JP2004243775A - Screen printing method, method for manufacturing ceramic wiring substrate, and mask for screen printing - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To hold a reduction in the tension of a screen mask caused by repeated use at a proper value with a simple operation without causing the structure complicate, to enhance a printing precision, and to prolong the service lifetime of the screen mask. <P>SOLUTION: Frame side parts 3, 4 constituting a mask frame 2 are elastically deformed externally. A printing mask 1, which can adjust the tension of the stuck screen mask 7, is used. The adjustment is executed by the following way. A screw member 9 is arranged between the opposing frame side parts 3, 4 constituting the mask frame 2 in a propping-up manner. The mutual interval between the frame side parts 3, 4 is widened by the rotation of a nut 16 for adjusting. When the tension of the screen mask 7 is reduced, the nut 16 for adjusting is rotated at a proper amount and the reduced printing pattern part P at the central part of the mask is elongated together with the frame. As a result, the tension is held at a proper value. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、スクリーン印刷方法及びセラミック製配線基板の製造方法、並びにこれらの方法に使用するスクリーン印刷用マスクに関する。   The present invention relates to a screen printing method, a method for manufacturing a ceramic wiring board, and a screen printing mask used in these methods.

セラミック製配線基板は、配線層形成用に、タングステン等の高融点金属からなるメタライズインク(メタライズペーストともいわれる)が印刷されたセラミックグリーンシートを積層、圧着して、焼成することで形成される。この場合、セラミックグリーンシートは、一度に多数の配線基板が得られる大きさを有するものが使用され、焼成後に各配線基板単位に分割されるのが普通である。ところで、このようなセラミックグリーンシートへのメタライズインク(以下、単にインクとも言う)の印刷は、従来よりスクリーン印刷法にて行われている。スクリーン印刷では、図8に示したように、平坦な印刷台100の上に被印刷物たるセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートとも言う)Gを位置決めして載置し、その上に、スクリーンマスク(版)7が張り付けられたマスク枠2を位置決めして重ねる。そして、スクリーンマスク7上にのせたインク105をスキージ106でかき、或いは、押付けるようにし、グリーンシートGの表面にインクを転移し、所定のパターンの印刷を行っている。   The ceramic wiring substrate is formed by laminating, pressing, and firing ceramic green sheets on which metallized ink (also referred to as metallized paste) made of a refractory metal such as tungsten is formed for forming a wiring layer. In this case, a ceramic green sheet having a size that allows a large number of wiring boards to be obtained at one time is used, and is usually divided into each wiring board unit after firing. By the way, printing of such a metallized ink (hereinafter, also simply referred to as ink) on such a ceramic green sheet has been conventionally performed by a screen printing method. In the screen printing, as shown in FIG. 8, a ceramic green sheet (hereinafter, also referred to as a green sheet) G as a printing substrate is positioned and placed on a flat printing table 100, and a screen mask ( The mask frame 2 to which the plate 7 is attached is positioned and overlapped. Then, the ink 105 placed on the screen mask 7 is scraped or pressed with a squeegee 106, and the ink is transferred to the surface of the green sheet G to print a predetermined pattern.

図9は、このようなスクリーン印刷に使用される、スクリーン印刷用マスク101の平面図である。図8及び図9に示したように、スクリーンマスク7は、平面視、矩形をなすマスク枠2の下面に張りつけられている。このマスク枠(以下、単に枠とも言う)2は、通常、4角形の枠をなすように、断面四角の枠辺部3〜6によりフレーム(額縁)状に形成され、スクリーンマスク7はその枠の下面に、所定のテンションを保持した状態で張り付けられる。なお、マスク枠2は例えばアルミダイキャストなどの金属からなる一体成形品か、枠辺部を組付けた組立て構造のものとされるのが普通である。一方、スクリーンマスク(以下、単にマスクとも言う)7は、例えばステンレス合金製の薄板を素材として形成され、詳しくは図示しないが、枠を下面から包むように、端縁部を枠辺部3〜6に沿って巻き付けるようにして固定され、枠2に張り付けられる。なお、マスク7には、所望とする印刷パターンが得られるように、その中央に印刷パターン部分(図中2点鎖線で示された領域)Pが形成され、そこには多数の印刷用の開口が存在するように、メッシュ状に形成され、又は微小孔群が形成されている。   FIG. 9 is a plan view of a screen printing mask 101 used for such screen printing. As shown in FIGS. 8 and 9, the screen mask 7 is attached to the lower surface of the rectangular mask frame 2 in plan view. This mask frame (hereinafter, also simply referred to as a frame) 2 is usually formed in a frame (frame) by frame sides 3 to 6 having a square cross section so as to form a quadrangular frame, and the screen mask 7 is formed by the frame. Is attached to the lower surface while maintaining a predetermined tension. It is to be noted that the mask frame 2 is usually formed as an integrally molded product made of metal such as aluminum die-cast, or an assembling structure in which the frame sides are assembled. On the other hand, the screen mask (hereinafter, also simply referred to as a mask) 7 is formed using a thin plate made of, for example, a stainless alloy, and although not shown in detail, the edge portions are frame side portions 3 to 6 so as to wrap the frame from below. And is attached to the frame 2. In the mask 7, a print pattern portion (a region indicated by a two-dot chain line in the drawing) P is formed at the center of the mask 7 so that a desired print pattern can be obtained. Is formed in a mesh shape or a group of micropores is formed.

ところで、このようなスクリーン印刷用マスク101を使用して、インク105を印刷する際には、スキージ106で、マスク7を下に押さえつけるようにしてインクをかくことから、その印刷過程においてマスク7には強い引張り力が作用する。このため、このような印刷を繰り返すことにより、スクリーンマスク7はとくにその中央の印刷パターン部分Pが微小ではあるが伸びてしまい、張り付け時のテンションが低減してしまう。このようなマスク7のテンションの低減(マスクの伸び)があると、自由状態ではそのテンションの減少に起因して、スクリーンマスク7における印刷パターン部分P、つまり無数の微小開口群が微妙に縮むことになる。この結果、印刷パターンが微妙に小さくなってしまったり、印刷位置に誤差がでるなど、印刷精度が低下してしまうことになる。   By the way, when printing the ink 105 using such a screen printing mask 101, the squeegee 106 is used to press down the mask 7 to apply the ink. Has a strong tensile force. For this reason, by repeating such printing, the screen mask 7 in particular, the print pattern portion P at the center thereof is elongated, though it is minute, and the tension at the time of sticking is reduced. When the tension of the mask 7 is reduced (elongation of the mask), the print pattern portion P on the screen mask 7, that is, the infinite number of minute openings is slightly contracted due to the decrease in the tension in the free state. become. As a result, the printing precision will be reduced, for example, the print pattern will be slightly smaller, or the printing position will have an error.

このため、このようなスクリーン印刷で、精度の要求される印刷をする場合には、繰返し印刷によるスクリーンマスク7の伸びが例え僅かでも一定量以上となると、マスクの寿命としてマスクの交換をして、印刷精度の維持を図っていた。したがって、このような印刷方法で印刷精度を高く保持するには、マスクの交換を頻繁に行う必要がある。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等のためのメタライズインクの印刷のように、極めて高い印刷精度が要求されるものでは、製造効率の低下や製造コストの増大を招いているなど、その問題が大きかった。   For this reason, in such screen printing, when printing requiring high accuracy, if the elongation of the screen mask 7 due to repeated printing becomes a certain amount or more even if it is a little, the mask is replaced as a mask life. , To maintain the printing accuracy. Therefore, in order to maintain high printing accuracy by such a printing method, it is necessary to frequently exchange masks. Therefore, when extremely high printing accuracy is required, such as printing metallized ink for a wiring layer or the like on a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic wiring board, a reduction in manufacturing efficiency and an increase in manufacturing cost are required. The problem was big, such as being invited.

本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたもので、その目的は次のようである。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスクの微小な伸びに起因する印刷精度の低下の原因となっている、そのテンションを、簡易な機構で操作で適正値に保持できるようにし、もって印刷精度を高めるとともに、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることのできる技術を提供することをその目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and the object is as follows. In other words, the tension, which is the cause of the decrease in printing accuracy due to the minute elongation of the screen mask due to repeated use, can be maintained at an appropriate value by operation with a simple mechanism, thereby increasing the printing accuracy, It is an object of the present invention to provide a technique capable of extending the life of a screen mask.

前記の目的を達成するため、請求項1記載の発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して被印刷物にスクリーン印刷する方法において、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is directed to a method of screen printing on a printing substrate using a screen printing mask including a mask frame and a screen mask attached to the mask frame. ,
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. I do.

本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるスクリーン印刷用マスクを使用するものである。このため、スクリーン印刷用マスクについてはその構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。   According to the present invention, screen printing capable of adjusting the tension of the screen mask by elastically deforming the sides of the frame constituting the mask frame outward by means of the tension adjusting means of the screen mask by a screw mechanism in accordance with the elongation of the screen mask. A mask for use is used. For this reason, the screen printing mask can be repeatedly printed with the same screen mask and high precision by appropriately adjusting the screen printing mask without complicating the structure thereof and performing the adjustment appropriately by a simple operation. .

前記スクリーンマスクのテンション調節手段は、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、該マスク枠の対向する枠辺部相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構にて具体化すればよい。   A tension adjusting means for the screen mask is provided with various known screw mechanisms so as to elastically deform the frame sides constituting the mask frame outward to widen the gap between the opposing frame sides of the mask frame. What is necessary is just to embody.

ただし、請求項1に記載のスクリーン印刷方法では、請求項2に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて、複数配置するとよい。テンション調節手段は、とくに、スクリーンマスクの両側縁寄り部位に略対称に配置するとよい。   However, in the screen printing method according to the first aspect, as described in the second aspect, the tension adjusting means of the screen mask does not overlap with a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them. The tension adjusting means is preferably arranged substantially symmetrically at portions near both side edges of the screen mask.

そして、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートに、配線層等の形成のためのメタライズインクをスクリーン印刷するにあたり、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board, comprising: using a screen printing mask including a mask frame and a screen mask attached to the mask frame. When screen printing metallized ink for forming wiring layers etc. on ceramic green sheets of
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. I do.

請求項1又は2に記載のスクリーン印刷方法は、その被印刷物のいかんに係らず適用できる。しかし、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへのメタライズインクの印刷においては、とくに微小な印刷誤差が問題となることから、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法においてはその効果が大きい。   The screen printing method according to claim 1 or 2 can be applied irrespective of the printing target. However, in printing the metallized ink on the ceramic green sheet for manufacturing the ceramic wiring board, a particularly small printing error becomes a problem. Is big.

なお、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法でも、請求項4に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。   According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a ceramic wiring board, as described in the fourth aspect, the tension adjusting means of the screen mask is formed in a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them so as not to overlap with them.

また、請求項5に記載の本発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクにおいて、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a screen printing mask including a mask frame and a screen mask attached to the mask frame,
It is characterized by comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side constituting the mask frame outward.

本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させ、対向する枠辺部相互の間隔を広げて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるため、構造の複雑化を招くことなく、精度の高い印刷を多数回行うことができる。そして、請求項5に記載のスクリーン印刷用マスクにおいても、請求項6に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。   According to the present invention, in accordance with the elongation of the screen mask, the side of the frame constituting the mask frame is elastically deformed outward by the tension adjusting means of the screen mask by the screw mechanism, and the interval between the opposing frame sides is increased. Thus, the tension of the screen mask can be adjusted, so that high-precision printing can be performed many times without complicating the structure. In the screen printing mask according to the fifth aspect, as described in the sixth aspect, the tension adjusting means of the screen mask overlaps with a printing pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them so that they do not become inconsistent.

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。したがって、印刷精度の向上と共に、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることができる。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等の形成のためのメタライズインクの印刷においては、著しい効果が得られることから、同配線基板のコストの低減が期待される。   As is clear from the above description, according to the present invention, the structure of the screen printing mask is not complicated, and the adjustment is appropriately performed by a simple operation. High-precision printing can be repeatedly performed. Therefore, it is possible to improve the printing accuracy and extend the life of the screen mask. Therefore, in printing metallized ink for forming a wiring layer or the like on a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic wiring board, a remarkable effect can be obtained, and a reduction in the cost of the wiring board is expected.

本発明のスクリーン印刷用マスクの第1の実施形態について、図1及び図2に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の方法に使用するスクリーン印刷用マスク1の平面図及び要部拡大図であり、図2は、図1のA−A線断面図及び要部拡大図である。このスクリーン印刷用マスク1をなすマスク枠2は、例えば、アルミニウム製で長方形の枠状に形成されており、四辺をなす各枠辺部3〜6は略四角断面をなす棒状体からなっている。また、スクリーンマスク7は、その端縁部7aを、各枠辺部3〜6の下面(図2下側面)から外側及び上面3a、4a、5a、6aへと巻くようにして枠2の下面に張り付けられている。そして、枠2の四つの枠辺部3〜6の上面の適所において、スクリーンマスク7の上から端縁部7aをねじ止めなどによって固定され、マスク枠2において一定のテンションが付与され、緊張状態が保持されている。なお、マスク枠2は、ダイキャストによる一体成形品から所定寸法に加工、形成したものである。また、上記スクリーンマスク7は、上記枠辺部3〜6に接着剤等で固定してもよい。   A first embodiment of a mask for screen printing according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view and a main part enlarged view of a screen printing mask 1 used in the method of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 and a main part enlarged view. The mask frame 2 forming the screen printing mask 1 is, for example, made of aluminum and formed in a rectangular frame shape, and each of the frame sides 3 to 6 forming four sides is formed of a rod-shaped body having a substantially square cross section. . Further, the screen mask 7 is wound around the edge 7a from the lower surface (lower side surface in FIG. 2) of each of the frame sides 3 to 6 to the outer and upper surfaces 3a, 4a, 5a and 6a. Is attached to Then, at an appropriate position on the upper surface of the four frame sides 3 to 6 of the frame 2, the edge 7 a is fixed from above the screen mask 7 by screws or the like, and a certain tension is applied to the mask frame 2, and the tension state is obtained. Is held. The mask frame 2 is formed by processing to a predetermined size from an integrally molded product by die casting. Further, the screen mask 7 may be fixed to the frame sides 3 to 6 with an adhesive or the like.

このようなマスク枠2に対し、本形態ではスクリーンマスク7のテンション調節手段が次のように設けられている。本形態では、枠辺部3〜6のうち、短辺をなす対向する枠辺部3、4の相互の間に、平面視、その短辺の枠辺部3、4の中央を通る垂直線Sを挟み、2本の軸体(SUS304製で例えば外径10mmで長さ約400mmの丸棒)9、9が所定の間隔を保持して略対称に平行に配置されている。以下、1本の軸体9を含むテンション調節手段は同じものであるため、そのうちの一方について説明する。なお、2本の軸体9、9の間隔は、スクリーンマスクの中央の印刷パターン部分(図1中の2点鎖線の矩形領域)Pを避けてスキージの移動に支障がないように配置されている。   In this embodiment, a tension adjusting means for the screen mask 7 is provided for such a mask frame 2 as follows. In the present embodiment, of the frame sides 3 to 6, a vertical line passing through the center of the short sides 3 and 4 between the opposing frame sides 3 and 4 forming the short sides. Two shafts (a round bar made of SUS304 and having a diameter of, for example, 10 mm and a length of about 400 mm) 9, 9 are arranged substantially symmetrically in parallel with a predetermined interval therebetween with S interposed therebetween. Since the tension adjusting means including one shaft 9 is the same, only one of them will be described. The interval between the two shafts 9, 9 is set so as not to obstruct the movement of the squeegee while avoiding the printing pattern portion P (the rectangular area indicated by the two-dot chain line in FIG. 1) P at the center of the screen mask. I have.

すなわち、本形態では、テンション調節手段に次記するような軸体9が使用されている。この軸体9は、図1、2に示したようにその両端部外周面に一定長さ(例えば30mm)のねじ(例えばM10)10、10を備えている。なお、本明細書において単に「ねじ」という場合には右ねじをいうものとする。この軸体9は、その図示右側端部が、枠辺部4に設けられたねじ穴11に所定量ねじ込まれて固定されている。ただし、緩み止めのため、例えばロックナット12が図示右側の枠辺部4の内側面に締めつけられている。なお、ロックはピン打ちなどによってもよい。一方、この軸体9の図示左側端部は、枠辺部3に設けられたストレート孔14に隙間嵌め状に通され、図示左側の枠辺部3の内側面に対し、スリップワッシャ15を介して、テンション調節手段を構成する調節用のナット16が螺着されている。   That is, in the present embodiment, the shaft body 9 described below is used for the tension adjusting means. As shown in FIGS. 1 and 2, the shaft body 9 is provided with screws (for example, M10) 10 and 10 having a fixed length (for example, 30 mm) on the outer peripheral surfaces of both ends. In this specification, the term “screw” refers to a right-hand thread. The shaft body 9 has a right end in the figure screwed into a screw hole 11 provided in the frame side part 4 and fixed by a predetermined amount. However, to prevent loosening, for example, a lock nut 12 is fastened to the inner surface of the frame side 4 on the right side in the figure. Note that the lock may be performed by pinning or the like. On the other hand, the left end of the shaft body 9 shown in the figure is passed through a straight hole 14 provided in the frame side 3 in a clearance fitting manner, and the inner surface of the frame side 3 on the left side of the figure is passed through a slip washer 15. In addition, an adjusting nut 16 constituting the tension adjusting means is screwed.

つまり、この調節用のナット16を回転させて図示左方へ螺進してスリップワッシャ15を介し、枠辺部3の内側面にこの調節用のナット16を当接させた状態から、さらに回転させて図示左方へ螺進する。すると、対向する左右の枠辺部3、4は、調節用のナット16及び軸体9によって、軸体9の軸線方向に力を受け、左右の枠辺部3、4の相互の間隔が押し広げられる作用を受ける。これにより、左右の枠辺部3、4は、図1中に2点鎖線で誇張して示したように外方に弾性変形するため、対向する枠辺部相互の間隔が大きくなる。なお、枠辺部3〜6が本形態におけるように同一素材からなり、同じ断面形状、寸法の場合には、左右の各枠辺部3、4の変形量(撓み量)は一定となる。また、調節用のナット16を逆回転させて図示右へ移動(螺退)すれば、枠辺部が受ける力は減少し、その変形も減少する。そしてその力が0になると変形はなくなり、元の枠形状、寸法に戻る。   In other words, the nut 16 for adjustment is rotated and screwed to the left in the figure, and the nut 16 for adjustment is brought into contact with the inner surface of the frame side portion 3 via the slip washer 15. Then, the screw advances to the left in the figure. Then, the opposing left and right frame sides 3 and 4 receive a force in the axial direction of the shaft body 9 by the adjusting nut 16 and the shaft body 9, and the mutual distance between the left and right frame sides 3 and 4 is pushed. Receive the effect of being spread. As a result, the left and right frame sides 3 and 4 are elastically deformed outward as exaggeratedly indicated by a two-dot chain line in FIG. 1, so that the distance between the opposing frame sides is increased. When the frame sides 3 to 6 are made of the same material as in this embodiment and have the same cross-sectional shape and dimensions, the amount of deformation (bending amount) of each of the left and right frame sides 3, 4 is constant. Further, when the nut 16 for adjustment is rotated in the reverse direction and moved to the right in the figure (screw-back), the force applied to the side of the frame decreases, and the deformation thereof also decreases. Then, when the force becomes zero, the deformation disappears and the frame returns to its original shape and dimensions.

このような本形態のスクリーン印刷用マスク1を用いてスクリーン印刷する場合には、次のようである。すなわち、この印刷用マスク1の使用にあたって、当初は調節用のナット16が利いていない状態としておく。そして、従来と同様に、印刷台の上に載せた被印刷物(例えば配線基板製造用のセラミックグリーンシート)の上に、この印刷用マスク1を位置決めして重ね、その状態の下で、平面視、軸体9、9間に位置するスクリーンマスク7の印刷パターン部分Pで、メタライズインクを印刷する。そして、繰り替えし印刷により、例えば、スクリーンマスク7が軸体9の軸方向に伸びて同方向に対するスクリーンマスク7のテンション(張り)が減少し、印刷パターン部分Pが所定値以上に縮むようになったら、その縮みに相応する分、2つの軸体9、9における調節用のナット16を適宜回転させて左へ微量螺進する。こうすることで、枠辺部3、4は外方に安定して弾性変形することから、スクリーンマスク7も同方向に引張られる形となりそのテンション(張り)が強く適正値に保持される。この結果、印刷パターン部分Pの寸法精度が保持されるため、被印刷物に対する印刷位置、寸法の精度が保持される。   The screen printing using the screen printing mask 1 according to the present embodiment is as follows. That is, when using the printing mask 1, the nut 16 for adjustment is not used at first. Then, in the same manner as in the related art, the printing mask 1 is positioned and superimposed on a printing object (for example, a ceramic green sheet for manufacturing a wiring board) placed on a printing table. The metallized ink is printed on the print pattern portion P of the screen mask 7 located between the shafts 9 and 9. Then, by repeating printing, for example, when the screen mask 7 extends in the axial direction of the shaft body 9 and the tension (tension) of the screen mask 7 in the same direction decreases, and the print pattern portion P shrinks to a predetermined value or more. The nut 16 for adjustment in the two shafts 9, 9 is appropriately rotated by a small amount to the left by an amount corresponding to the contraction. By doing so, the frame sides 3, 4 are stably elastically deformed outward, so that the screen mask 7 is also pulled in the same direction, and the tension (tension) is strongly maintained at an appropriate value. As a result, the dimensional accuracy of the print pattern portion P is maintained, so that the printing position and the dimensional accuracy with respect to the printing object are maintained.

かくして、スクリーンマスク7のテンションの減少に対応して、ある印刷回数ごとに、調節用のナット16を回動するだけで、いわばスクリーンマスク7をマスク枠2ごと引き伸ばすことができる構成のため、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、マスク7のテンションを所定の値に簡易な操作で保持できる。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスク7の伸びに起因する印刷精度の低下を構造の複雑化を招くことなく防止できる上に、1スクリーンマスクで印刷できる回数を増やすことができるため、印刷コストの低減が図られる。   Thus, in response to the decrease in the tension of the screen mask 7, the screen mask 7 can be stretched together with the mask frame 2 by rotating the adjustment nut 16 every certain number of printings, so that the screen can be stretched. The tension of the mask 7 can be maintained at a predetermined value by a simple operation without complicating the structure of the printing mask. That is, a decrease in printing accuracy due to the elongation of the screen mask 7 due to repeated use can be prevented without complicating the structure, and the number of times that one screen mask can be used to print can reduce the printing cost. It is planned.

各枠辺部を外方へ弾性変形させる調節用のナット16の螺進量は、ねじ10のピッチと調節用のナット16の回転数(回転角度)から定まるため、例えばピッチが1mmのねじであり、軸体9の位置での枠辺部3、4相互の間隔の押し広げ量を0.5mmとしたいときは、2つの軸体9における調節用のナット16を180度回転すればよい。このように、調節用のナット16の回転角又は回転数により、枠辺部相互の間隔を所望量広げることができるため、簡易にスクリーンマスク7のテンションの調節ができる。なお、スクリーンマスク7の伸びは微量であるため、その1回の調節量も、5〜10μm程度の微小であることから、なるべく小さいピッチのねじを選定するのが好ましい。   The amount of screwing of the adjusting nut 16 for elastically deforming each frame side outward is determined by the pitch of the screw 10 and the number of rotations (rotation angle) of the adjusting nut 16. When it is desired to set the distance between the frame sides 3 and 4 at the position of the shaft body 9 to 0.5 mm, the adjustment nuts 16 of the two shaft bodies 9 may be rotated by 180 degrees. As described above, the interval between the frame sides can be widened by a desired amount depending on the rotation angle or the number of rotations of the adjusting nut 16, so that the tension of the screen mask 7 can be easily adjusted. In addition, since the elongation of the screen mask 7 is very small, and the amount of adjustment at one time is also as small as about 5 to 10 μm, it is preferable to select screws with a pitch as small as possible.

因みに、セラミックグリーンシートに配線層等のためのメタライズインクを印刷するとき、従来のスクリーン印刷用マスクを使用した場合には、1000回程度の印刷で、スクリーンマスクの伸びに起因する印刷パターン部分の縮小が問題となり、そのスクリーンマスクの使用ができなくなった。これに対し、本形態のスクリーン印刷用マスクを用いた場合には、1000回の印刷ごとに、枠辺部3、4相互の間隔を5〜10μm程度づつ広げることで、4000回程度まで、その印刷回数を増やすことができた。   By the way, when printing a metallized ink for a wiring layer or the like on a ceramic green sheet, if a conventional screen printing mask is used, the printing pattern portion caused by the expansion of the screen mask is printed about 1000 times. Reduction became a problem, and the screen mask could not be used. On the other hand, when the screen printing mask of the present embodiment is used, the interval between the frame sides 3 and 4 is widened by about 5 to 10 μm every 1000 printings, to about 4000 times. I was able to increase the number of prints.

本発明におけるねじ機構によるスクリーンマスク7のテンション調節手段は、上記の実施形態のものに限定されるものではない。同手段は、マスク枠2を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、マスク枠2の対向する枠辺部3、4相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構を使用できる。   The means for adjusting the tension of the screen mask 7 by the screw mechanism in the present invention is not limited to the above embodiment. This means uses various well-known screw mechanisms so as to elastically deform the frame sides constituting the mask frame 2 outward to widen the gap between the opposing frame sides 3, 4 of the mask frame 2. it can.

図3は、スクリーン印刷用マスク21の別の実施形態を示したものであるが、ねじ機構によるスクリーンマスク7のテンション調節手段が前記形態のものと異なるだけであり、その他の構成については異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。すなわち、対向する図示右側の枠辺部4に前記したのと同様のねじ穴11を設け、そのねじ穴11に長寸ボルト29をねじ込んでおき、先端29aが対向する図示左側の枠辺部3の内側面に当接するようにしておく。ただし、長寸ボルト29の頭部29b下長さLは、先端29aが枠辺部3の内側面に当接した状態において、図示右側の枠辺部4の外側面と頭部29bとの間に、ロックナット12を介在させることができるとともに、必要な調節量を見込んだ長さのものを使用する必要がある。テンション調節手段をなす長寸ボルト29は前記形態と同様に平面視、スクリーンマスク7の略中央に形成された印刷パターン部分Pと重ならないように避けて複数、例えば図3における中央水平線Sに対称に配置しておくのが好ましい。   FIG. 3 shows another embodiment of the screen printing mask 21, but the tension adjusting means of the screen mask 7 by a screw mechanism is different from that of the above-described embodiment, and other configurations are different. Therefore, only different points will be described, and the same portions will be denoted by the same reference numerals. That is, the same screw hole 11 as described above is provided in the opposing right side of the frame 4, and a long bolt 29 is screwed into the screw hole 11, and the left side of the left side of the frame 3 whose tip 29 a faces the same. So that it contacts the inside surface. However, the lower length L of the head 29b of the long bolt 29 is between the outer surface of the frame side 4 on the right side in the figure and the head 29b when the tip 29a is in contact with the inner surface of the frame side 3. In addition, a lock nut 12 can be interposed and a length that allows for a necessary adjustment amount must be used. A plurality of long bolts 29 serving as a tension adjusting means are symmetric with respect to the central horizontal line S in FIG. 3, for example, avoiding overlapping with the printed pattern portion P formed substantially in the center of the screen mask 7 in plan view, as in the above-described embodiment. It is preferable to arrange them.

このものでは、スクリーンマスク7のテンションが減少したときは、ロックナット12を緩め、その減少に対応して、適宜にその長寸ボルト29の頭部(又はその先端部分に設けたハンドル)29bを回動して締めこむようにすればよい。なおこの場合には、長寸ボルト29の先端29aが当接する、図示左側の枠辺部3の内側面部分には、長寸ボルト29の軸線が変位しないように、例えばその先端29aが少し入りこむように凹部を設けておくとよい。なお、ロックナット12がなくても長寸ボルト29の緩みがないようなねじを用いる場合には、もちろんロックナットは不要である。   In this case, when the tension of the screen mask 7 is reduced, the lock nut 12 is loosened, and the head (or the handle provided at the tip portion) 29b of the long bolt 29 is appropriately adjusted in accordance with the decrease. What is necessary is just to rotate and tighten. In this case, for example, the distal end 29a of the long bolt 29 slightly enters the inner surface of the frame side portion 3 on the left side in the drawing so that the axis of the long bolt 29 is not displaced. It is good to provide a concave part like this. When using a screw that does not loosen the long bolt 29 even without the lock nut 12, the lock nut is of course unnecessary.

また図4は、スクリーン印刷用マスク71のさらに別の実施形態を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク7のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第1の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。このものは、対向する図示左側の枠辺部3に図1の右側の枠辺部4に設けたのと同様のねじ穴11を設けておき、このねじ穴11に枠辺部3の内側面から、頭部29bの端面中央に凹部29cを設けた調整用の短いボルト29がねじ込まれている。一方、対向する図示右側の枠辺部4の内側面にも凹部39cが形成されている。そして、その両凹部29c、39c間には例えば丸棒(円軸)39が対向する枠辺部3、4に垂直で突っ張り状に介在されている。この構成により、その調整用のボルト29を螺退(図示右側に進行)すると、強く突っ張り状となることから、マスク枠2を構成する対向する枠辺部3、4は外方に撓むように弾性変形し、その枠辺部相互の間隔が広げられる。こうして、枠2に張り付けられたスクリーンマスク7のテンションは調節される。なお、この場合においても、要すればロックナット12を図示2点鎖線で示したように螺着しておけばよい。   FIG. 4 shows still another embodiment of the screen printing mask 71, but only the tension adjusting means of the screen mask 7 is different, and the other configuration is the same as that of the first embodiment. Since there is no difference from the above, only the differences will be described, and the same portions will be denoted by the same reference numerals. In this example, a screw hole 11 similar to that provided in the right frame side 4 in FIG. 1 is provided in the opposite frame left side 3 in the figure, and the inner surface of the frame side 3 is provided in the screw hole 11. From there, a short adjustment bolt 29 having a recess 29c in the center of the end face of the head 29b is screwed. On the other hand, a concave portion 39c is also formed on the inner surface of the opposing right side of the frame side 4 in the drawing. For example, a round bar (circular shaft) 39 is interposed between the concave portions 29c and 39c in a vertical and protruding manner at the frame sides 3 and 4 facing each other. With this configuration, when the adjusting bolt 29 is unscrewed (progressed to the right in the drawing), it becomes strongly stretched, and the opposing frame sides 3 and 4 constituting the mask frame 2 are elastically deformed outward. It deforms, and the space between the frame sides is widened. Thus, the tension of the screen mask 7 attached to the frame 2 is adjusted. Also in this case, if necessary, the lock nut 12 may be screwed as shown by a two-dot chain line in the figure.

図5は、さらに別のスクリーン印刷用マスク41を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク7のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第1の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一部位には同一の符号を付すに止める。このものは次のように構成されている。対向する枠辺部3、4の内側であって、平面視、同枠辺部3、4の各中央を通る直線Sと平行な位置に、左右逆ねじをなすナット部材42、43が溶接などにより同軸(線)で固定されている。例えば左側の枠辺部3の内側面に右ねじのナット部材42を溶接などにより固定し、右側の枠辺部4の内側面には同軸で左ねじのナット部材43を固定しておく。ただし、枠辺部3、4には、各ナット42、43の軸と同軸でそれぞれねじ径より大きい貫通穴14が開けてある。そして、先端部に各ナット部材42、43に螺合するねじを有する軸部材49、50を用意し、図5に示したように、これらをその各先端のねじを介して各ナット42、43に適量螺合する。ただし、左右の両軸部材49、50の基端部(図示左右の中央寄り部位)は、両軸部材49、50を同時に同方向に回動可能に連結部材51で連結しておく。例えば、連結部材51に、その両端に貫通するように、ストレートの連結穴44を形成しておき、両軸部材49、50の基端部をこの連結穴44に連結部材51の各端から挿入し、各軸部材49、50の先端のねじを各ナット42、43に適量螺合する。そして、両軸部材49、50の各基端部の半径方向に貫通するように連結部材51にピン53を打ち込んで固定する。なお、本形態では、連結部材51を軸回りに回転させることで両軸部材49、50を一緒に回転させることができればよく、したがって、ピンの打ち込みに代えて止めねじで固定してもよい。このように構成しておくことで、その連結部材51を一方に回動すると、逆ねじ機構により、対向する枠辺部3、4相互間の間隔が離間又は近接するようになるため、スクリーンマスク7のテンションの調節ができる。   FIG. 5 shows still another screen printing mask 41, but only the tension adjusting means of the screen mask 7 is different, and the other configuration is different from the first embodiment. Therefore, only the differences will be described, and the same portions will be denoted by the same reference numerals. This is configured as follows. Nut members 42 and 43 forming left and right reverse screws are welded at positions inside the opposing frame sides 3 and 4 and parallel to a straight line S passing through the centers of the frame sides 3 and 4 in plan view. Are fixed coaxially (line). For example, a right-handed nut member 42 is fixed to the inner surface of the left frame side 3 by welding or the like, and a left-handed nut member 43 is coaxially fixed to the inner surface of the right frame side 4. However, in the frame sides 3 and 4, through holes 14 which are coaxial with the axes of the nuts 42 and 43 and larger than the screw diameter are formed. Then, shaft members 49 and 50 having a screw screwed to each of the nut members 42 and 43 at the distal end are prepared, and as shown in FIG. Screw an appropriate amount to. However, the base ends of the left and right shaft members 49 and 50 (portions closer to the center in the left and right in the figure) are connected by the connecting member 51 so that the two shaft members 49 and 50 can be simultaneously rotated in the same direction. For example, a straight connecting hole 44 is formed in the connecting member 51 so as to penetrate both ends thereof, and base ends of both shaft members 49 and 50 are inserted into the connecting hole 44 from each end of the connecting member 51. Then, screws at the tips of the shaft members 49 and 50 are screwed into the nuts 42 and 43 in an appropriate amount. Then, a pin 53 is driven into the connecting member 51 and fixed so as to penetrate in the radial direction of each base end of the both shaft members 49 and 50. In the present embodiment, it is sufficient that the two shaft members 49 and 50 can be rotated together by rotating the connecting member 51 around the axis. Therefore, the connecting members 51 may be fixed with set screws instead of driving the pins. With this configuration, when the connecting member 51 is rotated to one side, the space between the opposing frame sides 3 and 4 is separated or approached by the reverse screw mechanism. 7 tension can be adjusted.

なお、上記各形態においては、マスク枠を構成する短辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けた場合を例示したが、本発明における同テンション調節手段はそのようなねじ軸の配置に限定されるものではない。マスクのテンションの低減によっては、マスク枠を構成する長辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けてもよい。   In each of the above-described embodiments, the case where the tension adjusting means having the screw axis is provided in an arrangement perpendicular to the short side of the frame constituting the mask frame is exemplified. Is not limited to such a screw shaft arrangement. Depending on the reduction in the tension of the mask, a tension adjusting means having a screw axis may be provided so as to be perpendicular to the long side of the mask frame.

また、本発明における同テンション調節手段は、そのように縦又は横の一方にねじ軸を配置するものに限定されるものではない。前記各形態において、長辺をなす対向する枠辺部の相互間におけるスクリーンマスクの伸びも問題となるとき、つまり、枠の縦横両方の二次元的な伸びが問題となるときは、長辺をなす、対向する枠辺部の相互間にも前記した各形態のテンション調節手段を設ければよい。また、正方形のマスク枠についても同様である。つまり、マスク枠の平面視において、図示はしないが、井桁状(「井」の字の形)になるようにテンション調節手段を配置すればよい。上記した各マスク枠のように平面視矩形のラーメン構造のものでは、短辺をなす対向する枠辺部が外方に撓むと、長辺をなす対向する枠辺部は逆に内方に撓むようになる。このため、この長辺をなす対向する枠辺部の内方への撓みが問題となる場合には、テンション調節手段を井桁状に配置するとよい。   Further, the tension adjusting means in the present invention is not limited to the one in which the screw shaft is arranged either vertically or horizontally. In each of the above embodiments, when stretching of the screen mask between the opposing frame sides forming the long side also becomes a problem, that is, when two-dimensional stretching in both the vertical and horizontal directions of the frame becomes a problem, the long side is used. The tension adjusting means of each of the above forms may be provided between the opposing frame sides. The same applies to a square mask frame. In other words, although not shown, the tension adjusting means may be arranged so as to have a cross-girder shape (a shape of a “well”) in a plan view of the mask frame. In the case of the rectangular frame structure having a rectangular shape in plan view as in each of the mask frames described above, when the opposing frame sides forming the short sides bend outward, the opposing frame sides forming the long sides are bent inward on the contrary. I get stuck. For this reason, when the inward bending of the opposing frame sides forming the long sides poses a problem, the tension adjusting means may be arranged in a grid.

また、マスク枠が平面視、矩形の場合においては、図6に示したスクリーン印刷用マスク51のように、その四つのコーナー寄り部位に例えば、平面視、傾斜した配置となるように、長寸ボルト59を配置しておいてもよい。すなわち、四つのコーナーにおいて、1枠辺部のコーナー寄り部位に平面視、例えばθ45度でねじ穴51を貫通形成しておき、ここにボルト59を螺装して、その先端が隣接する枠辺部3、4の内側面に当接するようにしておくのである。このようにしておけば、各ボルト59のねじ込みにより、短辺をなす枠辺部3、4相互間と、長辺をなす枠辺部5、6相互間との両方の間隔を拡大調節できるため、スクリーンマスク7の縦横両方の二次元的な伸びに対応できる。なお、ボルト59の先端が当接する枠辺部3、4の内側面には凹部59cを設けておき、その凹部59cにボルト59の先端が入り込む様にしておくと、その先端が逃げないことから好ましい。図中、12はロックナットである。なお、ロックナット12の安定のため、ねじ穴51の外側には、ボルト59の軸に垂直となるロックナット12の着座面を備えた凸部59dを設けておくとよい。   Further, when the mask frame is rectangular in plan view, as in the screen printing mask 51 shown in FIG. The bolt 59 may be arranged. That is, in the four corners, a screw hole 51 is formed in a portion near one corner of one frame side at a corner in a plan view, for example, at an angle of 45 degrees, and a bolt 59 is screwed into the screw hole 51 so that its tip is adjacent to the adjacent frame side. The inner surfaces of the parts 3 and 4 are to be brought into contact with each other. With such a configuration, by screwing in each bolt 59, the distance between both the frame sides 3 and 4 forming the short side and between the frame sides 5 and 6 forming the long side can be enlarged and adjusted. , And can cope with both vertical and horizontal two-dimensional expansion of the screen mask 7. A concave portion 59c is provided on the inner side surface of each of the frame sides 3 and 4 with which the distal end of the bolt 59 contacts, and if the distal end of the bolt 59 is inserted into the concave portion 59c, the distal end does not escape. preferable. In the figure, reference numeral 12 denotes a lock nut. In order to stabilize the lock nut 12, a convex portion 59d having a seating surface of the lock nut 12 perpendicular to the axis of the bolt 59 may be provided outside the screw hole 51.

上記したスクリーン印刷用マスクの各実施形態においては、スクリーンマスクのテンション調節手段をマスク枠の内側に配置して枠辺部を外方に押し広げるようにしたが、このスクリーンマスクのテンション調節手段は、マスク枠の外側に配置し、枠辺部を外方に引き広げるようにすることもできる。   In each embodiment of the screen printing mask described above, the tension adjusting means of the screen mask is arranged inside the mask frame so as to spread the frame side outward, but the tension adjusting means of the screen mask is It can also be arranged outside the mask frame so that the sides of the frame are extended outward.

図7はそのように具体化したスクリーン印刷用マスク61の実施形態を示したものである。すなわち、このスクリーン印刷用マスク61では、マスク枠2の外側に、間隔を保持してマスク枠2より高強度の外枠62を配置して二重枠構造としたものである。ただし、マスク枠2の短辺をなす対向する枠辺部3、4のそれぞれの外側面に、先端寄り部位にねじが形成された軸体69を、そのねじが先端側に位置するようにして基端側(マスク枠2側)をねじ込み或いは溶接などで固定している。ただし、本形態では軸体69を、左右の枠辺部3、4において、その外側面に垂直に2本づつ固定している。そして、外枠62にはその軸体69の先端寄り部位が貫通するストレート孔64が貫設され、このストレート孔64から軸体69の先端寄り部位が突出されるように配置され、軸体69の先端寄り部位のねじにそれぞれ調節用のナット66が螺着されている。   FIG. 7 shows an embodiment of the screen printing mask 61 thus embodied. In other words, the screen printing mask 61 has a double frame structure in which an outer frame 62 having a higher strength than the mask frame 2 is arranged outside the mask frame 2 while maintaining an interval. However, a shaft 69 having a screw formed at a position near the front end is formed on the outer surface of each of the opposing frame sides 3 and 4 forming the short side of the mask frame 2 so that the screw is positioned on the front end side. The base end side (mask frame 2 side) is fixed by screwing or welding. However, in this embodiment, two shaft bodies 69 are fixed at right and left sides of the frame sides 3 and 4 vertically to the outer surfaces thereof. The outer frame 62 is provided with a straight hole 64 through which the forward end portion of the shaft 69 penetrates, and is disposed so that the forward end portion of the shaft 69 projects from the straight hole 64. Adjustment nuts 66 are screwed onto the screws at the positions near the front end.

しかして、例えば左側の2つの調節用のナット66を締めつけることで、マスク枠2の短辺をなす枠辺部3、4を外方に撓むように弾性変形させることができる。これにより、図1の実施形態のものと同様に、スクリーンマスク7の伸び(テンションの低減)に起因する印刷パターン部分Pの縮小を解消できる。なお、このように二重枠構造とする場合において、その外枠62は、実質的に変形しないように、内枠をなすマスク枠2に比べてできるだけ高強度(高剛性)の断面形状、寸法のものとするのが好ましい。なお、このような、いわばマスク枠2の外側からマスク枠をなす枠辺部を引き広げる場合においても、長辺をなす枠辺部5、6の相互間にも同様のスクリーンマスクのテンション調節手段を設けることができる。   Thus, for example, by tightening the two adjustment nuts 66 on the left side, the frame sides 3, 4 forming the short sides of the mask frame 2 can be elastically deformed so as to bend outward. Thereby, similarly to the embodiment of FIG. 1, the reduction of the print pattern portion P caused by the extension (reduction of tension) of the screen mask 7 can be eliminated. In such a double frame structure, the outer frame 62 has a cross-sectional shape and a dimension as high as possible (high rigidity) as compared with the mask frame 2 forming the inner frame so as not to be substantially deformed. Preferably, In the case where the frame sides forming the mask frame are extended from the outside of the mask frame 2 as described above, the same tension adjusting means of the screen mask is provided between the frame sides 5 and 6 forming the long sides. Can be provided.

本発明における、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段は、枠辺部の内側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじ、又はボルトをその軸線回りに回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が突っ張り状になるように構成された、各種の公知のねじ機構を使用することができる。また、枠(枠辺部)の外側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじをその軸線回りに相対的に回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が外側から引き広げられるようになる、公知のねじ機構を使用することができる。   In the present invention, the means for adjusting the tension of the screen mask by the screw mechanism is arranged inside the frame side portion, and the screw or the bolt formed on the nut or the shaft body, or the bolt is rotated around the axis thereof, so as to face each other. Various known screw mechanisms configured so that the intervals between the frame sides are in a stretched state can be used. Further, in the case where the screw is formed on the outside of the frame (frame side), a nut formed on the shaft or the like is relatively rotated around its axis, so that the interval between the opposing frame sides is set from the outside. Any known screw mechanism that can be extended can be used.

このように、本発明におけるスクリーン印刷用マスクは、上記した実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、設計変更して具体化できる。また、スクリーン印刷用マスクは、通常は平面視略四角のマスク枠をベースに形成されるが、四角と言えないような多角形のマスク枠においても本発明は具体化できる。なお、本発明のスクリーン印刷用マスクを用いるスクリーン印刷方法は、セラミックグリーンシートに限られることなく、各種の被印刷物に適用できる。   As described above, the screen printing mask according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately designed and embodied without departing from the gist of the present invention. The screen printing mask is usually formed on the basis of a mask frame having a substantially square shape in a plan view, but the present invention can also be embodied in a polygonal mask frame which cannot be said to be a square. The screen printing method using the screen printing mask of the present invention is not limited to the ceramic green sheet, and can be applied to various printing materials.

本発明のスクリーン印刷用マスクの第1の実施形態を示した平面図、及び要部拡大図。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a screen printing mask of the present invention, and an enlarged view of a main part. 図1のA−A線断面図、及び要部拡大図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 and an enlarged view of a main part. スクリーンマスクのテンション調節手段の別形態を示した平面図、及び要部拡大図。FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the tension adjusting means of the screen mask, and an enlarged view of a main part. スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図、及び要部拡大図。The top view and the principal part enlarged view which showed another form of the tension adjustment means of the screen mask. スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図、及び要部拡大図。The top view and the principal part enlarged view which showed another form of the tension adjustment means of the screen mask. スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図。FIG. 9 is a plan view showing still another form of the tension adjusting means of the screen mask. スクリーンマスクのテンション調節手段のさらに別形態を示した平面図。FIG. 9 is a plan view showing still another form of the tension adjusting means of the screen mask. 従来のスクリーン印刷を説明する概念図。FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating conventional screen printing. 従来のスクリーン印刷に使用しているスクリーン印刷用マスクの平面図。The top view of the mask for screen printing used for the conventional screen printing.

符号の説明Explanation of reference numerals

1、21、31、41、51、61 スクリーン印刷用マスク
2 マスク枠
3、4、5、6 枠辺部
7 スクリーンマスク
P 印刷パターン部分
G グリーンシート(被印刷物)
1, 21, 31, 41, 51, 61 Screen printing mask 2 Mask frame 3, 4, 5, 6 Frame side 7 Screen mask P Print pattern portion G Green sheet (substrate)

Claims (6)

マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して被印刷物にスクリーン印刷する方法において、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とするスクリーン印刷方法。
In a method of screen printing on a substrate using a mask frame and a screen printing mask comprising a screen mask attached to the mask frame,
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. Screen printing method.
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項1に記載のスクリーン印刷方法。   2. The screen printing method according to claim 1, wherein a plurality of the screen mask tension adjusting means are disposed so as not to overlap with a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. 3. マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートに、配線層等の形成のためのメタライズインクをスクリーン印刷するにあたり、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする、セラミック製配線基板の製造方法。
Using a mask for screen printing comprising a mask frame and a screen mask attached to the mask frame, a metallized ink for forming a wiring layer and the like is formed on a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic wiring board. For screen printing,
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. To manufacture a ceramic wiring board.
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法。   4. The ceramic wiring board according to claim 3, wherein a plurality of the tension adjusting means of the screen mask are arranged so as not to overlap with a printed pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. Manufacturing method. マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクにおいて、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
In a mask for screen printing, comprising a mask frame and a screen mask attached to the mask frame,
A screen printing mask, comprising: a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a side of the frame constituting the mask frame outward.
前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置したことを特徴とする、請求項5に記載のスクリーン印刷用マスク。







6. The screen printing mask according to claim 5, wherein a plurality of the screen mask tension adjusting means are arranged so as not to overlap with a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. .







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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102729600A (en) * 2011-04-12 2012-10-17 姜声培 Screen panel module
CN108897195A (en) * 2018-06-14 2018-11-27 江苏盛矽电子科技有限公司 A kind of separate type exposure device of tension type printing screen plate
CN110429368A (en) * 2019-08-29 2019-11-08 重庆思睿创瓷电科技有限公司 Silver paste printing equipment for filter

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102729600A (en) * 2011-04-12 2012-10-17 姜声培 Screen panel module
CN108897195A (en) * 2018-06-14 2018-11-27 江苏盛矽电子科技有限公司 A kind of separate type exposure device of tension type printing screen plate
CN108897195B (en) * 2018-06-14 2023-04-07 江苏盛矽电子科技有限公司 Disconnect-type exposure device of tensioning formula printing half tone
CN110429368A (en) * 2019-08-29 2019-11-08 重庆思睿创瓷电科技有限公司 Silver paste printing equipment for filter
CN110429368B (en) * 2019-08-29 2024-05-14 重庆思睿创瓷电科技有限公司 Silver paste printing device for filter

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