JP2004356238A

JP2004356238A - Insulating sheet with metal foil, multilayer wiring board, and method for manufacturing the same

Info

Publication number: JP2004356238A
Application number: JP2003149915A
Authority: JP
Inventors: Shuji Maeda; 修二前田; Daisuke Kanetani; 大介金谷
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2003-05-27
Filing date: 2003-05-27
Publication date: 2004-12-16
Anticipated expiration: 2023-05-27
Also published as: JP4273837B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an insulating sheet with a metal foil which is an insulating sheet with a metal foil used for multilayering of a wiring board, and in which coarse profile is maintained on the surface of an insulator which consists of the insulating sheet, and superior adhesion strength can be ensured when conductor wiring is formed on the surface of the insulator, even if formation of a non-penetrating hole and desmear treatment for resin residue dislodging in the non-penetrating hole are performed on the insulator which consists of the remaining insulating sheet when the metal foil is removed after performing lamination on internal layer material. <P>SOLUTION: The insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with the metal foil 2 is formed of at least two kinds of plural resin layers, which contain a first layer 3 which is formed directly adjoining to a rough surface of the metal foil 2, and a second layer 4 which is formed on a side which is opposite to the metal foil 2 when viewed from the first layer 3. Resin solubility by desmear treatment liquid of the first layer 3 is lower than that of the second layer 4. Coarse profile of the insulator 6 is maintained even if desmear treatment is performed since resin solubility of the first layer 3 to the desmear treatment liquid is low. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線板の製造に利用される金属箔付き絶縁シート、この金属箔付き絶縁シートを利用して製造される多層配線板、及びこの多層配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、民生、産業用等の電子機器に用いられるプリント配線板は、電子機器の小型・高性能化の著しい指向により、プリント配線板の回路高密度化への要求が高まってきている。この要求に対応するプリント配線板の小型高密度化の一手法として、例えば、一般のプリント配線板を内層材として、この内層材の表面上に金属箔付き絶縁シートを積層成形して多層化し、更に最外層に導体配線を形成して多層配線板を形成することが提案されている。
【０００３】
このようなプリント配線板の多層化の手法としては、特許文献１に開示されているような方法がある。この方法では、内層材に積層配置された金属箔付き絶縁シートの所定位置において、金属箔をエッチング等によって部分的に除去した所謂コンフォーマルマスクを介して絶縁シートにレーザーを照射することで非貫通孔を形成した後、めっき処理を施すことで金属箔の外面にめっき層を形成すると共に非貫通孔の内面にホールめっきを形成し、更にエッチング処理により最外層に導体配線を形成するものである。
【０００４】
このような手法によれば、外層と内層の各導体配線間の絶縁層にビアホールを容易に形成することができ、またビアホールは導体配線間の導通をとる必要がある箇所においてこの導体層間の絶縁層にのみ形成することができて、貫通スルーホールを形成する場合と較べるとホールを形成するために必要とされる領域が削減され、配線板の高密度化を容易にできるものである。
【０００５】
しかし、このような金属箔付き絶縁シートを利用し、且つコンフォーマルマスクの形成工程を含む配線板の多層化工程では、ビアホールのホールめっき形成時に外層の金属箔にめっき層が形成されるためにその厚みが増大し、エッチング処理により導体配線を形成する際に特に微細配線の形成が困難となるものであった。
【０００６】
そこで、金属箔付き絶縁シートを用いずに、内層材に絶縁層のみを形成した後に、ホール形成と導体配線形成とを行う方法も提唱されているが、このような方法では、外層の導体配線をめっき処理等により形成するにあたり、めっき導体と樹脂の密着強度確保が容易ではなかった。すなわち、金属箔付き絶縁シートを利用する場合には、金属箔付き絶縁シートは通常金属箔の粗面に対して絶縁シートが密着成形されているために、この金属箔から形成される導体配線は下層のシートから形成される絶縁層との間の密着性が高いものであるが、絶縁層に対して直接めっき処理等により形成した導体配線は、絶縁層との間の十分な密着強度を確保することが困難なものであった。
【０００７】
そこで、このような導体配線の微細化と導体配線の密着強度の維持とを同時に達成するための方法として、図２に示すようなものが知られている。この方法では、まず絶縁層８の表面に導体配線７が積層成形された内層材に対して、金属箔付き絶縁シートを、内層材の導体配線７と金属箔付き絶縁シートの絶縁シート５とが対向するように積層一体化した後、金属箔付き絶縁シートの金属箔２をエッチング処理等により除去する。このとき、内層材の外層に残存する絶縁シート５からなる絶縁層６の外層表面は、金属箔２の粗面の形状が転写されて粗面化されている。次に、内層材の外層に残存する絶縁シート５からなる絶縁層６に、レーザ加工等により非貫通孔１０を、内層材の導体配線７に達するまで穿設した後、めっき処理にて外層の導体配線１２の形成と非貫通孔１０の内面のホールめっき１１の形成とを行うものである。
【０００８】
この方法では、金属箔２の粗面の形状が転写されて粗面化された絶縁層６の表面にめっき処理により導体配線１２を形成することで、導体配線１２の密着強度を確保しようとしている。
【０００９】
しかし、めっき処理によりホールめっき１１や導体配線１２を形成する前には、非貫通孔１０内面に残存する樹脂残渣９（スミア）をデスミア処理液にて除去する必要がある。このデスミア処理時には外層の絶縁層６の表面もデスミア処理液に曝されて、この絶縁層６の表面がデスミア処理液に溶解し、絶縁層６の表面の凹凸がなだらかになってしまう。そのため、外層の導体配線１２は、なだらかになった絶縁層６の表面に形成されることとなり、所望の導体配線１２の密着強度を確保することは困難なものであった。
【００１０】
【特許文献１】
特開平９−３２１４３２号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、配線板の多層化に用いる金属箔付き絶縁シートであって、内層材に積層した後に金属箔を除去した際に残存する絶縁シートからなる絶縁層に、非貫通孔の形成と、この非貫通孔内の樹脂残渣の除去のためのデスミア処理を行っても、絶縁シートからなる絶縁層の表面に粗面化形状が維持され、この絶縁層の表面に導体配線を形成した際に優れた密着強度を確保することができる金属箔付き絶縁シート、この金属箔付き絶縁シートを用いて作製された、外層の絶縁層と導体配線との間に優れた密着強度が付与された多層配線板、並びにこの多層配線板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る金属箔付き絶縁シートは、絶縁シート５の一面に金属箔２が貼着された金属箔付き絶縁シート１において、前記絶縁シート５が、金属箔２の粗面と直接隣接して形成される第一層３と、第一層３に対して金属箔２とは反対側に形成される第二層４とを含む少なくとも２種以上の複数の樹脂層から形成され、且つ前記第一層３が前記第二層４よりも、デスミア処理液による樹脂溶解性が低いものであることを特徴とする。この金属箔付き絶縁シート１を、配線板の多層化に利用すると、内層材１４に絶縁シート５にて絶縁層６を積層成形すると共に金属箔２を除去した際に、絶縁層６の表面に金属箔２の粗面の形状が転写した粗面化形状が形成される。絶縁層６にビアホールを形成する際にデスミア処理を施しても、上記第一層３がデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低いことから、絶縁層６の粗面化形状は破壊されずに維持され、絶縁層６の表面にめっき処理等により導体配線１２を形成すると、アンカー効果により高い密着強度を付与することができる。
【００１３】
上記第一層３の厚みは０．５〜１０μｍの範囲であることが好ましい。この範囲において、絶縁層６の表面に粗化面を形成する際にこの第一層３に粗化面が形成されるようにすることができ、且つ金属箔付き絶縁シート１の柔軟性を維持して金属箔付き絶縁シート１の取扱時等における割れ等の破損発生を抑制することができる。
【００１４】
また、上記第一層３は、シリコーン系、四フッ化エチレン系、エンジニアリングプラスチック系から選ばれた少なくとも一種の樹脂から形成されていることが好ましいものであり、これらの樹脂はデスミア処理液に対する溶解性が低く、第一層３形成のために好適に用いることができる。
【００１５】
また、上記第一層３と上記第二層４との、デスミア処理液のデスミアエッチレートは、２０％以上異なることが好ましい。この場合、第一層３と第二層４との間のデスミア処理液に対する溶解性の差を十分に大きくして、デスミア処理による樹脂残渣９の除去時における絶縁層６の粗面化形状の破壊を確実に防止することができる。
【００１６】
また、本発明に係る他の金属箔付き絶縁シート１は、絶縁シート５の一面に金属箔２が貼着された金属箔付き絶縁シート１において、前記絶縁シート５が、金属箔２の一面と直接隣接して形成される第一層３と、第一層３に対して金属箔２とは反対側に形成される第二層４とを含む少なくとも２種以上の複数の樹脂層から形成され、且つ前記第一層３が、前記第二層４よりもフィラー含有率が高いことを特徴とする。この金属箔付き絶縁シート１を、配線板の多層化に利用すると、内層材１４に絶縁シート５にて絶縁層６を積層成形すると共に金属箔２を除去した後、絶縁層６にビアホールを形成する際にデスミア処理を施す場合、第一層３の表面がデスミア処理液に溶解したときにフィラーの脱落により絶縁層６の表面に粗面が形成され、この絶縁層６の表面にめっき処理等により導体配線１２を形成すると、アンカー効果により高い密着強度を付与することができる。
【００１７】
また、本発明に係る多層配線板１３は、絶縁層８の表面に導体配線７が積層成形された内層材１４に対して、上記のような金属箔付き絶縁シート１を、内層材１４の導体配線７と金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５とが対向するように積層一体化し、前記金属箔付き絶縁シート１の金属箔２を除去した後に絶縁シート５にて形成される絶縁層６に非貫通孔１０をその底面で前記導体配線７の一部が露出するように穿設し、非貫通孔１０内面にデスミア処理液にてデスミア処理を行った後に、めっき処理にて外層の導体配線１２と非貫通孔１０内面のホールめっき１１とを形成して成ることを特徴とする。デスミア処理後の外層の絶縁層６の表面には、粗面化形状が形成されており、この絶縁層６の外層にめっき処理にて形成された導体配線１２は、アンカー効果により高い密着強度が付与されているものである。
【００１８】
また、本発明に係る多層配線板の製造方法は、絶縁層８の表面に導体配線７が積層成形された内層材１４に対して、金属箔付き絶縁シート１を、内層材１４の導体配線７と金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５とが対向するように積層一体化し、前記金属箔付き絶縁シート１の金属箔２を除去した後に絶縁シート５にて形成される絶縁層６に非貫通孔１０をその底面で前記導体配線７の一部が露出するように穿設し、非貫通孔１０内面にデスミア処理液にてデスミア処理を行った後に、めっき処理にて外層の導体配線１２形成と非貫通孔１０内面のホールめっき１１形成とを行う多層配線板１３の製造方法において、前記金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５を、金属箔２の粗面と直接隣接して形成される第一層３と、第一層３に対して金属箔２とは反対側に形成される第二層４とを含む少なくとも２種以上の複数の樹脂層から形成し、且つ前記第一層３が前記第二層４よりも、前記デスミア処理液による樹脂溶解性が低いものとなるようにすることを特徴とする。絶縁シート５にて形成される絶縁層６から金属箔２を剥離する際には、絶縁層６の表面に金属箔２の粗面の形状が転写した粗面化形状が形成される。この粗面化形状は、デスミア処理後においても破壊されずに維持され、この絶縁層６の外層にめっき処理にて形成された導体配線１２は、アンカー効果により高い密着強度が付与される。
【００１９】
また、本発明に係る他の多層配線板の製造方法は、絶縁層８の表面に導体配線７が積層成形された内層材１４に対して、金属箔付き絶縁シート１を、内層材１４の導体配線７と金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５とが対向するように積層一体化し、前記金属箔付き絶縁シート１の金属箔２を除去した後に絶縁シート５にて形成される絶縁層６に非貫通孔１０をその底面で前記導体配線７の一部が露出するように穿設し、非貫通孔１０内面にデスミア処理液にてデスミア処理を行った後に、めっき処理にて外層の導体配線１２形成と非貫通孔１０内面のホールめっき１１形成とを行う多層配線板の製造方法において、前記金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５を、金属箔２の粗面と直接隣接して形成される第一層３と、第一層３に対して金属箔２とは反対側に形成される第二層４とを含む少なくとも２種以上の複数の樹脂層から形成し、且つ前記第一層３が、前記第二層４よりもフィラー含有率が高いことを特徴とする。デスミア処理時に、第一層３の表面が溶解すると、フィラーの脱落により、絶縁シート５にて形成される絶縁層６の表面に粗面が形成され、この絶縁層６の外層にめっき処理にて形成された導体配線１２は、アンカー効果により高い密着強度が付与される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図１を示して説明する。
【００２１】
内層材１４は、少なくとも一層の絶縁層８を有し、且つ最外層に絶縁層８の表面に形成された導体配線７を有している。このような内層材１４としては、適宜の配線板を適用することができ、例えば単層又は多層のプリント配線板を用いることができる。
【００２２】
一方、金属箔付き絶縁シート１は、絶縁性樹脂にて形成された絶縁シート５の一面に、金属箔２を貼着して形成される。本発明では、絶縁シート５は金属箔２の一面と直接隣接して形成される第一層３と、第一層３に対して金属箔２とは反対側に形成される第二層４とを含む、少なくとも２種以上の複数の樹脂層から形成され、図示の例では絶縁シート５は第一層３と第二層４のみから形成されている。詳しい構成は後述する。
【００２３】
このような内層材１４と金属箔付き絶縁シート１とを用いて、多層配線板１３を作製するにあたっては、まず内層材１４に対して金属箔付き絶縁シート１を、内層材１４の導体配線７と金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５とが対向するように重ね合わせ、この状態で積層一体化する。この積層一体化にあたっては、絶縁シート５の性状、特に絶縁シート５を構成する複数の樹脂層のうちの、内層材１４と直接接触する樹脂層（図示では第二層４）の性状によって、適宜の手法が採用されるものであり、例えばＢステージ状態の熱硬化性樹脂組成物にて形成される場合には、この熱硬化性樹脂組成物が加熱硬化する条件で加熱加圧成形することにより積層一体化する。
【００２４】
次に、外層の金属箔２をエッチングにより除去する。このとき、内層材１４の外層には、金属箔付き絶縁シート１の絶縁シート５から形成される絶縁層６が残存する。
【００２５】
次に、この内層材１４の外層に形成された絶縁層６の所定位置に、内層の導体配線７まで達するビアホール形成用の非貫通孔１０をレーザ加工等により形成する。この非貫通孔１０はその底面において内層の導体配線７が露出するように形成するが、底面に若干の樹脂残渣９（スミア）が残存していても良い。レーザ加工を行う場合には、炭酸ガスレーザやＹＡＧレーザ等の適宜のレーザ光を、絶縁層６に穿設加工が可能であり、且つその内層の導体配線７を損耗させないような適宜の条件で照射する。
【００２６】
次に、内層材１４の外層に形成された絶縁層６の外面をデスミア処理液に浸漬するなどして曝して、非貫通孔１０の内面にデスミア処理を施し、この非貫通孔１０の内面に残存する樹脂残渣９（スミア）を除去する。デスミア処理液は絶縁シート５の樹脂層を構成する樹脂組成物の種類に応じて適宜選択されるが、詳しくは後述する。
【００２７】
次に、外層の絶縁層６の表面にめっき処理を施すことにより、この絶縁層６の表面に導体配線１２を形成すると共に、非貫通孔１０の内面にホールめっき１１を形成する。この導体配線１２及びホールめっき１１の形成は、絶縁層６の表面にパターンめっきを施したり、或いはパネルめっきを施した後にエッチング処理を施したりするなど、一般的な導体配線１２及びホールめっき１１の形成手法を用いて行うことができる。導体配線１２やホールめっき１１の厚みは適宜設定されるものであり、特に制限されないが、微細配線加工を施す場合には厚み１０〜３０μｍの範囲となるようにすることが好ましい。
【００２８】
以上のような工程を経ることにより、内層材１４に対して多層化処理を施して、多層配線板１３を得ることができる。またこの多層化された配線板を内層材１４として、更に同様の多層化処理を施し、更に多層の多層配線板１３を得ることもできる。
【００２９】
次に、金属箔付き絶縁シート１の第一の実施形態の構成について詳しく説明する。
【００３０】
金属箔２は適宜の材質にて形成することができるが、上記の多層化処理においてエッチング除去を容易とするためには銅箔にて形成することが好ましい。銅箔の厚みは適宜のものとすることができ、例えば９〜３５μｍの厚みとすることができる。この金属箔２の少なくとも一面は、粗面に形成する。この粗面の粗度は上記の多層化処理においてこの粗面の形状が転写された絶縁層６の表面に、後述するようにめっき処理にて形成される導体配線１２が十分な密着強度を有するよう適宜設定されるが、好ましくはその十点平均粗さ（Ｒｚ）が１〜７μｍの範囲となるようにする。
【００３１】
また絶縁シート５は、配線板の絶縁層６形成用途に一般的に用いられる適宜の樹脂材料にて形成することができるが、この絶縁シート５を構成する第一層３と第二層４は、上記のデスミア処理において用いるデスミア処理液に対する樹脂溶解性が異なるものとなるように形成し、このとき第一層３の方が第二層４よりも樹脂溶解性が低くなるように形成する。特に、第一層３と第二層４との、デスミア処理液のデスミアエッチレートの差異の比率が２０％以上となるようにすることが好ましい。また、このときデスミア処理液に対する第一層３のデスミアエッチレートは０．０２〜０．１０ｍｇ／ｃｍ^２、第二層４のデスミアエッチレートは０．０３〜０．３５ｍｇ／ｃｍ^２の範囲であることが好ましい。尚、デスミアエッチレートは、５０〜８０℃、処理時間１５分間における、デスミア処理前とデスミア処理後の各樹脂層の単位面積あたりの質量減少量比率で定義されるものであり、面積Ｓ（ｃｍ^２）あたりの、デスミア処理前の樹脂層の質量をａ（ｍｇ）、処理後の質量をｂ（ｍｇ）、デスミアエッチレートをＷ（ｍｇ／ｃｍ^２）は、Ｗ＝（ａ−ｂ）／Ｓで表される。また上記の第一層３と第二層４とのデスミアエッチレートの差異の比率は、第一層３のデスミアエッチレートをＷ１、第二層４のデスミアエッチレートをＷ２とすると、（Ｗ２−Ｗ１）／Ｗ２×１００（％）で表される。
【００３２】
また絶縁シート５は、第一層３と第二層４以外の樹脂層を有しても良く、その場合、この樹脂層のデスミア処理液に対する樹脂溶解性は特に制限されないが、この樹脂層よりも第一層３の方がデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低くなるようにすることが好ましい。
【００３３】
このような金属箔付き絶縁シート１を用いて、図１に示すような工程で多層配線板１３を製造すると、図１（ｃ）に示す金属箔２のエッチング除去においては、外層に絶縁シート５にて形成された絶縁層６の表面には、金属箔２の粗面の形状が転写された凹凸の粗化面が形成される。この粗化面は第一層３に形成されるため、図１（ｅ）に示すデスミア処理工程において樹脂残渣９（スミア）をデスミア処理液にて溶解除去する場合、第一層３はデスミア処理液に溶解されにくく、このため粗化面の凹凸の形状が損なわれにくいものである。従って、図１（ｆ）に示すように導体配線１２とホールめっき１１とをめっき処理にて形成すると、導体配線１２は絶縁層６の粗化面に形成されることとなり、アンカー効果によって導体配線１２と絶縁層６との間に高い密着強度が付与されるものである。
【００３４】
上記のデスミア処理液、第一層３を形成するための樹脂材料、並びに第二層４を形成するための樹脂材料の組み合わせは、デスミア処理液に対する樹脂溶解性が、第一層３の方が第二層４より低くなるように選択すれば良く、特に制限されるものではないが、デスミア処理液としては過マンガン酸カリウム、重クロム酸ナトリウム等が用いられ、特に過マンガン酸カリウムが多用されているものであり、そしてデスミア処理工程において使用されるデスミア処理液に対して、第二層４を例えばエポキシ樹脂組成物やポリイミド樹脂等にて形成し、更に第一層３を、デスミア処理液に対する樹脂溶解性が第二層４よりも低い樹脂材料にて形成するものである。
【００３５】
また、第一層３は、一般的に用いられる各種のデスミア処理液に対する耐溶解性が高い材料にて形成することが好ましい。このような第一層３を形成するための材料系の具体例としては、配線板の耐熱性も考慮してシリコーン系樹脂、四フッ化エチレン系樹脂、エンジニアリングプラスチック系樹脂、液晶ポリマー系樹脂などを例示できる。エンジニアリングプラスチック系樹脂としては、例えば、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリオキシベンジレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルイミド、ポリイミドなどが例示できる。
【００３６】
例えば第二層４をＢステージ状態のエポキシ樹脂組成物にて形成し、第一層３を上記のような材料で形成し、デスミア処理液として過マンガン酸カリウムを選択すれば、第一層３の方が第二層４よりもデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低くなるように形成することができる。
【００３７】
また、第一層３を上記のような各種のデスミア処理液に対する耐溶解性が高い材料にて形成すると共に、第二層４を構成する成分の一部としてこの第一層３を構成する樹脂を含有させるようにしても良い。この場合は、異なる組成で形成された第一層３と第二層４との間の密着性を向上することができる。例えば第二層４をＢステージ状態のエポキシ樹脂組成物にて形成すると共に、この第二層４中に上記のようなデスミア処理液に対する耐溶解性が高い材料を、２〜２０重量％の範囲で含有させ、且つ第一層３を第二層４に含有させたものと同一のデスミア処理液に対する耐溶解性が高い材料にて形成するものである。
【００３８】
また、第一層３と第二層４とを同一の樹脂材料にて形成すると共に、その重合度が第二層４よりも第一層３の方が高くなるように形成することによって、第一層３が第二層４よりもデスミア処理液による樹脂溶解性が低くなるように形成すると共に、第一層３と第二層４との間の層間密着性を向上することもできる。例えば第一層３と第二層４とを共にＢステージ状態のエポキシ樹脂組成物にて形成する場合は、各層を構成するエポキシ樹脂組成物中におけるエポキシ樹脂１当量に対する硬化剤の当量を、第一層３よりも第二層４の方が少なく、且つこの第二層４における当量が１未満となるようにするものであり、具体的には、例えば第一層３においてはエポキシ樹脂中のエポキシ基１当量に対する硬化剤の官能基の当量を０．９５〜１．３の範囲とし、第二層４においてはエポキシ樹脂中のエポキシ基１当量に対する硬化剤の官能基の当量を０．７〜０．９の範囲となるようにするものである。
【００３９】
また、第一層３と第二層４とに共に液状ゴムを含有させるようにしても、第一層３と第二層４との間の層間密着性を向上することができる。このとき液状ゴムは、例えば各層中に５〜２０重量％の範囲で含有させることができる。
【００４０】
また、液状ゴムによって第一層３と第二層４のデスミア処理液に対する溶解性を調整することもできる。例えば同一の樹脂材料にて第一層３と第二層４とを形成する場合に、第一層３と第二層４とに共に液状ゴムを含有させ且つ第一層３よりも第二層４における液状ゴムの含有率を多くしたり、或いは第二層４にのみ液状ゴムを含有させたりすることで、第一層３が第二層４よりもデスミア処理液による樹脂溶解性が低くなるようにすることができる。また第一層３と第二層４とを異種の樹脂材料にて形成する場合でも、同様にして液状ゴムにより各層のデスミア処理液に対する溶解性を調整することもできる。
【００４１】
上記の絶縁シート５の厚みは、適宜設定されるが、３５〜１００μｍの範囲であることが好ましい。
【００４２】
また、上記の第一層３の厚みは、絶縁層６の表面に粗化面を形成する際にこの第一層３に粗化面が形成されるようにすることができる程度であれば良く、好ましくは第二層４に比して薄くなるように形成するものであり、特にその厚みを０．５〜１０μｍの範囲に形成することが好ましい。この第一層３の厚みが厚くなりすぎると、デスミア処理液に対する溶解性を低くした第一層３は剛直性が高くなる傾向があるため、金属箔付き絶縁シート１の柔軟性が低下し、特に絶縁シート５全体の厚みを薄く形成する場合、金属箔付き絶縁シート１の取扱時に割れ等の破損が発生するおそれがある。
【００４３】
また第二層４の厚みは、適宜調整されるものであり、例えば４５〜７０μｍの範囲に形成することが好ましい。尚、絶縁シート５を第一層３と第二層４のみで形成する場合には、第二層４の厚みは、絶縁シート５の厚みと第一層３の厚みとの差となる。
【００４４】
次に、金属箔付き絶縁シート１の第二の実施形態の構成について詳しく説明する。
【００４５】
本実施形態における金属箔付き絶縁シート１では、第一層３中のフィラー含有率を、第二層４中のフィラー含有率よりも高くなるようにしている。この場合、第一層３中のフィラー含有率は１０〜３５重量％、第二層４中のフィラー含有率は５〜３０重量％の範囲で、第一層３中のフィラー含有率を、第二層４中のフィラー含有率よりも高くなるようにすることが好ましい。
【００４６】
このような金属箔付き絶縁シート１を用いて、図１に示すような工程で多層配線板１３を製造すると、図１（ｅ）に示すデスミア処理工程において樹脂残渣９（スミア）をデスミア処理液にて溶解除去する場合、外層の絶縁層６の表面、すなわち第一層３の表面がデスミア処理液に溶解すると、それにしたがって第一層３中のフィラーが脱落し、このフィラーが脱落した跡が凹凸に形成され、これにより絶縁層６の表面に粗化面が形成される。従って、図１（ｆ）に示すように導体配線１２とホールめっき１１とをめっき処理にて形成すると、導体配線１２は絶縁層６の粗化面に形成されることとなり、アンカー効果によって導体配線１２と絶縁層６との間に高い密着強度が付与されるものである。
【００４７】
この金属箔付き絶縁シート１を構成する金属箔２は、上記の第一の実施形態と同様のものを適用できるが、この金属箔２の、絶縁シート５が形成される側の一面は、必ずしも粗面に形成する必要はない。但し、この金属箔２の一面を第一の実施形態と同様の粗面に形成すれば、仮に図１（ｅ）に示すデスミア処理工程における第一層３の溶解量が少なくフィラーの脱落量が少なくなった場合でも、第一の実施形態と同様にデスミア処理後における外層の絶縁層６の表面は充分に粗面化され、多層化処理においてこの粗面の形状が転写された絶縁層６の表面にめっき処理にて形成される導体配線１２が、十分な密着強度を有するようになる。
【００４８】
本実施形態は、特に多層配線板１３に高い耐熱性、機械的強度などが求められる場合に好適に用いられる。すなわち、このような高い耐熱性、機械的強度を絶縁層６に付与しようとすると、その耐薬品性も向上し、この場合は、図１（ｅ）に示すデスミア処理工程において使用されるデスミア処理液として、樹脂溶解力の非常に高いものを用いる必要がある。このように強力なデスミア処理液を用いる場合には、第一層３と第二層４の樹脂材料としてどのようなものを選択しても、デスミア処理液に対する溶解性に大きな差異を生じさせることは難しく、そのため外層の絶縁層６の表面がデスミア処理液により溶解しないようにすることは困難なものであるが、本実施形態では、第一層３中のフィラーの含有量を高めることによって、外層の絶縁層６の表面がデスミア処理液により溶解した際にこの絶縁層６の表面に粗化面が形成されるようにして、上記のように絶縁層６と導体配線１２との間の密着強度を向上することができるものである。
【００４９】
上記のデスミア処理液と、第二層４を形成するための樹脂材料との組み合わせは、デスミア処理工程において非貫通孔１０内の樹脂残渣９（スミア）が十分に除去できるように、適宜選択すれば良く、特に制限されるものではないが、上記の通り、デスミア処理液としては過マンガン酸カリウム、重クロム酸ナトリウム等が用いられ、特に過マンガン酸カリウムが用いられる。
【００５０】
また、第一層３を形成するための樹脂材料は、特に制限されず、例えばフィラーの含有率以外は第二層４と同一の樹脂材料で形成することができるが、このようなものに限られない。
【００５１】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって詳述する。尚、配合量は特に示さない限り、重量基準である。
【００５２】
（実施例１）
ブロム化エポキシ樹脂（東都化成社製、「ＹＤＢ４００ＥＫ６０」）１４０部、液状エポキシ樹脂（東都化成社製、「ＹＤ８１２５」）２０部、ブロム化フェノキシ樹脂（東都化成社製、「ＹＰＢ４０−ＰＸＭ４０」）９０部、液状ゴム（宇部興産社製、「ＣＴＢＮ１３００−１３」）１５部、硬化剤（明和化成社製、「ＭＥＨ７５００」）５０部、硬化触媒（四国化成社製、「２ＰＺ」）５部、およびメチルエチルケトン３５０部を配合して、ディスパーなどで各成分を均一溶解させた。
【００５３】
その後、シリカ系フィラー（株式会社アドマテックス製社製、「ＳＯ−Ｃ３」）５０部を追加配合してバスケットミルなどによって均一分散させ、第一層３形成用のワニス１を調製した。
【００５４】
また、上記配合の中で液状ゴムの配合量を３０部に増量し、硬化剤の配合量を３０部に減量にした以外、ワニス１と同様な手順によって、第二層４形成用のワニス２を調製した。
【００５５】
上記のワニス１を、マルチコーター（平野金属製）を用いて、銅箔（古河金属製、厚み１８μｍ、粗面の十点平均粗さ（Ｒｚ）２．６μｍ）の粗面上に、固形分厚みが５μｍとなるように塗工して、溶媒蒸発と初期硬化を行った後、その上面にワニス２を固形分厚みが６５μｍとなるように重ねて塗工・乾燥し、絶縁シート５の総厚みが約７０μｍの金属箔付き絶縁シート１を作製した。
【００５６】
一方、内層配線基板（内層材１４）としては、銅箔にて直径１ｍｍ、ピッチ３ｍｍの試験用ランド配列配線を両面に形成した配線基板（松下電工株式会社製「Ｒ１７６６Ｔ」、厚み０．６ｍｍ、平面視寸法２５０×２５０ｍｍ、銅箔厚み１８μｍ、回路形成後に銅箔は黒化処理済み）を準備した。
【００５７】
この内層材１４の両面にそれぞれ上記の金属箔付き絶縁シート１を配設してプレスにて加熱・圧締（１３０℃、１．５ＭＰａ／ｃｍ^２で３０分処理後、１７０℃、３ＭＰａ／ｃｍ^２で９０分処理）した。
【００５８】
次いで、最外層の銅箔をエッチングによって全面除去した後、レーザー加工機（三菱電機株式会社製ＭＬ６０５ＧＴ）によって、絶縁シート５にて形成された絶縁層６に、直径約１５０μｍの非貫通孔１０を形成した。
【００５９】
次いで、シプレイ・ファーイースト社製の膨潤液「ＭＬＢ−２１１」を用い、同社の技術カタログに基づいて浴濃度１０５％（０．８ｍｏｌ／ｌ）の処理浴を調製し、８０℃の浴温で絶縁層５を処理して膨潤処理を行った。
【００６０】
次いで、シプレイ・ファーイースト社製のデスミア処理液（「ＭＬＢ−２１３Ａ」と「ＭＬＢ−２１３Ａ」との混合液；過マンガン酸カリウム濃度４７ｇ／ｌ（１．３ｍｏｌ／ｌ））を用いて、デスミア処理を行った。
【００６１】
次に、外層の絶縁層６の表面に、厚み２５μｍの銅パネルめっき皮膜を形成し、評価用の多層配線板１３を得た。
【００６２】
（実施例２）
第一層３形成用のワニス１として、ポリフェニレンエーテル樹脂（旭化成社製、「ザイロン」）１００部、液状ゴム（宇部興産製、「ＣＴＢＮ１３００−１３」）１５部、及びトルエン１００部を溶解させて調製したものを用い、このワニス１を、銅箔の粗面上に、固形分厚さが７μｍとなるように塗工した。
【００６３】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００６４】
（実施例３）
第一層３形成にあたって、ワニス１に代えて、ポリ四フッ化エチレンの微粉末（アズワン株式会社製、「バルフロンスプレー」）を用い、これを銅箔の粗面上に、体積換算で厚さ０．５μｍとなるように噴射堆積させた。また、ワニス２の塗工厚みは７０μｍとなるようにした。
【００６５】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００６６】
（実施例４）
第一層３形成にあたって、ワニス１に代えて、アラミドフィルム（東レ株式会社製、「ミクトロン」）を用い、これを銅箔の粗面上に厚み１０μｍとなるように積層させ、２５０℃で３０分の加熱圧締を行い銅箔と密着させた。
【００６７】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００６８】
（実施例５）
実施例１におけるワニス１中のシリカ系フィラーの配合量を８０部に変更し、ワニス２中のシリカ系フィラーの配合量を４０部に変更した。
【００６９】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００７０】
（実施例６）
実施例１におけるワニス１の塗工厚みを、１５μｍとし、且つワニス２の塗工厚みを５５μｍとした。
【００７１】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００７２】
（実施例７）
実施例５のワニス１配合成分の内、フィラーを２０部にした以外は実施例５と同様にして多層配線評価基板を作製した。
【００７３】
（比較例１）
実施例１において、ワニス１の塗工を行わず、銅箔の粗面に対して直接ワニス２を厚みが７０μｍとなるように塗工した。
【００７４】
それ以外は実施例１と同様にして、評価用の多層配線板１３を得た。
【００７５】
（評価）
以上のようにして得られた各実施例及び比較例における評価用の多層配線板１３に対し、外層の銅パネルめっき皮膜と絶縁層６との間のピール強度測定、及び各実施例及び比較例における金属箔付き絶縁シート１について、絶縁シート５側を外側とした屈曲性試験による屈曲最小半径測定を行った。
【００７６】
その結果を表１に示す。
【００７７】
【表１】

【００７８】
【発明の効果】
上記のように請求項１に係る金属箔付き絶縁シートは、配線板の多層化に利用すると、内層材に対して絶縁シートにて絶縁層を積層成形すると共に金属箔を除去した際に、絶縁層の表面に金属箔の粗面の形状が転写した粗面化形状が形成され、この絶縁シートにて形成される絶縁層にビアホールを形成する際にデスミア処理を施しても、第一層がデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低いことから、絶縁層の粗面化形状は破壊されずに維持されることとなり、この絶縁層の表面にめっき処理等により導体配線を形成しても、アンカー効果により高い密着強度を付与することができ、配線板の多層化工程において導体配線の厚膜化を防ぐために金属箔付き絶縁シートの金属箔を除去した後、ビアホール形成のためのデスミア処理を施す場合でも、デスミア処理後の絶縁層の表面がなだらかになってしまうことを防止し、絶縁シートにて形成される絶縁層とその表面に形成されるめっき処理による導体配線との間に優れた密着強度を付与することができるものである。
【００７９】
また、請求項２の発明では、絶縁層の表面に粗化面を形成する際にこの第一層に粗化面が形成されるようにすることができ、且つ金属箔付き絶縁シートの柔軟性を維持して金属箔付き絶縁シートの取扱時等における割れ等の破損発生を抑制することができ、金属箔付き絶縁シートの取扱性を向上することができるものである。
【００８０】
また、請求項３の発明では、第一層を構成する樹脂はデスミア処理液に対する溶解性が低く、第一層形成のために好適に用いることができるものであり、デスミア処理時における絶縁層の表面の粗面化形状の維持を更に確実なものとして、絶縁シートにて形成される絶縁層とその表面に形成されるめっき処理による導体配線との間の密着強度を更に向上することができるものである。
【００８１】
また、請求項４の発明では、第一層と第二層との間のデスミア処理液に対する溶解性の差を十分に大きくして、デスミア処理による樹脂残渣の除去時における絶縁層の粗面化形状の破壊を更に抑制し、絶縁シートにて形成される絶縁層とその表面に形成されるめっき処理による導体配線との間の密着強度を更に向上することができるものである。
【００８２】
また、請求項５に係る金属箔付き絶縁シートは、配線板の多層化に利用すると、絶縁シートにて形成される絶縁層にビアホールを形成する際にデスミア処理を施す場合、第一層の表面がデスミア処理液に溶解したときにフィラーの脱落により絶縁層の表面に粗面が形成され、この絶縁層の表面にめっき処理等により導体配線を形成すると、アンカー効果により高い密着強度を付与することができるものであり、配線板の多層化工程において導体配線の厚膜化を防ぐために金属箔付き絶縁シートの金属箔を除去した後、ビアホール形成のためのデスミア処理を施す場合でも、デスミア処理後の絶縁層の表面がなだらかになってしまうことを防止し、絶縁シートにて形成される絶縁層とその表面に形成されるめっき処理による導体配線との間に優れた密着強度を付与することができるものである。
【００８３】
また、請求項６に係る多層配線板は、その製造過程において金属箔付き絶縁シートの絶縁シートから形成される絶縁層にデスミア処理が施されているにもかかわらず、その処理後の絶縁層には粗面化形状が形成されており、この絶縁層の外層にめっき処理により形成された導体配線は、アンカー効果により高い密着強度が付与されるものであり、しかもこの外層の導体配線は、金属箔が除去された後の絶縁層の外層に形成されることから、厚膜化を防止することが可能であり、この導体配線を細線加工することが容易となるものである。
【００８４】
また、請求項７に係る多層配線板の製造方法は、内層材に対して絶縁シートにて絶縁層を積層成形すると共に金属箔を除去した際に、絶縁層の表面に金属箔の粗面の形状が転写した粗面化形状が形成され、デスミア処理後においても、第一層がデスミア処理液に対する樹脂溶解性が低いことから、絶縁層の粗面化形状は破壊されずに維持されることとなり、この絶縁層の表面にめっき処理により形成される導体配線は、アンカー効果により高い密着強度を付与されるものであり、しかもこの外層の導体配線は、金属箔が除去された後の絶縁層の外層に形成されることから、厚膜化を防止することが可能であり、この導体配線を細線加工することが容易となるものである。
【００８５】
また請求項８に係る多層配線板の製造方法は、デスミア処理時に、第一層の表面が溶解すると、フィラーの脱落により、絶縁シートにて形成される絶縁層の表面に粗面が形成され、この絶縁層に外層にめっき処理にて形成された導体配線は、アンカー効果により高い密着強度が付与されるものであり、しかもこの外層の導体配線は、金属箔が除去された後の絶縁層の外層に形成されることから、厚膜化を防止することが可能であり、この導体配線を細線加工することが容易となるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、（ａ）乃至（ｆ）は断面図である。
【図２】従来技術の一例を示すものであり、（ａ）乃至（ｅ）は断面図である。
【符号の説明】
１金属箔付き絶縁シート
２金属箔
３第一層
４第二層
５絶縁シート
６絶縁層
７導体配線
８絶縁層
９絶縁層
１０非貫通孔
１１ホールめっき
１２導体配線[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an insulating sheet with a metal foil used for manufacturing a wiring board, a multilayer wiring board manufactured using the insulating sheet with a metal foil, and a method for manufacturing the multilayer wiring board.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, printed wiring boards used in consumer and industrial electronic devices have been increasingly required to have higher circuit densities of printed wiring boards due to the remarkable trend toward downsizing and higher performance of electronic devices. As a method of reducing the size and density of a printed wiring board corresponding to this demand, for example, a general printed wiring board is used as an inner layer material, and an insulating sheet with a metal foil is laminated on the surface of the inner layer material to form a multilayer, Further, it has been proposed to form a multilayer wiring board by forming conductor wiring on the outermost layer.
[0003]
As a technique for making such a printed wiring board multilayer, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-163,972. In this method, at a predetermined position of an insulating sheet with a metal foil laminated on an inner layer material, a non-penetration is performed by irradiating the insulating sheet with a laser through a so-called conformal mask in which the metal foil is partially removed by etching or the like. After forming the holes, a plating process is performed to form a plating layer on the outer surface of the metal foil, form a hole plating on the inner surface of the non-through hole, and further form a conductor wiring on the outermost layer by an etching process. .
[0004]
According to such a method, a via hole can be easily formed in the insulating layer between the outer and inner conductor wirings. Since it can be formed only in the layer, the area required for forming the hole is reduced as compared with the case where the through through hole is formed, and the density of the wiring board can be easily increased.
[0005]
However, in the multi-layered wiring board process including the step of forming a conformal mask using such an insulating sheet with a metal foil, a plating layer is formed on an outer metal foil at the time of forming a hole plating of a via hole. The thickness has increased, making it particularly difficult to form fine wiring when forming conductive wiring by etching.
[0006]
Therefore, a method of forming only the insulating layer on the inner layer material and then forming the hole and the conductor wiring without using the insulating sheet with the metal foil has been proposed. However, when forming by a plating process or the like, it was not easy to secure the adhesion strength between the plated conductor and the resin. That is, when an insulating sheet with a metal foil is used, the insulating sheet with a metal foil is usually formed by closely adhering the insulating sheet to the rough surface of the metal foil. Although the adhesiveness between the insulating layer formed from the lower sheet and the insulating layer is high, the conductor wiring formed directly on the insulating layer by plating or the like ensures sufficient adhesive strength with the insulating layer. It was difficult to do.
[0007]
Therefore, a method as shown in FIG. 2 is known as a method for simultaneously achieving such miniaturization of the conductor wiring and maintenance of the adhesion strength of the conductor wiring. In this method, first, for the inner layer material in which the conductor wiring 7 is laminated and formed on the surface of the insulating layer 8, the insulating sheet with the metal foil is connected to the conductor wiring 7 of the inner layer material and the insulating sheet 5 of the insulating sheet with the metal foil. After being laminated and integrated so as to face each other, the metal foil 2 of the insulating sheet with the metal foil is removed by etching or the like. At this time, the outer layer surface of the insulating layer 6 made of the insulating sheet 5 remaining on the outer layer of the inner layer material is roughened by transferring the shape of the rough surface of the metal foil 2. Next, a non-through hole 10 is formed in the insulating layer 6 made of the insulating sheet 5 remaining in the outer layer of the inner layer material by laser processing or the like until reaching the conductor wiring 7 of the inner layer material. The formation of the conductor wiring 12 and the formation of the hole plating 11 on the inner surface of the non-through hole 10 are performed.
[0008]
In this method, the conductor wiring 12 is formed by plating on the roughened surface of the insulating layer 6 to which the rough surface shape of the metal foil 2 has been transferred to secure the adhesion strength of the conductor wiring 12. .
[0009]
However, before forming the hole plating 11 and the conductor wiring 12 by plating, it is necessary to remove the resin residue 9 (smear) remaining on the inner surface of the non-through hole 10 with a desmear treatment liquid. During the desmear treatment, the surface of the outer insulating layer 6 is also exposed to the desmear treatment liquid, and the surface of the insulation layer 6 is dissolved in the desmear treatment liquid, so that the surface of the insulation layer 6 becomes smooth. For this reason, the outer conductor wiring 12 is formed on the surface of the insulating layer 6 which has become gentle, and it is difficult to secure a desired adhesion strength of the conductor wiring 12.
[0010]
[Patent Document 1]
JP-A-9-32432
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of the above points, and is an insulating sheet with a metal foil used for multilayering a wiring board, the insulating sheet remaining when the metal foil is removed after being laminated on an inner layer material. Even if non-through holes are formed in the insulating layer and desmearing treatment for removing resin residues in the non-through holes is performed, the surface of the insulating layer formed of the insulating sheet is maintained in a roughened shape. Insulation sheet with metal foil that can ensure excellent adhesion strength when conductor wiring is formed on the surface of the layer, between the insulating layer of the outer layer and the conductor wiring manufactured using this insulation sheet with metal foil It is an object of the present invention to provide a multilayer wiring board having excellent adhesion strength, and a method for manufacturing the multilayer wiring board.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In the insulating sheet with a metal foil according to the present invention, in the insulating sheet with a metal foil 1 in which the metal foil 2 is attached to one surface of the insulating sheet 5, the insulating sheet 5 is directly adjacent to the rough surface of the metal foil 2. The first layer 3 and the second layer 4 formed on the side opposite to the metal foil 2 with respect to the first layer 3; One layer 3 has a lower resin solubility in a desmear treatment liquid than the second layer 4. When the insulating sheet 1 with metal foil is used for multilayering a wiring board, when the insulating layer 6 is laminated and formed on the inner layer material 14 with the insulating sheet 5 and the metal foil 2 is removed, the surface of the insulating layer 6 is removed. A roughened shape to which the shape of the rough surface of the metal foil 2 is transferred is formed. Even if a desmear treatment is performed when forming a via hole in the insulating layer 6, since the first layer 3 has low resin solubility in the desmear treatment liquid, the roughened shape of the insulating layer 6 is maintained without being destroyed. When the conductor wiring 12 is formed on the surface of the insulating layer 6 by plating or the like, high adhesion strength can be provided by the anchor effect.
[0013]
The thickness of the first layer 3 is preferably in the range of 0.5 to 10 μm. Within this range, when a roughened surface is formed on the surface of the insulating layer 6, a roughened surface can be formed on the first layer 3, and the flexibility of the insulating sheet 1 with a metal foil is maintained. As a result, it is possible to suppress the occurrence of breakage such as cracking when handling the insulating sheet 1 with a metal foil.
[0014]
The first layer 3 is preferably formed of at least one resin selected from silicone, ethylene tetrafluoride and engineering plastics, and these resins are dissolved in a desmear treatment solution. It has a low property and can be suitably used for forming the first layer 3.
[0015]
Further, desmear etch rates of the desmear treatment liquid in the first layer 3 and the second layer 4 are preferably different by 20% or more. In this case, the difference in solubility between the first layer 3 and the second layer 4 with respect to the desmear treatment liquid is sufficiently increased, and the roughened shape of the insulating layer 6 when the resin residue 9 is removed by the desmear treatment. Destruction can be reliably prevented.
[0016]
Further, another insulating sheet with metal foil 1 according to the present invention is the insulating sheet with metal foil 2 in which the metal foil 2 is attached to one surface of the insulating sheet 5, wherein the insulating sheet 5 is one side of the metal foil 2. It is formed of at least two or more resin layers including a first layer 3 formed directly adjacent to the first layer 3 and a second layer 4 formed on the side opposite to the metal foil 2 with respect to the first layer 3. The first layer 3 has a higher filler content than the second layer 4. When the insulating sheet 1 with a metal foil is used for multilayering a wiring board, the insulating layer 6 is laminated and formed on the inner layer material 14 with the insulating sheet 5, and after the metal foil 2 is removed, a via hole is formed in the insulating layer 6. When the desmear treatment is performed at the time of the treatment, when the surface of the first layer 3 is dissolved in the desmear treatment liquid, the filler falls off, so that a rough surface is formed on the surface of the insulating layer 6. When the conductor wiring 12 is formed by this, a higher adhesion strength can be provided by the anchor effect.
[0017]
In addition, the multilayer wiring board 13 according to the present invention uses the insulating sheet 1 with a metal foil as described above for the inner layer material 14 in which the conductor wiring 7 is laminated and formed on the surface of the insulating layer 8. The wiring 7 and the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with metal foil are laminated and integrated so as to face each other, and after removing the metal foil 2 of the insulating sheet 1 with metal foil, the insulating layer 6 formed by the insulating sheet 5 is formed. The non-through hole 10 is drilled so that a part of the conductor wiring 7 is exposed at the bottom thereof, and the inner surface of the non-through hole 10 is subjected to desmear treatment with a desmear treatment solution, and then the outer conductor wiring is plated. 12 and a hole plating 11 on the inner surface of the non-through hole 10. A roughened shape is formed on the surface of the outer insulating layer 6 after the desmear treatment, and the conductor wiring 12 formed by plating on the outer layer of the insulating layer 6 has high adhesion strength due to the anchor effect. It has been granted.
[0018]
Further, in the method for manufacturing a multilayer wiring board according to the present invention, the insulating sheet 1 with metal foil is applied to the inner layer material 14 in which the conductor wiring 7 is laminated and formed on the surface of the insulating layer 8. And the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with a metal foil are laminated and integrated so as to face each other, and after the metal foil 2 of the insulating sheet 1 with a metal foil is removed, the insulating layer 6 formed by the insulating sheet 5 is not penetrated. The hole 10 is drilled so that a part of the conductor wiring 7 is exposed on the bottom surface, and the inner surface of the non-through hole 10 is desmeared with a desmear treatment solution, and then the outer conductor wiring 12 is formed by plating. And forming the hole plating 11 on the inner surface of the non-through hole 10, the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with metal foil is formed directly adjacent to the rough surface of the metal foil 2. For the first layer 3 and the first layer 3 The desmear treatment liquid is formed from at least two or more resin layers including the second layer 4 formed on the side opposite to the metal foil 2, and the first layer 3 is more than the second layer 4. Is characterized by having low resin solubility. When the metal foil 2 is peeled from the insulating layer 6 formed by the insulating sheet 5, a roughened shape in which the shape of the rough surface of the metal foil 2 is transferred to the surface of the insulating layer 6 is formed. This roughened shape is maintained without being destroyed even after the desmear process, and the conductor wiring 12 formed by plating on the outer layer of the insulating layer 6 is provided with a high adhesion strength by an anchor effect.
[0019]
Further, in another method for manufacturing a multilayer wiring board according to the present invention, the insulating sheet 1 with a metal foil is applied to the inner layer material 14 in which the conductor wiring 7 is laminated and formed on the surface of the insulating layer 8. The wiring 7 and the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with metal foil are laminated and integrated so as to face each other, and after removing the metal foil 2 of the insulating sheet 1 with metal foil, the insulating layer 6 formed by the insulating sheet 5 is formed. The non-through hole 10 is drilled so that a part of the conductor wiring 7 is exposed at the bottom thereof, and the inner surface of the non-through hole 10 is subjected to desmear treatment with a desmear treatment solution, and then the outer conductor wiring is plated. In the method for manufacturing a multilayer wiring board in which the formation of the metal sheet 12 and the formation of the hole plating 11 on the inner surface of the non-through hole 10, the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with metal foil is formed directly adjacent to the rough surface of the metal foil 2. The first layer 3 and the first layer 3 The first layer 3 is formed of at least two or more resin layers including the second layer 4 formed on the side opposite to the metal foil 2, and the first layer 3 has a filler content higher than that of the second layer 4. It is characterized by being expensive. When the surface of the first layer 3 dissolves during the desmear treatment, the filler is dropped, so that a rough surface is formed on the surface of the insulating layer 6 formed by the insulating sheet 5, and the outer layer of the insulating layer 6 is plated by plating. The formed conductor wiring 12 is provided with high adhesion strength by the anchor effect.
[0020]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
[0021]
The inner layer material 14 has at least one insulating layer 8 and the outermost layer has the conductor wiring 7 formed on the surface of the insulating layer 8. As such an inner layer material 14, an appropriate wiring board can be applied, and for example, a single-layer or multilayer printed wiring board can be used.
[0022]
On the other hand, the insulating sheet 1 with a metal foil is formed by attaching a metal foil 2 to one surface of an insulating sheet 5 formed of an insulating resin. In the present invention, the insulating sheet 5 includes the first layer 3 formed directly adjacent to one surface of the metal foil 2 and the second layer 4 formed on the opposite side of the first layer 3 from the metal foil 2. The insulating sheet 5 is formed only from the first layer 3 and the second layer 4 in the illustrated example. The detailed configuration will be described later.
[0023]
When manufacturing the multilayer wiring board 13 using such an inner layer material 14 and the insulating sheet 1 with a metal foil, first, the insulating sheet 1 with a metal foil is applied to the inner layer material 14, and the conductor wiring 7 of the inner layer material 14 is formed. And the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with a metal foil are superposed so as to face each other, and are laminated and integrated in this state. In this lamination and integration, the properties of the insulating sheet 5, particularly the properties of the resin layer (the second layer 4 in the drawing) that directly contacts the inner layer material 14 among the plurality of resin layers constituting the insulating sheet 5, are appropriately determined. For example, when the thermosetting resin composition is formed from a B-stage thermosetting resin composition, the thermosetting resin composition is heated and cured under heat and pressure conditions. Laminate and integrate.
[0024]
Next, the outer metal foil 2 is removed by etching. At this time, the insulating layer 6 formed from the insulating sheet 5 of the insulating sheet 1 with metal foil remains in the outer layer of the inner layer material 14.
[0025]
Next, a non-through hole 10 for forming a via hole reaching the conductor wiring 7 of the inner layer is formed at a predetermined position of the insulating layer 6 formed on the outer layer of the inner layer material 14 by laser processing or the like. The non-through hole 10 is formed such that the inner conductor wiring 7 is exposed on the bottom surface thereof, but some resin residue 9 (smear) may remain on the bottom surface. In the case of performing the laser processing, an appropriate laser beam such as a carbon dioxide gas laser or a YAG laser is irradiated under appropriate conditions so that the insulating layer 6 can be drilled and the conductor wiring 7 in the inner layer is not worn. I do.
[0026]
Next, the outer surface of the insulating layer 6 formed on the outer layer of the inner layer material 14 is exposed by, for example, immersion in a desmear treatment solution, and the inner surface of the non-through hole 10 is subjected to desmear treatment. The remaining resin residue 9 (smear) is removed. The desmear treatment liquid is appropriately selected according to the type of the resin composition constituting the resin layer of the insulating sheet 5, and will be described later in detail.
[0027]
Next, by plating the surface of the outer insulating layer 6, the conductor wiring 12 is formed on the surface of the insulating layer 6, and the hole plating 11 is formed on the inner surface of the non-through hole 10. The formation of the conductor wiring 12 and the hole plating 11 is performed by patterning the surface of the insulating layer 6 or performing an etching process after panel plating. It can be performed using a forming technique. The thicknesses of the conductor wiring 12 and the hole plating 11 are appropriately set, and are not particularly limited. However, when fine wiring processing is performed, the thickness is preferably in the range of 10 to 30 μm.
[0028]
Through the above-described steps, the multilayer material is applied to the inner layer material 14 to obtain the multilayer wiring board 13. Further, by using the multilayered wiring board as the inner layer material 14, the same multilayer processing can be performed to obtain a multilayer multilayer wiring board 13.
[0029]
Next, the configuration of the first embodiment of the insulating sheet 1 with a metal foil will be described in detail.
[0030]
The metal foil 2 can be formed of an appropriate material, but is preferably formed of a copper foil in order to facilitate the etching removal in the above-described multilayer processing. The thickness of the copper foil can be an appropriate thickness, for example, 9 to 35 μm. At least one surface of the metal foil 2 is formed as a rough surface. The roughness of the rough surface is such that the conductor wiring 12 formed by plating as described later has a sufficient adhesion strength on the surface of the insulating layer 6 to which the shape of the rough surface has been transferred in the multilayer processing. The ten-point average roughness (Rz) is preferably set in the range of 1 to 7 μm.
[0031]
The insulating sheet 5 can be formed of an appropriate resin material generally used for forming an insulating layer 6 of a wiring board. The first layer 3 and the second layer 4 constituting the insulating sheet 5 The first layer 3 is formed to have a lower resin solubility than the second layer 4 at this time, so that the resin solubility in the desmear treatment liquid used in the desmear treatment is different. In particular, it is preferable that the ratio of the difference in the desmear etch rate of the desmear treatment liquid between the first layer 3 and the second layer 4 is 20% or more. At this time, the desmear etch rate of the first layer 3 with respect to the desmear treatment liquid is 0.02 to 0.10 mg / cm. ² The desmear etch rate of the second layer 4 is 0.03 to 0.35 mg / cm. ² Is preferably within the range. The desmear etch rate is defined as a mass reduction ratio per unit area of each resin layer before and after the desmear treatment at 50 to 80 ° C. for a treatment time of 15 minutes, and the area S (cm ² ), The mass of the resin layer before desmear treatment is a (mg), the mass after treatment is b (mg), and the desmear etch rate is W (mg / cm). ² ) Is represented by W = (ab) / S. Further, assuming that the desmear etch rate of the first layer 3 is W1 and the desmear etch rate of the second layer 4 is W2, the ratio of the difference between the desmear etch rates of the first layer 3 and the second layer 4 is (W2- W1) / W2 × 100 (%).
[0032]
The insulating sheet 5 may have a resin layer other than the first layer 3 and the second layer 4. In this case, the resin solubility of the resin layer in the desmear treatment liquid is not particularly limited. It is also preferable that the first layer 3 has lower resin solubility in the desmear treatment liquid.
[0033]
When the multilayer wiring board 13 is manufactured by using such an insulating sheet 1 with a metal foil in a process as shown in FIG. 1, when the metal foil 2 shown in FIG. On the surface of the insulating layer 6 formed by the above, a roughened surface of the unevenness to which the shape of the rough surface of the metal foil 2 is transferred is formed. Since the roughened surface is formed on the first layer 3, when the resin residue 9 (smear) is dissolved and removed with a desmear treatment liquid in the desmear treatment step shown in FIG. It is difficult to dissolve in the liquid, so that the shape of the irregularities on the roughened surface is not easily damaged. Therefore, when the conductor wiring 12 and the hole plating 11 are formed by plating as shown in FIG. 1F, the conductor wiring 12 is formed on the roughened surface of the insulating layer 6, and the conductor wiring 12 is formed by the anchor effect. High adhesion strength is provided between the insulating layer 12 and the insulating layer 6.
[0034]
The combination of the desmear treatment liquid, the resin material for forming the first layer 3 and the resin material for forming the second layer 4 has a resin solubility in the desmear treatment liquid that is higher in the first layer 3. It may be selected so as to be lower than the second layer 4, and there is no particular limitation. As the desmear treatment liquid, potassium permanganate, sodium dichromate, or the like is used, and particularly potassium permanganate is frequently used. The second layer 4 is formed of, for example, an epoxy resin composition or a polyimide resin with respect to the desmear treatment liquid used in the desmear treatment step, and the first layer 3 is further formed of the desmear treatment liquid. Is formed of a resin material having a lower resin solubility than the second layer 4.
[0035]
The first layer 3 is preferably formed of a material having high resistance to dissolution in various commonly used desmear treatment liquids. Specific examples of the material system for forming the first layer 3 include a silicone resin, an ethylene tetrafluoride resin, an engineering plastic resin, and a liquid crystal polymer resin in consideration of the heat resistance of the wiring board. Can be exemplified. Examples of the engineering plastic resin include polyamide, polyamideimide, polysulfone, polyethersulfone, polyoxybenzylene, polyetheretherketone, polyphenyleneether, polyetherimide, and polyimide.
[0036]
For example, if the second layer 4 is formed of an epoxy resin composition in a B-stage state, the first layer 3 is formed of the above-described material, and potassium permanganate is selected as a desmear treatment solution, the first layer 3 is formed. Can be formed such that the resin solubility in the desmear treatment liquid is lower than that of the second layer 4.
[0037]
In addition, the first layer 3 is formed of a material having high resistance to dissolution in various kinds of desmear treatment liquids as described above, and the resin forming the first layer 3 is used as a component of the second layer 4. May be contained. In this case, the adhesion between the first layer 3 and the second layer 4 formed with different compositions can be improved. For example, the second layer 4 is formed of an epoxy resin composition in a B-stage state, and a material having high dissolution resistance to the desmear treatment liquid as described above is contained in the second layer 4 in a range of 2 to 20% by weight. And made of the same material having high resistance to dissolution in the desmear treatment liquid as the one containing the first layer 3 in the second layer 4.
[0038]
In addition, the first layer 3 and the second layer 4 are formed of the same resin material, and the first layer 3 is formed so that the degree of polymerization is higher than that of the second layer 4. The first layer 3 is formed so that the resin solubility in the desmear treatment liquid is lower than that of the second layer 4, and the interlayer adhesion between the first layer 3 and the second layer 4 can be improved. For example, when both the first layer 3 and the second layer 4 are formed of an epoxy resin composition in a B-stage state, the equivalent of the curing agent to the equivalent of the epoxy resin in the epoxy resin composition constituting each layer is defined as The second layer 4 is less than the first layer 3 and the equivalent in the second layer 4 is less than 1. Specifically, for example, in the first layer 3, the epoxy resin in the epoxy resin is used. The equivalent of the functional group of the curing agent to one equivalent of the epoxy group is in the range of 0.95 to 1.3. In the second layer 4, the equivalent of the functional group of the curing agent to one equivalent of the epoxy group in the epoxy resin is 0.7. ０．９0.9.
[0039]
Even if the first layer 3 and the second layer 4 contain liquid rubber, the interlayer adhesion between the first layer 3 and the second layer 4 can be improved. At this time, the liquid rubber can be contained, for example, in the range of 5 to 20% by weight in each layer.
[0040]
Further, the solubility of the first layer 3 and the second layer 4 in the desmear treatment liquid can be adjusted by the liquid rubber. For example, when the first layer 3 and the second layer 4 are formed of the same resin material, both the first layer 3 and the second layer 4 contain liquid rubber, and the second layer is more than the first layer 3. By increasing the content of the liquid rubber in 4 or by including the liquid rubber only in the second layer 4, the resin solubility of the first layer 3 by the desmear treatment liquid becomes lower than that of the second layer 4. You can do so. Further, even when the first layer 3 and the second layer 4 are formed of different kinds of resin materials, the solubility of each layer in the desmear treatment liquid can be similarly adjusted by the liquid rubber.
[0041]
The thickness of the insulating sheet 5 is appropriately set, but is preferably in the range of 35 to 100 μm.
[0042]
In addition, the thickness of the first layer 3 may be such that the roughened surface can be formed on the first layer 3 when the roughened surface is formed on the surface of the insulating layer 6. Preferably, it is formed so as to be thinner than the second layer 4, and it is particularly preferable that the thickness is formed in the range of 0.5 to 10 μm. If the thickness of the first layer 3 is too thick, the rigidity of the first layer 3 having reduced solubility in the desmear treatment liquid tends to increase, so that the flexibility of the insulating sheet 1 with a metal foil decreases, In particular, in the case where the entire thickness of the insulating sheet 5 is formed to be thin, there is a possibility that breakage such as cracking may occur during handling of the insulating sheet 1 with metal foil.
[0043]
The thickness of the second layer 4 is appropriately adjusted, and is preferably formed, for example, in the range of 45 to 70 μm. When the insulating sheet 5 is formed of only the first layer 3 and the second layer 4, the thickness of the second layer 4 is a difference between the thickness of the insulating sheet 5 and the thickness of the first layer 3.
[0044]
Next, the configuration of the second embodiment of the insulating sheet 1 with a metal foil will be described in detail.
[0045]
In the insulating sheet 1 with a metal foil in the present embodiment, the filler content in the first layer 3 is set to be higher than the filler content in the second layer 4. In this case, the filler content in the first layer 3 is in the range of 10 to 35% by weight and the filler content in the second layer 4 is in the range of 5 to 30% by weight. It is preferable that the filler content be higher than the filler content in the two layers 4.
[0046]
When the multilayer wiring board 13 is manufactured by the process shown in FIG. 1 using the insulating sheet 1 with the metal foil, the resin residue 9 (smear) is removed by the desmear treatment solution in the desmear treatment process shown in FIG. When the surface of the outer insulating layer 6, that is, the surface of the first layer 3, is dissolved in the desmear treatment liquid, the filler in the first layer 3 falls off, and the trace of the filler falling off is removed. Asperities are formed, whereby a roughened surface is formed on the surface of the insulating layer 6. Therefore, when the conductor wiring 12 and the hole plating 11 are formed by plating as shown in FIG. 1F, the conductor wiring 12 is formed on the roughened surface of the insulating layer 6, and the conductor wiring 12 is formed by the anchor effect. High adhesion strength is provided between the insulating layer 12 and the insulating layer 6.
[0047]
As the metal foil 2 constituting the insulating sheet 1 with a metal foil, the same one as in the first embodiment can be applied, but one surface of the metal foil 2 on which the insulating sheet 5 is formed is not necessarily required. It is not necessary to form on a rough surface. However, if one surface of the metal foil 2 is formed to have a rough surface similar to that of the first embodiment, the dissolution amount of the first layer 3 in the desmear process shown in FIG. Even in the case where the insulating layer 6 is reduced, the surface of the outer insulating layer 6 after the desmear process is sufficiently roughened as in the first embodiment, and the surface of the insulating layer 6 to which the shape of the rough surface has been transferred in the multilayering process is obtained. The conductor wiring 12 formed on the surface by the plating process has a sufficient adhesion strength.
[0048]
This embodiment is suitably used particularly when high heat resistance, high mechanical strength, and the like are required for the multilayer wiring board 13. That is, if it is attempted to impart such high heat resistance and mechanical strength to the insulating layer 6, the chemical resistance is also improved. In this case, the desmear treatment used in the desmear treatment step shown in FIG. It is necessary to use a liquid having a very high resin dissolving power as the liquid. When such a strong desmear treatment liquid is used, no matter what resin material is selected as the resin material of the first layer 3 and the second layer 4, a great difference is caused in the solubility in the desmear treatment liquid. It is difficult to prevent the surface of the outer insulating layer 6 from being dissolved by the desmear treatment solution. However, in the present embodiment, by increasing the content of the filler in the first layer 3, When the surface of the outer insulating layer 6 is dissolved by the desmear treatment liquid, a roughened surface is formed on the surface of the insulating layer 6 so that the adhesion between the insulating layer 6 and the conductor wiring 12 is made as described above. The strength can be improved.
[0049]
The combination of the above desmear treatment liquid and a resin material for forming the second layer 4 is appropriately selected so that the resin residue 9 (smear) in the non-through hole 10 can be sufficiently removed in the desmear treatment step. Although not particularly limited, as described above, potassium permanganate, sodium dichromate, or the like is used as the desmear treatment liquid, and potassium permanganate is particularly used.
[0050]
The resin material for forming the first layer 3 is not particularly limited. For example, the resin material for forming the first layer 3 can be formed of the same resin material as the second layer 4 except for the content of the filler. I can't.
[0051]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. The amounts are based on weight unless otherwise indicated.
[0052]
(Example 1)
140 parts of brominated epoxy resin (manufactured by Toto Kasei, "YDB400EK60"), 20 parts of liquid epoxy resin (manufactured by Toto Kasei, "YD8125"), and 90 parts of brominated phenoxy resin (manufactured by Toto Kasei, "YPB40-PXM40") 90 Parts, 15 parts of liquid rubber (manufactured by Ube Industries, "CTBN1300-13"), 50 parts of curing agent (manufactured by Meiwa Kasei, "MEH7500"), 5 parts of curing catalyst (manufactured by Shikoku Chemicals, "2PZ"), and 350 parts of methyl ethyl ketone were blended, and each component was uniformly dissolved with a disper or the like.
[0053]
Thereafter, 50 parts of a silica filler ("SO-C3", manufactured by Admatechs Co., Ltd.) was additionally blended and uniformly dispersed by a basket mill or the like to prepare a varnish 1 for forming the first layer 3.
[0054]
In addition, the varnish 2 for forming the second layer 4 was formed in the same procedure as the varnish 1 except that the compounding amount of the liquid rubber was increased to 30 parts and the compounding amount of the curing agent was reduced to 30 parts. Was prepared.
[0055]
The varnish 1 was coated on a rough surface of copper foil (made of Furukawa Metal, having a thickness of 18 μm and a ten-point average roughness (Rz) of 2.6 μm) using a multi-coater (made of Hirano Metal). After coating so as to have a thickness of 5 μm, solvent evaporation and initial curing are performed, a varnish 2 is overlaid on the upper surface so as to have a solid content thickness of 65 μm, and is coated and dried. An insulating sheet 1 with a metal foil having a thickness of about 70 μm was produced.
[0056]
On the other hand, as the inner layer wiring board (inner layer material 14), a wiring board (“R1766T” manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd .; (Dimensions in plan view 250 × 250 mm, copper foil thickness 18 μm, copper foil blackened after circuit formation) were prepared.
[0057]
The above-mentioned insulating sheet 1 with a metal foil is disposed on both surfaces of the inner layer material 14 and heated and pressed by a press (130 ° C., 1.5 MPa / cm). ² After 30 minutes at 170 ° C, 3MPa / cm ² For 90 minutes).
[0058]
Next, after the entire outermost copper foil is removed by etching, a non-through hole 10 having a diameter of about 150 μm is formed in the insulating layer 6 formed of the insulating sheet 5 by a laser processing machine (ML605GT manufactured by Mitsubishi Electric Corporation). Formed.
[0059]
Next, a treatment bath having a bath concentration of 105% (0.8 mol / l) was prepared using a swelling solution “MLB-211” manufactured by Shipley Far East Co., Ltd. based on the technical catalog of the company, and a bath temperature of 80 ° C. The insulating layer 5 was treated to perform a swelling treatment.
[0060]
Next, desmear was performed using a desmear treatment solution (a mixed solution of “MLB-213A” and “MLB-213A”; a potassium permanganate concentration of 47 g / l (1.3 mol / l)) manufactured by Shipley Far East. Processing was performed.
[0061]
Next, a copper panel plating film having a thickness of 25 μm was formed on the surface of the outer insulating layer 6 to obtain a multilayer wiring board 13 for evaluation.
[0062]
(Example 2)
As a varnish 1 for forming the first layer 3, 100 parts of polyphenylene ether resin (manufactured by Asahi Kasei Corporation, "Zylon"), 15 parts of liquid rubber (manufactured by Ube Industries, "CTBN1300-13"), and 100 parts of toluene are dissolved. Using the prepared material, this varnish 1 was applied on the rough surface of a copper foil so that the solid content thickness became 7 μm.
[0063]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0064]
(Example 3)
In forming the first layer 3, a fine powder of polytetrafluoroethylene ("Valflon Spray", manufactured by AS ONE Corporation) is used in place of the varnish 1, and this is applied on a rough surface of a copper foil by volume conversion. It was spray-deposited to a thickness of 0.5 μm. The coating thickness of the varnish 2 was set to 70 μm.
[0065]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0066]
(Example 4)
In forming the first layer 3, an aramid film (“MICRON” manufactured by Toray Industries, Inc.) is used instead of the varnish 1, and this is laminated on a rough surface of a copper foil so as to have a thickness of 10 μm. And pressed tightly with the copper foil.
[0067]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0068]
(Example 5)
In Example 1, the blending amount of the silica-based filler in Varnish 1 was changed to 80 parts, and the blending amount of the silica-based filler in Varnish 2 was changed to 40 parts.
[0069]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0070]
(Example 6)
The coating thickness of the varnish 1 in Example 1 was 15 μm, and the coating thickness of the varnish 2 was 55 μm.
[0071]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0072]
(Example 7)
A multilayer wiring evaluation board was produced in the same manner as in Example 5, except that the filler was changed to 20 parts among the components of the varnish 1 in Example 5.
[0073]
(Comparative Example 1)
In Example 1, the varnish 2 was directly applied to the rough surface of the copper foil so as to have a thickness of 70 μm without applying the varnish 1.
[0074]
Otherwise in the same manner as in Example 1, a multilayer wiring board 13 for evaluation was obtained.
[0075]
(Evaluation)
With respect to the multilayer wiring board 13 for evaluation in each of the examples and comparative examples obtained as described above, the peel strength measurement between the outer copper panel plating film and the insulating layer 6, and the examples and comparative examples For the insulating sheet 1 with a metal foil in the above, the minimum bending radius was measured by a bending test with the insulating sheet 5 side outside.
[0076]
Table 1 shows the results.
[0077]
[Table 1]

[0078]
【The invention's effect】
As described above, when the insulating sheet with a metal foil according to claim 1 is used for multi-layering of a wiring board, when the insulating layer is laminated and formed on the inner layer material with the insulating sheet and the metal foil is removed, the insulating sheet becomes A roughened shape in which the shape of the rough surface of the metal foil is transferred to the surface of the layer is formed, and even if a desmear treatment is performed when forming a via hole in the insulating layer formed by this insulating sheet, the first layer is formed. Due to the low solubility of the resin in the desmear treatment liquid, the roughened shape of the insulating layer is maintained without being destroyed. Even if conductive wiring is formed on the surface of the insulating layer by plating or the like, the anchor effect can be obtained. When applying a desmear process for forming via holes after removing the metal foil of the insulating sheet with metal foil in order to prevent thickening of the conductor wiring in the multilayering process of the wiring board, which can provide higher adhesion strength But Prevents the surface of the insulating layer after desmearing from becoming smooth, and provides excellent adhesion strength between the insulating layer formed by the insulating sheet and the conductive wiring by plating formed on the surface Is what you can do.
[0079]
According to the second aspect of the invention, when the roughened surface is formed on the surface of the insulating layer, the roughened surface can be formed on the first layer, and the flexibility of the insulating sheet with metal foil can be improved. By maintaining the above, it is possible to suppress the occurrence of breakage such as cracking during handling of the insulating sheet with a metal foil, and to improve the handleability of the insulating sheet with a metal foil.
[0080]
According to the third aspect of the present invention, the resin constituting the first layer has low solubility in the desmear treatment liquid and can be suitably used for forming the first layer. The one that can further improve the adhesion strength between the insulating layer formed by the insulating sheet and the conductive wiring formed by plating on the surface, as a material that can more reliably maintain the roughened surface shape. It is.
[0081]
In the invention of claim 4, the difference in solubility of the first layer and the second layer with respect to the desmear treatment liquid is sufficiently increased, so that the surface of the insulating layer is roughened when the resin residue is removed by the desmear treatment. It is possible to further suppress the destruction of the shape, and to further improve the adhesion strength between the insulating layer formed of the insulating sheet and the conductive wiring formed on the surface thereof by plating.
[0082]
Further, the insulating sheet with a metal foil according to claim 5 is used for multilayering a wiring board, and when desmearing is performed when forming a via hole in an insulating layer formed by the insulating sheet, the surface of the first layer When dissolved in the desmear treatment liquid, a rough surface is formed on the surface of the insulating layer due to the removal of the filler, and when the conductor wiring is formed on the surface of the insulating layer by plating treatment or the like, a high adhesion strength is provided by an anchor effect. After removing the metal foil of the insulating sheet with metal foil in order to prevent thickening of the conductor wiring in the wiring board multilayering process, even if performing desmear processing for via hole formation, after the desmear processing Prevents the surface of the insulating layer from becoming smooth, and provides excellent insulation between the insulating layer formed by the insulating sheet and the conductive wiring formed by plating on the surface. It is capable of imparting adhesion strength.
[0083]
Further, in the multilayer wiring board according to claim 6, even though the insulating layer formed from the insulating sheet of the insulating sheet with the metal foil is subjected to the desmearing process in the manufacturing process, the insulating layer after the processing is applied to the insulating layer. Has a roughened shape, and the conductor wiring formed by plating on the outer layer of the insulating layer is provided with high adhesion strength by an anchor effect, and the conductor wiring of the outer layer is made of metal. Since the film is formed on the outer layer of the insulating layer after the removal of the foil, it is possible to prevent the film from being thickened, and it becomes easy to process the conductor wiring into a fine wire.
[0084]
Further, in the method of manufacturing a multilayer wiring board according to claim 7, when the insulating layer is laminated and formed on the inner layer material with an insulating sheet and the metal foil is removed, the rough surface of the metal foil is formed on the surface of the insulating layer. A roughened shape whose shape has been transferred is formed, and even after desmearing, the first layer has low resin solubility in the desmearing solution, so that the roughened shape of the insulating layer is maintained without being destroyed. The conductor wiring formed by plating on the surface of the insulating layer is provided with high adhesion strength due to the anchor effect, and the conductor wiring of the outer layer is the insulating layer after the metal foil is removed. Is formed in the outer layer, it is possible to prevent the film from being thickened, and it becomes easy to process the conductor wiring into a fine wire.
[0085]
Further, in the method for manufacturing a multilayer wiring board according to claim 8, when the surface of the first layer is dissolved during the desmear treatment, the filler is dropped off, so that a rough surface is formed on the surface of the insulating layer formed by the insulating sheet, The conductor wiring formed by plating on the outer layer of the insulating layer is provided with high adhesion strength by an anchor effect, and the conductor wiring of the outer layer is formed on the insulating layer after the metal foil is removed. Since it is formed in the outer layer, it is possible to prevent the film from being thickened, and it is easy to process the conductor wiring into a fine wire.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 illustrates an example of an embodiment of the present invention, and (a) to (f) are cross-sectional views.
FIG. 2 shows an example of a conventional technique, and (a) to (e) are cross-sectional views.
[Explanation of symbols]
1 Insulation sheet with metal foil
2 Metal foil
3 First layer
4 Second layer
5 Insulation sheet
6 Insulation layer
7 conductor wiring
8 Insulating layer
9 Insulation layer
10 non-through holes
11 Hole plating
12 conductor wiring

Claims

An insulating sheet with a metal foil in which a metal foil is adhered to one surface of the insulating sheet, wherein the insulating sheet has a first layer formed directly adjacent to a rough surface of the metal foil, and a metal foil formed on the first layer. And a second layer formed on the side opposite to the second layer, the resin layer is formed of at least two or more resin layers, and the first layer has lower resin solubility in a desmear treatment liquid than the second layer. An insulating sheet with a metal foil, characterized in that:

The insulating sheet with a metal foil according to claim 1, wherein the thickness of the first layer is in a range of 0.5 to 10 m.

3. The insulating sheet with a metal foil according to claim 1, wherein the first layer is formed of at least one resin selected from a silicone-based, a tetrafluoroethylene-based, and an engineering plastic-based resin.

The insulating sheet with a metal foil according to any one of claims 1 to 3, wherein a desmear etching rate of the desmear treatment liquid between the first layer and the second layer is different by 20% or more.

In an insulating sheet with a metal foil having a metal foil adhered to one surface of the insulating sheet, the insulating sheet is a first layer formed directly adjacent to one surface of the metal foil, and a metal foil for the first layer. Is formed of at least two or more resin layers including a second layer formed on the opposite side, and the first layer has a higher filler content than the second layer. Insulation sheet with foil.

The insulating sheet with a metal foil according to any one of claims 1 to 5, wherein the insulating sheet with a metal foil and the insulating sheet with the metal foil are attached to an inner layer material in which conductor wiring is laminated and formed on the surface of the insulating layer. Are laminated and integrated so as to face each other, and a non-through hole is formed in the insulating layer formed by the insulating sheet after removing the metal foil of the insulating sheet with the metal foil so that a part of the conductor wiring is exposed at the bottom surface thereof. After performing desmear treatment on the inner surface of the non-through hole with a desmear treatment liquid, the outer conductor wiring and the hole plating on the inner surface of the non-through hole are formed by plating. Wiring board.

For the inner layer material in which the conductor wiring is laminated and formed on the surface of the insulating layer, the insulating sheet with metal foil is laminated and integrated such that the conductor wiring of the inner layer material and the insulating sheet of the insulating sheet with metal foil face each other, After the metal foil of the insulating sheet with the metal foil is removed, a non-through hole is formed in the insulating layer formed of the insulating sheet so that a part of the conductor wiring is exposed at the bottom surface, and a desmear is formed on the inner surface of the non-through hole. After performing the desmear treatment with the treatment liquid, in the method for manufacturing a multilayer wiring board in which the conductor wiring of the outer layer is formed by plating and the hole plating of the inner surface of the non-through hole is formed, the insulating sheet of the insulating sheet with a metal foil is provided. At least two or more resin layers including a first layer formed directly adjacent to a rough surface of a metal foil, and a second layer formed on a side opposite to the metal foil with respect to the first layer. And the first layer is the Than two layers, a method for manufacturing a multilayer wiring board, characterized in that set to be as low resin solubility by the desmear liquid.

For the inner layer material in which the conductor wiring is laminated and formed on the surface of the insulating layer, the insulating sheet with metal foil is laminated and integrated such that the conductor wiring of the inner layer material and the insulating sheet of the insulating sheet with metal foil face each other, After the metal foil of the insulating sheet with the metal foil is removed, a non-through hole is formed in the insulating layer formed of the insulating sheet so that a part of the conductor wiring is exposed at the bottom surface, and a desmear is formed on the inner surface of the non-through hole. After performing the desmear treatment with the treatment liquid, in the method for manufacturing a multilayer wiring board in which the outer layer conductor wiring is formed by plating and the hole plating is formed on the inner surface of the non-through hole, the insulating sheet of the insulating sheet with a metal foil is provided. At least two or more resin layers including a first layer formed directly adjacent to a rough surface of a metal foil, and a second layer formed on a side opposite to the metal foil with respect to the first layer. And wherein the first layer is Metal foil insulating sheet, wherein the high filler content than the second layer.