JP2004268164A - Lapping device and lapping method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lapping device for providing desired surface roughness in response to an abrasive grain state of a lapping film surface. <P>SOLUTION: This lapping device has a rotational driving means 20 for rotatably holding a work W, a lapping film 1 for arranging an abrasive grain on one surface of a nonexpansible and deformable thin base material, a shoe 2 for pressing an abrasive grain surface of the lapping film 1 to the work W rotated by the rotational driving means 20, a motor M<SB>3</SB>for sending out the lapping film when stopping lapping, a roughness measuring apparatus 4 and a roughness measuring apparatus body 40 for detecting a surface state of the lapping film 1, and a control part C for controlling at least one of pressing force of the shoe 2 in working and sending-out quantity of the lapping film 1 when stopping the lapping. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラッピングフィルムを用いたラッピング加工装置およびラッピング加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種機械部品の高精度化、高能率化の要求により、加工の精密性の必要が高まっている。加工の精密性を向上するものとして、ラッピングフィルムによる超仕上げ加工が注目されている。
【0003】
フィルムを用いた超仕上げ加工は、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムを砥粒面からシューによりワークに押付け、ワークに回転を与えると同時に、オシレーション(振動)も与えて微細な切削を行う加工である。
【0004】
ラッピングフィルムは、ロールテープ状に形成されており、供給リールから巻き取りリールまで送り出しが可能となっている。ラッピングフィルムは、ワークの加工中には送り出されないように固定され、一つの加工が終わると所定量送り出されて異なる表面が次の加工に用いられる(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
このようにラッピングフィルムは、加工に従って順に送り出されて使用されており、通常同一表面が複数回加工に使用されている。複数回の使用によりラッピングフィルム表面は、砥粒が磨耗して小さくなったり、剥離したりしてしまう。
【0006】
しかし、従来のラッピング加工装置では、ラッピングフィルム表面の砥粒の状態に関わらず、常に一定の条件、たとえば、シューをワークに押付ける押付け力を一定値としたままで加工を持続する。
【0007】
これでは、不均一なラッピングフィルム表面により、加工も不均一となり、所望の表面粗さを得ることができない。また、砥粒がラッピングフィルム表面より突出する量が不均一である場合には、ワークに傷が発生して精密度が低下し、再度加工を行う必要が生じることもある。
【0008】
【特許文献1】
特開平7−237116号公報(図1、図2参照)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ラッピングフィルム表面の砥粒の状態に対応して所望の表面粗さを得ることができるラッピング加工装置およびその方法の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明のラッピング加工装置は、ワークを回転自在に保持する保持手段と、薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムと、前記保持手段により回転されている前記ワークに前記ラッピングフィルムの砥粒面を押付ける押付け部材と、加工停止中に前記ラッピングフィルムを送り出すフィルム送り出し手段と、前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する検出手段と、検出結果に基づいて、加工中の前記押付け部材の押付け力、および、加工停止中のラッピングフィルムの送り出し量の少なくとも一方を制御する制御手段とを有する。
【0011】
本発明のラッピング加工方法は、薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムを砥粒面から押付け部材によりワークに押付け、前記ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて、前記ワークの表面を加工する表面加工方法であって、前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する工程と、検出結果に基づいて、加工中の前記押付け部材の押付け力、および、加工停止中のラッピングフィルムの送り出し量の少なくとも一方を制御する工程とを有する。
【0012】
【発明の効果】
本発明のラッピング加工装置およびラッピング加工方法では、ラッピングフィルムの表面状態の検出結果に基づいて、加工中の前記押付け部材の押付け力、および、加工停止中のラッピングフィルムの送り出し量の少なくとも一方を制御するので、ラッピングフィルムの表面状態に機動的に対応して安定かつ均一なラッピング加工を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【0014】
(第1の実施の形態)
最初に本発明が適用されるラッピング加工装置の概略構成について説明し、その後に本発明の特徴となる部分について説明する。
【0015】
図1は本発明の実施形態に係るラッピング加工装置を示す概略構成図、図2はシュー押付手段の閉状態を示す概略断面図、図3はシュー押付手段の開状態を示す概略断面図である。なお、説明の便宜上、ワークの軸線方向(図1において左右方向)をX方向と定義し、X方向に対して直交する水平方向(図1において紙面に直交する方向)をY方向と定義し、X方向に対して直交する鉛直方向(図1において上下方向)をZ方向と定義する。
【0016】
図1、2において、本実施形態のラッピング加工装置について概説すれば、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルム1(図2参照)と、ラッピングフィルム1の背面側に配置されたシュー2(図2参照)と、シュー2(押付け部材)をワークWの加工面に向けて押付けてラッピングフィルム1の砥粒面をワークWに押付けるシュー押付手段10と、ワークWを保持し回転駆動する回転駆動手段20(保持手段)と、ワークWとラッピングフィルム1相互間でオシレーションを生じさせるオシレーション手段30とを有し、ワークWを回転しつつこれにラッピングフィルム1を押圧しラッピング加工を施すに当り、前記シュー押付手段10、回転駆動手段20あるいはオシレーション手段30等の作動状態を適宜検知し、制御部Cで制御している。なお、本実施形態のワークWは、断面円弧状の加工面を有するもの、例えば、クランクシャフトのジャーナル部やピン部等のような断面真円状の加工面を有するものである。
【0017】
以下、詳述する。
【0018】
まず、ラッピングフィルム1は、種々のタイプがあるが、本実施形態では、基材が非伸縮性の高い材料、例えば、板厚が25μm〜130μm程度のポリエステルなどから構成され、この基材の一面には、数μm〜200μm程度の粒径を有する多数の砥粒(具体的には、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、ダイアモンド等からなる)が接着剤により取り付けられている(図5参照)。砥粒は、基材の一面に全面にわたって接着してもよく、また、所定幅の無砥粒領域を間欠的に形成したものであっても良い。基材の他面には、ゴムあるいは合成樹脂等からなる抵抗材料(図示せず)が取り付けられているが、場合によっては滑り止め加工を施しても良い。
【0019】
このラッピングフィルム1は、図2に示すように、モータMにより駆動される巻取りリール6(フィルム送り出し手段)の回転により、ラッピング加工装置の枠体等に支持された供給リール5から引き出され、後述の押圧アーム11、12の先端に設けられたフィルムローラR、R、R等にガイドされ、巻取りリール6に巻き取られるが、供給リール5と巻取りリール6の近傍にはロック装置が設けられ、このロック装置の作動により全体に所定のテンションが付与された状態で保持される。
【0020】
前記シュー2は、ゴムあるいは合成樹脂等により構成された比較的剛性を有するものであり、図2、4に示すように、内面側はワークWの加工面に沿うように円弧面とされているが、外周側はシューケース3a、3bに保持され、押圧アーム11、12に保持されている。
【0021】
シュー押付手段10は、各シュー2が先端部に設けられた押圧アーム11、12と、これら押圧アーム11、12の後端に設けられ、所定の加圧力で両シュー2をワークWの加工面に向かって押付ける流体圧シリンダ13と、シューの押圧力を調節する押圧力調節手段15とを有している。
【0022】
前記シュー押付手段10は、流体圧シリンダ13が作動すると、支持ピン14を中心として両押圧アーム11、12が、図2に示す閉状態と、図3に示す開状態になる。両押圧アーム11、12の回動は、ラッピングフィルム1と共に行なわれ、閉じ回動によりシュー2がラッピングフィルム1を介してワークWを加圧し、開き回動によりワークWとシュー2の当接を解除する。
【0023】
なお、押圧力調節手段15は、シューケース3a、3bを押圧するばね力をカム16により調節し、シュー2のワークWの加工面に対する押圧力を調節する。押圧力調節手段15も制御部Cに接続されており、これにより制御可能となっている。
【0024】
回転駆動手段20は、図1において、主軸21を回転自在に支持するヘッドストック22と、主軸21の先端に連結されワークWの一端を把持するチャック23と、主軸21にベルト24を介して連結された主軸モータMと、ワークWの他端を支持するセンタを備えるテールストック25とを有している。
【0025】
ワークWは、ヘッドストック22とテールストック25との間にセットされ、主軸モータMの回転がベルト24、主軸21及びチャック23を介して伝達され、回転することになるが、これらヘッドストック22とテールストック25は、Y方向に沿ってスライド移動自在なテーブル26上に設けられ、このテーブル26は、X方向に沿ってスライド移動自在なテーブル27上に配置されている。
【0026】
オシレーション手段30は、テーブル27の端部に当接する偏心回転体33と、偏心回転体33を回転駆動するオシレーション用のモータMと、テーブル27の端部に偏心回転体33を常時当接させるためのばね等の弾性手段34と、を有し、偏心回転体33をモータMにより回転してテーブル27をX方向に往復移動し、ワークW全体をX方向にオシレーションするものである。
【0027】
オシレーション手段30によるオシレーションの振幅は、モータMの軸心に対する偏心回転体33の偏心量により定められ、オシレーションの速度は、モータMの回転速度により制御される。偏心回転体33の回転位置は、ロータリエンコーダ35により検出される。なお、偏心量の調節は、モータMに軸と偏心回転体33との嵌合部分に調節板を挿入するなどの手段が使用されるが、流体圧手段などを利用しても良く、種々の手段がある。
【0028】
以上、ラッピング加工装置の全体的な構成を説明したが、本実施形態では、特に、ラッピングフィルム1の砥粒面の状態、すなわち表面粗さを検出して、この検出結果に基づいて、シュー2の押付け力およびラッピングフィルム1の送り出し量の少なくとも一方を制御することを特徴としている。
【0029】
したがって、表面粗さを検出するため検出手段として、粗さ測定器4および粗さ測定器本体40を有する。粗さ測定器4は、図2に示すように、未使用のラッピングフィルム1の砥粒面を検出できる位置に配置されている。粗さ測定器4が粗さ測定器本体40に接続され、粗さ測定器本体40が制御部Cに接続されている。制御部Cは、粗さの測定結果に基づいて、ラッピングフィルム1の送り出しに係るモータM、および、シュー2をワークWに押付ける押付け力を制御する押圧力調節手段15にそれぞれ接続されており、粗さ測定器4の検出結果に基づいてこれらを制御する。
【0030】
粗さ測定器4としては、例えば、超深度形状測定顕微鏡(VK−8500:キーエンス)や、非接触3次元表面形状・粗さ測定器(New View 5000:ザイゴ株式会社)等の一般的に販売されている粗さ測定器を使用することができる。
【0031】
また、本実施形態では、予めラッピングフィルム1上の砥粒を研磨して所定の突き出し高さをそろえるために、さらにツルーイング手段7を有する。ツルーイング手段7は、ツルーア本体70およびツルーイング部71を含んでいる。ツルーア本体70は、制御部Cに接続されており、これにより制御され、ツルーイング部71を駆動する。ツルーイング部71は、回動自在な円筒状に形成されており、側面にダイアモンド砥粒が固着されている。回動しながら、側面でラッピングフィルム1を擦ることによって、ラッピングフィルム1をツルーイングすることができる。
【0032】
以下、詳細に本発明の要部について説明する。
【0033】
図4は砥粒のツルーイングの様子を示す図、図5は砥粒面を示す拡大図である。
【0034】
粗さ測定器4は、ラッピングフィルム1の砥粒面の砥粒の突き出し高さLを検出する。砥粒は、図5に示すように、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面上に配置されており、接着剤により固着されている。ここで、粗さ測定器4により測定する砥粒の突き出し高さLは、接着剤から突き出ている砥粒の高さである。
【0035】
制御部Cは、まずツルーイング手段7を制御して、ラッピングフィルム1の砥粒面の砥粒の高さをそろえる。具体的には、図4に示すように、制御部Cの制御に基づいて、ツルーア本体70は、ツルーイング(研磨)を行うための回動自在な円筒状のツルーイング部71を回転駆動させて、この側面に固着されたダイアモンド砥粒をラッピングフィルム1に当てることによって所定の突き出し高さ以上突き出しているラッピングフィルム1上の砥粒を該所定の高さまで削り取り、ラッピング加工前のラッピングフィルム1の砥粒の突き出し高さを均一にそろえる。
【0036】
粗さ測定器4は、ツルーイング後のラッピングフィルム1表面の画像を撮影し、撮影結果を粗さ測定器本体40に送信する。粗さ測定器本体40は、撮影された画像を解析して砥粒の突き出し高さLを算出する。算出された突き出し高さLは、粗さ測定器本体40から制御部Cに送信される。制御部Cは、突き出し高さLに基づいて、目詰まり状態を判断し、その切削力を判断する。
【0037】
制御部Cは、上記判断を行ったラッピングフィルム1の箇所および判断結果を記憶しており、ラッピングフィルム1が送り出されてこれからシュー2の押付けにより加工に使用される箇所の判断結果に基づいて、所望の加工量が得られるように押圧力調節手段15によりシュー2の押付け力を制御するか、または、その箇所の切削力が著しく低い場合には、さらにラッピングフィルム1を送り出してその箇所が加工に使用されないようにする。
【0038】
通常、ツルーイング後のラッピングフィルム1表面は一様の状態となり、切削力が均等になるので、特に加工に問題等がない場合には、制御部Cは、シュー2による押付け力およびラッピングフィルム1の送り出し量の調節は行わず、一定の押付け力および送り出し量となるように各構成を制御する。
【0039】
以上のように、第1実施形態では、未使用のラッピングフィルム1をツルーイングしているので、加工に使用した際に均一な加工量を得ることができる。加えて、粗さ測定器4によりツルーイング後のラッピングフィルム1表面を測定しているので、ツルーイング量に対応した適切な切削を行うことができ、または、ツルーイングに適さない箇所の使用を禁止して安定した加工量を得ることができる。
【0040】
(第2の実施の形態)
第2実施形態では、最初のシューケース3aを経由して次のシューケース3bに送られる途中のラッピングフィルム1の砥粒面を粗さ測定器4で検出している。換言すると、粗さ測定器4を、2つのシューケース3a、3b間に設置する場合である。
【0041】
図6はシューケース3a、3b間に粗さ測定器4を設置した状態のラッピング加工装置を示す図である。
【0042】
図6に示すラッピング加工装置は、粗さ測定器4がシューケース3a、3b間に配置されていることを除いて、図2に示すラッピング加工装置とほとんど同様の構成を有するので、第2実施形態では、同様の構成には同様の参照番号を付してその説明を省略する。第2実施形態の特徴となる構成について簡単に説明する。
【0043】
粗さ測定器4は、シューケース3a、3b間に配置されており、ラッピングフィルム1の砥粒面の状態を検出する。粗さ測定器4は、粗さ測定器本体40に接続されており、撮影した画像を粗さ測定器本体40に送信する。粗さ測定器本体40は、制御部Cに接続されている。制御部Cは、さらに、モータM、および押圧力調節手段15に接続されており、粗さ測定器4による測定結果に基づいてモータM、および押圧力調節手段15を制御する。
【0044】
シューケース3a、3b間でラッピングフィルム1砥粒面を検出する場合、最初のシューケース3aを経由する際に砥粒面は一度使用されているので、切屑が砥粒間に詰まり、また砥粒自体が削れて小さくなっている。この目詰まりおよび砥粒の磨耗にばらつきがあるので、このばらつきに対応して、図6に示すラッピング加工装置は各構成を制御する。
【0045】
各構成の作用について説明する。まず、粗さ測定器4は、砥粒の状態の画像を撮像し、画像を粗さ測定器本体40に送信する。粗さ測定器本体40は、画像に基づいて、砥粒の突き出し高さを算出する。この算出結果は粗さ測定器本体40から制御部Cに送信される。制御部Cは砥粒面の目詰まり程度を判断し、この判断結果と該判断がなされたラッピングフィルム1の箇所とを記憶しておき、これらに基づいて各構成の動作を制御する。
【0046】
砥粒の突き出し高さに従って、制御部Cは、(1)モータM、または(2)押圧力調節手段15を制御して、安定したラッピング加工を確保する。
【0047】
(1)モータMを制御する場合
目詰まり部分でラッピング加工を行うと適当な加工が行えず、所望の表面粗さを得ることができない。したがって、制御部Cは、粗さ測定器4により測定した突き出し高さが適当な加工を行える程度かどうかを判断する。制御部Cは、判断結果と判断したラッピングフィルム1上の箇所を記憶しているので、ラッピング加工に使用される位置まで送られているラッピングフィルム1の箇所、すなわち、シューケース3bが保持するシュー2によりワークWに押付けられる箇所について、目詰まりの状態がどうであったかを検索する。適当な加工ができない位目詰まりを起こしている場合には、制御部Cは、ラッピングフィルム1のこの箇所で加工を行っても安定した加工量を得ることができないので、この箇所を使用しないように、モータMを制御して、ラッピングフィルム1を送り出す。
【0048】
なお、目詰まりの程度が普通の場合、すなわち砥粒の突き出し高さが低くないと判断された場合、制御部Cは、通常の送り出し量でラッピングフィルム1の送り出しを行い、シューケース3bが保持するシュー2に押付けられるラッピングフィルム1の箇所をそのまま使用する。
【0049】
(2)押圧力調節手段15を制御する場合
目詰まり部分でそのままラッピング加工を行っても、目詰まり具合によっては所望の表面粗さを得ることができない。したがって、制御部Cは、ラッピングフィルム1上の目詰まり部分の位置を記憶し、該目詰まり部分がラッピング加工に使用される位置まで送られたら、シュー2のワークに対する押付け力が大きくなるように押圧力調節手段15を制御する。これにより、目詰まりで切削力が低減しているラッピングフィルム1を用いても押付け力の増大により充分な切削量を得られることができ、所望の表面粗さを得ることができる。
【0050】
砥粒の突き出し高さに対するシュー2の押付け力の関係は次の通りである。
【0051】
図7は砥粒の突き出し高さに対する押付け力の関係を示す図である。
【0052】
図7において、横軸は、未使用のラッピングフィルム1をツルーイングした直後の砥粒の突き出し高さを100%として、これを基準とする砥粒の突き出し高さを示している。また、縦軸は、砥粒の突き出し高さが100%(ツルーイング直後)の際の適切なシュー2の押付け力を100%として、これを基準として押付け力を示している。
【0053】
図7に示すように、ツルーイング直後のラッピングフィルム1の場合は押付け力を100%としているが、ラッピングフィルム1が目詰まりあるいは摩滅して砥粒の突き出し高さが低くなってくると押付け力を強くしなければ、所定の表面粗さを得ることができない。すなわち、最初のシューケース3aを経由したラッピングフィルム1表面は、加工により目詰まりが起こり、または砥粒が摩滅して、突き出し高さが減少している。
【0054】
たとえば、シューケース3aを経由して突き出し高さがツルーイング直後の60%になっている場合、100%の場合と同様の押付け力としたのでは所望の表面粗さを得られない。したがって、図7に示すように、押付け力を110%に強くすることで所望の表面粗さを得ることができる。また、突き出し高さが20%になっている場合には押付け力を120%にして所望の表面粗さを得ることができる。
【0055】
以上のように、第2実施形態では、砥粒の突き出し高さの検出に基づいて、(1)モータM、(2)押圧力調節手段15を制御する。
【0056】
したがって、(1)モータMを制御する場合には、ラッピングフィルム1の送り出し量を変更することによって、安定した均等な加工に支障をきたすラッピングフィルム1の箇所の使用を防止して、安定した加工量を得ることができる。
【0057】
(2)押圧力調節手段15を制御する場合には、目詰まりおよび磨耗により突き出し高さが低くなった砥粒を用いたラッピング加工においても、押付け力を変更することによって、安定した均等な加工量を得ることができる。
【0058】
(第3の実施の形態)
第3実施形態では、2つのシューケース3a、3bを経由し終わったラッピングフィルム1の砥粒面を粗さ測定器4で検出している。換言すると、粗さ測定器4を、送り出し方向において、2つのシューケース3a、3bの奥側に設置する場合である。
【0059】
図8は、シューケース3a、3bの奥に粗さ測定器4を設置した状態のラッピング加工装置を示す図である。
【0060】
図8に示すラッピング加工装置は、粗さ測定器4が2つのシューケース3a、3bの奥に配置されていることを除いて、図2に示すラッピング加工装置とほとんど同様の構成を有するので、第3実施形態では、同様の構成には同様の参照番号を付してその説明を省略する。第3実施形態の特徴となる構成について簡単に説明する。
【0061】
粗さ測定器4は、シューケース3aとシューケース3bと間に配置されており、ラッピングフィルム1の砥粒面の状態を検出する。粗さ測定器4は、粗さ測定器本体40に接続されており、撮影した画像を粗さ測定器本体40に送信する。粗さ測定器本体40は、制御部Cに接続されている。制御部Cは、さらに、モータM、および押圧力調節手段15に接続されており、粗さ測定器4による測定結果に基づいてモータM、および押圧力調節手段15を制御する。
【0062】
シューケース3a、3bの奥でラッピングフィルム1砥粒面を検出する場合、2つのシューケース3a、3bを経由する際に砥粒面が使用されているので、切屑が砥粒間に詰まっている。図8に示すラッピング加工装置では、粗さ測定器4により砥粒間の目詰まりを検出し、この検出結果に基づき、各構成が制御される。
【0063】
各構成の作用を説明する。まず、粗さ測定器4は、砥粒の状態の画像を撮像し、画像を粗さ測定器本体40に送信する。粗さ測定器本体40は、画像に基づいて、砥粒の突き出し高さを算出する。この算出結果は粗さ測定器本体40から制御部Cに送信される。制御部Cは砥粒面の目詰まり程度を判断し、この判断結果と該判断がなされたラッピングフィルム1の箇所とを記憶しておき、これらに基づいて各構成の動作を制御する。
【0064】
目詰まりや摩滅の程度が激しい場合、すなわち砥粒の突き出し高さが低いと判断された場合、制御部Cは、今後ラッピングフィルム1を使用する際の条件としてフィードバックする。
【0065】
具体的には、制御部Cは、加工が終了して排出されたラッピングフィルム1の砥粒面の砥粒の突き出し高さに基づいて、ラッピングフィルム1が投入されてから排出されるまでにどれだけ目詰まりを起こし、また、どの部分で目詰まりや摩滅が起こりにくいかを検出し、今後のラッピングフィルム1の送り出し量や、シュー2によるワークへの押付け力の検討の為にフィードバックする。フィードバックされた内容は、図示しない記憶装置に格納され、これを分析して、今後の加工に活用することができる。
【0066】
以上のように、第3実施形態では、加工後のラッピングフィルム1の表面状態を粗さ測定器4により検出しているので、この検出結果に基づいて、今後のラッピングフィルム1の送り出し量や、シュー2の押付け力の調節に使用することができ、今後の安定した均一の加工量を達成することができる。
【0067】
以上、第1〜第3実施形態において説明してきたように、本発明では、ラッピングフィルム1の表面状態を粗さ測定器4および粗さ測定器本体40により検出し、この検出結果に基づいて、加工停止中のラッピングフィルム1の送り出し量、また加工中のシュー2の押付け力の少なくとも一方を変更している。したがって、加工に使用するラッピングフィルム1の状態、または加工に使用されたラッピングフィルム1の状態に機動的に対応して安定かつ均一なラッピング加工を行うことができる。
【0068】
詳細には、粗さ測定器4により検出した砥粒の突き出し量に基づいて、シュー2の押付け力を調整することによって、突き出し量に対応して良好なラッピング加工を行うことができる。
【0069】
加えて、検出した砥粒の突き出し量に基づいて、ラッピングフィルム1の送り出し量を制御することによって、目詰まりにより所望の加工が行えないラッピングフィルム1の使用を防止し、良好なラッピング加工を行うことができる。
【0070】
なお、上記実施形態では、ワークWとしてクランクシャフトを加工する場合について説明したが、これに限定されない。本発明は、カムシャフトのように断面非真円の円弧状の加工面を有するワークの加工にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るラッピング加工装置を示す概略構成図である。
【図2】シュー押付手段の閉状態を示す概略断面図である。
【図3】シュー押付手段の開状態を示す概略断面図である。
【図4】砥粒のツルーイングの様子を示す図である。
【図5】砥粒面を示す拡大図である。
【図6】シューケース間に粗さ測定器を設置した状態のラッピング加工装置を示す図である。
【図7】砥粒の突き出し高さに対する押付け力の関係を示す図である。
【図8】シューケースの奥に粗さ測定器を設置した状態のラッピング加工装置を示す図である。
【符号の説明】
1…ラッピングフィルム、
2…シュー、
3a、3b…シューケース、
4…粗さ測定器、
5…供給リール、
6…巻取りリール、
7…ツルーイング手段、
10…シュー押付手段、
15…押圧力調節手段、
20…回転駆動手段、
30…オシレーション手段、
40…粗さ測定器本体、
70…ツルーア本体、
71…ツルーイング部、
C…制御部、
…モータ、
、R、R…フィルムローラ、
W…ワーク。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a lapping apparatus and a lapping method using a lapping film.
[0002]
[Prior art]
In recent years, due to demands for higher precision and higher efficiency of various mechanical parts, the necessity of processing precision is increasing. Super finishing with a wrapping film has attracted attention as a means of improving the precision of processing.
[0003]
Super finishing using a film is a non-stretchable and deformable thin base material with abrasive grains provided on one side of the surface. This is a process to perform fine cutting by giving an oscillation (vibration).
[0004]
The wrapping film is formed in a roll tape shape, and can be sent out from a supply reel to a take-up reel. The wrapping film is fixed so as not to be sent out during processing of the workpiece, and after one processing is finished, is sent out by a predetermined amount, and a different surface is used for the next processing (for example, see Patent Document 1).
[0005]
As described above, the wrapping film is sequentially sent out and used according to the processing, and the same surface is usually used for processing a plurality of times. The abrasive grains are worn and become smaller or peel off on the surface of the wrapping film due to multiple uses.
[0006]
However, in the conventional lapping apparatus, the processing is continued under a constant condition, for example, with a constant pressing force for pressing the shoe against the work regardless of the state of the abrasive grains on the surface of the lapping film.
[0007]
In this case, the processing becomes uneven due to the uneven wrapping film surface, and a desired surface roughness cannot be obtained. If the amount of the abrasive grains projecting from the surface of the lapping film is not uniform, the work may be scratched, the precision may be reduced, and it may be necessary to perform the processing again.
[0008]
[Patent Document 1]
JP-A-7-237116 (see FIGS. 1 and 2)
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a lapping apparatus and a method thereof capable of obtaining a desired surface roughness in accordance with the state of abrasive grains on a lapping film surface.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The lapping apparatus of the present invention is a holding means for rotatably holding a work, a wrapping film having abrasive grains provided on one surface of a thin base material, and a wrapping film on the work being rotated by the holding means. A pressing member that presses the abrasive grain surface, a film feeding unit that sends out the wrapping film while processing is stopped, a detecting unit that detects a surface state of the wrapping film, and, based on a detection result, the pressing member that is being processed. And control means for controlling at least one of the pressing force and the feeding amount of the wrapping film during processing stop.
[0011]
The lapping method of the present invention, a lapping film provided with abrasive grains on one surface of a thin base material is pressed against the work by a pressing member from the abrasive grain surface, and at the same time imparting rotation to the work, relative to the work Applying a vibration to the wrapping film to process the surface of the work, wherein the step of detecting the surface state of the wrapping film, and pressing the pressing member during processing based on the detection result Controlling at least one of the force and the feeding amount of the wrapping film during the processing stop.
[0012]
【The invention's effect】
In the lapping apparatus and the lapping method of the present invention, based on the detection result of the surface state of the lapping film, at least one of the pressing force of the pressing member during the processing and the feeding amount of the wrapping film during the processing is controlled. Therefore, a stable and uniform lapping process can be performed according to the surface condition of the wrapping film.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0014]
(First Embodiment)
First, a schematic configuration of a lapping apparatus to which the present invention is applied will be described, and thereafter, a characteristic portion of the present invention will be described.
[0015]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a lapping apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic sectional view showing a closed state of a shoe pressing means, and FIG. 3 is a schematic sectional view showing an open state of a shoe pressing means. . For convenience of explanation, the axial direction of the work (the left-right direction in FIG. 1) is defined as the X direction, and the horizontal direction orthogonal to the X direction (the direction orthogonal to the plane of FIG. 1) is defined as the Y direction. A vertical direction (vertical direction in FIG. 1) orthogonal to the X direction is defined as a Z direction.
[0016]
1 and 2, when the lapping apparatus of the present embodiment is briefly described, a wrapping film 1 in which abrasive grains are provided on one surface of a non-stretchable and deformable thin base material (see FIG. 2), and a wrapping film Shoe 2 (see FIG. 2) disposed on the rear side of the workpiece 1 and shoe pressing means for pressing the shoe 2 (pressing member) toward the processing surface of the work W to press the abrasive surface of the wrapping film 1 against the work W 10, a rotation driving means 20 (holding means) for holding and rotating the work W, and an oscillation means 30 for generating an oscillation between the work W and the wrapping film 1. When the lapping film 1 is pressed against the lapping film, the operation of the shoe pressing means 10, the rotation driving means 20, the oscillation means 30 or the like is performed. State appropriately detects, it is controlled by the control unit C. The work W of the present embodiment has a work surface having an arc-shaped cross section, for example, a work surface having a perfectly circular cross section such as a journal portion or a pin portion of a crankshaft.
[0017]
The details will be described below.
[0018]
First, there are various types of wrapping films 1. In the present embodiment, the base material is made of a material having high non-stretchability, for example, a polyester having a plate thickness of about 25 μm to 130 μm. A large number of abrasive grains (specifically, made of aluminum oxide, silicon carbide, diamond, or the like) having a particle size of about several μm to 200 μm are attached to the substrate with an adhesive (see FIG. 5). The abrasive grains may be adhered to one surface of the base material over the entire surface, or a non-abrasive grain region having a predetermined width may be formed intermittently. A resistance material (not shown) made of rubber, synthetic resin, or the like is attached to the other surface of the base material.
[0019]
The wrapping film 1, as shown in FIG. 2, by the rotation of the take-up reel 6 driven by a motor M 3 (film feeding means) is drawn from a supply reel 5 supported to the frame body or the like of the lapping device Is guided by film rollers R 1 , R 5 , R 2 and the like provided at the distal ends of pressing arms 11, 12 described later, and is wound on the take-up reel 6. Is provided with a lock device, and the lock device is held in a state where a predetermined tension is applied to the whole by the operation of the lock device.
[0020]
The shoe 2 is made of rubber, synthetic resin, or the like, and has relatively rigidity. As shown in FIGS. 2 and 4, the inner surface has an arc surface along the processing surface of the work W. However, the outer peripheral side is held by shoe cases 3a, 3b and held by pressing arms 11, 12.
[0021]
The shoe pressing means 10 is provided with pressing arms 11 and 12 each of which has a shoe 2 provided at a front end thereof, and provided at the rear end of each of the pressing arms 11 and 12. And a pressing force adjusting means 15 for adjusting the pressing force of the shoe.
[0022]
When the fluid pressure cylinder 13 operates, the shoe pressing means 10 brings the two pressing arms 11 and 12 around the support pin 14 into a closed state shown in FIG. 2 and an open state shown in FIG. The rotation of both pressing arms 11 and 12 is performed together with the wrapping film 1, and the shoe 2 presses the work W through the wrapping film 1 by the closing rotation, and the work W and the shoe 2 are brought into contact by the opening rotation. To release.
[0023]
The pressing force adjusting means 15 adjusts the spring force for pressing the shoe cases 3a and 3b by the cam 16, and adjusts the pressing force of the shoe 2 against the work surface of the workpiece W. The pressing force adjusting means 15 is also connected to the control section C, so that it can be controlled.
[0024]
In FIG. 1, the rotation drive unit 20 includes a head stock 22 that rotatably supports a main shaft 21, a chuck 23 that is connected to a tip of the main shaft 21 and grips one end of a work W, and is connected to the main shaft 21 via a belt 24. a spindle motor M 1 which is, and a tailstock 25 provided with a center that supports the other end of the workpiece W.
[0025]
Workpiece W is set between the headstock 22 and tailstock 25, the rotation of the spindle motor M 1 is transmitted through the belt 24, the spindle 21 and the chuck 23, but will rotate, these headstock 22 The tail stock 25 is provided on a table 26 slidable along the Y direction. The table 26 is disposed on a table 27 slidable along the X direction.
[0026]
Oscillation means 30, the eccentric rotor 33 abutting on an end portion of the table 27, and the motor M 2 for oscillation for rotationally driving the eccentric rotor 33, always in the eccentric rotor 33 to the end of the table 27 and resilient means 34 such as a spring for causing the contact has an eccentric rotor 33 is rotated to reciprocate the table 27 in the X direction by the motor M 2, intended to oscillation of the entire workpiece W in the X direction is there.
[0027]
The amplitude of oscillation due to oscillation means 30 is defined by the eccentricity of the eccentric rotor 33 relative to the axis of the motor M 2, the rate of oscillation is controlled by the rotational speed of the motor M 2. The rotational position of the eccentric rotator 33 is detected by a rotary encoder 35. Incidentally, adjustment of eccentricity is means such as inserting a regulatory plate mating portion of the shaft to the motor M 2 and the eccentric rotation body 33 is used, it may be utilized such as a fluid pressure means, various There are means of.
[0028]
In the above, the overall configuration of the lapping apparatus has been described. In the present embodiment, in particular, the state of the abrasive grain surface of the lapping film 1, that is, the surface roughness is detected, and based on the detection result, the shoe 2 is used. , And at least one of the pressing force and the feeding amount of the wrapping film 1 is controlled.
[0029]
Therefore, it has the roughness measuring device 4 and the roughness measuring device main body 40 as detecting means for detecting the surface roughness. As shown in FIG. 2, the roughness measuring device 4 is arranged at a position where the abrasive surface of the unused wrapping film 1 can be detected. The roughness measuring device 4 is connected to the roughness measuring device main body 40, and the roughness measuring device main body 40 is connected to the control section C. The control unit C is connected to the motor M 3 for feeding the wrapping film 1 and the pressing force adjusting means 15 for controlling the pressing force for pressing the shoe 2 against the work W based on the measurement result of the roughness. These are controlled based on the detection result of the roughness measuring device 4.
[0030]
As the roughness measuring device 4, for example, an ultra-depth shape measuring microscope (VK-8500: Keyence), a non-contact three-dimensional surface shape / roughness measuring device (New View 5000: Zygo Co., Ltd.) and the like are generally sold. Roughness measuring instruments can be used.
[0031]
Further, in the present embodiment, a truing means 7 is further provided in order to polish the abrasive grains on the wrapping film 1 in advance to make a predetermined protrusion height uniform. The truing means 7 includes a truing body 70 and a truing portion 71. The truer main body 70 is connected to the control unit C and is controlled by the control unit C to drive the truing unit 71. The truing portion 71 is formed in a rotatable cylindrical shape, and has diamond abrasive grains fixed to a side surface. By rubbing the wrapping film 1 on the side while rotating, the wrapping film 1 can be trued.
[0032]
Hereinafter, the main part of the present invention will be described in detail.
[0033]
FIG. 4 is a view showing a state of truing of abrasive grains, and FIG. 5 is an enlarged view showing an abrasive grain surface.
[0034]
The roughness measuring device 4 detects the protrusion height L of the abrasive grains on the abrasive grain surface of the wrapping film 1. As shown in FIG. 5, the abrasive grains are arranged on one surface of a non-stretchable and deformable thin base material, and are fixed by an adhesive. Here, the protruding height L of the abrasive grains measured by the roughness measuring device 4 is the height of the abrasive grains protruding from the adhesive.
[0035]
The control unit C first controls the truing means 7 to make the height of the abrasive grains on the abrasive grain surface of the wrapping film 1 uniform. Specifically, as shown in FIG. 4, based on the control of the control unit C, the truer main body 70 rotationally drives a rotatable cylindrical truing part 71 for performing truing (polishing). The abrasive grains on the wrapping film 1 projecting more than a predetermined protrusion height are scraped to the predetermined height by applying the diamond abrasive grains fixed to the side surface to the lapping film 1, and the abrasive of the wrapping film 1 before the lapping process is removed. Make the protrusion height of the grains uniform.
[0036]
The roughness measuring device 4 captures an image of the surface of the wrapping film 1 after truing, and transmits the captured result to the roughness measuring device main body 40. The roughness measuring device main body 40 analyzes the photographed image and calculates the protrusion height L of the abrasive grains. The calculated protrusion height L is transmitted from the roughness measuring device main body 40 to the control unit C. The control unit C determines the clogging state based on the protrusion height L, and determines the cutting force.
[0037]
The controller C stores the location of the wrapping film 1 and the result of the determination, and based on the determination result of the location where the wrapping film 1 is sent out and is used for processing by pressing the shoe 2 from now on. The pressing force of the shoe 2 is controlled by the pressing force adjusting means 15 so that a desired processing amount can be obtained, or when the cutting force at the location is extremely low, the wrapping film 1 is further fed to process the location. To be used for
[0038]
Normally, the surface of the wrapping film 1 after truing is in a uniform state, and the cutting force is uniform. Therefore, when there is no problem in processing, the control unit C determines the pressing force by the shoe 2 and the wrapping film 1. The feed amount is not adjusted, and each component is controlled so as to have a constant pressing force and feed amount.
[0039]
As described above, in the first embodiment, since the unused wrapping film 1 is trued, a uniform processing amount can be obtained when used for processing. In addition, since the surface of the wrapping film 1 after truing is measured by the roughness measuring device 4, it is possible to perform appropriate cutting corresponding to the amount of truing, or to prohibit use of a portion that is not suitable for truing. A stable processing amount can be obtained.
[0040]
(Second embodiment)
In the second embodiment, the roughness measuring device 4 detects the abrasive surface of the wrapping film 1 being sent to the next shoe case 3b via the first shoe case 3a. In other words, this is a case where the roughness measuring device 4 is installed between the two shoe cases 3a and 3b.
[0041]
FIG. 6 is a view showing the lapping apparatus in a state where the roughness measuring device 4 is installed between the shoe cases 3a and 3b.
[0042]
The lapping apparatus shown in FIG. 6 has almost the same configuration as that of the lapping apparatus shown in FIG. 2 except that the roughness measuring device 4 is arranged between the shoe cases 3a and 3b. In the embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. A configuration that is a feature of the second embodiment will be briefly described.
[0043]
The roughness measuring device 4 is disposed between the shoe cases 3a and 3b, and detects the state of the abrasive surface of the wrapping film 1. The roughness measuring device 4 is connected to the roughness measuring device main body 40, and transmits a captured image to the roughness measuring device main body 40. The roughness measuring device main body 40 is connected to the control unit C. Control unit C is further connected to a motor M 3, and the pressing force adjusting means 15 controls the motor M 3 and the pressing force adjusting means 15 based on the measurement result by the roughness measuring instrument 4.
[0044]
When the abrasive surface of the wrapping film 1 is detected between the shoe cases 3a and 3b, since the abrasive surface is used once when passing through the first shoe case 3a, chips are clogged between the abrasive particles, and It is shaved and smaller. Since the clogging and the wear of the abrasive grains vary, the lapping apparatus shown in FIG. 6 controls each component in accordance with the variations.
[0045]
The operation of each configuration will be described. First, the roughness measuring device 4 captures an image of the state of the abrasive grains and transmits the image to the roughness measuring device main body 40. The roughness measuring device main body 40 calculates the protrusion height of the abrasive grains based on the image. This calculation result is transmitted from the roughness measuring device main body 40 to the control unit C. The control unit C determines the degree of clogging of the abrasive grain surface, stores the determination result and the location of the wrapping film 1 where the determination is made, and controls the operation of each component based on these.
[0046]
The controller C controls (1) the motor M 3 or (2) the pressing force adjusting means 15 in accordance with the protruding height of the abrasive grains to secure stable lapping.
[0047]
(1) appropriate processing is performed lapping when clogging portion for controlling the motor M 3 is not performed, it is impossible to obtain a desired surface roughness. Therefore, the control unit C determines whether or not the protrusion height measured by the roughness measuring device 4 is such that appropriate processing can be performed. The control unit C stores the location on the wrapping film 1 determined as the determination result, and thus the location of the wrapping film 1 that has been fed to the location used for the lapping process, that is, the shoe held by the shoe case 3b. Then, a search is made as to the state of the clogging of the portion pressed against the work W by the step 2. If clogging has occurred such that proper processing cannot be performed, the control unit C does not use a stable processing amount even if processing is performed at this portion of the wrapping film 1. to, and controls the motor M 3, it feeds the wrapping film 1.
[0048]
If the degree of clogging is normal, that is, if it is determined that the protruding height of the abrasive grains is not low, the control unit C sends out the wrapping film 1 with a normal feeding amount, and the shoe case 3b is held. The portion of the wrapping film 1 pressed against the shoe 2 to be used is used as it is.
[0049]
(2) When controlling the pressing force adjusting means 15 Even if the lapping process is directly performed at the clogged portion, a desired surface roughness cannot be obtained depending on the degree of clogging. Therefore, the control unit C stores the position of the clogged portion on the wrapping film 1 so that when the clogged portion is sent to a position used for lapping, the pressing force of the shoe 2 against the work is increased. The pressing force adjusting means 15 is controlled. Thereby, even if the wrapping film 1 in which the cutting force is reduced due to clogging is used, a sufficient cutting amount can be obtained by increasing the pressing force, and a desired surface roughness can be obtained.
[0050]
The relationship between the protrusion height of the abrasive grains and the pressing force of the shoe 2 is as follows.
[0051]
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the pressing height and the protrusion height of the abrasive grains.
[0052]
In FIG. 7, the horizontal axis indicates the protrusion height of the abrasive grains with reference to the protrusion height of the abrasive grains immediately after truing the unused wrapping film 1 as 100%. The vertical axis indicates the pressing force based on the appropriate pressing force of the shoe 2 when the protrusion height of the abrasive grains is 100% (immediately after truing), as 100%.
[0053]
As shown in FIG. 7, in the case of the wrapping film 1 immediately after truing, the pressing force is set to 100%. However, when the wrapping film 1 is clogged or worn and the protrusion height of the abrasive grains is reduced, the pressing force is reduced. Unless strengthened, a predetermined surface roughness cannot be obtained. That is, the surface of the wrapping film 1 that has passed through the first shoe case 3a is clogged due to processing, or the abrasive grains are worn away, and the protrusion height is reduced.
[0054]
For example, when the protrusion height via the shoe case 3a is 60% immediately after truing, a desired surface roughness cannot be obtained with the same pressing force as in the case of 100%. Therefore, as shown in FIG. 7, a desired surface roughness can be obtained by increasing the pressing force to 110%. When the protrusion height is 20%, a desired surface roughness can be obtained by setting the pressing force to 120%.
[0055]
As described above, in the second embodiment, (1) the motor M 3 and (2) the pressing force adjusting means 15 are controlled based on the detection of the protrusion height of the abrasive grains.
[0056]
Thus, (1) when controlling the motor M 3 are, by changing the feed amount of lapping film 1, to prevent the use of stable and uniform portions of the wrapping film 1 interfere with processing, stable The amount of processing can be obtained.
[0057]
(2) When controlling the pressing force adjusting means 15, even in lapping processing using abrasive grains having a low protrusion height due to clogging and abrasion, stable and uniform processing can be achieved by changing the pressing force. You can get the quantity.
[0058]
(Third embodiment)
In the third embodiment, the roughness measuring device 4 detects the abrasive surface of the wrapping film 1 that has passed through the two shoe cases 3a and 3b. In other words, this is a case where the roughness measuring device 4 is installed behind the two shoe cases 3a and 3b in the feeding direction.
[0059]
FIG. 8 is a diagram showing the lapping apparatus in a state where the roughness measuring device 4 is installed at the back of the shoe cases 3a and 3b.
[0060]
The lapping apparatus shown in FIG. 8 has almost the same configuration as that of the lapping apparatus shown in FIG. 2 except that the roughness measuring device 4 is disposed behind two shoe cases 3a and 3b. In the third embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. A configuration that is a feature of the third embodiment will be briefly described.
[0061]
The roughness measuring device 4 is disposed between the shoe case 3a and the shoe case 3b, and detects the state of the abrasive grain surface of the wrapping film 1. The roughness measuring device 4 is connected to the roughness measuring device main body 40, and transmits a captured image to the roughness measuring device main body 40. The roughness measuring device main body 40 is connected to the control unit C. Control unit C is further connected to a motor M 3, and the pressing force adjusting means 15 controls the motor M 3 and the pressing force adjusting means 15 based on the measurement result by the roughness measuring instrument 4.
[0062]
When the abrasive grain surface of the wrapping film 1 is detected at the back of the shoe cases 3a and 3b, the chips are clogged between the abrasive grains because the abrasive grain surface is used when passing through the two shoe cases 3a and 3b. . In the lapping apparatus shown in FIG. 8, clogging between abrasive grains is detected by the roughness measuring device 4, and each component is controlled based on the detection result.
[0063]
The operation of each configuration will be described. First, the roughness measuring device 4 captures an image of the state of the abrasive grains and transmits the image to the roughness measuring device main body 40. The roughness measuring device main body 40 calculates the protrusion height of the abrasive grains based on the image. This calculation result is transmitted from the roughness measuring device main body 40 to the control unit C. The control unit C determines the degree of clogging of the abrasive grain surface, stores the determination result and the location of the wrapping film 1 where the determination is made, and controls the operation of each component based on these.
[0064]
When the degree of clogging or abrasion is severe, that is, when it is determined that the protruding height of the abrasive grains is low, the control unit C feeds back as a condition when the wrapping film 1 is used in the future.
[0065]
Specifically, the control unit C determines, based on the protruding height of the abrasive grains on the abrasive grain surface of the wrapping film 1 that has been processed and discharged, Only the clogging is caused, and where the clogging and the abrasion hardly occur is detected, and the feedback is performed for examining the feeding amount of the wrapping film 1 and the pressing force of the shoe 2 on the work. The content fed back is stored in a storage device (not shown), which can be analyzed and used for future processing.
[0066]
As described above, in the third embodiment, since the surface state of the wrapping film 1 after processing is detected by the roughness measuring device 4, the amount of the wrapping film 1 to be sent out in the future, It can be used for adjusting the pressing force of the shoe 2, and a stable and uniform processing amount in the future can be achieved.
[0067]
As described above in the first to third embodiments, in the present invention, the surface state of the wrapping film 1 is detected by the roughness measuring device 4 and the roughness measuring device main body 40, and based on the detection result, At least one of the feeding amount of the wrapping film 1 during the processing stop and the pressing force of the shoe 2 during the processing is changed. Therefore, a stable and uniform lapping process can be performed according to the state of the wrapping film 1 used for processing or the state of the wrapping film 1 used for processing.
[0068]
Specifically, by adjusting the pressing force of the shoe 2 based on the protrusion amount of the abrasive grains detected by the roughness measuring device 4, it is possible to perform a good lapping process corresponding to the protrusion amount.
[0069]
In addition, by controlling the feeding amount of the wrapping film 1 based on the detected protrusion amount of the abrasive grains, it is possible to prevent the use of the wrapping film 1 in which the desired processing cannot be performed due to clogging, and perform a good lapping process. be able to.
[0070]
In the above embodiment, the case where the crankshaft is processed as the work W has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to the processing of a workpiece having an arc-shaped processing surface with a non-circular cross section, such as a camshaft.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a lapping apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic sectional view showing a closed state of a shoe pressing means.
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an open state of the shoe pressing means.
FIG. 4 is a view showing a state of truing of abrasive grains.
FIG. 5 is an enlarged view showing an abrasive grain surface.
FIG. 6 is a diagram showing a lapping apparatus in a state where a roughness measuring device is installed between shoe cases.
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the protrusion height of abrasive grains and the pressing force.
FIG. 8 is a view showing a lapping apparatus in a state where a roughness measuring device is installed at the back of a shoe case.
[Explanation of symbols]
1: Wrapping film,
2 ... shoes,
3a, 3b ... shoe case,
4 ... roughness measuring instrument,
5 ... supply reel,
6 ... take-up reel,
7 ... Trueing means,
10 ... shoe pressing means
15 ... pressing force adjusting means,
20 ... rotation drive means,
30 ... oscillation means,
40: roughness measuring instrument body
70 ... truer body,
71 ... truing part,
C: control unit,
M 3 ... motor,
R 1 , R 2 , R 5 ... film roller,
W: Work.

Claims (6)

ワークを回転自在に保持する保持手段と、
薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムと、
前記保持手段により回転されている前記ワークに前記ラッピングフィルムの砥粒面を押付ける押付け部材と、
加工停止中に前記ラッピングフィルムを送り出すフィルム送り出し手段と、
前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する検出手段と、
検出結果に基づいて、加工中の前記押付け部材の押付け力、および、加工停止中のラッピングフィルムの送り出し量の少なくとも一方を制御する制御手段と、
を有するラッピング加工装置。
Holding means for holding the work rotatably,
A wrapping film in which abrasive grains are provided on one surface of a thin base material,
A pressing member that presses the abrasive surface of the wrapping film against the work being rotated by the holding unit,
Film feeding means for feeding the wrapping film while processing is stopped,
Detecting means for detecting the surface state of the wrapping film,
Control means for controlling at least one of the pressing force of the pressing member during processing, and the feeding amount of the wrapping film during processing based on the detection result,
Lapping processing device having
前記検出手段は、前記ラッピングフィルム上の前記砥粒の突き出し高さを検出する請求項1に記載のラッピング加工装置。The lapping apparatus according to claim 1, wherein the detection unit detects a protrusion height of the abrasive grains on the wrapping film. さらに加工前の前記砥粒を研磨して所定の突き出し高さにそろえるツルーイング手段を有する請求項1または請求項2に記載のラッピング加工装置。The lapping apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a truing means for polishing the abrasive grains before processing to a predetermined protrusion height. 前記検出手段は、未使用の前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する請求項1〜3のいずれか一項に記載のラッピング加工装置。The lapping apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the detection unit detects a surface state of the unused wrapping film. 前記検出手段は、使用後の前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する請求項1〜4のいずれか一項に記載のラッピング加工装置。The lapping processing device according to any one of claims 1 to 4, wherein the detection unit detects a surface state of the wrapping film after use. 薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルムを砥粒面から押付け部材によりワークに押付け、前記ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて、前記ワークの表面を加工する表面加工方法であって、
前記ラッピングフィルムの表面状態を検出する工程と、
検出結果に基づいて、加工中の前記押付け部材の押付け力、および、加工停止中のラッピングフィルムの送り出し量の少なくとも一方を制御する工程と、
を有するラッピング加工方法。
A lapping film provided with abrasive grains on one surface of a thin base material is pressed against the work by a pressing member from the abrasive grain surface, and at the same time as applying rotation to the work, giving relative vibration to the wrapping film with respect to the work. A surface processing method for processing the surface of the work,
Detecting the surface state of the wrapping film,
Based on the detection result, the pressing force of the pressing member during processing, and a step of controlling at least one of the feeding amount of the wrapping film during processing is stopped,
A lapping method comprising:
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