【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームの気密性能試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、高度の清浄度が要求されるクリーンルームには外部から汚染原因物質が入り込むことのないように高度の気密性能が要求される。また、外部からの汚染原因物質の流入を確実に防止するために、クリーンルーム内の圧力を外部の圧力よりも常に若干高く維持する、つまり内圧を常に正圧状態に維持するような圧力制御が行われる。
【０００３】
そのようなクリーンルームの施工に際しては、所期の気密性能を確保できるような施工精度が要求されることは当然であり、クリーンルームの完成時にはその気密性能を確認するための試験を行うことが好ましいとされ、たとえば特許文献１には、クリーンルーム内に取り付けられる設備機器類（具体的には、コンセント等の配電用のボックスを使用して取り付けられるもの）を対象として、その取付部における気密性能を個々に試験するための気密試験器が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−２７６５７号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルームにおける気密性能は、上記のような設備機器類の取付部のみならず、たとえば出入口や搬出入口等の開口部廻り、あるいはダクトや配管類の貫通部等における気密処理の状況等によっても影響されるものであるが、上記の気密試験器は設備機器類の取付部を対象とする試験を行い得るのみで、それ以外の部位における気密性能試験に適用できるようなものではない。そして、従来においてはクリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための手法は確立されておらず、それを可能とする有効適切な気密試験方法の開発が必要とされていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記事情に鑑み、請求項１の発明は、クリーンルーム全体の気密性能を確認し評価するための試験方法であって、クリーンルームとその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機により外気をクリーンルームに送風することによりクリーンルーム内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づきクリーンルーム全体の気密性能を確認し評価することを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、クリーンルームに備えられている外調機に組み込まれている送風機を運転してクリーンルームを加圧することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施形態を示すもので、クリーンルーム１を対象としてその気密性能試験を実施している状況を示す概念図である。本実施形態におけるクリーンルーム１は、破線矢印で示しているように、天井チャンバー２内に設けたファンフィルタユニット３により給気を下向きに吹き出すとともに、還気を床下チャンバー４からリタンダクト５を通して天井チャンバー２に戻して循環させるような空調方式とされている。また、外調機６から外気供給ダクト７により所定量の外気をクリーンルーム１内に供給するとともに、生産装置８から排気ダクト９により所定量の排気を外部へ直接的に排出するようにし、外気量を排気量よりも常に多くなるように設定することでクリーンルーム１内を常に正圧に維持するようにしている。符号１０は差圧ダンパーであり、これは内圧が設定値を超えた場合に余剰空気を外部に逃がすことで内圧を設定値に維持するように作動するものである。
【０００９】
本実施形態の気密性能試験は、このクリーンルーム１とその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止し、その状態で外調機６に組み込まれている送風機６ａを運転してクリーンルーム１内を加圧するとともに、クリーンルーム１内を所定の設定圧力に維持するに要する外気送風量を測定することにより、その測定結果に基づいてクリーンルーム１全体の機密性能を確認し評価するものである。
【００１０】
具体的には、クリーンルーム１に設けられている出入口や搬出入口等の開口部を閉じることはもとより、クリーンルーム１の内外を貫通する状態で設けられている各種のダクトに組み込まれているダンパー（図示例の場合には差圧ダンパー１０および生産装置８からの排気ダクト９に組み込まれているダンパー１１）を完全に閉じ、それによりクリーンルーム１全体を密閉状態とする。
【００１１】
その状態で外調機６に組み込まれている送風機６ａを運転してクリーンルーム１に外気を強制的に供給すると、クリーンルーム１内は外部よりも加圧されることになるから、クリーンルーム１の内圧を外部よりも僅かに高い（たとえば１０Ｐａないし２０Ｐａ程度）所定の設定圧力に維持するように送風機６ａを運転し、それに要する外気供給量を外気供給ダクト７に設けた流量計あるいは風速計等の測定手段１２により測定する。
【００１２】
この場合、クリーンルーム１の気密性能が充分に高ければ供給された外気が外部にリークすることが殆どないので、外気を僅かに供給するだけでクリーンルーム１内を設定圧力に維持することができるが、クリーンルーム１の気密性能が充分でない場合には多量のリークが生じることから、内圧を設定圧に維持できなかったり、あるいは設定圧に維持するに要する外気供給量が多くなり、したがって設定圧に維持するに要する外気供給量を測定すれば、それを指標としてクリーンルーム１全体の気密性能を定量的に確認でき評価できることになる。
【００１３】
そして、気密性能が充分でない場合には、上記の試験を行いつつクリーンルーム１の各部を内外から目視観察すれば、大きなリークが生じている部分ではリーク音が発生するので潜在しているリーク箇所を容易に発見し易く、リーク箇所を発見したら補修する等、必要な処置を施せば良い。また、上記のようにしてリーク箇所を補修しながら、あるいはリークが生じると想定される部位に目張りを行ったり、特定の開口部やダンパー等を開いた状態と閉じた状態で試験を行う等、条件を様々に変更しながら上記の試験を繰り返すことにより、潜在的なリーク箇所やそこでのリーク程度を特定できるし、補修の良否を判定することもできる。
【００１４】
以上のように、本実施形態の気密性能試験によれば、クリーンルーム１全体の気密性能を概括的に確認でき評価できるとともに、その試験はクリーンルーム１に備えられている外調機６を用いるだけであるから格別の試験装置類を必要とせず、また、単に全ての開口部を閉じて外調機６を運転するだけであるから何等面倒な手間も必要とせず、さしたる費用を必要としない。
【００１５】
なお、従来においてはクリーンルーム１全体の気密性能を必ずしも正確に確認、評価できないことから、通常運転時には安全率を充分に見込んで内圧を過度に高く設定しがちであり、そのために外調機６の容量および外気供給量を過大に設定することが一般的であるが、本方法の採用によりクリーンルーム１の気密性能を明確に確認し評価することが可能となれば、従来のように安全率を過度に見込む必要がなくなり、したがって外調機６の運転を最適かつ経済的に行うことが可能であり、設備費および運転費の軽減に寄与することができる。たとえば、従来一般にはクリーンルーム内を正圧に維持するに要する余剰空気量を安全率を見込んで換気回数に換算して０．５〜１回／ｈ程度に設定することが一般的であるが、本方法により充分な気密性能を有することを確認できればそれを０．１〜０．２回／ｈ程度まで削減することも可能となるので、それにより大幅な運転費削減を実現することができる。
【００１６】
以上で本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものでは勿論なく、様々な用途、規模、形態、空調方式のクリーンルームに広く適用できることはいうまでもない。
【００１７】
また、上記実施形態では外調機６に組み込まれている送風機６ａを利用して気密試験を行うようにしたが、それに限らず、クリーンルームに備えられている給気ファン等の他の送風機を用いることでも良いし、あるいは気密試験に際してそのための試験用の送風機を一時的に設置して試験を行うことでも良い。
【００１８】
【発明の効果】
請求項１の発明は、クリーンルームとその外部との間に設けられている全ての開口部を閉止した状態で、送風機を運転することにより外気をクリーンルームに送風してクリーンルーム内を加圧するとともに、その内圧を所定の設定圧力に維持するに要する送風量を測定し、その測定結果に基づいてクリーンルームの気密性能を確認し評価する方法であるので、何等面倒な手間を必要とせずクリーンルーム全体の気密性能を簡便に確認でき評価することが可能である。
【００１９】
請求項２の発明は、クリーンルームに備えられている外調機に組み込まれている送風機を利用して試験を行うので、格別の試験装置を一切必要としない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態である気密性能試験を実施している状態を示す図である。
【符号の説明】
１ クリーンルーム
２ 天井チャンバー
３ ファンフィルタユニット
４ 床下チャンバー
５ リタンダクト
６ 外調機
６ａ 送風機
７ 外気供給ダクト
８ 生産装置
９ 排気ダクト
１０ 差圧ダンパー
１１ ダンパー
１２ 測定手段[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for testing airtightness of a clean room.
[0002]
[Prior art]
As is well known, a clean room requiring a high degree of cleanliness is required to have a high degree of hermeticity so that a polluting substance does not enter from the outside. Also, in order to reliably prevent the inflow of pollutants from the outside, pressure control is performed so that the pressure in the clean room is always maintained slightly higher than the external pressure, that is, the internal pressure is always maintained at a positive pressure. Is
[0003]
When constructing such a clean room, it is natural that construction accuracy is required to ensure the desired airtightness, and it is preferable to conduct a test to confirm the airtightness when the cleanroom is completed. For example, Patent Literature 1 discloses an airtightness performance of an installation part of equipment (specifically, an equipment that is installed using a power distribution box such as an outlet) installed in a clean room. Discloses an airtight tester for testing.
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-7-27657
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the airtight performance in a clean room depends not only on the attachment parts of the equipment described above, but also on the airtightness of the openings around entrances and exits, or through parts of ducts and pipes, and the like. Although affected, the above-mentioned hermetic tester can only perform a test for a mounting portion of equipment and the like, and cannot be applied to a hermetic performance test in other parts. Conventionally, no method has been established for confirming and evaluating the hermetic performance of the entire clean room, and there has been a need to develop an effective and appropriate hermetic test method that enables this.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In view of the above circumstances, the invention of claim 1 is a test method for confirming and evaluating the airtightness of the entire clean room, wherein all openings provided between the clean room and the outside thereof are closed. Then, the outside air is blown into the clean room by a blower to pressurize the inside of the clean room and measure the amount of air required to maintain the internal pressure at a predetermined set pressure, and confirm the airtightness of the entire clean room based on the measurement results. It is characterized by being evaluated.
[0007]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the clean room is pressurized by operating a blower incorporated in an external air conditioner provided in the clean room.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and is a conceptual diagram showing a situation in which an airtightness test is being performed on a clean room 1. In the clean room 1 in the present embodiment, as indicated by a broken line arrow, the supply air is blown downward by a fan filter unit 3 provided in the ceiling chamber 2, and the return air is returned from the underfloor chamber 4 through the return duct 5 to the ceiling chamber 2. It is an air conditioning system that circulates the air back. Also, a predetermined amount of outside air is supplied from the outside air conditioner 6 to the clean room 1 by the outside air supply duct 7, and a predetermined amount of exhaust gas is directly discharged to the outside by the exhaust duct 9 from the production device 8. Is always set to be larger than the displacement so that the inside of the clean room 1 is always maintained at a positive pressure. Reference numeral 10 denotes a differential pressure damper, which operates to maintain the internal pressure at the set value by releasing excess air to the outside when the internal pressure exceeds the set value.
[0009]
In the airtightness test of the present embodiment, all the openings provided between the clean room 1 and the outside thereof are closed, and in this state, the blower 6a incorporated in the outside air conditioner 6 is operated to operate the clean room 1. The inside of the clean room 1 is pressurized and the amount of outside air required to maintain the inside of the clean room 1 at a predetermined set pressure is measured, and the security performance of the entire clean room 1 is confirmed and evaluated based on the measurement result.
[0010]
Specifically, dampers incorporated in various ducts provided so as to penetrate inside and outside of the clean room 1 as well as closing openings such as entrances and exits provided in the clean room 1. In the case of the example shown, the differential pressure damper 10 and the damper 11) incorporated in the exhaust duct 9 from the production device 8 are completely closed, whereby the entire clean room 1 is closed.
[0011]
In this state, when the blower 6a incorporated in the external air conditioner 6 is operated to forcibly supply the outside air to the clean room 1, the inside of the clean room 1 is pressurized more than the outside. The blower 6a is operated so as to maintain a predetermined set pressure slightly higher than the outside (for example, about 10 Pa to 20 Pa), and a required amount of outside air is measured by a flow meter or an anemometer provided in the outside air supply duct 7. Measure according to 12.
[0012]
In this case, if the airtightness of the clean room 1 is sufficiently high, the supplied outside air hardly leaks to the outside. Therefore, the inside of the clean room 1 can be maintained at the set pressure by supplying a small amount of outside air. If the airtight performance of the clean room 1 is not sufficient, a large amount of leaks occur, so that the internal pressure cannot be maintained at the set pressure, or the amount of external air supplied required to maintain the set pressure increases, and thus the pressure is maintained at the set pressure. If the external air supply amount required for the clean room 1 is measured as an index, the airtightness performance of the entire clean room 1 can be quantitatively confirmed and evaluated.
[0013]
If the airtight performance is not sufficient, the above test is performed while visually observing each part of the clean room 1 from inside and outside. It is easy to find, and if a leak is found, it is necessary to take necessary measures such as repairing it. In addition, while repairing a leak location as described above, or performing a seaming on a site where a leak is expected to occur, performing a test with a specific opening or damper or the like open and closed, By repeating the above test while changing the conditions variously, it is possible to specify a potential leak location and the degree of leak there, and it is also possible to determine the quality of repair.
[0014]
As described above, according to the airtightness test of the present embodiment, the airtightness performance of the entire clean room 1 can be generally confirmed and evaluated, and the test can be performed only by using the external air conditioner 6 provided in the clean room 1. Because of this, no special test equipment is required, and since only the opening is closed and the external controller 6 is operated, no troublesome labor is required and no extra cost is required.
[0015]
In the past, since the airtightness performance of the entire clean room 1 cannot always be confirmed and evaluated accurately, it is apt to set the internal pressure to an excessively high value in a normal operation with a sufficient safety factor in mind. Although it is common to set the capacity and the supply amount of outside air excessively, if the airtight performance of the clean room 1 can be clearly confirmed and evaluated by adopting this method, the safety factor will be excessively increased as in the past. Thus, the operation of the external conditioner 6 can be optimally and economically performed, which can contribute to reduction of equipment costs and operation costs. For example, conventionally, it is general to set the amount of surplus air required for maintaining a positive pressure in the clean room to about 0.5 to 1 / h in terms of a safety factor, in consideration of a safety factor. If sufficient airtightness can be confirmed by this method, it can be reduced to about 0.1 to 0.2 times / h, so that a large reduction in operating cost can be realized.
[0016]
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and it goes without saying that the present invention can be widely applied to various applications, scales, forms, and air-conditioning type clean rooms.
[0017]
In the above-described embodiment, the airtightness test is performed using the blower 6a incorporated in the external air conditioner 6. However, the present invention is not limited to this, and another blower such as an air supply fan provided in a clean room may be used. The test may be performed by temporarily installing a test blower for the airtight test.
[0018]
【The invention's effect】
The invention according to claim 1 is to operate the blower in a state where all the openings provided between the clean room and the outside thereof are closed, to blow outside air to the clean room and pressurize the inside of the clean room. This method measures the amount of air required to maintain the internal pressure at a predetermined set pressure, and checks and evaluates the airtightness of the clean room based on the measurement results.Therefore, the airtightness of the entire clean room is not required without any troublesome work. Can be easily confirmed and evaluated.
[0019]
According to the second aspect of the present invention, since the test is performed by using the blower incorporated in the external controller provided in the clean room, no special test device is required.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a state in which an airtightness test according to an embodiment of the present invention is being performed.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clean room 2 Ceiling chamber 3 Fan filter unit 4 Underfloor chamber 5 Return duct 6 Outside air conditioner 6a Blower 7 Outside air supply duct 8 Production equipment 9 Exhaust duct 10 Differential pressure damper 11 Damper 12 Measurement means
