JP2004505578A - コンデンサを備えた装置 - Google Patents
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Abstract
コンデンサ(200)の容量が可変であり、このコンデンサによりコプレーナ導波体の部材のインピーダンスが変更される、コンデンサ(200)を備えた装置において、導波体の部材のうち信号線路(120)が所定の長さ(122)にわたって中断されており、第1の接続部材(130)により導波体のアース線路(110、111)が接続されており、第2の接続部材(121)を介して中断された信号線路(120)の2つの部分が接続されている。
Description
【0001】
従来の技術
マイクロメカニカル技術で作成される高周波数短絡スイッチは、コプレーナ導波体のアース線路間に架けわたされた薄い金属のブリッジ形部材から成っている。静電的にこのブリッジ形部材は信号線路上に被着されている薄い誘電体のほうへ引っ張られ、これによりブリッジ形部材および信号線路から形成されるプレートコンデンサの容量が増大される。信号線路とアース線路との間の容量により、導波体上を案内される電磁波の伝搬特性が制御される。“オフ”状態(金属のブリッジ形部材が下方にある状態)では出力の大部分が反射される。“オン”状態(金属のブリッジ形部材が上方にある状態)では出力の大部分が伝達される。
【0002】
本発明の利点
本発明の請求項1記載の特徴を有する装置は、従来技術に対して、金属のブリッジ形部材の長さ、すなわち導電性の第2の接続部材の長さがコプレーナ導波体のアース線路の間隔には依存しないという利点を有している。つまり逆に言えば導波体のアース線路の間隔を第2の接続部材の長さとは無関係に選定することができる。ここから生じる利点は、本発明によれば「アース線路の間隔が小さく」「高い駆動周波数を有し」「第2の接続部材または金属のブリッジ形部材の面積の大きい」という特徴を備えたHFマイクロスイッチを簡単に実現可能であることである。さらにこれによりコプレーナ導波体のアース線路間の導電性の第1の接続部材を介してコンデンサに対して直列に接続されるインダクタンスを信号線路の形状に無関係に選定することができる。これにより簡単な手段で電磁波の導波体に沿った伝搬の障害を小さくし、短絡ブリッジ形部材として導波体のアース線路間に構成される第1の接続部材を最適に設計することができる。
【0003】
さらに有利には、第1の接続部材および第2の接続部材は金属の接続部材である。これにより材料特有の利点およびプロセス技術上の利点の全てが導電性の接続部材として金属を使用する本発明の手法により得られる。
【0004】
さらに有利には、第2の接続部材は機械的に変形可能であり、第1の接続部材と第2の接続部材との間隔は少なくとも第2の接続部材の部分領域で可変である。これにより簡単な手段で容量可変のコンデンサを製造することができる。
【0005】
さらに有利には、コンデンサの容量の変更を第1の接続部材と第2の接続部材との間にはたらく静電力により作用させる。これにより簡単な手段で本発明の装置の2つのスイッチング状態を設けることができ、確実かつ迅速な装置の切換が保証される。さらにこれにより装置のスイッチング状態がどんな場合でも一義的に定義される。
【0006】
さらに有利には、コンデンサは第1の接続部材と第2の接続部材との間で予め定められた電圧に依存して設定される第1の容量および設定された第2の容量を有する。これにより特に導電性の第1の接続部材および第2の接続部材とこれら2つの部材間の誘電体層との寸法を適切に設計して、広帯域の駆動周波数をコプレーナ導波体のアース線路間の間隔を考慮せずに定めることができる。同様にこれにより挿入減衰量も調整可能である。
【0007】
さらに有利には、第1の接続部材は信号線路とアース線路との間でコンデンサに直列に接続されるインダクタンスを形成している。これにより第1の接続部材に対して種々の形状および寸法を設けることができ、第1の接続部材に起因するインダクタンスを広範囲で設定することができる。
【0008】
さらに有利には、第1の容量と駆動周波数でのインダクタンスとに共通のインピーダンスはほぼオーム抵抗に相応する。これにより特にアイソレーション部材を構成して大きな絶縁作用を達成できる。すなわち短絡スイッチの遮断の際に特に大きな反射係数を得ることができる。
【0009】
さらに有利には、駆動周波数として77GHzまたは約24GHzが設定されている。これにより本発明の装置をアダプティブクルーズコントロールACCまたはショートレンジレーダーSRRの適用分野で使用することができる。
【0010】
さらに有利には、前述の設定された長さは信号線路と第2の接続部材との間の移行部での反射が補償される大きさに定められている。これによりスイッチの挿入減衰量、ひいてはオン状態での適合特性が改善される。
【0011】
図面
本発明の実施例を図示し、以下に詳細に説明する。
【0012】
図1には本発明のコンデンサを備えた装置の平面図が示されている。図2には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Cによる断面図が示されている。図3には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Aによる断面図が示されている。図4には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Bによる断面図が示されている。図5には本発明のコンデンサを備えた装置の斜視図が示されている。図6には本発明のコンデンサを備えた装置の等価回路図が示されている。
【0013】
実施例の説明
図1には本発明のコンデンサを備えた装置の実施例としてのマイクロメカニカル高周波数短絡スイッチが示されている。本発明の装置では基板100上にコプレーナ導波体が被着されている。コプレーナ導波体は、本発明によれば、例えば3つのコプレーナの導電性線路から成っており、これらは少なくとも局所的に相互にほぼ並列に接続されている。コプレーナ導波体の線路は例えば金属で設けられており、例えば1つまたは複数の電気化学的プロセスステップにより基板上に被着されている。基板100は本発明によれば特に損失角の小さい特性を有している。コプレーナ導波体の3つの線路のうち外側の2つの線路は第1のアース線路110および第2のアース線路111に相応しており、中央の線路はコプレーナ導波体の信号線路120に相応している。
【0014】
図1には平面図で本発明に関連するこの種の基板100上に案内されるコプレーナ導波体のセクションが示されている。コプレーナ導波体の2つのアース線路110、111は導電性の第1の接続部材130を介して接続されている。第1の接続部材130はここでは例えば直接に基板100上に被着されており、アース線路110、111の“高さ”よりも低い“高さ”を有している。つまり第1の接続部材130はアース線路110、111を基板100上の“脚部”で接続している。第1の接続部材130の近傍領域でコプレーナ導波体の信号線路120は中断されている。したがって第1の接続部材130は非導電的にではあるが信号線路120とも接続されている。第1の接続部材130上で、本発明によれば、信号線路120の中断されている領域に、図1には詳細に示されていない誘電体層が被着されている。さらに中断された信号線路120は導電性の第2の接続部材121を介して接続されている。第2の接続部材121はここで本発明により例えば金属のブリッジ形接続部材の形状で中断されている信号線路120の端部間に設けられている。ただし第2の接続部材121は、本発明によれば、基板100の平面へ所定の間隔を置いて設けられており、ここで第2の接続部材121から基板100または第1の接続部材130への距離はほぼ信号線路120の高さに相応する。これにより第2の接続部材121へかかる力が存在しない場合、中断されている信号線路120の端部間に設けられた第2の接続部材121は“浮動する”。この場合に第2の接続部材121をブリッジまたは金属ブリッジ121とも称する。
【0015】
図1にはさらに、参照符号Cを付された第1の切断線、参照符号Aを付された第2の切断線、参照符号Bを付された第3の切断線が示されている。第1の切断線は本発明の装置をアース線路110、111および信号線路120の延在方向に対して垂直にアース線路110、111間の第1の接続部材130の領域で切断している。第2の切断線は本発明の装置をコプレーナ導波体の線路110、111、120の延在方向に対して平行に第1のアース線路110の領域で切断している。第3の切断線は本発明の装置をコプレーナ導波体の線路110、111、120の延在方向に対して平行に信号線路120の領域(信号線路120が中断されている個所)または第2の接続部材121の領域で切断している。
【0016】
図2には本発明の装置を図1の第1の切断線(参照符号C)に沿って切断した断面図が示されている。基板100、コプレーナ導波体の第1のアース線路110および第2のアース線路111が示されている。コプレーナ導波体のアース線路110、111間に導波体の信号線路120が配置されている。図2では第1の接続部材130および第2の接続部材121の空間的な配置のしかたは基板100の表面からの距離の点で特に際立っている。第1の接続部材130は図2では基板100上に直接に被着されており、第2の接続部材121は信号線路120上に被着されており、これにより信号線路120およびアース線路110、111の高さ分だけ間隔を置いて基板100の平面から遠ざけられた状態で設けられている。
【0017】
図3には図1の第2の切断線(参照番号A)に沿って本発明の装置を切断した断面図が示されている。ここでは基板100および第1のアース線路110しか見えない。
【0018】
図4には本発明の装置の第3の切断線(参照番号B)に沿って切断した断面図が示されている。基板100上にはコプレーナ導波体の信号線路120が示されている。信号線路120は予め定められた長さ122で中断されている。この中断領域で第2の接続部材121が信号線路120を橋絡している。この場合第2の接続部材121は信号線路120の中断によって生じた2つの端部を接続している。第2の接続部材121はこの実施例では例えば基板100から信号線路120の高さに相応する距離を置いて設けられている。さらに図4には第1の接続部材130も示されている。第1の接続部材130の上にはすでに図1に関連して言及した誘電体層140が存在している。
【0019】
図5には本発明の装置の斜視図が示されている。基板100上に導波体の第1のアース線路110および第2のアース線路111が存在している。これらのアース線路110、111間には中断された信号線路120が存在している。信号線路120の2つの端部は第2の接続部材121を介して橋絡されている。さらに図5には誘電体層140が示されている。誘電体層140の下方すなわち基板100の方向へ向かって設けられているアース線路110、111間の第1の接続部材130は図5が斜視図であるためにここには示されていない。
【0020】
図6には本発明の装置の等価回路図が示されている。この等価回路図には2つのアース線路110、111がコプレーナ導波体の唯一の線路の形態で示されている。したがってアース線路110、111は同じ電位に置かれることになる。さらにコプレーナ導波体の信号線路120が図6に示されている。信号線路120とアース線路110、111との間に直列にコンデンサ200およびインダクタンス210が配置されている。コンデンサ200は少なくとも部分的に第1の接続部材130および第2の接続部材121により実現されているが、これらは2つとも図6には図示されていない。コンデンサ200はその容量が可変であるように構成されている。ここで本発明によれば特に第2の接続部材121が機械的に変形され、少なくとも部分領域で第1の接続部材130への距離を変化させて、コンデンサ200の容量が制御される。インダクタンス210は主として第1の接続部材130により実現される。第1の接続部材130をアース線路110、111間の直流電圧の短絡素子として作用するようにパターニングすることによりインダクタンスが形成される。このインダクタンスは形状(例えばメアンダ状その他)の長さと幅の比を変更することにより種々に設定可能である。
【0021】
図4、図5には機械的に変形可能な第2の接続部材121が示されており、コプレーナ導波体の部材は図示の素子により高い伝達係数および低い反射係数を得る。第1の接続部材130と第2の接続部材121との間隔は図4では最大に示されている。第1の接続部材と第2の接続部材との間隔は図4では最大間隔で示されており、これは誘電体層140の電気特性とともにコンデンサ200の容量を定めている。コンデンサ200の容量はこの場合きわめて小さく、例えば短絡スイッチの入力減衰量にとって重要である。第1の接続部材130と第2の接続部材121との間に電圧(例えば直流電圧)が印加されると、第1の接続部材130と第2の接続部材121とのあいだに静電引力が発生する。これにより機械的に変更可能な第2の接続部材121が変形され、少なくとも部分領域で、すなわち金属ブリッジ形素子のほぼ中央で、第1の接続部材130またはこの部材上に被着された誘電体層140のほうへ引っ張られる。誘電体、例えばケイ素酸化物または窒素酸化物は特にスイッチとして構成された装置が遮断状態で電気化学的に接触するのを阻止する。これにより第1の接続部材130および第2の接続部材121を基準として形成されたコンデンサ200の容量は大きくなる。
【0022】
本発明によれば2つの接続部材130、121間に電圧を印加または除去することにより本発明の装置のコンデンサ200の容量が変更され、こうした構成でスイッチとしての装置が切り換えられる。図4、図5に示されている第2の接続部材121の位置は導通・遮断を切り換える素子を備えた装置の駆動に相応しており、オン状態が示されている。電圧により第1の接続部材130へ引っ張られた状態の第2の接続部材121は図4には示されていないが、こちらはスイッチの遮断状態に相応する。本発明によれば図1〜図4に示されている部材を備えた導波体が所定の駆動周波数で駆動されるように構成されているためにそうなる。コンデンサ200の容量は2つの接続部材130、121間の電圧に依存して2つの容量値を取り、これらの値について以下では第1の容量値または第1のキャパシタンス、および第2の容量値または第2のキャパシタンスと称する。第1のキャパシタンスは遮断状態、すなわち第2の接続部材121が印加された電圧によって第1の接続部材130のほうへ引っ張られる状態に相応する。第2のキャパシタンスは図4に示されているオン状態、すなわち第2の接続部材121が機械的に変形されていない状態に相応する。本発明によれば、第1のキャパシタンスおよび第2のキャパシタンスは第1の接続部材130および第2の接続部材121の幅および長さ、誘電体層の厚さおよび材料特性、ならびに信号線路120の高さを変更することにより定められる。本発明によれば特に接続部材130、121、誘電体層140および信号線路120の寸法は、第1のキャパシタンスと第1の接続部材130によって所定の駆動周波数で形成されるインダクタンスとが前後に接続されて生じるインピーダンスが消去されるか、または最小限の大きさとなるように設計されている。インダクタンス210の調整は、本発明によれば、導波体のアース線路110、111間の第1の接続部材130の寸法および形状の適切な設計により行われる。
【0023】
第2の接続部材121は本発明によれば薄い金属ブリッジ形素子であり、この素子は導波体の信号線路120の中断されている端部のあいだに架けわたされている。アース線路110、111間では第1の接続部材130が直流電圧短絡部材として作用する。第1の接続部材130は第2の接続部材121とともにプレートコンデンサとして働く。直流電圧短絡素子すなわち第1の接続部材130の寸法および形状を適切に設計することにより、プレートコンデンサに対して直列に配置されたインダクタンスが(駆動周波数で)調整される。インダクタンスがプレートコンデンサに直列に接続されることにより直列振動回路が形成され、その共振周波数は第2の接続部材121の遮断状態でプレートコンデンサのインダクタンスおよびキャパシタンスを適切に設計すれば装置の駆動周波数近傍に存在する。これにより信号線路120とアース線路110、111とのあいだのインピーダンスは純粋なプレートコンデンサの(インダクタンスを省いた)インピーダンスに対して強く低減され、これにより高周波数スイッチとして構成された装置の絶縁作用は著しく改善される。
【0024】
絶縁作用の制限となるのはここでは第2の接続部材121と第1の接続部材130とにおけるオーム抵抗損失である。オン状態では装置またはモジュールまたは構成素子は駆動周波数でプレートコンデンサのキャパシタンスが低減されることにより(第2の接続部材またはブリッジ素子121が“上方”にあり、基板までの距離が比較的大きいので)共振周波数の外側で駆動され、高い挿入減衰量を発生しない。第2の接続部材121の長さが適切に(例えば駆動周波数での効率的な波長の1/2として)設計される場合、コプレーナ導波体すなわち信号線路120の端部と第2の接続部材121とのあいだの突き合わせ位置または移行位置での反射が補償される。これにより例えばスイッチとして設けられた装置の挿入減衰量、ひいては装置の適合特性が改善される。これは第2の接続部材121のインピーダンスをコプレーナ導波体のインピーダンスへ変換することに相応する。第2の接続部材121の長さは高い駆動周波数でのアース線路間の最大間隔により制限される。これにより比較的高い駆動周波数では第1の接続部材130と第2の接続部材121とのあいだに印加されるスイッチング電圧をあまり大きくはできない。
【0025】
本発明によれば、特に有利には、駆動周波数は77GHzまたは約24GHzの範囲で選定される。これにより本発明の装置はアダプティブクルーズコントロールACCまたはショートレンジレーダーSRRなどの適用分野での使用に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明のコンデンサを備えた装置の平面図である。
【図2】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Cによる断面図である。
【図3】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Aによる断面図である。
【図4】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Bによる断面図である。
【図5】
本発明のコンデンサを備えた装置の斜視図である。
【図6】
本発明のコンデンサを備えた装置の等価回路図である。
従来の技術
マイクロメカニカル技術で作成される高周波数短絡スイッチは、コプレーナ導波体のアース線路間に架けわたされた薄い金属のブリッジ形部材から成っている。静電的にこのブリッジ形部材は信号線路上に被着されている薄い誘電体のほうへ引っ張られ、これによりブリッジ形部材および信号線路から形成されるプレートコンデンサの容量が増大される。信号線路とアース線路との間の容量により、導波体上を案内される電磁波の伝搬特性が制御される。“オフ”状態(金属のブリッジ形部材が下方にある状態)では出力の大部分が反射される。“オン”状態(金属のブリッジ形部材が上方にある状態)では出力の大部分が伝達される。
【0002】
本発明の利点
本発明の請求項1記載の特徴を有する装置は、従来技術に対して、金属のブリッジ形部材の長さ、すなわち導電性の第2の接続部材の長さがコプレーナ導波体のアース線路の間隔には依存しないという利点を有している。つまり逆に言えば導波体のアース線路の間隔を第2の接続部材の長さとは無関係に選定することができる。ここから生じる利点は、本発明によれば「アース線路の間隔が小さく」「高い駆動周波数を有し」「第2の接続部材または金属のブリッジ形部材の面積の大きい」という特徴を備えたHFマイクロスイッチを簡単に実現可能であることである。さらにこれによりコプレーナ導波体のアース線路間の導電性の第1の接続部材を介してコンデンサに対して直列に接続されるインダクタンスを信号線路の形状に無関係に選定することができる。これにより簡単な手段で電磁波の導波体に沿った伝搬の障害を小さくし、短絡ブリッジ形部材として導波体のアース線路間に構成される第1の接続部材を最適に設計することができる。
【0003】
さらに有利には、第1の接続部材および第2の接続部材は金属の接続部材である。これにより材料特有の利点およびプロセス技術上の利点の全てが導電性の接続部材として金属を使用する本発明の手法により得られる。
【0004】
さらに有利には、第2の接続部材は機械的に変形可能であり、第1の接続部材と第2の接続部材との間隔は少なくとも第2の接続部材の部分領域で可変である。これにより簡単な手段で容量可変のコンデンサを製造することができる。
【0005】
さらに有利には、コンデンサの容量の変更を第1の接続部材と第2の接続部材との間にはたらく静電力により作用させる。これにより簡単な手段で本発明の装置の2つのスイッチング状態を設けることができ、確実かつ迅速な装置の切換が保証される。さらにこれにより装置のスイッチング状態がどんな場合でも一義的に定義される。
【0006】
さらに有利には、コンデンサは第1の接続部材と第2の接続部材との間で予め定められた電圧に依存して設定される第1の容量および設定された第2の容量を有する。これにより特に導電性の第1の接続部材および第2の接続部材とこれら2つの部材間の誘電体層との寸法を適切に設計して、広帯域の駆動周波数をコプレーナ導波体のアース線路間の間隔を考慮せずに定めることができる。同様にこれにより挿入減衰量も調整可能である。
【0007】
さらに有利には、第1の接続部材は信号線路とアース線路との間でコンデンサに直列に接続されるインダクタンスを形成している。これにより第1の接続部材に対して種々の形状および寸法を設けることができ、第1の接続部材に起因するインダクタンスを広範囲で設定することができる。
【0008】
さらに有利には、第1の容量と駆動周波数でのインダクタンスとに共通のインピーダンスはほぼオーム抵抗に相応する。これにより特にアイソレーション部材を構成して大きな絶縁作用を達成できる。すなわち短絡スイッチの遮断の際に特に大きな反射係数を得ることができる。
【0009】
さらに有利には、駆動周波数として77GHzまたは約24GHzが設定されている。これにより本発明の装置をアダプティブクルーズコントロールACCまたはショートレンジレーダーSRRの適用分野で使用することができる。
【0010】
さらに有利には、前述の設定された長さは信号線路と第2の接続部材との間の移行部での反射が補償される大きさに定められている。これによりスイッチの挿入減衰量、ひいてはオン状態での適合特性が改善される。
【0011】
図面
本発明の実施例を図示し、以下に詳細に説明する。
【0012】
図1には本発明のコンデンサを備えた装置の平面図が示されている。図2には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Cによる断面図が示されている。図3には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Aによる断面図が示されている。図4には本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Bによる断面図が示されている。図5には本発明のコンデンサを備えた装置の斜視図が示されている。図6には本発明のコンデンサを備えた装置の等価回路図が示されている。
【0013】
実施例の説明
図1には本発明のコンデンサを備えた装置の実施例としてのマイクロメカニカル高周波数短絡スイッチが示されている。本発明の装置では基板100上にコプレーナ導波体が被着されている。コプレーナ導波体は、本発明によれば、例えば3つのコプレーナの導電性線路から成っており、これらは少なくとも局所的に相互にほぼ並列に接続されている。コプレーナ導波体の線路は例えば金属で設けられており、例えば1つまたは複数の電気化学的プロセスステップにより基板上に被着されている。基板100は本発明によれば特に損失角の小さい特性を有している。コプレーナ導波体の3つの線路のうち外側の2つの線路は第1のアース線路110および第2のアース線路111に相応しており、中央の線路はコプレーナ導波体の信号線路120に相応している。
【0014】
図1には平面図で本発明に関連するこの種の基板100上に案内されるコプレーナ導波体のセクションが示されている。コプレーナ導波体の2つのアース線路110、111は導電性の第1の接続部材130を介して接続されている。第1の接続部材130はここでは例えば直接に基板100上に被着されており、アース線路110、111の“高さ”よりも低い“高さ”を有している。つまり第1の接続部材130はアース線路110、111を基板100上の“脚部”で接続している。第1の接続部材130の近傍領域でコプレーナ導波体の信号線路120は中断されている。したがって第1の接続部材130は非導電的にではあるが信号線路120とも接続されている。第1の接続部材130上で、本発明によれば、信号線路120の中断されている領域に、図1には詳細に示されていない誘電体層が被着されている。さらに中断された信号線路120は導電性の第2の接続部材121を介して接続されている。第2の接続部材121はここで本発明により例えば金属のブリッジ形接続部材の形状で中断されている信号線路120の端部間に設けられている。ただし第2の接続部材121は、本発明によれば、基板100の平面へ所定の間隔を置いて設けられており、ここで第2の接続部材121から基板100または第1の接続部材130への距離はほぼ信号線路120の高さに相応する。これにより第2の接続部材121へかかる力が存在しない場合、中断されている信号線路120の端部間に設けられた第2の接続部材121は“浮動する”。この場合に第2の接続部材121をブリッジまたは金属ブリッジ121とも称する。
【0015】
図1にはさらに、参照符号Cを付された第1の切断線、参照符号Aを付された第2の切断線、参照符号Bを付された第3の切断線が示されている。第1の切断線は本発明の装置をアース線路110、111および信号線路120の延在方向に対して垂直にアース線路110、111間の第1の接続部材130の領域で切断している。第2の切断線は本発明の装置をコプレーナ導波体の線路110、111、120の延在方向に対して平行に第1のアース線路110の領域で切断している。第3の切断線は本発明の装置をコプレーナ導波体の線路110、111、120の延在方向に対して平行に信号線路120の領域(信号線路120が中断されている個所)または第2の接続部材121の領域で切断している。
【0016】
図2には本発明の装置を図1の第1の切断線(参照符号C)に沿って切断した断面図が示されている。基板100、コプレーナ導波体の第1のアース線路110および第2のアース線路111が示されている。コプレーナ導波体のアース線路110、111間に導波体の信号線路120が配置されている。図2では第1の接続部材130および第2の接続部材121の空間的な配置のしかたは基板100の表面からの距離の点で特に際立っている。第1の接続部材130は図2では基板100上に直接に被着されており、第2の接続部材121は信号線路120上に被着されており、これにより信号線路120およびアース線路110、111の高さ分だけ間隔を置いて基板100の平面から遠ざけられた状態で設けられている。
【0017】
図3には図1の第2の切断線(参照番号A)に沿って本発明の装置を切断した断面図が示されている。ここでは基板100および第1のアース線路110しか見えない。
【0018】
図4には本発明の装置の第3の切断線(参照番号B)に沿って切断した断面図が示されている。基板100上にはコプレーナ導波体の信号線路120が示されている。信号線路120は予め定められた長さ122で中断されている。この中断領域で第2の接続部材121が信号線路120を橋絡している。この場合第2の接続部材121は信号線路120の中断によって生じた2つの端部を接続している。第2の接続部材121はこの実施例では例えば基板100から信号線路120の高さに相応する距離を置いて設けられている。さらに図4には第1の接続部材130も示されている。第1の接続部材130の上にはすでに図1に関連して言及した誘電体層140が存在している。
【0019】
図5には本発明の装置の斜視図が示されている。基板100上に導波体の第1のアース線路110および第2のアース線路111が存在している。これらのアース線路110、111間には中断された信号線路120が存在している。信号線路120の2つの端部は第2の接続部材121を介して橋絡されている。さらに図5には誘電体層140が示されている。誘電体層140の下方すなわち基板100の方向へ向かって設けられているアース線路110、111間の第1の接続部材130は図5が斜視図であるためにここには示されていない。
【0020】
図6には本発明の装置の等価回路図が示されている。この等価回路図には2つのアース線路110、111がコプレーナ導波体の唯一の線路の形態で示されている。したがってアース線路110、111は同じ電位に置かれることになる。さらにコプレーナ導波体の信号線路120が図6に示されている。信号線路120とアース線路110、111との間に直列にコンデンサ200およびインダクタンス210が配置されている。コンデンサ200は少なくとも部分的に第1の接続部材130および第2の接続部材121により実現されているが、これらは2つとも図6には図示されていない。コンデンサ200はその容量が可変であるように構成されている。ここで本発明によれば特に第2の接続部材121が機械的に変形され、少なくとも部分領域で第1の接続部材130への距離を変化させて、コンデンサ200の容量が制御される。インダクタンス210は主として第1の接続部材130により実現される。第1の接続部材130をアース線路110、111間の直流電圧の短絡素子として作用するようにパターニングすることによりインダクタンスが形成される。このインダクタンスは形状(例えばメアンダ状その他)の長さと幅の比を変更することにより種々に設定可能である。
【0021】
図4、図5には機械的に変形可能な第2の接続部材121が示されており、コプレーナ導波体の部材は図示の素子により高い伝達係数および低い反射係数を得る。第1の接続部材130と第2の接続部材121との間隔は図4では最大に示されている。第1の接続部材と第2の接続部材との間隔は図4では最大間隔で示されており、これは誘電体層140の電気特性とともにコンデンサ200の容量を定めている。コンデンサ200の容量はこの場合きわめて小さく、例えば短絡スイッチの入力減衰量にとって重要である。第1の接続部材130と第2の接続部材121との間に電圧(例えば直流電圧)が印加されると、第1の接続部材130と第2の接続部材121とのあいだに静電引力が発生する。これにより機械的に変更可能な第2の接続部材121が変形され、少なくとも部分領域で、すなわち金属ブリッジ形素子のほぼ中央で、第1の接続部材130またはこの部材上に被着された誘電体層140のほうへ引っ張られる。誘電体、例えばケイ素酸化物または窒素酸化物は特にスイッチとして構成された装置が遮断状態で電気化学的に接触するのを阻止する。これにより第1の接続部材130および第2の接続部材121を基準として形成されたコンデンサ200の容量は大きくなる。
【0022】
本発明によれば2つの接続部材130、121間に電圧を印加または除去することにより本発明の装置のコンデンサ200の容量が変更され、こうした構成でスイッチとしての装置が切り換えられる。図4、図5に示されている第2の接続部材121の位置は導通・遮断を切り換える素子を備えた装置の駆動に相応しており、オン状態が示されている。電圧により第1の接続部材130へ引っ張られた状態の第2の接続部材121は図4には示されていないが、こちらはスイッチの遮断状態に相応する。本発明によれば図1〜図4に示されている部材を備えた導波体が所定の駆動周波数で駆動されるように構成されているためにそうなる。コンデンサ200の容量は2つの接続部材130、121間の電圧に依存して2つの容量値を取り、これらの値について以下では第1の容量値または第1のキャパシタンス、および第2の容量値または第2のキャパシタンスと称する。第1のキャパシタンスは遮断状態、すなわち第2の接続部材121が印加された電圧によって第1の接続部材130のほうへ引っ張られる状態に相応する。第2のキャパシタンスは図4に示されているオン状態、すなわち第2の接続部材121が機械的に変形されていない状態に相応する。本発明によれば、第1のキャパシタンスおよび第2のキャパシタンスは第1の接続部材130および第2の接続部材121の幅および長さ、誘電体層の厚さおよび材料特性、ならびに信号線路120の高さを変更することにより定められる。本発明によれば特に接続部材130、121、誘電体層140および信号線路120の寸法は、第1のキャパシタンスと第1の接続部材130によって所定の駆動周波数で形成されるインダクタンスとが前後に接続されて生じるインピーダンスが消去されるか、または最小限の大きさとなるように設計されている。インダクタンス210の調整は、本発明によれば、導波体のアース線路110、111間の第1の接続部材130の寸法および形状の適切な設計により行われる。
【0023】
第2の接続部材121は本発明によれば薄い金属ブリッジ形素子であり、この素子は導波体の信号線路120の中断されている端部のあいだに架けわたされている。アース線路110、111間では第1の接続部材130が直流電圧短絡部材として作用する。第1の接続部材130は第2の接続部材121とともにプレートコンデンサとして働く。直流電圧短絡素子すなわち第1の接続部材130の寸法および形状を適切に設計することにより、プレートコンデンサに対して直列に配置されたインダクタンスが(駆動周波数で)調整される。インダクタンスがプレートコンデンサに直列に接続されることにより直列振動回路が形成され、その共振周波数は第2の接続部材121の遮断状態でプレートコンデンサのインダクタンスおよびキャパシタンスを適切に設計すれば装置の駆動周波数近傍に存在する。これにより信号線路120とアース線路110、111とのあいだのインピーダンスは純粋なプレートコンデンサの(インダクタンスを省いた)インピーダンスに対して強く低減され、これにより高周波数スイッチとして構成された装置の絶縁作用は著しく改善される。
【0024】
絶縁作用の制限となるのはここでは第2の接続部材121と第1の接続部材130とにおけるオーム抵抗損失である。オン状態では装置またはモジュールまたは構成素子は駆動周波数でプレートコンデンサのキャパシタンスが低減されることにより(第2の接続部材またはブリッジ素子121が“上方”にあり、基板までの距離が比較的大きいので)共振周波数の外側で駆動され、高い挿入減衰量を発生しない。第2の接続部材121の長さが適切に(例えば駆動周波数での効率的な波長の1/2として)設計される場合、コプレーナ導波体すなわち信号線路120の端部と第2の接続部材121とのあいだの突き合わせ位置または移行位置での反射が補償される。これにより例えばスイッチとして設けられた装置の挿入減衰量、ひいては装置の適合特性が改善される。これは第2の接続部材121のインピーダンスをコプレーナ導波体のインピーダンスへ変換することに相応する。第2の接続部材121の長さは高い駆動周波数でのアース線路間の最大間隔により制限される。これにより比較的高い駆動周波数では第1の接続部材130と第2の接続部材121とのあいだに印加されるスイッチング電圧をあまり大きくはできない。
【0025】
本発明によれば、特に有利には、駆動周波数は77GHzまたは約24GHzの範囲で選定される。これにより本発明の装置はアダプティブクルーズコントロールACCまたはショートレンジレーダーSRRなどの適用分野での使用に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明のコンデンサを備えた装置の平面図である。
【図2】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Cによる断面図である。
【図3】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Aによる断面図である。
【図4】
本発明のコンデンサを備えた装置の図1の切断線Bによる断面図である。
【図5】
本発明のコンデンサを備えた装置の斜視図である。
【図6】
本発明のコンデンサを備えた装置の等価回路図である。
Claims (9)
- コンデンサ(200)の容量が可変であり、該コンデンサによりコプレーナ導波体の部材のインピーダンスが変更される、
コンデンサ(200)を備えた装置において、
コンデンサ(200)は導電性の第1の接続部材(130)と導電性の第2の接続部材(121)とを少なくとも部分的に有しており、
導波体の部材のうち信号線路(120)は所定の長さ(122)にわたって中断されており、
第1の接続部材(130)により導波体のアース線路(110、111)が接続され、第2の接続部材(121)を介して中断された信号線路(120)の2つの部分が接続される、
ことを特徴とするコンデンサを備えた装置。 - 第1の接続部材および第2の接続部材(130、121)は金属の接続部材である、請求項1記載の装置。
- 第2の接続部材(121)は機械的に変形可能であり、これにより第1の接続部材(130)と第2の接続部材(121)との間隔が少なくとも第2の接続部材(121)の部分領域で変更可能である、請求項1または2記載の装置。
- コンデンサ(200)の容量の変更は第1の接続部材(130)と第2の接続部材(121)との間にはたらく静電力により制御される、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- コンデンサ(200)は第1の接続部材(130)と第2の接続部材(121)との間で予め定められている電圧に依存して設定される第1の容量および設定された第2の容量を有する、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。
- 第1の接続部材(130)は信号線路(120)とアース線路(110、111)との間でコンデンサ(200)に直列に接続されるインダクタンス(210)を形成している、請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。
- 第1の容量と駆動周波数でのインダクタンス(210)とに共通のインピーダンスはほぼオーム抵抗に相応する、請求項6記載の装置。
- 駆動周波数として77GHzまたは約24GHzが設定されている、請求項7記載の装置。
- 前記設定された長さ(122)は信号線路(120)と第2の接続部材(121)との間の移行部での反射が補償される大きさに定められている、請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。
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