JP2004268507A - Inkjet printer head - Google Patents

Inkjet printer head Download PDF

Info

Publication number
JP2004268507A
JP2004268507A JP2003065100A JP2003065100A JP2004268507A JP 2004268507 A JP2004268507 A JP 2004268507A JP 2003065100 A JP2003065100 A JP 2003065100A JP 2003065100 A JP2003065100 A JP 2003065100A JP 2004268507 A JP2004268507 A JP 2004268507A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
electrode
sheet
individual
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003065100A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4041976B2 (en
Inventor
Jun Isono
純 磯野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP2003065100A priority Critical patent/JP4041976B2/en
Priority to US10/777,625 priority patent/US7073894B2/en
Publication of JP2004268507A publication Critical patent/JP2004268507A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4041976B2 publication Critical patent/JP4041976B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make an inkjet printer head compact by adequately maintaining a distance between adjacent electrodes in a piezoelectric actuator 12. <P>SOLUTION: A discrete electrode and a common electrode are formed so that they nip a piezoelectric sheet in a laminating direction and the piezoelectric sheet between both of the electrodes opposing in the laminating direction is formed to be an activating section corresponding to each pressurizing chamber. A pattern of the common electrode 37 is longitudinally formed on one plane face of the piezoelectric sheet 34 along a direction of an axis X. Dummy discrete electrodes 38 which are electrically connected to the respective discrete electrodes in the adjacent sheets in the laminating direction via an inner conductive electrode 42 penetrating the piezoelectric sheets in the thickness direction are formed to be away from an edge 37d1 extending along the direction of the axis X in the common electrode pattern by a predetermined distance e2. The extending direction of each of the dummy discrete electrodes 38 is inclined by an angle α with respect to a line perpendicular to the edge extending in the first direction. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに係り、より詳しくは、これを駆動するための圧電アクチュエータの構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、特許文献１や特許文献２等に開示されているように、複数枚のプレートを積層して、インク流路を有するキャビティユニットが構成され、これらのプレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記各圧力室に接続する共通インク室とのしてのマニホールド室を有するマニホールドプレート等とから構成されている。圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板（圧電シート）を挟んでコモン電極と個別電極とを交互に積層して構成され、積層方向に対向する前記個別電極とコモン電極との間の圧電シートの部分である活性部が前記圧力室の上方にて平面視で重なるように、圧電アクチュエータとキャビティユニットとが接合されている。
【０００３】
そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、外部からの制御信号を伝達するためのフラットケーブル等のケーブル部材における接合端子部と圧電アクチュエータの最上層シートの表面電極とを接合させる一方、前記表面電極と個別電極またはコモン電極とを圧電アクチュエータの積層方向に延びる導通部にて接続させる必要がある。
【０００４】
また、特許文献２等に示すように、コモン電極が形成された一方の圧電シートに、積層方向に隣接する他方の圧電シートにおける各個別電極の延長端部に対応した個別ダミー電極を形成する一方、前記他方の圧電シートには、前記一方の圧電シートにおけるコモン電極の延長端部に対応したダミーコモン電極を形成し、各圧電シートにはその板厚さ方向に貫通するスルーホール内に充填した内部導通電極にて、コモン電極とダミーコモン電極とを接続し、また各個別電極とダミー個別電極とを接続することが開示されている。
【０００５】
そして、前記特許文献２では、ダミー個別電極の平面視でのパターン形状は、隣接する圧電シートにおける個別電極の延長端部の形状と同じく矩形状であって、圧電シートの長辺と直交する方向に延び、且つその長辺の側縁にまで達するように形成されており、この各ダミー個別電極の平面視パターン内の中途部に、前記スルーホールが穿設されている。
【０００６】
このスルーホールの平面視の直径は、各ダミー個別電極の平面視パターンの面積と比較してかなり小さくて良い。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−２４６７４４公報
【特許文献２】
特開２００２−１９１０２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、圧電アクチュエータの平面視において、個別電極を圧力室の列と平行状であって、各圧力室の上方にほぼ重なるように配置する一方、圧電アクチュエータの最上層のシートの表面には、前記各個別電極と電気的に導通した個別用表面電極部を形成する必要がある。そして、その個別用表面電極部は、平面視において、活性部ひいては圧力室から外れた位置であって、当該活性部の列と平行な一対の圧電アクチュエータの長辺の側縁部近傍に形成されており、その下方の個別電極と接続するために、個別電極の一端を圧力室から外れた位置へ延長し、ダミー個別電極もその延長部と対応した位置に同形状に形成すると、圧電シートの長辺と直交する方向に延びる長さが長くなる。そのため、当該圧電シートの短辺の長さが長くなってしまい、圧電アクチュエータの平面視形状が大きくなり、コンパクトにできないという問題があった。
【０００９】
ところで、前記個別電極、コモン上下、ダミー個別電極等の各電極をスクリーン印刷形成する場合に、そのスクリーンを取り外す時等に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができる。その結果、隣接するパターンの間隔が所定距離以下になると、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流がもれてしまい、所定の圧力室に対応する活性部のみを作動させることができなくなり、印字品質が悪化するという問題があった。
【００１０】
本発明は、前記従来の問題に鑑みて、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成することを技術的課題とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、平板上にその第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルの列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるための積層型の圧電アクチュエータを接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成する一方、前記一つの圧電シートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンを前記第１の方向に沿って長く形成する一方、前記と同一の平板面には、前記積層方向に隣接するシートにおける前記各個別電極と圧電シートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第１の島状個別導通部を、前記コモン電極のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、且つ各第１の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたものである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記活性部を構成する圧電シートの上方に積層されるシートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンと略同じ形状であって、当該コモン電極に電気的に接続されるコモン導通部を形成すると共に、前記各第１の島状個別導通部とシートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第２の島状個別導通部を、前記コモン導通部のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、且つ各第２の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたものである。
【００１３】
そして、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第１の島状個別導通部同士及び第２の島状個別導通部同士の配置間隔を、前記一定距離だけ隔てて配置したものである。
【００１４】
さらに、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記ノズルの列とこれに対応する圧力室の列とを前記第１の方向と交差する第２の方向に適宜間隔隔てて複数列状に配置し、前記圧電シートまたはシートの片方の平板面には、前記コモン電極及びコモン導通部の各パターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁同士を前記第２の方向に適宜間隔隔てて形成すると共に、前記第１の島状個別導通部及び第２の島状個別導通部は、前記両縁の間の領域に形成されているものである。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記複数のノズルからなる列を４列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記圧電アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように４列の活性部が形成されているものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１は本発明の実施の形態による圧電式のインクジェットプリンタヘッド１０におけるキャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との斜視図、図２はキャビティプレートとその下面側に隣接する第３スペーサプレート２１、第２スペーサプレート２０の一部切欠き拡大斜視図、図３は図１の ＩＩＩ−ＩＩＩ 線矢視拡大断面図、図４は図１のＩＶ−ＩＶ線矢視拡大断面図、図６〜図１２は圧電アクチュエータ１２における各層の電極パターンを示す図、図１３〜図１５は電極パターンの重なり状態を示す平面図、図１６（ａ）は図７又は図１０における一部を拡大して示す説明図、図１６（ｂ）は対比する従来技術についての説明図である。
【００１７】
図１において、金属板製のキャビティユニット１１の上面に対して接合されるプレート積層型の圧電アクチュエータ１２の上面には、外部機器との接続のために、ケーブル部材の一例としての可撓性を有するフラットケーブル１３（個別には符号１３ａ，１３ｂで示す、図１、図３及び図４（ａ）参照）が接着剤にて重ね接合されている。
【００１８】
前記キャビティユニット１１は図２〜図４に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１４、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、３枚のスペーサプレート１９，２０，２１及び圧力室２３が形成されているベースプレート２２の合計９枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１４を除き、各プレート１５〜２２は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。
【００１９】
前記ノズルプレート１４には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル２４が、当該ノズルプレート１４における第１の方向（キャビティユニット１１の長辺方向であり、図１及び図３において、Ｘ軸方向）に沿ってなした列が４列千鳥配列状に設けられている。
【００２０】
即ち、キャビティユニット１１を図１のＹ軸方向（短辺方向）に沿って切断し、且つ前記短辺の中央線Ｃより右側のみ示す図４（ａ）において、右側位置の第１列のノズル２４−１と、前記中央線Ｃに近い側の第２列のノズル２４−２とは、ノズルプレート１４の前記第１の方向に延びる２つの平行状の近接した基準線（図示せず）に沿って各々微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されており、同様に、前記中央線Ｃより左側においても、第３列のノズル２４−３と第４列のノズル２４−４（但し、図３及び図４（ａ）には図示せず）とは、同じく前記第１の方向に延びる２つの平行状の近接した基準線に沿って、各々微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。また、第１列のノズル２４−１と第２列のノズル２４−２との組と、第３列のノズル２４−３と第４列のノズル２４−４との組は、キャビティユニット１１の短辺方向（第２の方向、図１において、Ｙ軸方向）に間隔をおいて平行に配置されている。実施例では、第１列〜第４列の各々のノズル列の長さは２インチ、各々のノズル２４の数は１５０個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。
【００２１】
図２に示すキャビティユニット１１の最上層であるベースプレート２２には、圧力室２３が、前記各ノズル２４に対応して同じピッチＰだけ隔てて板厚さ方向に貫通するように設けられ、且つキャビティユニット１１の短辺と略平行状に細長く形成され、圧力室２３の列はキャビティユニット１１の長辺方向（Ｘ軸方向）に列状に配置されている。従って、隣接する圧力室２３の間は、キャビティユニット１１の短辺と略平行状の細長い隔壁７０にて隔絶されている（図２、図３、図１３等を参照）。該各隔壁７０の幅寸法Ｗ２は、圧力室２３の幅寸法１よりも若干小さく設定されている（図２及び図１３を参照）。
【００２２】
そして、第１列の圧力室２３−１は前記第１列のノズル２４−１と対応する。同様にして、第２列の圧力室２３−２は第２列のノズル２４−２と、第３列の圧力室２３−３は第３列のノズル２４−３と、第４列の圧力室２３−４は第４列のノズル２４−４と、各々対応関係にある。
【００２３】
次に、キャビティユニット１１の最上層であるベースプレート２２における圧力室２３の配置関係を、その上に前記ノズル２４の列方向（第１の方向、Ｘ軸方向）に縦列させて配置する２つの圧電アクチュエータ１２（個別には符号１２ａ、１２ｂを付する）における活性部の配置との関係から説明する。
【００２４】
１つの圧電アクチュエータ１２ａ（または１２ｂ）が、前記４列のノズル２４の個数のうちの列方向の半数（１列につき７５個）の圧力室２３を作動させるように７５個の活性部を有して配置される。従って、図１及び図３に示すように、キャビティユニット１１の上面のうち長手方向（前記第１の方向）の前半部に一方の圧電アクチュエータ１２ａが配置され、後半部に他方の圧電アクチュエータ１２ｂが配置される。
【００２５】
そして、各圧電アクチュエータ１２ａ（または１２ｂ）は、後に図５、図７及び図１３等を参照して詳述するように、コモン電極３７と、前記各圧力室２３の位置毎に対応させて配置された個別電極３６とが圧電シートを挟んで交互に積層された場合、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極３７の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが各圧力室２３に対応する活性部となる。そして、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みが発生するものである。該活性部は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【００２６】
即ち、前記活性部は、ノズル２４（圧力室２３）の列方向（第１の方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（４つ）と同じ数だけ、第２の方向に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１１の幅方向、Ｙ軸方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる（図３参照）。
【００２７】
前記圧力室２３は、２つの圧電アクチュエータ１２ａ、１２ｂと対応してベースプレート２２の長手方向に２グループに分けて配置される。つまり、一方のアクチュエータ１２ａに対応するグループの圧力室２３は、ノズル２４の列方向（第１の方向）の前半部のものに対応し、他方のアクチュエータ１２ｂに対応するグループの圧力室２３は、ノズル２４の列方向（第１の方向）の後半部のものに対応して、それぞれノズル２４の配置間隔（ピッチＰ）と同じ間隔で、且つ２列の千鳥状配列を２組、計４列をなして配置されている（図１参照）。
【００２８】
前記各圧力室２３は、ベースプレート２２の幅方向（第２の方向）に長く、且つベースプレート２２を厚さ方向に貫通して形成されている。その各圧力室２３の入口端２３ｂは、スペーサプレート１９、２０、２１に形成された第２インク通路３０、絞り部２８、第１インク通路２９を介して後述するマニホールド室２６に連通する（図２及び図４参照）。
【００２９】
また、各圧力室２３の流出端２３ａは、ベースプレート２２とノズルプレート１４との間に位置するスペーサプレート１９、２０、２１、マニホールドプレート１７、１８、ダンパープレート１６及び中間プレート１５に形成されたインク流通路としての各連通路２５を介して各ノズル２４に連通するが、この連通路２５の一部は、ベースプレート２２とノズルプレート１４との間の積層されるプレート１５〜２１のうち少なくとも１枚（１層）のプレートにはその平板面（表面または裏面）と略平行状の凹溝状流通路５０を備えることにより、前記各圧力室２３に対応するノズル２４の位置を、前記各圧力室２３の流出端２３ａ（インク流出部）から、ベースプレート２４の表面と直交する直線（垂線）がノズルプレート１４に至る個所より、横方向（プレートの第１方向に沿った方向、Ｘ軸方向）に距離Ｌ３だけずれた位置に設定することができるものである（図２及び図３参照）。
【００３０】
つまり、図１及び図３に示すごとく、２つのグループの圧力室２３の間は、ベースプレート２２の長手方向に圧力室２３の配置間隔（ピッチＰ）よりも広い間隔Ｌ２に設定されている。これは、各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの製作上、最列端の個別電極３６、３６とそれに近接する圧電アクチュエータ１２ａの一端部４４（他方の圧電アクチュエータ１２ｂの一端部４５）との距離Ｌ１を、個別電極３６のピッチＰの１／２以下に製作することが困難なため、距離Ｌ１を圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの製作しやすい大きさとして、それよりも大きい間隔Ｌ２を設定したのである。
【００３１】
そして、一方の圧電アクチュエータ１２ａの一端部４４と、これに隣接する他方の圧電アクチュエータ１２ｂの一端部４５とを相対向させて、且つ該対向する両端部４４、４５の間隔を距離Ｌ４だけ隔てて、両圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂを直列状に配置することになる（図１及び図３参照）。
【００３２】
これにより、ノズル２４のピッチＰは、その列方向に一定に設定されているが、対応する圧力室２３の位置とはプレートの板厚に垂直な線（垂線）に対して横方向に距離Ｌ３だけずれているから、対応する各圧力室２３の流出端２３ａからノズル２４に接続する連通路２５のうち少なくとも一部を、上記したように、プレートの平板面と平行な凹溝状連通路５０にて構成することにより、その他のプレートにおける連通路２５は各プレートの板厚方向に垂直に貫通させて、この凹溝状連通路５０の一端部及び他端部に連通させるだけで、前記横ずれに対応させることができる。なお、前記凹溝状連通路５０は前記横ずれとともに圧力室２３の延長方向にも延び、２グループの圧力室２３の間隔Ｌ２の中央を境にして対称に傾斜している。
【００３３】
本実施形態では、圧力室２３が設けられたベースプレート２２の下面側に隣接する第３スペーサプレート２１に凹溝状連通路５０が設けられるものであって、この凹溝状連通路５０の構成をさらに詳述すると、図５及び図６に示すように、第３スペーサプレート２１の表面（上面）側に開放された第１の凹溝状連通路５０ａと、第３スペーサプレート２１の裏面（下面）側に開放された第２の凹溝状連通路５０ｂとの２種類が交互に設けられている。
【００３４】
前記第１凹溝状連通路５０ａは、第３スペーサプレート２１の上面に開放され、当該第３スペーサプレート２１の板厚のうち下半部を残してエッチングにより凹み形成された凹溝状で、その上方開放面は、一端５１ａを、対応する圧力室２３の流出端２３ａに連通させて、上面に隣接するベースプレート２２にて密閉されている。この凹溝状連通路５０ａの他端開口部５２ａは、第３スペーサプレート２１の下面側に貫通して、下側に隣接する第２スペーサプレート２０に貫通穿設された連通路２５に対して連通している。
【００３５】
前記一方の圧力室２３に隣接する他方の圧力室２３の流出端２３ａに連通する第２凹溝状連通路５０ｂは、第３スペーサプレート２１の下面に開放され、当該第３スペーサプレート２１の板厚のうち上半部を残してエッチングにより凹み形成された凹溝状で、その下方開放面は、その端部５２ｂを下側に隣接する第２スペーサプレート２０に貫通穿設された連通路２５に連通させて、その第２スペーサプレート２０にて密閉されている。この第２凹溝状連通路５０ｂの一端５１ｂは第３スペーサプレート２１の上面側に貫通し、対応する圧力室２３の流出端２３ａに連通している。
【００３６】
実施形態では圧力室２３の流出端２３ａに連通する第１開口部５１ａ（５１ｂ）の平面積が、連通路２５に連通する第２開口部５２ａ（５２ｂ）の平面積よりも大きく設定されている。
【００３７】
このように、第３スペーサプレート２１に形成する複数の凹溝状連通路５０を、当該第３スペーサプレート２１の表面側に開放される第１凹溝状連通路５０ａと裏面側に開放される第２凹溝状連通路５０ｂとが交互に形成されるように構成すれば、第１凹溝状連通路５０ａと、第２凹溝状連通路５０ｂに対応するものとが、キャビティユニット１１の平面視において、近接して配置されるように設計していても、第３スペーサプレート２１の表裏にて隔絶されて互いに連通することがないから、インク流通路としての連通路２５の設計の自由度が大幅に向上できる。
【００３８】
特に、キャビティユニット１１において、積層すべきプレートの枚数が多い場合には、圧力室２３から対応するノズル２４までのインク流通路としての連通路２５のうちの一部をプレートの平面と平行状に延びる凹溝状連通路５０ｂに形成し、その他の連通路２５をプレートの平面と垂直な方向に貫通させる形状を採用することにより、圧力室２３と対応するノズル２４の位置が平面視で大きくずれていても、その両者を簡単に連通させるようなインク流通路の設計ができる。また、各圧力室２３から対応するノズル２４までのインク流通路としての連通路２５の全長（凹溝状連通路５０ａまたは凹溝状連通路５０ｂを含む距離）を等しくするように制御することも至極簡単となる。
【００３９】
前記二枚のマニホールドプレート１７、１８には、マニホールド室２６が、前記ノズル２４の列に沿って延びるように穿設されている。さらに詳述すると、各マニホールド室２６の長さは、前記各ノズル列方向に並ぶ圧力室２３を適宜数毎に分割した長さであり、実施例では、圧力室２３の１グループ（１グループの１列の圧力室２３の数が７５）の長さにわたった長さを有し、且つキャビティユニット１１には、圧力室２３の列が４列あるので、その１つの列毎に配置する。従って、実施例では、８本のマニホールド室２６が形成されている。各マニホールド室２６の長手方向一端部は、その上方の積層されたスペーサプレート１９〜２１及びベースプレート２２の端部に穿設されたインク供給孔３１に連通する。図示しないインクタンク等のインク供給源から供給されるインク中の塵を除去するためのフィルタ３２が、最上のベースプレート２２の端部に穿設されたインク供給孔３１の上面に張設されている。
【００４０】
また、各マニホールド室２６の深さはマニホールドプレート１７、１８の板厚さ全体にわたるようエッチング加工等にて穿設形成され、この二枚を合わせたマニホールドプレート１７、１８の上層の第一スペーサプレート１９と、下層のダンパープレート１６とにより積層されることにより密閉される構造となっている。なお、ダンパープレート１６には、前記マニホールド室２６と平面視形状が同じで下面側をエッチング加工により板厚を薄くしたダンパー室２７を形成する。
【００４１】
圧電アクチュエータ１２の駆動により圧力室２３に作用する圧力波のうち、マニホールド室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【００４２】
また、第２スペーサプレート２０には、インク流の絞り部２８を、前記各圧力室２３毎に対応させて形成する。この絞り部２８の平面視形状は、図４（ｂ）に示すように、長手方向の両端部２８ａ，２８ｂの面積が大きく、その中間の面積が小さく形成されている。また、各絞り部２８の長手方向を前記圧力室２３の長手方向と平行状になるように形成されている。そして、第２スペーサプレート２０の下面側に前記第１スペーサプレート１９を、上面側に第３スペーサプレート２１をそれぞれ積層することにより、前記絞り部２８が密閉されている。第１スペーサプレート１９に穿設された第１インク通路２９は、前記マニホールド室２６を前記絞り部２８における一端部２８ａに連通させている。他方、第３スペーサプレート２１に穿設された第２インク通路３０は、前記絞り部２８における他端部２８ｂを圧力室２３の入口端２３ｂに連通させている（図２及び図４（ａ）参照）。
【００４３】
一方、前記各圧電アクチュエータ１２は、図５に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３、３４とが交互に積層された群と、該群の上面に２枚のシート４６、４７からなる拘束層を積層し、さらにその上面にトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。
【００４４】
コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図８に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３（点線で示す）に対応した箇所ごとに細幅の個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図３のＸ軸方向、各ノズル２４の列方向）に沿って列状に形成される。
【００４５】
そして、第１列目の個別電極３６−１と第４列目の個別電極３６−４とは、各圧電シート３３のー対の長辺の側縁に近い側に各々配置されている。また、第２列目の個別電極３６−２と第３列目の個別電極３６−３とは、各圧電シート３３の短辺方向の中央寄り部位に配置されている。
【００４６】
各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４のパターンは、前記第１の方向と直交する第２の方向（Ｙ軸方向）に沿って各圧電シート３３の短辺と平行状に延びる。その場合、各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４における直線部３６ｂは、前記各圧力室２３−１，２３−２，２３−３，２３−４（図８の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている。第１列目の個別電極３６−１と第２列目の個別電極３６−２とが対向する端部３６ａ及び第３列目の個別電極３６−３と第４列目の個別電極３６−４とが対向する端部３６ａは、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に屈曲形成されて、圧力室外に延びている。その屈曲方向は、平面視で前記２つの圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの相対向する一端部４４（４５）から離れる方向であり、且つ両端部３６ａ，３６ａ同士が互いに近づく方向に延びている（図８参照）。
【００４７】
また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８及び後述する下層シート４６における第１接続パターン５３（図９参照）と少なくとも一部が平面視で重なり、当該圧電シート３４及び下層シート４６を貫通する内部導通電極４２ａ，４２ｂ，６０とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図１３参照）。
【００４８】
さらに、圧電シート３３には、後述する圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、前記個別電極３６−１と３６−２との列を囲み、且つ個別電極３６−３及び３６−４の列を囲むようにダミーコモン電極４３が形成されている。
【００４９】
前記コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面に印刷形成されるものである（図７参照）。コモン電極３７は、各圧電シート３４の第１の方向（Ｘ軸方向、圧電シート３４の長辺に沿う方向）に長い３本の幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃと、これらに接続し、且つ圧電シート３４の短辺縁に沿って伸びる連接部３７ｅ等とからなる。３本の幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃは、圧電シート３４の相対峙する一対の長辺縁に接近した位置と、圧電シート３４の短辺方向（Ｙ軸方向）の中途部とに形成される。そして、前記幹部３７ａは、前記第１列目の個別電極３６−１における直線部３６ｂの大部分に平面視で重複する位置に配置されている。幹部３７ｃは、前記第４列目の個別電極３６−４における直線部３６ｂの大部分に平面視で重複する位置に配置されている。他方、中央側の幹部３７ｂは、第２列目の個別電極３６−２及び第３列目の個別電極３６−３の各直線部３６ｂの大部分に平面視で重複する位置に配置されている。
【００５０】
さらに、各幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃには、Ｙ軸方向に延びる複数の櫛歯部３７ｄを接続させている。櫛歯部３７ｄの配置間隔Ｐは各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４の配置間隔Ｐひいては圧力室２３の配置間隔Ｐと等しく設定され、且つ各個別電極の直線部３６ｂの残りの部分と平面視で重複するように配置されている（図７参照）。
【００５１】
前記櫛歯部３７ｄの列が相対向する間の部位には、平面視で略小判型のダミー個別電極３８（個別には符号３８−１，３８−２，３８−３，３８−４で示す）が前記各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４における各端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この小判型の各ダミー個別電極３８も、平面視において、前記各個別電極３６における端部３６ａが延びる方向と同じ方向にのびている。換言すると、それぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一端部４４（４５）の直線が延びる方向に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている。
【００５２】
この各ダミー個別電極３８を第１の島状個別導通部と称する。そして、各ダミー個別電極３８のパターン領域の輪郭縁と、前記櫛歯部３７ｄのパターン領域の輪郭縁との最接近した位置での間隔、並びに隣接するダミー個別電極３８、３８のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離ｅ２に設定する（図１７の二点鎖線参照）。
【００５３】
このように、第１の島状個別導通部としての各ダミー個別電極３８を傾斜状に形成すると、各ダミー個別電極３８の長さ寸法ｍ１を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離ｅ２に保持しながら、前記対向する一対の櫛歯部３７ｄ，３７ｄの先端縁３７ｄ１，３７ｄ１に沿って通る直線間の距離ｎ１を短く設定できる（図７及び図１７参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離ｅ２以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることがでて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。その結果、各圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の短辺（Ｙ軸方向）の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。
【００５４】
そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３には、幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４１を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４とには、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、端部３６ａと電極３８の位置において、各圧電シート３３、３４の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２ａ，４２ｂが形成されている。その場合、圧電シート３３における内部導通電極４２ａと圧電シート３４における内部導通電極４２ｂとは、平面視で上下に重複しない位置に適宜距離ｅ１だけ隔てて形成されている（図６参照）。
【００５５】
前記拘束層としての２枚のシート４６、４７のうちの下層シート４６の上面には、図９に示すように、平面視で略小判型の第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３，５３−４で示す）が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この各第１接続用パターン５３もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一側端４４（４５）が延びる方向に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている。また、前記下層シ−ト４６の上面の４隅等には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部にそれぞれ平面視で重複する位置に連絡用パターン５４が形成されている。
【００５６】
他方、図１０に示すように、上層シ−ト４７の上面には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７と平面視でほぼ同じ大きさで重複するような連絡用パターン５５と、前記下層シ−ト４６における第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３，５３−４で示す）の少なくとも一部と平面視で重複するように、第２接続用パターン５６（個別には符号５６−１，５６−２，５６−３，５６−４で示す）が一定間隔で配置形成されている。
【００５７】
この第２接続用パターン５６を第２の島状個別導通部と称する。実施形態では、第１の島状個別導通部であるダミー個別電極３８とは、第１接続用パターン５３を介し、且つ各圧電シートの層厚さ方向に貫通するような後述する内部導通電極６０，６２を介して電気的に導通している。
【００５８】
そして、この各第２接続用パターン５６もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一側端４４（４５）が延びる方向に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている（図１０及び図１６参照）。さらに、各第２接続用パターン５６のパターン領域の輪郭縁と、前記連絡用パターン５５のパターン領域の直線状の輪郭縁５５ａとの最接近した位置での間隔、並びに隣接する第２接続用パターン５６、５６のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離ｅ２に設定する（図１６の二点鎖線参照）。
【００５９】
このように、第２の島状個別導通部としての各第２接続用パターン５６を傾斜状に形成すると、各第２接続用パターン５６の長さ寸法ｍ２を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離ｅ２に保持しながら、前記対向する一対の輪郭縁５５ａ，５５ａ間の距離ｎ２を短く設定できる（図１０及び図１６参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離ｅ２以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。
【００６０】
その結果、各圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の短辺（Ｙ軸方向）の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。
【００６１】
図１１に示すように、トップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における連絡用パターン５５の一部に平面視で重複するようにコモン用導電層５７が複数形成されている。また、トップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における各第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４にそれぞれ平面視で重複するように、個別用導電層５８（個別には符号５８−１，５８−２，５８−３，５８−４で示す）が一定間隔で配置形成されている（図１４参照）。この各個別用導電層５８−１，５８−２，５８−３，５８−４は、図１１に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（Ｙ軸方向）ひいては各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４と略平行であって、その各個別電極の直線部３６ｂの部位方向に伸びる直線状に形成されるが、各個別電極の直線部３６ｂよりは短い（図８と図１１とを比較参照）。さらに、このトップシート２３５の上面に形成される各個別用導電層５８−１，５８−２，５８−３，５８−４は、図１４及び図１５に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁７０の上方に位置させる。図１４では、隔壁７０の中心からわずかずれているが、その中心に一致させても良い。
【００６２】
さらに、図１１に示すように、前記トップシート３５の上面には、前記フラットケーブル１３ａ，１３ｂの接続電極７１に接続するための後付け電極として、平面視矩形状等の個別用表面電極６６とコモン用表面電極６７とダミー部６８とが形成されている（図１２参照）。その場合、図１５に示すように、個別用表面電極６６は、トップシート３５における各個別用導電層５８−１，５８−２，５８−３，５８−４の長さ方向の適宜部分に平面視で一部だけ重複して電気的に接続するように島状に形成し、且つ各個別用導電層５８−１，５８−２，５８−３，５８−４の列方向（Ｘ軸方向）に隣接する箇所では、Ｙ軸方向にずれるように千鳥状に配置形成する。
【００６３】
換言すると、図示実施形態では、各個別用表面電極６６は、対応する圧力室２３ひいては活性部に対して平面視で、それらの配置間隔（ピッチ）Ｐの略半分だけずれた位置に配置され、且つ隣接する圧力室２３，２３の間の隔壁７０の上方に配置されることになる（図１５参照）。
【００６４】
なお、この実施形態の変形例として、隣接する圧力室２３の間の隔壁７０の上方に配置する前記各個別用表面電極６６は、対応する圧力室２３（活性部）に対して、前記配置間隔（ピッチＰ）の１．５倍の距離ずつＸ軸方向にずらして配置しても良い。
【００６５】
さらに、図３及び図１５に示すように、直列状に配置される圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの相対向する一端部４４、４５に最接近する位置の前記個別用表面電極６６は、前記一端部４４、４５からの距離Ｌ５は、対応する活性部ひいては圧力室２３の前記一端部４４、４５からの距離Ｌ１より大きくなるように偏倚させて配置するものである。
【００６６】
また、コモン用表面電極６７は、トップシート３５の上面に形成されたコモン用導電層５７の一部に平面視で重複するように、島状に後付けされるものである。ダミー部６８は、コモン用導電層５７のＸ軸方向の延長上に島状に後付けされる。その電極６７及びダミー部６８も図１２に示すように隔壁７０の上方に位置される。
【００６７】
そして、前記下層シ−ト４６の各第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３，５３−４の箇所には、下側にて隣接する圧電シ−ト３４の各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４とそれぞれを上下方向に電気的に接続するために、下層シ−ト４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極６０が形成されている（図９参照）。
【００６８】
また、下層シート４６における連絡用パターン５４の箇所には、前記下側にて隣接する圧電シート３４のコモン電極３７と上下方向に電気的に接続するために、前記と同様の複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材からなる内部導通電極６１が形成されている（図９参照）。
【００６９】
同様に、上層シート４７には、その第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４の箇所と下層シート４６の第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３，５３−４の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極６２、及び連絡用パターン５５と連絡用パターン５４とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極６３がそれぞれ形成されている（図１０参照）。
【００７０】
トップシート３５にも、前記と同様にして、個別用導電層５８−１，５８−２，５８−３，５８−４の箇所と、下に隣接する上層シート４７における第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極６４が設けられ、また、トップシート３５には、そのコモン用導電層５７と下に隣接する上層シート４７における連絡用パターン５５とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極６５がそれぞれ形成されている（図１１参照）。
【００７１】
数枚のシートを積層した場合、その上下に隣接するシートにおける個別電極３６及びそれに対応するダミー個別電極３８、第１接続用パターン５３、第２接続用パターン５６の間を上下に接続するための内部導通電極４２ａ，４２ｂ，６０，６２，６４同士を平面視で重複しない位置に配置させることが好ましい。
【００７２】
本発明では、各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂにおける個別電極３６から各個別用表面電極６６やコモン用表面電極６７にそれぞれ電気的に接続するための内部接続電極は、拘束層としての下層シート４６及び上層シート４７、並びにトップシート３５の各平面に沿って形成される第１接続用パターン５３、第２接続パターン５６、個別用導電層５８と、各シート４６，４７，３５を上下方向（板厚さ）方向に貫通する内部導通電極６０，６２，６４を含む概念とする。
【００７３】
圧電アクチュエータ１２の製造方法の一例として、圧電シート３３，３４と拘束層シート４６、４７及びトップシート３５のすべてをセラミックス板にて構成する。セラミックス板からなる大判のグリーンシートの表面に、前記圧電アクチュエータ１２の動作単位の複数個分をマトリクス状にて一体で形成されるように、各動作単位を構成する領域毎に、圧電シート３３、３４では、前記個別電極３６、コモン電極３７、ダミー個別電極３８，ダミーコモン電極４３の電極パターンを銀−パラジゥム系ペースト等の導電性ペーストにてスクリーン印刷形成する（図７、図８参照）。上下２枚の拘束層のシート４６、４７では、第１、第２接続用パターン５３，５６及び連絡用パターン５４，５５を、同じく前記導電性ペーストにてスクリーン印刷形成する（図９、図１０参照）。そして、トップシート３５に対しては個別用導電層５８、コモン用導電層５７の各電極パターンを前記導電性ペーストにてスクリーン印刷形成する（図１１参照）。
【００７４】
なお、最下層の圧電シート３４を除く圧電シート３４、３３及び上下層シート４６、４７、トップシート３５における内部導通電極４１，４２，６０〜６５は板厚さ方向のスルーホールを穿設した後に前記ペーストを流し込む。次いで、各動作単位を構成する領域の位置を上下で一致させた状態で複数枚の素材シートを積層し、次いで積層方向に押圧した後、焼成する。
【００７５】
次いで、前記トップシート３５の上面には、前記フラットケーブル１３ａ，１３ｂの接続電極７１に接続するための後付け電極として、平面視矩形状等の個別用表面電極６６とコモン用表面電極６７とダミー部６８とをそれぞれ厚膜にてスクリーン印刷した後乾燥させる（図１２参照）。この電極６６、６７は焼成されていないから、後にフラットケーブル１３ａ，１３ｂの接続電極７１との半田付け性が良いものにすることができる。
【００７６】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ１２における下面（圧力室２３と対面する平板面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着または熱硬化性接着剤を塗布し、次いで、前記キャビティユニット１１に対して、圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂが、その各個別電極３６を前記キャビティユニット１１における各圧力室２３の各々に対応させて、一端部４４，４５の間を距離Ｌ４だけ隔てて接着・固定される（図４（ａ）及び図３参照）。このとき、平面状の治具を圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの上面に当てて、その圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂをキャビティユニット１１に向けて押すことになるが、圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの上面に突出している電極６６、６７及びダミー部６８が図１２に示すように、圧力室２３間の隔壁７０に対応しているため、その電極６６を介して作用した押圧力によって、隔壁７０上の接着剤が圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂを隔壁７０に確実に接着させる。従って、接着不良によりインクが漏れたり、空洞である圧力室上に直接押圧力が作用しないから、圧力室が変形したり、圧電アクチュエータがひび割れすることを防ぐことができる。
【００７７】
また、この各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂにおける上側の表面に、前記各フラットケーブル１３ａ，１３ｂを重ね押圧して接着させて、このフラットケーブル１３ａ，１３ｂにおける各種の接続電極７１が、前記各個別用表面電極６６及びコモン用表面電極６７にそれぞれ電気的に接合させる。
【００７８】
その場合、上記圧電アクチュエータとキャビティユニットを接着する場合と同様に、前記各個別用表面電極６６が隣接する圧力室２３，２３の間の隔壁７０の上方に位置するので、フレキシブルフラットケーブル１３ａ，１３ｂを各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂ上面に押圧する力を大きくできて、前記接続電極７１と各個別用表面電極６６及びコモン用表面電極６７と電気的導通を完全にできる。
【００７９】
前記実施形態では、個別電極３６の端部３６ａを傾斜させることで、各圧電アクチュエータにおける最上層のシートの上面の個別用表面電極６６と前記各個別電極３６とを接続するための第１接続パターン５３、第２接続パターン５６、及び個別用導電層５８とそれらを上下に接続するための内部導通電極６０，６２，６４を、それぞれ個別的に前記一端部４４（４５）からＸ軸方向に離れるように横にずらせる設計が簡単にできるから、前記個別用表面電極６６の位置も前記一端部４４（４５）からＸ軸方向に大きく離れるように偏倚でき、配列するフラットケーブル１３ａ，１３ｂの隣接箇所の間隔も簡単に離すことで互いに干渉させない設計が容易にできる。
【００８０】
また、図１５に示すように、トップシート３５の上面に形成した島状の個別用導電層５８に対して個別用表面電極６６を後付け形成することにより、前記Ｘ軸方向（ノズル２４の列方向）で、前記一端部４４（４５）から離れるように配置する個別用表面電極６６の配置位置をさらに所定範囲でずらせるように設計できる。従って、Ｘ軸方向に直列状に配置した圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの上面にそれぞれ形成された導電層上の個別用表面電極６６、６６の前記相対向する一端部４４（４５）からの距離Ｌ５を、同じく一端部４４（４５）から活性部（圧力室２３）までの距離Ｌ１より大きく隔てるように偏倚させて形成しておけば、各フラットケーブルにおける側縁から、接続電極７１までの距離が従来通りの大きいものであっても、当該両フラットケーブル１３ａ，１３ｂを、前記相対向する一端部４４，４５で互いに重複しない状態（互いに干渉しない状態）で、圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂと接合させるように配置することができる。
【００８１】
前記個別用表面電極６６及びコモン用表面電極６７を省略して、前記トップシート３５の上面に露出している個別用導電層５８及びコモン用導電層５７に直接フラットケーブル１３ａ，１３ｂの接続電極７１を接合させても良い。
【００８２】
この構成において、各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂにおける前記各個別用表面電極６６及びコモン用表面電極６７を介して全個別電極３６とコモン電極３７との間に分極用の高電圧を印加することで、各個別電極３６とコモン電極３７との間に挟まれた圧電シート３３、３４の部分を分極処理する。これにより、各個別電極３６とコモン電極３７との間に挟まれた圧電シート３３、３４の部分を活性部とする。そして、任意の個別用表面電極６６とコモン用表面電極６７とを介して個別電極３６とコモン電極３７との間に駆動電圧を印加して、対応する活性部に分極方向と平行な電界を発生させると、その活性部が積層方向に伸長し、対応する圧力室２３の内容積が縮小され、この圧力室２３内のインクが、対応するノズル２４から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる。
【００８３】
カラー印刷する場合に、４色のインク（ブラック、シアン、イエロー、マゼンタ）を使用する時には、例えば、前記第１列のノズル２４−１をブラックインクの吐出用とし、第２列のノズル２４−２をシアンインク、第３列のノズル２４−３をイエローインク、第４列のノズル２４−４をマゼンタインクの吐出用にそれぞれ設定すると、対応するマニホールドプレート１７（１８）に形成された第１列目のマニホールド室２６にはブラックインクが充填され、第２列目のマニホールド室２６にはシアンインクが充填され、第３列目のマニホールド室２６にはイエローインクが充填され、第４列目のマニホールド室２６にはマゼンタインクが充填されるのである。
【００８４】
上記のように本実施の形態においては、圧力室２３をノズル２４の列方向に沿って２つのグル−プに分け、そのグル−プの間隔をＬ２と広くする一方、圧力室２３からノズル２４まで連通する連通路２５のうち少なくとも一部には、一枚のプレートの平板面と略平行状の凹溝状流通路５０にて構成したものであるから、ノズル２４の配置間隔（ピッチ）を従前のものと同一にしたままノズル数の多いヘッドを製作する場合、圧電アクチュエータ１２ａ、１２ｂはノズル２４の列方向の長さの短いものをその列方向に並べて使用できる。
【００８５】
従って、圧電アクチュエータを製造したときの各アクチュエータの焼成時の収縮量が少なくなるから、活性部の間隔のバラツキも少なくでき、寸法精度の良い圧電アクチュエータを効率良く製造できる。
【００８６】
また、前記実施形態では、ノズルの列は４列であったが、本発明では１列以上のノズル列に対して適用できる。また、単一の圧電アクチュエータと単一のケーブル部材との接合に対して適用できることはいうまでもない。
【００８７】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項１に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、平板上にその第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルの列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるための積層型の圧電アクチュエータを接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成する一方、前記一つの圧電シートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンを前記第１の方向に沿って長く形成する一方、前記と同一の平板面には、前記積層方向に隣接するシートにおける前記各個別電極と圧電シートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第１の島状個別導通部を、前記コモン電極のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、且つ各第１の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたものである。
【００８８】
従って、第１の島状個別導通部を傾斜状に形成すると、各第１の島状個別導通部の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔、つまり、第１の島状個別導通部とコモン電極のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁との間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の縁である直線間の距離を短く設定できる。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることがでて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。その結果、各圧電アクチュエータの短辺（Ｙ軸方向）の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。
【００８９】
そして、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記活性部を構成する圧電シートの上方に積層されるシートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンと略同じ形状であって、当該コモン電極に電気的に接続されるコモン導通部を形成すると共に、前記各第１の島状個別導通部とシートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第２の島状個別導通部を、前記コモン導通部のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、且つ各第２の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたものである。
【００９０】
この構成でも、第２の島状個別導通部を傾斜状に形成すると、各第２の島状個別導通部の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、各第２の島状個別導通部からコモン導通部のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁までの距離を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の縁間の距離を短く設定できる。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、第２の島状個別導通部と、コモン導通部のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁との間隔を所定距離以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることがでて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。
【００９１】
そして、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記第１の島状個別導通部同士及び第２の島状個別導通部同士の配置間隔を、前記一定距離だけ隔てて配置したものであるから、これによっても、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることがでて、印字品質を良好に保持できるという効果及びインクジェットプリンタヘッドをコンパクトにできるという効果を奏する。
【００９２】
さらに、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記ノズルの列とこれに対応する圧力室の列とを前記第１の方向と交差する第２の方向に適宜間隔隔てて複数列状に配置し、前記圧電シートまたはシートの片方の平板面には、前記コモン電極及びコモン導通部の各パターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁同士を前記第２の方向に適宜間隔隔てて形成すると共に、前記第１の島状個別導通部及び第２の島状個別導通部は、前記両縁の間の領域に形成されているものである。これにより、圧電アクチュエータの第２の方向（短辺方向）の寸法を短くできるという効果を奏する。
【００９３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記複数のノズルからなる列を４列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記圧電アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように４列の活性部が形成されているものであるから、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明による効果に加えて、カラー用のインクジェットプリンタをコンパクトに製造できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。
【図２】キャビティユニットの一部分解斜視図である。
【図３】図１の ＩＩＩ−ＩＩＩ 線矢視拡大断面図である。
【図４】（ａ）は図１のＩＶ−ＩＶ線矢視拡大断面図、（ｂ）は絞り部の拡大平面図である。
【図５】圧電アクチュエータの部分拡大断面図である。
【図６】圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図である。
【図７】コモン電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。
【図８】個別電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。
【図９】下層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１０】上層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１１】トップシートにおける個別用導電層等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１２】トップシートにおける個別用表面電極等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１３】活性部における圧力室に対する個別電極とダミー電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１４】トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と第１及び第２接続用パターンと個別用導電層との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１５】トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と個別用導電層と個別用表面電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１６】図１０の一部拡大平面図で示す説明図である。
【図１７】図７の一部拡大平面図で示す説明図である。
【符号の説明】
１０ インクジェットプリンタヘッド
１１ キャビティユニット
１２ 圧電アクチュエータ
１３ フラットケーブル
２２ ベースプレート
２３ 圧力室
２４ ノズル
３３，３４ 圧電シート
３６ 個別電極
３７ コモン電極
３８ 第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極
４１，４２，６０〜６５ 内部導通電極
４３ ダミーコモン電極
５３ 第１接続用パターン
５４ 連絡用パターン
５５ 連絡用パターン
５６ 第２の島状個別導通部としての第２接続用パターン
５７ コモン用導電層
５８ 個別用導電層
６６ 個別用表面電極
６７ コモン用表面電極[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet printer head, and more particularly, to a configuration of a piezoelectric actuator for driving the same.
[0002]
[Prior art]
In a prior art on-demand type ink jet printer head, as disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, etc., a plurality of plates are stacked to form a cavity unit having an ink flow path. The plate includes a nozzle plate having a plurality of nozzles, a base plate having a pressure chamber for each nozzle, and a manifold serving as a common ink chamber connected to the ink supply source and connected to each of the pressure chambers. And a manifold plate having a chamber. The piezoelectric actuator is configured by alternately laminating a common electrode and an individual electrode with a piezoelectric ceramic plate (piezoelectric sheet) interposed therebetween, and is a portion of the piezoelectric sheet between the individual electrode and the common electrode opposed in the laminating direction. The piezoelectric actuator and the cavity unit are joined so that the active portion overlaps above the pressure chamber in a plan view.
[0003]
Then, in order to apply a voltage to each active portion of the piezoelectric actuator, a joining terminal portion of a cable member such as a flat cable for transmitting a control signal from the outside and a surface electrode of an uppermost sheet of the piezoelectric actuator are joined. In addition, it is necessary to connect the surface electrode and the individual electrode or the common electrode by a conductive portion extending in the stacking direction of the piezoelectric actuator.
[0004]
Further, as shown in Patent Document 2, for example, an individual dummy electrode corresponding to an extended end of each individual electrode on the other piezoelectric sheet adjacent in the laminating direction is formed on one piezoelectric sheet on which a common electrode is formed. On the other piezoelectric sheet, a dummy common electrode corresponding to the extended end of the common electrode in the one piezoelectric sheet was formed, and each piezoelectric sheet was filled in a through hole penetrating in the thickness direction of the sheet. It is disclosed that an internal conductive electrode connects a common electrode and a dummy common electrode, and connects each individual electrode and a dummy individual electrode.
[0005]
In Patent Document 2, the pattern shape of the dummy individual electrode in plan view is the same as the shape of the extended end of the individual electrode in the adjacent piezoelectric sheet, and is a direction orthogonal to the long side of the piezoelectric sheet. The dummy through-hole is formed so as to extend to the side edge of the long side of the dummy individual electrode.
[0006]
The diameter of the through hole in plan view may be considerably smaller than the area of the dummy individual electrode in plan view.
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2001-246744 A
[Patent Document 2]
JP-A-2002-19102
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in a plan view of the piezoelectric actuator, the individual electrodes are arranged in parallel with the rows of the pressure chambers so as to substantially overlap above the respective pressure chambers, while the surface of the uppermost sheet of the piezoelectric actuator has It is necessary to form an individual surface electrode portion electrically connected to each individual electrode. Then, the individual surface electrode portion is formed at a position deviated from the active portion and thus the pressure chamber in a plan view, and near a long side edge of a pair of piezoelectric actuators parallel to the row of the active portions. If one end of the individual electrode is extended to a position outside the pressure chamber to connect with the individual electrode below the dummy electrode, and the dummy individual electrode is formed in the same shape at a position corresponding to the extended portion, the piezoelectric sheet becomes The length extending in the direction orthogonal to the long sides becomes longer. Therefore, the length of the short side of the piezoelectric sheet becomes long, and the shape of the piezoelectric actuator in plan view becomes large, and there is a problem that the piezoelectric actuator cannot be made compact.
[0009]
By the way, when the individual electrodes, the common upper and lower electrodes, the dummy individual electrodes, and the like are formed by screen printing, when the screen is removed, the contour of the pattern is blurred. Large and small errors can occur. As a result, when the distance between adjacent patterns is less than a predetermined distance, when a voltage is applied to each electrode, current leaks between the adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to the predetermined pressure chamber operates. And printing quality deteriorates.
[0010]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and has as its technical object to form an ink jet printer head compact.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an ink jet printer head according to the invention of claim 1 corresponds to a row of a plurality of nozzles arranged in a row on a flat plate along a first direction thereof. Ink jet printer head in which a stacked piezoelectric actuator for ejecting ink by having an active portion selectively drivable for each pressure chamber is joined to a cavity unit in which a row of pressure chambers are formed. In the above, the piezoelectric actuator is formed by laminating a plurality of sheets including a piezoelectric sheet, and between the two electrodes facing each other in the laminating direction of an individual electrode and a common electrode formed by sandwiching the piezoelectric sheet in the laminating direction. While the piezoelectric sheet is configured to be the active portion corresponding to each of the pressure chambers, while the common electrode is provided on one flat surface of the one piezoelectric sheet. While the pattern is formed to be long along the first direction, on the same flat plate surface as above, each of the individual electrodes in the sheet adjacent in the laminating direction and an internal conductive electrode penetrating in the thickness direction of the piezoelectric sheet. A first island-shaped individual conductive portion for electrically conducting via the first electrode is formed at a fixed distance from an edge of the common electrode pattern extending along the first direction, and The direction in which the island-shaped individual conductive portions extend is inclined at an appropriate angle with respect to a line perpendicular to the edge extending along the first direction.
[0012]
According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect, one of the flat surfaces of the sheets stacked above the piezoelectric sheet constituting the active portion is substantially the same as the pattern of the common electrode. It has the same shape, forms a common conductive portion electrically connected to the common electrode, and through the first conductive islands and the internal conductive electrode penetrating in the thickness direction of the sheet. A second island-shaped individual conductive portion for electrically conducting is formed at a predetermined distance from an edge of the pattern of the common conductive portion extending along the first direction, and each of the second island-shaped individual conductive portions is formed. The direction in which the individual conductive portions extend is inclined at an appropriate angle with respect to a line perpendicular to the edge extending along the first direction.
[0013]
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first or second aspect, an arrangement interval between the first island-shaped individual conductive portions and between the second island-shaped individual conductive portions is set to be the same. They are arranged at a fixed distance.
[0014]
Further, according to a fourth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to any one of the first to third aspects, the rows of the nozzles and the rows of the corresponding pressure chambers intersect with the first direction. An edge extending along the first direction in each pattern of the common electrode and the common conducting portion is disposed on the flat surface of one of the piezoelectric sheets or the sheets at appropriate intervals in the second direction. Are formed at appropriate intervals in the second direction, and the first island-shaped individual conductive portions and the second island-shaped individual conductive portions are formed in a region between the two edges. is there.
[0015]
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to any one of the first to fourth aspects, four rows of the plurality of nozzles are arranged corresponding to the rows of the nozzles. In the piezoelectric actuator, four rows of active portions are formed so as to correspond to the rows of the nozzles.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a cavity unit 11 and a piezoelectric actuator 12 in a piezoelectric inkjet printer head 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a third spacer plate 21 adjacent to a cavity plate and a lower surface thereof. FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line III-III of FIG. 1, FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1, and FIGS. FIG. 13 to FIG. 15 are plan views showing an overlapping state of the electrode patterns, FIG. 16A is an explanatory view showing a part of FIG. 7 or FIG. FIG. 16B is an explanatory diagram of a related art.
[0017]
In FIG. 1, the upper surface of a plate-stacked piezoelectric actuator 12 joined to the upper surface of a metal plate cavity unit 11 has flexibility as an example of a cable member for connection with an external device. The flat cables 13 (individually indicated by reference numerals 13a and 13b, see FIGS. 1, 3 and 4 (a)) are overlapped and bonded with an adhesive.
[0018]
The cavity unit 11 is configured as shown in FIGS. That is, the nozzle plate 14, the cover plate 15, the damper plate 16, the two manifold plates 17, 18, the three spacer plates 19, 20, 21 and the base plate 22 in which the pressure chambers 23 are formed in a total of 9 from the lower layer. In the embodiment, each of the plates 15 to 22 is made of a 42% nickel alloy steel plate except for a nozzle plate 14 made of a synthetic resin, and has a thickness of 50 μm. It has a thickness of about 150 μm.
[0019]
In the nozzle plate 14, a large number of nozzles 24 for ejecting ink having a very small diameter (about 25 μm in the embodiment) are arranged in a first direction (the long side direction of the cavity unit 11 in FIG. In FIG. 3, four rows are provided in a staggered arrangement along the X-axis direction).
[0020]
That is, in FIG. 4A showing the cavity unit 11 cut along the Y-axis direction (short side direction) of FIG. 1 and showing only the right side from the center line C of the short side, the first row of nozzles at the right position 24-1 and the second row of nozzles 24-2 closer to the center line C are connected to two parallel adjacent reference lines (not shown) extending in the first direction of the nozzle plate 14. A large number of holes are formed in a staggered arrangement at intervals of a minute pitch P along the third line. Similarly, on the left side of the center line C, the third row of nozzles 24-3 and the fourth row of nozzles 24- 4 (however, not shown in FIGS. 3 and 4 (a)) are staggered at intervals of a minute pitch P along two parallel adjacent reference lines which also extend in the first direction. A large number of holes are drilled in an array. A set of the first row of nozzles 24-1 and the second row of nozzles 24-2, and a set of the third row of nozzles 24-3 and the fourth row of nozzles 24-4 are They are arranged in parallel in the short-side direction (second direction, Y-axis direction in FIG. 1) at intervals. In the embodiment, the length of each of the first to fourth nozzle rows is 2 inches, and the number of each nozzle 24 is 150, that is, the array density is 75 (dpi [dots per inch]). is there.
[0021]
In the base plate 22 which is the uppermost layer of the cavity unit 11 shown in FIG. 2, pressure chambers 23 are provided so as to penetrate in the plate thickness direction at the same pitch P corresponding to the respective nozzles 24, and The pressure chambers 23 are formed in an elongated shape substantially parallel to the short side of the unit 11, and the rows of the pressure chambers 23 are arranged in a row in the long side direction (X-axis direction) of the cavity unit 11. Therefore, the adjacent pressure chambers 23 are separated by the elongated partition 70 substantially parallel to the short side of the cavity unit 11 (see FIGS. 2, 3, 13, and the like). The width W2 of each partition 70 is set slightly smaller than the width 1 of the pressure chamber 23 (see FIGS. 2 and 13).
[0022]
The first row of pressure chambers 23-1 corresponds to the first row of nozzles 24-1. Similarly, the second row of pressure chambers 23-2 is the second row of nozzles 24-2, the third row of pressure chambers 23-3 is the third row of nozzles 24-3, and the fourth row of pressure chambers. 23-4 is in correspondence with the fourth row of nozzles 24-4.
[0023]
Next, the arrangement relationship of the pressure chambers 23 in the base plate 22, which is the uppermost layer of the cavity unit 11, is shown by two piezoelectric elements arranged in tandem in the row direction of the nozzles 24 (first direction, X-axis direction). A description will be given from the relationship with the arrangement of the active parts in the actuator 12 (indicated by reference numerals 12a and 12b).
[0024]
One piezoelectric actuator 12a (or 12b) has 75 active parts so as to operate half (75 per column) pressure chambers 23 in the row direction among the four rows of nozzles 24. Placed. Therefore, as shown in FIGS. 1 and 3, one piezoelectric actuator 12a is disposed in the front half of the upper surface of the cavity unit 11 in the longitudinal direction (the first direction), and the other piezoelectric actuator 12b is disposed in the rear half. Be placed.
[0025]
The piezoelectric actuators 12a (or 12b) are arranged in correspondence with the common electrode 37 and the positions of the pressure chambers 23, as will be described later in detail with reference to FIGS. When the separated individual electrodes 36 are alternately stacked with the piezoelectric sheet interposed therebetween, the individual electrodes 36 formed with the piezoelectric sheet interposed in the stacking direction and the common electrode 37 are disposed between the two electrodes facing each other in the stacking direction. The piezoelectric sheet becomes an active part corresponding to each pressure chamber 23. Then, by applying a voltage between any of the individual electrodes 36 and the common electrode 37, a distortion due to the piezoelectric longitudinal effect occurs in the active portion of the piezoelectric sheet corresponding to the applied individual electrode 36 in the laminating direction. Is what you do. The active portions are formed in the same number and the same row at the corresponding positions as the number of the pressure chambers 23.
[0026]
That is, the active portions are arranged along the row direction (first direction) of the nozzles 24 (pressure chambers 23), and are arranged in the second direction by the same number as the number of the nozzle rows (four). Are lined up. Each active portion is formed to be long in the longitudinal direction of the pressure chamber 23 in the second direction (the width direction of the cavity unit 11, the Y-axis direction), and the arrangement interval (pitch P) between adjacent active portions is also described later. The pressure chambers 23 are arranged in a staggered manner (see FIG. 3).
[0027]
The pressure chambers 23 are arranged in two groups in the longitudinal direction of the base plate 22 corresponding to the two piezoelectric actuators 12a and 12b. That is, the pressure chambers 23 of the group corresponding to one actuator 12a correspond to those in the first half in the row direction (first direction) of the nozzles 24, and the pressure chambers 23 of the group corresponding to the other actuator 12b Corresponding to the latter half in the row direction (first direction) of the nozzles 24, two sets of two rows of staggered arrangement are provided at the same interval as the arrangement pitch (pitch P) of the nozzles 24, that is, a total of four rows (See FIG. 1).
[0028]
Each of the pressure chambers 23 is formed to extend in the width direction (second direction) of the base plate 22 and to penetrate the base plate 22 in the thickness direction. An inlet end 23b of each of the pressure chambers 23 communicates with a manifold chamber 26 described later via a second ink passage 30, a throttle 28, and a first ink passage 29 formed in the spacer plates 19, 20, and 21 (FIG. 2 and FIG. 4).
[0029]
Further, the outflow end 23a of each pressure chamber 23 is formed on the spacer plates 19, 20, 21, the manifold plates 17, 18, the damper plate 16, and the intermediate plate 15 formed between the base plate 22 and the nozzle plate 14. Each of the nozzles 24 communicates with each of the nozzles 24 via each of the communication passages 25 as a flow passage. At least one of the plates 15 to 21 laminated between the base plate 22 and the nozzle plate 14 is provided. The (one layer) plate is provided with a groove-like flow passage 50 substantially parallel to the flat surface (front surface or back surface) of the plate, so that the position of the nozzle 24 corresponding to each of the pressure chambers 23 is changed. A straight line (perpendicular line) perpendicular to the surface of the base plate 24 extends from the outflow end 23 a (ink outflow portion) of the nozzle plate 23 to the nozzle plate 14. , In which can be set in the lateral direction (direction along the first direction of the plate, X-axis direction) to the distance L3 shifted position (see FIGS. 2 and 3).
[0030]
That is, as shown in FIGS. 1 and 3, the interval L2 between the two groups of pressure chambers 23 is set to be wider than the arrangement interval (pitch P) of the pressure chambers 23 in the longitudinal direction of the base plate 22. This is because the distance L1 between the individual electrode 36, 36 at the row end and one end 44 of the piezoelectric actuator 12a adjacent thereto (one end 45 of the other piezoelectric actuator 12b) is determined by the production of the piezoelectric actuators 12a, 12b. Since it is difficult to manufacture the individual electrodes 36 at a pitch of 1/2 or less, the distance L1 is set to a size at which the piezoelectric actuators 12a and 12b can be easily manufactured, and the larger interval L2 is set.
[0031]
One end 44 of one piezoelectric actuator 12a and one end 45 of the other piezoelectric actuator 12b adjacent thereto are opposed to each other, and the interval between the opposed both ends 44, 45 is separated by a distance L4. The two piezoelectric actuators 12a and 12b are arranged in series (see FIGS. 1 and 3).
[0032]
As a result, the pitch P of the nozzles 24 is set to be constant in the row direction, and the position of the corresponding pressure chamber 23 is laterally shifted by a distance L3 from a line (perpendicular line) perpendicular to the plate thickness of the plate. As described above, at least a part of the communication passage 25 connected from the outflow end 23a of each corresponding pressure chamber 23 to the nozzle 24 is connected to the concave communication passage 50 parallel to the plate surface of the plate. In this configuration, the communication passage 25 in the other plate is penetrated perpendicularly to the thickness direction of each plate, and communicates with one end and the other end of the concave communication passage 50. Can be made to correspond. The groove-shaped communication passage 50 extends in the extension direction of the pressure chamber 23 along with the lateral displacement, and is symmetrically inclined around the center of the interval L2 between the two groups of pressure chambers 23.
[0033]
In the present embodiment, the grooved communication path 50 is provided in the third spacer plate 21 adjacent to the lower surface side of the base plate 22 in which the pressure chamber 23 is provided. More specifically, as shown in FIGS. 5 and 6, a first groove-shaped communication passage 50 a opened to the surface (upper surface) side of the third spacer plate 21 and a back surface (lower surface) of the third spacer plate 21 2) are alternately provided.
[0034]
The first groove-shaped communication passage 50a is open to the upper surface of the third spacer plate 21 and has a groove shape formed by etching except for the lower half of the plate thickness of the third spacer plate 21, The upper open surface has one end 51a communicating with the outflow end 23a of the corresponding pressure chamber 23, and is sealed by the base plate 22 adjacent to the upper surface. The other end opening 52a of the groove-shaped communication passage 50a penetrates the lower surface side of the third spacer plate 21 and communicates with the communication passage 25 penetrated through the second spacer plate 20 adjacent to the lower side. Communicating.
[0035]
The second concave groove-shaped communication passage 50b communicating with the outflow end 23a of the other pressure chamber 23 adjacent to the one pressure chamber 23 is opened to the lower surface of the third spacer plate 21, and the plate of the third spacer plate 21 is provided. A recessed groove formed by etching leaving an upper half portion of the thickness, the lower open surface of which has an end portion 52b formed through a communication passage 25 penetrating through the second spacer plate 20 adjacent to the lower side. And is hermetically sealed by the second spacer plate 20. One end 51b of the second groove-shaped communication passage 50b penetrates through the upper surface of the third spacer plate 21 and communicates with the outflow end 23a of the corresponding pressure chamber 23.
[0036]
In the embodiment, the plane area of the first opening 51a (51b) communicating with the outflow end 23a of the pressure chamber 23 is set larger than the plane area of the second opening 52a (52b) communicating with the communication passage 25. .
[0037]
In this manner, the plurality of grooved communication passages 50 formed in the third spacer plate 21 are opened on the back surface side with the first grooved communication passage 50a opened on the front surface side of the third spacer plate 21. If the second groove-shaped communication passages 50b are formed alternately, the first groove-shaped communication passages 50a and the ones corresponding to the second groove-shaped communication passages 50b are formed in the cavity unit 11. Even in the plan view, even if they are designed to be arranged close to each other, they are separated at the front and back of the third spacer plate 21 and do not communicate with each other. The degree can be greatly improved.
[0038]
In particular, when the number of plates to be stacked is large in the cavity unit 11, a part of the communication passage 25 as an ink flow passage from the pressure chamber 23 to the corresponding nozzle 24 is formed in parallel with the plane of the plate. By adopting a shape formed in the extending groove-shaped communication passage 50b and penetrating the other communication passage 25 in a direction perpendicular to the plane of the plate, the position of the nozzle 24 corresponding to the pressure chamber 23 is largely shifted in plan view. Even so, it is possible to design the ink flow passage so that the two can easily communicate with each other. Further, control may be performed so that the entire length (the distance including the groove-shaped communication passage 50a or the groove-shaped communication passage 50b) of the communication passage 25 as the ink flow passage from each pressure chamber 23 to the corresponding nozzle 24 is made equal. It becomes extremely simple.
[0039]
Manifold chambers 26 are formed in the two manifold plates 17 and 18 so as to extend along the rows of the nozzles 24. More specifically, the length of each of the manifold chambers 26 is a length obtained by appropriately dividing the pressure chambers 23 arranged in the nozzle row direction, and in the embodiment, one group of the pressure chambers 23 (one group of Since the number of the pressure chambers 23 in one row has a length extending over the length of 75), and the cavity unit 11 has four rows of the pressure chambers 23, the pressure chambers 23 are arranged for each row. Therefore, in the embodiment, eight manifold chambers 26 are formed. One end in the longitudinal direction of each manifold chamber 26 communicates with the ink supply holes 31 formed in the upper end of the stacked spacer plates 19 to 21 and the base plate 22. A filter 32 for removing dust in ink supplied from an ink supply source such as an ink tank (not shown) is provided on an upper surface of an ink supply hole 31 formed at an end of the uppermost base plate 22. .
[0040]
The depth of each manifold chamber 26 is formed by etching or the like so as to cover the entire thickness of the manifold plates 17 and 18, and the first spacer plate in the upper layer of the manifold plates 17 and 18 in which the two are combined is formed. 19 and a lower damper plate 16 to form a sealed structure. The damper plate 16 is formed with a damper chamber 27 having the same shape as the manifold chamber 26 in a plan view and a lower surface side having a reduced thickness by etching.
[0041]
Of the pressure waves acting on the pressure chamber 23 by the driving of the piezoelectric actuator 12, the retreating component toward the manifold chamber 26 is absorbed by the vibration of the thin damper plate 16, thereby preventing the occurrence of so-called crosstalk. You do it.
[0042]
Further, on the second spacer plate 20, an ink flow restricting portion 28 is formed corresponding to each of the pressure chambers 23. As shown in FIG. 4B, the shape of the narrowed portion 28 in plan view is such that the area of both ends 28a and 28b in the longitudinal direction is large and the area between them is small. Further, the narrowed portions 28 are formed so that the longitudinal direction thereof is parallel to the longitudinal direction of the pressure chamber 23. By laminating the first spacer plate 19 on the lower surface side of the second spacer plate 20 and the third spacer plate 21 on the upper surface side, the aperture portion 28 is sealed. A first ink passage 29 formed in the first spacer plate 19 connects the manifold chamber 26 to one end 28 a of the throttle unit 28. On the other hand, the second ink passage 30 formed in the third spacer plate 21 allows the other end 28b of the throttle section 28 to communicate with the inlet end 23b of the pressure chamber 23 (FIGS. 2 and 4A). reference).
[0043]
On the other hand, as shown in FIG. 5, each of the piezoelectric actuators 12 is formed by alternately laminating a plurality of (seven in the embodiment) piezoelectric sheets 33 and 34 each made of a piezoelectric ceramic plate having a thickness of about 30 μm. And a constraining layer composed of two sheets 46 and 47 on the upper surface of the group, and a top sheet 35 on the upper surface. The sheet and the top sheet of the constraining layer may be made of a piezoelectric ceramic plate or another material, as long as they have electrical insulation.
[0044]
As shown in FIG. 8, on the upper surface (flat surface) of the even-numbered piezoelectric sheet 33 counting upward from the lowermost piezoelectric sheet 34 having the common electrode 37, each pressure chamber 23 (in a dotted line) of the cavity unit 11 is provided. The pattern of the narrow individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, and 36-4 corresponds to the first direction (the long side direction of the piezoelectric sheet 33; the X-axis in FIG. 3). Direction, the column direction of each nozzle 24).
[0045]
The individual electrodes 36-1 in the first row and the individual electrodes 36-4 in the fourth row are arranged on the sides closer to the long side of each pair of the piezoelectric sheets 33. The individual electrodes 36-2 in the second row and the individual electrodes 36-3 in the third row are arranged at positions near the center in the short side direction of each piezoelectric sheet 33.
[0046]
The pattern of each of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 corresponds to the short side of each piezoelectric sheet 33 along a second direction (Y-axis direction) orthogonal to the first direction. Extend in parallel. In this case, the linear portions 36b of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 are connected to the pressure chambers 23-1, 23-2, 23-3, 23-4 (see FIG. 8). (See the dotted line), and have a length substantially the same as that of each pressure chamber, and are formed in a straight line having a width slightly smaller than each pressure chamber. The end 36a where the first column individual electrode 36-1 and the second column individual electrode 36-2 face each other, the third column individual electrode 36-3, and the fourth column individual electrode 36-4. The ends 36a facing each other are formed to be bent obliquely at an angle α (a sharp angle of about 60 degrees) with respect to the linear portion 36b in plan view, and extend outside the pressure chamber. The bending direction is a direction away from the opposed one end 44 (45) of the two piezoelectric actuators 12a, 12b in a plan view, and both ends 36a, 36a extend in a direction approaching each other (FIG. 8). reference).
[0047]
Each of the end portions 36a is at least connected to the dummy individual electrode 38 as the first island-shaped individual conductive portion in the vertically adjacent piezoelectric sheet 34 and the first connection pattern 53 (see FIG. 9) in the lower sheet 46 described later. Some of them are overlapped in a plan view, and are arranged at positions that can be electrically connected to the internal conductive electrodes 42a, 42b, and 60 penetrating the piezoelectric sheet 34 and the lower sheet 46 (see FIG. 13).
[0048]
Further, the piezoelectric sheet 33 surrounds a row of the individual electrodes 36-1 and 36-2 in a portion that partially overlaps a common electrode 37 in a piezoelectric sheet 34 described later in a plan view, and A dummy common electrode 43 is formed so as to surround the columns of -3 and 36-4.
[0049]
The common electrode 37 is formed by printing on each surface of the lowermost piezoelectric sheet 34 and the odd-numbered piezoelectric sheets 34 counted upward (see FIG. 7). The common electrode 37 is connected to three trunk portions 37a, 37b, and 37c that are long in the first direction (X-axis direction, a direction along the long side of the piezoelectric sheet 34) of each piezoelectric sheet 34, and is connected to these. 34 and a connecting portion 37e extending along the short side edge. The three trunk portions 37a, 37b, 37c are formed at a position close to a pair of long sides facing each other of the piezoelectric sheet 34 and at an intermediate portion in the short side direction (Y-axis direction) of the piezoelectric sheet 34. The trunk portion 37a is arranged at a position overlapping most of the linear portion 36b of the individual electrodes 36-1 in the first row in plan view. The trunk portion 37c is arranged at a position overlapping most of the linear portion 36b in the individual electrode 36-4 in the fourth row in plan view. On the other hand, the central trunk portion 37b is arranged at a position overlapping most of the straight portions 36b of the individual electrodes 36-2 in the second column and the individual electrodes 36-3 in the third column in plan view. .
[0050]
Further, a plurality of comb teeth portions 37d extending in the Y-axis direction are connected to the trunk portions 37a, 37b, 37c. The spacing P of the comb teeth 37d is set equal to the spacing P of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4, and thus the spacing P of the pressure chambers 23. It is arranged so as to overlap with the rest of the portion 36b in plan view (see FIG. 7).
[0051]
A substantially individual oval dummy individual electrode 38 (indicated by reference numerals 38-1, 38-2, 38-3, 38-4 in plan view) is provided between the rows of the comb teeth portions 37d facing each other. ) Are arranged at regular intervals so as to overlap in plan view at least a part of each end 36a of each of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4. Each oval dummy individual electrode 38 also extends in the same direction as the direction in which the end 36a of each individual electrode 36 extends in plan view. In other words, each of the piezoelectric actuators 12a (12b) extends obliquely at an angle α (a sharp angle of about 60 degrees) with respect to the direction in which the straight line of the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in plan view.
[0052]
Each of the dummy individual electrodes 38 is referred to as a first island-shaped individual conductive portion. The distance between the contour edge of the pattern area of each dummy individual electrode 38 and the contour edge of the pattern area of the comb tooth portion 37d at the closest position, and the contour of the pattern area of the adjacent dummy individual electrodes 38, 38 The interval between the edges is set to a constant distance e2 (see a two-dot chain line in FIG. 17).
[0053]
As described above, when each dummy individual electrode 38 as the first island-shaped individual conductive portion is formed in an inclined shape, the length dimension m1 of each dummy individual electrode 38 can be formed to be long, but the length of each dummy individual electrode 38 can be increased. The distance n1 between the straight lines passing along the leading edges 37d1 and 37d1 of the pair of opposing comb-tooth portions 37d and 37d can be set to be short while keeping the interval between the contour edges at a fixed distance e2 (FIGS. 7 and 17). reference). As a result, at the time of printing each pattern, even if a small or large error occurs in the area (area) of the pattern due to blurring of the contour of the pattern or the like, the interval between adjacent patterns can be maintained at a predetermined distance e2 or more. Therefore, when a voltage is applied to each of the electrodes, current does not leak between the adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to the predetermined pressure chamber can be reliably operated, so that the printing quality can be improved. This has the effect of being able to be held. As a result, the size of the short side (Y-axis direction) of each of the piezoelectric actuators 12a (12b) can be reduced, and the effect that the ink jet printer head can be formed compactly can be obtained.
[0054]
Except for the lowermost piezoelectric sheet 34, the uppermost piezoelectric sheets 34, 33 are electrically connected to a plurality of locations of the common electrodes 37 such as the trunk portions 37 a, 37 b, 37 c and the dummy common electrode 43 in the vertical direction. For connection, at the positions of the electrodes 37 and 43, conductive members (conductive paste) filled in a plurality of through holes formed so as to penetrate the thickness of each of the piezoelectric sheets 34 and 33 are used. An internal conductive electrode 41 is formed. Similarly, end portions 36 a of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 on the plurality of piezoelectric sheets 33 and dummy individual electrodes 38-1, 38-2, on the piezoelectric sheet 34. In order to electrically connect the piezoelectric sheets 33-3 and 38-4 to each other in the vertical direction, the piezoelectric sheets 33 and 34 are formed so as to penetrate through the thickness of each of the piezoelectric sheets 33 and 34 at the position of the end 36a and the electrode 38. Internal conductive electrodes 42a and 42b are formed of conductive members (conductive paste) filled in the plurality of provided through holes, respectively. In this case, the internal conductive electrodes 42a of the piezoelectric sheet 33 and the internal conductive electrodes 42b of the piezoelectric sheet 34 are formed at positions not overlapping vertically in plan view with an appropriate distance e1 (see FIG. 6).
[0055]
As shown in FIG. 9, on the upper surface of the lower sheet 46 of the two sheets 46 and 47 as the constraining layers, a first connection pattern 53 (individually denoted by 53- 1, 53-2, 53-3, and 53-4) overlap with at least a part of each of the dummy individual electrodes 38-1, 38-2, 38-3, and 38-4 in the piezoelectric sheet 34 in plan view. Are formed at regular intervals so that Each of the first connection patterns 53 also extends obliquely at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the direction in which the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in plan view. . At four corners on the upper surface of the lower sheet 46, contact patterns 54 are formed at positions overlapping a part of the common electrode 37 of the piezoelectric sheet 34 in plan view.
[0056]
On the other hand, as shown in FIG. 10, on the upper surface of the upper layer sheet 47, a communication pattern 55 which is substantially the same size as the common electrode 37 of the piezoelectric sheet 34 in plan view, and the lower layer The second connection pattern 53 overlaps at least a part of the first connection pattern 53 (individually denoted by reference numerals 53-1, 53-2, 53-3, 53-4) in the sheet 46 in plan view. Patterns 56 (individually indicated by reference numerals 56-1, 56-2, 56-3, and 56-4) are arranged at regular intervals.
[0057]
This second connection pattern 56 is referred to as a second island-shaped individual conductive portion. In the embodiment, the dummy individual electrode 38 which is the first island-shaped individual conductive portion is connected to an internal conductive electrode 60 to be described later penetrating through the first connection pattern 53 and in the layer thickness direction of each piezoelectric sheet. , 62 electrically.
[0058]
Each of the second connection patterns 56 also extends obliquely at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the direction in which the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in plan view. (See FIGS. 10 and 16). Further, the distance between the contour edge of the pattern area of each second connection pattern 56 and the linear contour edge 55a of the pattern area of the contact pattern 55 at the closest position, and the adjacent second connection pattern The interval between the contour edges of the pattern areas 56 and 56 is set to a constant distance e2 (see a two-dot chain line in FIG. 16).
[0059]
As described above, when the second connection patterns 56 as the second island-shaped individual conductive portions are formed in an inclined shape, the length dimension m2 of each second connection pattern 56 can be formed to be long, but the adjacent connection patterns 56 can be formed long. The distance n2 between the pair of opposed contour edges 55a, 55a can be set short while keeping the interval between the contour edges of the pattern area to be maintained at a constant distance e2 (see FIGS. 10 and 16). As a result, at the time of forming each pattern by printing, even if a small or large error occurs in the area (area) of the pattern due to blurring of the contour of the pattern or the like, the interval between adjacent patterns can be maintained at a predetermined distance e2 or more. Therefore, when a voltage is applied to each of the electrodes, current does not leak between the adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to the predetermined pressure chamber can be reliably operated, and the printing quality is improved. This has the effect of being able to be held.
[0060]
As a result, the size of the short side (Y-axis direction) of each of the piezoelectric actuators 12a (12b) can be reduced, and the effect that the ink jet printer head can be formed compactly can be obtained.
[0061]
As shown in FIG. 11, a plurality of common conductive layers 57 are formed on the upper surface of the top sheet 35 so as to partially overlap the communication pattern 55 in the upper layer sheet 47 in plan view. On the upper surface of the top sheet 35, individual second connection patterns 56-1, 56-2, 56-3, 56-4 of the upper layer sheet 47 are individually overlapped in plan view. Conductive layers 58 (individually denoted by reference numerals 58-1, 58-2, 58-3, 58-4) are arranged at regular intervals (see FIG. 14). As shown in FIG. 11, each of the individual conductive layers 58-1, 58-2, 58-3, and 58-4 has a short side edge (in the Y-axis direction) of the top sheet 35 and a corresponding individual electrode 36-1. , 36-2, 36-3, 36-4, and is formed in a straight line extending in the direction of the straight portion 36b of each individual electrode, but shorter than the straight portion 36b of each individual electrode. (See FIG. 8 and FIG. 11 for comparison). Further, the individual conductive layers 58-1, 58-2, 58-3, and 58-4 formed on the upper surface of the top sheet 235 are arranged in parallel below each other as shown in FIGS. Is located above the partition wall 70 between the adjacent pressure chambers 23, 23 located at the same position. In FIG. 14, it is slightly deviated from the center of the partition wall 70, but may be coincident with the center.
[0062]
Further, as shown in FIG. 11, on the upper surface of the top sheet 35, as an additional electrode for connecting to the connection electrode 71 of the flat cables 13a and 13b, a common surface-shaped individual electrode 66 having a rectangular shape in a plan view is provided. A surface electrode 67 for use and a dummy section 68 are formed (see FIG. 12). In this case, as shown in FIG. 15, the individual surface electrodes 66 are formed on the top sheet 35 at appropriate portions in the longitudinal direction of the individual conductive layers 58-1, 58-2, 58-3, and 58-4. It is formed in an island shape so as to be partially overlapped and electrically connected when viewed, and the column direction (X-axis direction) of the individual conductive layers 58-1, 58-2, 58-3, 58-4. Are arranged in a zigzag pattern so as to be shifted in the Y-axis direction.
[0063]
In other words, in the illustrated embodiment, each individual surface electrode 66 is arranged at a position shifted from the corresponding pressure chamber 23 and thus the active part by a substantially half of their arrangement interval (pitch) P in plan view, And it will be arrange | positioned above the partition 70 between the adjacent pressure chambers 23 and 23 (refer FIG. 15).
[0064]
As a modified example of this embodiment, each of the individual surface electrodes 66 disposed above the partition 70 between the adjacent pressure chambers 23 is disposed at a distance from the corresponding pressure chamber 23 (active portion). It may be arranged so as to be shifted in the X-axis direction by a distance 1.5 times the (pitch P).
[0065]
Further, as shown in FIGS. 3 and 15, the individual surface electrode 66 at the position closest to the opposing ends 44, 45 of the piezoelectric actuators 12 a, 12 b arranged in series is connected to the end 44. , 45 are disposed so as to be deviated so as to be larger than the distance L1 from the corresponding one of the active portions and thus the one ends 44, 45 of the pressure chamber 23.
[0066]
The common surface electrode 67 is attached in an island shape so as to overlap a part of the common conductive layer 57 formed on the upper surface of the top sheet 35 in a plan view. The dummy portion 68 is attached in an island shape on the extension of the common conductive layer 57 in the X-axis direction. The electrode 67 and the dummy part 68 are also located above the partition 70 as shown in FIG.
[0067]
Each of the first connection patterns 53-1, 53-2, 53-3, 53-4 of the lower sheet 46 is provided with a dummy individual part of the piezoelectric sheet 34 adjacent on the lower side. In order to electrically connect the electrodes 38-1, 38-2, 38-3 and 38-4 with each other in the up-down direction, a plurality of holes drilled through the thickness of the lower sheet 46. Internal conductive electrodes 60 are formed of conductive members (conductive paste) filled in the through holes, respectively (see FIG. 9).
[0068]
In order to electrically connect with the common electrode 37 of the piezoelectric sheet 34 adjacent to the lower side in the vertical direction, a plurality of through-holes similar to the above are formed at the location of the communication pattern 54 in the lower layer sheet 46. Is formed with an internal conducting electrode 61 made of a conductive member filled therein (see FIG. 9).
[0069]
Similarly, the upper layer sheet 47 has the second connection patterns 56-1, 56-2, 56-3, and 56-4 and the first connection patterns 53-1 and 53-2 of the lower layer sheet 46. In order to electrically connect the portions 53-3 and 53-4 individually to each other, a through hole is formed in the through hole to electrically connect the communication pattern 55 and the communication pattern 54 in the through hole. Internal conduction electrodes 63 are formed in the holes, respectively (see FIG. 10).
[0070]
In the same manner as described above, the top sheet 35 is provided with the individual conductive layers 58-1, 58-2, 58-3, 58-4 and the second connection pattern 56- in the lower adjacent upper layer 47. Internal conductive electrodes 64 are provided in the through holes for individually and electrically connecting the portions 1, 56-2, 56-3, and 56-4, respectively. Internal conductive electrodes 65 are formed in the through holes to electrically connect the conductive layer 57 and the communication pattern 55 in the upper adjacent sheet 47 below (see FIG. 11).
[0071]
When several sheets are stacked, the individual electrodes 36 and the corresponding dummy individual electrodes 38, the first connection pattern 53, and the second connection pattern 56 on the upper and lower adjacent sheets are vertically connected. It is preferable to dispose the internal conductive electrodes 42a, 42b, 60, 62, and 64 at positions that do not overlap in plan view.
[0072]
In the present invention, the internal connection electrodes for electrically connecting the individual electrodes 36 of each of the piezoelectric actuators 12a and 12b to each of the individual surface electrodes 66 and the common surface electrodes 67 are formed by the lower layer sheet 46 as a constraining layer and the upper layer. The first connection pattern 53, the second connection pattern 56, the individual conductive layer 58 and the sheets 46, 47, 35 formed along the respective planes of the sheet 47 and the top sheet 35, and the respective sheets 46, 47, 35 are arranged in the up-down direction (plate thickness). ) Direction.
[0073]
As an example of a method of manufacturing the piezoelectric actuator 12, all of the piezoelectric sheets 33 and 34, the constraining layer sheets 46 and 47, and the top sheet 35 are made of a ceramic plate. On the surface of a large green sheet made of a ceramic plate, a plurality of the operation units of the piezoelectric actuator 12 are integrally formed in a matrix in a matrix so that the piezoelectric sheet 33, At 34, the electrode patterns of the individual electrode 36, common electrode 37, dummy individual electrode 38, and dummy common electrode 43 are formed by screen printing using a conductive paste such as a silver-palladium paste (see FIGS. 7 and 8). In the upper and lower two constraining layer sheets 46 and 47, the first and second connection patterns 53 and 56 and the connection patterns 54 and 55 are also formed by screen printing using the conductive paste (FIGS. 9 and 10). reference). Then, each electrode pattern of the individual conductive layer 58 and the common conductive layer 57 is screen-printed on the top sheet 35 with the conductive paste (see FIG. 11).
[0074]
The internal conductive electrodes 41, 42, 60 to 65 in the piezoelectric sheets 34, 33, the upper and lower layer sheets 46, 47, and the top sheet 35 excluding the lowermost piezoelectric sheet 34 are formed after drilling through holes in the plate thickness direction. Pour the paste. Next, a plurality of material sheets are laminated in a state where the positions of the regions constituting each operation unit are vertically aligned, then pressed in the laminating direction, and then fired.
[0075]
Then, on the upper surface of the top sheet 35, as individual electrodes to be connected to the connection electrodes 71 of the flat cables 13a, 13b, individual surface electrodes 66 having a rectangular shape in plan view, common surface electrodes 67, and dummy portions. 68 are screen-printed as thick films, and then dried (see FIG. 12). Since the electrodes 66 and 67 are not fired, the flat cables 13a and 13b can have good solderability with the connection electrodes 71 later.
[0076]
An adhesive sheet (not shown) made of an ink-impermeable synthetic resin material as an adhesive layer is formed on the entire lower surface (the flat surface facing the pressure chamber 23) of the plate-type piezoelectric actuator 12 having such a configuration. ) Is applied in advance or a thermosetting adhesive is applied, and then the piezoelectric actuators 12 a and 12 b apply the individual electrodes 36 to the respective pressure chambers 23 in the cavity unit 11 with respect to the cavity unit 11. Correspondingly, the first ends 44 and 45 are bonded and fixed with a distance L4 therebetween (see FIGS. 4A and 3). At this time, a flat jig is applied to the upper surfaces of the piezoelectric actuators 12a and 12b, and the piezoelectric actuators 12a and 12b are pushed toward the cavity unit 11, but project from the upper surfaces of the piezoelectric actuators 12a and 12b. Since the electrodes 66 and 67 and the dummy portion 68 correspond to the partition 70 between the pressure chambers 23 as shown in FIG. 12, the pressing force applied via the electrode 66 causes the adhesive on the partition 70 to become piezoelectric. The actuators 12a and 12b are securely bonded to the partition 70. Therefore, since the ink does not leak due to poor bonding and no pressing force acts directly on the pressure chamber which is a cavity, it is possible to prevent the pressure chamber from being deformed and the piezoelectric actuator from being cracked.
[0077]
Further, the flat cables 13a, 13b are overlapped, pressed and adhered to the upper surfaces of the piezoelectric actuators 12a, 12b, and the various connection electrodes 71 of the flat cables 13a, 13b are attached to the individual surfaces. The electrode 66 and the common surface electrode 67 are electrically connected to each other.
[0078]
In this case, as in the case where the piezoelectric actuator and the cavity unit are bonded, the individual surface electrodes 66 are located above the partition walls 70 between the adjacent pressure chambers 23, 23, so that the flexible flat cables 13a, 13b Can be increased against the upper surfaces of the piezoelectric actuators 12a and 12b, and electrical connection between the connection electrode 71, the individual surface electrode 66 and the common surface electrode 67 can be completed.
[0079]
In the embodiment, the first connection pattern for connecting the individual surface electrodes 66 on the upper surface of the uppermost sheet of each piezoelectric actuator and the individual electrodes 36 by tilting the end portions 36 a of the individual electrodes 36. 53, the second connection pattern 56, and the individual conductive layers 58 and the internal conductive electrodes 60, 62, 64 for connecting them vertically, are individually separated from the one end 44 (45) in the X-axis direction. Thus, the position of the individual surface electrode 66 can be deviated so as to be largely away from the one end 44 (45) in the X-axis direction, and the adjacent flat cables 13a, 13b can be arranged adjacent to each other. Designing such that they do not interfere with each other can be easily performed by easily separating the intervals.
[0080]
Further, as shown in FIG. 15, the individual surface electrode 66 is formed afterwards on the island-shaped individual conductive layer 58 formed on the upper surface of the top sheet 35, so that the X-axis direction (the column direction of the nozzles 24) is formed. ), The arrangement position of the individual surface electrodes 66 arranged to be separated from the one end 44 (45) can be designed to be further shifted within a predetermined range. Therefore, the distance L5 from the opposed one end 44 (45) of the individual surface electrodes 66, 66 on the conductive layers formed on the upper surfaces of the piezoelectric actuators 12a, 12b arranged in series in the X-axis direction is set to be equal to each other. Similarly, if it is formed so as to be deviated so as to be larger than the distance L1 from the one end portion 44 (45) to the active portion (pressure chamber 23), the distance from the side edge of each flat cable to the connection electrode 71 is conventionally equal. Even when the flat cables 13a and 13b are large, the flat cables 13a and 13b are joined to the piezoelectric actuators 12a and 12b in a state where they do not overlap each other (a state where they do not interfere with each other) at the opposite end portions 44 and 45. Can be arranged.
[0081]
The connection electrodes 71 of the flat cables 13a and 13b are directly provided on the individual conductive layer 58 and the common conductive layer 57 exposed on the top sheet 35 by omitting the individual surface electrode 66 and the common surface electrode 67. May be joined.
[0082]
In this configuration, by applying a high voltage for polarization between all the individual electrodes 36 and the common electrode 37 via the individual surface electrodes 66 and the common surface electrodes 67 in each of the piezoelectric actuators 12a and 12b, The portions of the piezoelectric sheets 33 and 34 sandwiched between the individual electrodes 36 and the common electrode 37 are polarized. As a result, the portions of the piezoelectric sheets 33 and 34 sandwiched between the individual electrodes 36 and the common electrode 37 are used as active portions. Then, a drive voltage is applied between the individual electrode 36 and the common electrode 37 via an arbitrary individual surface electrode 66 and the common surface electrode 67 to generate an electric field parallel to the polarization direction in the corresponding active portion. Then, the active portion extends in the laminating direction, the internal volume of the corresponding pressure chamber 23 is reduced, and the ink in the pressure chamber 23 is ejected from the corresponding nozzle 24 in the form of a droplet, and the predetermined printing is performed. Is performed.
[0083]
When four colors of ink (black, cyan, yellow, magenta) are used for color printing, for example, the first row of nozzles 24-1 is used for discharging black ink, and the second row of nozzles 24- 2 is set for cyan ink, the third row of nozzles 24-3 is set for yellow ink, and the fourth row of nozzles 24-4 is set for magenta ink, respectively. The manifold chamber 26 in the second row is filled with black ink, the manifold chamber 26 in the second row is filled with cyan ink, the manifold chamber 26 in the third row is filled with yellow ink, and the fourth row is filled with yellow ink. Is filled with magenta ink.
[0084]
As described above, in the present embodiment, the pressure chamber 23 is divided into two groups along the row direction of the nozzles 24, and the interval between the groups is widened as L2. At least a part of the communication passage 25 communicating with the nozzle plate 24 is constituted by a concave groove flow passage 50 substantially parallel to the flat surface of one plate. When manufacturing a head having a large number of nozzles while keeping the same one as the conventional one, the piezoelectric actuators 12a and 12b can be used by arranging the nozzles 24 having a short length in the column direction in the column direction.
[0085]
Accordingly, since the amount of shrinkage of each actuator during firing when the piezoelectric actuator is manufactured is reduced, the variation in the interval between the active portions can be reduced, and a piezoelectric actuator with good dimensional accuracy can be manufactured efficiently.
[0086]
In the above embodiment, the number of nozzle rows is four, but the present invention can be applied to one or more nozzle rows. It goes without saying that the present invention can be applied to the joining of a single piezoelectric actuator and a single cable member.
[0087]
[Action and Effect of the Invention]
As described above, the ink jet printer head according to the first aspect of the present invention has a plurality of nozzles arranged in a row along the first direction on a flat plate and corresponds to each of the nozzles. Ink jet printer head in which a stacked piezoelectric actuator for ejecting ink by having an active portion selectively drivable for each pressure chamber is joined to a cavity unit in which rows of pressure chambers are formed. In the above, the piezoelectric actuator is formed by laminating a plurality of sheets including a piezoelectric sheet, and between the two electrodes facing each other in the laminating direction of an individual electrode and a common electrode formed by sandwiching the piezoelectric sheet in the laminating direction. While the piezoelectric sheet is configured to be the active portion corresponding to each of the pressure chambers, while one flat plate surface of the one piezoelectric sheet has the common electrode. While the turns are formed long along the first direction, the individual flat electrodes and the internal conductive electrodes penetrating in the sheet thickness direction of the piezoelectric sheet are formed on the same flat plate surface as the above. A first island-shaped individual conductive portion for electrically conducting via the first electrode is formed at a fixed distance from an edge of the common electrode pattern extending along the first direction, and The direction in which the island-shaped individual conductive portions extend is inclined at an appropriate angle with respect to a line perpendicular to the edge extending along the first direction.
[0088]
Therefore, when the first island-shaped individual conductive portions are formed in an inclined shape, the length dimension of each first island-shaped individual conductive portion can be increased, but the distance between the contour edges of the adjacent pattern regions, That is, while maintaining a constant distance between the first island-shaped individual conductive portion and the edge extending along the first direction in the pattern of the common electrode, the distance between the straight lines, which are the pair of opposed edges, is reduced. Can be set shorter. As a result, at the time of printing each of the patterns, even if a small or large error occurs in the pattern area (area) due to blurring of the contour of the pattern or the like, the interval between adjacent patterns can be maintained at a predetermined distance or more. When a voltage is applied to each of the electrodes, current does not leak between adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to a predetermined pressure chamber can be reliably operated, thereby maintaining good printing quality. It has the effect of being able to. As a result, the size of the short side (Y-axis direction) of each piezoelectric actuator can be reduced, and the effect that the ink jet printer head can be formed compactly can be obtained.
[0089]
According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect, a pattern of the common electrode is provided on one flat surface of a sheet laminated above the piezoelectric sheet constituting the active portion. And a common conducting portion electrically connected to the common electrode, and an internal conducting electrode penetrating in the plate thickness direction of each of the first island-shaped individual conducting portions and the sheet. A second island-shaped individual conductive portion for electrical conduction through the second conductive member is formed at a predetermined distance from an edge of the pattern of the common conductive portion extending along the first direction, and The direction in which the island-shaped individual conductive portions extend is inclined at an appropriate angle with respect to a line perpendicular to the edge extending along the first direction.
[0090]
Also in this configuration, when the second island-shaped individual conductive portions are formed in an inclined shape, the length dimension of each second island-shaped individual conductive portion can be increased, but each of the second island-shaped individual conductive portions can be formed. The distance between the pair of opposed edges can be set short while maintaining a constant distance from the edge of the pattern of the common conducting portion to the edge extending along the first direction. As a result, even when a small or large error occurs in the pattern area (area) due to blurring of the contour of the pattern at the time of printing and forming each pattern, the second island-shaped individual conductive section and the common conductive section Since the distance between the pattern and the edge extending along the first direction in the pattern can be maintained at a predetermined distance or more, when a voltage is applied to each electrode, no current leaks between adjacent electrodes, and a predetermined Since only the active portion corresponding to the pressure chamber can be reliably operated, the effect of maintaining good printing quality can be obtained.
[0091]
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first or second aspect, an arrangement interval between the first island-shaped individual conductive portions and between the second island-shaped individual conductive portions is set to be the same. Since they are arranged at a fixed distance, even when a voltage is applied to each electrode, current does not leak between adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to a predetermined pressure chamber is provided. Since the ink jet printer head can be reliably operated, the print quality can be maintained well and the ink jet printer head can be made compact.
[0092]
Further, the invention according to claim 4 is the ink jet printer head according to claim 3, wherein the row of the nozzles and the row of the corresponding pressure chambers are arranged in a second direction crossing the first direction. Arranged in a plurality of rows at appropriate intervals, and one flat plate surface of the piezoelectric sheet or the sheet is provided with edges extending along the first direction in each pattern of the common electrode and the common conducting portion in the second direction. And the first island-shaped individual conductive portions and the second island-shaped individual conductive portions are formed in a region between the two edges. Thereby, there is an effect that the dimension of the piezoelectric actuator in the second direction (short side direction) can be reduced.
[0093]
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to any one of the first to fourth aspects, the rows of the plurality of nozzles are four rows, and the plurality of piezoelectric nozzles are arranged corresponding to the rows of the nozzles. Since four rows of active portions are formed in the actuator so as to correspond to the rows of the respective nozzles, in addition to the effects of the invention according to any one of claims 1 to 5, in addition to the effects of the invention according to any one of claims 1 to 5, This produces an effect that an inkjet printer can be manufactured compactly.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a cavity unit, a piezoelectric actuator, and a flat cable of a piezoelectric ink jet printer head according to a first embodiment of the present invention, separately from each other.
FIG. 2 is a partially exploded perspective view of a cavity unit.
FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line III-III of FIG. 1;
4A is an enlarged cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 1, and FIG. 4B is an enlarged plan view of a diaphragm.
FIG. 5 is a partially enlarged sectional view of a piezoelectric actuator.
FIG. 6 is a partially enlarged perspective view showing positions of an individual electrode, a dummy electrode, and their internal conducting electrodes in a piezoelectric sheet.
FIG. 7 is a partially cutaway enlarged plan view of a piezoelectric sheet showing a pattern of a common electrode and the like.
FIG. 8 is a partially cutaway enlarged plan view of a piezoelectric sheet showing patterns of individual electrodes and the like.
FIG. 9 is a partially cutaway enlarged plan view showing a pattern on a lower sheet.
FIG. 10 is an enlarged plan view, partly cut away, showing a pattern in an upper layer sheet.
FIG. 11 is a partially cutaway enlarged plan view showing patterns of individual conductive layers and the like on the top sheet.
FIG. 12 is a partially cutaway enlarged plan view showing a pattern of an individual surface electrode and the like on the top sheet.
FIG. 13 is a partially cutaway enlarged plan view showing an overlapping relationship between an individual electrode and a dummy electrode with respect to a pressure chamber in an active portion.
FIG. 14 is a partially cutaway enlarged plan view showing the overlapping relationship among the individual electrodes, the first and second connection patterns, and the individual conductive layers with respect to the pressure chambers in plan view of the top sheet.
FIG. 15 is a partially cutaway enlarged plan view showing an overlapping relationship among an individual electrode, an individual conductive layer, and an individual surface electrode with respect to a pressure chamber in a plan view of a top sheet.
FIG. 16 is an explanatory diagram shown in a partially enlarged plan view of FIG. 10;
FIG. 17 is an explanatory diagram shown in a partially enlarged plan view of FIG. 7;
[Explanation of symbols]
10 Inkjet printer head
11 Cavity unit
12 Piezoelectric actuator
13 Flat cable
22 Base plate
23 pressure chamber
24 nozzles
33, 34 Piezoelectric sheet
36 individual electrodes
37 Common electrode
38 Dummy individual electrode as first island-shaped individual conductive portion
41, 42, 60-65 Internal conducting electrode
43 Dummy common electrode
53 First connection pattern
54 Contact Pattern
55 Contact Pattern
56 Second Connection Pattern as Second Island-shaped Individual Conducting Part
57 Conductive layer for common
58 Individual conductive layer
66 Individual surface electrode
67 Common surface electrode

Claims (5)

平板上にその第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルの列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを噴射させるための積層型の圧電アクチュエータを接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、
圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成する一方、
前記一つの圧電シートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンを前記第１の方向に沿って長く形成する一方、
前記と同一の平板面には、前記積層方向に隣接するシートにおける前記各個別電極と圧電シートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第１の島状個別導通部を、前記コモン電極のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、
且つ各第１の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。A cavity unit in which a plurality of rows of nozzles arranged in a row along the first direction on a flat plate and a row of pressure chambers corresponding to each of the nozzles is selected for each of the pressure chambers. In an ink jet printer head having a laminated piezoelectric actuator for ejecting ink with an active portion which can be driven,
The piezoelectric actuator is formed by laminating a plurality of sheets including a piezoelectric sheet,
While the piezoelectric sheet between the two electrodes facing each other in the stacking direction of the common electrode and the individual electrodes formed sandwiching the piezoelectric sheet in the stacking direction is configured to be the active portion corresponding to each pressure chamber,
On one flat surface of the one piezoelectric sheet, the pattern of the common electrode is formed long along the first direction,
On the same flat plate surface as above, a first island shape for electrically conducting each individual electrode in a sheet adjacent in the laminating direction and an internal conducting electrode penetrating in the thickness direction of the piezoelectric sheet. Forming an individual conductive portion at a fixed distance from an edge of the pattern of the common electrode extending along the first direction;
An ink jet printer head, wherein a direction in which each of the first island-shaped individual conductive portions extends is inclined at an appropriate angle with respect to a line orthogonal to an edge extending along the first direction. 前記活性部を構成する圧電シートの上方に積層されるシートの片方の平板面には、前記コモン電極のパターンと略同じ形状であって、当該コモン電極に電気的に接続されるコモン導通部を形成すると共に、
前記各第１の島状個別導通部とシートの板厚さ方向に貫通する内部導通電極を介して電気的に導通するための第２の島状個別導通部を、前記コモン導通部のパターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁から一定距離だけ隔てて形成し、
且つ各第２の島状個別導通部の延びる方向を前記第１の方向に沿って延びる縁と直交する線に対して適宜角度傾斜させたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。On one flat surface of the sheet laminated above the piezoelectric sheet constituting the active portion, a common conducting portion having substantially the same shape as the pattern of the common electrode and electrically connected to the common electrode is provided. While forming
A second island-shaped individual conductive portion for electrically connecting each of the first island-shaped individual conductive portions and an internal conductive electrode penetrating in the thickness direction of the sheet is formed in the pattern of the common conductive portion. Formed at a fixed distance from an edge extending along the first direction,
2. The ink jet printer head according to claim 1, wherein a direction in which each of the second island-shaped individual conductive portions extends is inclined at an appropriate angle with respect to a line perpendicular to an edge extending along the first direction. . 前記第１の島状個別導通部同士及び第２の島状個別導通部同士の配置間隔を、前記一定距離だけ隔てて配置したことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットプリンタヘッド。The ink jet printer head according to claim 1, wherein an arrangement interval between the first island-shaped individual conductive portions and between the second island-shaped individual conductive portions is separated by the fixed distance. 前記ノズルの列とこれに対応する圧力室の列とを前記第１の方向と交差する第２の方向に適宜間隔隔てて複数列状に配置し、
前記圧電シートまたはシートの片方の平板面には、前記コモン電極及びコモン導通部の各パターンにおける前記第１の方向に沿って延びる縁同士を前記第２の方向に適宜間隔隔てて形成すると共に、前記第１の島状個別導通部及び第２の島状個別導通部は、前記両縁の間の領域に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。The nozzle row and the corresponding pressure chamber row are arranged in a plurality of rows at appropriate intervals in a second direction crossing the first direction,
On one of the flat surfaces of the piezoelectric sheet or the sheet, edges extending along the first direction in each pattern of the common electrode and the common conducting portion are formed at appropriate intervals in the second direction, The inkjet printer according to claim 1, wherein the first island-shaped individual conductive portion and the second island-shaped individual conductive portion are formed in a region between the two edges. head. 前記複数のノズルからなる列を４列とし、前記各ノズルの列に対応させて配置する前記圧電アクチュエータには、前記各ノズルの列に対応するように４列の活性部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。Four rows are formed of the plurality of nozzles, and four rows of active portions are formed in the piezoelectric actuator arranged corresponding to the rows of the nozzles so as to correspond to the rows of the nozzles. The ink jet printer head according to any one of claims 1 to 4, wherein:
JP2003065100A 2003-02-13 2003-03-11 Inkjet printer head Expired - Lifetime JP4041976B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003065100A JP4041976B2 (en) 2003-03-11 2003-03-11 Inkjet printer head
US10/777,625 US7073894B2 (en) 2003-02-13 2004-02-12 Ink jet printer head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003065100A JP4041976B2 (en) 2003-03-11 2003-03-11 Inkjet printer head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004268507A true JP2004268507A (en) 2004-09-30
JP4041976B2 JP4041976B2 (en) 2008-02-06

Family

ID=33126206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003065100A Expired - Lifetime JP4041976B2 (en) 2003-02-13 2003-03-11 Inkjet printer head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4041976B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007030361A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Fujifilm Holdings Corp Liquid discharge head and imaging device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007030361A (en) * 2005-07-27 2007-02-08 Fujifilm Holdings Corp Liquid discharge head and imaging device

Also Published As

Publication number Publication date
JP4041976B2 (en) 2008-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7294952B2 (en) Laminated-type piezoelectric element and inkjet recording head having the same
JP3951119B2 (en) Inkjet printer head
JP4379583B2 (en) Inkjet recording head
EP1034930A1 (en) Ink jet recording head
US7073894B2 (en) Ink jet printer head
JP4324757B2 (en) Inkjet printer head
JP4595357B2 (en) Inkjet recording head
JP4161203B2 (en) Inkjet printer head
JP3925650B2 (en) Inkjet printer head
JP4035722B2 (en) Inkjet printer head and manufacturing method thereof
EP1512533A1 (en) inkjet head
JP2005059551A5 (en)
JP4221615B2 (en) Inkjet printer head and piezoelectric actuator
JP2005212374A (en) Ink jet head and its manufacturing method
JP3937152B2 (en) Inkjet printer head manufacturing method
JP4041976B2 (en) Inkjet printer head
JP4221544B2 (en) Piezoelectric actuator
JP4603762B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JP3876986B2 (en) Inkjet head
JP3925648B2 (en) Inkjet printer head
JP4661120B2 (en) Inkjet head manufacturing method
JP5194385B2 (en) Multilayer piezoelectric actuator and manufacturing method thereof
JP5194386B2 (en) Multilayer piezoelectric actuator
JP3777955B2 (en) Piezoelectric actuator and manufacturing method thereof
JP2005088516A (en) Inkjet printer head

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040930

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070809

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071017

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071030

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4041976

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122

Year of fee payment: 6

EXPY Cancellation because of completion of term