JP2004243775A - Screen printing method, method for manufacturing ceramic wiring substrate, and mask for screen printing - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、スクリーン印刷方法及びセラミック製配線基板の製造方法、並びにこれらの方法に使用するスクリーン印刷用マスクに関する。 The present invention relates to a screen printing method, a method for manufacturing a ceramic wiring board, and a screen printing mask used in these methods.
セラミック製配線基板は、配線層形成用に、タングステン等の高融点金属からなるメタライズインク(メタライズペーストともいわれる)が印刷されたセラミックグリーンシートを積層、圧着して、焼成することで形成される。この場合、セラミックグリーンシートは、一度に多数の配線基板が得られる大きさを有するものが使用され、焼成後に各配線基板単位に分割されるのが普通である。ところで、このようなセラミックグリーンシートへのメタライズインク(以下、単にインクとも言う)の印刷は、従来よりスクリーン印刷法にて行われている。スクリーン印刷では、図8に示したように、平坦な印刷台100の上に被印刷物たるセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートとも言う)Gを位置決めして載置し、その上に、スクリーンマスク(版)7が張り付けられたマスク枠2を位置決めして重ねる。そして、スクリーンマスク7上にのせたインク105をスキージ106でかき、或いは、押付けるようにし、グリーンシートGの表面にインクを転移し、所定のパターンの印刷を行っている。
The ceramic wiring substrate is formed by laminating, pressing, and firing ceramic green sheets on which metallized ink (also referred to as metallized paste) made of a refractory metal such as tungsten is formed for forming a wiring layer. In this case, a ceramic green sheet having a size that allows a large number of wiring boards to be obtained at one time is used, and is usually divided into each wiring board unit after firing. By the way, printing of such a metallized ink (hereinafter, also simply referred to as ink) on such a ceramic green sheet has been conventionally performed by a screen printing method. In the screen printing, as shown in FIG. 8, a ceramic green sheet (hereinafter, also referred to as a green sheet) G as a printing substrate is positioned and placed on a flat printing table 100, and a screen mask ( The
図9は、このようなスクリーン印刷に使用される、スクリーン印刷用マスク101の平面図である。図8及び図9に示したように、スクリーンマスク7は、平面視、矩形をなすマスク枠2の下面に張りつけられている。このマスク枠(以下、単に枠とも言う)2は、通常、4角形の枠をなすように、断面四角の枠辺部3〜6によりフレーム(額縁)状に形成され、スクリーンマスク7はその枠の下面に、所定のテンションを保持した状態で張り付けられる。なお、マスク枠2は例えばアルミダイキャストなどの金属からなる一体成形品か、枠辺部を組付けた組立て構造のものとされるのが普通である。一方、スクリーンマスク(以下、単にマスクとも言う)7は、例えばステンレス合金製の薄板を素材として形成され、詳しくは図示しないが、枠を下面から包むように、端縁部を枠辺部3〜6に沿って巻き付けるようにして固定され、枠2に張り付けられる。なお、マスク7には、所望とする印刷パターンが得られるように、その中央に印刷パターン部分(図中2点鎖線で示された領域)Pが形成され、そこには多数の印刷用の開口が存在するように、メッシュ状に形成され、又は微小孔群が形成されている。
FIG. 9 is a plan view of a
ところで、このようなスクリーン印刷用マスク101を使用して、インク105を印刷する際には、スキージ106で、マスク7を下に押さえつけるようにしてインクをかくことから、その印刷過程においてマスク7には強い引張り力が作用する。このため、このような印刷を繰り返すことにより、スクリーンマスク7はとくにその中央の印刷パターン部分Pが微小ではあるが伸びてしまい、張り付け時のテンションが低減してしまう。このようなマスク7のテンションの低減(マスクの伸び)があると、自由状態ではそのテンションの減少に起因して、スクリーンマスク7における印刷パターン部分P、つまり無数の微小開口群が微妙に縮むことになる。この結果、印刷パターンが微妙に小さくなってしまったり、印刷位置に誤差がでるなど、印刷精度が低下してしまうことになる。
By the way, when printing the
このため、このようなスクリーン印刷で、精度の要求される印刷をする場合には、繰返し印刷によるスクリーンマスク7の伸びが例え僅かでも一定量以上となると、マスクの寿命としてマスクの交換をして、印刷精度の維持を図っていた。したがって、このような印刷方法で印刷精度を高く保持するには、マスクの交換を頻繁に行う必要がある。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等のためのメタライズインクの印刷のように、極めて高い印刷精度が要求されるものでは、製造効率の低下や製造コストの増大を招いているなど、その問題が大きかった。
For this reason, in such screen printing, when printing requiring high accuracy, if the elongation of the
本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたもので、その目的は次のようである。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスクの微小な伸びに起因する印刷精度の低下の原因となっている、そのテンションを、簡易な機構で操作で適正値に保持できるようにし、もって印刷精度を高めるとともに、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることのできる技術を提供することをその目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and the object is as follows. In other words, the tension, which is the cause of the decrease in printing accuracy due to the minute elongation of the screen mask due to repeated use, can be maintained at an appropriate value by operation with a simple mechanism, thereby increasing the printing accuracy, It is an object of the present invention to provide a technique capable of extending the life of a screen mask.
前記の目的を達成するため、請求項1記載の発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して被印刷物にスクリーン印刷する方法において、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
In order to achieve the above object, an invention according to
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. I do.
本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるスクリーン印刷用マスクを使用するものである。このため、スクリーン印刷用マスクについてはその構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。 According to the present invention, screen printing capable of adjusting the tension of the screen mask by elastically deforming the sides of the frame constituting the mask frame outward by means of the tension adjusting means of the screen mask by a screw mechanism in accordance with the elongation of the screen mask. A mask for use is used. For this reason, the screen printing mask can be repeatedly printed with the same screen mask and high precision by appropriately adjusting the screen printing mask without complicating the structure thereof and performing the adjustment appropriately by a simple operation. .
前記スクリーンマスクのテンション調節手段は、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、該マスク枠の対向する枠辺部相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構にて具体化すればよい。 A tension adjusting means for the screen mask is provided with various known screw mechanisms so as to elastically deform the frame sides constituting the mask frame outward to widen the gap between the opposing frame sides of the mask frame. What is necessary is just to embody.
ただし、請求項1に記載のスクリーン印刷方法では、請求項2に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて、複数配置するとよい。テンション調節手段は、とくに、スクリーンマスクの両側縁寄り部位に略対称に配置するとよい。 However, in the screen printing method according to the first aspect, as described in the second aspect, the tension adjusting means of the screen mask does not overlap with a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them. The tension adjusting means is preferably arranged substantially symmetrically at portions near both side edges of the screen mask.
そして、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用して、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートに、配線層等の形成のためのメタライズインクをスクリーン印刷するにあたり、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a ceramic wiring board, comprising: using a screen printing mask including a mask frame and a screen mask attached to the mask frame. When screen printing metallized ink for forming wiring layers etc. on ceramic green sheets of
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. I do.
請求項1又は2に記載のスクリーン印刷方法は、その被印刷物のいかんに係らず適用できる。しかし、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへのメタライズインクの印刷においては、とくに微小な印刷誤差が問題となることから、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法においてはその効果が大きい。
The screen printing method according to
なお、請求項3に記載のセラミック製配線基板の製造方法でも、請求項4に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。 According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a ceramic wiring board, as described in the fourth aspect, the tension adjusting means of the screen mask is formed in a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them so as not to overlap with them.
また、請求項5に記載の本発明は、マスク枠と、該マスク枠に張り付けられたスクリーンマスクとを備えてなるスクリーン印刷用マスクにおいて、
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a screen printing mask including a mask frame and a screen mask attached to the mask frame,
It is characterized by comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side constituting the mask frame outward.
本発明では、スクリーンマスクの伸びに応じて、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段により、前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させ、対向する枠辺部相互の間隔を広げて前記スクリーンマスクのテンションを調節できるため、構造の複雑化を招くことなく、精度の高い印刷を多数回行うことができる。そして、請求項5に記載のスクリーン印刷用マスクにおいても、請求項6に記載のように、前記スクリーンマスクのテンション調節手段を、平面視、スクリーンマスクの略中央に形成された印刷パターン部分と重ならないように避けて複数配置するとよい。 According to the present invention, in accordance with the elongation of the screen mask, the side of the frame constituting the mask frame is elastically deformed outward by the tension adjusting means of the screen mask by the screw mechanism, and the interval between the opposing frame sides is increased. Thus, the tension of the screen mask can be adjusted, so that high-precision printing can be performed many times without complicating the structure. In the screen printing mask according to the fifth aspect, as described in the sixth aspect, the tension adjusting means of the screen mask overlaps with a printing pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. It is advisable to arrange a plurality of them so that they do not become inconsistent.
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、しかも簡易な操作によりその調節を適宜に行うことで、同じスクリーンマスクでありながら、精度の高い印刷を繰返し行うことができる。したがって、印刷精度の向上と共に、スクリーンマスクの寿命の延長を図ることができる。このため、セラミック製配線基板製造用のセラミックグリーンシートへの配線層等の形成のためのメタライズインクの印刷においては、著しい効果が得られることから、同配線基板のコストの低減が期待される。 As is clear from the above description, according to the present invention, the structure of the screen printing mask is not complicated, and the adjustment is appropriately performed by a simple operation. High-precision printing can be repeatedly performed. Therefore, it is possible to improve the printing accuracy and extend the life of the screen mask. Therefore, in printing metallized ink for forming a wiring layer or the like on a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic wiring board, a remarkable effect can be obtained, and a reduction in the cost of the wiring board is expected.
本発明のスクリーン印刷用マスクの第1の実施形態について、図1及び図2に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の方法に使用するスクリーン印刷用マスク1の平面図及び要部拡大図であり、図2は、図1のA−A線断面図及び要部拡大図である。このスクリーン印刷用マスク1をなすマスク枠2は、例えば、アルミニウム製で長方形の枠状に形成されており、四辺をなす各枠辺部3〜6は略四角断面をなす棒状体からなっている。また、スクリーンマスク7は、その端縁部7aを、各枠辺部3〜6の下面(図2下側面)から外側及び上面3a、4a、5a、6aへと巻くようにして枠2の下面に張り付けられている。そして、枠2の四つの枠辺部3〜6の上面の適所において、スクリーンマスク7の上から端縁部7aをねじ止めなどによって固定され、マスク枠2において一定のテンションが付与され、緊張状態が保持されている。なお、マスク枠2は、ダイキャストによる一体成形品から所定寸法に加工、形成したものである。また、上記スクリーンマスク7は、上記枠辺部3〜6に接着剤等で固定してもよい。
A first embodiment of a mask for screen printing according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view and a main part enlarged view of a
このようなマスク枠2に対し、本形態ではスクリーンマスク7のテンション調節手段が次のように設けられている。本形態では、枠辺部3〜6のうち、短辺をなす対向する枠辺部3、4の相互の間に、平面視、その短辺の枠辺部3、4の中央を通る垂直線Sを挟み、2本の軸体(SUS304製で例えば外径10mmで長さ約400mmの丸棒)9、9が所定の間隔を保持して略対称に平行に配置されている。以下、1本の軸体9を含むテンション調節手段は同じものであるため、そのうちの一方について説明する。なお、2本の軸体9、9の間隔は、スクリーンマスクの中央の印刷パターン部分(図1中の2点鎖線の矩形領域)Pを避けてスキージの移動に支障がないように配置されている。
In this embodiment, a tension adjusting means for the
すなわち、本形態では、テンション調節手段に次記するような軸体9が使用されている。この軸体9は、図1、2に示したようにその両端部外周面に一定長さ(例えば30mm)のねじ(例えばM10)10、10を備えている。なお、本明細書において単に「ねじ」という場合には右ねじをいうものとする。この軸体9は、その図示右側端部が、枠辺部4に設けられたねじ穴11に所定量ねじ込まれて固定されている。ただし、緩み止めのため、例えばロックナット12が図示右側の枠辺部4の内側面に締めつけられている。なお、ロックはピン打ちなどによってもよい。一方、この軸体9の図示左側端部は、枠辺部3に設けられたストレート孔14に隙間嵌め状に通され、図示左側の枠辺部3の内側面に対し、スリップワッシャ15を介して、テンション調節手段を構成する調節用のナット16が螺着されている。
That is, in the present embodiment, the
つまり、この調節用のナット16を回転させて図示左方へ螺進してスリップワッシャ15を介し、枠辺部3の内側面にこの調節用のナット16を当接させた状態から、さらに回転させて図示左方へ螺進する。すると、対向する左右の枠辺部3、4は、調節用のナット16及び軸体9によって、軸体9の軸線方向に力を受け、左右の枠辺部3、4の相互の間隔が押し広げられる作用を受ける。これにより、左右の枠辺部3、4は、図1中に2点鎖線で誇張して示したように外方に弾性変形するため、対向する枠辺部相互の間隔が大きくなる。なお、枠辺部3〜6が本形態におけるように同一素材からなり、同じ断面形状、寸法の場合には、左右の各枠辺部3、4の変形量(撓み量)は一定となる。また、調節用のナット16を逆回転させて図示右へ移動(螺退)すれば、枠辺部が受ける力は減少し、その変形も減少する。そしてその力が0になると変形はなくなり、元の枠形状、寸法に戻る。
In other words, the
このような本形態のスクリーン印刷用マスク1を用いてスクリーン印刷する場合には、次のようである。すなわち、この印刷用マスク1の使用にあたって、当初は調節用のナット16が利いていない状態としておく。そして、従来と同様に、印刷台の上に載せた被印刷物(例えば配線基板製造用のセラミックグリーンシート)の上に、この印刷用マスク1を位置決めして重ね、その状態の下で、平面視、軸体9、9間に位置するスクリーンマスク7の印刷パターン部分Pで、メタライズインクを印刷する。そして、繰り替えし印刷により、例えば、スクリーンマスク7が軸体9の軸方向に伸びて同方向に対するスクリーンマスク7のテンション(張り)が減少し、印刷パターン部分Pが所定値以上に縮むようになったら、その縮みに相応する分、2つの軸体9、9における調節用のナット16を適宜回転させて左へ微量螺進する。こうすることで、枠辺部3、4は外方に安定して弾性変形することから、スクリーンマスク7も同方向に引張られる形となりそのテンション(張り)が強く適正値に保持される。この結果、印刷パターン部分Pの寸法精度が保持されるため、被印刷物に対する印刷位置、寸法の精度が保持される。
The screen printing using the
かくして、スクリーンマスク7のテンションの減少に対応して、ある印刷回数ごとに、調節用のナット16を回動するだけで、いわばスクリーンマスク7をマスク枠2ごと引き伸ばすことができる構成のため、スクリーン印刷用マスクの構造の複雑化を招くことなく、マスク7のテンションを所定の値に簡易な操作で保持できる。すなわち、繰り返し使用によるスクリーンマスク7の伸びに起因する印刷精度の低下を構造の複雑化を招くことなく防止できる上に、1スクリーンマスクで印刷できる回数を増やすことができるため、印刷コストの低減が図られる。
Thus, in response to the decrease in the tension of the
各枠辺部を外方へ弾性変形させる調節用のナット16の螺進量は、ねじ10のピッチと調節用のナット16の回転数(回転角度)から定まるため、例えばピッチが1mmのねじであり、軸体9の位置での枠辺部3、4相互の間隔の押し広げ量を0.5mmとしたいときは、2つの軸体9における調節用のナット16を180度回転すればよい。このように、調節用のナット16の回転角又は回転数により、枠辺部相互の間隔を所望量広げることができるため、簡易にスクリーンマスク7のテンションの調節ができる。なお、スクリーンマスク7の伸びは微量であるため、その1回の調節量も、5〜10μm程度の微小であることから、なるべく小さいピッチのねじを選定するのが好ましい。
The amount of screwing of the adjusting
因みに、セラミックグリーンシートに配線層等のためのメタライズインクを印刷するとき、従来のスクリーン印刷用マスクを使用した場合には、1000回程度の印刷で、スクリーンマスクの伸びに起因する印刷パターン部分の縮小が問題となり、そのスクリーンマスクの使用ができなくなった。これに対し、本形態のスクリーン印刷用マスクを用いた場合には、1000回の印刷ごとに、枠辺部3、4相互の間隔を5〜10μm程度づつ広げることで、4000回程度まで、その印刷回数を増やすことができた。 By the way, when printing a metallized ink for a wiring layer or the like on a ceramic green sheet, if a conventional screen printing mask is used, the printing pattern portion caused by the expansion of the screen mask is printed about 1000 times. Reduction became a problem, and the screen mask could not be used. On the other hand, when the screen printing mask of the present embodiment is used, the interval between the frame sides 3 and 4 is widened by about 5 to 10 μm every 1000 printings, to about 4000 times. I was able to increase the number of prints.
本発明におけるねじ機構によるスクリーンマスク7のテンション調節手段は、上記の実施形態のものに限定されるものではない。同手段は、マスク枠2を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて、マスク枠2の対向する枠辺部3、4相互の間隔を広げるように、公知の各種のねじ機構を使用できる。
The means for adjusting the tension of the
図3は、スクリーン印刷用マスク21の別の実施形態を示したものであるが、ねじ機構によるスクリーンマスク7のテンション調節手段が前記形態のものと異なるだけであり、その他の構成については異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。すなわち、対向する図示右側の枠辺部4に前記したのと同様のねじ穴11を設け、そのねじ穴11に長寸ボルト29をねじ込んでおき、先端29aが対向する図示左側の枠辺部3の内側面に当接するようにしておく。ただし、長寸ボルト29の頭部29b下長さLは、先端29aが枠辺部3の内側面に当接した状態において、図示右側の枠辺部4の外側面と頭部29bとの間に、ロックナット12を介在させることができるとともに、必要な調節量を見込んだ長さのものを使用する必要がある。テンション調節手段をなす長寸ボルト29は前記形態と同様に平面視、スクリーンマスク7の略中央に形成された印刷パターン部分Pと重ならないように避けて複数、例えば図3における中央水平線Sに対称に配置しておくのが好ましい。
FIG. 3 shows another embodiment of the
このものでは、スクリーンマスク7のテンションが減少したときは、ロックナット12を緩め、その減少に対応して、適宜にその長寸ボルト29の頭部(又はその先端部分に設けたハンドル)29bを回動して締めこむようにすればよい。なおこの場合には、長寸ボルト29の先端29aが当接する、図示左側の枠辺部3の内側面部分には、長寸ボルト29の軸線が変位しないように、例えばその先端29aが少し入りこむように凹部を設けておくとよい。なお、ロックナット12がなくても長寸ボルト29の緩みがないようなねじを用いる場合には、もちろんロックナットは不要である。
In this case, when the tension of the
また図4は、スクリーン印刷用マスク71のさらに別の実施形態を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク7のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第1の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一箇所には同一の符号を付すに止める。このものは、対向する図示左側の枠辺部3に図1の右側の枠辺部4に設けたのと同様のねじ穴11を設けておき、このねじ穴11に枠辺部3の内側面から、頭部29bの端面中央に凹部29cを設けた調整用の短いボルト29がねじ込まれている。一方、対向する図示右側の枠辺部4の内側面にも凹部39cが形成されている。そして、その両凹部29c、39c間には例えば丸棒(円軸)39が対向する枠辺部3、4に垂直で突っ張り状に介在されている。この構成により、その調整用のボルト29を螺退(図示右側に進行)すると、強く突っ張り状となることから、マスク枠2を構成する対向する枠辺部3、4は外方に撓むように弾性変形し、その枠辺部相互の間隔が広げられる。こうして、枠2に張り付けられたスクリーンマスク7のテンションは調節される。なお、この場合においても、要すればロックナット12を図示2点鎖線で示したように螺着しておけばよい。
FIG. 4 shows still another embodiment of the screen printing mask 71, but only the tension adjusting means of the
図5は、さらに別のスクリーン印刷用マスク41を示したものであるが、これについてもスクリーンマスク7のテンション調節手段が異なるだけであり、その他の構成については第1の実施形態と異なる点はないことから、相違点のみ説明し、同一部位には同一の符号を付すに止める。このものは次のように構成されている。対向する枠辺部3、4の内側であって、平面視、同枠辺部3、4の各中央を通る直線Sと平行な位置に、左右逆ねじをなすナット部材42、43が溶接などにより同軸(線)で固定されている。例えば左側の枠辺部3の内側面に右ねじのナット部材42を溶接などにより固定し、右側の枠辺部4の内側面には同軸で左ねじのナット部材43を固定しておく。ただし、枠辺部3、4には、各ナット42、43の軸と同軸でそれぞれねじ径より大きい貫通穴14が開けてある。そして、先端部に各ナット部材42、43に螺合するねじを有する軸部材49、50を用意し、図5に示したように、これらをその各先端のねじを介して各ナット42、43に適量螺合する。ただし、左右の両軸部材49、50の基端部(図示左右の中央寄り部位)は、両軸部材49、50を同時に同方向に回動可能に連結部材51で連結しておく。例えば、連結部材51に、その両端に貫通するように、ストレートの連結穴44を形成しておき、両軸部材49、50の基端部をこの連結穴44に連結部材51の各端から挿入し、各軸部材49、50の先端のねじを各ナット42、43に適量螺合する。そして、両軸部材49、50の各基端部の半径方向に貫通するように連結部材51にピン53を打ち込んで固定する。なお、本形態では、連結部材51を軸回りに回転させることで両軸部材49、50を一緒に回転させることができればよく、したがって、ピンの打ち込みに代えて止めねじで固定してもよい。このように構成しておくことで、その連結部材51を一方に回動すると、逆ねじ機構により、対向する枠辺部3、4相互間の間隔が離間又は近接するようになるため、スクリーンマスク7のテンションの調節ができる。
FIG. 5 shows still another
なお、上記各形態においては、マスク枠を構成する短辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けた場合を例示したが、本発明における同テンション調節手段はそのようなねじ軸の配置に限定されるものではない。マスクのテンションの低減によっては、マスク枠を構成する長辺をなす枠辺部に垂直となる配置で、ねじ軸を有するテンション調節手段を設けてもよい。 In each of the above-described embodiments, the case where the tension adjusting means having the screw axis is provided in an arrangement perpendicular to the short side of the frame constituting the mask frame is exemplified. Is not limited to such a screw shaft arrangement. Depending on the reduction in the tension of the mask, a tension adjusting means having a screw axis may be provided so as to be perpendicular to the long side of the mask frame.
また、本発明における同テンション調節手段は、そのように縦又は横の一方にねじ軸を配置するものに限定されるものではない。前記各形態において、長辺をなす対向する枠辺部の相互間におけるスクリーンマスクの伸びも問題となるとき、つまり、枠の縦横両方の二次元的な伸びが問題となるときは、長辺をなす、対向する枠辺部の相互間にも前記した各形態のテンション調節手段を設ければよい。また、正方形のマスク枠についても同様である。つまり、マスク枠の平面視において、図示はしないが、井桁状(「井」の字の形)になるようにテンション調節手段を配置すればよい。上記した各マスク枠のように平面視矩形のラーメン構造のものでは、短辺をなす対向する枠辺部が外方に撓むと、長辺をなす対向する枠辺部は逆に内方に撓むようになる。このため、この長辺をなす対向する枠辺部の内方への撓みが問題となる場合には、テンション調節手段を井桁状に配置するとよい。 Further, the tension adjusting means in the present invention is not limited to the one in which the screw shaft is arranged either vertically or horizontally. In each of the above embodiments, when stretching of the screen mask between the opposing frame sides forming the long side also becomes a problem, that is, when two-dimensional stretching in both the vertical and horizontal directions of the frame becomes a problem, the long side is used. The tension adjusting means of each of the above forms may be provided between the opposing frame sides. The same applies to a square mask frame. In other words, although not shown, the tension adjusting means may be arranged so as to have a cross-girder shape (a shape of a “well”) in a plan view of the mask frame. In the case of the rectangular frame structure having a rectangular shape in plan view as in each of the mask frames described above, when the opposing frame sides forming the short sides bend outward, the opposing frame sides forming the long sides are bent inward on the contrary. I get stuck. For this reason, when the inward bending of the opposing frame sides forming the long sides poses a problem, the tension adjusting means may be arranged in a grid.
また、マスク枠が平面視、矩形の場合においては、図6に示したスクリーン印刷用マスク51のように、その四つのコーナー寄り部位に例えば、平面視、傾斜した配置となるように、長寸ボルト59を配置しておいてもよい。すなわち、四つのコーナーにおいて、1枠辺部のコーナー寄り部位に平面視、例えばθ45度でねじ穴51を貫通形成しておき、ここにボルト59を螺装して、その先端が隣接する枠辺部3、4の内側面に当接するようにしておくのである。このようにしておけば、各ボルト59のねじ込みにより、短辺をなす枠辺部3、4相互間と、長辺をなす枠辺部5、6相互間との両方の間隔を拡大調節できるため、スクリーンマスク7の縦横両方の二次元的な伸びに対応できる。なお、ボルト59の先端が当接する枠辺部3、4の内側面には凹部59cを設けておき、その凹部59cにボルト59の先端が入り込む様にしておくと、その先端が逃げないことから好ましい。図中、12はロックナットである。なお、ロックナット12の安定のため、ねじ穴51の外側には、ボルト59の軸に垂直となるロックナット12の着座面を備えた凸部59dを設けておくとよい。
Further, when the mask frame is rectangular in plan view, as in the
上記したスクリーン印刷用マスクの各実施形態においては、スクリーンマスクのテンション調節手段をマスク枠の内側に配置して枠辺部を外方に押し広げるようにしたが、このスクリーンマスクのテンション調節手段は、マスク枠の外側に配置し、枠辺部を外方に引き広げるようにすることもできる。 In each embodiment of the screen printing mask described above, the tension adjusting means of the screen mask is arranged inside the mask frame so as to spread the frame side outward, but the tension adjusting means of the screen mask is It can also be arranged outside the mask frame so that the sides of the frame are extended outward.
図7はそのように具体化したスクリーン印刷用マスク61の実施形態を示したものである。すなわち、このスクリーン印刷用マスク61では、マスク枠2の外側に、間隔を保持してマスク枠2より高強度の外枠62を配置して二重枠構造としたものである。ただし、マスク枠2の短辺をなす対向する枠辺部3、4のそれぞれの外側面に、先端寄り部位にねじが形成された軸体69を、そのねじが先端側に位置するようにして基端側(マスク枠2側)をねじ込み或いは溶接などで固定している。ただし、本形態では軸体69を、左右の枠辺部3、4において、その外側面に垂直に2本づつ固定している。そして、外枠62にはその軸体69の先端寄り部位が貫通するストレート孔64が貫設され、このストレート孔64から軸体69の先端寄り部位が突出されるように配置され、軸体69の先端寄り部位のねじにそれぞれ調節用のナット66が螺着されている。
FIG. 7 shows an embodiment of the
しかして、例えば左側の2つの調節用のナット66を締めつけることで、マスク枠2の短辺をなす枠辺部3、4を外方に撓むように弾性変形させることができる。これにより、図1の実施形態のものと同様に、スクリーンマスク7の伸び(テンションの低減)に起因する印刷パターン部分Pの縮小を解消できる。なお、このように二重枠構造とする場合において、その外枠62は、実質的に変形しないように、内枠をなすマスク枠2に比べてできるだけ高強度(高剛性)の断面形状、寸法のものとするのが好ましい。なお、このような、いわばマスク枠2の外側からマスク枠をなす枠辺部を引き広げる場合においても、長辺をなす枠辺部5、6の相互間にも同様のスクリーンマスクのテンション調節手段を設けることができる。
Thus, for example, by tightening the two
本発明における、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段は、枠辺部の内側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじ、又はボルトをその軸線回りに回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が突っ張り状になるように構成された、各種の公知のねじ機構を使用することができる。また、枠(枠辺部)の外側に配置するものでは、ナット又は軸体などに形成したねじをその軸線回りに相対的に回転することで、対向する枠辺部の相互の間隔が外側から引き広げられるようになる、公知のねじ機構を使用することができる。 In the present invention, the means for adjusting the tension of the screen mask by the screw mechanism is arranged inside the frame side portion, and the screw or the bolt formed on the nut or the shaft body, or the bolt is rotated around the axis thereof, so as to face each other. Various known screw mechanisms configured so that the intervals between the frame sides are in a stretched state can be used. Further, in the case where the screw is formed on the outside of the frame (frame side), a nut formed on the shaft or the like is relatively rotated around its axis, so that the interval between the opposing frame sides is set from the outside. Any known screw mechanism that can be extended can be used.
このように、本発明におけるスクリーン印刷用マスクは、上記した実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、設計変更して具体化できる。また、スクリーン印刷用マスクは、通常は平面視略四角のマスク枠をベースに形成されるが、四角と言えないような多角形のマスク枠においても本発明は具体化できる。なお、本発明のスクリーン印刷用マスクを用いるスクリーン印刷方法は、セラミックグリーンシートに限られることなく、各種の被印刷物に適用できる。 As described above, the screen printing mask according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately designed and embodied without departing from the gist of the present invention. The screen printing mask is usually formed on the basis of a mask frame having a substantially square shape in a plan view, but the present invention can also be embodied in a polygonal mask frame which cannot be said to be a square. The screen printing method using the screen printing mask of the present invention is not limited to the ceramic green sheet, and can be applied to various printing materials.
1、21、31、41、51、61 スクリーン印刷用マスク
2 マスク枠
3、4、5、6 枠辺部
7 スクリーンマスク
P 印刷パターン部分
G グリーンシート(被印刷物)
1, 21, 31, 41, 51, 61
Claims (6)
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とするスクリーン印刷方法。 In a method of screen printing on a substrate using a mask frame and a screen printing mask comprising a screen mask attached to the mask frame,
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. Screen printing method.
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなるスクリーン印刷用マスクを使用することを特徴とする、セラミック製配線基板の製造方法。 Using a mask for screen printing comprising a mask frame and a screen mask attached to the mask frame, a metallized ink for forming a wiring layer and the like is formed on a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic wiring board. For screen printing,
A screen printing mask comprising a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a frame side part constituting the mask frame outward. To manufacture a ceramic wiring board.
前記マスク枠を構成する枠辺部を外方に弾性変形させて前記スクリーンマスクのテンションを調節する、ねじ機構によるスクリーンマスクのテンション調節手段を備えてなることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。 In a mask for screen printing, comprising a mask frame and a screen mask attached to the mask frame,
A screen printing mask, comprising: a screen mask tension adjusting means by a screw mechanism, which adjusts the tension of the screen mask by elastically deforming a side of the frame constituting the mask frame outward.
6. The screen printing mask according to claim 5, wherein a plurality of the screen mask tension adjusting means are arranged so as not to overlap with a print pattern portion formed substantially at the center of the screen mask in plan view. .
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CN102729600A (en) * | 2011-04-12 | 2012-10-17 | 姜声培 | Screen panel module |
CN108897195A (en) * | 2018-06-14 | 2018-11-27 | 江苏盛矽电子科技有限公司 | A kind of separate type exposure device of tension type printing screen plate |
CN110429368A (en) * | 2019-08-29 | 2019-11-08 | 重庆思睿创瓷电科技有限公司 | Silver paste printing equipment for filter |
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- 2004-04-05 JP JP2004111530A patent/JP2004243775A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102729600A (en) * | 2011-04-12 | 2012-10-17 | 姜声培 | Screen panel module |
CN108897195A (en) * | 2018-06-14 | 2018-11-27 | 江苏盛矽电子科技有限公司 | A kind of separate type exposure device of tension type printing screen plate |
CN108897195B (en) * | 2018-06-14 | 2023-04-07 | 江苏盛矽电子科技有限公司 | Disconnect-type exposure device of tensioning formula printing half tone |
CN110429368A (en) * | 2019-08-29 | 2019-11-08 | 重庆思睿创瓷电科技有限公司 | Silver paste printing equipment for filter |
CN110429368B (en) * | 2019-08-29 | 2024-05-14 | 重庆思睿创瓷电科技有限公司 | Silver paste printing device for filter |
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