JP2004292080A - Large-size substrate transport device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示装置(LCD)用ガラス基板、プラズマディスプレイパネル(PDP)用ガラス基板等の基板、特に大型の基板を運搬するために使用される大型基板の運搬装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LCD用ガラス基板やPDP用ガラス基板は、年々大型化する傾向にあるが、これらの大型のガラス基板を工場内において1枚ずつ運搬するときには、ガラス基板より大きい板状治具や、タンカ形態の治具、すなわちガラス基板を載置する載置部の両側にそれぞれ一対の取っ手を設けた治具が使用されていた。そして、それらの治具上にガラス基板を載置して、二人の作業者が治具の両側をそれぞれ両手で支え持って運搬するようにしていた。
【0003】
また、LCD用ガラス基板をカセットに出し入れする治具としては、ガラス基板を載置するアーム、このアームを片持ち式に支持する支柱、この支柱を地面に対して支持する足部、地面に対してアームを水平方向に移動するハンドル、および、地面に対してアームを垂直方向に移動するハンドルを備えたガラス基板操作治具がある(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
【特許文献1】
特開2002−255342号公報(第3−4頁、図2)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の板状治具やタンカ形態の治具を使用して大型のガラス基板を運搬するためには、少なくとも二人の作業者を必要とする。また、治具上に載置されたガラス基板を、基板の処理が行われる基板処理装置内へ移し替える際には、治具を支え持つ作業者の他に、ガラス基板を治具上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業者が必要になる。さらに、従来の治具を用いて大型のガラス基板を運搬するときは、常に治具をほぼ水平姿勢に保たなければならないので、狭い場所を通ってガラス基板を運ぶことは困難であった。
【0006】
また、特許文献1に開示された構成のガラス基板操作治具は、ガラス基板をカセットに出し入れするための治具であり、これを多少改良しても、大型のガラス基板を運搬する装置としては使用することができない。また、この治具は、ガラス基板を片持ち式に水平姿勢で支持するものであり、狭い場所を通ってガラス基板を運ぶことは困難である。
【0007】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、一人の作業者であっても大型基板を運搬することができ、大型基板を基板処理装置へ移載する作業を一人で行うことも可能であり、また、狭い場所を通って大型基板を運ぶこともできる大型基板の運搬装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、大型基板を運搬する運搬装置において、大型基板を載置する台板と、この台板を水平軸回りに、水平位置から90°以下の角度範囲内で回動可能に支持する一対の支柱と、前記台板を前記支柱に対し、水平位置および所定の傾斜位置で固定する台板固定手段と、前記台板が水平位置から回動した際に大型基板を台板上に保持する基板保持手段と、前記一対の支柱にそれぞれ連接し移動用車輪が取着された脚部と、を備えたことを特徴とする。
【0009】
請求項2に係る発明は、請求項1記載の運搬装置において、前記台板の高さ位置を調節する高さ調節手段をさらに備えたことを特徴とする。
【0010】
請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2記載の運搬装置において、前記台板上に大型基板が載置された際に大型基板と台板との間に基板搬送機構の基板支持アームが進入する空間が形成されるように、大型基板を支持する支持部材を台板に設けたことを特徴とする。
【0011】
請求項4に係る発明は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の運搬装置において、前記台板が、前記一対の支柱に支持された基台部と、この基台部にそれと平行な方向へ摺動可能に支持され大型基板を載置するスライド板部とから構成されたことを特徴とする。
【0012】
請求項1に係る発明の運搬装置においては、脚部に移動用車輪が取着されているので、台板上に大型基板を載置して、一人の作業者により大型基板を運搬することが可能である。また、台板は、一対の支柱に、水平軸回りに回動可能に支持されているので、台板と共に大型基板を傾斜させることにより、狭い場所を通って大型基板を運ぶことも可能になる。この際、台板固定手段により台板を支柱に対して所定の傾斜位置で固定することができるので、台板が運搬中に回動する恐れが無い。また、台板を水平位置から回動させても、大型基板は基板保持手段によって台板上に保持されるので、台板上から大型基板が脱落する心配が無い。さらに、台板固定手段により台板を支柱に対して水平位置で固定することができるので、作業者一人でも、大型基板を台板上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業を行うことが可能である。
【0013】
請求項2に係る発明の運搬装置では、高さ調節手段によって台板の高さ位置を調節することができるので、台板上に大型基板を載置する作業や、台板上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業が容易になる。
【0014】
請求項3に係る発明の運搬装置では、大型基板が台板上に支持部材によって支持され、大型基板と台板との間に空間が形成されるので、基板搬送機構の基板支持アームによって大型基板を台板上に載置したり台板上から大型基板を取り去ったりする際に、基板支持アームが台板や大型基板と干渉することがない。
【0015】
請求項4に係る発明の運搬装置では、台板を水平姿勢に保った状態で、基台部に対しスライド板部を前方へ摺動させることにより、スライド板部に載置された大型基板を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。
【0017】
図1および図2は、この発明の実施形態の1例を示し、図1は、大型基板の運搬装置の斜視図であり、図2は、その側面図である。この運搬装置は、LCD用ガラス基板等の大型基板1を載置する台板10、および、台板10を回動可能に支持する左右一対の支持枠12、12から構成されている。台板10は、水平軸回りに、水平位置から90°以下の角度範囲内で回動することができるようになっている。
【0018】
支持枠12は、台板10の側面中央部に固着された支軸14を介して台板10を支持する支柱16、および、支柱16に連接し移動用車輪18が取着された脚部20により形成されている。台板10の上面の前端縁付近には、台板10が水平位置(図2に二点鎖線で示す位置)から回動して傾斜位置(図2に実線で示す位置)に保持された状態においても、大型基板1が台板10上から滑り落ちることがないように、大型基板1の前端縁に当接して大型基板1を支持する左右一対の基板保持用突起22が固着されている。なお、大型基板1を台板10上に保持する手段は、真空吸着等を利用したものであってもよい。
【0019】
また、この運搬装置には、図1および図2には図示を省略しているが、支柱16に対し台板10を水平位置および所定の傾斜位置でそれぞれ固定するための台板固定機構が設けられている。この台板固定機構の構成について、図3および図4に基づいて説明する。
【0020】
図3に部分側面図を、図4に、一部を断面または破断面で表した部分正面図を示すように、台板10の側端縁中央部の下面側に扇形の係合板24が一体に固着されている。係合板24には、円周方向に複数個の係合孔26が形設されている。一方、支柱16の上端付近には、係合板24の複数個の係合孔26に対応する位置に、台板10の回動、したがって台板10に固着された係合板24の回動に伴って各係合孔26と順次一直線上に並ぶ1個の貫通孔28が形設されている。また、支柱16の側面には、貫通孔28の形成位置に、挿通孔32を有する円筒状筐体30が固着されている。そして、頭部にノブ36を有し軸部の中程に鍔38が形設された係合ピン34が、円筒状筐体30の挿通孔32を挿通し支柱16の貫通孔28を摺動自在に貫挿するように取り付けられている。係合ピン34の鍔38は、円筒筐体30内に配置されており、係合ピン34に、鍔38と円筒状筐体30の挿通孔32形成壁面との間に介在するように圧縮コイルばね40が外挿されている。
【0021】
上記した構成の台板固定機構を備えたこの運搬装置において、支柱16に対して台板10を回動させるときは、図4の(b)に示すように、係合ピン34のノブ36を指で摘んで、係合ピン34を圧縮コイルばね40の弾発力に抗して外側へ引っ張り、係合ピン34の先端部が係合板24の係合孔26から抜け出た状態にして、台板10を回動させる。また、支柱16に対し台板10を、図3の(a)に示すように水平位置で固定したり、図3の(b)に示すように所定の傾斜位置で固定するときは、係合板24の1個の係合孔26と支柱16の貫通孔28とが一直線上に並んだ状態としてから、係合ピン34のノブ36から指を離すようにする。これにより、図4の(a)に示すように、圧縮コイルばね40の復元力によって係合ピン34が係合板24側へ付勢され、係合ピン34の先端部が係合板24の係合孔26内に嵌挿する。そして、台板10に固着された係合板24と支柱16に取着された係合ピン34とが係合することにより、支柱16に対する台板10の角度位置が固定される。また、台板10の傾斜角度を変更するときは、図4の(b)に示すように、係合ピン34の先端部を係合板24の係合孔26から抜き出し、台板10を回動させるようにする。
【0022】
以上のような構成を備えた運搬装置を使用すると、台板10上に大型基板1を載置して、一人の作業者により大型基板1を運搬することができる。また、台板10を支持枠12の支柱16に対し回動させて傾斜させることにより、狭い場所を通って大型基板1を運ぶこともできる。この際、台板固定機構により台板10を支柱16に対して所定の傾斜位置で固定することができるので、台板10が運搬中に勝手に回動する恐れは無い。また、台板10を水平位置から回動させても、大型基板1は、その前端縁が一対の基板保持用突起22に当接して支持されることにより、大型基板1が台板10上から滑り落ちる心配は無い。さらに、台板固定機構により台板10を支柱16に対して水平位置で固定することにより、作業者一人でも、大型基板1を台板10上から取り上げて基板処理装置へ移載する作業を行うことができる。
【0023】
次に、図5および図6は、この発明の別の実施形態を示し、図5は、大型基板の運搬装置を正面から見た図であり、図6は、一部を破断面で表した側面図である。この運搬装置の基本構成は、図1および図2に示した運搬装置と同様である。すなわち、この運搬装置は、大型基板1を載置する台板42、および、台板42を回動可能に支持する左右一対の支持枠44、44から構成されており、支持枠44は、台板42の側面中央部に固着された支軸46を介して台板42を支持する支柱48、および、移動用車輪50が取着された脚部52を備えて構成されている。なお、図5および図6においては、台板42が回動して傾斜位置に保持された際に大型基板1が台板10上から滑り落ちることを防止するための保持用突起や、支柱48に対し台板42を水平位置および所定の傾斜位置でそれぞれ固定するための台板固定機構の図示を省略している。
【0024】
この運搬装置には、台板42の高さ位置を調節する高さ調節機構が設けられており、この高さ調節機構の構成について説明する。脚部52上には、固定支柱54が垂設され固着されている。固定支柱54には、その上端面から縦方向に、支柱48(以下、「可動支柱48」という)が上下方向へ摺動自在に嵌合する案内孔56が形設されている。また、固定支柱54の前面側には、前面から案内孔56に到る細幅の透孔58が縦方向に形設されている。さらに、固定支柱54の前面側には、上端付近および下部に、互いに平行な一対のブラケット60a、60bがそれぞれ水平方向に突出するように固着されている。そして、一対のブラケット60a、60bには、ねじ軸62が鉛直姿勢で取着されている。ねじ軸62の上端部は、上部のブラケット60aに回転自在に支持され、ねじ軸62の下端付近は、下部のブラケット60bに回転自在に支持されており、ねじ軸62の下端にウォームギア64が固着されている。また、固定支柱54の下端部には、その外側面から前方へ張り出すように支持板部66が延設されている。
【0025】
可動支柱48には、その前面から前方へ突出して透孔58を貫通するように連接腕68が延設されている。連接腕68は、透孔58の長手方向(鉛直方向)に沿って移動することができるように、透孔58と干渉しないようになっている。連接腕68の前端には、ナット70が一体に固着されており、ナット70がねじ軸62と螺合している。
【0026】
上記した構成は、左・右の支持枠44、44および脚部52、52についてそれぞれ備わっている。そして、左・右の支持板部66、66に、回転棒72の両端部がそれぞれ回転自在に支持されている。回転棒72には、左・右のウォームギア64、64に螺合するウォーム74、74がそれぞれ固着されている。また、回転棒72の一端側は、支持板66より外側に突き出ており、その先端にハンドル76が取着されている。
【0027】
上記した構成の高さ調節機構を備えたこの運搬装置において、ハンドル76を回転操作すると、回転棒72と一体にウォーム74が水平軸回りに回転する。このウォーム74の回転力がウォームギア64に伝達され、ウォームギア64がねじ軸62と一体に鉛直軸回りに回転する。ねじ軸62が回転すると、ねじ軸62に螺合するとともに連接腕68および可動支柱48に連接して回り止めされたナット70が上下方向へ移動する。このナット70の上下方向への移動により、ナット70と連接腕68を介して一体になった可動支柱48が上下方向へ移動する。そして、可動支柱48に支持された台板42が上下方向へ移動し、台板42の高さ位置が調節される。このように、高さ調節機構によって台板42の高さ位置を調節することにより、台板42の高さを基板処理装置側の基板設置面の高さに合わせることができるので、台板42上に大型基板を載置する作業や、台板42上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業が容易になる。
【0028】
次に、図7は、この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。この運搬装置は、図1および図2に示した運搬装置と台板78の構造だけが異なる。したがって、図1および図2に示した運搬装置と共通する構成部材については、図7でも図1および図2で使用した符号と同一符号を用いて、それらの説明を省略する。
【0029】
図7に示した運搬装置の台板78には、その上面に同一長さの複数本の支持ピン80が分散して植設されている。また、台板78の上面の前端縁付近には、支持ピン80より長い左右一対の基板保持用ピン82が植設されている。
【0030】
このような構造の台板78を備えた運搬装置では、大型基板1(図7中に二点鎖線で示す)は、台板78上に複数本の支持ピン80によって支持される。このため、大型基板1と台板78の上面との間に空間が形成されることになる。このように、大型基板1と台板78の上面との間に空間が形成されることにより、図8に側面図を示すように、台板78を水平位置に固定した状態で、基板搬送ロボット84の基板支持アーム86によって大型基板1を台板78上に載置したり台板78上から大型基板1を取り去ったりする際に、基板支持アーム86が台板78の上面や大型基板1と干渉することが避けられる。このため、この運搬装置から大型基板1を移し替える作業を容易に行うことが可能となる。また、台板78を水平位置から回動させて傾斜させたときには、大型基板1の前端縁が一対の基板保持用ピン82に当接して大型基板1が支持されるので、大型基板1が台板78上から滑り落ちる心配が無い。
【0031】
また、図9は、この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の側面図である。この運搬装置も、図1および図2に示した運搬装置と台板88の構造だけが異なる。したがって、図1および図2に示した運搬装置と共通する構成部材については、図9でも図1および図2で使用した符号と同一符号を用いて、それらの説明を省略する。
【0032】
図9に示した運搬装置の台板88は、左右一対の支柱16に支持された基台部90と、この基台部90にそれと平行な方向へ摺動可能に支持されたスライド板部92とから構成されている。スライド板部92の上面には、大型基板1を支持するための、同一長さの複数本の支持ピン94が分散して植設されている。また、スライド板部92の上面の前端縁付近には、台板88を傾斜位置に保持した際にスライド板部92の上面から大型基板1が滑り落ちるのを防止するための、支持ピン94より長い左右一対の基板保持用ピン96が植設されている。
【0033】
このような構造の台板88を備えた運搬装置では、台板88を水平姿勢に固定した状態で、基台部90に対しスライド板部92を、実線で示す位置から二点差線で示す位置へ摺動させて、スライド板部92を前方へ差し出すことができることにより、スライド板部92上に載置された大型基板1を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【0034】
なお、上記した実施形態では、台板固定機構や高さ調節機構をそれぞれ手動式で操作する構成例を示したが、電動モータを使用して台板を回動させ、水平位置や所定の傾斜位置に台板を停止させて固定するような構成としてもよいし、電動モータを使用して台板を上下方向へ移動させ、所定の高さ位置に台板を停止させて固定するような構成としてもよい。また、運搬装置自体も、電動モータを用いた自走式とすることもできる。
【0035】
【発明の効果】
請求項1に係る発明の大型基板の運搬装置を使用すると、一人の作業者であっても大型基板を安全に運搬することができ、大型基板を基板処理装置へ移載する作業を一人で行うことも可能であり、また、狭い場所を通って大型基板を運ぶこともできる。
【0036】
請求項2に係る発明の運搬装置では、台板上に大型基板を載置する作業や、台板上から基板処理装置内へ大型基板を移し替える作業を容易に行うことができる。
【0037】
請求項3に係る発明の運搬装置では、基板搬送機構の基板支持アームによって大型基板を台板上に載置したり台板上から大型基板を取り去ったりする際に、基板支持アームが台板や大型基板と干渉することがないので、大型基板の移し替え作業が容易になる。
【0038】
請求項4に係る発明の運搬装置では、大型基板を基板処理装置内へ容易に移し替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態の1例を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。
【図2】図1に示した運搬装置の側面図である。
【図3】図1に示した運搬装置の台板固定機構の構成を示す部分側面図である。
【図4】同じく図1に示した運搬装置の台板固定機構の構成を示し、一部を断面または破断面で表した部分正面図である。
【図5】この発明の別の実施形態を示し、大型基板の運搬装置を正面から見た図である。
【図6】図5に示した運搬装置の、一部を破断面で表した側面図である。
【図7】この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の斜視図である。
【図8】図7に示した運搬装置の動作を説明するための側面図である。
【図9】この発明のさらに別の実施形態を示す大型基板の運搬装置の側面図である。
【符号の説明】
10、42、78、88 台板
12、44 支持枠
14、46 支軸
16 支柱
18、50 移動用車輪
20、52 脚部
22 基板保持用突起
24 係合板
26 係合孔
28 貫通孔
30 円筒状筐体
34 係合ピン
36 係合ピンのノブ
38 係合ピンの鍔
40 圧縮コイルばね
48 支柱(可動支柱)
54 固定支柱
56 案内孔
58 細幅の透孔
60a、60b ブラケット
62 ねじ軸
64 ウォームギアのウォームギア
66 支持板部
68 連接腕
70 ナット
72 回転棒
74 ウォームギアのウォーム
76 ハンドル
80、94 支持ピン
82、96 基板保持用ピン
90 台板の基台部
92 台板のスライド板部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
BACKGROUND OF THE
[0002]
[Prior art]
LCD glass substrates and PDP glass substrates tend to increase in size year by year. When transporting these large glass substrates one by one in a factory, a plate-shaped jig larger than the glass substrate or a tanker-shaped jig is used. A jig, that is, a jig provided with a pair of handles on both sides of a mounting portion on which a glass substrate is mounted has been used. Then, a glass substrate is placed on these jigs, and two workers carry the jigs while supporting both sides of the jigs with both hands.
[0003]
The jig for taking the glass substrate for the LCD in and out of the cassette includes an arm for placing the glass substrate, a support for supporting the arm in a cantilever manner, a foot for supporting the support for the ground, and a support for the ground. There is a glass substrate operation jig provided with a handle for moving the arm in the horizontal direction and a handle for moving the arm in the vertical direction with respect to the ground (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-255342 (page 3-4, FIG. 2)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In order to transport a large-sized glass substrate using a conventional plate-shaped jig or a tanker-shaped jig, at least two workers are required. Also, when transferring the glass substrate placed on the jig into the substrate processing equipment where the substrate is processed, in addition to the operator supporting the jig, pick up the glass substrate from the jig Requires an operator to transfer the data to the substrate processing apparatus. Furthermore, when transporting a large-sized glass substrate using a conventional jig, the jig must always be kept in a substantially horizontal position, so it has been difficult to transport the glass substrate through a narrow place.
[0006]
Further, the glass substrate operating jig having the configuration disclosed in
[0007]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and even a single worker can transport a large substrate, and performs an operation of transferring a large substrate to a substrate processing apparatus by itself. It is another object of the present invention to provide a device for transporting a large substrate capable of transporting a large substrate through a narrow place.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to
[0009]
The invention according to claim 2 is the transport device according to
[0010]
According to a third aspect of the present invention, in the transport device according to the first or second aspect, when a large substrate is placed on the base plate, the substrate support mechanism of the substrate transfer mechanism is provided between the large substrate and the base plate. A support member for supporting the large-sized substrate is provided on the base plate so that a space into which the arm enters is formed.
[0011]
According to a fourth aspect of the present invention, in the transporting device according to any one of the first to third aspects, the base plate is parallel to and parallel to a base supported by the pair of columns. And a slide plate portion on which a large-sized substrate is mounted so as to be slidable in various directions.
[0012]
In the carrying device according to the first aspect of the present invention, since the moving wheels are attached to the legs, the large substrate can be placed on the base plate, and the large substrate can be transported by one worker. It is possible. In addition, since the base plate is supported by the pair of columns so as to be rotatable around a horizontal axis, the large substrate can be carried through a narrow place by tilting the large substrate together with the base plate. . At this time, since the base plate can be fixed at a predetermined inclined position with respect to the column by the base plate fixing means, there is no possibility that the base plate will rotate during transportation. Further, even if the base plate is rotated from the horizontal position, the large-sized substrate is held on the base plate by the substrate holding means, so that there is no fear that the large-sized substrate falls off from the base plate. Furthermore, since the base plate can be fixed in a horizontal position with respect to the support column by the base plate fixing means, even one worker can perform the work of picking up a large substrate from the base plate and transferring it to the substrate processing apparatus. It is possible.
[0013]
In the transporting device according to the second aspect of the present invention, the height position of the base plate can be adjusted by the height adjusting means, so that the work of placing a large substrate on the base plate and the substrate processing apparatus from the base plate can be performed. The work of transferring a large substrate into the inside becomes easy.
[0014]
In the transportation device according to the third aspect of the present invention, the large substrate is supported on the base plate by the support member, and a space is formed between the large substrate and the base plate. When the substrate is placed on the base plate or the large substrate is removed from the base plate, the substrate support arm does not interfere with the base plate or the large substrate.
[0015]
In the transporting device according to the fourth aspect of the present invention, the large-sized substrate placed on the slide plate portion is moved by sliding the slide plate portion forward with respect to the base portion while keeping the base plate in a horizontal posture. It can be easily transferred into the substrate processing apparatus.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0017]
1 and 2 show an example of an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a large-sized substrate carrying device, and FIG. 2 is a side view thereof. The transport device includes a
[0018]
The
[0019]
Although not shown in FIGS. 1 and 2, the transport device is provided with a base plate fixing mechanism for fixing the
[0020]
As shown in FIG. 3, a partial side view, and FIG. 4, a partial front view showing a partial or broken section, a sector-shaped engaging
[0021]
In this transport device having the above-configured base plate fixing mechanism, when rotating the
[0022]
When the transport device having the above-described configuration is used, the
[0023]
Next, FIGS. 5 and 6 show another embodiment of the present invention. FIG. 5 is a front view of a large substrate carrying device, and FIG. It is a side view. The basic configuration of this transport device is the same as the transport device shown in FIGS. That is, the transport device includes a
[0024]
This transport device is provided with a height adjustment mechanism for adjusting the height position of the
[0025]
A connecting
[0026]
The above configuration is provided for the left and right support frames 44, 44 and the
[0027]
In this transport device having the height adjusting mechanism having the above-described configuration, when the
[0028]
Next, FIG. 7 is a perspective view of a large-sized substrate carrying device showing still another embodiment of the present invention. This conveyance device differs from the conveyance device shown in FIGS. 1 and 2 only in the structure of the
[0029]
A plurality of support pins 80 having the same length are distributed and implanted on the upper surface of the
[0030]
In the transport device including the
[0031]
FIG. 9 is a side view of a large-sized substrate carrying apparatus according to still another embodiment of the present invention. This conveyance device also differs from the conveyance device shown in FIGS. 1 and 2 only in the structure of the
[0032]
The
[0033]
In the transporting apparatus provided with the
[0034]
In the above-described embodiment, the configuration example in which the base plate fixing mechanism and the height adjustment mechanism are each manually operated has been described. However, the base plate is rotated using an electric motor, and the horizontal position and the predetermined inclination are determined. The configuration may be such that the base plate is stopped and fixed at the position, or the base plate is moved in the vertical direction using an electric motor, and the base plate is stopped and fixed at a predetermined height position. It may be. Further, the transport device itself may be a self-propelled type using an electric motor.
[0035]
【The invention's effect】
The use of the apparatus for transporting large-sized substrates according to the first aspect of the present invention enables even a single worker to safely transport large-sized substrates, and performs the operation of transferring a large-sized substrate to the substrate processing apparatus alone. It is also possible to carry large substrates through narrow spaces.
[0036]
In the transport device according to the second aspect of the present invention, the operation of placing a large substrate on the base plate and the operation of transferring the large substrate from the base plate to the substrate processing apparatus can be easily performed.
[0037]
In the transporting device according to the third aspect of the present invention, when the large substrate is placed on the base plate or the large substrate is removed from the base plate by the substrate support arm of the substrate transfer mechanism, the substrate support arm is Since there is no interference with the large-sized substrate, the transfer operation of the large-sized substrate becomes easy.
[0038]
In the transport apparatus according to the fourth aspect of the present invention, a large substrate can be easily transferred into the substrate processing apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for transporting large substrates, showing an example of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the transportation device shown in FIG.
FIG. 3 is a partial side view showing a configuration of a base plate fixing mechanism of the transport device shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a partial front view showing a configuration of a base plate fixing mechanism of the transport apparatus shown in FIG.
FIG. 5 shows another embodiment of the present invention, and is a view of a transport device for large substrates as viewed from the front.
FIG. 6 is a side view showing a part of the transportation device shown in FIG. 5 in a broken surface.
FIG. 7 is a perspective view of a large-sized substrate carrying device according to still another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a side view for explaining the operation of the transportation device shown in FIG. 7;
FIG. 9 is a side view of a large-sized substrate carrying apparatus according to still another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
10, 42, 78, 88
54
Claims (4)
大型基板を載置する台板と、
この台板を水平軸回りに、水平位置から90°以下の角度範囲内で回動可能に支持する一対の支柱と、
前記台板を前記支柱に対し、水平位置および所定の傾斜位置で固定する台板固定手段と、
前記台板が水平位置から回動した際に大型基板を台板上に保持する基板保持手段と、
前記一対の支柱にそれぞれ連接し移動用車輪が取着された脚部と、
を備えたことを特徴とする大型基板の運搬装置。In a transport device that transports large substrates,
A base plate on which a large substrate is placed,
A pair of columns for supporting the base plate so as to be rotatable around a horizontal axis within an angle range of 90 ° or less from a horizontal position,
A plate fixing means for fixing the plate at the horizontal position and a predetermined inclined position with respect to the support,
Substrate holding means for holding the large substrate on the base plate when the base plate is rotated from a horizontal position,
A leg connected to the pair of columns and having a moving wheel attached thereto,
A transport device for a large substrate, comprising:
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- 2003-03-26 JP JP2003084117A patent/JP2004292080A/en active Pending
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