JP2004278500A

JP2004278500A - Molecular pump

Info

Publication number: JP2004278500A
Application number: JP2003075096A
Authority: JP
Inventors: Manabu Nonaka; 学野中
Original assignee: BOC Edwards Japan Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2003-03-19
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2004-10-07

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress temperature rise of a rotor blade by improving cooling efficiency of the rotor blade. <P>SOLUTION: A plate-like member or a mesh-like member for adsorbing gas molecules on the area opposed to a rotor part and facing a gas flow passage is formed in the downstream from the rotor blade provided on the highest stage. For example, a plate-like fin 51 projecting toward the gas flow passage is formed on the surface of a stator blade 32. The number of the gas molecules passing through the stator blade 22 can be reduced and the number of the gas molecules impinging the stator blade 32 can be increased by forming the fin 51 to expand the surface area of the stator blade 32. Accordingly, the frequency of the gas molecules heat-radiated with the stator blade 22 is increased, and the cooling efficiency of the rotor blade 21 can be improved. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置、液晶製造装置、電子顕微鏡などの排気をするために使用される分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
半導体は、半導体製造装置において、きわめて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりして製造される。
これらの作業は高真空状態の真空チャンバ内で行われ、これらの真空チャンバの排気には、一般に分子ポンプが多用されている。
この分子ポンプは、翼角度をもったタービンを高速で回転させて、気体分子に運動エネルギーを与えることにより気体の圧縮を行い、吸気したガスを排気口へ放出している。
このような分子ポンプは、タービンを高速回転させることにより、タービンを形成しているロータ翼が、気体分子の衝突熱などにより加熱されて高温状態になってしまう。
【０００３】
このような高温状態において遠心力による高い応力が掛けられると、通常アルミニウム合金で形成されているロータ翼は、クリープにより変形が進行してアンバランス状態となり、分子ポンプの振動を引き起こすおそれがある。
ロータ翼の温度上昇を抑制するために、ロータ翼のブレードの段数を減らして気体分子の衝突による発熱を低減させるようにすることも可能であるが、排気作用の性能低下が顕著になり、排気するガスによっては、逆効果となってしまう場合がある。
この他、分子ポンプのロータ翼の冷却効率を向上させる技術が、下記の特許文献に開示されている。
【特許文献１】
特開平１０−２４６１９６号公報
特許文献１には、ターボ分子ポンプの内部に冷却流路を形成し、この冷却流路に冷却流体を流すことにより、ロータ部分の冷却を行う技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような冷却流体を用いてロータ翼の冷却効率を向上させるためには、この冷却流体の供給および制御を行う装置を設ける必要がある。
そこで、本発明は、外部装置を設けることなく、ロータ翼の冷却効率を向上させ、ロータ翼の温度上昇を抑制することが可能な分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明では、略円筒形状のケーシング、および、前記ケーシングに設けられたベースからなり、吸気口と排気口が形成された筐体と、前記筐体に内包されたロータ軸と、前記ロータ軸を回転させるモータと、前記ロータ軸に配設された回転部材と、を備えた分子ポンプにおいて、前記回転部材と対向し、前記吸気口と前記排気口の間に形成される気体の流路に面する領域に、第１の板状部材を形成することにより前記目的を達成する。
【０００６】
請求項２記載の発明では、請求項１記載の発明において、前記回転部材は、ロータ本体と、前記ロータ本体に配設され、放射状に複数のロータブレードが設けられた複数段のロータ翼と、を有するロータ部であり、前記ロータ翼の間に配置され、放射状に複数のステータブレードが設けられた複数段のステータ翼と、を備え、前記ロータ部と対向し、前記吸気口と前記排気口の間に形成される気体の流路に面する領域に、第１の板状部材を形成することにより前記目的を達成する。
ここでは、例えば、モータを内包するように円筒形状のステータコラムを有し、ロータ本体が、このステータコラムを内包するように断面Ｕ字形状に形成された分子ポンプでは、ステータコラムの外周面と、ロータ本体の内周面とによって形成される領域を、吸気口と排気口の間に形成される気体の流路としてもよい。
【０００７】
請求項３記載の発明では、請求項２記載の発明において、前記第１の板状部材を前記ステータ翼の少なくとも一部の段に形成することにより前記目的を達成する。
なお、前記第１の板状部材は、例えば、片側の平面が、ロータ軸に面して形成されていることが好ましい。
この場合、前記第１の板状部材は、例えば、ロータ軸に投影される面よりも、吸気口側に投影される面が小さくなるように形成されていることが好ましい。
【０００８】
請求項４記載の発明では、請求項２または請求項３記載の発明において、前記第１の板状部材を、前記ステータブレードが配設された円環状部材の少なくとも一部の段に形成することにより前記目的を達成する。
なお、前記第１の板状部材は、例えば、円環状部材の外周側面部や平面部に形成する。
また、前記第１の板状部材は、例えば、気体の排気方向と沿うように形成されていることが好ましい。
前記第１の板状部材は、例えば、円環状部材の平面部では、半径方向に沿うように形成されていることが好ましい。。
【０００９】
請求項５記載の発明では、請求項２、請求項３または請求項４記載の発明において、前記第１の板状部材を、隣接する前記ステータ翼の間に配置された円筒状スぺーサの少なくとも一部の段における前記領域に形成することにより前記目的を達成する。
なお、前記第１の板状部材は、例えば、円筒状スぺーサの内周の側面に形成する。
また、前記第１の板状部材は、例えば、気体の排気方向に沿った向きに形成されていることが好ましい。
【００１０】
請求項６記載の発明では、請求項２から請求項５のうちの１の請求項に記載の発明において、前記ロータ部および前記ステータ翼の前記排気口側に、ねじ溝が形成されたねじ溝スぺーサを有するねじ溝ポンプ機構を備え、前記第１の板状部材を、前記ねじ溝スぺーサにおける前記領域に形成することにより前記目的を達成する。
なお、前記第１の板状部材は、例えば、ねじ溝スぺーサに形成されたねじ溝の表面や、ねじ溝スぺーサの吸気口側の端面に形成する。
【００１１】
請求項７記載の発明では、請求項２から請求項６のうちの１の請求項に記載の発明において、前記第１の板状部材を、前記ステータ翼の少なくとも一部の段における隣接する前記ステータブレードの間に、網目状に形成することにより前記目的を達成する。
前記第１の板状部材を隣接する前記ステータブレードの間に網目状に形成する代わりに、例えば、網目状の金属部材を前記ステータ翼の少なくとも一部の段における隣接する前記ステータブレードの間に形成するようにしてもよい。
また、前記第１の板状部材を隣接する前記ステータブレードの間に網目状に形成する代わりに、例えば、前記ステータ翼の少なくとも一部の段における隣接する前記ステータブレードの間に、ロータ軸方向に厚みを有する円筒状の部材を円周方向に形成するようにしてもよい。
【００１２】
請求項８記載の発明では、略円筒形状のケーシング、および、前記ケーシングに設けられたベースからなり、吸気口と排気口が形成された筐体と、前記筐体に内包されたロータ軸と、前記ロータ軸を回転させるモータと、前記ロータ軸に配設されるロータ本体、および、前記ロータ本体に配設され、放射状に複数のロータブレードが設けられた複数段のロータ翼からなるロータ部と、前記ロータ翼の間に配置され、放射状に複数のステータブレードが設けられた複数段のステータ翼と、を備えた分子ポンプにおいて、前記ロータ本体に第２の板状部材を形成することにより前記目的を達成する。
ここで前記第２の板状部材は、例えば、ロータ本体に設けられた、ロータブレードが配設された円環状部材の少なくとも一部の段に形成する。
なお、前記第２の板状部材は、例えば、ロータブレードが配設された円環状部材の外周側面部や平面部に形成する。
また、前記第２の板状部材は、例えば、気体の排気方向と沿うように形成されていることが好ましい。
前記第２の板状部材は、例えば、円環状部材の平面部では、半径方向に沿うように形成されていることが好ましい。。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の分子ポンプにおける好適な実施の形態について、図１から図１０を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示した図である。
本実施の形態では、分子ポンプの一例としてターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプを例に説明する。
分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング１６は、略円筒状の形状をしており、ケーシング１６の底部に設けられた円盤状のベース２７と共に分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、ケーシング１６の内部には、分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物が収納されている。
これら排気機能を発揮する構造物は、大きく分けて回転自在に軸支されたロータ部２４とケーシング１６に対して固定されたステータ部から構成されている。また、ポンプの種類から見た場合、吸気口６側がターボ分子ポンプ部により構成され、排気口１９側がねじ溝式ポンプ部から構成されている。
【００１４】
ロータ部２４は、モータによって回転されるシャフト１１に配設された回転部材であり、吸気口６側（ターボ分子ポンプ部）に設けられたロータ翼２１と、排気口１９側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられた円筒部材２９、およびシャフト１１などから構成されている。ロータ翼２１は、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト１１から放射状に伸びたロータブレード３０とフランジ状に形成された円環状部材であるロータリム部３３と、から構成されており、ターボ分子ポンプ部では、これらロータ翼２１が軸線方向に複数段形成されている。
円筒部材２９は、外周面が円筒形状をした部材であり、ねじ溝式ポンプ部のロータ部２４を構成している。
シャフト１１は、ロータ軸、つまり、ロータ部２４の軸を構成する円柱部材であって、その上端部にはロータ翼２１と円筒部材２９からなる部材がボルト２５によりねじ止めされている。
【００１５】
シャフト１１の軸線方向中程には、外周面に永久磁石が固着してあり、モータ部１０のロータを構成している。この永久磁石がシャフト１１の外周に形成する磁極は、外周面の半周に渡ってＮ極となり、残り半周に渡ってＳ極となるようになっている。
さらに、シャフト１１のモータ部１０に対して吸気口６側、および排気口１９側には、シャフト１１をラジアル方向に軸支するための磁気軸受部８、１２のロータ部２４側の部分が形成されており、シャフト１１の下端には、シャフト１１を軸線方向（スラスト方向）に軸支する磁気軸受部２０のロータ部２４側の部分が形成されている。
【００１６】
また、磁気軸受部８、１２の近傍には、それぞれ変位センサ９、１３のロータ側の部分が形成されており、シャフト１１のラジアル方向の変位が検出できるようになっている。さらに、シャフト１１の下端には変位センサ１７のロータ側の部分が形成されており、シャフト１１の軸線方向の変位が検出できるようになっている。
これら、磁気軸受部８、１２および変位センサ９、１３のロータ側の部分は、ロータ部２４の回転軸線方向に鋼板を積層した積層鋼板により構成されている。これは、磁気軸受部８、１２、変位センサ９、１３のステータ側の部分を構成するコイルが発生する磁界によって、シャフト１１に渦電流が発生するのを防ぐためである。
以上に説明したロータ部２４は、ステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
【００１７】
ケーシング１６の内周側には、ステータ部が形成されている。このステータ部は、吸気口６側（ターボ分子ポンプ部）に設けられたステータ翼２２と、排気口１９側（ねじ溝式ポンプ）に設けられたねじ溝スペーサ５などから構成されている。
ステータ翼２２は、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してケーシング１６の内周面からシャフト１１に向かって伸びたステータブレード３２と、このステータブレード３２を支持するフランジ状の円環状部材であるステータリム部３１と、から構成されており、ターボ分子ポンプ部では、これらステータ翼２２が軸線方向に、ロータ翼２１と互い違いに複数段形成されている。
各段のステータ翼２２は、円筒形状をしたスぺーサ２３により互いに隔てられている。
【００１８】
なお、本実施の形態では、ステータブレード３２の内周側にステータリム部３１が設けられているが、このステータリム部３１は、ステータブレード３２の外周側に設けるようにしてもよい。また、ステータブレード３２の内周側および外周側の両方に設けるようにしてもよい。
ステータリム部３１をステータブレード３２の内周側にのみ設けた場合、ステータ翼は、ステータブレード３２をスぺーサ２３で挟むことによって固定されるようになっている。
また、ステータリム部３１をステータブレード３２の外周側に設けた場合、ステータ翼は、ステータリム部３１をスぺーサ２３で挟むことによって固定されるようになっている。
【００１９】
ねじ溝スペーサ５は、内周面にらせん溝７が形成された円柱部材である。ねじ溝スペーサの内周面は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて円筒部材２９の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ５に形成されたらせん溝７の方向は、らせん溝７内をロータ部２４の回転方向にガスが輸送された場合、排気口１９に向かう方向である。
らせん溝７の深さは、排気口１９に近づくにつれ浅くなるようになっており、らせん溝７を輸送されるガスは排気口１９に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
これらステータ部は、ステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
【００２０】
ベース２７は、円盤形状を有した部材であって、ラジアル方向中央には、ロータの回転軸線と同心に円筒形状を有するステータコラム１８が、吸気口６方向に取り付けられている。
ステータコラム１８は、モータ部１０、磁気軸受部８、１２、および変位センサ９、１３のステータ側（固定側）の部分を支持している。
モータ部１０では、所定の極数のステータコイルがステータコイルの内周側に等間隔で配設され、シャフト１１に形成された磁極の周囲に回転磁界を発生できるようになっている。また、ステータコイルの外周には、ステンレスなどの金属で構成された円筒部材であるカラー４９が配設されており、モータ部１０を保護している。
【００２１】
磁気軸受部８、１２は、回転軸線の回りの９０度ごとに配設されたコイルから構成されている。そして、磁気軸受部８、１２は、これらコイルの発生する磁界でシャフト１１を吸引することにより、シャフト１１をラジアル方向に磁気浮上させている。
ステータコラム１８の底部には、磁気軸受部２０が形成されている。磁気軸受部２０は、シャフト１１から張り出した円板と、この円板の上下に配設されたコイルから構成されている。これらコイルが発生する磁界がこの円板を吸引することにより、シャフト１１が軸線方向に磁気浮上する。
【００２２】
以上のように構成された分子ポンプ１は、以下のように動作しガスを排出する。
まず、磁気軸受部８、１２、２０がシャフト１１を磁気浮上させることにより、ロータ部２４を非接触で空間中に軸支する。
次に、モータ部１０が作動し、シャフト１１を回転させることにより、ロータを所定の方向に回転させる。回転速度は例えば毎分３万回転程度である。本実施の形態では、ロータ部２４の回転方向を図１のガスの吸引方向に見て時計回り方向とする。なお、反時計回り方向に回転するように分子ポンプ１を構成することも可能である。
ロータ部２４が回転すると、ロータ翼２１とステータ翼２２の作用により、吸気口６からガスが吸引され、下段に行くほど圧縮される。
ターボ分子ポンプ部で圧縮されたガスは、さらにねじ溝ポンプ部で圧縮され、排気口１９から排出される。
【００２３】
ところで、分子ポンプ１の排気作用が行われる間に、ロータ翼２１は、気体分子の衝突熱などにより加熱されて高温状態になってしまう。
このように高温状態になったロータ翼２１を冷却させる方法には、放射による方法、伝導による方法、および、ガスを通じた熱伝導による方法が挙げられる。しかし、分子ポンプ１のロータ翼２１は、熱放射率の低いアルミニウム合金などで形成されているため、放射によるロータ翼の冷却効果は低い。
【００２４】
また、本実施例のように、磁気軸受を用いた分子ポンプ１では、ロータ翼２１は非接触で支持されているため、伝導によりロータ翼２１の冷却をすることは困難である。なお、転がり軸受を用いた場合であっても、軸受の部分しか接触していないため、この接触部分からの伝導によるロータ翼２１の冷却効果は低い。
従って、ガスの排気流量が多い場合はもちろんのことであるが、ガスを通じた熱伝導により、ロータ翼２１の冷却効率が支配されている。
特に、熱伝導率の低いＡｒ（アルゴン）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）、Ｋｒ（クリプトン）などの希ガス類のガスを排気する場合には、ロータ翼２１が加熱されやすい状態にあるため、ロータ翼２１の冷却効率をさらに向上させなければならない。
【００２５】
ここで、分子ポンプ１におけるロータ翼２１の放熱のメカニズムについて説明する。
図２は、ロータブレード３０およびステータブレード３２の側断面図である。なお、図２では、複数段設けられているロータ翼２１およびステータ翼２２中の１段に注目して示している。
ロータブレード３０は、気体分子の衝突熱などにより加熱されて１５０℃を超える高温状態になっている。分子ポンプ１では、この高温状態であるロータブレード３０の熱の伝達を、排気するガス、具体的にはガスの気体分子によって行われている。その原理は、以下のようである。
【００２６】
高温状態であるロータブレード３０に衝突した気体分子は、ロータブレード３０との接触面からロータブレード３０の熱を吸収する（吸熱）。
ロータブレード３０の熱を吸収した気体分子は、ロータブレード３０の偏向角およびロータ翼２１の回転作用によりロータ翼２１の下段に設けられているステータ翼２２の方向に送出される。
そして、外気や分子ポンプ１に外付けされた空冷ユニットなどの作用により７０℃程度の低温状態に保持されているステータブレード３２に衝突すると、気体分子は、ステータブレード３２との接触面から熱をステータブレード３２へ放出する（放熱）。
【００２７】
ロータブレード３０の表面に衝突して拡散されるガス分子は、その表面の温度に応じた熱運動量になる。すなわち、ロータブレード３０の表面温度がステータブレード３２の表面温度よりも高い場合には、ロータブレード３０から熱を奪いステータブレード３２に放出するようになっている。
つまり、ロータ翼２１に衝突して吸熱した気体分子は、外気や分子ポンプ１に外付けされた空冷ユニットなどの作用により低温状態となっているステータ翼２２、ねじ溝スペーサ５、ステータコラム１８、スぺーサ２３、ベース２７などの部分に衝突しない限り熱を放熱することが困難となっている。
【００２８】
従って、ロータ翼２１に衝突して吸熱した気体分子が、ステータ翼２２などの低温状態である部分に衝突することなく、再びロータ翼２１に衝突してしまうような場合、ロータ翼２１は、この気体分子により加熱されるため、上述したような気体分子によるロータ翼２１の放熱作用を妨げてしまう。
本実施の形態では、このようにステータ翼２２などの低温状態となっている部分に衝突することなく、再びロータ翼２１に衝突してしまう気体分子の数を低減させるために、外気や分子ポンプ１に外付けされた空冷ユニットなどの作用により低温状態となっている、ステータ翼２２、ねじ溝スペーサ５、ステータコラム１８、スぺーサ２３などの部分に気体分子吸着のためのトラップを設けるようにしている。
【００２９】
図３は、本実施の形態に係る分子ポンプにおける気体分子吸着のためのトラップの配置箇所を示した図である。
本実施の形態では、トラップを、図３に示すように、最上段に設けられたロータ翼２１より下流において、ロータ部と対向し、かつ、ガスの流路と面する領域に設けている。
以下に、気体分子を吸着させるためのトラップの実施例について説明する。
（トラップ実施例１）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＡ部に示す、ステータブレード３２の表面に、図４に示すようなガスの流路に向けて張り出した板状の部材であるフィン５１を形成する。
このようなフィン５１を形成してステータ翼２２の表面積を広げることにより、ステータ翼２２に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ステータ翼２２で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００３０】
詳しくは、図４に示すように、接合部６１ａと接合部６１ｂを有するステータ翼２２を構成しているステータブレード３２の表面に、ステータブレード３２の吸気口６側の面に形成されたフィン５１ａ部、ステータブレード３２の排気口側の面に形成されたフィン５１ｃ部、ステータブレード３２の両サイド面に形成されたフィン５１ｂ部およびフィン５１ｄ部とからなるフィン５１を、ステータブレード３２の長手方向に面するように（例えば、半径方向と垂直になる向き）、に形成する。
フィン５１をステータブレード３２の幅方向に面するように形成することも可能であるが、この向きにフィン５１を形成してしまうと、フィン５１に衝突した気体分子が吸気口６側のロータ翼２１方向に跳ね返る気体分子の逆流の生じる率が高くなるおそれがあるため好ましくない。
【００３１】
さらに、気体分子の逆流の生じる率を抑制するために、フィン５１を形成する面のうち、吸気口６側のロータ翼２１に対向するＡ面の面積を、ステータブレード３２と交わるＢ面より小さくするようにする。
Ａ面の面積をＢ面の面積より小さくすることにより、このＡ面と衝突する気体分子の数をＢ面と衝突する気体分子の数よりも減少させることができるため、フィン５１に衝突する気体分子のうちの吸気口６方向に逆流する気体分子の比率を抑制することができる。
なお、このトラップは、複数段備えられているステータ翼２２のいずれの段のステータ翼２２に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００３２】
さらに、ステータブレード３２に形成するフィン５１について説明すると、フィン５１は、このフィン５１のシャフト１１に投影される面よりも、吸気口６側、つまり、ロータ翼２１側に投影される面の面積が小さくなるように形成することが好ましい。
そのためには、図４に示す、ステータブレード３２の長手方向の中心線αと、フィン５１とステータブレード３２の接合部βとがなす角が、９０°となるようにフィン５１を形成することが好ましい。
また、フィン５１とステータブレード３２の接合部βとがなす角を９０°でない場合には、中心線αと接合部βとが形成する角のうち鋭角である角θが、限りなく９０°に近くなるようにフィン５１を形成することが好ましいが、角θは、４５°より大きい角度を形成していればよく、例えば、５０°、６０°、７０°、８０°であってもよい。
このように角θが形成されるように、フィン５１を配置することにより、フィン５１に衝突する気体分子のうちの吸気口６方向に逆流する気体分子の比率を抑制することができる。
【００３３】
（トラップ実施例２）
ステータ翼２２の表面積を広げる方法として、このステータブレード３２の表面にフィン５１を形成する他に、図５に示すようなメッシュ構造５２を形成するようにしてもよく、また、図６に示すような円周方向に円筒状部材５４を形成するようにしてもよい。
このメッシュ構造５４とは、ステータ翼２２における隣接するブレード間に形成されている空間に、ステータ翼２２のブレードの厚みより薄い網目状の金属部材（例えば、アルミニウム合金や銅など）を形成したものである。このメッシュ構造５２は、直接ステータ翼２２のブレードに形成されている。
また、このメッシュ構造５２は、板状の金属部材を網目状に形成して、軸方向に幅をもたせるように形成してもよい。
このようなメッシュ構造５２または円筒状部材５４を形成して、ステータ翼２２の表面積を広げることにより、ステータ翼２２に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ステータ翼２２で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００３４】
このメッシュ構造５２においても、トラップ実施例１と同様に、気体分子の逆流の生じる率を抑制するために、メッシュ構造５２を形成する面のうち、吸気口６側のロータ翼２１に対向するＣ面の面積を、吸気口６側のロータ翼２１方向に面していない気体分子の逆流に影響しない面（例えばＤ面）より小さくするようにする。
Ｃ面の面積を気体分子の逆流に影響しない面（例えばＤ面）の面積より小さくすることにより、このＣ面と衝突する気体分子の数を気体分子の逆流に影響しない面（例えばＤ面）と衝突する気体分子の数よりも減少させることができるため、メッシュ構造５２に衝突する気体分子のうちの吸気口６方向に逆流する気体分子の比率を抑制することができる。
【００３５】
また、円筒状部材５４においても、気体分子の逆流の生じる率を抑制するために、円筒状部材５４を形成する面のうち、吸気口６側のロータ翼２１に対向するＥ面の面積を、吸気口６側のロータ翼２１方向に面していない気体分子の逆流に影響しないＦ面より小さくするようにする。
Ｅ面の面積を気体分子の逆流に影響しないＦ面の面積より小さくすることにより、このＥ面と衝突する気体分子の数を気体分子の逆流に影響しないＦと衝突する気体分子の数よりも減少させることができるため、円筒状部材５４に衝突する気体分子のうちの吸気口６方向に逆流する気体分子の比率を抑制することができる。
【００３６】
このメッシュ構造５２は、図１０に示すように、ステータ翼２２をステータ翼２２ａとステータ翼ｂに分割し、これらの間に接合部６２ａおよび接合部６２ｂを有する環形円盤状に形成された網目状の金属部材であるメッシュ５３を、ステータ翼２２ａのステータリム部３１ａとステータ翼ｂのステータリム部３１ｂとを接合させて挟み込むように形成してもよい。
なお、このトラップは、複数段備えられているステータ翼２２のいずれの段のステータ翼２２に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００３７】
（トラップ実施例３）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＢ部に示す、ステータリム部３１のフランジ状に形成された面のうちの吸気口６側の表面に、図７に示すようなガスの流路に向けて張り出した板状の部材であるフィン５５を放射状（半径方向）に形成する。
また、図７に示すステータリム部３１の側面部３４の表面にガスの流路に向けて張り出した板状のフィンを、気体の排気方向に沿った向き（例えば、軸方向）に形成するようにしてもよい。
このようなフィン５５をステータリム部３１に形成してステータ翼２２の表面積を広げることにより、トラップ実施例１と同様に、ステータ翼２２に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ステータ翼２２で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
なお、このトラップは、複数段備えられているステータ翼２２のいずれの段のステータ翼に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００３８】
（トラップ実施例４）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＣ部に示す、スぺーサ２３の内側のガスの流路を形成する領域に、図８に示すようなガスの流路に向けて張り出したフィン５６を軸方向に形成する。
このようなフィン５６をスぺーサ２３の内側の側面部の表面に形成してスぺーサ２３の表面積を広げることにより、スぺーサ２３に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、スぺーサ２３で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００３９】
また、フィン５６においても、気体分子の逆流の生じる率を抑制するために、フィン５６を形成する面のうち、吸気口６側のロータ翼２１に対向するＧ面の面積を、吸気口６側のロータ翼２１方向に面していない気体分子の逆流に影響しない面（例えばＨ面）より小さくするようにする。
Ｇ面の面積を気体分子の逆流に影響しない面（例えばＨ面）の面積より小さくすることにより、このＥ面と衝突する気体分子の数を気体分子の逆流に影響しない面（例えばＨ面）と衝突する気体分子の数よりも減少させることができるため、フィン５６に衝突する気体分子のうちの吸気口６方向に逆流する気体分子の比率を抑制することができる。
なお、このトラップは、複数段備えられているスぺーサ２３のいずれの段のスぺーサ２３に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００４０】
（トラップ実施例５）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＤ部に示す、ねじ溝スペーサ５の吸気口６側端部の表面にガスの流路に向けて張り出した板状のフィンを放射状（半径方向）に形成する。
このねじ溝スペーサ５に形成されるフィンは、トラップ実施例３で示したステータリム部３１の表面に形成されたフィン５５（図７に示す）と同様の複数の羽根状の部材により形成する。
このようなフィンをねじ溝スペーサ５に形成して、ねじ溝スペーサ５の表面積を広げることにより、ねじ溝スペーサ５に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ねじ溝スペーサ５で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ部２４の円筒部材２９に衝突する気体分子の温度を低下させることができる。そして、円筒部材２９の温度上昇を抑制することができるため、この円筒部材２９と一体形成されているロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００４１】
（トラップ実施例６）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＥ部に示す、ステータコラム１８の外側表面にロータ翼２１に向けて張り出した板状のフィンを、軸方向に形成する。
このステータコラム１８に形成されるフィンは、トラップ実施例４で示したスぺーサ２３の内側の側面部の表面に形成されたフィン５６（図８に示す）と同様の複数の羽根状の部材を外側（ガスの流路側）に向けて形成する。
このようなフィンをステータコラム１８に形成して、ステータコラム１８の表面積を広げることにより、ステータコラム１８に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ステータコラム１８で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ部２４の円筒部材２９に衝突する気体分子の温度を低下させることができる。そして、円筒部材２９の温度上昇を抑制することができるため、この円筒部材２９と一体形成されているロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００４２】
（トラップ実施例７）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＦ部に示す、ベース２７のガスの流路面の表面に張り出した板状のフィンを放射状（半径方向）に形成する。
このベース２７に形成されるフィンは、トラップ実施例３で示したステータリム部３１の表面に形成されたフィン５５（図７に示す）と同様の複数の羽根状の部材により形成する。
このようなフィンをベース２７に形成して、ベース２７の吸気口６側端部の表面積を広げることにより、ベース２７に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ベース２７で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ部２４の円筒部材２９に衝突する気体分子の温度を低下させることができる。そして、円筒部材２９の温度上昇を抑制することができるため、この円筒部材２９と一体形成されているロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００４３】
（トラップ実施例８）
また、気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＧ部に示すねじ溝スペーサ５の内周面のらせん溝７のガスの流路面の表面に、張り出したフィンを放射状（半径方向）に形成するようにしてもよい。
このようなフィンをせん溝７に形成して、ねじ溝スペーサ５の表面積を広げることにより、ねじ溝スペーサ５に衝突する気体分子の数を増加させることができるため、ねじ溝スペーサ５で放熱する気体分子の頻度が高くなり、ロータ部２４の円筒部材２９に衝突する気体分子の温度を低下させることができる。そして、円筒部材２９の温度上昇を抑制することができるため、この円筒部材２９と一体形成されているロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
【００４４】
上述したトラップ実施例１〜８では、ステータ翼２２、ねじ溝スペーサ５、ステータコラム１８、スぺーサ２３、ベース２７などの外気や分子ポンプ１に外付けされた空冷ユニットなどの作用により低温状態に保たれている部分にトラップを設けて表面積を広げることにより、これらの低温状態の部分に衝突することなく、再びロータ翼２１に衝突してしまう気体分子の数を低減させてロータ翼２１の冷却効率を改善する方法について説明した。
この他のロータ翼２１の冷却効率を改善する方法として、高温状態であるロータ翼２１にトラップを設けて表面積を広げて、ロータ翼２１に衝突して熱を吸収する気体分子の数を増加させることにより、ロータ翼２１の冷却効率を改善する方法について説明する。
【００４５】
（トラップ実施例９）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＨ部に示す、ロータ翼２１のロータリム部３３のフランジ状に形成された面のうちの吸気口６側の表面に、図９に示すようなガスの流路に向けて張り出した板状の部材であるフィン５７を放射状（半径方向）に形成する。
また、図９に示すロータリム部３３の側面部３５の表面にガスの流路に向けて張り出した板状のフィンを、気体の排気方向に沿った向き（例えば、軸方向）に形成するようにしてもよい。
このようなフィン５７を形成してロータ翼２１の表面積を広げることにより、ロータ翼２１に衝突して熱を吸収する気体分子の数を増加させることができるため、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
なお、このトラップは、複数段備えられているロータ翼２１のいずれの段のロータ翼２１に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００４６】
（トラップ実施例１０）
気体分子を吸着するためのトラップとして、図３のＩ部に示す、隣接するロータ翼２１間に形成されたロータ部２４の軸方向のガスの流路を形成する壁面に、ロータ翼２１に向けて張り出した板状のフィンを軸方向に形成する。
このロータ部２４に形成されるフィンは、トラップ実施例４で示したスぺーサ２３の内側の側面部の表面に形成されたフィン（図８に示す）と同様の複数の羽根状の部材を外側（ガスの流路側）に向けて形成する。
【００４７】
このようなフィンを形成してロータ部２４の表面積を広げることにより、ロータ部２４に衝突して熱を吸収する気体分子の数を増加させることができるため、ロータ翼２１の冷却効率を向上させることができる。
なお、このトラップは、複数段備えられているロータ部２４の軸方向の壁面のいずれの段に形成することができ、このトラップを複数の任意の段に形成しても、また、全ての段に形成してもよい。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、トラップ実施例１〜１０で説明したトラップを分子ポンプ１に形成することにより、気体分子の熱伝導によるロータ翼２１の放熱効率を向上させることができるため、ロータ翼２１の温度上昇を抑制することができる。
図３のトラップの配置箇所を示した図には、トラップ実施例１〜１０の全てのトラップが設けられているように記載されているが、気体分子の熱伝導によるロータ翼２１の放熱効率を向上させるために、トラップ実施例１〜１０に示したトラップの全てを用いるようにしても、いずれか１つのトラップのみを用いるようにしても、また、複数のトラップを組み合わせて用いるようにしてもよい。
【００４９】
例えば、分子ポンプにおいて、トラップ実施例１で示したフィン５１をステータブレード３２の表面に形成するトラップのみを採用するようにしてもよいし、また、トラップ実施例１で示したフィン５１をステータブレード３２の表面に形成するトラップと、トラップ実施例３で示したフィン５５をステータリム部３１の表面に形成するトラップとを組み合わせて採用するようにしてもよい。
また、上述したトラップとして形成されるフィンの形状は、概ね高さ２ｍｍ〜１０ｍｍ、厚み０．３ｍｍ〜０．５ｍｍとし、分子ポンプ１における排気作用を妨げないような範囲で調整することが可能であるとする。
【００５０】
本実施の形態では、複合翼タイプの分子ポンプを例に示しているが、例えば、ターボ分子ポンプ部、および、ねじ溝ポンプ部のいずれかを備えた分子ポンプであってもよい。
このようなターボ分子ポンプ部、および、ねじ溝ポンプ部のいずれかを備えた分子ポンプにおいても、本実施の形態で示したトラップ実施例１〜１０を該当する部分に設けることができる。
なお、この場合においても、気体分子の熱伝導によるロータ翼２１の放熱効率を向上させるために、トラップ実施例１〜１０に示したトラップの全てを用いるようにしても、いずれか１つのトラップのみを用いるようにしても、また、複数のトラップを組み合わせて用いるようにしてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明によれば、気体の流路の回転部材と対向する領域に、板状部材を形成することにより、気体分子がこの気体の流路の回転部材と対向する領域と接触する頻度が高まり、気体分子の熱伝導による回転部材の冷却効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る分子ポンプの軸線方向の断面図を示した図である。
【図２】ロータ翼およびステータ翼のブレードの側断面図である。
【図３】本実施の形態に係る分子ポンプにおける気体分子吸着のためのトラップの配置箇所を示した図である。
【図４】ステータブレードの表面にフィンを形成したステータ翼を示した図である。
【図５】ステータブレードの表面にメッシュ構造を形成したステータ翼を示した図である。
【図６】ステータブレード間に円筒状の壁を形成したステータ翼を示した図である。
【図７】円環状部材部の表面にフィンを形成したステータ翼を示した図である。
【図８】内側の側面部の表面にフィンを形成したスぺーサを示した図である。
【図９】ロータブレードの表面フィンを形成したロータ翼を示した図である。
【図１０】メッシュ構造を形成したステータ翼の構造を示した図である。
【符号の説明】
１分子ポンプ
５ねじ溝スペーサ
６吸気口
７らせん溝
８磁気軸受部
９変位センサ
１０モータ部
１１シャフト
１２磁気軸受部
１３変位センサ
１６ケーシング
１７変位センサ
１８ステータコラム
１９排気口
２０磁気軸受部
２１ロータ翼
２２ステータ翼
２３スペーサ
２４ロータ部
２５ボルト
２７ベース
２９円筒部材
３０ロータブレード
３１ステータリム部
３２ステータブレード
３３ロータリム部
４９カラー[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a molecular pump used for exhausting a semiconductor manufacturing device, a liquid crystal manufacturing device, an electron microscope, and the like.
[0002]
[Prior art]
With the recent development of electronics, demand for semiconductors such as memories and integrated circuits has been rapidly increasing.
2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing apparatus, a semiconductor is manufactured by doping an extremely pure semiconductor substrate with an impurity to impart electrical properties or by forming a fine circuit on the semiconductor substrate by etching.
These operations are performed in a vacuum chamber in a high vacuum state, and a molecular pump is generally used frequently to exhaust these vacuum chambers.
In this molecular pump, a turbine having a blade angle is rotated at a high speed to apply kinetic energy to gas molecules to compress the gas and discharge the sucked gas to an exhaust port.
In such a molecular pump, when the turbine is rotated at a high speed, the rotor blades forming the turbine are heated by the collision heat of gas molecules or the like, and are brought into a high temperature state.
[0003]
When high stress due to centrifugal force is applied in such a high temperature state, the rotor blades, which are usually formed of an aluminum alloy, may be deformed by creep, become unbalanced, and cause vibration of the molecular pump.
In order to suppress the rise in temperature of the rotor blades, it is possible to reduce the number of blades of the rotor blades so as to reduce heat generation due to collision of gas molecules. Depending on the gas used, the effect may be adverse.
In addition, techniques for improving the cooling efficiency of the rotor blades of the molecular pump are disclosed in the following patent documents.
[Patent Document 1]
JP-A-10-246196
Patent Literature 1 discloses a technique in which a cooling channel is formed inside a turbo molecular pump, and a cooling fluid is caused to flow through the cooling channel to cool a rotor portion.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in order to improve the cooling efficiency of the rotor blades using such a cooling fluid, it is necessary to provide a device for supplying and controlling the cooling fluid.
Therefore, an object of the present invention is to provide a molecular pump capable of improving the cooling efficiency of a rotor blade and suppressing a rise in the temperature of the rotor blade without providing an external device.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, a casing having a substantially cylindrical shape, a base provided in the casing, and having an intake port and an exhaust port formed therein, a rotor shaft included in the casing, In a molecular pump including a motor for rotating the rotor shaft and a rotating member disposed on the rotor shaft, a gas pump formed between the intake port and the exhaust port, facing the rotary member. The object is achieved by forming a first plate-shaped member in a region facing the flow path.
[0006]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the rotating member includes a rotor main body, and a plurality of stages of rotor blades provided on the rotor main body and radially provided with a plurality of rotor blades; A plurality of stator blades disposed between the rotor blades and radially provided with a plurality of stator blades, the rotor portion facing the rotor portion, the intake port and the exhaust port The object is achieved by forming the first plate-shaped member in a region facing the gas flow path formed between the first and second plates.
Here, for example, in a molecular pump having a cylindrical stator column so as to enclose a motor and a rotor body having a U-shaped cross section so as to enclose this stator column, the outer peripheral surface of the stator column is The region formed by the inner peripheral surface of the rotor main body may be a gas flow path formed between the intake port and the exhaust port.
[0007]
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the above object is achieved by forming the first plate-like member on at least a part of the stage of the stator blade.
It is preferable that the first plate-shaped member is formed, for example, such that a flat surface on one side faces the rotor shaft.
In this case, it is preferable that the first plate-shaped member is formed such that, for example, a surface projected on the intake port side is smaller than a surface projected on the rotor shaft.
[0008]
According to a fourth aspect of the present invention, in the second or third aspect of the present invention, the first plate-shaped member is formed on at least a part of a step of the annular member provided with the stator blade. Achieves the above object.
The first plate-shaped member is formed, for example, on an outer peripheral side surface or a flat surface of an annular member.
Further, it is preferable that the first plate-shaped member is formed, for example, along the gas exhaust direction.
It is preferable that the first plate-shaped member is formed, for example, along a radial direction in a plane portion of the annular member. .
[0009]
According to a fifth aspect of the present invention, in the second, third or fourth aspect of the present invention, the first plate-like member is formed of a cylindrical spacer arranged between the adjacent stator blades. The above object is achieved by forming in at least some of the steps in the region.
The first plate-shaped member is formed, for example, on the inner peripheral side surface of a cylindrical spacer.
Further, it is preferable that the first plate-shaped member is formed, for example, in a direction along a gas exhaust direction.
[0010]
According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a thread groove is formed on the exhaust port side of the rotor portion and the stator blade. The above object is achieved by providing a thread groove pump mechanism having a spacer, and forming the first plate-shaped member in the region of the thread groove spacer.
The first plate-shaped member is formed, for example, on the surface of a thread groove formed on the thread groove spacer or on the end face of the thread groove spacer on the suction port side.
[0011]
In the invention described in claim 7, in the invention described in any one of claims 2 to 6, the first plate-shaped member is connected to the stator blade adjacent to at least a part of stages of the stator blade. The object is achieved by forming a mesh between the stator blades.
Instead of forming the first plate-like member in a mesh shape between the adjacent stator blades, for example, a mesh-like metal member may be formed between the adjacent stator blades in at least some of the stages of the stator blade. It may be formed.
In addition, instead of forming the first plate-like member in a mesh shape between the adjacent stator blades, for example, a rotor axial direction may be provided between adjacent stator blades in at least some stages of the stator blades. A thick cylindrical member may be formed in the circumferential direction.
[0012]
In the invention according to claim 8, a casing having a substantially cylindrical shape, a base provided in the casing, and having an intake port and an exhaust port formed therein, a rotor shaft included in the casing, A motor configured to rotate the rotor shaft, a rotor body disposed on the rotor shaft, and a rotor unit disposed on the rotor body and including a plurality of stages of rotor blades provided with a plurality of radially arranged rotor blades; A plurality of stator blades disposed between the rotor blades and radially provided with a plurality of stator blades, wherein a second plate-shaped member is formed on the rotor body. Achieve the goal.
Here, the second plate-shaped member is formed, for example, on at least a part of a step of an annular member provided with a rotor blade and provided with a rotor blade.
The second plate-shaped member is formed, for example, on an outer peripheral side surface or a flat surface of an annular member provided with a rotor blade.
Further, it is preferable that the second plate-shaped member is formed, for example, along the gas exhaust direction.
It is preferable that the second plate-shaped member is formed, for example, along a radial direction in a plane portion of the annular member. .
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the molecular pump according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional view in the axial direction of a molecular pump 1 according to the present embodiment.
In the present embodiment, as an example of a molecular pump, a so-called compound vane type molecular pump including a turbo molecular pump section and a screw groove type pump section will be described as an example.
The casing 16 forming the exterior body of the molecular pump 1 has a substantially cylindrical shape, and forms a casing of the molecular pump 1 together with a disk-shaped base 27 provided at the bottom of the casing 16. A structure that causes the molecular pump 1 to perform an exhaust function is housed inside the casing 16.
These structures exhibiting the exhaust function are roughly composed of a rotor portion 24 rotatably supported on a shaft and a stator portion fixed to the casing 16. In addition, when viewed from the type of pump, the intake port 6 side is configured by a turbo molecular pump section, and the exhaust port 19 side is configured by a thread groove type pump section.
[0014]
The rotor section 24 is a rotating member disposed on the shaft 11 rotated by a motor, and includes a rotor blade 21 provided on the intake port 6 side (turbo molecular pump section) and an exhaust port 19 side (thread groove pump). ), The shaft member 11 and the like. The rotor blade 21 includes a rotor blade 30 that is inclined from a plane perpendicular to the axis of the shaft 11 by a predetermined angle and radially extends from the shaft 11, and a rotor rim portion 33 that is an annular member formed in a flange shape. In the turbo molecular pump section, the rotor blades 21 are formed in a plurality of stages in the axial direction.
The cylindrical member 29 is a member whose outer peripheral surface has a cylindrical shape, and constitutes the rotor section 24 of the thread groove type pump section.
The shaft 11 is a cylindrical member constituting a rotor shaft, that is, a shaft of the rotor portion 24, and a member including a rotor blade 21 and a cylindrical member 29 is screwed to an upper end portion thereof with a bolt 25.
[0015]
A permanent magnet is fixed to the outer peripheral surface in the middle of the shaft 11 in the axial direction, and forms a rotor of the motor unit 10. The magnetic pole formed by the permanent magnet on the outer periphery of the shaft 11 has an N pole over a half circumference of the outer peripheral surface and an S pole over the other half circumference.
Further, on the intake port 6 side and the exhaust port 19 side of the motor section 10 of the shaft 11, portions of the magnetic bearing sections 8, 12 for supporting the shaft 11 in the radial direction on the rotor section 24 side are formed. At the lower end of the shaft 11, a portion of the magnetic bearing portion 20 that supports the shaft 11 in the axial direction (thrust direction) on the rotor portion 24 side is formed.
[0016]
The rotor-side portions of the displacement sensors 9 and 13 are formed in the vicinity of the magnetic bearing portions 8 and 12, respectively, so that the displacement of the shaft 11 in the radial direction can be detected. Further, a rotor-side portion of the displacement sensor 17 is formed at the lower end of the shaft 11 so that the displacement of the shaft 11 in the axial direction can be detected.
The rotor-side portions of the magnetic bearing portions 8 and 12 and the displacement sensors 9 and 13 are made of laminated steel plates in which steel plates are laminated in the rotation axis direction of the rotor portion 24. This is to prevent an eddy current from being generated in the shaft 11 by a magnetic field generated by the coils constituting the stator-side portions of the magnetic bearing portions 8 and 12 and the displacement sensors 9 and 13.
The rotor unit 24 described above is configured using a metal such as stainless steel or an aluminum alloy.
[0017]
A stator portion is formed on the inner peripheral side of the casing 16. The stator section includes a stator blade 22 provided on the intake port 6 side (turbo molecular pump section) and a thread groove spacer 5 provided on the exhaust port 19 side (thread groove pump).
The stator blades 22 include a stator blade 32 which is inclined at a predetermined angle from a plane perpendicular to the axis of the shaft 11 and extends from the inner peripheral surface of the casing 16 toward the shaft 11, and a flange-shaped supporting blade for supporting the stator blade 32. And a stator rim portion 31 that is an annular member. In the turbo molecular pump portion, the stator blades 22 are formed in a plurality of stages alternately with the rotor blades 21 in the axial direction.
The stator blades 22 of each stage are separated from each other by a spacer 23 having a cylindrical shape.
[0018]
In the present embodiment, the stator rim portion 31 is provided on the inner peripheral side of the stator blade 32. However, the stator rim portion 31 may be provided on the outer peripheral side of the stator blade 32. Further, it may be provided on both the inner peripheral side and the outer peripheral side of the stator blade 32.
When the stator rim portion 31 is provided only on the inner peripheral side of the stator blade 32, the stator blades are fixed by sandwiching the stator blade 32 with the spacer 23.
When the stator rim portion 31 is provided on the outer peripheral side of the stator blade 32, the stator blade is fixed by sandwiching the stator rim portion 31 between the spacers 23.
[0019]
The thread groove spacer 5 is a cylindrical member having a spiral groove 7 formed on the inner peripheral surface. The inner peripheral surface of the thread groove spacer faces the outer peripheral surface of the cylindrical member 29 with a predetermined clearance (gap) therebetween. The direction of the spiral groove 7 formed in the thread groove spacer 5 is a direction toward the exhaust port 19 when gas is transported in the spiral groove 7 in the rotation direction of the rotor unit 24.
The depth of the spiral groove 7 becomes shallower as approaching the exhaust port 19, and the gas transported in the spiral groove 7 is compressed as approaching the exhaust port 19.
These stator portions are formed using a metal such as stainless steel or an aluminum alloy.
[0020]
The base 27 is a member having a disc shape, and a stator column 18 having a cylindrical shape concentric with the rotation axis of the rotor is attached to the intake port 6 at the center in the radial direction.
The stator column 18 supports portions of the motor unit 10, the magnetic bearing units 8 and 12, and the displacement sensors 9 and 13 on the stator side (fixed side).
In the motor unit 10, stator coils having a predetermined number of poles are arranged at equal intervals on the inner peripheral side of the stator coil, so that a rotating magnetic field can be generated around magnetic poles formed on the shaft 11. A collar 49, which is a cylindrical member made of metal such as stainless steel, is provided on the outer periphery of the stator coil, and protects the motor unit 10.
[0021]
The magnetic bearings 8, 12 are composed of coils arranged at every 90 degrees around the rotation axis. The magnetic bearings 8 and 12 attract the shaft 11 with a magnetic field generated by these coils, thereby magnetically levitating the shaft 11 in the radial direction.
At the bottom of the stator column 18, a magnetic bearing portion 20 is formed. The magnetic bearing portion 20 includes a disk projecting from the shaft 11 and coils disposed above and below the disk. The magnetic field generated by these coils attracts the disc, causing the shaft 11 to magnetically levitate in the axial direction.
[0022]
The molecular pump 1 configured as described above operates as follows and discharges gas.
First, the magnetic bearing portions 8, 12, and 20 magnetically levitate the shaft 11, thereby supporting the rotor portion 24 in a space in a non-contact manner.
Next, the motor unit 10 is operated to rotate the shaft 11, thereby rotating the rotor in a predetermined direction. The rotation speed is, for example, about 30,000 rotations per minute. In the present embodiment, the rotation direction of the rotor section 24 is clockwise as viewed in the gas suction direction in FIG. The molecular pump 1 can be configured to rotate in the counterclockwise direction.
When the rotor section 24 rotates, the gas is sucked from the intake port 6 by the action of the rotor blades 21 and the stator blades 22, and the gas is compressed toward the lower stage.
The gas compressed by the turbo molecular pump section is further compressed by the screw groove pump section and discharged from the exhaust port 19.
[0023]
By the way, while the exhaust operation of the molecular pump 1 is performed, the rotor blades 21 are heated by the collision heat of the gas molecules or the like, and are brought to a high temperature state.
The method of cooling the rotor blades 21 in such a high temperature state includes a method by radiation, a method by conduction, and a method by heat conduction through gas. However, since the rotor blades 21 of the molecular pump 1 are formed of an aluminum alloy having a low thermal emissivity, the effect of cooling the rotor blades by radiation is low.
[0024]
Further, in the molecular pump 1 using the magnetic bearing as in the present embodiment, since the rotor blades 21 are supported in a non-contact manner, it is difficult to cool the rotor blades 21 by conduction. Even when a rolling bearing is used, only the bearing part is in contact, and the cooling effect of the rotor blades 21 due to conduction from this contact part is low.
Accordingly, the cooling efficiency of the rotor blades 21 is governed by the heat conduction through the gas, not to mention when the exhaust flow rate of the gas is large.
In particular, when exhausting a rare gas such as Ar (argon), Ne (neon), Xe (xenon), or Kr (krypton) having a low thermal conductivity, the rotor blades 21 are likely to be heated. The cooling efficiency of the rotor blades 21 must be further improved.
[0025]
Here, the mechanism of heat radiation of the rotor blades 21 in the molecular pump 1 will be described.
FIG. 2 is a side sectional view of the rotor blade 30 and the stator blade 32. FIG. 2 focuses on one stage of the rotor blades 21 and the stator blades 22 provided in a plurality of stages.
The rotor blade 30 is heated by the collision heat of gas molecules or the like, and is in a high temperature state exceeding 150 ° C. In the molecular pump 1, the heat of the rotor blade 30 in this high temperature state is transmitted by a gas to be exhausted, specifically, gas molecules of the gas. The principle is as follows.
[0026]
The gas molecules that have collided with the rotor blade 30 in a high temperature state absorb the heat of the rotor blade 30 from the contact surface with the rotor blade 30 (heat absorption).
The gas molecules that have absorbed the heat of the rotor blade 30 are sent out toward the stator blade 22 provided below the rotor blade 21 by the deflection angle of the rotor blade 30 and the rotating action of the rotor blade 21.
Then, when the gas molecules collide with the stator blade 32 held at a low temperature of about 70 ° C. by the action of the outside air or an air cooling unit externally attached to the molecular pump 1, the gas molecules generate heat from the contact surface with the stator blade 32. Release to the stator blade 32 (heat dissipation).
[0027]
The gas molecules that collide with and diffuse on the surface of the rotor blade 30 have a thermal momentum corresponding to the temperature of the surface. That is, when the surface temperature of the rotor blade 30 is higher than the surface temperature of the stator blade 32, heat is taken from the rotor blade 30 and released to the stator blade 32.
That is, the gas molecules that have absorbed heat by colliding with the rotor blades 21 are in a low temperature state by the action of the outside air or an air cooling unit externally attached to the molecular pump 1, the thread groove spacer 5, the stator column 18, and the like. It is difficult to dissipate the heat unless it collides with the spacer 23, the base 27, and the like.
[0028]
Therefore, in a case where the gas molecules that have absorbed heat by colliding with the rotor blade 21 do not collide with a low-temperature state portion such as the stator blade 22 and collide again with the rotor blade 21, the rotor blade 21 Since the heating is performed by the gas molecules, the heat radiation action of the rotor blades 21 by the gas molecules as described above is hindered.
In this embodiment, in order to reduce the number of gas molecules that collide again with the rotor blades 21 without colliding with a low-temperature portion such as the stator blades 22, the outside air or the molecular pump is used. A trap for adsorbing gas molecules is provided in a portion such as the stator blade 22, the thread groove spacer 5, the stator column 18, the spacer 23, etc., which is in a low temperature state by the action of an air cooling unit or the like externally attached to 1. I have to.
[0029]
FIG. 3 is a diagram showing a location of a trap for adsorbing gas molecules in the molecular pump according to the present embodiment.
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the trap is provided in a region downstream of the rotor blade 21 provided at the uppermost stage, facing the rotor portion and facing the gas flow path.
An embodiment of a trap for adsorbing gas molecules will be described below.
(Trap Example 1)
As a trap for adsorbing gas molecules, a fin 51 which is a plate-like member projecting toward a gas flow path as shown in FIG. 4 is formed on the surface of the stator blade 32 as shown in part A of FIG. I do.
By forming such fins 51 and increasing the surface area of the stator blades 22, the number of gas molecules colliding with the stator blades 22 can be increased, so that the frequency of gas molecules radiated by the stator blades 22 increases. Thus, the cooling efficiency of the rotor blades 21 can be improved.
[0030]
Specifically, as shown in FIG. 4, fins 51 a formed on the surface of the stator blade 32 on the intake port 6 side are formed on the surface of the stator blade 32 constituting the stator blade 22 having the joint portion 61 a and the joint portion 61 b. Fin 51c formed on the exhaust port side surface of stator blade 32, and fin 51b and fin 51d formed on both side surfaces of stator blade 32, in the longitudinal direction of stator blade 32. (For example, in a direction perpendicular to the radial direction).
The fins 51 can be formed so as to face in the width direction of the stator blade 32. However, if the fins 51 are formed in this direction, gas molecules that have collided with the fins 51 will cause the rotor blades on the intake port 6 side to rotate. It is not preferable because the rate of backflow of gas molecules rebounding in the 21 direction may increase.
[0031]
Furthermore, in order to suppress the rate at which the backflow of gas molecules occurs, the area of the surface A facing the rotor blade 21 on the intake port 6 side of the surface forming the fins 51 is smaller than the surface B intersecting the stator blade 32. To do it.
By making the area of the surface A smaller than the area of the surface B, the number of gas molecules colliding with the surface A can be made smaller than the number of gas molecules colliding with the surface B. The ratio of gas molecules flowing backward in the direction of the intake port 6 among the molecules can be suppressed.
Note that this trap can be formed on any one of the stator blades 22 provided in a plurality of stages. Even if this trap is formed on a plurality of arbitrary stages, It may be formed.
[0032]
Further, the fin 51 formed on the stator blade 32 will be described. The fin 51 has an area of a surface projected on the intake port 6 side, that is, the rotor blade 21 side, from a surface projected on the shaft 11 of the fin 51. Is preferably formed so as to be smaller.
For this purpose, the fin 51 is formed so that the angle between the longitudinal center line α of the stator blade 32 and the joint β between the fin 51 and the stator blade 32 shown in FIG. preferable.
If the angle formed by the fin 51 and the joint β between the stator blades 32 is not 90 °, the acute angle θ out of the angles formed by the center line α and the joint β becomes 90 ° without limit. The fins 51 are preferably formed so as to be close to each other, but the angle θ may be an angle larger than 45 °, and may be, for example, 50 °, 60 °, 70 °, or 80 °.
By arranging the fins 51 so that the angle θ is formed as described above, it is possible to suppress the ratio of gas molecules that flow back toward the intake port 6 among gas molecules that collide with the fins 51.
[0033]
(Trap Example 2)
As a method of increasing the surface area of the stator blades 22, in addition to forming the fins 51 on the surface of the stator blade 32, a mesh structure 52 as shown in FIG. 5 may be formed, or as shown in FIG. The cylindrical member 54 may be formed in any circumferential direction.
The mesh structure 54 is formed by forming a mesh-like metal member (for example, aluminum alloy or copper) thinner than the blade of the stator blade 22 in a space formed between adjacent blades in the stator blade 22. It is. This mesh structure 52 is formed directly on the blade of the stator blade 22.
Further, the mesh structure 52 may be formed by forming a plate-shaped metal member into a mesh shape so as to have a width in the axial direction.
By forming such a mesh structure 52 or cylindrical member 54 to increase the surface area of the stator blade 22, the number of gas molecules colliding with the stator blade 22 can be increased. The frequency of gas molecules increases, and the cooling efficiency of the rotor blades 21 can be improved.
[0034]
Also in this mesh structure 52, similarly to the trap embodiment 1, in order to suppress the rate at which the backflow of the gas molecules occurs, of the surfaces forming the mesh structure 52, the C facing the rotor blade 21 on the intake port 6 side. The area of the surface is set to be smaller than a surface (for example, the D surface) that does not face the backflow of the gas molecules that does not face the rotor blade 21 on the intake port 6 side.
By making the area of the C plane smaller than the area of the plane that does not affect the backflow of gas molecules (for example, the D plane), the number of gas molecules that collide with the C plane can be reduced to the plane that does not affect the backflow of the gas molecules (for example, the D plane). Since the number of gas molecules that collide with the mesh structure 52 can be reduced, the ratio of gas molecules that flow back toward the intake port 6 among the gas molecules that collide with the mesh structure 52 can be suppressed.
[0035]
Also, in the cylindrical member 54, in order to suppress the rate at which the backflow of the gas molecules occurs, the area of the E surface of the surface forming the cylindrical member 54 that faces the rotor blade 21 on the intake port 6 side is set to: The size is set to be smaller than the F-plane which does not affect the backflow of gas molecules not facing the direction of the rotor blade 21 on the intake port 6 side.
By making the area of the E plane smaller than the area of the F plane that does not affect the backflow of gas molecules, the number of gas molecules that collide with the E plane is smaller than the number of gas molecules that collide with F that does not affect the backflow of gas molecules. Since it can be reduced, the ratio of gas molecules that flow back in the direction of the intake port 6 among gas molecules that collide with the cylindrical member 54 can be suppressed.
[0036]
As shown in FIG. 10, the mesh structure 52 divides the stator blade 22 into a stator blade 22a and a stator blade b, and has a mesh-like mesh formed in an annular disc shape having a joint 62a and a joint 62b therebetween. May be formed so that the stator rim portion 31a of the stator blade 22a and the stator rim portion 31b of the stator blade b are joined and sandwiched.
Note that this trap can be formed on any one of the stator blades 22 provided in a plurality of stages. Even if this trap is formed on a plurality of arbitrary stages, It may be formed.
[0037]
(Trap Example 3)
As a trap for adsorbing gas molecules, a gas flow path as shown in FIG. 7 is formed on a surface on the intake port 6 side of a flange-shaped surface of the stator rim portion 31 shown in a part B of FIG. The fins 55, which are plate-like members projecting toward, are formed radially (radially).
Further, plate-like fins projecting toward the gas flow path on the surface of the side surface portion 34 of the stator rim portion 31 shown in FIG. 7 are formed in a direction (for example, an axial direction) along the gas exhaust direction. May be.
By forming such fins 55 on the stator rim portion 31 to increase the surface area of the stator blades 22, it is possible to increase the number of gas molecules colliding with the stator blades 22, similarly to the first embodiment. The frequency of gas molecules radiated by the blades 22 increases, and the cooling efficiency of the rotor blades 21 can be improved.
This trap can be formed on any of the stator blades of the stator blades 22 provided in a plurality of stages. Even if this trap is formed on a plurality of arbitrary stages, it can be formed on all stages. May be.
[0038]
(Trap Example 4)
As a trap for adsorbing gas molecules, a region shown in a part C of FIG. 3 that forms a gas flow path inside the spacer 23 projects toward a gas flow path as shown in FIG. Fins 56 are formed in the axial direction.
By forming such fins 56 on the inner side surface of the spacer 23 to increase the surface area of the spacer 23, the number of gas molecules that collide with the spacer 23 can be increased. The frequency of gas molecules radiated by the spacer 23 increases, and the cooling efficiency of the rotor blades 21 can be improved.
[0039]
Also, in the fins 56, the area of the G surface facing the rotor blades 21 on the intake port 6 side of the surfaces forming the fins 56 is reduced in order to suppress the rate at which the backflow of gas molecules occurs. Is smaller than a surface (for example, H surface) that does not affect the backflow of gas molecules that does not face the direction of the rotor blade 21.
By making the area of the G plane smaller than the area of the plane that does not affect the backflow of gas molecules (for example, the H plane), the number of gas molecules colliding with the E plane can be reduced to the plane that does not affect the backflow of the gas molecules (for example, the H plane). Since the number of gas molecules that collide with the fins 56 can be reduced, the ratio of gas molecules that flow back toward the intake port 6 among the gas molecules that collide with the fins 56 can be suppressed.
Note that this trap can be formed on any one of the spacers 23 of the spacers 23 provided in a plurality of stages, and even if this trap is formed on a plurality of arbitrary stages, It may be formed in steps.
[0040]
(Trap Example 5)
As a trap for adsorbing gas molecules, plate-like fins projecting toward the gas flow path on the surface of the end portion of the thread groove spacer 5 on the side of the intake port 6 shown in part D in FIG. ).
The fins formed on the thread groove spacer 5 are formed by a plurality of blade-like members similar to the fins 55 (shown in FIG. 7) formed on the surface of the stator rim portion 31 shown in the third embodiment.
By forming such fins in the screw groove spacer 5 and increasing the surface area of the screw groove spacer 5, the number of gas molecules colliding with the screw groove spacer 5 can be increased. The frequency of the generated gas molecules increases, and the temperature of the gas molecules colliding with the cylindrical member 29 of the rotor section 24 can be reduced. Since the temperature rise of the cylindrical member 29 can be suppressed, the cooling efficiency of the rotor blades 21 integrally formed with the cylindrical member 29 can be improved.
[0041]
(Trap Example 6)
As a trap for adsorbing gas molecules, plate-like fins projecting toward the rotor blades 21 on the outer surface of the stator column 18 and formed in the portion E in FIG. 3 are formed in the axial direction.
The fins formed on the stator column 18 are a plurality of blade-like members similar to the fins 56 (shown in FIG. 8) formed on the surface of the side surface inside the spacer 23 shown in the trap embodiment 4. Is formed toward the outside (gas flow path side).
By forming such fins on the stator column 18 and increasing the surface area of the stator column 18, the number of gas molecules colliding with the stator column 18 can be increased. The frequency increases, and the temperature of gas molecules colliding with the cylindrical member 29 of the rotor section 24 can be reduced. Since the temperature rise of the cylindrical member 29 can be suppressed, the cooling efficiency of the rotor blades 21 integrally formed with the cylindrical member 29 can be improved.
[0042]
(Trap Example 7)
As a trap for adsorbing gas molecules, plate-like fins that protrude from the surface of the gas flow path surface of the base 27 shown in F in FIG. 3 are formed radially (radially).
The fins formed on the base 27 are formed by a plurality of blade-like members similar to the fins 55 (shown in FIG. 7) formed on the surface of the stator rim portion 31 shown in the third embodiment.
By forming such fins on the base 27 and increasing the surface area of the end of the base 27 on the side of the intake port 6, the number of gas molecules colliding with the base 27 can be increased. The frequency of the gas molecules increases, and the temperature of the gas molecules colliding with the cylindrical member 29 of the rotor section 24 can be reduced. Since the temperature rise of the cylindrical member 29 can be suppressed, the cooling efficiency of the rotor blades 21 integrally formed with the cylindrical member 29 can be improved.
[0043]
(Trap Example 8)
Further, as a trap for adsorbing gas molecules, fins that protrude radially (radially) on the surface of the gas flow path surface of the spiral groove 7 on the inner peripheral surface of the thread groove spacer 5 shown in part G of FIG. It may be formed.
By forming such fins in the spiral groove 7 and increasing the surface area of the thread groove spacer 5, the number of gas molecules colliding with the thread groove spacer 5 can be increased. The frequency of the gas molecules increases, and the temperature of the gas molecules colliding with the cylindrical member 29 of the rotor section 24 can be reduced. Since the temperature rise of the cylindrical member 29 can be suppressed, the cooling efficiency of the rotor blades 21 integrally formed with the cylindrical member 29 can be improved.
[0044]
In the trapping examples 1 to 8 described above, the low temperature state is caused by the action of the outside air such as the stator blade 22, the screw groove spacer 5, the stator column 18, the spacer 23, and the base 27 and the air cooling unit externally attached to the molecular pump 1. By increasing the surface area by providing a trap in a portion kept at a low temperature, the number of gas molecules that collide again with the rotor blades 21 without colliding with these low temperature portions is reduced, and A method for improving cooling efficiency has been described.
As another method for improving the cooling efficiency of the rotor blades 21, a trap is provided on the rotor blades 21 in a high temperature state to increase the surface area, and the number of gas molecules that collide with the rotor blades 21 and absorb heat is increased. Hereinafter, a method for improving the cooling efficiency of the rotor blade 21 will be described.
[0045]
(Trap Example 9)
As a trap for adsorbing gas molecules, a surface of the rotor rim portion 33 of the rotor blade 21 on the side of the intake port 6 shown in FIG. Fins 57, which are plate-like members projecting toward the gas flow path, are formed radially (radially).
Further, plate-like fins projecting toward the gas flow path on the surface of the side surface portion 35 of the rotor rim portion 33 shown in FIG. 9 are formed in the direction (for example, the axial direction) along the gas exhaust direction. May be.
By forming such fins 57 and increasing the surface area of the rotor blade 21, the number of gas molecules that collide with the rotor blade 21 and absorb heat can be increased, so that the cooling efficiency of the rotor blade 21 is improved. Can be done.
Note that this trap can be formed in any one of the rotor blades 21 provided in a plurality of stages. Even if this trap is formed in a plurality of arbitrary stages, It may be formed.
[0046]
(Trap Example 10)
As a trap for adsorbing gas molecules, the rotor blades 21 are formed on the wall of the rotor unit 24 formed between the adjacent rotor blades 21, as shown in part I of FIG. The protruding plate-like fin is formed in the axial direction.
The fins formed on the rotor portion 24 are a plurality of blade-like members similar to the fins (shown in FIG. 8) formed on the surface of the inner side surface of the spacer 23 shown in the fourth embodiment. It is formed toward the outside (gas flow path side).
[0047]
By forming such fins to increase the surface area of the rotor section 24, the number of gas molecules that collide with the rotor section 24 and absorb heat can be increased, and thus the cooling efficiency of the rotor blades 21 is improved. be able to.
Note that this trap can be formed at any of the axial wall surfaces of the rotor section 24 provided with a plurality of stages. Even if this trap is formed at any of a plurality of arbitrary stages, May be formed.
[0048]
As described above, according to the present embodiment, by forming the trap described in the trap examples 1 to 10 in the molecular pump 1, it is possible to improve the heat radiation efficiency of the rotor blade 21 due to the heat conduction of the gas molecules. Therefore, a rise in the temperature of the rotor blades 21 can be suppressed.
Although FIG. 3 shows the arrangement of the traps, it is described that all the traps of the trap examples 1 to 10 are provided. However, the radiation efficiency of the rotor blades 21 due to the heat conduction of the gas molecules is reduced. In order to improve the performance, all of the traps shown in the trap examples 1 to 10 may be used, only one of the traps may be used, or a plurality of traps may be used in combination. Good.
[0049]
For example, in the molecular pump, only the trap in which the fin 51 shown in the trap embodiment 1 is formed on the surface of the stator blade 32 may be employed, or the fin 51 shown in the trap embodiment 1 may be replaced with the stator blade. The trap formed on the surface of the stator rim portion 31 may be employed in combination with the trap formed on the surface of the stator rim portion 31.
In addition, the shape of the fin formed as the above-described trap is approximately 2 mm to 10 mm in height and 0.3 mm to 0.5 mm in thickness, and can be adjusted in a range that does not hinder the evacuation action in the molecular pump 1. Suppose there is.
[0050]
In the present embodiment, the compound pump of the composite wing type is shown as an example. However, for example, a molecular pump provided with either a turbo molecular pump unit or a thread groove pump unit may be used.
The trap examples 1 to 10 shown in the present embodiment can also be provided in the corresponding portions in a molecular pump including any of such a turbo molecular pump section and a thread groove pump section.
Even in this case, even if all of the traps shown in the trap examples 1 to 10 are used in order to improve the heat radiation efficiency of the rotor blades 21 due to the heat conduction of the gas molecules, only one of the traps is used. Or a plurality of traps may be used in combination.
[0051]
【The invention's effect】
According to the present invention, by forming a plate-shaped member in the region of the gas flow path facing the rotating member, the frequency of contact of the gas molecules with the region of the gas flow path facing the rotating member increases, The cooling efficiency of the rotating member due to the heat conduction of the gas molecules can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a sectional view in the axial direction of a molecular pump according to the present embodiment.
FIG. 2 is a side sectional view of a rotor blade and a stator blade.
FIG. 3 is a diagram showing an arrangement position of a trap for adsorbing gas molecules in the molecular pump according to the present embodiment.
FIG. 4 is a diagram showing a stator blade having fins formed on the surface of the stator blade.
FIG. 5 is a diagram showing a stator blade having a mesh structure formed on the surface of the stator blade.
FIG. 6 is a view showing a stator blade having a cylindrical wall formed between stator blades.
FIG. 7 is a view showing a stator blade having a fin formed on a surface of an annular member.
FIG. 8 is a view showing a spacer in which fins are formed on the surface of the inner side surface portion.
FIG. 9 is a diagram showing a rotor blade having a surface fin of the rotor blade formed thereon.
FIG. 10 is a diagram showing a structure of a stator blade having a mesh structure.
[Explanation of symbols]
1 molecular pump
5 Screw groove spacer
6 Inlet
7 Spiral groove
8 Magnetic bearing
9 Displacement sensor
10 Motor section
11 shaft
12 Magnetic bearing
13 Displacement sensor
16 Casing
17 Displacement sensor
18 Stator column
19 Exhaust port
20 Magnetic bearing
21 Rotor blade
22 Stator blade
23 Spacer
24 Rotor part
25 volts
27 base
29 cylindrical member
30 Rotor blade
31 Stator rim
32 Stator blade
33 Rotor rim
49 colors

Claims

A substantially cylindrical casing, and a housing formed of a base provided in the casing, and having an intake port and an exhaust port formed therein,
A rotor shaft included in the housing,
A motor for rotating the rotor shaft,
A rotating member disposed on the rotor shaft,
In the molecular pump provided with
A molecular pump, wherein a first plate-shaped member is formed in a region facing the rotating member and facing a gas flow path formed between the intake port and the exhaust port.

The rotating member is a rotor unit having a rotor main body, a plurality of rotor blades provided on the rotor main body and provided with a plurality of radially arranged rotor blades,
A plurality of stator blades arranged between the rotor blades and radially provided with a plurality of stator blades,
2. The molecular pump according to claim 1, wherein the first plate-shaped member is formed in the area facing the rotor. 3.

3. The molecular pump according to claim 2, wherein the first plate-shaped member is formed on at least a part of a stage of the stator blade. 4.

The stator blade is disposed on an annular member,
The molecular pump according to claim 2, wherein the first plate-shaped member is formed on at least a part of the step of the annular member. 5.

A cylindrical spacer arranged between the adjacent stator blades,
5. The molecular pump according to claim 2, wherein the first plate-shaped member is formed in the region in at least a part of a step of the spacer. 6.

On the exhaust port side of the rotor portion and the stator blades, a screw groove pump mechanism having a screw groove spacer formed with a screw groove,
The molecular pump according to any one of claims 2 to 5, wherein the first plate-shaped member is formed in the region of the thread groove spacer.

7. The method according to claim 2, wherein the first plate-shaped member is formed in a mesh shape between adjacent ones of the stator blades in at least some stages of the stator blade. 8. The molecular pump according to claim 1.

A substantially cylindrical casing, and a housing formed of a base provided in the casing, and having an intake port and an exhaust port formed therein,
A rotor shaft included in the housing,
A motor for rotating the rotor shaft,
A rotor body disposed on the rotor shaft, and a rotor portion including a plurality of rotor blades disposed on the rotor body and radially provided with a plurality of rotor blades;
A plurality of stator blades arranged between the rotor blades and radially provided with a plurality of stator blades,
In the molecular pump provided with
A molecular pump, wherein a second plate-shaped member is formed on the rotor body.