JP2004253107A - Method of manufacturing magneto-optical recording medium, and magneto optical recording medium - Google Patents

Method of manufacturing magneto-optical recording medium, and magneto optical recording medium Download PDF

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JP2004253107A JP2003118174A JP2003118174A JP2004253107A JP 2004253107 A JP2004253107 A JP 2004253107A JP 2003118174 A JP2003118174 A JP 2003118174A JP 2003118174 A JP2003118174 A JP 2003118174A JP 2004253107 A JP2004253107 A JP 2004253107A
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Mineo Moribe
峰生 守部
Takahiro Umada
孝博 馬田
Takuya Kamimura
拓也 上村
Michio Matsuura
道雄 松浦
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a front illumination-type magneto-optical recording medium which is provided with: a magnetic part having a land groove of high dimensional accuracy; and a light transmitting protection film being sufficiently thin and disposed on a light incident side of the magnetic part. <P>SOLUTION: This method of manufacturing a magneto-optical recording medium X1 comprises: a process in which, after a resin material film is formed on a pre-groove forming plane of a stamper, the resin material is cured, and a light transmitting protection film 10 having a pre-groove plane 10a and a flat plane 10b to which a rugged shape of the pre-groove forming plane has been transferred is formed; a process in which an auxiliary substrate is adhered to the flat plane 10b through an adhesive; a process in which the protection film 10 and the stamper are separated; a process in which a material film structure part 20 including a recording and reproducing function part is formed by forming a film of the material on the pre-groove plane 10a of the protecting plane 10; a process in which a substrate S is jointed to the structure part 20 through the adhesive 30; a process in which adhesiveness of the adhesive is reduced; and a process in which the protecting film 10 and the auxiliary substrate are separated. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体の製造方法、および、これにより製造される光磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光磁気記録媒体が注目を集めている。光磁気記録媒体は、磁性材料における種々の磁気特性を利用して構成され、熱磁気的な記録および磁気光学効果を利用した再生という２つの機能を担う書換え可能な記録媒体である。光磁気記録媒体は、垂直磁化膜からなる記録層を有し、当該記録層の所定箇所をレーザ照射により昇温させつつ当該箇所に磁界を印加することにより、記録層において磁化方向の変化として所定の信号が記録される。この記録信号は、再生信号読み取り用の所定の光学系で読み取られる。
【０００３】
光磁気記録媒体の記録密度を向上するための手法の一つとして、記録処理の際に媒体に対してレーザを照射する領域のサイズ、即ちスポット径を、小さくすることが知られている。スポットの小径化により、媒体のトラックピッチを短く設計したり、記録マーク長を短くすることが可能となり、記録密度の向上を図ることができるのである。スポット径は、照射レーザの波長を短くしたり、当該照射レーザを集光するための対物レンズ（媒体に対面するレンズ）の開口数ＮＡを大きくすることにより、小さくすることができる。レーザについては、例えば、従来の波長６６０ｎｍのものから、波長４０５ｎｍを有するブルーレーザが実用可能となってきた。また、開口数ＮＡについては、例えば、ＮＡ０．５５の従来のレンズから、ＮＡ０．８５のレンズが実用可能となってきた。
【０００４】
しかしながら、開口数ＮＡの大きなレンズほど、焦点距離が短いため、従来のバックイルミネーション方式の光磁気記録媒体に適用するのが困難となる傾向にある。バックイルミネーション方式の光磁気記録媒体では、記録処理および再生処理において、記録層を含む磁性部に対して、比較的分厚い透明基板の側からレーザ照射が行われるために、レンズに対しては比較的長い焦点距離が求められるからである。バックイルミネーション方式の光磁気記録媒体の製造においては、媒体の剛性を確保するための分厚い透明基板に対して所定の材料を順次成膜することにより、例えば、誘電体層、磁性部（記録層を含む）、誘電体層、および放熱層などが順次形成される。基板における積層面にはプリグルーブが予め形成されており、プリグルーブの凹凸形状は、当該プリグルーブ上に誘電体層を介して磁性部に反映され、当該磁性部におけるランドグルーブ形状が形成される。レーザ照射の対象である磁性部は、基板のプリグルーブに対して比較的近接して形成されるため、比較的高い寸法精度を有して平坦性に優れたランドグルーブ形状を有する。
【０００５】
開口数ＮＡの大きなレンズを活用すべく、光磁気記録媒体の技術の分野においては、バックイルミネーション方式に代えてフロントイルミネーション方式の実用化に対する要求が高い。フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体では、磁性部に対して基板とは反対の側に比較的薄い透明保護膜が設けられ、記録処理および再生処理において、比較的薄い透明保護膜の側から磁性部に対してレーザ照射が行われる。
【０００６】
フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体の製造においては、媒体の剛性を確保するための分厚い基板に対して所定の材料を順次成膜することにより、例えば、放熱層、誘電体層、磁性部（記録層を含む）、誘電体層、および透明保護膜などが順次形成される場合が多い。基板における積層面にはプリグルーブが予め形成されており、プリグルーブの凹凸形状は、当該プリグルーブ上に成膜形成される放熱層や誘電体層などを介して磁性部に反映され、当該磁性部におけるランドグルーブ形状が形成される。
【０００７】
このように、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体では、一般に、基板において所望の寸法に設計されたプリグルーブの上に多数の層が形成された後に、レーザ照射の対象である磁性部が積層形成される。そのため、フロントイルミネーション方式では、バックイルミネーション方式と比較して、基板のプリグルーブに対して磁性部のレーザ照射面は、遠くに配置する場合が多い。この場合、磁性部のランドグルーブ形状について、高い寸法精度を達成するのは困難である。磁性部のランドグルーブ形状は、丸みをおびて鈍くなる傾向にある。このような磁性部では、再生信号において良好なＣＮＲが得られない場合が多い。
【０００８】
フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、磁性部のランドグルーブ形状について高い寸法精度を得ることを目的とする技術は、例えば下記の特許文献１に記載されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−３５７５７０号公報
【００１０】
この文献に記載されている光磁気記録媒体の製造方法では、まず、所望の寸法に設計されたプリグルーブを有する第１の基板における当該プリグルーブ面上に剥離層を形成する。次に、剥離層上に第１の保護層、記録層、第２の保護層、および反射層を順次形成する。次に、媒体の剛性を確保するための分厚い第２の基板を、接着剤を介して反射層に貼り合わせる。次に、第１の基板を剥離層とともに第１の保護層から剥離する。これにより、第１の保護層の膜面が露出することとなる。次に、接着剤を介して第３の基板を第１の保護層に貼り合わせる。この第３の基板は、第１の基板および第２の基板よりも薄く、且つ、透明である。
【００１１】
このような製造方法では、記録層や保護層が積層形成される第１の基板は、充分な剛性を有するべく比較的分厚い必要がある。この分厚い第１の基板は、後に、薄く透明な第３の基板に取り替えられ、これにより、第３の基板側からのレーザ照射が可能となり、フロントイルミネーション方式が実現される。記録層のレーザ照射面は、製造過程において、第１の基板のプリグルーブに対し比較的近接して形成されるので、本製造方法によると、フロントイルミネーション方式光磁気記録媒体の従来の一般的な製造方法によるよりも、記録層において高い寸法精度のランドグルーブ形状が得られる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１によると、第３の基板の厚さは０．０５〜０．３ｍｍであり、特許文献１に記載の方法によると、当該第３の基板について、良好な平面性を維持しつつ更に薄くするのは困難である。加えて、第１の保護層に対する第３の基板の張り合わせは、接着剤を介して行われる。特許文献１によると、当該接着剤は１〜２００μｍ程度である。したがって、特許文献１に記載されているフロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体では、第３の基板の露出表面から保護層までの透明部の厚さは、０．５ｍｍに至ってしまう場合がある。
【００１３】
光入射側の透明部の厚さについては、特に記録方式として磁界変調方式を採用する場合には薄い方が望ましい。当該透明部が薄いほど、磁気記録ヘッドを記録層に近づけることが可能となり、当該近接配置により、所望の磁界を印加するために磁気記録ヘッドに流すべき電流を低減することが可能となる。その結果、より高周波での記録すなわち高速記録を適切に実現することが可能となる。このような高速記録化は、記録密度の高い垂直磁気記録媒体の実用化を図るうえで重要である。透明部の厚さが例えば０．５ｍｍであると、このような高速記録化を実現するのは困難である。
【００１４】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する磁性部を備え、且つ、磁性部に対する光入射側に充分に薄い光透過性保護膜を備える、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体を提供することを、目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の側面によると光磁気記録媒体の製造方法が提供される。この製造方法は、プリグルーブ形成面を有するスタンパにおける当該プリグルーブ形成面上に、樹脂材料を成膜するための工程と、プリグルーブ形成面上の樹脂材料を硬化させることにより、プリグルーブ形成面と接するプリグルーブ面およびこれとは反対の平坦面を有する光透過性の保護膜を形成するための工程と、保護膜の平坦面に対し、粘着性を有する粘着材を介して第１基板を接合するための工程と、保護膜とスタンパとを分離するための工程と、保護膜におけるプリグルーブ面の上に材料を成膜することにより、記録機能および再生機能を担う磁性部を含む材料膜構造部を形成するための工程と、材料膜構造部に対し、第２基板を接合するための工程と、粘着材の粘着性を低下させるための粘着性低下工程と、保護膜と第１基板とを分離するための工程と、を含むことを特徴とする。本発明におけるプリグルーブは、スタンパにおいて設計されたランドグルーブ形状（凹凸形状）が転写されて形成される形状であり、スタンパのランドグルーブ形状を直接に反映する形状である。したがって、本発明におけるプリグルーブには、スタンパのランドグルーブ形状が転写されて形成される形状の表面に材料が成膜されることにより生ずる凹凸形状は、含まれない。保護膜について光透過性とは、記録処理および再生処理において使用されるレーザに対し、当該処理を実現するうえで必要とされる透過性をいうものとする。また、粘着性低下工程と、保護膜および第１基板を分離するための工程とは、並行して行ってもよいし、個別に行ってもよい。
【００１６】
このような方法によると、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する磁性部を形成することができる。本発明の第１の側面では、磁性部や誘電体層などを含む材料膜構造部の形成に際し、スタンパのプリグルーブ形成面の形状が直接に転写されて形成されたプリグルーブを有する保護膜の当該プリグルーブ面上に、バックイルミネーション方式の媒体と同様の順序で、即ち当該保護膜を光入射側とする順序で、所定の材料が順次成膜される。したがって、磁性部のレーザ照射対象面は、従来のバックイルミネーション方式光磁気記録媒体と同様に、プリグルーブに対して近接して設けることができる。その結果、磁性部のランドグルーブ形状について、高い寸法精度を達成することができるのである。磁性部のランドグルーブ形状の寸法精度が高いほど、即ち、磁性部の形状がシャープでその外郭の平面粗さが小さいほど、再生信号におけるＣＮＲの値は向上する傾向にある。
【００１７】
また、本発明の第１の側面に係る方法によると、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、磁性部に対する光入射側に充分に薄い光透過性保護膜を設けることができる。本発明の第１の側面に係る方法によると、樹脂成膜工程では、例えばスピンコート法により、樹脂を所望の薄さで成膜することができる。保護膜形成工程では、この樹脂を硬化させることにより、スタンパとの界面にてプリグルーブが形成され且つ所望の薄さを有する保護膜が形成される。保護膜の厚さは例えば１０〜４０μｍとすることができる。光磁気記録媒体の製造過程において、記録層や誘電体層が積層形成される対象である基材ないし基板には充分な剛性が要求され、当該基材は比較的分厚い必要があるところ、本発明の第１の側面においては、積層対象面であるプリグルーブ面を有する保護膜は第１基板により裏打ちされて補強されている。保護膜自体は薄く従って充分な剛性を有さない場合があるけれども、保護膜および第１基板よりなる基材は、充分な剛性を有するのである。保護膜のプリグルーブ面上に形成された材料膜構造部に第２基板が接合されて媒体の剛性が確保された後、当該保護膜に対する裏打ち基板（第１基板）は剥離され、これにより、磁性部ないし材料膜構造部に対する光入射側に薄い光透過性保護膜が露出することとなる。フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、光入射側の透明保護膜が薄いほど、所望磁界を印加するために磁気記録ヘッドに流すべき電流を低減することができ、その結果、より高周波での記録すなわち高速記録を適切に実現することが可能となる。このような高速記録化は、高い記録密度を有する光磁気記録媒体の実用化を図るうえで重要である。
【００１８】
以上のように、本発明の第１の側面によると、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する磁性部を形成するとともに、磁性部に対する光入射側に充分に薄い光透過性保護膜を設けることができるのである。
【００１９】
本発明の第１の側面において、好ましくは、粘着性低下工程では、粘着材に対する光照射または加熱により、当該粘着材の粘着性を低下させる。この場合、本発明では、粘着剤としては、光照射または加熱により、適切な粘着性を失うものが使用される。光照射ないし紫外線照射により適切な粘着性が失われる粘着剤を使用する場合、第１基板としては、光透過性を有するものが採用される。これらの構成によると、保護膜と第１基板とを分離するための工程において、当該保護膜および第１基板を適切に分離することができる。
【００２０】
好ましくは、樹脂材料は、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、または触媒硬化性樹脂を含む。これらの樹脂は、本発明において、スタンパ上に所望の薄さで形成すべき透明保護膜の構成材料として実用的である。
【００２１】
本発明の第２の側面によると光磁気記録媒体が提供される。この光磁気記録媒体は、プリグルーブが形成されたプリグルーブ面を有し且つ厚さが１０〜４０μｍである光透過性の保護膜と、記録機能および再生機能を担う磁性部を含み、且つ、保護膜のプリグルーブ面上に材料を成膜することにより形成された、材料膜構造部と、材料膜構造部に対して保護膜とは反対の側に設けられた基板と、を含む積層構造を有することを特徴とする。
【００２２】
このような構成の光磁気記録媒体は、本発明の第１の側面に係る方法により製造されるものである。したがって、本発明の第２の側面に係るフロントイルミネーション方式光磁気記録媒体は、厚さ１０〜４０μｍと薄い光透過性保護膜を磁性部に対する光入射側に具備しつつ、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する磁性部を具備することができる。このような光磁気記録媒体は、再生信号において高ＣＮＲを達成したり、高速記録を実現するうえで、好適である。
【００２３】
本発明の第２の側面において、好ましくは、保護膜の厚さは１０〜２０μｍである。塵埃に対する耐久性を維持しつつ記録処理の高速化を図るうえでは、保護膜についてはこのような厚さ範囲が特に好ましい。
【００２４】
好ましくは、材料膜構造部は、磁性部から基板までの間に位置する軟磁性層を有する。大きな飽和磁化と小さな保磁力とを有する軟磁性層が、いわゆる裏打ち軟磁性膜として、磁性部に含まれる記録層に近接して存在すると、記録処理時において、磁気記録ヘッドから記録層に印加される記録磁界の磁束は当該記録層にて拡散せずに集中する。したがって、記録層の記録磁界感度は、軟磁性層が存在しない場合よりも向上し得る。記録層の記録磁界感度の向上は、磁気記録ヘッドによる所望磁界の印加に必要な電流の低減を可能にし、より高周波での記録すなわち高速記録を実現するうえで好適である。
【００２５】
好ましくは、材料膜構造部は、光透過性を有してプリグルーブ面と接するいわゆるエンハンス層を有し、当該エンハンス層の厚さは５０ｎｍ以上である。このような構成は、再生処理時の反射光において実質的に大きなカー回転角を得るうえで好適である。
【００２６】
光磁気記録媒体の技術の分野では、再生信号読取り用の光学系における分解能の限界を超えて高密度に記録された信号を実用的に再生するための、種々の再生方式が開発されている。例えば、ＭＳＲ（ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ ｉｎｄｕｃｅｄ ｓｕｐｅｒ ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）、ＭＡＭＭＯＳ（ｍａｇｎｅｔｉｃ ａｍｐｌｉｆｙｉｎｇ ｍａｇｎｅｔｏ−ｏｐｔｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ）、および、ＤＷＤＤ（ｄｏｍａｉｎ ｗａｌｌ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）である。本発明の第２の側面において、材料膜構造部は、このようなＭＳＲ方式再生、ＭＡＭＭＯＳ方式再生、またはＤＷＤＤ方式再生を実現するための多層磁性構造を有するのが好ましい。本発明の効果は、再生分解能に優れたＭＳＲ方式、ＭＡＭＭＯＳ方式、およびＤＷＤＤ方式の光磁気記録媒体において本発明を実施する場合に、特に実益が高い。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係る光磁気記録媒体Ｘ１を表す。光磁気記録媒体Ｘ１は、保護膜１０と、材料膜積層部２０と、基板Ｓとを備え、フロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして構成されたものである。図１は、光磁気記録媒体Ｘ１の部分断面を模式的に表したものであり、図２は、光磁気記録媒体Ｘ１の情報トラックとして利用されるランド部および／またはグルーブ部における積層構成を表す。
【００２８】
保護膜１０は、光磁気記録媒体Ｘ１の記録用レーザおよび再生用レーザに対して充分な透過性を有する樹脂よりなり、その厚さＬ１は１０〜４０μｍである。保護膜１０を構成するための樹脂材料としては、例えばアクリル樹脂が挙げられる。また、保護膜１０は、プリグルーブ面１０ａおよび平坦面１０ｂを有する。プリグルーブ面１０ａには、所望の寸法で設計されたプリグルーブが設けられている。したがって、保護膜１０は、いわゆるプリグルーブ層としても機能する。プリグルーブの深さＬ２は例えば２０〜６０ｎｍであり、幅Ｌ３は例えば３００〜３５０ｎｍであり、形成ピッチＬ４は例えば３２０〜７００ｎｍである。平坦面１０ｂは外部に露出しており、記録処理時に磁気記録ヘッドが対向する面である。
【００２９】
材料膜積層部２０は、本実施形態では、図２に示すように、誘電体層２１と、記録層２２と、記録補助層２３と、熱良伝導層２４と、熱分布調整層２５と、熱良伝導層２６とからなる積層構造を有する。また、材料膜積層部２０は、図１に示すように、保護膜１０のプリグルーブ面１０ａの凹凸形状に応じたランドグルーブ形状を有する。
【００３０】
誘電体層２１は、記録層２２および記録補助層２３に対する外部からの磁気的影響を回避ないし抑制するための部位であり、例えば、ＳｉＮ，ＳｉＯ２，ＹＳｉＯ２，ＺｎＳｉＯ２，ＡｌＯ，またはＡｌＮよりなる。誘電体層２１の厚さは、例えば２０〜６０ｎｍである。誘電体層２１は、カー回転角を実質的に増大するための、いわゆるエンハンス層として構成するのが好ましい。誘電体層２１をエンハンス層として機能させるためには、当該誘電体層２１の厚さは例えば５０ｎｍ以上であるのが好ましい。
【００３１】
記録層２２は、ランド部および／またはグルーブ部において、熱磁気的な記録および磁気光学効果を利用した再生という２つの機能を担う部位であり、希土類元素と遷移金属とを含むアモルファス合金よりなり、且つ、垂直磁気異方性を有して垂直方向に磁化された垂直磁化膜である。垂直方向とは、層を構成する磁性膜の膜面に対して垂直な方向をいう。記録層２２を構成するアモルファス合金に含まれる希土類元素としては、Ｔｂ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｎｄ，またはＰｒなどを用いることができる。遷移金属としては、ＦｅやＣｏなどを用いることができる。より具体的には、記録層２２は、例えば、所定の組成を有するＴｂＦｅＣо，ＤｙＦｅＣо，またはＴｂＤｙＦｅＣоよりなる。記録層２２の厚さは、例えば１５〜５０ｎｍである。
【００３２】
記録補助層２３は、記録層２２との間に交換結合力を生じて当該記録層２２の記録磁界感度を向上する機能を有する。記録補助層２３は、希土類−遷移金属アモルファス合金よりなる垂直磁化膜である。
【００３３】
本実施形態では、記録再生機能を担う磁性部は、記録層２２および記録補助層２３よりなる。本発明では、このような構成に代えて、当該磁性部は、記録機能および再生機能を併有する単一の記録層のみにより構成してもよい。或は、磁性部は、相対的に保磁力が大きくて記録機能を担う記録層と、再生用レーザにおけるカー回転角が相対的に大きくて再生機能を担う再生層とからなる、２層構造を有してもよい。或は、磁性部は、ＭＳＲ方式再生、ＭＡＭＭＯＳ方式再生、またはＤＷＤＤ方式再生を実現するための、記録層、再生層、およびこれらの間の中間層よりなる３層構造を有してもよい。
【００３４】
これらのような磁性構造の磁性部を設ける場合、磁性部のとり得る各構造における各層は、希土類元素と遷移金属とのアモルファス合金よりなり、垂直磁気異方性を有して垂直方向に磁化された垂直磁化膜である。希土類元素としては、Ｔｂ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｎｄ，またはＰｒなどを用いることができる。遷移金属としては、ＦｅやＣｏなどを用いることができる。より具体的には、記録層は、上述のように、例えば、所定の組成を有するＴｂＦｅＣо，ＤｙＦｅＣо，またはＴｂＤｙＦｅＣоよりなる。再生層を設ける場合、当該再生層は、例えば、所定の組成を有するＧｄＦｅＣо，ＧｄＤｙＦｅＣо，ＧｄＴｂＤｙＦｅＣо，ＮｄＤｙＦｅＣо，ＮｄＧｄＦｅＣо，またはＰｒＤｙＦｅＣоよりなる。中間層を設ける場合、当該中間層は、例えば、所定の組成を有するＧｄＦｅ，ＴｂＦｅ，ＧｄＦｅＣо，ＧｄＤｙＦｅＣо，ＧｄＴｂＤｙＦｅＣо，ＮｄＤｙＦｅＣо，ＮｄＧｄＦｅＣо，またはＰｒＤｙＦｅＣоよりなる。各層の厚さは、磁性部に所望される磁性構造に応じて決定される。
【００３５】
熱良伝導層２４，２６および熱分布調整層２５は、光磁気記録媒体Ｘ１において、レーザ照射時などに磁性部（記録層２２、記録補助層２３）にて発生する熱を適切に基板Ｓに伝導するための放熱部を構成する。熱良伝導層２４，２６は、高熱伝導材料よりなる。当該高熱伝導材料としては、例えばＡｇＰｄＣｕＳｉ合金やＡｇＰｄＣｕ合金を採用することができる。熱分布調整層２５は、熱良伝導層２４，２６よりも熱伝導率が低く、例えばＳｉＮよりなる。ＳｉＮよりなる熱分布調整層２５は、基板Ｓと磁性部との間の誘電体層としても機能する。熱良伝導層２４，２６の厚さは、例えば５〜８０ｎｍであり、熱分布調整層２５の厚さは、例えば５〜８０ｎｍである。本発明では、放熱部についてこのような構成に代えて、単層の熱良伝導層により構成してもよいし、熱良伝導層および熱分布調整層の２層構造を採用してもよい。
【００３６】
基板Ｓは、光磁気記録媒体Ｘ１の剛性を確保するためのものであり、接着材３０を介して材料膜積層部２０と接合している。このような基板Ｓは、例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）樹脂、エポキシ樹脂、またはポリオレフィン樹脂よりなる。或は、基板Ｓとしては、ガラス基板を採用してもよい。
【００３７】
図３から図５は、光磁気記録媒体Ｘ１の製造方法を表す。光磁気記録媒体Ｘ１の製造においては、まず、図３（ａ）に示すようなスタンパ４１を用意する。スタンパ４１は、例えば平坦なガラス基板で裏打ちされているいわゆるＮｉスタンパであり、プリグルーブ形成面４１ａを有する。プリグルーブ形成面４１ａには、所望の寸法で形成されたプリグルーブパターンが設けられている。図３および図４においては、当該プリグルーブパターンは、トラック横断方向の断面の凹凸形状として表されている。
【００３８】
次に、図３（ｂ）に示すように、スタンパ４１のプリグルーブ形成面４１ａ上に液状の樹脂組成物１０’を成膜する。成膜手法としてはスピンコート法を採用することができる。成膜厚さは、形成すべき保護膜１０の厚さＬ１に応じて調節される。樹脂組成物１０’としては、保護膜１０を構成するための樹脂材料を主成分として、紫外線硬化性、熱硬化性、または触媒硬化性を有するものを使用する。
【００３９】
次に、図３（ｃ）に示すように、成膜された樹脂組成物１０’を硬化させて保護膜１０を形成する。硬化手法としては、樹脂組成物１０’の硬化特性に応じて、樹脂組成物１０’に対する紫外線照射、樹脂組成物１０’の加熱、或は、主成分樹脂材料に対して触媒を作用させる方法が採用される。触媒を利用する場合には、成膜時の樹脂組成物１０’に対して予め当該触媒を添加しておく。本工程で形成される保護膜１０は、スタンパ４１との界面にプリグルーブ面１０ａを有し、これとは反対の側に平坦面１０ｂを有する。プリグルーブ面１０ａは、スタンパ４１のプリグルーブ形成面４１ａが転写されて形成されたプリグルーブ形状を有する。プリグルーブ面１０ａのプリグルーブ形状は、所望の寸法で形成されたプリグルーブ形成面４１ａが直接に転写されて生ずるものであるため、高い寸法精度を有し、且つ、外形の平坦性に優れている。
【００４０】
光磁気記録媒体Ｘ１の製造においては、次に、図４（ａ）に示すように、保護膜１０の平坦面１０ｂに、粘着材４２を介して基板４３が接合される。粘着材４２としては、例えば、紫外線照射または加熱により粘着性が低下する粘着シートや粘着液を使用することができる。紫外線により粘着性が低下する粘着材４２を採用する場合、基板４３としては、当該紫外線に対して透過性を有するものを採用する。そのような基板４３は、例えば、ガラス基板や透明樹脂基板である。
【００４１】
次に、図４（ｂ）に示すように、基板４３と接合している保護膜１０から、スタンパ４１を剥離する。次に、図４（ｃ）に示すように、保護膜１０上に、材料膜積層部２０を積層形成する。具体的には、スパッタリング法により、保護膜１０のプリグルーブ面１０ａに対して、各層に応じた所定の材料を順次成膜するこにより、上述の誘電体層２１、記録層２２、記録補助層２３、熱良伝導層２４、熱分布調整層２５、および熱良伝導層２６を順次形成する。このとき、保護膜１０は、プリグルーブ層として機能している。
【００４２】
次に、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、材料膜積層部２０に対し、接着材３０を介して基板Ｓが接合される。接着材３０としては、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、または触媒硬化性樹脂を採用することができる。紫外線硬化型樹脂を採用する場合、基板Ｓとしては、当該紫外線に対して透過性を有するものを採用する。
【００４３】
次に、図５（ｃ）に示すように、粘着材４２の粘着性を低下させ、当該粘着材４２とともに基板４３を保護膜１０から剥離する。粘着材４２の粘着性の低下と剥離操作とは、並行して行ってもよいし、個別に行ってもよい。粘着性低下手法としては、粘着材４２の特性に応じて、紫外線照射や加熱が採用される。以上のようにして、光磁気記録媒体Ｘ１を製造することができる。
【００４４】
図３（ｂ）を参照して上述した樹脂成膜工程では、スピンコート法により、樹脂組成物１０’を所望の薄さで成膜することができる。図３（ｃ）を参照して上述した保護膜形成工程では、この樹脂組成物１０’を硬化させることにより、スタンパ４１との界面にてプリグルーブが形成され且つ所望の薄さを有する保護膜１０が形成される。図４（ｃ）を参照して上述した材料膜積層部形成工程では、保護膜１０は基板４３により裏打ちされて補強されているので、薄い保護膜１０上であっても適切に材料膜積層部２０を形成することができる。図５（ｃ）を参照して上述した工程では、材料膜積層部２０に基板Ｓが接合されて媒体の剛性が確保されている状態にて、保護膜１０から基板４３が剥離され、光入射側に薄い保護膜１０が露出することとなる。フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、光入射側の透明保護膜が薄いほど、磁気記録ヘッドによる所望磁界の印加に必要な電流の低減が可能となり、その結果、より高周波での記録すなわち高速記録を適切に実現することが可能となる。
【００４５】
加えて、図４（ｃ）を参照して上述した材料膜積層部２０の形成工程では、スタンパ４１のプリグルーブ形成面４１ａの形状が直接に転写されて形成されたプリグルーブを有する保護膜１０のプリグルーブ面１０ａ上に、バックイルミネーション方式の媒体と同様の順序で、即ち保護膜１０を光入射側とする順序で、所定の材料が順次成膜される。したがって、材料膜積層部２０に含まれる記録層２２のレーザ照射対象面は、従来のバックイルミネーション方式光磁気記録媒体と同様に、プリグルーブ面１０ａに対して近接して設けることができる。その結果、記録層２２（磁性部）のランドグルーブ形状について、高い寸法精度を達成することができる。磁性部のランドグルーブ形状の寸法精度が高いほど、即ち、磁性部の形状がシャープでその平面粗さが小さいほど、再生信号におけるＣＮＲの値は向上する。
【００４６】
このように、光磁気記録媒体Ｘ１においては、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する記録層２２（磁性部）を具備するとともに、記録層２２（磁性部）に対する光入射側に充分に薄い光透過性の保護膜１０を具備することができるのである。
【００４７】
図６および図７は、本発明の第２の実施形態に係る光磁気記録媒体Ｘ２を表す。光磁気記録媒体Ｘ２は、保護膜１０と、材料膜積層部２０’と、基板Ｓとを備え、フロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして構成されたものである。図６は、光磁気記録媒体Ｘ２の部分断面を模式的に表したものであり、図７は、光磁気記録媒体Ｘ２の情報トラックとして利用されるランド部および／またはグルーブ部における積層構成を表す。光磁気記録媒体Ｘ２は、材料膜積層部２０とは異なる積層構造の材料膜積層部２０’を有する点において、光磁気記録媒体Ｘ１と相違する。保護膜１０および基板Ｓの構造や構成材料については、光磁気記録媒体Ｘ１に関して上述したのと同様である。
【００４８】
材料膜積層部２０’は、本実施形態では、図７に示すように、誘電体層２１と、記録層２２と、記録補助層２３と、熱良伝導層２４と、熱分布調整層２５と、熱良伝導層２６と、軟磁性層２７とからなる積層構造を有する。すなわち、材料膜積層部２０’は、第１の実施形態における材料膜積層部２０における熱良伝導層２６の側に更に軟磁性層２７を有する構造を有する。このような材料膜積層部２０’は、保護膜１０のプリグルーブ面１０ａの凹凸形状に応じたランドグルーブ形状を有する。
【００４９】
軟磁性層２７は、大きな飽和磁化と小さな保磁力とを有する軟磁性材料よりなり、記録磁気ヘッドから発せられる磁界の磁束を記録層２２にて集中させることによって当該記録層２２の記録磁界感度を向上させる機能を有する。このような軟磁性層２７は、例えば、ＦｅＣなどのＦｅ系アモルファス材料、Ｃｏ系アモルファス材料、パーマロイ、またはセンダストより構成することができる。軟磁性層２７の厚さは、例えば０．２〜２μｍである。
【００５０】
光磁気記録媒体Ｘ２においては、軟磁性層２７が記録層２２に近接して存在するので、記録処理時において、磁気記録ヘッドから記録層２２に印加される記録磁界の磁束は当該記録層２２にて拡散せずに集中する。したがって、記録層２２の記録磁界感度は、軟磁性層２７が存在しない場合よりも向上する。記録層２２の記録磁界感度の向上は、磁気記録ヘッドによる所望磁界の印加に必要な電流の低減を可能にし、より高周波での記録すなわち高速記録を実現するうえで好適である。
【００５１】
また、光磁気記録媒体Ｘ２においては、第１の実施形態に係る光磁気記録媒体Ｘ１に関して上述したのと同様の理由に基づき、高い寸法精度のランドグルーブ形状を有する記録層２２（磁性部）を具備するとともに、記録層２２（磁性部）に対する光入射側に充分に薄い光透過性の保護膜１０を具備することができる。
【００５２】
【実施例】
次に、本発明の実施例について比較例とともに説明する。
【００５３】
【実施例１】
〔光磁気記録媒体の作製〕
図８に示す積層構成を有するフロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして、本実施例の光磁気記録媒体を作製した。本実施例の光磁気記録媒体の作製においては、まず、平坦なガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ６ｍｍ）で裏打ちされたＮｉスタンパ（外径８６ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ）のプリグルーブ形成面上に、スピンコート法により、紫外線硬化性樹脂（商品名：ユピマーＵＶ、三菱化学製）を１５μｍの厚さに成膜した。Ｎｉスタンパのプリグルーブ形成面には、内径２５ｍｍおよび外径８４ｍｍの領域にプリグルーブパターン（ランド領域幅０．２７５μｍ、グルーブ領域幅０．２７５μｍ、グルーブ深さ５０ｎｍ）が予め形成されている。次に、紫外線照射により当該紫外線硬化性樹脂膜を硬化させ、Ｎｉスタンパ上に透明な保護膜（厚さ１５μｍ）を形成した。保護膜におけるＮｉスタンパとの界面には、Ｎｉスタンパのプリグルーブパターンに応じたプリグルーブ形状が形成された。当該保護膜は、本実施例ではプリグルーブ層に相当する。
【００５４】
次に、保護膜の露出面に、粘着シート（商品名：ウエハダイシング用ＵＶテープ ＵＣ−２２８Ｗ−１１０、古河電工製）を介して第１のガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ６ｍｍ）を圧着接合した。この粘着シートは、紫外線が照射されると粘着性を失う特性を有する。この後、ガラス基板とともに保護膜をスタンパから剥離した。
【００５５】
次に、ＤＣマグネトロンスパッタリング装置を使用して行うＤＣスパッタリング法により、保護膜のプリグルーブ面上にＳｉＮを成膜することにより、厚さ５０ｎｍの誘電体層を形成した。具体的には、Ｓｉターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガスおよびＮ２ガスを使用して行う反応性スパッタリングにより、基板上にＳｉＮを成膜した。本スパッタリングでは、ＡｒガスおよびＮ２ガスの流量比を２：１とし、スパッタガス圧力を０．３Ｐａとし、放電電力を５００Ｗとした。
【００５６】
次に、ＤＣスパッタリング法により、所定の組成を有するＴｂＦｅＣｏアモルファス合金を誘電体層上に成膜することにより、厚さ２５ｎｍの記録層を形成した。本スパッタリングにおいては、ＴｂＦｅＣｏ合金ターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガスを使用し、スパッタガス圧力を１．５Ｐａとし、放電電力を５００Ｗとした。
【００５７】
次に、ＤＣスパッタリング法により、所定の組成を有するＧｄＦｅＣｏアモルファス合金を記録層上に成膜することにより、厚さ５ｎｍの記録補助層を形成した。本スパッタリングでは、ＧｄＦｅＣｏ合金ターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガスを使用し、スパッタガス圧力を０．５Ｐａとし、スパッタ電力を５００Ｗとした。このようにして、記録層（ＴｂＦｅＣｏ、厚さ２５ｎｍ）および記録補助層（ＧｄＦｅＣｏ、厚さ５ｎｍ）よりなり記録機能および再生機能を担う磁性部を形成した。
【００５８】
次に、ＤＣスパッタリング法により、記録補助層上にＡｇＰｄＣｕＳｉ合金を成膜することにより、厚さ３０ｎｍの第１の熱良伝導層を形成した。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ合金ターゲットとＳｉターゲットを用いたコスパッタリングを行い、スパッタガスとしてＡｒガスを使用し、スパッタガス圧力を１．５Ｐａとし、放電電力を５００Ｗとした。
【００５９】
次に、ＤＣスパッタリング法により、第１の熱良伝導層上にＳｉＮを成膜することによって、厚さ５ｎｍの熱分布調整層を形成した。具体的には、Ｓｉターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガスおよびＮ２ガスを使用して行う反応性スパッタリングにより、基板上にＳｉＮを成膜した。本スパッタリングでは、ＡｒガスおよびＮ２ガスの流量比を２：１とし、スパッタガス圧力を０．３Ｐａとし、放電電力を５００Ｗとした。
【００６０】
次に、ＤＣスパッタリング法により、熱分布調整層上にＡｇＰｄＣｕＳｉ合金を成膜することにより、厚さ１０ｎｍの第２の熱良伝導層を形成した。具体的なスパッタリング条件については、第１の熱良伝導層の形成に関して上述したのと同一である。このようにして、第１の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ３０ｎｍ）、熱分布調整層（ＳｉＮ、厚さ５ｎｍ）、および第２の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ１０ｎｍ）からなる放熱部を形成した。
【００６１】
本実施例の光磁気記録媒体の作製においては、次に、第２の熱良伝導層の露出面に、接着材としての液状の紫外線硬化性樹脂（商品名：ダイキュアクリアＳＤ、大日本インキ製）を介して、第２のガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ１．２ｍｍ）を接合した。
【００６２】
次に、第１のガラス基板の側から紫外線を照射することにより、当該第１のガラス基板と保護膜との間に介在する粘着シートの粘着性を失わせた後、当該粘着シートとともに第１のガラス基板を保護膜から剥離した。以上のようにして、本実施例の光磁気記録媒体を作製した。
【００６３】
〔１トラック記録特性〕
本実施例の光磁気記録媒体について、記録特性を調べた。具体的には、まず、本実施例の光磁気記録媒体（光磁気ディスク）における情報トラック（ランドトラックまたはグルーブトラック）に対し、長さ０．１５μｍのスペースを介して記録マーク長０．１５μｍの信号を繰り返し記録した。当該記録処理は、所定の光ディスク評価装置を使用して磁界変調記録方式により行った。この評価装置における対物レンズの開口数ＮＡは０．８５であり、レーザ波長は４０５ｎｍである。当該記録処理では、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとし、単一の情報トラックに所定パワーのレーザを連続照射しつつ、２００Ｏｅの印加磁界を変調した。
【００６４】
次に、当該光磁気記録媒体を再生し、再生信号のＣＮＲ（ｄＢ）を測定した。当該再生処理は、記録処理と同一の評価装置を使用して行い、レーザーパワーを２．４ｍＷとし、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとした。再生信号のＣＮＲは、スペクトラムアナライザを使用して測定した。
【００６５】
このような記録処理およびその後の再生処理を、記録処理におけるレーザのパワーを変化させて、各記録レーザーパワーごとに行い、各記録レーザーパワーにおけるＣＮＲを測定した。ランドトラックおよびグルーブトラックにおいて略同一の結果が得られた。この結果を、図１１のグラフにて線Ｅ１で表す。図１１のグラフにおいては、横軸にて記録レーザーパワー（ｍＷ）を表し、縦軸にてＣＮＲ（ｄＢ）を表す。
【００６６】
〔３トラック記録特性〕
本実施例の光磁気記録媒体について、別の態様で記録特性を調べた。具体的には、まず、本実施例の光磁気記録媒体（光磁気ディスク）における情報トラック（ランドトラックまたはグルーブトラック）に対し、長さ０．１５μｍのスペースを介して記録マーク長０．１５μｍの信号を繰り返し記録した。当該記録処理は、上述の記録特性測定におけるのと同一の評価装置を使用して磁界変調記録方式により行った。当該記録処理では、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとし、隣接する３つの情報トラックに対して情報トラックごとに所定パワーのレーザを連続照射しつつ、２００Ｏｅの印加磁界を変調した。
【００６７】
次に、当該光磁気記録媒体を再生し、隣接する３つの情報トラックにおける中央のトラックの再生信号のＣＮＲ（ｄＢ）を測定した。当該再生処理は、記録処理と同一の評価装置を使用して行い、レーザーパワーを２．４ｍＷとし、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとした。再生信号のＣＮＲは、スペクトラムアナライザを使用して測定した。
【００６８】
このような記録処理およびその後の再生処理を、記録処理におけるレーザのパワーを変化させて、各記録レーザーパワーごとに行い、各記録レーザーパワーにおけるＣＮＲを測定した。ランドトラックおよびグルーブトラックにおいて略同一の結果が得られた。この結果を、図１２のグラフにて線Ｅ２で表す。図１２のグラフにおいては、横軸にて記録レーザーパワー（１３ｍＷ）を表し、縦軸にてＣＮＲ（ｄＢ）を表す。
【００６９】
〔ビットエラーレート特性〕
本実施例の光磁気記録媒体について、再生信号におけるビットエラーレートの記録磁界依存性を調べた。具体的には、まず、本実施例の光磁気記録媒体（光磁気ディスク）における情報トラック（ランドトラックまたはグルーブトラック）に対し、ランダムな信号を記録した。当該記録処理は、上述の記録特性測定におけるのと同一の評価装置を使用して磁界変調記録方式により行った。当該記録処理では、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとし、単一の情報トラックにレーザ（レーザーパワー２．４ｍＷ）を連続照射しつつ、所定の印加磁界を変調した。
【００７０】
次に、当該光磁気記録媒体を再生し、記録時の変調信号と再生時の復調信号とを比較することにより、記録変調信号に対する再生復調信号の誤り率をビットエラーレート（ＢＥＲ）として算出した。当該再生処理は、記録処理と同一の評価装置を使用して行い、レーザーパワーを２．４ｍＷとし、レーザ走査速度を７．５ｍ／ｓとした。
【００７１】
このような記録処理およびその後の再生処理を、記録処理における印加磁界（記録磁界）を変化させて各記録磁界ごとに行い、各記録磁界におけるＢＥＲを測定した。ランドトラックおよびグルーブトラックにおいて略同一の結果が得られた。この結果を、図１３のグラフにて線Ｅ３ａで表す。図１３のグラフにおいては、磁気記録ヘッドに流した電流の大きさを横軸にて表し、縦軸にてＢＥＲを表す。横軸にて表される電流の大きさは、所定の相対値として表されており、従って、任意の単位で表されている。
【００７２】
【比較例】
図９に示す積層構成を有するフロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして、本比較例の光磁気記録媒体を作製した。本比較例の光磁気記録媒体の作製においては、まず、平坦なガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ６ｍｍ）の上に、いわゆる２Ｐ法により、紫外線硬化性樹脂（商品名：ユピマーＵＶ、三菱化学製）よりなるプリグルーブ層を積層形成した。このプリグルーブ層は、その露出面に、実施例１の保護膜のプリグルーブ面に形成したのと同一のプリグルーブ形状を有する。
【００７３】
次に、ＤＣスパッタリング法により、当該プリグルーブ層上に、第２の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ１０ｎｍ）、熱分布調整層（ＳｉＮ、厚さ５ｎｍ）、第１の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ３０ｎｍ）、記録補助層（ＧｄＦｅＣｏ、厚さ５ｎｍ）、記録層（ＴｂＦｅＣｏ、厚さ２５ｎｍ）、および誘電体層（ＳｉＮ、厚さ５０ｎｍ）を順次形成した。各層を形成する際のスパッタリング条件は、実施例１における各層を形成する際のスパッタリング条件と同一である。
【００７４】
本比較例の光磁気記録媒体の作製においては、次に、スピンコート法により、誘電体層上に紫外線硬化性樹脂（商品名：ダイキュアクリアＥＸ、大日本インキ製）を１５μｍの厚さに成膜した。この後、紫外線照射により当該紫外線硬化性樹脂膜を硬化させ、誘電体層上に透明な保護膜（厚さ１５μｍ）を形成した。
【００７５】
〔１トラック記録特性および３トラック記録特性〕
本比較例の光磁気記録媒体について、実施例１と同様にして、１トラック記録特性を調べた。この結果は、図１１のグラフにて線Ｃ１で表す。また、本比較例の光磁気記録媒体について、実施例１と同様にして、３トラック記録特性を調べた。この結果は、図１２のグラフにて線Ｃ２で表す。
【００７６】
【実施例２】
〔光磁気記録媒体の作製〕
図１０に示す積層構成を有するフロントイルミネーション方式の光磁気ディスクとして、本実施例の光磁気記録媒体を作製した。本実施例の光磁気記録媒体の作製においては、まず、実施例１と同様にして、平坦なガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ６ｍｍ）で裏打ちされたＮｉスタンパ（外径８６ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ）のプリグルーブ形成面上に、透明な保護膜（厚さ１５ｎｍ）を形成した。Ｎｉスタンパのプリグルーブ形成面には、内径２５ｍｍおよび外径８４ｍｍの領域にプリグルーブパターン（ランド領域幅０．２７５μｍ、グルーブ領域幅０．２７５μｍ、グルーブ深さ５０ｎｍ）が予め形成されている。当該保護膜は、本実施例ではプリグルーブ層に相当する。この後、実施例１と同様にして、粘着シートを介して第１のガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ６ｍｍ）を保護膜の露出面に圧着接合した。
【００７７】
第１のガラス基板とともに保護膜をＮｉスタンパから剥離した後、実施例１と同様にして、保護膜のプリグルーブ面上に、誘電体層（ＳｉＮ、厚さ５０ｎｍ）、記録層（ＴｂＦｅＣｏ、厚さ２５ｎｍ）、記録補助層（ＧｄＦｅＣｏ、厚さ５ｎｍ）、第１の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ３０ｎｍ）、熱分布調整層（ＳｉＮ、厚さ５ｎｍ）、および第２の熱良伝導層（ＡｇＰｄＣｕＳｉ、厚さ１０ｎｍ）を順次形成した。
【００７８】
本実施例の光磁気記録媒体の作製においては、次に、ＤＣスパッタリング法により、第２の熱良伝導層上にＦｅＣを成膜することにより、厚さ３００ｎｍの軟磁性層を形成した。本スパッタリングでは、ＦｅＣターゲットを用い、スパッタガスとしてＡｒガスを使用し、スパッタガス圧力を０．５Ｐａとし、スパッタ電力を５００Ｗとした。
【００７９】
次に、軟磁性層の露出面に、接着材としての液状の紫外線硬化性樹脂（商品名：ダイキュアクリアＳＤ、大日本インキ製）を介して、第２のガラス基板（外径８６ｍｍ、厚さ１．２ｍｍ）を接合した。
【００８０】
次に、第１のガラス基板の側から紫外線を照射することにより、当該第１のガラス基板と保護膜との間に介在する粘着シートの粘着性を失わせた後、当該粘着シートとともに第１のガラス基板を保護膜から剥離した。以上のようにして、本実施例の光磁気記録媒体を作製した。
【００８１】
〔ＢＥＲ特性〕
本実施例の光磁気記録媒体について、実施例１と同様にして、ＢＥＲ特性を調べた。この結果は、図１３のグラフにて線Ｅ３ｂで表す。
【００８２】
【評価】
〔１トラック記録特性について〕
図１１のグラフからは、７．５ｍＷ以上の記録レーザーパワー範囲において、実施例１の光磁気記録媒体は、比較例の光磁気記録媒体よりも高いＣＮＲを示すことが判る。具体的には、測定に係る殆どの記録レーザーパワー範囲において、実施例１の光磁気記録媒体は、比較例の光磁気記録媒体よりも、４ｄＢ程度高いＣＮＲを示した。
【００８３】
比較例の光磁気記録媒体では、再生処理におけるレーザ照射対象面（記録層の光反射表面）は、基板上のプリグルーブ層から７５ｎｍ（放熱部の厚さ＋記録補助層の厚さ＋記録層の厚さ）隔てた箇所に設けられている。これに対し、実施例１の光磁気記録媒体では、再生処理におけるレーザ照射対象面（記録層の光反射表面）は、プリグルーブ層としての保護膜から５０ｎｍ（ＳｉＮ誘電体層の厚さ）隔てた箇所に設けられている。このように、実施例１におけるレーザ照射対象面は、比較例におけるそれよりも、所望の寸法に設計されたプリグルーブ形状に対して近接して設けられている。そのため、実施例１の光磁気記録媒体におけるレーザ照射対象面は、高い寸法精度を有してプリグルーブ形状に近いシャープな形状を有しており、比較例のそれは、より丸みをおびている。このようなレーザ照射対象面の寸法精度の相違に起因して、実施例１の光磁気記録媒体は、比較例の光磁気記録媒体よりも高いＣＮＲを示すものと考えられる。
【００８４】
〔３トラック記録特性について〕
３トラック記録においては、脇のトラックに対する記録処理の際のレーザ照射により中央のトラックにおける記録信号が影響を受けるという、クロスイレーズの問題が内在している。クロスイレーズの問題は、記録レーザーパワーが増大するほど顕著となる。図１２のグラフからは、実施例１の光磁気記録媒体では、記録レーザーパワーが増大しても高いＣＮＲが維持されるのに対し、比較例の光磁気記録媒体では、記録レーザーパワーが８．５ｍＷ以上となるとＣＮＲが急激に低下してしまうことが判る。３トラック記録特性におけるこのような相違は、比較例の光磁気記録媒体では、実施例１の光磁気記録媒体におけるよりも、記録層のランドグルーブ形状が丸みをおびていることに起因して熱拡散が大きいためであると考えられる。
【００８５】
〔ＢＥＲ特性について〕
図１３のグラフからは、同一のＢＥＲを達成するために磁気記録ヘッドに流すべき電流については、実施例２の光磁気記録媒体は実施例１の光磁気記録媒体よりも、少なくてすむことが判る。また、磁気記録ヘッドに流す電流が同一である場合、実施例２の光磁気記録媒体は実施例１の光磁気記録媒体よりも、低いＢＥＲを達成できることが判る。ＢＥＲ特性に表れるこのような相違は、実施例２の光磁気記録媒体では、実施例１の光磁気記録媒体におけるよりも、印加磁界に対する記録層の感度が高いこと示している。記録磁界感度の相違は、軟磁性層の有無に起因する。光磁気記録媒体における記録層の記録磁界感度を向上するために軟磁性層に求められる厚さは、比較的厚く、例えば２００ｎｍ以上である。このような分厚い軟磁性層を、仮にプリグルーブ層と記録層の間に設けると、プリグルーブ層の凹凸形状は事実上消失し、記録層において適切なランドグルーブ形状を形成することができない。これに対し、本発明に係る実施例２の光磁気記録媒体では、軟磁性層は、記録層に対してプリグルーブ層（保護膜）とは反対の側に設けられている。このような構成によると、記録層においてはプリグルーブに応じた適切なランドグルーブ形状を形成することができ、且つ、充分な厚さの軟磁性層を記録層に近接して設けることが可能なのである。
【００８６】
以上のまとめとして、本発明の構成およびそのバリエーションを以下に付記として列挙する。
【００８７】
（付記１）プリグルーブ形成面を有するスタンパにおける当該プリグルーブ形成面上に、樹脂材料を成膜するための工程と、
前記プリグルーブ形成面上の前記樹脂材料を硬化させることにより、前記プリグルーブ形成面における凹凸形状が転写されたプリグルーブ面、および、これとは反対の平坦面、を有する光透過性の保護膜を形成するための工程と、
前記保護膜の前記平坦面に対し、粘着性を有する粘着材を介して第１基板を接合するための工程と、
前記保護膜と前記スタンパとを分離するための工程と、
前記保護膜における前記プリグルーブ面の上に材料を成膜することにより、記録機能および再生機能を担う磁性部を含む材料膜構造部を形成するための工程と、
前記材料膜構造部に対し、第２基板を接合するための工程と、
前記粘着材の前記粘着性を低下させるための粘着性低下工程と、
前記保護膜と前記第１基板とを分離するための工程と、を含むことを特徴とする、光磁気記録媒体の製造方法。
（付記２）前記粘着性低下工程では、前記粘着材に対する光照射または加熱により、当該粘着材の粘着性を低下させる、付記１に記載の光磁気記録媒体の製造方法。
（付記３）前記第１基板は光透過性を有する、付記１または２に記載の光磁気記録媒体の製造方法。
（付記４）前記樹脂材料は、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、または触媒硬化性樹脂を含む、付記１から３のいずれか１つに記載の光磁気記録媒体の製造方法。
（付記５）プリグルーブが形成されたプリグルーブ面を有し、且つ、厚さが１０〜４０μｍである、光透過性の保護膜と、
記録機能および再生機能を担う磁性部を含み、且つ、前記保護膜のプリグルーブ面上に材料を成膜することにより形成された、材料膜構造部と、
前記材料膜構造部に対して前記保護膜とは反対の側に設けられた基板と、を含む積層構造を有することを特徴とする、光磁気記録媒体。
（付記６）前記保護膜の厚さは１０〜２０μｍである、付記５に記載の光磁気記録媒体。
（付記７）前記材料膜構造部は、前記磁性部から前記基板までの間に位置する軟磁性層を有する、付記５または６に記載の光磁気記録媒体。
（付記８）前記材料膜構造部は、光透過性を有して前記プリグルーブ面と接するエンハンス層を有し、当該エンハンス層の厚さは５０ｎｍ以上である、付記５から７のいずれか１つに記載の光磁気記録媒体。
（付記９）前記磁性部は、ＭＳＲ方式再生、ＭＡＭＭＯＳ方式再生、またはＤＷＤＤ方式再生を実現するための多層磁性構造を有する、付記５から８のいずれか１つに記載の光磁気記録媒体。
【００８８】
【発明の効果】
本発明によると、高い寸法精度を有して外形の平坦性に優れたランドグルーブ形状を有する磁性部を備え、且つ、磁性部に対する光入射側に充分に薄い光透過性保護膜を備える、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体を得ることができる。したがって、本発明によると、フロントイルミネーション方式の光磁気記録媒体において、適切に高記録密度化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光磁気記録媒体の部分断面図である。
【図２】図１の光磁気記録媒体の積層構成を表す。
【図３】図１に示す光磁気記録媒体の製造方法における一部の工程を表す。
【図４】図３の後に続く工程を表す。
【図５】図４の後に続く工程を表す。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る光磁気記録媒体の部分断面図である。
【図７】図６の光磁気記録媒体の積層構成を表す。
【図８】実施例１に係る光磁気記録媒体の情報トラックにおける積層構成を表す。
【図９】比較例に係る光磁気記録媒体の情報トラックにおける積層構成を表す。
【図１０】実施例２に係る光磁気記録媒体の情報トラックにおける積層構成を表す。
【図１１】実施例１および比較例の光磁気記録媒体について、１トラック記録特性を表すグラフである。
【図１２】実施例１および比較例の光磁気記録媒体について、３トラック記録特性を表す他のグラフである。
【図１３】実施例１および実施例２の光磁気記録媒体について、ビットエラーレートの記録磁界依存性を表すグラフである。
【符号の説明】
Ｘ１，Ｘ２ 光磁気記録媒体
１０ 保護膜
１０’ 樹脂組成物
１０ａ プリグルーブ面
１０ｂ 平坦面
２０，２０’ 材料膜積層部
２１ 誘電体層
２２ 記録層
２７ 軟磁性層
３０ 接着材
４１ スタンパ
４１ａ プリグルーブ形成面
４２ 粘着材
４３，Ｓ 基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a front illumination type magneto-optical recording medium and a magneto-optical recording medium manufactured by the method.
[0002]
[Prior art]
In recent years, magneto-optical recording media have attracted attention. A magneto-optical recording medium is a rewritable recording medium that is configured using various magnetic characteristics of a magnetic material and has two functions of thermomagnetic recording and reproduction using a magneto-optical effect. A magneto-optical recording medium has a recording layer made of a perpendicular magnetization film, and a magnetic field is applied to a predetermined portion of the recording layer while the temperature is increased by laser irradiation to change the magnetization direction in the recording layer. Is recorded. This recording signal is read by a predetermined optical system for reading a reproduction signal.
[0003]
As one of techniques for improving the recording density of a magneto-optical recording medium, it is known to reduce the size of a region where the medium is irradiated with a laser during recording processing, that is, the spot diameter. By reducing the diameter of the spot, the track pitch of the medium can be designed to be short, and the recording mark length can be shortened, so that the recording density can be improved. The spot diameter can be reduced by shortening the wavelength of the irradiation laser or increasing the numerical aperture NA of an objective lens (a lens facing the medium) for condensing the irradiation laser. As the laser, for example, a blue laser having a wavelength of 405 nm has become practical from a conventional wavelength of 660 nm. As for the numerical aperture NA, for example, a lens having an NA of 0.85 has become practically usable from a conventional lens having an NA of 0.55.
[0004]
However, since a lens having a larger numerical aperture NA has a shorter focal length, it tends to be difficult to apply to a conventional back-illumination type magneto-optical recording medium. In the back-illumination type magneto-optical recording medium, in the recording process and the reproducing process, the magnetic portion including the recording layer is irradiated with laser from the side of the relatively thick transparent substrate. This is because a long focal length is required. In the manufacture of a back-illumination type magneto-optical recording medium, a predetermined material is sequentially formed on a thick transparent substrate to secure the rigidity of the medium. ), A dielectric layer, a heat dissipation layer, and the like. A pre-groove is formed in advance on the lamination surface of the substrate, and the uneven shape of the pre-groove is reflected on the magnetic portion via the dielectric layer on the pre-groove, and the land groove shape in the magnetic portion is formed . Since the magnetic portion to be irradiated with the laser is formed relatively close to the pre-groove of the substrate, it has a land-groove shape having relatively high dimensional accuracy and excellent flatness.
[0005]
In order to utilize a lens having a large numerical aperture NA, in the field of technology of a magneto-optical recording medium, there is a high demand for practical use of a front illumination system instead of a back illumination system. In a front illumination type magneto-optical recording medium, a relatively thin transparent protective film is provided on the side opposite to the substrate with respect to the magnetic part. Is subjected to laser irradiation.
[0006]
In the manufacture of a front illumination type magneto-optical recording medium, a predetermined material is sequentially formed on a thick substrate for securing the rigidity of the medium. Layers), a dielectric layer, a transparent protective film, and the like are often formed sequentially. A pre-groove is formed in advance on the laminated surface of the substrate, and the unevenness of the pre-groove is reflected on the magnetic portion via a heat dissipation layer or a dielectric layer formed on the pre-groove, and The land-groove shape in the portion is formed.
[0007]
As described above, in the magneto-optical recording medium of the front illumination type, generally, after a large number of layers are formed on a pregroove designed to have a desired size on a substrate, a magnetic portion to be irradiated with laser is laminated. Is done. Therefore, in the front illumination system, the laser irradiation surface of the magnetic part is often located farther from the pre-groove of the substrate than the back illumination system. In this case, it is difficult to achieve high dimensional accuracy for the land groove shape of the magnetic part. The land groove shape of the magnetic portion tends to be rounded and dull. In such a magnetic part, a good CNR cannot often be obtained in a reproduced signal.
[0008]
A technique aimed at obtaining high dimensional accuracy with respect to the land / groove shape of the magnetic portion in a front illumination type magneto-optical recording medium is described in, for example, Patent Document 1 below.
[0009]
[Patent Document 1]
JP 2001-357570A
[0010]
In the method of manufacturing a magneto-optical recording medium described in this document, first, a release layer is formed on a pregroove surface of a first substrate having a pregroove designed to have a desired size. Next, a first protective layer, a recording layer, a second protective layer, and a reflective layer are sequentially formed on the release layer. Next, a thick second substrate for securing the rigidity of the medium is bonded to the reflective layer via an adhesive. Next, the first substrate is separated from the first protective layer together with the separation layer. Thereby, the film surface of the first protective layer is exposed. Next, the third substrate is bonded to the first protective layer via an adhesive. The third substrate is thinner and more transparent than the first substrate and the second substrate.
[0011]
In such a manufacturing method, the first substrate on which the recording layer and the protective layer are formed by lamination needs to be relatively thick to have sufficient rigidity. The thick first substrate is later replaced with a thin and transparent third substrate, which enables laser irradiation from the third substrate side, and realizes a front illumination method. The laser irradiation surface of the recording layer is formed relatively close to the pre-groove of the first substrate during the manufacturing process. Therefore, according to this manufacturing method, the conventional general illumination of the front illumination type magneto-optical recording medium is performed. A land-groove shape with higher dimensional accuracy can be obtained in the recording layer than by the manufacturing method.
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to Patent Literature 1, the thickness of the third substrate is 0.05 to 0.3 mm, and according to the method described in Patent Literature 1, good flatness is maintained for the third substrate. It is difficult to make it thinner. In addition, the bonding of the third substrate to the first protective layer is performed via an adhesive. According to Patent Document 1, the adhesive has a thickness of about 1 to 200 μm. Therefore, in the magneto-optical recording medium of the front illumination type described in Patent Document 1, the thickness of the transparent portion from the exposed surface of the third substrate to the protective layer may reach 0.5 mm.
[0013]
Regarding the thickness of the transparent portion on the light incident side, it is desirable that the thickness is thinner particularly when a magnetic field modulation method is employed as a recording method. The thinner the transparent portion, the closer the magnetic recording head can be to the recording layer, and the closer the arrangement allows to reduce the current that must flow through the magnetic recording head to apply a desired magnetic field. As a result, higher-frequency recording, that is, high-speed recording, can be appropriately realized. Such high-speed recording is important for practical use of a perpendicular magnetic recording medium having a high recording density. If the thickness of the transparent portion is, for example, 0.5 mm, it is difficult to realize such high-speed recording.
[0014]
The present invention has been conceived under such circumstances, and has a magnetic portion having a land groove shape with high dimensional accuracy, and has a sufficiently thin light transmission property on the light incident side with respect to the magnetic portion. It is an object of the present invention to provide a front illumination type magneto-optical recording medium having a protective film.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a magneto-optical recording medium. This manufacturing method includes a step of forming a resin material on the pre-groove forming surface of the stamper having a pre-groove forming surface, and a step of curing the resin material on the pre-groove forming surface. Forming a light-transmitting protective film having a pre-groove surface in contact with and a flat surface opposite to the pre-groove surface, and bonding the first substrate to the flat surface of the protective film via an adhesive material having an adhesive property. A step of joining, a step of separating the protective film and the stamper, and a material film including a magnetic part having a recording function and a reproducing function by forming a material on the pre-groove surface of the protective film A step of forming a structure, a step of bonding the second substrate to the material film structure, a step of reducing the adhesiveness of the adhesive, and a step of protecting the protective film and the first substrate. When Characterized in that it comprises a a step for separating. The pre-groove in the present invention is a shape formed by transferring a land groove shape (concavo-convex shape) designed in the stamper, and is a shape directly reflecting the land groove shape of the stamper. Therefore, the pre-groove according to the present invention does not include an uneven shape caused by depositing a material on a surface formed by transferring the land groove shape of the stamper. The light transmittance of the protective film refers to the transparency required for realizing the laser beam used in the recording process and the reproduction process. Further, the step of lowering the adhesiveness and the step of separating the protective film and the first substrate may be performed in parallel or may be performed individually.
[0016]
According to such a method, a magnetic portion having a land groove shape with high dimensional accuracy can be formed in a front illumination type magneto-optical recording medium. According to a first aspect of the present invention, in forming a material film structure portion including a magnetic portion and a dielectric layer, a shape of a pregroove forming surface of a stamper is directly transferred to a protective film having a pregroove formed. A predetermined material is sequentially formed on the pre-groove surface in the same order as that of the back illumination type medium, that is, in the order in which the protective film is set to the light incident side. Therefore, the laser irradiation surface of the magnetic part can be provided close to the pre-groove as in the conventional back illumination type magneto-optical recording medium. As a result, high dimensional accuracy can be achieved for the land-groove shape of the magnetic part. As the dimensional accuracy of the land / groove shape of the magnetic portion is higher, that is, as the shape of the magnetic portion is sharper and the planar roughness of its outer periphery is smaller, the value of CNR in the reproduced signal tends to increase.
[0017]
Further, according to the method according to the first aspect of the present invention, in the magneto-optical recording medium of the front illumination type, a sufficiently thin light-transmitting protective film can be provided on the light incident side with respect to the magnetic part. According to the method according to the first aspect of the present invention, in the resin film forming step, the resin can be formed to a desired thickness by, for example, a spin coating method. In the protective film forming step, by curing the resin, a pregroove is formed at the interface with the stamper, and a protective film having a desired thickness is formed. The thickness of the protective film can be, for example, 10 to 40 μm. In the manufacturing process of the magneto-optical recording medium, the substrate or substrate on which the recording layer and the dielectric layer are formed is required to have sufficient rigidity, and the substrate needs to be relatively thick. In the first aspect, the protective film having the pre-groove surface, which is the surface to be laminated, is lined and reinforced by the first substrate. Although the protective film itself is thin and may not have sufficient rigidity, the base material composed of the protective film and the first substrate has sufficient rigidity. After the second substrate is bonded to the material film structure formed on the pre-groove surface of the protective film and the rigidity of the medium is secured, the backing substrate (first substrate) for the protective film is peeled off. The thin light-transmitting protective film is exposed on the light incident side with respect to the magnetic part or the material film structure. In a front illumination type magneto-optical recording medium, the thinner the transparent protective film on the light incident side, the smaller the current that must be passed to the magnetic recording head to apply a desired magnetic field. As a result, recording at a higher frequency is possible. That is, high-speed recording can be appropriately realized. Such high-speed recording is important for practical use of a magneto-optical recording medium having a high recording density.
[0018]
As described above, according to the first aspect of the present invention, in a front illumination type magneto-optical recording medium, a magnetic portion having a land groove shape with high dimensional accuracy is formed, and a light incident side with respect to the magnetic portion is sufficiently formed. It is possible to provide a thin light-transmitting protective film.
[0019]
In the first aspect of the present invention, preferably, in the adhesiveness reducing step, the adhesiveness of the adhesive is reduced by irradiating the adhesive with light or heating. In this case, in the present invention, a pressure-sensitive adhesive that loses appropriate tackiness by light irradiation or heating is used. In the case where an adhesive that loses appropriate adhesiveness by light irradiation or ultraviolet irradiation is used, a material having light transmittance is used as the first substrate. According to these configurations, in the step of separating the protective film and the first substrate, the protective film and the first substrate can be appropriately separated.
[0020]
Preferably, the resin material includes a photo-setting resin, a thermosetting resin, or a catalyst-setting resin. In the present invention, these resins are practical as constituent materials of a transparent protective film to be formed on a stamper with a desired thickness.
[0021]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a magneto-optical recording medium. This magneto-optical recording medium has a pre-groove surface on which a pre-groove is formed, and has a light-transmitting protective film having a thickness of 10 to 40 μm, and a magnetic portion having a recording function and a reproducing function, and A laminated structure including a material film structure and a substrate provided on a side opposite to the protective film with respect to the material film structure formed by depositing a material on the pre-groove surface of the protective film. It is characterized by having.
[0022]
The magneto-optical recording medium having such a configuration is manufactured by the method according to the first aspect of the present invention. Therefore, the front illumination type magneto-optical recording medium according to the second aspect of the present invention includes a land groove having high dimensional accuracy while having a light transmitting protective film having a thickness as thin as 10 to 40 μm on the light incident side with respect to the magnetic portion. A magnetic part having a shape can be provided. Such a magneto-optical recording medium is suitable for achieving a high CNR in a reproduction signal and realizing high-speed recording.
[0023]
In the second aspect of the present invention, preferably, the thickness of the protective film is 10 to 20 μm. In order to increase the speed of the recording process while maintaining durability against dust, such a thickness range is particularly preferable for the protective film.
[0024]
Preferably, the material film structure has a soft magnetic layer located between the magnetic part and the substrate. When a soft magnetic layer having a large saturation magnetization and a small coercive force is present as a so-called backing soft magnetic film in the vicinity of a recording layer included in a magnetic part, a magnetic recording head applies a magnetic recording head to the recording layer during a recording process. The magnetic flux of the recording magnetic field concentrates on the recording layer without being diffused. Therefore, the recording magnetic field sensitivity of the recording layer can be improved as compared with the case where the soft magnetic layer is not present. Improvement of the recording magnetic field sensitivity of the recording layer enables reduction of a current required for applying a desired magnetic field by the magnetic recording head, and is suitable for realizing higher-frequency recording, that is, high-speed recording.
[0025]
Preferably, the material film structure has a so-called enhance layer having light transmittance and in contact with the pregroove surface, and the thickness of the enhance layer is 50 nm or more. Such a configuration is suitable for obtaining a substantially large Kerr rotation angle in reflected light at the time of reproduction processing.
[0026]
In the field of the technology of magneto-optical recording media, various reproduction methods have been developed for practically reproducing signals recorded at high density beyond the resolution limit of an optical system for reading reproduction signals. For example, MSR (magneticly induced super resolution), MAMMOS (magnetically amplified magnetic-optical system), and DWDD (domain wall displacement). In the second aspect of the present invention, the material film structure preferably has a multilayer magnetic structure for realizing such an MSR reproduction, a MAMMOS reproduction, or a DWDD reproduction. The effect of the present invention is particularly effective when the present invention is applied to a magneto-optical recording medium of the MSR system, the MAMMOS system, and the DWDD system having excellent reproduction resolution.
[0027]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
1 and 2 show a magneto-optical recording medium X1 according to the first embodiment of the present invention. The magneto-optical recording medium X1 includes a protective film 10, a material film laminated portion 20, and a substrate S, and is configured as a front illumination type magneto-optical disk. FIG. 1 schematically shows a partial cross section of the magneto-optical recording medium X1, and FIG. 2 shows a laminated structure in a land portion and / or a groove portion used as an information track of the magneto-optical recording medium X1. .
[0028]
The protective film 10 is made of a resin having sufficient transparency to a recording laser and a reproduction laser of the magneto-optical recording medium X1, and has a thickness L1 of 10 to 40 μm. As a resin material for forming the protective film 10, for example, an acrylic resin is used. The protective film 10 has a pre-groove surface 10a and a flat surface 10b. A pregroove designed with a desired dimension is provided on the pregroove surface 10a. Therefore, the protective film 10 also functions as a so-called pre-groove layer. The depth L2 of the pregroove is, for example, 20 to 60 nm, the width L3 is, for example, 300 to 350 nm, and the formation pitch L4 is, for example, 320 to 700 nm. The flat surface 10b is exposed to the outside, and is the surface that the magnetic recording head faces during recording processing.
[0029]
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the material film laminated portion 20 includes a dielectric layer 21, a recording layer 22, a recording auxiliary layer 23, a good thermal conduction layer 24, a heat distribution adjusting layer 25, It has a laminated structure composed of the thermal good conductive layer 26. As shown in FIG. 1, the material film laminated portion 20 has a land-groove shape corresponding to the uneven shape of the pre-groove surface 10a of the protective film 10.
[0030]
The dielectric layer 21 is a part for avoiding or suppressing an external magnetic influence on the recording layer 22 and the recording auxiliary layer 23. 2 , YSiO 2 , ZnSiO 2 , AlO, or AlN. The thickness of the dielectric layer 21 is, for example, 20 to 60 nm. The dielectric layer 21 is preferably configured as a so-called enhancement layer for substantially increasing the Kerr rotation angle. In order for the dielectric layer 21 to function as an enhancement layer, the thickness of the dielectric layer 21 is preferably, for example, 50 nm or more.
[0031]
The recording layer 22 is a portion having two functions of thermomagnetic recording and reproduction using a magneto-optical effect in the land portion and / or the groove portion, and is made of an amorphous alloy containing a rare earth element and a transition metal, Further, it is a perpendicular magnetization film having perpendicular magnetic anisotropy and magnetized in the vertical direction. The vertical direction refers to a direction perpendicular to the film surface of the magnetic film forming the layer. As the rare earth element contained in the amorphous alloy forming the recording layer 22, Tb, Gd, Dy, Nd, Pr, or the like can be used. Fe, Co, or the like can be used as the transition metal. More specifically, the recording layer 22 is made of, for example, TbFeCo, DyFeCo, or TbDyFeCo having a predetermined composition. The thickness of the recording layer 22 is, for example, 15 to 50 nm.
[0032]
The recording auxiliary layer 23 has a function of generating an exchange coupling force with the recording layer 22 and improving the recording magnetic field sensitivity of the recording layer 22. The recording auxiliary layer 23 is a perpendicular magnetization film made of a rare earth-transition metal amorphous alloy.
[0033]
In the present embodiment, the magnetic portion having the recording / reproducing function is composed of the recording layer 22 and the recording auxiliary layer 23. In the present invention, instead of such a configuration, the magnetic unit may be configured with only a single recording layer having both a recording function and a reproducing function. Alternatively, the magnetic part has a two-layer structure including a recording layer having a relatively large coercive force and performing a recording function and a reproducing layer having a relatively large Kerr rotation angle of a reproducing laser and performing a reproducing function. May have. Alternatively, the magnetic unit may have a three-layer structure including a recording layer, a reproducing layer, and an intermediate layer therebetween for realizing MSR reproducing, MAMMOS reproducing, or DWDD reproducing.
[0034]
When a magnetic part having such a magnetic structure is provided, each layer in each possible structure of the magnetic part is made of an amorphous alloy of a rare earth element and a transition metal, and has a perpendicular magnetic anisotropy and is vertically magnetized. This is a perpendicular magnetization film. As the rare earth element, Tb, Gd, Dy, Nd, Pr or the like can be used. Fe, Co, or the like can be used as the transition metal. More specifically, as described above, the recording layer is made of, for example, TbFeCo, DyFeCo, or TbDyFeCo having a predetermined composition. When a reproducing layer is provided, the reproducing layer is made of, for example, GdFeCo, GdDyFeCo, GdTbDyFeCo, NdDyFeCo, NdGdFeCo, or PrDyFeCo having a predetermined composition. When the intermediate layer is provided, the intermediate layer is made of, for example, GdFe, TbFe, GdFeCo, GdDyFeCo, GdTbDyFeCo, NdDyFeCo, NdGdFeCo, or PrDyFeCo having a predetermined composition. The thickness of each layer is determined according to the magnetic structure desired for the magnetic part.
[0035]
The good thermal conductive layers 24 and 26 and the heat distribution adjusting layer 25 appropriately transfer heat generated in the magnetic portions (the recording layer 22 and the recording auxiliary layer 23) to the substrate S when irradiating a laser in the magneto-optical recording medium X1. A radiator for conduction is configured. The good thermal conductive layers 24 and 26 are made of a high thermal conductive material. As the high thermal conductive material, for example, an AgPdCuSi alloy or an AgPdCu alloy can be used. The heat distribution adjustment layer 25 has a lower thermal conductivity than the good thermal conductive layers 24 and 26, and is made of, for example, SiN. The heat distribution adjusting layer 25 made of SiN also functions as a dielectric layer between the substrate S and the magnetic part. The thickness of the heat conductive layers 24 and 26 is, for example, 5 to 80 nm, and the thickness of the heat distribution adjusting layer 25 is, for example, 5 to 80 nm. In the present invention, the heat dissipating portion may be constituted by a single layer of a good heat conduction layer or a two-layer structure of a good heat conduction layer and a heat distribution adjusting layer instead of such a structure.
[0036]
The substrate S is for securing the rigidity of the magneto-optical recording medium X1, and is bonded to the material film laminated portion 20 via the adhesive 30. Such a substrate S is made of, for example, a polycarbonate (PC) resin, a polymethyl methacrylate (PMMA) resin, an epoxy resin, or a polyolefin resin. Alternatively, a glass substrate may be employed as the substrate S.
[0037]
3 to 5 show a method of manufacturing the magneto-optical recording medium X1. In manufacturing the magneto-optical recording medium X1, first, a stamper 41 as shown in FIG. 3A is prepared. The stamper 41 is, for example, a so-called Ni stamper lined with a flat glass substrate, and has a pregroove forming surface 41a. A pre-groove pattern formed in a desired size is provided on the pre-groove forming surface 41a. 3 and 4, the pregroove pattern is represented as an uneven shape in a cross section in the track cross direction.
[0038]
Next, as shown in FIG. 3B, a liquid resin composition 10 ′ is formed on the pre-groove forming surface 41a of the stamper 41. As a film forming technique, a spin coating method can be adopted. The formed film thickness is adjusted according to the thickness L1 of the protective film 10 to be formed. As the resin composition 10 ′, one having a resin material for constituting the protective film 10 as a main component and having ultraviolet curability, heat curability, or catalyst curability is used.
[0039]
Next, as shown in FIG. 3C, the formed resin composition 10 ′ is cured to form the protective film 10. As a curing method, a method of irradiating the resin composition 10 ′ with ultraviolet rays, heating the resin composition 10 ′, or causing a catalyst to act on the main component resin material, depending on the curing characteristics of the resin composition 10 ′. Adopted. When a catalyst is used, the catalyst is previously added to the resin composition 10 ′ at the time of film formation. The protective film 10 formed in this step has a pre-groove surface 10a at the interface with the stamper 41, and has a flat surface 10b on the opposite side. The pre-groove surface 10a has a pre-groove shape formed by transferring the pre-groove forming surface 41a of the stamper 41. Since the pre-groove shape of the pre-groove surface 10a is generated by directly transferring the pre-groove forming surface 41a formed with a desired size, the pre-groove shape has high dimensional accuracy and excellent flatness of the outer shape. I have.
[0040]
In the manufacture of the magneto-optical recording medium X1, next, as shown in FIG. 4A, the substrate 43 is bonded to the flat surface 10b of the protective film 10 via the adhesive 42. As the pressure-sensitive adhesive 42, for example, a pressure-sensitive adhesive sheet or a pressure-sensitive adhesive liquid whose adhesiveness is reduced by ultraviolet irradiation or heating can be used. When the adhesive 42 whose adhesiveness is reduced by ultraviolet rays is employed, a substrate 43 having transparency to the ultraviolet rays is employed as the substrate 43. Such a substrate 43 is, for example, a glass substrate or a transparent resin substrate.
[0041]
Next, as shown in FIG. 4B, the stamper 41 is peeled off from the protective film 10 bonded to the substrate 43. Next, as shown in FIG. 4C, a material film laminated portion 20 is laminated on the protective film 10. Specifically, a predetermined material corresponding to each layer is sequentially formed on the pre-groove surface 10a of the protective film 10 by a sputtering method, so that the above-described dielectric layer 21, recording layer 22, recording auxiliary layer 23, a good heat conduction layer 24, a heat distribution adjustment layer 25, and a good heat conduction layer 26 are sequentially formed. At this time, the protective film 10 functions as a pre-groove layer.
[0042]
Next, as shown in FIGS. 5A and 5B, the substrate S is bonded to the material film laminated portion 20 via the adhesive 30. As the adhesive 30, an ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or a catalyst curable resin can be used. When an ultraviolet-curable resin is employed, a substrate having transparency to the ultraviolet rays is employed as the substrate S.
[0043]
Next, as shown in FIG. 5C, the adhesiveness of the adhesive 42 is reduced, and the substrate 43 is separated from the protective film 10 together with the adhesive 42. The lowering of the adhesiveness of the adhesive 42 and the peeling operation may be performed in parallel or may be performed individually. As a method of reducing the adhesiveness, ultraviolet irradiation or heating is employed according to the characteristics of the adhesive 42. As described above, the magneto-optical recording medium X1 can be manufactured.
[0044]
In the resin film forming step described above with reference to FIG. 3B, the resin composition 10 ′ can be formed into a desired thin film by spin coating. In the protective film forming step described above with reference to FIG. 3C, by curing the resin composition 10 ′, a pre-groove is formed at the interface with the stamper 41 and the protective film having a desired thickness is formed. 10 are formed. In the material film laminated portion forming step described above with reference to FIG. 4C, since the protective film 10 is backed and reinforced by the substrate 43, the material film laminated portion is appropriately formed even on the thin protective film 10. 20 can be formed. In the step described above with reference to FIG. 5C, the substrate 43 is separated from the protective film 10 in a state where the substrate S is bonded to the material film laminated portion 20 and the rigidity of the medium is secured, and light is incident. The thin protective film 10 is exposed on the side. In a front illumination type magneto-optical recording medium, the thinner the transparent protective film on the light incident side, the lower the current required for applying a desired magnetic field by the magnetic recording head becomes. As a result, recording at higher frequency, that is, high-speed recording Can be appropriately realized.
[0045]
In addition, in the step of forming the material film laminated portion 20 described above with reference to FIG. 4C, the protective film 10 having the pre-groove formed by directly transferring the shape of the pre-groove forming surface 41a of the stamper 41 is formed. A predetermined material is sequentially formed on the pre-groove surface 10a in the same order as that of the back illumination type medium, that is, in the order in which the protective film 10 is on the light incident side. Therefore, the laser irradiation target surface of the recording layer 22 included in the material film laminated portion 20 can be provided close to the pre-groove surface 10a, similarly to the conventional back illumination type magneto-optical recording medium. As a result, high dimensional accuracy can be achieved for the land-groove shape of the recording layer 22 (magnetic portion). The higher the dimensional accuracy of the land / groove shape of the magnetic portion, that is, the sharper the shape of the magnetic portion and the smaller the surface roughness, the higher the CNR value in the reproduced signal.
[0046]
As described above, the magneto-optical recording medium X1 includes the recording layer 22 (magnetic portion) having a land groove shape with high dimensional accuracy, and a sufficiently thin light transmission on the light incident side with respect to the recording layer 22 (magnetic portion). That is, the protective film 10 can be provided.
[0047]
6 and 7 show a magneto-optical recording medium X2 according to a second embodiment of the present invention. The magneto-optical recording medium X2 includes a protective film 10, a material film laminated portion 20 ', and a substrate S, and is configured as a front illumination type magneto-optical disk. FIG. 6 schematically shows a partial cross section of the magneto-optical recording medium X2, and FIG. 7 shows a laminated structure in a land portion and / or a groove portion used as an information track of the magneto-optical recording medium X2. . The magneto-optical recording medium X2 is different from the magneto-optical recording medium X1 in that the magneto-optical recording medium X2 has a material film laminated portion 20 'having a laminated structure different from the material film laminated portion 20. The structures and constituent materials of the protective film 10 and the substrate S are the same as those described above for the magneto-optical recording medium X1.
[0048]
In the present embodiment, as shown in FIG. 7, the material film laminated portion 20 'includes a dielectric layer 21, a recording layer 22, a recording auxiliary layer 23, a good heat conduction layer 24, and a heat distribution adjusting layer 25. , A thermally conductive layer 26 and a soft magnetic layer 27. That is, the material film laminated portion 20 ′ has a structure in which the soft magnetic layer 27 is further provided on the side of the good heat conduction layer 26 in the material film laminated portion 20 in the first embodiment. Such a material film laminated portion 20 ′ has a land groove shape corresponding to the uneven shape of the pre-groove surface 10 a of the protective film 10.
[0049]
The soft magnetic layer 27 is made of a soft magnetic material having a large saturation magnetization and a small coercive force. By concentrating the magnetic flux of the magnetic field generated from the recording magnetic head in the recording layer 22, the recording magnetic field sensitivity of the recording layer 22 is reduced. Has a function to improve. Such a soft magnetic layer 27 can be made of, for example, an Fe-based amorphous material such as FeC, a Co-based amorphous material, Permalloy, or Sendust. The thickness of the soft magnetic layer 27 is, for example, 0.2 to 2 μm.
[0050]
In the magneto-optical recording medium X2, since the soft magnetic layer 27 exists near the recording layer 22, the magnetic flux of the recording magnetic field applied to the recording layer 22 from the magnetic recording head during the recording process is applied to the recording layer 22. Concentrate without spreading. Therefore, the recording magnetic field sensitivity of the recording layer 22 is improved as compared with the case where the soft magnetic layer 27 does not exist. The improvement of the recording magnetic field sensitivity of the recording layer 22 enables reduction of a current required for applying a desired magnetic field by the magnetic recording head, and is suitable for realizing higher-frequency recording, that is, high-speed recording.
[0051]
In the magneto-optical recording medium X2, the recording layer 22 (magnetic portion) having a land groove shape with high dimensional accuracy is formed based on the same reason as described above with respect to the magneto-optical recording medium X1 according to the first embodiment. In addition, a sufficiently thin light-transmitting protective film 10 can be provided on the light incident side with respect to the recording layer 22 (magnetic portion).
[0052]
【Example】
Next, examples of the present invention will be described together with comparative examples.
[0053]
Embodiment 1
(Production of magneto-optical recording medium)
The magneto-optical recording medium of the present example was manufactured as a front illumination type magneto-optical disk having the laminated structure shown in FIG. In manufacturing the magneto-optical recording medium of this embodiment, first, a pre-groove forming surface of a Ni stamper (outer diameter 86 mm, thickness 0.3 mm) lined with a flat glass substrate (outer diameter 86 mm, thickness 6 mm). An ultraviolet curable resin (trade name: Iupimer UV, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was formed into a film having a thickness of 15 μm thereon by spin coating. On the pre-groove forming surface of the Ni stamper, a pre-groove pattern (land area width 0.275 μm, groove area width 0.275 μm, groove depth 50 nm) is previously formed in an area having an inner diameter of 25 mm and an outer diameter of 84 mm. Next, the ultraviolet curable resin film was cured by ultraviolet irradiation, and a transparent protective film (thickness: 15 μm) was formed on the Ni stamper. At the interface between the protective film and the Ni stamper, a pre-groove shape corresponding to the pre-groove pattern of the Ni stamper was formed. The protective film corresponds to a pre-groove layer in this embodiment.
[0054]
Next, the first glass substrate (outer diameter 86 mm, thickness 6 mm) is pressure-bonded to the exposed surface of the protective film via an adhesive sheet (trade name: UV tape for wafer dicing UC-228W-110, manufactured by Furukawa Electric). Joined. This pressure-sensitive adhesive sheet has a property of losing tackiness when irradiated with ultraviolet rays. Thereafter, the protective film was peeled off from the stamper together with the glass substrate.
[0055]
Next, a 50 nm-thick dielectric layer was formed by forming a SiN film on the pre-groove surface of the protective film by a DC sputtering method using a DC magnetron sputtering apparatus. Specifically, a Si target was used, and Ar gas and N 2 A SiN film was formed on the substrate by reactive sputtering using a gas. In this sputtering, Ar gas and N 2 The gas flow ratio was 2: 1, the sputtering gas pressure was 0.3 Pa, and the discharge power was 500 W.
[0056]
Next, a recording layer having a thickness of 25 nm was formed by forming a TbFeCo amorphous alloy having a predetermined composition on the dielectric layer by a DC sputtering method. In this sputtering, a TbFeCo alloy target was used, Ar gas was used as a sputtering gas, the sputtering gas pressure was 1.5 Pa, and the discharge power was 500 W.
[0057]
Next, a recording auxiliary layer having a thickness of 5 nm was formed by forming a GdFeCo amorphous alloy having a predetermined composition on the recording layer by a DC sputtering method. In this sputtering, a GdFeCo alloy target was used, Ar gas was used as a sputtering gas, the sputtering gas pressure was 0.5 Pa, and the sputtering power was 500 W. In this way, a magnetic portion composed of the recording layer (TbFeCo, thickness 25 nm) and the recording auxiliary layer (GdFeCo, thickness 5 nm) and having a recording function and a reproducing function was formed.
[0058]
Next, a first thermally conductive layer having a thickness of 30 nm was formed by depositing an AgPdCuSi alloy on the recording auxiliary layer by DC sputtering. Specifically, co-sputtering was performed using an AgPdCu alloy target and a Si target, Ar gas was used as a sputtering gas, the sputtering gas pressure was 1.5 Pa, and the discharge power was 500 W.
[0059]
Next, a 5 nm-thick heat distribution adjusting layer was formed by depositing SiN on the first thermally conductive layer by DC sputtering. Specifically, a Si target was used, and Ar gas and N 2 A SiN film was formed on the substrate by reactive sputtering using a gas. In this sputtering, Ar gas and N 2 The gas flow ratio was 2: 1, the sputtering gas pressure was 0.3 Pa, and the discharge power was 500 W.
[0060]
Next, a second thermally conductive layer having a thickness of 10 nm was formed by depositing an AgPdCuSi alloy on the heat distribution adjusting layer by DC sputtering. Specific sputtering conditions are the same as those described above for the formation of the first thermally conductive layer. In this way, the heat radiation composed of the first thermally conductive layer (AgPdCuSi, thickness 30 nm), the heat distribution adjusting layer (SiN, thickness 5 nm), and the second thermally conductive layer (AgPdCuSi, thickness 10 nm) Part was formed.
[0061]
In the production of the magneto-optical recording medium of the present embodiment, a liquid ultraviolet curable resin (trade name: Daicure Clear SD, Dainippon Ink) was used as an adhesive on the exposed surface of the second thermally conductive layer. ), A second glass substrate (outer diameter 86 mm, thickness 1.2 mm) was joined.
[0062]
Next, by irradiating ultraviolet rays from the first glass substrate side, the adhesiveness of the adhesive sheet interposed between the first glass substrate and the protective film is lost. Was peeled from the protective film. As described above, the magneto-optical recording medium of this example was manufactured.
[0063]
[One-track recording characteristics]
The recording characteristics of the magneto-optical recording medium of this example were examined. Specifically, first, with respect to the information track (land track or groove track) in the magneto-optical recording medium (magneto-optical disk) of the present embodiment, the recording mark length of 0.15 μm is set via a space of 0.15 μm. The signal was recorded repeatedly. The recording process was performed by a magnetic field modulation recording method using a predetermined optical disk evaluation device. The numerical aperture NA of the objective lens in this evaluation device is 0.85, and the laser wavelength is 405 nm. In the recording process, the laser scanning speed was set to 7.5 m / s, and the applied magnetic field of 200 Oe was modulated while continuously irradiating a single information track with a laser having a predetermined power.
[0064]
Next, the magneto-optical recording medium was reproduced, and the CNR (dB) of the reproduced signal was measured. The reproduction process was performed using the same evaluation device as the recording process, and the laser power was set to 2.4 mW and the laser scanning speed was set to 7.5 m / s. The CNR of the reproduced signal was measured using a spectrum analyzer.
[0065]
Such recording processing and subsequent reproduction processing were performed for each recording laser power while changing the laser power in the recording processing, and the CNR at each recording laser power was measured. Substantially the same results were obtained for the land track and the groove track. This result is represented by a line E1 in the graph of FIG. In the graph of FIG. 11, the horizontal axis represents the recording laser power (mW), and the vertical axis represents the CNR (dB).
[0066]
[Three track recording characteristics]
The recording characteristics of the magneto-optical recording medium of this example were examined in another mode. Specifically, first, with respect to the information track (land track or groove track) in the magneto-optical recording medium (magneto-optical disk) of the present embodiment, the recording mark length of 0.15 μm is set via a space of 0.15 μm. The signal was recorded repeatedly. The recording processing was performed by the magnetic field modulation recording method using the same evaluation device as that in the above-described recording characteristic measurement. In the recording processing, the laser scanning speed was set to 7.5 m / s, and an applied magnetic field of 200 Oe was modulated while continuously irradiating a laser having a predetermined power to each of three adjacent information tracks.
[0067]
Next, the magneto-optical recording medium was reproduced, and the CNR (dB) of the reproduction signal of the center track of three adjacent information tracks was measured. The reproduction process was performed using the same evaluation device as the recording process, and the laser power was set to 2.4 mW and the laser scanning speed was set to 7.5 m / s. The CNR of the reproduced signal was measured using a spectrum analyzer.
[0068]
Such recording processing and subsequent reproduction processing were performed for each recording laser power while changing the laser power in the recording processing, and the CNR at each recording laser power was measured. Substantially the same results were obtained for the land track and the groove track. This result is represented by a line E2 in the graph of FIG. In the graph of FIG. 12, the horizontal axis represents the recording laser power (13 mW), and the vertical axis represents the CNR (dB).
[0069]
[Bit error rate characteristics]
With respect to the magneto-optical recording medium of this example, the recording magnetic field dependence of the bit error rate in the reproduction signal was examined. Specifically, first, a random signal was recorded on an information track (land track or groove track) on the magneto-optical recording medium (magneto-optical disk) of the present embodiment. The recording processing was performed by the magnetic field modulation recording method using the same evaluation device as that in the above-described recording characteristic measurement. In the recording process, a predetermined scanning magnetic field was modulated while continuously irradiating a single information track with a laser (laser power of 2.4 mW) at a laser scanning speed of 7.5 m / s.
[0070]
Next, by reproducing the magneto-optical recording medium and comparing the modulation signal at the time of recording with the demodulation signal at the time of reproduction, the error rate of the reproduction demodulation signal with respect to the recording modulation signal was calculated as a bit error rate (BER). . The reproduction process was performed using the same evaluation device as the recording process, and the laser power was set to 2.4 mW and the laser scanning speed was set to 7.5 m / s.
[0071]
Such recording processing and subsequent reproduction processing were performed for each recording magnetic field while changing the applied magnetic field (recording magnetic field) in the recording processing, and the BER at each recording magnetic field was measured. Substantially the same results were obtained for the land track and the groove track. This result is represented by a line E3a in the graph of FIG. In the graph of FIG. 13, the horizontal axis represents the magnitude of the current flowing through the magnetic recording head, and the BER represents the vertical axis. The magnitude of the current represented by the horizontal axis is represented as a predetermined relative value, and is therefore represented in arbitrary units.
[0072]
[Comparative example]
A magneto-optical recording medium of this comparative example was manufactured as a front-illumination type magneto-optical disk having a laminated structure shown in FIG. In the production of the magneto-optical recording medium of this comparative example, first, on a flat glass substrate (outer diameter 86 mm, thickness 6 mm), an ultraviolet-curable resin (trade name: Iupima UV, Mitsubishi Chemical Corporation) was formed by a so-called 2P method. ) Was laminated. This pre-groove layer has the same pre-groove shape on the exposed surface as that formed on the pre-groove surface of the protective film of Example 1.
[0073]
Next, a second thermally conductive layer (AgPdCuSi, 10 nm thick), a heat distribution adjusting layer (SiN, 5 nm thick), and a first thermally conductive layer ( AgPdCuSi, thickness 30 nm, a recording auxiliary layer (GdFeCo, thickness 5 nm), a recording layer (TbFeCo, thickness 25 nm), and a dielectric layer (SiN, thickness 50 nm) were sequentially formed. The sputtering conditions for forming each layer are the same as the sputtering conditions for forming each layer in Example 1.
[0074]
In the production of the magneto-optical recording medium of this comparative example, an ultraviolet-curable resin (trade name: Dicure Clear EX, manufactured by Dainippon Ink) was then applied to the dielectric layer to a thickness of 15 μm by spin coating. A film was formed. Thereafter, the ultraviolet curable resin film was cured by irradiation with ultraviolet light to form a transparent protective film (thickness: 15 μm) on the dielectric layer.
[0075]
[1-track recording characteristics and 3-track recording characteristics]
With respect to the magneto-optical recording medium of this comparative example, the one-track recording characteristics were examined in the same manner as in Example 1. This result is represented by the line C1 in the graph of FIG. In addition, the three-track recording characteristics of the magneto-optical recording medium of this comparative example were examined in the same manner as in Example 1. This result is represented by the line C2 in the graph of FIG.
[0076]
Embodiment 2
(Production of magneto-optical recording medium)
The magneto-optical recording medium of this example was manufactured as a front-illumination type magneto-optical disk having the laminated structure shown in FIG. In the manufacture of the magneto-optical recording medium of this embodiment, a Ni stamper (outer diameter 86 mm, thickness 0 mm) lined with a flat glass substrate (outer diameter 86 mm, thickness 6 mm) in the same manner as in the first embodiment. 0.3 mm), a transparent protective film (thickness: 15 nm) was formed on the pre-groove forming surface. On the pre-groove forming surface of the Ni stamper, a pre-groove pattern (land area width 0.275 μm, groove area width 0.275 μm, groove depth 50 nm) is previously formed in an area having an inner diameter of 25 mm and an outer diameter of 84 mm. The protective film corresponds to a pre-groove layer in this embodiment. Thereafter, in the same manner as in Example 1, a first glass substrate (outer diameter: 86 mm, thickness: 6 mm) was pressure-bonded to the exposed surface of the protective film via an adhesive sheet.
[0077]
After the protective film was peeled off from the Ni stamper together with the first glass substrate, a dielectric layer (SiN, 50 nm thick) and a recording layer (TbFeCo, thick) were formed on the pre-groove surface of the protective film in the same manner as in Example 1. 25 nm), a recording auxiliary layer (GdFeCo, 5 nm thick), a first thermally conductive layer (AgPdCuSi, 30 nm thick), a heat distribution adjusting layer (SiN, 5 nm thick), and a second thermally conductive layer (AgPdCuSi, thickness 10 nm) were sequentially formed.
[0078]
In the fabrication of the magneto-optical recording medium of the present example, a soft magnetic layer having a thickness of 300 nm was formed by depositing FeC on the second thermally conductive layer by DC sputtering. In this sputtering, an FeC target was used, an Ar gas was used as a sputtering gas, a sputtering gas pressure was 0.5 Pa, and a sputtering power was 500 W.
[0079]
Next, on the exposed surface of the soft magnetic layer, a second glass substrate (an outer diameter of 86 mm, a thickness of 86 mm) was interposed via a liquid ultraviolet curable resin (trade name: Dicure Clear SD, manufactured by Dainippon Ink) as an adhesive. 1.2 mm).
[0080]
Next, by irradiating ultraviolet rays from the first glass substrate side, the adhesiveness of the adhesive sheet interposed between the first glass substrate and the protective film is lost. Was peeled from the protective film. As described above, the magneto-optical recording medium of this example was manufactured.
[0081]
[BER characteristics]
The BER characteristics of the magneto-optical recording medium of this example were examined in the same manner as in Example 1. This result is represented by a line E3b in the graph of FIG.
[0082]
[Evaluation]
[About one-track recording characteristics]
From the graph of FIG. 11, it can be seen that in the recording laser power range of 7.5 mW or more, the magneto-optical recording medium of Example 1 has a higher CNR than the magneto-optical recording medium of the comparative example. More specifically, the magneto-optical recording medium of Example 1 exhibited a CNR higher by about 4 dB than the magneto-optical recording medium of the comparative example in most of the recording laser power ranges related to the measurement.
[0083]
In the magneto-optical recording medium of the comparative example, the laser irradiation target surface (the light reflecting surface of the recording layer) in the reproducing process is 75 nm from the pre-groove layer on the substrate (thickness of the heat radiation part + thickness of the recording auxiliary layer + the recording layer). Thickness). On the other hand, in the magneto-optical recording medium of the first embodiment, the surface to be irradiated with the laser in the reproducing process (the light reflecting surface of the recording layer) is separated from the protective film as the pre-groove layer by 50 nm (thickness of the SiN dielectric layer). It is provided in the place where. As described above, the laser irradiation target surface in the first embodiment is provided closer to the pregroove shape designed to have desired dimensions than in the comparative example. Therefore, the laser irradiation surface of the magneto-optical recording medium of Example 1 has a sharp shape close to a pregroove shape with high dimensional accuracy, and that of the comparative example is more rounded. It is considered that the magneto-optical recording medium of Example 1 has a higher CNR than the magneto-optical recording medium of Comparative Example due to the difference in dimensional accuracy of the laser irradiation target surface.
[0084]
[About 3-track recording characteristics]
In three-track recording, there is an inherent problem of cross-erase that a recording signal on a central track is affected by laser irradiation during recording processing on a side track. The problem of cross-erasing becomes more pronounced as the recording laser power increases. From the graph of FIG. 12, it is found that the magneto-optical recording medium of Example 1 maintains a high CNR even when the recording laser power is increased, whereas the magneto-optical recording medium of Comparative Example has a recording laser power of 8. It turns out that CNR falls rapidly when it becomes 5 mW or more. Such a difference in the three-track recording characteristics is caused by the fact that the land-groove shape of the recording layer is more rounded in the magneto-optical recording medium of the comparative example than in the magneto-optical recording medium of the first embodiment. Is considered to be large.
[0085]
[About BER characteristics]
From the graph of FIG. 13, it can be seen that the magneto-optical recording medium of the second embodiment needs less current to flow through the magnetic recording head to achieve the same BER than the magneto-optical recording medium of the first embodiment. I understand. Also, it can be seen that when the current flowing through the magnetic recording head is the same, the magneto-optical recording medium of Example 2 can achieve a lower BER than the magneto-optical recording medium of Example 1. Such a difference in the BER characteristics indicates that the magneto-optical recording medium of Example 2 has higher sensitivity of the recording layer to the applied magnetic field than the magneto-optical recording medium of Example 1. The difference in the recording magnetic field sensitivity is caused by the presence or absence of the soft magnetic layer. The thickness required for the soft magnetic layer in order to improve the recording magnetic field sensitivity of the recording layer in the magneto-optical recording medium is relatively large, for example, 200 nm or more. If such a thick soft magnetic layer is provided between the pre-groove layer and the recording layer, the concavo-convex shape of the pre-groove layer virtually disappears, and an appropriate land-groove shape cannot be formed in the recording layer. In contrast, in the magneto-optical recording medium according to the second embodiment of the present invention, the soft magnetic layer is provided on the side opposite to the pre-groove layer (protective film) with respect to the recording layer. According to such a configuration, in the recording layer, an appropriate land groove shape corresponding to the pre-groove can be formed, and a soft magnetic layer having a sufficient thickness can be provided close to the recording layer. is there.
[0086]
As a summary of the above, the configuration of the present invention and its variations are listed below as supplementary notes.
[0087]
(Supplementary Note 1) a step of forming a resin material on the pregroove forming surface of the stamper having the pregroove forming surface;
By curing the resin material on the pre-groove forming surface, a pre-groove surface on which the concavo-convex shape on the pre-groove forming surface is transferred, and a light-transparent protective film having a flat surface opposite thereto A process for forming
A step of bonding the first substrate to the flat surface of the protective film via an adhesive having adhesiveness;
A step of separating the protective film and the stamper;
Forming a material film on the pre-groove surface of the protective film to form a material film structure including a magnetic part having a recording function and a reproduction function;
A step of bonding a second substrate to the material film structure;
An adhesiveness reducing step for reducing the adhesiveness of the adhesive,
A method for separating the protective film from the first substrate. A method for manufacturing a magneto-optical recording medium, comprising:
(Supplementary Note 2) The method for manufacturing a magneto-optical recording medium according to Supplementary Note 1, wherein in the adhesiveness decreasing step, the adhesiveness of the adhesive is reduced by irradiating or heating the adhesive.
(Supplementary note 3) The method for manufacturing a magneto-optical recording medium according to supplementary note 1 or 2, wherein the first substrate has optical transparency.
(Supplementary note 4) The method of manufacturing a magneto-optical recording medium according to any one of Supplementary notes 1 to 3, wherein the resin material includes an ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or a catalyst curable resin.
(Supplementary Note 5) A light-transmitting protective film having a pre-groove surface on which a pre-groove is formed and having a thickness of 10 to 40 μm;
A material film structure portion including a magnetic portion having a recording function and a reproduction function, and formed by depositing a material on a pre-groove surface of the protective film;
A magneto-optical recording medium having a laminated structure including: a substrate provided on a side opposite to the protective film with respect to the material film structure.
(Supplementary note 6) The magneto-optical recording medium according to supplementary note 5, wherein the thickness of the protective film is 10 to 20 µm.
(Supplementary note 7) The magneto-optical recording medium according to Supplementary note 5 or 6, wherein the material film structure unit includes a soft magnetic layer located between the magnetic unit and the substrate.
(Supplementary Note 8) The material film structure according to any one of Supplementary Notes 5 to 7, wherein the material film structure portion includes an enhance layer having a light transmitting property and in contact with the pre-groove surface, and the enhance layer has a thickness of 50 nm or more. 3. A magneto-optical recording medium according to claim 1.
(Supplementary note 9) The magneto-optical recording medium according to any one of Supplementary notes 5 to 8, wherein the magnetic unit has a multilayer magnetic structure for realizing MSR reproduction, MAMMOS reproduction, or DWDD reproduction.
[0088]
【The invention's effect】
According to the present invention, a front portion including a magnetic portion having a land groove shape having high dimensional accuracy and excellent flatness of an outer shape, and including a sufficiently thin light-transmitting protective film on a light incident side with respect to the magnetic portion. An illumination type magneto-optical recording medium can be obtained. Therefore, according to the present invention, it is possible to appropriately increase the recording density in the front illumination type magneto-optical recording medium.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial sectional view of a magneto-optical recording medium according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 shows a laminated configuration of the magneto-optical recording medium of FIG.
FIG. 3 shows some steps in a method for manufacturing the magneto-optical recording medium shown in FIG.
FIG. 4 shows a step that follows the step of FIG.
FIG. 5 shows a step that follows the step of FIG.
FIG. 6 is a partial cross-sectional view of a magneto-optical recording medium according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 7 shows a laminated configuration of the magneto-optical recording medium of FIG.
FIG. 8 illustrates a laminated configuration in an information track of the magneto-optical recording medium according to the first embodiment.
FIG. 9 illustrates a laminated configuration in an information track of a magneto-optical recording medium according to a comparative example.
FIG. 10 illustrates a laminated configuration in an information track of the magneto-optical recording medium according to the second embodiment.
FIG. 11 is a graph showing one-track recording characteristics of the magneto-optical recording media of Example 1 and Comparative Example.
FIG. 12 is another graph showing three-track recording characteristics of the magneto-optical recording media of Example 1 and Comparative Example.
FIG. 13 is a graph showing the dependence of the bit error rate on the recording magnetic field for the magneto-optical recording media of Example 1 and Example 2.
[Explanation of symbols]
X1, X2 magneto-optical recording medium
10 Protective film
10 'resin composition
10a Pre-groove surface
10b Flat surface
20, 20 'material film lamination part
21 Dielectric layer
22 Recording layer
27 Soft magnetic layer
30 adhesive
41 Stamper
41a Pre-groove formation surface
42 adhesive
43, S substrate

Claims (5)

プリグルーブ形成面を有するスタンパにおける当該プリグルーブ形成面上に、樹脂材料を成膜するための工程と、
前記プリグルーブ形成面上の前記樹脂材料を硬化させることにより、前記プリグルーブ形成面における凹凸形状が転写されたプリグルーブ面、および、これとは反対の平坦面、を有する光透過性の保護膜を形成するための工程と、
前記保護膜の前記平坦面に対し、粘着性を有する粘着材を介して第１基板を接合するための工程と、
前記保護膜と前記スタンパとを分離するための工程と、
前記保護膜における前記プリグルーブ面の上に材料を成膜することにより、記録機能および再生機能を担う磁性部を含む材料膜構造部を形成するための工程と、
前記材料膜構造部に対し、第２基板を接合するための工程と、
前記粘着材の前記粘着性を低下させるための粘着性低下工程と、
前記保護膜と前記第１基板とを分離するための工程と、を含むことを特徴とする、光磁気記録媒体の製造方法。A step of forming a resin material on the pregroove forming surface of the stamper having the pregroove forming surface,
By curing the resin material on the pre-groove forming surface, a pre-groove surface on which the concavo-convex shape on the pre-groove forming surface is transferred, and a light-transparent protective film having a flat surface opposite thereto A process for forming
A step of bonding the first substrate to the flat surface of the protective film via an adhesive having adhesiveness;
A step of separating the protective film and the stamper;
Forming a material film on the pre-groove surface of the protective film to form a material film structure including a magnetic part having a recording function and a reproduction function;
A step of bonding a second substrate to the material film structure;
An adhesiveness reducing step for reducing the adhesiveness of the adhesive,
A method for separating the protective film from the first substrate. A method for manufacturing a magneto-optical recording medium, comprising: 前記粘着性低下工程では、前記粘着材に対する光照射または加熱により、当該粘着材の粘着性を低下させる、請求項１に記載の光磁気記録媒体の製造方法。2. The method of manufacturing a magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein in the adhesiveness decreasing step, the adhesiveness of the adhesive is reduced by irradiating or heating the adhesive. 前記樹脂材料は、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、または触媒硬化性樹脂を含む、請求項１または２に記載の光磁気記録媒体の製造方法。The method according to claim 1, wherein the resin material includes a photo-curable resin, a thermosetting resin, or a catalyst-curable resin. プリグルーブが形成されたプリグルーブ面を有し、且つ、厚さが１０〜４０μｍである、光透過性の保護膜と、
記録機能および再生機能を担う磁性部を含み、且つ、前記保護膜のプリグルーブ面上に材料を成膜することにより形成された、材料膜構造部と、
前記材料膜構造部に対して前記保護膜とは反対の側に設けられた基板と、を含む積層構造を有することを特徴とする、光磁気記録媒体。A light-transmitting protective film having a pre-groove surface on which the pre-groove is formed, and having a thickness of 10 to 40 μm;
A material film structure portion including a magnetic portion having a recording function and a reproduction function, and formed by depositing a material on a pre-groove surface of the protective film;
A magneto-optical recording medium having a laminated structure including: a substrate provided on a side opposite to the protective film with respect to the material film structure. 前記材料膜構造部は、前記磁性部から前記基板までの間に位置する軟磁性膜を有する、請求項４に記載の光磁気記録媒体。The magneto-optical recording medium according to claim 4, wherein the material film structure has a soft magnetic film located between the magnetic part and the substrate.
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