JP2004325722A - 光機能素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】平面に近い曲面を有するレンズなどの反射波面の干渉縞の観察できる範囲を適切な大きさにして、かつ、回折パターンによって生成される波面の精度が高い光機能素子を得る。
【解決手段】共に回折パターンを備えた第1面15aと第2面15bを持つ回折素子である光機能素子。所定波長の入射光が、第1面15a、第2面15bの順に回折偏向されて出射した後、外部の反射面(被測定レンズ41の被検面であって、平面に近い曲面)で反射されて第2面15b、第1面15aの順に回折偏向されて出射する。第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2よりも大きく、かつ、第1面15a及び第2面15bの回折方向が互いに逆方向である。
【選択図】 図2
【解決手段】共に回折パターンを備えた第1面15aと第2面15bを持つ回折素子である光機能素子。所定波長の入射光が、第1面15a、第2面15bの順に回折偏向されて出射した後、外部の反射面(被測定レンズ41の被検面であって、平面に近い曲面)で反射されて第2面15b、第1面15aの順に回折偏向されて出射する。第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2よりも大きく、かつ、第1面15a及び第2面15bの回折方向が互いに逆方向である。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光機能素子、特に、大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズなどの面形状測定装置などに使用される光機能素子に関する。
【0002】
【従来の技術と課題】
特許文献1:特開平6−11323号公報
特許文献2:特開平6−94919号公報
【0003】
特許文献1には、光の干渉を利用して球面あるいは非球面の面形状を測定するトワイマン−グリーン干渉計が開示されており、レンズアライメント用パターンとレンズ測定用パターンを設けた光機能素子を用いている。特許文献2には、回折効率分布が施されている位相変調型ホログラフィ素子が開示されている。
【0004】
従来、作製された非球面レンズの面形状を評価するには、干渉計にゾーンプレートを透過原器として用い、形成された干渉縞を解析する方法が行われている(特許文献1,2参照)。干渉計としてはフィゾー干渉計、トワイマン−グリーン干渉計が知られている。
【0005】
干渉計にゾーンプレートを透過原器として用いて面形状を測定する方法の主な利点は、非接触測定が可能であること、及び、全体の面形状を一括で取り込めるために測定時間が短くて済むこと、の2点である。
【0006】
近年、携帯電話等の小型端末に搭載されているマイクロカメラ用レンズに代表されるように、小径レンズが種々作製され、用いられている。そのような小径レンズの多くは、球面又は非球面を有する曲面レンズである。そのうち、大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズも存在する。この種の曲面レンズの面形状を測定するのに前記利点を有するゾーンプレートを用いる場合、回折角度が小さなゾーンプレートを作製する必要がある。
【0007】
従来では、特許文献1,2に開示されているように、また、図11に示すように、回折パターンを形成した回折面50aが1面のみである光機能素子(ゾーンプレート)50を用いるのが一般的であった。しかしながら、片面ゾーンプレートでは大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズ55を良好に測定することが困難であり、その理由は、以下の2点にある。
【0008】
(1)平面に近い曲面を有するレンズの反射波面を測定する場合、図11に示すように、回折面50aでの回折角θ2が小さく、干渉縞は被測定レンズ55の測定したい径(有効径)に近い大きさとなる。つまり、干渉縞の観察できる範囲が非常に小さくなる。なお、ここでは、レーザー描画によりパターニングされたバイナリの位相型ゾーンプレートを想定している。
【0009】
(2)図12に示すように、回折パターンのピッチは、回折面50aでの光路差により決まる。しかし、平面に近い曲面を有するレンズの場合、そのピッチは粗くなり、得られる波面の精度は低くなる。
【0010】
そこで、本発明の第1の目的は、平面に近い曲面を有するレンズなどの反射波面の干渉縞の観察できる範囲を適切な大きさにして、かつ、回折パターンによって生成される波面の精度が高い光機能素子を提供することにある。
【0011】
本発明の第2の目的は、前記第1の目的に加えて、作製が容易で、薄型の光機能素子を提供することにある。
【0012】
本発明の第3の目的は、前記第1の目的に加えて、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能な光機能素子を提供することにある。
【0013】
本発明の第4の目的は、前記第1の目的に加えて、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能な光機能素子を提供することにある。
【0014】
【発明の構成、作用及び効果】
以上の目的を達成するため、本発明に係る光機能素子は、共に回折パターンを備えた第1面と第2面を持つ回折素子であって、所定波長の入射光が、第1面、第2面の順に回折偏向されて出射した後、外部の反射面で反射されて、第2面、第1面の順に回折偏向されて出射し、第1面の回折角が第2面の出射角よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向であることを特徴とする。
【0015】
本発明に係る光機能素子において、入射光はまず第1面で回折偏向され、さらに第2面で回折偏向される。この場合、第1面の回折角が第2面の出射角よりも大きく、かつ、第1面と第2面の回折方向が互いに逆であることにより、干渉縞の観察できる範囲が大きくなる。また、回折パターンのピッチも細かくなるので、得られる波面の精度が高精度になる。従って、この光機能素子を干渉計の透過原器として用いることで、平面に近い曲面を有するレンズなどであってもその面形状を非接触で効率よく測定することができる。
【0016】
本発明に係る光機能素子において、前記第1面と第2面の回折パターンは平面上に形成されていることが好ましい。即ち、両面ゾーンプレートとして構成すれば、作製が容易であり、かつ、薄型となり、小型の光機能素子を得ることができる。
【0017】
また、前記第1面及び第2面の回折パターンはそれぞれの加工径が異なるように形成してもよい。この場合、第2面の回折パターンの加工径を第1面の回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きくすれば、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能である。
【0018】
本発明に係る光機能素子において、前記第1面及び第2面の少なくとも一方に、面内の反射率に分布を施すための光学機能膜を設けてもよい。この場合も、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能である。
【0019】
あるいは、前記第1面に、面全体の反射率を調整する光学機能膜を設けてもよい。この場合、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能である。また、第2面に、回折効率が向上するような光学機能膜を設けてもよい。この場合も、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能である。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光機能素子の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【0021】
(フィゾー干渉計、図1参照)
まず、図1を参照して、本発明に係る光機能素子を透過原器(ゾーンプレート)として使用するフィゾー干渉計について説明する。
【0022】
この干渉計は、光源ユニット1、発散レンズ10、コリメータレンズ11、ゾーンプレート15、ビームスプリッタ21、結像レンズ30、干渉縞観察用撮像素子(CCDカメラ)31、及び、モニタ32を備えている。41は曲面を有する被測定レンズであり、該曲面は平面に近い非曲面とされている。光源ユニット1は、例えば、He−Neレーザーが用いられている。
【0023】
ゾーンプレート15は、以下に詳述するように、第1面15a及び第2面15bに所定波長(例えば、波長632.8nm)に対する回折格子を形成した、いわゆる両面ゾーンプレートであり、第1面15aの0次反射光を参照面として使用している。
【0024】
ビームスプリッタ21は前記所定波長の光に対してハーフミラーとして機能する。光源ユニット1から所定波長の光が放射されると、この光はビームスプリッタ21で反射光と透過光に分割される。このうち透過光はコリメータレンズ11を経てゾーンプレート15の第1面15a及び第2面15bで順次回折偏向され、被測定レンズ41の面形状に対応した形状測定用波面となる。
【0025】
被測定レンズ41の非球面が設計値どおりに作製されていれば、形状測定波面は非球面(被検面)で反射された後、入射してきた光路を逆に進行してビームスプリッタ21に入射する。ビームスプリッタ21に再入射した光の一部は反射され、結像レンズ30を経て撮像素子31に至る。一方、ゾーンプレート15の参照面(第1面15a)で反射した光は参照光となり、同様にビームスプリッタ21に再入射して反射され、結像レンズ30を経て撮像素子31に至る。
【0026】
ここで、撮像素子31において被検面からの面反射光と参照光とは相互に干渉し、干渉縞を形成する。この干渉縞を解析することにより被検面の形状誤差を判定することができる。
【0027】
(両面ゾーンプレートの作製)
前記ゾーンプレート15は、平面に近い曲面を有するレンズの測定を達成するため、第1面15a及び第2面15bに回折パターンを有する一対若しくは1枚の両面ゾーンプレートとして作製した。
【0028】
なお、この両面ゾーンプレートはレーザー描画によりパターニングされたバイナリの位相型ゾーンプレートを想定しており、回折次数としては主に1次の回折光を用いる。
【0029】
前記干渉計において被検面の面形状を評価する際には、両面の回折パターンどうしが偏心調整されていることが必要である。偏心調整は平行偏心及び傾き偏心の両方について行う必要がある。この偏心調整を行う方法は二つある。
【0030】
第1の方法:1枚の平行平面基板を用いて、両面同時、若しくは、基板を取り外さずに連続して表裏面の描画を行う。同じ回転軸で描画を行うために平行偏心及び傾き偏心を解消できる。
【0031】
第2の方法:平行平面基板に片面ゾーンプレート(回折パターン)をそれぞれ2枚描画し、それらの偏心調整を行って一体化する。
【0032】
第1の方法において、片面から両面描画するには、以下の3点が必要となる。
(1)描画は2種類の波長の光を用いて行う。
(2)互いの波長の光に感度を有しないレジストを用いる。
(3)基板厚み分の球面収差補正をした対物レンズが必要である。
【0033】
しかし、2種類の波長の光を用いるために描画装置にレーザーを追加する必要があること、互いの波長で感度を有しないレジストを作製することは容易ではないこと、また、球面収差補正用の対物レンズを新規に制作する必要がある。
【0034】
また、第1の方法において、両面から描画するにも、前記(3)の対物レンズが不要となっても、前記(1)及び(2)は必要である。
【0035】
さらに、前記(1)及び(2)を解消する方法として二光子吸収を用いることも考えられるが、そのようなレジストを作製することは容易ではない。
【0036】
そこで、第2の方法によって両面ゾーンプレートを作製することにした。傾き偏心は高精度の平行平面基板を用いることで解決した。平行偏心は、2枚の基板を光学密着させて片面から平行光を入射させ、その点像を顕微鏡で観察することで調整を行った。例えば、1次回折光×1次回折光の点像と、0次透過光×1次回折光の点像とが一つになるようにすればよい。片方の基板を固定し、他方の基板をマイクロメータヘッド等の送り機構により平行偏心させて調整を行う。
【0037】
なお、回折面が1面で、もう1面を屈折面(レンズ面)とすることで、同様に光を曲げることが可能である。しかし、高精度の平凸レンズを入手するよりも、高精度の平行平面基板を入手するほうが時間・費用ともに比較的有利である。また、両面ゾーンプレートのように回折面を2面形成するほうが、ゾーンプレートの設計の自由度が増す利点もある。
【0038】
(ゾーンプレートの第1実施例、図2及び図3参照)
図2に、両面ゾーンプレートの第1実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凸曲面を有する小径のレンズ41を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Aは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面15a及び第2面15bの回折方向が互いに逆方向である。
【0039】
このゾーンプレート15Aにおいて、入射光はまず第1面15aにて角度θ1で回折偏向され、さらに、第2面15bにて角度θ2で回折偏向され、被測定レンズ41の面形状に対応した形状測定用波面となる。この形状測定用波面はレンズ41の凸曲面で反射された後、入射してきた光路を逆に進行して第1面15aから出射する。
【0040】
このゾーンプレート15Aを透過原器として使用することにより、干渉縞の観察できる範囲が大きくなると共に、図3に示すように、回折パターンのピッチが細かくなり、得られる波面の精度が高くなる。なお、図3は、ゾーンプレート15Aの第1面15a及び第2面15bの回折パターンを等価な片面ゾーンプレートのパターンに展開したものである。
【0041】
このゾーンプレート15Aにおいて、第2面15bの回折パターンの加工径を、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0042】
第2面15bの回折パターンの加工径を第1面15aの回折パターンの有効径よりも小さくすることもできる。しかし、その部分15b’(図2参照)を基板のままにしておくと、第1面15aでの0次透過光が第2面15bでの回折パターンが形成されていない基板のままの部分(15b’)で反射され、観察したい干渉縞(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)に重なってしまい、干渉縞のコントラストが低下する。
【0043】
これに対して、本第1実施例の如く、前記部分15b’にも回折パターンが形成されていることにより、0次反射光の効率が小さくなる。そのため、干渉縞の観察(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)への不要な0次反射光の及ぼす影響は小さく、第1面15aの面内での干渉縞のコントラストがほぼ一様になり、干渉縞を良好に観察することが可能になる。
【0044】
(第1実施例の変形例1、図4参照)
図4に前記両面ゾーンプレート15Aの変形例1を示す。この変形例1ではゾーンプレート15Aに、実際にレンズ41の反射波面を測定する際に必要な部分(有効径)にのみ回折格子を形成したものである。
【0045】
第2面15bの回折パターンの加工径(=有効径)は第1面15aの回折パターンの加工径よりも小さく形成されている。そして、第2面15bでのパターンが形成されていない基板のままの部分に反射防止膜16を設けた。即ち、第2面15bの面内の反射率に分布を施すための光学機能膜を設けた。
【0046】
この変形例1では、反射防止膜16によって第2面15bでの0次反射光が小さくなり、第1実施例として示したゾーンプレート15Aと同様に、干渉縞の観察(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)への不要な0次反射光の及ぼす影響は小さく、第1面15aの面内での干渉縞のコントラストがほぼ一様になり、干渉縞を良好に観察することが可能になる。
【0047】
(第1実施例の変形例2、図5参照)
両面ゾーンプレートとしては、第1面15a及び第2面15bの少なくとも一方に、面全体の反射率を調整する光学機能膜を設けてもよい。このような両面ゾーンプレートを変形例2として説明する。
【0048】
図5は、第1面15aのゾーンプレート用基板17と光学機能膜18と回折格子を形成しているレジスト19を示している。第1面15aの0次反射光の波面を前記フィゾー干渉計に用いる参照面としている。
【0049】
光学機能膜18はそれを設けないときの0次反射光の効率に比べて、設けたときの0次反射光の効率が低くなるように設計されている。つまり、被測定レンズからの反射光量に対し、参照面の光量が大きい場合、参照面の光量を小さくすることで、参照面の光量と被測定レンズからの反射光量とのバランスを調整する。バランスを調整する(光量比を1:1に近づける)ことにより、干渉縞のコントラスト(面内の一様さではなく、全体のコントラスト)が改善され、干渉縞を良好に観察することが可能となる。
【0050】
(ゾーンプレートの第2実施例、図6及び図7参照)
図6に、両面ゾーンプレートの第2実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凹曲面を有する小径のレンズ42を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Bは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0051】
図7に、第2実施例であるゾーンプレート15Bを使用して屈折角の小さな小径のレンズ若しくは回折角の小さな小径の回折素子42’を測定するときの光路を示す。符号45は平面反射原器である。
【0052】
本第2実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0053】
(ゾーンプレートの第3実施例、図8及び図9参照)
図8に、両面ゾーンプレートの第3実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凸曲面を有する大径のレンズ43を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Cは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0054】
図9に、第3実施例であるゾーンプレート15Cを使用して屈折角の小さな大径のレンズ若しくは回折角の小さな大径の回折素子43’を測定するときの光路を示す。符号46は平面反射原器である。
【0055】
本第3実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0056】
(ゾーンプレートの第4実施例、図10参照)
図10に、両面ゾーンプレートの第4実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凹曲面を有する大径のレンズ44を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Dは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。本第4実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、本第4実施例に対して図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0057】
(他の実施形態)
なお、本発明に係る光機能素子は前記実施例や変形例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【0058】
例えば、本発明に係る光機能素子を透過原器として用いる干渉計は、前記フィゾー干渉計のみならずトワイマン−グリーン干渉計であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光機能素子を用いたフィゾー干渉計の概略構成図である。
【図2】本発明に係る光機能素子の第1実施例を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図3】前記第1実施例における回折パターンの説明図である。
【図4】前記第1実施例の変形例1を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図5】前記第1実施例の変形例2を示す断面図である。
【図6】本発明に係る光機能素子の第2実施例を用いて小径レンズの凹曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図7】前記第2実施例を用いてパワーの小さな小径光学素子の透過波面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図8】本発明に係る光機能素子の第3実施例を用いて大径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図9】前記第3実施例を用いてパワーの小さな大径光学素子の透過波面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図10】本発明に係る光機能素子の第4実施例を用いて大径レンズの凹曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図11】従来の光機能素子を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図12】前記従来の光機能素子における回折パターンの説明図である。
【符号の説明】
15A,15B,15C,15D…両面ゾーンプレート
15a…第1面
15b…第2面
16,18…反射防止膜
41,42,43,44…被測定レンズ
42’,43’…被測定回折素子
【発明の属する技術分野】
本発明は、光機能素子、特に、大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズなどの面形状測定装置などに使用される光機能素子に関する。
【0002】
【従来の技術と課題】
特許文献1:特開平6−11323号公報
特許文献2:特開平6−94919号公報
【0003】
特許文献1には、光の干渉を利用して球面あるいは非球面の面形状を測定するトワイマン−グリーン干渉計が開示されており、レンズアライメント用パターンとレンズ測定用パターンを設けた光機能素子を用いている。特許文献2には、回折効率分布が施されている位相変調型ホログラフィ素子が開示されている。
【0004】
従来、作製された非球面レンズの面形状を評価するには、干渉計にゾーンプレートを透過原器として用い、形成された干渉縞を解析する方法が行われている(特許文献1,2参照)。干渉計としてはフィゾー干渉計、トワイマン−グリーン干渉計が知られている。
【0005】
干渉計にゾーンプレートを透過原器として用いて面形状を測定する方法の主な利点は、非接触測定が可能であること、及び、全体の面形状を一括で取り込めるために測定時間が短くて済むこと、の2点である。
【0006】
近年、携帯電話等の小型端末に搭載されているマイクロカメラ用レンズに代表されるように、小径レンズが種々作製され、用いられている。そのような小径レンズの多くは、球面又は非球面を有する曲面レンズである。そのうち、大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズも存在する。この種の曲面レンズの面形状を測定するのに前記利点を有するゾーンプレートを用いる場合、回折角度が小さなゾーンプレートを作製する必要がある。
【0007】
従来では、特許文献1,2に開示されているように、また、図11に示すように、回折パターンを形成した回折面50aが1面のみである光機能素子(ゾーンプレート)50を用いるのが一般的であった。しかしながら、片面ゾーンプレートでは大きな曲率半径や非球面量を多く用いた形状によって平面に近い曲面を有するレンズ55を良好に測定することが困難であり、その理由は、以下の2点にある。
【0008】
(1)平面に近い曲面を有するレンズの反射波面を測定する場合、図11に示すように、回折面50aでの回折角θ2が小さく、干渉縞は被測定レンズ55の測定したい径(有効径)に近い大きさとなる。つまり、干渉縞の観察できる範囲が非常に小さくなる。なお、ここでは、レーザー描画によりパターニングされたバイナリの位相型ゾーンプレートを想定している。
【0009】
(2)図12に示すように、回折パターンのピッチは、回折面50aでの光路差により決まる。しかし、平面に近い曲面を有するレンズの場合、そのピッチは粗くなり、得られる波面の精度は低くなる。
【0010】
そこで、本発明の第1の目的は、平面に近い曲面を有するレンズなどの反射波面の干渉縞の観察できる範囲を適切な大きさにして、かつ、回折パターンによって生成される波面の精度が高い光機能素子を提供することにある。
【0011】
本発明の第2の目的は、前記第1の目的に加えて、作製が容易で、薄型の光機能素子を提供することにある。
【0012】
本発明の第3の目的は、前記第1の目的に加えて、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能な光機能素子を提供することにある。
【0013】
本発明の第4の目的は、前記第1の目的に加えて、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能な光機能素子を提供することにある。
【0014】
【発明の構成、作用及び効果】
以上の目的を達成するため、本発明に係る光機能素子は、共に回折パターンを備えた第1面と第2面を持つ回折素子であって、所定波長の入射光が、第1面、第2面の順に回折偏向されて出射した後、外部の反射面で反射されて、第2面、第1面の順に回折偏向されて出射し、第1面の回折角が第2面の出射角よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向であることを特徴とする。
【0015】
本発明に係る光機能素子において、入射光はまず第1面で回折偏向され、さらに第2面で回折偏向される。この場合、第1面の回折角が第2面の出射角よりも大きく、かつ、第1面と第2面の回折方向が互いに逆であることにより、干渉縞の観察できる範囲が大きくなる。また、回折パターンのピッチも細かくなるので、得られる波面の精度が高精度になる。従って、この光機能素子を干渉計の透過原器として用いることで、平面に近い曲面を有するレンズなどであってもその面形状を非接触で効率よく測定することができる。
【0016】
本発明に係る光機能素子において、前記第1面と第2面の回折パターンは平面上に形成されていることが好ましい。即ち、両面ゾーンプレートとして構成すれば、作製が容易であり、かつ、薄型となり、小型の光機能素子を得ることができる。
【0017】
また、前記第1面及び第2面の回折パターンはそれぞれの加工径が異なるように形成してもよい。この場合、第2面の回折パターンの加工径を第1面の回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きくすれば、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能である。
【0018】
本発明に係る光機能素子において、前記第1面及び第2面の少なくとも一方に、面内の反射率に分布を施すための光学機能膜を設けてもよい。この場合も、干渉縞が面内で一様なコントラストとなるように測定に不要な光の影響を低減することが可能である。
【0019】
あるいは、前記第1面に、面全体の反射率を調整する光学機能膜を設けてもよい。この場合、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能である。また、第2面に、回折効率が向上するような光学機能膜を設けてもよい。この場合も、干渉縞のコントラストが良好となるように、入射光と出射光のバランスを調整することが可能である。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光機能素子の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【0021】
(フィゾー干渉計、図1参照)
まず、図1を参照して、本発明に係る光機能素子を透過原器(ゾーンプレート)として使用するフィゾー干渉計について説明する。
【0022】
この干渉計は、光源ユニット1、発散レンズ10、コリメータレンズ11、ゾーンプレート15、ビームスプリッタ21、結像レンズ30、干渉縞観察用撮像素子(CCDカメラ)31、及び、モニタ32を備えている。41は曲面を有する被測定レンズであり、該曲面は平面に近い非曲面とされている。光源ユニット1は、例えば、He−Neレーザーが用いられている。
【0023】
ゾーンプレート15は、以下に詳述するように、第1面15a及び第2面15bに所定波長(例えば、波長632.8nm)に対する回折格子を形成した、いわゆる両面ゾーンプレートであり、第1面15aの0次反射光を参照面として使用している。
【0024】
ビームスプリッタ21は前記所定波長の光に対してハーフミラーとして機能する。光源ユニット1から所定波長の光が放射されると、この光はビームスプリッタ21で反射光と透過光に分割される。このうち透過光はコリメータレンズ11を経てゾーンプレート15の第1面15a及び第2面15bで順次回折偏向され、被測定レンズ41の面形状に対応した形状測定用波面となる。
【0025】
被測定レンズ41の非球面が設計値どおりに作製されていれば、形状測定波面は非球面(被検面)で反射された後、入射してきた光路を逆に進行してビームスプリッタ21に入射する。ビームスプリッタ21に再入射した光の一部は反射され、結像レンズ30を経て撮像素子31に至る。一方、ゾーンプレート15の参照面(第1面15a)で反射した光は参照光となり、同様にビームスプリッタ21に再入射して反射され、結像レンズ30を経て撮像素子31に至る。
【0026】
ここで、撮像素子31において被検面からの面反射光と参照光とは相互に干渉し、干渉縞を形成する。この干渉縞を解析することにより被検面の形状誤差を判定することができる。
【0027】
(両面ゾーンプレートの作製)
前記ゾーンプレート15は、平面に近い曲面を有するレンズの測定を達成するため、第1面15a及び第2面15bに回折パターンを有する一対若しくは1枚の両面ゾーンプレートとして作製した。
【0028】
なお、この両面ゾーンプレートはレーザー描画によりパターニングされたバイナリの位相型ゾーンプレートを想定しており、回折次数としては主に1次の回折光を用いる。
【0029】
前記干渉計において被検面の面形状を評価する際には、両面の回折パターンどうしが偏心調整されていることが必要である。偏心調整は平行偏心及び傾き偏心の両方について行う必要がある。この偏心調整を行う方法は二つある。
【0030】
第1の方法:1枚の平行平面基板を用いて、両面同時、若しくは、基板を取り外さずに連続して表裏面の描画を行う。同じ回転軸で描画を行うために平行偏心及び傾き偏心を解消できる。
【0031】
第2の方法:平行平面基板に片面ゾーンプレート(回折パターン)をそれぞれ2枚描画し、それらの偏心調整を行って一体化する。
【0032】
第1の方法において、片面から両面描画するには、以下の3点が必要となる。
(1)描画は2種類の波長の光を用いて行う。
(2)互いの波長の光に感度を有しないレジストを用いる。
(3)基板厚み分の球面収差補正をした対物レンズが必要である。
【0033】
しかし、2種類の波長の光を用いるために描画装置にレーザーを追加する必要があること、互いの波長で感度を有しないレジストを作製することは容易ではないこと、また、球面収差補正用の対物レンズを新規に制作する必要がある。
【0034】
また、第1の方法において、両面から描画するにも、前記(3)の対物レンズが不要となっても、前記(1)及び(2)は必要である。
【0035】
さらに、前記(1)及び(2)を解消する方法として二光子吸収を用いることも考えられるが、そのようなレジストを作製することは容易ではない。
【0036】
そこで、第2の方法によって両面ゾーンプレートを作製することにした。傾き偏心は高精度の平行平面基板を用いることで解決した。平行偏心は、2枚の基板を光学密着させて片面から平行光を入射させ、その点像を顕微鏡で観察することで調整を行った。例えば、1次回折光×1次回折光の点像と、0次透過光×1次回折光の点像とが一つになるようにすればよい。片方の基板を固定し、他方の基板をマイクロメータヘッド等の送り機構により平行偏心させて調整を行う。
【0037】
なお、回折面が1面で、もう1面を屈折面(レンズ面)とすることで、同様に光を曲げることが可能である。しかし、高精度の平凸レンズを入手するよりも、高精度の平行平面基板を入手するほうが時間・費用ともに比較的有利である。また、両面ゾーンプレートのように回折面を2面形成するほうが、ゾーンプレートの設計の自由度が増す利点もある。
【0038】
(ゾーンプレートの第1実施例、図2及び図3参照)
図2に、両面ゾーンプレートの第1実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凸曲面を有する小径のレンズ41を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Aは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面15a及び第2面15bの回折方向が互いに逆方向である。
【0039】
このゾーンプレート15Aにおいて、入射光はまず第1面15aにて角度θ1で回折偏向され、さらに、第2面15bにて角度θ2で回折偏向され、被測定レンズ41の面形状に対応した形状測定用波面となる。この形状測定用波面はレンズ41の凸曲面で反射された後、入射してきた光路を逆に進行して第1面15aから出射する。
【0040】
このゾーンプレート15Aを透過原器として使用することにより、干渉縞の観察できる範囲が大きくなると共に、図3に示すように、回折パターンのピッチが細かくなり、得られる波面の精度が高くなる。なお、図3は、ゾーンプレート15Aの第1面15a及び第2面15bの回折パターンを等価な片面ゾーンプレートのパターンに展開したものである。
【0041】
このゾーンプレート15Aにおいて、第2面15bの回折パターンの加工径を、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0042】
第2面15bの回折パターンの加工径を第1面15aの回折パターンの有効径よりも小さくすることもできる。しかし、その部分15b’(図2参照)を基板のままにしておくと、第1面15aでの0次透過光が第2面15bでの回折パターンが形成されていない基板のままの部分(15b’)で反射され、観察したい干渉縞(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)に重なってしまい、干渉縞のコントラストが低下する。
【0043】
これに対して、本第1実施例の如く、前記部分15b’にも回折パターンが形成されていることにより、0次反射光の効率が小さくなる。そのため、干渉縞の観察(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)への不要な0次反射光の及ぼす影響は小さく、第1面15aの面内での干渉縞のコントラストがほぼ一様になり、干渉縞を良好に観察することが可能になる。
【0044】
(第1実施例の変形例1、図4参照)
図4に前記両面ゾーンプレート15Aの変形例1を示す。この変形例1ではゾーンプレート15Aに、実際にレンズ41の反射波面を測定する際に必要な部分(有効径)にのみ回折格子を形成したものである。
【0045】
第2面15bの回折パターンの加工径(=有効径)は第1面15aの回折パターンの加工径よりも小さく形成されている。そして、第2面15bでのパターンが形成されていない基板のままの部分に反射防止膜16を設けた。即ち、第2面15bの面内の反射率に分布を施すための光学機能膜を設けた。
【0046】
この変形例1では、反射防止膜16によって第2面15bでの0次反射光が小さくなり、第1実施例として示したゾーンプレート15Aと同様に、干渉縞の観察(被測定レンズ41の反射波面と第1面15aの0次反射波面との干渉縞)への不要な0次反射光の及ぼす影響は小さく、第1面15aの面内での干渉縞のコントラストがほぼ一様になり、干渉縞を良好に観察することが可能になる。
【0047】
(第1実施例の変形例2、図5参照)
両面ゾーンプレートとしては、第1面15a及び第2面15bの少なくとも一方に、面全体の反射率を調整する光学機能膜を設けてもよい。このような両面ゾーンプレートを変形例2として説明する。
【0048】
図5は、第1面15aのゾーンプレート用基板17と光学機能膜18と回折格子を形成しているレジスト19を示している。第1面15aの0次反射光の波面を前記フィゾー干渉計に用いる参照面としている。
【0049】
光学機能膜18はそれを設けないときの0次反射光の効率に比べて、設けたときの0次反射光の効率が低くなるように設計されている。つまり、被測定レンズからの反射光量に対し、参照面の光量が大きい場合、参照面の光量を小さくすることで、参照面の光量と被測定レンズからの反射光量とのバランスを調整する。バランスを調整する(光量比を1:1に近づける)ことにより、干渉縞のコントラスト(面内の一様さではなく、全体のコントラスト)が改善され、干渉縞を良好に観察することが可能となる。
【0050】
(ゾーンプレートの第2実施例、図6及び図7参照)
図6に、両面ゾーンプレートの第2実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凹曲面を有する小径のレンズ42を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Bは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0051】
図7に、第2実施例であるゾーンプレート15Bを使用して屈折角の小さな小径のレンズ若しくは回折角の小さな小径の回折素子42’を測定するときの光路を示す。符号45は平面反射原器である。
【0052】
本第2実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0053】
(ゾーンプレートの第3実施例、図8及び図9参照)
図8に、両面ゾーンプレートの第3実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凸曲面を有する大径のレンズ43を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Cは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。
【0054】
図9に、第3実施例であるゾーンプレート15Cを使用して屈折角の小さな大径のレンズ若しくは回折角の小さな大径の回折素子43’を測定するときの光路を示す。符号46は平面反射原器である。
【0055】
本第3実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0056】
(ゾーンプレートの第4実施例、図10参照)
図10に、両面ゾーンプレートの第4実施例及び該ゾーンプレートを使用して平面に近い凹曲面を有する大径のレンズ44を測定するときの光路を示す。このゾーンプレート15Dは、第1面15aの回折角θ1が第2面15bの出射角θ2(被検面への入射角θ2)よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向である。また、第2面15bの回折パターンの加工径は、第1面15aの回折パターンの有効径(測定する際に必要な部分)と同じか、それよりも大きく形成している。本第4実施例においても、前記第1実施例と同じ作用効果を奏する。また、本第4実施例に対して図4及び図5に示した変形例1,2を適用することができる。
【0057】
(他の実施形態)
なお、本発明に係る光機能素子は前記実施例や変形例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
【0058】
例えば、本発明に係る光機能素子を透過原器として用いる干渉計は、前記フィゾー干渉計のみならずトワイマン−グリーン干渉計であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光機能素子を用いたフィゾー干渉計の概略構成図である。
【図2】本発明に係る光機能素子の第1実施例を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図3】前記第1実施例における回折パターンの説明図である。
【図4】前記第1実施例の変形例1を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図5】前記第1実施例の変形例2を示す断面図である。
【図6】本発明に係る光機能素子の第2実施例を用いて小径レンズの凹曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図7】前記第2実施例を用いてパワーの小さな小径光学素子の透過波面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図8】本発明に係る光機能素子の第3実施例を用いて大径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図9】前記第3実施例を用いてパワーの小さな大径光学素子の透過波面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図10】本発明に係る光機能素子の第4実施例を用いて大径レンズの凹曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図11】従来の光機能素子を用いて小径レンズの凸曲面を測定する際の光路を示す説明図である。
【図12】前記従来の光機能素子における回折パターンの説明図である。
【符号の説明】
15A,15B,15C,15D…両面ゾーンプレート
15a…第1面
15b…第2面
16,18…反射防止膜
41,42,43,44…被測定レンズ
42’,43’…被測定回折素子
Claims (5)
- 共に回折パターンを備えた第1面と第2面を持つ回折素子であって、
所定波長の入射光が、第1面、第2面の順に回折偏向されて出射した後、外部の反射面で反射されて、第2面、第1面の順に回折偏向されて出射し、
第1面の回折角が第2面の出射角よりも大きく、かつ、第1面及び第2面の回折方向が互いに逆方向であること、
を特徴とする光機能素子。 - 前記第1面と第2面の回折パターンは平面上に形成されていることを特徴とする請求項1記載の光機能素子。
- 前記第1面及び第2面の回折パターンはそれぞれの加工径が異なることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の光機能素子。
- 前記第1面及び第2面の少なくとも一方に、面内の反射率に分布を施すための光学機能膜を設けたことを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3記載の光機能素子。
- 前記第1面及び第2面の少なくとも一方に、面全体の反射率を調整する光学機能膜を設けたことを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3記載の光機能素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119543A JP2004325722A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 光機能素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119543A JP2004325722A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 光機能素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004325722A true JP2004325722A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33498739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003119543A Pending JP2004325722A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 光機能素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004325722A (ja) |
-
2003
- 2003-04-24 JP JP2003119543A patent/JP2004325722A/ja active Pending
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|
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|
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