JP2005088516A - Inkjet printer head - Google Patents

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    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419Manifold

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To arbitrarily provide a fitting embodiment by turning reversely the drawing direction of a flexible flat cable 40 to a piezoelectric actuator 12. <P>SOLUTION: On a wide width face of a top sheet 35 of the piezoelectric actuator 12, a number of individual surface electrodes 58 electrically conducted to an individual electrode, and a number of common surface electrodes 57 electrically conducted to a common electrode, are formed in an island shape. The common surface electrodes 57 and the individual surface electrodes 58 are arranged in a point symmetry using a central point on the wide width face of the top sheet 35 as a center O of symmetry, and are arranged in a point symmetry using an individual connecting electrode part 78 formed on the wide width face of the flexible flat cable 40 as the center O of symmetry. The common connecting electrode part 77 is composed of the first parts 77a and 77a along a pair of long side edges, and the second parts 77b connecting to this and along a free end edge, and can be electrically connected respectively with a number of the common surface electrodes 57 and the individual surface electrodes 58 when the flexible flat cable 40 is rotatably moved by 180°around the center O of symmetry. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、インクジェットプリンタヘッドに係り、より詳しくは、圧電アクチュエータの駆動により複数のノズルから選択的にインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドの構成に関するものである。   The present invention relates to an inkjet printer head, and more particularly to a configuration of an inkjet printer head that selectively ejects ink from a plurality of nozzles by driving a piezoelectric actuator.

先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、特許文献1や特許文献2等に開示されているように、複数枚のプレートを積層して、インク流路を有するキャビティユニットが構成され、これらのプレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記各圧力室に接続する共通インク室としてのマニホールド室を有するマニホールドプレート等とから構成されている。圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板(圧電シート)を挟んでコモン電極と個別電極とを交互に積層して構成され、積層方向に対向する前記個別電極とコモン電極との間の圧電シートの部分である活性部が前記圧力室の上方にて平面視で重なるように、圧電アクチュエータとキャビティユニットとが接合されている。   In the on-demand type ink jet printer head of the prior art, as disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2, etc., a plurality of plates are stacked to form a cavity unit having an ink flow path. The plate has a nozzle plate having a plurality of nozzles, a base plate having a pressure chamber for each nozzle, and a manifold chamber as a common ink chamber connected to the ink supply source and connected to each pressure chamber. It consists of a manifold plate and the like. The piezoelectric actuator is configured by alternately laminating common electrodes and individual electrodes with a piezoelectric ceramic plate (piezoelectric sheet) interposed therebetween, and is a portion of the piezoelectric sheet between the individual electrodes and the common electrode facing each other in the laminating direction. The piezoelectric actuator and the cavity unit are joined so that the active portion overlaps the pressure chamber in plan view.

そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合端子部(接合電極)と圧電アクチュエータの最上層のシートの表面電極とを接合させる一方、前記表面電極と個別電極またはコモン電極とを圧電アクチュエータの積層方向に延びる導通部にて接続させている。   Then, in order to apply a voltage to each active part of the piezoelectric actuator, the joining terminal part (joining electrode) in the flexible flat cable for transmitting an external control signal and the surface electrode of the uppermost sheet of the piezoelectric actuator are joined. On the other hand, the surface electrode and the individual electrode or the common electrode are connected by a conductive portion extending in the stacking direction of the piezoelectric actuator.

その場合、圧電アクチュエータの最上層のシートには、コモン電極用の表面電極と個別電極用の表面電極とが当該シートの長手方向(ノズルの列が延びる方向、圧力室ひいては活性部の列が延びる方向)に沿う左右両側縁の近傍に配置されていた結果、フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極(接合端子部)に連設し、且つ外部の駆動IC(集積回路素子)に接続すべき微細幅のリード線は、前記シートの幅の狭い部分(短辺と直交する方向)に多数本形成されるから、ノズル数引いては活性部の数が増大するのに比例して隣接するリード線間の距離が近くなり、隣接するリード線間で発生する相互インダクタンスが増大して、印字性能が悪化するという問題があった。   In this case, the surface electrode for the common electrode and the surface electrode for the individual electrode are arranged on the uppermost sheet of the piezoelectric actuator in the longitudinal direction of the sheet (the direction in which the nozzle row extends, the pressure chamber, and hence the active portion row). As a result of being arranged in the vicinity of the left and right side edges along the direction), the lead having a fine width to be connected to the joining electrode (joining terminal portion) in the flexible flat cable and to be connected to the external driving IC (integrated circuit element) Since a large number of lines are formed in the narrow part of the sheet (in the direction perpendicular to the short side), the distance between adjacent lead wires is proportional to the increase in the number of active parts by subtracting the number of nozzles. And the mutual inductance generated between adjacent lead wires increases, and there is a problem that the printing performance deteriorates.

そこで、特許文献3に示すように、前記最上層のシートの長辺方向と直交する方向にフレキシブルフラットケーブルを延ばし、このフレキシブルフラットケーブルの延びる方向に沿って微細幅のリード線を形成することで、前記相互インダクタンスの増大を防止することが考えられた。
特開2002−36544号公報 特開2002−19102号公報 特開2001−260349号公報
Therefore, as shown in Patent Document 3, by extending a flexible flat cable in a direction orthogonal to the long side direction of the uppermost sheet, a lead wire having a fine width is formed along the extending direction of the flexible flat cable. It has been considered to prevent the mutual inductance from increasing.
JP 2002-36544 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-19102 JP 2001-260349 A

ところで、前記のキャビティユニットと圧電アクチュエータとは予め接合されたノズルヘッドとした状態で準備され、このノズルヘッドに前記フレキシブルフラットケーブルを接合したものを、インクカートリッジ等を搭載できるキャリッジの下面に固定し、フレキシブルフラットケーブルの他端をプリンタの本体の印字指令を出力する制御基板に接続することが行われている。前記ノズルヘッドの一対の長辺のうちどちら側からフレキシブルフラットケーブルを外に引き出すかはプリンタの設計上であるけれども、その引出し方向に応じて圧電アクチュエータの最上層のシートの表面に形成される表面電極のパターンを変更しなければならないとすると、製造コストが高くなるという問題を招来するのであった。   By the way, the cavity unit and the piezoelectric actuator are prepared in the form of a pre-joined nozzle head, and the flexible flat cable joined to the nozzle head is fixed to the lower surface of a carriage on which an ink cartridge or the like can be mounted. The other end of the flexible flat cable is connected to a control board that outputs a print command of the main body of the printer. Which side of the pair of long sides of the nozzle head to draw the flexible flat cable from the outside depends on the design of the printer, but the surface formed on the surface of the uppermost sheet of the piezoelectric actuator according to the drawing direction If the electrode pattern had to be changed, the manufacturing cost would increase.

本発明は、前記従来の問題を解決すべくなされたものであって、圧電アクチュエータの最上層のシートの表面に形成される個別電極用表面電極及びコモン電極用表面電極のパターンを工夫することにより、前記フレキシブルフラットケーブルの引出し方向を180度変更可能とし、且つ製造コストも低減できるインクジェットプリンタヘッドを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and by devising the pattern of the surface electrode for the individual electrode and the surface electrode for the common electrode formed on the surface of the uppermost sheet of the piezoelectric actuator. An object of the present invention is to provide an ink jet printer head capable of changing the drawing direction of the flexible flat cable by 180 degrees and reducing the manufacturing cost.

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、第1の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の複数の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを吐出させるための積層型の圧電アクチュエータを接合し、該圧電アクチュエータの広幅面に形成された表面電極に対してフレキシブルフラットケーブル広幅面に形成された接合用電極部を接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、前記圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成し、前記圧電アクチュエータにおける表面シートの広幅面には、前記個別電極に電気的に導通する多数の個別用表面電極と、前記コモン電極に電気的に導通する多数のコモン用表面電極とを島状に形成し、且つ前記コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置され、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心として180度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されているものである。   In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 includes a plurality of nozzle rows composed of a plurality of nozzles arranged in a row along the first direction and a pressure chamber corresponding to each nozzle. A laminated piezoelectric actuator having an active portion that can be selectively driven for each pressure chamber and having a plurality of rows formed therein is joined to the cavity unit, and a wide surface of the piezoelectric actuator is bonded to the cavity unit. In the ink jet printer head formed by joining the electrode portion for joining formed on the wide surface of the flexible flat cable to the surface electrode formed on the piezoelectric actuator, the piezoelectric actuator is formed by laminating a plurality of sheets including a piezoelectric sheet. The piezoelectric sheet between the two electrodes facing each other in the stacking direction of the individual electrode and the common electrode formed by sandwiching the piezoelectric sheet in the stacking direction is The wide area of the top sheet of the piezoelectric actuator is configured to be the active portion corresponding to each pressure chamber, and a large number of individual surface electrodes that are electrically connected to the individual electrodes are electrically connected to the common electrode. The common surface electrodes and the individual surface electrodes are arranged in a point-symmetrical manner with the center point of the wide surface of the surface sheet as the center of symmetry. The junction electrode portion formed on the wide surface of the flexible flat cable is electrically connected to the common surface electrodes and the individual surface electrodes when the flexible flat cable is rotated 180 degrees about the symmetry center. Are arranged so that they can be joined together.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第1の方向とそれと直交する第2の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成され、前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されているものである。   According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect, the common surface electrode is a portion near the outer periphery of the wide surface of the surface sheet and is perpendicular to the first direction. The individual surface electrodes are formed in a portion near the inner periphery of the wide surface of the surface sheet.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第1方向と直交する第2の方向に沿うように180度回転移動して接合可能に構成されているものである。   According to a third aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first or second aspect, the flexible flat cable is joined by rotating 180 degrees along a second direction orthogonal to the first direction. It is configured to be possible.

請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルに形成され、前記コモン用表面電極に接合されるコモン用接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルにおける前記第2の方向に沿う一対の側縁と、これらに連通し且つ第1の方向の自由端縁とに帯状に形成され、前記個別用接合電極は、前記コモン用接合電極部で囲まれる領域に形成されているものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the inkjet printer head according to any one of the first to third aspects, the common bonding electrode portion formed on the flexible flat cable and bonded to the common surface electrode includes: The flexible flat cable is formed in a strip shape on a pair of side edges along the second direction and a free end edge in the first direction that communicates with the pair of side edges. It is formed in a region surrounded by.

請求項1に記載の発明によれば、コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置されている一方、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心の周りに180度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されているので、同一のヘッドユニットを使って、フレキシブルフラットケーブルを引出し方向を180度回転させて逆にする作業が至極簡単にできるという効果を奏する。   According to the first aspect of the present invention, the common surface electrode and the individual surface electrode are arranged symmetrically with respect to the center point of the wide surface of the surface sheet, while the flexible flat cable The junction electrode portion formed on the wide surface of the first electrode is electrically joined to the plurality of common surface electrodes and individual surface electrodes, respectively, when the flexible flat cable is rotated 180 degrees around the symmetry center. Therefore, it is possible to extremely easily perform the operation of rotating the flexible flat cable by rotating the drawing direction by 180 degrees and using the same head unit.

請求項2に記載の発明によれば、前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第1の方向とそれと直交する第2の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成されているものであるから、前記コモン用表面電極の複数の群とフレキシブルフラットケーブルの広幅面におけるコモン用接合電極部とを接合させることができて、接合強度を向上させることがきて、フレキシブルフラットケーブルが温度変化等にて第1方向に伸縮しても、接合の剥がれを発生することがなく信頼性を向上させることができる。   According to the second aspect of the present invention, the common surface electrode includes a plurality of the surface electrodes closer to the outer periphery of the wide surface of the surface sheet, with appropriate intervals in the first direction and the second direction perpendicular thereto. Since the plurality of groups of common surface electrodes and the common junction electrode portion on the wide surface of the flexible flat cable can be joined to each other, the joint strength is improved. Therefore, even if the flexible flat cable expands and contracts in the first direction due to a temperature change or the like, it is possible to improve reliability without causing peeling of the joint.

また、前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されているものであるから、フレキシブルフラットケーブルの広幅面の広い面積を利用して、対応する多数の個別用接合電極部及びそのリード線を配置できるという効果を奏する。   In addition, since the individual surface electrode is formed near the inner periphery of the wide surface of the surface sheet, a large number of corresponding individual joints are used by utilizing a wide area of the wide surface of the flexible flat cable. There is an effect that the electrode part and its lead wire can be arranged.

請求項3に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの幅方向を、表面シートひいては圧電アクチュエータの長手方向(第1の方向)と平行状にして寸法を大きくできるから、その長手方向に多数配列される個別電極のための個別電極用接合電極部とそのリード線とを配置する面積的余裕が大きくなり、設計の自由度が向上する。   According to the third aspect of the present invention, the width of the flexible flat cable can be increased in parallel with the longitudinal direction (first direction) of the topsheet and thus the piezoelectric actuator. The area margin for arranging the joining electrode portion for the individual electrode and the lead wire thereof is increased, and the degree of freedom in design is improved.

請求項4に記載の発明によれば、圧電アクチュエータとフレキシブルフラットケーブルとの接合部のうち、コモン用の接合部分が前記第1の方向及び第2の方向に延びて接合面積を大きくでき、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。   According to the fourth aspect of the present invention, among the joint portions between the piezoelectric actuator and the flexible flat cable, the joint portion for common can extend in the first direction and the second direction to increase the joint area. There exists an effect that intensity | strength can be improved further.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面について説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明を適用するインクジェットプリンタの斜視図、図2は第1の実施形態におけるプリンタヘッドを背面側から見た平面図、図3は図2のIII ―III 線矢視断面図、図4はヘッドユニットの各部品の斜視図、図5はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図6(a)は図4のVI−VI線矢視断面図、図7は図4のVII −VII 線矢視断面図、図8は圧電アクチュエータの部分拡大断面図、図9は圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図、図10〜図17は圧電アクチュエータ12における各層の電極パターンを示す図、図18〜図19は電極パターンの重なり状態を示す平面図、図20は圧電アクチュエータの表面電極とフレキシブルフラットケーブルの接合用電極との重なり配置状態を示す平面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of an ink jet printer to which the present invention is applied, FIG. 2 is a plan view of the printer head according to the first embodiment viewed from the back side, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a perspective view of each component of the head unit, FIG. 5 is a partially enlarged perspective view of the main part of the cavity unit, FIG. 6A is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 4, and FIG. FIG. 8 is a partially enlarged sectional view of the piezoelectric actuator, FIG. 9 is a partially enlarged perspective view showing the positions of the individual electrodes, dummy electrodes and their internal conductive electrodes in the piezoelectric sheet, and FIGS. Is a diagram showing electrode patterns of each layer in the piezoelectric actuator 12, FIGS. 18 to 19 are plan views showing the overlapping state of the electrode patterns, and FIG. 20 is an overlapping arrangement of the surface electrode of the piezoelectric actuator and the joining electrode of the flexible flat cable. Is a plan view showing the state.

本発明に係るカラーインクジェットプリンタ100は、図1に示すように、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの4色のカラーインクがぞれぞれ仕切られて充填されたインクカートリッジ61と、用紙(被記録媒体)62に印字するためのインクジェットプリンタヘッド(以下単にプリンタヘッドという)63と、前記インクカートリッジ61とプリンタヘッド63が搭載されるキャリッジ64と、このキャリッジ64を前記用紙62の搬送方向(副走査方向、以下第1の方向またはY方向という)と直交する方向(主走査方向、以下第2の方向、X方向という)に往復移動させる駆動ユニット65、キャリッジ64の往復移動方向に延び、前記プリンタヘッド63と対向配置されたプラテンローラ66と、パージ装置67とを備えている。   As shown in FIG. 1, a color inkjet printer 100 according to the present invention includes, for example, an ink cartridge 61 in which four color inks of cyan, magenta, yellow, and black are partitioned and filled, and a sheet ( An ink jet printer head (hereinafter simply referred to as a printer head) 63 for printing on a recording medium) 62, a carriage 64 on which the ink cartridge 61 and the printer head 63 are mounted, and the carriage 64 in the transport direction of the paper 62 ( Extending in the reciprocating direction of the carriage 64 and the drive unit 65 for reciprocating in the sub-scanning direction (hereinafter referred to as the first direction or Y direction) (main scanning direction, hereinafter referred to as the second direction, X direction); A platen roller 66 disposed opposite to the printer head 63 and a purge device 67 Eteiru.

駆動ユニット65は、キャリッジ64の下端部に配置されてプラテンローラ66と平行に延びるキャリッジ軸71と、キャリッジ64の上端部に配置されてキャリッジ軸71と平行に延びるガイド板72と、キャリッジ軸71とガイド板72との間にあって、キャリッジ軸71の両端部に配置される2つのプーリ73、74とこの両プーリ73,74に巻き掛けしたタイミングベルト75とからなる。   The drive unit 65 is disposed at the lower end portion of the carriage 64 and extends parallel to the platen roller 66, the guide plate 72 is disposed at the upper end portion of the carriage 64 and extends parallel to the carriage shaft 71, and the carriage shaft 71. And the guide plate 72, and two pulleys 73 and 74 disposed at both ends of the carriage shaft 71, and a timing belt 75 wound around the pulleys 73 and 74.

モータ76の駆動に従って回転する一方のプーリ73からの駆動力により、タイミングベルト75に接合されているキャリッジ64が、前記キャリッジ軸71とガイド板72に支持されて直線往復移動できる。   The carriage 64 joined to the timing belt 75 is supported by the carriage shaft 71 and the guide plate 72 and can reciprocate linearly by the driving force from one pulley 73 that rotates in accordance with the driving of the motor 76.

図示しない給紙部からY方向(第1の方向)に搬送される用紙62は、前記プラテンローラ66とプリンタヘッド63との間に導入されて、後述するようにプリンタヘッド63から吐出されるインクにより所定の印字がなされ、その後排紙される。   The paper 62 conveyed in the Y direction (first direction) from a paper supply unit (not shown) is introduced between the platen roller 66 and the printer head 63 and ejected from the printer head 63 as will be described later. As a result, predetermined printing is performed, and then the paper is discharged.

パージ装置67はプラテンローラ66の側方に設けられ、プリンタヘッド63がリセット位置にある時に、プリンタヘッド63に対向するように配置されている。このパージ装置67は、プリンタヘッド63の後述する複数のノズル11aを覆うように当該ノズルの開口面に対して当接するパージキャップ81と、ポンプ82及びカム83と、インク貯留部84とを備えている。プリンタヘッド63がリセット位置にあるときに、プリンタヘッド63の内部に溜まる気泡等を含んだ不良インクを、カム83の駆動によりポンプ82によって吸引することにより、プリンタヘッド63の回復を図るようにしている。なお、吸引された不良インクはインク貯留部84に貯められる。   The purge device 67 is provided on the side of the platen roller 66 and is disposed so as to face the printer head 63 when the printer head 63 is in the reset position. The purge device 67 includes a purge cap 81 that abuts against an opening surface of the nozzles 11a of the printer head 63, which will be described later, a pump 82 and a cam 83, and an ink reservoir 84. Yes. When the printer head 63 is at the reset position, the defective ink containing bubbles and the like accumulated inside the printer head 63 is sucked by the pump 82 by driving the cam 83 so that the printer head 63 is recovered. Yes. The sucked defective ink is stored in the ink storage section 84.

パージ装置67におけるプラテンローラ66側の位置には、パージ装置67に隣接してワイパ部材86が配置されている。このワイパ部材86はへら状に形成されており、キャリッジ64の移動に伴って、プリンタヘッド63のノズル面を拭くものである。ノズル面を拭く場合に、ワイパ部材86は上方に突出され、ノズル面を拭かない場合には下方に後退している。   A wiper member 86 is disposed adjacent to the purge device 67 at a position on the platen roller 66 side in the purge device 67. The wiper member 86 is formed in a spatula shape, and wipes the nozzle surface of the printer head 63 as the carriage 64 moves. When the nozzle surface is wiped, the wiper member 86 protrudes upward, and when the nozzle surface is not wiped, it retracts downward.

キャップ85は、インクの乾燥を防止するため、印字が終了するとリセット位置に戻されるキャリッジ64に搭載されたプリンタヘッド63の複数のノズル11aを覆うものである。   The cap 85 covers the plurality of nozzles 11a of the printer head 63 mounted on the carriage 64 that is returned to the reset position when printing is completed in order to prevent ink from drying.

プリンタヘッド63は、図2及び図3に示すように、前面(図3における下面)にY方向(第1の方向)に列状に配置された複数個のノズル11a(図7参照)を有するヘッドユニット6と、このヘッドユニット6の背面側を後述のように接着剤を介して固定支持するためのヘッドホルダ1とを備えている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the printer head 63 has a plurality of nozzles 11a (see FIG. 7) arranged in a row in the Y direction (first direction) on the front surface (lower surface in FIG. 3). A head unit 6 and a head holder 1 for fixing and supporting the back side of the head unit 6 via an adhesive as will be described later are provided.

ヘッドホルダ1には、前述したインクカートリッジ61を搭載する搭載部3が備えられ、このインクカートリッジ61からヘッドユニット6に、後述する各色毎のインク供給用のスリーブ4を介して、インクが供給されるようになっている。   The head holder 1 includes the mounting portion 3 on which the ink cartridge 61 described above is mounted, and ink is supplied from the ink cartridge 61 to the head unit 6 via an ink supply sleeve 4 for each color described later. It has become so.

その場合、図2及び図3に示すように、インクカートリッジ61の搭載部3の下面となるヘッドホルダ1の底板1aには、ヘッドユニット6に固定されたフレキシブルフラットケーブル40を引き出すためのスリット87と、ヘッドユニット6に突設された4本の筒状のスリーブ4を挿通させるため挿通孔88,88と、後述する剛性の高いスペーサプレート19の張出し部をヘッドホルダ1に固定する接着剤89用の流し込み孔89a、89bが穿設されている。接着剤89として、例えば光硬化型接着剤であるUV接着剤を注入する。   In that case, as shown in FIGS. 2 and 3, a slit 87 for pulling out the flexible flat cable 40 fixed to the head unit 6 is formed in the bottom plate 1 a of the head holder 1 which is the lower surface of the mounting portion 3 of the ink cartridge 61. And an adhesive 89 for fixing the through holes 88 and 88 for projecting the four cylindrical sleeves 4 projecting from the head unit 6 and a protruding portion of a spacer plate 19 having high rigidity, which will be described later, to the head holder 1. Pour holes 89a and 89b for use are formed. As the adhesive 89, for example, a UV adhesive which is a photo-curing adhesive is injected.

前記スリット87は、底部1aの中央付近において長辺側(Y方向)に沿って細長く形成されている。流し込み孔89a、89bは、底板1aにおける下面側の開口の面積が上面側の開口の面積よりも小さい側断面視で逆向き台形状に形成され、底板1aの左右両長辺(Y方向)に沿って複数箇所設けられている。この各流し込み孔55は剛性の高いスペーサプレート19の張出し部の上面に対向して開口されている。   The slit 87 is formed elongated along the long side (Y direction) near the center of the bottom 1a. The pouring holes 89a and 89b are formed in a trapezoidal shape opposite to each other in a side sectional view in which the area of the opening on the lower surface side of the bottom plate 1a is smaller than the area of the opening on the upper surface side. A plurality of locations are provided along. Each casting hole 55 is opened to face the upper surface of the overhanging portion of the spacer plate 19 having high rigidity.

次に、ヘッドユニット6の構成から説明する。ヘッドユニット6は、図4〜図7に示すように、複数枚の金属プレートを積層して構成されたキャビティユニット10と、このキャビティユニット10に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ12と、その背面(上面)に外部機器との電気的接続のために重ね接合されたフレキシブルフラットケーブル40とにより構成されている。   Next, the configuration of the head unit 6 will be described. As shown in FIGS. 4 to 7, the head unit 6 has a cavity unit 10 formed by laminating a plurality of metal plates, and is bonded and laminated to the cavity unit 10 via an adhesive or an adhesive sheet. The plate-type piezoelectric actuator 12 and a flexible flat cable 40 joined to the back surface (upper surface) of the plate-type piezoelectric actuator 12 for electrical connection with an external device.

この実施形態のヘッドユニット6は、図2及び図4に示すように、ノズル11aが多数設けられてY方向(第1の方向)に長く構成された長尺型のヘッドであり、ヘッドユニット6が取り付けられるヘッドホルダ1も、図2に示すように、Y方向に長く構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 4, the head unit 6 of this embodiment is a long head that is provided with a large number of nozzles 11 a and is long in the Y direction (first direction). The head holder 1 to which is attached is also configured to be long in the Y direction, as shown in FIG.

前記キャビティユニット10は図2〜図4に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート11、カバープレート15、ダンパープレート16、二枚のマニホールドプレート17,18、3枚のスペーサプレート19,20,21及び圧力室23が形成されているベースプレート22の合計9枚の偏平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。   The cavity unit 10 is configured as shown in FIGS. That is, a total of 9 base plates 22 in which the nozzle plate 11, the cover plate 15, the damper plate 16, the two manifold plates 17, 18, the three spacer plates 19, 20, 21 and the pressure chamber 23 are formed in order from the lower layer. It is the structure which laminated | stacked by laminating | stacking the flat board of 1 sheet with the adhesive agent, respectively.

そして、前記複数枚のスペーサプレート19〜21のうち、少なくとも1枚のスペーサプレートの剛性を、他のプレート(ノズルプレート、カバープレート、ダンパープレート、マニホールドプレート、スペーサプレート、ベースプレートを含む)の剛性よりも大きく(高く)なるように設定されているものである。   The rigidity of at least one spacer plate among the plurality of spacer plates 19 to 21 is set to be higher than the rigidity of other plates (including nozzle plate, cover plate, damper plate, manifold plate, spacer plate, and base plate). Is set to be larger (higher).

本実施形態では、プレートの積層方向(板厚さ方向)の寸法が平板面の縦横寸法に比してかなり小さい偏平なキャビティユニットの平面が湾曲するような外力に対しての剛性の大小をいう。例えばキャビティユニットの平板の外周部を固定した状態で、当該平板面と垂直な方向の外力により、キャビティユニットの平板が撓み振動または曲げ変形する等に対する曲げ剛性(縦弾性係数と断面二次モーメントとの積)をいう。   In this embodiment, the size of the plate in the stacking direction (plate thickness direction) is considerably smaller than the vertical and horizontal dimensions of the flat plate surface. . For example, with the outer peripheral portion of the flat plate of the cavity unit fixed, the bending rigidity (longitudinal elastic modulus and cross-sectional secondary moment) with respect to bending vibration or bending deformation of the flat plate of the cavity unit due to an external force perpendicular to the flat plate surface. Product).

剛性を高く(大きく)するために、合成樹脂製のノズルプレート11を除き、各プレート15〜22は、42%ニッケル合金鋼板製であり、カバープレート15、ダンパープレート16、マニホールドプレート17、18、上側2枚のスペーサプレート20、21及びベースプレート22の板厚さを50μm〜150μm程度の厚さを有する。一方、前記マニホールドプレート18の直上に配置される第1スペーサプレート19の板厚は、300μm〜500μm程度で、他のプレート11、15〜18、20〜22の剛性よりはるかに大きく設定されている。また図示実施形態では、前記第1スペーサプレート19の平面視形状を、他のプレートの平面視形状より大きくする。例えば、平面視矩形形状の他のプレート11、15〜18、20〜22の外周に対して、同じく平面視矩形の第1スペーサプレート19の外周縁が適宜寸法H1だけ張り出すように形成されている。   In order to increase (increase) the rigidity, except for the nozzle plate 11 made of synthetic resin, each of the plates 15 to 22 is made of 42% nickel alloy steel plate, and the cover plate 15, damper plate 16, manifold plates 17, 18, The upper two spacer plates 20 and 21 and the base plate 22 have a thickness of about 50 μm to 150 μm. On the other hand, the thickness of the first spacer plate 19 disposed immediately above the manifold plate 18 is about 300 μm to 500 μm, which is set to be much larger than the rigidity of the other plates 11, 15 to 18, and 20 to 22. . In the illustrated embodiment, the plan view shape of the first spacer plate 19 is made larger than the plan view shapes of the other plates. For example, the outer peripheral edge of the first spacer plate 19 that is also rectangular in plan view is formed so as to appropriately protrude by the dimension H1 with respect to the outer peripheries of the other plates 11, 15 to 18, and 20 to 22 in rectangular shape in plan view. Yes.

前記第1スペーサプレート19の剛性を高める他の手段として、前記板厚の他、プレートの材質の強度(引張強さ)を大きくする。例えば、第1スペーサプレート19以外のプレートの材質をクロム強じん鋼とし、第1スペーサプレート19の材質をニッケル・クロム・モリブデン鋼、ステンレス鋼、タングステン鋼、コバルト・クロム・タングステン鋼にする等、引張強さの異なる材料を用いる。また、炭素鋼、合金鋼を焼入れすることにより、剛性を高めても良い。   As another means for increasing the rigidity of the first spacer plate 19, in addition to the plate thickness, the strength (tensile strength) of the material of the plate is increased. For example, the material of the plate other than the first spacer plate 19 is chromium strong steel, and the material of the first spacer plate 19 is nickel / chrome / molybdenum steel, stainless steel, tungsten steel, cobalt / chromium / tungsten steel, etc. Use materials with different tensile strengths. Moreover, you may raise rigidity by hardening carbon steel and alloy steel.

前記実施形態では、マニホールドプレート17、18の直上に隣接する第1スペーサプレート19の剛性を大きくしたが、圧力室23を有するベースプレート22の直下(下面)に隣接する第3のスペーサプレート21の剛性を大きくしても良いし、第2のスペーサプレート20の剛性を大きくしても良いし、両者の剛性を大きくすることもできる。ベースプレート22とマニホールドプレート18との間に介挿されるスペーサプレートが1枚の場合、それの剛性を大きくする。   In the embodiment, the rigidity of the first spacer plate 19 adjacent to the manifold plates 17 and 18 immediately above is increased, but the rigidity of the third spacer plate 21 adjacent to the base plate 22 having the pressure chambers 23 is directly below (lower surface). May be increased, the rigidity of the second spacer plate 20 may be increased, or the rigidity of both may be increased. When there is one spacer plate interposed between the base plate 22 and the manifold plate 18, the rigidity thereof is increased.

前記ノズルプレート11には、微小径(実施形態では25μm程度)の多数のインク噴出用のノズル11aが、当該ノズルプレート11における第1の方向(キャビティユニット10の長辺方向であり、図1及び図3において、Y方向、副走査方向)に沿ってなした列が4列千鳥配列状に設けられている。   The nozzle plate 11 has a large number of nozzles 11a for ejecting ink having a small diameter (in the embodiment, about 25 μm) in the first direction (the long side direction of the cavity unit 10). In FIG. 3, the rows formed in the Y direction and the sub-scanning direction) are provided in a four-row staggered arrangement.

即ち、キャビティユニット10を図1のX方向(短辺方向、主走査方向)に沿って切断し、且つ前記短辺の中央線Cより右側のみ示す図6(a)において、右側位置の第1列のノズル11a−1と、前記中央線Cに近い側の第2列のノズル11a−2とは、ノズルプレート11の前記第1の方向に延びる2つの平行状の近接した基準線(図示せず)に沿って各々微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されており、同様に、前記中央線Cより左側においても、第3列のノズル11a−3と第4列のノズル11a−4(但し、図6(a)には図示せず)とは、同じく前記第1の方向(Y方向)に延びる2つの平行状の近接した基準線に沿って、各々微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。また、第1列のノズル11a−1と第2列のノズル11a−2との組と、第3列のノズル11a−3と第4列のノズル11a−4との組は、キャビティユニット10の短辺方向(第2の方向、図1において、X方向、主走査方向))に間隔をおいて平行に配置されている。実施例では、第1列〜第4列の各々のノズル列の長さは2インチ、各々のノズル11aの数は150個で、つまり配列密度は75(dpi[ドット・パー・インチ])である。   That is, the cavity unit 10 is cut along the X direction (short side direction, main scanning direction) in FIG. 1, and only the right side of the center line C of the short side is shown in FIG. The nozzles 11a-1 in the row and the nozzles 11a-2 in the second row closer to the center line C are two parallel adjacent reference lines (not shown) extending in the first direction of the nozzle plate 11. In the same manner, the third row of nozzles 11a-3 and the fourth row are arranged on the left side of the center line C. The nozzles 11a-4 (however, not shown in FIG. 6A) are each a minute pitch P along two parallel adjacent reference lines extending in the first direction (Y direction). A large number of holes are formed in a staggered arrangement at intervals of. Further, a set of the first row nozzle 11 a-1 and the second row nozzle 11 a-2, and a set of the third row nozzle 11 a-3 and the fourth row nozzle 11 a-4 are the cavity unit 10. They are arranged in parallel in the short side direction (second direction, X direction in FIG. 1, main scanning direction) with an interval. In the embodiment, the length of each nozzle row of the first row to the fourth row is 2 inches, and the number of each nozzle 11a is 150, that is, the arrangement density is 75 (dpi [dot per inch]). is there.

図4に示すキャビティユニット10の最上層であるベースプレート22には、圧力室23が、前記各ノズル11aに対応して同じピッチPだけ隔てて板厚さ方向に貫通するように設けられ、且つキャビティユニット10の短辺と略平行状に細長く形成され、圧力室23の列はキャビティユニット10の長辺方向(Y方向)に列状に配置されている。従って、隣接する圧力室23の間は、キャビティユニット10の短辺と略平行状の細長い隔壁24にて隔絶されている。該各隔壁24の幅寸法W2は、圧力室23の幅寸法W1よりも若干小さく設定されている(図5を参照)。   The base plate 22 which is the uppermost layer of the cavity unit 10 shown in FIG. 4 is provided with pressure chambers 23 penetrating in the plate thickness direction with the same pitch P corresponding to the nozzles 11a. The pressure chambers 23 are formed in a row in the long side direction (Y direction) of the cavity unit 10. Accordingly, the adjacent pressure chambers 23 are isolated from each other by an elongated partition wall 24 that is substantially parallel to the short side of the cavity unit 10. The width dimension W2 of each partition wall 24 is set slightly smaller than the width dimension W1 of the pressure chamber 23 (see FIG. 5).

そして、第1列の圧力室23−1は前記第1列のノズル11a−1と対応する。同様にして、第2列の圧力室23−2は第2列のノズル11a−2と、第3列の圧力室23−3は第3列のノズル11a−3と、第4列の圧力室23−4は第4列のノズル11a−4と、各々対応関係にある。   The first row of pressure chambers 23-1 corresponds to the first row of nozzles 11a-1. Similarly, the second row of pressure chambers 23-2 is the second row of nozzles 11a-2, the third row of pressure chambers 23-3 is the third row of nozzles 11a-3, and the fourth row of pressure chambers. 23-4 has a corresponding relationship with the fourth row of nozzles 11a-4.

次に、キャビティユニット10の最上層であるベースプレート22における圧力室23の配置関係を、その上に前記ノズル11aの列方向(第1の方向、Y方向)に縦列させて配置する2つの圧電アクチュエータ12(個別には符号12a、12bを付する)における活性部の配置との関係から説明する。   Next, two piezoelectric actuators are arranged such that the arrangement relationship of the pressure chambers 23 in the base plate 22 which is the uppermost layer of the cavity unit 10 is arranged in the column direction (first direction, Y direction) of the nozzles 11a thereon. This will be described from the relationship with the arrangement of the active portion in 12 (indicated by 12a and 12b individually).

1つの圧電アクチュエータ12a(または12b)が、前記4列のノズル11aの個数のうちの列方向の半数(1列につき75個)の圧力室23を作動させるように75個の活性部を有して配置される。従って、図1及び図3に示すように、キャビティユニット10の上面のうち長手方向(前記Y方向)の前半部に一方の圧電アクチュエータ12aが配置され、後半部に他方の圧電アクチュエータ12bが配置される。   One piezoelectric actuator 12a (or 12b) has 75 active portions so as to actuate half (75 per row) of pressure chambers 23 in the row direction out of the number of nozzles 11a in the four rows. Arranged. Accordingly, as shown in FIGS. 1 and 3, one piezoelectric actuator 12a is disposed in the front half of the upper surface of the cavity unit 10 in the longitudinal direction (the Y direction), and the other piezoelectric actuator 12b is disposed in the rear half. The

そして、各圧電アクチュエータ12a(または12b)は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極36とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部として有し、任意の個別電極36とコモン電極37との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極36に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部は、圧力室23の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。   Each of the piezoelectric actuators 12a (or 12b), as will be described in detail later, has the piezoelectric between the electrodes facing each other in the stacking direction of the individual electrode 36 and the common electrode formed by sandwiching the piezoelectric sheet in the stacking direction. A sheet is provided as an active part, and a voltage is applied between an arbitrary individual electrode 36 and a common electrode 37, whereby a piezoelectric sheet is applied in the stacking direction to the active part of the piezoelectric sheet corresponding to the applied individual electrode 36. Distortion due to the vertical effect is generated. The active portions are formed in the same number in the same row with the same number as the number of pressure chambers 23.

即ち、前記活性部は、ノズル11a(圧力室23)の列方向(第1の方向、Y方向)に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数(4つ)と同じ数だけ、第2の方向(X方向)に並べられている。また、各活性部は、前記第2の方向(キャビティユニット10の幅方向、X方向)に圧力室23の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔(ピッチP)も後述する圧力室23の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。   That is, the active portions are arranged along the row direction (first direction, Y direction) of the nozzles 11a (pressure chambers 23), and are the same number as the number of the nozzle rows (four). Are arranged in the direction (X direction). Each active part is formed long in the longitudinal direction of the pressure chamber 23 in the second direction (the width direction of the cavity unit 10, the X direction), and the arrangement interval (pitch P) between adjacent active parts is also described later. Similar to the arrangement of the pressure chambers 23, the pressure chambers 23 are arranged in a staggered manner.

前記圧力室23は、2つの圧電アクチュエータ12a、12bと対応してベースプレート22の長手方向(Y方向)に2グループに分けて配置される。つまり、一方のアクチュエータ12aに対応するグループの圧力室23は、ノズル11aの列方向(Y方向)の前半部のものに対応し、他方のアクチュエータ12bに対応するグループの圧力室23は、ノズル11aの列方向(Y方向)の後半部のものに対応して、それぞれノズル11aの配置間隔(ピッチP)と同じ間隔で、且つ2列の千鳥状配列を2組、計4列をなして配置されている(図1参照)。   The pressure chambers 23 are arranged in two groups in the longitudinal direction (Y direction) of the base plate 22 corresponding to the two piezoelectric actuators 12a and 12b. That is, the group of pressure chambers 23 corresponding to one actuator 12a corresponds to the one in the first half of the nozzle 11a in the column direction (Y direction), and the group of pressure chambers 23 corresponding to the other actuator 12b is the nozzle 11a. Corresponding to the latter half in the row direction (Y direction) of each, the same interval as the arrangement interval (pitch P) of the nozzles 11a, and two sets of two staggered arrangements are arranged in a total of four rows. (See FIG. 1).

前記各圧力室23は、ベースプレート22の幅方向(第2の方向、X方向)に長く、且つベースプレート22を厚さ方向に貫通して形成されている。その各圧力室23の入口端23bは、スペーサプレート19、20、21に形成された第2インク通路30、絞り部28、第1インク通路29を介して後述するマニホールド室26に連通する(図5及び図6(a)参照)。   Each of the pressure chambers 23 is long in the width direction (second direction, X direction) of the base plate 22 and is formed so as to penetrate the base plate 22 in the thickness direction. An inlet end 23b of each pressure chamber 23 communicates with a manifold chamber 26 described later via a second ink passage 30, a throttle portion 28, and a first ink passage 29 formed in the spacer plates 19, 20, and 21 (FIG. 5 and FIG. 6 (a)).

また、各圧力室23の流出端23aは、ベースプレート22とノズルプレート11との間に位置するスペーサプレート19、20、21、マニホールドプレート17、18、ダンパープレート16及び中間プレート15に形成されたインク流通路としての各連通路25を介して各ノズル11aに連通するが、この連通路25の一部は、ベースプレート22とノズルプレート11との間の積層されるプレート15〜21のうち少なくとも1枚(1層)のプレートにはその平板面(表面または裏面)と略平行状の凹溝状流通路50を備えることにより、前記各圧力室23に対応するノズル11aの位置を、前記各圧力室23の流出端23a(インク流出部)から、ベースプレート22の表面と直交する直線(垂線)がノズルプレート11に至る個所より、横方向(プレートの第1方向に沿った方向、Y方向)に距離L3だけずれた位置に設定することができるものである(図7参照)。   Further, the outflow end 23 a of each pressure chamber 23 is ink formed on the spacer plates 19, 20, 21, the manifold plates 17, 18, the damper plate 16, and the intermediate plate 15 positioned between the base plate 22 and the nozzle plate 11. The nozzles 11a communicate with each of the nozzles 11a through the communication passages 25 as flow passages. A part of the communication passage 25 is at least one of the plates 15 to 21 stacked between the base plate 22 and the nozzle plate 11. The (one layer) plate is provided with a concave groove-like flow passage 50 substantially parallel to the flat plate surface (front surface or back surface), so that the position of the nozzle 11a corresponding to each pressure chamber 23 can be determined. The straight line (perpendicular line) orthogonal to the surface of the base plate 22 reaches the nozzle plate 11 from the outflow end 23a (ink outflow portion) of the nozzle 23. More, in which it is possible to set the horizontal direction (direction along the first direction of the plate, Y-direction) at a position shifted by a distance L3 (see FIG. 7).

つまり、図4及び図7に示すごとく、圧電アクチュエータ12a,12bの2つのグループの圧力室23の間は、ベースプレート22の長手方向に圧力室23の配置間隔(ピッチP)よりも広い間隔L2に設定されている。これは、各圧電アクチュエータ12a,12bの製作上、最列端の個別電極36、36とそれに近接する圧電アクチュエータ12aの一端部44(他方の圧電アクチュエータ12bの一端部45)との距離L1を、個別電極36のピッチPの1/2以下に製作することが困難なため、距離L1を圧電アクチュエータ12a,12bの製作しやすい大きさとして、それよりも大きい間隔L2を設定したのである。   That is, as shown in FIGS. 4 and 7, the gap L2 between the pressure chambers 23 of the two groups of the piezoelectric actuators 12a and 12b is wider than the arrangement interval (pitch P) of the pressure chambers 23 in the longitudinal direction of the base plate 22. Is set. This is because, in manufacturing each piezoelectric actuator 12a, 12b, the distance L1 between the individual electrodes 36, 36 at the end of the row and the one end 44 (one end 45 of the other piezoelectric actuator 12b) of the piezoelectric actuator 12a adjacent to it. Since it is difficult to manufacture the individual electrodes 36 to be equal to or less than ½ of the pitch P, the distance L1 is set to a size that facilitates the manufacture of the piezoelectric actuators 12a and 12b, and a larger interval L2 is set.

そして、一方の圧電アクチュエータ12aの一端部44と、これに隣接する他方の圧電アクチュエータ12bの一端部45とを相対向させて、且つ該対向する両端部44、45の間隔を距離L4だけ隔てて、両圧電アクチュエータ12a,12bを直列状に配置することになる(図7参照)。   Then, one end 44 of one piezoelectric actuator 12a and one end 45 of the other piezoelectric actuator 12b adjacent to each other are opposed to each other, and the distance between the opposing ends 44, 45 is separated by a distance L4. The piezoelectric actuators 12a and 12b are arranged in series (see FIG. 7).

これにより、ノズル11aのピッチPは、その列方向に一定に設定されているが、対応する圧力室23の位置とはプレートの板厚に垂直な線(垂線)に対して横方向(Y方向)に距離L3だけずれているから、対応する各圧力室23の流出端23aからノズル11aに接続する連通路25のうち少なくとも一部を、上記したように、プレートの平板面と平行な凹溝状連通路50にて構成することにより、その他のプレートにおける連通路25は各プレートの板厚方向に垂直に貫通させて、この凹溝状連通路50の一端部及び他端部に連通させるだけで、前記横ずれに対応させることができる。なお、前記凹溝状連通路50は前記横ずれとともに圧力室23の延長方向にも延び、2グループの圧力室23の間隔L2の中央を境にして対称に傾斜している。   As a result, the pitch P of the nozzles 11a is set to be constant in the column direction, but the position of the corresponding pressure chamber 23 is transverse to the line (perpendicular) perpendicular to the plate thickness (Y direction). ) Is shifted by a distance L3, so that at least a part of the communication passage 25 connected from the outflow end 23a of each corresponding pressure chamber 23 to the nozzle 11a is a concave groove parallel to the flat plate surface of the plate as described above. By configuring the plate-like communication path 50, the communication paths 25 in the other plates are penetrated perpendicularly to the plate thickness direction of each plate, and only communicated with one end and the other end of the concave groove-shaped communication path 50. Thus, the lateral shift can be dealt with. The groove-shaped communication path 50 extends in the extending direction of the pressure chamber 23 together with the lateral displacement and is inclined symmetrically with respect to the center of the interval L2 between the two groups of pressure chambers 23.

本実施形態では、圧力室23が設けられたベースプレート22の下面側に隣接する第3スペーサプレート21に凹溝状連通路50が設けられるものであって、この凹溝状連通路50の構成をさらに詳述すると、図5及び図7(a)に示すように、第3スペーサプレート21の表面(上面)側に開放されて、対応する圧力室23の流出端23aに連通する一端50aと、該第3スペーサプレート21の裏面(下面)側に開放された凹溝状水平通路部50bと、下側の第2スペーサプレート20における垂直状の連通路25の上端に連通する他端50cとからなる。   In the present embodiment, the groove-shaped communication path 50 is provided in the third spacer plate 21 adjacent to the lower surface side of the base plate 22 provided with the pressure chamber 23. More specifically, as shown in FIGS. 5 and 7A, one end 50a that is open to the surface (upper surface) side of the third spacer plate 21 and communicates with the outflow end 23a of the corresponding pressure chamber 23; From the concave groove-like horizontal passage portion 50b opened to the back surface (lower surface) side of the third spacer plate 21, and the other end 50c communicating with the upper end of the vertical communication passage 25 in the lower second spacer plate 20. Become.

このように、圧力室23から対応するノズル11aまでのインク流通路としての連通路25のうちの一部をプレートの平面と平行状に延びる凹溝状連通路50に形成し、その他の連通路25をプレートの平面と垂直な方向に貫通させる形状を採用することにより、圧力室23と対応するノズル11aの位置が平面視で大きくずれていても、その両者を簡単に連通させるようなインク流通路の設計ができる。また、各圧力室23から対応するノズル11aまでのインク流通路としての連通路25の全長(凹溝状連通路50を含む距離)を等しくするように制御することも至極簡単となる。   Thus, a part of the communication path 25 as an ink flow path from the pressure chamber 23 to the corresponding nozzle 11a is formed in the concave groove-shaped communication path 50 extending in parallel with the plane of the plate, and the other communication paths. By adopting a shape that penetrates the nozzle 25 in the direction perpendicular to the plane of the plate, even if the position of the nozzle 11a corresponding to the pressure chamber 23 is greatly displaced in plan view, the ink flow that allows both to communicate easily The road can be designed. Further, it is extremely easy to control so that the total length (the distance including the concave groove-shaped communication path 50) of the communication path 25 as the ink flow path from each pressure chamber 23 to the corresponding nozzle 11a is equal.

前記二枚のマニホールドプレート17、18には、マニホールド室26が、前記ノズル11aの列に沿って延びるように穿設されている。さらに詳述すると、各マニホールド室26の長さは、前記各ノズル列方向に並ぶ圧力室23を適宜数毎に分割した長さであり、実施例では、圧力室23の1グループ(1グループの1列の圧力室23の数が75)の長さにわたった長さを有し、且つキャビティユニット10には、圧力室23の列が4列あるので、その1つの列毎に配置する。従って、実施例では、8本のマニホールド室26が形成されている。各マニホールド室26の長手方向一端部は、その上方の積層されたスペーサプレート19〜21及びベースプレート22の端部に穿設されたインク供給孔31に連通する。   A manifold chamber 26 is formed in the two manifold plates 17 and 18 so as to extend along the row of the nozzles 11a. More specifically, the length of each manifold chamber 26 is a length obtained by dividing the pressure chambers 23 arranged in the direction of each nozzle row into appropriate numbers. In the embodiment, one group (one group of pressure chambers 23) is provided. The number of the pressure chambers 23 in one row is 75), and the cavity unit 10 has four rows of the pressure chambers 23, and is arranged for each row. Therefore, in the embodiment, eight manifold chambers 26 are formed. One end portion in the longitudinal direction of each manifold chamber 26 communicates with the ink supply holes 31 formed in the end portions of the spacer plates 19 to 21 and the base plate 22 stacked thereabove.

また、各マニホールド室26の深さはマニホールドプレート17、18の板厚さ全体にわたるようエッチング加工等にて穿設形成され、この二枚を合わせたマニホールドプレート17、18の直上層の第1スペーサプレート19と、下層のダンパープレート16とにより積層されることにより密閉される構造となっている。なお、ダンパープレート16には、前記マニホールド室26と平面視形状が同じで下面側をエッチング加工により板厚を薄くしたダンパー室27を形成する。   Further, the depth of each manifold chamber 26 is formed by etching or the like so as to cover the entire plate thickness of the manifold plates 17 and 18, and the first spacer immediately above the manifold plates 17 and 18, which is a combination of the two plates. The plate 19 and the lower damper plate 16 are stacked so as to be sealed. The damper plate 16 is formed with a damper chamber 27 having the same shape as the manifold chamber 26 in plan view and having a plate thickness reduced by etching on the lower surface side.

圧電アクチュエータ12の駆動により圧力室23に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されてマニホールド室26の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート16の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。   Of the pressure waves acting on the pressure chamber 23 by driving the piezoelectric actuator 12, a retreat component propagated by ink and directed toward the manifold chamber 26 is absorbed by the vibration of the damper plate 16 having a thin plate thickness, so-called crosstalk occurs. It is prevented from occurring.

また、第2スペーサプレート20には、インク流の絞り部28を、前記各圧力室23毎に対応させて形成する。この絞り部28の平面視形状は、図6(b)に示すように、長手方向の両端部28a,28bの面積が大きく、その中間の面積が小さく形成されている。また、各絞り部28の長手方向を前記圧力室23の長手方向と平行状になるように形成されている。そして、第2スペーサプレート20の下面側に前記第1スペーサプレート19を、上面側に第3スペーサプレート21をそれぞれ積層することにより、前記絞り部28が密閉されている。第1スペーサプレート19に穿設された第1インク通路29は、前記マニホールド室26を前記絞り部28における一端部28aに連通させている。他方、第3スペーサプレート21に穿設された第2インク通路30は、前記絞り部28における他端部28bを圧力室23の入口端23bに連通させている(図5及び図6(a)参照)。   The second spacer plate 20 is formed with an ink flow restricting portion 28 corresponding to each pressure chamber 23. As shown in FIG. 6B, the diaphragm portion 28 is formed such that the area of both end portions 28a and 28b in the longitudinal direction is large and the middle area is small as shown in FIG. In addition, the longitudinal direction of each throttle portion 28 is formed to be parallel to the longitudinal direction of the pressure chamber 23. Then, the first spacer plate 19 is laminated on the lower surface side of the second spacer plate 20, and the third spacer plate 21 is laminated on the upper surface side, whereby the narrowed portion 28 is sealed. A first ink passage 29 formed in the first spacer plate 19 communicates the manifold chamber 26 with one end portion 28 a of the throttle portion 28. On the other hand, the second ink passage 30 formed in the third spacer plate 21 communicates the other end 28b of the throttle portion 28 with the inlet end 23b of the pressure chamber 23 (FIGS. 5 and 6A). reference).

前記インク供給孔31は、図4に示すように、各マニホールド室26毎に計8個設けられている。そしてインク供給孔31は、2個(1色)を一組として、その上面にそれぞれインクカートリッジ61から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ32が接着剤にて固定されている。   A total of eight ink supply holes 31 are provided for each manifold chamber 26, as shown in FIG. The ink supply hole 31 is a set of two (one color), and a filter 32 for removing dust in the ink supplied from the ink cartridge 61 is fixed to the upper surface of the ink supply hole 31 with an adhesive.

また、各フィルタ32(2個1組のインク供給孔31)上には、インクカートリッジ61からインクの供給を受けるために、筒状のスリーブ4が各々突設されている(図2参照)。各スリーブ4は、内部にインク通路を有するとともに、下部に外径の大きい大径部と、上部に外径の小さい小径部とを有しており、その各下端面が、前記各フィルタ32上にエポキシ樹脂等にて強固に接着固定されている。また、前記小径部の外周には、インクカートリッジ61と接続する流路部材との接続に際して、インク漏れを防止するために、環状の弾性シール体であるゴム製のパッキンもしくはOリング等が被嵌される(図示せず)。   In addition, on each filter 32 (a set of two ink supply holes 31), cylindrical sleeves 4 project from the ink cartridge 61 in order to receive ink (see FIG. 2). Each sleeve 4 has an ink passage inside, and has a large-diameter portion with a large outer diameter at the lower portion and a small-diameter portion with a small outer diameter at the upper portion, and each lower end surface thereof is above the filter 32. It is firmly bonded and fixed with epoxy resin or the like. The outer periphery of the small diameter portion is fitted with a rubber packing or an O-ring that is an annular elastic seal body in order to prevent ink leakage when connecting to the flow path member connected to the ink cartridge 61. (Not shown).

次に、圧電アクチュエータ12の構成について詳述する。各圧電アクチュエータ12(個別には符号12a,12bを付する)は、図8に示すように、1枚の厚さが30μm程度の圧電セラミックス板からなる複数枚(実施形態では7枚)の圧電シート33、34とが交互に積層された群と、該群の上面に2枚のシート46、47からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート35を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。   Next, the configuration of the piezoelectric actuator 12 will be described in detail. As shown in FIG. 8, each piezoelectric actuator 12 (indicated by reference numerals 12a and 12b) is a plurality of (seven in the embodiment) piezoelectric ceramic plates each having a thickness of about 30 μm. A structure in which sheets 33 and 34 are alternately stacked, a constraining layer including two sheets 46 and 47 is stacked on the top surface of the group, and a top sheet 35 as a surface sheet is stacked on the top surface. is there. The sheet and the top sheet of the constraining layer may be piezoelectric ceramic plates or other materials as long as they have electrical insulation.

コモン電極37を有する最下層の圧電シート34から上方へ数えて偶数番目の圧電シート33の上面(平板面)には、図8に示すように、前記キャビティユニット11における各圧力室23(点線で示す)に対応した箇所ごとに細幅の個別電極36(個別には符号36−1,36−2,36−3,36−4で示す)のパターンが、第1の方向(圧電シート33の長辺方向、図3のY方向、各ノズル11aの列方向)に沿って列状に形成される。   As shown in FIG. 8, on the upper surface (flat plate surface) of the even-numbered piezoelectric sheet 33 counted upward from the lowermost piezoelectric sheet 34 having the common electrode 37, each pressure chamber 23 (indicated by a dotted line) in the cavity unit 11. The pattern of the narrow individual electrodes 36 (indicated by reference numerals 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 individually) for each location corresponding to the first direction (the piezoelectric sheet 33) It is formed in a row along the long side direction, the Y direction in FIG. 3, and the row direction of each nozzle 11a.

そして、第1列目の個別電極36−1と第4列目の個別電極36−4とは、各圧電シート33のー対の長辺の側縁に近い側に各々配置されている。また、第2列目の個別電極36−2と第3列目の個別電極36−3とは、各圧電シート33の短辺方向の中央寄り部位に配置されている(図11参照)。   The individual electrodes 36-1 in the first row and the individual electrodes 36-4 in the fourth row are respectively arranged on the sides close to the side edges of the long sides of each pair of the piezoelectric sheets 33. In addition, the individual electrode 36-2 in the second row and the individual electrode 36-3 in the third row are arranged in the central portion of each piezoelectric sheet 33 in the short side direction (see FIG. 11).

各個別電極36−1,36−2,36−3,36−4のパターンは、前記第1の方向と直交する第2の方向(X方向)に沿って各圧電シート33の短辺と平行状に延びる。その場合、各個別電極36−1,36−2,36−3,36−4における直線部36bは、前記各圧力室23−1,23−2,23−3,23−4(図11の点線参照)とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている。第1列目の個別電極36−1と第2列目の個別電極36−2とが対向する端部36a及び第3列目の個別電極36−3と第4列目の個別電極36−4とが対向する端部36aは、それぞれ平面視で直線部36bに対して角度α(60度程度の鋭角)にて傾斜状に屈曲形成されて、圧力室外に延びている。その屈曲方向は、平面視で前記2つの圧電アクチュエータ12a,12bの相対向する一端部44(45)から離れる方向であり、且つ両端部36a,36a同士が互いに近づく方向に延びている(図11参照)。   The pattern of each individual electrode 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 is parallel to the short side of each piezoelectric sheet 33 along a second direction (X direction) orthogonal to the first direction. It extends in a shape. In that case, the straight portions 36b of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 are respectively connected to the pressure chambers 23-1, 23-2, 23-3, 23-4 (FIG. 11). It is substantially the same length as that of the dotted line) and overlaps in a plan view, and is formed in a straight line having a slightly narrower width than each pressure chamber. The end 36a where the individual electrode 36-1 in the first row and the individual electrode 36-2 in the second row face each other, the individual electrode 36-3 in the third row, and the individual electrode 36-4 in the fourth row. The end portions 36a facing each other are bent at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the straight portion 36b in plan view, and extend outside the pressure chamber. The bending direction is a direction away from the opposite one end 44 (45) of the two piezoelectric actuators 12a and 12b in a plan view, and extends in a direction in which both ends 36a and 36a approach each other (FIG. 11). reference).

また、この各端部36aは、上下に隣接する圧電シート34における第1の島状個別導通部としてのダミー個別電極38(図10参照)及び後述する拘束層における下層シート46の第1接続パターン53(図12参照)と少なくとも一部が平面視で重なり、当該圧電シート34及び下層シート46を貫通する内部導通電極42a,42b,90とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される(図11、図12参照)。   Further, each end portion 36a has a first individual connection pattern of a dummy individual electrode 38 (see FIG. 10) as a first island-like individual conduction portion in the piezoelectric sheet 34 adjacent vertically, and a lower layer sheet 46 in a constraining layer described later. 53 (see FIG. 12) at least partially overlaps with each other in plan view, and is disposed at a position where it can be electrically connected to the internal conduction electrodes 42a, 42b, and 90 penetrating the piezoelectric sheet 34 and the lower layer sheet 46 (see FIG. 12). 11, see FIG.

さらに、圧電シート33には、後述する圧電シート34におけるコモン電極37と平面視で一部重複する個所であって、前記個別電極36−1と36−2との列を囲み、且つ個別電極36−3及び36−4の列を囲むようにダミーコモン電極43が形成されている(図11参照)。   Further, the piezoelectric sheet 33 is a portion that partially overlaps a common electrode 37 in a piezoelectric sheet 34 to be described later in plan view, surrounds the row of the individual electrodes 36-1 and 36-2, and the individual electrode 36. A dummy common electrode 43 is formed so as to surround the columns -3 and 36-4 (see FIG. 11).

前記コモン電極37は、最下層の圧電シート34とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート34の各表面に印刷形成されるものである(図10及び図15参照)。コモン電極37は、前記各列の圧力室23−1、23−2、23−3、23−4ひいては各列の個別電極36−1、36−2、36−3、36−4の配置位置と平面視で重複し、且つその各圧力室23(個別電極36の直線部36b)の長手方向(X方向)に沿って長い第1電気導通部分37aと、前記各圧力室23の長手方向の両端部23a,23bに対応して、前記第1電気導通部分37aの両端を前記第1の方向(Y方向)に沿って連結(電気的に接続)する第2電気導通部分37bとからなるように形成する。図10及び図15を参照しながら、コモン電極37のパターンをより詳しく説明すると、例えば、第1列の圧力室23−1の各圧力室23の長手方向の寸法に略等しい長さの平面視矩形状の第1電気導通部分37aと、前記各圧力室23の長手方向の両端部23a,23bに対応する上方で前記各第1電気導通部分37aの両端に連結し、圧力室23の列方向(Y方向)に延びる第2電気導通部分37bとからなり、この第1電気導通部分37aと第2電気導通部分37bとで囲まれた領域であって、第1列の圧力室23−1の隣接する圧力室23の間に位置する隔壁24の上方に対応して短冊状の空白部分48ができるものである。   The common electrode 37 is printed on each surface of the lowermost piezoelectric sheet 34 and the odd-numbered piezoelectric sheets 34 counted upward (see FIGS. 10 and 15). The common electrode 37 is disposed at the position of the pressure chambers 23-1, 23-2, 23-3, 23-4 in each row and the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 in each row. And a first electric conduction portion 37a that is long in the longitudinal direction (X direction) of each pressure chamber 23 (the straight portion 36b of the individual electrode 36), and in the longitudinal direction of each pressure chamber 23. Corresponding to both end portions 23a and 23b, a second electrically conductive portion 37b that connects (electrically connects) both ends of the first electrically conductive portion 37a along the first direction (Y direction) is formed. To form. The pattern of the common electrode 37 will be described in more detail with reference to FIGS. 10 and 15. For example, the plan view having a length substantially equal to the longitudinal dimension of each pressure chamber 23 of the pressure chamber 23-1 in the first row. A rectangular first electrical conducting portion 37a and the upper ends corresponding to the longitudinal ends 23a, 23b of each pressure chamber 23 are connected to both ends of each first electrical conducting portion 37a, and the pressure chambers 23 are arranged in the column direction. A second electrically conductive portion 37b extending in the (Y direction), and is a region surrounded by the first electrically conductive portion 37a and the second electrically conductive portion 37b, and the first row of pressure chambers 23-1. A strip-shaped blank portion 48 is formed above the partition wall 24 located between the adjacent pressure chambers 23.

これら第1電気導通部分37a及び第2電気導通部分37bの端部は圧電シート34の長辺に沿う側縁及び短辺に沿う側縁を囲むように形成される4周側縁導電部37cに連結接続されている。各第1電気導通部分37aの配置間隔Pは各個別電極36−1,36−2,36−3,36−4の配置間隔Pひいては圧力室23の配置間隔Pと等しく設定配置されている(図10、図15参照)。   The ends of the first and second electrically conductive portions 37a and 37b are formed on a four-circumferential side conductive portion 37c formed so as to surround the side edge along the long side and the side edge along the short side of the piezoelectric sheet 34. Connected together. The arrangement interval P of each first electrically conductive portion 37a is set to be equal to the arrangement interval P of each individual electrode 36-1, 36-2, 36-3, 36-4 and consequently the arrangement interval P of the pressure chamber 23 ( (See FIGS. 10 and 15).

前記第1列の圧力室23−1と第2列の圧力室23−2との間(及び第3列と第4列の圧力室23−3、23−4との間)に対応する圧電シート34の部位には、前記2列の第2電気導通部分37bの長辺縁37b′で囲まれた領域内に、平面視で略小判型のダミー個別電極38(個別には符号38−1,38−2,38−3,38−4で示す)が圧力室23ひいては個別電極36の列方向に沿って一定間隔で配置されている。各ダミー個別電極38は、各個別電極36の直線部36bではなく、各一端部36aの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この小判型の各ダミー個別電極38も、平面視において、前記各個別電極36における一端部36aが延びる方向と同じ方向にのびている。換言すると、それぞれ平面視で圧電アクチュエータ12a(12b)の一端部44(45)の直線が延びる方向(X方向)に対して角度α(60度程度の鋭角)にて傾斜状に延びている(図10参照)。   Piezoelectric elements corresponding to the space between the first row pressure chambers 23-1 and the second row pressure chambers 23-2 (and between the third row and fourth row pressure chambers 23-3 and 23-4). In the region of the sheet 34, in the region surrounded by the long side edge 37b 'of the two rows of the second electrically conductive portions 37b, a substantially oval dummy individual electrode 38 (individually designated by reference numeral 38-1) in plan view. , 38-2, 38-3, 38-4) are arranged at regular intervals along the column direction of the pressure chambers 23 and thus the individual electrodes 36. The dummy individual electrodes 38 are arranged and formed at regular intervals so as to overlap with at least a part of each one end portion 36a instead of the straight portion 36b of each individual electrode 36 in a plan view. Each of the oval dummy individual electrodes 38 also extends in the same direction as the direction in which the one end 36a of each individual electrode 36 extends in a plan view. In other words, each extends in an inclined manner at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the direction (X direction) in which the straight line of the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in plan view ( (See FIG. 10).

この各ダミー個別電極38を第1の島状個別導通部と称する。そして、各ダミー個別電極38のパターン領域の輪郭縁と、前記第2電気導通部分37bの長辺縁37b′との最接近した位置での間隔、並びに隣接するダミー個別電極38、38のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。   Each dummy individual electrode 38 is referred to as a first island-shaped individual conduction portion. The distance between the contour edge of the pattern area of each dummy individual electrode 38 and the long edge 37b 'of the second electrically conductive portion 37b at the closest position, and the pattern area of the adjacent dummy individual electrodes 38, 38 The interval between the contour edges is set to a certain distance.

このように、第1の島状個別導通部としての各ダミー個別電極38を傾斜状に形成すると、各ダミー個別電極38の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の第2電気導通部分37bの長辺縁37b′、37b′間の距離を短く設定できる(図7及び図15参照)。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域(面積)に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができ、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。その結果、各圧電アクチュエータ12a(12b)の短辺(X方向)の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。   Thus, when each dummy individual electrode 38 as the first island-shaped individual conductive portion is formed in an inclined shape, the length of each dummy individual electrode 38 can be formed long, while the contour of the adjacent pattern region is The distance between the long side edges 37b 'and 37b' of the pair of second electrically conductive portions 37b facing each other can be set short while keeping the distance between the edges constant (see FIGS. 7 and 15). As a result, even when there is a slight error in the pattern area (area) due to blurring of the pattern outline during printing of each pattern, the interval between adjacent patterns can be maintained at a predetermined distance or more. When a voltage is applied to each of the electrodes, current does not leak between adjacent electrodes, and only the active portion corresponding to a predetermined pressure chamber can be operated reliably, and the print quality can be maintained well. There is an effect. As a result, the size of the short side (X direction) of each piezoelectric actuator 12a (12b) can be shortened, and the ink jet printer head can be formed compactly.

そして、最下層の圧電シート34を除き、それより上層の圧電シート34、33には、幹部37a,37b,37c等のコモン電極37とダミーコモン電極43との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極37、43の位置において、各圧電シート34、33の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材(導電性ペースト)にて内部導通電極41を形成する。同様に、複数枚の圧電シート33における各個別電極36−1,36−2,36−3,36−4の端部36aと、圧電シート34における各ダミー個別電極38−1,38−2,38−3,38−4とには、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、端部36aと電極38の位置において、各圧電シート33、34の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材(導電性ペースト)にて内部導通電極42a,42bが形成されている。その場合、圧電シート33における内部導通電極42aと圧電シート34における内部導通電極42bとは、平面視で上下に重複しない位置に適宜距離e1だけ隔てて形成されている(図9参照)。   Except for the lowermost piezoelectric sheet 34, the upper piezoelectric sheets 34 and 33 are electrically connected to a plurality of locations of the common electrode 37 such as the trunks 37a, 37b, and 37c and the dummy common electrode 43 in the vertical direction. In order to connect, at the positions of the electrodes 37 and 43, conductive members (conductive paste) filled in a plurality of through-holes drilled so as to penetrate the thickness of the piezoelectric sheets 34 and 33, respectively. The internal conduction electrode 41 is formed. Similarly, end portions 36 a of the individual electrodes 36-1, 36-2, 36-3 and 36-4 in the plurality of piezoelectric sheets 33, and the dummy individual electrodes 38-1 and 38-2 in the piezoelectric sheet 34. 38-3 and 38-4 are drilled so as to penetrate through the plate thickness of the piezoelectric sheets 33 and 34 at the positions of the end 36a and the electrode 38 in order to electrically connect each of them in the vertical direction. Internal conductive electrodes 42a and 42b are formed of conductive members (conductive paste) filled in the plurality of through holes provided. In that case, the internal conductive electrode 42a in the piezoelectric sheet 33 and the internal conductive electrode 42b in the piezoelectric sheet 34 are formed at a position that does not overlap vertically in a plan view and is appropriately separated by a distance e1 (see FIG. 9).

前記拘束層としての2枚のシート46、47のうちの下層シート46の上面には、図12に示すように、平面視で略小判型の第1接続用パターン53(個別には符号53−1,53−2,53−3,53−4で示す)が前記圧電シート34における各ダミー個別電極38−1,38−2,38−3,38−4の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この各第1接続用パターン53もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ12a(12b)の一側端44(45)が延びる方向(X方向)に対して角度α(60度程度の鋭角)にて傾斜状に延びている。また、前記下層シ−ト46の上面の4隅等には、前記圧電シ−ト34におけるコモン電極37の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン54が形成されている。   On the upper surface of the lower sheet 46 of the two sheets 46, 47 as the constraining layer, as shown in FIG. 1, 53-2, 53-3, and 53-4) overlap with at least a part of each of the dummy individual electrodes 38-1, 38-2, 38-3, and 38-4 in the piezoelectric sheet 34 in plan view. In such a manner, they are arranged and formed at regular intervals. Each of the first connection patterns 53 is also inclined at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the direction (X direction) in which the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in a plan view. It extends to. Further, at four corners on the upper surface of the lower layer sheet 46, contact patterns 54 as common conductive portions are formed at positions overlapping with a part of the common electrode 37 in the piezoelectric sheet 34 in plan view. Has been.

他方、図13に示すように、上層シ−ト47の上面には、前記圧電シ−ト34におけるコモン電極37と平面視でほぼ同じ大きさで重複するようなコモン導通部としての連絡用パターン55と、前記下層シ−ト46における第1接続用パターン53(個別には符号53−1,53−2,53−3,53−4で示す)の少なくとも一部と平面視で重複するように、第2接続用パターン56(個別には符号56−1,56−2,56−3,56−4で示す)が一定間隔で配置形成されている。   On the other hand, as shown in FIG. 13, on the upper surface of the upper layer sheet 47, a contact pattern as a common conductive portion that overlaps with the common electrode 37 in the piezoelectric sheet 34 in the same size in plan view. 55 and at least a part of the first connection pattern 53 (individually indicated by reference numerals 53-1, 53-2, 53-3, 53-4) in the lower layer sheet 46 so as to overlap in plan view. In addition, second connection patterns 56 (individually indicated by reference numerals 56-1, 56-2, 56-3, 56-4) are arranged and formed at regular intervals.

この第2接続用パターン56を第2の島状個別導通部と称する。実施形態では、第1の島状個別導通部であるダミー個別電極38とは、第1接続用パターン53を介し、且つ各圧電シートの層厚さ方向に貫通するような後述する内部導通電極60,62を介して電気的に導通している。   This second connection pattern 56 is referred to as a second island-shaped individual conduction portion. In the embodiment, the dummy individual electrode 38 which is the first island-shaped individual conductive portion is an internal conductive electrode 60 which will be described later and penetrates in the layer thickness direction of each piezoelectric sheet via the first connection pattern 53. , 62 are electrically connected.

そして、この各第2接続用パターン56もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ12a(12b)の一側端44(45)が延びる方向に対して角度α(60度程度の鋭角)にて傾斜状に延びている(図13及び図18参照)。さらに、各第2接続用パターン56のパターン領域の輪郭縁と、前記連絡用パターン55のパターン領域の直線状の輪郭縁55aとの最接近した位置での間隔、並びに隣接する第2接続用パターン56、56のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。   Each of the second connection patterns 56 also extends in an inclined manner at an angle α (an acute angle of about 60 degrees) with respect to the direction in which the one end 44 (45) of the piezoelectric actuator 12a (12b) extends in plan view. (See FIGS. 13 and 18). Further, the distance at the closest position between the contour edge of the pattern region of each second connection pattern 56 and the linear contour edge 55a of the pattern region of the connection pattern 55, and the adjacent second connection pattern The interval between the contour edges of the pattern areas 56 and 56 is set to a constant distance.

このように、第2の島状個別導通部としての各第2接続用パターン56を傾斜状に形成すると、各第2接続用パターン56の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の輪郭縁55a,55a間の距離を短く設定できる(図14及び図18参照)。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域(面積)に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離e2以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。   As described above, when each second connection pattern 56 as the second island-shaped individual conductive portion is formed in an inclined shape, the length dimension of each second connection pattern 56 can be formed long, but adjacent to each other. The distance between the pair of opposing contour edges 55a, 55a can be set short while keeping the distance between the contour edges of the pattern region at a constant distance (see FIGS. 14 and 18). As a result, even when there is a slight error in the pattern area (area) due to blurring of the pattern outline during printing of each pattern, the interval between adjacent patterns can be maintained at a predetermined distance e2 or more. Therefore, when a voltage is applied to each electrode, current does not leak between adjacent electrodes, and only the active part corresponding to the predetermined pressure chamber can be operated reliably, and the print quality is improved. There is an effect that it can be held.

その結果、各圧電アクチュエータ12a(12b)の短辺(X方向)の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。   As a result, the size of the short side (X direction) of each piezoelectric actuator 12a (12b) can be shortened, and the ink jet printer head can be formed compactly.

図16及び図18に示すように、圧電アクチュエータ12の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト35の上面には、前記上層シ−ト47における連絡用パターン55の一部に平面視で重複するようにコモン用導電層51が複数形成されている。また、トップシ−ト35の上面には、前記上層シ−ト47における各第2接続用パターン56−1,56−2,56−3,56−4にそれぞれ平面視で重複するように、個別用導電層52(個別には符号52−1,52−2,52−3,52−4で示す)が一定間隔で配置形成されている(図18参照)。この各個別用導電層52−1,52−2,52−3,52−4は、図16に示すように、トップシ−ト35の短辺縁(X方向)ひいては各個別電極36−1,36−2,36−3,36−4と略平行であって、その各個別電極の直線部36bの部位方向に伸びる直線状に形成されるが、各個別電極の直線部36bよりは短い。さらに、このトップシート235の上面に形成される各個別用導電層52−1,52−2,52−3,52−4は、図18及び図19に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室23、23の間の隔壁24の上方に位置させる。図18では、隔壁24の中心からわずかずれているが、その中心に一致させても良い。   As shown in FIGS. 16 and 18, the upper surface of the top sheet 35 as a top sheet which is the uppermost layer of the piezoelectric actuator 12 overlaps with a part of the contact pattern 55 in the upper layer sheet 47 in plan view. Thus, a plurality of common conductive layers 51 are formed. Further, on the top surface of the top sheet 35, the second connection patterns 56-1, 56-2, 56-3, and 56-4 in the upper layer sheet 47 are individually overlapped with each other in plan view. Conductive layers 52 (individually indicated by reference numerals 52-1, 52-2, 52-3, 52-4) are arranged and formed at regular intervals (see FIG. 18). As shown in FIG. 16, each of the individual conductive layers 52-1, 52-2, 52-3, 52-4 has a short edge (in the X direction) of the top sheet 35, and further, each individual electrode 36-1, Although it is substantially parallel to 36-2, 36-3, and 36-4 and extends in the direction of the portion of the straight portion 36b of each individual electrode, it is shorter than the straight portion 36b of each individual electrode. Further, the individual conductive layers 52-1, 52-2, 52-3, 52-4 formed on the upper surface of the top sheet 235 are arranged in parallel below each other as shown in FIGS. 18 and 19. It is located above the partition wall 24 between the pressure chambers 23, 23 adjacent to each other. In FIG. 18, it is slightly shifted from the center of the partition wall 24, but it may be made to coincide with the center.

さらに、図17に示すように、前記トップシート35の上面には、前記フラットケーブル40、40の下面に形成されたコモン用接合電極部77及び個別用接合電極部78とにそれぞれに接続するための表面電極(後付け電極)として、平面視矩形状等の個別用表面電極58とコモン用表面電極57とが形成されている。その場合、図19に示すように、個別用表面電極58は、トップシート35における各個別用導電層52−1,52−2,52−3,52−4の長さ方向の適宜部分に平面視で一部だけ重複して電気的に接続するように島状に形成し、且つ各個別用導電層52−1,52−2,52−3,52−4の列方向(Y方向)に隣接する箇所では、X方向にずれるように千鳥状に配置形成する。   Furthermore, as shown in FIG. 17, the top sheet 35 is connected to the upper surface of the top sheet 35 to the common junction electrode portion 77 and the individual junction electrode portion 78 formed on the lower surface of the flat cables 40 and 40, respectively. As the surface electrode (retrofitted electrode), an individual surface electrode 58 having a rectangular shape in plan view and a common surface electrode 57 are formed. In this case, as shown in FIG. 19, the individual surface electrode 58 is flat on an appropriate portion in the length direction of each individual conductive layer 52-1, 52-2, 52-3, 52-4 in the top sheet 35. It is formed in an island shape so as to overlap and partially connect electrically when viewed, and in the column direction (Y direction) of each individual conductive layer 52-1, 52-2, 52-3, 52-4 Adjacent locations are arranged in a staggered manner so as to be displaced in the X direction.

換言すると、図示実施形態では、各個別用表面電極58は、対応する圧力室23ひいては活性部に対して平面視で、それらの配置間隔(ピッチ)Pの略半分だけずれた位置に配置され、且つ隣接する圧力室23,23の間の隔壁24の上方に配置されることになる(図19参照)。   In other words, in the illustrated embodiment, each individual surface electrode 58 is disposed at a position shifted by approximately half of their arrangement interval (pitch) P in plan view with respect to the corresponding pressure chamber 23 and thus the active portion, And it arrange | positions above the partition 24 between the adjacent pressure chambers 23 and 23 (refer FIG. 19).

なお、この実施形態の変形例として、隣接する圧力室23の間の隔壁24の上方に配置する前記各個別用表面電極58は、対応する圧力室23(活性部)に対して、前記配置間隔(ピッチP)の1.5倍の距離ずつY方向にずらして配置しても良い。   As a modification of this embodiment, the individual surface electrodes 58 arranged above the partition wall 24 between the adjacent pressure chambers 23 are arranged with respect to the corresponding pressure chambers 23 (active parts). The distance may be shifted in the Y direction by a distance of 1.5 times (pitch P).

さらに、図4及び図19に示すように、直列状に配置される2つの圧電アクチュエータ40、40の相対向する一端部44、45に最接近する位置の前記個別用表面電極58は、前記一端部44、45からの距離L5は、対応する活性部ひいては圧力室23の前記一端部44、45からの距離L1より大きくなるように偏倚させて配置するものである。   Further, as shown in FIGS. 4 and 19, the individual surface electrode 58 at a position closest to the opposing end portions 44 and 45 of the two piezoelectric actuators 40 and 40 arranged in series is arranged at the one end. The distance L5 from the portions 44 and 45 is arranged so as to be biased so as to be larger than the distance L1 from the corresponding active portion and thus the one end portions 44 and 45 of the pressure chamber 23.

そして、前記下層シ−ト46の各第1接続用パターン53−1,53−2,53−3,53−4の箇所には、下側にて隣接する圧電シ−ト34の各ダミー個別電極38−1,38−2,38−3,38−4とそれぞれを上下方向に電気的に接続するために、下層シ−ト46の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材(導電性ペースト)にて内部導通電極90が形成されている(図12参照)。   Further, each dummy individual of the piezoelectric sheet 34 adjacent on the lower side is provided at each of the first connection patterns 53-1, 53-2, 53-3, 53-4 of the lower layer sheet 46. In order to electrically connect each of the electrodes 38-1, 38-2, 38-3, and 38-4 in the vertical direction, a plurality of holes formed so as to penetrate the plate thickness of the lower layer sheet 46 are provided. Internal conductive electrodes 90 are formed of conductive members (conductive paste) filled in the through holes, respectively (see FIG. 12).

また、下層シート46における連絡用パターン54の箇所には、前記下側にて隣接する圧電シート34のコモン電極37と上下方向に電気的に接続するために、前記と同様の複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材からなる内部導通電極91が形成されている(図12参照)。   Further, in order to make an electrical connection in the vertical direction with the common electrode 37 of the piezoelectric sheet 34 adjacent on the lower side, the connection pattern 54 in the lower layer sheet 46 has a plurality of through holes similar to those described above. An internal conduction electrode 91 made of a conductive member filled in each is formed (see FIG. 12).

同様に、上層シート47には、その第2接続用パターン56−1,56−2,56−3,56−4の箇所と下層シート46の第1接続用パターン53−1,53−2,53−3,53−4の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極92、及び連絡用パターン55と連絡用パターン54とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極93がそれぞれ形成されている(図13参照)。   Similarly, in the upper layer sheet 47, the locations of the second connection patterns 56-1, 56-2, 56-3, 56-4 and the first connection patterns 53-1, 53-2 of the lower layer sheet 46, The internal conductive electrode 92 and the contact pattern 55 and the contact pattern 54 are electrically connected to each other in the through hole in order to electrically connect the portions 53-3 and 53-4 individually. Internal conduction electrodes 93 are respectively formed in the holes (see FIG. 13).

トップシート35にも、前記と同様にして、個別用導電層52−1,52−2,52−3,52−4の箇所と、下に隣接する上層シート47における第2接続用パターン56−1,56−2,56−3,56−4の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極94が設けられ、また、トップシート35には、そのコモン用導電層51と下に隣接する上層シート47における連絡用パターン55とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極95がそれぞれ形成されている(図16参照)。   In the same manner as described above, the top sheet 35 is provided with the positions of the individual conductive layers 52-1, 52-2, 52-3, 52-4, and the second connection pattern 56-in the upper layer sheet 47 adjacent below. An internal conduction electrode 94 is provided in the through hole in order to electrically connect the parts 1, 56-2, 56-3 and 56-4 individually, and the top sheet 35 is provided for its common use. Internal conductive electrodes 95 are formed in the through holes in order to electrically connect the conductive layer 51 and the connection pattern 55 in the upper layer sheet 47 adjacent below (see FIG. 16).

数枚のシートを積層した場合、その上下に隣接するシートにおける個別電極36及びそれに対応するダミー個別電極38、第1接続用パターン53、第2接続用パターン56の間を上下に接続するための内部導通電極42a,42b,90,92,94同士を平面視で重複しない位置に配置させることが好ましい。   When several sheets are stacked, the individual electrodes 36 and the dummy individual electrodes 38 corresponding to the upper and lower adjacent sheets, the first connection pattern 53, and the second connection pattern 56 are connected vertically. It is preferable to arrange the internal conduction electrodes 42a, 42b, 90, 92, 94 at positions that do not overlap in plan view.

また、コモン用表面電極57は、トップシート35の上面に形成されたコモン用導電層51の一部に平面視で重複するように、島状に後付けされるものである。コモン用表面電極57及び個別用表面電極58の後付けは、銀−パラジュウム系の導電部材をスクリーン印刷形成することにより行われる。   Further, the common surface electrode 57 is retrofitted in an island shape so as to overlap a part of the common conductive layer 51 formed on the upper surface of the top sheet 35 in plan view. Retrofitting of the common surface electrode 57 and the individual surface electrode 58 is performed by screen-printing a silver-palladium conductive member.

その場合、図17で黒塗り矩形状で示すコモン用表面電極57及び白抜き矩形状で示す個別用表面電極58は、前記トップシート35の広幅面の平面視における中心点Oを対称中心とする点対称状に配置されている。なお、図17において示す個別用表面電極58の数は実施形態の数より少なくして、図示が明確になるようにしたものである。   In this case, the common surface electrode 57 shown by a black rectangle in FIG. 17 and the individual surface electrode 58 shown by a white rectangle have a center point O in a plan view of the wide surface of the top sheet 35 as a symmetrical center. They are arranged symmetrically. It should be noted that the number of individual surface electrodes 58 shown in FIG. 17 is smaller than that of the embodiment so that the illustration becomes clear.

他方、前記フレキシブルフラットケーブル40の広幅面に形成される対応する接合電極部(コモン用接合電極部77及び個別用接合電極部78)は、当該フレキシブルフラットケーブル40を前記対称中心Oとして180度水平回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極57及び個別用表面電極58にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されている(図20参照)。   On the other hand, corresponding joint electrode portions (common joint electrode portion 77 and individual joint electrode portion 78) formed on the wide surface of the flexible flat cable 40 are horizontally 180 degrees with the flexible flat cable 40 as the symmetry center O. They are arranged so that they can be electrically joined to the large number of common surface electrodes 57 and individual surface electrodes 58 when rotated (see FIG. 20).

上記の実施形態をさらに詳細に説明すると、前記コモン用表面電極57は、前記トップシート35の広幅面の外周寄り部位であって前記第1の方向(Y方向)とそれと直交する第2の方向(X方向)とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成されている。その詳細は、図17において、トップシート35の第1の方向(Y方向)の左右両側縁に沿って配置される上下位置(2つ)の第1群57−1及び上下位置(2つ)の第2群57−2と、トップシート35の前記対称中心(定点)Oを通り、第1の方向(Y方向)と平行なY1軸線を左右両側に跨ぐようにして配置される上下位置(2つ)の第3群57−3と、前記Y1軸線の左側で前記第1群57−1との間に配置される上下位置(2つ)の第4群57−4と、前記Y1軸線の右側で前記第2群57−2との間に配置される上下位置(2つ)の第5群57−5とからなる。前記第1群57−1と第2群57−2の各コモン用表面電極57は、対称中心(定点)Oを挟んでそれぞれ反対側に定点Oから等距離に配置される。上下の第3群57−3における各コモン用表面電極57も、対称中心(定点)Oを挟んでそれぞれ反対側に定点Oから等距離に配置される。さらに、第4群57−4と第5群57−5の各コモン用表面電極57も、対称中心(定点)Oを挟んでそれぞれ反対側に定点Oから等距離に配置されるものである。前記個別用表面電極58も当然に前記トップシート35の広幅面の内周寄り部位にて、対称中心(定点)Oを挟んでそれぞれ反対側に定点Oから等距離に配置されることになる。   The above embodiment will be described in more detail. The common surface electrode 57 is a portion near the outer periphery of the wide surface of the top sheet 35, and the second direction perpendicular to the first direction (Y direction). They are arranged and formed in a plurality of groups at appropriate intervals in the (X direction). For details, in FIG. 17, the first group 57-1 in the vertical position (two) and the vertical position (two) arranged along the left and right side edges in the first direction (Y direction) of the top sheet 35. The second group 57-2 and the upper and lower positions arranged so as to straddle the left and right sides of the Y1 axis parallel to the first direction (Y direction) through the symmetry center (fixed point) O of the top sheet 35. (Second) third group 57-3 and the fourth group 57-4 in the vertical position (two) arranged between the first group 57-1 on the left side of the Y1 axis and the Y1 axis On the right side of the second group 57-2 and the fifth group 57-5 in the vertical position (two). The common surface electrodes 57 of the first group 57-1 and the second group 57-2 are arranged equidistant from the fixed point O on opposite sides of the symmetry center (fixed point) O, respectively. The common surface electrodes 57 in the upper and lower third groups 57-3 are also arranged at equal distances from the fixed point O on opposite sides of the symmetry center (fixed point) O, respectively. Further, the common surface electrodes 57 of the fourth group 57-4 and the fifth group 57-5 are also arranged at equal distances from the fixed point O on the opposite sides of the symmetry center (fixed point) O, respectively. Naturally, the individual surface electrode 58 is also arranged at an equal distance from the fixed point O on the opposite side across the center of symmetry (fixed point) O at the inner peripheral portion of the wide surface of the top sheet 35.

他方、フレキシブルフラットケーブル40の下面(広幅面)には、前記コモン用表面電極57に接合されるコモン用接合電極部77と、前記各個別用表面電極58に接合される個別用接合電極部78とが形成される。図20に示す実施形態では、前記コモン用接合電極部77は、フレキシブルフラットケーブル40における前記第2の方向(X方向)に沿う一対の側縁に沿う第1部分77a、77aと、これらに連通し且つ第1の方向(Y方向)の自由端縁に沿う第2部分77bとに帯状に形成されている。そして、前記多数の個別用接合電極部78は、前記コモン用接合電極部77(一対の第1部分77a、77aと第2部分77bと)で囲まれる領域内に個別用表面電極58と対応して形成されている。各個別用接合電極部78には前記第2の方向(X方向)に沿って延びるリード線(図示せず)の一端が接続され、各リード線の他端及び前記コモン用接合電極部77の他端は、各フレキシブルフラットケーブル40の片面に取付けられた駆動用の集積回路40a(図2参照)に電気的に接合されるものである。   On the other hand, on the lower surface (wide surface) of the flexible flat cable 40, a common bonding electrode portion 77 bonded to the common surface electrode 57 and an individual bonding electrode portion 78 bonded to the individual surface electrode 58. And are formed. In the embodiment shown in FIG. 20, the common joint electrode portion 77 communicates with first portions 77 a and 77 a along a pair of side edges along the second direction (X direction) in the flexible flat cable 40, and these. In addition, the second portion 77b is formed in a strip shape along the free end edge in the first direction (Y direction). The large number of individual bonding electrode portions 78 correspond to the individual surface electrodes 58 in a region surrounded by the common bonding electrode portions 77 (a pair of first portions 77a and 77a and a second portion 77b). Is formed. One end of a lead wire (not shown) extending along the second direction (X direction) is connected to each individual joint electrode portion 78, and the other end of each lead wire and the common joint electrode portion 77 are connected to each other. The other end is electrically joined to a driving integrated circuit 40a (see FIG. 2) attached to one side of each flexible flat cable 40.

上記のように構成した場合、例えば、図4の二点鎖線及び図20の実線で示すように、ヘッドユニット6の長辺の右側外に引き出するようにフレキシブルフラットケーブル40を圧電アクチュエータ12のトップシート35に接合するときには、前記コモン用接合電極部77の第2部分77bを前記第1群57−1に接合させる一方、第1部分77a、77aを、少なくとも前記第3群57−3及び第5群57−5に接合させる(加えて、第4群57−4も接合しても良い)。   When configured as described above, for example, as shown by a two-dot chain line in FIG. 4 and a solid line in FIG. 20, the flexible flat cable 40 is pulled out from the right side of the long side of the head unit 6 to the top of the piezoelectric actuator 12. When bonding to the sheet 35, the second portion 77b of the common bonding electrode portion 77 is bonded to the first group 57-1, while the first portions 77a and 77a are connected to at least the third group 57-3 and the first group 57-1. The fifth group 57-5 is joined (in addition, the fourth group 57-4 may be joined).

逆に、図4の実線で示すように、ヘッドユニット6の長辺の左側外に引き出するようにフレキシブルフラットケーブル40を圧電アクチュエータ12のトップシート35に接合するときには、前記コモン用接合電極部77の第2部分77bを前記第2群57−2に接合させる一方、第1部分77a、77aを、少なくとも前記第3群57−3及び第4群57−4に接合させる(加えて、第5群57−5も接合しても良い)。   Conversely, when the flexible flat cable 40 is joined to the top sheet 35 of the piezoelectric actuator 12 so as to be pulled out to the left of the long side of the head unit 6, as shown by the solid line in FIG. The second portion 77b is joined to the second group 57-2, while the first portions 77a and 77a are joined to at least the third group 57-3 and the fourth group 57-4 (in addition to the fifth group 57-2). Group 57-5 may also be joined).

なお、フレキシブルフラットケーブル40は従来から公知の構成、つまり、可撓性を有し、湾曲変形に対する耐久性のある電気絶縁性の合成樹脂材にて銅箔等の導体からなる前記微細幅のリード線を覆い、前記コモン用接合電極部77の対応する部分及び個別用接合電極部78の部分のみをフレキシブルフラットケーブル40の広場面の片面側に開口し、その開口部にバンプを形成したもので、半田製のバンプのときは当該バンプをコモン用表面電極57及び個別用表面電極58に重ねて加熱押圧して接合する。異方導電性樹脂などのバンプ材料が加圧により導電性を有するタイプの場合には、単なる加圧接合で良い。   The flexible flat cable 40 has a conventionally known configuration, that is, the lead having the fine width made of a conductor such as copper foil made of an electrically insulating synthetic resin material having flexibility and durability against bending deformation. Covering the wire, only the corresponding portion of the common joint electrode portion 77 and the individual joint electrode portion 78 are opened on one side of the square surface of the flexible flat cable 40, and bumps are formed in the openings. When the bump is made of solder, the bump is superimposed on the common surface electrode 57 and the individual surface electrode 58 and bonded by heating and pressing. If the bump material such as anisotropic conductive resin is of a type that is conductive by pressure, simple pressure bonding may be used.

上述のように本発明では、前記コモン用表面電極57及び個別用表面電極58は、前記表面シートの広幅面の中心点Oを対称中心とする点対称状に配置されている一方、前記フレキシブルフラットケーブル40の広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心Oの周りに180度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極77及び個別用表面電極78にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されているので、同一のヘッドユニット6を使って、フレキシブルフラットケーブル40を引出し方向を180度回転させて逆にする作業が至極簡単にできる。その場合、フレキシブルフラットケーブル40における自由端縁(第1の方向(Y方向))に沿う第2部分77bと第1群57−1(第2群57−2)のみを接合し、フレキシブルフラットケーブル40の前記自由端縁から第2の方向(X方向)に遠い側(つまりフレキシブルフラットケーブル40の長手方向の中途部)ではコモン用表面電極77と接合しないようにしたので、当該フレキシブルフラットケーブル40が温度変化等にて(X方向)に伸縮することがあっても、前記第2部分77bでの接合は保持される。また、フレキシブルフラットケーブル40の長手方向の中途部をヘッドホルダ1のスリット87(図2及び図3参照)から湾曲させて引き出す場合にも、その湾曲を円滑にできる。   As described above, in the present invention, the common surface electrode 57 and the individual surface electrode 58 are arranged symmetrically with respect to the center point O of the wide surface of the surface sheet as the center of symmetry. Bonding electrode portions formed on the wide surface of the cable 40 are respectively connected to the large number of common surface electrodes 77 and individual surface electrodes 78 when the flexible flat cable is rotated 180 degrees around the symmetry center O. Since they are arranged so that they can be electrically joined, the operation of reversing the flexible flat cable 40 by rotating the drawing direction by 180 degrees can be very easily performed using the same head unit 6. In that case, only the 2nd part 77b and the 1st group 57-1 (2nd group 57-2) along the free end edge (1st direction (Y direction)) in the flexible flat cable 40 are joined, and a flexible flat cable is used. The flexible flat cable 40 is not joined to the common surface electrode 77 on the side far from the free end edge 40 in the second direction (X direction) (that is, in the longitudinal direction of the flexible flat cable 40). Even if it expands and contracts in the (X direction) due to a temperature change or the like, the bonding at the second portion 77b is maintained. Further, when the middle portion in the longitudinal direction of the flexible flat cable 40 is bent and pulled out from the slit 87 (see FIGS. 2 and 3) of the head holder 1, the bending can be smoothly performed.

また、コモン用接合電極部77の第1部分77a,77aと、前記コモン用表面電極57における第4群57−4及び第5群57−5とが共に前記第2の方向(X方向)に長く形成されているから、フレキシブルフラットケーブル40が温度変化等にてX方向に伸縮しても、接合の剥がれで発生しない信頼性を向上させることができる。   Further, the first portions 77a and 77a of the common junction electrode portion 77 and the fourth group 57-4 and the fifth group 57-5 of the common surface electrode 57 are both in the second direction (X direction). Since it is formed long, even if the flexible flat cable 40 expands and contracts in the X direction due to a temperature change or the like, it is possible to improve reliability that does not occur due to peeling of the joint.

さらに、フレキシブルフラットケーブル40の幅寸法(Y方向寸法)内に、前記第1部分77a,77aを形成したので当該フレキシブルフラットケーブル40、ひいてはヘッドユニット6をコンパクトにできる。   Furthermore, since the first portions 77a and 77a are formed within the width dimension (Y-direction dimension) of the flexible flat cable 40, the flexible flat cable 40 and thus the head unit 6 can be made compact.

しかも、前記第3群57−3は、島状の個別用表面電極58の列の間にてトップシート35の第1の方向の内側(中心寄り部位)に入り込むように配置しているから、当該トップシート35の広幅表面を有効に利用できる。   Moreover, since the third group 57-3 is arranged so as to enter the inner side (center part) of the top sheet 35 in the first direction between the rows of the island-shaped individual surface electrodes 58, The wide surface of the top sheet 35 can be used effectively.

圧電アクチュエータ12に接合すべきフレキシブルフラットケーブル40の幅方向を、トップシート35ひいては圧電アクチュエータ12の長手方向(第1の方向)と平行状にした場合は、その長手方向に多数配列される個別電極のための個別電極用接合電極部78とそのリード線とを配置する面積的余裕が大きくなり、設計の自由度が向上する。   When the width direction of the flexible flat cable 40 to be joined to the piezoelectric actuator 12 is made parallel to the longitudinal direction (first direction) of the top sheet 35 and then the piezoelectric actuator 12, a large number of individual electrodes are arranged in the longitudinal direction. Therefore, an area margin for arranging the individual electrode bonding electrode portion 78 and the lead wire thereof is increased, and the degree of freedom in design is improved.

前記実施形態では、ノズルの列は4列であったが、本発明では1列以上のノズル列に対して適用できる。また、単一の圧電アクチュエータと単一のフレキシブルフラットケーブルとの接合に対して適用できることはいうまでもない。   In the embodiment, the number of nozzle rows is four, but the present invention can be applied to one or more nozzle rows. Needless to say, the present invention can be applied to the joining of a single piezoelectric actuator and a single flexible flat cable.

本発明を適用するインクジェットプリンタヘッドの斜視図である。1 is a perspective view of an inkjet printer head to which the present invention is applied. プリンタヘッドの背面側から見た平面図である。It is the top view seen from the back side of a printer head. 図2の III−III 線矢視断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2. 本発明の第1実施形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a cavity unit, a piezoelectric actuator, and a flat cable separately of the piezoelectric inkjet printer head according to the first embodiment of the present invention. キャビティユニットの一部分解斜視図である。It is a partial exploded perspective view of a cavity unit. (a)は図4のVI−VI線矢視拡大断面図、(b)は絞り部の拡大平面図である。(A) is the VI-VI line arrow expanded sectional view of FIG. 4, (b) is an enlarged plan view of an aperture | diaphragm | squeeze part. 図4のVII −VII 線矢視拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line VII-VII in FIG. 4. 圧電アクチュエータの部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of a piezoelectric actuator. 圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図である。It is a partial expansion perspective view which shows the position of the individual electrode in a piezoelectric sheet, a dummy electrode, and those internal conduction electrodes. コモン電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。It is a partially cutaway enlarged plan view of a piezoelectric sheet showing a pattern such as a common electrode. 個別電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。It is a partially cutaway enlarged plan view of a piezoelectric sheet showing patterns of individual electrodes and the like. 拘束層の下層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially notched enlarged plan view which shows the pattern in the lower layer sheet | seat of a constrained layer. 拘束層の上層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially notched enlarged plan view which shows the pattern in the upper layer sheet | seat of a constrained layer. 活性部における圧力室に対する個別電極とダミー電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially notched enlarged plan view showing the overlapping relationship between the individual electrode and the dummy electrode with respect to the pressure chamber in the active part. コモン電極等のパターンの詳細を示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。It is a partially cutaway enlarged plan view of a piezoelectric sheet showing details of a pattern such as a common electrode. トップシートにおける個別用導電層等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially notched enlarged plan view which shows patterns, such as an individual conductive layer, in a top sheet. トップシートにおける個別用表面電極等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially cutout enlarged plan view showing a pattern of individual surface electrodes and the like on the top sheet. トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と第1及び第2接続用パターンと個別用導電層との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。FIG. 5 is a partially cutaway enlarged plan view showing an overlapping relationship among individual electrodes, first and second connection patterns, and individual conductive layers with respect to a pressure chamber in a plan view of the top sheet. トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と個別用導電層と個別用表面電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。It is a partially notched enlarged plan view showing the overlapping relationship among the individual electrode, the individual conductive layer, and the individual surface electrode with respect to the pressure chamber in a plan view of the top sheet. トップシートとフレキシブルフラットケーブルとの重なり状態を示す一部拡大平面図である。It is a partially expanded plan view which shows the overlapping state of a top sheet and a flexible flat cable.

符号の説明Explanation of symbols

10 インクジェットプリンタヘッド
11 キャビティユニット
12 圧電アクチュエータ
22 ベースプレート
23 圧力室
24 ノズル
33,34 圧電シート
35 トップシート
36 個別電極
37 コモン電極
40 フラットケーブル
57 コモン用表面電極
58 個別用表面電極
77 コモン用接合電極部
77a 第1部分
77b 第2部分
78 個別用接合電極部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inkjet printer head 11 Cavity unit 12 Piezoelectric actuator 22 Base plate 23 Pressure chamber 24 Nozzle 33, 34 Piezo sheet 35 Top sheet 36 Individual electrode 37 Common electrode 40 Flat cable 57 Common surface electrode 58 Individual surface electrode 77 Common joint electrode part 77a 1st part 77b 2nd part 78 Individual joining electrode part

Claims (4)

第1の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の複数の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを吐出させるための積層型の圧電アクチュエータを接合し、該圧電アクチュエータの広幅面に形成された表面電極に対してフレキシブルフラットケーブル広幅面に形成された接合用電極部を接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、
前記圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成し、
前記圧電アクチュエータにおける表面シートの広幅面には、前記個別電極に電気的に導通する多数の個別用表面電極と、前記コモン電極に電気的に導通する多数のコモン用表面電極とを島状に形成し、且つ前記コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置され、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心として180度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
A cavity unit in which a plurality of nozzle rows composed of a plurality of nozzles arranged in a row along the first direction and a plurality of rows of pressure chambers corresponding to the respective nozzles are formed in each cavity. A laminated type piezoelectric actuator for ejecting ink having an active part that can be selectively driven is joined to the wide surface of the flexible flat cable with respect to the surface electrode formed on the wide surface of the piezoelectric actuator. In the ink jet printer head formed by joining the joined electrode portions,
The piezoelectric actuator is formed by laminating a plurality of sheets including a piezoelectric sheet,
The piezoelectric sheet between the electrodes facing each other in the stacking direction of the individual electrode and the common electrode formed by sandwiching the piezoelectric sheet in the stacking direction is configured to be the active portion corresponding to each pressure chamber,
A large number of individual surface electrodes that are electrically connected to the individual electrodes and a large number of common surface electrodes that are electrically connected to the common electrodes are formed in an island shape on the wide surface of the surface sheet of the piezoelectric actuator. The common surface electrode and the individual surface electrode are arranged in a point-symmetrical manner with the center point of the wide surface of the surface sheet as the center of symmetry, and are formed on the wide surface of the flexible flat cable. Is arranged so that the flexible flat cable can be electrically joined to the common surface electrodes and the individual surface electrodes, respectively, when the flexible flat cable is rotated 180 degrees about the symmetry center. Inkjet printer head.
前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第1の方向とそれと直交する第2の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成され、
前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリンタヘッド。
The common surface electrodes are arranged near the outer periphery of the wide surface of the surface sheet, and are arranged and divided into a plurality of groups at appropriate intervals in the first direction and the second direction perpendicular thereto.
2. The ink jet printer head according to claim 1, wherein the individual surface electrode is formed at an inner peripheral portion of the wide surface of the surface sheet.
前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第1方向と直交する第2の方向に沿うように180度回転移動して接合可能に構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットプリンタヘッド。   3. The inkjet printer head according to claim 1, wherein the flexible flat cable is configured to be capable of being joined by being rotated by 180 degrees along a second direction orthogonal to the first direction. 4. . 前記フレキシブルフラットケーブルに形成され、前記コモン用表面電極に接合されるコモン用接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルにおける前記第2の方向に沿う一対の側縁と、これらに連通し且つ第1の方向の自由端縁とに帯状に形成され、
前記個別用接合電極は、前記コモン用接合電極部で囲まれる領域に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
The common joint electrode portion formed on the flexible flat cable and joined to the common surface electrode is connected to the pair of side edges along the second direction in the flexible flat cable, and to the first Formed in a band shape with the free edge in the direction,
The inkjet printer head according to claim 1, wherein the individual joining electrode is formed in a region surrounded by the common joining electrode portion.
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