JP2004320846A - Vibration-type drive unit - Google Patents

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Nobuyuki Kojima
Shinji Yamamoto
信行 小島
新治 山本
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Canon Inc
キヤノン株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify the constitution of the electrode of an electro-mechanical energy transducer, in a vibration-type drive unit which relatively drives a vibrator and a body to be driven by generating two flexural vibration modes. <P>SOLUTION: This vibratory drive unit has a vibrator, which is quipped with an elastic body (4) and an electro-mechanical energy transducer (5), having at least two electrodes and exciting vibration in the elastic body, by the application of the drive voltage of two phases of the same frequency to these electrodes, and a body to be driven (7) which contacts the elastic body. The vibrator can form a first flexural vibration mode, receiving the input of the two-phase drive voltage which goes into the same phase, and can form a second flexural vibration mode, receiving the input of the two-phase drive voltage which goes into reverse phase. This drive unit relatively drives the vibrator and the body to be driven by the combination of the first flexural vibration mode and the second flexural vibration mode. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、弾性体に振動を発生させ、この振動エネルギを利用して被駆動体に駆動力を与える振動波モータ等の振動型駆動装置に関するもので、特に被駆動体を直線方向で駆動するタイプの振動型駆動装置に関するものである。 The present invention, vibration is generated in the elastic member, the present invention relates vibratory driving device such as a vibration wave motor which gives a driving force by utilizing the vibration energy to the driven member, for driving in particular the driven member in a linear direction those of the type of the vibration type driving device.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
これまでに被駆動体を直線方向に駆動するタイプの振動波モータには、さまざまな提案がなされている。 This vibration wave motor of the type for driving a driven body in a linear direction before, various proposals have been made.
【0003】 [0003]
例えば、角棒状に形成された弾性体の一側面における所定位置に複数の突起部が設けられているとともに、上記弾性体のうち突起部が設けられた面と反対側の面に圧電素子が配置された振動波モータにおいて、圧電素子に交流電圧を印加することにより、弾性体に屈曲共振振動と、長さ方向共振振動(縦振動)を同時に発生させ、突起部に楕円運動を生じさせるものがある(第1の従来例、例えば、特許文献1参照)。 For example, a plurality of projections at a predetermined position in one side of the formed square rod-shaped elastic body is provided, the piezoelectric element is disposed on the surface opposite to the surface on which protruding portions are provided among the elastic member in the vibration wave motor which is, by applying an alternating voltage to the piezoelectric element, what causes a bending resonance vibration in the elastic member generates longitudinal resonant vibration (vertical vibration) at the same time, the elliptical motion to the projecting portion there (first conventional example, for example, see Patent Document 1).
【0004】 [0004]
この構成では、突起部に被駆動体を加圧接触させることにより、被駆動体を突起部の楕円運動によって直線的に駆動することができるようになっている。 In this configuration, by pressure contact of the driven member to the protrusion, so that it can be linearly driven by the elliptical motion of the protrusion driven body.
【0005】 [0005]
一方、矩形の板状に形成された弾性体に異なる2つの曲げ振動モードを励起し、2つの曲げ振動モードの組み合わせで所定の質点(突起部等)に楕円運動を生じさせる振動波モータがある。 On the other hand, to excite the two bending vibration modes different in a rectangular plate shape which is formed in the elastic body, there is a vibration wave motor to produce an elliptical motion at a predetermined mass (projections, etc.) with a combination of the two bending vibration modes . (第2の従来例、例えば、特許文献2参照)。 (Second prior art, for example, see Patent Document 2).
【0006】 [0006]
ここで、2つの曲げ振動モードのうち一方の曲げ振動モード(第1振動モードと呼ぶことにする)は、図2の(a−1)、(a−2)に示すように、十字状の節を有する振動モードとなっている。 Here, one of the bending vibration mode of the two bending vibration modes (referred to as a first vibration mode) is, in FIG. 2 (a-1), as shown in (a-2), cross-shaped and it has a vibration mode with the section. また、他方の曲げ振動モード(第2振動モードと呼ぶことにする)は、図2の(b−1)、(b−2)に示すように、所定方向に対して平行な2つの節を有する振動モードとなっている。 Also, (to be referred to as a second vibration mode) other bending vibration mode, in FIG. 2 (b-1), (b-2) as shown, two sections parallel to the predetermined direction and has a vibration mode having.
【0007】 [0007]
そして、上述した2つの曲げ振動モードを発生させるために、図3に示すような電極パターンを持つ圧電素子を使用している。 Then, in order to generate the two bending vibration modes described above, using a piezoelectric element having an electrode pattern as shown in FIG. 図3において、3Aは第1振動モードを発生させるための圧電素子であり、3Bは第2振動モードを発生させるための圧電素子である。 In FIG. 3, 3A is a piezoelectric element for generating a first oscillation mode, 3B is a piezoelectric element for generating a second oscillation mode. 図中の「+」記号および「−」記号は分極方向を示している。 "+" Sign and in Figure "-" symbols indicate polarization directions.
【0008】 [0008]
圧電素子3Aでは、第1振動モードにおける十字状の節と一致するように電極の境界部が存在しており、この4分割された電極に第1振動モードの共振周波数付近の周波数の交流信号(Va)を印加すると、第1振動モードの振動が発生する。 In the piezoelectric element 3A, and the boundary portions of the electrodes to match the cross-shaped section in the first vibration mode is present, the AC signal at a frequency near the resonance frequency of this four divided electrode first vibration mode ( the application of a va), the vibration of the first vibration mode is generated. 一方、圧電素子3Bに第2振動モードの共振周波数付近の周波数の交流信号(Vb)を印加すると、弾性体には第2振動モードの振動が発生する。 On the other hand, upon application of a frequency of an AC signal near the resonance frequency of the second vibration mode (Vb) to the piezoelectric element 3B, the vibration of the second vibration mode is generated in the elastic body.
【0009】 [0009]
このため、圧電素子3Aおよび圧電素子3Bを積層して、弾性体に取り付けることにより、弾性体上に2つの曲げ振動モードを発生させることができ、この2つの曲げ振動モードの合成によって所定の質点に生じる楕円運動によって被駆動体を駆動することができる。 Thus, by laminating the piezoelectric element 3A and the piezoelectric element 3B, by attaching the elastic body, it is possible to generate a two bending vibration modes on the elastic member, a predetermined mass by the synthesis of the two bending vibration modes it is possible to drive the driven member by elliptic motion occurring.
【0010】 [0010]
一方、2つの曲げ振動モードを発生させる圧電素子としては、図4に示すように、複数の圧電素子を積層せずに単一の層で構成された圧電素子を用いることもできる。 On the other hand, the piezoelectric element for generating two bending vibration modes can be used as shown in FIG. 4, a piezoelectric element formed of a single layer without stacking a plurality of piezoelectric elements. 図4において、電圧信号Vaに接続されている電極は第1振動モード発生用の圧電素子であり、電圧信号Vbに接続されている電極は第2振動モード発生用の圧電素子である。 4, the electrode connected to the voltage signal Va is a piezoelectric element for the first vibration mode occurs, the electrode connected to the voltage signal Vb are piezoelectric elements for the second vibration mode occurs.
【0011】 [0011]
【特許文献1】 [Patent Document 1]
特公平6−106028号公報【特許文献2】 JP Kokoku 6-106028 [Patent Document 2]
特開平6−311765号公報【0012】 JP-A-6-311765 [0012]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
しかしながら、第1の従来例における振動波モータの構成においては、長さ方向共振振動(縦振動)を使用しているため、弾性体を小型化しようとすると共振周波数が高くなりすぎてしまうという問題があり、振動波モータの小型化には限界がある。 However, in the configuration of a vibration wave motor in the first conventional example, a problem that due to the use of longitudinal resonance (longitudinal vibration) is a resonance frequency when you try to compact becomes too high an elastic body There are, there is a limit to the miniaturization of the vibration wave motor.
【0013】 [0013]
一方、第2の従来例における振動波モータでは、2つの曲げ振動モードを組み合わせたものであるため、第1の従来例と比べると弾性体(振動波モータ)を小型化することができる。 On the other hand, the vibration wave motor in the second conventional example, since a combination of two bending vibration modes, as compared with the first conventional example elastic body (vibration wave motor) can be reduced in size. また、矩形の弾性体の長辺と短辺の比を変更することにより、各曲げ振動モードにおける共振周波数を一致させることができるため、第1の従来例と比べて共振周波数の調整を行い易く、駆動効率が良いアクチュエータを実現することが可能となっている。 Further, by changing the long side and the ratio of the short sides of the rectangular elastic body, it is possible to match the resonant frequency of each bending vibration mode, facilitate the adjustment of the resonance frequency as compared with the first conventional example , it is possible to realize a driving efficient actuator.
【0014】 [0014]
しかしながら、第2の従来例においては、振動体に複数の振動モードを励振させるために、それぞれの振動モードを発生するための専用の電極を有する圧電素子が必要となる。 However, in the second conventional example, in order to excite a plurality of vibration modes to the vibrating body, the piezoelectric element is required to have a dedicated electrode for generating respective vibration modes. これにより、複雑な電極パターンの圧電素子を使用したり、圧電素子を積層して使用したりする必要があるため、製造工程やコスト等の点で好ましいものとはいえない。 This enables you to use a piezoelectric element of a complex electrode patterns, it is necessary or used by laminating piezoelectric elements it can not be said preferable in terms of such manufacturing processes and cost.
【0015】 [0015]
また、電極パターンごとに分極方向が異なるため、分極処理の工程が複雑となるだけでなく、分極方向が異なる電極の境界付近において圧電素子の剛性が変化してしまうという問題点もある。 Moreover, there is because the polarization direction for each electrode pattern different, step poling not only becomes complicated, a problem that the rigidity of the piezoelectric element is changed in the vicinity of the boundary of the polarization directions are different electrodes.
【0016】 [0016]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明は、弾性体と、少なくとも2つの電極を有し、この2つの電極に同一周波数の2相の駆動電圧が印加されることで弾性体に振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子とを備えた振動体と、弾性体と接触する被駆動体とを有する振動型駆動装置であって、振動体は、同位相となる2相の駆動電圧の入力を受けて第1の曲げ振動モードを形成するとともに、逆位相となる2相の駆動電圧の入力を受けて第2の曲げ振動モードを形成することが可能であり、第1の曲げ振動モードおよび第2の曲げ振動モードの組み合わせによって振動体および被駆動体を相対的に駆動することを特徴とする。 The present invention includes an elastic body, has at least two electrodes, an electrical exciting a vibration in the elastic member by the driving voltage of two phases of the same frequency in the two electrodes are applied - the energy transducer a vibrating body having, a vibration type driving device having a driven body in contact with the elastic member, the vibrating body, the first bending vibration mode receives the driving voltage of two phases the same phase and forming, it is possible to form a second bending vibration mode receives the driving voltage of two phases opposite phases, the vibration by the combination of the first bending vibration mode and second bending vibration mode characterized by relatively driving body and the driven body.
【0017】 [0017]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(第1実施形態) (First Embodiment)
図5は、本発明の第1実施形態である振動波アクチュエータにおける振動体1の外観斜視図である。 Figure 5 is an external perspective view of the vibration member 1 in the vibration wave actuator according to a first embodiment of the present invention. 図5において、4は金属材料からなり、矩形の板状に形成された弾性体であり、5は弾性体4の裏面に接合された圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子)であり、6は弾性体4の上面に設けられた突起部である。 5, 4 is made of a metal material, an elastic body formed in a rectangular plate shape, 5 piezoelectric element bonded to the rear surface of the elastic body 4 - is (electromechanical energy conversion element), 6 a projecting portion provided on an upper surface of the elastic body 4.
【0018】 [0018]
突起部6は、この先端において後述するように被駆動体に接触する。 Protrusions 6 comes into contact with the driven body, as described later in this tip. ここで、突起部6の先端には、摩擦係数や耐摩耗性に優れた接触部を設けることができる。 Here, the tip of the projection portion 6 can be provided with excellent contact portion coefficient of friction and wear resistance. また、突起部6は、プレス加工等により弾性体4と一体的に形成したり、弾性体4とは別に形成してから弾性体4に固定したりすることができる。 Further, the protrusion 6 may or fixed or formed integrally with the elastic body 4 manner by press working or the like, after forming separately from the elastic member 4 to the elastic member 4.
【0019】 [0019]
突起部6および弾性体4を一体的に形成すれば、これらを別々に形成する場合に比べて、弾性体1の組み立て工数を減らすことができるとともに、部品(突起部6)の位置合わせを行う必要がないことで部品間のバラツキを防止することができる。 If integrally formed projections 6 and the elastic body 4 is carried out as compared with the case of forming these separately, it is possible to reduce the assembly steps of the elastic body 1, the positioning of the component (protrusions 6) it is possible to prevent variation among parts do not need.
【0020】 [0020]
本実施形態の振動体1は、後述するように2つの曲げ振動モードを励起することができ、この2つの曲げ振動モードを組み合わせることにより突起部6の先端に楕円運動を生じさせるものである。 Vibration member 1 of the present embodiment, it is possible to excite two bending vibration modes as described below, it is intended to produce an elliptical motion at the tip of the protruding portion 6 by combining the two bending vibration modes.
【0021】 [0021]
ここで、振動体1の形状は、上記の2つの曲げ振動モードの共振周波数が略一致するように形成されている。 Here, the shape of the vibrating body 1, the resonance frequencies of the two bending vibration modes described above are formed so as to substantially coincide. 具体的には、弾性体4の長手方向の寸法(長辺)と、長手方向と直交する方向の寸法(短辺)を適宜設定することにより、2つの曲げ振動モードの共振周波数を一致させることができる。 Specifically, the longitudinal dimension of the elastic body 4 (the long side), by appropriately setting the dimension (short side) perpendicular to the longitudinal direction, to match the two bending resonance frequency of the vibration mode can.
【0022】 [0022]
以下、振動体1に励起される2つの曲げ振動モードについて説明する。 The following describes two bending vibration modes excited in the vibration member 1.
【0023】 [0023]
図6は、2つの曲げ振動モードを表した図である。 Figure 6 is a diagram showing the two bending vibration modes. 図6(a)に示す振動モードは、2つの曲げ振動モードのうち一方の曲げ振動モード(Aモードと呼ぶ)を表している。 Vibration mode shown in FIG. 6 (a) represents one of the bending vibration mode of the two bending vibration mode (referred to as A mode). このAモードは、矩形の振動体1(弾性体4)の長辺方向(矢印X方向)における2次の屈曲振動であり、短辺方向(矢印Y方向)と平行な3本の節を有している。 The A mode is a second-order bending vibration in the longitudinal direction (arrow X direction) of the rectangular vibrator 1 (the elastic body 4), have a parallel three sections with the short-side direction (arrow Y) doing.
【0024】 [0024]
ここで、突起部6は、Aモードの振動で節となる位置の近傍に配置されており、Aモードの振動により矢印X方向で往復運動を行う。 Here, the protrusion 6 is arranged near a position where a node in the vibration of the A mode, reciprocates in the arrow X direction by the vibration of the A mode. このように突起部6を配置することにより、突起部6を矢印X方向で最も大きく変位させることができる。 By thus arranging the protrusions 6, it can be most largely displaced protrusions 6 by the arrow X direction.
【0025】 [0025]
また、図6(b)に示す振動モードは、2つの曲げ振動モードのうち他方の曲げ振動モード(Bモードと呼ぶ)を表している。 The vibration mode shown in FIG. 6 (b) represents the other bending vibration mode of the two bending vibration mode (referred to as B-mode). このBモードは、矩形の振動体1(弾性体4)の短辺方向(矢印Y方向)における1次の屈曲振動であり、長辺方向(矢印X方向)と平行な2本の節を有している。 The B mode is a first order bending vibration in the short-side direction Y of the rectangular vibrator 1 (the elastic body 4), have a two parallel sections and longitudinal direction (arrow X) doing.
【0026】 [0026]
ここで、Aモードにおける節と、Bモードにおける節は、XY平面内において略直交するようになっている。 Here, a section in the A mode, nodes in the B-mode is adapted to substantially orthogonal in the XY plane.
【0027】 [0027]
また、突起部6は、Bモードの振動で腹となる位置の近傍に配置されており、Bモードの振動により矢印Z方向で往復運動を行う。 Further, the protrusion 6 is arranged in the vicinity of the position at which the antinode vibration of the B mode, reciprocates in the direction of arrow Z by the vibration of the B mode. このように突起部6を配置することにより、突起部6を矢印Z方向で最も大きく変位させることができる。 By thus arranging the protrusions 6, it can be most largely displaced protrusions 6 by the arrow Z direction.
【0028】 [0028]
すなわち、上述したようにAモードの節とBモードの節を略直交させることにより、Aモードの節の位置とBモードの腹の位置とを一致させることができ、この位置に突起部6を配置することにより、突起部6の振動変位を最も大きくすることができ、高出力を得ることができるようになる。 That is, by substantially perpendicular to the section section and B mode A mode as described above, it is possible to match the position of the antinode position and B-mode sections A mode, the protruding portion 6 in this position by arranging, it is possible to most large vibration displacement of the protruding portion 6, it is possible to obtain a high output.
【0029】 [0029]
そして、上述したように突起部6をX方向およびZ方向で大きく変位させることにより、突起部6に接触する被駆動体に対して大きな駆動力を与えることができる。 Then, the protruding portions 6, as described above by greatly displaced in the X direction and the Z direction, it is possible to provide greater driving force to the driven member in contact with the projections 6.
【0030】 [0030]
なお、2つの突起部6を、弾性体4の中心を通るXZ平面又はYZ平面に対して対称に配置すれば、突起部6においてスライダ7(図7)から受ける反力を振動体1は偏り無く受けることができる。 Incidentally, the two protrusions 6, if arranged symmetrically with respect to the XZ plane or YZ plane passing through the center of the elastic body 4, the vibration member 1 a reaction force received at the projection portion 6 from the slider 7 (Fig. 7) biases it is possible to receive without. また、スライダ7と突起部6の相対位置関係が安定するため、環境や負荷の変動等の影響を受けずに振動体1の出力を安定させることができる。 Further, the relative positional relationship between the slider 7 and the projection 6 is stabilized, it is possible to stabilize the output of the vibration member 1 without being affected by variations of environmental and load.
【0031】 [0031]
上述したAモードとBモードの振動を所定の位相差で発生させることにより、突起部6の先端に楕円運動を発生させることができる。 By generating the vibration of the A mode and B mode described above with a predetermined phase difference, it is possible to generate elliptical motion at the tip of the protrusion 6. 突起部6の先端には、図7に示すように、被駆動体であるスライダ7が加圧接触するようになっており、スライダ7は突起部6の楕円運動によって矢印L方向に移動することができる。 The tip of the projection portion 6, as shown in FIG. 7, it slider 7 is driven body is adapted to contact under pressure, the slider 7 which moves in the arrow L direction by the elliptic motion of the protrusion 6 can.
【0032】 [0032]
振動体1に上述のAモードおよびBモードの振動を発生させるために、従来技術と同様な考え方で圧電素子の電極パターンを構成すると、図8に示すような電極パターンになる。 To generate the vibration in the above A and B modes in the vibrator 1, when constituting the electrode patterns of the piezoelectric elements in the prior art and the same concept, the electrode pattern as shown in FIG. 図8において、「+」記号および「−」記号は分極方向を表す。 8, "+" sign and a "-" sign represents the polarization direction.
【0033】 [0033]
図8に示す圧電素子のうち電圧信号(Va)が接続されている4つの電極領域は、Aモードの振動を発生させるための電極領域である。 Four electrodes regions voltage signal (Va) is connected among the piezoelectric element shown in FIG. 8 is an electrode region for generating the vibration of the A mode. VaにAモードの共振周波数付近の周波数の交流電圧を印加すると、ある瞬間には4つの電極領域のうち「+」に分極処理された2つの電極領域(圧電素子)が伸びるとともに、「−」に分極処理された2つの電極領域(圧電素子)が縮むことになる。 When an AC voltage is applied at a frequency near the resonance frequency of the A mode to va, with two electrode regions which are polarized in the "+" of the four electrode regions are at a certain moment (piezoelectric element) is extended, "-" polarization treatment is two electrode regions (piezoelectric elements) to be contracted to.
【0034】 [0034]
また、別の瞬間には「+」に分極処理された電極領域(圧電素子)が縮むとともに、「−」に分極処理された電極領域(圧電素子)が伸びることになる。 Furthermore, the different moments with polarization-treated electrodes area (piezoelectric element) is contracted to the "+", "-" polarization-treated electrodes area (piezoelectric element) is that extending. この結果、Aモードの振動が発生する。 As a result, the vibration of the A mode occurs.
【0035】 [0035]
一方、図8に示す圧電素子のうち電圧信号(Vb)が接続されている1つの電極領域は、Bモードの振動を発生させるための電極領域である。 Meanwhile, one electrode region voltage signal (Vb) is connected among the piezoelectric element shown in FIG. 8 is an electrode region for generating the vibration of the B mode. VbにBモードの共振周波数付近の周波数の交流電圧を印加すると、圧電素子の短辺方向(Y方向)の中央部分が伸縮するため、振動体にはBモードの振動が発生する。 When an AC voltage is applied at a frequency near the resonance frequency of the B mode Vb, since the central portion of the short-side direction (Y-direction) of the piezoelectric element expands and contracts, the vibration of the B mode is generated in the vibration member.
【0036】 [0036]
ここで、VaとVbの交流電圧を位相の90°ずれた同一の周波数(本実施形態では、AモードおよびBモードの共振周波数付近の周波数)とすることにより、突起部6上に楕円運動が発生する。 Here, (in the present embodiment, a frequency near the resonance frequency of the A and B modes) the same frequency AC voltage of Va and Vb which is shifted 90 ° in phase by a, the elliptical motion on the protrusion 6 Occur.
【0037】 [0037]
図1は、本実施形態である圧電素子の電極パターンを示した図である。 Figure 1 is a diagram showing an electrode pattern of a piezoelectric element which is the present embodiment. 図1に示すように、圧電素子5には、この長手方向(X方向)で2等分された電極領域が形成されている。 As shown in FIG. 1, the piezoelectric element 5, 2 equally divided electrode regions in the longitudinal direction (X direction) is formed. また、各電極領域における分極方向は、同一方向(「+」)となっている。 Further, the polarization direction at each electrode region has a same direction ( "+").
【0038】 [0038]
圧電素子5の2つの電極領域のうち図1中右側に位置する電極領域には交流電圧(V1)が印加され、左側に位置する電極領域には交流電圧(V2)が印加される。 The electrode region located two out in Figure 1 right electrode area of ​​the piezoelectric element 5 is applied an AC voltage (V1), the electrode area on the left side AC voltage (V2) is applied.
【0039】 [0039]
図1において、V1およびV2をAモードの共振周波数付近の周波数で、かつ位相が180°ずれた交流電圧とすると、ある瞬間には、右側の電極領域の圧電素子が縮むとともに、左側の電極領域の圧電素子が伸びる。 In Figure 1, the V1 and V2 at a frequency near the resonance frequency of the A mode, and the phase of the AC voltage shifted from each other by 180 °, in a certain moment, together with the piezoelectric element shrinks in the right-hand electrode region, left electrode area the piezoelectric element of stretches. また、別の瞬間には逆の関係となる。 In addition, the inverse relationship to another moment. この結果、振動体1にはAモードの振動が発生することになる。 As a result, the vibration of the A mode is generated in the vibration member 1.
【0040】 [0040]
また、V1およびV2をBモードの共振周波数付近の周波数で、かつ同位相の交流電圧とすると、圧電素子全体(2つの電極領域)がある瞬間には伸び、また別の瞬間には縮むことになる。 Further, at a frequency near the resonance frequency of the V1 and V2 B-mode, and when the AC voltage of the same phase, the elongation at the moment there is a whole piezoelectric element (two electrode regions), also to shrink to another moment Become. この結果、振動体1にはBモードの振動が発生することになる。 As a result, the vibration of the B mode is generated in the vibration member 1.
【0041】 [0041]
なお、圧電素子5における2つの電極領域のうち一方の電極領域における分極方向を「+」とし、他方の電極領域における分極方向を「−」とすることもできる。 Incidentally, the polarization direction of one electrode region of the two electrode areas in the piezoelectric device 5 is "+", the polarization direction of the other electrode region "-" may be a.
【0042】 [0042]
この場合には、上記の2つの電極領域それぞれに、Aモードの共振周波数付近の周波数で、かつ同位相の交流電圧(V1、V2)を印加することにより、振動体1にAモードの振動を発生させることができる。 In this case, each of the two electrode regions of the, at frequencies near the resonant frequency of the A mode, and by applying the same phase of the AC voltage (V1, V2), the vibration of the A mode to the vibrating body 1 it can be generated. また、上記の2つの電極領域それぞれに、Bモードの共振周波数付近の周波数で、かつ位相が180°ずれた交流電圧(V1、V2)を印加することにより、振動体1にBモードの振動を発生させることができる。 Further, each of the two electrode regions of the, at frequencies near the resonant frequency of B-mode, and by the phase to apply a 180 ° shifted alternating voltages (V1, V2), the vibration of the B mode to the vibrating body 1 it can be generated.
【0043】 [0043]
ここで、V1やV2と、AモードおよびBモードとの関係について、図9を用いて説明する。 Here, the V1 and V2, the relationship between A and B modes, will be described with reference to FIG.
【0044】 [0044]
上述した図1を用いた説明によれば、「V1」と「−V2」のベクトルの合成がAモードを示すベクトルとなり、「V1」と「V2」のベクトルの合成がBモードを示すベクトルとなる。 According to the description with reference to FIG. 1 described above, it is a vector indicating the vector synthesis A mode of the "V1", "-V2", the vector indicating the vector synthesis B mode and "V1", "V2" Become. ここで、V1とV2の振幅(V1およびV2のベクトルの大きさ)を同じくし、位相差を0°と180°の間の位相差θ(0°<θ<180°)とすると、図9に示すように(V1+V2)と(V1−V2)のベクトルが直交することがわかる。 Here, also the V1 and V2 amplitudes (magnitude of V1 and V2 vectors), the phase difference theta (0 ° <theta <180 °) between the phase difference of 0 ° and 180 ° when to 9 as shown in (V1 + V2) and (V1-V2) it can be seen that vectors are orthogonal.
【0045】 [0045]
これは、AモードとBモードの振動が同時に発生し、かつ振動の位相差が90°ずれていることを表している。 This vibration of the A mode and B mode are generated simultaneously and the phase difference of the vibration represents that shifted 90 °. この結果、弾性体4上の突起部6に楕円運動を発生させることができ、突起部6に接触させたスライダ7を駆動することが可能となる。 As a result, it is possible to generate an elliptical motion with the protrusion 6 on the elastic body 4, it is possible to drive the slider 7 in contact with the projections 6.
【0046】 [0046]
すなわち、V1およびV2の電圧振幅を同じとし、V1およびV2の位相差θを0°および180°以外とすれば、AモードとBモードを同時に発生させることができ、振動の位相差は必ず90°又は−90°のいずれかになる。 That is, the voltage amplitude of the same city V1 and V2, if other than 0 ° and 180 ° phase difference θ of the V1 and V2, it is possible to generate an A mode and B mode at the same time, the phase difference of the vibrations always 90 ° or -90 ° be either. また、V1とV2の位相差θを変更することにより、AモードとBモードの振幅を変更することができる。 Further, by changing the phase difference θ of the V1 and V2, it is possible to change the amplitude of the A mode and B mode.
【0047】 [0047]
以上説明したように、本実施形態によれば電極パターンを振動体1の長手方向で2等分した簡単な構成で、かつ各電極領域の分極方向が同一方向であるような圧電素子5を用いた振動体1であっても、振動体1の突起部6に楕円運動を発生させることができる。 As described above, use an electrode pattern according to this embodiment in two equally divided simple configuration in the longitudinal direction of the vibration member 1 and the piezoelectric element 5, such as the polarization direction of the electrode region is in the same direction even vibrating body 1 had, it is possible to generate an elliptical motion the protrusions 6 of the vibration member 1.
【0048】 [0048]
このように電極パターンを簡単な構成とすることで、各電極領域に接続される配線を簡単な構成とすることができる。 By thus an electrode pattern with a simple configuration, it can be a wire connected to the electrode area and a simple configuration. また、分極方向が圧電素子全域にわたって同一方向とすることで、分極方向が異なる圧電素子に比べて、分極処理を容易に行うことができるとともに、電極領域の境界付近における圧電素子の剛性が均一となり、理想的な振動を発生させることができる。 Further, since the polarization direction is the same direction over the piezoelectric elements throughout, as compared with the direction of polarization different piezoelectric elements, with the polarization treatment can be easily performed, the rigidity of the piezoelectric element in the vicinity of the boundary of the electrode area is uniform , it is possible to generate an ideal vibration.
【0049】 [0049]
また、2つの曲げ振動モードを用いて被駆動体の駆動を行うことにより、曲げ振動及び縦振動の組み合わせによって被駆動体を駆動する振動波アクチュエータに比べて、固有周波数の上昇を抑えて振動波アクチュエータの小型化を図ることができる。 Further, by performing the driving of the driven body with two bending vibration modes, as compared with a combination of bending vibration and the longitudinal vibration in the vibration wave actuator for driving the driven member, the vibration wave by suppressing increase of the natural frequency actuator miniaturization of can be achieved.
【0050】 [0050]
なお、本実施形態の振動型駆動装置では、2次の曲げ振動モード(Aモード)と1次の曲げ振動モード(Bモード)の組み合わせにより被駆動体の駆動を行うように構成されているが、本発明はこれに限るものではない。 In the vibration type driving device of this embodiment is configured so as to drive the driven member by a combination of the secondary bending vibration mode (A mode) and the primary bending vibration mode (B-mode) , the present invention is not limited to this.
【0051】 [0051]
すなわち、V1とV2に位相差0°の交流電圧を印加した時に発生するモードと、V1とV2に位相差180°の交流電圧を印加した時に発生するモードの組み合わせによって楕円運動を発生できるものであれば、どのような曲げ振動モード(次数の異なる曲げ振動モード)を用いてもよい。 That is, a mode that occurs when applying an alternating voltage of the phase difference 0 ° to V1 and V2, as it can generate an elliptic movement by the combination of modes generated when an AC voltage is applied in the phase difference 180 ° to V1 and V2 if may be used any bending vibration mode (of different orders bending vibration mode).
【0052】 [0052]
本実施形態では、図5や図7に示すように、弾性体4の上面に2つの突起部6を設けた振動体について説明したが、突起部6を配置する位置や数については適宜設定することができる。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 7 has been described vibrator provided with two projections 6 on the upper surface of the elastic body 4, the positions and the number of placing the protrusion 6 is set appropriately be able to.
【0053】 [0053]
例えば、図18に示すように弾性体4の中央に1つの突起部6を設けたり、図20に示すように弾性体4に4つの突起部6を設けたりすることができる。 For example, it is possible or provided or provided with one of the projections 6 at the center of the elastic member 4 as shown in FIG. 18, the four projections 6 in the elastic member 4 as shown in FIG. 20.
【0054】 [0054]
図18に示す振動体1'において、突起部6は、Aモードの振動によって図19(a)に示すようにX方向に往復運動するとともに、Bモードの振動によって図19(b)に示すようにZ方向に往復運動する。 In the vibrating body 1 'shown in FIG. 18, projections 6, as well as reciprocate in the X direction as shown in FIG. 19 (a) by the vibration of the A mode, as shown in FIG. 19 (b) by the vibration of the B mode back and forth movement in the Z direction to. そして、AモードおよびBモードの組み合わせにより、突起部6の先端には楕円運動が生じ、これによりスライダ7が矢印L方向に移動する。 Then, the combination of A-mode and B-mode, the tip of the protrusion 6 occurs elliptic motion, thereby the slider 7 is moved in the arrow L direction.
【0055】 [0055]
ここで、突起部6は、Aモードの節の近傍に配置されているとともに、Bモードの腹の近傍に配置されているため、X方向およびZ方向の変位が大きくなり、スライダ7に大きな駆動力を与えることができる。 Here, the protruding portion 6, together are disposed in the vicinity of section A mode, since it is arranged in the vicinity of the antinode of B-mode, the displacement of the X and Z directions is increased, a large driving the slider 7 it is possible to give the force.
【0056】 [0056]
また、図20に示す振動体1”において、突起部6は、Aモードの振動によって図21(a)に示すようにX方向に往復運動するとともに、Bモードの振動によって図21(b)に示すようにZ方向に往復運動する。そして、AモードおよびBモードの組み合わせにより、突起部6の先端には楕円運動が生じ、これにより突起部6に接する不図示の被駆動体が駆動する。 Further, in the vibration member 1 'shown in FIG. 20, projections 6, as well as reciprocate in the X direction as shown in FIG. 21 (a) by the vibration of the A mode, the vibration of the B mode is shown in Figure 21 (b) reciprocates in the Z-direction as shown. Then, the combination of a-mode and B-mode, the tip of the protrusion 6 occurs elliptic motion, thereby the driven member (not shown) in contact with the protruding portion 6 is driven.
【0057】 [0057]
ここで、4つの突起部6はそれぞれ、Aモードの節の近傍に配置されているとともに、Bモードの腹の近傍に配置されているため、X方向およびZ方向の変位が大きくなる。 Here, each of the four projections 6, together is disposed in the vicinity of section A mode, since it is arranged in the vicinity of the antinode of B-mode, the displacement in the X direction and the Z direction is large.
【0058】 [0058]
また、本実施形態では、図7に示すように棒状に形成された被駆動体(スライダ7)を突起部6に接触させた場合について説明したが、本発明はこれに限るものではない。 Further, in the present embodiment, the driven member, which is formed in a rod shape as shown in FIG. 7 (slide 7) has been described for the case in contact with the protruding portion 6, the present invention is not limited thereto.
【0059】 [0059]
具体的には、図22(a)に示すように円盤状に形成された被駆動体7'を突起部6に接触させて、この被駆動体7'を矢印に示す方向に駆動させる構成の振動波アクチュエータとすることができる。 Specifically, 'and is brought into contact with the protruding portion 6, the driven member 7' driven body 7 formed in a disk shape as shown in FIG. 22 (a) of the structure for driving the in the direction indicated by the arrow it can be a vibration wave actuator. また、図22(b)に示すように円環状に形成された被駆動体7”を突起部6に接触させて、この被駆動体7”を矢印に示す方向に駆動させる構成の振動波アクチュエータとすることができる。 Further, the driven member 7 formed in an annular shape as shown in FIG. 22 (b) "is contacted to the projection portion 6, the driven member 7" vibration wave actuator arrangement for driving the in the direction indicated by the arrow it can be.
【0060】 [0060]
(第2実施形態) (Second Embodiment)
上述した第1実施形態では、矩形状の弾性体および圧電素子を有する振動体において、単純な2分割構造の電極を有する圧電素子に印加する交流電圧(V1、V2)の位相差を0°および180°以外の位相差にすることにより、振動体の突起部に楕円運動を発生させることが可能であることを説明した。 In the first embodiment described above, in a vibration member having a rectangular elastic body and a piezoelectric element, the phase difference of the AC voltage applied to the piezoelectric element having an electrode of a simple two-piece construction (V1, V2) 0 ° and by the phase difference other than 180 °, it has been described that it is possible to generate an elliptic motion to the protrusion of the vibrator.
【0061】 [0061]
本発明の第2実施形態では、第1実施形態で説明した振動波アクチュエータの制御方法に関して説明する。 In the second embodiment of the present invention will be described with respect to a control method of a vibration wave actuator of the first embodiment. 振動波アクチュエータの構造については、上述した第1実施形態と同様であるので説明を省略する。 The structure of a vibration wave actuator, the description thereof is omitted because it is similar to the first embodiment described above.
【0062】 [0062]
本実施形態では、第1実施形態の振動波アクチュエータを、ビデオカメラのレンズユニットにおける駆動源として用いたものである。 In the present embodiment, the vibration wave actuator of the first embodiment in that used as a drive source in the lens unit of the video camera. 図10に、レンズユニットの断面図(光軸と直交する方向における断面図)を示す。 Figure 10 shows a cross-sectional view of a lens unit (cross-sectional view in the direction perpendicular to the optical axis).
【0063】 [0063]
図10において、8はレンズ鏡筒である。 10, 8 is a lens barrel. 9はレンズ(撮影レンズ)であり、フレーム10によって保持されている。 9 is a lens (taking lens), it is held by the frame 10. 11はシャフトであり、レンズ9が光軸方向(図10の紙面と直交する方向)に移動する際のガイドとして使用されている。 11 is a shaft, the lens 9 is used as a guide for moving in the optical axis direction (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 10). ここで、レンズ9が光軸方向に移動することによって、撮影光学系の焦点距離を変更することができるようになっている。 Here, by the lens 9 is moved in the optical axis direction, and is capable of changing the focal length of the photographing optical system.
【0064】 [0064]
12は第1実施形態で説明した振動波アクチュエータの振動体であり、突起部6がフレーム10に設けられたスライダ7と接触するような構成となっている。 12 is a vibrator of a vibration wave actuator of the first embodiment has a configuration as to contact the slider 7 the protrusions 6 are provided on the frame 10.
【0065】 [0065]
13および14はレンズ9の光軸方向における位置を検出するための公知のエンコーダである。 13 and 14 are known encoder for detecting the position in the optical axis direction of the lens 9. エンコーダスケール13に対して投受光素子14で光を照射し、エンコーダスケール13からの反射光を投受光素子14で読み取ることによってレンズ9の位置情報が検出される。 Light is irradiated to the light emitting and receiving element 14 with respect to the encoder scale 13, the position information of the lens 9 is detected by reading the reflected light from the encoder scale 13 with light emitting and receiving element 14.
【0066】 [0066]
次に、上述した振動波アクチュエータの制御方法について説明する。 Next, a description will be given of a control method for a vibration wave actuator as described above. 図11は本実施形態における制御装置を説明するためのブロック図である。 Figure 11 is a block diagram for explaining a control apparatus of the present embodiment.
【0067】 [0067]
図11において、15は振動波アクチュエータである。 11, 15 is a vibration wave actuator. 振動波アクチュエータ15によって駆動されるレンズ9の位置情報はエンコーダ16(図10の13、14)および位置カウンタ17によって計測される。 Position information of the lens 9 which is driven by the vibration wave actuator 15 is measured by the encoder 16 (13, 14 in FIG. 10) and position counter 17. 位置カウンタ17で計測されたレンズ9の位置情報は、位置比較部18において外部から入力された位置指令と比較される。 Position information of the lens 9 measured by the position counter 17 is compared position command inputted from the outside at the position comparison unit 18. この比較結果は位相差選択部19および周波数決定部20に入力される。 The comparison result is input to the phase difference selection unit 19 and a frequency determining section 20.
【0068】 [0068]
第1実施形態で説明したように、振動波アクチュエータ15(圧電素子)の2つの電極に印加する2相の交流電圧(V1、V2)の振幅を同一とし、かつ交流電圧の位相差θを0°および180°以外にすることにより、振動体12には90°位相のずれたAモードおよびBモードの振動が発生する。 As described in the first embodiment, the amplitude of the vibration wave actuator 15 two-phase AC voltage applied to the two electrodes of the (piezoelectric element) (V1, V2) and the same, and the phase difference θ of the AC voltage 0 ° and by the addition 180 °, the vibration of the a mode and B-mode offset of 90 ° phase to the vibrating body 12 is produced.
【0069】 [0069]
ここで、V1に対するV2の位相差θが任意の値(0°〜180°)であるときのAモードの振幅(Aa)およびBモードの振幅(Ab)の大きさは下記式(1)、(2)によって求められる。 The size of the A-mode amplitude (Aa) and B-mode amplitude when the phase difference of V2 for V1 theta is an arbitrary value (0 ° to 180 °) (Ab) the following formula (1), It is determined by (2).
【0070】 [0070]
Aa=|2×cos((π−θ)/2)| ・・・(1) Aa = | 2 × cos ((π-θ) / 2) | ··· (1)
Ab=|2×cos(θ/2)| ・・・(2) Ab = | 2 × cos (θ / 2) | ··· (2)
上記式(1)、(2)によって求めたAモードおよびBモードの振動振幅とV1およびV2の位相差θの関係を図12に示す。 The formula (1), shown in Figure 12 the relationship between the phase difference θ of the vibration amplitude and V1 and V2 of the A and B modes as determined by (2). 図12において、横軸は位相差θ、縦軸は振動モード(AモードおよびBモード)の振幅の大きさを示している。 12, the horizontal axis represents the phase difference theta, the vertical axis represents the magnitude of the amplitude of the oscillation mode (A mode and B mode). また、Aモードに対するBモードの振動の位相差は、V1とV2の位相差180°を境に90°と−90°が入れ替わる。 Further, the phase difference of the vibration of the B mode for A mode change places 90 ° and -90 ° as a boundary phase difference of 180 ° V1 and V2. すなわち、V1とV2の位相差180°を境として、この両側(図中の+方向、−方向)で被駆動体(スライダ7)の駆動方向が逆になる。 That is, boundary phase difference of 180 ° V1 and V2, the both sides (in the figure the + direction, - direction) driving direction of the driven body (slider 7) is reversed.
【0071】 [0071]
ここで、位置比較部18において、位置カウンタ17から得られるレンズ9の位置情報と外部から指令されるレンズ9の目標位置(停止位置)とを比較することにより、振動波アクチュエータによるスライダ7の駆動方向が決定される。 Here, in the position comparison unit 18, by comparing the target position of the lens 9 which is commanded from the position information and external lens 9 obtained from the position counter 17 (the stop position), the drive of the slider 7 due to the vibration wave actuator direction is determined. そして、この決定された駆動方向に応じて、V1とV2の位相差θを位相差選択部19で選択している。 Then, in accordance with the determined driving direction, it is selected by the phase difference selecting section 19 the phase difference θ of V1 and V2. すなわち、位相差選択部19では、スライダ7の駆動方向を+方向としたいときはV1に対するV2の位相差θを90°に、駆動方向を−方向としたいときには位相差θを270°としている。 That is, in the phase difference selecting section 19, the 90 ° phase difference θ of V2 for V1 when you want to driving direction of the slider 7 and the + direction, the driving direction - when you wanted direction have a phase difference θ and 270 °.
【0072】 [0072]
なお、90°および270°以外の位相差θであってもレンズ9を駆動することは可能であるが、本実施形態ではAモードおよびBモードの振幅が均等に発生するときの位相差θである90°および270°を選択している。 Incidentally, the phase difference θ of when it is possible to drive the lens 9 even phase difference θ other than 90 ° and 270 °, in the present embodiment the amplitude of the A and B modes equally occur is selected is 90 ° and 270 °.
【0073】 [0073]
次に、駆動周波数の制御に関して述べる。 Next, described with respect to control of the driving frequency. 振動波アクチュエータ15に印加する交流電圧(V1、V2)の周波数と駆動速度の関係は、一般的な共振を利用した振動波モータと同様であり、図13に示すように、共振周波数(fr)を速度のピークとし、frよりも高周波数側ではなだらかに駆動速度が減少し、かつ低周波側では急激に駆動速度が減少するような特性となる。 Relationship between the frequency and the drive speed of the AC voltage applied to the vibration wave actuator 15 (V1, V2) is the same as the vibration wave motor utilizing a general resonance, as shown in FIG. 13, the resonance frequency (fr) It was a peak speed, gradually driving speed is reduced even in a high frequency side than fr, and rapidly driving speed is a characteristic to decrease in the low frequency side.
【0074】 [0074]
この特性において駆動速度の制御を行う場合には、共振周波数(fr)よりも高い周波数領域での周波数で駆動制御を行うことになる。 When performing control of the drive speed in this property will make a drive control at a frequency of a higher frequency range than the resonance frequency (fr).
【0075】 [0075]
位置比較部18では、位置カウンタ17の出力に基づくレンズ9の現在位置と外部から入力された目標位置との偏差が計測されている。 The position comparison section 18, a deviation between the current position and the target position inputted from the outside of the lens 9 based on the output of the position counter 17 is measured. 周波数決定部20では、上記の偏差が大きいときは駆動周波数を共振周波数(fr)に近づけることにより、駆動速度が速くなるようにしている。 The frequency determining unit 20, when the above difference is large, by bringing the drive frequency to the resonant frequency (fr), so that the driving speed increases. また、上記の偏差が小さいときは駆動周波数を共振周波数(fr)から高周波数側に遠ざけることにより、駆動速度が遅くなるようにしている。 Further, when the above difference is small by distancing the high-frequency side driving frequency from the resonance frequency (fr), so that the driving speed is reduced.
【0076】 [0076]
なお、レンズ9の位置の偏差が所定の範囲以内となった場合は、振動波アクチュエータに交流電圧(V1、V2)を印加しないように構成してもよい。 Incidentally, if the deviation of the position of the lens 9 becomes within a predetermined range, it may be configured not to apply the AC voltage (V1, V2) to the vibration wave actuator.
【0077】 [0077]
駆動信号生成回路21では、位相差選択部19で選択された位相差θで、かつ周波数決定部20で決定された周波数となるような2相の信号(V1、V2に対応)を生成している。 In the drive signal generation circuit 21, and the phase difference θ selected by the phase difference selecting section 19, and (corresponding to V1, V2) 2-phase signals such that the frequency determined by the frequency determining unit 20 generates and there. この2相の信号は昇圧回路22によって振動波アクチュエータが動作可能な電圧まで昇圧される。 Signals of the two phases is boosted to the operable voltage vibration wave actuator by the boost circuit 22.
【0078】 [0078]
昇圧された交流電圧(V1、V2)は、振動波アクチュエータ15(圧電素子)に印加されることになる。 It boosted AC voltage (V1, V2) will be applied to the vibration wave actuator 15 (piezoelectric element). これにより、レンズ9が目標位置まで速やかに移動するようなレンズユニットを構成することができる。 This allows the lens 9 to the lens unit such that moving rapidly to the target position.
【0079】 [0079]
(第3実施形態) (Third Embodiment)
第2実施形態では、レンズ9の現在位置と目標位置の差に応じて振動波アクチュエータに印加する交流電圧(V1、V2)の周波数を変化させることにより駆動速度を変化させていた。 In the second embodiment, it has been changing the driving speed by changing the frequency of the AC voltage (V1, V2) to be applied to the vibration actuator according to the difference between the current position and the target position of the lens 9. また、印加電圧V1、V2の位相差θは被駆動体(スライダ7)の駆動方向に応じて90°または270°のいずれかを選択していた。 Further, the phase difference θ of the applied voltages V1, V2 had select either 90 ° or 270 ° depending on the driving direction of the driven member (slider 7).
【0080】 [0080]
この場合、振動体の突起部(図5の6)に発生する楕円運動は、図14に示すように楕円運動の横方向振幅であるAモードと縦方向振幅であるBモードの振幅比率は変化せずに、振幅の大きさが異なるような駆動状態となる。 In this case, the elliptical motion generated in the protrusion of the vibrator (6 in FIG. 5), the amplitude ratio of the B-mode is A mode and the longitudinal amplitude is transverse amplitude of the elliptical motion as shown in FIG. 14 is changed without, the magnitude of the amplitude is different driving conditions.
【0081】 [0081]
レンズ9をより低速で駆動させたい場合において、上述した第2実施形態のような駆動方法ではBモード振幅が小さくなりすぎるため(図14(b))に、突起部6が楕円運動の下側、すなわち、スライダ7の送り方向とは逆方向の運動時にもスライダ7に接触してしまい、安定した低速駆動が行えないという事態が生じてしまう場合も考えられる。 In case you want more driven at low speed lens 9, for the driving method as in the second embodiment described above B-mode amplitude is too small (Figure 14 (b)), the lower side of the protrusion 6 is elliptical motion , i.e., the feed direction of the slider 7 will contact the slider 7 also when the reverse movement, a situation that can not be performed stably low-speed driving can be considered may occur.
【0082】 [0082]
本発明の第3実施形態は、上述した第2実施形態をさらに改善したものであり、低速駆動を安定して実現するためのものである。 Third embodiment of the present invention has improved further the second embodiment described above, is used to realize a low-speed drive stably. 以下、その制御方法に関して説明する。 Hereinafter, it will be described a control method.
【0083】 [0083]
なお、本実施形態において、振動波アクチュエータの構成は第1実施形態で説明した振動波アクチュエータの構成と同様であり、この振動波アクチュエータを第2実施形態で説明したレンズユニットに搭載した場合について説明する。 In the present embodiment, the configuration of a vibration wave actuator is similar to the configuration of the vibration wave actuator of the first embodiment, the case of mounting the vibration actuator in the lens unit described in the second embodiment described to.
【0084】 [0084]
振動波アクチュエータを低速で安定して駆動するためには、スライダ7を突き上げる方向の振動であるBモードの振幅を大きくし、スライダ7の送り方向の振動であるAモードの振幅を小さくすることが考えられる。 In order to stably drive the vibration wave actuator at low speed is to increase the amplitude of the B-mode is a vibration direction of pushing up the slider 7, it is possible to reduce the amplitude of the A-mode feed a direction of vibration of the slider 7 Conceivable.
【0085】 [0085]
例えば、図15に示すように、高速駆動時と低速駆動時において、Bモードの振幅を一定にしておき、Aモードの振幅を変化させることによりスライダ7の駆動速度の制御を行えば、高速駆動から低速駆動までの広い領域でスライダ7を安定して駆動することが可能となる。 For example, as shown in FIG. 15, in the high-speed driving at a low speed driving time, leave the amplitude of the B-mode constant, by performing the control of the driving speed of the slider 7 by changing the amplitude of the A-mode, high-speed drive the slider 7 can be stably driven in a wide region up to the low-speed drive from.
【0086】 [0086]
図16は本実施形態における制御装置を説明するためのブロック図である。 Figure 16 is a block diagram for explaining a control apparatus of the present embodiment. 第2実施形態で説明した制御装置(図11のブロック図)と異なる点は、位相差決定部23および振幅決定部24が設けられている点である。 Is the control device (block diagram of Fig. 11) differs described in the second embodiment in that the phase difference determination unit 23 and the amplitude determining unit 24 is provided. それ以外の構成に関しては第2実施形態と同様である。 With respect to the other structure is the same as the second embodiment.
【0087】 [0087]
本実施形態では振動波アクチュエータに印加する交流電圧V1、V2の周波数を共振周波数(fr)付近の所定の周波数に固定しておき、V1およびV2の位相差θおよび振幅を操作することにより駆動速度を制御する。 In the present embodiment Leave fixed to a predetermined frequency in the vicinity of the resonance frequency the frequency of the AC voltage V1, V2 to be applied to the vibration wave actuator (fr), the driving speed by operating the phase difference θ and amplitude of V1 and V2 to control.
【0088】 [0088]
第2実施形態で述べたように、振動波アクチュエータにおける圧電素子の電極に印加する電圧(V1、V2)の位相差θに対するAモードおよびBモードの振幅の関係は図12に示すような関係となるが、これは位相差θが0°〜180°の範囲内においてV1およびV2の電圧振幅を一定とした場合である。 As described in the second embodiment, the relationship such as the amplitude of the relationship between A and B modes with respect to the phase difference θ of the voltages applied to the electrodes of the piezoelectric element (V1, V2) are shown in Figure 12 in the vibration wave actuator It becomes, which is a case where the phase difference θ is constant the voltage amplitude of V1 and V2 in the range of 0 ° to 180 °.
【0089】 [0089]
この場合、図12の破線で示すようにBモードの振動が位相差θによって変化してしまう。 In this case, the vibration of the B mode as indicated by the broken line in FIG. 12 is changed by the phase difference theta. そこで、本実施形態では、位相差θに応じて印加電圧(V1、V2)の振幅を変更することによりBモードの振幅を一定としている。 Therefore, in the present embodiment, the amplitude of the B-mode constant by changing the amplitude of the applied voltages (V1, V2) in accordance with the phase difference theta.
【0090】 [0090]
図17は、Bモードの振幅が一定となるように、V1とV2の位相差θに応じて印加電圧(V1、V2)の振幅を変化させたときの振動振幅の様子を示す。 17, as the amplitude of the B-mode is constant, shows the state of vibration amplitude at the time of changing the amplitude of the applied voltages (V1, V2) in response to the V1 and the phase difference of V2 theta. 図17の丸印のマークを結んだ線上における電圧振幅は、図12に示すBモードの振幅の逆数に比例した値であり、Bモードの振幅の変化を補正するものである。 Voltage amplitude at line connecting the marks of a circle in FIG. 17 is a value proportional to the reciprocal of the amplitude of the B mode shown in FIG. 12, and corrects the amplitude variation of the B-mode. すなわち、位相差θに応じて下記式(3)で求められる係数(K)を掛けてV1およびV2の電圧振幅とする。 That is, multiplied by a factor (K) obtained by the following formula (3) and the voltage amplitude of V1 and V2 in accordance with the phase difference theta.
【0091】 [0091]
K=|1/(2×cos(θ/2))| ・・・(3) K = | 1 / (2 × cos (θ / 2)) | ··· (3)
上記式(3)を用いて求められた電圧振幅は、図17の丸印のマークで示したような関係となる。 Voltage amplitude obtained by using equation (3) have a relationship as shown by the mark of a circle in FIG. 17. この振幅の電圧(V1およびV2)を圧電素子の2つの電極に印加することによって、Bモードの振幅は図中の点線で示すように一定の振幅となる。 By applying a voltage of amplitude (V1 and V2) to the two electrodes of the piezoelectric element, the amplitude of the B-mode becomes constant amplitude as shown by a dotted line in FIG.
【0092】 [0092]
この時、Aモードの振幅は、図17の実線で示すように、位相差θが0°から180°に向かって増加するとともに、180°から360°に向かって減少するような特性となる。 At this time, the amplitude of the A mode, as shown by the solid line in FIG. 17, with the phase difference θ increases toward 180 ° from 0 °, a characteristic as to decrease toward the 360 ​​° from 180 °. なお、図12と同様に、位相差180°を境界として図17の右側(−方向)と左側(+方向)では駆動方向が逆になる。 Similarly to FIG. 12, the right side of FIG. 17 to 180 ° phase difference as a boundary (- direction) and left (+ direction), the drive direction is reversed.
【0093】 [0093]
本実施形態では、以上に述べた特性を利用して、次のような駆動制御を行う。 In the present embodiment, by utilizing the mentioned properties above, it performs the following driving control.
【0094】 [0094]
まず、レンズ9の現在位置と目標位置との比較を位置比較部18において行う。 First, in the position comparator 18 compares the current position and the target position of the lens 9. 位相差決定部23では、位置比較部18での比較結果に基づいて駆動方向を決定し、V1とV2の位相差θを180°より小さい領域(図17の+方向の領域)での値とするか、180°より大きい領域(図17の−方向の領域)での値とするかを決定する。 The phase difference determination unit 23, the value in the driving direction is determined based on the comparison result of the position comparison unit 18, V1 and smaller than 180 ° region the phase difference θ of V2 (+ direction in the region of FIG. 17) either, 180 ° larger region - to determine the value of at (in Figure 17 the direction of the region).
【0095】 [0095]
また、位相差決定部23において、レンズ9の現在位置と目標位置の距離に応じた速度となるように位相差θを決定する。 Further, in the phase difference determination unit 23 determines the phase difference θ such that the current position and speed according to the distance of the target position of the lens 9.
【0096】 [0096]
例えば、レンズ9(スライダ7)を+方向に駆動する場合であって、駆動速度を高速とする場合には、位相差θが180°よりも小さい領域の中で、位相差θが大きい値となるように決定する。 For example, a case of driving the lens 9 (slide 7) in the + direction, when the driving speed and high speed, in the phase difference θ is a region smaller than 180 °, and the phase difference θ is large values It is determined to be. 駆動速度を低速とする場合には、位相差が180°よりも小さい領域の中で、位相差θが小さい値となるように決定する。 When the driving speed and low speed, the phase difference is within a region smaller than 180 °, is determined as the phase difference θ becomes smaller. 位相差θが180°よりも小さい側の領域では、Bモードの振幅が一定であるとともに、位相差θが0°から180°に近づくにつれてAモードの振幅が大きくなるため、低速駆動から高速駆動までを安定して行うことができる。 In the region of the phase difference θ is smaller side than 180 °, together with the amplitude of the B-mode is constant, the amplitude of the A mode increases as the phase difference θ approaches 180 ° from 0 °, high-speed drive from a low-speed drive it can be performed in a stable manner to.
【0097】 [0097]
また、レンズ9(スライダ7)を−方向に駆動する場合であって、駆動速度を高速とする場合には、位相差θが180°よりも大きい領域の中で、位相差θが小さい値となるように決定する。 The lens 9 (slide 7) - in the case of driving in the direction, when the driving speed and high speed, in a region larger than the phase difference θ is 180 °, the value phase difference θ is small It is determined to be. 駆動速度を低速とする場合には、位相差が180°よりも大きい領域の中で、位相差θが大きい値となるように決定する。 When the driving speed and low speed, the phase difference is within a larger region than 180 °, it is determined as the phase difference θ becomes large. 位相差θが180°よりも大きい側の領域では、Bモードの振幅が一定であるとともに、位相差θが360°から180°に近づくにつれてAモードの振幅が大きくなるため、低速駆動から高速駆動までを安定して行うことができる。 In the side of higher region than the phase difference θ is 180 °, together with the amplitude of the B-mode is constant, the amplitude of the A mode increases as the phase difference θ approaches 180 ° from 360 °, high-speed drive from a low-speed drive it can be performed in a stable manner to.
【0098】 [0098]
位相差決定部23で位相差θが決定された後に、振幅決定部24において、決定された位相差θに対応した電圧振幅(図17の丸印マークを結ぶ線上の値)を決定する。 After the phase difference θ is determined by the phase difference determination unit 23 determines the amplitude determining unit 24, the voltage amplitude corresponding to the determined phase difference θ (the value of the line connecting the circles mark in FIG. 17). 電圧振幅を決定する際には、位相差θから上記演算式(3)によって求めてもよいし、あらかじめ複数の位相差θと電圧振幅の関係を記憶回路に記憶しておくことによって求めてもよい。 In determining the voltage amplitude may be determined by the above arithmetic expression (3) from the phase difference theta, be determined by storing beforehand a plurality of phase difference theta and the voltage amplitude related to the storage circuit good.
【0099】 [0099]
位相差決定部23で位相差θの値が決定され、振幅決定部24で電圧振幅が決定されると、これらのデータが駆動信号生成回路21に入力され、この入力に応じた信号が生成される。 Determined value of the phase difference θ is a phase difference determination unit 23, the voltage amplitude at the amplitude determining unit 24 is determined, these data are input to the drive signal generating circuit 21, a signal corresponding to the input generated that. そして、昇圧回路22で昇圧された電圧(V1、V2)が振動波アクチュエータの圧電素子に印可される。 The boosted voltage by the booster circuit 22 (V1, V2) is applied to the piezoelectric element of the vibration wave actuator.
【0100】 [0100]
上述した駆動制御の結果、振動波アクチュエータの振動のうち、スライダ7に対する突き上げ方向の振動であるBモードの振動振幅を一定の状態とし、Aモードの振動振幅を変化させることができるので、スライダ7の駆動速度を高速から低速まで幅広く安定して動作させることができる。 Of the above-described drive control result, among the vibration of the vibration wave actuator, the vibration amplitude of the push-up is a vibration direction B-mode relative to the slider 7 as the constant state, it is possible to change the vibration amplitude of the A mode, the slider 7 the driving speed can be operated extensively stable from fast to slow.
【0101】 [0101]
以上説明した各実施形態は、以下に示す各発明を実施した場合の一例でもあり、下記の各発明は上記各実施形態に様々な変更や改良が加えられて実施されるものである。 Each embodiment described above is also an example in the case of carrying out the invention described below, the following inventions are intended to be carried out is added that various changes and modifications to the embodiments described above.
【0102】 [0102]
〔発明1〕 弾性体と、少なくとも2つの電極を有し、この2つの電極に同一周波数の2相の駆動電圧が印加されることで前記弾性体に振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子とを備えた振動体と、 And energy transducer - [Invention 1] and the elastic body has at least two electrodes, an electrical exciting a vibration to the elastic member by the driving voltage of two phases of the same frequency in the two electrodes are applied a vibrating body provided with a,
前記弾性体と接触する被駆動体とを有する振動型駆動装置であって、 A vibratory driving device and a driven body in contact with the elastic body,
前記振動体は、同位相となる前記2相の駆動電圧の入力を受けて第1の曲げ振動モードを形成するとともに、逆位相となる前記2相の駆動電圧の入力を受けて第2の曲げ振動モードを形成することが可能であり、 The vibrating body is configured to form a first bending vibration mode receives the driving voltage of the two phases the same phase, the second bending receives the driving voltage of the two phases opposite phases it is possible to form the vibration mode,
前記第1の曲げ振動モードおよび前記第2の曲げ振動モードの組み合わせによって前記振動体および前記被駆動体を相対的に駆動することを特徴とする振動型駆動装置。 Vibration type driving apparatus characterized by relatively driving said vibrating body and the driven body by a combination of the first bending vibration mode and said second bending vibration mode.
【0103】 [0103]
上記発明1の振動型駆動装置では、同位相となる2相の駆動電圧を2つの電極に入力することによって形成される第1の曲げ振動モードと、逆位相となる2相の駆動電圧を2つの電極に入力することによって形成される第2の曲げ振動モードとを組み合わせることで、振動体および被駆動体を相対的に駆動することができる。 In the vibration type driving device of the invention 1 includes: a first bending vibration mode which is formed by inputting the driving voltage of two phases the same phase to the two electrodes, the driving voltage of two phases opposite phases 2 One of the second bending vibration modes and by combining the formed by inputting the electrodes can be relatively driving the vibrator and the driven member. すなわち、2相の駆動電圧の位相差を同位相および逆位相間の値に設定することで、振動体に、第1の曲げ振動モードおよび第2の曲げ振動モードを組み合わせた曲げ振動モードを発生させることができ、この曲げ振動モードによって弾性体の所定の質点に楕円運動を生じさせて振動体および被駆動体を相対的に駆動することができる。 That is, the phase difference between the drive voltage of the 2-phase are set to be between in-phase and antiphase, to the vibrating body, the first bending vibration mode and second bending generates a vibration mode bending in combination vibration mode is to be able, it is possible to relatively drive the vibrating body and the driven body causing a predetermined elliptical motion mass of the elastic body by the bending vibration mode.
【0104】 [0104]
上述した振動型駆動装置の構成によれば、従来技術に比べて電気−機械エネルギ変換素子の電極パターンを簡単な構成とすることができる。 According to the above-mentioned arrangement of the vibration type driving apparatus, electric compared with the prior art - it can be a a simple structure an electrode pattern of a mechanical energy conversion element. また、単一の圧電素子を用いることができるため、積層圧電素子に比べて簡単な構成とすることができる。 Moreover, since it is possible to use a single piezoelectric element can be a simple structure as compared to the laminated piezoelectric element.
【0105】 [0105]
〔発明2〕 前記2つの電極は、この分極方向が同一方向となるように分極処理されていることを特徴とする前記発明1に記載の振動型駆動装置。 [Invention 2] The two electrodes, the vibration type driving apparatus according to the invention 1, characterized in that the polarization direction is polarized to have the same direction.
【0106】 [0106]
上記発明2によれば、2つの電極における分極方向を同一方向とすることで、各電極における分極処理を容易に行うことができる。 According to the invention 2, the polarization direction of the two electrodes by the same direction, it is possible to perform the polarization treatment at each electrode easily. しかも、2つの電極間における電気−機械エネルギ変換素子の剛性が変化すること(剛性のムラ)がなくなるため、理想的な振動を発生させることができる。 Moreover, electric between two electrodes - for the rigidity of the mechanical energy conversion element is changed (unevenness of rigidity) is eliminated, it is possible to generate an ideal vibration.
【0107】 [0107]
〔発明3〕 前記弾性体が矩形状に形成されており、 [Invention 3] The elastic member is formed in a rectangular shape,
前記第1の曲げ振動モードが前記振動体の長手方向と直交する方向における1次の振動モードであるとともに、前記第2の曲げ振動モードが前記振動体の長手方向における2次の振動モードであることを特徴とする前記発明1又は2に記載の振動型駆動装置。 As well as a first vibration mode in a direction in which the first bending vibration mode is orthogonal to the longitudinal direction of the vibrating body, said second bending vibration mode is a second-order vibration mode in the longitudinal direction of the vibrating member vibratory driving device according to the invention 1 or 2, characterized in that.
【0108】 [0108]
〔発明4〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動型駆動装置と、この振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置とを有する制御システムであって、 [Invention 4] and a vibration type driving apparatus according to any one of invention 1 to 3, a control system and a control device for controlling the driving of the vibration type driving apparatus,
前記制御装置は、前記2相の駆動電圧の位相差を変更することで前記振動体および前記被駆動体の相対的な駆動方向を変更するとともに、共振周波数よりも高周波数側の領域内において、前記駆動電圧の周波数を変更することで前記振動体および前記被駆動体の相対的な駆動速度を変更することを特徴とする制御システム。 Wherein the control unit is configured to change the relative driving direction of the vibrating body and the driven body by changing the phase difference between the drive voltage of the 2-phase, the high-frequency side in the region than the resonance frequency, control system and changes the relative driving speed of the vibration body and the driven body by changing the frequency of the drive voltage.
【0109】 [0109]
〔発明5〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動型駆動装置と、この振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置とを有する制御システムであって、 [Invention 5] a vibration type driving apparatus according to any one of invention 1 to 3, a control system and a control device for controlling the driving of the vibration type driving apparatus,
前記制御装置は、前記2相の駆動電圧の位相差および振幅に基づいて前記振動体および前記被駆動体の相対的な駆動速度を制御することを特徴とする制御システム。 It said control device, a control system and controlling the relative driving speed of the vibration body and the driven body based on the phase difference and the amplitude of the drive voltage of the 2-phase.
【0110】 [0110]
〔発明6〕 前記発明1から3のいずれかに記載の振動型駆動装置と、この振動型駆動装置の駆動を制御する制御装置とを有する制御システムであって、 [Invention 6] and a vibration type driving apparatus according to any one of invention 1 to 3, a control system and a control device for controlling the driving of the vibration type driving apparatus,
前記制御装置は、前記2相の駆動電圧の位相差の変化に対して、前記第1の曲げ振動モードおよび前記第2の曲げ振動モードのうち一方の曲げ振動モードにおける振動振幅が一定になるとともに、他方の曲げ振動モードにおける振動振幅が変化するように前記駆動電圧の振幅を設定可能であり、前記2相の駆動電圧の位相差を変化させることによって前記振動体および前記被駆動体の相対的な駆動速度又は駆動方向を変化させることを特徴とする制御システム。 The control device, with respect to the variation of the phase difference between the drive voltage of the 2-phase, together with the vibration amplitude at one bending vibration mode of the first bending vibration mode and said second bending vibration mode is constant , can be set the amplitude of the driving voltage so that the vibration amplitude is changed in the other bending vibration mode, the relative of the vibrating body and the driven body by changing the phase difference between the drive voltage of the 2-phase control system characterized by varying the Do driving speed or the driving direction.
【0111】 [0111]
上記発明6によれば、例えば、2相の駆動電圧の位相差を変化させることによって、被駆動体の突き上げ方向における振動振幅を一定にするとともに、被駆動体の駆動方向(送り方向)における振動振幅を変化させることができるため、高速駆動から低速駆動までの幅広い範囲において、安定して被駆動体を駆動することができる。 According to the invention 6, for example, by changing the phase difference between the driving voltage of two phases, with a constant vibration amplitude in the direction pushing up of the driven body, the vibration in the driving direction of the driven body (feed direction) it is possible to vary the amplitude, in a wide range of high-speed driving to low-speed driving can be driven in a stable manner the driven member.
【0112】 [0112]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
本発明によれば、2つの曲げ振動モードを発生させて振動体および被駆動体を相対的に駆動する振動型駆動装置において、電気−機械エネルギ変換素子の電極を簡単な構成とすることができる。 According to the present invention, in the vibration type driving apparatus to generate two bending vibration modes relatively driving the vibrator and the driven member, the electrical - it can be an electrode of the energy transducer simple structure .
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本実施形態における圧電素子の電極パターンを示す図。 It shows an electrode pattern of the piezoelectric element in the disclosed exemplary embodiment.
【図2】従来技術の振動体における振動モードを示す図。 FIG. 2 shows a vibration mode in the vibrator of the prior art.
【図3】従来技術における圧電素子の電極パターンを示す図。 FIG. 3 shows the electrode pattern of the piezoelectric element in the prior art.
【図4】従来技術における圧電素子の電極パターンを示す図。 4 is a diagram showing an electrode pattern of the piezoelectric element in the prior art.
【図5】本実施形態における振動体の外観斜視図。 Figure 5 is an external perspective view of a vibration member in the present embodiment.
【図6】本実施形態の振動体における振動モードを示す図。 6 shows a vibration mode in the vibrating body of the present embodiment.
【図7】本実施形態である振動波アクチュエータの外観斜視図。 [7] external perspective view of a vibration wave actuator is present embodiment.
【図8】従来の考え方による圧電素子の電極パターンを示す図。 8 shows an electrode pattern of a piezoelectric element according to the prior idea.
【図9】圧電素子への印加電圧と振動モードとの関係をベクトルで示した図。 9 is a diagram showing the relationship between the applied voltage and the vibration mode of the piezoelectric element in the vector.
【図10】第2実施形態におけるレンズユニットの機構を示す図。 10 is a diagram showing the mechanism of the lens unit in the second embodiment.
【図11】第2実施形態における制御ブロック図。 [11] Control block diagram of the second embodiment.
【図12】印加電圧の位相差と振動振幅の関係を示す図。 12 is a diagram showing the relationship between the phase difference between the vibration amplitude of the applied voltage.
【図13】振動波アクチュエータの駆動周波数と駆動速度の関係を示す図。 13 is a graph showing the relationship between the driving frequency and the driving speed of the vibration wave actuator.
【図14】振動波アクチュエータにおける突起部の楕円運動を説明する図。 FIG. 14 illustrates an elliptical motion of the projections in the vibration wave actuator.
【図15】振動波アクチュエータにおける突起部の楕円運動を説明する図。 Figure 15 is a diagram illustrating an elliptical motion of the projections in the vibration wave actuator.
【図16】本発明の第3実施形態における制御ブロック図。 Figure 16 is a control block diagram in a third embodiment of the present invention.
【図17】印加電圧の位相差と振動振幅の関係を示す図。 Figure 17 is a diagram showing a relationship between the phase difference between the vibration amplitude of the applied voltage.
【図18】第1実施形態の変形例である振動波アクチュエータの外観斜視図。 Figure 18 is an external perspective view of a vibration wave actuator is a modification of the first embodiment.
【図19】振動体の振動モードを示す図。 FIG. 19 is a diagram showing the vibration mode of the vibrating body.
【図20】第1実施形態の変形例である振動波アクチュエータの外観斜視図。 Figure 20 is an external perspective view of a vibration wave actuator is a modification of the first embodiment.
【図21】振動体の振動モードを示す図。 FIG. 21 is a diagram showing the vibration mode of the vibrating body.
【図22】第1実施形態の変形例である振動波アクチュエータの外観斜視図。 Figure 22 is an external perspective view of a vibration wave actuator is a modification of the first embodiment.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
4:弾性体、5:圧電素子、6:突起部、7、7'、7”:スライダ8:レンズ鏡筒、9:レンズ、10:フレーム、11:シャフト12、15:振動波アクチュエータ、13:エンコーダスケール14:投受光素子、16:エンコーダ17:位置カウンタ、18:位置比較部、19:位相差選択部20:周波数決定部、21:駆動信号生成回路、22:昇圧回路23:位相差決定部、24:振幅決定部 4: Elastic body 5: the piezoelectric element, 6: protrusion, 7,7 ', 7 ": slider 8: lens barrel, 9: lens, 10: frame, 11: shaft 12, 15: vibration wave actuator, 13 : encoder scale 14: light emitting and receiving element, 16: encoder 17: position counter, 18: position comparison unit, 19: phase difference selecting section 20: frequency determination unit, 21: drive signal generating circuit, 22: booster circuit 23: phase difference determining unit, 24: amplitude determining unit

Claims (1)

  1. 弾性体と、少なくとも2つの電極を有し、この2つの電極に同一周波数の2相の駆動電圧が印加されることで前記弾性体に振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子とを備えた振動体と、 Vibration and a mechanical energy transducer element - and the elastic body has at least two electrodes, an electrical exciting a vibration to the elastic member by the driving voltage of two phases of the same frequency in the two electrodes are applied and body,
    前記弾性体と接触する被駆動体とを有する振動型駆動装置であって、 A vibratory driving device and a driven body in contact with the elastic body,
    前記振動体は、同位相となる前記2相の駆動電圧の入力を受けて第1の曲げ振動モードを形成するとともに、逆位相となる前記2相の駆動電圧の入力を受けて第2の曲げ振動モードを形成することが可能であり、 The vibrating body is configured to form a first bending vibration mode receives the driving voltage of the two phases the same phase, the second bending receives the driving voltage of the two phases opposite phases it is possible to form the vibration mode,
    前記第1の曲げ振動モードおよび前記第2の曲げ振動モードの組み合わせによって前記振動体および前記被駆動体を相対的に駆動することを特徴とする振動型駆動装置。 Vibration type driving apparatus characterized by relatively driving said vibrating body and the driven body by a combination of the first bending vibration mode and said second bending vibration mode.
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