503のエッチングレートは、状態変化した部分505と状態変化していない部分507のエッチングレートのうち低い方よりも高いことが好ましい。 Also, in the case of an etching removal and the heat-sensitive material layer 502 of the auxiliary recording layer 503 at the same time, the etching rate of the auxiliary recording layer 503 of the etch rate of the portion 507 which is not part 505 and the state change that status change low high it is preferable than the person. それにより、エッチング後に感熱材料層において残る部分(即ち、状態変化した部分505と状態変化していない部分507のエッチングレートのうち低い方)の表面荒れの程度を低くできる。 Thereby, the remaining portion in the heat-sensitive material layer after etching (i.e., lower of the etching rate of the portion 507 which is not part 505 and the state change that status change) the degree of surface roughness of the possible low.

このように、実施の形態2で説明した本発明の方法を用いれば、感熱材料層の材料を変更することなく、容易に、原盤上の凹凸パターンの断面形状を制御することが可能となる。 Thus, using the method of the present invention described in the second embodiment, without changing the material of the heat-sensitive material layer, easily, it is possible to control the cross-sectional shape of the concavo-convex pattern on the master.

(実施の形態3) (Embodiment 3)
実施の形態3として、2つの記録補助層を感熱材料層を挟むように配置した記録原盤を用いて、光情報記録媒体の原盤を製造する方法を図6を参照して説明する。 As the third embodiment, the two auxiliary recording layer using a recording master disk which is arranged so as to sandwich the heat-sensitive material layer, will be described a method of manufacturing a master of an optical information recording medium with reference to FIG. 図6(A)は、記録原盤の一例を示す。 FIG 6 (A) shows an example of a master disc. 記録原盤605は、基板601上に、第一の記録補助層602を形成し、第一の記録補助層602上に感熱材料層603を形成し、感熱材料層603上に第二の記録補助層604を形成することにより得られる。 Recording master disk 605 on the substrate 601, a first auxiliary recording layer 602 was formed, a heat-sensitive material layer 603 is formed on the first recording auxiliary layer 602, the second recording auxiliary layer on the heat-sensitive material layer 603 obtained by forming a 604. 記録原盤605を構成する基板601の材料および感熱材料層603の材料および形成方法は、実施の形態1に関連して説明したとおりである。 Materials and forming methods of the material of the substrate 601 constituting the recording master disk 605 and the heat-sensitive material layer 603 are as described in relation to the first embodiment. また、第一の記録補助層602および第二の記録補助層604も、実施の形態1に関連して説明した材料および方法により形成される。 Further, the first auxiliary recording layer 602 and the second auxiliary recording layer 604 is also formed by the materials and methods described in connection with the first embodiment. 第二の記録補助層604は、実施の形態2に関連して説明したように液体であってもよく、その場合は、記録の際に液体を塗布または浸漬により供給する必要がある。 Second recording auxiliary layer 604 may be a liquid, as described in connection with the second embodiment, in that case, it is necessary to supply a coating or immersing the liquid during the recording. 図示した記録原盤は、実施の形態3の製造方法を実施するのに最小限必要とされる構成に相当する。 Recording master disc shown correspond to the configuration that is minimally required for carrying out the manufacturing method of the third embodiment. したがって、記録原盤は、感熱材料層が2つの記録補助層で挟まれるように構成されている限りにおいて、例えば、記録補助層と感熱材料層との間に位置する界面層、または反射層等、図示していない構成要素を含んでもよい。 Therefore, the recording master disk, as long as being configured to heat-sensitive material layer is sandwiched between two recording auxiliary layer, for example, an interface layer is located between the recording auxiliary layer and the heat-sensitive material layer, or the reflective layer and the like, it may include components not shown.

例えば、図6(B)に示すように、基板601と第一の記録補助層602との間に、金属反射層606を設けてよい。 For example, as shown in FIG. 6 (B), between the substrate 601 and the first auxiliary recording layer 602, it may be provided a metal reflective layer 606. 金属反射層606の材料および形成方法は、実施の形態1に関連して説明したとおりである。 Materials and method for forming the metal reflective layer 606 are as described in relation to the first embodiment. また、この形態においても、実施の形態1に関連して説明したように、第一の記録補助層602の存在により、金属反射層606による熱的な悪影響を小さくして、光学的な効果を得ることが可能となる。 Also in this embodiment, as described in relation to Embodiment 1, the presence of the first auxiliary recording layer 602, to reduce the thermal adverse effect due to the metal reflective layer 606, an optical effect It can be obtained to become.

図6(A)および(B)に示す記録原盤605および605aには、所望のパターンが記録される。 The recording master 605 and 605a shown in FIG. 6 (A) and (B), the desired pattern is recorded. その方法は、実施の形態1と同じである。 The method is the same as the first embodiment. 次いで、第二の記録補助層604を除去し、さらに第一のエッチングを実施して、凹凸パターンが形成された原盤を得る。 Then, a second auxiliary recording layer 604 is removed, and further carrying out the first etching, to obtain a master having an uneven pattern is formed. あるいは、第二の記録補助層604の除去と第一のエッチングを同時に実施してもよい。 Alternatively, the second removing a first etching of the recording auxiliary layer 604 may be performed simultaneously. いずれの方法も先に実施の形態3に関連して説明したとおりであるから、ここでは省略する。 Because as has been described in connection with the third embodiment in any manner thereof is omitted here.

記録原盤605において、第一の記録補助層602は実施の形態1で説明した記録補助層102と同じように機能させることができ、第二の記録補助層604は実施の形態2で説明した記録補助層503と同じように機能させることができる。 In the recording master disk 605, a first auxiliary recording layer 602 can be made to function like the auxiliary recording layer 102 described in Embodiment 1, the second auxiliary recording layer 604 described in Embodiment 2 records it can function like the auxiliary layer 503. したがって、記録原盤605を用いることによって、実施の形態1および実施の形態2によりもたらされる利点を同時に得ることができ、記録補助層を1つだけを形成した記録原盤を用いる場合と比較して、原盤上の凹凸パターンの断面形状および記録時の感度をより自在に制御することができる。 Accordingly, by using the master disc 605, it is possible to obtain the advantages provided by the first embodiment and the second embodiment simultaneously, as compared with the case of using a recording master disk recording auxiliary layer to form a single, it is possible to control the cross-sectional shape and the sensitivity of the recording of the concavo-convex pattern on the master more freely.

(実施の形態4) (Embodiment 4)
実施の形態4として、感熱材料層に凹凸を形成する第一のエッチングの後、さらに第二のエッチングを実施する方法を、図7を参照して説明する。 As the fourth embodiment, after the first etching for forming irregularities on the heat-sensitive material layer, a further method of performing a second etch, it will be described with reference to FIG. 実施の形態4では、実施の形態1または実施の形態3で使用される記録原盤を用いて、それぞれ、実施の形態1または実施の形態3と同様の方法で感熱材料層に凹凸パターンを形成する。 In the fourth embodiment, by using a master disc used in the first embodiment or the third embodiment, respectively, to form an uneven pattern on the heat-sensitive material layer in the same manner as in Embodiment 1 or Embodiment 3 . 図7(A)に、感熱材料層701の記録時の昇温により状態変化した部分が凹部として形成された記録原盤704aを、図7(B)に、感熱材料層701の記録時に昇温した部分が凸部として形成された記録原盤704bを、それぞれ断面図で示す。 In FIG. 7 (A), the state changed portion by raising the temperature during the recording of the thermal material layer 701 is a master disc 704a formed as recesses, in Fig. 7 (B), the temperature was raised at the time of recording of the heat-sensitive material layer 701 the master disc 704b which portion is formed as a protrusion, respectively shown in cross-section. いずれの記録原盤においても、感熱材料層701は記録補助層702上に形成されている。 In any of the recording master disk, the heat-sensitive material layer 701 is formed on the auxiliary recording layer 702. 記録補助層702の下側表面に隣接している層703は、実施の形態1および実施の形態3に関連して説明したように、一般的には基板または金属反射層であるが、これらに限定されない。 Layer 703 is adjacent to the lower surface of the auxiliary recording layer 702, as described in relation to Embodiment 1 and Embodiment 3, typically as the substrate or the metal reflective layer, these but it is not limited. 以下、図7(A)に示す状態変化した部分が凹として形成される記録パターンが形成された記録原盤を用いて実施の形態4を説明する。 Hereinafter, the fourth embodiment will be described with reference to recording master disk recording pattern is formed to the state changed portion shown in FIG. 7 (A) is formed as a concave.

実施の形態4においては、第一のエッチングを実施した後の記録原盤に、感熱材料層701をマスクとした第二のエッチングを行う。 In the fourth embodiment, the recording master disk after performing the first etching, performing a second etching in which the heat-sensitive material layer 701 as a mask. 第二のエッチングにおいては、第一のエッチング後に残った感熱材料層701の部分がマスクとして作用し、第一のエッチング後に露出している記録補助層702の部分を除去して凹部を形成する。 In the second etching, the portion of the heat-sensitive material layer 701 remaining after the first etching acts as a mask to form a recess by removing a portion of the auxiliary recording layer 702 which is exposed after the first etching. 第二のエッチングは、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、または酸もしくはアルカリ等によるウエットエッチング等であってよい。 The second etching is reactive ion etching, it may be wet etching by plasma etching or acid or alkali or the like. 感熱材料層701を、例えば、Te、Sb、Se、Sn、GeまたはMo等の化合物である無機材料で形成し、記録補助層702を、例えば、ノボラック樹脂、アクリル樹脂、またはポリカーボネート樹脂等の有機物で形成する場合には、第二のエッチングは、プラズマエッチング、または有機溶剤によるウエットエッチングであることが、実施が容易であることから、好ましい。 The heat-sensitive material layer 701, for example, to form Te, Sb, Se, Sn, an inorganic material is Ge or a compound such as Mo, a recording auxiliary layer 702, for example, a novolac resin, an organic substance such as acrylic resin or polycarbonate resin, in the case of forming the second etching, plasma etching or be a wet etching with an organic solvent, since the implementation is easy, preferably. あるいは、記録補助層702をSiO で形成し、フッ素系のガスまたは液体でSiO を選択的に除去する方法によって第二のエッチングを実施することも好ましい。 Alternatively, the auxiliary recording layer 702 formed of SiO 2, a fluorine-based gas or liquid is also preferably carried out second etching by a method of selectively removing the SiO 2.

図7(C)に第二のエッチング後の記録原盤を示す。 Figure 7 (C) shows a master disc after the second etching. 図7(C)において、d1は記録補助層702をエッチングする深さに相当する。 In FIG. 7 (C), d1 corresponds to the depth of etching the auxiliary recording layer 702. 第二のエッチングは、マスクが消失することを防止するように実施することが好ましい。 Second etching is preferably performed so as to prevent the mask disappears. マスクが消失すると、記録補助層702のマスクされるべき部分がエッチングされて所望の凹凸パターンを形成できなくなるという不都合がある。 The mask disappears, it masked the to part of the recording auxiliary layer 702 is disadvantageously etched can not be formed to the desired concave-convex pattern. したがって、第二のエッチングは、第二のエッチング前の感熱材料層701の平均的な厚みをd2(図7(A)参照)としたときに、感熱材料層701に対する記録補助層702のエッチング選択比を(d1/d2)以上となるように実施することが好ましい。 Therefore, the second etching, the average thickness of the second etching before the heat-sensitive material layer 701 is taken as d2 (see FIG. 7 (A)), the etching selectivity of the recording auxiliary layer 702 for heat-sensitive material layer 701 it is preferably carried out so that the ratio (d1 / d2) above. 図7(B)に示すような記録原盤を第二のエッチングに付すと、凸部がマスクとなって、記録補助層702に凹部が形成されることとなる(図示せず)。 Figure 7 when subjecting master disc as shown in (B) in the second etching, the convex portion serves as a mask, so that the recesses are formed on the auxiliary recording layer 702 (not shown).

また、図7(D)に示すように、下層703の表面が露出するまで第二のエッチングを行う場合は、さらに、下層703に対する記録補助層702のエッチング選択比が1より大きいことが好ましい。 Further, as shown in FIG. 7 (D), if the surface of the lower layer 703 performs a second etching to expose further, it is preferable etching selection ratio of the recording auxiliary layer 702 to the underlying 703 is greater than 1. そのようにエッチング選択比を選択することで、第二のエッチングにより露出される下層703の表面が、第二のエッチングにより荒らされる程度を小さくし得るため、凹部の底が平滑である良好なパターンが得られる。 By so selected the etching selectivity, the surface of the lower layer 703 exposed by the second etching, a good pattern for which can reduce the degree of roughening by the second etching, the bottom of the recess is smooth It is obtained. 例えば、記録補助層702がSiO を含み、下層703がSiから成る場合には、例えばフルオロカーボン等のフッ素系材料による反応性イオンエッチングを第二のエッチングとして実施することによって下層703が露出する場合でも第二のエッチングによる表面の荒れを少なくし得る。 For example, if the auxiliary recording layer 702 comprises SiO 2, the lower layer 703 if made of Si is lower 703 is exposed by performing a reactive ion etching for example with a fluorine-based material fluorocarbons such as a second etching But it can reduce the roughness of the surface by the second etching. 記録補助層702が、例えば、ノボラック樹脂、アクリル樹脂またはポリカーボネート樹脂等の有機物から成り、下層703がガラスまたはシリコン等の無機材料から成る場合には、プラズマエッチング、または有機溶剤によるウエットエッチングを第二のエッチングとして実施することが、下層703を露出させる場合にも好ましい。 Recording auxiliary layer 702, for example, novolak resins made from organic material such as an acrylic resin or polycarbonate resin, when the lower layer 703 is formed of an inorganic material such as glass or silicon, plasma etching or wet etching using an organic solvent, the second it is also preferred when exposing the lower layer 703 implemented as etching. また、下層703が、上述の金属反射層である場合には、下層703に対する記録補助層702のエッチング選択比を大きくしやすい。 The lower 703, if a metal reflective layer described above, tends to increase the etching selection ratio of the recording auxiliary layer 702 to the underlying 703. したがって、下層703を金属反射層とする構成の記録原盤は、実施の形態4において好ましく用いられる。 Therefore, the recording master disk configuration that the lower 703 and the metal reflective layer is preferably used in the fourth embodiment.

次に、第三のエッチングを実施して、マスクとして用いた感熱材料層701を除去して、原盤を得る。 Then carried out a third etching to remove the heat-sensitive material layer 701 used as a mask to obtain a master. 第三のエッチングの例としては、反応性イオンエッチングおよびプラズマエッチング等のドライエッチング、ならびに酸またはアルカリ等によるウエットエッチング等が挙げられる。 Examples of the third etching, reactive ion etching and plasma etching of the dry etching, and wet etching, and the like with an acid or alkali or the like. 第三のエッチングは、好ましくは、記録補助層702に対する感熱材料層701のエッチング選択比が1よりも大きくなるように実施することが好ましい。 The third etching is preferably is preferably etching selectivity of the heat-sensitive material layer 701 for recording auxiliary layer 702 implemented to be greater than 1. そのようにエッチング選択比を選択することによって、第三のエッチングにより記録補助層702がエッチングされる度合いを低くし得るため、原盤上に良好なパターンが形成される。 By so selected etching selection ratio, the third auxiliary recording layer 702 by etching order to be able to lower the degree to be etched, a good pattern on the master is formed. 第二のエッチングにより下層703が露出している場合、もしくは第三のエッチングにより下層703が露出する場合には、第三のエッチングは、下層703に対する感熱材料層701のエッチング選択比も1より大きくなるように実施することがさらに好ましい。 If the lower layer 703 is exposed by the second etching, or if the lower layer 703 is exposed by the third etching, the third etching, the etching selection ratio of the heat-sensitive material layer 701 to the underlying 703 also greater than 1 it is more preferably carried out so. 第三のエッチングにより下層703がエッチングされる程度を低くして、原盤上に良好なパターンを形成するためである。 By lowering the extent to which the lower layer 703 is etched by the third etching, in order to form a good pattern on the master. 一例を挙げると、感熱材料層701がTeの酸化物から成り、記録補助層702がSiO から成り、下層703がSiから成る場合、第三のエッチングとして、TMAHまたはKOH等のアルカリによるエッチングを実施すれば、記録補助層702および下層703にほとんどダメージを与えることなくマスクとしての感熱材料層701を除去することができる。 As an example, heat-sensitive material layer 701 is composed of an oxide of Te, the recording auxiliary layer 702 is made of SiO 2, if the lower layer 703 is made of Si, as the third etching, etching with an alkali such as TMAH or KOH by carrying, it is possible to remove the heat-sensitive material layer 701 as a mask without giving little damage to the recording auxiliary layer 702 and the lower layer 703.

実施の形態4の方法によれば、感熱材料層を除去することにより平坦な記録補助層の表面が露出されて、記録補助層に良好な凹凸パターンを形成することができる。 According to the method of the fourth embodiment, is exposed surfaces of the flat auxiliary recording layer by removing the heat-sensitive material layer, it is possible to form an excellent uneven pattern on the recording auxiliary layer. したがって、実施の形態4の方法は、実施の形態1または実施の形態3の方法に従って第一のエッチングを実施している間に感熱材料層の表面が荒れたり、スカムが発生するなどして、良好な凹凸パターンが得られない場合に特に有用である。 Thus, the method of the fourth embodiment, and like the surface of the heat-sensitive material layer rough or scum is generated while performing the first etching according to the method of Embodiment 1 or Embodiment 3, it is particularly useful when the good uneven pattern can not be obtained. また、実施の形態4の方法は、実施の形態1または実施の形態3の方法で製造した原盤を更に別工程(例えば、メッキなど)に付す際に、感熱材料層の材料が当該別工程で問題を生じさせる場合にも、好ましく用いられる。 The method of the fourth embodiment, when subjecting the master manufactured by the method of Embodiment 1 or Embodiment 3 in yet another step (e.g., plating, etc.), the material of the heat-sensitive material layer in the specific process when causing problems, it is preferably used. このように、実施の形態4の方法を用いれば、ヒートモード記録による光情報記録媒体の原盤製造に用いる感熱材料の選択肢をより広くすることが可能となる。 Thus, using the method of the fourth embodiment, it is possible to more widely choices sensitive material used in the mastering of an optical information recording medium according to heat mode recording.

(実施の形態5) (Embodiment 5)
実施の形態5として、感熱材料層の上に光透過層を形成した記録原盤を用いる方法を説明する。 As a fifth embodiment, a method of using a recording master disk to form a light transmission layer on the heat-sensitive material layer. 図8(A)に、実施の形態5で使用される記録原盤を断面図にて示す。 In FIG. 8 (A), it shows a recording master disk used in Embodiment 5 in cross section. 記録原盤805は、基板801上に、記録補助層804を形成し、記録補助層804の上に感熱材料層802を形成し、感熱材料層802上に、光透過層803を形成することにより得られる。 Recording master disk 805, obtained on the substrate 801, to form a recording auxiliary layer 804, the heat-sensitive material layer 802 is formed on the auxiliary recording layer 804, on the heat-sensitive material layer 802, by forming the light transmission layer 803 It is. 記録原盤805を構成する基板801の材料、感熱材料層802および記録補助層804の材料および形成方法は、実施の形態1に関連して説明したとおりである。 Material of the substrate 801 constituting the recording master disk 805, the material and formation method of the heat-sensitive material layer 802 and the auxiliary recording layer 804 is as described in relation to the first embodiment. 光透過層803の具体的な材料および形成方法は、後述する。 Specific materials and formation method of the light transmission layer 803 will be described later. 図示した記録原盤804の構成は、実施の形態5の製造方法を実施するのに最小限必要とされる構成の一例である。 Configuration of the recording master disk 804 shown is an example of a configuration that is minimally required for carrying out the manufacturing method of the fifth embodiment. したがって、記録原盤は、光透過層が最上層として形成されている限りにおいて、例えば、界面層または反射層等、図示していない構成要素を含んでもよい。 Therefore, the recording master disk, as long as the light transmission layer is formed as the uppermost layer, for example, an interface layer or a reflective layer or the like may include components not shown. また、記録補助層804に代えて又はこれとともに、感熱材料層の上に記録補助層が形成されていてもよく、その場合、光透過層は、当該記録補助層の上に形成される。 In addition, or together with place of the recording auxiliary layer 804 may be auxiliary recording layer is formed on the heat-sensitive material layer, in which case, the light transmission layer is formed on the said auxiliary recording layer.

光透過層の材料および形成方法を説明する前に、光透過層を形成することの利点を、図9を参照して説明する。 Before describing the materials and formation method of the light transmission layer, the advantage of forming the light transmitting layer, will be described with reference to FIG. 図9は、一般的な光情報記録媒体901の構造を示す。 Figure 9 shows the structure of a general optical information recording medium 901. 図9に示す光情報記録媒体901は、原盤上に形成された凹凸パターンが、直接的に又は間接的に転写されている基板902、基板902上に形成された少なくとも一層の信号層903、および信号層903上に形成された透明な保護層904を有する。 The optical information recording medium shown in FIG. 9 901, uneven patterns formed on the master disk, and a substrate 902 that is directly or indirectly transferred, at least one layer of the signal layer 903 formed on the substrate 902, a transparent protective layer 904 formed on the signal layer 903. 信号層903は、例えば、書き換え型および追記型の記録媒体においては、カルコゲン化合物または色素から成る層を含み、必要に応じて記録再生特性を向上させるために、金属またはシリコン等から成る反射層を更に有する。 Signal layer 903, for example, in the rewritable and write-once recording medium includes a layer made of a chalcogen compound or a dye, in order to improve recording and reproducing characteristics as required, a reflective layer made of metal or silicon or the like further comprising. 再生専用の光記録媒体においては、基板に形成された凹凸が信号情報となり、信号層903は、この信号情報を反射光の位相差として読み出すために設けられる反射層である。 In a read-only optical recording medium, irregularities formed on the substrate becomes the signal information, the signal layer 903, a reflective layer provided for reading the signal information as the phase difference of the reflected light. いずれの形態の光情報記録媒体901も、再生および記録はともに、対物レンズ905によって集光される光906(例えばレーザ光)によって行われる。 The optical information recording medium 901 of any form also, reproduction and recording are both performed by the light 906 is condensed by the objective lens 905 (e.g., laser beam).

光情報記録媒体の記録および再生に使用される対物レンズ905は、DVDおよびCD等の普及に伴い、比較的安価に提供されている。 Objective lens 905 used for recording and reproducing of the optical information recording medium, with the spread of such DVD and CD, are provided relatively inexpensively. そこで、この対物レンズ905を、原盤を製造する際の露光に使用できれば、原盤製造のコストを低下させることが可能である。 Therefore, the objective lens 905, if used to expose in the manufacture of master, it is possible to reduce the cost of mastering. しかし、従来の原盤記録方法では、記録光が集光されるべき層が記録原盤表面に配置される、あるいは光情報記録媒体901の保護層904とは光学的に全く異なる層によりカバーされている等の理由のために、球面収差の影響で、光情報記録媒体の再生および記録に使用する対物レンズを、原盤記録に用いることは不可能であった。 However, in the conventional master disk recording method, the layer recording light to be condensed is covered by completely different layers optically the protective layer 904 of the master disc is placed on a surface or the optical information recording medium 901, for reasons like, the influence of the spherical aberration, the objective lens used for reproduction and recording of the optical information recording medium, was it impossible to use the master recording. そのため、原盤記録は、原盤記録専用として製造される非常に高価な対物レンズを必要としていた。 Therefore, the master recording was needed a very expensive objective lenses manufactured as master recording only.

本発明の方法は、ヒートモード記録の可能な感熱材料を記録原盤に用いることにより、光情報記録媒体の再生および記録に一般的に用いられる光および対物レンズと実質的に同程度の波長の記録光および対物レンズのNAを用いて原盤記録を実施することを可能にするものである。 The method of the present invention, by using a heat-sensitive material capable of heat mode recording master disk, an optical information reproducing of the recording medium and recorded in the generally light and the objective lens substantially recorded in comparable wavelengths used it is one which allows to implement the master recording with the NA of the light and the objective lens. 即ち、本発明の方法は、民生機器で用いられている対物レンズを原盤記録に使用することをより容易にする。 That is, the method of the present invention makes it easier to use an objective lens which is used in consumer equipment master recording. しかし、そのような対物レンズを実際に使用することは、前述したように球面収差の影響等により困難である。 However, it is difficult by influence of spherical aberration as described above using such an objective lens actually. そこで、本発明者らは、原盤の構成自体を光情報記録媒体と同じものとすることによって、そのようなレンズの使用が可能になると考えた。 Accordingly, the present inventors have found that by the configuration itself of the master the same as the optical information recording medium was considered to allow the use of such lenses. これが、光透過層803を設ける理由である。 This is why the provision of the light transmission layer 803. 即ち、民生機のドライブに搭載される安価な対物レンズを原盤記録の対物レンズとして使用できるようにすることが実施の形態5の方法の利点である。 That is an advantage of the method of the fifth embodiment to be able to use an inexpensive objective lens mounted to the drive of consumer devices as the objective lens of the master recording.

したがって、光透過層803は、その光学定数および厚さが光情報記録媒体の保護層904と同程度である層となるように形成される。 Therefore, the light transmission layer 803, the optical constants and thickness is formed so that a layer of the same order as the protective layer 904 of the optical information recording medium. 一般的に、光情報記録媒体の保護層904はポリカーボネート樹脂等の樹脂で形成される。 Generally, the protective layer 904 of the optical information recording medium is formed of a resin such as polycarbonate resin. 保護層904は、次世代の光情報記録媒体の記録および再生に使用される予定である波長405nm付近において、1.4〜1.6程度の屈折率を有する。 Protective layer 904 at a wavelength near 405nm and will be used for recording and reproduction of the next generation optical information recording medium has a refractive index of about 1.4 to 1.6. したがって、本発明で用いる光透過層803もまた、同程度の波長の光の屈折率がそれに近い材料、例えば、1.35以上1.65以下の材料で形成することが好ましい。 Therefore, the light transmission layer 803 used in the present invention is also the material close to the refractive index of comparable wavelength light it, for example, preferably formed by 1.35 to 1.65 the following materials. 具体的には、光透過層803を構成する材料として、例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、石英ガラス、およびソーダガラス等が挙げられるが、これらに限定されるものではなく、上記の屈折率を有するいずれの材料でも形成することができる。 Specifically, as the material constituting the light transmitting layer 803, for example, polycarbonate resin, acrylic resin, quartz glass, and soda glass, etc., it is not limited thereto, having a refractive index of the it can be formed of any material. 光透過層803の厚さは、使用する対物レンズに応じて選択される。 Thickness of the light transmission layer 803 is selected according to the objective lens used. 光透過層803は、その屈折率の制御よりも厚さの制御の方が容易であるため、光透過層803の厚みにより球面収差等の調整を行うとよい。 The light transmission layer 803, because its refractive index is easier to control the thickness of than control, may make adjustments such as spherical aberration by the thickness of the light transmission layer 803. さらに、球面収差の微調整を行いたい場合は、対物レンズと光源との間に、球面収差補正機構を設ければよい。 Moreover, if you want to fine-tune the spherical aberration, between the objective lens and the light source may be provided to the spherical aberration correction mechanism.

光透過層803は、スピンコート法等により、硬化性樹脂を含む液体材料を塗布した後に、溶剤の揮発または紫外線の照射等により硬化性樹脂を硬化させることによって形成してよい。 The light transmission layer 803 by spin coating or the like, after applying the liquid material containing a curable resin may be formed by curing the curable resin by irradiation or the like of the volatile or ultraviolet solvents. あるいは、光透過層803は、シート状の透明材料を粘着シートまたは接着剤によって接着する方法によって形成してよい。 Alternatively, the light transmitting layer 803 may be formed by a method of bonding by the sheet-like transparent material adhesive sheet or an adhesive. あるいは、光透過層803は、図8(B)〜図8(D)に示す方法で記録原盤に形成してよい。 Alternatively, the light transmitting layer 803 may be formed on the master disc in the manner shown in FIG. 8 (B) ~ FIG 8 (D). 図8(B)は、真空雰囲気807中でシート状の材料を記録原盤表面に被せ、シート状材料を基板801に接着剤806で接合する方法を示す。 FIG. 8 (B) covered with a sheet of material to the recording surface of the master in a vacuum atmosphere 807, a sheet-like material showing a method of adhesively bonded 806 to the substrate 801. 図8(C)は、袋状のシート材料で記録原盤を包み込み、真空吸引によりシートと記録原盤を密着させた後に封止する方法を示す。 FIG. 8 (C) wraps master disc in a bag-like sheet material, showing a method of sealing after brought into close contact with the sheet and the recording master disc by vacuum suction. 図8(D)は、記録原盤を露光するときに、基板および回転台202に形成された開口部808を通じてシート状の透明材料を真空吸着させる方法を示す。 Figure 8 (D), when exposing the master disc, illustrating a method of vacuum chucking a sheet of transparent material through an opening 808 formed in the substrate and the turntable 202. 光透過層803は、露光の際にその下に位置する層(図8においては感熱材料層であり、感熱材料層の上に記録補助層が形成されている場合には記録補助層)と密着していることを要し、露光の前に、その下に位置する層と接合している必要は必ずしもない。 The light transmission layer 803, the layer located thereunder during exposure (a heat-sensitive material layer 8, the recording auxiliary layer in a case where the recording auxiliary layer on the heat-sensitive material layer is formed) and the adhesion be required to have, prior to exposure, it is not necessarily bonded to the layer located thereunder.

記録原盤への記録方法は実施の形態1に関連して説明したとおりである。 Recording method of the master disc is as described in connection with the first embodiment. 記録後、光透過層803を除去する。 After recording, the removal of the light transmission layer 803. 光透過層803は、光透過層803が、例えば、硬化性樹脂を含む液体材料を硬化させて形成したものである場合には、溶媒を用いて、あるいはプラズマエッチング法等により除去できる。 The light transmission layer 803, light-transmitting layer 803, for example, in the case in which is formed by curing a liquid material containing a curable resin may be removed by using a solvent, or a plasma etching method, or the like. 光透過層803が、例えば、シート状の透明材料を粘着シートまたは接着剤によって感熱材料層802に接着されることにより形成される場合は、例えば剥離しやすい接着剤を用いておいて接着を実施し、剥離によりシート状の材料を除去してもよい。 Exemplary light transmitting layer 803, for example, when formed by being bonded to the heat-sensitive material layer 802 a sheet of transparent material by an adhesive sheet or adhesive, for example, an adhesive in advance using easy peel adhesive and may be removed a sheet of material by peeling. この場合、接着剤の残渣を、溶媒を用いて、またはプラズマエッチング等により除去してよい。 In this case, the residue of the adhesive, by using a solvent, or may be removed by plasma etching or the like. あるいは、例えば、図8(B)、(C)、および(D)に示すように、光透過層がその下の層(例えば、感熱材料層802)に固着されていない場合には、剥離または真空の解除等により、容易に光透過層を取り外すことができる。 Alternatively, for example, as shown in FIG. 8 (B), (C), and (D), when the light transmitting layer underlying layers (e.g., heat-sensitive material layer 802) not fixed, the peeling or the vacuum release such as, can be easily detached light transmission layer.

光透過層803を除去した後の記録原盤の処理(具体的にはエッチング)は、記録原盤の構成に応じて、実施の形態1〜4に関連して説明した方法を用いて実施され、それにより光情報記録媒体の原盤を得ることができる。 Processing of the recording master disc after removal of the light transmitting layer 803 (specifically etching), depending on the configuration of the master disc is carried out using the method described in connection with the first to fourth embodiments, it it can be obtained master of an optical information recording medium by.

本発明の原盤製造方法は、ヒートモード記録を利用して、微細な凹凸パターンをその断面形状を制御して形成することを可能とするものである。 Master production method of the present invention utilizes the heat mode recording, and makes it possible to be formed by controlling the cross-sectional shape of fine concavo-convex pattern. したがって、当該方法により製造された原盤は、微細な凹凸パターンを有することが必要とされる、例えば青色レーザ光のような短波長の光を用いて信号を記録および/または再生する光情報記録媒体の製造に適している。 Therefore, the master produced by the method, is required to have a fine uneven pattern, for example, the optical information recording medium for recording and / or reproducing a signal using a short-wavelength light such as blue laser beam It is suitable for the production.

図1(A)および(I)は、本発明の原盤製造方法で用いられる記録原盤の一例の断面図であり、図1(B)〜(H)は、それぞれ露光後の記録原盤の断面図である。 Figure 1 (A) and (I) is a cross-sectional view of one example of a recording master disk used in the mastering process of the present invention, FIG. 1 (B) ~ (H) is a sectional view of a master disc of each after exposure it is. 図2は、原盤記録を実施する装置および原盤記録方法を示す模式図である。 Figure 2 is a schematic diagram showing an apparatus and master recording method for implementing the master recording. 図3(A)および(B)は第一のエッチング前の記録原盤の断面図であり、(C)〜(F)は第一のエッチング後に得られる原盤の断面図である。 Figure 3 (A) and (B) is a sectional view of a master disc before the first etching, (C) ~ (F) is a cross-sectional view of the master obtained after the first etching. 図4(A)および(B)は、第一のエッチング前の記録原盤の断面図であり、(C)および(D)は、第一のエッチングの後に得られる原盤の断面図である。 Figure 4 (A) and (B) is a cross-sectional view of a master disc before the first etching, (C) and (D) is a cross-sectional view of the master obtained after the first etching. 図5(A)は、本発明の原盤製造方法で用いられる記録原盤の別の例の断面図であり、(B)〜(H)はそれぞれ露光後の記録原盤の断面図である。 5 (A) is another example of a sectional view of a master disc for use in the mastering process of the present invention, (B) ~ (H) is a sectional view of a master disc of each after exposure. 図6(A)および(B)は、本発明の原盤製造方法で用いられる記録原盤のさらに別の例の断面図である。 FIG 6 (A) and (B) is a cross-sectional view of yet another example of a master disc for use in the mastering process of the present invention. 図7(A)および(B)は、本発明の原盤製造方法に従って第二のエッチングを実施する場合の第二のエッチング前の記録原盤の断面図であり、図7(C)および(D)は、第二のエッチング後の記録原盤の断面図である。 Figure 7 (A) and (B) is a cross-sectional view of a master disc before second etching in the case of performing the second etching according mastering process of the present invention, FIG. 7 (C) and (D) is a cross-sectional view of the master disc after the second etching. 図8(A)は、本発明の原盤製造方法で用いられる記録原盤の別の例であり、(B)〜(D)はそれぞれ(A)に示す記録原盤の製造方法を示す模式図である。 8 (A) is another example of a master disc for use in the mastering process of the present invention, it is a schematic diagram showing a method of manufacturing a recording master disk shown in (B) ~ (D), respectively (A) . 図9は、一般的な光情報記録媒体の断面図である。 Figure 9 is a cross-sectional view of a typical optical information recording medium. 図10(A)〜(D)は、従来のポジ型原盤製造方法およびスタンパの製造方法を示す模式図であり、図10(E)は、ネガ型原盤の断面図である。 Figure 10 (A) ~ (D) are schematic views showing a method of manufacturing a conventional positive mastering process and a stamper, FIG 10 (E) is a sectional view of the negative master. 図11は、ヒートモード記録により製造した従来の原盤を示す断面図である。 Figure 11 is a sectional view showing a conventional master disk manufactured by heat-mode recording.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

101 基板 102 記録補助層 103 感熱材料層 104 記録原盤 105 状態変化した部分 106 状態していない部分 107 金属反射層 201 記録原盤 202 回転台 203 光源 204 レンズ 205 記録ヘッド 206 記録光 301 傾斜角 401 基板 402 感熱材料層 403a 記録補助層 403b 記録補助層 404 傾斜角 501 基板 502 感熱材料層 503 記録補助層 504 記録原盤 505 状態変化した部分 506 外部媒質 507 状態していない部分 601 基板 602 第一の記録補助層 603 感熱材料層 604 第二の記録補助層 605 記録原盤 605a 記録原盤 606 金属反射層 701 感熱材料層 702 記録補助層 703 下層 704a 記録原盤 704b 記録原盤 801 基板 802 感熱材料層 101 substrate 102 recording auxiliary layer 103 heat-sensitive material layer 104 master disc 105 portion 107 metal reflective layer 201 that is not a state changed portion 106 state recording master disc 202 turntable 203 light source 204 lens 205 recording head 206 records light 301 tilt angle 401 substrate 402 heat-sensitive material layer 403a auxiliary recording layer 403b auxiliary recording layer 404 tilt angle 501 substrate 502 heat-sensitive material layer 503 recording auxiliary layer 504 master disc 505 state changed portion 506 external medium 507 state portion 601 substrate 602 is not the first recording auxiliary layer 603 heat-sensitive material layer 604 second auxiliary recording layer 605 master disc 605a master disc 606 metal reflective layer 701 heat-sensitive material layer 702 recording auxiliary layer 703 underlying 704a master disc 704b recorded master disk 801 substrate 802 heat-sensitive material layer 03 光透過層 804 記録補助層 805 記録原盤 806 接着剤 807 真空雰囲気 808 開口部 901 光情報記録媒体 902 基板 903 信号層 904 保護層 905 対物レンズ 906 光 1001 基板 1002 フォトレジスト 1003 記録原盤 1004 潜像 1005 原盤 1006 導電膜 1007 金属層 1010 記録光 1101 感熱材料層 1102 大気 1103 基板 1104 傾斜角 03 light-transmitting layer 804 recording auxiliary layer 805 master disc 806 adhesive 807 vacuum 808 opening 901 an optical information recording medium 902 substrate 903 signal layer 904 protective layer 905 objective lens 906 optical 1001 substrate 1002 photoresist 1003 master disc 1004 latent 1005 master 1006 conductive film 1007 metal layer 1010 recording light 1101 heat-sensitive material layer 1102 air 1103 substrate 1104 tilt angle

Claims (25)

  1. 基板、露光による温度変化によって状態の変化する材料からなる感熱材料層、および当該感熱材料層とは異なる材料から成る、記録補助層を含む記録原盤に露光を施して、当該感熱材料層に状態変化した部分を形成すること、当該感熱材料層の当該状態変化した部分と状態変化していない部分とでエッチングレートの異なる条件で第一のエッチングを実施することを含む、光情報記録媒体の原盤製造方法。 Substrate, heat-sensitive material layer made of a material which changes of state by temperature changes due to exposure, and made of a material different from that of the heat-sensitive material layer, is subjected to exposure to a recording master disc containing the recording auxiliary layer, the state changes to the heat-sensitive material layer forming a portion includes performing a first etching in different conditions of the etching rate and the state changed portion and the state unaltered portion of the heat-sensitive material layer, mastering of an optical information recording medium Method.
  2. 前記記録原盤において、前記記録補助層が前記感熱材料層と前記基板との間に配置されている請求項1に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the recording auxiliary layer is mastering method for an optical information recording medium according to claim 1 which is disposed between the substrate and the heat-sensitive material layer.
  3. 前記記録原盤において、前記記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記基板を構成する材料の熱伝導率と異なる請求項2に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to the thermal conductivity and different claims 2 material thermal conductivity of the material constituting the recording auxiliary layer constituting the substrate.
  4. 前記記録原盤において、前記記録補助層が露光に使用する波長の光の吸収率を増大させる、請求項2または3に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the recording auxiliary layer increases the absorption of light having a wavelength used for exposure, master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 2 or 3.
  5. 前記記録原盤において、前記感熱材料層が前記記録補助層と前記基板との間に配置されている請求項1に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 1, wherein the heat-sensitive material layer is disposed between the substrate and the recording auxiliary layer.
  6. 前記記録補助層が前記第一のエッチングによって除去される、請求項5に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 The recording auxiliary layer is removed by the first etching, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 5.
  7. 前記記録原盤において、前記記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記記録原盤の表面が接する媒質の熱伝導率と異なる請求項5または6に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to the thermal conductivity and different claims 5 or 6 of the medium thermal conductivity of the material is in contact the surface of the recording master disk constituting the recording auxiliary layer.
  8. 前記記録原盤において、前記記録補助層が第一の記録補助層と第二の記録補助層とから成り、当該第一の記録補助層が前記感熱材料層と前記基板との間に配置され、当該感熱材料層が当該第一の記録補助層と第二の記録補助層との間に配置されている、請求項1に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the consist recording auxiliary layer and the first auxiliary recording layer and the second recording auxiliary layer is disposed the first auxiliary recording layer is between the substrate and the heat-sensitive material layer, the heat-sensitive material layer is disposed between said first recording auxiliary layer and the second recording auxiliary layer, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 1.
  9. 前記記録原盤において、前記第一の記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記基板を構成する材料の熱伝導率と異なる、請求項8に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the first thermal conductivity of the material of the recording auxiliary layer is different from the thermal conductivity of the material constituting the substrate, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 8.
  10. 前記記録原盤において、前記第二の記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記記録原盤の表面が接する媒質の熱伝導率と異なる請求項8または9に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, mastering of an optical information recording medium according to the second recording thermal conductivity of the material of the auxiliary layer is different from the thermal conductivity of the medium in contact with the surface of the master disc according to claim 8 or 9 Method.
  11. 前記記録原盤において、前記記録補助層が露光に使用する波長の光の吸収率を増大させる、請求項8〜10のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the above master disc, the recording auxiliary layer increases the absorption of light having a wavelength used for exposure, master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 8-10.
  12. 前記記録原盤において、金属反射層が、前記感熱材料層および前記記録補助層のいずれよりも前記基板に近い位置に配置されている請求項1〜11のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, a metal reflective layer, the heat-sensitive material layer and the optical information recording medium according to any one of the recording auxiliary claims are located closer to the substrate than any of the layers 1 to 11 the method of the master production.
  13. 前記記録原盤において、前記記録補助層が前記金属反射層と前記感熱材料層との間に配置され、当該記録補助層を構成する材料の熱伝導率が前記反射層を構成する材料の熱伝導率よりも小さい請求項12に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the recording auxiliary layer is disposed between the heat-sensitive material layer and the metal reflective layer, the thermal conductivity of the material thermal conductivity of the material constituting the auxiliary recording layer constitutes the reflective layer master method of manufacturing an optical information recording medium according to a small claim 12 than.
  14. 前記第一のエッチングが、前記感熱材料層の前記状態変化した部分と前記状態変化していない部分のうちエッチングレートの高い部分のエッチングレートよりも、前記記録補助層のエッチングレートが低くなる条件で実施される、請求項1、2、3、4、8、9、10、11、12および13のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 Wherein the first etching, the than the etching rate of the high etching rate portion of the state changed portion and the not state change part of the heat-sensitive material layer, under the condition that the etching rate is lower in the recording auxiliary layer is carried out, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1,2,3,4,8,9,10,11,12 and 13.
  15. 前記第一のエッチングにより前記感熱材料層を選択的に除去した後に、前記感熱材料層をマスクとして利用する第二のエッチングを実施すること、および前記第二のエッチング後、前記感熱材料層を除去する第三のエッチングを実施することをさらに含む、請求項1、2、3、4、8、9、10、11、12、13および14のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 After selectively removing the heat-sensitive material layer by the first etching, the performing a second etching utilizing a heat-sensitive material layer as a mask, and the rear second etching, removing the heat-sensitive material layer further comprising, master of an optical information recording medium according to any one of claims 1,2,3,4,8,9,10,11,12,13 and 14 to implement the third etching for Production method.
  16. 前記記録原盤が前記感熱材料層と前記基板との間に前記記録補助層が位置する構成を有し、前記第二のエッチングにより前記記録補助層をエッチングする深さをd1、前記第二のエッチング前の前記感熱材料層の平均厚さをd2としたときに、前記第二のエッチングが、前記感熱材料層に対する前記記録補助層のエッチング選択比がd1/d2より大きくなる条件で実施される、請求項15に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 The master disc has a configuration in which the auxiliary recording layer is located between the substrate and the heat-sensitive material layer, the second depth of etching the auxiliary recording layer by etching d1, the second etching the average thickness before the heat-sensitive material layer is taken as d2, the second etching, the etching selection ratio of the recording auxiliary layer for the heat-sensitive material layer is carried out in larger conditions than d1 / d2, master method of manufacturing an optical information recording medium according to claim 15.
  17. 前記第二のエッチングが、前記記録補助層に接し、かつ、前記基板に近い位置に配置される層に対する前記記録補助層のエッチング選択比が1より大きくなるように実施される、請求項15または16に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 The second etching, the auxiliary recording layer in contact, and the etching selectivity ratio of the recording auxiliary layer to the layer that is located closer to the substrate is performed to be greater than 1, claim 15 or master method of manufacturing an optical information recording medium according to 16.
  18. 前記記録原盤において、前記露光に使用する光の波長での屈折率が1.35以上1.65以下である材料から成る光透過層が、前記感熱材料層および前記記録補助層のいずれよりも前記基板から遠い位置に配置されており、当該光透過層が前記露光後に除去される請求項1〜17のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the light transmission layer refractive index at the wavelength of light used for the exposure is made of material having 1.35 to 1.65 or less than said one of said heat-sensitive material layer and the recording auxiliary layer are located farther from the substrate, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 17 in which the light transmission layer is removed after the exposure.
  19. 前記記録原盤において、前記感熱材料層が、TeおよびSbのいずれか一方または両方、Au、Pt、AgおよびCuから選択される1または複数の元素、ならびにOを含み、前記記録補助層が、ZnSおよびSiO のいずれか一方または両方を含み、前記露光がレーザ光を用いて実施され、前記第一のエッチングがアルカリエッチングである請求項1〜18のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the heat-sensitive material layer, either or both Te and Sb, Au, Pt, 1 or more elements selected from Ag, Cu, and include O, the recording auxiliary layer, ZnS and wherein one or both of the SiO 2, the exposure is performed by using a laser beam, the optical information recording medium according to any one of claims 1 to 18 wherein the first etching is alkaline etching the method of the master production.
  20. 前記記録原盤において、前記記録補助層が、樹脂材料を含む請求項1〜19のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the recording auxiliary layer, the master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 19 containing a resin material.
  21. 前記記録原盤において、前記記録補助層が無機材料を含み、蒸着法またはスパッタ法により形成されている請求項1〜20のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 In the master disc, the recording auxiliary layer comprises inorganic material, master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 20, which is formed by vapor deposition or sputtering.
  22. 前記第一のエッチングによって原盤上に形成される凹部または凸部の傾斜角が50度以上73度以下となる請求項1〜21のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法。 Master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 21 in which the inclination angle of the concave or convex portions formed on the master by the first etching is less 73 degrees 50 degrees.
  23. 請求項1〜22のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法により製造される原盤。 Master manufactured by the mastering method for an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 22.
  24. 請求項1〜22のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法により製造される原盤を用いて製造されるスタンパ。 Stamper produced using a master that is produced by the master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 22.
  25. 請求項1〜22のいずれか1項に記載の光情報記録媒体の原盤製造方法により製造される原盤を用いて製造される光情報記録媒体。 The optical information recording medium manufactured by using a master manufactured by the master method of manufacturing an optical information recording medium according to any one of claims 1 to 22.

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