JP2004348040A

JP2004348040A - Support device of optical element

Info

Publication number: JP2004348040A
Application number: JP2003147583A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Ikegame; 哲夫池亀
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2003-05-26
Filing date: 2003-05-26
Publication date: 2004-12-09

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a support device of an optical element which stably holds and harden such damping member as a gel and surely gives a desired fluid damping effect. <P>SOLUTION: In the support device of an optical element having at least a hold member 21 which holds the optical element 1 and a support member 23 which supports the hold part 21 movably with respect to a fixed part 22, a gap is formed at least by the support member 23 along the support member 23 in the vicinity of the hold member 21 side of the support member 23 or in the vicinity of the fixed part 22 side, a damping member 39 is provided to connect the gap, and a narrow width part 23t is formed to make the width of the gap in the gap region in which the damping member 39 is provided. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナ、光通信用の光偏向機等の光学装置に使用するガルバノミラーや対物レンズアクチュエータ等の光学素子の支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このような光学素子の支持装置として、本出願人は例えば図２６に示すようなものを既に提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この支持装置は、ミラー１１０を保持する絶縁性のミラーホルダ１１１を、導電性の４本のばね１１２を介して直交する回転軸Ｏｘ，Ｏｙを中心に回動自在に絶縁性のマグネットホルダ１２０に支持するようにしたものである。４本のばね１１２の一端部は、ミラーホルダ１１１の回転軸Ｏｘに近い両側のそれぞれ２箇所にインサート成形され、その固定端付近には回転軸Ｏｘに平行な第１の変形部１１２ａがそれぞれ形成されている。また、４本のばね１１２の他端部は、マグネットホルダ１２０の回転軸Ｏｙに近い両側のそれぞれ２箇所にインサート成形され、その固定端付近には回転軸Ｏｙに平行な第２の変形部１１２ｂがそれぞれ形成されており、各ばね１１２の第１の変形部１１２ａと第２の変形部１１２ｂとを連結する連結部１１２ｃは、ミラーホルダ１１１の４角を取り囲むように配置されている。
【０００４】
また、各ばね１１２の第１の変形部１１２ａの付近には、その第１の変形部１１２ａにミラーホルダ１１１の内部で接続して半田付け部ｈが形成されており、第２の変形部１１２ｂの端部は、マグネットホルダ１２０の中を通って端子ｔに至っている。
【０００５】
なお、図示しないが、ミラーホルダ１１１には矩形状の２個のコイルが巻装されており、これらコイルの両端末はそれぞれ異なる２個の半田付け部ｈに半田付けされている。また、マグネットホルダ１２０には、回転軸Ｏｘ，Ｏｙ方向に対向してそれぞれ一対のマグネットが装着されており、回転軸Ｏｘ方向に対向する一対のマグネットによって、ミラーホルダ１１１の一方のコイルの回転軸Ｏｘに対向するコイル辺に同一方向の磁界を作用させ、回転軸Ｏｙ方向に対向する一対のマグネットによって、ミラーホルダ１１１の他方のコイルの回転軸Ｏｙに対向するコイル辺に同一方向の磁界を作用させるようにしている。
【０００６】
このようにして、ミラーホルダ１１１の一方のコイルに、２個の端子ｔおよび２本のばね１１２を経て給電することにより、回転軸Ｏｘ方向に対向する一対のマグネットとの電磁作用によってミラーホルダ１１１を回転軸Ｏｙを中心に回動させ、ミラーホルダ１１１の他方のコイルに、他の２個の端子ｔおよび他の２本のばね１１２を経て給電することにより、回転軸Ｏｙ方向に対向する一対のマグネットとの電磁作用によってミラーホルダ１１１を回転軸Ｏｘを中心に回動させるようにしている。
【０００７】
図２６に示す支持装置では、ミラーホルダ１１１側において、隣接する２本のばね１１２の半田付け部ｈの間隙に、これら半田付け部ｈを連結するように紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパＤ１を設け、マグネットホルダ１２０側には、隣接する２本のばね１１２の第２の変形部１１２ｂを挟むように一対の突出部１２１を形成して、これら一対の突出部１２１を連結するように、その間隙に同様に紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパＤ２を設けて、各ばね１１２の両端部の振動に対するダンピング機能を持たせている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００３−４３３８５号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本発明者による実験検討によると、図２６に示した支持装置には、以下に説明するような改良すべき点があることが判明した。すなわち、ダンパＤ１，Ｄ２を形成する場合、紫外線硬化のシリコンゲルは初期状態では流動性のある液体状態にあるため、この液体状態にあるシリコンゲルを、隣接する半田付け部ｈの間隙および一対の突出部１２１の間隙に塗布してから紫外線硬化させることになる。しかも、塗布したシリコンゲルは、紫外線硬化するまで、表面張力によって塗布部に安定に保持する必要がある。
【００１０】
しかし、塗布するシリコンゲルの表面張力および粘度に対して、隣接する半田付け部ｈの間隙や一対の突出部１２１の間隙が広いと、塗布したシリコンゲルが安定に保持されずに流れてしまって、それらの間隙を確実に連結できず、所望のダンピング効果が得られない場合がある。
【００１１】
したがって、かかる点に鑑みてなされた本発明の目的は、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果が確実に得られる光学素子の支持装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する請求項１に係る発明は、少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域に、前記隙間の幅を狭くするように形成した狭幅部位とを有することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光学素子の支持装置において、前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記支持部材、前記保持部、または前記固定部に形成したことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４に係る発明は、請求項１，２または３に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を複数形成したことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記隙間の両側に形成したことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記隙間の両側に互い違いに形成したことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項７に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学素子の支持装置において、前記狭幅部位を、前記ダンピング部材を設ける領域の全長に亘って形成したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項８に係る発明は、少なくとも光学素子を保持する保持部と、この保持部を固定部に対して変位可能に支持する支持部材を有する光学素子の支持装置において、
前記支持部材の前記保持部側近傍または前記固定部側近傍に、少なくとも前記支持部材により画成して該支持部材に沿って形成した隙間と、
前記隙間を連結するように設けたダンピング部材と、
前記ダンピング部材を設ける領域の前記隙間の中間に、前記支持部材に連結して設けた中間部材とを有することを特徴とするものである。
【００２０】
請求項９に係る発明は、請求項８に記載の光学素子の支持装置において、前記隙間を、前記支持部材のみ、前記支持部材と前記保持部、または前記支持部材と前記固定部とによって形成したことを特徴とするものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による光学素子の支持装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２２】
（第１実施の形態）
図１〜図１３は本発明の第１実施の形態としての光偏向装置を示すもので、図１は偏向作用を説明するための図、図２は装置全体を正面側右斜め上方から見た外観斜視図、図３は図２と同一方向側から見た分解斜視図、図４は横断平面図、図５は光偏向器を正面側から見た斜視図、図６は光偏向器を裏面側から見た斜視図、図７は光偏向器の分解斜視図、図８は光偏向器の縦断面図、図９は図７に示すバネの取付態様を説明するための図、図１０は同じくバネの製造方法を説明するための図、図１１は同じくバネの構成を示す図、図１２および図１３は同じくバネの部分詳細図である。
【００２３】
本実施の形態の光偏向装置は、光通信用の光路切り替えに用いるもので、図１に示すように、光学素子である光偏向素子としてのミラー１を、Ｘ軸と平行な回転軸Ｏｘと、Ｘ軸と直交するＹ軸と平行な回転軸Ｏｙとの回りに選択的に駆動して、１本の光ファイバ３からレンズ４を経て平行光で投射される光通信用の入射光５を反射させ、その反射光６を反射光６にほぼ垂直な平面上にＸ軸方向およびＹ軸方向に３×３個並んで配設された合計９個のレンズ７−１〜７−９のうちの一つに選択的に入射させて、対応する９本の光ファイバ８−１〜８−９のうちの１本に集光して入射させるようにしたものである。すなわち、ミラー１を回転軸Ｏｙの回りに傾けることによりミラー１での反射光６を図１の左右方向であるＸ方向に偏向させ、ミラー１を回転軸Ｏｘの回りに傾けることによりミラー１での反射光６を図１の上下方向であるＹ方向に偏向させて、９つのレンズ７−１〜７−９のうちの一つに選択的に入射させて対応する光ファイバ８−１〜８−９のうちの一つに入射させるようにして、入射側の１本の光ファイバ３からの光を出力する光ファイバを、９本の光ファイバ８−１〜８−９から選択する。
【００２４】
本実施の形態の光偏向装置は、図２〜図４に示すように、ミラー１を有する光偏向器１１、ＦＰＣ１２、ハウジング１３、半導体レーザ１４、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１５、１／４波長板１６、集光レンズ１７、半導体位置検出器（ＰＳＤ）１８、スペーサ１９を有している。
【００２５】
偏光器１１は、図５〜図９に詳細に示すように、保持部であるコイルホルダ２１と固定部であるマグネットホルダ２２とを有している。コイルホルダ２１およびマグネットホルダ２２は、非導電性プラスチックである例えばチタン酸ウイスカ入りの液晶ポリマー、またはグラスファイバ入りの液晶ポリマーで成形し、その際に、支持部材である導電性の４本のバネ２３を、それらの可動部側端部をコイルホルダ２１に、固定部側端部をマグネットホルダ２２にインサート成形して両端を保持する。
【００２６】
４本のバネ２３は、例えば図１０および図１１に示すように、厚さ２０μｍのべリリウム銅箔からなるバネシート５０をエッチング加工した後、切り取り部５０ｃで切断して不要な部分を除去してから、表面に金メッキを施して形成する。なお、図１０および図１１は、一枚のバネシート５０の４ヶ所にそれぞれ４本のバネ２３を同時にエッチング加工した場合を示しており、符号５０ａはエッチング加工する際のマスクとのアライメント用開口を示している。
【００２７】
４本のバネ２３は、図９および図１１に詳細に示すように、それらの一端部が回転軸Ｏｙを挟むようにコイルホルダ２１の両側のそれぞれ２箇所に固定され、それらの他端部が回転軸Ｏｘを挟むようにマグネットホルダ２２の両側のそれぞれ２箇所に固定されるように形成する。各バネ２３には、そのコイルホルダ２１側に、回転軸Ｏｙ方向に延在する第１の変形部２３ａ、半田付け部２５、およびコイルホルダ２１の周囲のほぼ１／４の長さに亘って延在する縁取り部２３ｇを形成し、マグネットホルダ２２側には、回転軸Ｏｘ方向に延在する第２の変形部２３ｂ、マグネットホルダ２２の周囲のほぼ１／４の長さに亘って延在する縁取り部２３ｉ、およびマグネットホルダ２２から突出する端子２８を形成する。また、各バネ２３の第１の変形部２３ａと第２の変形部２３ｂとを連結する連結部２３ｃは、コイルホルダ２１の角部を取り囲むように形成する。なお、コイルホルダ２１側には、回転軸Ｏｙを挟むように隣接する２本のバネ２３の一端部を連結する連結辺２３ｅを形成する。
【００２８】
さらに、本実施の形態では、回転軸Ｏｙを挟むように隣接する２本のバネ２３の第１の変形部２３ａを、図１２に詳細に示すように、両者の連結部２３ｃ側の間隔をｌ１、コイルホルダ２１側の間隔をｌ２とするとき、ｌ１＜ｌ２となるように連結部２３ｃ側を狭幅部位として形成する。また、各バネ２３の縁取り部２３ｉには、図１３に詳細に示すように、第２の変形部２３ｂの近傍に連結部２３ｃ側に突出する狭幅部位である突起２３ｔを形成して、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間隔ｌ３を、突起２３ｔを有しない第２の変形部２３ｂの近傍における縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間隔ｌ４よりも小さくする。
【００２９】
上述した４本のバネ２３は、図９に示すように、それらの可動部側端部を、縁取り部２３ｇおよび半田付け部２５がコイルホルダ２１の外周から突出するようにコイルホルダ２１にインサート成形し、それらの固定部側端部を、縁取り部２３ｉがマグネットホルダ２２の内周から突出し、かつ端子２８がマグネットホルダ２２の外周から突出するようにマグネットホルダ２２にインサート成形する。なお、成形の際、コイルホルダ２１側の隣接する２本のバネは連結辺２３ｅで連結してインサート成形し、成形後に連結辺２３ｅを切り落とすことで、２本のバネを切り離す。これによりインサート成形時にバネ２３のコイルホルダ２１側の型への位置決めおよび保持が容易となり、より正確にコイルホルダ２１にインサート成形することができる。
【００３０】
コイルホルダ２１の外周から突出した合計４カ所の半田付け部２５には、後述する第１コイル２６および第２コイル２７の両端の端末を導電性接着剤にて固定し、マグネットホルダ２２の外周から突出した４つの端子２８は、ＦＰＣ１２の半田付け部１２ａに半田付けして、ＦＰＣ１２から給電することにより４本のバネ２３を介して第１，第２コイル２６，２７に給電するようにする。
【００３１】
また、コイルホルダ２１側で隣接する２本の第１の変形部２３ａにより形成される空間には、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにする。同様に、マグネットホルダ２２側で各バネ２３の第２の変形部２３ｂ、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｉで３方を囲まれた空間にも、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにする。
【００３２】
一方、ミラー１は、コイルホルダ２１の表面側中央部の取付部２１ａに外周部を位置決めして周囲を接着して取り付ける。このミラー１の表側の反射面１ａには、光通信用の光の波長、例えば波長１．３μｍ〜１．６μｍの光に対して反射率が高い金または誘電多層膜をコーティングする。
【００３３】
また、コイルホルダ２１の裏面側中央部には取付部２１ｃを形成し、この取付部２１ｃにミラー１の傾きセンサを構成するためのミラー３１を、その周囲を位置決めして接着固定する。
【００３４】
第１コイル２６および第２コイル２７は、コイルホルダ２１の表面側および裏面側において、ミラー１およびミラー３１をそれぞれ取り囲むように、それらの内側をそれぞれ取付部２１ａ，２１ｃに位置決めしてコイルホルダ２１に接着固定する。
【００３５】
図８に詳細に示すように、２枚のミラー１，３１間の空間部分には、例えば厚さ０．１ｍｍのステンレス板を屈曲して形成したアーム３２の中央部を位置させ、このアーム３２の両端部３２ａをミラー３１の外周部を取り囲むように配設してマグネットホルダ２２に接着固定する。アーム３２の中央部には、ミラー１の裏面と例えば０．２ｍｍの隙間をあけて位置するように、中央に穴を有する円錐状の突起３２ｂを形成し、この突起３２ｂとミラー１との間に、例えばセメダイン社のスーパーＸ、スリーボンド社の３１６４、１２２０Ｄなどのシリコンゴム等のダンピング剤を注入し、さらにそのダンピング剤の硬化が必要な場合には硬化させて、略円筒状または略鼓状のピボット３３を形成する。なお、ピボット３３は、その中央部に回転軸Ｏｘ，Ｏｙおよびコイルホルダ２１を有する可動部の重心Ｇが位置するように形成する。
【００３６】
また、光偏向器１１の表面側で、第１コイル２６上には４角枠状のストッパ３５を接着すると共に、４角枠状のマグネットホルダ２２の表面の４隅にはそれぞれボス２２ａを形成してこれらボス２２ａを基準に２つの略Ｔ字状のカバー３６をストッパ３５と当接可能に接着する。これにより、可動部が外部振動等でミラー１の反射面１ａに垂直方向に移動したときに、ストッパ３５とカバー３６の中央部の突起が当接して、可動部の過移動を防止するようにする。
【００３７】
マグネットホルダ２２には、例えば図７に示すように着磁した第１コイル２６用の２つのマグネット４１と第２コイル２７用の２つのマグネット４３とを、それぞれ背面にヨーク４２，４４を接着して取り付ける。
【００３８】
上記構成の光偏向器１１において、コイルホルダ２１、第１コイル２６、第２コイル２７、ミラー１およびミラー３１は可動部を構成し、その可動部の重心Ｇは図８に示すように回転軸Ｏｘ，Ｏｙ上にあり、可動部の慣性主軸Ｓは回転軸Ｏｘと回転軸Ｏｙとに一致させる。また、バネ２３は回転軸Ｏｘ，Ｏｙを含む平面上に一致するように配置すると共に、その第１の変形部２３ａは回転軸Ｏｙにほぼ一致する位置に配置し、第２の変形部２３ｂは回転軸Ｏｘにほぼ一致する位置に配置する。さらに、第１コイル２６は第２コイル２７よりもバネ２３に近い位置に配置し、これによりミラー１を含めた重心位置をバランサ無しで、回転軸Ｏｘ，Ｏｙに一致させるようにする。
【００３９】
この光偏向器１１は、４角枠状のマグネットホルダ２２の裏面側に形成した２本のボス２２ｂを、例えば亜鉛ダイキャストあるいはアルミニウムダイキャストで成形したハウジング１３の取り付け面１３ａに形成した２つの穴に嵌合させて位置決めして接着固定する。
【００４０】
図４に示すように、ハウジング１３には、ミラー３１の傾き角からミラー１の傾き角を検出するために、半導体レーザ１４、ＰＢＳ１５、１／４波長板１６、集光レンズ１７およびＰＳＤ１８を取り付ける。半導体レーザ１４は、ハウジング１３の開口部１３ｂに装着し、ＰＢＳ１５はその一面をハウジング１３の台座に接着し、１／４波長板１６はＰＢＳ１５に接合し、集光レンズ１７はハウジング１３の光偏向器１１の取り付け面１３ａに形成した開口部１３ｃに取り付け、ＰＳＤ１８はハウジング１３に接着する。
【００４１】
半導体レーザ１４はその３本の端子をＦＰＣ１２の半田付け部１２ｂに半田付けし、ＰＳＤ１８もＦＰＣ１２に半田付けする。ＰＳＤ１８は、その受光部１８ａに投射された光の２方向の光量中心位置を電流で出力する２次元位置センサで、例えば浜松ホトニクス（株）のＳ５９９０−０１、Ｓ７８４８−０１等を用いる。
【００４２】
ＦＰＣ１２には、ＰＳＤ１８の出力電流を電圧に変換する回路を搭載すると共に、第１コイル２６及び第２コイル２７のドライブ回路（図示せず）を搭載する。なお、このドライブ回路は、ハウジング１３のＰＢＳ１５の上部に固定されたアルミ製のスペーサ１９にその表面を当接して固定し、これによりスペーサ１９とハウジング１３とをドライブ回路の放熱部材としても作用させる。
【００４３】
かかる構成の光偏向装置において、４本のバネ２３のうちの２本を介して第１コイル２６に電流を流すと、マグネット４１から受ける磁界により可動部には回転軸Ｏｙの回りのトルクが発生し、４本のバネ２３は主に第１の変形部２３ａがねじり変形を受け、ピボット３３はたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｏｙの回りに傾くことになる。
【００４４】
また、４本のバネ２３の他の２本を介して第２コイル２７に電流を流すと、マグネット４３から受ける磁界により可動部には回転軸Ｏｘの回りのトルクが発生し、４本のバネ２３は主に第２の変形部２３ｂがねじり変形を受け、ピボット３３はたわみ変形を受けて、可動部は回転軸Ｏｘの回りに傾くことになる。
【００４５】
一方、図４に示すように、半導体レーザ１４からの光はＰ偏光でＰＢＳ１５に入射し、その偏光面１５ａを透過して１／４波長板１６および集光レンズ１７を経てミラー３１の裏面（反射面）３１ａに入射する。このミラー３１で反射した光は、集光レンズ１７および１／４波長板１６を経てＰＢＳ１５に入射する。ここで、ミラー３１で反射されてＰＢＳ１５に入射する光は、往路および復路で１／４波長板１６を合計２回通ることにより、その偏光面は９０度回転してＳ偏光となるので、ＰＢＳ１５の偏光面１５ａで反射されてＰＳＤ１８の受光面１８ａに入射する。
【００４６】
このＰＳＤ１８の受光面１８ａに入射する光は、第１コイル２６に電流を流してミラー１つまりミラー３１を回転軸Ｏｙの回りに傾けると、受光面１８ａ上で図４のＸ′方向に移動し、第２コイル２７に電流を流してミラー１を回転軸Ｏｘの回りに傾けると、受光面１８ａ上で図４のＹ′方向に移動するので、ＰＳＤ１８の出力に基づいてミラー１の２方向の傾きを検出することができる。
【００４７】
本実施の形態の光偏向装置においては、バネ２３の両端部にダンパ３９を付着させてバネ２３の振動・共振を抑圧している。ここで、コイルホルダ２１側においては、図１２に詳細に示すように、隣接する２本の第１の変形部２３ａの間隔をＬ１，Ｌ２と変えている。したがって、狭い間隔Ｌ１の部分に液体状の紫外線硬化ゲルであるダンパ３９をディスペンサにより塗布すれば、ダンパ３９は表面張力によって狭い間隔Ｌ１の範囲Ｗに集中し、その後、紫外線によって硬化されることになる。
【００４８】
このように、ダンパ３９を塗布する空間において、ダンパ３９を付着させたい部分のみの空間の距離を短く規定すれば、ダンパ３９を所望の部位に容易かつ確実に付着させることができる。
【００４９】
なお、上記の間隔Ｌ１，Ｌ２は、用いるダンピング剤の粘度、チクソ性、欲するダンピング特性等により適宜選定でき、例えばＬ１＝０．１ｍｍ、Ｌ２＝０．１５ｍｍとすることができる。また、ダンピング剤としては、例えば、株式会社ジェルテック社のシリコンゲル、スリーボンド社のＴＢ３１６８，ＴＢ３１６９のシリコンゲル等の紫外線、熱硬化シリコンゲルや、セメダイン社のスーパーＸ、スリーボンド社の３１６４，１２２０Ｄのシリコンゴムや、それ以外のシリコンゲル、アクリルゲル等を用いることができるし、シリコンオイルなどの硬化の不要なダンピング特性を有する材質のものを用いることもできる。すなわち、２つ以上の部位で形成される空間に塗布したとき、その空間に主に表面張力により保持されるダンピング剤であれば何でも適用することができる。
【００５０】
また、マグネットホルダ２２側では、図１３に詳細に示すように、第２の変形部２３ｂ、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｉで３方を囲まれた空間に、紫外線硬化のシリコンゲルであるダンパ３９を塗布して硬化させることにより、該空間を連結してバネ２３のダンピングを取るようにしている。ここで、本実施の形態では、ダンパ３９の塗布部において、縁取り部２３ｉに突起２３ｔを形成して、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間隔ｌ３を、突起２３ｔを有しない第２の変形部２３ｂの近傍における縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間隔ｌ４よりも小さくしている。したがって、塗布するダンパ３９の量を適切に設定することにより、ダンパ３９の端部Ｐの位置を突起２３ｔの位置に容易に合わせることができる。
【００５１】
すなわち、突起２３ｔが無い場合には、ダンパ３９の表面張力によってその端部Ｐが安定せず、硬化前に第２の変形部２３ｂ側に移動してしまうが、突起２３ｔを設ければ、突起２３ｔの近傍で連結部２３ｃとの間隔が極小となるので、ダンパ３９はその表面張力によって端部Ｐが突起２３ｔの位置に安定に維持されることになる。なお、上記の間隔Ｌ３，Ｌ４は、例えばＬ３＝０．１５ｍｍ，Ｌ４＝０．２ｍｍとすることができる。
【００５２】
このように、本実施の形態では、マグネットホルダ２２側においても、ダンパ３９を所望の部位に確実に付着させることができるので、安定したダンピング特性を得ることができると共に、ダンパ３９によるバネ２３の剛性変化量も安定させることができる。また、幅の小さな突起２３ｔを設けて、ダンパ３９を付着させる空間の一部の距離を短くするので、ダンパ３９を付着させる平均距離は大きくでき、ダンパ３９の塗布量を多くできる。したがって、ダンピング効果を高めることができると共に、ダンパ３９によるバネ２３の剛性アップを小さくでき、駆動感度の低下を小さくできる。また、ダンパ３９の塗布量が多少ばらついても、ダンパ３９の端部Ｐの位置は安定するので、作業ばらつきや、塗布量のばらつきの許容範囲を広くでき、作業性および歩留まりを向上することができる。
【００５３】
次に、上記第１実施の形態における変形例について、図１４〜図２１を参照して説明する。
【００５４】
（第１変形例）
図１４は、第１変形例の要部の構成を示すものである。この第１変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに設けた突起２３ｔと対向して、連結部２３ｃにも突起２３ｔを設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９の端部Ｐの位置が、縁取り部２３ｉ側も、連結部２３ｃ側も安定するので、より安定したダンピング特性を得ることができる。
【００５５】
（第２変形例）
図１５は、第２変形例の要部の構成を示すものである。この第２変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、ダンパ３９を塗布する空間の縁取り部２３ｉ側および連結部２３ｃ側のそれぞれ２箇所に突起２３ｔ−１，２３ｔ−２を対向して設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９を保持させる長さＷが長くても、その中間に突起が存在するので、ダンパ３９を安定に保持することができる。
【００５６】
また、ダンパ３９を２度に分けて塗布することもできる。例えば、先ず第２の変形部２３ｂとこれに近い突起２３ｔ−１との間の空間にダンパ３９−１を塗布して必要であれば硬化させ、その後、突起２３ｔ−１と突起２３ｔ−２との間の空間にダンパ３９−２を塗布して必要であれば硬化させる。
【００５７】
このように、ダンパ３９を塗布する空間に突起を設けて間隔が狭くなる複数の部分を形成すれば、ダンパ３９を保持させる長さＷを長くすることができる。なお、複数の突起は縁取り部２３ｉまたは連結部２３ｃの片側でも良いし、突起の個数は空間の長さ、面積に応じて適宜設定すれば良い。
【００５８】
（第３変形例）
図１６は、第３変形例の要部の構成を示すものである。この第３変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、隣接する第２の変形部２３ｂのそれぞれ２箇所に突起２３ｔ−１，２３ｔ−２を対向して設けて、これら間にダンパ３９を充填塗布するようにしたものである。このようにすれば、ダンパ３９を、２本の第２の変形部２３ｂおよび突起２３ｔ−１，２３ｔ−２によって形成される空間に確実に保持することができる。ちなみに、例えば突起２３ｔ−１が無いと、ダンパ３９はマグネットホルダ２２の端面側に吸い取られて第２の変形部２３ｂの途中まで配置することは非常に困難となる。
【００５９】
（第４変形例）
図１７は、第４変形例の要部の構成を示すものである。この第４変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、ダンパ３９を塗布する空間の縁取り部２３ｉ側および連結部２３ｃ側のそれぞれに複数の突起２３ｔを、突出量をオーバーラップさせて互い違いに設けたものである。このようにすれば、ダンパ３９を充填する空間を形成する縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの距離Ｌ４が大きくても、双方から突出した突起２３ｔの間隔Ｌ５を小さくすることができるので、縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの間にダンパ３９を容易かつ確実に保持させることができる。
【００６０】
（第５変形例）
図１８は、第５変形例の要部の構成を示すものである。この第５変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉを露出させることなくマグネットホルダ２２内に完全にインサート成形すると共に、ダンパ３９を塗布する空間のマグネットホルダ２２側および連結部２３ｃ側のそれぞれに狭幅部位である突起２２ｔおよび２３ｔを設けて、これら突起２２ｔ，２３ｔ、マグネットホルダ２２、第２の変形部２３ｂおよび連結部２３ｃによって形成される空間にダンパ３９を保持するようにしたものである。なお、突起２２ｔ，２３ｔは、マグネットホルダ２２と連結部２３ｃとの距離を小さくするためのもので、そのいずれか一方を省略することができると共に、突起に代えて段差等を形成することもできる。また、コイルホルダ２１側においても、コイルホルダ２１および／またはバネ２３に突起を形成して、コイルホルダ２１とバネ２３との間にダンパ３９を充填塗布することもできる。
【００６１】
（第６変形例）
図１９は、第６変形例の要部の構成を示すものである。この第６変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに連結辺２３ｕにより連結して、縁取り部２３ｉと連結部２３ｃとの空間の中間に中間部材２３ｖを配置し、これら縁取り部２３ｉ、連結部２３ｃ、中間部材２３ｖおよび第２の変形部２３ｂを有する空間を連結するようにダンパ３９を塗布したものである。このようにすれば、ダンパ３９を配置する空間の距離が大きくても、中間部材２３ｖにより空間の距離を小さくできるので、空間をつなぐようにダンパ３９を容易に配置することができる。なお、中間部材２３ｖは１つに限らず、空間の距離に応じて複数個設けることもでき、これにより、より広い距離の空間にダンパ３９を安定して保持させることができる。
【００６２】
（第７変形例）
図２０は、第７変形例の要部の構成を示すものである。この第７変形例は、第６変形例において、中間部材２３ｖを縁取り部２３ｉに連結する連結辺２３ｕを、第２の変形部２３ｂにより近い位置に設けたものである。このようにすれば、中間部材２３ｖのマグネットホルダ２２側の固定端と、バネ２３のマグネットホルダ２２側の固定端とが近くなって、中間部材２３ｖはバネ２３と同様に、固定端から離れるにつれて動きが大きくなるので、中間部材２３ｖによるバネ２３の剛性のアップを小さくすることができる。
【００６３】
（第８変形例）
図２１は、第８変形例の要部の構成を示すものである。この第８変形例は、バネ２３のマグネットホルダ２２側において、縁取り部２３ｉに形成する突起２３ｔの幅を大きくすることにより、突起２３ｔの幅だけ連結部２３ｃとの距離を短くして、突起２３ｔと連結部２３ｃとの間の空間にダンパ３９を塗布するようにしたものである。このようにすれば、ダンパ３９の塗布幅を突起２３ｔの幅に容易に一致させることができる。
【００６４】
（第２実施の形態）
図２２および図２３は本発明の第２実施の形態を示すものである。本実施の形態は、光ディスクの記録再生用の光ピックアップに用いる対物レンズ支持装置に適用したもので、図２２は光ピックアップの分解斜視図であり、図２３はバネの構成を示す平面図である。なお、本実施の形態において、第１実施の形態と同一作用をなす素子には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００６５】
図２３に示すように、厚さ１５μｍのステンレスからなるバネシート５０は、液晶ポリマーにより保持部であるレンズホルダ２０１と固定部２０８とにインサート成形されている。バネシート５０には、レンズホルダ２０１および固定部２０８からのバリの発生を防止するため、レンズホルダ２０１および固定部２０８の外周部を取り囲むように延在して縁取り部２３ｇ，２３ｉが形成されている。
【００６６】
図２２に示すように、レンズホルダ２０１および固定部２０８は、それぞれバネシート５０がインサート成形されたほぼ同形状の上側成形体２２０および下側成形体２２１とを有しており、上側成形体２２０のコイルホルダ２０８に形成された開口部２３１に光学素子である対物レンズ２３０が保持されるようになっている。上側成形体２２０および下側成形体２２１は上下に接着固定され、これにより対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、４つのバネ２３を介して固定部２０８に変位可能に支持するようになっている。
【００６７】
レンズホルダ２０１の両側面には、それぞれフォーカスコイル２０２が接着されていると共に、各フォーカスコイル２０２には２つのトラッキングコイル２０３，２０４が接着されている。なお、図２２には、一方の側面のフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４のみを示している。フォーカスコイル２０２には、図示しないベースに固定されたコ字状のヨーク２２４の一方の脚部が侵入し、このヨーク２２４の他方の脚部の内側にはマグネット２２５が接着固定されて、マグネット２２５からフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４に磁界を作用させるようになっており、これによりフォーカスコイル２０２およびトラッキングコイル２０３，２０４に流れる電流との電磁作用によってレンズホルダ２０１を、対物レンズ２３０の光軸方向であるフォーカス方向および図示しない光ディスクのトラックを横切るトラッキング方向に駆動するようになっている。
【００６８】
本実施の形態では、レンズホルダ２０１側において、各バネ２３の連結部２３ｃと縁取り部２３ｇとによって細長い空間を形成すると共に、その細長い空間の一部の距離を短くするように、連結部２３ｃおよび縁取り部２３ｇに突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔからレンズホルダ２０１側の空間にダンパ３９を塗布して硬化させる。
【００６９】
また、固定部２０８側においては、各バネ２３の連結部２３ｃとともに細長い空間を形成するように、縁取り部２３ｉに突起部２２７を形成すると共に、その突起部２２７の先端部およびそれと対応する連結部２３ｃに、細長い空間の距離を短くするように突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔから固定部２０８側の空間に同様にダンパ３９を塗布して硬化させる。なお、図２２では、上側成形体２２０側のバネ２３にのみダンパ３９を示してあり、下側成形体２２１側のバネ２３のダンパは省略してある。
【００７０】
このように、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、ダンパ３９を塗布する空間の距離を短くするように突起２３ｔを設けたので、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７１】
（第３実施の形態）
図２４は本発明の第３実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示すもので、図２４（ａ）は斜視図であり、図２４（ｂ）は平面図である。この対物レンズ支持装置は、対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、板バネ状の平行な２枚のバネ２３により固定部２０８に対して一方向に変位可能に支持するものである。
【００７２】
本実施の形態では、レンズホルダ２０１、２枚のバネ２３および固定部２０８を、エラストマにより一体に成形すると共に、２枚のバネ２３の一部にそれらの間隔が狭くなるように三角錐状の突起２３ｔを対向して形成して、これら突起２３ｔから固定部２０８までの２枚のバネ２３に囲まれた空間にダンパ３９を充填して硬化させる。
【００７３】
このように、ダンパ３９を設ける空間の深さが深い場合であっても、空間の距離を短くするように突起２３ｔを設けることで、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７４】
（第４実施の形態）
図２５は本発明の第４実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示すもので、図２５（ａ）は斜視図であり、図２５（ｂ）は平面図である。この対物レンズ支持装置は、対物レンズ２３０を保持するレンズホルダ２０１を、ワイヤ状の４本の平行なバネ２３により固定部２０８に対して直交する２方向に変位可能に支持するものである。
【００７５】
本実施の形態では、４本のバネ２３の一部に、それぞれ向かい合うように円盤状の突起２３ｔを設けて隣接するバネ２３との間隔を短くし、これら突起２３ｔから固定部２０８までの４本のバネ２３に囲まれた空間にダンパ３９を充填して硬化させる。
【００７６】
このように、４本のバネ２３および固定部２０８により形成される空間においても、４本のバネ２３の距離を短くするように突起２３ｔを設けることにより、ダンパ３９を安定して付着させることができる。
【００７７】
なお、本発明は上記実施の形態および変形例に限定されることなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、上記の説明では、ミラー、対物レンズを変位可能に支持したが、これ以外にプリズム、レンズ、受発光素子等あるいはこれらの複合光学素子を変位可能に支持する場合にも本発明を有効に適用することができる。また、ダンパを塗布する形状についても種々変更可能であり、例えば第２実施の形態に示した対物レンズ支持装置においては、図１９に示したような中間部材を用いる構成や、図２１に示したような幅の広い突起を用いる構成等も適用可能である。また、バネの形状、可動部側の構成、固定部側の構成も、種々変形可能である。
【００７８】
さらに、ダンパは、塗布する際に液体あるいはゲル状等の流動性を有する物質であれば、種々のものを使用でき、同様の効果を得ることができる。また、ダンパを塗布する部位は、少なくとも離間した２つの部位によって形成される空間であれば、本発明を有効に適用することができる。
【００７９】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によると、ダンピング部材を設ける隙間領域に、隙間の幅を狭くするように狭幅部位を形成したので、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果を確実に得ることができる。
【００８０】
また、請求項８に係る発明によると、ダンピング部材を設ける領域の隙間の中間に、支持部材に連結して中間部材を設けたので、隙間が広い場合でも、同様に、ゲル等の流動性のダンピング部材を安定に保持して硬化でき、所望のダンピング効果を確実に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態としての光偏向装置の偏向作用を説明するための図である。
【図２】第１実施の形態の光偏向装置を正面側右斜め上方から見た外観斜視図である。
【図３】同じく、図２と同一方向側から見た分解斜視図である。
【図４】同じく、横断平面図である。
【図５】第１実施の形態の光偏向装置を構成する光偏向器を正面側から見た斜視図である。
【図６】同じく、裏面側から見た斜視図である。
【図７】同じく、分解斜視図である。
【図８】同じく、縦断面図である。
【図９】図７に示すバネの取付態様を説明するための図である。
【図１０】同じく、バネの製造方法を説明するための図である。
【図１１】同じく、バネの構成を示す図である。
【図１２】同じく、バネの部分詳細図である。
【図１３】同じく、バネの部分詳細図である。
【図１４】第１実施の形態の第１変形例の要部の構成を示す図である。
【図１５】同じく、第２変形例の要部の構成を示す図である。
【図１６】同じく、第３変形例の要部の構成を示す図である。
【図１７】同じく、第４変形例の要部の構成を示す図である。
【図１８】同じく、第５変形例の要部の構成を示す図である。
【図１９】同じく、第６変形例の要部の構成を示す図である。
【図２０】同じく、第７変形例の要部の構成を示す図である。
【図２１】同じく、第８変形例の要部の構成を示す図である。
【図２２】本発明の第２実施の形態に係る光ピックアップの分解斜視図である。
【図２３】図２２に示すバネの構成を示す平面図である。
【図２４】本発明の第３実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示す図である。
【図２５】同じく、第４実施の形態に係る対物レンズ支持装置を示す図である。
【図２６】従来の技術を説明するための図である。
【符号の説明】
Ｏｘ，Ｏｙ回転軸
１ミラー
１ａ反射面
３光ファイバ
４レンズ
５入射光
６反射光
７−１〜７−９レンズ
８−１〜８−９光ファイバ
１１光偏向器
１２フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）
１３ハウジング
１４半導体レーザ
１５偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
１６１／４波長板
１７集光レンズ
１８半導体位置検出器（ＰＳＤ）
１９スペーサ
２１コイルホルダ（保持部）
２２マグネットホルダ（固定部）
２２ｔ突起（狭幅部位）
２３バネ
２３ａ第１の変形部
２３ｂ第２の変形部
２３ｃ連結部
２３ｅ連結辺
２３ｇ，２３ｉ縁取り部
２３ｔ，２３ｔ−１，２３ｔ−２突起（狭幅部位）
２３ｕ連結辺
２３ｖ中間部材
２５半田付け部
２６第１コイル
２７第２コイル
２８端子
３１ミラー
３１ａ反射面
３２アーム
３３ピボット
３５ストッパ
３６カバー
３９，３９−１，３９−２ダンパ
４１，４３マグネット
４２，４４ヨーク
５０バネシート
２０１レンズホルダ（保持部）
２０２フォーカスコイル
２０３，２０４トラッキングコイル
２０８固定部
２２０上側成形体
２２１下側成形体
２２４ヨーク
２２５マグネット
２２７突起部
２３０対物レンズ
２３１開口部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an information recording / reproducing apparatus for recording and / or reproducing information on / from an optical recording medium such as a magneto-optical disk drive, a write-once disk drive, a phase change disk drive, a CD-ROM, a DVD, and an optical card. The present invention relates to a device for supporting an optical element such as a galvanometer mirror or an objective lens actuator used in an optical device such as an optical scanner, an optical deflector for optical communication, or the like.
[0002]
[Prior art]
As a supporting device for such an optical element, the present applicant has already proposed a device as shown in FIG. 26 (for example, see Patent Document 1).
[0003]
This support device converts an insulating mirror holder 111 holding a mirror 110 to an insulating magnet holder 120 so as to be rotatable about orthogonal rotation axes Ox and Oy via four conductive springs 112. It is intended to be supported. One end of each of the four springs 112 is insert-molded at two locations on both sides near the rotation axis Ox of the mirror holder 111, and first deformed portions 112a parallel to the rotation axis Ox are formed near their fixed ends. Have been. The other ends of the four springs 112 are insert-molded at two locations on both sides of the magnet holder 120 near the rotation axis Oy, and a second deformable portion 112b near the fixed end thereof is parallel to the rotation axis Oy. Are formed, and a connecting portion 112c that connects the first deformed portion 112a and the second deformed portion 112b of each spring 112 is arranged so as to surround the four corners of the mirror holder 111.
[0004]
In the vicinity of the first deformed portion 112a of each spring 112, a soldered portion h is formed by being connected to the first deformed portion 112a inside the mirror holder 111, and the second deformed portion 112b is formed. Has reached the terminal t through the inside of the magnet holder 120.
[0005]
Although not shown, two rectangular coils are wound around the mirror holder 111, and both ends of these coils are soldered to two different soldering portions h. A pair of magnets are mounted on the magnet holder 120 so as to oppose each other in the directions of the rotation axes Ox and Oy, and the pair of magnets opposing each other in the direction of the rotation axis Ox rotate the rotation axis of one coil of the mirror holder 111. A magnetic field in the same direction is applied to the coil side facing Ox, and a magnetic field in the same direction is applied to the coil side facing the rotation axis Oy of the other coil of the mirror holder 111 by a pair of magnets facing in the rotation axis Oy direction. I try to make it.
[0006]
In this way, by supplying power to one coil of the mirror holder 111 via the two terminals t and the two springs 112, the mirror holder 111 is actuated by a pair of magnets facing in the direction of the rotation axis Ox. Is rotated around the rotation axis Oy, and power is supplied to the other coil of the mirror holder 111 through the other two terminals t and the other two springs 112, so that a pair of coils facing in the rotation axis Oy direction is provided. The mirror holder 111 is rotated about the rotation axis Ox by the electromagnetic action with the magnet.
[0007]
In the support device shown in FIG. 26, on the mirror holder 111 side, a damper D1 made of an ultraviolet-cured silicone gel is connected to a gap between the soldering portions h of two adjacent springs 112 so as to connect the soldering portions h. On the magnet holder 120 side, a pair of protrusions 121 is formed so as to sandwich the second deformed portion 112b of the two adjacent springs 112, and the pair of protrusions 121 are connected so as to connect the pair of protrusions 121. Similarly, a damper D2, which is an ultraviolet-cured silicone gel, is provided in the gap to provide a function of damping vibrations at both ends of each spring 112.
[0008]
[Patent Document 1]
JP 2003-43385 A
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to an experimental study by the inventor, it has been found that the support device shown in FIG. 26 has points to be improved as described below. That is, when the dampers D1 and D2 are formed, since the ultraviolet-cured silicone gel is in a liquid state in a fluid state in the initial state, the silicon gel in the liquid state is separated from the gap between the adjacent soldering portions h and the pair of the pair. After being applied to the gap between the protruding portions 121, ultraviolet curing is performed. Moreover, it is necessary that the applied silicon gel is stably held on the applied portion by surface tension until it is cured by ultraviolet rays.
[0010]
However, if the gap between the adjacent soldering portions h and the gap between the pair of protrusions 121 is large with respect to the surface tension and viscosity of the applied silicon gel, the applied silicon gel flows without being stably held. In some cases, these gaps cannot be reliably connected, and a desired damping effect cannot be obtained.
[0011]
Therefore, an object of the present invention made in view of the above point is to provide an optical element support device that can stably hold and harden a fluid damping member such as a gel and can reliably obtain a desired damping effect. It is in.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1, which achieves the above object, is a supporting device for an optical element, comprising: a holding portion that holds at least an optical element; and a support member that supports the holding portion so as to be displaceable with respect to the fixed portion.
In the vicinity of the holding part side or the fixed part side of the support member, a gap defined along the support member defined by at least the support member,
A damping member provided to connect the gap,
In a region where the damping member is provided, a narrow portion formed so as to reduce the width of the gap is provided.
[0013]
The invention according to claim 2 is the device for supporting an optical element according to claim 1, wherein the gap is formed by the support member alone, the support member and the holding portion, or the support member and the fixing portion. It is characterized by the following.
[0014]
According to a third aspect of the present invention, in the device for supporting an optical element according to the first or second aspect, the narrow portion is formed on the supporting member, the holding portion, or the fixing portion. It is.
[0015]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the optical element support device according to the first, second or third aspect, wherein a plurality of the narrow portions are formed.
[0016]
According to a fifth aspect of the present invention, in the optical device support device according to any one of the first to fourth aspects, the narrow portion is formed on both sides of the gap.
[0017]
The invention according to claim 6 is the device for supporting an optical element according to claim 5, wherein the narrow portions are alternately formed on both sides of the gap.
[0018]
The invention according to claim 7 is the optical device support device according to any one of claims 1 to 4, wherein the narrow portion is formed over the entire length of a region where the damping member is provided. It is assumed that.
[0019]
The invention according to claim 8 is a support device for an optical element, comprising: a holding portion that holds at least an optical element; and a support member that supports the holding portion to be displaceable with respect to the fixed portion.
In the vicinity of the holding part side or the fixed part side of the support member, a gap defined along the support member defined by at least the support member,
A damping member provided to connect the gap,
An intermediate member provided in connection with the support member is provided in the middle of the gap in a region where the damping member is provided.
[0020]
According to a ninth aspect of the present invention, in the optical device supporting apparatus according to the eighth aspect, the gap is formed by only the support member, the support member and the holding portion, or the support member and the fixing portion. It is characterized by the following.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a device for supporting an optical element according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0022]
(1st Embodiment)
FIGS. 1 to 13 show an optical deflecting device as a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a diagram for explaining a deflecting action, and FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view from the same direction as FIG. 2, FIG. 4 is a cross-sectional plan view, FIG. 5 is a perspective view of the optical deflector viewed from the front side, and FIG. FIG. 7 is an exploded perspective view of the optical deflector, FIG. 8 is a longitudinal sectional view of the optical deflector, FIG. 9 is a view for explaining a mounting mode of the spring shown in FIG. 7, and FIG. FIG. 11 is a view for explaining a method of manufacturing the spring, FIG. 11 is a view showing the configuration of the spring, and FIGS. 12 and 13 are partial detailed views of the spring.
[0023]
The optical deflecting device of the present embodiment is used for switching an optical path for optical communication. As shown in FIG. 1, a mirror 1 as an optical deflecting element, which is an optical element, has a rotation axis Ox parallel to the X axis. Is selectively driven around a rotation axis Oy parallel to the Y-axis orthogonal to the X-axis, and the incident light 5 for optical communication projected from one optical fiber 3 through the lens 4 as parallel light. The reflected light 6 is reflected out of a total of nine lenses 7-1 to 7-9 arranged in a 3 × 3 array in the X-axis direction and the Y-axis direction on a plane substantially perpendicular to the reflected light 6. Is selectively incident on one of the optical fibers, and is condensed and incident on one of the corresponding nine optical fibers 8-1 to 8-9. That is, by inclining the mirror 1 around the rotation axis Oy, the reflected light 6 on the mirror 1 is deflected in the X direction, which is the horizontal direction in FIG. 1, and by inclining the mirror 1 around the rotation axis Ox, The reflected light 6 is deflected in the Y direction, which is the vertical direction in FIG. 1, and selectively incident on one of the nine lenses 7-1 to 7-9 to correspond to the corresponding optical fibers 8-1 to 8-8. An optical fiber that outputs light from one optical fiber 3 on the incident side so as to be incident on one of −9 is selected from nine optical fibers 8-1 to 8-9.
[0024]
As shown in FIGS. 2 to 4, the optical deflector of the present embodiment has an optical deflector 11 having a mirror 1, an FPC 12, a housing 13, a semiconductor laser 14, a polarization beam splitter (PBS) 15, and a quarter wavelength. It has a plate 16, a condenser lens 17, a semiconductor position detector (PSD) 18, and a spacer 19.
[0025]
As shown in detail in FIGS. 5 to 9, the polarizer 11 has a coil holder 21 as a holding unit and a magnet holder 22 as a fixing unit. The coil holder 21 and the magnet holder 22 are formed of a non-conductive plastic, for example, a liquid crystal polymer containing titanate whiskers or a liquid crystal polymer containing glass fiber. At this time, four conductive springs serving as support members are used. 23 are formed by insert-molding the movable part side end of the coil holder 21 and the fixed part side end of the magnet holder 22 by insert molding.
[0026]
For example, as shown in FIGS. 10 and 11, the four springs 23 are formed by etching a spring sheet 50 made of beryllium copper foil having a thickness of 20 μm, and then cutting the cut off portion 50c to remove unnecessary portions. Then, the surface is formed by applying gold plating. FIGS. 10 and 11 show a case where four springs 23 are simultaneously etched at four positions on one spring sheet 50, respectively, and reference numeral 50a denotes an opening for alignment with a mask at the time of etching. Is shown.
[0027]
As shown in detail in FIG. 9 and FIG. 11, the four springs 23 are fixed to two places on both sides of the coil holder 21 such that one end thereof sandwiches the rotation axis Oy, and the other end thereof is The magnet holder 22 is formed so as to be fixed to two places on both sides thereof with the rotation axis Ox therebetween. Each spring 23 has a first deformed portion 23 a extending in the direction of the rotation axis Oy, a soldering portion 25, and a length substantially equal to の of the circumference of the coil holder 21 on the coil holder 21 side. An extending rim 23g is formed, and on the magnet holder 22 side, a second deformed portion 23b extending in the direction of the rotation axis Ox extends over substantially one-fourth of the circumference of the magnet holder 22. An edge 23i to be formed and a terminal 28 protruding from the magnet holder 22 are formed. Further, a connecting portion 23c for connecting the first deformed portion 23a and the second deformed portion 23b of each spring 23 is formed so as to surround a corner of the coil holder 21. Note that a connection side 23e that connects one ends of two adjacent springs 23 is formed on the coil holder 21 side so as to sandwich the rotation axis Oy.
[0028]
Further, in the present embodiment, as shown in detail in FIG. 12, the first deformed portion 23a of the two springs 23 adjacent to each other with the rotation axis Oy interposed therebetween is set so that the distance between the two connecting portions 23c is 11 mm. When the interval on the coil holder 21 side is l2, the connecting portion 23c side is formed as a narrow portion so that l1 <l2. As shown in detail in FIG. 13, a projection 23t, which is a narrow portion protruding toward the connecting portion 23c, is formed near the second deformed portion 23b on the rim portion 23i of each spring 23, and The distance l3 between 23t and the connecting part 23c is made smaller than the distance l4 between the edge part 23i and the connecting part 23c in the vicinity of the second deformed part 23b having no projection 23t.
[0029]
As shown in FIG. 9, the four springs 23 are insert-molded into the coil holder 21 such that the edge portions 23 g and the soldering portions 25 protrude from the outer periphery of the coil holder 21. Then, the fixed portion side ends are insert-molded into the magnet holder 22 so that the rim 23i projects from the inner periphery of the magnet holder 22 and the terminal 28 projects from the outer periphery of the magnet holder 22. At the time of molding, two adjacent springs on the side of the coil holder 21 are connected at the connection side 23e and insert-molded, and the two springs are separated by cutting off the connection side 23e after the molding. This facilitates positioning and holding of the spring 23 in the mold on the coil holder 21 side during insert molding, and insert molding on the coil holder 21 can be performed more accurately.
[0030]
Terminals at both ends of a first coil 26 and a second coil 27, which will be described later, are fixed to a total of four soldering portions 25 protruding from the outer periphery of the coil holder 21 with a conductive adhesive. The four protruding terminals 28 are soldered to the soldering portion 12a of the FPC 12 and supplied with power from the FPC 12 to supply power to the first and second coils 26 and 27 via the four springs 23.
[0031]
The space formed by two adjacent first deformed portions 23a on the coil holder 21 side is coated with a damper 39, which is an ultraviolet-curable silicone gel, and cured to connect the spaces. The spring 23 is damped. Similarly, on the magnet holder 22 side, a damper 39, which is a silicone gel of ultraviolet curing, is applied to a space surrounded on three sides by the second deformed portion 23b, the connecting portion 23c, and the edging portion 23i of each spring 23. By curing, the spaces are connected so that the spring 23 is damped.
[0032]
On the other hand, the mirror 1 is mounted on the mounting part 21a at the center part on the front side of the coil holder 21 by positioning the outer peripheral part and bonding the periphery. The reflecting surface 1a on the front side of the mirror 1 is coated with gold or a dielectric multilayer film having a high reflectance with respect to the wavelength of light for optical communication, for example, light having a wavelength of 1.3 μm to 1.6 μm.
[0033]
A mounting portion 21c is formed at the center of the back side of the coil holder 21, and a mirror 31 for forming a tilt sensor of the mirror 1 is positioned and adhesively fixed to the mounting portion 21c.
[0034]
The first coil 26 and the second coil 27 are positioned on the mounting portions 21a and 21c, respectively, so as to surround the mirror 1 and the mirror 31 on the front side and the back side of the coil holder 21, respectively. Adhesively fixed.
[0035]
As shown in detail in FIG. 8, a central portion of an arm 32 formed by bending a stainless steel plate having a thickness of, for example, 0.1 mm is positioned in a space between the two mirrors 1 and 31. Are arranged so as to surround the outer periphery of the mirror 31 and are adhesively fixed to the magnet holder 22. At the center of the arm 32, a conical projection 32b having a hole at the center is formed so as to be spaced from the back surface of the mirror 1 by, for example, 0.2 mm. For example, a damping agent such as silicon rubber such as Super X of Cemedine Co., or 3164 or 1220D of Three Bond Co., Ltd. is injected, and if the damping agent needs to be hardened, it is hardened to obtain a substantially cylindrical or substantially drum-shaped. Is formed. The pivot 33 is formed such that the center of gravity G of the movable part having the rotation axes Ox and Oy and the coil holder 21 is located at the center thereof.
[0036]
A rectangular frame-shaped stopper 35 is adhered on the first coil 26 on the surface side of the optical deflector 11, and bosses 22a are formed at four corners of the surface of the rectangular frame-shaped magnet holder 22, respectively. Then, two substantially T-shaped covers 36 are adhered to the stopper 35 with reference to the bosses 22a. Thus, when the movable portion moves in a direction perpendicular to the reflection surface 1a of the mirror 1 due to external vibration or the like, the stopper 35 and the protrusion at the center of the cover 36 come into contact with each other, so that excessive movement of the movable portion is prevented. I do.
[0037]
For example, two magnets 41 for the first coil 26 and two magnets 43 for the second coil 27, which are magnetized as shown in FIG. And attach it.
[0038]
In the optical deflector 11 having the above-described configuration, the coil holder 21, the first coil 26, the second coil 27, the mirror 1 and the mirror 31 constitute a movable part, and the center of gravity G of the movable part is, as shown in FIG. It is on Ox, Oy, and the main axis of inertia S of the movable part is made to coincide with the rotation axis Ox and the rotation axis Oy. Further, the spring 23 is disposed so as to coincide with a plane including the rotation axes Ox and Oy, the first deformed portion 23a is disposed at a position substantially coincident with the rotation axis Oy, and the second deformed portion 23b is disposed. It is arranged at a position substantially coincident with the rotation axis Ox. Further, the first coil 26 is arranged at a position closer to the spring 23 than the second coil 27, so that the position of the center of gravity including the mirror 1 can be matched with the rotation axes Ox and Oy without a balancer.
[0039]
The optical deflector 11 has two bosses 22b formed on the back side of a rectangular frame-shaped magnet holder 22 and two bosses 22b formed on a mounting surface 13a of a housing 13 formed by, for example, zinc die casting or aluminum die casting. It is fitted into the hole, positioned and adhesively fixed.
[0040]
As shown in FIG. 4, a semiconductor laser 14, a PBS 15, a 波長 wavelength plate 16, a condenser lens 17, and a PSD 18 are attached to the housing 13 in order to detect the tilt angle of the mirror 1 from the tilt angle of the mirror 31. . The semiconductor laser 14 is mounted on the opening 13 b of the housing 13, the PBS 15 has one surface adhered to the pedestal of the housing 13, the 波長 wavelength plate 16 is joined to the PBS 15, and the condensing lens 17 is the light deflector of the housing 13. The PSD 18 is attached to the housing 13 by being attached to an opening 13 c formed in the attachment surface 13 a of the container 11.
[0041]
The semiconductor laser 14 has its three terminals soldered to the soldering portion 12b of the FPC 12, and the PSD 18 is also soldered to the FPC 12. The PSD 18 is a two-dimensional position sensor that outputs, as an electric current, the center of the amount of light in two directions of the light projected on the light receiving unit 18a, and uses, for example, S5990-01, S7848-01, etc. of Hamamatsu Photonics.
[0042]
The FPC 12 has a circuit for converting the output current of the PSD 18 into a voltage, and a drive circuit (not shown) for the first coil 26 and the second coil 27. In this drive circuit, the surface of the drive circuit is brought into contact with and fixed to an aluminum spacer 19 fixed on the PBS 15 of the housing 13, so that the spacer 19 and the housing 13 also act as a heat radiation member of the drive circuit. .
[0043]
In the optical deflecting device having such a configuration, when a current flows through the first coil 26 via two of the four springs 23, a torque around the rotation axis Oy is generated in the movable portion by the magnetic field received from the magnet 41. In the four springs 23, the first deformable portion 23a mainly undergoes torsional deformation, the pivot 33 undergoes flexible deformation, and the movable portion tilts around the rotation axis Oy.
[0044]
Also, when a current flows through the second coil 27 via the other two of the four springs 23, a torque around the rotation axis Ox is generated in the movable portion by the magnetic field received from the magnet 43, and the four springs 23 In 23, the second deformable portion 23b is mainly subjected to torsional deformation, the pivot 33 is subjected to flexural deformation, and the movable portion is inclined around the rotation axis Ox.
[0045]
On the other hand, as shown in FIG. 4, the light from the semiconductor laser 14 is incident on the PBS 15 as P-polarized light, passes through the polarization plane 15a, passes through the quarter-wave plate 16 and the condenser lens 17, and the back surface of the mirror 31 ( (Reflection surface) 31a. The light reflected by the mirror 31 enters the PBS 15 via the condenser lens 17 and the 波長 wavelength plate 16. Here, the light reflected by the mirror 31 and incident on the PBS 15 passes through the quarter-wave plate 16 twice in the forward path and the return path, and its polarization plane is rotated by 90 degrees to become S-polarized light. And is incident on the light receiving surface 18a of the PSD 18.
[0046]
The light incident on the light receiving surface 18a of the PSD 18 moves in the X 'direction of FIG. 4 on the light receiving surface 18a when a current flows through the first coil 26 to tilt the mirror 1, that is, the mirror 31, around the rotation axis Oy. When the mirror 1 is tilted around the rotation axis Ox by passing a current through the second coil 27, the mirror 1 moves on the light receiving surface 18a in the Y 'direction in FIG. Tilt can be detected.
[0047]
In the light deflecting device of the present embodiment, dampers 39 are attached to both ends of the spring 23 to suppress the vibration and resonance of the spring 23. Here, on the coil holder 21 side, as shown in detail in FIG. 12, the distance between two adjacent first deformed portions 23a is changed to L1, L2. Therefore, if the damper 39, which is a liquid ultraviolet curing gel, is applied to the portion at the narrow interval L1 by a dispenser, the damper 39 is concentrated in the range W of the narrow interval L1 by the surface tension, and is thereafter cured by the ultraviolet light. Become.
[0048]
In this way, in the space where the damper 39 is applied, if the distance of the space where only the damper 39 is to be attached is specified to be short, the damper 39 can be easily and reliably attached to a desired portion.
[0049]
The distances L1 and L2 can be appropriately selected depending on the viscosity of the damping agent used, the thixotropic properties, desired damping characteristics, and the like. For example, L1 can be 0.1 mm and L2 can be 0.15 mm. Examples of the damping agent include ultraviolet and thermosetting silicone gels such as silicon gel of Geltech Co., Ltd., and silicon gel of TB3168 and TB3169 of Three Bond Co., and Super X of Cemedine Co., and 3164 and 1220D of Three Bond Co. Silicon rubber, other silicone gel, acrylic gel, or the like can be used, and a material having a damping property that does not need to be cured, such as silicone oil, can also be used. That is, when applied to a space formed by two or more portions, any damping agent can be applied as long as the damping agent is mainly held in the space by surface tension.
[0050]
On the magnet holder 22 side, as shown in detail in FIG. 13, a damper 39 made of ultraviolet-cured silicone gel is provided in a space surrounded on three sides by a second deformed portion 23b, a connecting portion 23c, and a rim portion 23i. Is applied and hardened, thereby connecting the spaces and damping the spring 23. Here, in the present embodiment, in the application portion of the damper 39, the protrusion 23t is formed on the rim portion 23i, and the interval 13 between the protrusion 23t and the connecting portion 23c is set to the second deformed portion 23b having no protrusion 23t. Is smaller than the interval 14 between the rim portion 23i and the connecting portion 23c in the vicinity of. Therefore, by appropriately setting the amount of the damper 39 to be applied, the position of the end P of the damper 39 can be easily adjusted to the position of the projection 23t.
[0051]
That is, when there is no projection 23t, the end P is not stabilized due to the surface tension of the damper 39 and moves to the second deformed portion 23b side before curing. Since the distance between the connecting portion 23c and the connecting portion 23c is minimized near 23t, the end portion P of the damper 39 is stably maintained at the position of the protrusion 23t due to the surface tension. The distances L3 and L4 can be set to, for example, L3 = 0.15 mm and L4 = 0.2 mm.
[0052]
As described above, in the present embodiment, the damper 39 can be securely attached to a desired portion also on the magnet holder 22 side, so that a stable damping characteristic can be obtained and the spring 23 by the damper 39 can be formed. The amount of change in rigidity can also be stabilized. In addition, since the projection 23t having a small width is provided to shorten the distance of a part of the space where the damper 39 is attached, the average distance for attaching the damper 39 can be increased, and the application amount of the damper 39 can be increased. Accordingly, the damping effect can be enhanced, the increase in the rigidity of the spring 23 due to the damper 39 can be reduced, and the reduction in drive sensitivity can be reduced. In addition, even if the application amount of the damper 39 is slightly varied, the position of the end portion P of the damper 39 is stable, so that the work tolerance and the tolerance of the application amount variation can be widened, and the workability and the yield can be improved. it can.
[0053]
Next, a modification of the first embodiment will be described with reference to FIGS.
[0054]
(First Modification)
FIG. 14 shows a configuration of a main part of the first modified example. In the first modified example, on the magnet holder 22 side of the spring 23, a projection 23t is provided also on the connecting portion 23c in opposition to the projection 23t provided on the edge portion 23i. By doing so, the position of the end portion P of the damper 39 is stable both on the rim portion 23i side and on the connecting portion 23c side, so that more stable damping characteristics can be obtained.
[0055]
(Second Modification)
FIG. 15 shows a configuration of a main part of the second modified example. In the second modified example, on the magnet holder 22 side of the spring 23, two projections 23t-1 and 23t-2 are provided opposite to each other on the edge portion 23i side and the connection portion 23c side of the space where the damper 39 is applied. It is a thing. In this way, even if the length W for holding the damper 39 is long, the projection is present in the middle, so that the damper 39 can be stably held.
[0056]
Further, the damper 39 can be applied twice. For example, first, a damper 39-1 is applied to the space between the second deformed portion 23b and the protrusion 23t-1 close thereto, and cured if necessary, and then the protrusion 23t-1 and the protrusion 23t-2 are formed. The damper 39-2 is applied to the space between the two and cured if necessary.
[0057]
As described above, when the projections are provided in the space where the damper 39 is applied to form a plurality of portions with a narrow interval, the length W for holding the damper 39 can be increased. The plurality of protrusions may be on one side of the rim 23i or the connecting portion 23c, and the number of protrusions may be set as appropriate according to the length and area of the space.
[0058]
(Third Modification)
FIG. 16 shows a configuration of a main part of the third modified example. In the third modified example, on the magnet holder 22 side of the spring 23, two protrusions 23t-1 and 23t-2 are provided to oppose each other at two adjacent deformed portions 23b, and a damper 39 is provided between them. It is intended to be filled and applied. In this way, the damper 39 can be reliably held in the space formed by the two second deformed portions 23b and the projections 23t-1 and 23t-2. Incidentally, if there is no protrusion 23t-1, for example, the damper 39 is sucked by the end face side of the magnet holder 22, and it is very difficult to arrange the damper 39 halfway in the second deformed portion 23b.
[0059]
(Fourth modification)
FIG. 17 shows a configuration of a main part of the fourth modified example. In the fourth modification, on the magnet holder 22 side of the spring 23, a plurality of protrusions 23t are alternately formed on the rim portion 23i side and the connection portion 23c side of the space for applying the damper 39 by overlapping the protrusion amounts. It is provided. With this configuration, even if the distance L4 between the rim portion 23i and the connecting portion 23c that form the space for filling the damper 39 is large, the distance L5 between the protrusions 23t protruding from both can be reduced, so that the rim portion is formed. The damper 39 can be easily and reliably held between the connecting portion 23i and the connecting portion 23c.
[0060]
(Fifth Modification)
FIG. 18 shows a configuration of a main part of the fifth modified example. In the fifth modification, the spring 23 is completely insert-molded in the magnet holder 22 without exposing the edge portion 23i on the magnet holder 22 side, and the space for applying the damper 39 to the magnet holder 22 side and the connecting portion. Protrusions 22t and 23t, which are narrow portions, are provided on each side of 23c, and the damper 39 is held in a space formed by the protrusions 22t and 23t, the magnet holder 22, the second deformed portion 23b, and the connecting portion 23c. It was made. The protrusions 22t and 23t are for reducing the distance between the magnet holder 22 and the connecting portion 23c, and any one of them can be omitted, and a step or the like can be formed instead of the protrusion. . Also, on the coil holder 21 side, a protrusion may be formed on the coil holder 21 and / or the spring 23, and the damper 39 may be filled and applied between the coil holder 21 and the spring 23.
[0061]
(Sixth modification)
FIG. 19 shows a configuration of a main part of the sixth modification. In the sixth modification, on the magnet holder 22 side of the spring 23, the intermediate member 23v is connected to the edging portion 23i by a connecting side 23u, and an intermediate member 23v is arranged in the middle of the space between the edging portion 23i and the connecting portion 23c. The damper 39 is applied so as to connect the space having the portion 23i, the connecting portion 23c, the intermediate member 23v, and the second deformed portion 23b. By doing so, even if the distance of the space in which the damper 39 is arranged is large, the distance of the space can be reduced by the intermediate member 23v, so that the damper 39 can be easily arranged to connect the space. The number of intermediate members 23v is not limited to one, and a plurality of intermediate members 23v can be provided according to the distance of the space, whereby the damper 39 can be stably held in a space of a wider distance.
[0062]
(Seventh modification)
FIG. 20 shows a configuration of a main part of the seventh modification. The seventh modification is a modification of the sixth modification, in which a connection side 23u for connecting the intermediate member 23v to the rim 23i is provided at a position closer to the second modification 23b. With this configuration, the fixed end of the intermediate member 23v on the magnet holder 22 side and the fixed end of the spring 23 on the magnet holder 22 side are close to each other, and the intermediate member 23v is separated from the fixed end similarly to the spring 23. Since the movement increases, the increase in the rigidity of the spring 23 due to the intermediate member 23v can be reduced.
[0063]
(Eighth Modification)
FIG. 21 shows a configuration of a main part of the eighth modification. In the eighth modification, on the magnet holder 22 side of the spring 23, by increasing the width of the projection 23t formed on the rim 23i, the distance between the spring 23 and the connecting portion 23c is reduced by the width of the projection 23t. The damper 39 is applied to the space between the connecting portion 23c. By doing so, the application width of the damper 39 can be easily matched with the width of the projection 23t.
[0064]
(2nd Embodiment)
FIG. 22 and FIG. 23 show a second embodiment of the present invention. This embodiment is applied to an objective lens support device used for an optical pickup for recording and reproducing an optical disk. FIG. 22 is an exploded perspective view of the optical pickup, and FIG. 23 is a plan view showing a configuration of a spring. . In this embodiment, elements having the same functions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
[0065]
As shown in FIG. 23, a spring sheet 50 made of stainless steel having a thickness of 15 μm is insert-molded into a lens holder 201 as a holding unit and a fixing unit 208 by a liquid crystal polymer. In order to prevent burrs from being generated from the lens holder 201 and the fixing portion 208, the spring sheet 50 is formed with rim portions 23g and 23i extending so as to surround the outer peripheral portions of the lens holder 201 and the fixing portion 208. .
[0066]
As shown in FIG. 22, the lens holder 201 and the fixing part 208 have an upper molded body 220 and a lower molded body 221 having substantially the same shape in which the spring sheet 50 is insert-molded, respectively. An objective lens 230, which is an optical element, is held in an opening 231 formed in the coil holder 208. The upper molded body 220 and the lower molded body 221 are vertically adhered and fixed, so that the lens holder 201 holding the objective lens 230 is displaceably supported on the fixing part 208 via the four springs 23. I have.
[0067]
Focus coils 202 are bonded to both side surfaces of the lens holder 201, and two tracking coils 203 and 204 are bonded to each focus coil 202. FIG. 22 shows only the focus coil 202 and the tracking coils 203 and 204 on one side. One leg of a U-shaped yoke 224 fixed to a base (not shown) penetrates into the focus coil 202, and a magnet 225 is bonded and fixed inside the other leg of the yoke 224. A magnetic field is applied to the focus coil 202 and the tracking coils 203 and 204 from this, so that the lens holder 201 and the light of the objective lens 230 are moved by the electromagnetic action of the current flowing through the focus coil 202 and the tracking coils 203 and 204. The drive is performed in a focus direction which is an axial direction and a tracking direction which crosses tracks of an optical disc (not shown).
[0068]
In the present embodiment, on the lens holder 201 side, an elongated space is formed by the connecting portion 23c of each spring 23 and the edging portion 23g, and the connecting portion 23c and the connecting portion 23c are formed so as to shorten a part of the elongated space. The protrusions 23t are formed on the rim portion 23g so as to face each other, and a damper 39 is applied to the space on the lens holder 201 side from these protrusions 23t and cured.
[0069]
On the fixing portion 208 side, a protrusion 227 is formed on the rim portion 23i so as to form an elongated space together with the connection portion 23c of each spring 23, and a tip portion of the protrusion 227 and a connection portion corresponding thereto. Protrusions 23t are formed on 23c so as to oppose each other so as to shorten the distance of the elongated space, and dampers 39 are similarly applied from the protrusions 23t to the space on the fixing portion 208 side and cured. In FIG. 22, the damper 39 is shown only in the spring 23 on the upper molded body 220 side, and the damper of the spring 23 on the lower molded body 221 is omitted.
[0070]
As described above, also in the present embodiment, similarly to the first embodiment, the protrusions 23t are provided so as to shorten the distance of the space where the damper 39 is applied, so that the damper 39 can be stably attached. Can be.
[0071]
(Third embodiment)
FIG. 24 shows an objective lens supporting device according to a third embodiment of the present invention. FIG. 24 (a) is a perspective view and FIG. 24 (b) is a plan view. This objective lens support device supports a lens holder 201 holding an objective lens 230 so as to be displaceable in one direction with respect to a fixed portion 208 by two parallel springs 23 in the form of a leaf spring.
[0072]
In the present embodiment, the lens holder 201, the two springs 23, and the fixing portion 208 are integrally formed by an elastomer, and a triangular pyramid is formed on a part of the two springs 23 so that the interval between them is reduced. The protrusions 23t are formed to face each other, and a space surrounded by the two springs 23 from the protrusions 23t to the fixing portion 208 is filled with the damper 39 and cured.
[0073]
As described above, even when the space in which the damper 39 is provided is deep, the damper 39 can be stably adhered by providing the projection 23t so as to shorten the space distance.
[0074]
(Fourth embodiment)
FIG. 25 shows an objective lens supporting device according to a fourth embodiment of the present invention. FIG. 25 (a) is a perspective view, and FIG. 25 (b) is a plan view. This objective lens support device supports a lens holder 201 holding an objective lens 230 so as to be displaceable in two directions orthogonal to a fixed portion 208 by four parallel springs 23 in the form of wires.
[0075]
In the present embodiment, disc-shaped projections 23t are provided on a part of the four springs 23 so as to face each other to shorten the interval between the adjacent springs 23, and four projections 23t from the projections 23t to the fixing portion 208 are formed. The space surrounded by the spring 23 is filled with a damper 39 and hardened.
[0076]
As described above, even in the space formed by the four springs 23 and the fixing portion 208, the protrusions 23t are provided so as to shorten the distance between the four springs 23, so that the damper 39 can be stably attached. it can.
[0077]
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments and modified examples, and various modifications or changes can be made. For example, in the above description, the mirror and the objective lens are supported so as to be displaceable. However, in addition to this, the present invention can be effectively applied to a case where the prism, the lens, the light emitting / receiving element, or the like, or a composite optical element thereof is supported so as to be displaceable. Can be applied. Further, the shape of the application of the damper can be variously changed. For example, in the objective lens support device shown in the second embodiment, the configuration using the intermediate member as shown in FIG. A configuration using such a wide projection is also applicable. Also, the shape of the spring, the configuration on the movable portion side, and the configuration on the fixed portion side can be variously modified.
[0078]
Further, as the damper, various substances can be used as long as the substance has fluidity such as liquid or gel when applied, and the same effect can be obtained. Further, the present invention can be effectively applied as long as the portion to which the damper is applied is a space formed by at least two portions separated from each other.
[0079]
【The invention's effect】
According to the invention according to claim 1, in the gap region where the damping member is provided, the narrow portion is formed so as to reduce the width of the gap, so that the fluid damping member such as gel can be stably held and cured, A desired damping effect can be reliably obtained.
[0080]
According to the invention of claim 8, since the intermediate member is connected to the support member in the middle of the gap in the area where the damping member is provided, even if the gap is wide, the fluidity of the gel or the like is similarly increased. The damping member can be stably held and cured, and a desired damping effect can be reliably obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram for explaining a deflecting operation of an optical deflecting device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an external perspective view of the light deflecting device according to the first embodiment as viewed obliquely from the upper right side on the front side.
FIG. 3 is an exploded perspective view similarly viewed from the same direction side as FIG. 2;
FIG. 4 is also a cross-sectional plan view.
FIG. 5 is a perspective view of an optical deflector constituting the optical deflector of the first embodiment as viewed from the front side.
FIG. 6 is a perspective view similarly viewed from the back side.
FIG. 7 is also an exploded perspective view.
FIG. 8 is also a longitudinal sectional view.
FIG. 9 is a view for explaining a mounting mode of the spring shown in FIG. 7;
FIG. 10 is a view for explaining a method of manufacturing a spring.
FIG. 11 is a view showing a configuration of a spring.
FIG. 12 is a partial detailed view of the spring.
FIG. 13 is a partial detailed view of the spring.
FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a main part of a first modified example of the first embodiment.
FIG. 15 is a diagram showing a configuration of a main part of the second modified example.
FIG. 16 is a diagram showing a configuration of a main part of the third modified example.
FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a main part of a fourth modified example.
FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a main part of a fifth modified example.
FIG. 19 is a diagram showing a configuration of a main part of a sixth modification.
FIG. 20 is a diagram showing a configuration of a main part of a seventh modification.
FIG. 21 is a diagram showing a configuration of a main part of the eighth modification.
FIG. 22 is an exploded perspective view of an optical pickup according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 23 is a plan view showing the configuration of the spring shown in FIG. 22.
FIG. 24 is a view showing an objective lens support device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 25 is a diagram showing an objective lens support device according to a fourth embodiment.
FIG. 26 is a diagram for explaining a conventional technique.
[Explanation of symbols]
Ox, Oy Rotary axis
1 mirror
1a Reflective surface
3 Optical fiber
4 lenses
5 Incident light
6 reflected light
7-1 to 7-9 lens
8-1 to 8-9 Optical fiber
11 Optical deflector
12. Flexible printed circuit board (FPC)
13 Housing
14 Semiconductor laser
15 Polarizing beam splitter (PBS)
16 quarter wave plate
17 Condensing lens
18 Semiconductor Position Detector (PSD)
19 Spacer
21 Coil holder (holding part)
22 Magnet holder (fixed part)
22t protrusion (narrow part)
23 spring
23a 1st deformation part
23b 2nd deformation part
23c connecting part
23e connecting edge
23g, 23i border
23t, 23t-1, 23t-2 Projection (narrow part)
23u connecting edge
23v intermediate member
25 Soldering part
26 1st coil
27 Second coil
28 terminals
31 mirror
31a Reflective surface
32 arms
33 pivot
35 Stopper
36 cover
39, 39-1, 39-2 Damper
41, 43 magnet
42,44 York
50 spring seat
201 Lens holder (holding part)
202 Focus coil
203,204 Tracking coil
208 fixing part
220 Upper molded body
221 Lower molding
224 York
225 magnet
227 Projection
230 Objective lens
231 opening

Claims

At least a holding unit for holding the optical element, and a supporting device for an optical element having a supporting member for supporting the holding unit displaceably with respect to the fixed unit,
In the vicinity of the holding part side or the fixed part side of the support member, a gap defined along the support member defined by at least the support member,
A damping member provided to connect the gap,
A device for supporting an optical element, characterized by having a narrow portion formed to reduce the width of the gap in a region where the damping member is provided.

The optical element supporting device according to claim 1, wherein the gap is formed by only the supporting member, the supporting member and the holding portion, or the supporting member and the fixing portion.

The optical element support device according to claim 1, wherein the narrow portion is formed in the support member, the holding portion, or the fixing portion.

4. The optical element support device according to claim 1, wherein a plurality of the narrow portions are formed.

The optical element supporting device according to claim 1, wherein the narrow portion is formed on both sides of the gap.

The supporting device for an optical element according to claim 5, wherein the narrow portions are formed alternately on both sides of the gap.

The optical element support device according to any one of claims 1 to 4, wherein the narrow portion is formed over an entire length of a region where the damping member is provided.

At least a holding unit for holding the optical element, and a supporting device for an optical element having a supporting member for supporting the holding unit displaceably with respect to the fixed unit,
In the vicinity of the holding part side or the fixed part side of the support member, a gap defined along the support member defined by at least the support member,
A damping member provided to connect the gap,
An optical element support device, comprising: an intermediate member provided in connection with the support member, in the middle of the gap in a region where the damping member is provided.

9. The optical element support device according to claim 8, wherein the gap is formed by only the support member, the support member and the holding portion, or the support member and the fixing portion.