JP2004302081A - Positive resist composition - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positive resist composition satisfying all of high sensitivity, high resolution, a favorable pattern profile and favorable vacuum PED characteristics (post-exposure delay in vacuum). <P>SOLUTION: The positive resist composition contains: (A) resin which has a specified structural unit and which is decomposed by the effect of an acid to increase the solubility with an alkaline developing solution; and (B) a compound which has a cationic moiety having at least one phenolic hydroxyl group and a specified anionic moiety and which generates an acid by irradiation with active radiation. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【００１０】
一般式（Ｘ）中、Ｒ１及びＲ２は、同一でも異なっていてもよく、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｒ３及びＲ４は、同一でも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Ｚは、置換基を有していてもよいフェニル基又は脂環基を表す。ｍは１〜２０の整数を表す。
ＲＳＯ_３ ⁻（１）
式（１）中、Ｒはフッ素原子を置換基として有する炭素数２以上のアルキル基、無置換アルキル基及び／またはハロゲン原子を置換基として有するフェニル基、ハロゲン原子を置換基として有するアルキル基を２個以上置換基として有するフェニル基、置換基を有していてもよいナフチル基、置換基を有していてもよいアントリル基、または置換基を有していてもよいフェナントリル基のいずれかを表す。
（２）さらに、（Ｄ）含窒素塩基性化合物を含有することを特徴とする、上記（１）記載のポジ型レジスト組成物。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳述する。
［１］（Ａ）成分：アルカリ水溶液に不溶又は難溶性で、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となるポリマー
本発明における（Ａ）成分（樹脂（Ａ））は、下記一般式（Ｘ）で示される基を含有する構造単位を有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、である。
【００１２】
【化３】

【００１３】
一般式（Ｘ）中、Ｒ１及びＲ２は、同一でも異なっていてもよく、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｒ３及びＲ４は、同一でも異なっていてもよく、水素原子又はアルキル基を表す。Ｚは、フェニル基又は脂環基を表す。ｍは１〜２０の整数を表す。
【００１４】
一般式（Ｘ）におけるＲ１、Ｒ２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基等の炭素数１〜４個のアルキル基が挙げられる。
Ｒ３、Ｒ４は、同一でも異なっていてもよく、また置換基を有していてもよく、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基を表す。ここで、アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
直鎖アルキル基としては、好ましくは炭素数１〜３０、さらに好ましくは１〜２０であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デカニル基等が挙げられる。
分岐アルキル基としては、好ましくは炭素数１〜３０、さらに好ましくは１〜２０であり、例えば、ｉ−プロピル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｉ−ペンチル基、ｔ−ペンチル基、ｉ−ヘキシル基、ｔ−ヘキシル基、ｉ−ヘプチル基、ｔ−ヘプチル基、ｉ−オクチル基、ｔ−オクチル基、ｉ−ノニル基、ｔ−デカノイル基等が挙げられる。
環状アルキル基としては、好ましくは炭素数３〜３０、さらに好ましくは３〜２０であり、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデカノイル基等が挙げられる。
Ｒ１及びＲ２の少なくともひとつは炭素数１〜４の直鎖又は分岐のアルキル基であることが好ましい。
【００１５】
Ｚは、フェニル基または脂環基を表す。
Ｚとしてのフェニル基は、置換基を有していてもよく、例えば、下記の式で表される基を挙げることができる。
【００１６】
【化４】

【００１７】
Ｒ５は、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアラルキル基を表す。ｎは０〜５の整数を表す。
【００１８】
Ｒ５としてのアルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
Ｒ５の直鎖または分岐状アルキル基としては、好ましくは炭素数１〜３０、さらに好ましくは炭素数１〜２０であり、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｉ−ペンチル基、ｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｉ−ヘキシル基、ｔ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｉ−ヘプチル基、ｔ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｉ−オクチル基、ｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｉ−ノニル基、ｔ−ノニル基、ｎ−デカニル基、ｉ−デカニル基、ｔ−デカニル基、ｎ−ウンデシル基、ｉ−ウンデシル基、ｎ−ドデシル基、ｉ−ドデシル基、ｎ−トリデシル基、ｉ−トリデシル基、ｎ−テトラデシル基、ｉ−テトラデシル基、ｎ−ペンタデシル基、ｉ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ｉ−ヘキサデシル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｉ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、ｉ−オクタデシル基、ｎ−ノナデシル基、ｉ−ノナデシル基等を挙げることができる。
【００１９】
Ｒ５の環状アルキル基としては、好ましくは炭素数１〜３０、さらに好ましくは炭素数１〜２０であり、２０までの炭素数で環を形成する場合でも置換基を有した環状アルキルでもよく、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデカニル基、シクロウンデシル基、シクロドデシル基、シクロトリデシル基、シクロトリデシル基、シクロテトラデシル基、シクロペンタデシル基、シクロヘキサデシル基、シクロヘプタデシル基、シクロオクタデシル基、シクロノナデシル基、４−シクロヘキシルシクロヘキシル基、４−ｎ−ヘキシルシクロヘキシル基、ペンタニルシクロヘキシル基、ヘキシルオキシシクロヘキシル基、ペンタニルオキシシクロヘキシル基等を挙げることができる。ここに挙げた以外の置換環状アルキル基も上記範囲内であれば使用できることができる。
【００２０】
Ｒ５のアリール基としては、好ましくは炭素数６〜３０、さらに好ましくは炭素数６〜２０であり、例えば、フェニル基、４−メチルフェニル基、３−メチルフェニル基、２−メチルフェニル基、４−エチルフェニル基、３−エチルフェニル基、２−エチルフェニル基、４−ｎ−プロピルフェニル基、３−ｎ−プロピルフェニル基、２−ｎ−プロピルフェニル基、４−ｉ−プロピルフェニル基、３−ｉ−プロピルフェニル基、２−ｉ−プロピルフェニル基、４−シクロプロピルフェニル基、３−シクロプロピルフェニル基、２−シクロプロピルフェニル基、４−ｎ−ブチルフェニル基、３−ｎ−ブチルフェニル基、２−ｎ−ブチルフェニル基、４−ｉ−ブチルフェニル基、３−ｉ−ブチルフェニル基、２−ｉ−ブチルフェニル基、４−ｔ−ブチルフェニル基、３−ｔ−ブチルフェニル基、２−ｔ−ブチルフェニル基、４−シクロブチルフェニル基、３−シクロブチルフェニル基、２−シクロブチルフェニル基、４−シクロペンチルフェニル基、４−シクロヘキシルフェニル基、４−シクロヘプテニルフェニル基、４−シクロオクタニルフェニル基、２−シクロペンチルフェニル基、２−シクロヘキシルフェニル基、２−シクロヘプテニルフェニル基、２−シクロオクタニルフェニル基、３−シクロペンチルフェニル基、３−シクロヘキシルフェニル基、３−シクロヘプテニルフェニル基、３−シクロオクタニルフェニル基、４−シクロペンチルオキシフェニル基、４−シクロヘキシルオキシフェニル基、４−シクロヘプテニルオキシフェニル基、４−シクロオクタニルオキシフェニル基、２−シクロペンチルオキシフェニル基、２−シクロヘキシルオキシフェニル基、２−シクロヘプテニルオキシフェニル基、２−シクロオクタニルオキシフェニル基、３−シクロペンチルオキシフェニル基、３−シクロヘキシルオキシフェニル基、３−シクロヘプテニルオキシフェニル基、３−シクロオクタニルオキシフェニル基、４−ｎ−ペンチルフェニル基、４−ｎ−ヘキシルフェニル基、４−ｎ−ヘプテニルフェニル基、４−ｎ−オクタニルフェニル基、２−ｎ−ペンチルフェニル基、２−ｎ−ヘキシルフェニル基、２−ｎ−ヘプテニルフェニル基、２−ｎ−オクタニルフェニル基、３−ｎ−ペンチルフェニル基、３−ｎ−ヘキシルフェニル基、３−ｎ−ヘプテニルフェニル基、３−ｎ−オクタニルフェニル基、２，６−ジ−イソプロピルフェニル基、２，３−ジ−イソプロピルフェニル基、２，４−ジ−イソプロピルフェニル基、３，４−ジ−イソプロピルフェニル基、３，６−ジ−ｔ−ブチルフェニル基、２，３−ジ−ｔ−ブチルフェニル基、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル基、３，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル基、２，６−ジ−ｎ−ブチルフェニル基、２，３−ジ−ｎ−ブチルフェニル基、２，４−ジ−ｎ−ブチルフェニル基、３，４−ジ−ｎ−ブチルフェニル基、２，６−ジ−ｉ−ブチルフェニル基、２，３−ジ−ｉ−ブチルフェニル基、２，４−ジ−ｉ−ブチルフェニル基、３，４−ジ−ｉ−ブチルフェニル基、２，６−ジ−ｔ−アミルフェニル基、２，３−ジ−ｔ−アミルフェニル基、２，４−ジ−ｔ−アミルフェニル基、３，４−ジ−ｔ−アミルフェニル基、２，６−ジ−ｉ−アミルフェニル基、２，３−ジ−ｉ−アミルフェニル基、２，４−ジ−ｉ−アミルフェニル基、３，４−ジ−ｉ−アミルフェニル基、２，６−ジ−ｎ−ペンチルフェニル基、２，３−ジ−ｎ−ペンチルフェニル基、２，４−ジ−ｎ−ペンチルフェニル基、３，４−ジ−ｎ−ペンチルフェニル基、４−アダマンチルフェニル基、２−アダマンチルフェニル基、４−イソボロニルフェニル基、３−イソボロニルフェニル基、２−イソボロニルフェニル基、４−シクロペンチルオキシフェニル基、４−シクロヘキシルオキシフェニル基、４−シクロヘプテニルオキシフェニル基、４−シクロオクタニルオキシフェニル基、２−シクロペンチルオキシフェニル基、２−シクロヘキシルオキシフェニル基、２−シクロヘプテニルオキシフェニル基、２−シクロオクタニルオキシフェニル基、３−シクロペンチルオキシフェニル基、３−シクロヘキシルオキシフェニル基、３−シクロヘプテニルオキシフェニル基、３−シクロオクタニルオキシフェニル基、４−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、４−ｎ−ヘキシルオキシフェニル基、４−ｎ−ヘプテニルオキシフェニル基、４−ｎ−オクタニルオキシフェニル基、２−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、２−ｎ−ヘキシルオキシフェニル基、２−ｎ−ヘプテニルオキシフェニル基、２−ｎ−オクタニルオキシフェニル基、３−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、３−ｎ−ヘキシルオキシフェニル基、３−ｎ−ヘプテニルオキシフェニル基、３−ｎ−オクタニルオキシフェニル基、２，６−ジ−イソプロピルオキシフェニル基、２，３−ジ−イソプロピルオキシフェニル基、２，４−ジ−イソプロピルオキシフェニル基、３，４−ジ−イソプロピルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｔ−アミルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｔ−アミルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｔ−アミルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｔ−アミルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｉ−アミルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｉ−アミルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｉ−アミルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｉ−アミルオキシフェニル基、２，６−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、２，３−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、２，４−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、３，４−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニル基、４−アダマンチルオキシフェニル基、３−アダマンチルオキシフェニル基、２−アダマンチルオキシフェニル基、４−イソボロニルオキシフェニル基、３−イソボロニルオキシフェニル基、２−イソボロニルオキシフェニル基、等が挙げられこれらは上記範囲内であればさらに置換してもよく上記例以外の置換基に限定しない。
【００２１】
Ｒ５のアラルキル基としては、好ましくは炭素数７〜３０、さらに好ましくは炭素数７〜２０であり、例えば、フェニルエチル基、４−メチルフェニルエチル基、３−メチルフェニルエチル基、２−メチルフェニルエチル基、４−エチルフェニルエチル基、３−エチルフェニルエチル基、２−エチルフェニルエチル基、４−ｎ−プロピルフェニルエチル基、３−ｎ−プロピルフェニルエチル基、２−ｎ−プロピルフェニルエチル基、４−ｉ−プロピルフェニルエチル基、３−ｉ−プロピルフェニルエチル基、２−ｉ−プロピルフェニルエチル基、４−シクロプロピルフェニルエチル基、３−シクロプロピルフェニルエチル基、２−シクロプロピルフェニルエチル基、４−ｎ−ブチルフェニルエチル基、３−ｎ−ブチルフェニルエチル基、２−ｎ−ブチルフェニルエチル基、４−ｉ−ブチルフェニルエチル基、３−ｉ−ブチルフェニルエチル基、２−ｉ−ブチルフェニルエチル基、４−ｔ−ブチルフェニルエチル基、３−ｔ−ブチルフェニルエチル基、２−ｔ−ブチルフェニルエチル基、４−シクロブチルフェニルエチル基、３−シクロブチルフェニルエチル基、２−シクロブチルフェニルエチル基、４−シクロペンチルフェニルエチル基、４−シクロヘキシルフェニルエチル基、４−シクロヘプテニルフェニルエチル基、４−シクロオクタニルフェニルエチル基、２−シクロペンチルフェニルエチル基、２−シクロヘキシルフェニルエチル基、２−シクロヘプテニルフェニルエチル基、２−シクロオクタニルフェニルエチル基、３−シクロペンチルフェニルエチル基、３−シクロヘキシルフェニルエチル基、３−シクロヘプテニルフェニルエチル基、３−シクロオクタニルフェニルエチル基、４−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、４−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、４−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、４−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、２−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、２−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、２−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、２−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、３−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、３−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、３−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、３−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、４−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、４−ｎ−ヘキシルフェニルエチル基、４−ｎ−ヘプテニルフェニルエチル基、４−ｎ−オクタニルフェニルエチル基、２−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、２−ｎ−ヘキシルフェニルエチル基、２−ｎ−ヘプテニルフェニルエチル基、２−ｎ−オクタニルフェニルエチル基、３−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、３−ｎ−ヘキシルフェニルエチル基、３−ｎ−ヘプテニルフェニルエチル基、３−ｎ−オクタニルフェニルエチル基、２，６−ジ−イソプロピルフェニルエチル基、２，３−ジ−イソプロピルフェニルエチル基、２，４−ジ−イソプロピルフェニルエチル基、３，４−ジ−イソプロピルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｔ−ブチルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｔ−ブチルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｎ−ブチルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｎ−ブチルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｎ−ブチルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｎ−ブチルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｉ−ブチルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｉ−ブチルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｉ−ブチルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｉ−ブチルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｔ−アミルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｔ−アミルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｔ−アミルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｔ−アミルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｉ−アミルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｉ−アミルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｉ−アミルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｉ−アミルフェニルエチル基、２，６−ジ−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、２，３−ジ−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、２，４−ジ−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、３，４−ジ−ｎ−ペンチルフェニルエチル基、４−アダマンチルフェニルエチル基、３−アダマンチルフェニルエチル基、２−アダマンチルフェニルエチル基、４−イソボロニルフェニルエチル基、３−イソボロニルフェニルエチル基、２−イソボロニルフェニルエチル基、４−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、４−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、４−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、４−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、２−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、２−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、２−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、２−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、３−シクロペンチルオキシフェニルエチル基、３−シクロヘキシルオキシフェニルエチル基、３−シクロヘプテニルオキシフェニルエチル基、３−シクロオクタニルオキシフェニルエチル基、４−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、４−ｎ−へキシルオキシフェニルエチル基、４−ｎ−ヘプテニルオキシフェニルエチル基、４−ｎ−オクタニルオキシフェニルエチル基、２−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、２−ｎ−ヘキシルオキシフェニルエチル基、２−ｎ−ヘプテニルオキシフェニルエチル基、２−ｎ−オクタニルオキシフェニルエチル基、３−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、３−ｎ−ヘキシルオキシフェニルエチル基、３−ｎ−ヘプテニルオキシフェニルエチル基、３−ｎ−オクタニルオキシフェニルエチル基、２，６−ジーイソプロピルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−イソプロピルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−イソプロピルオキシフェニルエチル基、３，４一ジーイソプロピルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｔ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｎ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｉ−ブチルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｔ−アミルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｔ−アミルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｔ−アミルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｔ−アミルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｉ−アミルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｉ−アミルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｉ−アミルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｉ−アミルオキシフェニルエチル基、２，６−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、２，３−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、２，４−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、３，４−ジ−ｎ−ペンチルオキシフェニルエチル基、４−アダマンチルオキシフェニルエチル基、３−アダマンチルオキシフェニルエチル基、２−アダマンチルオキシフェニルエチル基、４−イソボロニルオキシフェニルエチル基、３−イソボロニルオキシフェニルエチル基、２−イソボロニルオキシフェニルエチル基、あるいは、上記アルキルがメチル基、プロピル基、ブチル基等に置き換えたもの等が挙げられる。
【００２２】
また、上記基の更なる置換基としては、水酸基、ハロゲン原子（フツ素、塩素、臭素、ヨウ素）、ニトロ基、シアノ基、上記のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、ヒドロキシエトキシ基、プロポキシ基、ヒドロキシプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基等のアルコキシ基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、ベンジル基、フエネチル基、クミル基等のアラルキル基、アラルキルオキシ基、ホルミル基、アセチル基、ブチリル基、ベンゾイル基、シアナミル基、バレリル基等のアシル基、ブチリルオキシ基等のアシロキシ基、上記のアルケニル基、ビニルオキシ基、プロペニルオキシ基、アリルオキシ基、ブテニルオキシ基等のアルケニルオキシ基、上記のアリール基、フエノキシ基等のアリールオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアリールオキシカルボニル基を挙げることができる。
【００２３】
上記Ｒ５の置換基としては、好ましくは、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基又は炭素数７〜２０のアラルキル基である。これらの置換基はさらに置換基を有してもよい。
【００２４】
Ｚとしての脂環基は、単環式でも、多環式でもよい。具体的には、炭素数５以上のモノシクロ、ビシクロ、トリシクロ、テトラシクロ構造等を有する基を挙げることができる。その炭素数は６〜３０個が好ましく、特に炭素数７〜２５個が好ましい。これらの脂環式炭化水素基は置換基を有していてもよい。具体的な脂環式構造としては、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン、シクロデカン、シクロドデカンあるいは下記構造が挙げられる。
【００２５】
【化５】

【００２６】
【化６】

【００２７】
上記の中でも、シクロペンタン、シクロヘキサン、（５）、（６）、（７）、（９）、（１０）、（１３）、（１４）、（１５）、（２３）、（２８）、（３６）、（３７）、（４０）、（４２）、（４７）が好ましい。
【００２８】
これらの脂環式構造の置換基としては、アルキル基、置換アルキル基、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基が挙げられる。アルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等の低級アルキル基が好ましく、更に好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基よりなる群から選択された置換基を表す。置換アルキル基の置換基としては、水酸基、ハロゲン原子、アルコキシ基を挙げることができる。上記アルコキシ基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数１〜４個のものを挙げることができる。
【００２９】
また、Ｚの脂環基として、下記のものも好ましい。
【００３０】
【化７】

【００３１】
Ｒ５及びｎは、前述のものと同様である。
【００３２】
一般式（Ｘ）で示される基の具体例を以下に示すが、これらに限定されるものではない。
【００３３】
【化８】

【００３４】
【化９】

【００３５】
本発明のポジ型レジスト組成物において用いられる樹脂（Ａ）は、樹脂の主鎖、あるいは、主鎖及び側鎖の両方に、酸で分解し得る基（酸分解性基）を有する樹脂である。樹脂（Ａ）においては、式（Ｘ）で表される基の他に、別の酸分解性基を含んでいてもよい。
酸で分解し得る基として好ましい基は、−ＣＯＯＡ^０、−Ｏ−Ｂ^０基であり、更にこれらを含む基としては、−Ｒ^０−ＣＯＯＡ^０、又は−Ａ_ｒ−Ｏ−Ｂ^０で示される基が挙げられる。
ここでＡ^０は、−Ｃ（Ｒ^０１）（Ｒ^０２）（Ｒ^０３）、−Ｓｉ（Ｒ^０１）（Ｒ^０２）（Ｒ^０３）もしくは−Ｃ（Ｒ^０４）（Ｒ^０５）−Ｏ−Ｒ^０６基を示す。Ｂ^０は、Ａ^０又は−ＣＯ−Ｏ−Ａ^０基を示す（Ｒ^０、Ｒ^０１〜Ｒ^０６、及びＡｒは後述のものと同義）。
【００３６】
酸分解性基としては好ましくは、シリルエーテル基、クミルエステル基、アセタール基、テトラヒドロピラニルエーテル基、エノールエーテル基、エノールエステル基、第３級のアルキルエーテル基、第３級のアルキルエステル基、第３級のアルキルカーボネート基等である。更に好ましくは、第３級アルキルエステル基、第３級アルキルカーボネート基、クミルエステル基、アセタール基、テトラヒドロピラニルエーテル基である。
【００３７】
次に、これら酸で分解し得る基が側鎖として結合する場合の母体樹脂としては、側鎖に−ＯＨもしくは−ＣＯＯＨ、好ましくは−Ｒ^０−ＣＯＯＨもしくは−Ａ_ｒ−ＯＨ基を有するアルカリ可溶性樹脂である。例えば、後述するアルカリ可溶性樹脂を挙げることができる。
【００３８】
これらアルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解速度は、０．２６１Ｎテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）で測定（２３℃）して１７０Ａ／秒以上のものが好ましい。特に好ましくは３３０Ａ／秒以上のものである（Ａはオングストローム）。
このような観点から、特に好ましいアルカリ可溶性樹脂は、ｏ−，ｍ−，ｐ−ポリ（ヒドロキシスチレン）及びこれらの共重合体、水素化ポリ（ヒドロキシスチレン）、ハロゲンもしくはアルキル置換ポリ（ヒドロキシスチレン）、ポリ （ヒドロキシスチレン）の一部、Ｏ−アルキル化もしくはＯ−アシル化物、スチレン−ヒドロキシスチレン共重合体、α−メチルスチレン−ヒドロキシスチレン共重合体及び水素化ノボラック樹脂である。
【００３９】
本発明に用いられる成分（Ａ）は、欧州特許２５４８５３号、特開平２−２５８５０号、同３−２２３８６０号、同４−２５１２５９号等の公報に開示されているように、アルカリ可溶性樹脂に酸で分解し得る基の前駆体を反応させる、もしくは、酸で分解し得る基の結合したアルカリ可溶性樹脂モノマーを種々のモノマーと共重合して得ることができる。
【００４０】
本発明に使用される成分（Ａ）の具体例を以下に示すが、これらに限定されるものではない。
【００４１】
【化１０】

【００４２】
【化１１】

【００４３】
【化１２】

【００４４】
【化１３】

【００４５】
【化１４】

【００４６】
【化１５】

【００４７】
【化１６】

【００４８】
【化１７】

【００４９】
【化１８】

【００５０】
【化１９】

【００５１】
【化２０】

【００５２】
【化２１】

【００５３】
【化２２】

【００５４】
【化２３】

【００５５】
酸で分解し得る基の含有率は、樹脂中の酸で分解し得る基の数（Ａ）と酸で分解し得る基で保護されていないアルカリ可溶性基の数（Ｓ）をもって、Ａ／（Ａ＋Ｓ）で表される。含有率は好ましくは０．０１〜０．７、より好ましくは０．０５〜０．５０、更に好ましくは０．０５〜０．４０である。Ａ／（Ａ＋Ｓ）＞０．７ではＰＥＢ後の膜収縮、基板への密着不良やスカムの原因となり好ましくない。一方、Ａ／（Ａ＋Ｓ）＜０．０１では、パターン側壁に顕著に定在波が残ることがあるので好ましくない。
【００５６】
成分（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２，０００〜２００，０００の範囲であることが好ましい。２，０００未満では未露光部の現像により膜減りが大きくなる傾向があり、２００，０００を越えると樹脂自体のアルカリに対する溶解速度が遅くなり感度が低下してしまう傾向がある。より好ましくは、５，０００〜１００，０００の範囲であり、更に好ましくは８，０００〜５０，０００の範囲である。
また、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１．０〜４．０、より好ましくは１．０〜２．０、特に好ましくは１．０〜１．６である。
ここで、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーのポリスチレン換算値をもって定義される。
また、成分（Ａ）のポリマーは、２種類以上組み合わせて使用してもよい。
成分（Ａ）のポリマーの添加量は、ポジ型レジスト組成物の固形分に対し、 ８０〜９８質量％が適当であり、好ましくは８５〜９６質量％である。
【００５７】
［２］（Ｂ）成分：活性光線又は放射線の照射により酸を発生するオニウム塩化合物
本発明のレジスト組成物は、（Ｂ）成分（酸発生剤）として、少なくともひとつのフェノール性ヒドロキシ基を有するカチオンと下記一般（１）で表されるアニオンとからなる活性光線又は放射線の照射により酸を発生するオニウム塩化合物を含む。
【００５８】
ＲＳＯ_３ ⁻ （１）
式（１）中、Ｒはフッ素原子を置換基として有する炭素数２以上のアルキル基、無置換アルキル基及び／またはハロゲン原子を置換基として有するフェニル基、ハロゲン原子を置換基として有するアルキル基を２個以上置換基として有するフェニル基、置換基を有していてもよいナフチル基、置換基を有していてもよいアントリル基、または置換基を有していてもよいフェナントリル基のいずれかを表す。
本願における（Ｂ）成分は、上記の要件を満たすものであれば限定されないが、下記一般式（ｃ）、（ｄ）又は（ｅ）で表される化合物であることが好ましい。
【化２４】

【００５９】
一般式（ｃ）において、Ｒ_１〜Ｒ_１５はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子（Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ等）、ニトロ基又はシアノ基を表すが、Ｒ_１〜Ｒ_１５の少なくともひとつはヒドロキシ基である。
ヒドロキシ基の数としては１〜６個が好ましく、１〜３個が特に好ましい。またヒドロキシ基を２個以上有する場合は、同一のベンゼン環に有していてもよいし、別のベンゼン環に有していてもよい。Ｒ_１〜Ｒ_１５は、その中から選択される２つ以上の基が互いに結合して環を形成してもよい。Ｒ_１〜Ｒ_１５として好ましくは、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、ヒドロキシ基を表し、特に好ましくは、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基、ヒドロキシ基を表す。
【００６０】
一般式（ｄ）において、Ｒ_１６〜Ｒ_２７はそれぞれ独立に一般式（ｃ）におけるＲ_１〜Ｒ_１５と同義であり、Ｒ_１６〜Ｒ_２７の少なくともひとつはヒドロキシ基を表す。ヒドロキシ基の数としては１〜１０個が好ましく、１〜５個が特に好ましい。またヒドロキシ基を２個以上有する場合は、同一のベンゼン環に有していてもよいし、別のベンゼン環に有していてもよい。
【００６１】
一般式（ｅ）において、Ｒ_２８〜Ｒ_３７はそれぞれ独立に一般式（ｃ）におけるＲ_１〜Ｒ_１５と同義であり、Ｒ_２８〜Ｒ_３７の少なくともひとつはヒドロキシ基を表す。ヒドロキシ基の数としては１〜４個が好ましく、１〜２個が特に好ましい。またヒドロキシ基を２個以上有する場合は、同一のベンゼン環に有していてもよいし、別のベンゼン環に有していてもよい。
【００６２】
Ｒ_１〜Ｒ_３７が表すアルキル基は、直鎖状でもよく、分岐状でもよく、環状でもよい。直鎖状又は分岐状アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基など、例えば炭素数１〜４個のアルキル基を挙げることができる。環状アルキル基としては、例えばシクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基など炭素数３〜８個のアルキル基を挙げることができる。
【００６３】
Ｒ_１〜Ｒ_３７が表すアルコキシ基は、直鎖状でもよく、分岐状でもよく、環状アルコキシ基でもよい。直鎖状又は分岐状アルコキシ基としては、例えば炭素数１〜８個のもの例えばメトキシ基、エトキシ基、ヒドロキシエトキシ基、プロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、オクチルオキシ基などを挙げることができる。環状アルコキシ基としては、例えば、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基が挙げられる。
【００６４】
Ｒ_１〜Ｒ_３７が表すハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子を挙げることができる。
【００６５】
Ｒ_１〜Ｒ_３７が表すアルキル基及びアルコキシ基は、いずれも基の一部に更に置換基を有していてもよい。置換基としては、好ましくは、炭素数１〜４個のアルコキシ基、炭素数６〜１０個のアリール基、炭素数２〜６個のアルケニル基を挙げることができ、シアノ基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、沃素原子）を挙げることができる。
【００６６】
一般式（ｃ）中のＲ_１〜Ｒ_１５で示す基は、そのうちの２つ以上が結合し、環を形成していてもよい。環は、Ｒ_１〜Ｒ_１５で示す基の末端が直接結合して形成してもよい。炭素、酸素、イオウ、及び窒素から選択される１種又は２種以上の元素を介して間接的に結びあい、環を形成していてもよい。Ｒ_１〜Ｒ_１５のうちの２つ以上が結合して形成する環構造としては、フラン環、ジヒドロフラン環、ピラン環、トリヒドロピラン環、チオフェン環、ピロール環などに見られる環構造と同一の構造を挙げることができる。一般式（ｄ）中のＲ_１６〜Ｒ_２７、一般式（ｅ）中のＲ_２８〜Ｒ_３７についても同様である。
【００６７】
Ｒはフッ素原子を置換基として有する炭素数２以上のアルキル基、無置換アルキル基及び／又はハロゲン原子を置換基として有するフェニル基、ハロゲン原子を置換基として有するアルキル基を２個以上置換基として有するフェニル基、置換基を有していてもよいナフチル基、置換基を有していてもよいアントリル基、置換基を有していてもよいフェナントリル基のいずれかを表す。
【００６８】
Ｒがフッ素原子を置換基として有する炭素数２以上のアルキル基である場合は下記一般式（ｆ）で表される構造であることが好ましい。
Ｒａ−Ｘ−Ｌａ− （ｆ）
一般式（ｆ）において、Ｘは単結合、−Ｏ−基又は−Ｓ−基を表し、Ｒａは置換基を有していてもよい炭素数１〜１６のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１５のアリール基を表し、Ｌａはフッ素置換された炭素数１〜１８のアルキレン基を表す。ここでＲａ及びＬａの置換基としては、ハロゲン原子（Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ等）、炭素数１〜４のアルコキシ基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシ基等を挙げることができる。Ｒａとして好ましくは、置換基を有していてもよい炭素数１〜１２のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基であり、特に好ましくは、フッ素原子で置換された炭素数１〜８のアルキル基である。Ｌａとしてより好ましくは、フッ素置換された炭素数１〜１５のアルキレン基であり、特に好ましくはフッ素置換された炭素数１〜１２のアルキレン基である。
Ｒが無置換アルキル基及び／又はハロゲン原子を置換基として有するフェニル基である場合は、無置換アルキル基としては炭素数１〜１８のものが好ましく、炭素数１〜１２のものがより好ましく、炭素数１〜６のものが特に好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましく、フッ素原子が特に好ましい。
【００６９】
Ｒがハロゲン原子を置換基として有するアルキル基を２個以上置換基として有するフェニル基である場合は、ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましく、フッ素原子が特に好ましい。アルキル基としは炭素数１〜１８のものが好ましく、炭素数１〜１２のものがより好ましく、炭素数１〜６のものが特に好ましい。アルキル基の数としては、２〜６個が好ましく、２〜４個が特に好ましい。
Ｒが置換基を有していてもよいナフチル基、置換基を有していてもよいアントリル基、置換基を有していてもよいフェナントリル基のいずれかである場合は、置換基としては上記Ｒａの置換基として挙げたものと同じものを挙げることができる。
【００７０】
以下に本発明で用いられる（Ｂ）成分の、フェノール性ヒドロキシ基を少なくともひとつ有するカチオン部と下記一般（ａ）で表されるアニオン部とを有する活性光線又は放射線の照射により酸を発生するオニウム塩化合物の例を示すが、これらに限定されるものではない。
【００７１】
【化２５】

【００７２】
【化２６】

【００７３】
【化２７】

【００７４】
【化２８】

【００７５】
本発明で使用される（Ｂ）成分の含有量は、全レジスト組成物の固形分に対し、一般的に１〜３０質量％であり、好ましくは２〜２０質量％、特に好ましくは３〜１５重量％である。
本発明で使用される（Ｂ）成分は１種を用いても良いし、２種以上を混合して用いても良い。
【００７６】
（３）Ｃ成分：活性光線又は放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物
本発明におけるレジスト組成物は、（Ｃ）成分として活性光線又は放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物を含有することが好ましい。
カルボン酸発生化合物としては、特に限定されるものではないが、一般式（ａ）：Ｒａ−ＣＯＯＨで表される構造のカルボン酸を発生する化合物が好ましい。具体的には、スルホニウム又はヨードニウムの一般式（ａ）で表されるカルボン酸塩化合物、Ｎ−ヒドロキシイミドの一般式（ａ）で表されるカルボン酸エステル化合物等が挙げられる。
これらの中で好ましくは、下記一般式（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）で表される化合物である。
【００７７】
【化２９】

【００７８】
一般式（ｃ）〜（ｅ）において、Ｒ_１〜Ｒ_３７は各々独立に、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、または、−Ｓ−Ｒ_３８で示すことができる基である。
【００７９】
Ｒａはアルキル基またはアリール基を表す。
Ｒａとしてのアルキル基は、直鎖又は分岐状であっても、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数１〜３０の直鎖又は分岐状のアルキル基である。
Ｒａとしてのアリール基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数６〜２０のアリール基である。
【００８０】
Ｒａのアルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、アリール基（フェニル基、ナフチル基等）、シクロアルキル基（シクロヘキシル基、シクロヘプチル基等）、ヒドロキシ基、アルコキシ基（メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基等）、ハロゲン原子（ヨウ素原子、臭素原子、塩素原子、フッ素原子）、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アルキルカルボニル基（メチルカルボニル基、エチルカルボニル基、ブチルカルボニル基等）、アルキルカルボニルオキシ基（メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基等）、アルキルオキシカルボニル基（メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等）、シアノ基、ニトロ基、Ｎ−アルキルアミノカルボニル基、Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミノ基等を挙げることができる。
Ｒａのアリール基が有していてもよい置換基としては、例えば、アルキル基（メチル基、エチル基、イソプロピル基、ブチル基、ｔ−ブチル基、オクチル基等）や、上記アルキル基の置換基の例として挙げたものと同じものを挙げることができる。
【００８１】
Ｒａは、より好ましくは、置換基を有していてもよい炭素数１〜２４の直鎖又は分岐状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、置換基を有していてもよいナフチル基であり、特に好ましくは、置換基を有していてもよい炭素数１〜１８のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基である。
【００８２】
尚、特に、Ｒａとしてのアルキル基については、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基が好ましく、より好ましくは炭素数１〜３のアルキル基、炭素数１〜６のパーフルオロアルキル基であり、特に好ましくはメチル基、エチル基、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基である。
【００８３】
Ｒ_１〜Ｒ_３７は、上記（Ｂ）成分において説明した一般式（ｃ）〜（ｅ）中のＲ_１〜Ｒ_３７と同義であり、各置換基の説明も上記と同様である。
Ｒ_１〜Ｒ_３７が表す−Ｓ−Ｒ_３８中のＲ_３８は、アルキル基、又はアリール基である。Ｒ_３８が表すアルキル基の範囲としては、例えばＲ_１〜Ｒ_３７が表すアルキル基として既に列挙したアルキル基中のいずれをも挙げることができる。
Ｒ_３８が表すアリール基は、フェニル基、トリル基、メトキシフェニル基、ナフチル基など、炭素数６〜１４個のアリール基を挙げることができる。
【００８４】
以下に、これらの一般式（ｃ）〜（ｅ）で表される化合物の具体例を示すが、これらに限定されるものではない。
【００８５】
【化３０】

【００８６】
【化３１】

【００８７】
【化３２】

【００８８】
【化３３】

【００８９】
【化３４】

【００９０】
【化３５】

【００９１】
本発明で使用する（Ｃ）成分は、本発明の必須成分ではないが、（Ｂ）成分と併用することにより、感度、解像力等の諸性能を向上させることができるので好ましい。（Ｃ）成分は１種を用いても良いし、２種以上を混合して用いても良い。
【００９２】
本発明で使用される（Ｃ）成分の含有量は、全ポジ型レジスト組成物の固形分に対し、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０２〜７質量％がより好ましく、０．０３〜５質量％が特に好ましい。
また、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の使用比率は、質量比率として１００／０〜５／９５の範囲で用いられ、好ましくは９５／５〜１０／９０であり、特に好ましくは９０／１０〜２０／８０である。
【００９３】
［４］（Ｄ）成分：（Ｃ）及び（Ｄ）成分以外の活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物
本発明では、（Ｃ）及び（Ｄ）成分以外の成分以外の活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物（（Ｄ）成分）を併用することができる。
このような酸発生剤としては、光カチオン重合の光開始剤、光ラジカル重合の光開始剤、色素類の光消色剤、光変色剤、あるいはマイクロレジスト等に使用されている公知の光（４００〜２００ｎｍの紫外線、遠紫外線、特に好ましくは、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＫｒＦエキシマレーザー光）、ＡｒＦエキシマレーザー光、電子線、Ｘ線、分子線又はイオンビームにより酸を発生する化合物およびそれらの混合物を適宜に選択して使用することができる。
【００９４】
また、たとえばジアゾニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、セレノニウム塩、アルソニウム塩等のオニウム塩、有機ハロゲン化合物、有機金属／有機ハロゲン化物、ｏ−ニトロベンジル型保護基を有する酸発生剤、イミノスルフォネ−ト等に代表される光分解してスルホン酸を発生する化合物、ジスルホン化合物、ジアゾケトスルホン、ジアゾジスルホン化合物等を挙げることができる。
【００９５】
また、これらの酸を発生する基、あるいは化合物をポリマーの主鎖または側鎖に導入した化合物を用いることができる。
【００９６】
さらに、Ｖ． Ｎ． Ｒ． Ｐｉｌｌａｉ， Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ， （１）， １ （１９８０）、Ａ． Ａｂａｄ ｅｔａｌ．，ＴｅｔｒａｈｅｄｒｏｎＬｅｔｔ．，（４７） ４５５５ （１９７１）、Ｄ． Ｈ． Ｒ． Ｂａｒｔｏｎ ｅｔ ａｌ．， Ｊ． Ｃｈｅｍ． Ｓｏｃ．，（Ｃ）， ３２９ （１９７０）、米国特許第３，７７９，７７８号、欧州特許第１２６，７１２号等に記載の光により酸を発生する化合物も使用することができる。
【００９７】
上記酸発生剤（Ｄ）の中で、特に有効に用いられるものについて、以下の＜Ａ−１＞〜＜Ａ−４＞に説明する。
＜Ａ−１＞： トリハロメチル基が置換した下記一般式（ＰＡＧ１）で表されるオキサゾール誘導体又は下記一般式（ＰＡＧ２）で表されるＳ−トリアジン誘導体
【００９８】
【化３６】

【００９９】
式中、Ｒ^２０１は置換もしくは未置換のアリール基、アルケニル基を、Ｒ^２０２は置換もしくは未置換のアリール基、アルケニル基、アルキル基、−Ｃ（Ｙ）_３を示す。Ｙは塩素原子または臭素原子を示す。
【０１００】
具体的には以下の化合物を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【０１０１】
【化３７】

【０１０２】
＜Ａ−２＞： 下記の一般式（ＰＡＧ３）で表されるヨードニウム塩、または一般式（ＰＡＧ４）で表されるスルホニウム塩
【０１０３】
【化３８】

【０１０４】
式中、Ａｒ^１、Ａｒ^２は、各々独立に、置換もしくは未置換のアリール基を示す。Ｒ^２０３、Ｒ^２０４、Ｒ^２０５は、各々独立に、置換もしくは未置換のアルキル基、アリール基を示す。
【０１０５】
Ｚ⁻は対アニオンを示し、例えば、ＢＦ_４ ⁻、ＡｓＦ_６ ⁻、ＰＦ_６ ⁻、ＳｂＦ_６ ⁻、ＳｉＦ_６ ^２−、ＣｌＯ_４ ⁻、ＣＦ_３ＳＯ_３ ⁻等のパーフルオロアルカンスルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオン等のアルキルスルホン酸アニオン、ペンタフルオロベンゼンスルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン、トリイソプロピルベンゼンスルホン酸アニオン等の芳香族スルホン酸アニオン、ナフタレン−１−スルホン酸アニオン等の縮合多核芳香族スルホン酸アニオン、アントラキノンスルホン酸アニオン、スルホン酸基含有染料等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、これらのアニオン種は、更に置換基を有していてもよい。
【０１０６】
またＲ^２０３、Ｒ^２０４、Ｒ^２０５のうちの２つおよびＡｒ^１、Ａｒ^２はそれぞれの単結合または置換基を介して結合してもよい。
【０１０７】
具体例としては以下に示す化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【０１０８】
【化３９】

【０１０９】
【化４０】

【０１１０】
【化４１】

【０１１１】
【化４２】

【０１１２】
【化４３】

【０１１３】
【化４４】

【０１１４】
【化４５】

【０１１５】
一般式（ＰＡＧ３）、（ＰＡＧ４）で示される上記オニウム塩は公知であり、例えば、Ｊ． Ｗ． Ｋｎａｐｃｚｙｋ ｅｔ ａｌ．， Ｊ． Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，９１，１４５ （１９６９）、Ａ． Ｌ． Ｍａｙｃｏｋ ｅｔ ａｌ．， Ｊ． Ｏｒｇ． Ｃｈｅｍ．， ３５， ２５３２， （１９７０）、Ｅ．Ｇｏｅｔｈａｓｅｔａｌ．，Ｂｕｌｌ．Ｓｏｃ． Ｃｈｅｍ． Ｂｅｌｇ．， ７３， ５４６， （１９６４）、Ｈ． Ｍ． Ｌｅｉｃｅｓｔｅｒ， Ｊ． Ａｍｅ． Ｃｈｅｍ． Ｓｏｃ．，５１， ３５８７ （１９２９）、Ｊ． Ｖ． Ｃｒｉｖｅｌｌｏ ｅｔ ａｌ．， Ｊ． Ｐｏｌｙｍ． Ｃｈｅｍ． Ｅｄ．， １８， ２６７７ （１９８０）、米国特許第２，８０７，６４８号および同４，２４７，４７３号、特開昭５３−１０１，３３１号等に記載の方法により合成することができる。
【０１１６】
＜Ａ−３＞： 下記一般式（ＰＡＧ５）で表されるジスルホン誘導体または一般式（ＰＡＧ６）で表されるイミノスルホネート誘導体
【０１１７】
【化４６】

【０１１８】
式中、Ａｒ^３、Ａｒ^４は各々独立に置換もしくは未置換のアリール基を示す。Ｒ^２０６は置換もしくは未置換のアルキル基、アリール基を示す。Ａは置換もしくは未置換のアルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基を示す。
【０１１９】
具体例としては以下に示す化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【０１２０】
【化４７】

【０１２１】
【化４８】

【０１２２】
【化４９】

【０１２３】
＜Ａ−４＞： 下記一般式（ＰＡＧ７）で表されるジアゾジスルホン誘導体
【０１２４】
【化５０】

【０１２５】
式中、Ｒは、直鎖、分岐又は環状アルキル基、あるいは置換していてもよいアリール基を表す。
【０１２６】
具体例としては以下に示す化合物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【０１２７】
【化５１】

【０１２８】
本発明で使用する（Ｄ）成分は、本発明の必須成分ではないが、（Ｂ）成分と併用することにより、感度、解像力等の諸性能を向上させることができるので好ましい。（Ｄ）成分は１種を用いても良いし、２種以上を混合して用いても良い。
【０１２９】
本発明で使用される（Ｄ）成分の含有量は、全ポジ型レジスト組成物の固形分に対し、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０２〜７質量％がより好ましく、０．０３〜５質量％が特に好ましい。
また、（Ｂ）成分と（Ｄ）成分の使用比率は、質量比率として１００／０〜５／９５の範囲で用いられ、好ましくは９５／５〜１０／９０であり、特に好ましくは９０／１０〜２０／８０である。
【０１３０】
［５］本発明の組成物に使用されるその他の成分
本発明のポジ型レジスト組成物には必要に応じて、さらに染料、含窒素塩基性化合物、溶剤、界面活性剤、ラジカル発生剤などを含有させることができる。
【０１３１】
（Ｅ）−１ 染料
好適な染料としては油性染料及び塩基性染料がある。具体的にはオイルイエロー＃１０１、オイルイエロー＃１０３、オイルピンク＃３１２、オイルグリーンＢＧ、オイルブルーＢＯＳ，オイルブルー＃６０３、オイルブラックＢＹ、オイルブラックＢＳ、オイルブラックＴ−５０５（以上オリエント化学工業株式会社製）、クリスタルバイオレット（ＣＩ４２５５５）、メチルバイオレット（ＣＩ４２５３５）、ローダミンＢ（ＣＩ４５１７０Ｂ）、マラカイトグリーン（ＣＩ４２０００）、メチレンブルー（ＣＩ５２０１５）等を挙げることができる。
【０１３２】
（Ｅ）−２ 含窒素塩基性化合物
本発明で用いる含窒素塩基性化合物は、フェノールよりも塩基性の強い含窒素塩基性化合物が好ましい。
好ましい含窒素塩基性化合物として、例えば４級アンモニウム塩化合物があげられ、下記一般式（ｂ）で表される化合物であることが好ましい。
【０１３３】
【化５２】

【０１３４】
式中、Ｒ_１〜Ｒ_４はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基（好ましくは炭素数１〜２２）を表す。
Ｒ_１〜Ｒ_４としてのアルキル基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、ヒドロキシ基、炭素数１〜４のアルコキシ基、フェニル基等を挙げることができる。またＲ_１〜Ｒ_４はそれら２つ以上が共同して環を形成してもよい。
Ｒ_１〜Ｒ_４は、好ましくは、各々独立に、水素原子、炭素数１〜１８のアルキル基であり、特に好ましくは、それぞれ独立に炭素数１〜１２のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｔ−ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基等）である。
【０１３５】
ＸはＯＨ基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子等）、Ｒｂ−ＣＯＯＨ基又はＲｂＳＯ_３Ｈ基のいずれかを表す。
ここで、Ｒｂは水素原子、アルキル基又はアリール基を表す。
Ｒｂとしてのアルキル基は、好ましくは炭素数１〜１１であり、置換基を有していてもよい。また、アリール基は、好ましくは炭素数６〜１２であり、置換基を有していてよい。ここでアルキル基の置換基としては、フェニル基、ヒドロキシ基、炭素数１〜４のアルコキシ基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子等）、アミノ基等を挙げることができる。また、アリール基の置換基としては、炭素数１〜４のアルキル基、ヒドロキシ基、炭素数１〜４のアルコキシ基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子等）、アミノ基、ニトロ基、シアノ基等を挙げることができる。
【０１３６】
Ｘとして好ましくは、ＯＨ基、塩素原子、臭素原子、炭素数１〜８のアルキルカルボン酸基（ＣＨ_３−ＣＯＯＨ基、Ｃ_２Ｈ_５−ＣＯＯＨ基、Ｃ_４Ｈ_９−ＣＯＯＨ基、Ｃ_８Ｈ_１７−ＣＯＯＨ基等）であり、特に好ましくは、ＯＨ基、塩素原子、臭素原子、炭素数１〜４のアルキルカルボン酸基である。
以下に４級アンモニウム塩化合物の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１３７】
【化５３】

【０１３８】
その他の好ましい塩基性化合物として、下記式（Ａ）〜（Ｅ）の構造をもつものを挙げることができる。
【０１３９】
【化５４】

【０１４０】
ここで、Ｒ^２５０ 、Ｒ^２５１ 及びＲ^２５２ は、同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数１〜６個のアルキル基、炭素数１〜６個のアミノアルキル基、炭素数１〜６個のヒドロキシアルキル基又は炭素数６〜２０個の置換もしくは非置換のアリール基を表し、ここで、Ｒ^２５１とＲ^２５２は、互いに結合して環を形成してもよい。
Ｒ^２５３ 、Ｒ^２５４ 、Ｒ^２５５ 及びＲ^２５６ は、同一でも異なってもよく、炭素数１〜６個のアルキル基を表す。
更に好ましい化合物は、一分子中に異なる化学的環境の窒素原子を２個以上有する含窒素塩基性化合物であり、特に好ましくは、置換もしくは未置換のアミノ基と窒素原子を含む環構造の両方を含む化合物もしくはアルキルアミノ基を有する化合物である。
【０１４１】
好ましい具体例としては、置換もしくは未置換のグアニジン、置換もしくは未置換のアミノピリジン、置換もしくは未置換のアミノアルキルピリジン、置換もしくは未置換のアミノピロリジン、置換もしくは未置換のインダゾール、イミダゾール、置換もしくは未置換のピラゾール、置換もしくは未置換のピラジン、置換もしくは未置換のピリミジン、置換もしくは未置換のプリン、置換もしくは未置換のイミダゾリン、置換もしくは未置換のピラゾリン、置換もしくは未置換のピペラジン、置換もしくは未置換のアミノモルフォリン、置換もしくは未置換のアミノアルキルモルフォリン等が挙げられる。好ましい置換基は、アミノ基、アミノアルキル基、アルキルアミノ基、アミノアリール基、アリールアミノ基、アルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アリール基、アリールオキシ基、ニトロ基、水酸基、シアノ基である。
【０１４２】
特に好ましい化合物として、グアニジン、１，１−ジメチルグアニジン、１，１，３，３，−テトラメチルグアニジン、イミダゾール、２−メチルイミダゾール、４−メチルイミダゾール、Ｎ−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、４，５−ジフェニルイミダゾール、２，４，５−トリフェニルイミダゾール、２−アミノピリジン、３−アミノピリジン、４−アミノピリジン、２−ジメチルアミノピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、２−ジエチルアミノピリジン、２−（アミノメチル）ピリジン、２−アミノ−３−メチルピリジン、２−アミノ−４−メチルピリジン、２−アミノ−５−メチルピリジン、２−アミノ−６−メチルピリジン、３−アミノエチルピリジン、４−アミノエチルピリジン、
【０１４３】
３−アミノピロリジン、ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペリジン、４−アミノ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン、４−ピペリジノピペリジン、２−イミノピペリジン、１−（２−アミノエチル）ピロリジン、ピラゾール、３−アミノ−５−メチルピラゾール、５−アミノ−３−メチル−１−ｐ−トリルピラゾール、ピラジン、２−（アミノメチル）−５−メチルピラジン、ピリミジン、２，４−ジアミノピリミジン、４，６−ジヒドロキシピリミジン、２−ピラゾリン、３−ピラゾリン、Ｎ−アミノモルフォリン、Ｎ−（２−アミノエチル）モルフォリンなどが挙げられるがこれに限定されるものではない。
これらの含窒素塩基性化合物は、単独であるいは２種以上一緒に用いられる。
【０１４４】
上記（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分の酸発生剤の合計と含窒素塩基性化合物の組成物中の使用割合は、（酸発生剤）／（含窒素塩基性化合物）（モル比）＝２．５〜３００であることが好ましい。該モル比が２．５未満では低感度となり、解像力が低下する場合があり、また、３００を越えると露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの太りが大きくなり、解像力も低下する場合がある。（酸発生剤）／（含窒素塩基性化合物）（モル比）は、好ましくは５．０〜２００、更に好ましくは７．０〜１５０である。
【０１４５】
（Ｅ）−３ 溶剤類
本発明の組成物は、上記各成分を溶解する溶媒に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒としては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシエチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン、テトラヒドロフラン等が好ましく、これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。
【０１４６】
（Ｅ）−４ 界面活性剤類
本発明の化学増幅型樹脂組成物は、更に、フッ素系及び／又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤及びシリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、あるいは２種以上を含有することが好ましい。
本発明の化学増幅型樹脂組成物が上記界面活性剤を含有することにより、２５０ｎｍ以下、特に２２０ｎｍ以下の露光光源の使用時に、良好な感度及び解像度で、密着性及び現像欠陥の少ないレジストパターンを与えることが可能となる。
これらの界面活性剤として、例えば特開昭６２−３６６６３号公報、特開昭６１−２２６７４６号公報、特開昭６１−２２６７４５号公報、特開昭６２−１７０９５０号公報、特開昭６３−３４５４０号公報、特開平７−２３０１６５号公報、特開平８−６２８３４号公報、特開平９−５４４３２号公報、特開平９−５９８８号公報、特開２００２−２７７８６２号公報、米国特許第５４０５７２０号明細書、同５３６０６９２号明細書、同５５２９８８１号明細書、同５２９６３３０号明細書、同５４３６０９８号明細書、同５５７６１４３号明細書、同５２９４５１１号明細書、同５８２４４５１号明細書記載の界面活性剤を挙げることができ、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。
使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、（新秋田化成（株）製）、フロラードＦＣ４３０、４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファックＦ１７１、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１８９、Ｒ０８（大日本インキ化学工業（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（旭硝子（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）等のフッ素系界面活性剤又はシリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーＫＰ−３４１（信越化学工業（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
【０１４７】
また、界面活性剤としては、上記に示すような公知のものの他に、テロメリゼーション法（テロマー法ともいわれる）もしくはオリゴメリゼーション法（オリゴマー法ともいわれる）により製造されたフルオロ脂肪族化合物から導かれたフルオロ脂肪族基を有する重合体を用いた界面活性剤を用いることが出来る。フルオロ脂肪族化合物は、特開２００２−９０９９１号公報に記載された方法によって合成することが出来る。
フルオロ脂肪族基を有する重合体としては、フルオロ脂肪族基を有するモノマーと（ポリ（オキシアルキレン））アクリレート及び／又は（ポリ（オキシアルキレン））メタクリレートとの共重合体が好ましく、不規則に分布しているものでも、ブロック共重合していてもよい。また、ポリ（オキシアルキレン）基としては、ポリ（オキシエチレン）基、ポリ（オキシプロピレン）基、ポリ（オキシブチレン）基などが挙げられ、また、ポリ（オキシエチレンとオキシプロピレンとオキシエチレンとのブロック連結体）やポリ（オキシエチレンとオキシプロピレンとのブロック連結体）基など同じ鎖長内に異なる鎖長のアルキレンを有するようなユニットでもよい。さらに、フルオロ脂肪族基を有するモノマーと（ポリ（オキシアルキレン））アクリレート（又はメタクリレート）との共重合体は２元共重合体ばかりでなく、異なる２種以上のフルオロ脂肪族基を有するモノマーや、異なる２種以上の（ポリ（オキシアルキレン））アクリレート（又はメタクリレート）などを同時に共重合した３元系以上の共重合体でもよい。
例えば、市販の界面活性剤として、メガファックＦ１７８、Ｆ−４７０、Ｆ−４７３、Ｆ−４７５、Ｆ−４７６、Ｆ−４７２（大日本インキ化学工業（株）製）を挙げることができる。さらに、Ｃ_６Ｆ_１３基を有するアクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシアルキレン））アクリレート（又はメタクリレート）との共重合体、Ｃ_６Ｆ_１３基を有するアクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシエチレン））アクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシプロピレン））アクリレート（又はメタクリレート）との共重合体、Ｃ_８Ｆ_１７基を有するアクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシアルキレン））アクリレート（又はメタクリレート）との共重合体、Ｃ_８Ｆ_１７基を有するアクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシエチレン））アクリレート（又はメタクリレート）と（ポリ（オキシプロピレン））アクリレート（又はメタクリレート）との共重合体、などを挙げることができる。
【０１４８】
界面活性剤の使用量は、化学増幅型樹脂組成物全量（溶剤を除く）に対して、好ましくは０．０００１〜２質量％、より好ましくは０．００１〜１質量％である。
【０１４９】
精密集積回路素子の製造などにおいてレジスト膜上へのパターン形成工程は、基板（例：シリコン／二酸化シリコン被覆基板、ガラス基板、ＩＴＯ基板、石英／酸化クロム被覆基板等）上に、本発明のポジ型レジスト組成物を塗布し、次に活性光線又は放射線そ照射し、加熱、現像、リンス、乾燥することにより良好なレジストパターンを形成することができる。ここで活性光線又は放射線としては、電子線、Ｘ線、ＥＵＶ光、波長１５０〜２５０ｎｍのエキシマレーザー光等を用いることができるが、好ましくは、電子線、Ｘ線及びＥＵＶ光である。
【０１５０】
本発明においては、必要により、市販の無機あるいは有機反射防止膜を使用することができる。更にレジストの下層に反射防止膜を塗布して用いることもできる。
【０１５１】
レジストの下層として用いられる反射防止膜としては、チタン、二酸化チタン、窒化チタン、酸化クロム、カーボン、アモルファスシリコン等の無機膜型と、吸光剤とポリマー材料からなる有機膜型のいずれも用いることができる。前者は膜形成に真空蒸着装置、ＣＶＤ装置、スパッタリング装置等の設備を必要とする。有機反射防止膜としては、例えば特公平７−６９６１１号記載のジフェニルアミン誘導体とホルムアルデヒド変性メラミン樹脂との縮合体、アルカリ可溶性樹脂、吸光剤からなるものや、米国特許５２９４６８０号記載の無水マレイン酸共重合体とジアミン型吸光剤の反応物、特開平６−１１８６３１号記載の樹脂バインダーとメチロールメラミン系熱架橋剤を含有するもの、特開平６−１１８６５６号記載のカルボン酸基とエポキシ基と吸光基を同一分子内に有するアクリル樹脂型反射防止膜、特開平８−８７１１５号記載のメチロールメラミンとベンゾフェノン系吸光剤からなるもの、特開平８−１７９５０９号記載のポリビニルアルコール樹脂に低分子吸光剤を添加したもの等が挙げられる。
【０１５２】
また、有機反射防止膜として、ブリューワーサイエンス社製のＤＵＶ３０シリーズや、ＤＵＶ−４０シリーズ、シプレー社製のＡＲ−２、ＡＲ−３、ＡＲ−５等の市販の有機反射防止膜を使用することもできる。
【０１５３】
本発明のポジ型レジスト組成物の現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチルエタノールアミン、トリエタノーアミン等のアルコ−ルアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン等の第四級アンモニウム塩、ピロール、ピペリジン等の環状アミン類、等のアルカリ類の水溶液（通常０．１〜１０質量％、ｐＨ１０〜１５）を使用することができる。更に、上記アルカリ類の水溶液にイソプロピルアルコール等のアルコール類、ノニオン系等の界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
これらの現像液の中で好ましくは第四アンモニウム塩、更に好ましくは、テトラメチルアンモニウムヒドロオキシド、コリンである。
【０１５４】
【実施例】
以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、本発明の内容はこれにより限定されるものではない。
【０１５５】
１．樹脂合成例
合成例１ ポリマー（Ｂ−２８）の合成
ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）（日本曹達社製ＶＰ−１５００）２０ｇ、ベンジルエチルビニルエーテル６．５ｇをＴＨＦ８０ｍｌに溶解させ、ｐ−トルエンスルホン酸０．０１ｇを添加し、室温で１８時間反応させた。反応液を蒸留水５Ｌに激しく攪拌しながら滴下し、析出した粉体をろ過、水洗、乾燥すると、ポリマー（Ｂ−２８）が得られた。
【０１５６】
合成例２ ポリマー（Ｂ−３２）の合成
ｐ−シクロヘキシルフェノール８３．１ｇ（０．５モル）を３００ｍｌのトルエンに溶解し、次いで２−クロロエチルビニルエーテル１５０ｇ、水酸化ナトリウム２５ｇ、テトラブチルアンモニウムブロミド５ｇ、トリエチルアミン６０ｇを加えて１２０℃で５時間反応させた。反応液を水洗し、過剰のクロエチルビニルエーテルとトルエンを留去し、得られたオイルを減圧蒸留にて精製すると４−シクロヘキシルフェノキシエチルビニルエーテルが得られた。
ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）（日本曹達社製ＶＰ−８０００）２０ｇ，４−シクロヘキシルフェノキシエチルビニルエ−テル６．５ｇをＴＨＦ８０ｍｌに溶解し、これにｐ−トルエンスルホン酸０．０１ｇを添加して室温で１８時間反応させた。反応液を蒸留水５Ｌに激しく撹拌しながら滴下し、析出する粉体をろ過、乾燥するとポリマー（Ｂ−３２）が得られた。
【０１５７】
他のポリマーも同様の方法で合成した。以下の実施例で使用したポリマーの重量平均分子量、分子量分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）、繰返し単位のモル比は以下の通りである。
ポリマー 重量平均分子量 分子量分散度 繰返し単位のモル比
Ｂ−２８ １５０００ １．２０ ７０／３０
Ｂ−２９ １２０００ １．４０ ７３／２７
Ｂ−３０ ８０００ １．２５ ８０／２０
Ｂ−３１ １５０００ １．２０ ６５／１０／２５
Ｂ−３２ １２０００ １．４０ ８０／２０
＊先に例示した樹脂構造における括弧部分の各繰り返し単位の左から順
【０１５８】
比較合成例 ポリマー（Ｂ−２１）の合成
ｐ−アセトキシスチレン３２．４ｇ（０．２モル）及びメタクリル酸ｔ−ブチル７．０１ｇ（０．０７モル）を酢酸ブチル１２０ｍｌに溶解し、窒素気流及び攪拌下、８０℃にてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．０３３ｇを２．５時間置きに３回添加し、最後に更に５時間攪拌を続けることにより、重合反応を行った。反応液をヘキサン１２００ｍｌに投入し、白色の樹脂を析出させた。得られた樹脂を乾燥後、メタノール２００ｍｌに溶解した。
これに水酸化ナトリウム７．７ｇ（０．１９モル）／水５０ｍｌの水溶液を添加し、１時間加熱還流することにより加水分解させた。その後、水２００ｍｌを加えて希釈し、塩酸にて中和し白色の樹脂を析出させた。この樹脂を濾別し、水洗・乾燥させた。更にテトラヒドロフラン２００ｍｌに溶解し、５Ｌの超純水中に激しく攪拌しながら滴下、再沈を行った。この再沈操作を３回繰り返した。得られた樹脂を真空乾燥器中で１２０℃、１２時間乾燥し、ポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｔ−ブチル）共重合体（Ｂ−２１）を得た。
【０１５９】
【化５５】

ポリマー 重量平均分子量 分子量分散度 繰返し単位のモル比
Ｂ−２１ １５０００ １．２０ ６５／３５
＊例示した樹脂構造における括弧部分の各繰り返し単位の左から順
【０１６０】
２．酸発生剤合成例
合成例１ Ｂ成分 化合物例Ｄ−２の合成
１）ノナフルオロブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム塩の合成
ノナフルオロブタンスルホニルクロリド２５ｇを氷冷下メタノール１００ｍｌに溶解させ、これに２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液１００ｇをゆっくり加えた。室温で３時間攪拌して、ノナフルオロブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム塩の溶液を得た。
【０１６１】
２）化合物例Ｄ−２の合成
（モノ−ｐ−ヒドロキシ）ジフェニルスルホキシド５０ｇをベンゼン８００ｍｌに溶解させ、これに塩化アルミニウム２００ｇを加え、２４時間還流した。反応液を氷２Ｌにゆっくりと注ぎ、こえ濃硫酸４００ｍｌを加えて７０℃で１０分加熱した。この水溶液を酢酸エチル５００ｍｌで洗浄し、ろ過した後にヨウ化アンモニウム２００ｇを水４００ｍｌに溶解したものを加えた。析出した粉体をろ取、水洗した後酢酸エチルで洗浄、乾燥して（モノ−ｐ−ヒドロキシ）トリフェニルスルホニウムヨージド７０ｇを得た。
得られた（モノ−ｐ−ヒドロキシ）トリフェニルスルホニウムヨージド３２ｇをメタノール１０００ｍｌに溶解させ、この溶液に酸化銀２０ｇを加え、室温で４時間攪拌した。溶液をろ過し、これに過剰量のノナフルオロブタンスルホン酸テトラメチルアンモニウム塩の溶液を加えた。反応液を濃縮し、これをジクロロメタン５００ｍｌに溶解し、この５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、および水で洗浄した。有機相を無水硫酸ナトリウムで乾燥後、濃縮して（モノ−ｐ−ヒドロキシ）トリフェニルスルホニウムノナフルオロブタンスルホネート（Ｄ−２）を得た。
【０１６２】
合成例２ （Ｃ）成分 活性光線又は放射線の照射によりカルボン酸を発生する化合物
（４−１） トリフェニルスルホニウムアセテート（ｃ−１）合成
ジフェニルスルホキシド５０ｇをベンゼン８００ｍｌに溶解させ、これに塩化アルミニウム２００ｇを加え、２４時間還流した。反応液を氷２Ｌにゆっくりと注ぎ、これに濃塩酸４００ｍｌを加えて７０℃で１０分加熱した。この水溶液を酢酸エチル５００ｍｌで洗浄し、ろ過した後に、ヨウ化アンモニウム２００ｇを水４００ｍｌに溶解したものを加えた。析出した粉体をろ取、水洗した後、酢酸エチルで洗浄、乾燥しトリフェニルスルホニウムヨージド７０ｇが得られた。
トリフェニルヨージド３０．５ｇをメタノール１０００ｍｌに溶解させ、この溶液に酸化銀１９．１ｇを加え、室温で４時間攪拌した。溶液をろ過し、これに過剰量の市販の酢酸テトラアンモニウムの溶液を加えた。反応液を濃縮し、これをジクロロメタン５００ｍｌに溶解し、この溶液を５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、および水で洗浄した。有機層を無水硫酸ナトリウムで乾燥後、濃縮するとトリフェニルスルホニウムアセテート（ｃ−１）が得られた。
その他の化合物についても同様に合成した。
【０１６３】
〔実施例１〕
（１） ポジ型レジストの調製および塗設
（Ａ）成分 ：酸分解性ポリマーＢ−２１ ０．９４ｇ
（Ｂ）成分 ：スルホン酸発生剤Ｄ−２ ０．０５ｇ
（Ｃ）成分 ：カルボン酸発生剤ｃ−１ ０．００３ｇ
を、下記表１のように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート８．５ｇに溶解させ、さらに界面活性剤としてメガファックＦ１７６（大日本インキ化学工業（株）製、以下Ｗ−１と略す）０．００１ｇを添加、溶解させ、得られた溶液を０．１μｍ口径のメンブレンフィルターで精密ろ過して、レジスト溶液を得た。
このレジスト溶液を６インチシリコンウェハー上に東京エレクトロン製スピンコーターＭａｒｋ８を用いて塗布し、１１０℃、９０秒ベークして膜厚０．３０μｍの均一膜を得た。
【０１６４】
〔比較例１〕
（Ａ）成分の本発明の樹脂Ｂ−２８に代え比較樹脂Ｂ−２１を使用し、また（Ｂ）成分の本発明の酸発生剤に代えて、ヒドロキシル基を有さない酸発生剤ＰＡＧ４−３６を用いた以外は、実施例１と同様にしてレジスト溶液を調整した。
〔比較例２〕
（Ｂ）成分の本発明の酸発生剤に代えて、ヒドロキシル基を有さない酸発生剤ＰＡＧ４−７を用いた以外は、実施例１と同様にしてレジスト溶液を調整した。
【０１６５】
〔比較例３〕
（Ａ）成分の本発明の樹脂Ｂ−２８に代え比較樹脂Ｂ−２１を使用し、また（Ｄ）成分の本発明の酸発生剤に代えて、特登２９６８０５５号に記載されている（モノ−ｐ−ヒドロキシ）トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート（以下、Ｒ−１と略す）を用い、その他は実施例１と同様にしてレジスト溶液を調製した。
【０１６６】
〔実施例２〜１３〕
表１に示した各成分を用い、その他は実施例１と同様にしてレジスト溶液の調整、ポジ型パターン形成を行った。
【０１６７】
【表１】

【０１６８】
表１中、その他の略号は以下を意味する。
ＯＥ−１：４−ジメチルアミノピリジン
ＯＥ−２：ベンズイミダゾール
ＯＥ−３：２，４，５−トリフェニルイミダゾール
ＯＥ−４：１，４−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセン
Ｗ−２：シロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学（株）製）
ＤＤ−１：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（東京化成（株）製）
【０１６９】
（２）ポジ型レジストパターンの作製とその評価
このレジスト膜に、電子線描画装置（（株）日立製作所製ＨＬ７５０、加速電圧５０ＫｅＶ）を用いて電子線照射を行った。照射後に１１０℃、９０秒ベークし、２．３８質量％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）水溶液を用いて６０秒間浸漬した後、３０秒間、水でリンスして乾燥した。得られたパターンを下記の方法で評価した。
（２−１）感度
得られたパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−４３００）を用いて観察した。０．１５μｍコンタクトホールパターン（Ｄｕｔｙ比＝１：２）を解像する時の最小照射エネルギーを感度とした。
（２−２）解像力
上記の感度を示す照射量における限界解像力（コンタクトホールパターンが分離解像）を解像力とした。
（２−３）パターン形状
上記の感度を示す照射量における０．１５μｍコンタクトホールパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−４３００）を用いて観察し、矩形、ややテーパー、テーパーの３段階評価を行った。
（２−４）真空中ＰＥＤ特性
真空チャンバー内にウェハをセット、上記感度を示す照射量にて電子線照射、照射直後又は３時間後に、上記のように１１０℃、９０秒ベーク（加熱処理）した後、現像処理を行いコンタクトホールパターンを得た。
そして、電子線照射直後にベークを行い現像処理し得られた０．１５μｍコンタクトホールパターンと電子線照射３時間後にベークを行い現像処理をし得られた０．１５μｍコンタクトホールパターンについて、走査型電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９２２０）にて線幅を測定し、両者の差を真空中ＰＥＤ特性とした。
評価結果を表２に示した。
【０１７０】
【表２】

【０１７１】
表２の結果から明らかなように、特定の構造を有する樹脂を用いて、（Ｂ）成分の少なくともひとつのフェノール性ヒドロキシ基を有するカチオン部を持つ特定の光酸発生剤含む本発明の組成物は、放射線の照射により、（Ｄ）成分のみを含む比較例の組成物と比べて、高感度で高解像力であり、パターン形状、真空中ＰＥＤも優れていることがわかる。
【０１７２】
【発明の効果】
本発明により、活性光線又は放射線の照射によるパターン形成に関して、高感度、高解像性、良好なパターン形状、及び良好な真空中ＰＥＤ特性を同時に満足するポジ型レジスト組成物を提供することができる。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a positive resist composition used for manufacturing semiconductor integrated circuit elements, integrated circuit manufacturing masks, and the like.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in the manufacturing process of semiconductor devices such as IC and LSI, fine processing by lithography using a photoresist composition has been performed. In recent years, with the high integration of integrated circuits, the formation of ultrafine patterns in the submicron region and the quarter micron region has been required. Along with this, there is a tendency to shorten the exposure wavelength from g-line to i-line and further to KrF excimer laser light. Furthermore, at present, in addition to excimer laser light, lithography using electron beams, X-rays, or EUV light is also being developed.
[0003]
In particular, electron beam lithography is positioned as a next-generation or next-generation pattern formation technique, and a positive resist with high sensitivity and high resolution is desired. In particular, high sensitivity is a very important issue for shortening the wafer processing time, but in the case of positive resists for electron beams, if it is attempted to increase the sensitivity, it will occur after exposure in vacuum. (Hereinafter abbreviated as PED in vacuum) is a problem, and there is a strong demand for the development of a resist that can achieve both. Furthermore, there are similar problems in lithography using X-rays or EUV light, and it is necessary to solve these problems.
As a resist suitable for a lithography process using such an electron beam, X-ray or EUV light, a chemically amplified resist using an acid catalyst reaction is mainly used from the viewpoint of high sensitivity. Is a polymer having a property of being insoluble or hardly soluble in an alkaline aqueous solution and soluble in an alkaline aqueous solution by the action of an acid (hereinafter sometimes abbreviated as an acid-decomposable resin), and an acid generator. The chemically amplified composition is effectively used.
[0004]
With regard to positive resists for electron beams or X-rays, resist techniques for KrF excimer lasers have been mainly used so far. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-19847 discloses a resist composition having a polymer in which the phenolic hydroxy groups of poly (p-hydroxystyrene) are completely or partially protected with tetrahydropyranyl groups.
Similarly, JP-A-4-219757 discloses a resist composition containing a polymer in which 20 to 70% of the phenolic hydroxy group of poly (p-hydroxystyrene) is substituted with an acetal group. Has been.
Furthermore, many patent documents are disclosed regarding the photoacid generator. For example, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-66779) describes a photoacid generator containing a phenolic hydroxy group.
[0005]
However, even in the above technique, the high sensitivity, high resolution, good pattern shape, and PED characteristics in vacuum are not satisfied at the same time. In particular, the PED characteristic in vacuum is a very important performance when performing exposure in a vacuum such as an electron beam or X-ray. If the PED characteristic in vacuum is poor, drawing is performed during electron beam or X-ray drawing. The performance greatly changes between the initial stage and the end of drawing, and as a result, the in-plane uniformity of the line width of the drawing pattern varies greatly, resulting in a significant decrease in yield.
In this way, the combination of known techniques has sufficient sensitivity, high resolution, good pattern shape, and good PED characteristics in vacuum, especially under electron beam or X-ray irradiation. It is difficult to achieve both of these.
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-4-219757
[Patent Document 2]
JP 2001-66779 A
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a chemically amplified positive resist composition in which the resolution of contact holes is improved, the shape of the resulting pattern profile is excellent, and the line width variation due to the holding time in the vacuum chamber of the irradiation apparatus is also improved. An object of the present invention is to provide a resist composition excellent for irradiation with active radiation such as an electron beam, X-ray, or EUV (Extreme Ultraviolet).
[0008]
[Means for Solving the Problems]
As a result of intensive studies in view of the present situation, the present inventor has used the above-mentioned object by using a positive resist composition having a compound having an acid-decomposable group having a specific structure and a photoacid generator having a specific structure. Has been achieved and the present invention has been completed.
That is, the positive resist composition according to the present invention has the following configuration.
(1) (A) a resin having a structural unit containing a group represented by the following general formula (X), which is decomposed by the action of an acid to increase the solubility in an alkali developer, and (B) phenolic hydroxy A resist composition comprising a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic radiation having a cation moiety having at least one group and an anion moiety represented by the following general formula (1).
[0009]
[Chemical 2]

[0010]
In general formula (X), R1 and R2 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. R3 and R4 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group which may have a substituent. Z represents a phenyl group or an alicyclic group which may have a substituent. m represents an integer of 1 to 20.
RSO₃ ⁻(1)
In formula (1), R represents an alkyl group having 2 or more carbon atoms having a fluorine atom as a substituent, an unsubstituted alkyl group and / or a phenyl group having a halogen atom as a substituent, or an alkyl group having a halogen atom as a substituent. Either a phenyl group having two or more substituents, a naphthyl group which may have a substituent, an anthryl group which may have a substituent, or a phenanthryl group which may have a substituent Represent.
(2) The positive resist composition as described in (1) above, further comprising (D) a nitrogen-containing basic compound.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
[1] Component (A): a polymer that is insoluble or hardly soluble in an alkaline aqueous solution and becomes soluble in an alkaline aqueous solution by the action of an acid
The component (A) (resin (A)) in the present invention has a structural unit containing a group represented by the following general formula (X), and is decomposed by the action of an acid to increase the solubility in an alkali developer. Resin.
[0012]
[Chemical 3]

[0013]
In general formula (X), R1 and R2 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. R3 and R4 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group. Z represents a phenyl group or an alicyclic group. m represents an integer of 1 to 20.
[0014]
Examples of the alkyl group represented by R1 and R2 in the general formula (X) include carbon numbers such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, and t-butyl group. 1-4 alkyl groups are mentioned.
R3 and R4 may be the same or different, may have a substituent, and represent a hydrogen atom or an alkyl group that may have a substituent. Here, the alkyl group may be linear, branched, or cyclic.
As a linear alkyl group, Preferably it is C1-C30, More preferably, it is 1-20, for example, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl. Group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decanyl group and the like.
As a branched alkyl group, Preferably it is C1-C30, More preferably, it is 1-20, for example, i-propyl group, i-butyl group, t-butyl group, i-pentyl group, t-pentyl group, Examples include i-hexyl group, t-hexyl group, i-heptyl group, t-heptyl group, i-octyl group, t-octyl group, i-nonyl group, t-decanoyl group and the like.
The cyclic alkyl group preferably has 3 to 30 carbon atoms, more preferably 3 to 20 carbon atoms. For example, cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclo A decanoyl group etc. are mentioned.
At least one of R1 and R2 is preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
[0015]
Z represents a phenyl group or an alicyclic group.
The phenyl group as Z may have a substituent, and examples thereof include a group represented by the following formula.
[0016]
[Formula 4]

[0017]
R5 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an aralkyl group which may have a substituent. n represents an integer of 0 to 5.
[0018]
The alkyl group as R5 may be linear, branched or cyclic.
The linear or branched alkyl group represented by R5 preferably has 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to 20 carbon atoms. For example, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, n -Butyl group, i-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, i-pentyl group, t-pentyl group, n-hexyl group, i-hexyl group, t-hexyl group, n-heptyl group, i -Heptyl group, t-heptyl group, n-octyl group, i-octyl group, t-octyl group, n-nonyl group, i-nonyl group, t-nonyl group, n-decanyl group, i-decanyl group, t -Decanyl group, n-undecyl group, i-undecyl group, n-dodecyl group, i-dodecyl group, n-tridecyl group, i-tridecyl group, n-tetradecyl group, i-tetradecyl group, n-pentadecyl group, i -Pentade Le group, n- hexadecyl group, i- hexadecyl group, n- heptadecyl group, i- heptadecyl, n- octadecyl, i- octadecyl group, n- nonadecyl group, and i- nonadecyl group.
[0019]
The cyclic alkyl group for R5 preferably has 1 to 30 carbon atoms, more preferably 1 to 20 carbon atoms, and even if it forms a ring with up to 20 carbon atoms, it may be a cyclic alkyl having a substituent. , Cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecanyl group, cycloundecyl group, cyclododecyl group, cyclotridecyl group, cyclotridecyl group, cyclotetradecyl group Group, cyclopentadecyl group, cyclohexadecyl group, cycloheptadecyl group, cyclooctadecyl group, cyclononadecyl group, 4-cyclohexylcyclohexyl group, 4-n-hexylcyclohexyl group, pentanylcyclohexyl group, hexyloxycyclohexyl group, pentanyl Shi cyclohexyl group can be exemplified. Substituted cyclic alkyl groups other than those listed here can also be used within the above ranges.
[0020]
The aryl group for R5 preferably has 6 to 30 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms. For example, a phenyl group, a 4-methylphenyl group, a 3-methylphenyl group, a 2-methylphenyl group, 4 -Ethylphenyl group, 3-ethylphenyl group, 2-ethylphenyl group, 4-n-propylphenyl group, 3-n-propylphenyl group, 2-n-propylphenyl group, 4-i-propylphenyl group, 3 -I-propylphenyl group, 2-i-propylphenyl group, 4-cyclopropylphenyl group, 3-cyclopropylphenyl group, 2-cyclopropylphenyl group, 4-n-butylphenyl group, 3-n-butylphenyl Group, 2-n-butylphenyl group, 4-i-butylphenyl group, 3-i-butylphenyl group, 2-i-butylphenyl group, 4-t-butyl group Ruphenyl group, 3-t-butylphenyl group, 2-t-butylphenyl group, 4-cyclobutylphenyl group, 3-cyclobutylphenyl group, 2-cyclobutylphenyl group, 4-cyclopentylphenyl group, 4-cyclohexylphenyl Group, 4-cycloheptenylphenyl group, 4-cyclooctanylphenyl group, 2-cyclopentylphenyl group, 2-cyclohexylphenyl group, 2-cycloheptenylphenyl group, 2-cyclooctanylphenyl group, 3-cyclopentylphenyl group Group, 3-cyclohexylphenyl group, 3-cycloheptenylphenyl group, 3-cyclooctanylphenyl group, 4-cyclopentyloxyphenyl group, 4-cyclohexyloxyphenyl group, 4-cycloheptenyloxyphenyl group, 4-cyclo Octanyloxypheny Group, 2-cyclopentyloxyphenyl group, 2-cyclohexyloxyphenyl group, 2-cycloheptenyloxyphenyl group, 2-cyclooctanyloxyphenyl group, 3-cyclopentyloxyphenyl group, 3-cyclohexyloxyphenyl group, 3- Cycloheptenyloxyphenyl group, 3-cyclooctanyloxyphenyl group, 4-n-pentylphenyl group, 4-n-hexylphenyl group, 4-n-heptenylphenyl group, 4-n-octanylphenyl group, 2-n-pentylphenyl group, 2-n-hexylphenyl group, 2-n-heptenylphenyl group, 2-n-octanylphenyl group, 3-n-pentylphenyl group, 3-n-hexylphenyl group, 3-n-heptenylphenyl group, 3-n-octanylphenyl group, 2,6-di-isopropyl Propylphenyl group, 2,3-di-isopropylphenyl group, 2,4-di-isopropylphenyl group, 3,4-di-isopropylphenyl group, 3,6-di-t-butylphenyl group, 2,3-di -T-butylphenyl group, 2,4-di-t-butylphenyl group, 3,4-di-t-butylphenyl group, 2,6-di-n-butylphenyl group, 2,3-di-n -Butylphenyl group, 2,4-di-n-butylphenyl group, 3,4-di-n-butylphenyl group, 2,6-di-i-butylphenyl group, 2,3-di-i-butyl Phenyl group, 2,4-di-i-butylphenyl group, 3,4-di-i-butylphenyl group, 2,6-di-t-amylphenyl group, 2,3-di-t-amylphenyl group 2,4-di-t-amylphenyl group, 3,4-di-t-amylphenyl group 2,6-di-i-amylphenyl group, 2,3-di-i-amylphenyl group, 2,4-di-i-amylphenyl group, 3,4-di-i-amylphenyl group, 2 , 6-Di-n-pentylphenyl group, 2,3-di-n-pentylphenyl group, 2,4-di-n-pentylphenyl group, 3,4-di-n-pentylphenyl group, 4-adamantyl Phenyl group, 2-adamantylphenyl group, 4-isoboronylphenyl group, 3-isobornylphenyl group, 2-isoboronylphenyl group, 4-cyclopentyloxyphenyl group, 4-cyclohexyloxyphenyl group, 4-cyclo Heptenyloxyphenyl group, 4-cyclooctanyloxyphenyl group, 2-cyclopentyloxyphenyl group, 2-cyclohexyloxyphenyl group, 2-cycloheptenyloxy Siphenyl group, 2-cyclooctanyloxyphenyl group, 3-cyclopentyloxyphenyl group, 3-cyclohexyloxyphenyl group, 3-cycloheptenyloxyphenyl group, 3-cyclooctanyloxyphenyl group, 4-n-pentyloxy Phenyl group, 4-n-hexyloxyphenyl group, 4-n-heptenyloxyphenyl group, 4-n-octanyloxyphenyl group, 2-n-pentyloxyphenyl group, 2-n-hexyloxyphenyl group, 2-n-heptenyloxyphenyl group, 2-n-octanyloxyphenyl group, 3-n-pentyloxyphenyl group, 3-n-hexyloxyphenyl group, 3-n-heptenyloxyphenyl group, 3- n-octanyloxyphenyl group, 2,6-di-isopropyloxyphenyl group, 2, 3-di-isopropyloxyphenyl group, 2,4-di-isopropyloxyphenyl group, 3,4-di-isopropyloxyphenyl group, 2,6-di-t-butyloxyphenyl group, 2,3-di- t-butyloxyphenyl group, 2,4-di-t-butyloxyphenyl group, 3,4-di-t-butyloxyphenyl group, 2,6-di-n-butyloxyphenyl group, 2,3- Di-n-butyloxyphenyl group, 2,4-di-n-butyloxyphenyl group, 3,4-di-n-butyloxyphenyl group, 2,6-di-i-butyloxyphenyl group, 2, 3-di-i-butyloxyphenyl group, 2,4-di-i-butyloxyphenyl group, 3,4-di-i-butyloxyphenyl group, 2,6-di-t-amyloxyphenyl group, 2,3-di-t-amylo Siphenyl group, 2,4-di-t-amyloxyphenyl group, 3,4-di-t-amyloxyphenyl group, 2,6-di-i-amyloxyphenyl group, 2,3-di-i- Amyloxyphenyl group, 2,4-di-i-amyloxyphenyl group, 3,4-di-i-amyloxyphenyl group, 2,6-di-n-pentyloxyphenyl group, 2,3-di- n-pentyloxyphenyl group, 2,4-di-n-pentyloxyphenyl group, 3,4-di-n-pentyloxyphenyl group, 4-adamantyloxyphenyl group, 3-adamantyloxyphenyl group, 2-adamantyl Examples include oxyphenyl group, 4-isoboronyloxyphenyl group, 3-isoboronyloxyphenyl group, 2-isoboronyloxyphenyl group, and the like. Not well limited to substituents other than the above example be replaced by al.
[0021]
The aralkyl group for R5 preferably has 7 to 30 carbon atoms, more preferably 7 to 20 carbon atoms. For example, phenylethyl group, 4-methylphenylethyl group, 3-methylphenylethyl group, 2-methylphenyl Ethyl group, 4-ethylphenylethyl group, 3-ethylphenylethyl group, 2-ethylphenylethyl group, 4-n-propylphenylethyl group, 3-n-propylphenylethyl group, 2-n-propylphenylethyl group 4-i-propylphenylethyl group, 3-i-propylphenylethyl group, 2-i-propylphenylethyl group, 4-cyclopropylphenylethyl group, 3-cyclopropylphenylethyl group, 2-cyclopropylphenylethyl group Group, 4-n-butylphenylethyl group, 3-n-butylphenylethyl group, 2- -Butylphenylethyl group, 4-i-butylphenylethyl group, 3-i-butylphenylethyl group, 2-i-butylphenylethyl group, 4-t-butylphenylethyl group, 3-t-butylphenylethyl group 2-t-butylphenylethyl group, 4-cyclobutylphenylethyl group, 3-cyclobutylphenylethyl group, 2-cyclobutylphenylethyl group, 4-cyclopentylphenylethyl group, 4-cyclohexylphenylethyl group, 4- Cycloheptenylphenylethyl group, 4-cyclooctanylphenylethyl group, 2-cyclopentylphenylethyl group, 2-cyclohexylphenylethyl group, 2-cycloheptenylphenylethyl group, 2-cyclooctanylphenylethyl group, 3- Cyclopentylphenylethyl group, 3-cyclohe Silphenylethyl group, 3-cycloheptenylphenylethyl group, 3-cyclooctanylphenylethyl group, 4-cyclopentyloxyphenylethyl group, 4-cyclohexyloxyphenylethyl group, 4-cycloheptenyloxyphenylethyl group, 4 -Cyclooctanyloxyphenylethyl group, 2-cyclopentyloxyphenylethyl group, 2-cyclohexyloxyphenylethyl group, 2-cycloheptenyloxyphenylethyl group, 2-cyclooctanyloxyphenylethyl group, 3-cyclopentyloxyphenyl group Ethyl group, 3-cyclohexyloxyphenylethyl group, 3-cycloheptenyloxyphenylethyl group, 3-cyclooctanyloxyphenylethyl group, 4-n-pentylphenylethyl group, 4-n-hexylsulfate Enylethyl group, 4-n-heptenylphenylethyl group, 4-n-octanylphenylethyl group, 2-n-pentylphenylethyl group, 2-n-hexylphenylethyl group, 2-n-heptenylphenylethyl group 2-n-octanylphenylethyl group, 3-n-pentylphenylethyl group, 3-n-hexylphenylethyl group, 3-n-heptenylphenylethyl group, 3-n-octanylphenylethyl group, 2 , 6-di-isopropylphenylethyl group, 2,3-di-isopropylphenylethyl group, 2,4-di-isopropylphenylethyl group, 3,4-di-isopropylphenylethyl group, 2,6-di-t -Butylphenylethyl group, 2,3-di-t-butylphenylethyl group, 2,4-di-t-butylphenylethyl group, 3,4-di t-butylphenylethyl group, 2,6-di-n-butylphenylethyl group, 2,3-di-n-butylphenylethyl group, 2,4-di-n-butylphenylethyl group, 3,4- Di-n-butylphenylethyl group, 2,6-di-i-butylphenylethyl group, 2,3-di-i-butylphenylethyl group, 2,4-di-i-butylphenylethyl group, 3, 4-di-i-butylphenylethyl group, 2,6-di-t-amylphenylethyl group, 2,3-di-t-amylphenylethyl group, 2,4-di-t-amylphenylethyl group, 3,4-di-t-amylphenylethyl group, 2,6-di-i-amylphenylethyl group, 2,3-di-i-amylphenylethyl group, 2,4-di-i-amylphenylethyl group Group, 3,4-di-i-amylphenylethyl 2,6-di-n-pentylphenylethyl group, 2,3-di-n-pentylphenylethyl group, 2,4-di-n-pentylphenylethyl group, 3,4-di-n-pentylphenyl Ethyl group, 4-adamantylphenylethyl group, 3-adamantylphenylethyl group, 2-adamantylphenylethyl group, 4-isobornylphenylethyl group, 3-isobornylphenylethyl group, 2-isoboronylphenylethyl group 4-cyclopentyloxyphenylethyl group, 4-cyclohexyloxyphenylethyl group, 4-cycloheptenyloxyphenylethyl group, 4-cyclooctanyloxyphenylethyl group, 2-cyclopentyloxyphenylethyl group, 2-cyclohexyloxyphenyl Ethyl group, 2-cycloheptenyloxyphenyl ester Til group, 2-cyclooctanyloxyphenylethyl group, 3-cyclopentyloxyphenylethyl group, 3-cyclohexyloxyphenylethyl group, 3-cycloheptenyloxyphenylethyl group, 3-cyclooctanyloxyphenylethyl group, 4 -N-pentyloxyphenylethyl group, 4-n-hexyloxyphenylethyl group, 4-n-heptenyloxyphenylethyl group, 4-n-octanyloxyphenylethyl group, 2-n-pentyloxyphenylethyl Group, 2-n-hexyloxyphenylethyl group, 2-n-heptenyloxyphenylethyl group, 2-n-octanyloxyphenylethyl group, 3-n-pentyloxyphenylethyl group, 3-n-hexyloxy Phenylethyl group, 3-n-heptenyloxyphenyl ester Group, 3-n-octanyloxyphenylethyl group, 2,6-diisopropyloxyphenylethyl group, 2,3-diisopropylisopropylphenylethyl group, 2,4-diisopropyloxyphenylethyl group, 3 4, 4-diisopropyloxyphenylethyl group, 2,6-di-t-butyloxyphenylethyl group, 2,3-di-t-butyloxyphenylethyl group, 2,4-di-t-butyloxyphenylethyl group Group, 3,4-di-t-butyloxyphenylethyl group, 2,6-di-n-butyloxyphenylethyl group, 2,3-di-n-butyloxyphenylethyl group, 2,4-di- n-butyloxyphenylethyl group, 3,4-di-n-butyloxyphenylethyl group, 2,6-di-i-butyloxyphenylethyl group, 2,3-di i-butyloxyphenylethyl group, 2,4-di-i-butyloxyphenylethyl group, 3,4-di-i-butyloxyphenylethyl group, 2,6-di-t-amyloxyphenylethyl group, 2,3-di-t-amyloxyphenylethyl group, 2,4-di-t-amyloxyphenylethyl group, 3,4-di-t-amyloxyphenylethyl group, 2,6-di-i- Amyloxyphenylethyl group, 2,3-di-i-amyloxyphenylethyl group, 2,4-di-i-amyloxyphenylethyl group, 3,4-di-i-amyloxyphenylethyl group, 2, 6-di-n-pentyloxyphenylethyl group, 2,3-di-n-pentyloxyphenylethyl group, 2,4-di-n-pentyloxyphenylethyl group, 3,4-di-n-pentyloxy Siphenylethyl group, 4-adamantyloxyphenylethyl group, 3-adamantyloxyphenylethyl group, 2-adamantyloxyphenylethyl group, 4-isoboronyloxyphenylethyl group, 3-isoboronyloxyphenylethyl group, 2 -An isobornyloxyphenylethyl group, or a group in which the above alkyl is replaced with a methyl group, a propyl group, a butyl group, or the like.
[0022]
Further, as further substituents of the above groups, hydroxyl groups, halogen atoms (fluorine, chlorine, bromine, iodine), nitro groups, cyano groups, the above alkyl groups, methoxy groups, ethoxy groups, hydroxyethoxy groups, propoxy groups Hydroxypropoxy group, n-butoxy group, isobutoxy group, sec-butoxy group, alkoxy group such as t-butoxy group, alkoxycarbonyl group such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, benzyl group, phenethyl group, cumyl group, etc. Aralkyl groups, aralkyloxy groups, formyl groups, acetyl groups, butyryl groups, benzoyl groups, cyanyl groups, acyl groups such as valeryl groups, acyloxy groups such as butyryloxy groups, the above alkenyl groups, vinyloxy groups, propenyloxy groups, allyloxy groups Alkenyloxy such as butenyloxy group , Mention may be made of the above aryl group, an aryloxy group such as phenoxy group, aryloxycarbonyl group such as benzoyloxy group.
[0023]
The substituent for R5 is preferably an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms. These substituents may further have a substituent.
[0024]
The alicyclic group as Z may be monocyclic or polycyclic. Specific examples include groups having a monocyclo, bicyclo, tricyclo, tetracyclo structure or the like having 5 or more carbon atoms. The carbon number is preferably 6-30, and particularly preferably 7-25. These alicyclic hydrocarbon groups may have a substituent. Specific examples of the alicyclic structure include cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane, cyclooctane, cyclodecane, cyclododecane, and the following structures.
[0025]
[Chemical formula 5]

[0026]
[Chemical 6]

[0027]
Among the above, cyclopentane, cyclohexane, (5), (6), (7), (9), (10), (13), (14), (15), (23), (28), ( 36), (37), (40), (42), and (47) are preferable.
[0028]
Examples of the substituent of these alicyclic structures include an alkyl group, a substituted alkyl group, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, a carboxyl group, and an alkoxycarbonyl group. The alkyl group is preferably a lower alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, or a butyl group, and more preferably a substituent selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group. Represent. Examples of the substituent of the substituted alkyl group include a hydroxyl group, a halogen atom, and an alkoxy group. Examples of the alkoxy group include those having 1 to 4 carbon atoms such as a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, and a butoxy group.
[0029]
Moreover, the following are preferable as an alicyclic group of Z.
[0030]
[Chemical 7]

[0031]
R5 and n are the same as described above.
[0032]
Specific examples of the group represented by the general formula (X) are shown below, but are not limited thereto.
[0033]
[Chemical 8]

[0034]
[Chemical 9]

[0035]
The resin (A) used in the positive resist composition of the present invention is a resin having an acid-decomposable group (acid-decomposable group) in the main chain of the resin or in both the main chain and the side chain. . In the resin (A), in addition to the group represented by the formula (X), another acid-decomposable group may be included.
A preferred group capable of decomposing with an acid is —COOA.⁰, -OB⁰As a group further including these, -R⁰-COOA⁰Or -A_r-OB⁰The group shown by these is mentioned.
Where A⁰Is -C (R⁰¹) (R⁰²) (R⁰³), -Si (R⁰¹) (R⁰²) (R⁰³) Or -C (R⁰⁴) (R⁰⁵) -O-R⁰⁶Indicates a group. B⁰Is A⁰Or -CO-O-A⁰Group (R⁰, R⁰¹~ R⁰⁶, And Ar are as defined below.
[0036]
The acid-decomposable group is preferably a silyl ether group, cumyl ester group, acetal group, tetrahydropyranyl ether group, enol ether group, enol ester group, tertiary alkyl ether group, tertiary alkyl ester group, Tertiary alkyl carbonate groups and the like. More preferred are a tertiary alkyl ester group, a tertiary alkyl carbonate group, a cumyl ester group, an acetal group, and a tetrahydropyranyl ether group.
[0037]
Next, as a base resin in the case where a group capable of decomposing with an acid is bonded as a side chain, -OH or -COOH in the side chain, preferably -R⁰-COOH or -A_rAn alkali-soluble resin having an —OH group. For example, the alkali-soluble resin mentioned later can be mentioned.
[0038]
The alkali dissolution rate of these alkali-soluble resins is preferably 170 A / second or more as measured with 0.261 N tetramethylammonium hydroxide (TMAH) (23 ° C.). Particularly preferred is 330 A / second or more (A is angstrom).
From this point of view, particularly preferred alkali-soluble resins are o-, m-, p-poly (hydroxystyrene) and copolymers thereof, hydrogenated poly (hydroxystyrene), halogen or alkyl-substituted poly (hydroxystyrene). A part of poly (hydroxystyrene), an O-alkylated or O-acylated product, a styrene-hydroxystyrene copolymer, an α-methylstyrene-hydroxystyrene copolymer and a hydrogenated novolak resin.
[0039]
Component (A) used in the present invention is an acid soluble in an alkali-soluble resin, as disclosed in publications such as European Patent No. 254853, JP-A-2-25850, JP-A-3-223860, and JP-A-4-251259. It can be obtained by reacting a precursor of a group capable of decomposing with an acid, or copolymerizing an alkali-soluble resin monomer having a group capable of decomposing with an acid with various monomers.
[0040]
Specific examples of the component (A) used in the present invention are shown below, but are not limited thereto.
[0041]
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[0042]
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[0043]
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[0044]
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[0054]
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[0055]
The content of the group capable of decomposing with an acid is defined by the number of groups (A) capable of decomposing with an acid in the resin and the number of alkali-soluble groups not protected by the group capable of decomposing with an acid (S). A + S). The content is preferably 0.01 to 0.7, more preferably 0.05 to 0.50, and still more preferably 0.05 to 0.40. A / (A + S)> 0.7 is not preferable because it causes film shrinkage after PEB, poor adhesion to the substrate, and scum. On the other hand, A / (A + S) <0.01 is not preferable because a standing wave may remain remarkably on the pattern side wall.
[0056]
The weight average molecular weight (Mw) of the component (A) is preferably in the range of 2,000 to 200,000. If it is less than 2,000, the film loss tends to increase due to the development of the unexposed area, and if it exceeds 200,000, the dissolution rate of the resin itself in alkali tends to be slow and the sensitivity tends to decrease. More preferably, it is the range of 5,000-100,000, More preferably, it is the range of 8,000-50,000.
Moreover, molecular weight distribution (Mw / Mn) becomes like this. Preferably it is 1.0-4.0, More preferably, it is 1.0-2.0, Most preferably, it is 1.0-1.6.
Here, the weight average molecular weight is defined by a polystyrene conversion value of gel permeation chromatography.
Moreover, you may use the polymer of a component (A) in combination of 2 or more types.
The amount of the component (A) polymer added is suitably from 80 to 98 mass%, preferably from 85 to 96 mass%, based on the solid content of the positive resist composition.
[0057]
[2] Component (B): an onium salt compound that generates an acid upon irradiation with actinic rays or radiation
The resist composition of the present invention is a component (B) (acid generator) that is irradiated with actinic rays or radiation comprising at least one cation having a phenolic hydroxy group and an anion represented by the following general formula (1). Includes onium salt compounds that generate acids.
[0058]
RSO₃ ⁻  (1)
In formula (1), R represents an alkyl group having 2 or more carbon atoms having a fluorine atom as a substituent, an unsubstituted alkyl group and / or a phenyl group having a halogen atom as a substituent, or an alkyl group having a halogen atom as a substituent. Either a phenyl group having two or more substituents, a naphthyl group which may have a substituent, an anthryl group which may have a substituent, or a phenanthryl group which may have a substituent Represent.
The component (B) in the present application is not limited as long as it satisfies the above requirements, but is preferably a compound represented by the following general formula (c), (d), or (e).
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[0059]
In the general formula (c), R₁~ R₁₅Each independently represents a hydrogen atom, alkyl group, alkoxy group, hydroxy group, halogen atom (F, Cl, Br, etc.), nitro group or cyano group,₁~ R₁₅At least one of these is a hydroxy group.
The number of hydroxy groups is preferably 1-6, and particularly preferably 1-3. Moreover, when it has two or more hydroxy groups, you may have in the same benzene ring and you may have in another benzene ring. R₁~ R₁₅, Two or more groups selected from them may be bonded to each other to form a ring. R₁~ R₁₅Preferably represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or a hydroxy group, and particularly preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or 1 to 1 carbon atom. 5 represents an alkoxy group or a hydroxy group.
[0060]
In the general formula (d), R₁₆~ R₂₇Are each independently R in general formula (c).₁~ R₁₅Is synonymous with R₁₆~ R₂₇At least one of represents a hydroxy group. The number of hydroxy groups is preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 5. Moreover, when it has two or more hydroxy groups, you may have in the same benzene ring and you may have in another benzene ring.
[0061]
In general formula (e), R₂₈~ R₃₇Are each independently R in general formula (c).₁~ R₁₅Is synonymous with R₂₈~ R₃₇At least one of represents a hydroxy group. The number of hydroxy groups is preferably 1 to 4, particularly preferably 1 to 2. Moreover, when it has two or more hydroxy groups, you may have in the same benzene ring and you may have in another benzene ring.
[0062]
R₁~ R₃₇The alkyl group represented by may be linear, branched or cyclic. Examples of the linear or branched alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, a t-butyl group, and the like, for example, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. be able to. Examples of the cyclic alkyl group include an alkyl group having 3 to 8 carbon atoms such as a cyclopropyl group, a cyclopentyl group, and a cyclohexyl group.
[0063]
R₁~ R₃₇The alkoxy group represented by may be linear, branched, or cyclic alkoxy. Examples of the linear or branched alkoxy group include those having 1 to 8 carbon atoms such as a methoxy group, an ethoxy group, a hydroxyethoxy group, a propoxy group, an n-butoxy group, an isobutoxy group, a sec-butoxy group, and a t-butoxy group. Group, octyloxy group and the like. Examples of the cyclic alkoxy group include a cyclopentyloxy group and a cyclohexyloxy group.
[0064]
R₁~ R₃₇Examples of the halogen atom represented by include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
[0065]
R₁~ R₃₇Each of the alkyl group and alkoxy group represented by may further have a substituent in a part of the group. Preferred examples of the substituent include an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, such as a cyano group, a hydroxy group, and a carboxy group. Group, alkoxycarbonyl group, nitro group, halogen atom (for example, fluorine atom, chlorine atom, iodine atom).
[0066]
R in the general formula (c)₁~ R₁₅Two or more of these groups may be bonded to form a ring. The ring is R₁~ R₁₅The terminal of the group shown by may be formed by directly bonding. They may be indirectly linked through one or more elements selected from carbon, oxygen, sulfur, and nitrogen to form a ring. R₁~ R₁₅Examples of the ring structure formed by combining two or more of these include the same structures as those found in furan ring, dihydrofuran ring, pyran ring, trihydropyran ring, thiophene ring, pyrrole ring, etc. Can do. R in the general formula (d)₁₆~ R₂₇R in the general formula (e)₂₈~ R₃₇The same applies to.
[0067]
R is an alkyl group having 2 or more carbon atoms having a fluorine atom as a substituent, an unsubstituted alkyl group and / or a phenyl group having a halogen atom as a substituent, and two or more alkyl groups having a halogen atom as a substituent. It represents any of a phenyl group having, a naphthyl group optionally having a substituent, an anthryl group optionally having a substituent, and a phenanthryl group optionally having a substituent.
[0068]
When R is an alkyl group having 2 or more carbon atoms having a fluorine atom as a substituent, a structure represented by the following general formula (f) is preferable.
Ra-X-La- (f)
In General Formula (f), X represents a single bond, —O— group or —S— group, and Ra has an optionally substituted alkyl group having 1 to 16 carbon atoms or a substituent. Represents an optionally substituted aryl group having 6 to 15 carbon atoms, and La represents a fluorine-substituted alkylene group having 1 to 18 carbon atoms. Here, examples of the substituent for Ra and La include a halogen atom (F, Br, Cl, etc.), an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, a nitro group, a cyano group, and a hydroxy group. Ra is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent and a phenyl group which may have a substituent, and particularly preferably 1 carbon atom substituted with a fluorine atom. ˜8 alkyl groups. La is more preferably a fluorine-substituted alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, and particularly preferably a fluorine-substituted alkylene group having 1 to 12 carbon atoms.
When R is an unsubstituted alkyl group and / or a phenyl group having a halogen atom as a substituent, the unsubstituted alkyl group preferably has 1 to 18 carbon atoms, more preferably 1 to 12 carbon atoms, Those having 1 to 6 carbon atoms are particularly preferred. As the halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are preferable, and a fluorine atom is particularly preferable.
[0069]
When R is a phenyl group having two or more alkyl groups having a halogen atom as a substituent, the halogen atom is preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom, particularly preferably a fluorine atom. As an alkyl group, a C1-C18 thing is preferable, a C1-C12 thing is more preferable, and a C1-C6 thing is especially preferable. As the number of alkyl groups, 2-6 are preferable, and 2-4 are especially preferable.
When R is any of a naphthyl group which may have a substituent, an anthryl group which may have a substituent, or a phenanthryl group which may have a substituent, The same thing as what was mentioned as a substituent of Ra can be mentioned.
[0070]
The onium which generates an acid upon irradiation with an actinic ray or radiation having a cation moiety having at least one phenolic hydroxy group and an anion moiety represented by the following general formula (a) of the component (B) used in the present invention: Although the example of a salt compound is shown, it is not limited to these.
[0071]
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[0072]
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[0073]
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[0074]
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[0075]
Content of (B) component used by this invention is generally 1-30 mass% with respect to solid content of all the resist compositions, Preferably it is 2-20 mass%, Most preferably, it is 3-15. % By weight.
1 type may be used for (B) component used by this invention, and 2 or more types may be mixed and used for it.
[0076]
(3) Component C: Compound that generates carboxylic acid upon irradiation with actinic rays or radiation
The resist composition in the present invention preferably contains a compound that generates a carboxylic acid upon irradiation with actinic rays or radiation as the component (C).
Although it does not specifically limit as a carboxylic acid generating compound, The compound which generate | occur | produces the carboxylic acid of the structure represented by general formula (a): Ra-COOH is preferable. Specific examples include a carboxylate compound represented by the general formula (a) of sulfonium or iodonium, a carboxylic acid ester compound represented by the general formula (a) of N-hydroxyimide, and the like.
Among these, compounds represented by the following general formulas (c), (d), and (e) are preferable.
[0077]
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[0078]
In the general formulas (c) to (e), R₁~ R₃₇Each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group, an alkoxy group, a hydroxyl group, a halogen atom, or —S—R.₃₈It is group which can be shown by.
[0079]
Ra represents an alkyl group or an aryl group.
The alkyl group as Ra may be linear or branched or may have a substituent, and is preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 30 carbon atoms.
The aryl group as Ra may have a substituent, and is preferably an aryl group having 6 to 20 carbon atoms.
[0080]
Examples of the substituent that the alkyl group of Ra may have include an aryl group (phenyl group, naphthyl group, etc.), a cycloalkyl group (cyclohexyl group, cycloheptyl group, etc.), a hydroxy group, an alkoxy group (methoxy group). , Ethoxy group, butoxy group, octyloxy group, etc.), halogen atom (iodine atom, bromine atom, chlorine atom, fluorine atom), alkyl group substituted with halogen atom, alkylcarbonyl group (methylcarbonyl group, ethylcarbonyl group, Butylcarbonyl group etc.), alkylcarbonyloxy group (methylcarbonyloxy group, ethylcarbonyloxy group, butylcarbonyloxy group etc.), alkyloxycarbonyl group (methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group etc.), cyano group, Nitro group, N-alkyla Bruno carbonyl group, N, N-dialkylaminocarbonyl group, and an alkylcarbonylamino group.
Examples of the substituent that the aryl group of Ra may have include an alkyl group (methyl group, ethyl group, isopropyl group, butyl group, t-butyl group, octyl group, etc.), and a substituent of the above alkyl group. The same as those mentioned as examples.
[0081]
Ra is more preferably a linear or branched alkyl group having 1 to 24 carbon atoms which may have a substituent, a phenyl group which may have a substituent, or a substituent. More preferably a naphthyl group, particularly preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms which may have a substituent, and a phenyl group which may have a substituent.
[0082]
In particular, the alkyl group as Ra is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a perfluoroalkyl group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or 1 to 1 carbon atoms. 6 perfluoroalkyl groups, particularly preferably a methyl group, an ethyl group, a trifluoromethyl group, a pentafluoroethyl group, a heptafluoropropyl group, and a nonafluorobutyl group.
[0083]
R₁~ R₃₇Is R in the general formulas (c) to (e) described in the component (B).₁~ R₃₇The explanation of each substituent is the same as above.
R₁~ R₃₇-S-R represented by₃₈R inside₃₈Is an alkyl group or an aryl group. R₃₈As the range of the alkyl group represented by, for example, R₁~ R₃₇Any of the alkyl groups already enumerated as the alkyl group represented by can be mentioned.
R₃₈Examples of the aryl group represented by include an aryl group having 6 to 14 carbon atoms such as a phenyl group, a tolyl group, a methoxyphenyl group, and a naphthyl group.
[0084]
Specific examples of the compounds represented by these general formulas (c) to (e) are shown below, but are not limited thereto.
[0085]
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[0086]
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[0087]
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[0088]
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[0089]
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[0090]
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[0091]
Although the component (C) used in the present invention is not an essential component of the present invention, it is preferable to use it together with the component (B) because various performances such as sensitivity and resolving power can be improved. As the component (C), one type may be used, or two or more types may be mixed and used.
[0092]
The content of the component (C) used in the present invention is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.02 to 7% by mass, based on the solid content of the total positive resist composition. 03-5 mass% is especially preferable.
Moreover, the use ratio of (B) component and (C) component is used in the range of 100 / 0-5 / 95 as a mass ratio, Preferably it is 95 / 5-10 / 90, Most preferably, it is 90/10. ~ 20/80.
[0093]
[4] Component (D): Compound that generates acid upon irradiation with actinic rays or radiation other than components (C) and (D)
In this invention, the compound ((D) component) which generate | occur | produces an acid by irradiation of actinic rays or radiation other than components other than (C) and (D) component can be used together.
Examples of such an acid generator include a photoinitiator for photocationic polymerization, a photoinitiator for photoradical polymerization, a photodecoloring agent for dyes, a photochromic agent, a known light ( Compound that generates acid by 400 to 200 nm ultraviolet rays, far ultraviolet rays, particularly preferably g-line, h-line, i-line, KrF excimer laser beam), ArF excimer laser beam, electron beam, X-ray, molecular beam or ion beam And mixtures thereof can be appropriately selected and used.
[0094]
Also, for example, onium salts such as diazonium salts, ammonium salts, phosphonium salts, iodonium salts, sulfonium salts, selenonium salts, arsonium salts, organic halogen compounds, organic metal / organic halides, and acid generators having o-nitrobenzyl type protecting groups Examples thereof include a compound capable of generating a sulfonic acid by photolysis represented by an agent, iminosulfonate, a disulfone compound, a diazoketosulfone, a diazodisulfone compound, and the like.
[0095]
Further, a group in which these acids are generated or a compound in which a compound is introduced into the main chain or side chain of a polymer can be used.
[0096]
Furthermore, V. N. R. Pillai, Synthesis, (1), 1 (1980), A.M. Abad et al. Tetrahedron Lett. , (47) 4555 (1971), D.M. H. R. Barton et al. , J. et al. Chem. Soc. , (C), 329 (1970), U.S. Pat. No. 3,779,778, European Patent 126,712 and the like, compounds capable of generating an acid by light can also be used.
[0097]
Among the acid generators (D), those that are particularly effective will be described in the following <A-1> to <A-4>.
<A-1>: An oxazole derivative represented by the following general formula (PAG1) substituted with a trihalomethyl group or an S-triazine derivative represented by the following general formula (PAG2)
[0098]
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[0099]
Where R²⁰¹Is a substituted or unsubstituted aryl or alkenyl group, R²⁰²Is a substituted or unsubstituted aryl group, alkenyl group, alkyl group, -C (Y)₃Indicates. Y represents a chlorine atom or a bromine atom.
[0100]
Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.
[0101]
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[0102]
<A-2>: Iodonium salt represented by the following general formula (PAG3) or sulfonium salt represented by the general formula (PAG4)
[0103]
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[0104]
Where Ar¹, Ar²Each independently represents a substituted or unsubstituted aryl group. R²⁰³, R²⁰⁴, R²⁰⁵Each independently represents a substituted or unsubstituted alkyl group or aryl group.
[0105]
Z⁻Represents a counter anion, for example, BF₄ ⁻, AsF₆ ⁻, PF₆ ⁻, SbF₆ ⁻, SiF₆ ^2-, ClO₄ ⁻, CF₃SO₃ ⁻Perfluoroalkanesulfonate anions such as alkyl sulfonate anions such as camphorsulfonate anion, aromatic sulfonate anions such as pentafluorobenzenesulfonate anion, benzenesulfonate anion, triisopropylbenzenesulfonate anion, naphthalene-1- Examples thereof include, but are not limited to, condensed polynuclear aromatic sulfonate anions such as sulfonate anion, anthraquinone sulfonate anion, and sulfonate group-containing dyes. These anionic species may further have a substituent.
[0106]
Also R²⁰³, R²⁰⁴, R²⁰⁵Two of them and Ar¹, Ar²May be bonded via a single bond or a substituent.
[0107]
Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.
[0108]
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[0109]
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[0110]
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[0111]
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[0112]
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[0113]
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[0114]
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[0115]
The above onium salts represented by the general formulas (PAG3) and (PAG4) are known. W. Knapczyk et al. , J. et al. Am. Chem. Soc. 91, 145 (1969), A.A. L. Maycok et al. , J. et al. Org. Chem. , 35, 2532, (1970), E.A. Goethasetal. Bull. Soc. Chem. Belg. 73, 546 (1964), H .; M.M. Leicester, J.A. Ame. Chem. Soc. 51, 3587 (1929); V. Crivello et al. , J. et al. Polym. Chem. Ed. , 18, 2677 (1980), U.S. Pat. Nos. 2,807,648 and 4,247,473, and JP-A-53-101,331.
[0116]
<A-3>: Disulfone derivative represented by the following general formula (PAG5) or iminosulfonate derivative represented by the general formula (PAG6)
[0117]
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[0118]
Where Ar³, Ar⁴Each independently represents a substituted or unsubstituted aryl group. R²⁰⁶Represents a substituted or unsubstituted alkyl group or aryl group. A represents a substituted or unsubstituted alkylene group, alkenylene group, or arylene group.
[0119]
Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.
[0120]
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[0121]
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[0122]
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[0123]
<A-4>: Diazodisulfone derivative represented by the following general formula (PAG7)
[0124]
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[0125]
In the formula, R represents a linear, branched or cyclic alkyl group, or an optionally substituted aryl group.
[0126]
Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.
[0127]
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[0128]
Although the component (D) used in the present invention is not an essential component of the present invention, it is preferable to use it together with the component (B) because various performances such as sensitivity and resolving power can be improved. As the component (D), one type may be used, or two or more types may be mixed and used.
[0129]
The content of the component (D) used in the present invention is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.02 to 7% by mass, based on the solid content of the total positive resist composition. 03-5 mass% is especially preferable.
Moreover, the use ratio of (B) component and (D) component is used in the range of 100 / 0-5 / 95 as a mass ratio, Preferably it is 95 / 5-10 / 90, Most preferably, it is 90/10. ~ 20/80.
[0130]
[5] Other components used in the composition of the present invention
If necessary, the positive resist composition of the present invention may further contain a dye, a nitrogen-containing basic compound, a solvent, a surfactant, a radical generator and the like.
[0131]
(E) -1 Dye
Suitable dyes include oily dyes and basic dyes. Specifically, Oil Yellow # 101, Oil Yellow # 103, Oil Pink # 312, Oil Green BG, Oil Blue BOS, Oil Blue # 603, Oil Black BY, Oil Black BS, Oil Black T-505 (oriental chemical industry) Co., Ltd.), crystal violet (CI42555), methyl violet (CI42535), rhodamine B (CI45170B), malachite green (CI42000), methylene blue (CI522015) and the like.
[0132]
(E) -2 Nitrogen-containing basic compound
The nitrogen-containing basic compound used in the present invention is preferably a nitrogen-containing basic compound having a stronger basicity than phenol.
Preferable nitrogen-containing basic compounds include, for example, quaternary ammonium salt compounds, and are preferably compounds represented by the following general formula (b).
[0133]
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[0134]
Where R₁~ R₄Each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group (preferably having 1 to 22 carbon atoms).
R₁~ R₄The alkyl group as may have a substituent, and examples of the substituent include a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and a phenyl group. Also R₁~ R₄Or two or more of them may form a ring together.
R₁~ R₄Are preferably each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, and particularly preferably each independently an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group). Butyl group, t-butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group, etc.).
[0135]
X is an OH group, a halogen atom (fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc.), Rb-COOH group or RbSO₃Represents any of the H groups.
Here, Rb represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group.
The alkyl group as Rb preferably has 1 to 11 carbon atoms and may have a substituent. The aryl group preferably has 6 to 12 carbon atoms and may have a substituent. Here, examples of the substituent of the alkyl group include a phenyl group, a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, a halogen atom (fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc.), an amino group, and the like. . In addition, as the substituent of the aryl group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, a halogen atom (fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc.), amino group , A nitro group, a cyano group, and the like.
[0136]
X is preferably an OH group, a chlorine atom, a bromine atom, or an alkylcarboxylic acid group having 1 to 8 carbon atoms (CH₃-COOH group, C₂H₅-COOH group, C₄H₉-COOH group, C₈H₁₇-COOH group, etc.), particularly preferably an OH group, a chlorine atom, a bromine atom, or an alkylcarboxylic acid group having 1 to 4 carbon atoms.
Although the specific example of a quaternary ammonium salt compound is given to the following, this invention is not limited to these.
[0137]
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[0138]
Other preferred basic compounds include those having the structures of the following formulas (A) to (E).
[0139]
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[0140]
Where R²⁵⁰  , R²⁵¹  And R²⁵²  May be the same or different, and may be a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aminoalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or 6 to 20 carbon atoms. Represents a substituted or unsubstituted aryl group, wherein R²⁵¹And R²⁵²May combine with each other to form a ring.
R²⁵³  , R²⁵⁴  , R²⁵⁵  And R²⁵⁶  May be the same or different and each represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
Further preferred compounds are nitrogen-containing basic compounds having two or more nitrogen atoms of different chemical environments in one molecule, and particularly preferably both a substituted or unsubstituted amino group and a ring structure containing a nitrogen atom. Or a compound having an alkylamino group.
[0141]
Preferred examples include substituted or unsubstituted guanidine, substituted or unsubstituted aminopyridine, substituted or unsubstituted aminoalkylpyridine, substituted or unsubstituted aminopyrrolidine, substituted or unsubstituted indazole, imidazole, substituted or unsubstituted Substituted pyrazole, substituted or unsubstituted pyrazine, substituted or unsubstituted pyrimidine, substituted or unsubstituted purine, substituted or unsubstituted imidazoline, substituted or unsubstituted pyrazoline, substituted or unsubstituted piperazine, substituted or unsubstituted Aminomorpholine, substituted or unsubstituted aminoalkylmorpholine, and the like. Preferred substituents are amino group, aminoalkyl group, alkylamino group, aminoaryl group, arylamino group, alkyl group, alkoxy group, acyl group, acyloxy group, aryl group, aryloxy group, nitro group, hydroxyl group, cyano group It is.
[0142]
Particularly preferred compounds include guanidine, 1,1-dimethylguanidine, 1,1,3,3-tetramethylguanidine, imidazole, 2-methylimidazole, 4-methylimidazole, N-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4 , 5-diphenylimidazole, 2,4,5-triphenylimidazole, 2-aminopyridine, 3-aminopyridine, 4-aminopyridine, 2-dimethylaminopyridine, 4-dimethylaminopyridine, 2-diethylaminopyridine, 2- (Aminomethyl) pyridine, 2-amino-3-methylpyridine, 2-amino-4-methylpyridine, 2-amino-5-methylpyridine, 2-amino-6-methylpyridine, 3-aminoethylpyridine, 4- Aminoethylpyridine,
[0143]
3-aminopyrrolidine, piperazine, N- (2-aminoethyl) piperazine, N- (2-aminoethyl) piperidine, 4-amino-2,2,6,6-tetramethylpiperidine, 4-piperidinopiperidine, 2-iminopiperidine, 1- (2-aminoethyl) pyrrolidine, pyrazole, 3-amino-5-methylpyrazole, 5-amino-3-methyl-1-p-tolylpyrazole, pyrazine, 2- (aminomethyl)- Examples include 5-methylpyrazine, pyrimidine, 2,4-diaminopyrimidine, 4,6-dihydroxypyrimidine, 2-pyrazoline, 3-pyrazoline, N-aminomorpholine, N- (2-aminoethyl) morpholine. However, the present invention is not limited to this.
These nitrogen-containing basic compounds are used alone or in combination of two or more.
[0144]
The sum of the acid generators of the components (B), (C) and (D) and the ratio of the nitrogen-containing basic compound used in the composition is (acid generator) / (nitrogen-containing basic compound) ( The molar ratio is preferably 2.5 to 300. If the molar ratio is less than 2.5, the sensitivity may be low and the resolution may be reduced. If the molar ratio is more than 300, the resist pattern may increase in thickness over time until post-exposure heat treatment, and the resolution may also be reduced. . (Acid generator) / (nitrogen-containing basic compound) (molar ratio) is preferably 5.0 to 200, more preferably 7.0 to 150.
[0145]
(E) -3 Solvents
The composition of the present invention is dissolved in a solvent that dissolves each of the above components and coated on a support. Solvents used here include ethylene dichloride, cyclohexanone, cyclopentanone, 2-heptanone, γ-butyrolactone, methyl ethyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate , Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl methoxypropionate, ethyl ethoxypropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, N, N-dimethyl Formamide, dimethyl sulfoxide, N-methylpyrrolidone, tetrahydrofuran and the like are preferable. Or mixed to use.
[0146]
(E) -4 Surfactants
The chemically amplified resin composition of the present invention further comprises a fluorine-based and / or silicon-based surfactant (fluorine-based surfactant and silicon-based surfactant, a surfactant containing both fluorine and silicon atoms). It is preferable to contain any one of these or 2 or more types.
When the chemically amplified resin composition of the present invention contains the above-described surfactant, a resist pattern with good sensitivity and resolution and less adhesion and development defects can be obtained when using an exposure light source of 250 nm or less, particularly 220 nm or less. It becomes possible to give.
As these surfactants, for example, JP-A-62-36663, JP-A-61-226746, JP-A-61-226745, JP-A-62-170950, JP-A-63-34540 No. 7, JP-A-7-230165, JP-A-8-62834, JP-A-9-54432, JP-A-9-5988, JP-A 2002-277862, US Pat. No. 5,405,720. No. 5,360,692, No. 5,529,881, No. 5,296,330, No. 5,543,098, No. 5,576,143, No. 5,294,511, No. 5,824,451. The following commercially available surfactants can also be used as they are.
Examples of commercially available surfactants that can be used include F-top EF301 and EF303 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Florard FC430 and 431 (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), MegaFuck F171, F173, F176, F189, and R08. (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Surflon S-382, SC101, 102, 103, 104, 105, 106 (Asahi Glass Co., Ltd.), Troisol S-366 (Troy Chemical Co., Ltd.), etc. Fluorine type surfactant or silicon type surfactant can be mentioned. Polysiloxane polymer KP-341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) can also be used as the silicon surfactant.
[0147]
In addition to the known surfactants described above, the surfactant is derived from a fluoroaliphatic compound produced by a telomerization method (also called telomer method) or an oligomerization method (also called oligomer method). A surfactant using a polymer having a fluoroaliphatic group can be used. The fluoroaliphatic compound can be synthesized by the method described in JP-A-2002-90991.
As the polymer having a fluoroaliphatic group, a copolymer of a monomer having a fluoroaliphatic group and (poly (oxyalkylene)) acrylate and / or (poly (oxyalkylene)) methacrylate is preferable and distributed irregularly. Or may be block copolymerized. Examples of the poly (oxyalkylene) group include a poly (oxyethylene) group, a poly (oxypropylene) group, a poly (oxybutylene) group, and the like, and a poly (oxyethylene, oxypropylene, and oxyethylene group). A unit having different chain lengths in the same chain length, such as a block linked body) or a poly (block linked body of oxyethylene and oxypropylene) group, may be used. Furthermore, a copolymer of a monomer having a fluoroaliphatic group and (poly (oxyalkylene)) acrylate (or methacrylate) is not only a binary copolymer but also a monomer having two or more different fluoroaliphatic groups, Further, it may be a ternary or higher copolymer obtained by simultaneously copolymerizing two or more different (poly (oxyalkylene)) acrylates (or methacrylates).
Examples of commercially available surfactants include Megafac F178, F-470, F-473, F-475, F-476, and F-472 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.). In addition, C₆F₁₃A copolymer of an acrylate (or methacrylate) having a group and (poly (oxyalkylene)) acrylate (or methacrylate), C₆F₁₃A copolymer of an acrylate (or methacrylate) having a group, (poly (oxyethylene)) acrylate (or methacrylate) and (poly (oxypropylene)) acrylate (or methacrylate), C₈F₁₇A copolymer of an acrylate (or methacrylate) having a group and (poly (oxyalkylene)) acrylate (or methacrylate), C₈F₁₇And a copolymer of an acrylate (or methacrylate) having a group, (poly (oxyethylene)) acrylate (or methacrylate), and (poly (oxypropylene)) acrylate (or methacrylate).
[0148]
The amount of the surfactant used is preferably 0.0001 to 2% by mass, more preferably 0.001 to 1% by mass, based on the total amount of the chemically amplified resin composition (excluding the solvent).
[0149]
In the manufacture of precision integrated circuit elements, the pattern forming process on the resist film is carried out on the substrate (eg, silicon / silicon dioxide coated substrate, glass substrate, ITO substrate, quartz / chromium oxide coated substrate, etc.). A good resist pattern can be formed by coating a mold resist composition, then irradiating with actinic rays or radiation, heating, developing, rinsing and drying. Here, as the actinic ray or radiation, an electron beam, X-ray, EUV light, excimer laser light having a wavelength of 150 to 250 nm, or the like can be used, and electron beam, X-ray, and EUV light are preferable.
[0150]
In the present invention, a commercially available inorganic or organic antireflection film can be used if necessary. Further, an antireflection film can be applied to the lower layer of the resist.
[0151]
As the antireflection film used as the lower layer of the resist, either an inorganic film type such as titanium, titanium dioxide, titanium nitride, chromium oxide, carbon, amorphous silicon, or an organic film type made of a light absorber and a polymer material may be used. it can. The former requires equipment such as a vacuum deposition apparatus, a CVD apparatus, and a sputtering apparatus for film formation. Examples of the organic antireflection film include a condensate of a diphenylamine derivative and a formaldehyde-modified melamine resin described in JP-B-7-69611, an alkali-soluble resin, a light absorber, and maleic anhydride copolymer described in US Pat. No. 5,294,680. A reaction product of a coalescence and a diamine type light absorbing agent, a resin binder described in JP-A-6-186863 and a methylolmelamine thermal crosslinking agent, a carboxylic acid group, an epoxy group and a light-absorbing group described in JP-A-6-118656. An acrylic resin-type antireflection film in the same molecule, a composition comprising methylol melamine and a benzophenone-based light absorber described in JP-A-8-87115, and a low-molecular light absorber added to a polyvinyl alcohol resin described in JP-A-8-179509 And the like.
[0152]
In addition, as the organic antireflection film, commercially available organic antireflection films such as DUV30 series, DUV-40 series manufactured by Brewer Science, AR-2, AR-3, AR-5 manufactured by Shipley, etc. may be used. it can.
[0153]
Examples of the developer for the positive resist composition of the present invention include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, n-propylamine and the like. Monoamines, secondary amines such as diethylamine and di-n-butylamine, tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine, alcoholamines such as dimethylethanolamine and triethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethyl An aqueous solution (usually 0.1 to 10% by mass, pH 10 to 15) of an alkali such as a quaternary ammonium salt such as ammonium hydroxide or choline, or a cyclic amine such as pyrrole or piperidine can be used. Furthermore, an appropriate amount of an alcohol such as isopropyl alcohol or a nonionic surfactant may be added to the alkaline aqueous solution.
Among these developers, quaternary ammonium salts are preferable, and tetramethylammonium hydroxide and choline are more preferable.
[0154]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, the content of this invention is not limited by this.
[0155]
1. Resin synthesis example
Synthesis Example 1 Synthesis of polymer (B-28)
20 g of poly (p-hydroxystyrene) (VP-1500 manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.) and 6.5 g of benzylethyl vinyl ether were dissolved in 80 ml of THF, 0.01 g of p-toluenesulfonic acid was added, and the mixture was reacted at room temperature for 18 hours. The reaction solution was dropped into 5 L of distilled water while stirring vigorously, and the precipitated powder was filtered, washed with water, and dried to obtain a polymer (B-28).
[0156]
Synthesis Example 2 Synthesis of polymer (B-32)
83.1 g (0.5 mol) of p-cyclohexylphenol was dissolved in 300 ml of toluene, and then 150 g of 2-chloroethyl vinyl ether, 25 g of sodium hydroxide, 5 g of tetrabutylammonium bromide, and 60 g of triethylamine were added thereto at 120 ° C. for 5 hours. Reacted. The reaction solution was washed with water, excess chloroethyl vinyl ether and toluene were distilled off, and the obtained oil was purified by distillation under reduced pressure to obtain 4-cyclohexylphenoxyethyl vinyl ether.
20 g of poly (p-hydroxystyrene) (Nippon Soda Co., Ltd. VP-8000), 6.5 g of 4-cyclohexylphenoxyethyl vinyl ether was dissolved in 80 ml of THF, and 0.01 g of p-toluenesulfonic acid was added thereto. The reaction was allowed to proceed for 18 hours at room temperature. The reaction solution was dropped into 5 L of distilled water while vigorously stirring, and the precipitated powder was filtered and dried to obtain a polymer (B-32).
[0157]
Other polymers were synthesized in the same manner. The weight average molecular weight, molecular weight dispersity (Mw / Mn), and molar ratio of repeating units used in the following examples are as follows.
Polymer Weight average molecular weight Molecular weight dispersity Repeat unit molar ratio
B-28 15000 1.20 70/30
B-29 12000 1.40 73/27
B-30 8000 1.25 80/20
B-31 15000 1.20 65/10/25
B-32 12000 1.40 80/20
* In order from the left of each repeating unit in parentheses in the resin structure illustrated above
[0158]
Comparative synthesis example Synthesis of polymer (B-21)
32.4 g (0.2 mol) of p-acetoxystyrene and 7.01 g (0.07 mol) of t-butyl methacrylate were dissolved in 120 ml of butyl acetate, and azobisisobutyrate at 80 ° C. under a nitrogen stream and stirring. A polymerization reaction was carried out by adding 0.033 g of ronitrile (AIBN) three times every 2.5 hours and finally continuing stirring for another 5 hours. The reaction solution was added to 1200 ml of hexane to precipitate a white resin. The obtained resin was dried and then dissolved in 200 ml of methanol.
To this was added an aqueous solution of sodium hydroxide (7.7 g, 0.19 mol) / water (50 ml) and the mixture was hydrolyzed by heating under reflux for 1 hour. Thereafter, 200 ml of water was added for dilution, and neutralized with hydrochloric acid to precipitate a white resin. The resin was filtered off, washed with water and dried. Furthermore, it melt | dissolved in tetrahydrofuran 200 ml, and it dripped and reprecipitated, stirring vigorously in 5 L ultrapure water. This reprecipitation operation was repeated three times. The obtained resin was dried in a vacuum dryer at 120 ° C. for 12 hours to obtain a poly (p-hydroxystyrene / t-butyl methacrylate) copolymer (B-21).
[0159]
Embedded image

Polymer Weight average molecular weight Molecular weight dispersity Repeat unit molar ratio
B-21 15000 1.20 65/35
* From the left of each repeating unit in the bracket part in the illustrated resin structure
[0160]
2. Acid generator synthesis example
Synthesis Example 1 Component B Synthesis of Compound Example D-2
1) Synthesis of tetramethylammonium salt of nonafluorobutanesulfonic acid
25 g of nonafluorobutanesulfonyl chloride was dissolved in 100 ml of methanol under ice cooling, and 100 g of 25% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was slowly added thereto. The mixture was stirred at room temperature for 3 hours to obtain a solution of nonafluorobutanesulfonic acid tetramethylammonium salt.
[0161]
2) Synthesis of Compound Example D-2
50 g of (mono-p-hydroxy) diphenyl sulfoxide was dissolved in 800 ml of benzene, 200 g of aluminum chloride was added thereto, and the mixture was refluxed for 24 hours. The reaction solution was slowly poured into 2 L of ice, 400 ml of concentrated sulfuric acid was added, and the mixture was heated at 70 ° C. for 10 minutes. The aqueous solution was washed with 500 ml of ethyl acetate, filtered, and a solution prepared by dissolving 200 g of ammonium iodide in 400 ml of water was added. The precipitated powder was collected by filtration, washed with water, washed with ethyl acetate, and dried to obtain 70 g of (mono-p-hydroxy) triphenylsulfonium iodide.
32 g of the obtained (mono-p-hydroxy) triphenylsulfonium iodide was dissolved in 1000 ml of methanol, 20 g of silver oxide was added to this solution, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours. The solution was filtered, and an excess of a solution of nonafluorobutanesulfonic acid tetramethylammonium salt was added thereto. The reaction solution was concentrated, dissolved in 500 ml of dichloromethane, and washed with this 5% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution and water. The organic phase was dried over anhydrous sodium sulfate and concentrated to give (mono-p-hydroxy) triphenylsulfonium nonafluorobutanesulfonate (D-2).
[0162]
Synthesis Example 2 Component (C) Compound that generates carboxylic acid upon irradiation with actinic rays or radiation
(4-1) Synthesis of triphenylsulfonium acetate (c-1)
50 g of diphenyl sulfoxide was dissolved in 800 ml of benzene, 200 g of aluminum chloride was added thereto, and the mixture was refluxed for 24 hours. The reaction solution was slowly poured into 2 L of ice, 400 ml of concentrated hydrochloric acid was added thereto, and the mixture was heated at 70 ° C. for 10 minutes. This aqueous solution was washed with 500 ml of ethyl acetate and filtered, and then 200 g of ammonium iodide dissolved in 400 ml of water was added. The precipitated powder was collected by filtration, washed with water, washed with ethyl acetate, and dried to obtain 70 g of triphenylsulfonium iodide.
30.5 g of triphenyl iodide was dissolved in 1000 ml of methanol, and 19.1 g of silver oxide was added to this solution, followed by stirring at room temperature for 4 hours. The solution was filtered and to this was added an excess of a solution of commercially available tetraammonium acetate. The reaction solution was concentrated, dissolved in 500 ml of dichloromethane, and this solution was washed with 5% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution and water. The organic layer was dried over anhydrous sodium sulfate and concentrated to obtain triphenylsulfonium acetate (c-1).
Other compounds were synthesized in the same manner.
[0163]
[Example 1]
(1) Preparation and coating of positive resist
(A) component: 0.94 g of acid-decomposable polymer B-21
(B) Component: 0.05 g of sulfonic acid generator D-2
(C) Component: Carboxylic acid generator c-1 0.003g
Is dissolved in 8.5 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as shown in Table 1 below, and Megafac F176 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc., hereinafter abbreviated as W-1) is further added as a surfactant. Was added and dissolved, and the resulting solution was microfiltered with a 0.1 μm caliber membrane filter to obtain a resist solution.
This resist solution was applied onto a 6-inch silicon wafer using a spin coater Mark8 manufactured by Tokyo Electron, and baked at 110 ° C. for 90 seconds to obtain a uniform film having a thickness of 0.30 μm.
[0164]
[Comparative Example 1]
Comparative resin B-21 is used instead of resin B-28 of the present invention as component (A), and acid generator PAG4- having no hydroxyl group is used instead of acid generator of the present invention as component (B). A resist solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that 36 was used.
[Comparative Example 2]
A resist solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the acid generator PAG4-7 having no hydroxyl group was used instead of the acid generator of the present invention as the component (B).
[0165]
[Comparative Example 3]
Comparative resin B-21 is used in place of resin B-28 of the present invention as component (A), and the acid generator of the present invention as component (D) is described in Japanese Patent No. 2968055 (mono) A resist solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that -p-hydroxy) triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate (hereinafter abbreviated as R-1) was used.
[0166]
[Examples 2 to 13]
The components shown in Table 1 were used, and the others were the same as in Example 1, and the resist solution was adjusted and the positive pattern was formed.
[0167]
[Table 1]

[0168]
In Table 1, other abbreviations mean the following.
OE-1: 4-dimethylaminopyridine
OE-2: benzimidazole
OE-3: 2,4,5-triphenylimidazole
OE-4: 1,4-diazabicyclo [5.4.0] undecene
W-2: Siloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
DD-1: tetramethylammonium hydroxide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
[0169]
(2) Fabrication and evaluation of positive resist pattern
This resist film was irradiated with an electron beam using an electron beam drawing apparatus (HL750, acceleration voltage 50 KeV manufactured by Hitachi, Ltd.). After irradiation, it was baked at 110 ° C. for 90 seconds, immersed in an aqueous 2.38 mass% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) solution for 60 seconds, rinsed with water for 30 seconds and dried. The obtained pattern was evaluated by the following method.
(2-1) Sensitivity
The cross-sectional shape of the obtained pattern was observed using a scanning electron microscope (S-4300, manufactured by Hitachi, Ltd.). The sensitivity was defined as the minimum irradiation energy when resolving a 0.15 μm contact hole pattern (Duty ratio = 1: 2).
(2-2) Resolution
The resolving power was defined as the limiting resolving power (contact hole pattern was separated and resolving) at the irradiation dose showing the above sensitivity.
(2-3) Pattern shape
Using a scanning electron microscope (S-4300, manufactured by Hitachi, Ltd.), observe the cross-sectional shape of the 0.15 μm contact hole pattern at the irradiation dose showing the above sensitivity, and perform a three-step evaluation of rectangular, slightly tapered, and tapered. went.
(2-4) PED characteristics in vacuum
A wafer is set in a vacuum chamber, irradiated with an electron beam with the above-mentioned sensitivity, and immediately after irradiation or 3 hours after baking (heating treatment) at 110 ° C. for 90 seconds as described above, development processing is performed and contact holes are obtained. Got a pattern.
Then, a 0.15 μm contact hole pattern obtained by baking and developing immediately after electron beam irradiation and a 0.15 μm contact hole pattern obtained by baking and developing after 3 hours of electron beam irradiation are scanned electron The line width was measured with a microscope (S-9220, manufactured by Hitachi, Ltd.), and the difference between the two was defined as the PED characteristic in vacuum.
The evaluation results are shown in Table 2.
[0170]
[Table 2]

[0171]
As is apparent from the results in Table 2, the composition of the present invention comprising a specific photoacid generator having a cation moiety having at least one phenolic hydroxy group as component (B) using a resin having a specific structure Shows that, by irradiation with radiation, compared with the composition of the comparative example containing only the component (D), the sensitivity is high and the resolution is high, and the pattern shape and PED in vacuum are also excellent.
[0172]
【The invention's effect】
According to the present invention, it is possible to provide a positive resist composition that simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, good pattern shape, and good PED characteristics in vacuum for pattern formation by irradiation with actinic rays or radiation. .

Claims (2)

(A) a resin having a structural unit containing a group represented by the following general formula (X), which is decomposed by the action of an acid to increase the solubility in an alkali developer, and (B) at least a phenolic hydroxy group A positive resist composition comprising a compound capable of generating an acid upon irradiation with actinic radiation having one cation moiety and an anion moiety represented by the following general formula (1).

In general formula (X),
R1 and R2 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R3 and R4 may be the same or different and each represents a hydrogen atom or an alkyl group.
Z represents a phenyl group or an alicyclic group. m represents an integer of 1 to 20.
RSO ₃ ^- (1)
In formula (1),
R is an alkyl group having 2 or more carbon atoms having a fluorine atom as a substituent, an unsubstituted alkyl group and / or a phenyl group having a halogen atom as a substituent, and two or more alkyl groups having a halogen atom as a substituent. It represents any of a phenyl group having, a naphthyl group which may have a substituent, an anthryl group which may have a substituent, or a phenanthryl group which may have a substituent. The positive resist composition according to claim 1, further comprising a nitrogen-containing basic compound.