JP2004288352A - Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head - Google Patents

Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head Download PDF

Info

Publication number
JP2004288352A
JP2004288352A JP2004048540A JP2004048540A JP2004288352A JP 2004288352 A JP2004288352 A JP 2004288352A JP 2004048540 A JP2004048540 A JP 2004048540A JP 2004048540 A JP2004048540 A JP 2004048540A JP 2004288352 A JP2004288352 A JP 2004288352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film magnetic
magnetic head
thin
thin film
facing surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004048540A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norikazu Ota
憲和 太田
Takehiro Kamikama
健宏 上釜
Shinya Oyama
信也 大山
Soji Koide
宗司 小出
Tetsuo Sasaki
徹郎 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2004048540A priority Critical patent/JP2004288352A/en
Publication of JP2004288352A publication Critical patent/JP2004288352A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6011—Control of flying height
    • G11B5/6064—Control of flying height using air pressure

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lapping method of the surface facing the medium of a thin film magnetic head, which can prevent the thin film magnetic head and a hard disk from crashing and float the thin film magnetic head. <P>SOLUTION: The thin film magnetic head 1 provided with a reproducing head part (magnetoresistive element) 11. a recording head part (induction electromagnetic transduction element) 12, and a heater 17 heated by energizing is formed on a mount 2, the surface S facing the medium of the thin film magnetic head 1 is ground while energizing the heater 17 or the recording head part 12. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法に関する。   The present invention relates to a method for wrapping a medium facing surface in a thin-film magnetic head.

一般に、可撓性を有するアーム部材の先端部に、薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダを取り付けることによってヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）が構成される。このヘッドジンバルアセンブリは、ハードディスク装置に組み込まれ、記録媒体であるハードディスクへの記録再生を行う。記録再生時には、ハードディスクの回転に伴う空気流が薄膜磁気ヘッドの下方に流れることでアーム部材が撓み、薄膜磁気ヘッドが浮上する。薄膜磁気ヘッドとハードディスクとの空隙、すなわちヘッド浮上量は、ハードディスクの高密度化に伴って微小化され、１０ｎｍと極限まで達しつつある。   In general, a head gimbal assembly (HGA) is configured by attaching a head slider on which a thin-film magnetic head is formed to a distal end portion of a flexible arm member. The head gimbal assembly is incorporated in a hard disk device and performs recording and reproduction on a hard disk as a recording medium. At the time of recording / reproducing, the arm member bends due to the air flow accompanying the rotation of the hard disk flowing below the thin film magnetic head, and the thin film magnetic head floats. The air gap between the thin-film magnetic head and the hard disk, that is, the flying height of the head, is miniaturized as the density of the hard disk is increased, and is reaching the limit of 10 nm.

このような状況下において、基台上に再生用の磁気抵抗効果素子と書込用の誘導型電磁変換素子とをこの順で積層した複合型の薄膜磁気ヘッドでは、電磁変換素子に通電すると、電磁変換素子を構成するコイルが発熱する。すると、薄膜磁気ヘッドにおけるハードディスクの記録面に対向する面、すなわち媒体対向面（ABS；Air Bearing Surface）における電磁変換素子の近傍が熱膨張してハードディスク側に突出する。このため、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとの間隔が狭まり、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとがクラッシュを起こすおそれがある。従って、薄膜磁気ヘッドの浮上量は、電磁変換素子の近傍が膨張しても薄膜磁気ヘッドとハードディスクとがクラッシュを起こさない程度に保たなければならなくなる。このため、薄膜磁気ヘッドの低浮上化を十分に達成することは困難であった。   Under such circumstances, in a composite thin-film magnetic head in which a magnetoresistive element for reproduction and an inductive electromagnetic transducer for writing are stacked in this order on a base, when the electromagnetic transducer is energized, The coil constituting the electromagnetic transducer generates heat. Then, the surface of the thin-film magnetic head facing the recording surface of the hard disk, that is, the vicinity of the electromagnetic transducer on the medium facing surface (ABS: Air Bearing Surface) thermally expands and protrudes toward the hard disk. For this reason, the gap between the thin-film magnetic head and the hard disk is narrowed, and the thin-film magnetic head and the hard disk may crash. Therefore, the flying height of the thin-film magnetic head must be kept to such an extent that the thin-film magnetic head and the hard disk do not crash even if the vicinity of the electromagnetic transducer expands. For this reason, it has been difficult to sufficiently reduce the flying height of the thin-film magnetic head.

このような事態を防止して薄膜磁気ヘッドの低浮上化を図るものとしては、例えば、薄膜磁気ヘッドにおけるオーバーコート層の媒体対向面側の先端部分を一部削って段差を付けたものや、電磁変換素子を構成するコイルの絶縁層のガラス転移温度を７０〜１００℃程度にしてヤング率を低減させ、コイル部分に発生する熱応力を低減させるものが知られている（例えば、特許文献１）。
特開２０００−３０６２１５号公報 In order to prevent such a situation and to reduce the flying height of the thin-film magnetic head, for example, a thin-film magnetic head in which a tip portion on the medium facing surface side of an overcoat layer is partially cut to form a step, It is known that a glass transition temperature of an insulating layer of a coil constituting an electromagnetic transducer is set to about 70 to 100 ° C. to reduce Young's modulus and reduce thermal stress generated in a coil portion (for example, Patent Document 1). ).
JP 2000-306215 A

しかしながら、上記従来のものでは、媒体対向面の突出を十分に抑えることはできず、今後の薄膜磁気ヘッドの更なる低浮上化を実現するのは困難である。   However, with the above-described conventional device, the protrusion of the medium facing surface cannot be sufficiently suppressed, and it is difficult to further reduce the flying height of the thin film magnetic head in the future.

また、本発明者等は、磁気抵抗効果素子とハードディスクとの間隔を調整するためのヒータを薄膜磁気ヘッド内に形成することを検討しているが（未公開）、この場合においても、上述したような問題が起こる可能性がある。   In addition, the present inventors are studying the formation of a heater for adjusting the distance between the magnetoresistive element and the hard disk in the thin-film magnetic head (not disclosed). Such problems may occur.

本発明の目的は、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュを防止して、薄膜磁気ヘッドの低浮上化を実現可能とする薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of wrapping a medium facing surface in a thin-film magnetic head, which can prevent a thin-film magnetic head and a hard disk from crashing and realize a low flying height of the thin-film magnetic head.

本発明は、薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法であって、再生用の磁気抵抗効果素子と、書込用の誘導型電磁変換素子と、通電することにより発熱するヒータとを備える薄膜磁気ヘッドを基台上に形成し、ヒータに通電しながら、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴としている。   The present invention relates to a method of wrapping a medium facing surface in a thin-film magnetic head, comprising: a magnetoresistive element for reproduction, an inductive electromagnetic transducer for writing, and a heater that generates heat when energized. The head is formed on a base, and the medium facing surface of the thin-film magnetic head is polished while energizing a heater.

実際にハードディスクに記録する際、薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子は、通電により発熱する。すると、電磁変換素子の周囲の層が膨張して、媒体対向面が突出する。本発明では、薄膜磁気ヘッドをハードディスク装置に組み込むのに先立ち、薄膜磁気ヘッドに備えられたヒータを発熱させることにより、ヒータ近傍の媒体対向面を膨張させ、その膨張した部分を研磨する。このため、ハードディスクへの実際の記録時において、電磁変換素子への通電により媒体対向面が膨張しても、薄膜磁気ヘッドの浮上量を適度な値にすることができる。従って、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュを防止することができ、薄膜磁気ヘッドの低浮上化を実現することができる。   When actually recording data on a hard disk, the electromagnetic transducer of the thin-film magnetic head generates heat when energized. Then, the layer around the electromagnetic transducer expands, and the medium facing surface protrudes. In the present invention, prior to incorporating the thin-film magnetic head into the hard disk drive, a heater provided in the thin-film magnetic head is heated to expand the medium facing surface near the heater and polish the expanded portion. Therefore, during actual recording on the hard disk, the flying height of the thin-film magnetic head can be set to an appropriate value even if the medium facing surface expands due to energization of the electromagnetic transducer. Therefore, it is possible to prevent a crash between the thin-film magnetic head and the hard disk, and to realize a low flying height of the thin-film magnetic head.

また、上記ヒータは、ハードディスクへの実際の記録再生時に、磁気抵抗効果素子とハードディスクとの間隔を調整するために発熱させることもできる。ところが、このヒータの発熱により、薄膜磁気ヘッドの意図しない部分が膨張してしまうことがある。しかし、このような場合にも、本発明のラッピング方法によれば、意図しない膨張部位を予め除去することができる。   In addition, the heater can generate heat to adjust an interval between the magnetoresistive element and the hard disk at the time of actual recording / reproduction on the hard disk. However, unintended portions of the thin-film magnetic head may expand due to the heat generated by the heater. However, even in such a case, according to the wrapping method of the present invention, an unintended inflated portion can be removed in advance.

また、本発明は、薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素子、誘導型電磁変換素子及びヒータがこの順に基台側から積層されていることを特徴としている。ハードディスクへの実際の記録再生時において電磁変換素子に通電させると、電磁変換素子が発熱して周囲が膨張し、媒体対向面が突出する。そのため、ハードディスクへの記録再生時の媒体対向面においては、電磁変換素子の近傍が最もハードディスク面に近くなる。   Further, according to the present invention, in the thin-film magnetic head, a magnetoresistive element, an inductive electromagnetic transducer, and a heater are stacked in this order from the base side. When the electromagnetic transducer is energized at the time of actual recording / reproducing on the hard disk, the electromagnetic transducer generates heat and its surroundings expand, and the medium facing surface protrudes. Therefore, on the medium facing surface during recording and reproduction on the hard disk, the vicinity of the electromagnetic transducer is closest to the hard disk surface.

本発明では、ヒータを磁気抵抗効果素子ではなく電磁変換素子の近くに設け、該ヒータを発熱させることによって電磁変換素子近傍の媒体対向面を膨張させ、その膨張した部分を研磨する。これにより、ハードディスクへの実際の記録時において、電磁変換素子への通電により媒体対向面が膨張しても、薄膜磁気ヘッドの浮上量を適度な値にすることができる。従って、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュをより確実に防止することができる。   According to the present invention, the heater is provided not near the magnetoresistive element but near the electromagnetic transducer, and the heater generates heat to expand the medium facing surface near the electromagnetic transducer, and polish the expanded portion. Thus, at the time of actual recording on the hard disk, the flying height of the thin-film magnetic head can be set to an appropriate value even if the medium facing surface expands due to energization of the electromagnetic transducer. Therefore, the crash between the thin-film magnetic head and the hard disk can be more reliably prevented.

また、薄膜磁気ヘッドにおける基台の反対側の表面上にヒータを備えてもよい。これにより、薄膜磁気ヘッド内にヒータを形成する必要がないため、薄膜磁気ヘッドの製造が容易となる。   Further, a heater may be provided on the surface of the thin-film magnetic head opposite to the base. This eliminates the need to form a heater in the thin-film magnetic head, thereby facilitating the manufacture of the thin-film magnetic head.

また、基台を切断して薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、バーにおける薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を、ヒータに通電しながら研磨してもよい。これにより、複数の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を一度にラッピングすることができるため、作業効率が向上する。   Alternatively, the base may be cut to form a bar in which the thin film magnetic heads are arranged in a row, and the medium facing surface of the thin film magnetic head in the bar may be polished while energizing the heater. As a result, the medium facing surfaces of a plurality of thin-film magnetic heads can be wrapped at once, thereby improving work efficiency.

この場合、バーにおける複数の薄膜磁気ヘッドのヒータ同士を電気的に接続し、バーにおけるヒータの全てに対し、同一電源によって通電しながら薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨してもよい。これにより、少ない通電設備で複数の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を一度に研磨することができる。   In this case, the heaters of the plurality of thin-film magnetic heads in the bar may be electrically connected to each other, and the medium facing surface of the thin-film magnetic head may be polished while all the heaters in the bar are energized by the same power supply. Thus, the medium facing surfaces of a plurality of thin-film magnetic heads can be polished at once with a small number of power supply facilities.

また、バーにおける複数の薄膜磁気ヘッドのヒータにそれぞれ個別に通電してもよい。これにより、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面の膨張量を個別に変化させることができるため、個々の薄膜磁気ヘッドについての研磨量を調整することができる。また、ヒータ同士を接続するために必要となる配線設置などの工程を省くことができ、薄膜磁気ヘッドの製造が容易となる。   The heaters of the thin-film magnetic heads in the bar may be individually energized. Thus, the amount of expansion of the medium facing surface of the thin-film magnetic head can be individually changed, so that the polishing amount of each thin-film magnetic head can be adjusted. In addition, it is possible to omit steps such as wiring installation necessary for connecting the heaters to each other, which facilitates the manufacture of the thin-film magnetic head.

更に、本発明は、基台を切断して薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、バーを切断して、それぞれが薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを形成し、ヘッドスライダをアーム部材に搭載してヘッドジンバルアセンブリを形成し、この状態で、ヒータに通電しながら、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴としている。これにより、ハードディスク装置に実装した場合により近い状態で薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することができるため、個々の薄膜磁気ヘッドにおいて最適な量の研磨を行うことができる。従って、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュをより確実に防ぐことができる。   Further, the present invention provides a method in which a base is cut to form bars in which thin-film magnetic heads are arranged in a row, and the bars are cut to form head sliders each having a thin-film magnetic head. A head gimbal assembly is formed by mounting on a member, and in this state, the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the heater. With this, the medium facing surface of the thin-film magnetic head can be polished in a state closer to the case where the thin-film magnetic head is mounted on a hard disk device, so that an optimum amount of polishing can be performed on each thin-film magnetic head. Therefore, a crash between the thin-film magnetic head and the hard disk can be more reliably prevented.

本発明は、薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法であって、再生用の磁気抵抗効果素子と、書込用の誘導型電磁変換素子とを備える薄膜磁気ヘッドを基台上に形成し、電磁変換素子に通電しながら、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とするものである。   The present invention is a method of wrapping a medium facing surface in a thin-film magnetic head, wherein a thin-film magnetic head including a magnetoresistive element for reproduction and an inductive electromagnetic transducer for writing is formed on a base, The method is characterized in that the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the electromagnetic transducer.

実際にハードディスクに記録する際、薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子は、通電により発熱する。すると、電磁変換素子の周囲の層が膨張して媒体対向面が突出する。本発明では、薄膜磁気ヘッドをハードディスク装置に組み込むのに先立ち、電磁変換素子を発熱させることにより電磁変換素子近傍の媒体対向面を膨張させ、その膨張した部分を予め研磨する。このため、ハードディスクへの実際の記録時において、電磁変換素子への通電により媒体対向面が膨張しても、薄膜磁気ヘッドの浮上量を適度な値にすることができる。従って、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュを防止することができ、薄膜磁気ヘッドの低浮上化を実現することができる。   When actually recording data on a hard disk, the electromagnetic transducer of the thin-film magnetic head generates heat when energized. Then, the layer around the electromagnetic transducer expands and the medium facing surface protrudes. According to the present invention, prior to incorporating the thin-film magnetic head into the hard disk drive, the medium facing surface near the electromagnetic transducer is expanded by heating the electromagnetic transducer, and the expanded portion is polished in advance. Therefore, during actual recording on the hard disk, the flying height of the thin-film magnetic head can be set to an appropriate value even if the medium facing surface expands due to energization of the electromagnetic transducer. Therefore, it is possible to prevent a crash between the thin-film magnetic head and the hard disk, and to realize a low flying height of the thin-film magnetic head.

また、基台を切断して薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、バーにおける薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を、電磁変換素子に通電しながら研磨してもよい。これにより、複数の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を一度にラッピングすることができるため、作業効率が向上する。   Alternatively, the base may be cut to form a bar in which the thin film magnetic heads are arranged in a row, and the medium facing surface of the thin film magnetic head in the bar may be polished while energizing the electromagnetic transducer. As a result, the medium facing surfaces of a plurality of thin-film magnetic heads can be wrapped at once, thereby improving work efficiency.

この場合、バーにおける複数の薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子同士を電気的に接続し、バーにおける電磁変換素子の全てに対し、同一電源によって通電しながら薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨してもよい。これにより、少ない通電設備で複数の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を一度に研磨することができる。   In this case, the electromagnetic conversion elements of the plurality of thin-film magnetic heads in the bar are electrically connected to each other, and the medium facing surface of the thin-film magnetic head is polished while all the electromagnetic conversion elements in the bar are energized by the same power supply. Good. Thus, the medium facing surfaces of a plurality of thin-film magnetic heads can be polished at once with a small number of power supply facilities.

また、バーにおける複数の薄膜磁気ヘッドの電磁変換素子にそれぞれ個別に通電してもよい。これにより、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面の膨張量を個別に変化させることができるため、個々の薄膜磁気ヘッドについて研磨量を調整することができる。また、電磁変換素子同士を接続するために必要となる配線設置などの工程を省くことができ、薄膜磁気ヘッドの製造が容易となる。   The electromagnetic transducers of the plurality of thin-film magnetic heads in the bar may be individually energized. Thereby, the amount of expansion of the medium facing surface of the thin-film magnetic head can be individually changed, so that the polishing amount can be adjusted for each thin-film magnetic head. In addition, it is possible to omit steps such as wiring installation required for connecting the electromagnetic transducers to each other, thereby facilitating the manufacture of the thin-film magnetic head.

更に、本発明は、基台を切断して薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、バーを切断して、それぞれが薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを形成し、ヘッドスライダをアーム部材に搭載してヘッドジンバルアセンブリを形成し、この状態で、電磁変換素子に通電しながら、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴としている。これにより、ハードディスク装置に実装した場合により近い状態で薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することができるため、個々の薄膜磁気ヘッドにおいて最適な量の研磨を行うことができる。従って、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュをより確実に防ぐことができる。   Further, the present invention provides a method in which a base is cut to form bars in which thin-film magnetic heads are arranged in a row, and the bars are cut to form head sliders each having a thin-film magnetic head. A head gimbal assembly is formed by mounting on a member, and in this state, the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the electromagnetic transducer. With this, the medium facing surface of the thin-film magnetic head can be polished in a state closer to the case where the thin-film magnetic head is mounted on a hard disk device, so that an optimum amount of polishing can be performed on each thin-film magnetic head. Therefore, a crash between the thin-film magnetic head and the hard disk can be more reliably prevented.

本発明によれば、ヒータまたは電磁変換素子に通電しながら薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面をラッピングするようにしたので、薄膜磁気ヘッドとハードディスクとのクラッシュを防止して、薄膜磁気ヘッドの低浮上化を実現することができる。   According to the present invention, since the medium facing surface of the thin-film magnetic head is wrapped while energizing the heater or the electromagnetic transducer, a crash between the thin-film magnetic head and the hard disk is prevented, and the low-flying of the thin-film magnetic head is reduced. Can be realized.

以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, the same reference numerals are used for the same elements, and redundant description will be omitted.

図１は、本発明の第１の実施形態に係るラッピング方法を適用する薄膜磁気ヘッドが基台上に複数形成された状態を示す図である。図１（ａ）は、薄膜磁気ヘッド１が、アルティック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等からなる一枚の基台２上に形成された状態を示し、図１（ｂ）は、該基台２を切断して、薄膜磁気ヘッド１が列状に配置された複数本のバー３を作製した状態を示している。 FIG. 1 is a diagram showing a state in which a plurality of thin film magnetic heads to which the lapping method according to the first embodiment of the present invention is applied are formed on a base. FIG. 1A shows a state in which a thin-film magnetic head 1 is formed on a single base 2 made of AlTiC (Al 2 O 3 .TiC) or the like, and FIG. The table 2 is cut to produce a plurality of bars 3 in which the thin-film magnetic heads 1 are arranged in rows.

本実施形態のラッピング方法でいう研磨とは、図１（ｂ）に示す段階のバー３に対し、更にＭＲハイト等を調整するためのラッピング加工の前後又は最中での薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面に施す研磨のことである。尚、ＭＲハイトとは、媒体対向面から見た再生用の磁気抵抗効果素子における奥行き方向の距離をいう。また、媒体対向面は、ハードディスクの記録面に対向する面であり、一般にエアベアリング面（ＡＢＳ：Air Bearing Surface）と称される。図２に、ＭＲハイト調整後のバー３を示す。   Polishing in the lapping method of the present embodiment refers to medium opposition in the thin film magnetic head before, during, or during the lapping process for further adjusting the MR height of the bar 3 at the stage shown in FIG. Polishing applied to a surface. The MR height refers to the distance in the depth direction of the magnetoresistive element for reproduction viewed from the medium facing surface. The medium facing surface is a surface facing the recording surface of the hard disk, and is generally called an air bearing surface (ABS). FIG. 2 shows the bar 3 after the MR height adjustment.

次に、本実施形態のラッピング方法を適用する薄膜磁気ヘッド１の構成について説明する。   Next, the configuration of the thin-film magnetic head 1 to which the lapping method of the present embodiment is applied will be described.

図３は、図２に示すバー３の薄膜磁気ヘッド１における媒体対向面Ｓに対して垂直な方向の概略断面図である。図３において、薄膜磁気ヘッド１は、基台２上に、再生用のＧＭＲ素子（磁気抵抗効果素子；Giant Magneto Resistive）１０を有する再生ヘッド部１１と、書込用の誘導型の電磁変換素子としての記録ヘッド部１２とを積層した複合型薄膜磁気ヘッドとなっている。ＧＭＲ素子は、磁気抵抗変化率が高い巨大磁気抵抗効果を利用したものである。尚、ＧＭＲ素子の代わりに、異方性磁気抵抗効果を利用するＡＭＲ（Anisotropy Magneto Resistive）素子、トンネル接合で生じる磁気抵抗効果を利用するＴＭＲ（Tunnel-type Magneto Resistive）素子、ＣＰＰ−ＧＭＲ素子等を利用してもよい。   FIG. 3 is a schematic sectional view of the bar 3 shown in FIG. 2 in a direction perpendicular to the medium facing surface S in the thin-film magnetic head 1. In FIG. 3, a thin-film magnetic head 1 includes a reproducing head section 11 having a reproducing GMR element (magnetoresistive element; Giant Magneto Resistive) 10 on a base 2 and an inductive electromagnetic transducer for writing. The composite type thin film magnetic head is formed by laminating the recording head unit 12 as a composite type. The GMR element utilizes a giant magnetoresistance effect having a high magnetoresistance change rate. Instead of a GMR element, an AMR (Anisotropy Magneto Resistive) element using an anisotropic magnetoresistance effect, a TMR (Tunnel-type Magneto Resistive) element using a magnetoresistance effect generated in a tunnel junction, a CPP-GMR element, etc. May be used.

基台２は、アルティック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等からなる基板２２上に、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の絶縁材料からなる下地層２１が形成されることにより構成されている。 The base 2 is configured by forming a base layer 21 made of an insulating material such as alumina (Al 2 O 3 ) on a substrate 22 made of AlTiC (Al 2 O 3 .TiC) or the like.

下地層２１の上には、下部シールド層２３が形成されており、この下部シールド層２３の上方には、上述したＧＭＲ素子１０が形成されている。尚、ＧＭＲ素子１０は、実際は複数の膜から構成されるが、図においては単層で示している。   The lower shield layer 23 is formed on the underlayer 21, and the above-described GMR element 10 is formed above the lower shield layer 23. The GMR element 10 is actually composed of a plurality of films, but is shown as a single layer in the figure.

ＧＭＲ素子１０は、Ａｌ2Ｏ3等からなる絶縁層２４によって囲まれている。絶縁層２４上には、上部シールド層２５が形成されている。 The GMR element 10 is surrounded by an insulating layer 24 made of Al 2 O 3 or the like. On the insulating layer 24, an upper shield layer 25 is formed.

記録ヘッド部１２は、いわゆる面内記録方式を採用しており、下部磁極１３と、ＭＲ素子１０との間に下部磁極１３を挟むとともに下部磁極１３に磁気的に連結された上部磁極１４と、一部が下部磁極１３と上部磁極１４との間に位置する薄膜コイル１５とを主として備えている。   The recording head unit 12 employs a so-called in-plane recording method, in which a lower magnetic pole 13 and an upper magnetic pole 14 magnetically connected to the lower magnetic pole 13 while sandwiching the lower magnetic pole 13 between the MR element 10 and It mainly includes a thin-film coil 15 partially located between the lower magnetic pole 13 and the upper magnetic pole 14.

上部磁極１４は、媒体対向面Ｓ側に位置する磁極部分層１４ａと、これに接続されると共に薄膜コイル１５の上方を迂回するヨーク部分層１４ｂとから構成されている。   The upper magnetic pole 14 includes a magnetic pole partial layer 14a located on the medium facing surface S side, and a yoke partial layer 14b connected to the magnetic pole partial layer 14a and bypassing above the thin film coil 15.

上部磁極１４上には、オーバーコート層１６が形成されている。そして、オーバーコート層１６上には、Ｃｕ，ＮｉＦｅ，Ｔａ，Ｔｉ，ＣｏＮｉＦｅ合金，ＦｅＡｌＳｉ合金等で形成されたヒータ１７が形成されている。このヒータ１７は、通電による発熱で周囲の層を熱膨張させ、ＧＭＲ素子１０とハードディスクとの間隔を調整する機能を有している。また、ヒータ１７上には、更にオーバーコート層１８が形成されている。   An overcoat layer 16 is formed on the upper magnetic pole 14. Further, on the overcoat layer 16, a heater 17 made of Cu, NiFe, Ta, Ti, CoNiFe alloy, FeAlSi alloy or the like is formed. The heater 17 has a function of causing the surrounding layers to thermally expand due to heat generated by energization, and adjusting the distance between the GMR element 10 and the hard disk. On the heater 17, an overcoat layer 18 is further formed.

ヒータ１７には、図中上方に伸びたＣｕ等の導電材料からなる２つの導電部１９ａ，１９ｂが電気的に接続されている。該導電部１９ａ，１９ｂの上端（オーバーコート層１８の表面）にはそれぞれヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂが取り付けられている。   The heater 17 is electrically connected to two conductive portions 19a and 19b made of a conductive material such as Cu and extending upward in the drawing. Heater electrode pads 20a and 20b are attached to the upper ends (surfaces of the overcoat layer 18) of the conductive portions 19a and 19b, respectively.

また同様に、再生ヘッド部１１及び記録ヘッド部１２に関しても、導電材料からなる２つの導電部（図示せず）が電気的に接続されており、導電部の上端において、それぞれ再生用電極パッド、記録用電極パッドに接続されている。再生用電極パッド及び記録用電極パッドについては後述する。   Similarly, also with respect to the reproducing head unit 11 and the recording head unit 12, two conductive portions (not shown) made of a conductive material are electrically connected. It is connected to the recording electrode pad. The reproduction electrode pad and the recording electrode pad will be described later.

図４は、薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓとハードディスクの記録面Ｄとの関係を示す図である。   FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 and the recording surface D of the hard disk.

薄膜磁気ヘッド１のヒータ１７に通電させると、媒体対向面Ｓにおけるヒータ１７の近傍が膨張してハードディスクの記録面Ｄ側に突出する（図中、二点鎖線で示す。）。このとき、オーバーコート層１８の基台２と反対側の面における角部Ｔ付近が最も突出し、媒体対向面Ｓとハードディスクの記録面Ｄとの間隔Ｆが縮小される。このため、角部Ｔがハードディスクの記録面Ｄが接触する恐れがある。   When the heater 17 of the thin-film magnetic head 1 is energized, the vicinity of the heater 17 in the medium facing surface S expands and protrudes toward the recording surface D of the hard disk (indicated by a two-dot chain line in the figure). At this time, the vicinity of the corner T on the surface of the overcoat layer 18 opposite to the base 2 protrudes most, and the distance F between the medium facing surface S and the recording surface D of the hard disk is reduced. For this reason, there is a possibility that the corner T contacts the recording surface D of the hard disk.

そこで、本実施形態のラッピング方法では、薄膜磁気ヘッド１をハードディスク装置に組み込むのに先立って、媒体対向面Ｓにおけるヒータ１７の近傍を膨張させた状態、すなわちヒータ１７に通電させた状態で、オーバーコート層１８の角部Ｔから図４中の点線で示す部位まで研磨する。   Therefore, in the lapping method according to the present embodiment, prior to incorporating the thin-film magnetic head 1 into the hard disk drive, the vicinity of the heater 17 on the medium facing surface S is expanded, that is, the heater 17 is energized. Polishing is performed from the corner T of the coat layer 18 to a portion indicated by a dotted line in FIG.

以下に、本実施形態のラッピング方法について具体的に説明する。   Hereinafter, the lapping method according to the present embodiment will be specifically described.

図５は、図２に示すバー３に外部電源３１が接続されている状態を示す概略図である。本実施形態では、外部電源３１をＯＮにすると、バー３における各薄膜磁気ヘッド１のヒータ１７に通電されるようになっている。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a state where the external power supply 31 is connected to the bar 3 shown in FIG. In this embodiment, when the external power supply 31 is turned on, the heater 17 of each thin-film magnetic head 1 in the bar 3 is energized.

図６は、図５に示すバー３の領域ＶＩの部分拡大図である。同図に示すように、薄膜磁気ヘッド１のオーバーコート層１８上には、記録用電極パッド４０ａ，４０ｂ、ヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂ、再生用電極パッド４１ａ，４１ｂが取り付けられている。尚、図では、左から記録用電極パッド４０ａ，４０ｂ、ヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂ、再生用電極パッド４１ａ，４１ｂの順に取り付けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、記録用電極パッド４０ａ，４０ｂと再生用電極パッド４１ａ，４１ｂが左右逆に取り付けられていてもよい。また、ヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂの取り付け位置についても図に示す形態には限定されず、例えば、記録用電極パッド４０ａ，４０ｂ及び再生用電極パッド４１ａ，４１ｂの外側に配されていてもよい。   FIG. 6 is a partially enlarged view of the area VI of the bar 3 shown in FIG. As shown in FIG. 1, recording electrode pads 40a and 40b, heater electrode pads 20a and 20b, and reproduction electrode pads 41a and 41b are mounted on the overcoat layer 18 of the thin-film magnetic head 1. In the figure, the recording electrode pads 40a and 40b, the heater electrode pads 20a and 20b, and the reproduction electrode pads 41a and 41b are attached in this order from the left, but the present invention is not limited to this. The electrode pads 40a, 40b for reproduction and the electrode pads 41a, 41b for reproduction may be mounted left and right reversed. Further, the mounting positions of the heater electrode pads 20a and 20b are not limited to those shown in the figures, and may be arranged outside the recording electrode pads 40a and 40b and the reproduction electrode pads 41a and 41b. .

隣接する薄膜磁気ヘッド１同士のヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂは、例えば配線４５によって電気的に接続されている。従って、バー３における全ての薄膜磁気ヘッド１は電気的に接続されており、図５に示す外部電源３１をＯＮにすると、バー３における全ての薄膜磁気ヘッド１のヒータ１７に通電される。これにより、外部電源等の通電設備を少なくすることができる。   The heater electrode pads 20a and 20b of the adjacent thin film magnetic heads 1 are electrically connected by, for example, a wiring 45. Therefore, all the thin film magnetic heads 1 in the bar 3 are electrically connected, and when the external power supply 31 shown in FIG. 5 is turned on, the heaters 17 of all the thin film magnetic heads 1 in the bar 3 are energized. As a result, the number of power supply facilities such as an external power supply can be reduced.

図７（ａ）は、本実施形態に係るラッピング方法に適用されるラッピング装置を構成するバー保持器を示す図であり、図７（ｂ）は、その側面図である。尚、本実施形態に係るラッピング方法に適用するラッピング装置は、同図に示す保持器５１と、後述する図８に示す研磨器６１とによって構成されている。   FIG. 7A is a diagram showing a bar holder constituting a lapping device applied to the lapping method according to the present embodiment, and FIG. 7B is a side view thereof. The lapping device applied to the lapping method according to the present embodiment includes a holder 51 shown in FIG. 1 and a polishing device 61 shown in FIG.

図７において、バー保持器５１は、本体部５２と、該本体部５２の下部に備えられバー３を保持する保持ラバー部５３とを備えている。また、本体部５２は、バー３に通電するための一対の電極５４及び一対の配線５５を備えた通電部材５６を有している。配線５５は、電極５４と、保持ラバー部５３に取り付けられた状態のバー３とに接続される。電極５４は、外部電源３２に電気的に接続されており、外部電源３２からの電力が配線５５を通じてバー３に供給されるようになっている。   In FIG. 7, the bar holder 51 includes a main body 52 and a holding rubber part 53 provided at a lower portion of the main body 52 and holding the bar 3. In addition, the main body 52 has an energizing member 56 having a pair of electrodes 54 and a pair of wirings 55 for energizing the bar 3. The wiring 55 is connected to the electrode 54 and the bar 3 attached to the holding rubber portion 53. The electrode 54 is electrically connected to the external power supply 32, and the power from the external power supply 32 is supplied to the bar 3 through the wiring 55.

図８は、バー３のラッピング工程を示す図である。バー３をラッピングする場合は、まず、バー３をバー保持器５１の保持ラバー部５３に取り付ける。次いで、バー３における薄膜磁気ヘッド１のヒータ１７に通電した状態で、バー保持器５１を降下させ、研磨器６１における回転研磨面Ｒにバー３を当接させる。そして、図４に示すオーバーコート層１８の角部Ｔから点線で示す部位までを研磨する。ラッピングを施した後における薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓに対して垂直な方向の概略断面図を図９に示す。図９において、二点鎖線は、本実施形態のラッピングによって削り取られた部分を示している。尚、図９は、ラッピング後の形状の一例を示しており、場合によっては、オーバーコート層１８の角部Ｔから記録ヘッド部１２或いは再生ヘッド部１１まで研磨される。   FIG. 8 is a view showing a lapping process of the bar 3. When wrapping the bar 3, first, the bar 3 is attached to the holding rubber portion 53 of the bar holder 51. Next, the bar holder 51 is lowered while the heater 17 of the thin-film magnetic head 1 on the bar 3 is energized, and the bar 3 is brought into contact with the rotary polishing surface R of the polishing machine 61. Then, the portion from the corner T of the overcoat layer 18 shown in FIG. FIG. 9 shows a schematic cross-sectional view in a direction perpendicular to the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 after lapping. In FIG. 9, a two-dot chain line indicates a portion removed by lapping of the present embodiment. FIG. 9 shows an example of the shape after lapping. In some cases, the portion from the corner portion T of the overcoat layer 18 to the recording head portion 12 or the reproducing head portion 11 is polished.

以上のように薄膜磁気ヘッド１にラッピングを施すことにより、記録ヘッド部１２に通電した際に媒体対向面Ｓが膨張した場合であっても薄膜磁気ヘッド１の浮上量を適度な値にすることができる。従って、薄膜磁気ヘッド１とハードディスクの記録面Ｄとのクラッシュを防止することができ、薄膜磁気ヘッド１の低浮上化を実現することが可能となる。   By lapping the thin-film magnetic head 1 as described above, the flying height of the thin-film magnetic head 1 can be set to an appropriate value even when the medium facing surface S expands when the recording head unit 12 is energized. Can be. Therefore, it is possible to prevent a crash between the thin-film magnetic head 1 and the recording surface D of the hard disk, and it is possible to realize a low flying height of the thin-film magnetic head 1.

ヒータ１７への通電方法は、図６に示す形態に限られない。例えば、図１０に示すように、薄膜磁気ヘッド１のオーバーコート層１８上にヒータ用電極パッドを備えず、隣接する薄膜磁気ヘッド１のヒータ１７同士が、例えば内設された配線４５によって直接接続されてあってもよい。   The method of energizing the heater 17 is not limited to the mode shown in FIG. For example, as shown in FIG. 10, the heater electrode pads are not provided on the overcoat layer 18 of the thin-film magnetic head 1, and the heaters 17 of the adjacent thin-film magnetic heads 1 are directly connected by, for example, an internal wiring 45. You may have been.

また、図１１に示すように、ヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂを薄膜磁気ヘッド１毎にそれぞれ個別に外部電源７０に接続してもよい。これにより、薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓの膨張量を個別に変化させることができるため、個々の薄膜磁気ヘッド１について研磨量を調整することができる。また、ヒータ１７同士を接続するために必要となる配線設置などの工程を省くことができる。   Further, as shown in FIG. 11, the heater electrode pads 20a and 20b may be individually connected to the external power supply 70 for each thin-film magnetic head 1. Thus, the amount of expansion of the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 can be individually changed, so that the polishing amount of each thin-film magnetic head 1 can be adjusted. In addition, it is possible to omit steps such as wiring installation required for connecting the heaters 17 to each other.

図１２（ａ）は、図１１に示す形態におけるバー保持器５１を示す図であり、図１２（ｂ）は、その側面図である。同図に示すように、バー３における薄膜磁気ヘッド１の各ヒータ１７に通電する場合は、外部電源３２と電気的に接続された配線５５を個々のヒータ用電極パッド２０ａ，２０ｂに接続するだけでよい。従って、バー３においてヒータ１７同士を接続する配線を設ける工程が不要となる。また、薄膜磁気ヘッド１への通電量を個々に変化させ、媒体対向面Ｓの膨張量を個別に変化させることができる。   FIG. 12A is a diagram showing the bar holder 51 in the form shown in FIG. 11, and FIG. 12B is a side view thereof. As shown in the drawing, when the heaters 17 of the thin-film magnetic head 1 in the bar 3 are energized, the wiring 55 electrically connected to the external power supply 32 is simply connected to the individual heater electrode pads 20a and 20b. Is fine. Therefore, the step of providing a wire for connecting the heaters 17 in the bar 3 becomes unnecessary. In addition, the amount of current supplied to the thin-film magnetic head 1 can be individually changed, and the amount of expansion of the medium facing surface S can be individually changed.

尚、ヒータ１７の位置は、図４に示す位置に限られず、例えば、媒体対向面Ｓから見て記録ヘッド部１２の後方に備えてもよい。しかしながら、図４に示すように、再生ヘッド部１１、記録ヘッド部１２及びヒータ１７がこの順に基台２側から積層されているのが望ましい。これにより、媒体対向面Ｓにおける再生ヘッド部１１の近傍を膨張させることなく、記録ヘッド部１２の近傍のみを膨張させることができる。従って、薄膜磁気ヘッド１とハードディスクの記録面Ｄとのクラッシュを確実に防止することができる。なお、図４に示すように、オーバーコート層１８内にヒータ１７を設ける場合は、記録媒体面Ｓや記録ヘッド部１２からの距離にかかわらず、オーバーコート層１８内のどの位置に設けられてもよい。   The position of the heater 17 is not limited to the position shown in FIG. 4 and may be provided, for example, behind the recording head unit 12 when viewed from the medium facing surface S. However, as shown in FIG. 4, it is desirable that the reproducing head 11, the recording head 12, and the heater 17 are stacked in this order from the base 2 side. Accordingly, only the vicinity of the recording head unit 12 can be expanded without expanding the vicinity of the reproduction head unit 11 on the medium facing surface S. Therefore, a crash between the thin-film magnetic head 1 and the recording surface D of the hard disk can be reliably prevented. When the heater 17 is provided in the overcoat layer 18 as shown in FIG. 4, the heater 17 is provided at any position in the overcoat layer 18 regardless of the distance from the recording medium surface S or the recording head unit 12. Is also good.

また、本実施形態では、薄膜磁気ヘッド１のオーバーコート層１８内にヒータ１７を設けているが、図１３に示すように、オーバーコート層１８における基台２の反対側の面上に接着剤等によってヒータ１７を張り付けてもよい。これにより、薄膜磁気ヘッド１内にヒータ１７を形成する必要がないため、薄膜磁気ヘッド１の製造が容易となる。   In this embodiment, the heater 17 is provided in the overcoat layer 18 of the thin-film magnetic head 1. As shown in FIG. 13, an adhesive is provided on the surface of the overcoat layer 18 on the side opposite to the base 2. The heater 17 may be attached by using a method such as the one described above. Accordingly, it is not necessary to form the heater 17 in the thin-film magnetic head 1, and therefore, the manufacture of the thin-film magnetic head 1 is facilitated.

そして、この場合も、ヒータ１７を薄膜磁気ヘッド１のオーバーコート層１８内に設けた場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、図１３に示すように、ヒータ１７を通電により発熱させることによって媒体対向面Ｓにおけるヒータ１７の近傍を膨張させることができる。   Also in this case, the same effect as in the case where the heater 17 is provided in the overcoat layer 18 of the thin-film magnetic head 1 can be obtained. That is, as shown in FIG. 13, the vicinity of the heater 17 on the medium facing surface S can be expanded by causing the heater 17 to generate heat by energization.

更に、ヒータ１７は、上述した位置に一つだけ配置してもよいし、２つに分割して配置してもよい。図１４は、ヒータが分割して配置された薄膜磁気ヘッド１の一例を示す概略断面図である。同図において、分割配置されたヒータ６０は、図３に示すオーバーコート層１８内に設けられたヒータ１７と同じ高さ位置に配されている。   Further, only one heater 17 may be arranged at the above-described position, or may be divided into two. FIG. 14 is a schematic sectional view showing an example of the thin-film magnetic head 1 in which heaters are divided and arranged. In the figure, the divided heaters 60 are arranged at the same height position as the heaters 17 provided in the overcoat layer 18 shown in FIG.

また更に、本実施形態に係る薄膜磁気ヘッド１に備えられたヒータ１７は、ハードディスクへの記録再生時に、通電により発熱させ、再生ヘッド部１１近傍の媒体対向面Ｓを膨張させて再生ヘッド部１１とハードディスクとの間隔を調整するものとして使用してもよい。また、本実施形態に係るラッピングを行う際に媒体対向面を膨張させるものとしてのみ使用してもよい。   Further, the heater 17 provided in the thin-film magnetic head 1 according to the present embodiment generates heat by energization during recording / reproducing on the hard disk, and expands the medium facing surface S near the reproducing head 11 so as to expand the reproducing head 11. May be used to adjust the distance between the hard disk and the hard disk. Further, the wrapping according to the present embodiment may be used only for expanding the medium facing surface when performing lapping.

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described.

本実施形態のラッピング方法は、薄膜磁気ヘッド１において、ヒータ１７ではなく、記録ヘッド部１２を通電により発熱させる点で第１の実施形態とは異なる。この場合においても、ハードディスクへの書き込みの際に、記録ヘッド部１２が通電により発熱し、図４に示した場合と同様に媒体対向面Ｓの一部が膨張してしまう。   The lapping method of the present embodiment differs from the first embodiment in that the thin-film magnetic head 1 generates heat by energizing the recording head unit 12 instead of the heater 17. Also in this case, at the time of writing to the hard disk, the recording head unit 12 generates heat by energization, and a part of the medium facing surface S expands as in the case shown in FIG.

そこで、本実施形態に係るラッピング方法では、薄膜磁気ヘッド１をハードディスク装置に組み込むのに先立ち、記録ヘッド部１２を通電により発熱させ、媒体対向面Ｓを突出させた状態で媒体対向面Ｓの突出部分を研磨する。   Therefore, in the lapping method according to the present embodiment, prior to incorporating the thin-film magnetic head 1 into the hard disk drive, the recording head unit 12 is heated by energization, and the medium facing surface S is projected while the medium facing surface S is projected. Polish the part.

これにより、実際にハードディスクに記録する際、記録ヘッド部１２の発熱によって膨張する媒体対向面Ｓが予め除去されるため、薄膜磁気ヘッド１の浮上量を適度な値にすることができる。従って、薄膜磁気ヘッド１とハードディスクの記録面Ｄとのクラッシュを防止することができ、薄膜磁気ヘッド１の低浮上化を実現することが可能となる。   Thus, when recording is actually performed on the hard disk, the medium facing surface S that expands due to the heat generated by the recording head unit 12 is removed in advance, so that the flying height of the thin-film magnetic head 1 can be set to an appropriate value. Therefore, it is possible to prevent a crash between the thin-film magnetic head 1 and the recording surface D of the hard disk, and it is possible to realize a low flying height of the thin-film magnetic head 1.

図１５は、本実施形態の記録ヘッド部１２への通電形態を示す図である。同図において、記録ヘッド部１２と電気的に接続された記録用電極パッド４０ａ，４０ｂは、隣接する薄膜磁気ヘッド１同士において、例えば配線４５によって電気的に接続されている。従って、バー３における全ての薄膜磁気ヘッド１の記録ヘッド部１２は電気的に接続されており、図５に示す外部電源３１をＯＮにすると、バー３における全ての薄膜磁気ヘッド１の記録ヘッド部１２に通電される。これにより、複数の薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓを一度に研磨することができるため、外部電源等の通電設備を少なくすることができる。   FIG. 15 is a diagram illustrating a power supply mode to the recording head unit 12 according to the present embodiment. In the figure, the recording electrode pads 40a and 40b electrically connected to the recording head unit 12 are electrically connected to each other by, for example, a wiring 45 between the adjacent thin film magnetic heads 1. Therefore, the recording head sections 12 of all the thin film magnetic heads 1 in the bar 3 are electrically connected, and when the external power supply 31 shown in FIG. 12 is energized. Thus, the medium facing surfaces S of the plurality of thin-film magnetic heads 1 can be polished at a time, so that the number of power supply facilities such as an external power supply can be reduced.

図１６は、本実施形態の記録ヘッド部１２への通電形態の他の例を示す図である。同図に示すように、記録用電極パッド４０ａ，４０ｂを薄膜磁気ヘッド１毎にそれぞれ個別に外部電源８０に接続してもよい。これにより、薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓの膨張量を個別に変化させることができるため、個々の薄膜磁気ヘッド１について研磨量を調整することができる。また、記録ヘッド部１２同士を接続するために必要となる配線設置などの工程を省くことができ、薄膜磁気ヘッド１の製造が容易となる。   FIG. 16 is a diagram illustrating another example of the power supply mode to the recording head unit 12 according to the present embodiment. As shown in the figure, the recording electrode pads 40a and 40b may be individually connected to the external power supply 80 for each thin-film magnetic head 1. Thus, the amount of expansion of the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 can be individually changed, so that the polishing amount of each thin-film magnetic head 1 can be adjusted. In addition, it is possible to omit steps such as wiring installation necessary for connecting the recording head sections 12 to each other, and it becomes easy to manufacture the thin-film magnetic head 1.

次に、本発明の第３の実施形態について説明する。   Next, a third embodiment of the present invention will be described.

図１７は、本実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ状態でのラッピングを示す概略図である。上述した第１及び第２実施形態では、薄膜磁気ヘッド１が列状に配置されたバー３の状態で、薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓを研磨しているが、図１７に示すように、ヘッドジンバルアセンブリの状態で薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓを研磨してもよい。   FIG. 17 is a schematic diagram showing lapping in a head gimbal assembly state according to the present embodiment. In the first and second embodiments described above, the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 is polished in the state of the bars 3 in which the thin-film magnetic heads 1 are arranged in a row, but as shown in FIG. Alternatively, the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 may be polished in the state of the head gimbal assembly.

すなわち、バー３を切断して、それぞれが薄膜磁気ヘッド１を有するヘッドスライダ７１を形成し、このヘッドスライダ７１をアーム部材７２に搭載してヘッドジンバルアセンブリ７３を作製する。そして、その状態で、ヒータ１７または記録ヘッド部１２に通電しながら薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓを研磨してもよい。これにより、ハードディスク装置に実装した場合により近い状態で薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓを研磨することができるため、個々の薄膜磁気ヘッド１において最適な量の研磨を行うことができる。従って、薄膜磁気ヘッド１とハードディスクとのクラッシュをより確実に防ぐことができる。   That is, the bar 3 is cut to form head sliders 71 each having the thin-film magnetic head 1, and the head slider 71 is mounted on the arm member 72 to produce the head gimbal assembly 73. Then, in this state, the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 may be polished while energizing the heater 17 or the recording head unit 12. Thus, the medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 can be polished in a state closer to that when mounted on a hard disk device, so that an optimum amount of polishing can be performed on each thin-film magnetic head 1. Therefore, a crash between the thin-film magnetic head 1 and the hard disk can be more reliably prevented.

図１８は、本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法による実施例を示す図である。本実施例では、薄膜磁気ヘッドにラッピングを施さなかった場合と、本発明に係るラッピング方法によって薄膜磁気ヘッドにラッピングを施した場合とにおいて、薄膜磁気ヘッドをヒータに通電しない状態でハードディスクの記録面上に浮上させ、この状態からヒータに通電させることによって薄膜磁気ヘッドの再生ヘッド部をハードディスクの記録面に接近させた際の記録ヘッド部への印加電圧値を比較した。   FIG. 18 is a view showing an embodiment of the thin-film magnetic head according to the present invention by the lapping method of the medium facing surface. In the present embodiment, when the thin film magnetic head is not wrapped, and when the thin film magnetic head is wrapped by the lapping method according to the present invention, the recording surface of the hard disk is turned on without energizing the heater. The voltage applied to the recording head when the reproducing head of the thin-film magnetic head was brought closer to the recording surface of the hard disk by energizing the heater from this state was compared.

図１８において、縦軸は、薄膜磁気ヘッドの再生ヘッド部において、ヒータに通電されていない状態でのハードディスクの記録面からの浮上量を０とし、この状態からヒータに通電させたときの浮上量の減少値Ｈ（ｎｍ）をマイナス（−）で示している。また、横軸は、ヒータへの印加電力値Ｐ（ｍＷ）を示している。   In FIG. 18, the vertical axis represents the flying height when the heater is energized from the recording surface of the hard disk in the reproducing head portion of the thin-film magnetic head when the heater is not energized. Is indicated by minus (-). The horizontal axis indicates the power value P (mW) applied to the heater.

また、図において、グラフＡは、薄膜磁気ヘッドにラッピングを施さなかった場合を示し、グラフＢは、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を２．５ｎｍラッピングした場合を示し、グラフＣは、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を７．５ｎｍラッピングした場合を示している。   In the figure, graph A shows the case where the thin film magnetic head is not wrapped, graph B shows the case where the medium facing surface of the thin film magnetic head is wrapped by 2.5 nm, and graph C shows the case where the thin film magnetic head is wrapped. 7 shows a case where the medium facing surface is wrapped by 7.5 nm.

図１８に示すように、グラフＡでは、印加電力値Ｐが約１００ｍＷのところで薄膜磁気ヘッドの先端部分がハードディスクの記録面に当接してしまったため、それ以上、再生ヘッド部とハードディスクの記録面との距離Ｈを縮めることはできなかった。   As shown in FIG. 18, in the graph A, the tip of the thin-film magnetic head came into contact with the recording surface of the hard disk when the applied power value P was about 100 mW. Could not be reduced.

また、グラフＢでは、約１２０ｍＷのところで薄膜磁気ヘッドの先端部分がハードディスクの記録面に当接し、グラフＡよりも再生ヘッド部とハードディスクの記録面との距離Ｈを縮められることが分かった。   Further, in the graph B, it was found that the tip of the thin-film magnetic head came into contact with the recording surface of the hard disk at about 120 mW, and the distance H between the reproducing head portion and the recording surface of the hard disk could be reduced as compared with the graph A.

グラフＣは、約１６０ｍＷまで印加することができ、その分、再生ヘッド部とハードディスクの記録面との距離Ｈを最も縮められることが分かった。   In the graph C, it was found that the voltage could be applied up to about 160 mW, and the distance H between the reproducing head and the recording surface of the hard disk could be shortened accordingly.

以上により、ラッピングの量を多くすることで、再生ヘッド部とハードディスクの記録面との距離Ｈをより縮めることができることが分かった。従って、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面にラッピングを施すことにより、薄膜磁気ヘッドの読み込み及び書き込みの性能を向上させることができる。   From the above, it has been found that by increasing the amount of wrapping, the distance H between the reproducing head and the recording surface of the hard disk can be further reduced. Therefore, by performing lapping on the medium facing surface of the thin-film magnetic head, the reading and writing performance of the thin-film magnetic head can be improved.

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、薄膜磁気ヘッドを面内記録方式としているが、もちろん垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドにも適用可能である。   As described above, the present invention has been specifically described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the above embodiment, the thin-film magnetic head is of the in-plane recording type, but it is of course applicable to a perpendicular recording type of thin-film magnetic head.

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るラッピング方法を適用する薄膜磁気ヘッドが基台上に複数形成された状態を示す図であり、図１（ｂ）は、基台を切断して、薄膜磁気ヘッドが列状に配置された複数本のバーを作製した状態を示す図である。FIG. 1A is a diagram showing a state in which a plurality of thin film magnetic heads to which the lapping method according to the first embodiment of the present invention is applied are formed on a base, and FIG. Is a view showing a state in which a plurality of bars in which thin-film magnetic heads are arranged in a row are produced by cutting the thin film magnetic head. ＭＲハイト調整後のバー３を示す図である。FIG. 7 is a view showing a bar 3 after MR height adjustment. 図２に示すバー３の薄膜磁気ヘッド１における媒体対向面Ｓに対して垂直な方向の概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of a bar 3 shown in FIG. 2 in a direction perpendicular to a medium facing surface S in the thin-film magnetic head 1. 薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓとハードディスクの記録面Ｄとの関係を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a medium facing surface S of the thin-film magnetic head 1 and a recording surface D of a hard disk. 図２に示すバー３に外部電源３１が接続されている状態を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a state where an external power supply 31 is connected to a bar 3 shown in FIG. 2. 図５に示すバー３の領域ＶＩの部分拡大図である。FIG. 6 is a partially enlarged view of a region VI of a bar 3 shown in FIG. 5. 本発明の第１の実施形態に係るラッピング方法に適用するラッピング装置を構成するバー保持器を示す図である。It is a figure showing the bar holder which constitutes the lapping device applied to the lapping method concerning a 1st embodiment of the present invention. バー３のラッピング工程を示す図である。It is a figure showing a lapping process of bar 3. ラッピングを施した後におけるバー３の薄膜磁気ヘッド１の媒体対向面Ｓに対して垂直な方向を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a direction perpendicular to a medium facing surface S of a thin-film magnetic head 1 of a bar 3 after lapping is performed. ヒータの通電形態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the electricity supply form of a heater. ヒータの通電形態の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the electricity supply form of a heater. 図１１に示す形態におけるバー保持器５１を示す図である。It is a figure which shows the bar holder 51 in the form shown in FIG. 薄膜磁気ヘッドにおけるヒータの位置の他の例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating another example of the position of the heater in the thin-film magnetic head. ヒータが分割して配置された薄膜磁気ヘッド１の一例を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a thin-film magnetic head 1 in which heaters are divided and arranged. 本発明の第２の実施形態に係る記録ヘッド部１２への通電形態を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a power supply mode to a recording head unit 12 according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第２の実施形態に係る記録ヘッド部１２への通電形態の他の例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating another example of a power supply mode to the recording head unit 12 according to the second embodiment of the present invention. 本発明の第３の実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ状態でのラッピングを示す概略図である。It is a schematic diagram showing lapping in a head gimbal assembly state concerning a 3rd embodiment of the present invention. 本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法による実施例を示す図である。FIG. 4 is a view showing an embodiment of a thin film magnetic head according to the present invention using a lapping method of a medium facing surface.

符号の説明Explanation of reference numerals

１…薄膜磁気ヘッド、２…基台、３…バー、１０…ＧＭＲ素子、１１…再生ヘッド部（磁気抵抗効果素子）、１２…記録ヘッド部（誘導型電磁変換素子）、１６…オーバーコート層、１７…ヒータ、１８…オーバーコート層、２２…基板、３１，３２，７０，８０…外部電源、２０ａ，２０ｂ…ヒータ用電極パッド、６０…ヒータ、７１…ヘッドスライダ、７２…アーム部材、７３…ヘッドジンバルアセンブリ、４０ａ，４０ｂ…記録用電極パッド、４１ａ，４１ｂ…再生用電極パッド、Ｓ…媒体対向面。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Thin film magnetic head, 2 ... Base, 3 ... Bar, 10 ... GMR element, 11 ... Reproduction head part (magnetoresistive element), 12 ... Recording head part (induction type electromagnetic conversion element), 16 ... Overcoat layer , 17 ... heater, 18 ... overcoat layer, 22 ... substrate, 31, 32, 70, 80 ... external power supply, 20a, 20b ... heater electrode pad, 60 ... heater, 71 ... head slider, 72 ... arm member, 73 ... head gimbal assembly, 40a, 40b ... recording electrode pads, 41a, 41b ... reproduction electrode pads, S ... medium facing surface.

Claims (12)

薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法であって、
再生用の磁気抵抗効果素子と、書込用の誘導型電磁変換素子と、通電することにより発熱するヒータとを備える前記薄膜磁気ヘッドを基台上に形成し、
前記ヒータに通電しながら、前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とする薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 A lapping method of a medium facing surface in a thin film magnetic head,
A thin-film magnetic head including a magnetoresistive element for reproduction, an inductive electromagnetic transducer for writing, and a heater that generates heat when energized is formed on a base;
A method for lapping a medium facing surface in a thin film magnetic head, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the heater. 前記薄膜磁気ヘッドは、前記磁気抵抗効果素子、前記誘導型電磁変換素子及び前記ヒータがこの順に前記基台側から積層されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 2. The medium facing surface of the thin film magnetic head according to claim 1, wherein the thin film magnetic head includes the magnetoresistive effect element, the inductive electromagnetic transducer, and the heater stacked in this order from the base. Wrapping method. 前記薄膜磁気ヘッドにおける前記基台の反対側の表面上に前記ヒータを備えることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 2. The method according to claim 1, wherein the heater is provided on a surface of the thin-film magnetic head opposite to the base. 前記基台を切断して前記薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、
前記バーにおける前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を、前記ヒータに通電しながら研磨することを特徴とする請求項１〜３いずれか一項記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Cutting the base to form a bar in which the thin-film magnetic heads are arranged in a row,
The method of wrapping a medium facing surface of a thin film magnetic head according to any one of claims 1 to 3, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head in the bar is polished while energizing the heater. 前記バーにおける複数の前記薄膜磁気ヘッドの前記ヒータ同士を電気的に接続し、
前記バーにおける前記ヒータの全てに対し、同一電源によって通電しながら前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とする請求項４記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Electrically connecting the heaters of the plurality of thin film magnetic heads in the bar,
5. The method according to claim 4, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing all of the heaters in the bar with the same power supply. 前記バーにおける複数の前記薄膜磁気ヘッドの前記ヒータにそれぞれ個別に通電することを特徴とする請求項４記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 5. The method of wrapping a medium facing surface in a thin film magnetic head according to claim 4, wherein the heaters of the plurality of thin film magnetic heads in the bar are individually energized. 前記基台を切断して前記薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、
前記バーを切断して、それぞれが薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを形成し、
前記ヘッドスライダをアーム部材に搭載してヘッドジンバルアセンブリを形成し、
この状態で、前記ヒータに通電しながら、前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とする請求項１〜３いずれか一項記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Cutting the base to form a bar in which the thin-film magnetic heads are arranged in a row,
Cutting the bars to form head sliders each having a thin film magnetic head,
Mounting the head slider on an arm member to form a head gimbal assembly;
The method for lapping a medium facing surface in a thin film magnetic head according to any one of claims 1 to 3, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the heater in this state. 薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法であって、
再生用の磁気抵抗効果素子と、書込用の誘導型電磁変換素子とを備える前記薄膜磁気ヘッドを基台上に形成し、
前記電磁変換素子に通電しながら、前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とする薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 A lapping method of a medium facing surface in a thin film magnetic head,
A magnetoresistive effect element for reproduction, and the thin-film magnetic head including an inductive electromagnetic transducer for writing are formed on a base,
A method for lapping a medium facing surface in a thin film magnetic head, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the electromagnetic transducer. 前記基台を切断して前記薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、
前記バーにおける前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を、前記電磁変換素子に通電しながら研磨することを特徴とする請求項８記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Cutting the base to form a bar in which the thin-film magnetic heads are arranged in a row,
9. The lapping method for a medium facing surface in a thin film magnetic head according to claim 8, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head in the bar is polished while energizing the electromagnetic transducer. 前記バーにおける複数の前記薄膜磁気ヘッドの前記電磁変換素子同士を電気的に接続し、
前記バーにおける前記電磁変換素子の全てに対し、同一電源によって通電しながら前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨することを特徴とする請求項９記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Electrically connecting the electromagnetic transducers of the plurality of thin film magnetic heads in the bar,
10. The lapping method for a medium facing surface of a thin film magnetic head according to claim 9, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing all the electromagnetic transducers in the bar with the same power supply. 前記バーにおける複数の前記薄膜磁気ヘッドの前記電磁変換素子にそれぞれ個別に通電することを特徴とする請求項９記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 10. The method of wrapping a medium facing surface in a thin film magnetic head according to claim 9, wherein the electromagnetic transducers of the plurality of thin film magnetic heads in the bar are individually energized. 前記基台を切断して前記薄膜磁気ヘッドが列状に配置されたバーを形成し、
前記バーを切断して、それぞれが薄膜磁気ヘッドを有するヘッドスライダを形成し、
前記ヘッドスライダをアーム部材に搭載してヘッドジンバルアセンブリを形成し、
この状態で、前記電磁変換素子に通電しながら、前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面を研磨すること特徴とする請求項８記載の薄膜磁気ヘッドにおける媒体対向面のラッピング方法。 Cutting the base to form a bar in which the thin-film magnetic heads are arranged in a row,
Cutting the bars to form head sliders each having a thin film magnetic head,
Mounting the head slider on an arm member to form a head gimbal assembly;
9. The lapping method for a medium facing surface in a thin film magnetic head according to claim 8, wherein the medium facing surface of the thin film magnetic head is polished while energizing the electromagnetic transducer in this state.
JP2004048540A 2003-03-04 2004-02-24 Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head Pending JP2004288352A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004048540A JP2004288352A (en) 2003-03-04 2004-02-24 Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003057436 2003-03-04
JP2004048540A JP2004288352A (en) 2003-03-04 2004-02-24 Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004288352A true JP2004288352A (en) 2004-10-14

Family

ID=33302049

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004048540A Pending JP2004288352A (en) 2003-03-04 2004-02-24 Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004288352A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007188570A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv Magnetic head slider and its manufacturing method, magnetic disk device
JP2007280595A (en) * 2006-04-04 2007-10-25 Samsung Electronics Co Ltd Apparatus and method for controlling flying height of magnetic head in retry mode, recording medium, and disk drive
KR100771861B1 (en) 2005-05-26 2007-11-01 삼성전자주식회사 Method for improving domain property of MR sensor which is equiped on hard disk drive and recording midium adapting the same
JPWO2009069230A1 (en) * 2007-11-30 2011-04-07 東芝ストレージデバイス株式会社 Head slider manufacturing method, head slider, and storage device
JP2011258300A (en) * 2010-06-04 2011-12-22 Tdk Corp Magnetic head, head assembly, magnetic recording and reproducing device, and method for manufacturing the device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100771861B1 (en) 2005-05-26 2007-11-01 삼성전자주식회사 Method for improving domain property of MR sensor which is equiped on hard disk drive and recording midium adapting the same
JP2007188570A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv Magnetic head slider and its manufacturing method, magnetic disk device
JP2007280595A (en) * 2006-04-04 2007-10-25 Samsung Electronics Co Ltd Apparatus and method for controlling flying height of magnetic head in retry mode, recording medium, and disk drive
JPWO2009069230A1 (en) * 2007-11-30 2011-04-07 東芝ストレージデバイス株式会社 Head slider manufacturing method, head slider, and storage device
JP2011258300A (en) * 2010-06-04 2011-12-22 Tdk Corp Magnetic head, head assembly, magnetic recording and reproducing device, and method for manufacturing the device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3669975B2 (en) Thin film magnetic head
US7203035B2 (en) Thin-film magnetic head having a sheet-shaped heater with a lead part connected in series with the heater and having a resistance lower than the heater
US7420776B2 (en) Thin-film magnetic head, head gimbal assembly, and hard disk drive
US7086931B2 (en) Magnetic head bar holding unit, lapping device, and method of lapping medium-opposing surface of thin-film magnetic head
JP3681376B2 (en) Head gimbal assembly and hard disk device
JP3940688B2 (en) Head slider, head gimbal assembly and hard disk device
JP2007207307A (en) Flying head slider and recording medium drive device
US20080198510A1 (en) Head slider and storage medium drive
US7224553B2 (en) Thin-film magnetic head, head gimbal assembly, and hard disk drive incorporating a heater
JP3599235B2 (en) Thin-film magnetic head, magnetic head device, and magnetic disk device
JP2009099219A (en) Magnetic head
JP3626954B2 (en) Thin-film magnetic head manufacturing method, thin-film magnetic head, head gimbal assembly, and hard disk device
JP4134003B2 (en) Thin-film magnetic head having a heat generating layer, head gimbal assembly having the thin-film magnetic head, magnetic disk device having the head gimbal assembly, and magnetic spacing control method
US6945847B2 (en) Method of lapping medium-opposing surface in thin-film magnetic head
JP2006351115A (en) Thin-film magnetic head equipped with resistive heating element
JP2010009638A (en) Magnetic head and magnetic disk unit
JP2004288352A (en) Lapping method of surface facing medium for thin film magnetic head
JP2005056508A (en) Method for manufacturing thin film magnetic head
JP3975206B2 (en) Method of lapping of medium facing surface in thin film magnetic head
US9852751B2 (en) Thin film magnetic head, head gimbals assembly, head arm assembly, and magnetic disk unit with improved air bearing surface
US7180707B2 (en) Thin-film magnetic head, head gimbal assembly, and hard disk drive
JP2009301659A (en) Magnetic head and magnetic storage device
JP2006196127A (en) Thin-film magnetic head, magnetic head assembly, and magnetic-disk drive device
JP2006040447A (en) Method for manufacturing slider
JP2004110976A (en) Thin film magnetic head and magnetic disk unit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050513

A977 Report on retrieval

Effective date: 20061130

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061212

A521 Written amendment

Effective date: 20070213

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20071023