JP2004251706A

JP2004251706A - Method and apparatus for inspecting light transmitting substrate

Info

Publication number: JP2004251706A
Application number: JP2003041248A
Authority: JP
Inventors: Masanori Hashimoto; 昌典橋本
Original assignee: SK ELECTRONICS KK; SK Electronics Co Ltd
Current assignee: SK ELECTRONICS KK; SK Electronics Co Ltd
Priority date: 2003-02-19
Filing date: 2003-02-19
Publication date: 2004-09-09

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for inspecting a light transmitting substrate, which effectively detects defects existing inside the substrate, while suppressing the detection of defects which exist on the surface of the substrate and can be erased. <P>SOLUTION: In the method, the light transmitting substrate 2 being an object to be inspected such as a glass substrate or the like is immersed into light transmitting liquid 1 having a light transmitting property, and inspecting light L approximately parallel to the surface of the substrate is projected into a side surface of the substrate, and the light transmitting substrate 2 is observed in the direction C of the substrate surface, thereby testing the presence or absence of the defects being popped up by the inspecting light L. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の光透過性を有する基板の内部欠陥を検査するための検査方法およびその検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル等に用いられるガラス基板等の光透過性を有する基板には、その製法上、気泡等の欠陥が発生することを回避するのは困難である。特に、基板内部に発生した欠陥は、透明性を低下させ、基板の品質を低下させることとなるため、近年、特に高品質を要求されるフラットディスプレイパネル用の基板には、検査選別を繰り返し行うことにより、透明性の高い良品を採用するのが現状である。
【０００３】
このような光透過性基板の検査方法としては、光透過性基板の側面（エッジ部分）からスリット光を導入し、欠陥で反射した光により当該欠陥を基板の表面から観察したり、光透過性基板の一方の表面から光を照射し、欠陥で反射した光により当該欠陥を基板の他の表面から観察したりする透過・反射法がよく用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平０６−１３８０４５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような透過・反射法においては、検出された欠陥が基板の表面に存在するか基板の内部に存在するかのいずれであるかを判別することができない問題点がある。基板内部の欠陥は消すことができず、このような基板は良品となり得ないが、基板表面の欠陥は、研磨処理で消滅可能なものであり、このような基板は良品となり得る。すなわち、従来の検査方法においては、良品となり得る基板に対しても不良品であると検出される場合があった。
【０００６】
また、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においては、表面の凹凸部分や、すりガラス部分も欠陥として検出されるため、本当の欠陥か判別できず、このような基板を検査することは大変困難であった。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するべくなされたもので、消滅可能な基板表面の欠陥の検出を抑制し、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことのできる光透過性基板の検査方法およびその検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光透過性基板の検査方法は、光透過性液体中に光透過性基板を浸漬させた状態で、前記光透過性基板の基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射し、前記光透過性基板を前記基板表面方向から観察するものである。
【０００９】
本発明に係る光透過性基板の検査方法においては、光透過性を有する光透過性液体中に検査対象であるガラス基板等の光透過性基板を浸漬させ、基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射する（いわゆるエッジライト式に検査光を入射する）。そして、光透過性基板を基板表面方向から観察して検査光によって浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００１０】
一般的に、光透過性基板と光透過性液体との屈折率の差は、光透過性基板と検査雰囲気（空気）との屈折率の差に比べて小さい。屈折率の差が小さいと入射した検査光が異なった媒質の境界（光透過性液体と光透過性基板との境界）へ到達したときに起こる屈折が抑制される。さらに、屈折率の差が小さいと入射した検査光が異なった媒質の境界（光透過性液体と光透過性基板との境界）へ到達したときに起こる反射も抑制される。したがって、表面に形成された欠陥（気泡等）が光透過性液体により満たされて、屈折および反射が抑制されることにより、検査光が当該欠陥において散乱することなく略直進することとなる。これにより、基板表面方向から観察したときに、基板表面にある欠陥が検出されることを抑制することができる。
【００１１】
一方、光透過性基板内部にある欠陥（気泡等）は、光透過性液体によって満たされないため、欠陥に進入した検査光は、屈折および反射し、基板表面方向からの観察によって、欠陥として検出される。
【００１２】
このように、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制する一方、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【００１４】
なお、光透過性液体は、光透過性を有する液体であれば、検査雰囲気（屈折率≒１）より屈折率が光透過性基板に近づくので選択可能である。例えば、ガラス基板（ガラスは、成分の違いにより種々の屈折率を有するものが存在するが例えば、屈折率＝１．５）に対して水（屈折率≒１．３３）を選択可能である。また、検査対象である光透過性基板によって、当該基板の屈折率に近似する液体を適宜選択することが好ましい。さらに、基板表面方向からの観察は、直接目視することによるものであってもよいし、基板観察用の装置を組み込んで用いてもよい。
【００１５】
また、本発明に係る光透過性基板の検査装置は、光透過性液体を入れるための容器と、前記容器内に光透過性基板を保持するための基板保持具と、前記光透過性基板の基板側面から検査光を入射するための光源とを具備し、前記検査光が、前記光透過性基板の基板表面に対して略平行に入射するものである。
【００１６】
本発明に係る光透過性基板の検査装置においては、容器に光透過性液体を満たし、その中に光透過性基板を浸漬させる。基板保持具は、光透過性液体に浸漬させた状態で光透過性基板を保持する。光源は、基板保持具に保持された光透過性基板の基板側面から検査光を基板表面に対して略平行に入射させる。そして、光透過性基板の基板表面方向から観察して検査光により浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００１７】
このように、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制することができる。したがって、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００１８】
好ましくは、前記容器は、光透過性を有する光透過部を少なくとも一部に有するように構成される。
【００１９】
この場合、容器外に光源を設け、光透過部を容器の検査光導入部として用い、容器内部に検査光を導入することができる。したがって、光源の防液処理が不要となり、装置がより容易に構成できる。
【００２０】
一方、光透過部を容器の側面または底面に設けることにより、当該容器の側面または底面からの観察が可能となる。特に、容器の側面に観察のための光透過部を設ける場合には、光透過性基板を縦方向（基板表面が容器底面に対して垂直な方向）に設置できるため、光透過性液体を容器に満たした状態であっても、当該液体の抵抗を最小限に抑えて短時間で容易に光透過性基板を出し入れすることができる。したがって、多数の光透過性基板に対して短時間で有効な検査を行うことができる。
【００２１】
なお、光透過部は、容器の一部のみに形成してもよいし、容器全体を光透過性を有する部材（例えば、透明樹脂等）により形成することとしてもよい。容器全体を光透過性を有する部材により形成する場合は、容器を容易に形成することができる。
【００２２】
好ましくは、前記光透過部は、拡大機能を有する観察部を少なくとも一部に有するように構成される。
【００２３】
この場合、観察のための光透過部（すなわち観察部）を凸レンズ形状等の拡大機能を有するように形成する。これにより、欠陥がより大きく表示されるため、微小な欠陥であっても容易かつ確実に検出することができる。特に、目視により観察する場合により効果的である。
【００２４】
なお、観察部をレンズ形状に形成するには、観察部における容器の外面に平凸レンズまたは平凸シリンドリカルレンズを貼着することにより形成してもよいし、観察部における容器自体の形状を容器外方向に凸の断面アーチ形状または容器外方向に凸のドーム形状に形成してもよい。容器自体の形状を上記のように形成する場合は、容器に光透過性液体を満たすことによって、当該光透過性液体が観察部の外形により矯正され、凸レンズの機能を発揮することができる。
【００２５】
容器全体を光透過性を有する部材により形成する場合には、容器を筒型に形成することとしてもよい。これにより、容器側面のいずれにおいてもレンズ形状が形成された観察部として容易に構成することができる。
【００２６】
好ましくは、前記容器は、光透過性容器であり、前記光透過部を除いた部分を遮光部材で遮光するように構成される。
【００２７】
容器全体を光透過性を有する部材により形成した光透過性容器とすることにより、光透過部を構成する場合は、観察部以外から外光が入射する場合がある。このように、検査光以外の光が容器内に入り込むと、微小な屈折光や反射光により検出される微小な欠陥を検出することが困難になる場合がある。そこで、光透過部を除いた部分を遮光部材で覆うことにより、外光の入射を最小限に抑制し、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００２８】
また、光源から光透過性基板に入射する検査光の光束の直径が光透過性基板の厚みよりも大きいと、検査光が当該基板外に漏れ、欠陥の検出が困難になる場合がある。このため、検査光の光束の直径が光透過性基板の厚み以下に設定する必要がある。容器外に光源を設けた場合は、前述のように、光源と光透過性基板との間に容器の検査光導入部が存在するため、当該検査光導入部を除いた容器の周囲を遮光部材で覆う（すなわち、遮光部材をスリット状に開口して検査光導入部とする）ことが好ましい。これにより、検査光以外の光の入射を最小限に抑制することができるとともに、スリット状の開口部の形状を検査対象の光透過性基板の厚さ、形状等に適宜合わせることにより、複数種類の厚み、形状等を有する光透過性基板においても検査光が当該基板外に漏れるのを防ぎ、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を説明する。
【００３０】
＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態に係る検査装置についての概略図である。図１（ａ）は検査装置の平面図を示し、図１（ｂ）は検査装置の側面図を示し、図１（ｃ）は検査装置の斜視図を示す。
【００３１】
本発明の第１実施形態に係る光透過性基板の検査装置は、図１に示すように、光透過性液体１を入れるための容器３と、前記容器３内に光透過性基板２を保持するための基板保持具４と、前記光透過性基板２の基板側面から検査光Ｌを入射するための光源５とを具備し、前記検査光Ｌが、前記光透過性基板２の基板表面に対して略平行に入射するものである。そして、本発明に係る光透過性基板２の検査方法として、上記条件の上で、前記光透過性基板２を前記基板表面方向Ｃから観察するものである。
【００３２】
図１に示すように、容器３に光透過性液体１を満たし、その中に光透過性基板２を浸漬させる。基板保持具４は、光透過性液体１に浸漬させた状態で光透過性基板２を保持する。光源５は、基板保持具４に保持された光透過性基板２の基板側面から検査光Ｌを基板表面に対して略平行に入射させる（いわゆるエッジライト式に検査光Ｌを入射する）。そして、光透過性基板２の基板表面方向Ｃから観察して検査光Ｌによって浮かび上がった欠陥の有無を検査する。
【００３３】
一般的に、光透過性基板２と光透過性液体１との屈折率の差は、光透過性基板２と検査雰囲気（空気）との屈折率の差に比べて小さい。これは、光が屈折率ｎ_１の媒質から屈折率ｎ_２の媒質に入射角θ_ｎ１で入射したときの屈折角θ_ｎ２の関係を示すスネルの法則（次式）から導かれる。これをもとに説明する。
【数１】

【００３４】
図２は光透過性基板の表面欠陥近傍における検査光の進み方を示す図である。図２における表面欠陥Ｄは、便宜上、断面半円形状としている。また、光透過性液体１の屈折率ｎ_１は、水の屈折率である１．３３を用い、光透過性基板２の屈折率ｎ_２は、ガラス基板として標準的な値である１．５を用いて計算している。
【００３５】
検査光Ｌが表面欠陥Ｄに入射されると屈折および／または反射する。表面欠陥Ｄが光透過性液体１で満たされていない場合は、図２の一点鎖線で示すような屈折光Ｍ_ａｉ，Ｍ_ｂｉ（ｉ＝１，２，…）を生じるが、表面欠陥Ｄが光透過性液体１で満たされることによって、屈折率の差が小さくなった場合、図２の実線で示す屈折光Ｌ_ａｉ，Ｌ_ｂｉ（ｉ＝１，２，…）のように、入射した検査光Ｌが異なった媒質の境界（光透過性液体１と光透過性基板２との境界）へ到達したときに起こる屈折が抑制される。
【００３６】
例えば、図２の光透過性基板２から表面欠陥Ｄの表面へ入射角１０°で入射した検査光Ｌについて、光透過性液体１が満たされていないときの屈折角は、１５．１０°（屈折光Ｍ_ａ１）であるのに対し、光透過性液体１が満たされているときの屈折角は、１１．２９°（屈折光Ｌ_ａ１）となり、屈折が抑制されている。屈折した光Ｍ_ａ１，Ｌ_ａ１は再び光透過性基板２に入射する際に再度屈折し、検査光Ｌに対してそれぞれ２５．１０°（屈折光Ｍ_ｂ１）および２１．２９°（屈折光Ｌ_ｂ１）屈折した光となる。
【００３７】
さらに、屈折率の差が小さいと入射した検査光Ｌが異なった媒質の境界（光透過性液体１と光透過性基板２との境界）へ到達したときに起こる反射も抑制される。これは、フレネルの反射法則より導かれ、反射率ｋをｐ偏光、ｓ偏光の二乗平均で表せば、次式のように示される。
【数２】

【００３８】
例えば、図２の光透過性基板２から表面欠陥Ｄの表面へ入射角１０°で入射した検査光Ｌについての反射光Ｒ_ａ１において、光透過性液体１が満たされていない場合、屈折角が上記より１５．１０°であることから、反射率ｋは、ｋ＝０．０４０（４．０％）となるのに対し、光透過性液体１が満たされている場合、屈折角が上記より１１．２９°であることから、反射率ｋは、ｋ＝０．００３６（０．３６％）となり、反射が抑制されている。
【００３９】
したがって、表面に形成された欠陥Ｄ（気泡等）が光透過性液体１により満たされて、屈折および反射が抑制されることにより、検査光Ｌが当該欠陥Ｄにおいて散乱することなく略直進することとなる。これにより、基板表面方向Ｃから観察したときに、基板表面にある欠陥Ｄが検出されることを抑制することができる。
【００４０】
一方、光透過性基板２の内部にある欠陥（気泡等）は、光透過性液体１によって満たされることがないため、欠陥に進入した検査光Ｌは、図２における屈折光Ｍ_ａｉ，Ｍ_ｂｉと同様に屈折および反射し、基板表面方向Ｃからの観察によって、欠陥として検出される。
【００４１】
このように、光透過性基板２を光透過性液体１に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板２の屈折率ｎ_２に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥Ｄにおける屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥Ｄの検出を抑制する一方、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００４２】
さらに、本実施形態によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【００４３】
なお、光透過性液体１は、光透過性を有する液体であれば、検査雰囲気（屈折率≒１．０）より屈折率ｎ_１が光透過性基板２に近づくので選択可能である。例えば、ガラス基板（ガラスは、成分の違いにより種々の屈折率を有するものが存在するが、例えば、本実施の形態で用いた屈折率ｎ_２＝１．５）に対して本実施の形態で用いた水（屈折率ｎ_１≒１．３３）を選択可能である。また、検査対象である光透過性基板２によって、当該基板の屈折率ｎ_２に近似する液体を適宜選択することが好ましい。さらに、基板表面方向Ｃからの観察は、直接目視することによるものであってもよいし、基板観察用の装置を組み込んで用いてもよい。また、光源５は、基板側面のいずれか一方向から照射させるものであってもよいし、対向する両側から照射させるものであってもよい。検査対象である光透過性基板２の表面面積が大きくなると検査光Ｌの減衰が大きくなるおそれがあるため、その場合は、複数方向から検査光Ｌを照射させるのが好ましい。
【００４４】
＜第２実施形態＞
図３は本発明の第２実施形態に係る検査装置についての概略図である。図３（ａ）は検査装置の平面図を示し、図３（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
第２実施形態が第１実施形態と異なるのは、前記容器３は、光透過性を有する光透過部を少なくとも一部に有するように構成し、容器３の外側に光源５を設けることである。
【００４６】
この場合、図３（ｂ）に示すように、容器３下に光源５が収容可能な土台７を設け、容器３の外側に光源５を設け、光透過部を容器３の検査光導入部として用い、容器３内部に検査光Ｌを導入することができる。したがって、光源５の防液処理が不要となり、装置がより容易に構成できる。
【００４７】
＜第３実施形態＞
図４は本発明の第３実施形態に係る検査装置についての概略図である。図４（ａ）は検査装置の平面図を示し、図４（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第２実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００４８】
第３実施形態が第２実施形態と異なるのは、前記光透過部を前記容器３の側面または底面に設けるように構成し、前記側面または底面から観察することである。
【００４９】
これにより、当該容器３の側面または底面からの観察が可能となる。特に、容器３の側面に観察のための光透過部を設ける場合には、光透過性基板２を縦方向（基板表面が容器底面に対して垂直な方向）に設置できるため、光透過性液体１を容器３に満たした状態であっても、当該液体の抵抗を最小限に抑えて短時間で容易に光透過性基板２を出し入れすることができる。したがって、多数の光透過性基板２に対して短時間で有効な検査を行うことができる。
【００５０】
なお、第２実施形態および第３実施形態における光透過部は、容器３の一部のみに形成してもよいし、容器３全体を光透過性を有する部材（例えば、透明樹脂等）により形成することとしてもよい。容器３全体を光透過性を有する部材により形成する場合は、容器３を容易に形成することができる。
【００５１】
＜第４実施形態＞
図５は本発明の第４実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。第２、第３実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５２】
第４実施形態が第２、第３実施形態と異なるのは、前記光透過部は、拡大機能を有する観察部３ａを少なくとも一部に有するように構成されることである。
【００５３】
この場合、図５に示すように、観察部３ａにおける容器３の外面に平凸レンズまたは平凸シリンドリカルレンズを貼着することにより、観察のための光透過部（すなわち観察部３ａ）をレンズ形状に形成する。これにより、欠陥がより大きく表示されるため、微小な欠陥であっても容易かつ確実に検出することができる。特に、目視により観察する場合により効果的である。
【００５４】
＜第５実施形態＞
図６は本発明の第５実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。第４実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５５】
第５実施形態が第４実施形態と異なるのは、前記観察部３ａにおける容器３自体の形状が容器外方向に凸の断面アーチ形状または容器外方向に凸のドーム形状に形成されることである。
【００５６】
この場合、図６に示すように、容器３に光透過性液体１を満たすことによって、当該光透過性液体１が観察部３ａの外形により矯正される。したがって、観察部３ａが容器３に満たされた光透過性液体１によって凸レンズの機能を発揮することができる。
【００５７】
＜第６実施形態＞
図７は本発明の第６実施形態に係る検査装置についての概略図である。図７（ａ）は検査装置の平面図を示し、図７（ｂ）は検査装置の側面図を示す。第５実施形態と同様の構成については、同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５８】
第６実施形態が第５実施形態と異なるのは、容器３全体が光透過性を有する部材により形成され、容器３が筒型に形成されることである。
【００５９】
この場合、図７に示されるように、容器３の側面のいずれにおいてもレンズ形状が形成された観察部３ａとして容易に構成することができる。
【００６０】
ここで、本実施形態においては、前記光透過部を除いた部分を遮光部材６で遮光するように構成される。図８は図７の検査装置についての遮光部材の取り付け例を示す概念図である。
【００６１】
この場合、図８に示すように、光源５から光透過性基板２に入射する検査光Ｌの光束の直径が光透過性基板２の厚みよりも大きいと、検査光Ｌが当該基板外に漏れ、欠陥の検出が困難になる場合がある。このため、検査光Ｌの光束の直径が光透過性基板２の厚み以下に設定する必要がある。容器３外の土台７に光源５を設けた場合は、前述のように、光源５と光透過性基板２との間に容器３の検査光導入部が存在するため、当該検査光導入部を除いた容器の周囲を遮光部材６で覆う（すなわち、遮光部材６にスリット状の開口部６を設ける）ことが好ましい。これにより、検査光Ｌ以外の光の入射を最小限に抑制することができるとともに、スリット状の開口部６の形状を検査対象の光透過性基板２の厚さ、形状等に適宜合わせることにより、複数種類の厚み、形状等を有する光透過性基板２においても検査光Ｌが当該基板外に漏れるのを防ぎ、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００６２】
また、容器３全体を光透過性を有する部材により形成した光透過性容器とすることにより、光透過部を構成する場合は、観察部３ａや検査光導入部以外から外光が入射する場合がある。
【００６３】
検査光Ｌ以外の光が容器３内に入り込むと微小な屈折光や反射光により検出される微小な欠陥を検出することが困難になる場合がある。そこで、光透過部を除いた部分を遮光部材６で覆うことにより、外光の入射を最小限に抑制し、微小な欠陥の検出であってもより容易かつ確実に行うことができる。
【００６４】
【発明の効果】
本発明に係る光透過性基板の検査方法および検査装置によれば、光透過性基板を光透過性液体に浸漬し、基板表面にある欠陥を光透過性基板の屈折率に近い媒質で満たすことにより、基板表面にある欠陥における屈折および反射を抑制し、基板表面の欠陥の検出を抑制することができる。したがって、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことができる。
【００６５】
さらに、本発明によれば、表面に凹凸を有する基板や、すりガラス状の基板においても、表面の凹凸部分や、すりガラス部分が欠陥として検出されることが抑制されるため、このような基板の内部にある欠陥の検査も有効に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図２】光透過性基板の表面欠陥近傍における検査光の進み方を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る検査装置についての概略平面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る検査装置についての概略図である。
【図８】図７の検査装置についての遮光部材の取り付け例を示す概念図である。
【符号の説明】
１光透過性液体
２光透過性基板
３容器
４基板保持具
５光源
６遮光部材
３ａ観察部
Ｃ基板表面方向
Ｌ検査光[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for inspecting an internal defect of a light-transmitting substrate such as a glass substrate.
[0002]
[Prior art]
Due to its manufacturing method, it is difficult to avoid the occurrence of defects such as bubbles on a substrate having light transmittance such as a glass substrate used for a liquid crystal display panel or the like. In particular, defects generated inside the substrate reduce transparency and reduce the quality of the substrate. In recent years, in particular, for a flat display panel substrate particularly required for high quality, inspection and sorting are repeatedly performed. As a result, the current situation is to adopt highly transparent good products.
[0003]
As a method of inspecting such a light-transmitting substrate, slit light is introduced from the side surface (edge portion) of the light-transmitting substrate, and the defect is observed from the surface of the substrate by light reflected by the defect. A transmission / reflection method of irradiating light from one surface of a substrate and observing the defect from another surface of the substrate by light reflected by the defect is often used (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP 06-138045 A [0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a transmission / reflection method, there is a problem that it cannot be determined whether the detected defect exists on the surface of the substrate or inside the substrate. Defects inside the substrate cannot be eliminated, and such a substrate cannot be non-defective, but defects on the substrate surface can be eliminated by polishing, and such a substrate can be non-defective. That is, in the conventional inspection method, there is a case where even a substrate that can be a good product is detected as a defective product.
[0006]
In addition, in the case of a substrate having irregularities on the surface or a frosted glass substrate, the irregularities on the surface or the frosted glass portion are also detected as defects, so it is impossible to determine whether the defect is a real defect. It was very difficult.
[0007]
The present invention has been made in order to solve the problems of the related art, and suppresses the detection of a defect on the surface of a substrate that can be eliminated, and a light-transmitting substrate capable of effectively detecting a defect inside the substrate. An object of the present invention is to provide an inspection method and an inspection device thereof.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The method for inspecting a light-transmissive substrate according to the present invention includes an inspection light substantially parallel to a surface of the light-transmissive substrate from a side surface of the substrate in a state where the light-transmissive substrate is immersed in a light-transmissive liquid. And observes the light transmitting substrate from the substrate surface direction.
[0009]
In the method for inspecting a light-transmitting substrate according to the present invention, a light-transmitting substrate such as a glass substrate to be inspected is immersed in a light-transmitting liquid having light transmissivity, and the substrate surface is applied from the side surface of the substrate to the substrate surface A substantially parallel inspection light is incident (the inspection light is incident in a so-called edge light type). Then, the light transmissive substrate is observed from the substrate surface direction, and the presence or absence of a defect raised by the inspection light is inspected.
[0010]
Generally, the difference in the refractive index between the light transmitting substrate and the light transmitting liquid is smaller than the difference in the refractive index between the light transmitting substrate and the inspection atmosphere (air). If the difference in the refractive index is small, refraction that occurs when the incident inspection light reaches the boundary of a different medium (the boundary between the light transmitting liquid and the light transmitting substrate) is suppressed. Furthermore, if the difference in the refractive index is small, the reflection that occurs when the incident inspection light reaches the boundary of a different medium (the boundary between the light transmitting liquid and the light transmitting substrate) is also suppressed. Therefore, the defect (bubble or the like) formed on the surface is filled with the light transmitting liquid, and refraction and reflection are suppressed, so that the inspection light travels substantially straight without scattering at the defect. Thereby, it is possible to suppress detection of a defect on the substrate surface when observed from the substrate surface direction.
[0011]
On the other hand, defects (bubbles, etc.) inside the light-transmitting substrate are not filled with the light-transmitting liquid, so that the inspection light that has entered the defects is refracted and reflected, and is detected as a defect by observation from the substrate surface direction. You.
[0012]
Thus, by immersing the light-transmitting substrate in the light-transmitting liquid and filling the defect on the substrate surface with a medium close to the refractive index of the light-transmitting substrate, the refraction and reflection at the defect on the substrate surface are suppressed. In addition, it is possible to effectively detect defects inside the substrate while suppressing the detection of defects on the substrate surface.
[0013]
Furthermore, according to the present invention, even in a substrate having irregularities on the surface or a frosted glass substrate, the irregularities on the surface or the frosted glass portion are suppressed from being detected as defects. Inspection of defects in the above can also be performed effectively.
[0014]
The light transmissive liquid can be selected as long as it has a light transmissive property, since the refractive index is closer to the light transmissive substrate than the inspection atmosphere (refractive index ≒ 1). For example, water (refractive index ≒ 1.33) can be selected for a glass substrate (glass has various refractive indices depending on the components, but for example, refractive index = 1.5). Further, it is preferable to appropriately select a liquid close to the refractive index of the substrate depending on the light-transmitting substrate to be inspected. Further, the observation from the substrate surface direction may be based on direct visual observation, or may be performed by incorporating a device for substrate observation.
[0015]
In addition, the light-transmissive substrate inspection apparatus according to the present invention includes a container for storing a light-transmissive liquid, a substrate holder for holding the light-transmissive substrate in the container, and a light-transmissive substrate. A light source for receiving inspection light from a side surface of the substrate, wherein the inspection light is incident substantially parallel to a substrate surface of the light-transmitting substrate.
[0016]
In the inspection apparatus for a light-transmitting substrate according to the present invention, the container is filled with the light-transmitting liquid, and the light-transmitting substrate is immersed therein. The substrate holder holds the light transmissive substrate while being immersed in the light transmissive liquid. The light source causes inspection light to be incident substantially parallel to the substrate surface from the side surface of the light-transmitting substrate held by the substrate holder. Then, by observing from the substrate surface direction of the light transmitting substrate, the presence or absence of a defect raised by the inspection light is inspected.
[0017]
Thus, by immersing the light-transmitting substrate in the light-transmitting liquid and filling the defect on the substrate surface with a medium close to the refractive index of the light-transmitting substrate, the refraction and reflection at the defect on the substrate surface are suppressed. In addition, detection of defects on the substrate surface can be suppressed. Therefore, it is possible to effectively detect a defect inside the substrate.
[0018]
Preferably, the container is configured to have, at least in part, a light transmitting portion having light transmitting properties.
[0019]
In this case, a light source can be provided outside the container, and the light transmission unit can be used as an inspection light introducing unit for the container, and the inspection light can be introduced into the container. Therefore, liquid-proof treatment of the light source is not required, and the apparatus can be configured more easily.
[0020]
On the other hand, by providing the light transmitting portion on the side surface or the bottom surface of the container, observation from the side surface or the bottom surface of the container becomes possible. In particular, when a light-transmitting portion for observation is provided on the side surface of the container, the light-transmitting substrate can be set in a vertical direction (a direction in which the substrate surface is perpendicular to the bottom surface of the container). , The resistance of the liquid can be minimized and the light-transmitting substrate can be easily taken in and out in a short time. Therefore, effective inspection can be performed on a large number of light-transmitting substrates in a short time.
[0021]
The light transmitting portion may be formed only in a part of the container, or the entire container may be formed of a member having light transmissivity (for example, a transparent resin or the like). When the entire container is formed of a member having optical transparency, the container can be easily formed.
[0022]
Preferably, the light transmission unit is configured to have at least a part of an observation unit having a magnification function.
[0023]
In this case, a light transmitting portion for observation (that is, an observation portion) is formed so as to have an enlarging function such as a convex lens shape. As a result, the defect is displayed larger, so that even a minute defect can be detected easily and reliably. In particular, it is more effective for visual observation.
[0024]
In addition, in order to form the observation portion in a lens shape, the observation portion may be formed by attaching a plano-convex lens or a plano-convex cylindrical lens to the outer surface of the container, or the shape of the container itself in the observation portion may be set outside the container. It may be formed in a cross-sectional arch shape convex in the direction or a dome shape convex in the outer direction of the container. When the shape of the container itself is formed as described above, by filling the container with the light transmissive liquid, the light transmissive liquid is corrected by the outer shape of the observation unit, and the function of the convex lens can be exhibited.
[0025]
When the entire container is formed of a member having light transmissivity, the container may be formed in a cylindrical shape. Thereby, it can be easily configured as an observation section in which a lens shape is formed on any side of the container.
[0026]
Preferably, the container is a light transmissive container, and is configured to block light except for the light transmitting portion with a light shielding member.
[0027]
When the entire container is a light transmissive container formed of a light transmissive member to form a light transmissive part, external light may enter from other than the observation part. As described above, when light other than the inspection light enters the container, it may be difficult to detect a minute defect detected by minute refracted light or reflected light. Therefore, by covering the portion excluding the light transmitting portion with the light blocking member, the incidence of external light can be suppressed to a minimum, and the detection of minute defects can be performed more easily and reliably.
[0028]
If the diameter of the light beam of the inspection light incident on the light-transmitting substrate from the light source is larger than the thickness of the light-transmitting substrate, the inspection light may leak out of the substrate, making it difficult to detect a defect. Therefore, it is necessary to set the diameter of the light beam of the inspection light to be equal to or less than the thickness of the light transmitting substrate. When the light source is provided outside the container, as described above, since the inspection light introducing portion of the container exists between the light source and the light-transmitting substrate, a light shielding member surrounds the container except for the inspection light introducing portion. (That is, the light-shielding member is opened in a slit shape to serve as the inspection light introducing portion). This makes it possible to minimize the incidence of light other than the inspection light, and to appropriately adjust the shape of the slit-shaped opening to the thickness, shape, etc. of the light-transmitting substrate to be inspected. Inspection light can be prevented from leaking out of the substrate even in a light-transmitting substrate having a thickness, a shape, and the like, and even a minute defect can be detected more easily and reliably.
[0029]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0030]
<First embodiment>
FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view of the inspection apparatus, FIG. 1B is a side view of the inspection apparatus, and FIG. 1C is a perspective view of the inspection apparatus.
[0031]
As shown in FIG. 1, a light transmitting substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention holds a container 3 for containing a light transmitting liquid 1 and a light transmitting substrate 2 in the container 3. And a light source 5 for inputting inspection light L from a side surface of the substrate of the light-transmitting substrate 2, and the inspection light L is applied to the surface of the substrate of the light-transmitting substrate 2. The incident light is substantially parallel to the light. As a method for inspecting the light-transmitting substrate 2 according to the present invention, the light-transmitting substrate 2 is observed from the substrate surface direction C under the above conditions.
[0032]
As shown in FIG. 1, a container 3 is filled with a light-transmitting liquid 1 and a light-transmitting substrate 2 is immersed therein. The substrate holder 4 holds the light-transmitting substrate 2 while being immersed in the light-transmitting liquid 1. The light source 5 causes the inspection light L to be incident on the substrate surface of the light transmitting substrate 2 held by the substrate holder 4 substantially parallel to the substrate surface (so-called edge light type inspection light L is incident). Then, by observing from the substrate surface direction C of the light transmissive substrate 2, the presence or absence of a defect raised by the inspection light L is inspected.
[0033]
Generally, the difference in the refractive index between the light transmitting substrate 2 and the light transmitting liquid 1 is smaller than the difference in the refractive index between the light transmitting substrate 2 and the inspection atmosphere (air). This is derived from Snell's law (the following equation) showing the relationship of the refraction angle θ _n2 when light is incident from the medium having the refractive index n _{1 to} the medium having the refractive index n _{2 at} the incident angle θ _n1 . Explanation will be made based on this.
(Equation 1)

[0034]
FIG. 2 is a diagram showing how the inspection light travels in the vicinity of the surface defect of the light transmitting substrate. The surface defect D in FIG. 2 has a semicircular cross section for convenience. The refractive index n ₁ of the light-transmissive liquid 1, using 1.33 is the refractive index of water, the refractive index n ₂ of the light-transmitting substrate 2 is a standard value as a glass substrate 1.5 Is calculated using
[0035]
When the inspection light L is incident on the surface defect D, it is refracted and / or reflected. When the surface defect D is not filled with the light transmissive liquid 1, refracted light M _ai , M _bi (i = 1, 2,...) As shown by a dashed line in FIG. When the difference in the refractive index is reduced by being filled with the light transmissive liquid 1, the incident inspection is performed as shown by the refracted lights L _ai and L _bi (i = 1, 2,...) Indicated by the solid lines in FIG. Refraction that occurs when the light L reaches a boundary between different media (a boundary between the light transmitting liquid 1 and the light transmitting substrate 2) is suppressed.
[0036]
For example, with respect to the inspection light L incident on the surface of the surface defect D from the light transmissive substrate 2 at an incident angle of 10 ° in FIG. 2, the refraction angle when the light transmissive liquid 1 is not filled is 15.10 ° ( In contrast to the refracted light M _a1 ), the refraction angle when the light transmissive liquid 1 is filled is 11.29 ° (refracted light L _a1 ), and refraction is suppressed. Light _M _{a1, L a1} refracted is refracted again when it enters again to the light transmissive substrate 2, respectively 25.10 ° with respect to the inspection light L (refracted light _{M b1)} and 21.29 ° (refracted light L _b1 ) Refracted light.
[0037]
Further, when the difference in the refractive index is small, the reflection that occurs when the incident inspection light L reaches the boundary between the different media (the boundary between the light transmitting liquid 1 and the light transmitting substrate 2) is also suppressed. This is derived from Fresnel's law of reflection. If the reflectance k is represented by the root mean square of p-polarized light and s-polarized light, it is expressed by the following equation.
(Equation 2)

[0038]
For example, in the reflected light _Ra1 of the inspection light L incident on the surface of the surface defect D from the light-transmitting substrate 2 at an incident angle of 10 ° in FIG. Since it is 15.10 ° from the above, the reflectance k becomes k = 0.040 (4.0%), whereas when the light transmitting liquid 1 is filled, the refraction angle becomes higher than the above. Since it is 11.29 °, the reflectance k is k = 0.0036 (0.36%), and the reflection is suppressed.
[0039]
Therefore, the defect D (bubble etc.) formed on the surface is filled with the light transmissive liquid 1 and refraction and reflection are suppressed, so that the inspection light L travels substantially straight without scattering at the defect D. It becomes. Thereby, when observed from the substrate surface direction C, the detection of the defect D on the substrate surface can be suppressed.
[0040]
On the other hand, defects (bubbles and the like) inside the light transmissive substrate 2 are not filled with the light transmissive liquid 1, so that the inspection light L that has entered the defects is refracted light M _ai , M _bi in FIG. And is detected as a defect by observation from the substrate surface direction C.
[0041]
Thus, the light-transmitting substrate 2 was immersed in a light transmissive liquid 1, by satisfying the defects in the substrate surface with a medium close to the refractive index n ₂ of the light-transmitting substrate 2, in the defect D in the substrate surface While suppressing refraction and reflection and suppressing the detection of the defect D on the substrate surface, it is possible to effectively detect the defect inside the substrate.
[0042]
Furthermore, according to this embodiment, even in a substrate having irregularities on the surface or a frosted glass substrate, the unevenness of the surface or the frosted glass portion is suppressed from being detected as a defect. Inspection of internal defects can also be performed effectively.
[0043]
The light transmissive liquid 1 can be selected as long as it is a liquid having light transmissivity, since the refractive index n ₁ approaches the light transmissive substrate 2 from the inspection atmosphere (refractive index ≒ 1.0). For example, in the present embodiment, a glass substrate (a glass has various refractive indexes depending on a difference in components, for example, a refractive index n ₂ = 1.5 used in the present embodiment) is used. The used water (refractive index n ₁ ≒ 1.33) can be selected. Further, the light transmissive substrate 2 to be examined, it is preferable to appropriately select a liquid that approximates the refractive index n ₂ of the substrate. Further, the observation from the substrate surface direction C may be based on direct visual observation, or may be performed by incorporating a device for substrate observation. Further, the light source 5 may emit light from any one side of the substrate side, or may emit light from both opposite sides. If the surface area of the light-transmitting substrate 2 to be inspected increases, the attenuation of the inspection light L may increase. In this case, it is preferable to irradiate the inspection light L from a plurality of directions.
[0044]
<Second embodiment>
FIG. 3 is a schematic view of an inspection device according to a second embodiment of the present invention. FIG. 3A shows a plan view of the inspection apparatus, and FIG. 3B shows a side view of the inspection apparatus. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0045]
The second embodiment is different from the first embodiment in that the container 3 is configured to have at least a light transmitting portion having a light transmitting property, and the light source 5 is provided outside the container 3. .
[0046]
In this case, as shown in FIG. 3 (b), a base 7 capable of accommodating the light source 5 is provided below the container 3, the light source 5 is provided outside the container 3, and the light transmitting portion is used as an inspection light introducing portion of the container 3. The inspection light L can be introduced into the container 3 using the inspection light L. Therefore, the liquid-proof treatment of the light source 5 becomes unnecessary, and the apparatus can be configured more easily.
[0047]
<Third embodiment>
FIG. 4 is a schematic diagram of an inspection device according to a third embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a plan view of the inspection apparatus, and FIG. 4B shows a side view of the inspection apparatus. The same components as those in the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0048]
The third embodiment is different from the second embodiment in that the light transmitting portion is configured to be provided on the side surface or the bottom surface of the container 3 and is observed from the side surface or the bottom surface.
[0049]
Thereby, observation from the side surface or the bottom surface of the container 3 becomes possible. In particular, when a light-transmitting portion for observation is provided on the side surface of the container 3, the light-transmitting substrate 2 can be installed in a vertical direction (a direction in which the substrate surface is perpendicular to the container bottom surface). Even when 1 is filled in the container 3, the light-transmitting substrate 2 can be easily taken in and out in a short time while minimizing the resistance of the liquid. Therefore, effective inspection can be performed on a large number of light-transmitting substrates 2 in a short time.
[0050]
The light transmitting portion in the second embodiment and the third embodiment may be formed only in a part of the container 3 or the entire container 3 is formed of a member having light transmissivity (for example, a transparent resin or the like). You may do it. When the entire container 3 is formed of a member having light transmissivity, the container 3 can be easily formed.
[0051]
<Fourth embodiment>
FIG. 5 is a schematic plan view of an inspection device according to a fourth embodiment of the present invention. The same components as those in the second and third embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0052]
The fourth embodiment is different from the second and third embodiments in that the light transmitting unit is configured to have at least a part of the observation unit 3a having an enlarging function.
[0053]
In this case, as shown in FIG. 5, a plano-convex lens or a plano-convex cylindrical lens is adhered to the outer surface of the container 3 in the observation section 3a, so that the light transmitting section for observation (that is, the observation section 3a) has a lens shape. Form. As a result, the defect is displayed larger, so that even a minute defect can be detected easily and reliably. In particular, it is more effective for visual observation.
[0054]
<Fifth embodiment>
FIG. 6 is a schematic plan view of an inspection device according to a fifth embodiment of the present invention. The same components as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0055]
The fifth embodiment differs from the fourth embodiment in that the shape of the container 3 itself in the observation section 3a is formed in a cross-sectional arch shape projecting outward in the container or a dome shape projecting outward in the container. .
[0056]
In this case, as shown in FIG. 6, by filling the container 3 with the light transmitting liquid 1, the light transmitting liquid 1 is corrected by the outer shape of the observation unit 3a. Therefore, the function of the convex lens can be exhibited by the light transmissive liquid 1 in which the observation unit 3 a is filled in the container 3.
[0057]
<Sixth embodiment>
FIG. 7 is a schematic diagram of an inspection device according to a sixth embodiment of the present invention. FIG. 7A shows a plan view of the inspection apparatus, and FIG. 7B shows a side view of the inspection apparatus. The same components as those in the fifth embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[0058]
The sixth embodiment is different from the fifth embodiment in that the entire container 3 is formed of a member having optical transparency, and the container 3 is formed in a cylindrical shape.
[0059]
In this case, as shown in FIG. 7, it is possible to easily configure the observation section 3a in which the lens shape is formed on any of the side surfaces of the container 3.
[0060]
Here, in the present embodiment, a portion other than the light transmitting portion is configured to be shielded by the light shielding member 6. FIG. 8 is a conceptual diagram showing an example of attaching a light shielding member to the inspection device of FIG.
[0061]
In this case, as shown in FIG. 8, when the diameter of the light beam of the inspection light L incident on the light transmitting substrate 2 from the light source 5 is larger than the thickness of the light transmitting substrate 2, the inspection light L leaks out of the substrate. In some cases, it is difficult to detect a defect. Therefore, it is necessary to set the diameter of the light beam of the inspection light L to be equal to or less than the thickness of the light transmissive substrate 2. When the light source 5 is provided on the base 7 outside the container 3, as described above, the inspection light introduction unit of the container 3 exists between the light source 5 and the light transmissive substrate 2. It is preferable that the periphery of the removed container is covered with a light shielding member 6 (that is, a slit-shaped opening 6 is provided in the light shielding member 6). This makes it possible to minimize the incidence of light other than the inspection light L, and to appropriately adjust the shape of the slit-shaped opening 6 to the thickness, shape, and the like of the light-transmitting substrate 2 to be inspected. In addition, the inspection light L is prevented from leaking out of the substrate even in the light transmissive substrate 2 having a plurality of types of thicknesses, shapes, and the like, so that even a minute defect can be detected more easily and reliably.
[0062]
When the light transmitting portion is formed by forming the entire container 3 as a light transmitting container formed of a member having light transmitting properties, external light may enter from portions other than the observation portion 3a and the inspection light introducing portion. is there.
[0063]
If light other than the inspection light L enters the container 3, it may be difficult to detect a minute defect detected by minute refracted light or reflected light. Therefore, by covering the portion excluding the light transmitting portion with the light shielding member 6, the incidence of external light can be suppressed to a minimum, and the detection of minute defects can be performed more easily and reliably.
[0064]
【The invention's effect】
According to the method and the apparatus for inspecting a light-transmitting substrate according to the present invention, the light-transmitting substrate is immersed in the light-transmitting liquid, and the defect on the substrate surface is filled with a medium close to the refractive index of the light-transmitting substrate. Thereby, refraction and reflection of defects on the substrate surface can be suppressed, and detection of defects on the substrate surface can be suppressed. Therefore, it is possible to effectively detect a defect inside the substrate.
[0065]
Further, according to the present invention, even in a substrate having a surface having irregularities or a ground glass-like substrate, it is suppressed that a surface irregularity portion or a ground glass portion is detected as a defect. Inspection of defects in the above can also be performed effectively.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing how an inspection light travels in the vicinity of a surface defect of a light transmitting substrate.
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an inspection device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic view of an inspection device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic plan view of an inspection device according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic plan view of an inspection device according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating an inspection device according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a conceptual diagram showing an example of attaching a light shielding member to the inspection device of FIG. 7;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light transmissive liquid 2 Light transmissive substrate 3 Container 4 Substrate holder 5 Light source 6 Light shielding member 3a Observation part C Substrate surface direction L Inspection light

Claims

In a state where the light-transmitting substrate is immersed in the light-transmitting liquid, inspection light substantially parallel to the substrate surface is incident on the substrate surface of the light-transmitting substrate, and the light-transmitting substrate is placed on the substrate surface. A method for inspecting a light-transmitting substrate, comprising observing from a direction.

A container for containing a light-transmissive liquid,
A substrate holder for holding a light-transmissive substrate in the container,
A light source for entering inspection light from the substrate side surface of the light transmissive substrate,
The inspection device for an optically transparent substrate, wherein the inspection light is incident substantially parallel to a substrate surface of the optically transparent substrate.

The inspection apparatus for a light-transmitting substrate according to claim 2, wherein the container has a light-transmitting portion having a light-transmitting property in at least a part thereof.

The inspection apparatus for a light-transmitting substrate according to claim 3, wherein the light-transmitting part has an observation part having an enlarging function in at least a part thereof.

The inspection apparatus for a light-transmitting substrate according to claim 3, wherein the container is a light-transmitting container, and a portion excluding the light-transmitting portion is shielded by a light-shielding member.