JP2004303385A - Set method and device of disk and stamper in pit transferring process of optical disk - Google Patents

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JP2004303385A JP2003098244A JP2003098244A JP2004303385A JP 2004303385 A JP2004303385 A JP 2004303385A JP 2003098244 A JP2003098244 A JP 2003098244A JP 2003098244 A JP2003098244 A JP 2003098244A JP 2004303385 A JP2004303385 A JP 2004303385A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a setting method of a disk and a stamper, in which air bubble is prevented from intruding between the disk 10 and the stamper 11 and accurate bit transfer can be performed, in a pit transferring process of the optical disk in which the pit is transferred to the disk by pressing the disk 10 to the stamper 11. <P>SOLUTION: An outer peripheral part of the stamper 11 is pressed down and warped by a first pressing means 6 in a state in which a center part of the stamper is placed on a set mount 1 and supported, after the center part of the disk 10 is pressed to the stamper 11 by a second pressing means 7 from above of the stamper 11 in this state and positions of the both are fixed, press-down of the outer peripheral part of the stamper 11 by the first pressing means 6 is released, warp of the stamper 11 is returned so as to be brought into contact with the disk 10. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大容量光ディスクの製造時に、ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
次世代型大容量光ディスクにおいて積層方式による2層ディスクは、1層目の記録層が形成された厚さ1.1mmの樹脂製ディスクに転写層として紫外線硬化性樹脂によりなる極薄のシート(以下UVシートという)を貼り付けて、これをニッケル製のスタンパーに圧着させてスタンパーから記録信号のピットを転写し、それを紫外線照射によって硬化させてからスタンパーより剥離して2層目の記録層を形成するという工程で製造される。
【0003】
この光ディスクの製造工程において、ディスクをスタンパーに圧着させてピットを転写する装置の概要を図3に示す。
即ちこの構成では、ステージ上にニッケル製のスタンパー11がピット形成面を上に向けた状態で載置され、その上にUVシートが貼り付けられた樹脂製のディスク10をそのUVシートの貼り付け面をスタンパー11側に向けた状態で配置し、その状態で上方から加圧パッド8によってディスク10を押圧してスタンパー11に圧着させる。
【0004】
ここで加圧パッド8はウレタンゴム等の硬質の弾性体によりなり、この加圧パッド8をエアーシリンダー等の駆動手段によって下降させてディスク10を押圧し、スタンパー11に圧着させることにより、スタンパー11からディスク10のUVシートにピットが転写される。
【0005】
尚、このようにディスクをスタンパーに圧着させてピットを転写する光ディスクの製造方法は、従来例えば下記の特許文献1等において公知である。
【特許文献1】
特開平9−167385号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のピット転写工程において従来は、ディスクとスタンパーを単純に加圧して圧着させていたため、ディスク面の様々な箇所がランダムにスタンパーに接着し、その結果スタンパーとディスクの間に気泡が袋状に閉じ込められた状態となってしまう。このような気泡は大きな圧力で加圧しても除去することができず、この気泡の残留によってピットをスタンパーからディスクに正確に転写できなくなるという重大な欠陥が生じることになる。
【0007】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、光ディスクのピット転写工程においてスタンパーとディスクの間に気泡が入ることを回避でき、正確なピットの転写を可能とするディスクとスタンパーのセット方法及び装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、
ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法であって、
先ずスタンパーの中心部をセット台に載せて支持した状態でこのスタンパーの外周部を押し下げて反らせ、
その状態でスタンパーの上方からディスクの中心部をスタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
スタンパーの外周部の押し下げを解除しスタンパーの反りを戻してディスクに接触させるようにする。
【0009】
また本発明は、
ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット装置であって、
スタンパーの中心部を載せて支持するセット台と、
このセット台に支持されたスタンパーの外周部を押し下げて反らせる第1の押圧手段と、
この第1の押圧手段によってスタンパーの外周部が反った状態でスタンパーの上方からディスクの中心部をスタンパーに押し付ける第2の押圧手段と、
を備え、
第2の押圧手段によってディスクの中心部をスタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
第1の押圧手段によるスタンパーの外周部の押し下げを解除しスタンパーの反りを戻してディスクに接触させるようにしたものである。
【0010】
このような本発明のセット方法及び装置によれば、ディスクとスタンパーは中心部から徐々に外周部に向かって接触してゆくため、その間に気泡が残留することはなく良好な状態にセットされ、その後の加圧による圧着時に確実なピットの転写が行なわれる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳細に説明する。
ここで用いられるディスク10は外径120mm、厚さ1.1mmのポリカーボネート製の円盤で、その一面には転写層として極薄のUVシート(図には表われていない)が貼り付けられている。一方スタンパー11はディスクより一回り以上大きな径を有する厚さ0.3mmのニッケル製の版である。
またこのディスク10とスタンパー11には夫々中心部にセンターホールが形成されており、このセンターホールの内径はディスクの場合15mm、スタンパーでは20mmである。
【0012】
図1はスタンパーがセットされるセット台を示している。
このセット台1は二段構造を有する円柱状のセンターボス2によりなり、即ちこのセンターボス2はスタンパー11の中心部を支持する大径のスタンパー支持部3と、ディスク10の中心部を支持する小径のディスク支持部4とを同軸上に有して構成され、このディスク支持部4は固定のスタンパー支持部3に対し上下方向に移動可能に組み込まれている。
【0013】
ここでディスク支持部4はスタンパー11のセンターホールがほぼ隙間なく嵌合される外径を有し、その上面にはディスク10のセンターホールが嵌合するテーパー状の凸部4bが形成されている。
【0014】
このディスク支持部4はセンターボス内部に組み込まれたスプリング5の力によってスタンパー支持部3の上面から弾性的に突出されており、後述するようにディスクが上方から押し付けられたときにはスプリング5の力に抗して引込む構造となされている。
【0015】
そしてこのセット台1上でディスク10とスタンパー11をセットするには、先ず図2(A)に示す如く、セット台1のスタンパー支持部3にスタンパー11を載せる。この場合スタンパー11はそのピット形成面を上に向けた状態でセットする。
【0016】
このときスタンパー11はその中心部のセンターホールがディスク支持部4に嵌合することによって正確にセンタリングされた状態で中心部がスタンパー支持部3の受け面3aに支持される。
【0017】
このようにセット台1にスタンパー11の中心部が支持された状態で、次に同図(B)に示す如くスタンパー11の外周部を第1の押圧手段6によって押し下げる。
この第1の押圧手段6は例えばエアーシリンダーの駆動力によって昇降動作するもので、スタンパー11の外周部の数点を押圧する複数のピンあるいはスタンパー11の外周部を全周にわたって押圧するリング状の部材で構成され、この第1の押圧手段6を下降させてスタンパー11の外周部を押し下げることにより、そのスタンパー11は図示のように外周部が下方に反った状態となる。尚、このスタンパー11の外周部の反り量は3〜5mm程度とする。
【0018】
こうしてスタンパー11の外周部を反らせた後、同図(C)に示す如くセット台1のディスク支持部4にディスク10を載せる。この場合ディスク10はそのUVシートの貼り付け面をスタンパー11に向けた状態でセットする。
【0019】
このときディスク10はその中心部のセンターホールが凸部4bに嵌合することによって正確にセンタリングされた状態で中心部がディスク支持部4の受け面4aに支持される。
尚、この状態ではディスク10とスタンパー11はまだ接触していない。
【0020】
そしてこのようにスタンパー11の上方にディスク10が配置された状態で、同図(D)に示す如くディスク10の中心部を第2の押圧手段7によってスタンパー11に押し付ける。
この第2の押圧手段7もまたエアーシリンダー等の駆動力によって昇降動作するもので、ディスク10のセンターホールの周囲の数点を押圧する複数のピンあるいはディスク10のセンターホールの周囲を全周にわたって押圧するリング状の部材で構成され、この第2の押圧手段7を下降させてディスク10の中心部を押圧することにより、そのディスク10はディスク支持部4と共に押し下げられて中心部がスタンパー11に圧着される。
【0021】
このとき第2の押圧手段7をディスク10とスタンパー11が接触する高さ位置より僅かに下の位置まで下降させることにより、ディスク10の中心部はスタンパー11に強く押し付けられて確実に圧着される。
この状態ではディスク10とスタンパー11は中心部のみが圧着固定され、それ以外の部分は接触もしていない。
【0022】
こうしてディスク10とスタンパー11の中心部を圧着して両者の位置を固定した後、第1の押圧手段6を緩やかに上昇させてこの第1の押圧手段6によるスタンパー11の外周部の押し下げを解除する。これによってスタンパー11は自らの復元力によって緩やかに反りが元の姿勢に戻り、同図(E)に示す如く全面的にディスク10と接触する状態にセットされる。
尚、このスタンパー11の反りを戻す場合には、その補助手段としてスタンパー11の外周部を押し上げる機構を設けてもよい。
【0023】
以上の如きディスク10とスタンパー11のセット動作においては、同図(D)〜(E)に示すようにディスク10とスタンパー11は中心部から徐々に外周部に向かって接触してゆくため、その間に気泡が残留することはなく良好な状態にセットされる。
【0024】
このセット状態では、ディスク10とスタンパー11は中心部のみが圧着固定され、それ以外の部分は接触してはいるが圧着はされていない状態にセットされるので、その間に気泡が入り込むことはない。
【0025】
そして以上の如くしてディスク10とスタンパー11をセットした後、図3に示すように加圧パッド8でディスク10を全面的に押圧してスタンパー11に圧着させることにより、スタンパー11からディスク10のUVシートにピットが転写される。このときディスク10とスタンパー11の間には気泡が存在していないので、正確なピットの転写が行なわれる。
【0026】
こうしてディスク10のUVシートにピットが転写された後は、ディスク10に紫外線を照射してUVシートを硬化させ、それからディスク10をスタンパー11から剥離するようにする。
そしてこのディスク10には、その後の工程でピット転写面に厚さ約0.1mmのポリカーボネート製の保護シートが貼り合わされ、これが完成品の光ディスクとなる。
【0027】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明はこの実施例に限定されることなく他にも種々の実施形態を採りうるものであることは言うまでもない。
【0028】
【発明の効果】
以上の説明で明らかな如く本発明によれば、光ディスクのピット転写工程においてスタンパーとディスクの間に気泡が入ることを回避できるので、正確なピットの転写が行なわれ、光ディスクの生産性の向上に大きく貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明におけるセット台の構造を示す縦断側面図である。
【図2】同、ディスクとスタンパーのセット動作の説明図である。
【図3】加圧パッドによるディスクとスタンパーの圧着の説明図である。
【符号の説明】
1・・・・セット台、3・・・・スタンパー支持部、4・・・・ディスク支持部、6・・・・第1の押圧手段、7・・・・第2の押圧手段
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for setting a disk and a stamper used in a process of transferring a pit to a disk by pressing the disk against a stamper when manufacturing a large-capacity optical disk.
[0002]
[Prior art]
In a next-generation large-capacity optical disk, a two-layer disk using a lamination method is an ultra-thin sheet (hereinafter referred to as a transfer layer) made of an ultraviolet curable resin as a transfer layer on a resin disk having a thickness of 1.1 mm on which a first recording layer is formed. A UV sheet) is adhered, and this is pressed against a nickel stamper to transfer pits of a recording signal from the stamper. The pits are cured by irradiating ultraviolet rays and then peeled off from the stamper to form a second recording layer. It is manufactured in the process of forming.
[0003]
FIG. 3 shows an outline of an apparatus for transferring pits by pressing a disk against a stamper in the optical disk manufacturing process.
That is, in this configuration, the nickel stamper 11 is placed on the stage with the pit formation surface facing upward, and the resin disk 10 with the UV sheet attached thereon is attached to the UV sheet. The disk 10 is pressed with the pressure pad 8 from above to press the disk 10 against the stamper 11 with the surface facing the stamper 11.
[0004]
The pressing pad 8 is made of a hard elastic material such as urethane rubber. The pressing pad 8 is lowered by a driving means such as an air cylinder to press the disk 10 and to press the disk 10 against the stamper 11. Are transferred to the UV sheet of the disk 10.
[0005]
A method of manufacturing an optical disk in which pits are transferred by pressing a disk against a stamper as described above is conventionally known, for example, in Patent Document 1 below.
[Patent Document 1]
JP-A-9-167385
[Problems to be solved by the invention]
Conventionally, in the above-mentioned pit transfer step, the disc and the stamper were simply pressed and pressed, so that various portions of the disc surface were randomly bonded to the stamper, and as a result, bubbles were formed between the stamper and the disc in a bag shape. You will be trapped. Such bubbles cannot be removed even if a large pressure is applied, and a serious defect that pits cannot be accurately transferred from the stamper to the disk due to the remaining bubbles occurs.
[0007]
The present invention has been made in view of such a problem, and it is possible to prevent bubbles from entering between a stamper and a disk in a pit transfer step of an optical disk, and to set a disk and a stamper that enables accurate pit transfer. It is intended to provide a method and apparatus.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides
A method of setting a disk and a stamper employed in a pit transfer step of an optical disk in which a disk is pressed against a stamper to transfer pits to the disk,
First, with the center part of the stamper placed on the set base and supported, the outer peripheral part of this stamper is depressed and warped,
In this state, press the center of the disc against the stamper from above the stamper to fix both positions,
The depression of the outer periphery of the stamper is released, and the warpage of the stamper is returned to make contact with the disk.
[0009]
Also, the present invention
A disc and stamper setting device employed in an optical disc pit transfer step of transferring a pit to a disc by pressing a disc against a stamper,
A set base that supports the center of the stamper,
First pressing means for pressing down and warping the outer peripheral portion of the stamper supported by the set table,
Second pressing means for pressing the center of the disc against the stamper from above the stamper in a state where the outer peripheral portion of the stamper is warped by the first pressing means;
With
After pressing the center of the disc against the stamper by the second pressing means to fix the positions of both,
The pressing of the outer peripheral portion of the stamper by the first pressing means is released, and the warpage of the stamper is returned to contact the disk.
[0010]
According to such a setting method and apparatus of the present invention, since the disc and the stamper gradually come in contact from the center toward the outer periphery, bubbles are not left in the meantime and are set in a favorable state. The pits are surely transferred at the time of pressure bonding by the subsequent pressurization.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The disk 10 used here is a disc made of polycarbonate having an outer diameter of 120 mm and a thickness of 1.1 mm, and an ultra-thin UV sheet (not shown in the figure) is attached as a transfer layer on one surface thereof. . On the other hand, the stamper 11 is a 0.3 mm-thick nickel plate having a diameter at least one size larger than the disk.
A center hole is formed at the center of each of the disc 10 and the stamper 11, and the inner diameter of the center hole is 15 mm for the disc and 20 mm for the stamper.
[0012]
FIG. 1 shows a setting table on which a stamper is set.
The set table 1 is composed of a cylindrical center boss 2 having a two-stage structure. That is, the center boss 2 supports a large-diameter stamper support 3 for supporting the center of the stamper 11 and the center of the disk 10. The disk support portion 4 is coaxially provided with a small-diameter disk support portion 4, and the disk support portion 4 is incorporated in the fixed stamper support portion 3 so as to be vertically movable.
[0013]
Here, the disk supporting portion 4 has an outer diameter with which the center hole of the stamper 11 is fitted with almost no gap, and a tapered convex portion 4b with which the center hole of the disk 10 is fitted is formed on the upper surface thereof. .
[0014]
The disk support portion 4 is elastically protruded from the upper surface of the stamper support portion 3 by the force of a spring 5 incorporated in the center boss. When the disk is pressed from above as described later, the disk support portion 4 receives the force of the spring 5. It has a structure that pulls in against it.
[0015]
In order to set the disc 10 and the stamper 11 on the setting table 1, first, as shown in FIG. 2A, the stamper 11 is placed on the stamper support 3 of the setting table 1. In this case, the stamper 11 is set with its pit formation surface facing upward.
[0016]
At this time, the center portion of the stamper 11 is supported by the receiving surface 3a of the stamper support portion 3 in a state where the center hole of the center portion is fitted to the disc support portion 4 and is accurately centered.
[0017]
With the center portion of the stamper 11 supported on the set table 1 in this manner, the outer peripheral portion of the stamper 11 is pressed down by the first pressing means 6 as shown in FIG.
The first pressing means 6 moves up and down by, for example, a driving force of an air cylinder, and has a plurality of pins for pressing several points on the outer peripheral portion of the stamper 11 or a ring-shaped for pressing the outer peripheral portion of the stamper 11 over the entire circumference. When the first pressing means 6 is lowered to push down the outer peripheral portion of the stamper 11, the outer peripheral portion of the stamper 11 is warped downward as shown in the figure. The amount of warpage of the outer peripheral portion of the stamper 11 is about 3 to 5 mm.
[0018]
After the outer peripheral portion of the stamper 11 is warped in this way, the disk 10 is placed on the disk support portion 4 of the set table 1 as shown in FIG. In this case, the disc 10 is set with the surface to which the UV sheet is attached facing the stamper 11.
[0019]
At this time, the center portion of the disk 10 is supported by the receiving surface 4a of the disk support portion 4 in a state where the center hole at the center portion is fitted to the convex portion 4b and is accurately centered.
In this state, the disk 10 and the stamper 11 have not yet contacted.
[0020]
Then, with the disk 10 arranged above the stamper 11, the center of the disk 10 is pressed against the stamper 11 by the second pressing means 7 as shown in FIG.
The second pressing means 7 also moves up and down by a driving force of an air cylinder or the like, and a plurality of pins for pressing several points around the center hole of the disk 10 or around the center hole of the disk 10 over the entire circumference. The disk 10 is pressed down together with the disk support 4 by lowering the second pressing means 7 to press the center of the disk 10, and the center is pressed by the stamper 11. It is crimped.
[0021]
At this time, by lowering the second pressing means 7 to a position slightly lower than the height position where the disc 10 and the stamper 11 are in contact, the center of the disc 10 is strongly pressed against the stamper 11 and is securely pressed. .
In this state, only the center of the disk 10 and the stamper 11 is fixed by crimping, and the other parts are not in contact.
[0022]
After pressing the center portions of the disc 10 and the stamper 11 in this way to fix the positions thereof, the first pressing means 6 is gently lifted to release the lowering of the outer peripheral portion of the stamper 11 by the first pressing means 6. I do. Due to this, the warper gently returns to the original posture due to its own restoring force, and the stamper 11 is set in a state in which it comes into full contact with the disk 10 as shown in FIG.
When returning the warpage of the stamper 11, a mechanism for pushing up the outer peripheral portion of the stamper 11 may be provided as an auxiliary means.
[0023]
In the setting operation of the disc 10 and the stamper 11 as described above, the disc 10 and the stamper 11 gradually contact from the center toward the outer periphery as shown in FIGS. The air conditioner is set in a good condition without air bubbles remaining.
[0024]
In this set state, the disc 10 and the stamper 11 are set in a state where only the center portion is crimped and the other portions are in contact but not crimped, so that no air bubbles enter between them. .
[0025]
After the disk 10 and the stamper 11 are set as described above, the disk 10 is entirely pressed by the pressure pad 8 and pressed against the stamper 11 as shown in FIG. The pits are transferred to the UV sheet. At this time, since no air bubbles exist between the disk 10 and the stamper 11, accurate pit transfer is performed.
[0026]
After the pits are transferred to the UV sheet of the disk 10 in this manner, the disk 10 is irradiated with ultraviolet rays to cure the UV sheet, and then the disk 10 is peeled from the stamper 11.
Then, a protective sheet made of polycarbonate having a thickness of about 0.1 mm is attached to the pit transfer surface of the disk 10 in a subsequent step, and this is a completed optical disk.
[0027]
The embodiments of the present invention have been described above. However, it is needless to say that the present invention is not limited to the embodiments and can adopt various other embodiments.
[0028]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, it is possible to avoid bubbles from entering between the stamper and the disc in the pit transfer step of the optical disc, so that accurate pit transfer is performed and the productivity of the optical disc is improved. Can make a significant contribution.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a vertical sectional side view showing a structure of a set table according to the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram of a setting operation of a disc and a stamper.
FIG. 3 is an explanatory diagram of pressure bonding of a disc and a stamper by a pressure pad.
[Explanation of symbols]
1 set base 3 stamper support 4 disk support 6 first pressing means 7 second pressing means

Claims (3)

ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット方法であって、
先ずスタンパーの中心部をセット台に載せて支持した状態でこのスタンパーの外周部を押し下げて反らせ、
その状態で上記スタンパーの上方からディスクの中心部を上記スタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
上記スタンパーの外周部の押し下げを解除し上記スタンパーの反りを戻して上記ディスクに接触させるようにした、
光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット方法。
A method of setting a disk and a stamper employed in a pit transfer step of an optical disk in which a disk is pressed against a stamper to transfer pits to the disk,
First, with the center part of the stamper placed on the set base and supported, the outer peripheral part of this stamper is depressed and warped,
In this state, after pressing the center of the disc against the stamper from above the stamper to fix the positions of both,
Release the depression of the outer periphery of the stamper and return the warper of the stamper to contact the disk,
A method of setting a disc and a stamper in a pit transfer step of an optical disc.
ディスクをスタンパーに圧着させてピットをディスクに転写する光ディスクのピット転写工程において採用されるディスクとスタンパーのセット装置であって、
スタンパーの中心部を載せて支持するセット台と、
このセット台に支持された上記スタンパーの外周部を押し下げて反らせる第1の押圧手段と、
この第1の押圧手段によって上記スタンパーの外周部が反った状態で上記スタンパーの上方からディスクの中心部を上記スタンパーに押し付ける第2の押圧手段と、
を備え、
上記第2の押圧手段によって上記ディスクの中心部を上記スタンパーに押し付けて両者の位置を固定した後、
上記第1の押圧手段による上記スタンパーの外周部の押し下げを解除し上記スタンパーの反りを戻して上記ディスクに接触させるようにした、
光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット装置。
A disc and stamper setting device employed in an optical disc pit transfer step of transferring a pit to a disc by pressing a disc against a stamper,
A set base that supports the center of the stamper,
First pressing means for pressing down and warping the outer peripheral portion of the stamper supported by the set table,
Second pressing means for pressing the center of the disc against the stamper from above the stamper while the outer peripheral portion of the stamper is warped by the first pressing means;
With
After pressing the center of the disk against the stamper by the second pressing means to fix the positions of both,
The pressing of the outer peripheral portion of the stamper by the first pressing means is released, and the warpage of the stamper is returned to contact the disk.
A device for setting a disc and a stamper in the pit transfer process of an optical disc.
請求項2において、
上記セット台は、上記ディスクの中心部を支持するディスク支持部を有し、上記第2の押圧手段によって上記ディスクの中心部が上記スタンパーに押し付けられるときには上記ディスク支持部が引込む構造とした、
光ディスクのピット転写工程におけるディスクとスタンパーのセット装置。
In claim 2,
The set table has a disk supporting portion for supporting a central portion of the disk, and the disk supporting portion is retracted when the central portion of the disk is pressed against the stamper by the second pressing means.
A device for setting a disc and a stamper in the pit transfer process of an optical disc.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8029706B2 (en) 2007-07-25 2011-10-04 Sony Disc & Digital Solutions, Inc. Vacuum transfer apparatus and method
JP2013118233A (en) * 2011-12-02 2013-06-13 Hitachi High-Technologies Corp Microstructure transfer device
US8764431B2 (en) 2010-03-08 2014-07-01 Hitachi High-Technologies Corporation Method and apparatus for transcripting fine patterns

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