JP2004348927A

JP2004348927A - Optical recorder, optical player, optically recording method and optically playing method

Info

Publication number: JP2004348927A
Application number: JP2003148043A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Kawai; 秀明河井
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2003-05-26
Filing date: 2003-05-26
Publication date: 2004-12-09

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent breakage of an optical head by eliminating dust stuck to the surface of an optical disk and to reduce a manufacturing cost in near-field optical recording and reproduction. <P>SOLUTION: When a near-field optical head 3 is arranged so as to be close to the optical disk 5, near-field light by laser beams is condensed to the optical disk 5, a static pressure floating pad 4 is used to control a gap from the optical disk 5, an actuator 12-1 subsequently moves the near-field optical head 3 to a position close to the optical disk 5 and near-field light is used to record or reproduce information on/from the optical disk, a dust collecting/blowing away part 14 for absorbing and/or blowing away dust on the optical disk 5 with air is arranged in the vicinity of the near-field optical head 3 before recording or reproducing the information. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、近接場光記録再生を可能とする対物レンズを有する光記録装置、光再生装置、光記録方法および光再生方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光記録装置に用いられるレンズは、原盤表面とレンズ先端の差動距離の間が大気で、屈折率は約１である。そのため、レンズの開口率（ＮＡ：ＮｕｍｅｒｉｃａｌＡｐｅｒｔｕｒｅ）が１を超えるようにすることはできない。
【０００３】
これを解決するために原盤表面とレンズ先端のワークディスタンスを短くした近接場による光記録装置があった。光ディスクを光記録媒体に用いた近接場による信号記録装置や信号再生装置として、２群レンズから構成されるＳＩＬ（ＳｏｌｉｄＩｍｍｅｒｓｉｏｎＬｅｎｓ）等の固体浸レンズによる近接場光を利用したものが提案されている。このような近接場を利用することにより、光ディスクの高密度化のニーズに対応して、スポット径を一層微小化させることが可能となっている。
【０００４】
このようなＳＩＬを用いて光ディスクに対する記録または再生をおこなうには、ＳＩＬ端面と光ディスクの信号記録面または信号再生面との距離を近接場光が生じる距離（光の波長の１／２以下、代表的には２００ｎｍ以下）に接近させ、その距離を一定に保つギャップ制御を行い、光ディスク上の集光スポットを一定にしている。
【０００５】
また、特許文献１には、近接場光発生手段が記録媒体の潤滑剤層に接触した状態で近接場光を発生させるとともに、吸着手段が潤滑剤層中に含まれる塵埃を吸着することにより、データの記録時に潤滑剤層に含まれる塵埃によって近接場光が遮られることがなく、安定してデータの記録、再生または消去を行うことができる光記録装置が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２，３，４において構成要素として説明されている静圧浮上パッドは、複数の環状溝を有し、非接触で真空度を維持する差動排気を行なう差動排気静圧浮上パッドについて開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−１９５７６４号公報
【特許文献２】
特開２０００−０７６７０７号公報
【特許文献３】
特開２０００−０７６７０８号公報
【特許文献４】
特開２００１−２４２３００号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来の近接場による光記録装置では、光ディスクをターンテーブル上に置くまでの間、または、置いたディスクを記録または再生する前に、空気中を浮遊しているゴミが光ディスクの表面に付着することが頻繁にあった。
【０００９】
このため、近接場状態（２００ｎｍ以下）でのギャップ制御下、光ヘッドとディスクとの間でゴミを巻き込み、ギャップ制御が破綻してしまい、その後の記録または再生が不可能となる場合があった。最悪、光ヘッドと光ディスクとの間にゴミを巻き込んだ結果、ギャップ制御動作が不安定となり、光ヘッドが光ディスクと衝突し、光ヘッドを破損させてしまうという不都合があった。
【００１０】
上述したゴミ付着防止のため、記録または再生装置をクリーンブース等で覆い、空気中に浮遊するごみの抑制管理をおこなってはいるが、それでも、除去しきれないごみがあり、このため、クリーンブースを用意すると、製造コストが上がってしまうという不都合があった。
【００１１】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、近接場光記録再生において、光ディスクの表面に付着したゴミを除去することにより光ヘッドの破損を防止すると共に、製造コスト抑えることができる光記録装置、光再生装置、光記録方法および光再生方法を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、光記録媒体を保持して回転機構により回転駆動させ、光記録媒体に近接するように近接場光ヘッドを配置して、光記録媒体にレーザー光による近接場光を集光させ、静圧浮上パッドを用いて光記録媒体との間のギャップを制御した後に、この近接場光ヘッドをアクチュエータにより光記録媒体の近接位置に移動し、近接場光を用いて光記録媒体に情報の記録または再生を行なう際に、エアにて、情報の記録または再生に先行してウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段を近接場光ヘッドの近傍に配置したものである。
【００１３】
従って本発明によれば、以下の作用をする。
近接場光を用いて光記録媒体に情報の記録または再生を行なう際に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす。
【００１４】
排気手段により光記録媒体上のゴミを吸い取った後に、供給手段により光記録媒体上のゴミを吹き飛ばすようにしても良く、また、排気手段により光記録媒体上のゴミを吸い取る動作と、供給手段により光記録媒体上のゴミを吹き飛ばす動作を同時に行っても良い。さらにその後に、一方の動作を行っても良い。
【００１５】
また、情報の記録または再生を行なう前に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす動作を行っても良い。
【００１６】
また、これに限らず、記録媒体の交換毎に、排気手段および／または供給手段により、エアにて、情報の記録または再生に先行して光記録媒体上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす動作を行っても良い。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、適宜、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、光ディスク記録再生装置の構成を示すブロック図である。
光ディスク記録再生装置は、レーザー光源部１からのレーザー光をビームスプリッタ２などの光学系を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に照射することにより、情報の記録または再生を可能にするものである。ここで、レーザー光源部１は信号記録再生ユニット１０からの駆動情報に基づいてレーザー光を発生する。スピンドルモータ６およびスライドモータ７は、モータ制御回路８からの駆動情報に基づいて回転する。
【００１９】
この静圧浮上パッド４は、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向し、後述するように、光ディスク５にレーザー照射光を照射するための出射孔２１を有し、出射孔２１に連通する照射光の通路の周囲に光ディスク５との対向面に開口する複数の環状吸引溝２２，２３，２４が形成され、吸引溝２２，２３，２４の周囲に多孔質２５の環状気体排出軸受け部が形成される。
【００２０】
また、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３は、レーザー照射光の通路に対物レンズを設け、アクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進退可能に構成され、光ディスク５に近接することにより高屈折率で高開口率の対物レンズとして機能する。
【００２１】
また、近接場光ヘッド３の近傍に設けられたゴミ回収／吹き飛ばし部１４は、近接場光ヘッド３による情報の記録または再生の前方に配置され、エア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気可能な排気部１４−２と、エア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給可能な供給部１４−３とを有して構成される。ゴミ回収／吹き飛ばし部１４は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３からの駆動情報に基づいてエアの排気／供給の動作をする。
【００２２】
また、ギャップ制御部１２は、静圧浮上パッド４の複数の環状吸引溝２２，２３，２４からエア源１２−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５を静圧浮上パッド４に向けて吸着するようにエア１６を排気可能な排気部１２−２と、エア源１２−１からの圧縮気体を介してエア１６を静圧浮上パッド４を光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる図示しない伸縮部に供給されると共に、環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に光ディスク５に対して所定のギャップで静圧浮上パッド４が浮上するように供給可能な供給部１２−３とを有して構成される。ギャップ制御部１２は、ギャップ制御回路１１からの駆動情報に基づいてエアの排気／供給の動作をする。
【００２３】
また、光ディスク記録再生装置は、レーザー光源部１を駆動させる信号記録再生ユニット１０、スピンドルモータ６およびスライドモータ７を駆動させるモータ制御回路８ならびにギャップ制御部１２を駆動させるギャップ制御回路１１およびゴミ回収／吹き飛ばし部１４を駆動させるゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を制御すると共に、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進退させるコントローラ９を有して構成される。
【００２４】
図２は、静圧浮上パッドおよびゴミ回収／吹き飛ばし噴出部の下面を示す図である。
図２において、静圧浮上パッド４は、円形の中心部に光ディスク５にレーザー照射光を照射するための出射孔２１を有し、出射孔２１の外周側に光ディスク５との対向面に開口する複数の環状吸引溝２２、２３、２４形成され、吸引溝２２，２３，２４の外周に多孔質２５の環状気体排出軸受け部が形成される。
【００２５】
また、静圧浮上パッド４の近傍であって、静圧浮上パッド４に対して矢印で示す露光方向の前方にゴミ回収／吹き飛ばし部１４が配置される。ゴミ回収／吹き飛ばし部１４には、排気部１２−２に連通する排気口２６と供給部１２−３に連通する供給口２７が設けられている。排気口２６が静圧浮上パッド４に対して矢印で示す露光方向の前方であって、供給口２７の後方に設けられている。これは、近接場光ヘッド３により近いゴミは排気口２６から排気部１２−２により吸い取り、近接場光ヘッド３の前方のゴミは供給口２７から供給部１２−３によりゴミを吹き飛ばすようにするためである。
【００２６】
また、排気部１２−２は静圧浮上パッド４の複数の環状吸引溝２２，２３，２４を排気口２６とし、供給部１２−２は静圧浮上パッド４の気体排出軸受け部が形成される多孔質２５を供給口２７とするように構成しても良い。
【００２７】
このように構成された光ディスク記録再生装置の一連の動作を説明する。
図３は、一連の制御動作を示すフローチャートである。
図３において、ステップＳ１で、他のワークがあるか否かを判断する。具体的には、ターンテーブル上に真空吸着されてレーザー光源部１により記録または再生される他の光ディスク５があるか否かを判断する。
【００２８】
図４は、ワーク交換動作を示すフローチャートである。図４は、図３のステップＳ１に対応するものである。
【００２９】
ステップＳ１１で、スライド機構でターンテーブルをワーク交換位置に移動する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御回路１１を介してギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給するのを停止して、静圧浮上パッド４を光ディスク５から離間する方向に収縮させる。このとき、スライドモータ７によりターンテーブルをワーク交換位置に移動する。
【００３０】
ステップＳ１２で、ワークを交換する。具体的には、記録または再生後のワークを取り除き、他のワークである新たな光ディスク５をターンテーブル上に真空吸着させる。
【００３１】
ステップＳ１３で、スライド機構によりターンテーブルを露光位置に移動する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給するのを停止して、静圧浮上パッド４を光ディスク５から離間する方向に収縮させた状態で、スライドモータ７でターンテーブルを露光位置に移動する。
【００３２】
ステップＳ１４で、他のワークがあるか否かを判断し、他のワークがあるときは、ステップＳ１１へ戻って、ステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理および判断を繰り返す。他のワークがないときは終了する。
【００３３】
図３に戻って、ステップＳ１で他のワークがないときは終了し、他のワークがあるときは、ステップＳ２へ移行して、ステップＳ２でパッドを下降させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給して、静圧浮上パッド４を光ディスク５に近接する方向に伸張させる。
【００３４】
ステップＳ３でパッドを浮上させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に供給して、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して対向する方向に浮上させる。
【００３５】
ステップＳ４で、パッドを下降させて、隙間を５μｍとする。具体的には、コントローラ９は、複数の環状吸引溝２２，２３，２４からギャップ制御部１２の排気部１２−３からの負圧による気体の吸引と、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５への圧縮気体の供給による浮上とがつりあう状態にして、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向するように維持させる。
【００３６】
ステップＳ５で、スピンドルを回転させる。具体的には、コントローラ９は、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６を回転させて、スピンドルモータ６の回転軸に固定されたターンテーブルを回転させることによりターンテーブル上に吸着された光ディスク５を回転させる。
【００３７】
ステップＳ６で、排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２によりエア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気し、および／または供給部１４−３によりエア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給する。
【００３８】
図５は、ゴミ回収／吹き飛ばし動作を示すフローチャートである。図５は、図３のステップＳ６に対応するものである。
ステップＳ２１で、排気部が排気口または内周側溝からゴミを回収する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２により排気口２６または内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収する。
【００３９】
ステップＳ２２で、隙間が５μｍであるか否かを判断し、隙間が５μｍでないときは、ステップＳ２１へ戻って、ステップＳ２１〜ステップＳ２２の処理および判断を繰り返す。隙間が５μｍであるときはステップＳ２３へ移行する。
【００４０】
ステップＳ２３で、回収したゴミをタンクに貯蔵する。具体的には、コントローラ９は、排気部１２−３により内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収するとき、排気部１２−３により吸引したゴミをタンクに貯蔵する。
【００４１】
ステップＳ２４で、供給部が正圧エアにより供給口または外周側溝からゴミを吹き飛ばす。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の供給部１４−３により供給口または外周側溝である環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５からの圧縮気体の噴出によりゴミを吹き飛ばす。
【００４２】
ステップＳ２５で、外周側溝の圧力がやや大気圧よりも高いか否かを判断し、やや大気圧よりも高くないときは、ステップＳ２４へ戻って、ステップＳ２４〜ステップＳ２５の処理および判断を繰り返す。やや大気圧よりも高いときはステップＳ２６へ移行する。
【００４３】
ステップＳ２６で、排気部が排気口または内周側溝からゴミを回収する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２により排気口２６または内周側の環状吸引溝２２，２３，２４から負圧による気体の吸引によりゴミを吸引して回収する。
【００４４】
図３に戻って、ステップＳ７で、対物レンズを下降させる。具体的には、コントローラ９は、近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００４５】
ステップＳ８で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００４６】
図６は、対物レンズ下降動作を示すフローチャートである。図６は、図３のステップＳ７、Ｓ８に対応するものである。
【００４７】
ステップＳ３１で、制御部はアクチュエータに駆動信号を供給する。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御回路１１を介して圧電素子やボイスコイルモータで構成されるギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１に近接場光ヘッド３の対物レンズを下降させるための駆動信号を供給する。
【００４８】
ステップＳ３２で、アクチュエータが対物レンズを下降させる。具体的には、圧電素子やボイスコイルモータで構成されるアクチュエータ１２−１が下方に進出することにより近接場光ヘッド３の対物レンズを下降させる。
【００４９】
ステップＳ３３で、レーザー駆動部がフォーカス調整用レーザーを照射させる。具体的には、コントローラ９は、信号記録／再生ユニット１０を介してレーザー光源部１によりフォーカス調整用レーザーを照射させる。
【００５０】
ステップＳ３４で、反射検出機構により反射検出する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光を検出する。
【００５１】
ステップＳ３５で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構により検出されたレーザー照射光が合焦点状態であるか否かを判断する。合焦点状態でないときは、ステップＳ３１へ戻って、ステップＳ３１〜ステップＳ３５の処理および判断を繰り返す。合焦点状態のときは終了する。
【００５２】
図３に戻って、ステップＳ８で合焦点であるときは、ステップＳ９へ移行し、ステップＳ８で合焦点でないときは、ステップＳ７へ戻って、ステップＳ７およびステップＳ８の処理および判断を繰り返す。
【００５３】
ステップＳ８で合焦点であるときは、ステップＳ９で、露光動作を行う。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に情報信号の記録または再生を行う。
【００５４】
図７は、露光動作を示すフローチャートである。図７は、図３のステップＳ９に対応するものである。
【００５５】
ステップＳ４１で、レーザー駆動部が露光用レーザーを照射させる。具体的には、コントローラ９は、信号記録再生ユニット１０レーザー光源部１により記録用または再生用レーザーを照射させる。
【００５６】
ステップＳ４２で、スピンドルの回転に応じてスライド機構でターンテーブルを内周から外周へ移動する。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光をスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５にらせん状に情報信号の記録または再生をするように照射する。
【００５７】
ステップＳ４３で、露光終了か否かを判断し、露光終了までステップＳ４２へ戻って、ステップＳ４２およびステップＳ４３の処理および判断を繰り返す。
【００５８】
図３に戻って、ステップＳ１０で、ゴミ回収／吹き飛ばしを終了して、ステップＳ１へ戻る。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介して排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを終了する。
【００５９】
図８は、他の制御動作を示すフローチャートである。
図８において、ステップＳ５１で、他のワークがあるか否かを判断する。具体的には、ターンテーブル上に真空吸着されてレーザー光源部１により記録または再生される他の光ディスク５があるか否かを判断する。
【００６０】
ステップＳ５２で、スピンドルを回転させる。具体的には、コントローラ９は、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６を回転させて、スピンドルモータ６の回転軸に固定されたターンテーブルを回転させることによりターンテーブル上に吸着された光ディスク５を回転させる。
【００６１】
ステップＳ５３で、排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介してゴミ回収／吹き飛ばし部１２の排気部１４−２によりエア源１４−１からの圧縮気体を用いた負圧を介して光ディスク５上のゴミ１５を吸い取るようにエア１６を排気し、および／または供給部１４−３によりエア源１４−１からの圧縮気体を介して光ディスク５上のゴミ１５を吹き飛ばすようにエア１６を供給する。
【００６２】
ステップＳ５４で、外周まで移動したか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを行っている状態で、モータ制御回路８を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５が内周から外周まで移動したことを検出する。
【００６３】
ステップＳ５５で、ゴミ回収／吹き飛ばしを終了する。具体的には、コントローラ９は、ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路１３を介して排気部１４−２による吸引状態でゴミ回収および／または供給部１４−３によるゴミ吹き飛ばしを終了する。
【００６４】
ステップＳ５６でパッドを下降させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を静圧浮上パッド４が光ディスク５に対して対向する方向に伸縮させる伸縮部に供給して、静圧浮上パッド４を光ディスク５に近接する方向に伸張させる。
【００６５】
ステップＳ５７パッドを浮上させる。具体的には、コントローラ９は、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの圧縮気体を環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５に供給して、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して対向する方向に浮上させる。
【００６６】
ステップＳ５８で、パッドを下降させて、隙間を５μｍとする。具体的には、コントローラ９は、複数の環状吸引溝２２，２３，２４からギャップ制御部１２の排気部１２−３からの負圧による気体の吸引と、ギャップ制御部１２の供給部１２−４からの環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５への圧縮気体の供給による浮上とがつりあう状態にして、静圧浮上パッド４が、光ディスク５に対して微小間隔（５μｍ）をもって対向するように維持させる。
【００６７】
ステップＳ５９で、対物レンズを下降させる。具体的には、コントローラ９は、近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００６８】
ステップＳ６０で、合焦点であるか否かを判断する。具体的には、コントローラ９は、光ディスク５に対する反射レーザー照射光のビームスプリッタ２を介した信号記録再生ユニット１０内の検出機構によりレーザー照射光が合焦状態となるように近接場光ヘッド３の対物レンズをギャップ制御部１２のアクチュエータ１２−１により光ディスク５に対して対向する方向に進出させる。
【００６９】
ステップＳ６０で合焦点であるときは、ステップＳ６１へ移行し、ステップＳ６０で合焦点でないときは、ステップＳ５９へ戻って、ステップＳ５９およびステップＳ６０の処理および判断を繰り返す。
【００７０】
ステップＳ６０で合焦点であるときは、ステップＳ６１で、露光動作を行ってステップＳ５１へ戻る。具体的には、コントローラ９は、静圧浮上パッド４に設けられた近接場光ヘッド３を用いて、レーザー光源部１からのレーザー光を介してスピンドルモータ６およびスライドモータ７により回転移動およびスライド移動するターンテーブル上に真空吸着された光ディスク５に情報信号の記録または再生を行う。
【００７１】
なお、ここで、ステップＳ５８のギャップ制御と、ステップＳ５９で、対物レンズの下降の間に、ステップＳ５３と同様の排気部による吸引状態でゴミ回収および／または供給部によるゴミ吹き飛ばしを開始させる動作を再度行って、ステップＳ６１の露光動作の後に、ステップＳ５５のゴミ回収／吹き飛ばしの終了の動作を行っても良い。
【００７２】
上述したように、本発明の実施の形態は、記録媒体を保持して回転駆動する回転機構（スピンドルモータ６とモータ制御回路８）と、光ディスク５への露光または信号読み取り位置を移動させるスライド機構（スライドモータ７とモータ制御回路８）と、光ディスク５にレーザー光による近接場光を集光させる光学手段（レーザー光源１と近接場光ヘッド３）と、静圧浮上パッド４を用いて近接場光ヘッド３と光ディスク面を近接場領域で一定に保つギャップ制御回路１１と、記録用信号出力および／または光ディスクからの信号を読み取り再生する、信号記録／再生ユニット１０と、ゴミ回収および／または吹き飛ばし制御回路１３を介して、エアにて、光ディスク５上のゴミ回収および／または吹き飛ばすゴミ回収および／または吹き飛ばし部１４とそれを制御するコントローラ９より構成される。
【００７３】
これにより、制御動作としては、記録／再生手順を開始して、ディスクをターンテーブルにセットすると、ギャップ制御を開始した後に、ディスクの回転を行って、エアによる、ごみ吸着および／または吹き出し開始して、その後、記録／再生の開始をして、記録／再生の終了をすると、エアによる、ごみ吸着および／または吹き出しを停止して、記録／再生の手順を終了する。
【００７４】
本発明の実施の形態は、これに限らず、変形例として、エアによる、ゴミ回収および／または吹き出し部１４を近接場光ヘッド横以外の別の場所に設ける。例えば、近接場光ヘッド３に設けられた静圧浮上パッド４のエア吸引を行う内周側溝である吸引溝（負圧用）および／またはエア吹き出しを行う外周側溝である環状気体排出軸受け部として機能する多孔質２５（正圧用）にゴミ回収および／または吹き出しの機能を持たせるようにしてもよい。
【００７５】
また、上述した制御動作に限らず、ディスクをターンテーブルにセットした直後、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出し動作を光ディスク全面に渡って行なうようにしてもよい。この場合、上述した制御動作に次のシーケンスを挿入する。
【００７６】
具体的には、上述したディスクをターンテーブルにセットする動作の後に、最内周に近接場光ヘッド３を移動して、近接場光ヘッド３の対物レンズを光ディスク表面に近づくまで下降して、光ディスクを回転させて、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出しを開始して、スライドモータ７により光ディスク５を最外周に移動したら、光ディスク５の回転を停止して、エアによる、ごみ吸着または／及び吹き出しを終了して、上述したギャップ制御を開始する動作に続ける。
【００７７】
なお、本発明の実施の形態は、光ディスク記録再生装置の静圧浮上パッド４上の近接場光ヘッド３に近接して設けられたゴミ回収／吹き飛ばし部１４の工夫に関して説明したが、同様の効果のあるたとえば、レーザー光を照射して反者検出するテレビジョン受像機管面検出装置、半導体検査装置などすべての用途について利用可能である。
【００７８】
【発明の効果】
この発明によれば、情報信号記録または情報信号再生装置では、信号記録または再生時に、近接場光ヘッド横に有する、エアによる、ウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段により、ウェハ上のごみを信号記録または再生に先行して除去することができる。これにより、光記録媒体上にゴミが付着していたり、ゴミが浮遊している環境下においても、近接場光を用いた安定したギャップ制御による信号記録または再生を行なうことができるという効果を奏する。
【００７９】
また、上記情報信号記録または情報信号再生装置において、エアにて、信号記録または再生に先行してウェハ上のゴミを吸い取るおよび／または吹き飛ばす排気手段および／または供給手段を近接場光ヘッド横に有し、それを制御することにより、ゴミが浮遊している環境下においても、近接場光を用いた安定したギャップ制御による信号記録または再生を行なうことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に適用される光ディスク記録再生装置の構成を示すブロック図である。
【図２】静圧浮上パッドおよびゴミ回収／吹き飛ばし部の下面を示す図である。
【図３】一連の制御動作を示すフローチャートである。
【図４】ワーク交換動作を示すフローチャートである。
【図５】ゴミ回収／吹き飛ばし動作を示すフローチャートである。
【図６】液浸対物レンズ下降動作を示すフローチャートである。
【図７】露光動作を示すフローチャートである。
【図８】他の制御動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１……レーザー光源部、２……ビームスプリッタ、３……近接場光ヘッド、４……静圧浮上パッド、５……光ディスク、６……スピンドルモータ、７……スライドモータ、８……モータ制御回路、９……コントローラ、１０……信号記録／再生ユニット、１１……ギャップ制御回路、１２……ギャップ制御部、１２−１……アクチュエータ、１２−２……エア源、１２−３……排気部、１２−４……供給部、１３……ゴミ回収／吹き飛ばし制御回路、１４……ゴミ回収／吹き飛ばし部、１４−１……エア源、１４−２……排気部、１４−３……供給部、１５……ゴミ、１６……エア、２１……レーザー照射孔、２２，２３，２４……溝、２５……多孔質、２６……排気口、２７……供給口[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to, for example, an optical recording device having an objective lens that enables near-field optical recording and reproduction, an optical reproduction device, an optical recording method, and an optical reproduction method.
[0002]
[Prior art]
A lens used in a conventional optical recording apparatus has a refractive index of about 1 between the surface of the master and the differential distance between the tip of the lens and the atmosphere. Therefore, the numerical aperture (NA) of the lens cannot exceed 1.
[0003]
In order to solve this, there has been an optical recording apparatus using a near field in which the work distance between the surface of the master and the tip of the lens is shortened. As a near-field signal recording device or signal reproducing device using an optical disc as an optical recording medium, a device using near-field light from a solid immersion lens such as a SIL (Solid Immersion Lens) composed of a two-group lens has been proposed. I have. By utilizing such a near field, it is possible to further reduce the spot diameter in response to the need for higher density optical disks.
[0004]
In order to perform recording or reproduction on an optical disk using such an SIL, the distance between the end surface of the SIL and the signal recording surface or the signal reproduction surface of the optical disk is set to the distance at which near-field light is generated (1/2 or less of the wavelength of light, typically (Typically 200 nm or less), and gap control is performed to keep the distance constant, so that the condensed spot on the optical disk is kept constant.
[0005]
Patent Document 1 discloses that near-field light generating means generates near-field light in contact with a lubricant layer of a recording medium, and adsorption means adsorbs dust contained in the lubricant layer. There has been disclosed an optical recording device capable of stably recording, reproducing, or erasing data without near-field light being interrupted by dust contained in a lubricant layer during data recording.
[0006]
Further, the static pressure floating pad described as a component in Patent Documents 2, 3, and 4 has a plurality of annular grooves, and performs differential exhaust static pressure floating that performs differential exhaust while maintaining a degree of vacuum in a non-contact manner. A pad is disclosed.
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2001-195768 A
[Patent Document 2]
JP 2000-076707 A
[Patent Document 3]
JP 2000-076708 A
[Patent Document 4]
JP 2001-242300A
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional near-field optical recording device, dust floating in the air may cause dust floating on the surface of the optical disk until the optical disk is placed on a turntable, or before recording or reproducing the placed disk. Frequently adhered to the surface.
[0009]
For this reason, under the gap control in the near-field state (200 nm or less), dust is caught between the optical head and the disc, and the gap control is broken, so that there is a case where subsequent recording or reproduction becomes impossible. . In the worst case, as a result of dust being caught between the optical head and the optical disk, the gap control operation becomes unstable, and the optical head collides with the optical disk, and the optical head is damaged.
[0010]
To prevent the above-mentioned dust from adhering, the recording or reproducing device is covered with a clean booth or the like to control the debris floating in the air, but there is still some debris that cannot be completely removed. There is an inconvenience that the production cost is increased when the device is prepared.
[0011]
Therefore, the present invention has been made in view of such a point, and in near-field optical recording / reproduction, it is possible to prevent damage to an optical head by removing dust adhering to the surface of an optical disk and to reduce manufacturing costs. It is an object to provide an optical recording device, an optical reproducing device, an optical recording method, and an optical reproducing method that can be used.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The present invention holds an optical recording medium and rotates it by a rotating mechanism, arranges a near-field optical head so as to approach the optical recording medium, and converges near-field light by laser light on the optical recording medium. After controlling the gap with the optical recording medium using the static pressure levitation pad, the near-field optical head is moved to a position close to the optical recording medium by the actuator, and information is transferred to the optical recording medium using the near-field light. When performing recording or reproduction, exhaust means and / or supply means for sucking and / or blowing off dust on the wafer by air prior to recording or reproduction of information are arranged near the near-field optical head. is there.
[0013]
Therefore, according to the present invention, the following operations are performed.
When recording or reproducing information on an optical recording medium using near-field light, dust on the optical recording medium is sucked by air by an exhaust unit and / or a supply unit prior to recording or reproduction of information. And / or blow off.
[0014]
After sucking the dust on the optical recording medium by the exhaust means, the dust on the optical recording medium may be blown off by the supply means. The operation of blowing off dust on the optical recording medium may be performed simultaneously. After that, one operation may be performed.
[0015]
In addition, before recording or reproducing information, an operation of sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium by air prior to recording or reproducing of information is performed by an exhaust unit and / or a supplying unit by air. Is also good.
[0016]
The present invention is not limited to this, and every time the recording medium is replaced, an operation of sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium by air prior to recording or reproducing of information by air is performed by the exhaust unit and / or the supply unit. You may go.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate.
[0018]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an optical disk recording / reproducing apparatus.
The optical disk recording / reproducing apparatus transmits a laser beam from a laser light source unit 1 to an optical disk 5 vacuum-adsorbed on a turntable that is rotated and slid by a spindle motor 6 and a slide motor 7 via an optical system such as a beam splitter 2. The irradiation enables recording or reproduction of information. Here, the laser light source unit 1 generates a laser beam based on drive information from the signal recording / reproducing unit 10. The spindle motor 6 and the slide motor 7 rotate based on drive information from the motor control circuit 8.
[0019]
The static pressure floating pad 4 is opposed to the optical disk 5 at a small interval (5 μm), and has an emission hole 21 for irradiating the optical disk 5 with laser irradiation light as described later, and communicates with the emission hole 21. A plurality of annular suction grooves 22, 23, 24 are formed around the passage of the irradiation light to be formed, and are opened on the surface facing the optical disk 5. Around the suction grooves 22, 23, 24, an annular gas discharge bearing portion of porous 25 is formed. Is formed.
[0020]
The near-field optical head 3 provided on the static pressure floating pad 4 is provided with an objective lens in the path of the laser irradiation light, and is configured to be able to advance and retreat in a direction facing the optical disk 5 by the actuator 12-1. When it is close to 5, it functions as an objective lens having a high refractive index and a high aperture ratio.
[0021]
The dust collecting / blowing unit 14 provided near the near-field light head 3 is disposed in front of recording or reproduction of information by the near-field light head 3, and uses compressed gas from the air source 14-1. An exhaust unit 14-2 capable of exhausting the air 16 so as to suck the dust 15 on the optical disk 5 through the negative pressure, and blowing off the dust 15 on the optical disk 5 via the compressed gas from the air source 14-1. A supply unit 14-3 capable of supplying the air 16; The dust collection / blow-out unit 14 performs an air exhaust / supply operation based on drive information from the dust collection / blow-out control circuit 13.
[0022]
Further, the gap control unit 12 moves the optical disk 5 from the plurality of annular suction grooves 22, 23, 24 of the static pressure floating pad 4 through the negative pressure using the compressed gas from the air source 12-1. An air exhaust unit 12-2 capable of exhausting the air 16 so as to adsorb the air 16 and the air 16 via the compressed gas from the air source 12-1 to move the air 16 in a direction facing the static pressure floating pad 4 to the optical disk 5. A supply section 12-which is supplied to an expansion / contraction section (not shown) for expansion and contraction, and which can supply the static pressure levitation pad 4 to the optical disk 5 so as to float with a predetermined gap to the porous body 25 which functions as an annular gas discharge bearing section. 3 is configured. The gap control unit 12 performs an air exhaust / supply operation based on the drive information from the gap control circuit 11.
[0023]
The optical disc recording / reproducing apparatus includes a signal recording / reproducing unit 10 for driving the laser light source unit 1, a motor control circuit 8 for driving the spindle motor 6 and the slide motor 7, a gap control circuit 11 for driving the gap control unit 12, and dust collection. The laser irradiation light is focused by the detection mechanism in the signal recording / reproducing unit 10 via the beam splitter 2 for controlling the dust collection / blowing control circuit 13 for driving the blow-off unit 14 and the reflected laser irradiation light to the optical disk 5 via the beam splitter 2. And a controller 9 for moving the objective lens of the near-field optical head 3 in the direction facing the optical disc 5 by the actuator 12-1 so that
[0024]
FIG. 2 is a diagram showing the lower surface of the static pressure floating pad and the dust collection / blow-out ejection section.
In FIG. 2, the static pressure levitation pad 4 has an emission hole 21 for irradiating the optical disk 5 with laser irradiation light at the center of the circle, and is opened on the outer peripheral side of the emission hole 21 on the surface facing the optical disk 5. A plurality of annular suction grooves 22, 23, 24 are formed, and an annular gas discharge bearing of porous 25 is formed on the outer periphery of the suction grooves 22, 23, 24.
[0025]
Further, a dust collecting / blowing unit 14 is arranged near the static pressure floating pad 4 and in front of the static pressure floating pad 4 in the exposure direction indicated by an arrow. The refuse collecting / blowing unit 14 is provided with an exhaust port 26 communicating with the exhaust unit 12-2 and a supply port 27 communicating with the supply unit 12-3. An exhaust port 26 is provided in front of the static pressure floating pad 4 in the exposure direction indicated by the arrow and behind the supply port 27. This means that dust near the near-field light head 3 is sucked from the exhaust port 26 by the exhaust unit 12-2, and dust in front of the near-field light head 3 is blown off from the supply port 27 by the supply unit 12-3. That's why.
[0026]
The exhaust portion 12-2 has the plurality of annular suction grooves 22, 23, and 24 of the static pressure floating pad 4 as exhaust ports 26, and the supply portion 12-2 has a gas discharge bearing portion of the static pressure floating pad 4. The porous 25 may be configured as the supply port 27.
[0027]
A series of operations of the optical disk recording / reproducing apparatus thus configured will be described.
FIG. 3 is a flowchart showing a series of control operations.
In FIG. 3, in step S1, it is determined whether or not there is another work. Specifically, it is determined whether there is another optical disk 5 that is vacuum-adsorbed on the turntable and recorded or reproduced by the laser light source unit 1.
[0028]
FIG. 4 is a flowchart showing the work exchange operation. FIG. 4 corresponds to step S1 in FIG.
[0029]
In step S11, the turntable is moved to the work changing position by the slide mechanism. Specifically, the controller 9 is configured to extend and contract the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 in the direction in which the static pressure floating pad 4 faces the optical disk 5 via the gap control circuit 11. Is stopped, and the static pressure floating pad 4 is contracted in a direction away from the optical disk 5. At this time, the turntable is moved to the work changing position by the slide motor 7.
[0030]
In step S12, the work is exchanged. Specifically, the work after recording or reproduction is removed, and a new optical disk 5 as another work is vacuum-adsorbed on the turntable.
[0031]
In step S13, the turntable is moved to the exposure position by the slide mechanism. Specifically, the controller 9 stops supplying the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 to the expansion and contraction unit that causes the static pressure floating pad 4 to expand and contract in the direction facing the optical disc 5. Then, the turntable is moved to the exposure position by the slide motor 7 with the static pressure floating pad 4 contracted in the direction away from the optical disk 5.
[0032]
In step S14, it is determined whether or not there is another work. If there is another work, the process returns to step S11, and the processes and determinations in steps S11 to S14 are repeated. If there is no other work, the process ends.
[0033]
Returning to FIG. 3, if there is no other work in step S1, the process ends. If there is another work, the process proceeds to step S2, and the pad is lowered in step S2. Specifically, the controller 9 supplies the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 to the expansion and contraction unit that expands and contracts in the direction in which the static pressure floating pad 4 faces the optical disk 5, The floating pad 4 is extended in a direction approaching the optical disk 5.
[0034]
In step S3, the pad is floated. Specifically, the controller 9 supplies the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 to the porous material 25 functioning as the annular gas discharge bearing unit, and the static pressure floating pad 4 Levitate in the opposite direction.
[0035]
In step S4, the pad is lowered to make the gap 5 μm. Specifically, the controller 9 suctions gas from the plurality of annular suction grooves 22, 23, and 24 by negative pressure from the exhaust unit 12-3 of the gap control unit 12 and supplies the gas to the supply unit 12-4 of the gap control unit 12. The floating pad 4 is opposed to the optical disk 5 at a minute interval (5 μm) in such a state that the floating by the supply of the compressed gas to the porous 25 functioning as the annular gas discharge bearing portion from the air is balanced. Let it be maintained.
[0036]
In step S5, the spindle is rotated. More specifically, the controller 9 rotates the spindle motor 6 via the motor control circuit 8 to rotate the turntable fixed to the rotation shaft of the spindle motor 6, thereby causing the optical disc 5 adsorbed on the turntable to rotate. To rotate.
[0037]
In step S6, the collection of dust and / or the blowing of dust by the supply unit are started in a suction state by the exhaust unit. Specifically, the controller 9 controls the optical disc through a dust collection / blow-off control circuit 13 and a negative pressure using a compressed gas from the air source 14-1 by the exhaust unit 14-2 of the dust collection / blow-out unit 12. The air 16 is exhausted so as to suck the dust 15 on the optical disk 5, and / or the air 16 is supplied by the supply unit 14-3 so as to blow the dust 15 on the optical disk 5 through the compressed gas from the air source 14-1. I do.
[0038]
FIG. 5 is a flowchart showing the dust collection / blow-out operation. FIG. 5 corresponds to step S6 in FIG.
In step S21, the exhaust unit collects dust from the exhaust port or the inner circumferential groove. Specifically, the controller 9 uses the exhaust unit 14-2 of the dust collection / blow-off unit 12 through the dust collection / blow-off control circuit 13 to apply a negative pressure from the exhaust port 26 or the inner-side annular suction grooves 22, 23, 24. The dust is sucked and collected by suction of gas by pressure.
[0039]
In step S22, it is determined whether or not the gap is 5 μm. If the gap is not 5 μm, the process returns to step S21, and the processing and determination in steps S21 to S22 are repeated. When the gap is 5 μm, the process proceeds to step S23.
[0040]
In step S23, the collected garbage is stored in a tank. Specifically, the controller 9 uses the exhaust unit 12-3 to suck and collect dust by suction of gas from the annular suction grooves 22, 23, and 24 on the inner peripheral side by negative pressure by the exhaust unit 12-3. Store the sucked trash in the tank.
[0041]
In step S24, the supply unit blows off dust from the supply port or the outer circumferential groove by the positive pressure air. More specifically, the controller 9 controls the supply unit 14-3 of the dust collection / blow-off unit 12 via the dust collection / blow-off control circuit 13 to control the porous 25 functioning as a supply port or an annular gas discharge bearing unit that is an outer circumferential groove. Dust is blown off by the ejection of compressed gas from
[0042]
In step S25, it is determined whether or not the pressure of the outer circumferential groove is slightly higher than the atmospheric pressure. If the pressure is slightly higher than the atmospheric pressure, the process returns to step S24, and the processing and determination of steps S24 to S25 are repeated. If the pressure is slightly higher than the atmospheric pressure, the process proceeds to step S26.
[0043]
In step S26, the exhaust unit collects dust from the exhaust port or the inner circumferential groove. Specifically, the controller 9 uses the exhaust unit 14-2 of the dust collection / blow-off unit 12 via the dust collection / blow-off control circuit 13 to apply a negative pressure from the exhaust port 26 or the annular suction grooves 22, 23, 24 on the inner peripheral side. The dust is sucked and collected by suction of gas by pressure.
[0044]
Returning to FIG. 3, in step S7, the objective lens is lowered. Specifically, the controller 9 causes the objective lens of the near-field optical head 3 to advance in the direction facing the optical disk 5 by the actuator 12-1 of the gap control unit 12.
[0045]
In step S8, it is determined whether or not the subject is in focus. Specifically, the controller 9 controls the near-field optical head 3 so that the laser irradiation light is brought into focus by a detection mechanism in the signal recording / reproducing unit 10 through the beam splitter 2 of the reflection laser irradiation light on the optical disc 5. The objective lens is advanced in the direction facing the optical disk 5 by the actuator 12-1 of the gap control unit 12.
[0046]
FIG. 6 is a flowchart showing the objective lens lowering operation. FIG. 6 corresponds to steps S7 and S8 in FIG.
[0047]
In step S31, the control unit supplies a drive signal to the actuator. Specifically, the controller 9 drives the actuator 12-1 of the gap control unit 12 including a piezoelectric element and a voice coil motor via the gap control circuit 11 to lower the objective lens of the near-field optical head 3. Supply signal.
[0048]
In step S32, the actuator lowers the objective lens. Specifically, the objective lens of the near-field optical head 3 is lowered by the actuator 12-1 including a piezoelectric element and a voice coil motor moving downward.
[0049]
In step S33, the laser driving unit irradiates the laser for focus adjustment. Specifically, the controller 9 causes the laser light source unit 1 to irradiate a focus adjusting laser via the signal recording / reproducing unit 10.
[0050]
In step S34, reflection is detected by the reflection detection mechanism. Specifically, the controller 9 detects the laser irradiation light by the detection mechanism in the signal recording / reproducing unit 10 via the beam splitter 2 of the reflection laser irradiation light on the optical disk 5.
[0051]
In step S35, it is determined whether or not the subject is in focus. Specifically, the controller 9 determines whether or not the laser irradiation light detected by the detection mechanism in the signal recording / reproducing unit 10 via the beam splitter 2 of the reflected laser irradiation light on the optical disk 5 is in a focused state. I do. If it is not in the focused state, the process returns to step S31, and the processing and determination of steps S31 to S35 are repeated. If the camera is in the focused state, the process ends.
[0052]
Returning to FIG. 3, when it is determined that the focal point is in focus at step S8, the process proceeds to step S9, and when it is not the focal point at step S8, the process returns to step S7 to repeat the processing and determination of step S7 and step S8.
[0053]
If the focal point is found in step S8, an exposure operation is performed in step S9. More specifically, the controller 9 uses the near-field optical head 3 provided on the hydrostatic levitation pad 4 to rotate and slide by the spindle motor 6 and the slide motor 7 via the laser light from the laser light source unit 1. An information signal is recorded or reproduced on the optical disk 5 that is vacuum-adsorbed on the moving turntable.
[0054]
FIG. 7 is a flowchart showing the exposure operation. FIG. 7 corresponds to step S9 in FIG.
[0055]
In step S41, the laser driving unit irradiates an exposure laser. Specifically, the controller 9 causes the signal recording / reproducing unit 10 to emit a recording or reproducing laser beam from the laser light source unit 1.
[0056]
In step S42, the turntable is moved from the inner circumference to the outer circumference by the slide mechanism according to the rotation of the spindle. Specifically, the controller 9 uses the near-field optical head 3 provided on the static pressure floating pad 4 to rotate and slide the laser light from the laser light source unit 1 by the spindle motor 6 and the slide motor 7. Irradiation is performed so as to record or reproduce information signals in a spiral manner on the optical disk 5 vacuum-adsorbed on the turntable.
[0057]
In step S43, it is determined whether or not the exposure is completed, and the process returns to step S42 until the exposure is completed, and the processes and determinations in step S42 and step S43 are repeated.
[0058]
Returning to FIG. 3, in step S10, the dust collection / blowing is completed, and the process returns to step S1. More specifically, the controller 9 ends the dust collection and / or the dust removal by the supply unit 14-3 in the suction state by the exhaust unit 14-2 via the dust collection / blow-out control circuit 13.
[0059]
FIG. 8 is a flowchart showing another control operation.
In FIG. 8, it is determined in step S51 whether or not there is another work. Specifically, it is determined whether there is another optical disk 5 that is vacuum-adsorbed on the turntable and recorded or reproduced by the laser light source unit 1.
[0060]
In step S52, the spindle is rotated. More specifically, the controller 9 rotates the spindle motor 6 via the motor control circuit 8 to rotate the turntable fixed to the rotation shaft of the spindle motor 6, thereby causing the optical disc 5 adsorbed on the turntable to rotate. To rotate.
[0061]
In step S53, collection of dust and / or blowing of dust by the supply unit is started in a suction state by the exhaust unit. Specifically, the controller 9 controls the optical disc through a dust collection / blow-off control circuit 13 and a negative pressure using a compressed gas from the air source 14-1 by the exhaust unit 14-2 of the dust collection / blow-out unit 12. The air 16 is exhausted so as to suck the dust 15 on the optical disk 5, and / or the air 16 is supplied by the supply unit 14-3 so as to blow the dust 15 on the optical disk 5 through the compressed gas from the air source 14-1. I do.
[0062]
In step S54, it is determined whether or not it has moved to the outer circumference. Specifically, the controller 9 controls the spindle motor 6 and the slide through the motor control circuit 8 in a state in which dust is collected by the exhaust unit 14-2 and / or dust is blown off by the supply unit 14-3. It detects that the optical disk 5 vacuum-adsorbed on the turntable that is rotated and slid by the motor 7 has moved from the inner circumference to the outer circumference.
[0063]
In step S55, dust collection / blow-out ends. More specifically, the controller 9 ends the dust collection and / or the dust removal by the supply unit 14-3 in the suction state by the exhaust unit 14-2 via the dust collection / blow-out control circuit 13.
[0064]
In step S56, the pad is lowered. Specifically, the controller 9 supplies the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 to the expansion and contraction unit that expands and contracts in the direction in which the static pressure floating pad 4 faces the optical disk 5, The floating pad 4 is extended in a direction approaching the optical disk 5.
[0065]
Step S57: The pad is floated. Specifically, the controller 9 supplies the compressed gas from the supply unit 12-4 of the gap control unit 12 to the porous material 25 functioning as the annular gas discharge bearing unit, and the static pressure floating pad 4 Levitate in the opposite direction.
[0066]
In step S58, the pad is lowered to set the gap to 5 μm. Specifically, the controller 9 suctions gas from the plurality of annular suction grooves 22, 23, and 24 by negative pressure from the exhaust unit 12-3 of the gap control unit 12 and supplies the gas to the supply unit 12-4 of the gap control unit 12. The floating pad 4 is opposed to the optical disk 5 at a minute interval (5 μm) in such a state that the floating by the supply of the compressed gas to the porous 25 functioning as the annular gas discharge bearing portion from the air is balanced. Let it be maintained.
[0067]
In step S59, the objective lens is lowered. Specifically, the controller 9 causes the objective lens of the near-field optical head 3 to advance in the direction facing the optical disk 5 by the actuator 12-1 of the gap control unit 12.
[0068]
In step S60, it is determined whether or not the subject is in focus. Specifically, the controller 9 controls the near-field optical head 3 so that the laser irradiation light is brought into focus by a detection mechanism in the signal recording / reproducing unit 10 through the beam splitter 2 of the reflection laser irradiation light on the optical disc 5. The objective lens is advanced in the direction facing the optical disk 5 by the actuator 12-1 of the gap control unit 12.
[0069]
If it is determined in step S60 that the subject is in focus, the process proceeds to step S61. If it is not focused in step S60, the process returns to step S59, and the processes and determinations in steps S59 and S60 are repeated.
[0070]
If the focal point is determined in step S60, the exposure operation is performed in step S61, and the process returns to step S51. More specifically, the controller 9 uses the near-field optical head 3 provided on the hydrostatic levitation pad 4 to rotate and slide by the spindle motor 6 and the slide motor 7 via the laser light from the laser light source unit 1. An information signal is recorded or reproduced on the optical disk 5 that is vacuum-adsorbed on the moving turntable.
[0071]
Here, the gap control in step S58 and the operation of starting the dust collection and / or the blowing of dust by the supply unit in the same suction state by the exhaust unit as in step S53 during the descent of the objective lens in step S59. The operation may be performed again, and after the exposure operation in step S61, the operation of terminating the dust collection / blow-out in step S55 may be performed.
[0072]
As described above, according to the embodiment of the present invention, the rotation mechanism (the spindle motor 6 and the motor control circuit 8) that holds and rotates the recording medium and the slide mechanism that moves the exposure or signal reading position on the optical disk 5 (Slide motor 7 and motor control circuit 8), optical means (laser light source 1 and near-field optical head 3) for condensing near-field light by laser light on optical disk 5, and near-field using static pressure floating pad 4. A gap control circuit 11 for keeping the optical head 3 and the optical disk surface constant in the near-field region; a signal recording / reproducing unit 10 for reading and reproducing a recording signal output and / or a signal from the optical disk; and collecting and / or blowing off dust. Collecting and / or blowing off dust on the optical disk 5 by air via the control circuit 13 Constructed from the controller 9 and to section 14 to control it.
[0073]
Thus, as a control operation, when a recording / reproducing procedure is started and the disc is set on the turntable, after the gap control is started, the disc is rotated to start dust suction and / or blowing by air. Thereafter, when recording / reproduction is started and recording / reproduction is terminated, dust suction and / or blowing by air is stopped, and the recording / reproduction procedure is terminated.
[0074]
The embodiment of the present invention is not limited to this, and as a modified example, the dust collecting and / or blowing unit 14 using air is provided in another place other than the side of the near-field light head. For example, it functions as a suction groove (for negative pressure) which is an inner peripheral groove for performing air suction of the static pressure floating pad 4 provided on the near-field optical head 3 and / or an annular gas discharge bearing portion which is an outer peripheral groove which performs air blowing. The porous body 25 (for positive pressure) may have a function of collecting and / or blowing out dust.
[0075]
In addition to the control operation described above, the dust suction or / and blowing operation by air may be performed over the entire surface of the optical disk immediately after the disk is set on the turntable. In this case, the following sequence is inserted into the control operation described above.
[0076]
Specifically, after the operation of setting the disk on the turntable described above, the near-field optical head 3 is moved to the innermost circumference, and the objective lens of the near-field optical head 3 is lowered until it approaches the optical disk surface, When the optical disk is rotated, dust suction or / and blowing by air is started, and the optical disk 5 is moved to the outermost periphery by the slide motor 7, the rotation of the optical disk 5 is stopped, and dust suction or / and / or air is stopped. The blowing is terminated, and the operation for starting the gap control described above is continued.
[0077]
Although the embodiment of the present invention has been described with respect to the contrivance of the dust collecting / blowing unit 14 provided in close proximity to the near-field optical head 3 on the static pressure floating pad 4 of the optical disk recording / reproducing apparatus, the same effect is obtained. For example, the present invention can be used for all applications such as a television receiver tube surface detecting device that irradiates a laser beam to detect an opponent and a semiconductor inspection device.
[0078]
【The invention's effect】
According to the present invention, in the information signal recording or information reproducing apparatus, at the time of signal recording or reproduction, exhaust means and / or supply means for sucking and / or blowing off dust on the wafer by air which is provided beside the near-field optical head. Accordingly, dust on the wafer can be removed prior to signal recording or reproduction. As a result, there is an effect that signal recording or reproduction can be performed by stable gap control using near-field light even in an environment where dust is attached to the optical recording medium or dust is floating. .
[0079]
In the above information signal recording or information signal reproducing apparatus, exhaust means and / or supply means for sucking and / or blowing off dust on the wafer by air prior to signal recording or reproduction are provided beside the near-field optical head. However, by controlling this, there is an effect that signal recording or reproduction can be performed by stable gap control using near-field light even in an environment where dust is floating.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an optical disc recording / reproducing apparatus applied to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a lower surface of a static pressure floating pad and a dust collecting / blowing unit.
FIG. 3 is a flowchart showing a series of control operations.
FIG. 4 is a flowchart showing a work exchange operation.
FIG. 5 is a flowchart illustrating a dust collection / blow-off operation.
FIG. 6 is a flowchart illustrating a liquid immersion objective lens lowering operation.
FIG. 7 is a flowchart illustrating an exposure operation.
FIG. 8 is a flowchart showing another control operation.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser light source part, 2 ... Beam splitter, 3 ... Near-field optical head, 4 ... Static pressure floating pad, 5 ... Optical disk, 6 ... Spindle motor, 7 ... Slide motor, 8 ... Motor Control circuit, 9 Controller, 10 Signal recording / reproducing unit, 11 Gap control circuit, 12 Gap control unit, 12-1 Actuator, 12-2 Air source, 12-3 ... Exhaust part, 12-4 ... Supply part, 13 ... Dust collection / blow-out control circuit, 14 ... Dust collection / blow-out part, 14-1 ... Air source, 14-2 ... Exhaust part, 14-3 ... Supply unit, 15 dust, 16 air, 21 laser irradiation holes, 22, 23, 24 grooves, 25, porous, 26 exhaust port, 27 supply port

Claims

In an optical recording device that irradiates information from a laser irradiating unit so that information can be recorded on an optical recording medium that rotates and slides by a rotation mechanism and a slide mechanism via an optical system,
The optical recording medium is opposed to the optical recording medium at a minute interval, and has an emission hole for irradiating the optical recording medium with irradiation light. A plurality of annular suction grooves that are open on the opposing surface are formed, and a static pressure floating pad in which an annular gas discharge bearing is formed around the suction grooves;
An object lens provided in a path of the irradiation light, and configured to be able to advance and retreat in a direction facing the optical recording medium by a driving unit, to irradiate the optical recording medium with irradiation light for near-field light recording. Field light head,
Exhaust means provided in the vicinity of the near-field optical head for sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium, and capable of sucking and exhausting air prior to recording of information on the optical recording medium; Supply means capable of ejecting air prior to recording of information on the optical recording medium;
The laser irradiation means, the rotation mechanism and the slide mechanism, and the exhaust means and the supply means are controlled, the gap between the static pressure floating pad and the optical recording medium is controlled, and the reflection irradiation on the optical recording medium is performed. Control means for moving the objective lens in a direction facing the optical recording medium by the driving means so that the irradiation light is brought into a focused state by detecting light. .

The optical recording apparatus according to claim 1,
An optical recording apparatus characterized in that dust is blown off by the supply means after dust is sucked by the exhaust means.

The optical recording apparatus according to claim 1,
The exhaust means uses the suction groove of the static pressure floating pad as an exhaust port,
The optical recording apparatus according to claim 1, wherein the supply means uses the gas discharge bearing portion of the static pressure floating pad as a supply port.

In an optical reproducing apparatus that irradiates information recorded on an optical recording medium that is rotationally and slidably moved by a rotation mechanism and a slide mechanism through an optical system so that the irradiation light from the laser irradiation means can be reproduced,
The optical recording medium is opposed to the optical recording medium at a minute interval, and has an emission hole for irradiating the optical recording medium with irradiation light. A plurality of annular suction grooves that are open on the opposing surface are formed, and a static pressure floating pad in which an annular gas discharge bearing is formed around the suction grooves;
A proximity irradiating the optical recording medium with irradiation light for near-field light reproduction by an objective lens provided in a path of the irradiation light and configured to be able to advance and retreat in a direction facing the optical recording medium by a driving unit. Field light head,
It is provided in the vicinity of the near-field optical head for sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium, and is capable of sucking air and exhausting air before reproducing information recorded on the optical recording medium. Exhaust means and / or supply means capable of ejecting air prior to reproduction of information recorded on the optical recording medium;
The laser irradiation means, the rotation mechanism and the slide mechanism, and the exhaust means and the supply means are controlled, the gap between the static pressure floating pad and the optical recording medium is controlled, and the reflection irradiation on the optical recording medium is performed. Control means for moving the objective lens in a direction facing the optical recording medium by the driving means so that the irradiation light is brought into a focused state by detecting light. .

The optical reproducing apparatus according to claim 4,
An optical reproducing apparatus characterized in that dust is blown off by the supply means after the dust is sucked by the exhaust means.

The optical reproducing apparatus according to claim 4,
The exhaust means uses the suction groove of the static pressure floating pad as an exhaust port,
An optical reproducing apparatus according to claim 1, wherein said supply means uses said gas discharge bearing portion of said static pressure floating pad as a supply port.

In an optical recording method in an optical recording apparatus for irradiating information so as to record information on an optical recording medium that rotates and slides by a rotation mechanism and a slide mechanism via an optical system, irradiation light from a laser irradiation unit,
The optical recording medium is opposed to the optical recording medium at a minute interval, and has an emission hole for irradiating the optical recording medium with irradiation light. A plurality of annular suction grooves formed in the opposed surface, a static pressure floating pad having an annular gas discharge bearing formed around the suction grooves, and a path for the irradiation light; Information is recorded on the optical recording medium using a near-field optical head that irradiates the optical recording medium with irradiation light for near-field optical recording by an objective lens configured to be able to advance and retreat in a direction facing the medium. When doing
The above-mentioned proximity is achieved by an exhaust means capable of sucking and exhausting air prior to recording of information on the optical recording medium and / or a supply means capable of ejecting air prior to recording of information on the optical recording medium. An air exhaust and / or air supply step for sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium near the field light head;
The laser irradiation means, the rotation mechanism and the slide mechanism, and the exhaust means and the supply means are controlled, the gap between the static pressure floating pad and the optical recording medium is controlled, and the reflection irradiation on the optical recording medium is performed. A control step of controlling the objective lens using control means so as to advance and retreat the objective lens by the driving means in a direction facing the optical recording medium so that the irradiation light is brought into a focused state by detecting light. An optical recording method characterized in that:

The optical recording method according to claim 7,
An optical recording method, wherein dust is blown off by the supply means after dust is sucked by the exhaust means.

The optical recording method according to claim 7,
The exhaust means uses the suction groove of the static pressure floating pad as an exhaust port,
An optical recording method, wherein the supply means uses the gas discharge bearing portion of the static pressure floating pad as a supply port.

In an optical reproducing method in an optical reproducing device that irradiates information recorded on an optical recording medium that is rotationally and slidably moved by a rotation mechanism and a slide mechanism via an optical system so that the irradiation light from the laser irradiation means can be reproduced.
The optical recording medium is opposed to the optical recording medium at a minute interval, and has an emission hole for irradiating the optical recording medium with irradiation light. A plurality of annular suction grooves formed in the opposed surface, a static pressure floating pad having an annular gas discharge bearing formed around the suction grooves, and a path for the irradiation light; A near-field light head that irradiates the optical recording medium with irradiation light for near-field light reproduction by an objective lens configured to be able to advance and retreat in a direction facing the medium is recorded on the optical recording medium. When playing the information,
Exhaust means capable of sucking and exhausting air prior to reproduction of information recorded on the optical recording medium and / or capable of ejecting air prior to reproduction of information recorded on the optical recording medium. An air exhaust and / or air supply step for sucking and / or blowing off dust on the optical recording medium near the near-field optical head by the supply means;
The laser irradiation means, the rotation mechanism and the slide mechanism, and the exhaust means and the supply means are controlled, the gap between the static pressure floating pad and the optical recording medium is controlled, and the reflection irradiation on the optical recording medium is performed. A control step of controlling the objective lens using control means so as to advance and retreat the objective lens by the driving means in a direction facing the optical recording medium so that the irradiation light is brought into a focused state by detecting light. A light reproducing method characterized in that:

The optical reproduction method according to claim 10,
A light regenerating method, wherein dust is blown off by the supply means after dust is sucked by the exhaust means.

The optical reproduction method according to claim 10,
The exhaust means uses the suction groove of the static pressure floating pad as an exhaust port,
The light reproducing method, wherein the supply means uses the gas discharge bearing portion of the static pressure floating pad as a supply port.