JP2004333397A - 液面計を用いた測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削盤にはテーブル、砥石ヘッド及びワークの各上面に液面計11が載置されている。また、研削盤の近傍に位置する基準液面計スタンドの各載置板には各液面計11a〜11cと群をなす液面計19a〜19cが載置されている。これら液面計11,19は液体連通管33a,33bを介して連結されている。液面計11,19は液体容器21とフロート22とからなり、液体容器21の内面とフロート22の外面との間には液体容器21の内部にエアを供給することで静圧軸受27が形成されている。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定物の鉛直高さを求めることにより被測定物の形状精度や運動精度及び位置精度を測定する液面計を用いた測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、工作機械の形状精度や運動精度及び位置精度を測定する方法として、ストレートエッジを用いた微小変位計、光ビームを用いたオートコリメータ、同じく光ビームを用いた光干渉計、重力方向を基準として計測する傾き計等が採用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これら測定器は測定精度が低く、例えば測定精度0.1μmを得ることが難しいという問題が生じていた。また、大型工作機械やワークの各部の相対変位、平面度、運動真直度、平行度を測定する場合、これら計測器を用いると複雑な配置系の構築や計測器の再配置が必要となり、測定時間も長時間化するので、測定精度の信頼性が低下する可能性があった。
【0004】
本発明は前記の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、高い測定精度を得ることができる液面計を用いた測定装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため請求項1に記載の発明では、液体を貯留する液体容器と、前記液体容器の内部に収容され上下動可能なフロートと、前記フロートの高さを検出するための検出手段とを有する液面計を複数備え、群をなす前記液面計が流路を介して連結された液面計を用いた測定装置において、前記液体容器の内面と前記フロートの外面との間に静圧軸受を介在させ、前記液面計の各々の前記検出手段から出力される検出値に基づき、群をなす複数の液面計のうち一方側を基準として他方側の液面計の高さを測定することを要旨とする。
【0006】
この発明によれば、群をなす液面計は互いの相対高さが変わると液面高さが変位するものであり、これら液面計のうち一方を被測定物に配置し他方を基準位置に配置し、液面高さの変位量を検出手段によって測定することで被測定物の鉛直高さが測定される。また、その液面計では液体容器の内面とフロートの外面との間に静圧軸受を設けているので、フロートが液体容器内でスムーズに動き易くなり、液面計を用いた測定装置の測定精度が高まる。
【0007】
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の発明において、前記液面計を複数群用い、群をなす複数の液面計のうち基準側となる液面計の各群間の相対高さを検出するための相対高さ検出手段を備え、前記検出手段からの検出値と前記相対高さ検出手段からの検出値とに基づき、各群間の相対高さを測定することを要旨とする。この発明によれば、請求項1の発明の作用に加え、複数の箇所で被測定物の高さを測定可能になる。
【0008】
請求項3に記載の発明では、請求項1又は2に記載の発明において、前記流路の経路上に配置され、該流路を開閉するための電磁弁を備えたことを要旨とする。この発明によれば、請求項1又は2に記載の発明の作用に加え、群をなす液面計を繋ぐ流路の経路上に電磁弁を設けたので、電磁弁を閉じておけば液面計の設置場所を変えるときに液体が液体容器から漏れ出難くなる。
【0009】
請求項4に記載の発明では、請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の発明において、前記フロートの外面は、撥水性塗料又は撥水性物質から構成されていることを要旨とする。この発明によれば、請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の発明の作用に加え、フロートの外面が撥水性塗料または撥水性物質により構成されているので、フロートの外面への液体の付着が抑制される。従って、フロートの質量が変化せず、これに伴って液面計を用いた測定装置の測定精度が一層向上する。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した液面計の一実施形態を図1〜図6に従って説明する。
【0011】
図1,2に示すように、超精密平面研削盤(以下、研削盤と記す)1の機台2の上面にはX軸方向に沿って移動可能なテーブル3が設けられている。機台2の両側には左右一対のコラム4が立設され、コラム4にはクロスレール5が架設されている。クロスレール5にはY軸方向に沿って移動可能な支持板6を介して砥石ヘッド7が連結されている。
【0012】
砥石ヘッド7は回転砥石8を有し、支持板6上のレールに沿ってZ軸方向に移動可能となっている。テーブル3の上面にはワーク9が載置され、砥石ヘッド7の回転砥石8によってワーク9が加工される。なお、テーブル3、砥石ヘッド7及びワーク9が被測定物を構成する。
【0013】
研削盤1にはその形状精度や運動精度及び位置精度を測定するための研削精度測定装置10が設置されている。研削精度測定装置10について以下に説明する。研削盤1には形状精度や位置精度及び運動精度を測定したい器具(部材)の上面に液面計(測定液面計)11が設置されており、本例では砥石ヘッド7の上面に1個の液面計11aが、ワーク9の上面に例えば15個の液面計11bが、テーブル3の上面に例えば12個の液面計11cが配置されている。
【0014】
図1に示すように、研削盤1の近傍には支柱12aに沿って移動可能な複数(本例は3つ)の載置板13〜15を有した基準液面計スタンド12が設置されている。基準液面計スタンド12には支柱12aに沿って延びる長尺光学スケール(最高分解能20nm)16が立設されている。各載置板13〜15の上面には、長尺光学スケール16のスケールを読み取るとともにその検出値を計測器17(図3参照)に出力するスケールセンサ18a〜18cが取り付けられている。なお、長尺光学スケール16及びスケールセンサ18a〜18cが相対高さ検出手段を構成する。
【0015】
基準液面計スタンド12には研削盤1側の液面計11と各々群(組)をなす液面計(基準液面計)19が配置されている。即ち、載置板13〜15には研削盤1側の各液面計11a〜11cと群をなす液面計19a〜19cが設置されている。なお、本例では液面計11a,19aをA群、液面計11b,19bをB群、液面計11c,19cをC群とする。B群及びC群は液面計が研削盤1側で複数配置されるが、基準液面計スタンド12側には1つのみ設置されている。
【0016】
A群では砥石ヘッド7の高さが測定され、砥石ヘッド7がクロスレール5上をY軸方向に移動するときの運動真直度、ワーク加工面との相対高さ及び平行度、テーブル上面との相対高さ及び平行度などが測定される。B群ではワーク加工面の平面度、運動真直度、砥石ヘッド上面との相対高さ、テーブル上面との相対高さなどが測定される。C群ではテーブル上面の平面度、運動真直度、砥石ヘッド上面との相対高さ、砥石ヘッド7のY軸方向運動との平行度、ワーク加工面との相対高さ及び平行度などが測定される。
【0017】
図3〜図5に示すように、液面計11,19は液体20を貯留した液体容器21と、液体20に浮いた状態で液体容器21の内部に収容されたフロート22とを備えている。液体容器21は温度影響を低減するために低熱膨張材料を材質とし、有底筒状をなす容器本体21aと、その容器本体21aの開口部を閉じる蓋部21bとからなる。液体20は常温で密度変化率が低い特性をもつ純水が使用されている。
【0018】
フロート22は低熱膨張材料を材質とし、下側に向かうに従い段階的に径が大きくなる形状をなしている。フロート22の外面と液体容器21の内面との間には、フロート22が液体容器21内で上下動可能となるように隙間が形成されている。フロート22は液面20aの高さ(鉛直高さ)に応じて上下動し、外周面のテーパ面31が液体容器21の内面の当接面21cに当接するまで上動可能となっている。フロート22の外面には撥水性塗料が塗布されている。
【0019】
また、フロート22の上部には光学スケール23(有効測定長さが10mm又は25mmで最高分解能20nm)が取り付けられている。液体容器21の内面には光学スケール23と対向する位置にスケールセンサ24が配置され、光学スケール23及びスケールセンサ24が検出手段を構成する。スケールセンサ24は光学スケール23を検出し、その検出値を計測器17に出力する。なお、本例ではスケールセンサ24aを基準液面計19側、スケールセンサ24bを測定液面計11側のセンサとする。
【0020】
計測器17は単一群内の鉛直高さを測定する場合、各液面計11,19のスケールセンサ24a,24bからの検出値に基づき差を演算し、単一群内の液面計11,19の相対高さを測定する。一方、計測器17は各群間の相対高さを測定する場合、スケールセンサ18,24からの検出値に基づき、長尺光学スケール16の読みと光学スケール23の読みとを合算するとともに、各液面計11,19の高さの差を反映させることにより各群間の相対高さを測定する。
【0021】
図3,図5に示すように、液体容器21の各側壁にはエア供給装置25からのエアを液体容器21内に供給するためのエア供給通路26が各々形成されている。また、液体容器21の内面にはエア供給通路26の出口付近にエアポケット21dが凹設されている。エア供給装置25からエアが液体容器21の内部に供給されるとエアポケット21dには静圧軸受27が生じ、フロート22は静圧軸受27により液体容器21内で傾かない状態で上下動可能となる。
【0022】
液体容器21の各側壁には静圧軸受27を挟む両側に放出通路29,30が形成され、液体容器21内に供給されたエアは放出通路29,30を介して外部に放出される。また、液体容器21の下部には容器内部の液体20が出入りする供給通路32が形成されている。
【0023】
測定液面計11と基準液面計19との間には、各群ごとに流路としての液体連通管33a,33bを介して電磁弁34が接続されている。電磁弁34が開くと液体連通管33a,33bが連通状態となり、閉じると遮断状態となる。また、測定液面計11と基準液面計19との間には電磁弁34と並列にデジタル微差圧計35が接続されている。微差圧計35はダイヤフラム式であり、各液面計11,19の水圧を計測して群内における各液面計11,19の水圧をデジタル表示する。
【0024】
さて、研削精度測定装置10を用い研削盤1の形状精度や運動精度及び位置精度を測定するとき、液面計11a,19aを基準液面計スタンド12の載置板13に、液面計11b,19bを載置板14に、液面計11c,19cを載置板15に各々載置する。これにより、同一高さの板上に載せられるので、液面計11,19は同じ高さとなり、電磁弁34を開けたままにしておくことによって群をなす各液面計11,19の液面20aが同じ高さとなる。
【0025】
続いて、各液面計11,19から液体20が漏洩しないように電磁弁34を閉状態にするとともに、液面計19a〜19cを基準液面計スタンド12の載置板13〜15に各々設置したままにしておき、液面計11a〜11cを研削盤1の測定面(砥石ヘッド上面、ワーク上面、テーブル上面)に設置する。このとき、エア供給装置25を駆動して液体容器21とフロート22との間に静圧軸受27を発生させた状態にしておく。
【0026】
そして、微差圧計35の表示を見ながら基準液面計スタンド12の載置板13〜15の高さを調節して群内の液面計11,19(即ち、載置板と被測定物)の設置高さを揃える。次いで、基準液面計19の高さを測定して原点をセットする。ここでは、長尺光学スケール16の読みと、基準液面計19側の光学スケール23aの読みとを合算して求まる値を原点としてセットする。このとき、若干の液面変動が生じた場合には電磁弁34を間欠的に開閉して液面変動を抑制するか、もしくは液面20aが安定するまで待ち、液面20aが安定した後、原点として基準液面計19の高さを測定してセットする。
【0027】
各群で原点セットが完了した後、電磁弁34を開状態にして液体連通管33a,33bを連通状態にし、全ての液面計11,19について光学スケール23の値を読む。そして、各群の基準液面計19の読みと測定液面計11の読みとの差を求め、その差を原点に反映させることにより各群における全ての測定点の高さが得られる。このとき、B群及びC群では各群内の高さの比較から平面度や真直度が求まるとともに、両群の高さ比較により平行度が求まる。また、A群、B群、C群の高さ比較により相対高さが求められる。
【0028】
続いて、研削盤1を稼働させてテーブル3、ワーク9及び砥石ヘッド7の形状精度や運動精度及び位置精度を測定するが、これらは移動体であるので、移動中には液体20が流動又は振動して正確に測定できない虞が生じる。その対策として、これら移動体が加減速中のときには測定を停止するとともに、測定開始時に液面20aが流動又は振動しないように電磁弁34を予め閉じておく。そして、移動体が定速となったときに電磁弁34を開き測定を行うこととする。
【0029】
ここで、例えば砥石ヘッド7がY軸方向に移動したとき、その経路上で鉛直高さが変位量Xだけ下方に変位したとする。このとき、図6に示すように砥石ヘッド7の変位に応じて基準液面計19aのフロート22aが同図の変位量X/2だけ下方に移動するとともに、測定液面計11aのフロート22bが同図の変位量X/2だけ上方に移動する。そして、それら逆向きの変位量X/2が計測器17によって計測され、両値の差が砥石ヘッド7の変位量Xとして算出される。なお、この測定はテーブル3及びワーク9についても同様である。
【0030】
従って、この実施形態では以下のような効果を得ることができる。
(1)液体容器21の内面とフロート22の外面との間に静圧軸受27を設けたので、フロート22が液体容器21の内部でスムーズに動き易くなる。従って、微量な液面20aの高さ変化を検知することができ、研削精度測定装置10の測定精度(形状精度や位置精度及び運動精度)を高めることができる。
【0031】
(2)液面計11,19を繋ぐ液体連通管33a,33bの間に微差圧計35を設けたので、液面計11,19の設置高さをほぼ同じ高さに揃えることができる。
【0032】
(3)液面計11,19を繋ぐ液体連通管33a,33bの間に電磁弁34を設けたので、電磁弁34を閉じておけば液面計11,19の設置場所を変えたとしても液体20が液体容器21から漏れ出難くなる。
【0033】
(4)フロート22の外面が撥水性塗料が塗布されているので、フロート22の外面への液体20の付着が抑制される。従って、フロート22の質量が変化せず、研削精度測定装置10の測定精度が一層向上する。
【0034】
(5)液面計11,19を複数用い、テーブル3、砥石ヘッド7及びワーク9に配置することによって、各個所で鉛直高さを同時に測定することができる。
なお、実施形態は前記に限定されず、例えば、次の態様に変更してもよい。
【0035】
・ フロート22の液体容器21内での高さを検知するセンサは光学スケール23及びスケールセンサ24を用いたスケール式に限定されない。例えば、図7に示すようにフロート22の上方に投光部及び受光部を有するフォトセンサ41を取り付け、フロート22の上端面に反射面42を設ける。そして、フォトセンサ41から投光されて反射面42で反射した光をフォトセンサ41の受光部で受光し、その光量に基づきフロート22の鉛直高さを測定する光変位計式でもよい。
【0036】
・ 液体20は純水に限らず、例えば粘性の低いオイル等の液体を用いてもよい。
・ 測定液面計11と基準液面計19とは液体容器21の内部空間の断面積が同じであることに限らず、異なる面積でもよい。例えば、測定液面計11の内部空間の断面積をA1、基準液面計19の内部空間の断面積A2とし、測定液面計11が変位量Xだけ変位した場合での測定液面計11のフロートの変位量をX1、基準液面計19のフロートの変位量をX2とする。このとき、A1×X1=A2×X2の関係が成り立つことから、測定液面計11のフロートはX1=(A2/A1)×X2だけ変位することとなる。
【0037】
・ 液面計11,19の群数は3つに限らず、1つ(2つ)や4つ以上を採用してもよい。また、A群〜C群の測定液面計11a〜11cの個数も適宜変更してもよい。
【0038】
・ 液面計11の研削盤1への取り付けは、ただ単に載置することに限定されない。例えば、専用の治具を用いて固定する方法や、磁石(マグネットチャック)により固定する固定手段を新たに設けてもよい。
【0039】
・ 測定時に液体20を恒温液体に置き換え、その恒温液体で測定を行う構成としてもよい。この場合、測定時に液体20の温度変化が生じ難く、高い測定精度が得られる。
【0040】
・ フロート22の内部に、液体容器21内で下側に送られるエアを上側の放出通路29側に送るための内部通路を貫設してもよい。これにより、液体容器21内で下側に送られるエアを外部に放出する通路が増え、液体容器21内でエアが溜まり難くなって液面20aを押し下げる悪影響を除くことができる。また、放出通路30を省略して、下側に抜けるエアを内部通路のみを用いて外部に放出する構成としてもよい。
【0041】
・ 研削精度測定装置10は一方の液面計11を研削盤1に、他方の液面計19を基準液面計スタンド12に置く配置位置に限定されない。例えば、両方の液面計11,19を各測定面(テーブル3、ワーク9)に置いて測定してもよい。この場合、液面計11,19を流れる液体20の高低差が生じ難くなり、温度分布の不均一が生じ難くなって測定精度が向上する。
【0042】
・ フロート22は外面に撥水性塗料を塗布する構成に限らず、フロート22自体が撥水性物質により構成されていてもよい。
・ 研削精度測定装置10の測定対象は研削盤1に限らず、これ以外の加工装置等に採用してもよい。
【0043】
前記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を記載する。
(1)請求項1〜4において、前記流路の経路上に配置され、前記測定液面計と前記基準液面計との鉛直高さを設定するための微差圧計を備えた。
【0044】
(2)請求項1〜4において、前記検出手段は前記液体容器及び前記フロートの一方に設けられた光学スケールと、前記光学スケールを検知可能に前記液体容器及び前記フロートの他方に設けられたスケールセンサとからなるスケール式である。
【0045】
(3)請求項1〜4において、前記検出手段は前記液体容器及び前記フロートの一方に設けられた反射部と、前記反射部に光を投光可能で、かつ該反射部で反射した光を受光可能となるように前記液体容器及びフロートの他方に設けられたフォトセンサとからなる光変位計式である。
【0046】
(4)請求項1〜4において、前記液面計を前記被測定物に配置したときに該液面計を前記被測定物に対して固定するための固定手段を備えた。
【0047】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、高い測定精度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施形態に示す研削盤及び研削精度測定装置の概略構成図。
【図2】研削盤の正面図。
【図3】研削精度測定装置の概略を示す構成図。
【図4】図5のII−II線模式断面図。
【図5】液面計の摸式断面図。
【図6】フロートが液体容器内で変位したときの説明図。
【図7】別例に示す液面計の模式断面図。
【符号の説明】
10…液面計を用いた測定装置としての研削精度測定装置、11…液面計(測定液面計)、16…相対高さ検出手段を構成する長尺光学スケール、18a〜18c…相対高さ検出手段を構成するスケールセンサ、19…液面計(基準液面計)、20…液体、21…液体容器、22,22a,22b…フロート、23…検出手段を構成する光学スケール、24…検出手段を構成するスケールセンサ、27…静圧軸受、33a,33b…流路としての液体連通管、34…電磁弁。
Claims (4)
- 液体を貯留する液体容器と、前記液体容器の内部に収容され上下動可能なフロートと、前記フロートの高さを検出するための検出手段とを有する液面計を複数備え、群をなす前記液面計が流路を介して連結された液面計を用いた測定装置において、
前記液体容器の内面と前記フロートの外面との間に静圧軸受を介在させ、前記液面計の各々の前記検出手段から出力される検出値に基づき、群をなす複数の液面計のうち一方側を基準として他方側の液面計の高さを測定することを特徴とする液面計を用いた測定装置。 - 前記液面計を複数群用い、群をなす複数の液面計のうち基準側となる液面計の各群間の相対高さを検出するための相対高さ検出手段を備え,
前記検出手段からの検出値と前記相対高さ検出手段からの検出値とに基づき、各群間の相対高さを測定することを特徴とする請求項1に記載の液面計を用いた測定装置。 - 前記流路の経路上に配置され、該流路を開閉するための電磁弁を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液面計を用いた測定装置。
- 前記フロートの外面は、撥水性塗料又は撥水性物質から構成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の液面計を用いた測定装置。
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