JP2006190482A - Optical path deflection apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical path deflection apparatus in which a center of electromagnetic force generated in a coil of a movable part and a center of a rotation of the movable part are easily aligned with each other to make resonance hardly occur at the time of rotation of the movable part, while thinning of the movable part can be attained. <P>SOLUTION: In the optical path deflection apparatus 15 having the movable part 14 having at least an optical element 4 and a coil 10, a plurality of supporting members 12 supporting the movable part 14 rotatably, a base 13 fixing a part of the supporting member 12, and magnetic circuits 16, 17 fixed at the base 13, the coil 10 is arranged so as to surround an outer periphery of the optical element 4, and a fixing part 12a for the movable part 14 of the supporting member 12 is arranged at an outside plane side of the coil 10. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば、光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、CD−ROM、DVD、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および/または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー等の光学装置に使用する光束の方向を制御する光路偏向装置(ミラー式偏向装置)に関する。   The present invention relates to an information recording / reproducing apparatus for recording and / or reproducing information with respect to an optical recording medium such as a magneto-optical disk drive, a write-once disk drive, a phase change disk drive, a CD-ROM, a DVD, and an optical card. The present invention also relates to an optical path deflecting device (mirror type deflecting device) for controlling the direction of a light beam used in an optical device such as an optical scanner.

光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、CD−ROM、DVD、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および/または再生する情報記録再生装置等の光学装置や、光スキャナー等の光学装置においては、光束を傾けるためにガルバノミラー等の光路偏向装置が使用される。光路偏向装置としては、例えば図10AおよびBにそれぞれ斜視図および断面図で示すようなものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   An optical apparatus such as an information recording / reproducing apparatus for recording and / or reproducing information on an optical recording medium such as a magneto-optical disk drive, a write-once disk drive, a phase change disk drive, a CD-ROM, a DVD, or an optical card; In an optical device such as an optical scanner, an optical path deflecting device such as a galvanometer mirror is used to tilt the light beam. As an optical path deflecting device, for example, those shown in a perspective view and a sectional view in FIGS. 10A and 10B are known (see, for example, Patent Document 1).

図10A,Bに示す光路偏向装置では、可動部110を構成するミラー110aにアクチュエータコイル110bが取り付けられ、ミラー110aの背面に2つのフレキシブル基板120が設けられその一端は固定部Sに支持されている。各フレキシブル基板120は、導電性バネ材料からなる帯状バネ板の表面に被覆材を形成してなるものである。磁気回路を形成するマグネット130は、アクチュエータコイル110bに対向するように固定され矢印d方向に着磁されている。これらマグネット130は電流iとの間の電磁誘導作用により、アクチュエータコイル110bにa,bの矢印方向に電磁力を発生させる。これにより、可動部110は回動する際は水平軸C−Cを軸芯として回動し、ミラー110aを傾かせ光束の方向を制御するようになっている。
特開平6−349093号公報
10A and 10B, the actuator coil 110b is attached to the mirror 110a constituting the movable part 110, the two flexible substrates 120 are provided on the back surface of the mirror 110a, and one end thereof is supported by the fixed part S. Yes. Each flexible substrate 120 is formed by forming a coating material on the surface of a strip-shaped spring plate made of a conductive spring material. The magnet 130 forming the magnetic circuit is fixed so as to face the actuator coil 110b and is magnetized in the direction of the arrow d. These magnets 130 generate an electromagnetic force in the directions of arrows a and b in the actuator coil 110b by an electromagnetic induction effect with the current i. Thereby, when the movable part 110 is rotated, the movable part 110 is rotated about the horizontal axis CC, and the mirror 110a is tilted to control the direction of the light beam.
JP-A-6-349093

しかしながら、上記特許文献1に開示された装置においては、ミラー110aの側面にアクチュエータコイル110bをとりつけ、ミラー110aの背面に可動部110の支持部材であるフレキシブル基板120を固定している。そのため、アクチュエータコイル110bに発生するa,bの矢印方向電磁力の中心Mと、可動部110の支持部材であるフレキシブル基板120(水平軸c−c)とが可動部厚み方向にずれている(図10B)。すると、ずれにより可動部110が回動する際、水平軸c−cの回りに回動するだけでなくその他の方向へも移動する共振が発生しやすいという問題を生じてしまう。また、アクチュエータコイル110bに発生するa,bの矢印方向電磁力の中心Mと、可動部110の支持部材であるフレキシブル基板120とが可動部厚み方向にずれているため、装置構成上可動部が厚くならざるを得ないという問題も生じてしまう。   However, in the apparatus disclosed in Patent Document 1, the actuator coil 110b is attached to the side surface of the mirror 110a, and the flexible substrate 120 that is a support member of the movable portion 110 is fixed to the back surface of the mirror 110a. Therefore, the center M of the electromagnetic force in the direction of arrows a and b generated in the actuator coil 110b and the flexible substrate 120 (horizontal axis cc) which is a support member of the movable portion 110 are shifted in the movable portion thickness direction ( FIG. 10B). Then, when the movable part 110 rotates due to the deviation, there arises a problem that resonance that not only rotates around the horizontal axis cc but also moves in other directions is likely to occur. Further, the center M of the electromagnetic force in the direction of arrows a and b generated in the actuator coil 110b and the flexible substrate 120 which is a support member of the movable part 110 are displaced in the thickness direction of the movable part. The problem that it must be thick also arises.

本発明は、上記の欠点に着目してなされたもので、可動部のコイルに発生する電磁力の中心と可動部回動の中心を一致させ易く、ひいては可動部回動の際に共振が発生しにくい光路偏向装置を提供することを目的とする。さらに、可動部の薄型化を図った光路偏向装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to the above-mentioned drawbacks, and it is easy to make the center of electromagnetic force generated in the coil of the movable part coincide with the center of rotation of the movable part, and as a result, resonance occurs when the movable part rotates. An object of the present invention is to provide an optical path deflecting device that is difficult to perform. It is another object of the present invention to provide an optical path deflecting device in which the movable portion is thinned.

上記目的を達成する請求項1に係る発明は、少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記コイルの外側面側に前記支持部材の前記可動部への固定部を配置したことを特徴とするものである。   The invention according to claim 1, which achieves the above object, includes a movable portion having at least an optical element and a coil, a plurality of support members that rotatably support the movable portion, and a base that fixes a part of the support member. And a magnetic circuit fixed to the base, the coil is disposed so as to surround the outer periphery of the optical element, and the support member is connected to the movable portion on the outer surface side of the coil. The fixing portion is arranged.

請求項2に係る発明は、請求項1に記載の光路偏向装置において、前記支持部材を前記コイルの外側面に直接固定したことを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, in the optical path deflecting device according to the first aspect, the support member is directly fixed to the outer surface of the coil.

請求項3に係る発明は、少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記支持部材の少なくとも一部に二股状の部分を形成し、この二股状の部分で前記コイルを挟むように前記可動部を支持したことを特徴とするものである。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a movable part having at least an optical element and a coil, a plurality of support members for rotatably supporting the movable part, a base for fixing a part of the support member, and the base In the optical path deflecting device having a fixed magnetic circuit, the coil is disposed so as to surround the outer periphery of the optical element, and a bifurcated portion is formed on at least a part of the support member. The movable portion is supported so as to sandwich the coil.

請求項1に係る発明によれば、少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記コイルの外側面側に前記支持部材の前記可動部への固定部を配置したので、可動部の回転軸とコイルに発生する力の中心を容易に一致させることができ共振の少ない良好な応答特性が得られる。   According to the first aspect of the present invention, a movable part having at least an optical element and a coil, a plurality of support members that rotatably support the movable part, a base that fixes a part of the support member, and An optical path deflecting device having a magnetic circuit fixed to a base, wherein the coil is disposed so as to surround an outer periphery of the optical element, and a fixing portion of the support member to the movable portion is provided on an outer surface side of the coil. Since they are arranged, the rotation axis of the movable part and the center of the force generated in the coil can be easily matched, and good response characteristics with little resonance can be obtained.

請求項2に係る発明によれば、請求項1の光路偏向装置において、支持部材を前記コイルの外側面に直接固定したので、支持部材を光学素子の中心部に近づけることができ光路偏向装置を小型にできる。   According to the invention according to claim 2, in the optical path deflecting device according to claim 1, since the support member is directly fixed to the outer surface of the coil, the support member can be brought close to the center of the optical element. Can be small.

請求項3に係る発明によれば、少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、
前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記支持部材の少なくとも一部に二股状の部分を形成し、この二股状の部分で前記コイルを挟むように前記可動部を支持したので、可動部の回転軸とコイルに発生する力の中心を容易に一致させることができ、共振の少ない良好な応答特性が得られる。
According to the invention of claim 3, a movable part having at least an optical element and a coil, a plurality of support members that rotatably support the movable part, a base that fixes a part of the support member, and An optical path deflecting device having a magnetic circuit fixed to a base;
The coil is disposed so as to surround the outer periphery of the optical element, a bifurcated portion is formed on at least a part of the support member, and the movable portion is supported so that the coil is sandwiched by the bifurcated portion. Therefore, the rotation axis of the movable part and the center of the force generated in the coil can be easily matched, and a good response characteristic with little resonance can be obtained.

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳細に説明していく。図1〜図6は、本発明の第1実施の形態を示したもので、光磁気ディスクを記録媒体とする情報記録再生装置の光ピックアップ装置に使用している光路偏向装置に適用した例を示している。図1は光ピックアップ装置の光学素子の配置関係を示した斜視図である。光源であるレーザダイオード1から出射した光は、出射方向に位置するビームスプリッタ2の表面で一部の光が反射され、反射方向に位置するコリメートレンズ3に入射し平行光にされる。その透過光は、光進行方向に位置するミラー(光学素子)4で反射され、さらに反射方向に位置するミラー5で反射され反射方向に位置する対物レンズ6に入射する。対物レンズ6で集光された光は、光磁気ディスク7の記録面8に光スポットを結ぶ。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 6 show a first embodiment of the present invention, which is an example applied to an optical path deflecting device used in an optical pickup device of an information recording / reproducing apparatus using a magneto-optical disk as a recording medium. Show. FIG. 1 is a perspective view showing an arrangement relationship of optical elements of an optical pickup device. A part of the light emitted from the laser diode 1 which is a light source is reflected by the surface of the beam splitter 2 located in the emission direction, and is incident on the collimating lens 3 located in the reflection direction to be collimated. The transmitted light is reflected by the mirror (optical element) 4 positioned in the light traveling direction, and further reflected by the mirror 5 positioned in the reflection direction and enters the objective lens 6 positioned in the reflection direction. The light condensed by the objective lens 6 forms a light spot on the recording surface 8 of the magneto-optical disk 7.

光磁気ディスク7の記録面8で反射した反射光は、対物レンズ6に入射しミラー5、ミラー4、コリメートレンズ3を経て光透過方向に位置するビームスプリッタ2に至る。ビームスプリッタ2を透過した光はフォトディテクター9に入射する。そして、フォトディテクター9の出力により情報再生信号、フォーカシングエラー信号、トラッキングエラー信号を得ることができるようになっている。ミラー4は、図示していない駆動機構により駆動可能なガルバノミラー15(光路偏向装置)の構成部材であり、XYZの座標を図示のように設定する。つまり、ミラー4の反射面4a上にXY平面をとり、XY平面に垂直な方向をZとする。原点はミラー4に入射する光の光軸位置とし、ガルバノミラー15はX軸に平行な軸回りに回転するようになっている。なお、ミラー4は、ガラスの平板ミラーであり、反射面4aは反射コートをされ反射率を高くされている。また、ミラー4に代えミラー5をガルバノミラーとして構成することも可能である。   The reflected light reflected by the recording surface 8 of the magneto-optical disk 7 enters the objective lens 6, passes through the mirror 5, the mirror 4, and the collimator lens 3 and reaches the beam splitter 2 positioned in the light transmission direction. The light transmitted through the beam splitter 2 is incident on the photodetector 9. An information reproduction signal, focusing error signal, and tracking error signal can be obtained from the output of the photodetector 9. The mirror 4 is a constituent member of a galvano mirror 15 (optical path deflecting device) that can be driven by a driving mechanism (not shown), and coordinates of XYZ are set as shown. In other words, the XY plane is taken on the reflection surface 4a of the mirror 4, and the direction perpendicular to the XY plane is Z. The origin is the position of the optical axis of the light incident on the mirror 4, and the galvanometer mirror 15 rotates around an axis parallel to the X axis. The mirror 4 is a flat plate mirror made of glass, and the reflection surface 4a is coated with a reflection to increase the reflectance. Further, it is possible to configure the mirror 5 as a galvano mirror instead of the mirror 4.

前記対物レンズ6と反射ミラー5は一体で、ディスク7の半径方向(矢印W方向)に駆動されるように支持されされている。いわゆる分離光学系である。また図示されていないが、対物レンズ6にはディスク7に対して垂直方向に支持駆動する焦点制御機構が設けられている。さらに、対物レンズ6と反射ミラー5にはこれらを一体でディスク7の半径方向に支持駆動するアクセス制御機構が設けられている。これらの機構については従来より種々提案されている(例えば特開平7−153085号公報参照)ので説明を省略する。   The objective lens 6 and the reflection mirror 5 are integrated and supported so as to be driven in the radial direction (arrow W direction) of the disk 7. This is a so-called separation optical system. Although not shown, the objective lens 6 is provided with a focus control mechanism that supports and drives the objective lens 7 in a direction perpendicular to the disk 7. Further, the objective lens 6 and the reflection mirror 5 are provided with an access control mechanism that integrally supports and drives them in the radial direction of the disk 7. Since various mechanisms have been proposed in the past (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 7-153085), description thereof is omitted.

図2はガルバノミラー15の詳細を示した斜視図であり、図3はマグネットを除いたガルバノミラー15の構成部材の分解斜視図である。ホルダー11はLCP,PPS,PEI,PC等の非導電性プラスチックで成形されており、略四角な枠状の形状をしている。このホルダー11に支持されるミラー4はホルダー11の上面11aにミラー外周の4面を基準にして接着固定される。このミラー4の外周を取り囲むような位置に、4角に巻回されたコイル10がホルダー11の立ち上がり部11eに接着固定される。したがって、ミラー4とコイル10は直接接触しないで、間にホルダー11の立ち上がり部11eを介して位置するようになっている。   FIG. 2 is a perspective view showing details of the galvanometer mirror 15, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the constituent members of the galvanometer mirror 15 excluding the magnet. The holder 11 is formed of non-conductive plastic such as LCP, PPS, PEI, or PC, and has a substantially square frame shape. The mirror 4 supported by the holder 11 is bonded and fixed to the upper surface 11a of the holder 11 with reference to the four surfaces on the outer periphery of the mirror. A coil 10 wound in four corners is bonded and fixed to the rising portion 11 e of the holder 11 at a position surrounding the outer periphery of the mirror 4. Therefore, the mirror 4 and the coil 10 are not in direct contact with each other, and are positioned via the rising portion 11e of the holder 11.

前記ミラー4、コイル10を有する可動部14を回転可能に支持する支持部材である2枚のバネ12(12−1,12−2)は、ベリリウム銅の厚さ0.05mmの薄板をエッチング加工して形成されている。バネ両端には、固定部12a,12bが形成され、その間はバネ部12eで連結されている。このバネ部12eにはY方向から見ると、中央部が略U字状のU字状部12e−1と、その両端にX軸に平行な平行部12e−2が形成されている。なお、バネ部12eの幅は0.1mm程度としてある。また、バネ部12eの表面には硬化したシリコーンゲルを付着させバネ部12eの振動を抑制している。   The two springs 12 (12-1, 12-2), which are support members that rotatably support the movable portion 14 having the mirror 4 and the coil 10, are formed by etching a thin plate of 0.05 mm beryllium copper. Is formed. Fixing portions 12a and 12b are formed at both ends of the spring, and the space between them is connected by a spring portion 12e. When viewed from the Y direction, the spring portion 12e is formed with a U-shaped portion 12e-1 having a substantially U-shaped central portion and parallel portions 12e-2 parallel to the X axis at both ends thereof. The width of the spring portion 12e is about 0.1 mm. Further, a hardened silicone gel is attached to the surface of the spring portion 12e to suppress vibration of the spring portion 12e.

バネ12と可動部14との連結は、バネ12の固定部12aに形成された孔12cに、ホルダー11のX方向両側に立ち上げ形成された固定部11bに形成されたボス11cを嵌合させて位置決めし接着固定して行う。一方、バネ12と後述するベース13との連結は、バネ12の他方の固定部12bに形成された孔12dに、ベース13のX方向両端に立ち上げ形成された固定部13bに形成されたボス13cを嵌合させて位置決めし接着固定して行う。なお、バネ12はその厚み方向をミラー4の反射面4aと平行方向とし、バネ12の面をXZ面と平行になるように構成してある。また、2枚のバネ12−1と12−2のそれぞれのバネ部12eは、回転軸である軸Cに対して垂直な平面であるYZ面に対して対称に配置されている。   The spring 12 and the movable portion 14 are connected by fitting the boss 11c formed on the fixed portion 11b formed upright on both sides in the X direction of the holder 11 into the hole 12c formed in the fixed portion 12a of the spring 12. Positioning, bonding and fixing. On the other hand, the spring 12 and the base 13 to be described later are connected to a boss formed on the fixing portion 13b formed at both ends in the X direction of the base 13 in a hole 12d formed on the other fixing portion 12b of the spring 12. 13c is fitted, positioned, and bonded and fixed. The spring 12 is configured such that its thickness direction is parallel to the reflecting surface 4a of the mirror 4, and the surface of the spring 12 is parallel to the XZ plane. Further, the spring portions 12e of the two springs 12-1 and 12-2 are arranged symmetrically with respect to the YZ plane that is a plane perpendicular to the axis C that is the rotation axis.

ベース13は、LCP,PPS,PEI,PC等の非導電性プラスチックで形成されているが、温度による膨張率を同じにしバネ11の変形を防ぐためには前記ホルダー11とベース13は同じ材質、同程度の線膨張率を有する材質であることが望ましい。ベース13の中央部には組み立て用の孔13dが形成されており、Y方向両端に取り付け部13aが形成され、この取り付け部13aには、背面にヨーク17を固定されたマグネット16が接着固定される。2つのマグネット16は、図2に示すように異極が向かい合う様に着磁されて、両マグネット16はコイル10のY方向側の辺10aに向かい合うように位置している。   The base 13 is made of non-conductive plastic such as LCP, PPS, PEI, PC, etc., but the holder 11 and the base 13 are made of the same material and the same in order to make the expansion coefficient with temperature the same and prevent the spring 11 from being deformed. A material having a degree of linear expansion is desirable. An assembly hole 13d is formed at the center of the base 13, and attachment portions 13a are formed at both ends in the Y direction. A magnet 16 having a yoke 17 fixed to the back surface is fixedly bonded to the attachment portion 13a. The As shown in FIG. 2, the two magnets 16 are magnetized so that the opposite poles face each other, and both the magnets 16 are positioned so as to face the side 10 a on the Y direction side of the coil 10.

以上のミラー4、コイル10、ホルダー11、バネ12の固定部12aで可動部14が構成される。そして、2つのバネ12のX軸に平行な4箇所の部分12e−2は、可動部14が回転するときの軸C上に並んでいる。また、Y方向から見て軸C上に可動部14の重心Gが位置し、可動部14の慣性主軸が軸Cに一致するように構成してある。したがって、可動部14は軸Cに関して、静バランスと動バランスがとれるようになっている。さらに、コイル10の力が発生する2辺10a,10aの中心が軸Cの上にあり、2辺10aの中心とマグネット16の中心が一致している。つまり、2辺10aに発生する回転トルクの中心は軸Cの上にあり、軸Cに対して駆動バランスがとれるようになっている。   The movable part 14 is constituted by the mirror 4, the coil 10, the holder 11, and the fixed part 12 a of the spring 12. The four portions 12e-2 parallel to the X axis of the two springs 12 are arranged on the axis C when the movable portion 14 rotates. Further, the center of gravity G of the movable portion 14 is located on the axis C as viewed from the Y direction, and the inertia main axis of the movable portion 14 is configured to coincide with the axis C. Therefore, the movable portion 14 is configured so as to achieve a static balance and a dynamic balance with respect to the axis C. Further, the centers of the two sides 10a and 10a where the force of the coil 10 is generated are on the axis C, and the center of the two sides 10a and the center of the magnet 16 coincide. That is, the center of the rotational torque generated on the two sides 10a is on the axis C, and the driving balance with respect to the axis C can be achieved.

ここで、図4、図5に参照してバネ12の組立について説明する。先ず、バネ12の固定部12a,12bをホルダー11とベース13に固定するには、図5に示すような組立ジグを用いる。組立ジグは、固定ピン21の先端面21aに第1の段差部21bが形成され、この第1の段差部21bの先端面21cに第2の段差部21dが形成され、3段の段差がつけられている。そこで、図4に示すように固定ピン21の先端面21aにベース13の底面を当てつけ、段差部21bをベースの孔13dに嵌合させ、固定ピン21に対してベース13を位置決めする。この場合、図示しないピンによりベース13が固定ピン21に押圧される。   Here, the assembly of the spring 12 will be described with reference to FIGS. First, in order to fix the fixing portions 12a and 12b of the spring 12 to the holder 11 and the base 13, an assembly jig as shown in FIG. 5 is used. In the assembly jig, a first step portion 21b is formed on the tip surface 21a of the fixing pin 21, and a second step portion 21d is formed on the tip surface 21c of the first step portion 21b. It has been. Therefore, as shown in FIG. 4, the bottom surface of the base 13 is brought into contact with the front end surface 21 a of the fixing pin 21, the stepped portion 21 b is fitted into the hole 13 d of the base, and the base 13 is positioned with respect to the fixing pin 21. In this case, the base 13 is pressed against the fixing pin 21 by a pin (not shown).

次に、ミラー4をホルダー11に接着固定したものを、ピン21の第2の段差部21dにミラー4の背面を当てつけ、先端面21cをホルダー11の孔11dに嵌合させることにより、固定ピン21に対してホルダー11とミラー4を位置決めする。この場合、ミラー4の反射面4aは、ピン22により固定ピン21側に押される。なお、ピン22の先端は凹形成されており、ミラー4の反射面4aの光束が当たる有効部にピン22の先端が当たり汚れることを防止している。こうして、ベース13とホルダー11、ミラー4との相対位置が決まる。この状態でバネ12の固定部12aをホルダー11の固定部11b(図4では見えない)に、バネ12の固定部12bをベース13の固定部13b(図4では見えない)に、それぞれの孔をボスに嵌合させ接着固定する。その後、コイル10の2本の端末を前記2つの固定部12aに1本ずつ半田付けし、ピン22を外し固定ピン21からベース13とホルダー11を外すと、ガルバノミラー15が構成される。   Next, by fixing the mirror 4 to the holder 11, the back surface of the mirror 4 is brought into contact with the second step portion 21 d of the pin 21, and the tip surface 21 c is fitted into the hole 11 d of the holder 11, thereby fixing pin The holder 11 and the mirror 4 are positioned with respect to 21. In this case, the reflection surface 4 a of the mirror 4 is pushed toward the fixed pin 21 by the pin 22. Note that the tip of the pin 22 is formed in a concave shape to prevent the tip of the pin 22 from getting in contact with the effective portion where the light beam of the reflecting surface 4a of the mirror 4 hits and becoming dirty. Thus, the relative positions of the base 13, the holder 11, and the mirror 4 are determined. In this state, the fixing portion 12a of the spring 12 is used as a fixing portion 11b (not visible in FIG. 4) of the holder 11, and the fixing portion 12b of the spring 12 is used as a fixing portion 13b (not visible in FIG. 4) of the base 13. Is fitted to the boss and fixed. Thereafter, the two terminals of the coil 10 are soldered to the two fixing portions 12a one by one, the pin 22 is removed, and the base 13 and the holder 11 are removed from the fixing pin 21, whereby the galvanometer mirror 15 is configured.

このように可動部14をベース13に組み付けるとき、ミラー4を位置決めに使用したのでベース13に対するミラー4の位置と傾きの精度が良い。なお、ミラー4の反射面4aを前記実施例とは反対側の面とし、ベース13の孔13dから光束をミラー4に入射するように構成することもできる。この場合、図5の組立ジグを用いると、ベース13とミラー4の反射面の位置と傾きの精度がさらに向上する。また、ベース13に孔13dをあけて可動部14を位置決めするピン21bを通すようにしたので、固定ピン21のスペースが小さくバネ12の取り付け作業が容易になる。さらに、1本の固定ピン21でベース13と可動部14を位置決めするのでベースと可動部の位置精度を容易に出せる。   Thus, when the movable part 14 is assembled to the base 13, since the mirror 4 is used for positioning, the accuracy of the position and inclination of the mirror 4 with respect to the base 13 is good. The reflecting surface 4a of the mirror 4 may be a surface opposite to the above-described embodiment, and the light beam may be incident on the mirror 4 through the hole 13d of the base 13. In this case, if the assembly jig of FIG. 5 is used, the accuracy of the position and inclination of the reflecting surfaces of the base 13 and the mirror 4 is further improved. Further, since the hole 13d is formed in the base 13 and the pin 21b for positioning the movable portion 14 is passed through, the space for the fixed pin 21 is small and the work for attaching the spring 12 is facilitated. Furthermore, since the base 13 and the movable part 14 are positioned by the single fixed pin 21, the positional accuracy of the base and the movable part can be easily obtained.

次に、図6を参照して、本実施の形態のガルバノミラー15の作用を説明する。ガルバノミラー15の外部の駆動回路から支持部材である2つのバネ12を介してコイル10に電流を供給する。コイル10に電流を流すと、マグネット16に向かい合ったコイル10の2辺10aにZ方向で逆向きの力が発生し、可動部14を軸C回りに回転させる。そのときの回転軸である軸Cは、ほぼX軸と平行である。こうしてガルバノミラー15によりミラー4がX軸に平行な軸C回りに回転すると、ミラー4の反射光が傾き対物レンズ6に入射する光も傾く。すると、ディスク7上の光スポットがディスク7の記録面8上に形成された記録トラックに対してディスク7の半径方向(W方向)に移動し、トラッキング動作を行える(図1)。   Next, the operation of the galvanometer mirror 15 of the present embodiment will be described with reference to FIG. A current is supplied to the coil 10 from the drive circuit outside the galvanometer mirror 15 through the two springs 12 as support members. When an electric current is passed through the coil 10, forces opposite to each other in the Z direction are generated on the two sides 10 a of the coil 10 facing the magnet 16, and the movable portion 14 is rotated about the axis C. The axis C which is the rotation axis at that time is substantially parallel to the X axis. Thus, when the mirror 4 is rotated around the axis C parallel to the X axis by the galvanometer mirror 15, the reflected light of the mirror 4 is tilted and the light incident on the objective lens 6 is also tilted. Then, the light spot on the disk 7 moves in the radial direction (W direction) of the disk 7 with respect to the recording track formed on the recording surface 8 of the disk 7, and a tracking operation can be performed (FIG. 1).

また、前記のように可動部14は軸Cに対して、軸Cの回りの静バランスと動バランスがとれるように構成されている。またコイル10の力が発生する2辺10aの中心が、軸Cの上にある。つまり、2辺10aに発生する回転トルクの中心は軸Cの上にあり、軸Cに関して駆動バランスがとれている。   Further, as described above, the movable portion 14 is configured so that a static balance and a dynamic balance around the axis C can be obtained with respect to the axis C. The center of the two sides 10a where the force of the coil 10 is generated is on the axis C. That is, the center of the rotational torque generated on the two sides 10a is on the axis C, and the drive balance is achieved with respect to the axis C.

以上のごとく、第1実施の形態によれば下記のような効果を有する。支持部材であるバネ12の可動部14への固定部をコイル10の外側面側に配置したので、支持部材の回転中心軸Cとコイル10に発生する力の中心を容易に一致させることができ、共振の少ない良好な応答特性が得られる。そのため、可動部14を回転したときに回転軸が軸Cとずれたり、傾いたりすることを防止でき良好な駆動特性が得られる。さらに、可動部14が軸Cの回りに回転する振動モード以外の振動モード例えば、可動部14がZ方向に移動する振動モード等が生じにくくなる。   As described above, the first embodiment has the following effects. Since the fixed portion of the spring 12 that is the support member to the movable portion 14 is arranged on the outer surface side of the coil 10, the center of rotation C of the support member and the center of the force generated in the coil 10 can be easily matched. Good response characteristics with little resonance can be obtained. Therefore, when the movable part 14 is rotated, it is possible to prevent the rotation axis from being shifted from the axis C or to be inclined, and good driving characteristics can be obtained. Furthermore, vibration modes other than the vibration mode in which the movable portion 14 rotates about the axis C, such as a vibration mode in which the movable portion 14 moves in the Z direction, are less likely to occur.

また、ミラー4とコイル10は直接接触しないで、その間にホルダー11の一部が位置するようになっているため、ホルダー11が断熱材となりコイル10に電流を流したときの発熱がミラー4に伝わりにくくなる。したがって、ミラー4がコイル10の熱により変形して対物レンズ6の光スポットの収差が大きくなるのを防止できる。また、ミラー4の周囲をコイル10が囲むように配置したので、コイル10がミラー4を補強するような構成となり、可動部14の剛性が高くなる。また、可動部14の外形を小さくできる。   Further, since the mirror 4 and the coil 10 are not in direct contact with each other, and a part of the holder 11 is positioned between them, the heat generated when the holder 11 becomes a heat insulating material and an electric current is passed through the coil 10 is applied to the mirror 4. It becomes difficult to be transmitted. Therefore, it is possible to prevent the mirror 4 from being deformed by the heat of the coil 10 and increasing the aberration of the light spot of the objective lens 6. Further, since the coil 10 is disposed so as to surround the mirror 4, the coil 10 reinforces the mirror 4, and the rigidity of the movable portion 14 is increased. Moreover, the external shape of the movable part 14 can be made small.

次に、本発明の第2実施の形態を図7、図8に基づき説明する。これは、第1実施の形態の変形例であり、同機能部位には同付番とし説明部以外は全て第1実施の形態と同様である。本実施の形態は、ミラー4を支持するホルダーを無くし、ミラー4に直接コイル10を接着固定してある。この場合、ミラー4のY方向側面とコイル10の間隔を0.1mmと小さくし、この間に接着剤8(図示していない)を充填して接着する。すると、コイル10からミラー4への熱はその間の接着剤により伝達しにくくなる。また、ミラー4とコイル10のX方向の間隔は0.5mm程度あける。これは、コイル10の4角は完全に直角に曲げられず、R0.5程度のRが必要なためである。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. This is a modification of the first embodiment, and the same functional parts are assigned the same numbers, and are the same as those of the first embodiment except for the explanation. In the present embodiment, the holder for supporting the mirror 4 is eliminated, and the coil 10 is directly bonded and fixed to the mirror 4. In this case, the distance between the side surface of the mirror 4 in the Y direction and the coil 10 is made as small as 0.1 mm, and an adhesive 8 (not shown) is filled and bonded between them. Then, the heat from the coil 10 to the mirror 4 becomes difficult to be transmitted by the adhesive therebetween. The interval between the mirror 4 and the coil 10 in the X direction is about 0.5 mm. This is because the four corners of the coil 10 are not completely bent at a right angle and R of about R0.5 is required.

また、図8Aに示すようにバネ12は略Y字状にしてあり、ベース13への固定部12bから軸Cに沿った直線上のバネ部12e−1と、そこから延在する二股状のバネ部12e−2が形成され、このバネ部12e−2の先端の2カ所にはL字状に曲げられた固定部12aが形成され、固定部12aをミラー4のX方向側面に接着固定する。コイル10のX方向の辺は、二股状のバネ部12e−2の間の空間に位置し、二股状のバネ部12e−2がコイル10の幅(Z方向)を挟むように構成されている。   Further, as shown in FIG. 8A, the spring 12 is substantially Y-shaped, and a spring portion 12e-1 on a straight line from the fixing portion 12b to the base 13 along the axis C and a bifurcated shape extending from the spring portion 12e-1. A spring portion 12e-2 is formed, and fixing portions 12a bent in an L shape are formed at two positions at the tip of the spring portion 12e-2, and the fixing portion 12a is bonded and fixed to the side surface of the mirror 4 in the X direction. . The side of the coil 10 in the X direction is positioned in a space between the bifurcated spring portion 12e-2, and the bifurcated spring portion 12e-2 is configured to sandwich the width (Z direction) of the coil 10. .

図8Bは、図8Aの場合の変形例を示したもので、直線上のバネ部12e−1を設けず二股状のバネ部12e−2のみを形成したものである。この場合、図8Aにおいてはバネ部12e−1とバネ部12e−2が変形するが、図8Bではバネ部12e−2のみが変形する。図8Aの場合も、バネ部12e−2の剛性を高くしバネ部12e−1のみが変形するように構成することもできる。なお、コイル10はミラー4に直巻きにしてもよい。他の構成については、第1実施の形態と同様である。   FIG. 8B shows a modification of the case of FIG. 8A, in which only the bifurcated spring part 12e-2 is formed without providing the linear spring part 12e-1. In this case, the spring portion 12e-1 and the spring portion 12e-2 are deformed in FIG. 8A, but only the spring portion 12e-2 is deformed in FIG. 8B. In the case of FIG. 8A as well, it is possible to increase the rigidity of the spring portion 12e-2 so that only the spring portion 12e-1 is deformed. The coil 10 may be wound directly around the mirror 4. About another structure, it is the same as that of 1st Embodiment.

第2実施の形態は前記のように、バネ部(支持部材)12をコイル10を挟むように構成したので、コイル10とバネ部12が干渉せず、コイル10とバネ部12の中心を容易に一致させることができる。そのため、バネ部12の回転中心軸とコイル10に発生する力の中心を容易に一致させることができ、共振の少ない良好な応答特性が得られる。   In the second embodiment, as described above, the spring portion (support member) 12 is configured so as to sandwich the coil 10, so that the coil 10 and the spring portion 12 do not interfere with each other, and the center of the coil 10 and the spring portion 12 is easy. Can match. Therefore, the rotation center axis of the spring portion 12 and the center of the force generated in the coil 10 can be easily matched, and a good response characteristic with little resonance can be obtained.

また、バネ部12はコイル10を挟むようにミラー4に直接固着したので、バネ部12をその分ミラー4の中心部に近づけることができ、可動部14、ひいてはガルバノミラー15を小型にできる。さらに、ホルダーを介在させず、ミラー4にコイル10とバネ部12を直接固定したので部品点数が少なくなり、可動部14の軽量化、小型化を図れる。   Further, since the spring portion 12 is directly fixed to the mirror 4 so as to sandwich the coil 10, the spring portion 12 can be brought closer to the center portion of the mirror 4 and the movable portion 14, and thus the galvano mirror 15 can be made smaller. Furthermore, since the coil 10 and the spring portion 12 are directly fixed to the mirror 4 without interposing a holder, the number of parts is reduced, and the movable portion 14 can be reduced in weight and size.

また、ミラー4とコイル10の間を0.1mm程度あけそこに接着剤を充填したので、ホルダーがなくてもコイル10からミラー4へ伝導される熱が少なくなりミラー4の熱変形を少なくできる。この間隔をもっと大きくすればミラー4に伝わる熱をより少なくできることはいうまでもない。他の効果については、上記第1実施の形態と同様である。   Further, since the gap between the mirror 4 and the coil 10 is about 0.1 mm and the adhesive is filled therewith, even if there is no holder, the heat conducted from the coil 10 to the mirror 4 is reduced and the thermal deformation of the mirror 4 can be reduced. . Needless to say, the heat transmitted to the mirror 4 can be reduced by increasing the distance. Other effects are the same as those in the first embodiment.

図9は、本発明の第3実施の形態を示したもので、これも第1実施の形態の変形例である。第1実施の形態と同機能部位には同付番とし説明部以外は、全て第1実施の形態と同様である。本実施の形態においては、バネ部12eを直線状に形成し固定部12aを直接コイル10の表面に接着固定している。また、ミラー4とコイル10のX方向、Y方向の間隔は0.1mm程度あけるとともに、ミラー4の4角にC0.5程度の面取りをして、コイル10の4角のR部内側と接触しないようにしてある。   FIG. 9 shows a third embodiment of the present invention, which is also a modification of the first embodiment. The same functional parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and are the same as those in the first embodiment except for the explanation part. In the present embodiment, the spring portion 12 e is formed in a straight line, and the fixing portion 12 a is directly bonded and fixed to the surface of the coil 10. Further, the distance between the mirror 4 and the coil 10 in the X direction and the Y direction is about 0.1 mm, and the four corners of the mirror 4 are chamfered about C0.5 so as to contact the inside of the four corners of the coil 10. I'm not going to do that.

第3実施の形態は前記のように、バネ部12をコイル10に直接固定したので、コイル10とバネ部12の間のホルダー等の部材が不要で、バネ部12のベース13への固定位置をミラーの中心よりに近づけられる。そのため、ガルバノミラー15の小型化を図れる。他の効果については、上記第1実施の形態と同様である。   In the third embodiment, since the spring portion 12 is directly fixed to the coil 10 as described above, a member such as a holder between the coil 10 and the spring portion 12 is unnecessary, and the fixing position of the spring portion 12 to the base 13 is not required. Can be brought closer to the center of the mirror. Therefore, the galvanometer mirror 15 can be reduced in size. Other effects are the same as those in the first embodiment.

本発明は、以上の実施の形態限定されるものではなく、各種の変形、変更が可能である。例えば、以上の実施の形態においては光学素子として平板状のミラーを用いたが、凹面ミラー、ホログラム、プリズム等、他の光学素子を回転、傾き駆動する装置に適用してもよい。また、駆動する光学素子は1つに限らず、複数でもよい。また、ミラー4とホルダー11は、プラスチック、ガラス等で一体成形されていてもよい。こうすると部品点数が少なくなり、組み立ての際の位置精度が向上する。 また、ミラー5をガルバノミラーとして構成してもよい。また、支持部材の形状、材質に特に限定はなく、例えば形状は断面円形でも板状でもよい。材質は金属製、樹脂製等適宜選択使用すればよい。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and changes can be made. For example, in the above embodiment, a flat mirror is used as the optical element. However, the present invention may be applied to a device that rotates and tilts other optical elements such as a concave mirror, a hologram, and a prism. Further, the number of optical elements to be driven is not limited to one, and a plurality of optical elements may be used. Further, the mirror 4 and the holder 11 may be integrally formed of plastic, glass or the like. This reduces the number of parts and improves the positional accuracy during assembly. Further, the mirror 5 may be configured as a galvanometer mirror. The shape and material of the support member are not particularly limited. For example, the shape may be circular or plate-like. The material may be appropriately selected and used such as metal or resin.

光ピッックアップ装置の光学素子の配置関係を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the arrangement | positioning relationship of the optical element of an optical pick-up apparatus. 本発明の第1実施の形態としてのガルバノミラーの詳細を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the detail of the galvanometer mirror as 1st Embodiment of this invention. マグネットを除いた構成部材の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the structural member except a magnet. バネの組み立てを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the assembly of a spring. バネの組み立てに用いるジグの斜視図である。It is a perspective view of the jig used for the assembly of a spring. ガルバノミラーの作用を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the effect | action of a galvanometer mirror. 第2実施の形態のガルバノミラーの一部斜視図である。It is a partial perspective view of the galvanometer mirror of 2nd Embodiment. 一部拡大側面図、及び変形例の一部拡大側面図である。It is a partially expanded side view and a partially expanded side view of a modification. 第3実施の形態のガルバノミラーの一部斜視図である。It is a partial perspective view of the galvanometer mirror of 3rd Embodiment. 従来例の斜視図、及び側面図である。It is the perspective view and side view of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

4 ミラー
4a 反射面
10 コイル
11 ホルダー
11e 立ち上がり部
12a 固定部
12−1,12−2 バネ
13 ベース
13a 取り付け部
13d 孔
14 可動部
15 ガルバノミラー
16 マグネット
17 ヨーク
4 mirror 4a reflecting surface 10 coil 11 holder 11e rising part 12a fixing part 12-1, 12-2 spring 13 base 13a attaching part 13d hole 14 movable part 15 galvano mirror 16 magnet 17 yoke

Claims (3)

少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、
前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記コイルの外側面側に前記支持部材の前記可動部への固定部を配置したことを特徴とする光路偏向装置。
A movable portion having at least an optical element and a coil; a plurality of support members for rotatably supporting the movable portion; a base for fixing a part of the support member; and a magnetic circuit fixed to the base. In the optical path deflecting device,
An optical path deflecting device, wherein the coil is disposed so as to surround an outer periphery of the optical element, and a fixed portion of the support member to the movable portion is disposed on an outer surface side of the coil.
前記支持部材を前記コイルの外側面に直接固定したことを特徴とする請求項1に記載の光路偏向装置。   The optical path deflecting device according to claim 1, wherein the support member is directly fixed to an outer surface of the coil. 少なくとも光学素子とコイルとを有する可動部と、前記可動部を回転可能に支持する複数の支持部材と、前記支持部材の一部を固定するベースと、前記ベースに固定された磁気回路とを有する光路偏向装置において、
前記コイルを前記光学素子の外周を取り囲むように配設し、前記支持部材の少なくとも一部に二股状の部分を形成し、この二股状の部分で前記コイルを挟むように前記可動部を支持したことを特徴とする光路偏向装置。
A movable portion having at least an optical element and a coil; a plurality of support members for rotatably supporting the movable portion; a base for fixing a part of the support member; and a magnetic circuit fixed to the base. In the optical path deflecting device,
The coil is disposed so as to surround the outer periphery of the optical element, a bifurcated portion is formed on at least a part of the support member, and the movable portion is supported so that the coil is sandwiched by the bifurcated portion. An optical path deflecting device.
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